JP2007168218A - Conductive laminate and display - Google Patents
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Abstract
【課題】 基材に対し、高屈折率金属化合物層と金属薄膜層と高屈折透明薄膜層と低屈折率薄膜層と防汚層とが順に積層された導電性積層体を、湿った布で長時間にわたり、荷重を掛けて擦っても高屈折率金属化合物層と金属薄膜層とが剥がれてしまわない導電性積層体、該導電性積層体を有する光学機能性フィルタおよび光学表示装置及び光学物品を提供することにある。
【解決手段】 少なくとも基材上に、金属薄膜層及び金属化合物層を積層してなる導電性機能層、防汚層を有する導電性積層体であって、前記防汚層が、反応性官能基と結合している有機珪素化合物から得られた層であり、且つ純水転落角が50°以下であることあることを特徴とする導電性積層体とする。
【選択図】図1PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a conductive laminate in which a high refractive index metal compound layer, a metal thin film layer, a high refractive transparent thin film layer, a low refractive index thin film layer and an antifouling layer are sequentially laminated on a substrate with a damp cloth. Conductive laminate in which high-refractive-index metal compound layer and metal thin film layer do not peel off even when rubbed under load for a long time, optical functional filter, optical display device and optical article having the conductive laminate Is to provide.
A conductive laminate having a conductive functional layer and an antifouling layer formed by laminating a metal thin film layer and a metal compound layer on at least a substrate, wherein the antifouling layer comprises a reactive functional group. A conductive laminate having a pure water falling angle of 50 ° or less.
[Selection] Figure 1
Description
本発明は、導電性積層体に関するものであり、さらに詳しくはフラットパネルディスプレイ(FPD)等の光学表示装置の前面に用いる反射防止フィルタとして有用な導電性反射防止積層体に関するものである。 The present invention relates to a conductive laminate, and more particularly to a conductive antireflection laminate useful as an antireflection filter used on the front surface of an optical display device such as a flat panel display (FPD).
CRT、液晶表示装置、プラズマディスプレイパネル(PDP)等の光学表示装置においては、外光の表示画面上への写り込みによって画像を認識しづらくなるという問題がある。光学表示装置は、最近では屋内だけでなく屋外にも持ち出される機会が増加し、表示画面上への外光の写り込みは一層深刻な問題になっている。 In an optical display device such as a CRT, a liquid crystal display device, or a plasma display panel (PDP), there is a problem that it becomes difficult to recognize an image due to reflection of external light on a display screen. In recent years, optical display devices have been increasingly taken not only indoors but also outdoors, and the reflection of external light on the display screen has become a more serious problem.
外光の写り込みを低減するために、可視光領域の波長の広い範囲にわたって反射率の低い反射防止積層体を光学表示装置の前面に設けることが行われている。また、反射防止積層体に導電性を持たせることにより、電磁波シールド性能を付与できる。例えば、電磁波シールド性を付与した導電性積層体をPDPの画像表示部の前面に設けることにより、PDP内部から発生する不要電磁波をシールドすることができる。 In order to reduce reflection of external light, an antireflection laminate having a low reflectance over a wide range of wavelengths in the visible light region is provided on the front surface of the optical display device. Moreover, electromagnetic wave shielding performance can be imparted by imparting conductivity to the antireflection laminate. For example, an unnecessary electromagnetic wave generated from the inside of the PDP can be shielded by providing a conductive laminate having an electromagnetic wave shielding property on the front surface of the image display unit of the PDP.
しかしながら、金属合金酸化物層などに代表される透明薄膜層と金属薄膜層とを交互に積層するような積層体において、透明薄膜層と金属薄膜層との間の密着が良好でないことが問題となっており(例えば特許文献1参照)、例えば、湿った布で被覆表面をぬぐうことから成る簡単な摩擦試験によって立証されるとしている(例えば特許文献1参照)。一方その対策として、チタン等の金属を金属合金酸化物層と金属層の間にプライマー層として成膜することで、湿った布で長時間はげしく擦っても目で見える変化が生じなくなるとしている(例えば特許文献1参照)。 However, in a laminate in which transparent thin film layers and metal thin film layers typified by metal alloy oxide layers are alternately laminated, there is a problem that the adhesion between the transparent thin film layer and the metal thin film layer is not good. (See, for example, Patent Document 1), and is proved by, for example, a simple friction test consisting of wiping the coated surface with a wet cloth (see, for example, Patent Document 1). On the other hand, as a countermeasure, a metal such as titanium is formed as a primer layer between the metal alloy oxide layer and the metal layer, so that no visible change occurs even if it is rubbed hard for a long time with a wet cloth ( For example, see Patent Document 1).
透明薄膜層と金属薄膜層とを交互に積層するような積層体を、CRT、液晶表示装置、プラズマディスプレイパネル(PDP)等の光学表示装置のディスプレイ最表面に設置する場合、湿った布等で表面を拭くことは容易に予想されるため、湿った布等で拭いても、透明薄膜層と金属層とが剥がれないようにしなければならない。しかし、前記した透明薄膜層と金属層との間に金属のプライマー層を成膜するような方法は、積層体の透過率を低くするという問題点がある。積層体が反射防止膜である場合などは、高い透過率を要求されるため、好ましくない。また、プライマー層を成膜することにより、全体的に層数が増えるため、実際に積層体を生産するという点では、成膜装置の設備費用や、プライマー層の材料費用が発生する上、工程が煩雑になるなどの問題点が多く発生するという点でも好ましくない。また、耐擦傷性においては、積層体における薄膜自体の緻密さ、硬度、応力といった点が重要なポイントであり、耐擦傷性において強固な薄膜を作るためには、成膜方法が限定的になるなどの問題もある。 When a laminated body in which transparent thin film layers and metal thin film layers are alternately laminated is placed on the outermost surface of an optical display device such as a CRT, a liquid crystal display device, or a plasma display panel (PDP), use a damp cloth or the like. Since wiping the surface is easily expected, the transparent thin film layer and the metal layer must not be peeled off even when wiping with a damp cloth or the like. However, the method of forming a metal primer layer between the transparent thin film layer and the metal layer has a problem that the transmittance of the laminate is lowered. A case where the laminate is an antireflection film is not preferable because high transmittance is required. In addition, since the number of layers generally increases by forming a primer layer, in terms of actually producing a laminate, the equipment cost of the film forming apparatus and the material cost of the primer layer are incurred, and the process This is also not preferable in that many problems such as complications occur. Further, in the scratch resistance, the points such as the denseness, hardness, and stress of the thin film itself in the laminate are important points, and in order to form a strong thin film in the scratch resistance, the film forming method is limited. There are also problems such as.
導電性積層体の表面には、フッ素含有珪素化合物からなる、撥水性、撥油性および低摩擦性を有する防汚層が設けられている場合がある(例えば、特許文献2参照)。しかし、フッ素含有珪素化合物からなる防汚層は、撥水、撥油効果を持つものの、湿った布で被覆表面をぬぐう試験を長時間にわたって行った場合、その効果は不十分であった。
本発明の目的は、基材に対し、高屈折率金属化合物層と金属薄膜層と高屈折透明薄膜層と低屈折率薄膜層と防汚層とが順に積層された導電性積層体を、湿った布で長時間にわたり、荷重を掛けて擦っても高屈折率金属化合物層と金属薄膜層とが剥がれてしまわない導電性積層体、該導電性積層体を有する光学機能性フィルタおよび光学表示装置及び光学物品を提供することにある。 An object of the present invention is to wet a conductive laminate in which a high refractive index metal compound layer, a metal thin film layer, a high refractive transparent thin film layer, a low refractive index thin film layer, and an antifouling layer are sequentially laminated on a substrate. Conductive laminate in which the high refractive index metal compound layer and the metal thin film layer do not peel off even when rubbed with a load over a long period of time, an optical functional filter having the conductive laminate, and an optical display device And providing an optical article.
請求項1の発明は、少なくとも基材上に、金属薄膜層及び金属化合物層を積層してなる導電性機能層、防汚層を有する導電性積層体であって、前記防汚層が、反応性官能基と結合している有機珪素化合物から得られた層であり、且つ純水転落角が50°以下であることあることを特徴とする導電性積層体である。 The invention according to claim 1 is a conductive laminate having a conductive functional layer formed by laminating a metal thin film layer and a metal compound layer on at least a substrate, and the antifouling layer is a reaction layer. The conductive laminate is a layer obtained from an organic silicon compound bonded to a functional functional group, and has a pure water falling angle of 50 ° or less.
請求項2の発明は、前記防汚層の表面における純水の接触角が、90゜以上であることを特徴とする請求項1に記載の導電性積層体である。 The invention according to claim 2 is the conductive laminate according to claim 1, wherein the contact angle of pure water on the surface of the antifouling layer is 90 ° or more.
請求項3の発明は、前記防汚層の、反応性官能基と結合している有機珪素化合物が、反応性官能基と結合している珪素原子を1つ以上有することを特徴とする請求項1または2に記載の導電性積層体である。 The invention of claim 3 is characterized in that the organic silicon compound bonded to the reactive functional group of the antifouling layer has one or more silicon atoms bonded to the reactive functional group. The conductive laminate according to 1 or 2.
請求項4の発明は、ふき取り試験を行う前と、100回行った後の純水接触角の差が5°以内であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の導電性積層体である。 The invention according to claim 4 is characterized in that the difference in pure water contact angle before the wiping test and after 100 times is within 5 °. It is a laminate.
請求項5の発明は、前記導電性機能層が、高屈折率金属化合物層/金属薄膜層/高屈折率金属化合物層であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の導電性積層体である。 The invention according to claim 5 is characterized in that the conductive functional layer is a high refractive index metal compound layer / metal thin film layer / high refractive index metal compound layer. Is a conductive laminate.
請求項6の発明は、前記金属薄膜層が銀または銀を含む合金であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の導電性積層体である。 The invention according to claim 6 is the conductive laminate according to any one of claims 1 to 5, wherein the metal thin film layer is silver or an alloy containing silver.
請求項7の発明は、前記導電性機能層と防汚層の間に、低屈折率層を設けてなることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の導電性積層体である。 A seventh aspect of the present invention is the conductive laminate according to any one of the first to sixth aspects, wherein a low refractive index layer is provided between the conductive functional layer and the antifouling layer. .
請求項8の発明は、請求項1〜7のいずれかに記載の導電性積層体をディスプレイの前面に設けたことを特徴とするディスプレイである。 The invention according to claim 8 is a display characterized in that the conductive laminate according to any one of claims 1 to 7 is provided on the front surface of the display.
本発明の導電性積層体は、高屈折率金属化合物層と金属薄膜層との密着を強固にするために特別に層数を増やすことなく、湿った布で長時間にわたり、荷重を掛けて擦っても、透明薄膜層と金属薄膜層とが剥がれてしまわない。
また、金属層を含む導電性機能層の有する機能が長期間持続される。
The conductive laminate of the present invention is rubbed with a wet cloth for a long time without increasing the number of layers in order to strengthen the adhesion between the high refractive index metal compound layer and the metal thin film layer. However, the transparent thin film layer and the metal thin film layer are not peeled off.
Moreover, the function which the electroconductive functional layer containing a metal layer has is maintained for a long period of time.
以下、本発明を図1を例に説明する。
図1は、本発明の導電性積層体の一例を示す断面図である。この導電性積層体1は、基材2と、基材2上に設けられたハードコート層3と、ハードコート層3上に設けられたプライマー層4と、プライマー層4上に設けられた導電性機能層5と、導電性機能層5上に設けられた低屈折率透明薄膜層6と、低屈折率透明薄膜層6上に設けられた防汚層7と、基材2の他方の面に設けられた粘着層8とを有して概略構成されるものである。
Hereinafter, the present invention will be described with reference to FIG.
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of the conductive laminate of the present invention. The conductive laminate 1 includes a base material 2, a hard coat layer 3 provided on the base material 2, a primer layer 4 provided on the hard coat layer 3, and a conductive material provided on the primer layer 4. Functional layer 5, low refractive index transparent thin film layer 6 provided on conductive functional layer 5, antifouling layer 7 provided on low refractive index transparent thin film layer 6, and the other surface of substrate 2 And having an adhesive layer 8 provided on the substrate.
(基材)
基材2としては、透明性を有する無機化合物成形物または有機化合物成形物が挙げられる。本発明における透明性とは、可視光領域の波長の光が透過すればよいことを意味する。成形物の形状としては、表面が平滑であれば特に限定されず、板状、ロール状等が挙げられる。また、基材2は、透明性を有する無機化合物成形物または有機化合物成形物の積層体であってもよい。
(Base material)
Examples of the substrate 2 include a transparent inorganic compound molded product or an organic compound molded product. Transparency in the present invention means that light having a wavelength in the visible light region may be transmitted. The shape of the molded product is not particularly limited as long as the surface is smooth, and examples thereof include a plate shape and a roll shape. The substrate 2 may be a transparent inorganic compound molded product or an organic compound molded product laminate.
透明性を有する無機化合物成形物としては、例えば、ソーダライムガラス、硼珪酸ガラス、石英ガラス、パイレックス(登録商標)ガラス、無アルカリガラス、鉛ガラス等が挙げられる。
透明性を有する有機化合物成形物としては、プラスチックが挙げられる。プラスチックとしては、例えば、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリプロピレン、ポリエチルペンテン、ポリ塩化ビニル、ポリビニルアセタール、ポリウレタン、ポリエチルメタクリレート、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリエチレンサルファイド、ポリエーテルスルフォン、ポリオレフィン、ポリアリレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、トリアセチルセルロース等が挙げられる。
Examples of the inorganic compound molded product having transparency include soda lime glass, borosilicate glass, quartz glass, Pyrex (registered trademark) glass, alkali-free glass, lead glass, and the like.
An example of the organic compound molding having transparency is plastic. Examples of the plastic include polyester, polyamide, polyimide, polypropylene, polyethylpentene, polyvinyl chloride, polyvinyl acetal, polyurethane, polyethyl methacrylate, polycarbonate, polystyrene, polyethylene sulfide, polyether sulfone, polyolefin, polyarylate, polyether ether. Examples thereof include ketones, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, and triacetyl cellulose.
基材2の厚さは、目的の用途に応じて適宜選択され、通常25〜300μmである。有機化合物成形物には、公知の添加剤、例えば、紫外線吸収剤、可塑剤、滑剤、着色剤、酸化防止剤、難燃剤等が含有されていてもよい。 The thickness of the base material 2 is appropriately selected according to the intended use, and is usually 25 to 300 μm. The organic compound molded product may contain known additives such as ultraviolet absorbers, plasticizers, lubricants, colorants, antioxidants, flame retardants and the like.
(ハードコート層)
本発明ではハードコート層3を設けても良い。ハードコート層3は、鉛筆等による引っ掻き傷、スチールウールによる擦り傷等の機械的外傷から基材2表面または基材2上に形成された各層を防護する層である。ハードコート層3を形成する材料としては、透明性、適度な硬度および機械的強度を有するものであればよく、アクリル系樹脂、有機シリコン系樹脂、ポリシロキサン等の樹脂材料が挙げられる。
(Hard coat layer)
In the present invention, the hard coat layer 3 may be provided. The hard coat layer 3 is a layer that protects the surface of the base material 2 or each layer formed on the base material 2 from mechanical trauma such as scratches caused by pencils and the like, and scratches caused by steel wool. The material for forming the hard coat layer 3 may be any material having transparency, appropriate hardness and mechanical strength, and examples thereof include resin materials such as acrylic resins, organic silicon resins, and polysiloxanes.
アクリル系樹脂としては、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコール(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリプロピレングロコールジ(メタ)アクリレート、ジプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、3−メチルペンタンジオールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールビスβ−(メタ)アクリロイルオキシプロピオネート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリ(2−ヒドロキシエチル)イソシアネートジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、2,3−ビス(メタ)アクリロイルオキシエチルオキシメチル[2.2.1]ヘプタン、ポリ1,2−ブタジエンジ(メタ)アクリレート、1,2−ビス(メタ)アクリロイルオキシメチルヘキサン、ノナエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラデカンエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、10−デカンジオール(メタ)アクリレート、3,8−ビス(メタ)アクリロイルオキシメチルトリシクロ[5.2.10]デカン、水素添加ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、2,2−ビス(4−(メタ)アクリロイルオキシジエトキシフェニル)プロパン、1,4−ビス((メタ)アクリロイルオキシメチル)シクロヘキサン、ヒドロキシピバリン酸エステルネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAジグリシジルエーテルジ(メタ)アクリレート、エポキシ変成ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート等が挙げられる。 Acrylic resins include 1,4-butanediol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, neopentyl glycol (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, and triethylene glycol di (Meth) acrylate, tripropylene glycol di (meth) acrylate, dipropylene glycol di (meth) acrylate, 3-methylpentanediol di (meth) acrylate, diethylene glycol bis β- (meth) acryloyloxypropionate, trimethylol Ethanetri (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, tri (2-h Roxyethyl) isocyanate di (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, 2,3-bis (meth) acryloyloxyethyloxymethyl [2.2.1] heptane, poly 1,2-butadiene di (meth) acrylate 1,2-bis (meth) acryloyloxymethylhexane, nonaethylene glycol di (meth) acrylate, tetradecane ethylene glycol di (meth) acrylate, 10-decanediol (meth) acrylate, 3,8-bis (meth) acryloyl Oxymethyltricyclo [5.2.10] decane, hydrogenated bisphenol A di (meth) acrylate, 2,2-bis (4- (meth) acryloyloxydiethoxyphenyl) propane, 1,4-bis ((meta ) Acryloyloxymethyl E) Cyclohexane, hydroxypivalate ester neopentyl glycol di (meth) acrylate, bisphenol A diglycidyl ether di (meth) acrylate, epoxy-modified bisphenol A di (meth) acrylate, and the like.
有機シリコン系樹脂としては、例えば、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトライソプロポキシシラン、テトラペンタエトキシシラン、テトラペンタイソプロキシシラン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、メチルトリプロポキシシラン、メチルトリブトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジメチルエトキシシラン、ジメチルメトキシシラン、ジメチルプロポキシシラン、ジメチルブトキシシラン、メチルジメトキシシラン、メチルジエトキシシラン、ヘキシルトリメトキシシラン等が挙げられる。 Examples of the organic silicon resin include tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, tetraisopropoxysilane, tetrapentaethoxysilane, tetrapentaisoproxysilane, methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, methyltripropoxysilane, Examples include butoxysilane, dimethyldimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, dimethylethoxysilane, dimethylmethoxysilane, dimethylpropoxysilane, dimethylbutoxysilane, methyldimethoxysilane, methyldiethoxysilane, and hexyltrimethoxysilane.
ハードコート層3は、これら樹脂材料を基材2上に成膜し、熱硬化、紫外線硬化、または電離放射線硬化法によって硬化させることによって形成される。ハードコート層3の厚さは、物理膜厚で0.5μm以上、好ましくは3〜20μm、より好ましくは3〜6μmである。 The hard coat layer 3 is formed by depositing these resin materials on the substrate 2 and curing them by heat curing, ultraviolet curing, or ionizing radiation curing. The thickness of the hard coat layer 3 is 0.5 μm or more, preferably 3 to 20 μm, more preferably 3 to 6 μm in terms of physical film thickness.
ハードコート層3に、平均粒子径が0.01〜3μmの透明微粒子を分散させて、アンチグレアと呼ばれる処理を施してもよい。ハードコート層3中の微粒子により表面が微細な凹凸状になって光の拡散性が向上し、光の反射をより低減できる。 Transparent hard particles having an average particle diameter of 0.01 to 3 μm may be dispersed in the hard coat layer 3 and subjected to a process called antiglare. The fine particles in the hard coat layer 3 have fine irregularities on the surface, improving the light diffusibility and further reducing the reflection of light.
ハードコート層3は、表面処理が施されていることが好ましい。表面処理を施すことにより、隣接する層との密着性を向上させることができる。ハードコート層3の表面処理としては、例えば、コロナ処理法、蒸着処理法、電子ビーム処理法、高周波放電プラズマ処理法、スパッタリング処理法、イオンビーム処理法、大気圧グロー放電プラズマ処理法、アルカリ処理法、酸処理法等が挙げられる。 The hard coat layer 3 is preferably subjected to a surface treatment. By performing the surface treatment, the adhesion with an adjacent layer can be improved. Examples of the surface treatment of the hard coat layer 3 include corona treatment, vapor deposition, electron beam treatment, high frequency discharge plasma treatment, sputtering treatment, ion beam treatment, atmospheric pressure glow discharge plasma treatment, and alkali treatment. Method, acid treatment method and the like.
(プライマー層)
また、ハードコート層3と導電性機能層5との間にプライマー層4を設けても良い。
プライマー層4は、ハードコート層3と導電性機能層5との間の密着性を向上させる層である。プライマー層4の材料としては、例えば、シリコン、ニッケル、クロム、錫、金、銀、白金、亜鉛、チタン、タングステン、ジルコニウム、パラジウム等の金属;これら金属の2種類以上からなる合金;これらの酸化物、弗化物、硫化物、窒化物等が挙げられる。酸化物、弗化物、硫化物、窒化物の化学組成は、密着性が向上するならば、化学量論的な組成と一致しなくてもよい。
(Primer layer)
Further, the primer layer 4 may be provided between the hard coat layer 3 and the conductive functional layer 5.
The primer layer 4 is a layer that improves the adhesion between the hard coat layer 3 and the conductive functional layer 5. Examples of the material of the primer layer 4 include metals such as silicon, nickel, chromium, tin, gold, silver, platinum, zinc, titanium, tungsten, zirconium, and palladium; alloys composed of two or more of these metals; Products, fluorides, sulfides, nitrides and the like. The chemical composition of oxides, fluorides, sulfides, and nitrides may not match the stoichiometric composition as long as adhesion is improved.
プライマー層4の厚さは、基材2の透明性を損なわない程度であればよく、好ましくは物理膜厚で0.1〜10nmである。
プライマー層4は、蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビームアシスト法、化学蒸着(CVD)法、湿式塗工法等の従来公知の方法で形成できる。
The thickness of the primer layer 4 should just be a grade which does not impair the transparency of the base material 2, Preferably it is 0.1-10 nm by a physical film thickness.
The primer layer 4 can be formed by a conventionally known method such as a vapor deposition method, a sputtering method, an ion plating method, an ion beam assist method, a chemical vapor deposition (CVD) method, or a wet coating method.
(導電性機能層)
導電性機能層5は、導電性積層体に、電磁波シールド性を付与するものである。また、光学設計により反射防止性を付与することができる。さらには赤外線カット性を有することもできる。また、後述の低屈折率層を設ける場合、低屈折率層も合わせて光学設計することにより、反射防止性を付与することができる。
(Conductive functional layer)
The conductive functional layer 5 imparts electromagnetic wave shielding properties to the conductive laminate. Moreover, antireflection properties can be imparted by optical design. Furthermore, it can also have infrared cut property. Moreover, when providing the below-mentioned low-refractive-index layer, the antireflective property can be provided by optically designing the low-refractive-index layer together.
導電性機能層5は、金属化合物層と金属薄膜層を交互に積層し、最下層、最上層が金属化合物層であるものからなる。金属化合物層は、屈折率1.9〜2.5の範囲内である高屈折率金属化合物層であることが好ましい。
図1においては、導電性機能層5は基材2側から順に、高屈折率金属化合物層11、金属薄膜層12、および高屈折率金属化合物層13から構成される。
The conductive functional layer 5 is formed by alternately laminating metal compound layers and metal thin film layers, and the lowermost layer and the uppermost layer are metal compound layers. The metal compound layer is preferably a high refractive index metal compound layer having a refractive index in the range of 1.9 to 2.5.
In FIG. 1, the conductive functional layer 5 includes a high refractive index metal compound layer 11, a metal thin film layer 12, and a high refractive index metal compound layer 13 in this order from the substrate 2 side.
高屈折率金属化合物層11、13は、波長550nmの光の屈折率が1.7以上であり、かつ波長550nmの光の消衰係数が0.5以下である層である。 The high refractive index metal compound layers 11 and 13 are layers having a refractive index of light having a wavelength of 550 nm of 1.7 or more and an extinction coefficient of light having a wavelength of 550 nm of 0.5 or less.
高屈折率金属化合物層11、13の材料としては、インジウム、錫、チタン、シリコン、亜鉛、ジルコニウム、ニオブ、マグネシウム、ビスマス、セリウム、クロム、タンタル、アルミニウム、ゲルマニウム、ガリウム、アンチモン、ネオジウム、ランタン、トリウム、ハフニウム等の金属;これらの金属の酸化物、弗化物、硫化物、窒化物;酸化物、弗化物、硫化物、窒化物の混合物等が挙げられる。酸化物、弗化物、硫化物、窒化物の化学組成は、透明性を保持した化学組成であれば、化学量論的な組成と一致しなくてもよい。 Examples of materials for the high refractive index metal compound layers 11 and 13 include indium, tin, titanium, silicon, zinc, zirconium, niobium, magnesium, bismuth, cerium, chromium, tantalum, aluminum, germanium, gallium, antimony, neodymium, lanthanum, Metals such as thorium and hafnium; oxides, fluorides, sulfides, and nitrides of these metals; oxides, fluorides, sulfides, and mixtures of nitrides. The chemical composition of oxides, fluorides, sulfides, and nitrides may not match the stoichiometric composition as long as the chemical composition maintains transparency.
また、酸化インジウムと酸化錫との混合物(ITO)、酸化インジウムと酸化セリウムとの混合物(ICO)、酸化インジウムと酸化亜鉛との混合物、酸化亜鉛と酸化アルミニウムとの混合物、酸化亜鉛と酸化ガリウムとの混合物、酸化錫と酸化アンチモンとの混合物、酸化錫中にアンチモンおよびインジウムを含んだ混合物、シリコン中にジルコニウムを含んだ混合物等が挙げられる。これらのうち、ITOおよびICOは、可視光における屈折率が2.0以上あり、かつ消衰係数がゼロに近いため、可視光領域での透明性に優れ、かつ材料による光の吸収が少ないことから、好適である。また、ITOおよびICOは、自由電子密度が高い、すなわち比抵抗が小さいため、直流電源によるスパッタ成膜を可能にする。直流電源の使用は、成膜速度を向上させ、結果として高い生産性に寄与する。 Indium oxide and tin oxide mixture (ITO), indium oxide and cerium oxide mixture (ICO), indium oxide and zinc oxide mixture, zinc oxide and aluminum oxide mixture, zinc oxide and gallium oxide A mixture of tin oxide and antimony oxide, a mixture containing antimony and indium in tin oxide, a mixture containing zirconium in silicon, and the like. Among these, ITO and ICO have a refractive index in visible light of 2.0 or more and an extinction coefficient close to zero, so that transparency in the visible light region is excellent and light absorption by the material is small. Therefore, it is preferable. In addition, ITO and ICO have high free electron density, that is, low specific resistance, so that sputtering film formation by a DC power supply is possible. The use of a direct current power source increases the film formation rate and consequently contributes to high productivity.
複数の高屈折率金属化合物層は、必ずしも同一の材料でなくてもよく、目的に合わせて適宜選択される。高屈折率金属化合物層11、13は、蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビームアシスト法、CVD法、湿式塗工法等の従来公知の方法で形成できる。 The plurality of high refractive index metal compound layers are not necessarily made of the same material, and are appropriately selected according to the purpose. The high refractive index metal compound layers 11 and 13 can be formed by a conventionally known method such as a vapor deposition method, a sputtering method, an ion plating method, an ion beam assist method, a CVD method, or a wet coating method.
金属薄膜層12は、波長550nmの光の屈折率が1.0以下、消衰係数が10.0以下であることが好ましい。
金属薄膜層12の材料としては例えば、金、銀、銅、白金、アルミニウム、パラジウム等の金属;これら金属の2種類以上を含んだ合金が挙げられる。これらのうち。銀、銀を含む合金、銀を含む混合物が好適である。銀は、波長550nmの光の屈折率が0.055と小さく、一方、消衰係数は3.32と大きい。屈折率に対する消衰係数の比が他の金属に比べて大きいため金属性が高い、つまり導電性が高い。
The metal thin film layer 12 preferably has a refractive index of light having a wavelength of 550 nm of 1.0 or less and an extinction coefficient of 10.0 or less.
Examples of the material of the metal thin film layer 12 include metals such as gold, silver, copper, platinum, aluminum, and palladium; and alloys containing two or more of these metals. Of these. Silver, an alloy containing silver, and a mixture containing silver are preferable. Silver has a small refractive index of light with a wavelength of 550 nm as 0.055, while its extinction coefficient is as large as 3.32. Since the ratio of the extinction coefficient to the refractive index is larger than that of other metals, the metallicity is high, that is, the electrical conductivity is high.
銀の薄膜は、酸素、硫黄、ハロゲン、アルカリ等によって腐食しやすく、結果として凝集、マイグレーション等を引き起こす。一方、銀に他の金属元素を含有させると銀の化学的安定性が向上することが知られている。銀に含有させる金属元素としては、例えば、金、銅、白金、錫、アルミニウム、ニッケル、マグネシウム、チタン、ビスマス、ジルコニウム、ネオジウム、パラジウム、亜鉛、インジウム、ゲルマニウム、イリジウム、オスミウム、ルテニウム、レニウム、ロジウム等が挙げられる。これら金属元素は、2種類以上を銀に含有させてもよい。これらの金属元素を銀に含有させる場合、その含有量は、金属薄膜層12または導電性積層体1の光学性能を悪化させずに、耐腐食性に寄与する程度であればよく、0.1原子%〜20原子%程度である。 Silver thin films are easily corroded by oxygen, sulfur, halogen, alkali, and the like, resulting in aggregation, migration, and the like. On the other hand, it is known that the chemical stability of silver improves when silver contains other metal elements. Examples of metal elements contained in silver include gold, copper, platinum, tin, aluminum, nickel, magnesium, titanium, bismuth, zirconium, neodymium, palladium, zinc, indium, germanium, iridium, osmium, ruthenium, rhenium, and rhodium. Etc. Two or more of these metal elements may be contained in silver. In the case where these metal elements are contained in silver, the content thereof may be a level that contributes to corrosion resistance without deteriorating the optical performance of the metal thin film layer 12 or the conductive laminate 1. The atomic percent is about 20 atomic percent.
金属薄膜層12の厚さは、物理膜厚で5〜15nmが好ましい。
金属薄膜層12は、蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビームアシスト法、CVD法、湿式塗工法等の従来公知の方法により形成できる。スパッタリング法を用いる場合は、直流電源にて成膜が可能であり、大きな成膜速度が得られるため生産性に優れる。
The metal thin film layer 12 preferably has a physical film thickness of 5 to 15 nm.
The metal thin film layer 12 can be formed by a conventionally known method such as a vapor deposition method, a sputtering method, an ion plating method, an ion beam assist method, a CVD method, or a wet coating method. When the sputtering method is used, film formation is possible with a direct current power source, and a high film formation rate is obtained, so that productivity is excellent.
なお、導電性機能層は、図示例の3層構造の導電性機能層5に限定はされず、金属化合物層と金属薄膜層とが交互に設けられ、かつ最上層および最下層が金属化合物層であるものであれば、3層の金属化合物層と2層の金属薄膜層とが交互に設けられた5層構造のもの、またはそれぞれ4層以上、3層以上づつ積層した7層以上のものであってもよい。
金属化合物層を増やすことにより、導電性積層体は、反射率が低くなる可視光領域の波長の範囲が広くすることができる。
ただし、後述の低屈折率層を設けた場合、導電性積層体は、低屈折率透明薄膜層によって反射率が低くなる可視光領域の波長の範囲が充分に広くなるので、導電性積層体の薄膜化の観点から、金属化合物層/金属薄膜層/金属化合物層の3層構造のものが好ましい。
The conductive functional layer is not limited to the conductive functional layer 5 having the three-layer structure in the illustrated example, and the metal compound layer and the metal thin film layer are alternately provided, and the uppermost layer and the lowermost layer are the metal compound layer. If it is, it has a five-layer structure in which three metal compound layers and two metal thin film layers are alternately provided, or seven or more layers in which four or more layers are laminated and three or more layers are laminated. It may be.
By increasing the number of metal compound layers, the conductive laminate can have a wide wavelength range in the visible light region where the reflectance is low.
However, when a low refractive index layer described later is provided, the conductive laminate has a sufficiently wide wavelength range in the visible light region where the reflectance is lowered by the low refractive index transparent thin film layer. From the viewpoint of thinning, a three-layer structure of metal compound layer / metal thin film layer / metal compound layer is preferable.
(低屈折率層)
導電性機能層と防汚層の間に低屈折率層6を設けても良い。低屈折率層6を設けることにより、反射率を下げ、また反射率の低くなる可視光領域の波長範囲が広くすることができる。
低屈折率層6は、波長550nmの光の屈折率が1.7未満であり、かつ波長550nmの光の消衰係数が0.5以下である層である。低屈折率透明薄膜層6を、導電性機能層5の高屈折率金属化合物層13に接するように設けることにより、導電性積層体1は、反射率が低くなる可視光領域の波長の範囲が充分に広くなる。
(Low refractive index layer)
A low refractive index layer 6 may be provided between the conductive functional layer and the antifouling layer. By providing the low refractive index layer 6, the reflectance can be lowered and the wavelength range in the visible light region where the reflectance can be lowered can be widened.
The low refractive index layer 6 is a layer in which the refractive index of light having a wavelength of 550 nm is less than 1.7 and the extinction coefficient of light having a wavelength of 550 nm is 0.5 or less. By providing the low-refractive-index transparent thin film layer 6 so as to be in contact with the high-refractive-index metal compound layer 13 of the conductive functional layer 5, the conductive laminate 1 has a wavelength range in the visible light region where the reflectance is low. Wide enough.
低屈折率層6の材料としては例えば、酸化シリコン、窒化チタン、弗化マグネシウム、弗化バリウム、弗化カルシウム、弗化セリウム、弗化ハフニウム、弗化ランタン、弗化ナトリウム、弗化アルミニウム、弗化鉛、弗化ストロンチウム、弗化イッテリビウム等が挙げられる。
低屈折率層6の厚さは、物理膜厚で15〜70nmが好ましい。
低屈折率層6は、蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビームアシスト法、CVD法、湿式塗工法等の方法で形成できる。
Examples of the material for the low refractive index layer 6 include silicon oxide, titanium nitride, magnesium fluoride, barium fluoride, calcium fluoride, cerium fluoride, hafnium fluoride, lanthanum fluoride, sodium fluoride, aluminum fluoride, fluorine fluoride. Lead fluoride, strontium fluoride, ytterbium fluoride and the like can be mentioned.
The thickness of the low refractive index layer 6 is preferably 15 to 70 nm in terms of physical film thickness.
The low refractive index layer 6 can be formed by a method such as an evaporation method, a sputtering method, an ion plating method, an ion beam assist method, a CVD method, or a wet coating method.
(防汚層)
防汚層7は、純水転落角が50°以下である必要がある。
擦傷試験を行う場合、薄膜表面の転落角が低いほど、布と薄膜表面との間に存在する水は、傾斜が無くとも往復する布によって押し出される。下記式(2)より、一義的ではないが、基本的に転落角が低いほうが、相互作用エネルギーEが小さく、常に水は薄膜表面より押し出されるため、水が薄膜に対し殆ど作用しない。一方、転落角が高い方が、相互作用エネルギーEが大きくなりやすく、布と薄膜表面との間に存在する水は、往復する布によって押し出されることが無く、水が薄膜に対し作用しやすい。
一般的に防汚性を向上させるため、接触角を高めるが、接触角だけを高めたとしても、転落角が低くなるとは限らない。転落角が50°以下であることにより、湿った布で長時間にわたり、荷重を掛けて擦っても高屈折率金属化合物層と金属薄膜層とが剥がれてしまわないものとなる。
(Anti-fouling layer)
The antifouling layer 7 needs to have a pure water falling angle of 50 ° or less.
When the scratch test is performed, the lower the falling angle of the thin film surface, the more the water existing between the cloth and the thin film surface is pushed out by the reciprocating cloth even if there is no inclination. Although it is not unambiguous from the following formula (2), basically, the lower the falling angle, the smaller the interaction energy E, and water is always pushed out from the surface of the thin film, so that the water hardly acts on the thin film. On the other hand, the higher the falling angle, the easier the interaction energy E becomes, and the water existing between the cloth and the surface of the thin film is not pushed out by the reciprocating cloth, and the water easily acts on the thin film.
Generally, in order to improve antifouling properties, the contact angle is increased, but even if only the contact angle is increased, the falling angle is not necessarily lowered. When the tumbling angle is 50 ° or less, the high refractive index metal compound layer and the metal thin film layer are not peeled off even if a load is rubbed with a wet cloth for a long time.
水滴が傾斜面を滑落するときの力学的平衡を下記式(1)で示す。
mg sinα=2πrE・・・(1)
m:液滴質量
g:重力の加速度
α:転落角
r:水滴接触面の半径
E:固体と液体の相互作用エネルギー
The mechanical equilibrium when the water droplet slides down the inclined surface is represented by the following formula (1).
mg sin α = 2πrE (1)
m: droplet mass g: acceleration of gravity α: falling angle r: radius of water droplet contact surface E: interaction energy between solid and liquid
式(1)において、Eは材料固有の値を持ち、液滴の大きさにも依存しないため、Vをその体積とすると、m=ρV(ρ:液滴の密度)としたものを下記式(2)に示す。
sinα=(2πE/ρg)(r/V)・・・(2)
In Eq. (1), E has a value specific to the material and does not depend on the size of the droplet. Therefore, when V is the volume, m = ρV (ρ: droplet density) Shown in (2).
sin α = (2πE / ρg) (r / V) (2)
2πE/ρgは表面材料の液体が一定であれば、常数なるので、sinαを縦軸に、r/Vを横軸にプロットすると直線が得られる。このとき、2πE/ρgは、その直線の勾配をあらわす。この勾配が急になるほど液滴は滑り難く、緩やかになるほど滑りやすいことを表しており、Eが小さいほど勾配が緩やかになる。 Since 2πE / ρg is constant if the liquid of the surface material is constant, a straight line can be obtained by plotting sin α on the vertical axis and r / V on the horizontal axis. At this time, 2πE / ρg represents the gradient of the straight line. This indicates that the more the gradient is steeper, the more difficult the droplets are to slip, and the more gentle the droplet is, the easier it is to slip.
また、転落角が低いものの、接触角が低い場合、指紋やマジックといった外的な汚れに対し、高いレベルの撥水・撥油効果を示さなくなることがあり、指紋等の拭取り性が良好であることなど、高い防汚性を要求される場合は、防汚層7表面における純水の接触角は、防水および防汚性の観点から、90゜以上であることが好ましい。 In addition, although the falling angle is low, if the contact angle is low, it may not show a high level of water and oil repellency against external dirt such as fingerprints and magic, and the wiping property of fingerprints is good. When high antifouling properties are required, for example, the contact angle of pure water on the antifouling layer 7 surface is preferably 90 ° or more from the viewpoint of waterproofing and antifouling properties.
防汚層7は、反応性官能基と結合している有機珪素化合物から得られた層からなる。ここで本発明における反応性官能基とは、導電性機能層5の金属化合物層または低屈折率層6の材料と反応し、結合しうる基を意味する。
また、反応性官能基と結合している有機珪素化合物が、反応性官能基と結合している珪素原子を1つ以上有することが好ましい。
The antifouling layer 7 is made of a layer obtained from an organosilicon compound bonded to a reactive functional group. Here, the reactive functional group in the present invention means a group capable of reacting with and bonding to the metal compound layer of the conductive functional layer 5 or the material of the low refractive index layer 6.
In addition, the organosilicon compound bonded to the reactive functional group preferably has one or more silicon atoms bonded to the reactive functional group.
防汚層の反応性官能基と、導電性機能層5の金属化合物層または低屈折率層6の材料が結合しているか否かは、分析が困難であるが、ふき取り試験を100回行った後と、ふき取り試験をやる行う前で純水接触角に差がなければ、防汚層が強固に下層である導電性機能層5の金属化合物層または低屈折率層6の材料と結合していると推測される。具体的にはその差が5°以内、好ましくは2°以内であると良い。
ふき取り試験は、テスター産業株式会社製擦傷試験機「AB−301 学振型摩擦堅牢度試験機」を用いて、200g荷重にて往復させる。なお、「AB−301 学振型摩擦堅牢度試験機」・・・JISL−0849を参考規格としている。
Although it is difficult to analyze whether or not the reactive functional group of the antifouling layer and the metal compound layer of the conductive functional layer 5 or the material of the low refractive index layer 6 are bonded, the wiping test was performed 100 times. If there is no difference in pure water contact angle between after and before the wiping test, the antifouling layer is firmly bonded to the metal compound layer of the conductive functional layer 5 or the material of the low refractive index layer 6 as the lower layer. It is estimated that Specifically, the difference is within 5 °, preferably within 2 °.
The wiping test is reciprocated at a load of 200 g using a scratch tester “AB-301 Gakushin type friction fastness tester” manufactured by Tester Sangyo Co., Ltd. “AB-301 Gakushin type friction fastness tester”... JISL-0849 is used as a reference standard.
具体的には、シロキサン結合を主鎖とした有機珪素化合物の反応性官能基と低屈折率透明薄膜層6の材料とを反応させ、また、珪素原子を2つ以上有するシロキサン結合を主鎖とした有機珪素化合物である場合、反応性官能基同士を反応させることにより形成される層である。 Specifically, the reactive functional group of the organosilicon compound having a siloxane bond as the main chain is reacted with the material of the low refractive index transparent thin film layer 6, and the siloxane bond having two or more silicon atoms is the main chain. In the case of an organosilicon compound, it is a layer formed by reacting reactive functional groups.
反応性官能基としては、加水分解性基、ハロゲン原子等が挙げられる。加水分解性基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基等のアルコキシ基;メトキシメトキシ基、メトキシエトキシ基、エトキシエトキシ基等のアルコキシアルコキシ基;アリロキシ基、イソプロペノキシ基等のアルケニルオキシ基;アセトキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチルカルボニルオキシ基、ベンゾイルオキシ基等のアシロキシ基;ジメチルケトオキシム基、メチルエチルケトオキシム基、ジエチルケトオキシム基、シクロペンタノキシム基、シクロヘキサノキシム基等のケトオキシム基;N−メチルアミノ基、N−エチルアミノ基、N−プロピルアミノ基、N−ブチルアミノ基、N,N−ジメチルアミノ基、N,N−ジエチルアミノ基、N−シクロヘキシルアミノ基等のアミノ基;N−メチルアセトアミド基、N−エチルアセトアミド基、N−メチルベンズアミド基等のアミド基;N,N−ジメチルアミノオキシ基、N,N−ジエチルアミノオキシ基等のアミノオキシ基等が挙げられる。ハロゲン原子としては、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等が挙げられる。これらのうち、メトキシ基、エトキシ基、イソプロペノキシ基が好適である。 Examples of the reactive functional group include a hydrolyzable group and a halogen atom. Hydrolyzable groups include alkoxy groups such as methoxy, ethoxy, propoxy, and butoxy groups; alkoxyalkoxy groups such as methoxymethoxy, methoxyethoxy, and ethoxyethoxy groups; alkenyloxy groups such as allyloxy and isopropenoxy groups An acyloxy group such as an acetoxy group, a propionyloxy group, a butylcarbonyloxy group or a benzoyloxy group; a ketoxime group such as a dimethyl ketoxime group, a methyl ethyl ketoxime group, a diethyl ketoxime group, a cyclopentanoxime group or a cyclohexanoxime group; Amino groups such as N-methylamino group, N-ethylamino group, N-propylamino group, N-butylamino group, N, N-dimethylamino group, N, N-diethylamino group, N-cyclohexylamino group; N -Methylacetamide , N- ethyl acetamide group, an amido group such as N- methylbenzamide group; N, N- dimethylamino group, N, an amino group, such as N- diethylamino group and the like. Examples of the halogen atom include a chlorine atom, a bromine atom and an iodine atom. Of these, a methoxy group, an ethoxy group, and an isopropenoxy group are preferable.
反応性官能基と結合している珪素原子を1つ以上有しているシロキサン結合を主鎖とした有機珪素化合物としては、例えば、下記式(1)で表される化合物が挙げられる。 Examples of the organosilicon compound having a siloxane bond having at least one silicon atom bonded to a reactive functional group as the main chain include a compound represented by the following formula (1).
式(1)中、R1は、互いに同一又は異種炭素数1〜10の1価炭化水素基であり、メチル基、エチル基、プロヒル基、ブチル基、ヘキシル基、オクチル基、デシル基等のアルキル基、シクロヘキシル基等のシクロアルキル基、ビニル基、アリル基、プロペニル基、ブテニル基、ヘキセニル基等のアルケニル基、フェニル基、トリル基等のアリール基、ベンジル基フェニルエチル基等のアラルキル基などが挙げられ、特にメチル基、エチル基、フェニル基、フェニルエチル基が好ましく、R2、X1、X2は、反応性官能基を表し、R3は、炭化水素1〜10の1価炭化水素基であり、R1で例示したと同様のものを挙げることが出来るが、これはその炭素原子に結合した水素原子の一部又は全部がフッ素原子にて置換されていてもよく、このような置換基として、トリフロロプロピル基等例示することが出来、kは0〜100の整数、mは0〜100の整数、nは0〜5の整数であり、R4、R5は、アルキレン基を表し、R6、R7は、炭素数1〜10、好ましくは1〜3の一価の炭化水素基を表し、R6、R7の一価の炭化水素基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基等のアルキル基;シクロペンチル基、シクロヘキシル基等のシクロアルキル基;フェニル基、トリル基、キシリル基等のアリール基;ベンジル基、フェネチル基等のアラルキル基;ビニル基、アリル基、ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基等のアルケニル基等が挙げられ、p、qは、1〜3の整数を表す。 In formula (1), R1 is the same or different monovalent hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms, and alkyl such as methyl group, ethyl group, prohyl group, butyl group, hexyl group, octyl group, decyl group, etc. Group, cycloalkyl group such as cyclohexyl group, vinyl group, allyl group, propenyl group, butenyl group, alkenyl group such as hexenyl group, aryl group such as phenyl group, tolyl group, aralkyl group such as benzyl group phenylethyl group, etc. In particular, a methyl group, an ethyl group, a phenyl group, and a phenylethyl group are preferable, R2, X1, and X2 represent a reactive functional group, R3 is a monovalent hydrocarbon group of hydrocarbons 1 to 10, Although the same thing as illustrated by R1 can be mentioned, this may be substituted for a part or all of the hydrogen atoms bonded to the carbon atom with a fluorine atom. Examples of such a substituent include a trifluoropropyl group, k is an integer of 0 to 100, m is an integer of 0 to 100, n is an integer of 0 to 5, and R4 and R5 are alkylene groups. R6 and R7 each represent a monovalent hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms, preferably 1 to 3 carbon atoms, and examples of the monovalent hydrocarbon group for R6 and R7 include a methyl group, an ethyl group, Alkyl groups such as propyl, butyl, pentyl, hexyl, heptyl and octyl; cycloalkyl such as cyclopentyl and cyclohexyl; aryl groups such as phenyl, tolyl and xylyl; benzyl and phenethyl An aralkyl group such as a group; an alkenyl group such as a vinyl group, an allyl group, a butenyl group, a pentenyl group, and a hexenyl group; and p and q each represent an integer of 1 to 3.
防汚層7は、蒸着法、スパッタリング法、CVD法、プラズマ重合法等の真空ドライプロセスの他、マイクログラビア法、スクリーンコート法、ディップコート法等のウェットプロセスにより形成できる。防汚層7の物理膜厚は、1〜30nm程度であり、好ましくは3〜15nm程度である。 The antifouling layer 7 can be formed by a wet process such as a microgravure method, a screen coating method, or a dip coating method in addition to a vacuum dry process such as an evaporation method, a sputtering method, a CVD method, or a plasma polymerization method. The physical film thickness of the antifouling layer 7 is about 1 to 30 nm, preferably about 3 to 15 nm.
(粘着層)
また基材2の導電性機能層を設ける側とは反対側に粘着層8を設けても良い。
粘着層8は、可視光領域の波長の光を透過し、かつ粘着性を有するものであればよい。
粘着層8は、光学的性能の観点から、波長500〜600nmの光の屈折率が1.45〜1.7であり、消衰係数がほぼ0であることが好ましい。
粘着層8の材料としては例えば、アクリル系接着剤、シリコン系接着剤、ウレタン系接着剤、ポリビニルブチラール接着剤(PVA)、エチレン−酢酸ビニル系接着剤(EVA)、ポリビニルエーテル、飽和無定形ポリエステル、メラミン樹脂等が挙げられる。
(Adhesive layer)
Moreover, you may provide the adhesion layer 8 in the opposite side to the side in which the electroconductive functional layer of the base material 2 is provided.
The adhesive layer 8 only needs to transmit light having a wavelength in the visible light region and have adhesiveness.
From the viewpoint of optical performance, the pressure-sensitive adhesive layer 8 preferably has a refractive index of light having a wavelength of 500 to 600 nm of 1.45 to 1.7 and an extinction coefficient of approximately 0.
Examples of the material of the pressure-sensitive adhesive layer 8 include acrylic adhesives, silicon adhesives, urethane adhesives, polyvinyl butyral adhesives (PVA), ethylene-vinyl acetate adhesives (EVA), polyvinyl ether, and saturated amorphous polyesters. And melamine resin.
本発明の導電性積層体は、CRT用フィルタ、液晶表示装置用フィルタ、プラズマディスプレイパネル用フィルタ、エレクトロルミネッセンス(EL)ディスプレイ用フィルタ、フィールドエミッションディスプレイ(FED)用フィルタ、リアプロジェクションテレビ用フィルタ等の光学フィルタとして用いることができる。
プラズマディスプレイパネル用フィルタにおいては、本発明の導電性積層体以外に、他の層として、防眩性を確保するアンチグレア層、ニュートンリングの発生を抑制するアンチニュートンリング層、色補正層、赤外線カット層、紫外線カット層、ガスバリア層、帯電防止層、電磁波シールド層等を設けてもよい。
The conductive laminate of the present invention includes CRT filters, liquid crystal display filters, plasma display panel filters, electroluminescence (EL) display filters, field emission display (FED) filters, rear projection television filters, and the like. It can be used as an optical filter.
In the plasma display panel filter, in addition to the conductive laminate of the present invention, as other layers, an anti-glare layer that ensures anti-glare properties, an anti-Newton ring layer that suppresses the occurrence of Newton rings, a color correction layer, an infrared cut A layer, an ultraviolet cut layer, a gas barrier layer, an antistatic layer, an electromagnetic wave shielding layer, or the like may be provided.
また本発明の導電性積層体は、CRT、液晶表示装置、プラズマディスプレイパネル等の光学表示装置の前面に設けて用いることができる。 The conductive laminate of the present invention can be used by being provided on the front surface of an optical display device such as a CRT, a liquid crystal display device, or a plasma display panel.
また、本発明の導電性積層体は、液晶表示装置に用いる光源のリフレクターなどの光学物品として用いることができる。 In addition, the conductive laminate of the present invention can be used as an optical article such as a light source reflector used in a liquid crystal display device.
以下、本発明の実施例を具体的に説明する。
<実施例1>
基材2である、厚さ80μmのトリアセチルセルロースフィルム(波長550nmの光の屈折率1.51)(以下、TACフィルムと記す)上に、電離放射線硬化型アクリル系樹脂をウェットコーティングによって成膜し、物理膜厚5μmのハードコート層3を形成した。
Examples of the present invention will be specifically described below.
<Example 1>
An ionizing radiation curable acrylic resin is formed by wet coating on the base material 2, a triacetyl cellulose film having a thickness of 80 μm (refractive index of light having a wavelength of 550 nm of 1.51) (hereinafter referred to as TAC film). Then, a hard coat layer 3 having a physical film thickness of 5 μm was formed.
該ハードコート層成膜済TACフィルム上に、図2に示すロール・ツー・ロールの真空成膜装置にて、プライマー層4、導電性機能層5、低屈折率透明薄膜層6を形成する。
図2に示す真空成膜装置の概要を説明する。図2に示す真空成膜装置の概要を説明する。まず、スパッタ・カソード1〜5(SC1、SC2、SC3、SC4、SC5)は、デュアルマグネトロン・スパッタリング法(以下DMS法)及びパルスマグネトロン・スパッタリング法(以下PMS法)の切り替えが可能であり、本実施例1では、DMS法を用いるため、DMSカソードが配置されており、それぞれのカソードで別々の成膜気圧を設定出来るように仕切りが設けてある。該成膜装置を用いることで、巻出しローラーaにTAC原反をセットし、巻き取りローラーb方向にTACフィルムを搬送させることで、本発明にて例示した導電性積層体1におけるプライマー層4、導電性機能層5、低屈折率透明薄膜層6全てを1往路のみで積層することが可能である。
DMS法、PMS法共に、2つのカソードで正負交互に電圧印加されるため、成膜中の高エネルギー粒子による基板側へのボンバードメントが大きく、通常のDCマグネトロン・スパッタリング、RFマグネトロン・スパッタリングと比較して、イオンアシスト効果が大きく、緻密で、膜硬度、膜応力が強い膜が成膜される。
A primer layer 4, a conductive functional layer 5, and a low refractive index transparent thin film layer 6 are formed on the hard coat layer-deposited TAC film by a roll-to-roll vacuum film forming apparatus shown in FIG.
An outline of the vacuum film forming apparatus shown in FIG. 2 will be described. An outline of the vacuum film forming apparatus shown in FIG. 2 will be described. First, sputtering cathodes 1 to 5 (SC1, SC2, SC3, SC4, SC5) can be switched between a dual magnetron sputtering method (hereinafter referred to as DMS method) and a pulse magnetron sputtering method (hereinafter referred to as PMS method). In Example 1, since the DMS method is used, DMS cathodes are arranged, and partitions are provided so that different film formation pressures can be set for each cathode. By using this film forming apparatus, the TAC raw fabric is set on the unwinding roller a, and the TAC film is conveyed in the direction of the winding roller b, whereby the primer layer 4 in the conductive laminate 1 exemplified in the present invention. The conductive functional layer 5 and the low-refractive-index transparent thin film layer 6 can all be laminated in only one outward path.
In both DMS and PMS methods, positive and negative voltages are applied alternately at the two cathodes, so bombardment to the substrate side due to high-energy particles during film formation is large. Compared with normal DC magnetron sputtering and RF magnetron sputtering. Thus, a film having a large ion assist effect, a dense film having a high film hardness and a high film stress is formed.
図2に示す成膜装置を用い、TACフィルムを搬送させながら、Siターゲットが配置されたSC1にて、ハードコート層3上に、SiOxをDMS法により堆積させ、物理膜厚3nmのプライマー層4を形成した。この際、スパッタガスとしてAr、反応性ガスとしてO2を用い、流量はそれぞれ200sccm、30sccmであり、成膜気圧は0.3Paとして成膜を行なった。 Using the film forming apparatus shown in FIG. 2, while transporting the TAC film, SiO x is deposited on the hard coat layer 3 by the DMS method on the SC 1 on which the Si target is arranged, and a primer layer having a physical film thickness of 3 nm. 4 was formed. At this time, Ar was used as the sputtering gas, O 2 was used as the reactive gas, the flow rates were 200 sccm and 30 sccm, respectively, and the film formation pressure was 0.3 Pa.
ついで、以下のようにして高屈折率金属化合物層11、金属薄膜層12、および高屈折率金属化合物層13からなる導電性機能層5を形成した。
図2に示す成膜装置を用い、TACフィルムを搬送させながら、SC2にて、プライマー層4上に、インジウム中にセリウム10原子%を含有する透明導電酸化物材料(ICO)をDMS法により堆積させ、物理膜厚27nmの高屈折率金属化合物層11(波長550nmの光の屈折率2.2、消衰係数0.001)を形成した。この際、スパッタガスとしてAr、反応性ガスとしてO2を用い、流量はそれぞれ200sccm、3sccmであり、成膜気圧は0.3Paとして成膜を行なった。
Subsequently, the conductive functional layer 5 including the high refractive index metal compound layer 11, the metal thin film layer 12, and the high refractive index metal compound layer 13 was formed as follows.
Using the film forming apparatus shown in FIG. 2, a transparent conductive oxide material (ICO) containing 10 atomic% of cerium in indium is deposited on the primer layer 4 by SC2 while transporting the TAC film. Thus, a high refractive index metal compound layer 11 having a physical thickness of 27 nm (a refractive index of light having a wavelength of 550 nm of 2.2 and an extinction coefficient of 0.001) was formed. At this time, Ar was used as the sputtering gas, O 2 was used as the reactive gas, the flow rates were 200 sccm and 3 sccm, respectively, and the film formation pressure was 0.3 Pa.
次に、図2に示す成膜装置を用い、TACフィルムを搬送させながら、SC3にて、高屈折率金属化合物層11上に、銀中に金1.5原子%および銅0.5原子%を含有する合金をDMS法により堆積させ、物理膜厚9nmの金属薄膜層12(波長550nmの光の屈折率0.09、消衰係数3.51)を形成した。この際、スパッタガスとしてArを用い、流量は200sccm、成膜気圧は0.3Paとして成膜を行なった。 Next, using the film forming apparatus shown in FIG. 2, while transporting the TAC film, at SC3, 1.5 atomic% of gold and 0.5 atomic% of copper in silver are deposited on the high refractive index metal compound layer 11. The metal thin film layer 12 having a physical film thickness of 9 nm (with a refractive index of 0.09 for light having a wavelength of 550 nm and an extinction coefficient of 3.51) was formed by depositing an alloy containing. At this time, Ar was used as the sputtering gas, the flow rate was 200 sccm, and the film formation pressure was 0.3 Pa.
更に、図2に示す成膜装置を用い、TACフィルムを搬送させながら、SC4にて、金属薄膜層12上に、インジウム中にセリウム10原子%を含有する透明導電酸化物材料(ICO)をDMS法により堆積させ、物理膜厚20nmの高屈折率金属化合物層13(波長550nmの光の屈折率2.2、消衰係数0.001)を形成した。この際、スパッタガスとしてAr、反応性ガスとしてO2を用い、流量はそれぞれ200sccm、3sccmであり、成膜気圧は0.3Paとして成膜を行なった。 Further, using the film forming apparatus shown in FIG. 2, while transporting the TAC film, a transparent conductive oxide material (ICO) containing 10 atomic% of cerium in indium is added to the metal thin film layer 12 by SC4 in SC4. A high refractive index metal compound layer 13 having a physical film thickness of 20 nm (a refractive index of light having a wavelength of 550 nm of 2.2 and an extinction coefficient of 0.001) was formed by the method. At this time, Ar was used as the sputtering gas, O 2 was used as the reactive gas, the flow rates were 200 sccm and 3 sccm, respectively, and the film formation pressure was 0.3 Pa.
ついで、図2に示す装置を用いて、TACフィルムを搬送させながら、SC5にて、高屈折率金属化合物層13上に、DMS法によりSiO2を堆積させ、物理膜厚40nmの低屈折率透明薄膜層6(波長550nmの光の屈折率1.46、消衰係数0)を形成した。この際、図2中のスパッタカソード5において示される2対のカソードには、それぞれSiターゲットが配置されており、該2対のSiターゲットが配置されたカソードにサイン波を正負交互に印加するが、その周波数は40kHzとした。また、スパッタガスをAr、反応性ガスをO2とし、それぞれ流量は、Arが200sccm、O2が100sccmであり、成膜気圧は0.3Paとして成膜を行なった。 Next, using the apparatus shown in FIG. 2, while transporting the TAC film, in SC5, SiO 2 is deposited on the high refractive index metal compound layer 13 by the DMS method, and a low refractive index transparent with a physical film thickness of 40 nm is obtained. A thin film layer 6 (refractive index of light of wavelength 550 nm 1.46, extinction coefficient 0) was formed. At this time, Si targets are respectively arranged on the two pairs of cathodes shown in the sputter cathode 5 in FIG. 2, and sine waves are alternately applied to the cathodes on which the two pairs of Si targets are arranged. The frequency was 40 kHz. Further, the sputtering gas was Ar, the reactive gas was O 2 , the flow rates were 200 sccm for Ar and 100 sccm for O 2 , respectively, and the film formation pressure was 0.3 Pa.
さらに、低屈折率透明薄膜層6上に、下記式(2)で表される有機珪素化合物を、図2に示す真空成膜装置とは別の真空成膜装置を用いて、抵抗加熱による真空蒸着法により堆積させ、物理膜厚6nmの防汚層7を形成した。更に、TACフィルムの他方の面に、アクリル系接着剤を塗布して粘着層8を形成し、導電性積層体1を得た。 Furthermore, the organic silicon compound represented by the following formula (2) is vacuum-resisted by resistance heating on the low refractive index transparent thin film layer 6 using a vacuum film forming apparatus different from the vacuum film forming apparatus shown in FIG. An antifouling layer 7 having a physical film thickness of 6 nm was formed by vapor deposition. Furthermore, the adhesive layer 8 was formed on the other surface of the TAC film by applying an acrylic adhesive to obtain the conductive laminate 1.
<実施例2> <Example 2>
該ハードコート層成膜済TACフィルム上に、図2に示すロール・ツー・ロールの真空成膜装置にて、プライマー層4、導電性機能層5、低屈折率透明薄膜層6を形成する。
図2中のスパッタ・カソード1〜5(SC1、SC2、SC3、SC4、SC5)には、それぞれPMSカソードが配置されており、それぞれのカソードで別々の成膜気圧を設定出来るように仕切りが設けてある。
A primer layer 4, a conductive functional layer 5, and a low refractive index transparent thin film layer 6 are formed on the hard coat layer-deposited TAC film by a roll-to-roll vacuum film forming apparatus shown in FIG.
Sputter cathodes 1 to 5 (SC1, SC2, SC3, SC4, and SC5) in FIG. 2 are each provided with a PMS cathode, and a partition is provided so that a different deposition pressure can be set for each cathode. It is.
図2に示す成膜装置を用い、TACフィルムを搬送させながら、SC1にて、ハードコート層3上に、SiOxをPMS法により堆積させ、物理膜厚3nmのプライマー層4を形成した。この際、スパッタガスとしてAr、反応性ガスとしてO2を用い、流量はそれぞれ200sccm、30sccmであり、成膜気圧は0.3Paとして成膜を行なった。 Using the film forming apparatus shown in FIG. 2, while transporting the TAC film, SiO x was deposited on the hard coat layer 3 by the PMS method at SC1 to form a primer layer 4 having a physical film thickness of 3 nm. At this time, Ar was used as the sputtering gas, O 2 was used as the reactive gas, the flow rates were 200 sccm and 30 sccm, respectively, and the film formation pressure was 0.3 Pa.
ついで、以下のようにして高屈折率金属化合物層11、金属薄膜層12、および高屈折率透明薄膜層13からなる導電性機能層5を形成した。
図2に示す成膜装置を用い、TACフィルムを搬送させながら、SC2にて、プライマー層4上に、インジウム中にセリウム10原子%を含有する透明導電酸化物材料(ICO)をPMS法により堆積させ、物理膜厚27nmの高屈折率金属化合物層11(波長550nmの光の屈折率2.2、消衰係数0.001)を形成した。この際、スパッタガスとしてAr、反応性ガスとしてO2を用い、流量はそれぞれ200sccm、3sccmであり、成膜気圧は0.3Paとして成膜を行なった。
Subsequently, the conductive functional layer 5 including the high refractive index metal compound layer 11, the metal thin film layer 12, and the high refractive index transparent thin film layer 13 was formed as follows.
Using the film forming apparatus shown in FIG. 2, a transparent conductive oxide material (ICO) containing 10 atomic% of cerium in indium is deposited on the primer layer 4 by SC2 while transporting the TAC film by the PMS method. Thus, a high refractive index metal compound layer 11 having a physical thickness of 27 nm (a refractive index of light having a wavelength of 550 nm of 2.2 and an extinction coefficient of 0.001) was formed. At this time, the O 2 using Ar, as a reactive gas as the sputtering gas, the flow rate is respectively 200 sccm, 3 sccm, the film formation pressure was subjected to film formation as 0.3 Pa.
次に、図2に示す成膜装置を用い、TACフィルムを搬送させながら、SC3にて、高屈折率金属化合物層11上に、銀中に金1.5原子%および銅0.5原子%を含有する合金をPMS法により堆積させ、物理膜厚9nmの金属薄膜層12(波長550nmの光の屈折率0.09、消衰係数3.51)を形成した。この際、スパッタガスとしてAr、流量は200sccmであり、成膜気圧は0.3Paとして成膜を行なった。 Next, using the film forming apparatus shown in FIG. 2, while transporting the TAC film, at SC3, 1.5 atomic% of gold and 0.5 atomic% of copper in silver are deposited on the high refractive index metal compound layer 11. A metal thin film layer 12 having a physical film thickness of 9 nm (with a refractive index of 0.09 for light having a wavelength of 550 nm and an extinction coefficient of 3.51) was formed by depositing an alloy containing. At this time, Ar was used as the sputtering gas, the flow rate was 200 sccm, and the film formation pressure was 0.3 Pa.
更に、図2に示す成膜装置を用い、TACフィルムを搬送させながら、SC4にて、金属薄膜層12上に、インジウム中にセリウム10原子%を含有する透明導電酸化物材料(ICO)をPMS法により堆積させ、物理膜厚20nmの高屈折率金属化合物層13(波長550nmの光の屈折率2.2、消衰係数0.001)を形成した。この際、スパッタガスとしてAr、反応性ガスとしてO2を用い、流量はそれぞれ200sccm、3sccmであり、成膜気圧は0.3Paとして成膜を行なった。 Further, using the film forming apparatus shown in FIG. 2, while transporting the TAC film, a transparent conductive oxide material (ICO) containing 10 atomic% of cerium in indium is formed on the metal thin film layer 12 by SC4 at SC4. A high refractive index metal compound layer 13 having a physical film thickness of 20 nm (a refractive index of light having a wavelength of 550 nm of 2.2 and an extinction coefficient of 0.001) was formed by the method. At this time, Ar was used as the sputtering gas, O 2 was used as the reactive gas, the flow rates were 200 sccm and 3 sccm, respectively, and the film formation pressure was 0.3 Pa.
ついで、図2に示す装置を用いて、TACフィルムを搬送させながら、SC5にて、高屈折率金属化合物層13上に、PMS法によりSiO2を堆積させ、物理膜厚40nmの低屈折率透明薄膜層6(波長550nmの光の屈折率1.46、消衰係数0)を形成した。この際、図2中のスパッタカソード5において示される2対のカソードには、それぞれSiターゲットが配置されており、該2対のSiターゲットが配置されたカソードにDCパルス波を正負交互に印加するが、その周波数は40kHzとした。また、スパッタガスをAr、反応性ガスをO2とし、それぞれ流量は、Arが200sccm、O2が100sccmであり、成膜気圧は0.3Paとして成膜を行なった。 Next, using the apparatus shown in FIG. 2, while transporting the TAC film, in SC5, SiO 2 is deposited on the high refractive index metal compound layer 13 by the PMS method, and a low refractive index transparent having a physical film thickness of 40 nm is obtained. A thin film layer 6 (refractive index of light of wavelength 550 nm 1.46, extinction coefficient 0) was formed. At this time, Si targets are respectively disposed on the two pairs of cathodes shown in the sputter cathode 5 in FIG. 2, and DC pulse waves are alternately applied to the cathodes on which the two pairs of Si targets are disposed. However, the frequency was 40 kHz. Further, the sputtering gas was Ar, the reactive gas was O 2 , the flow rates were 200 sccm for Ar and 100 sccm for O 2 , respectively, and the film formation pressure was 0.3 Pa.
さらに、低屈折率透明薄膜層6上に、上記式(2)で表される有機珪素化合物を、図2に示す真空成膜装置とは別の真空成膜装置を用いて、抵抗加熱による真空蒸着法により堆積させ、物理膜厚6nmの防汚層7を形成した。更に、TACフィルムの他方の面に、アクリル系接着剤を塗布して粘着層8を形成し、導電性積層体1を得た。 Further, a vacuum by resistance heating is applied to the organosilicon compound represented by the above formula (2) on the low refractive index transparent thin film layer 6 by using a vacuum film forming apparatus different from the vacuum film forming apparatus shown in FIG. An antifouling layer 7 having a physical film thickness of 6 nm was formed by vapor deposition. Furthermore, the adhesive layer 8 was formed on the other surface of the TAC film by applying an acrylic adhesive to obtain the conductive laminate 1.
<実施例3>
該ハードコート層成膜済TACフィルム上に、図3に示すロール・ツー・ロールの真空成膜装置にて、プライマー層4、導電性機能層5、低屈折率透明薄膜層6を形成する。
図2に示す真空成膜装置の概要を説明する。図2に示す真空成膜装置の概要を説明する。まず、スパッタ・カソード1、7(SC1、SC7)にはRFマグネトロン・スパッタカソードを、スパッタ・カソード2、3、4(SC2、SC3、SC4)にはDCマグネトロン・スパッタ・カソードを、スパッタ・カソード5にはDMSカソードを、スパッタ・カソード6(SC6)にはPMSカソードを配置してあり、それぞれのカソードで成膜気圧を設定出来るように仕切りが設けてある。該成膜装置を用いることで、巻出しローラーaにTAC原反をセットし、巻き取りローラーb方向にTACフィルムを搬送させることで、本発明にて例示した導電性積層体1におけるプライマー層4、導電性機能層5、低屈折率透明薄膜層6全てを1往路のみで積層することが可能である。
<Example 3>
The primer layer 4, the conductive functional layer 5, and the low refractive index transparent thin film layer 6 are formed on the hard coat layer-deposited TAC film by a roll-to-roll vacuum film forming apparatus shown in FIG.
An outline of the vacuum film forming apparatus shown in FIG. 2 will be described. An outline of the vacuum film forming apparatus shown in FIG. 2 will be described. First, an RF magnetron sputter cathode is used for the sputter cathodes 1 and 7 (SC1, SC7), a DC magnetron sputter cathode is used for the sputter cathodes 2, 3, 4 (SC2, SC3, SC4), and a sputter cathode. A DMS cathode is arranged at 5 and a PMS cathode is arranged at the sputter cathode 6 (SC6), and a partition is provided so that the film formation pressure can be set at each cathode. By using this film forming apparatus, the TAC raw fabric is set on the unwinding roller a, and the TAC film is conveyed in the direction of the winding roller b, whereby the primer layer 4 in the conductive laminate 1 exemplified in the present invention. The conductive functional layer 5 and the low-refractive-index transparent thin film layer 6 can all be laminated in only one outward path.
図3に示す成膜装置を用い、TACフィルムを搬送させながら、SC1にて、ハードコート層3上に、SiOxをRFマグネトロン・スパッタリング法により堆積させ、物理膜厚3nmのプライマー層4を形成した。また、スパッタガスをAr、反応性ガスをO2とし、それぞれ流量は、Arが200sccm、O2が30sccmであり、成膜気圧は0.3Paとして成膜を行なった。 Using the film forming apparatus shown in FIG. 3, while conveying the TAC film, formed at SC1, on the hard coat layer 3, a SiO x deposited by RF magnetron sputtering method, a primer layer 4 of a physical thickness 3nm did. Further, the sputtering gas was Ar, the reactive gas was O 2 , the flow rates were 200 sccm for Ar and 30 sccm for O 2 , respectively, and the film formation pressure was 0.3 Pa.
ついで、以下のようにして高屈折率金属化合物層11、金属薄膜層12、および高屈折率金属化合物層13からなる導電性機能層5を形成した。
図3に示す成膜装置を用い、TACフィルムを搬送させながら、SC2にて、プライマー層4上に、インジウム中にセリウム10原子%を含有する透明導電酸化物材料(ICO)をDCマグネトロン・スパッタリング法により堆積させ、物理膜厚27nmの高屈折率金属化合物層11(波長550nmの光の屈折率2.2、消衰係数0.001)を形成した。この際、スパッタガスとしてAr、反応性ガスとしてO2を用い、流量はそれぞれ200sccm、3sccmであり、成膜気圧は0.3Paとして成膜を行なった。
Subsequently, the conductive functional layer 5 including the high refractive index metal compound layer 11, the metal thin film layer 12, and the high refractive index metal compound layer 13 was formed as follows.
Using the film forming apparatus shown in FIG. 3, a transparent conductive oxide material (ICO) containing 10 atomic% of cerium in indium is applied on the primer layer 4 by DC magnetron sputtering on the primer layer 4 while conveying the TAC film. A high refractive index metal compound layer 11 having a physical film thickness of 27 nm (refractive index of light having a wavelength of 550 nm, 2.2, extinction coefficient of 0.001) was formed by the method. At this time, Ar was used as the sputtering gas, O 2 was used as the reactive gas, the flow rates were 200 sccm and 3 sccm, respectively, and the film formation pressure was 0.3 Pa.
次に、図3に示す成膜装置を用い、TACフィルムを搬送させながら、SC3にて、高屈折率金属化合物層11上に、銀中に金1.5原子%および銅0.5原子%を含有する合金をDCマグネトロン・スパッタリング法により堆積させ、物理膜厚9nmの金属薄膜層12(波長550nmの光の屈折率0.09、消衰係数3.51)を形成した。この際、スパッタガスとしてAr、流量は200sccmであり、成膜気圧は0.3Paとして成膜を行なった。 Next, using the film forming apparatus shown in FIG. 3, while transporting the TAC film, at SC3, 1.5 atomic% of gold and 0.5 atomic% of copper in silver are formed on the high refractive index metal compound layer 11. Was deposited by a DC magnetron sputtering method to form a metal thin film layer 12 having a physical film thickness of 9 nm (refractive index of light having a wavelength of 550 nm of 0.09, extinction coefficient of 3.51). At this time, Ar was used as the sputtering gas, the flow rate was 200 sccm, and the film formation pressure was 0.3 Pa.
更に、図3に示す成膜装置を用い、TACフィルムを搬送させながら、SC4にて、金属薄膜層12上に、インジウム中にセリウム10原子%を含有する透明導電酸化物材料(ICO)をDCマグネトロン・スパッタリング法により堆積させ、物理膜厚20nmの高屈折率金属化合物層13(波長550nmの光の屈折率2.2、消衰係数0.001)を形成した。この際、スパッタガスとしてAr、反応性ガスとしてO2を用い、流量はそれぞれ200sccm、3sccmであり、成膜気圧は0.3Paとして成膜を行なった。 Further, using the film forming apparatus shown in FIG. 3, while transporting the TAC film, a transparent conductive oxide material (ICO) containing 10 atomic% of cerium in indium on the metal thin film layer 12 is converted into DC by SC4. A high refractive index metal compound layer 13 having a physical film thickness of 20 nm (refractive index of light having a wavelength of 550 nm, 2.2, extinction coefficient of 0.001) was formed by magnetron sputtering. At this time, Ar was used as the sputtering gas, O 2 was used as the reactive gas, the flow rates were 200 sccm and 3 sccm, respectively, and the film formation pressure was 0.3 Pa.
ついで、図3に示す装置を用いて、TACフィルムを搬送させながら、SC5にて、高屈折率金属化合物層13上に、SiO2を堆積させ、物理膜厚40nmの低屈折率透明薄膜層6(波長550nmの光の屈折率1.46、消衰係数0)を形成した。図3中のスパッタカソード5において示される2対のカソードには、それぞれSiターゲットが配置されており、該2対のSiターゲットが配置されたカソードにサイン波を正負交互に印加するが、その周波数は40kHzとした。また、スパッタガスをAr、反応性ガスをO2とし、それぞれ流量は、Arが200sccm、O2が100sccmであり、成膜気圧は0.3Paとして成膜を行なった。 Next, using the apparatus shown in FIG. 3, while transporting the TAC film, in SC5, SiO 2 is deposited on the high refractive index metal compound layer 13 and the low refractive index transparent thin film layer 6 having a physical thickness of 40 nm is deposited. (Refractive index 1.46 of light with a wavelength of 550 nm, extinction coefficient 0) was formed. Si targets are respectively arranged on the two pairs of cathodes shown in the sputter cathode 5 in FIG. 3, and sine waves are alternately applied to the cathodes on which the two pairs of Si targets are arranged. Was 40 kHz. Further, the sputtering gas was Ar, the reactive gas was O 2 , the flow rates were 200 sccm for Ar and 100 sccm for O 2 , respectively, and the film formation pressure was 0.3 Pa.
さらに、低屈折率透明薄膜層6上に、上記式(2)で表される有機珪素化合物を、図2に示す真空成膜装置とは別の真空成膜装置を用いて、抵抗加熱による真空蒸着法により堆積させ、物理膜厚6nmの防汚層7を形成した。更に、TACフィルムの他方の面に、アクリル系接着剤を塗布して粘着層8を形成し、導電性積層体1を得た。 Further, a vacuum by resistance heating is applied to the organosilicon compound represented by the above formula (2) on the low refractive index transparent thin film layer 6 by using a vacuum film forming apparatus different from the vacuum film forming apparatus shown in FIG. An antifouling layer 7 having a physical film thickness of 6 nm was formed by vapor deposition. Furthermore, the adhesive layer 8 was formed on the other surface of the TAC film by applying an acrylic adhesive to obtain the conductive laminate 1.
<実施例4>
実施例3と同様の手段により、プライマー層4、高屈折率金属化合物層11、金属薄膜層12、および高屈折率金属化合物層13の成膜を行ない、SC6にて、高屈折率金属化合物層13上に、PMS法を用いてSiO2を堆積させ、物理膜厚40nmの低屈折率透明薄膜層6(波長550nmの光の屈折率1.46、消衰係数0)を形成した。図2中のスパッタカソード5において示される2対のカソードには、それぞれSiターゲットが配置されており、該2対のSiターゲットが配置されたカソードに正負交互にDCパルス波の電圧を印加するが、その周波数は40kHzとした。また、スパッタガスをAr、反応性ガスをO2とし、それぞれ流量は、Arが200sccm、O2が100sccmであり、成膜気圧は0.3Paとして成膜を行なった。
<Example 4>
The primer layer 4, the high-refractive-index metal compound layer 11, the metal thin film layer 12, and the high-refractive-index metal compound layer 13 are formed by the same means as in Example 3. In SC6, the high-refractive-index metal compound layer is formed. 13 was deposited using PMS method to form a low-refractive-index transparent thin film layer 6 having a physical film thickness of 40 nm (a refractive index of 1.46 for light having a wavelength of 550 nm and an extinction coefficient of 0). In each of the two pairs of cathodes shown in the sputter cathode 5 in FIG. 2, Si targets are arranged, and a DC pulse wave voltage is applied alternately to the cathode on which the two pairs of Si targets are arranged. The frequency was 40 kHz. Further, the sputtering gas was Ar, the reactive gas was O 2 , the flow rates were 200 sccm for Ar and 100 sccm for O 2 , respectively, and the film formation pressure was 0.3 Pa.
さらに、低屈折率透明薄膜層6上に、上式(2)で表される有機珪素化合物を、実施例1と同様に、抵抗加熱による真空蒸着法により堆積させ、物理膜厚6nmの防汚層7を形成した。更に、TACフィルムの他方の面に、アクリル系接着剤を塗布して粘着層8を形成し、導電性積層体1を得た。 Further, an organic silicon compound represented by the above formula (2) is deposited on the low-refractive-index transparent thin film layer 6 by a vacuum evaporation method using resistance heating in the same manner as in Example 1 to provide an antifouling film having a physical film thickness of 6 nm. Layer 7 was formed. Furthermore, the adhesive layer 8 was formed on the other surface of the TAC film by applying an acrylic adhesive to obtain the conductive laminate 1.
<実施例5>
実施例3と同様の手段により、プライマー層4、高屈折率金属化合物層11、金属薄膜層12、および高屈折率金属化合物層13の成膜を行ない、SC7にて、高屈折率金属化合物層13上に、RFマグネトロン・スパッタリング法を用いてSiO2を堆積させ、物理膜厚40nmの低屈折率透明薄膜層6(波長550nmの光の屈折率1.46、消衰係数0)を形成した。
RFマグネトロンスパッタリングの周波数は13.56MHzとした。また、スパッタガスをAr、反応性ガスをO2とし、それぞれ流量は、Arが200sccm、O2が100sccmであり、成膜気圧は0.3Paとして成膜を行なった。
<Example 5>
The primer layer 4, the high-refractive-index metal compound layer 11, the metal thin film layer 12, and the high-refractive-index metal compound layer 13 are formed by the same means as in Example 3. At SC7, the high-refractive-index metal compound layer is formed. SiO 2 was deposited on the substrate 13 by RF magnetron sputtering to form a low-refractive-index transparent thin film layer 6 having a physical film thickness of 40 nm (a refractive index of 1.46 for light having a wavelength of 550 nm and an extinction coefficient of 0). .
The frequency of RF magnetron sputtering was 13.56 MHz. Further, the sputtering gas was Ar, the reactive gas was O 2 , the flow rates were 200 sccm for Ar and 100 sccm for O 2 , respectively, and the film formation pressure was 0.3 Pa.
さらに、低屈折率透明薄膜層6上に、上式(2)で表される有機珪素化合物を、実施例1と同様に、抵抗加熱による真空蒸着法により堆積させ、物理膜厚6nmの防汚層7を形成した。更に、TACフィルムの他方の面に、アクリル系接着剤を塗布して粘着層8を形成し、導電性積層体1を得た。 Further, an organic silicon compound represented by the above formula (2) is deposited on the low-refractive-index transparent thin film layer 6 by a vacuum evaporation method using resistance heating in the same manner as in Example 1 to provide an antifouling film having a physical film thickness of 6 nm. Layer 7 was formed. Furthermore, the adhesive layer 8 was formed on the other surface of the TAC film by applying an acrylic adhesive to obtain the conductive laminate 1.
<実施例6>
実施例3と同様の手段により、プライマー層4、高屈折率金属化合物層11、金属薄膜層12、および高屈折率金属化合物層13の成膜を行なった後、図2に示すロール・ツー・ロール型真空成膜装置とは別のロール・ツー・ロール型真空成膜装置を用いて、高屈折率金属化合物層13上に、電子ビーム蒸着法を用いてSiO2を堆積させ、物理膜厚40nmの低屈折率透明薄膜層6(波長550nmの光の屈折率1.46、消衰係数0)を形成した。
<Example 6>
After the primer layer 4, the high refractive index metal compound layer 11, the metal thin film layer 12, and the high refractive index metal compound layer 13 are formed by the same means as in Example 3, the roll-to- Using a roll-to-roll type vacuum film forming apparatus different from the roll type vacuum film forming apparatus, SiO 2 is deposited on the high refractive index metal compound layer 13 by using an electron beam vapor deposition method to obtain a physical film thickness. A 40 nm low-refractive-index transparent thin film layer 6 (a refractive index of 1.46 light having a wavelength of 550 nm and an extinction coefficient of 0) was formed.
さらに、低屈折率透明薄膜層6上に、上式(2)で表される有機珪素化合物を、実施例1と同様に、抵抗加熱による真空蒸着法により堆積させ、物理膜厚6nmの防汚層7を形成した。更に、TACフィルムの他方の面に、アクリル系接着剤を塗布して粘着層8を形成し、導電性積層体1を得た。 Further, an organic silicon compound represented by the above formula (2) is deposited on the low-refractive-index transparent thin film layer 6 by a vacuum evaporation method using resistance heating in the same manner as in Example 1 to provide an antifouling film having a physical film thickness of 6 nm. Layer 7 was formed. Furthermore, the adhesive layer 8 was formed on the other surface of the TAC film by applying an acrylic adhesive to obtain the conductive laminate 1.
<比較例1>
実施例1と全く同様にプライマー層4、導電性機能層5、低屈折率透明薄膜層6を成膜し、防汚層7に関しては、下記式(3)で表されるシロキサン結合を主鎖としないフッ素含有珪素化合物を、抵抗加熱による真空蒸着法により堆積させ、物理膜厚6nmの防汚層7を形成した。更に、TACフィルムの他方の面に、アクリル系接着剤を塗布して粘着層8を形成し、導電性積層体1を得た。
<Comparative Example 1>
The primer layer 4, the conductive functional layer 5, and the low refractive index transparent thin film layer 6 were formed in exactly the same manner as in Example 1, and the antifouling layer 7 had a siloxane bond represented by the following formula (3) as the main chain. A fluorine-containing silicon compound not deposited was deposited by resistance heating vacuum deposition to form an antifouling layer 7 having a physical thickness of 6 nm. Furthermore, the adhesive layer 8 was formed on the other surface of the TAC film by applying an acrylic adhesive to obtain the conductive laminate 1.
<比較例2>
実施例2と全く同様にプライマー層4、導電性機能層5、低屈折率透明薄膜層6を成膜し、防汚層7に関しては、上記式(3)で表されるシロキサン結合を主鎖としないフッ素含有珪素化合物を、抵抗加熱による真空蒸着法により堆積させ、物理膜厚6nmの防汚層7を形成した。更に、TACフィルムの他方の面に、アクリル系接着剤を塗布して粘着層8を形成し、導電性積層体1を得た。
<Comparative example 2>
The primer layer 4, the conductive functional layer 5, and the low refractive index transparent thin film layer 6 were formed in the same manner as in Example 2, and the siloxane bond represented by the above formula (3) was used as the main chain for the antifouling layer 7. A fluorine-containing silicon compound not deposited was deposited by resistance heating vacuum deposition to form an antifouling layer 7 having a physical thickness of 6 nm. Furthermore, the adhesive layer 8 was formed on the other surface of the TAC film by applying an acrylic adhesive to obtain the conductive laminate 1.
<比較例3>
実施例3と全く同様にプライマー層4、導電性機能層5、低屈折率透明薄膜層6を成膜し、防汚層7に関しては、上記式(3)で表されるシロキサン結合を主鎖としないフッ素含有珪素化合物を、抵抗加熱による真空蒸着法により堆積させ、物理膜厚6nmの防汚層7を形成した。更に、TACフィルムの他方の面に、アクリル系接着剤を塗布して粘着層8を形成し、導電性積層体1を得た。
<Comparative Example 3>
The primer layer 4, the conductive functional layer 5, and the low refractive index transparent thin film layer 6 were formed in the same manner as in Example 3, and the antifouling layer 7 had a siloxane bond represented by the above formula (3) as the main chain. A fluorine-containing silicon compound not deposited was deposited by resistance heating vacuum deposition to form an antifouling layer 7 having a physical thickness of 6 nm. Furthermore, the adhesive layer 8 was formed on the other surface of the TAC film by applying an acrylic adhesive to obtain the conductive laminate 1.
<比較例4>
実施例4と全く同様にプライマー層4、導電性機能層5、低屈折率透明薄膜層6を成膜し、防汚層7に関しては、上記式(3)で表されるシロキサン結合を主鎖としないフッ素含有珪素化合物を、抵抗加熱による真空蒸着法により堆積させ、物理膜厚6nmの防汚層7を形成した。更に、TACフィルムの他方の面に、アクリル系接着剤を塗布して粘着層8を形成し、導電性積層体1を得た。
<Comparative example 4>
In the same manner as in Example 4, the primer layer 4, the conductive functional layer 5, and the low refractive index transparent thin film layer 6 were formed, and the antifouling layer 7 had the siloxane bond represented by the above formula (3) as the main chain. A fluorine-containing silicon compound not deposited was deposited by resistance heating vacuum deposition to form an antifouling layer 7 having a physical thickness of 6 nm. Furthermore, the adhesive layer 8 was formed on the other surface of the TAC film by applying an acrylic adhesive to obtain the conductive laminate 1.
<比較例5>
実施例5と全く同様にプライマー層4、導電性機能層5、低屈折率透明薄膜層6を成膜し、防汚層7に関しては、上記式(3)で表されるシロキサン結合を主鎖としないフッ素含有珪素化合物を、抵抗加熱による真空蒸着法により堆積させ、物理膜厚6nmの防汚層7を形成した。更に、TACフィルムの他方の面に、アクリル系接着剤を塗布して粘着層8を形成し、導電性積層体1を得た。
<Comparative Example 5>
In the same manner as in Example 5, the primer layer 4, the conductive functional layer 5, and the low refractive index transparent thin film layer 6 were formed, and the antifouling layer 7 had a siloxane bond represented by the above formula (3) as the main chain. A fluorine-containing silicon compound not deposited was deposited by resistance heating vacuum deposition to form an antifouling layer 7 having a physical thickness of 6 nm. Furthermore, the adhesive layer 8 was formed on the other surface of the TAC film by applying an acrylic adhesive to obtain the conductive laminate 1.
<比較例6>
実施例6と全く同様にプライマー層4、導電性機能層5、低屈折率透明薄膜層6を成膜し、防汚層7に関しては、上記式(3)で表されるシロキサン結合を主鎖としないフッ素含有珪素化合物を、抵抗加熱による真空蒸着法により堆積させ、物理膜厚6nmの防汚層7を形成した。更に、TACフィルムの他方の面に、アクリル系接着剤を塗布して粘着層8を形成し、導電性積層体1を得た。
<Comparative Example 6>
In the same manner as in Example 6, the primer layer 4, the conductive functional layer 5, and the low refractive index transparent thin film layer 6 were formed, and the antifouling layer 7 had a siloxane bond represented by the above formula (3) as the main chain. A fluorine-containing silicon compound not deposited was deposited by resistance heating vacuum deposition to form an antifouling layer 7 having a physical thickness of 6 nm. Furthermore, the adhesive layer 8 was formed on the other surface of the TAC film by applying an acrylic adhesive to obtain the conductive laminate 1.
<評価>
実施例1〜6および比較例1〜6で得られた導電性積層体1について、以下の評価を行った。結果を表1〜4に示す。
(1)耐湿布擦傷試験−1:
実施例1〜6、比較例1〜6によって成膜したサンプルに対し、純水を十分に染み込ませたクリーンウェス(GUARDNER CO.,Ltd製CLEANROOM WIPER)を擦傷試験機(TESTER SANGYO CO.,Ltd製 学振型摩擦堅牢度試験機AB−301)に固定し、500gfの荷重を掛けて、100、200、300、400、500往復の擦傷試験を各サンプルに対して、それぞれ行ない、サンプルの磨耗状態を光学顕微鏡にて観察する。この際、高屈折率薄膜層11/金属薄膜層12界面、金属薄膜層12/高屈折率薄膜層13界面で層間剥離が起きた結果の磨耗であるかどうかについて、磨耗部をレンズ反射測定機(OLYMPUS社製USPM−RU)にて測定し、得られる分光カーブより確認した(表1)。
<Evaluation>
The following evaluation was performed about the electroconductive laminated body 1 obtained in Examples 1-6 and Comparative Examples 1-6. The results are shown in Tables 1-4.
(1) Wet cloth scratch test-1:
A clean waste (GUARDNER CO., Ltd. CLEANROOM WIPER) in which pure water was sufficiently impregnated into the samples formed in Examples 1 to 6 and Comparative Examples 1 to 6 was used as a scratch tester (TESTER SANGYO CO., Ltd.). Affixed to a scientific vibration-type friction fastness tester AB-301), a load of 500 gf is applied, and a 100, 200, 300, 400, 500 reciprocal scratch test is performed on each sample, and the sample wears. The state is observed with an optical microscope. At this time, whether or not the wear is a result of delamination at the interface between the high refractive index thin film layer 11 / metal thin film layer 12 and the interface between the metal thin film layer 12 / high refractive index thin film layer 13 is determined by using a lens reflection measuring device. It measured with (OLYMPUS company make USPM-RU), and confirmed from the obtained spectral curve (Table 1).
(2)耐湿布擦傷試験−2:
実施例1〜6、比較例1〜6によって成膜したサンプルに対し、鉱物系油剤及び非イオン系界面活性剤を含んだ化学雑巾(大日本除虫菊株式会社製サッサ)を擦傷試験機(TESTER SANGYO CO.,Ltd製 学振型摩擦堅牢度試験機AB−301)に固定し、500gfの荷重を掛けて、100、200、300、400、500往復の擦傷試験を各サンプルに対して、それぞれ行ない、サンプルの磨耗状態を光学顕微鏡にて観察する。この際、高屈折率薄膜層11/金属薄膜層12界面、金属薄膜層12/高屈折率薄膜層13界面で層間剥離が起きた結果の磨耗であるかどうかについて、磨耗部をレンズ反射測定機(OLYMPUS社製USPM−RU)にてスポットサイズ12.5μmを測定し、得られる分光カーブより確認した(表2)。
(2) Wet cloth abrasion test-2:
For samples formed according to Examples 1 to 6 and Comparative Examples 1 to 6, a chemical dust cloth (Sassa, manufactured by Dainippon Insect Chrysanthemum Co., Ltd.) containing a mineral oil and a nonionic surfactant was used as a scratch tester (TESTER SANGYO). CO., Ltd. Gakushin-type friction fastness tester AB-301), 500 gf load is applied, and 100, 200, 300, 400, 500 reciprocal scratch tests are performed on each sample. The wear state of the sample is observed with an optical microscope. At this time, whether or not the wear is a result of delamination at the interface between the high refractive index thin film layer 11 / metal thin film layer 12 and the interface between the metal thin film layer 12 / high refractive index thin film layer 13 is determined by using a lens reflection measuring device. A spot size of 12.5 μm was measured by (USPM-RU manufactured by OLYMPUS) and confirmed from the obtained spectral curve (Table 2).
(3)薄膜強度試験:
特許第3562070号記載の薄膜強度評価装置を用いて、実施例1〜6、比較例1〜6によって作成したサンプルの薄膜部のヤング率(GPa)を測定する(表3)。
(3) Thin film strength test:
Using the thin film strength evaluation apparatus described in Japanese Patent No. 3562070, the Young's modulus (GPa) of the thin film portion of the samples prepared in Examples 1 to 6 and Comparative Examples 1 to 6 is measured (Table 3).
(4)純水転落角及び純水接触角測定試験:
実施例1〜6、比較例1〜6によって成膜したサンプルの純水転落角及び純水接触角を、自動接触角計(協和界面化学(株)製CA−V型)を用いて測定した。
(4) Pure water falling angle and pure water contact angle measurement test:
The pure water falling angle and pure water contact angle of the samples formed in Examples 1 to 6 and Comparative Examples 1 to 6 were measured using an automatic contact angle meter (CA-V type manufactured by Kyowa Interface Chemical Co., Ltd.). .
(5)ふき取り試験:
実施例1のサンプルを、テスター産業株式会社製擦傷試験機「AB−301 学振型摩擦堅牢度試験機」を用いて、200g荷重にて100往復させた。ふき取り試験する前と、10回、30回、50回、100回試験を行ったときの純水接触角を表5に示す。
(5) Wiping test:
The sample of Example 1 was reciprocated 100 times at a load of 200 g using a scratch tester “AB-301 Gakushin type friction fastness tester” manufactured by Tester Sangyo Co., Ltd. Table 5 shows pure water contact angles before the wiping test and when the test was performed 10, 30, 50, and 100 times.
(1)(2)の評価における比較例1〜6のサンプルについて、磨耗が発生した箇所をレンズ反射測定機(OLYMPUS社製USPM−RU)にて測定した結果、得られる分光カーブより、表1、表2にて「傷多数」「膜剥離」と示した条件では、高屈折率薄膜層11/金属薄膜層12界面、金属薄膜層12/高屈折率薄膜層13界面で層間剥離が起きていることが確認出来た。また、特に「膜剥離」と示した条件では、高屈折率薄膜層11/金属薄膜層12界面での層間剥離が完全に起きており、分光カーブからは、ハードコート層3ないしプライマー層4ないし高屈折率薄膜層11までしか確認されなかった。 (1) As for the samples of Comparative Examples 1 to 6 in the evaluation of (2), the location where wear occurred was measured with a lens reflection measuring machine (USPM-RU manufactured by OLYMPUS). Under the conditions shown in Table 2 as “many scratches” and “film peeling”, delamination occurred at the interface between the high refractive index thin film layer 11 / metal thin film layer 12 and the interface between the metal thin film layer 12 / high refractive index thin film layer 13 I was able to confirm. In particular, delamination at the interface between the high refractive index thin film layer 11 and the metal thin film layer 12 occurred completely under the condition indicated as “film peeling”. From the spectral curve, the hard coat layer 3 to the primer layer 4 to Only the high refractive index thin film layer 11 was confirmed.
一方、(1)(2)の評価における実施例1〜6のサンプルについては、膜自体に傷がついておらず、高屈折率薄膜層11/金属薄膜層12界面、金属薄膜層12/高屈折率薄膜層13界面で層間剥離が起きいないことが確認出来た。 On the other hand, in the samples of Examples 1 to 6 in the evaluation of (1) and (2), the film itself is not damaged, and the interface between the high refractive index thin film layer 11 / metal thin film layer 12 and the metal thin film layer 12 / high refraction. It was confirmed that no delamination occurred at the interface of the thin film layer 13.
また、評価(3)の測定結果より各実施例の導電性積層体1における薄膜のヤング率測定結果より確認することが出来る。実施例1〜6に関しては、低屈折率透明薄膜層6をRFマグネトロン・スパッタリング法、電子ビーム蒸着法により成膜した実施例5、実施例6の薄膜のヤング率は、低屈折率透明薄膜層6のみをDMS法、PMS法で成膜した実施例3、実施例4の薄膜のヤング率より低く、プライマー層4、導電性機能層5、低屈折率透明薄膜層6全てをDMS法、PMS法で成膜した実施例1、実施例2のヤング率が最も高いことが確認出来る。しかし、評価(2)(3)の耐湿布擦傷試験においては、各実施例ともに傷が入っておらず、金属層12と高屈折率金属化合物層12、13との界面での剥離は観察されなかった。 Moreover, it can confirm from the measurement result of evaluation (3) from the Young's modulus measurement result of the thin film in the electroconductive laminated body 1 of each Example. Regarding Examples 1 to 6, the low refractive index transparent thin film layer 6 was formed by RF magnetron sputtering method or electron beam evaporation method. 6 is lower than the Young's modulus of the thin films of Example 3 and Example 4 formed by the DMS method and the PMS method. The primer layer 4, the conductive functional layer 5, and the low refractive index transparent thin film layer 6 are all formed by the DMS method and the PMS. It can be confirmed that the Young's modulus of Examples 1 and 2 formed by the method is the highest. However, in each of the examples (2) and (3) in the moisture-resistant scratch test, no scratch was found in each example, and peeling at the interface between the metal layer 12 and the high refractive index metal compound layers 12 and 13 was observed. There wasn't.
一方、評価(3)の測定結果より各比較例の導電性積層体1における薄膜のヤング率測定結果より確認することが出来る。実施例の場合と同様に、低屈折率透明薄膜層6をRFマグネトロン・スパッタリング法、電子ビーム蒸着法により成膜した比較例5、比較例6の薄膜のヤング率は、低屈折率透明薄膜層6のみをDMS法、PMS法で成膜した比較例3、比較例4の薄膜のヤング率より低く、プライマー層4、導電性機能層5、低屈折率透明薄膜層6全てをDMS法、PMS法で成膜した比較例1、比較例2のヤング率が最も高いことが確認出来る。また、実施例と比較して防汚層7のみが違う材料であるが、プライマー層4、導電性機能層5、低屈折率薄膜層6に関しては、同様であるため、得られたヤング率もほぼ同等である。しかし、評価(2)(3)の耐湿布擦傷試験においては、擦傷条件によっては、金属層12と高屈折率金属化合物層12、13との界面での剥離が観察された。これは、上式(2)の防汚層7と、上式(3)の防汚層7とで、耐湿布擦傷性に関して、上式(2)のシロキサン結合を主鎖とした有機珪素化合物の方が、明らかに優れていることが確認された。 On the other hand, it can confirm from the measurement result of evaluation (3) from the Young's modulus measurement result of the thin film in the electroconductive laminated body 1 of each comparative example. As in the case of the examples, the Young's modulus of the thin films of Comparative Example 5 and Comparative Example 6 in which the low refractive index transparent thin film layer 6 was formed by the RF magnetron sputtering method or the electron beam evaporation method was low refractive index transparent thin film layer. 6 is lower than the Young's modulus of the thin films of Comparative Example 3 and Comparative Example 4 formed by the DMS method and the PMS method. The primer layer 4, the conductive functional layer 5, and the low refractive index transparent thin film layer 6 are all formed by the DMS method and the PMS. It can be confirmed that the Young's modulus of Comparative Examples 1 and 2 formed by the method is the highest. Moreover, although only the antifouling layer 7 is different from the example, the primer layer 4, the conductive functional layer 5, and the low refractive index thin film layer 6 are the same, and thus the obtained Young's modulus is also the same. It is almost equivalent. However, in the wet cloth scratch test of evaluations (2) and (3), peeling at the interface between the metal layer 12 and the high refractive index metal compound layers 12 and 13 was observed depending on the scratch conditions. This is an organic silicon compound having a siloxane bond of the above formula (2) as the main chain in terms of wet cloth scratch resistance in the antifouling layer 7 of the above formula (2) and the antifouling layer 7 of the above formula (3). Was clearly superior.
また、評価(5)の測定結果により、実施例1のサンプルは、ふき取り試験をする前と、100回ふき取りを行った後で、純水接触角がほとんど変わらなかった。これは、防汚層の反応性官能基が低屈折率層と化学的に結合しているため、100回ふき取り試験を行っても純水接触角の値がほとんど変わらなかったと推測される。 Moreover, according to the measurement result of evaluation (5), the sample of Example 1 had almost the same pure water contact angle before the wiping test and after wiping 100 times. This is presumed that, since the reactive functional group of the antifouling layer was chemically bonded to the low refractive index layer, the pure water contact angle value was hardly changed even after 100 wiping tests.
1 導電性積層体
2 基材
3 ハードコート層
4 プライマー層
5 導電性機能層
6 低屈折率層
7 防汚層
8 粘着層
11 高屈折率金属化合物層
12 金属薄膜層
13 高屈折率金属化合物層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Conductive laminated body 2 Base material 3 Hard coat layer 4 Primer layer 5 Conductive functional layer 6 Low refractive index layer 7 Antifouling layer 8 Adhesive layer 11 High refractive index metal compound layer 12 Metal thin film layer 13 High refractive index metal compound layer
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