JP2007174075A

JP2007174075A - 差動伝送路構造および配線基板

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Publication number: JP2007174075A
Application number: JP2005366671A
Authority: JP
Inventors: Tsutomu Higuchi; 努樋口
Original assignee: Shinko Electric Industries Co Ltd
Current assignee: Shinko Electric Industries Co Ltd
Priority date: 2005-12-20
Filing date: 2005-12-20
Publication date: 2007-07-05
Also published as: TW200806139A; US20070164401A1; KR20070065817A; CN1988249A

Abstract

【課題】インピーダンス整合をとることが容易であるとともに小型化が可能である差動伝送路構造、および当該差動伝送路構造を有する配線基板を提供する。
【解決手段】絶縁層と、前記絶縁層と積層される、接地された導電層と、前記絶縁層に形成された差動伝送路と、を有し、前記差動伝送路の位置に対応して、前記導電層が除去された領域が形成されていることを特徴とする差動伝送路構造。
【選択図】図２Ａ

Description

本発明は、差動伝送路構造と、当該差動伝送路構造を用いた配線基板に関する。

近年の配線基板や電子部品の小型化・高速化の要求から、配線基板や電子部品に占める差動伝送路構造の小型化が求められている。

図１Ａ，図１Ｂは、従来の差動伝送路構造の一例を模式的に示した断面図である。まず、図１Ａを参照するに、本図に示す差動伝送路構造１０は、いわゆるマイクロストリップライン（ＭＳＬ）構造を有している。前記差動伝送路構造１０は、接地された導電層１４上に積層された絶縁層（誘電層）１５上に、配線１７Ａ、１７Ｂを含む、差動伝送路１７が形成されて構成されており、前記差動伝送路１７は、保護層（絶縁層）１６で覆われた構造になっている。また、前記導電層１４は、導電層１２上に形成された絶縁層１３上に形成されており、当該導電層１２は、コア基板１１上に形成されている。

また、前記コア基板１１の、前記差動伝送路１７が形成された側の反対側には、該コア基板１１の側から順に、導電層１８、絶縁層１９、導電層２０、絶縁層２１、導電層２２、保護層（絶縁層）２３が、積層されている。

また、図１Ｂを参照するに、本図に示す差動伝送路構造３０は、いわゆるストリップライン（ＳＬ）構造を有している。前記差動伝送路構造３０は、接地された導電層３２上に積層された絶縁層（誘電層）３３中に、配線３６Ａ、３６Ｂを含む、差動伝送路３６が形成されて構成されており、前記絶縁層３３上には接地された導電層３４が形成されている。また、当該導電層３４上には、保護層（絶縁層）３５が形成されている。

前記絶縁層３３は、絶縁層（誘電層）３３Ａ、絶縁層（誘電層）３３Ｂが積層されて形成されており、前記配線３６Ａ、３６Ｂは該絶縁層３３Ａ上に形成され、該絶縁層３３Ｂは、該配線３６Ａ，３６Ｂを覆うように形成されている。しかし、実際には当該絶縁３３Ａ、３３Ｂは渾然一体となって、実質的に一つの絶縁層３３として機能する。

また、前記導電層３２はコア基板３１上に形成され、該導電層３２と前記導電層３４を接続する、ビアプラグ４３、４４が、それぞれ絶縁層３３Ａ、３３Ｂに形成されている。

また、前記コア基板３１の、前記差動伝送路３６が形成された側の反対側には、該コア基板３１の側から順に、導電層３７、絶縁層３８、導電層３９、絶縁層４０、導電層４１、保護層（絶縁層）４２が、積層されている。
特開２００４−１４８００号公報特開２００４−１２９０５３号公報特開２００５−２７７０２８号公報

しかし、上記の差動伝送路構造においては、所定のインピーダンス整合を行いながら、かつ差動伝送路を小型化することが困難となる問題を有していた。

例えば、上記の構造では、絶縁層（誘電層）をビルドアップ樹脂（ビルドアップ法）で形成するため、絶縁層の厚さは３０〜５０μｍ程度となるのが一般的である。ここで、例えばインピーダンスが１００オームの差動伝送路を設計すると、配線幅を加工限界（２０μｍ程度）まで小さくしたとしても、配線間隔を、配線幅の１．５倍から２倍以上にする必要が生じてしまう。

すなわち、配線幅と絶縁層の厚さによっては、２つの配線の間隔よりも、配線と接地された導体層の間隔のほうが小さくなってしまう場合がある。さらに、配線から広がる電界は、対向面積の大きい導電層方向に広がるため、対向する２つの配線間での結合の影響が小さくなり、実質上差動伝送路の利点が生かされなくなってしまう。さらに、横方向に広がった配線領域には他の配線などの構造体を形成することができず、多くの配線エリアを必要とすることになってしまう。

また、上記の構造でインピーダンス整合をとるためには、配線幅を極力小さくする必要が生じてしまい、伝送損失が大きくなってしまう問題が生じていた。

そこで、本発明は、上記の問題を解決した、新規で有用な差動伝送路構造、および当該差動伝送路構造を有する配線基板を提供することを統括的課題としている。

本発明の具体的な課題は、インピーダンス整合をとることが容易であるとともに小型化が可能である差動伝送路構造、および当該差動伝送路構造を有する配線基板を提供することである。

本発明の第１の観点では、上記の課題を、絶縁層と、前記絶縁層と積層される、接地された導電層と、前記絶縁層に形成された差動伝送路と、を有し、前記差動伝送路の位置に対応して、前記導電層が除去された領域が形成されていることを特徴とする差動伝送路構造により、解決する。

当該差動伝送路構造は、インピーダンス整合をとることが容易であるとともに小型化が可能である特徴を有している。

また、前記絶縁層の上側に第１の導電層が、前記絶縁層の下側に第２の導電層が形成され、前記差動伝送路の位置に対応して、当該第１の導電層と当該第２の導電層が除外された領域が形成されていると、ＳＬ構造のインピーダンス整合をとることが容易となるとともに小型化が可能となる。

また、前記導電層が除去された領域の、当該導電層の開口の端部から、前記差動伝送路までの距離が、前記差動伝送路を構成する配線の幅と、前記差動伝送路を構成する２つの配線の間隔とを加えた値以上とされると、インピーダンス整合と小型化がさらに容易となる。

また、本発明の第２の観点では、上記の課題を、差動伝送路構造を有する配線基板であって、前記差動伝送路構造は、絶縁層と、前記絶縁層と積層される、接地された導電層と、前記絶縁層に形成された差動伝送路と、を有し、前記差動伝送路の位置に対応して、前記導電層が除去された領域が形成されていることを特徴とする配線基板により、解決する。

当該配線基板では、伝送経路構造のインピーダンス整合をとることが容易であるとともに小型化が可能である特徴を有している。

本発明によれば、インピーダンス整合をとることが容易であるとともに小型化が可能である差動伝送路構造、および当該差動伝送路構造を有する配線基板を提供することが可能となる。

本発明による差動伝送路構造は、絶縁層と、前記絶縁層と積層される、接地された導電層と、前記絶縁層に形成された差動伝送路と、を有し、前記差動伝送路の位置に対応して、前記導電層が除去された領域が形成されていることを特徴としている。

従来の差動伝送路構造では、差動伝送路の配線幅と絶縁層の厚さによっては、２つの配線の間隔よりも、配線と接地された導体層の間隔のほうが小さくなってしまう場合があった。このため、伝送経路構造を小型化しようとすると、インピーダンス整合をとることが困難となってしまう問題が生じていた。

一方、本発明による差動伝送路構造では、差動伝送路の周囲に絶縁層（誘電層）を介して設置される接地された導電層が、差動伝送路の位置に対応して除去されている。このため、差動伝送路のインピーダンス整合をとることが容易となり、伝送経路の配線の幅や、配線の間隔の設計の自由度が向上する。このため、伝送経路構造を小型化することが可能となり、当該伝送経路構造を用いた配線基板を小型化することが可能となる。

次に、上記の差動伝送路構造のさらに具体的な実施の一例に関して、図面に基づき以下に説明する。

図２Ａ，図２Ｂは、本発明の実施例１による差動伝送路構造の一例を模式的に示した断面図である。

まず、図２Ａを参照するに、本図に示す差動伝送路構造１００は、いわゆるＭＳＬ構造を有している。前記差動伝送路構造１００は、接地された導電層１０４上に積層された絶縁層（誘電層）１０５上に、配線１０７Ａ、１０７Ｂを含む、差動伝送路１０７が形成されて構成されており、前記差動伝送路１０７は、保護層（絶縁層）１０６で覆われた構造になっている。また、前記導電層１０４は、導電層１０２上に形成された絶縁層１０３上に形成されており、当該導電層１０２は、コア基板１０１上に形成されている。また、前記導電層１０２は接地されている。

また、前記コア基板１０１の、前記差動伝送路１０７が形成された側の反対側には、該コア基板１０１の側から順に、導電層１０８、絶縁層１０９、導電層１１０、絶縁層１１１、導電層１１２、保護層（絶縁層）１１３が、積層されている。

上記の本実施例による差動伝送路構造１００では、前記差動伝送路１０７に対応して、前記導電層１０４が除去された領域（開口部１０４Ａ）が形成されていることが特徴である。このため、前記差動伝送路１０７を構成する配線１０７Ａ、１０７Ｂから、接地された導電層までの距離（例えば導電層１０４、または導電層１０２までの距離）が従来に比べて大きくなり、配線１０７Ａ、１０７Ｂと、接地された導電層との結合の影響が小さくなる。この結果、前記差動伝送路１０７を構成する配線１０７Ａ、１０７Ｂの間の結合の影響が大きくなる。

このため、上記の差動伝送路１０７のインピーダンス整合をとることが容易となる。また、インピーダンス整合を取るにあたって、差動伝送路１０７の構造の制約が小さくなり、差動伝送路が占める領域を小さくすることが可能となる効果を奏する。例えば、前記配線１０７Ａと配線１０７Ｂの間の距離Ｓを、小さくすることが可能となり、伝送経路を小型化することが可能となる。また、インピーダンス整合をとるにあたって、前記配線１０７Ａ、１０７Ｂの配線幅の制約が小さくなるため、伝送損失を抑制することも可能となる。

また、配線１０７Ａ、１０７Ｂと、接地された導電層の結合の影響が小さくなり、相対的に前記配線１０７Ａ、１０７Ｂの間の結合の影響が大きくなるため、伝送経路の外から進入するノイズ（コモンモードノイズ）の影響を受けにくくなり、また、接地ラインを伝わるＥＭＩの影響も受けにくくなる効果を奏する。

このように、本実施例による伝送経路構造１００では、インピーダンス整合をとることが容易であるとともに小型化が可能であり、さらに伝送損失を抑制することも可能になっている。また、ノイズの影響も受けにくい特徴がある。

また、前記開口部１０４Ａの端部から、前記差動伝送路１０７までの距離Ｌが、前記配線１０７Ａ，１０７Ｂの幅Ｗと、前記配線１０７Ａ，１０７Ｂの間隔Ｓとを加えた値以上とされると、インピーダンス整合がさらに容易となり、作動伝送路の小型化がさらに容易となる。

また、上記の構造を、図２Ｂに示すように、例えばＳＬ構造に適用することも可能である。図２Ｂを参照するに、本図に示す差動伝送路構造１３０は、いわゆるＳＬ構造を有している。前記差動伝送路構造１３０は、接地された導電層１３２上に積層された絶縁層（誘電層）１３３中に、配線１３６Ａ、１３６Ｂを含む、差動伝送路１３６が形成され、前記絶縁層１３３上には接地された導電層１３４が形成されて構成されている。また、当該導電層１３４上には、保護層（絶縁層）１３５が形成されている。

前記絶縁層１３３は、絶縁層（誘電層）１３３Ａ、絶縁層（誘電層）１３３Ｂが積層されて形成されており、前記配線１３６Ａ、１３６Ｂは該絶縁層１３３Ａ上に形成され、該絶縁層１３３Ｂは、該配線１３６Ａ，１３６Ｂを覆うように形成されている。しかし、実際には当該絶縁１３３Ａ、１３３Ｂは渾然一体となって、実質的に一つの絶縁層１３３として機能する。

また、前記導電層１３２はコア基板１３１上に形成され、該導電層１３２と前記導電層１３４を接続する、ビアプラグ１４３、１４４が、それぞれ絶縁層１３３Ａ、１３３Ｂに形成されている。

また、前記コア基板１３１の、前記差動伝送路１３６が形成された側の反対側には、該コア基板１３１の側から順に、導電層１３７、絶縁層１３８、導電層１３９、絶縁層１４０、導電層１４１、保護層（絶縁層）１４２が、積層されている。

上記の本実施例による差動伝送路構造１３０では、前記差動伝送路１３６に対応して、前記絶縁層１３３の下側に形成された前記導電層１３２が除去された領域（開口部１３２Ａ）が形成されている。同様に、前記差動伝送路１３６に対応して、前記絶縁層１３３の上側に形成された前記導電層１３４が除去された領域（開口部１３４Ａ）が形成されていることが特徴である。

このため、当該差動伝送路構造１３０は、図２Ａに示した差動伝送路構造１００と同様の効果を奏する。すなわち、上記の伝送経路１３６のインピーダンス整合をとることが容易となるとともに、インピーダンス整合を取るにあたって、差動伝送路１３６の構造の制約が小さくなり、伝送経路が占める領域を小さくすることが可能となる効果を奏する。

例えば、前記配線１３６Ａと配線１３６Ｂの間の距離Ｓを、小さくすることが可能となり、伝送経路を小型化することが可能となる。また、インピーダンス整合をとるにあたって、前記配線１３６Ａ、１３６Ｂの配線幅の制約が小さくなるため、伝送損失を抑制することも可能となる。

また、伝送経路の外から進入するノイズ（コモンモードノイズ）の影響を受けにくくなり、また、接地ラインを伝わるＥＭＩの影響も受けにくくなる効果を奏する。

また、前記開口部１３２Ａの端部から、前記差動伝送路１３６までの距離Ｌ１が、前記配線１３６Ａ，１３６Ｂの幅Ｗと、前記配線１３６Ａ，１３６Ｂの間隔Ｓとを加えた値以上とされると、インピーダンス整合がさらに容易となり、作動伝送構造の小型化がさらに容易となる。

同様に、前記開口部１３４Ａの端部から、前記差動伝送路１３６までの距離Ｌ２が、前記配線１３６Ａ，１３６Ｂの幅Ｗと、前記配線１３６Ａ，１３６Ｂの間隔Ｓとを加えた値以上とされると、インピーダンス整合がさらに容易となり、作動伝送構造の小型化がさらに容易となる。

このように、本実施例による伝送経路構造１３０では、インピーダンス整合をとることが容易であるとともに小型化が可能であり、さらに伝送損失を抑制することも可能になっている。また、ノイズの影響も受けにくい特徴がある。

次に、上記に示した本実施例による差動伝送路構造１３０について、シミュレーションにより、インピーダンスを算出した結果について、以下に説明する。また、比較のため、以下の図３Ａ〜図３Ｃに示す差動伝送路構造を３種類構成し、同様にインピーダンスの算出を行った。

図３Ａ〜図３Ｃは、インピーダンス測定の比較用に構成した差動伝送路構造である。ただし図中、先に説明した部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。以下の構造で特に説明しない部分は、図２Ｂの差動伝送路構造１３０と同様とする。

まず、図３Ａに示す差動伝送路構造１３０Ａは、導電層１３２に開口部（導電層が除去された領域）が形成されておらず、差動伝送路構造１３０に比べて、差動伝送路１３６と導電層１３２の距離が小さくなっている領域がある。

また、図３Ｂに示す差動伝送路構造１３０Ｂは、導電層１３２に開口部が形成されておらず、さらに導電層１３４が、差動伝送路１３６から離れた領域で除去されている。

また、図３Ｃに示す差動伝送路構造１３０Ｃは、前記差動伝送路構造１３０の、開口部１３２Ａ、１３４Ａに相当する部分に導電層１３２、１３４が形成され、導電層が形成される部分と除去される部分が当該差動伝送路構造１３０と略逆になっている。

図４Ａ，図４Ｂは、上記の差動伝送路１３０、１３０Ａ、１３０Ｂ、１３０Ｃについて、配線１３６Ａ，１３６Ｂの間隔Ｓを変更した場合のインピーダンスを算出した結果を示す図である。なお、比較のため、導電層１３２、１３４のいずれにも開口部を形成しない、従来の構造に相当する差動伝送路構造（図中、「開口部なし」と表記）についての結果について併せて示している。

図４Ａ、図４Ｂに示した場合とも、配線１３６Ａ，１３６Ｂの厚さは１５μｍとしている。また、図４Ａに示した場合では、絶縁層１３３Ａ，１３３Ｂの厚さを共に３０μｍ、図４Ｂに示した場合では、絶縁層１３３Ａ，１３３Ｂの厚さを共に５０μｍとしている。

まず、図４Ａを参照するに、従来の構造では、間隔Ｓを大きくした場合であっても、差動伝送路の一般的なインピーダンスである１００オームに整合することが困難であることがわかる。

一方、前記差動伝送路構造１３０、１３０Ａ、１３０Ｂ、１３０Ｃの結果について見ると、インピーダンスを１００オームとすることが可能となっており、差動伝送路近傍の導電層を除去することが、インピーダンスの整合を容易にしていることがわかる。また、前記差動伝送路構造１３０、１３０Ａ、１３０Ｂ、１３０Ｃのうちで、前記差動伝送路１３０が、インピーダンスを１００オームに整合する場合に、Ｓを最も小さくすることが可能であることがわかる。この場合、差動伝送路が閉める領域を最も小さくすることが可能であり、配線の設置の自由度が最も高くなる。

すなわち、接地された導電層を除去する場合には、差動伝送路に対応した位置の導電層を除去することが好ましいことがわかる。

また、図４Ｂを参照するに、本図に示す場合では、従来の構造であっても、Ｓを大きくすればインピーダンスを１００オームに整合することが可能となっている。

しかし、図４Ａに示した場合と同様に、間隔Ｓを小さくするには導電層を除去したほうが好ましく、差動伝送路に対応した位置の導電層を除去すること、すなわち差動伝送路１３０の構造とすることがさらに好ましいことがわかる。

また、本発明による差動伝送路構造は、実施例１に示した構造に限定されるものではない。例えば、以下に示す構造とすることも可能である。

図５Ａ，図５Ｂは、本発明の実施例２による差動伝送路構造の一例を模式的に示した断面図である。

まず、図５Ａを参照するに、本図に示す差動伝送路構造２００は、コア基板２０１上に、接地された導電層２０２、絶縁層（誘電層）２０３、接地された導電層２０４、絶縁層（誘電層）２０５、接地された導電層２０６、保護層（絶縁層）２０７が順に積層された構造を有している。また、前記導電層２０２、２０４、２０６に、それぞれ開口部２０２Ａ、２０４Ａ、２０６Ａが形成されている。

上記の構造において、絶縁層２０３上の、前記開口部２０４Ａに相当する部分に配線２０８Ｂが、絶縁層２０５上の、前記開口部２０６Ａに相当する部分に配線２０８Ａがそれぞれ形成され、当該配線２０８Ａ，２０８Ｂにより、差動伝送路２０８が構成されている。

上記の構造においても、前記差動伝送路２０８の位置に対応して、前記導電層２０２、２０４、２０６が除去された領域（開口部２０２Ａ、２０４Ａ、２０６Ａ）が形成されており、実施例１に記載した差動伝送路構造１００、１３０Ａと同様の効果を奏する。

本実施例の場合には、前記配線部２０８Ａ，２０８Ｂが、多層に積層された絶縁層の異なる層上にそれぞれ形成されている。

さらに、前記配線２０８Ａ，２０８Ｂが、平面視した場合に重ならない位置、すなわち斜め方向にずらして形成されているため、当該前記配線２０８Ａ，２０８Ｂの間隔を確保することが容易となり、インピーダンス整合が容易となっている。

また、図５Ｂは、図５Ａの差動伝送路構造の変形例である、差動伝送構造２００Ａを示す図である。ただし図中、先に説明した部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。

本図に示す場合、コア基板２０１上の、前記開口部２０２Ａに相当する部分に配線２０８Ｂが、絶縁層２０５上の、前記開口部２０６Ａに相当する部分に配線２０８Ａがそれぞれ形成され、当該配線２０８Ａ，２０８Ｂにより、差動伝送路２０８が構成されている。

本実施例の場合、前記配線２０８Ａ、２０８Ｂの間に、絶縁層が２層（２０３、２０５）挿入されるため、当該前記配線２０８Ａ，２０８Ｂの間隔を確保することが容易となり、インピーダンス整合が容易となっている。

また、図６は、上記の差動伝送路構造を用いた配線基板の構成例を模式的に示す図である。

図６を参照するに、本実施例による配線基板３００は、例えばビルドアップ法などにより形成され、ビルドアップ樹脂よりなる絶縁層３０１、３０２、３０３、３０４、３０５が積層された構造を有している。

また、前記絶縁層３０１の、前記絶縁層３０２と接する側の反対側にはパターン配線３０６が、前記絶縁層３０２にはパターン配線３０８が、前記絶縁層３０４にはパターン配線３１０が、前記絶縁層３０５の、前記絶縁層３０４と接する側の反対側にはパターン配線３１２が形成されている。

また、前記パターン配線３０６、３０８を接続するビアプラグ３０７と、前記パターン配線３０８、３１０、３１２を接続するビアプラグ３０９、前記パターン配線３１０、３１２を接続するビアプラグ３１１、前記パターン配線３０６、３０８、３１０、３１２を接続するビアプラグ３１８が、絶縁層に形成されている。

また、前記絶縁層３０１を覆うとともに、前記パターン配線３０６の一部が露出するように、ソルダーレジスト層３１６が形成されている。前記ソルダーレジスト層３１６から露出した前記パターン配線３０６には、半田ボール３１７が形成されている。

また、前記絶縁層３０５を覆うとともに、前記パターン配線３１２の一部が露出するように、ソルダーレジスト層３１５が形成されている。前記ソルダーレジスト層３１５から露出した前記パターン配線３１２には、半田ボール３１３を介して、半導体チップ３１４が実装されている。

上記の構造において、配線３１０Ａ、３１０Ｂを含む差動伝送路３１０が、前記絶縁層３０４に形成されている。また、前記差動伝送路３１０の上側に積層される前記絶縁層３０５上には、例えば接地された導電層である（前記差動伝送路構造１３０の導電層１３４に相当する）、パターン配線３１２が形成されている。この場合、前記開口部１３４Ａに相当する導電層が除去された領域が、領域３１６Ａとして確保されていることがわかる。

また、前記差動伝送路３１０の下側に積層される前記絶縁層３０２には、例えば、接地された導電層である（前記差動伝送路構造１３０の導電層１３２に相当する）、パターン配線３０８が形成されている。この場合、前記開口部１３２Ａに相当する導電層が除去された領域が、領域３０９Ａとして確保されていることがわかる。

上記の構造では、差動伝送路３１０のインピーダンス整合をとることが容易となり、伝送路の配線の幅や、配線の間隔の設計の自由度が大きい特徴がある。このため、差動伝送路構造を小型化することが可能となり、当該差動伝送路構造を用いた配線基板３００を小型化することが可能となる。

また、上記の差動伝送路構造を用いた場合、配線基板のスペースを有効に使用することが可能になり、様々なパターン配線やビアプラグ、もしくはデバイスを、効率よくレイアウトすることが可能になる効果を奏する。

以上、本発明を好ましい実施例について説明したが、本発明は上記の特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した要旨内において様々な変形・変更が可能である。

従来の差動伝送路構造を示す図（その１）である。従来の差動伝送路構造を示す図（その２）である。実施例１による差動伝送路構造を示す図（その１）である。実施例１による差動伝送路構造を示す図（その２）である。インピーダンス算出用の差動伝送路構造（その１）である。インピーダンス算出用の差動伝送路構造（その２）である。インピーダンス算出用の差動伝送路構造（その３）である。インピーダンスの算出結果を示す図（その１）である。インピーダンスの算出結果を示す図（その２）である。実施例２による差動伝送路構造を示す図（その１）である。実施例２による差動伝送路構造を示す図（その２）である。実施例３による配線基板を示す図である。

符号の説明

１００，１３０，２００，２００Ａ差動伝送構造
１０１，１３１，２０１コア基板
１０２，１０４，１０８，１１０，１１２，１３２，１３４，１３７，１３９，１３１，２０２，２０４，２０６導電層
１０３，１０５，１０６，１０９，１１１，１１３，１３３，１３３Ａ，１３３Ｂ，１３５，１３８，１４０，１４２，２０３，２０５，２０７絶縁層
１０７，１３６，２０８差動伝送路
１０７Ａ，１０７Ｂ，１３６Ａ，１３６Ｂ，２０８Ａ，２０８Ｂ配線
３００配線基板
３０１、３０２，３０３，３０４，３０５絶縁層
３０６，３０８，３１０，３１２パターン配線
３０７，３０９，３１１，３１８ビアプラグ
３１５，３１６ソルダーレジスト層
３１３，３１７半田ボール
３１４半導体チップ
３１０差動伝送路
３１０Ａ，３１０Ｂ配線

Claims

絶縁層と、
前記絶縁層と積層される、接地された導電層と、
前記絶縁層に形成された差動伝送路と、を有し、
前記差動伝送路の位置に対応して、前記導電層が除去された領域が形成されていることを特徴とする差動伝送路構造。
前記絶縁層の上側に第１の導電層が、前記絶縁層の下側に第２の導電層が形成され、前記差動伝送路の位置に対応して、当該第１の導電層と当該第２の導電層が除外された領域が形成されていることを特徴とする請求項１記載の差動伝送路構造。
前記導電層が除去された領域の、当該導電層の開口の端部から、前記差動伝送路までの距離が、前記差動伝送路を構成する配線の幅と、前記差動伝送路を構成する２つの配線の間隔とを加えた値以上とされることを特徴とする請求項１または２項記載の差動伝送路構造。
差動伝送路構造を有する配線基板であって、
前記差動伝送路構造は、
絶縁層と、
前記絶縁層と積層される、接地された導電層と、
前記絶縁層に形成された差動伝送路と、を有し、
前記差動伝送路の位置に対応して、前記導電層が除去された領域が形成されていることを特徴とする配線基板。
前記絶縁層の上側に第１の導電層が、前記絶縁層の下側に第２の導電層が形成され、前記差動伝送路の位置に対応して、当該第１の導電層と当該第２の導電層が除外された領域が形成されていることを特徴とする請求項４記載の配線基板。