JP2007160248A

JP2007160248A - Liquid arrangement method, electro-optical device manufacturing method, electro-optical device, and electronic apparatus

Info

Publication number: JP2007160248A
Application number: JP2005361458A
Authority: JP
Inventors: Keisuke Nishida; 圭介西田
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2005-12-15
Filing date: 2005-12-15
Publication date: 2007-06-28

Abstract

【課題】吐出性能の経時低下を好適に抑えることができる液状体配置方法、当該液状体配置方法を用いた電気光学装置の製造方法、並びに当該液状体配置方法を用いて製造された電気光学装置、電子機器を提供すること。
【解決手段】吐出ヘッド１０３（実線位置）は、液状体の吐出を行いつつ、仮想線位置Ａ、仮想線位置Ｂ、仮想線位置Ｃ、仮想線位置Ｄの順に基板１０１上を相対移動する。実線位置および仮想線位置Ａ，Ｃにおいては、吐出ヘッド１０３の走査位置に同期したタイミングで、描画パターンデータに基づいた吐出が行われる。このうち、仮想線位置Ａにおいて溝状領域２２に対してなされる吐出は、ノズルメンテナンスとしての役割を果たすものであり、吐出ヘッド１０３の全てのノズルについて行われる。
【選択図】図５
A liquid material arranging method capable of suitably suppressing a decrease in discharge performance over time, an electro-optical device manufacturing method using the liquid material arranging method, and an electro-optical device manufactured using the liquid material arranging method To provide electronic equipment.
An ejection head 103 (solid line position) relatively moves on a substrate 101 in the order of an imaginary line position A, an imaginary line position B, an imaginary line position C, and an imaginary line position D while ejecting a liquid material. In the solid line position and the virtual line positions A and C, ejection based on the drawing pattern data is performed at a timing synchronized with the scanning position of the ejection head 103. Among these, the discharge performed on the groove-like region 22 at the imaginary line position A plays a role as nozzle maintenance, and is performed for all the nozzles of the discharge head 103.
[Selection] Figure 5

Description

本発明は、ノズルから基板に対して液状体を吐出して行う液状体配置方法および電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器に関する。 The present invention relates to a liquid material arranging method performed by discharging a liquid material from a nozzle to a substrate, an electro-optical device manufacturing method, an electro-optical device, and an electronic apparatus.

近年、電気光学装置等の製造において、その構成要素となる機能性膜を液滴吐出法を用いて形成するという手法が注目されている。これは、基板上を走査する吐出ヘッドの微細ノズルから機能性材料を含む液状体を吐出させて、当該基板上に液状体をパターン化して配置（描画）し、さらに基板上の液状体を乾燥等により固化させて成膜を行うものである（例えば、特許文献１参照）。 In recent years, in the manufacture of electro-optical devices and the like, a method of forming a functional film as a component by using a droplet discharge method has attracted attention. This is because the liquid material containing the functional material is discharged from the fine nozzles of the discharge head that scans the substrate, and the liquid material is patterned (arranged) on the substrate, and the liquid material on the substrate is dried. For example, the film is formed by solidifying the film (for example, see Patent Document 1).

吐出ヘッドは多くの微細ノズルを有しているが、その全てから常に連続した液状体の吐出が行われるわけではなく、ノズル毎の吐出の頻度は描画のパターンなどによって影響を受け、ほとんど吐出がされないノズルも存在する。このような吐出頻度の低いノズル内のインクは、次第に乾燥が進行して粘度が上昇し、次の吐出を行う際に正常な吐出ができなくなったり吐出量が低下してしまったりする場合がある。そこで特許文献１では、上述のような吐出性能の経時低下を抑えるために、ノズルメンテナンスとして基板外領域への定期的な吐出（予備吐出）を行うようにしている。 Although the discharge head has many fine nozzles, continuous discharge of liquid material is not always performed from all of them, and the discharge frequency for each nozzle is affected by the drawing pattern, etc., and almost no discharge is performed. Some nozzles are not. Ink in such nozzles with low ejection frequency gradually increases in drying and increases in viscosity, and normal ejection may not be performed or the ejection amount may be reduced during the next ejection. . Therefore, in Patent Document 1, in order to suppress the temporal deterioration of the discharge performance as described above, periodic discharge (preliminary discharge) to the area outside the substrate is performed as nozzle maintenance.

特開２００３−２８２２４５号公報JP 2003-282245 A

ところが、近年基板サイズの大型化や液状体の種類の多様化が進み、上述した予備吐出の態様ではノズルメンテナンスとしての役割を十分に果たすことができなくなってきている。予備吐出のためには吐出ヘッドを基板外領域に移動させる必要があり、その移動の間もなく液状体の乾燥が進行するような場合に対応できないからである。 However, in recent years, the substrate size has been increased and the types of liquid materials have been diversified, and it has become impossible to sufficiently fulfill the role of nozzle maintenance in the above-described preliminary discharge mode. This is because it is necessary to move the ejection head to the area outside the substrate for the preliminary ejection, and it is impossible to cope with the case where the drying of the liquid material proceeds soon.

本発明は、上述の課題を解決するためになされたもので、吐出性能の経時低下を好適に抑えることができる液状体配置方法、当該液状体配置方法を用いた電気光学装置の製造方法、並びに当該液状体配置方法を用いて製造された電気光学装置、電子機器を提供することを目的としている。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and a liquid material arranging method capable of suitably suppressing a decrease in discharge performance with time, a method for manufacturing an electro-optical device using the liquid material arranging method, and An object of the present invention is to provide an electro-optical device and an electronic apparatus manufactured using the liquid material arranging method.

本発明は、ノズルから基板に対して液状体を吐出して行う液状体配置方法であって、前記ノズルのメンテナンスのための吐出を、少なくとも前記基板内の所定領域に対して行う工程を有することを特徴とする。 The present invention is a liquid material arranging method performed by discharging a liquid material from a nozzle onto a substrate, and includes a step of performing discharge for maintenance of the nozzle at least on a predetermined region in the substrate. It is characterized by.

この発明の液状体配置方法によれば、基板内の所定領域に対してノズルのメンテナンスのための吐出（予備吐出）を行うようになっているので、吐出対象位置を基板外領域に移動させなくても、必要なタイミングで予備吐出を行うことができる。これにより、吐出性能の経時低下を好適に抑えることができる。 According to the liquid material arranging method of the present invention, the discharge for nozzle maintenance (preliminary discharge) is performed on a predetermined region in the substrate, so that the discharge target position is not moved to the region outside the substrate. However, the preliminary discharge can be performed at a necessary timing. Thereby, the time-dependent fall of discharge performance can be suppressed suitably.

また好ましくは、前記液状体配置方法において、前記ノズルのメンテナンスのための吐出を、前記基板外の領域に行う工程をさらに有することを特徴とする。
この発明の液状体配置方法によれば、基板外に対して十分な予備吐出を行うことができるので、液状体配置の目的パターンや基板の種類などに大きく拘束されることなく、上述の効果を得ることができる。 Preferably, the liquid material arranging method further includes a step of performing discharge for maintenance of the nozzle in an area outside the substrate.
According to the liquid material arranging method of the present invention, sufficient preliminary discharge can be performed outside the substrate, so that the above-described effects can be obtained without being largely restricted by the target pattern of the liquid material arrangement or the type of the substrate. Obtainable.

また好ましくは、複数の個体に対応した前記液状体の配置を一の前記基板に対して行う前記液状体配置方法において、前記所定領域は、前記複数の個体の対応領域間に設定されていることを特徴とする。
この発明の液状体配置方法によれば、個体の対応領域間に予備吐出が行われるので、予備吐出に係る実質的な基板上の痕跡を残さないようにすることができる。 Preferably, in the liquid material arranging method in which the liquid material corresponding to a plurality of individuals is arranged on one substrate, the predetermined area is set between corresponding areas of the plurality of individuals. It is characterized by.
According to the liquid material arranging method of the present invention, the preliminary ejection is performed between the corresponding regions of the individual, so that no substantial trace on the substrate related to the preliminary ejection can be left.

また好ましくは、前記液状体配置方法において、前記基板が、前記所定領域に対して吐出された前記液状体の当該所定領域外への流出を規制するための流出規制手段を備えていることを特徴とする。
さらに好ましくは、前記流出規制手段は、前記所定領域を区画するバンクであることを特徴とする。
この発明の液状体配置方法によれば、上記所定領域に対して予備吐出された液状体の流出が流出規制手段により規制されるので、不測の品質問題の発生を好適に回避することができる。またこの場合、所定領域を区画するバンクを流出規制手段とすることで、上記の効果を好適に得ることができる。 Further preferably, in the liquid material arranging method, the substrate includes an outflow restricting means for restricting outflow of the liquid material discharged to the predetermined region to the outside of the predetermined region. And
More preferably, the outflow restricting means is a bank that partitions the predetermined area.
According to the liquid material arranging method of the present invention, since the outflow of the liquid material preliminarily ejected to the predetermined area is regulated by the outflow regulating means, it is possible to suitably avoid the occurrence of unexpected quality problems. In this case, the above effect can be suitably obtained by using the banks that partition the predetermined area as the outflow restricting means.

本発明は、機能性膜を構成要素として備える電気光学装置の製造方法であって、前記液状体配置方法を用いて前記基板上に前記液状体を配置する工程と、当該配置された液状体を固化して前記機能性膜を形成する工程と、を有することを特徴とする。 The present invention is a method of manufacturing an electro-optical device including a functional film as a constituent element, the step of disposing the liquid material on the substrate using the liquid material disposing method, and the disposing the liquid material And solidifying the functional film to form the functional film.

この発明の電気光学装置の製造方法によれば、上記液状体配置方法を用いて機能性膜を形成するので、安定した吐出性能の下、基板内における特性ムラの少ない電気光学装置を製造することができる。 According to the method for manufacturing an electro-optical device of the present invention, the functional film is formed using the liquid material arranging method, and therefore, an electro-optical device with less characteristic unevenness in the substrate is manufactured under stable ejection performance. Can do.

本発明は、ノズルから吐出された液状体が基板上に配置され、当該配置された液状体の固化により形成された機能性膜を構成要素として備える電気光学装置であって、前記液状体の配置において、前記ノズルのメンテナンスのための吐出が前記基板内の所定領域に対して行われていることを特徴とする。 The present invention is an electro-optical device in which a liquid material ejected from a nozzle is disposed on a substrate, and includes a functional film formed by solidification of the disposed liquid material as a constituent element. The discharge for maintenance of the nozzle is performed on a predetermined region in the substrate.

この発明の電気光学装置は、基板上に配置された液状体を固化して得られる機能性膜を有しており、その液状体の配置の際において、ノズルのメンテナンスのための吐出が基板内の所定領域に対して行われている。このため、安定した吐出性能の下で液状体の配置がなされており、斯かる工程を経て形成された機能性膜を備えたこの電気光学装置は、高品質である。 The electro-optical device of the present invention has a functional film obtained by solidifying a liquid material disposed on a substrate, and when the liquid material is disposed, discharge for nozzle maintenance is performed in the substrate. This is performed for a predetermined area. For this reason, the liquid material is arranged under stable ejection performance, and this electro-optical device including the functional film formed through such a process is of high quality.

本発明の電子機器は、前記電気光学装置を備えることを特徴とする。
この発明の電子機器は、上記電気光学装置を備えているので高品質である。 According to another aspect of the invention, an electronic apparatus includes the electro-optical device.
Since the electronic apparatus of the present invention includes the electro-optical device, it has high quality.

以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
なお、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。また、以下の説明で参照する図では、図示の便宜上、各層や各部材の縮尺を実際のものとは異なるように表している。 DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
The embodiment described below is a preferred specific example of the present invention, and thus various technically preferable limitations are given. However, the scope of the present invention is particularly limited in the following description. Unless otherwise stated, the present invention is not limited to these forms. In the drawings referred to in the following description, for convenience of illustration, the scale of each layer and each member is shown differently from the actual one.

（液滴吐出装置）
まずは、図１、図２を参照して、本発明に係る液滴吐出装置の構成について説明する。
図１は、液滴吐出装置の全体構成を示す概略図である。図２は、液滴吐出装置の電気的構成を示すブロック図である。 (Droplet discharge device)
First, the configuration of the droplet discharge device according to the present invention will be described with reference to FIGS.
FIG. 1 is a schematic diagram showing the overall configuration of the droplet discharge device. FIG. 2 is a block diagram showing an electrical configuration of the droplet discharge device.

図１に示す液滴吐出装置１００は、基板１０１を載置するための載置台１０２と、吐出面１０３ａから液状体を液滴化して吐出する吐出ヘッド１０３と、吐出ヘッド１０３に液状体を供給する液状体供給手段１０６と、を備えており、一辺が２ｍ以上のサイズの基板１０１に対応することが可能である。吐出ヘッド１０３は、吐出面１０３ａを載置台１０２に対向させた状態でＸ軸方向に往復動（主走査）可能なように、主走査手段１０４を介して本体部（図示せず）に取り付けられている。また、載置台１０２は、Ｙ軸方向に往復動（副走査）可能なように、副走査手段１０５を介して本体部（図示せず）に取り付けられている。 A droplet discharge apparatus 100 shown in FIG. 1 has a mounting table 102 on which a substrate 101 is mounted, a discharge head 103 that discharges liquid material from a discharge surface 103a and supplies the liquid material to the discharge head 103. Liquid supply means 106 that can handle the substrate 101 having a side of 2 m or more in size. The discharge head 103 is attached to a main body (not shown) via the main scanning means 104 so that the discharge head 103 can reciprocate (main scan) in the X-axis direction with the discharge surface 103a facing the mounting table 102. ing. The mounting table 102 is attached to a main body (not shown) via a sub-scanning unit 105 so as to be reciprocally movable (sub-scanning) in the Y-axis direction.

吐出ヘッド１０３の吐出面１０３ａには、主走査方向に直交して（Ｙ軸方向に沿って）ライン状の配列をなす複数のノズル１０が形成されている。ノズル１０は、圧電素子１２の駆動によって容積可変とされた圧力室１１と連通されており、圧電素子１２の駆動制御（吐出制御）により、各ノズル１０から任意のタイミングで液滴１３が吐出可能となっている。尚、液状体の吐出技術としては、この例のような電気機械変換方式の他に、加熱素子の駆動によって生じた熱を圧力に変換するいわゆるサーマル方式などを採用することもできる。 A plurality of nozzles 10 are formed on the ejection surface 103a of the ejection head 103 to form a linear array perpendicular to the main scanning direction (along the Y-axis direction). The nozzle 10 communicates with a pressure chamber 11 whose volume is variable by driving the piezoelectric element 12, and the droplet 13 can be discharged from each nozzle 10 at an arbitrary timing by driving control (discharge control) of the piezoelectric element 12. It has become. In addition to the electromechanical conversion system as in this example, a so-called thermal system that converts heat generated by driving the heating element into pressure can be adopted as the liquid material discharge technique.

かくして、吐出ヘッド１０３を基板１０１に対して相対移動（走査）させつつ、ノズル１０毎の吐出制御を行うことにより、液滴１３（液状体）を基板１０１上に任意のパターンで配置すること（描画動作）が可能となっている。 Thus, by controlling the ejection of each nozzle 10 while moving the ejection head 103 relative to the substrate 101 (scanning), the droplets 13 (liquid material) are arranged on the substrate 101 in an arbitrary pattern ( Drawing operation).

載置台１０２における基板１０１の配置領域の両脇には、予備吐出受容部１０７ａ，１０７ｂが設けられている。予備吐出受容部１０７ａ，１０７ｂは、ノズル１０のメンテナンスのための吐出（予備吐出）を行うための液状体の受容領域であり、スポンジ等で形成された吸液材１０８を備えている。 Preliminary discharge receiving portions 107 a and 107 b are provided on both sides of the placement area of the substrate 101 on the mounting table 102. The preliminary discharge receiving portions 107a and 107b are liquid material receiving regions for performing discharge (preliminary discharge) for maintenance of the nozzle 10, and include a liquid absorbing material 108 formed of sponge or the like.

予備吐出は、描画動作中において定期的に行われる。吐出頻度の低いノズル１０は、内部の液状体の乾燥によって次第に吐出性能が低下するため、安定した吐出特性の維持のために、最低限必要な液状体の排出を確保する必要があるからである。とりわけ、後述する描画動作の例では、予備吐出を好適なタイミングで行えるよう、予備吐出受容部１０７ａ，１０７ｂに対してだけでなく、基板１０１内の所定領域に対しても予備吐出を実行するようになっている。 The preliminary discharge is periodically performed during the drawing operation. This is because the nozzle 10 having a low discharge frequency gradually deteriorates in discharge performance due to the drying of the internal liquid material, and therefore it is necessary to ensure the minimum required discharge of the liquid material in order to maintain stable discharge characteristics. . In particular, in the example of the drawing operation described later, the preliminary discharge is performed not only on the preliminary discharge receiving portions 107a and 107b but also on a predetermined area in the substrate 101 so that the preliminary discharge can be performed at an appropriate timing. It has become.

図２において、液滴吐出装置１００は、描画動作制御を行う制御部１２０を備えている。制御部１２０は、外部インターフェース（Ｉ／Ｆ）１２１を介してホストコンピュータ１１９と接続され、また内部Ｉ／Ｆ１２２を介して、吐出ヘッド１０３に設けられた吐出駆動回路１３１や、主走査手段１０４、副走査手段１０５と接続されている。 In FIG. 2, the droplet discharge device 100 includes a control unit 120 that performs drawing operation control. The control unit 120 is connected to the host computer 119 via an external interface (I / F) 121, and via the internal I / F 122, the ejection drive circuit 131 provided in the ejection head 103, the main scanning unit 104, The sub-scanning means 105 is connected.

制御部１２０は、ＣＰＵ１２３と、ＣＰＵ１２３のワークメモリや吐出制御に係るデータのバッファメモリとして機能するＲＡＭ１２４と、各種制御情報を記憶するＲＯＭ１２５と、クロック信号（ＣＫ）を生成する発信回路１２６と、駆動信号（ＣＯＭ）を生成する駆動信号生成回路１２７と、を備えている。 The control unit 120 includes a CPU 123, a RAM 124 that functions as a work memory for the CPU 123 and a buffer memory for data related to ejection control, a ROM 125 that stores various control information, a transmission circuit 126 that generates a clock signal (CK), and a drive. And a drive signal generation circuit 127 that generates a signal (COM).

吐出駆動回路１３１は、シフトレジスタ１３２からなるシフトレジスタ回路と、ラッチ回路１３３と、レベルシフタ１３４と、スイッチ１３５とを備え、圧電素子１２の個々に選択的に駆動信号（ＣＯＭ）を印加できるように構成されている。尚、駆動信号は、あらかじめ適切に傾きを設計された充電ないし放電のパルスで構成されている。 The ejection drive circuit 131 includes a shift register circuit composed of a shift register 132, a latch circuit 133, a level shifter 134, and a switch 135 so that a drive signal (COM) can be selectively applied to each piezoelectric element 12. It is configured. The drive signal is composed of a charge or discharge pulse whose slope is appropriately designed in advance.

ホストコンピュータ１１９は、描画対象面（基板面）における液滴の配置を表した、いわゆるビットマップ形式の描画パターンデータを制御部１２０に伝送する。そして制御部１２０は、描画パターンデータをデコードしてノズル毎のＯＮ／ＯＦＦ情報であるノズルデータを生成する。 The host computer 119 transmits drawing pattern data in a so-called bitmap format representing the arrangement of droplets on the drawing target surface (substrate surface) to the control unit 120. Then, the control unit 120 decodes the drawing pattern data and generates nozzle data that is ON / OFF information for each nozzle.

ノズルデータをシリアル信号化したノズルデータ信号（ＳＩ）は、クロック信号（ＣＫ）に同期してシフトレジスタ回路に伝送され、各ノズル毎のＯＮ／ＯＦＦ情報がそれぞれシフトレジスタ１３２に記憶される。そして、ＣＰＵ１２３で生成されたラッチ信号（ＬＡＴ）が各ラッチ回路１３３に入力されることで、ノズルデータがラッチされる。ラッチされたノズルデータはレベルシフタ１３４によって増幅され、ノズルデータが「ＯＮ」の場合には所定の電圧がスイッチ１３５に供給される。また、ノズルデータが「ＯＦＦ」の場合には、スイッチ１３５への電圧供給は行われない。 The nozzle data signal (SI) obtained by converting the nozzle data into a serial signal is transmitted to the shift register circuit in synchronization with the clock signal (CK), and ON / OFF information for each nozzle is stored in the shift register 132, respectively. Then, the latch signal (LAT) generated by the CPU 123 is input to each latch circuit 133, whereby the nozzle data is latched. The latched nozzle data is amplified by the level shifter 134, and when the nozzle data is “ON”, a predetermined voltage is supplied to the switch 135. When the nozzle data is “OFF”, voltage supply to the switch 135 is not performed.

かくして、レベルシフタ１３４で昇圧された電圧がスイッチ１３５に供給されている間は、圧電素子１２に駆動信号（ＣＯＭ）が印加され、液滴１３がノズル１０から吐出される（図１参照）。このような描画パターンデータに基づく吐出制御は、吐出ヘッド１０３の走査位置に同期したタイミングで行われる。 Thus, while the voltage boosted by the level shifter 134 is supplied to the switch 135, the drive signal (COM) is applied to the piezoelectric element 12, and the droplet 13 is ejected from the nozzle 10 (see FIG. 1). The ejection control based on such drawing pattern data is performed at a timing synchronized with the scanning position of the ejection head 103.

描画動作中において断続的に実行される予備吐出のための吐出制御は、割り込み処理により予備吐出に対応するノズルデータ信号（ＳＩ）や駆動信号（ＣＯＭ）を発生させて行うことができる。また、このような割り込み処理の制御によらず、予備吐出に対応するビットマップ情報を付加した描画パターンデータをホストコンピュータ１１９に入力することで行うこともできる。 The ejection control for the preliminary ejection that is intermittently performed during the drawing operation can be performed by generating a nozzle data signal (SI) and a driving signal (COM) corresponding to the preliminary ejection by an interrupt process. Further, the drawing pattern data to which the bitmap information corresponding to the preliminary ejection is added can be input to the host computer 119 without depending on such interrupt processing control.

（液晶表示装置）
次に、図３を参照して、本発明に係る電気光学装置の一例としての液晶表示装置について説明する。
図３は、液晶表示装置の要部構造を示す概略断面図である。 (Liquid crystal display device)
Next, a liquid crystal display device as an example of the electro-optical device according to the invention will be described with reference to FIG.
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing the main structure of the liquid crystal display device.

図３に示すように、電気光学装置としての液晶表示装置２５０は、パッシブマトリクス型液晶表示装置であって、複数の着色膜２６４を有するカラーフィルタ基板（ＣＦ基板）２６１と、複数の電極２６８を有する対向基板２７１と、ＣＦ基板２６１と対向基板２７１との間に狭持された液晶２７０とを備えた液晶表示パネル２６０を有している。このような液晶表示装置２５０は、受光型の表示装置であるため、例えば対向基板２７１の背面側にＬＥＤ素子、ＥＬ、冷陰極管などの光源を有する照明装置（図示を省略）を備えている。尚、本実施形態の液晶表示装置２５０は、これに限定されず、例えば対向基板２７１にＴＦＴやＴＦＤなどのスイッチング素子を備えたアクティブマトリクス型液晶表示装置であってもよい。 As shown in FIG. 3, a liquid crystal display device 250 as an electro-optical device is a passive matrix liquid crystal display device, and includes a color filter substrate (CF substrate) 261 having a plurality of colored films 264 and a plurality of electrodes 268. The liquid crystal display panel 260 includes a counter substrate 271 having a liquid crystal 270 sandwiched between the CF substrate 261 and the counter substrate 271. Since such a liquid crystal display device 250 is a light-receiving display device, for example, an illumination device (not shown) having a light source such as an LED element, an EL, or a cold cathode tube is provided on the back side of the counter substrate 271. . In addition, the liquid crystal display device 250 of this embodiment is not limited to this, For example, the active matrix type liquid crystal display device provided with switching elements, such as TFT and TFD, in the opposing board | substrate 271 may be sufficient.

対向基板２７１は、例えば透明な樹脂またはガラス基板を用いており、ＣＦ基板２６１との対向面側にＩＴＯからなる透明な複数の電極２６８を有している。電極２６８は、対向するＣＦ基板２６１に設けられたＩＴＯからなる透明な電極２６６と直交してＹ方向に延在している。すなわち、液晶表示パネル２６０は、互いに対向すると共に直交して格子状に配置された電極２６６と電極２６８とを有している。そして電極２６６と電極２６８とが直交して重なった部分が表示用の画素領域となっている。 The counter substrate 271 uses, for example, a transparent resin or glass substrate, and has a plurality of transparent electrodes 268 made of ITO on the side facing the CF substrate 261. The electrode 268 extends in the Y direction orthogonal to the transparent electrode 266 made of ITO provided on the opposing CF substrate 261. In other words, the liquid crystal display panel 260 includes electrodes 266 and electrodes 268 that are opposed to each other and are orthogonally arranged in a grid pattern. A portion where the electrode 266 and the electrode 268 overlap at right angles is a display pixel region.

ＣＦ基板２６１は、例えば透明な樹脂またはガラス基板を用いており、所定のパターンで形成された遮光膜２６２と、遮光膜２６２の上に形成されたバンク２６３とを備えている。また、遮光膜２６２およびバンク２６３によって区画された区画領域にＲ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）に対応する着色膜２６４と、着色膜２６４とバンク２６３を覆う平坦化層としてのＯＣ（オーバーコート）膜２６５とを備えている。電極２６６はＯＣ膜２６５上に形成されている。尚、電極２６６との密着性を確保するために、ＯＣ膜２６５の上にさらにＳｉＯ₂などの薄膜を形成するようにしてもよい。 The CF substrate 261 uses, for example, a transparent resin or glass substrate, and includes a light shielding film 262 formed in a predetermined pattern and a bank 263 formed on the light shielding film 262. Further, a colored film 264 corresponding to R (red), G (green), and B (blue) is formed in a partitioned region partitioned by the light shielding film 262 and the bank 263, and a planarizing layer that covers the colored film 264 and the bank 263 is provided. And an OC (overcoat) film 265. The electrode 266 is formed on the OC film 265. Note that a thin film such as SiO ₂ may be further formed on the OC film 265 in order to ensure adhesion with the electrode 266.

液晶表示パネル２６０は、このようなＣＦ基板２６１と対向基板２７１とをギャップ材２７２を介して所定の間隔で対向配置させ、両基板２６１，２７１の間に図示しないシール材により液晶２７０を封止したものである。基板２６１，２７１における液晶２７０の封入面側には、液晶２７０の分子を所定の方向に配向させる配向膜２６７，２６９が設けられている。 In the liquid crystal display panel 260, the CF substrate 261 and the counter substrate 271 are arranged to face each other at a predetermined interval via the gap member 272, and the liquid crystal 270 is sealed between the substrates 261 and 271 by a sealing material (not shown). It is what. Alignment films 267 and 269 for aligning the molecules of the liquid crystal 270 in a predetermined direction are provided on the sealing surface side of the liquid crystal 270 in the substrates 261 and 271.

尚、液晶表示パネル２６０の前面側と背面側の表面には、通常、入射あるいは出射する光を偏向させる偏光板や、視角等を改善するための光学機能性フィルムとしての位相差フィルム等が配設されるが、これらは省略している。 The front and back surfaces of the liquid crystal display panel 260 are usually provided with polarizing plates for deflecting incident or outgoing light, retardation films as optical functional films for improving the viewing angle, and the like. However, these are omitted.

遮光膜２６２は、ＣＦ基板２６１上に、Ｃｒ、Ｎｉ、Ａｌ等の不透明な金属、あるいはこれらの金属の酸化物等の化合物を材料として、気相法とフォトリソグラフィー法を用いて製造することができる。 The light shielding film 262 can be manufactured on the CF substrate 261 by using a gas phase method and a photolithography method using an opaque metal such as Cr, Ni, and Al, or a compound such as an oxide of these metals. it can.

バンク２６３は、遮光膜２６２が形成されたＣＦ基板２６１上に、ロールコート法やスピンコート法により厚みがおよそ２μｍの感光性樹脂層を形成した後、フォトリソグラフィー法によりパターニングを施して得ることができる。 The bank 263 can be obtained by forming a photosensitive resin layer having a thickness of approximately 2 μm on the CF substrate 261 on which the light shielding film 262 is formed by a roll coating method or a spin coating method, and then performing patterning by a photolithography method. it can.

機能性膜としての着色膜２６４Ｂ，２６４Ｇ，２６４Ｒは、それぞれＢ，Ｇ，Ｒに対応する三色の色材（有機顔料）を含む液状体を用い、上述した液滴吐出装置１００を用いて形成することができる。より具体的には、液状体をバンク２６３により区画された区画領域内に配置（充填）し、配置された液状体を乾燥等により膜化させることで形成することができる。 The colored films 264B, 264G, and 264R as functional films are formed using the liquid droplets containing three color materials (organic pigments) corresponding to B, G, and R, respectively, and using the above-described droplet discharge device 100. can do. More specifically, the liquid material can be formed (filled) in a partitioned region partitioned by the bank 263, and the disposed liquid material can be formed into a film by drying or the like.

機能性膜としてのＯＣ膜２６５は、透明なアクリル系樹脂を含む液状体を用いて、スピンコート法、オフセット印刷により形成することができるほか、上述した液滴吐出装置１００を用いても形成することができる。 The OC film 265 as a functional film can be formed by using a liquid material containing a transparent acrylic resin by a spin coating method or offset printing, or by using the droplet discharge device 100 described above. be able to.

機能性膜としての電極２６６，２６８は、気相法およびフォトリソグラフィー法を用いて形成することができるほか、上述した液滴吐出装置１００を用いて、Ａｕ，Ａｇ，Ｐｔ等の金属微粒子の分散液をパターン配置して形成することもできる。 The electrodes 266 and 268 as functional films can be formed by using a vapor phase method and a photolithography method, and by using the above-described droplet discharge device 100, dispersion of metal fine particles such as Au, Ag, and Pt. The liquid can also be formed in a pattern arrangement.

機能性膜としての配向膜２６７，２６９は、上述した液滴吐出装置１００を用いてポリイミド樹脂等を含む液状体をパターン配置して樹脂膜を形成した後、ラビング処理により配向性を付与して形成することができる。 The alignment films 267 and 269 as functional films are formed by patterning a liquid material containing a polyimide resin or the like using the droplet discharge device 100 described above to form a resin film, and then providing alignment by rubbing treatment. Can be formed.

（電子機器）
次に、図４を参照して、本発明に係る電子機器の一例としての携帯型情報処理装置について説明する。
図４は、携帯型情報処理装置を示す概略斜視図である。 (Electronics)
Next, a portable information processing apparatus as an example of an electronic apparatus according to the present invention will be described with reference to FIG.
FIG. 4 is a schematic perspective view showing the portable information processing apparatus.

図４に示すように、電子機器としての携帯型情報処理装置３００は、入力用のキーボード３０１を有する情報処理装置本体３０３と、表示部３０２とを備えている。表示部３０２には、液晶表示装置２５０が用いられている。 As shown in FIG. 4, a portable information processing device 300 as an electronic device includes an information processing device main body 303 having an input keyboard 301 and a display unit 302. A liquid crystal display device 250 is used for the display unit 302.

（描画動作）
次に、図５を参照して、描画動作の具体例を、ＣＦ基板の着色膜の形成に係る描画動作を例に説明する。
図５は、描画動作における基板と吐出ヘッドとの位置関係を示す平面図である。 (Drawing operation)
Next, a specific example of the drawing operation will be described with reference to FIG. 5 using the drawing operation related to the formation of the colored film on the CF substrate as an example.
FIG. 5 is a plan view showing the positional relationship between the substrate and the ejection head in the drawing operation.

図５において、載置台１０２上に載置されている基板１０１は、仮想線で示す４つの個体単位領域２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄを有している。これらの個体単位領域２０ａ〜２０ｄは、基板１０１が仮想線に沿ってカットされた状態において、図３に示すＣＦ基板２６１の一つ一つに対応するものであり、それぞれに対して着色膜２６４Ｒ，２６４Ｇ，２６４Ｂの配置パターンに対応する液状体の配置が行われる。 In FIG. 5, the substrate 101 mounted on the mounting table 102 has four individual unit regions 20a, 20b, 20c, and 20d indicated by virtual lines. These individual unit regions 20a to 20d correspond to each of the CF substrates 261 shown in FIG. 3 in a state where the substrate 101 is cut along a virtual line, and a colored film 264R is provided for each of them. , 264G, and 264B are arranged in the liquid material corresponding to the arrangement pattern.

基板１０１上には、既に別の工程によって、遮光膜２６２（図３参照）やバンク２６３ａ，２６３ｂが形成されている。バンク２６３ａによって形成される区画領域２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂ（ハッチングで図示）は、それぞれ着色膜２６４Ｒ，２６４Ｇ，２６４Ｂ（図３参照）の配置領域に対応し、液晶表示装置２５０（図３参照）となった状態においていわゆるストライプ型の画素配列を構成する。 A light shielding film 262 (see FIG. 3) and banks 263a and 263b have already been formed on the substrate 101 by another process. Partition areas 21R, 21G, and 21B (shown by hatching) formed by the banks 263a correspond to the arrangement areas of the colored films 264R, 264G, and 264B (see FIG. 3), respectively, and the liquid crystal display device 250 (see FIG. 3). In this state, a so-called stripe-type pixel array is formed.

基板１０１上における個体単位領域２０ａ，２０ｂ間、および個体単位領域２０ｃ，２０ｄ間の領域には、Ｙ軸方向に沿って延在する溝状領域２２（ハッチングで図示）が、バンク２６３ｂによって形成されている。この溝状領域２２は、基板１０１内における予備吐出のために設けられた液状体の受容領域（所定領域）であり、バンク２６３ｂは、受けた液状体の他の領域への流出を規制する流出規制手段としての役割を果たしている。尚、バンク２６３ａとバンク２６３ｂとは、同一プロセスで形成されるものである。 Groove-shaped regions 22 (shown by hatching) extending along the Y-axis direction are formed by banks 263b between the individual unit regions 20a and 20b and between the individual unit regions 20c and 20d on the substrate 101. ing. The grooved region 22 is a liquid material receiving region (predetermined region) provided for preliminary ejection in the substrate 101, and the bank 263b is an outflow that regulates the outflow of the received liquid material to other regions. It plays a role as a regulatory tool. Note that the bank 263a and the bank 263b are formed by the same process.

描画動作は、基板１０１上を横断する吐出ヘッド１０３の移動（主走査）と載置台１０２（基板１０１）の所定量の移動（副走査）とを交互に繰り返して行われる。図示の例では、吐出ヘッド１０３（実線位置）は、液状体の吐出を行いつつ、仮想線位置Ａ、仮想線位置Ｂ、仮想線位置Ｃ、仮想線位置Ｄの順に基板１０１上を相対移動する。 The drawing operation is performed by alternately repeating the movement of the ejection head 103 across the substrate 101 (main scanning) and the movement of the mounting table 102 (substrate 101) by a predetermined amount (sub scanning). In the illustrated example, the ejection head 103 (solid line position) relatively moves on the substrate 101 in the order of the virtual line position A, the virtual line position B, the virtual line position C, and the virtual line position D while discharging the liquid material. .

吐出ヘッド１０３の各位置における液滴（液状体）の吐出条件は、表１に示すようになっている。すなわち、実線位置および仮想線位置Ａ，Ｃにおいては、吐出ヘッド１０３の走査位置に同期したタイミング（１７．３ｋＨｚ平均）で、描画パターンデータに基づいた吐出が行われる。このうち、仮想線位置Ａにおいて溝状領域２２に対してなされる吐出（予備吐出）は、ノズルメンテナンスとしての役割を果たすものであり、吐出ヘッド１０３の全てのノズルについて行われる。斯かるノズルの選択制御は、対応するビットマップ情報を含む描画パターンデータの生成により行われる。 Table 1 shows the discharge conditions of the droplets (liquid material) at each position of the discharge head 103. That is, at the solid line position and the virtual line positions A and C, ejection based on the drawing pattern data is performed at a timing (17.3 kHz average) synchronized with the scanning position of the ejection head 103. Among these, the discharge (preliminary discharge) performed on the groove-like region 22 at the imaginary line position A plays a role as nozzle maintenance, and is performed for all the nozzles of the discharge head 103. Such nozzle selection control is performed by generating drawing pattern data including corresponding bitmap information.

一方、仮想線位置Ｂ，Ｄにおいては、吐出ヘッド１０３の移動（主走査）の開始に先立って、予備吐出受容部１０７ｂ，１０７ａに対しての吐出（予備吐出）がそれぞれ行われる。この予備吐出は、吐出ヘッド１０３を静止させた状態で、定周波数（２５ｋＨｚ）および所定回数（５００回）の条件の下で行われる。また、溝状領域２２に対してなされる吐出と同様、ノズルメンテナンスとしての役割を果たすものであることから、吐出ヘッド１０３の全てのノズルについて行われる。 On the other hand, at the virtual line positions B and D, discharge (preliminary discharge) to the preliminary discharge receiving portions 107b and 107a is performed prior to the start of movement (main scanning) of the discharge head 103, respectively. This preliminary discharge is performed under the conditions of a constant frequency (25 kHz) and a predetermined number of times (500 times) while the discharge head 103 is stationary. Moreover, since it plays the role of nozzle maintenance similarly to the discharge performed with respect to the groove-shaped area | region 22, it is performed about all the nozzles of the discharge head 103. FIG.

このように、本実施形態の描画動作では、予備吐出受容部１０７ａ，１０７ｂだけでなく、基板１０１内の溝状領域２２に対しても予備吐出が行われることで、描画動作中におけるノズルメンテナンスの機会が十分に確保されている。これにより、安定した吐出性能が好適に維持され、特に、吐出ヘッドの主走査方向における描画ムラが好適に抑えられる。また、このような描画動作を経て製造された液晶表示装置２５０は、ムラの少ない高品質な画像を表示することができる。斯かる描画ムラの抑制の効果は、基板１０１の主走査方向のサイズが大きく、一回の主走査に長い時間がかかる場合により顕著なものとなる。 As described above, in the drawing operation of the present embodiment, the preliminary discharge is performed not only on the preliminary discharge receiving portions 107a and 107b but also on the grooved region 22 in the substrate 101, so that nozzle maintenance during the drawing operation can be performed. Opportunities are sufficiently secured. Thereby, stable ejection performance is suitably maintained, and particularly drawing unevenness in the main scanning direction of the ejection head is suitably suppressed. Further, the liquid crystal display device 250 manufactured through such a drawing operation can display a high-quality image with little unevenness. The effect of suppressing such drawing unevenness becomes more prominent when the size of the substrate 101 in the main scanning direction is large and it takes a long time for one main scanning.

溝状領域２２はバンク２６３ｂによって区画されているため、予備吐出された液状体は、他の領域に流出することなく保持され、不測の品質問題の発生を好適に回避することができる。また、溝状領域２２は、個体単位領域２０ａ〜２０ｄ間に配置されているため、基板１０１が各個体単位領域２０ａ〜２０ｄ毎に分割された後においては、予備吐出に係る痕跡が各個体のＣＦ基板２６１（図３参照）に残ることはない。このため、後工程や製品の品質に何らかの影響を及ぼすことがない。 Since the groove-like region 22 is partitioned by the bank 263b, the preliminarily discharged liquid material is held without flowing out to other regions, and the occurrence of unexpected quality problems can be suitably avoided. In addition, since the grooved region 22 is disposed between the individual unit regions 20a to 20d, after the substrate 101 is divided into the individual unit regions 20a to 20d, the traces related to the preliminary discharge may be present in the individual units. It does not remain on the CF substrate 261 (see FIG. 3). For this reason, there is no influence on the post-process and the quality of the product.

本発明は上述の実施形態に限定されない。
例えば、基板１０１内の予備吐出は、液晶表示装置２５０の仕上がり品質に影響のない範囲において、個体単位領域２０ａ〜２０ｄ内に行うようにすることもできる。例えば、液晶表示装置２５０における非表示部（遮光部）の対応領域にこのような予備吐出を行うことが可能である。
また、バンク２６３ｂを用いずに流出規制手段を構成することも可能である。例えば、溝状領域２２の内側領域が親液性、その外周領域が撥液性となるように、基板１０１の露出面の濡れ性を制御する（プラズマ処理や官能基を有する鎖状分子の表面吸着などが有効）ことで、同様の効果を得ることができる。
また、描画動作において、載置台１０２の移動によって主走査（吐出を伴う走査）を、吐出ヘッド１０３の移動によって副走査を行うようにすることも可能である。
また、上述した液状体配置方法（描画方法）を用いて形成される機能性膜の別の例として、例えば、有機ＥＬ表示装置における発光膜、プラズマディスプレイ装置における蛍光膜、電気回路全般における導電膜（導電配線）や高抵抗膜（抵抗素子）などを挙げることができる。
また、各実施形態の各構成はこれらを適宜組み合わせたり、省略したり、図示しない他の構成と組み合わせたりすることができる。 The present invention is not limited to the above-described embodiment.
For example, the preliminary discharge in the substrate 101 may be performed in the individual unit regions 20a to 20d within a range that does not affect the finished quality of the liquid crystal display device 250. For example, such preliminary ejection can be performed in a corresponding region of a non-display portion (light-shielding portion) in the liquid crystal display device 250.
It is also possible to configure the outflow restricting means without using the bank 263b. For example, the wettability of the exposed surface of the substrate 101 is controlled so that the inner region of the grooved region 22 is lyophilic and the outer peripheral region thereof is lyophobic (the surface of a chain molecule having a plasma treatment or a functional group). Adsorption etc. are effective), and the same effect can be obtained.
In the drawing operation, it is also possible to perform main scanning (scanning with ejection) by moving the mounting table 102 and performing sub-scanning by moving the ejection head 103.
Further, as another example of the functional film formed by using the liquid material arranging method (drawing method) described above, for example, a light-emitting film in an organic EL display device, a fluorescent film in a plasma display device, and a conductive film in general electric circuits (Conductive wiring) and a high resistance film (resistance element).
Moreover, each structure of each embodiment can combine these suitably, can be abbreviate | omitted, or can combine with the other structure which is not shown in figure.

液滴吐出装置の全体構成を示す概略図。Schematic which shows the whole structure of a droplet discharge apparatus. 液滴吐出装置の電気的構成を示すブロック図。The block diagram which shows the electrical constitution of a droplet discharge apparatus. 液晶表示装置の要部構造を示す概略断面図。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing a main part structure of a liquid crystal display device. 携帯型情報処理装置を示す概略斜視図。The schematic perspective view which shows a portable information processing apparatus. 描画動作における基板と吐出ヘッドとの位置関係を示す平面図。FIG. 6 is a plan view showing a positional relationship between a substrate and a discharge head in a drawing operation.

Explanation of symbols

１０…ノズル、１１…圧力室、１２…圧電素子、１３…液滴、２０ａ〜２０ｄ…個体単位領域、２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂ…区画領域、２２…基板内における所定領域としての溝状領域、１００…液滴吐出装置、１０１…基板、１０２…載置台、１０３…吐出ヘッド、１０３ａ…吐出面、１０４…主走査手段、１０５…副走査手段、１０６…液状体供給手段、１０７ａ，１０７ｂ…予備吐出受容部、１０８…吸液材、１２０…制御部、１３１…吐出駆動回路、２５０…電気光学装置としての液晶表示装置、２６０…液晶表示パネル、２６１…ＣＦ基板、２６２…遮光膜、２６３ａ…バンク、２６３ｂ…流出規制手段としてのバンク、２６４Ｒ，２６４Ｇ，２６４Ｂ…機能性膜としての着色膜、２６５…機能性膜としてのＯＣ膜、２６６，２６８…機能性膜としての電極、２６７，２６９…機能性膜としての配向膜、２７０…液晶、２７１…対向基板、２７２…ギャップ材、３００…電子機器としての携帯型情報処理装置。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Nozzle, 11 ... Pressure chamber, 12 ... Piezoelectric element, 13 ... Droplet, 20a-20d ... Individual unit area | region, 21R, 21G, 21B ... Partition area | region, 22 ... Groove-like area | region as a predetermined area | region in a board | substrate, 100 DESCRIPTION OF SYMBOLS Droplet discharge device, 101 ... Substrate, 102 ... Mounting table, 103 ... Discharge head, 103a ... Discharge surface, 104 ... Main scanning means, 105 ... Sub-scanning means, 106 ... Liquid supply means, 107a, 107b ... Preliminary discharge Receiving part 108 ... Liquid absorbing material 120 ... Control part 131 ... Discharge drive circuit 250 ... Liquid crystal display device as electro-optical device 260 ... Liquid crystal display panel 261 ... CF substrate 262 ... Light shielding film 263a ... Bank 263b: Bank as outflow control means, 264R, 264G, 264B ... Colored film as functional film, 265 ... OC film as functional film, 266, 268 Electrode as a functional film, an alignment film as 267, 269 ... functional film, 270 ... liquid crystal, 271 ... facing substrate, 272 ... gap material, 300 ... mobile information processing apparatus as an electronic apparatus.

Claims

A liquid material arranging method for discharging a liquid material from a nozzle to a substrate,
A liquid material arranging method comprising a step of performing discharge for maintenance of the nozzle to at least a predetermined region in the substrate.

2. The liquid material arranging method according to claim 1, further comprising a step of performing discharge for maintenance of the nozzle in an area outside the substrate.

The liquid material arranging method according to claim 1 or 2, wherein the liquid material corresponding to a plurality of individuals is arranged on one substrate.
The liquid material arranging method, wherein the predetermined area is set between corresponding areas of the plurality of individuals.

4. The substrate according to claim 1, further comprising outflow regulating means for regulating outflow of the liquid material ejected to the predetermined region to the outside of the predetermined region. Item 4. The liquid material arranging method according to item.

5. The liquid material arranging method according to claim 4, wherein the outflow restricting means is a bank that partitions the predetermined area.

A method of manufacturing an electro-optical device including a functional film as a component,
Disposing the liquid material on the substrate using the liquid material disposing method according to any one of claims 1 to 5;
And a step of solidifying the arranged liquid material to form the functional film.

An electro-optical device provided with a functional film formed by solidifying a liquid material discharged from a nozzle on a substrate and solidifying the arranged liquid material,
In the arrangement of the liquid material, the electro-optical device is characterized in that discharge for maintenance of the nozzle is performed on a predetermined region in the substrate.

An electronic apparatus comprising the electro-optical device according to claim 7.