JP2007019294A - Organic semiconductor material, organic semiconductor film, organic semiconductor element, and organic thin film transistor - Google Patents
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Abstract
【課題】 移動度の高い経時安定性に優れた有機半導体材料を提供することであり、また、該有機半導体材料を用いた有機薄膜トランジスタを提供する。
【解決手段】 芳香族炭化水素環に少なくとも2つの芳香族複素環が縮合した縮合複素環を部分構造としてして有する有機半導体材料において、前記縮合複素環を構成する芳香族炭化水素環に少なくとも1つの置換基を有することを特徴とする有機半導体材料。
【選択図】 なし
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an organic semiconductor material having high mobility and excellent stability over time, and to provide an organic thin film transistor using the organic semiconductor material.
In an organic semiconductor material having, as a partial structure, a condensed heterocyclic ring in which at least two aromatic heterocyclic rings are condensed to an aromatic hydrocarbon ring, at least one aromatic hydrocarbon ring constituting the condensed heterocyclic ring is included. An organic semiconductor material having two substituents.
[Selection figure] None
Description
本発明は有機半導体材料、特に経時安定性に優れた有機半導体材料および、該有機半導体材料を用いた有機薄膜トランジスタ(以下、TFTともいう。)に関するものである。 The present invention relates to an organic semiconductor material, particularly an organic semiconductor material excellent in stability over time, and an organic thin film transistor (hereinafter also referred to as TFT) using the organic semiconductor material.
情報端末の普及に伴い、コンピュータ用のディスプレイとしてフラットパネルディスプレイに対するニーズが高まっている。またさらに情報化の進展に伴い、従来紙媒体で提供されていた情報が電子化されて提供される機会が増え、薄くて軽い、手軽に持ち運びが可能なモバイル用表示媒体として、電子ペーパーあるいはデジタルペーパーへのニーズも高まりつつある。 With the widespread use of information terminals, there is an increasing need for flat panel displays as computer displays. In addition, with the progress of computerization, the information provided by paper media has increased the opportunity to be provided electronically, and as a mobile display medium that is thin, light and easy to carry, electronic paper or digital The need for paper is also increasing.
一般に平板型のディスプレイ装置においては液晶、有機EL、電気泳動などを利用した素子を用いて表示媒体を形成している。またこうした表示媒体では画面輝度の均一性や画面書き換え速度などを確保するために、画像駆動素子としてアクティブ駆動方式のTFT素子を用いる技術が主流になっている。例えば通常のコンピュータディスプレイではガラス基板上にこれらTFT素子を形成し、液晶、有機EL素子等が封止されている。 In general, in a flat display device, a display medium is formed using an element utilizing liquid crystal, organic EL, electrophoresis, or the like. In such display media, a technique using an active drive type TFT element as an image drive element has become the mainstream in order to ensure uniformity of screen brightness, screen rewrite speed, and the like. For example, in a normal computer display, these TFT elements are formed on a glass substrate, and a liquid crystal, an organic EL element and the like are sealed.
ここでTFT素子には主にa−Si(アモルファスシリコン)、p−Si(ポリシリコン)などの半導体を用いることができ、これらのSi半導体(必要に応じて金属膜も)を多層化し、ソース、ドレイン、ゲート電極を基板上に順次形成していくことでTFT素子が製造される。こうしたTFT素子の製造には通常、スパッタリング、その他の真空系の製造プロセスが必要とされる。 Here, semiconductors such as a-Si (amorphous silicon) and p-Si (polysilicon) can be mainly used for the TFT element, and these Si semiconductors (and metal films as necessary) are formed into a multilayer structure. The TFT element is manufactured by sequentially forming the drain and gate electrodes on the substrate. The manufacture of such a TFT element usually requires sputtering or other vacuum manufacturing processes.
しかしながら、このようなTFT素子の製造では真空チャンバーを含む真空系の製造プロセスを何度も繰り返して各層を形成せざるを得ず、装置コスト、ランニングコストが非常に膨大なものとなっていた。例えばTFT素子では通常、それぞれの層の形成のために、真空蒸着、ドープ、フォトリソグラフ、現像等の工程を何度も繰り返す必要があり、何十もの工程を経て素子を基板上に形成している。スイッチング動作の要となる半導体部分に関してもp型、n型等、複数種類の半導体層を積層している。こうした従来のSi半導体による製造方法ではディスプレイ画面の大型化のニーズに対し、真空チャンバー等の製造装置の大幅な設計変更が必要とされるなど、設備の変更が容易ではない。 However, in the manufacture of such a TFT element, the vacuum system manufacturing process including the vacuum chamber must be repeated many times to form each layer, and the apparatus cost and running cost have become enormous. For example, in a TFT element, it is usually necessary to repeat processes such as vacuum deposition, dope, photolithography, development, etc. many times to form each layer, and the element is formed on a substrate through several tens of processes. Yes. A plurality of types of semiconductor layers, such as p-type and n-type, are also stacked on the semiconductor portion that is the key to the switching operation. In such a conventional manufacturing method using a Si semiconductor, it is not easy to change the equipment, for example, a design change of a manufacturing apparatus such as a vacuum chamber is required in response to the need for a large display screen.
また、このような従来からのSi材料を用いたTFT素子の形成には高い温度の工程が含まれるため、基板材料には工程温度に耐える材料であるという制限が加わることになる。このため実際上はガラスを用いざるをえず、先に述べた電子ペーパーあるいはデジタルペーパーといった薄型ディスプレイを、こうした従来知られたTFT素子を利用して構成した場合、そのディスプレイは重く、柔軟性に欠け、落下の衝撃で割れる可能性のある製品となってしまう。ガラス基板上にTFT素子を形成することに起因するこれらの特徴は、情報化の進展に伴う手軽な携行用薄型ディスプレイへのニーズを満たすにあたり望ましくないものである。 In addition, since the formation of such a conventional TFT element using a Si material includes a process at a high temperature, the substrate material is restricted to be a material that can withstand the process temperature. Therefore, in practice, glass must be used, and when the above-described thin display such as electronic paper or digital paper is configured using such a conventionally known TFT element, the display is heavy and flexible. Products that may break due to chipping or dropping impact. These characteristics resulting from the formation of TFT elements on a glass substrate are undesirable in satisfying the need for an easy-to-carry-type thin display accompanying the progress of computerization.
一方、近年において高い電荷輸送性を有する有機化合物として、有機半導体材料の研究が精力的に進められている。これらの化合物は有機EL素子用の電荷輸送性材料のほか、例えば非特許文献1等において論じられているような有機レーザー発振素子や、例えば非特許文献2等、多数の論文にて報告されている有機TFTへの応用が期待されている。これら有機半導体デバイスを実現できれば、比較的低い温度での真空ないし低圧蒸着による製造プロセスの簡易化や、さらにはその分子構造を適切に改良することによって、溶液化できる半導体を得る可能性があると考えられ、有機半導体溶液をインク化することによりインクジェット方式を含む印刷法による製造も考えられる。これらの低温プロセスによる製造は、従来のSi系半導体材料については不可能と考えられてきたが、有機半導体を用いたデバイスにはその可能性があり、したがって前述の基板耐熱性に関する制限が緩和され、透明樹脂基板上にも例えばTFT素子を形成できる可能性がある。透明樹脂基板上にTFT素子を形成し、そのTFT素子により表示材料を駆動させることができれば、ディスプレイを従来のものよりも軽く、柔軟性に富み、落しても割れない(もしくは非常に割れにくい)ディスプレイとすることができるであろう。
On the other hand, in recent years, organic semiconductor materials have been energetically studied as organic compounds having high charge transport properties. These compounds have been reported in many papers such as organic laser oscillation elements as discussed in Non-Patent
しかしながら、こうしたTFT素子を実現するための有機半導体材料としてこれまでに検討されてきたのは、特許文献1にて開示されているペンタセンやテトラセンといったアセン類、同じく特許文献2に開示されている鉛フタロシアニンを含むフタロシアニン類、ペリレンやそのテトラカルボン酸誘導体といった低分子化合物や、特許文献3に開示されているα−チエニールもしくはセクシチオフェンと呼ばれるチオフェン6量体を代表例とする芳香族オリゴマー、さらにはポリチオフェン、ポリチエニレンビニレン、ポリ−p−フェニレンビニレンといった共役高分子など限られた種類の化合物(これらの多くは非特許文献3に記載されている)でしかなく、高いキャリア移動度を示す新規な電荷輸送性材料を用いた半導体組成物の開発が待望されていた。
However, as an organic semiconductor material for realizing such a TFT element, the acenes such as pentacene and tetracene disclosed in
特許文献4には、5員複素環と、置換基を有してもよい芳香環からなる2又は3環の縮合環を繰り返し単位として有する液晶性高分子化合物を有機半導体材料として用いることが記載されているが、キャリア移動度が小さく、また形成した有機半導体膜の経時保存性に問題があった。 Patent Document 4 describes that a liquid crystalline polymer compound having, as a repeating unit, a 5-membered heterocyclic ring and a 2- or 3-fused condensed ring composed of an aromatic ring which may have a substituent is used as an organic semiconductor material. However, the carrier mobility is small, and the formed organic semiconductor film has a problem in storage stability with time.
また、特許文献5では、置換基を有してもよいアントラジチオフェン、2,8−ジアルキルアントラチオフェンが記載されているが、キャリア移動度が小さく、また形成した有機半導体膜の経時保存性に問題があった。
また、非特許文献4には、ベンゼン環とN−アルキルピロール環が交互に縮合したラダーポリマーが記載されている。しかしながら、キャリア移動度が小さく、また形成した有機半導体膜の経時保存性に問題があった。
本発明は上記の事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、移動度の高い経時安定性に優れた有機半導体材料を提供することであり、また、該有機半導体材料を用いた有機薄膜トランジスタを提供することである。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide an organic semiconductor material having high mobility and excellent stability over time, and an organic thin film transistor using the organic semiconductor material Is to provide.
上記課題は、以下の構成により解決することができた。 The above problem could be solved by the following configuration.
(請求項1)
芳香族炭化水素環に少なくとも2つの芳香族複素環が縮合した縮合複素環を部分構造としてして有する有機半導体材料において、前記縮合複素環を構成する芳香族炭化水素環に少なくとも1つの置換基を有することを特徴とする有機半導体材料。
(Claim 1)
In an organic semiconductor material having, as a partial structure, a condensed heterocycle in which at least two aromatic heterocycles are condensed to an aromatic hydrocarbon ring, the aromatic hydrocarbon ring constituting the condensed heterocycle has at least one substituent. An organic semiconductor material comprising:
(請求項2)
置換基を有する芳香族炭化水素環に少なくとも2つの芳香族複素環が縮合した縮合複素環を部分構造として有することを特徴とする請求項1に記載の有機半導体材料。
(Claim 2)
2. The organic semiconductor material according to
(請求項3)
前記芳香族複素環が5員環であることを特徴とする請求項1又は2に記載の有機半導体材料。
(Claim 3)
The organic semiconductor material according to
(請求項4)
前記5員環を構成するヘテロ原子がS、N、Oから選ばれる少なくとも1つであることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の有機半導体材料。
(Claim 4)
The organic semiconductor material according to any one of
(請求項5)
前記芳香族炭化水素環に置換する置換基がアルキル基であることを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載の有機半導体材料。
(Claim 5)
The organic semiconductor material according to any one of
(請求項6)
前記有機半導体材料が、下記一般式(1)で表されることを特徴とする請求項1〜5の何れか1項に記載の有機半導体材料。
(Claim 6)
The organic semiconductor material according to
〔式中、R1〜R5は各々水素原子又は置換基を表す。〕
(請求項7)
請求項1〜6の何れか1項に記載の有機半導体材料を含有することを特徴とする有機半導体膜。
[Wherein, R 1 to R 5 each represents a hydrogen atom or a substituent. ]
(Claim 7)
An organic semiconductor film comprising the organic semiconductor material according to
(請求項8)
請求項7に記載の有機半導体膜を有することを特徴とする有機半導体素子。
(Claim 8)
An organic semiconductor element comprising the organic semiconductor film according to claim 7.
(請求項9)
請求項8に記載の有機半導体素子を有することを特徴とする有機薄膜トランジスタ。
(Claim 9)
An organic thin film transistor comprising the organic semiconductor element according to claim 8.
移動度の高く、経時保存性に優れた有機半導体材料を提供することができ、該有機半導体材料を用いた有機薄膜トランジスタを提供することができた。 An organic semiconductor material having high mobility and excellent storage stability with time can be provided, and an organic thin film transistor using the organic semiconductor material can be provided.
以下、本発明を更に詳しく説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail.
本発明の有機半導体材料は、芳香族炭化水素環に、少なくとも2つの芳香族複素環が縮合した縮合複素環を部分構造として有し、前記縮合複素環を構成する芳香族炭化水素環に少なくとも1つの置換基を有することを特徴とする。 The organic semiconductor material of the present invention has, as a partial structure, a condensed heterocycle in which at least two aromatic heterocycles are condensed on an aromatic hydrocarbon ring, and at least 1 in the aromatic hydrocarbon ring constituting the condensed heterocycle. It has one substituent.
前記有機半導体材料中の、芳香族炭化水素環としては、ベンゼン、ナフタレン、アントラセン等を挙げることができ、芳香族複素環としては、5員環であることが好ましく、ヘテロ原子としてS、N、Oから選ばれる少なくとも1つであることが好ましい。 Examples of the aromatic hydrocarbon ring in the organic semiconductor material include benzene, naphthalene, anthracene, etc., and the aromatic heterocyclic ring is preferably a 5-membered ring, and S, N, It is preferably at least one selected from O.
かつ、前記縮合複素環を構成する芳香族炭化水素環の少なくとも1つには置換基を有し、該置換基はその一部にアルキル基を有することが好ましい。 In addition, at least one of the aromatic hydrocarbon rings constituting the condensed heterocyclic ring preferably has a substituent, and the substituent preferably has an alkyl group as a part thereof.
前記アルキル基の例としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、tert−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基、ドデシル基、トリデシル基、テトラデシル基、ペンタデシル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等が挙げられる。 Examples of the alkyl group include, for example, methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, tert-butyl group, pentyl group, hexyl group, octyl group, dodecyl group, tridecyl group, tetradecyl group, pentadecyl group, cyclopentyl group. And a cyclohexyl group.
置換基の一部にアルキル基を有する置換基の例としては、メトキシ基、エトキシ基、プロピルオキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、オクチルオキシ基、ドデシルオキシ基、シクロペンチルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基、メチルチオ基、エチルチオ基、プロピルチオ基、ペンチルチオ基、ヘキシルチオ基、オクチルチオ基、ドデシルチオ基、シクロペンチルチオ基、シクロヘキシルチオ基、メチルオキシカルボニル基、エチルオキシカルボニル基、ブチルオキシカルボニル基、オクチルオキシカルボニル基、ドデシルオキシカルボニル基、メチルアミノスルホニル基、ジメチルアミノスルホニル基、ブチルアミノスルホニル基、ヘキシルアミノスルホニル基、シクロヘキシルアミノスルホニル基、オクチルアミノスルホニル基、ドデシルアミノスルホニル基、アセチル基、エチルカルボニル基、プロピルカルボニル基、ペンチルカルボニル基、シクロヘキシルカルボニル基、オクチルカルボニル基、2−エチルヘキシルカルボニル基、ドデシルカルボニル基、アセチルオキシ基、エチルカルボニルオキシ基、ブチルカルボニルオキシ基、オクチルカルボニルオキシ基、ドデシルカルボニルオキシ基、メチルカルボニルアミノ基、エチルカルボニルアミノ基、ジメチルカルボニルアミノ基、プロピルカルボニルアミノ基、ペンチルカルボニルアミノ基、シクロヘキシルカルボニルアミノ基、2−エチルヘキシルカルボニルアミノ基、オクチルカルボニルアミノ基、ドデシルカルボニルアミノ基、メチルアミノカルボニル基、ジメチルアミノカルボニル基、プロピルアミノカルボニル基、ペンチルアミノカルボニル基、シクロヘキシルアミノカルボニル基、オクチルアミノカルボニル基、2−エチルヘキシルアミノカルボニル基、ドデシルアミノカルボニル基、メチルウレイド基、エチルウレイド基、ペンチルウレイド基、シクロヘキシルウレイド基、オクチルウレイド基、ドデシルウレイド基、メチルスルフィニル基、エチルスルフィニル基、ブチルスルフィニル基、シクロヘキシルスルフィニル基、2−エチルヘキシルスルフィニル基、ドデシルスルフィニル基、メチルスルホニル基、エチルスルホニル基、ブチルスルホニル基、シクロヘキシルスルホニル基、2−エチルヘキシルスルホニル基、ドデシルスルホニル基、エチルアミノ基、ジメチルアミノ基、ブチルアミノ基、シクロペンチルアミノ基、2−エチルヘキシルアミノ基、ドデシルアミノ基、トリメチルシリル基、トリイソプロピルシリル基、フェニルジエチルシリル基等、あるいは、前述したようなアルキル基が置換したアリール基(例えば、フェニル基、ナフチル基等)、アルキル基が置換したヘテロアリール基(例えば、フリル基、チエニル基、ピリジル基、ピリダジル基、ピリミジル基、ピラジル基、トリアジル基、イミダゾリル基、ピラゾリル基、チアゾリル基、ベンゾイミダゾリル基、ベンゾオキサゾリル基、キナゾリル基、フタラジル基等)、アルキル基が置換したヘテロ環基(例えば、ピロリジル基、イミダゾリジル基、モルホリル基、オキサゾリジル基等)、アルキル基が置換したアリールチオ基(例えば、フェニルチオ基、ナフチルチオ基等)、アルキル基が置換したアリールオキシカルボニル基(例えば、フェニルオキシカルボニル基、ナフチルオキシカルボニル基等)、アルキル基が置換したアリールアミノスルホニル基(例えば、フェニルアミノスルホニル基、ナフチルアミノスルホニル基、2−ピリジルアミノスルホニル基等)、アルキル基が置換したアリールアシル基(例えば、フェニルカルボニル基、ナフチルカルボニル基、ピリジルカルボニル基等)、アルキル基が置換したアリールアシルオキシ基(例えば、フェニルカルボニルオキシ基等)、アルキル基が置換したアリールアミド基(例えば、フェニルカルボニルアミノ基、ナフチルカルボニルアミノ基等)、アルキル基が置換したアリールカルバモイル基(例えば、フェニルアミノカルボニル基、ナフチルアミノカルボニル基、2−ピリジルアミノカルボニル基等)、アルキル基が置換したアリールウレイド基(例えば、フェニルウレイド基、ナフチルウレイド基、2−ピリジルアミノウレイド基等)、アルキル基が置換したアリールスルフィニル基(例えば、フェニルスルフィニル基、ナフチルスルフィニル基、2−ピリジルスルフィニル基等)、アルキルスルホニル基(例えば、等)、アルキル基が置換したアリールスルホニル基(例えば、フェニルスルホニル基、ナフチルスルホニル基、2−ピリジルスルホニル基等)、アルキル基が置換したアリールアミノ基(例えば、アニリノ基、ナフチルアミノ基、2−ピリジルアミノ基等)、アルキル基が置換したアリールシリル基(例えば、トリフェニルシリル基等)等が挙げられる。 Examples of the substituent having an alkyl group as a part of the substituent include a methoxy group, an ethoxy group, a propyloxy group, a pentyloxy group, a hexyloxy group, an octyloxy group, a dodecyloxy group, a cyclopentyloxy group, and a cyclohexyloxy group. Methylthio group, ethylthio group, propylthio group, pentylthio group, hexylthio group, octylthio group, dodecylthio group, cyclopentylthio group, cyclohexylthio group, methyloxycarbonyl group, ethyloxycarbonyl group, butyloxycarbonyl group, octyloxycarbonyl group, Dodecyloxycarbonyl group, methylaminosulfonyl group, dimethylaminosulfonyl group, butylaminosulfonyl group, hexylaminosulfonyl group, cyclohexylaminosulfonyl group, octylaminosulfonyl group , Dodecylaminosulfonyl group, acetyl group, ethylcarbonyl group, propylcarbonyl group, pentylcarbonyl group, cyclohexylcarbonyl group, octylcarbonyl group, 2-ethylhexylcarbonyl group, dodecylcarbonyl group, acetyloxy group, ethylcarbonyloxy group, butylcarbonyl Oxy group, octylcarbonyloxy group, dodecylcarbonyloxy group, methylcarbonylamino group, ethylcarbonylamino group, dimethylcarbonylamino group, propylcarbonylamino group, pentylcarbonylamino group, cyclohexylcarbonylamino group, 2-ethylhexylcarbonylamino group, Octylcarbonylamino group, dodecylcarbonylamino group, methylaminocarbonyl group, dimethylaminocarbonyl group, propylamine Nocarbonyl group, pentylaminocarbonyl group, cyclohexylaminocarbonyl group, octylaminocarbonyl group, 2-ethylhexylaminocarbonyl group, dodecylaminocarbonyl group, methylureido group, ethylureido group, pentylureido group, cyclohexylureido group, octylureido group , Dodecylureido group, methylsulfinyl group, ethylsulfinyl group, butylsulfinyl group, cyclohexylsulfinyl group, 2-ethylhexylsulfinyl group, dodecylsulfinyl group, methylsulfonyl group, ethylsulfonyl group, butylsulfonyl group, cyclohexylsulfonyl group, 2-ethylhexyl Sulfonyl group, dodecylsulfonyl group, ethylamino group, dimethylamino group, butylamino group, cyclopentylamino group, 2 -An ethylhexylamino group, a dodecylamino group, a trimethylsilyl group, a triisopropylsilyl group, a phenyldiethylsilyl group, etc., or an aryl group substituted with an alkyl group as described above (for example, a phenyl group, a naphthyl group, etc.), an alkyl group Substituted heteroaryl groups (e.g., furyl, thienyl, pyridyl, pyridazyl, pyrimidyl, pyrazyl, triazyl, imidazolyl, pyrazolyl, thiazolyl, benzoimidazolyl, benzoxazolyl, quinazolyl, Phthalazyl group, etc.), heterocyclic groups substituted with alkyl groups (eg pyrrolidyl group, imidazolidyl group, morpholyl group, oxazolidyl group etc.), arylthio groups substituted with alkyl groups (eg phenylthio group, naphthylthio group etc.), alkyl groups Is Aryloxycarbonyl groups (eg, phenyloxycarbonyl group, naphthyloxycarbonyl group, etc.), arylaminosulfonyl groups substituted with alkyl groups (eg, phenylaminosulfonyl group, naphthylaminosulfonyl group, 2-pyridylaminosulfonyl group, etc.), An arylacyl group substituted with an alkyl group (eg, phenylcarbonyl group, naphthylcarbonyl group, pyridylcarbonyl group, etc.), an arylacyloxy group substituted with an alkyl group (eg, phenylcarbonyloxy group, etc.), an arylamide substituted with an alkyl group A group (eg, phenylcarbonylamino group, naphthylcarbonylamino group, etc.), an arylcarbamoyl group substituted with an alkyl group (eg, phenylaminocarbonyl group, naphthylaminocarbonyl group, 2 An arylureido group substituted with an alkyl group (eg, phenylureido group, naphthylureido group, 2-pyridylaminoureido group), an arylsulfinyl group substituted with an alkyl group (eg, phenylsulfinyl group, naphthylsulfinyl). Group, 2-pyridylsulfinyl group, etc.), alkylsulfonyl group (eg, etc.), arylsulfonyl group substituted by alkyl group (eg, phenylsulfonyl group, naphthylsulfonyl group, 2-pyridylsulfonyl group, etc.), alkyl group substituted Arylamino groups (for example, anilino group, naphthylamino group, 2-pyridylamino group, etc.), arylsilyl groups substituted by alkyl groups (for example, triphenylsilyl group), and the like.
好ましい置換基としてはアルキル基であり、より好ましくは直鎖のアルキル基、更に好ましくは炭素数3〜18の直鎖のアルキル基である。 A preferable substituent is an alkyl group, more preferably a linear alkyl group, and still more preferably a linear alkyl group having 3 to 18 carbon atoms.
前記有機半導体材料が、上記一般式(1)で表される有機半導体材料であることが好ましい。 The organic semiconductor material is preferably an organic semiconductor material represented by the general formula (1).
上記一般式中、R1〜R5は各々水素原子又は置換基を表す。 In said general formula, R < 1 > -R < 5 > represents a hydrogen atom or a substituent respectively.
R1及びR2で表される置換基としては、アルキル基又は一部にアルキル基を有する置換を有する置換基が好ましく、アルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、tert−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基、ドデシル基、トリデシル基、テトラデシル基、ペンタデシル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等が挙げられる。置換基の一部にアルキル基を有する置換基の例としては、メチルオキシカルボニル基、エチルオキシカルボニル基、ブチルオキシカルボニル基、オクチルオキシカルボニル基、ドデシルオキシカルボニル基、メチルアミノスルホニル基、ジメチルアミノスルホニル基、ブチルアミノスルホニル基、ヘキシルアミノスルホニル基、シクロヘキシルアミノスルホニル基、オクチルアミノスルホニル基、ドデシルアミノスルホニル基、アセチル基、エチルカルボニル基、プロピルカルボニル基、ペンチルカルボニル基、シクロヘキシルカルボニル基、オクチルカルボニル基、2−エチルヘキシルカルボニル基、ドデシルカルボニル基、メチルアミノカルボニル基、ジメチルアミノカルボニル基、プロピルアミノカルボニル基、ペンチルアミノカルボニル基、シクロヘキシルアミノカルボニル基、オクチルアミノカルボニル基、2−エチルヘキシルアミノカルボニル基、ドデシルアミノカルボニル基、メチルスルフィニル基、エチルスルフィニル基、ブチルスルフィニル基、シクロヘキシルスルフィニル基、2−エチルヘキシルスルフィニル基、ドデシルスルフィニル基、メチルスルホニル基、エチルスルホニル基、ブチルスルホニル基、シクロヘキシルスルホニル基、2−エチルヘキシルスルホニル基、ドデシルスルホニル基、あるいは、前述したようなアルキル基が置換したアリール基(例えば、フェニル基、ナフチル基等)、アルキル基が置換したヘテロアリール基(例えば、フリル基、チエニル基、ピリジル基、ピリダジル基、ピリミジル基、ピラジル基、トリアジル基、イミダゾリル基、ピラゾリル基、チアゾリル基、ベンゾイミダゾリル基、ベンゾオキサゾリル基、キナゾリル基、フタラジル基等)、アルキル基が置換したヘテロ環基(例えば、ピロリジル基、イミダゾリジル基、モルホリル基、オキサゾリジル基等)、アルキル基が置換したアリールオキシカルボニル基(例えば、フェニルオキシカルボニル基、ナフチルオキシカルボニル基等)、アルキル基が置換したアリールアミノスルホニル基(例えば、フェニルアミノスルホニル基、ナフチルアミノスルホニル基、2−ピリジルアミノスルホニル基等)、アルキル基が置換したアリールアシル基(例えば、フェニルカルボニル基、ナフチルカルボニル基、ピリジルカルボニル基等)、アルキル基が置換したアリールカルバモイル基(例えば、フェニルアミノカルボニル基、ナフチルアミノカルボニル基、2−ピリジルアミノカルボニル基等)、アルキル基が置換したアリールスルフィニル基(例えば、フェニルスルフィニル基、ナフチルスルフィニル基、2−ピリジルスルフィニル基等)、アルキルスルホニル基(例えば、等)、アルキル基が置換したアリールスルホニル基(例えば、フェニルスルホニル基、ナフチルスルホニル基、2−ピリジルスルホニル基等)、等が挙げられる。 The substituent represented by R 1 and R 2 is preferably an alkyl group or a substituent having a substituent having an alkyl group in part. Examples of the alkyl group include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, and an isopropyl group. Tert-butyl group, pentyl group, hexyl group, octyl group, dodecyl group, tridecyl group, tetradecyl group, pentadecyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group and the like. Examples of the substituent having an alkyl group as a part of the substituent include methyloxycarbonyl group, ethyloxycarbonyl group, butyloxycarbonyl group, octyloxycarbonyl group, dodecyloxycarbonyl group, methylaminosulfonyl group, dimethylaminosulfonyl Group, butylaminosulfonyl group, hexylaminosulfonyl group, cyclohexylaminosulfonyl group, octylaminosulfonyl group, dodecylaminosulfonyl group, acetyl group, ethylcarbonyl group, propylcarbonyl group, pentylcarbonyl group, cyclohexylcarbonyl group, octylcarbonyl group, 2-ethylhexylcarbonyl group, dodecylcarbonyl group, methylaminocarbonyl group, dimethylaminocarbonyl group, propylaminocarbonyl group, pentylaminocarbo group Group, cyclohexylaminocarbonyl group, octylaminocarbonyl group, 2-ethylhexylaminocarbonyl group, dodecylaminocarbonyl group, methylsulfinyl group, ethylsulfinyl group, butylsulfinyl group, cyclohexylsulfinyl group, 2-ethylhexylsulfinyl group, dodecylsulfinyl group , A methylsulfonyl group, an ethylsulfonyl group, a butylsulfonyl group, a cyclohexylsulfonyl group, a 2-ethylhexylsulfonyl group, a dodecylsulfonyl group, or an aryl group substituted with an alkyl group as described above (for example, a phenyl group, a naphthyl group, etc.) A heteroaryl group substituted with an alkyl group (for example, furyl group, thienyl group, pyridyl group, pyridazyl group, pyrimidyl group, pyrazyl group, triazyl group, imidazo group) Group, pyrazolyl group, thiazolyl group, benzimidazolyl group, benzoxazolyl group, quinazolyl group, phthalazyl group, etc.), heterocyclic groups substituted with alkyl groups (eg, pyrrolidyl group, imidazolidyl group, morpholyl group, oxazolidyl group, etc.) An aryloxycarbonyl group substituted with an alkyl group (eg, phenyloxycarbonyl group, naphthyloxycarbonyl group, etc.), an arylaminosulfonyl group substituted with an alkyl group (eg, phenylaminosulfonyl group, naphthylaminosulfonyl group, 2-pyridylamino) Sulfonyl groups, etc.), aryl acyl groups substituted with alkyl groups (eg, phenylcarbonyl group, naphthylcarbonyl group, pyridylcarbonyl group, etc.), arylcarbamoyl groups substituted with alkyl groups (eg, phenylamino groups). A sulfonyl group, a naphthylaminocarbonyl group, a 2-pyridylaminocarbonyl group, etc.), an arylsulfinyl group substituted with an alkyl group (for example, a phenylsulfinyl group, a naphthylsulfinyl group, a 2-pyridylsulfinyl group, etc.), an alkylsulfonyl group (for example, etc.) ), An arylsulfonyl group substituted with an alkyl group (for example, a phenylsulfonyl group, a naphthylsulfonyl group, a 2-pyridylsulfonyl group, and the like).
また、R3〜R5で表わされる置換基としては、アルキル基又は置換基の一部にアルキル基を有することが好ましい。 Moreover, as a substituent represented by R < 3 > -R < 5 >, it is preferable to have an alkyl group in an alkyl group or a part of substituents.
前記アルキル基の例としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、tert−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基、ドデシル基、トリデシル基、テトラデシル基、ペンタデシル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等が挙げられる。 Examples of the alkyl group include, for example, methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, tert-butyl group, pentyl group, hexyl group, octyl group, dodecyl group, tridecyl group, tetradecyl group, pentadecyl group, cyclopentyl group. And a cyclohexyl group.
置換基の一部にアルキル基を有する置換基の例としては、メトキシ基、エトキシ基、プロピルオキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、オクチルオキシ基、ドデシルオキシ基、シクロペンチルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基、メチルチオ基、エチルチオ基、プロピルチオ基、ペンチルチオ基、ヘキシルチオ基、オクチルチオ基、ドデシルチオ基、シクロペンチルチオ基、シクロヘキシルチオ基、メチルオキシカルボニル基、エチルオキシカルボニル基、ブチルオキシカルボニル基、オクチルオキシカルボニル基、ドデシルオキシカルボニル基、メチルアミノスルホニル基、ジメチルアミノスルホニル基、ブチルアミノスルホニル基、ヘキシルアミノスルホニル基、シクロヘキシルアミノスルホニル基、オクチルアミノスルホニル基、ドデシルアミノスルホニル基、アセチル基、エチルカルボニル基、プロピルカルボニル基、ペンチルカルボニル基、シクロヘキシルカルボニル基、オクチルカルボニル基、2−エチルヘキシルカルボニル基、ドデシルカルボニル基、アセチルオキシ基、エチルカルボニルオキシ基、ブチルカルボニルオキシ基、オクチルカルボニルオキシ基、ドデシルカルボニルオキシ基、メチルカルボニルアミノ基、エチルカルボニルアミノ基、ジメチルカルボニルアミノ基、プロピルカルボニルアミノ基、ペンチルカルボニルアミノ基、シクロヘキシルカルボニルアミノ基、2−エチルヘキシルカルボニルアミノ基、オクチルカルボニルアミノ基、ドデシルカルボニルアミノ基、メチルアミノカルボニル基、ジメチルアミノカルボニル基、プロピルアミノカルボニル基、ペンチルアミノカルボニル基、シクロヘキシルアミノカルボニル基、オクチルアミノカルボニル基、2−エチルヘキシルアミノカルボニル基、ドデシルアミノカルボニル基、メチルウレイド基、エチルウレイド基、ペンチルウレイド基、シクロヘキシルウレイド基、オクチルウレイド基、ドデシルウレイド基、メチルスルフィニル基、エチルスルフィニル基、ブチルスルフィニル基、シクロヘキシルスルフィニル基、2−エチルヘキシルスルフィニル基、ドデシルスルフィニル基、メチルスルホニル基、エチルスルホニル基、ブチルスルホニル基、シクロヘキシルスルホニル基、2−エチルヘキシルスルホニル基、ドデシルスルホニル基、エチルアミノ基、ジメチルアミノ基、ブチルアミノ基、シクロペンチルアミノ基、2−エチルヘキシルアミノ基、ドデシルアミノ基、トリメチルシリル基、トリイソプロピルシリル基、フェニルジエチルシリル基等、あるいは、前述したようなアルキル基が置換したアリール基(例えば、フェニル基、ナフチル基等)、アルキル基が置換したヘテロアリール基(例えば、フリル基、チエニル基、ピリジル基、ピリダジル基、ピリミジル基、ピラジル基、トリアジル基、イミダゾリル基、ピラゾリル基、チアゾリル基、ベンゾイミダゾリル基、ベンゾオキサゾリル基、キナゾリル基、フタラジル基等)、アルキル基が置換したヘテロ環基(例えば、ピロリジル基、イミダゾリジル基、モルホリル基、オキサゾリジル基等)、アルキル基が置換したアリールチオ基(例えば、フェニルチオ基、ナフチルチオ基等)、アルキル基が置換したアリールオキシカルボニル基(例えば、フェニルオキシカルボニル基、ナフチルオキシカルボニル基等)、アルキル基が置換したアリールアミノスルホニル基(例えば、フェニルアミノスルホニル基、ナフチルアミノスルホニル基、2−ピリジルアミノスルホニル基等)、アルキル基が置換したアリールアシル基(例えば、フェニルカルボニル基、ナフチルカルボニル基、ピリジルカルボニル基等)、アルキル基が置換したアリールアシルオキシ基(例えば、フェニルカルボニルオキシ基等)、アルキル基が置換したアリールアミド基(例えば、フェニルカルボニルアミノ基、ナフチルカルボニルアミノ基等)、アルキル基が置換したアリールカルバモイル基(例えば、フェニルアミノカルボニル基、ナフチルアミノカルボニル基、2−ピリジルアミノカルボニル基等)、アルキル基が置換したアリールウレイド基(例えば、フェニルウレイド基、ナフチルウレイド基、2−ピリジルアミノウレイド基等)、アルキル基が置換したアリールスルフィニル基(例えば、フェニルスルフィニル基、ナフチルスルフィニル基、2−ピリジルスルフィニル基等)、アルキルスルホニル基(例えば、等)、アルキル基が置換したアリールスルホニル基(例えば、フェニルスルホニル基、ナフチルスルホニル基、2−ピリジルスルホニル基等)、アルキル基が置換したアリールアミノ基(例えば、アニリノ基、ナフチルアミノ基、2−ピリジルアミノ基等)、アルキル基が置換したアリールシリル基(例えば、トリフェニルシリル基等)等が挙げられる。 Examples of the substituent having an alkyl group as a part of the substituent include a methoxy group, an ethoxy group, a propyloxy group, a pentyloxy group, a hexyloxy group, an octyloxy group, a dodecyloxy group, a cyclopentyloxy group, and a cyclohexyloxy group. Methylthio group, ethylthio group, propylthio group, pentylthio group, hexylthio group, octylthio group, dodecylthio group, cyclopentylthio group, cyclohexylthio group, methyloxycarbonyl group, ethyloxycarbonyl group, butyloxycarbonyl group, octyloxycarbonyl group, Dodecyloxycarbonyl group, methylaminosulfonyl group, dimethylaminosulfonyl group, butylaminosulfonyl group, hexylaminosulfonyl group, cyclohexylaminosulfonyl group, octylaminosulfonyl group , Dodecylaminosulfonyl group, acetyl group, ethylcarbonyl group, propylcarbonyl group, pentylcarbonyl group, cyclohexylcarbonyl group, octylcarbonyl group, 2-ethylhexylcarbonyl group, dodecylcarbonyl group, acetyloxy group, ethylcarbonyloxy group, butylcarbonyl Oxy group, octylcarbonyloxy group, dodecylcarbonyloxy group, methylcarbonylamino group, ethylcarbonylamino group, dimethylcarbonylamino group, propylcarbonylamino group, pentylcarbonylamino group, cyclohexylcarbonylamino group, 2-ethylhexylcarbonylamino group, Octylcarbonylamino group, dodecylcarbonylamino group, methylaminocarbonyl group, dimethylaminocarbonyl group, propylamine Nocarbonyl group, pentylaminocarbonyl group, cyclohexylaminocarbonyl group, octylaminocarbonyl group, 2-ethylhexylaminocarbonyl group, dodecylaminocarbonyl group, methylureido group, ethylureido group, pentylureido group, cyclohexylureido group, octylureido group , Dodecylureido group, methylsulfinyl group, ethylsulfinyl group, butylsulfinyl group, cyclohexylsulfinyl group, 2-ethylhexylsulfinyl group, dodecylsulfinyl group, methylsulfonyl group, ethylsulfonyl group, butylsulfonyl group, cyclohexylsulfonyl group, 2-ethylhexyl Sulfonyl group, dodecylsulfonyl group, ethylamino group, dimethylamino group, butylamino group, cyclopentylamino group, 2 -An ethylhexylamino group, a dodecylamino group, a trimethylsilyl group, a triisopropylsilyl group, a phenyldiethylsilyl group, etc., or an aryl group substituted with an alkyl group as described above (for example, a phenyl group, a naphthyl group, etc.), an alkyl group Substituted heteroaryl groups (e.g., furyl, thienyl, pyridyl, pyridazyl, pyrimidyl, pyrazyl, triazyl, imidazolyl, pyrazolyl, thiazolyl, benzoimidazolyl, benzoxazolyl, quinazolyl, Phthalazyl group, etc.), heterocyclic groups substituted with alkyl groups (eg pyrrolidyl group, imidazolidyl group, morpholyl group, oxazolidyl group etc.), arylthio groups substituted with alkyl groups (eg phenylthio group, naphthylthio group etc.), alkyl groups Is Aryloxycarbonyl groups (eg, phenyloxycarbonyl group, naphthyloxycarbonyl group, etc.), arylaminosulfonyl groups substituted with alkyl groups (eg, phenylaminosulfonyl group, naphthylaminosulfonyl group, 2-pyridylaminosulfonyl group, etc.), An arylacyl group substituted with an alkyl group (eg, phenylcarbonyl group, naphthylcarbonyl group, pyridylcarbonyl group, etc.), an arylacyloxy group substituted with an alkyl group (eg, phenylcarbonyloxy group, etc.), an arylamide substituted with an alkyl group A group (eg, phenylcarbonylamino group, naphthylcarbonylamino group, etc.), an arylcarbamoyl group substituted with an alkyl group (eg, phenylaminocarbonyl group, naphthylaminocarbonyl group, 2 Pyridylaminocarbonyl group, etc.), arylureido groups substituted with alkyl groups (eg, phenylureido groups, naphthylureido groups, 2-pyridylaminoureido groups, etc.), arylsulfinyl groups substituted with alkyl groups (eg, phenylsulfinyl groups, naphthylsulfinyl groups) Group, 2-pyridylsulfinyl group, etc.), alkylsulfonyl group (eg, etc.), arylsulfonyl group substituted by alkyl group (eg, phenylsulfonyl group, naphthylsulfonyl group, 2-pyridylsulfonyl group, etc.), alkyl group substituted Arylamino groups (for example, anilino group, naphthylamino group, 2-pyridylamino group, etc.), arylsilyl groups substituted by alkyl groups (for example, triphenylsilyl group), and the like.
以下に、本発明の具体的化合物例を示すが、本発明における化合物がこれらに限定されるものではない。 Specific examples of the compound of the present invention are shown below, but the compound in the present invention is not limited thereto.
本発明の有機半導体材料は有機TFT素子の活性層に設置することにより、良好に駆動する有機トランジスタ素子を提供することができる。 By placing the organic semiconductor material of the present invention in the active layer of the organic TFT element, it is possible to provide an organic transistor element that is driven satisfactorily.
有機TFT素子は、支持体上に有機半導体チャネル(活性層)で連結されたソース電極とドレイン電極を有し、その上にゲート絶縁層を介してゲート電極を有するトップゲート型と、支持体上にまずゲート電極を有し、ゲート絶縁層を介して有機半導体チャネルで連結されたソース電極とドレイン電極を有するボトムゲート型に大別される。 The organic TFT device has a source electrode and a drain electrode connected by an organic semiconductor channel (active layer) on a support, a top gate type having a gate electrode on the support via a gate insulating layer, and a support on the support First, it is roughly classified into a bottom gate type having a gate electrode and having a source electrode and a drain electrode connected by an organic semiconductor channel through a gate insulating layer.
本発明の化合物を有機TFT素子の活性層に設置するには、真空蒸着により基板上に設置することもできるが、適切な溶剤に溶解し必要に応じ添加剤を加えて調製した溶液をキャストコート、スピンコート、印刷、インクジェット法、アブレーション法等によって基板上に設置するのが好ましい。この場合、本発明の有機半導体材料を溶解する溶剤は、該有機半導体材料を溶解して適切な濃度の溶液が調製できるものであれば格別の制限はないが、具体的にはジエチルエーテルやジイソプロピルエーテル等の鎖状エーテル系溶媒、テトラヒドロフランやジオキサンなどの環状エーテル系溶媒、アセトンやメチルエチルケトン等のケトン系溶媒、クロロホルムや1,2−ジクロロエタン等のハロゲン化アルキル系溶媒、トルエン、o−ジクロロベンゼン、ニトロベンゼン、m−クレゾール等の芳香族系溶媒、ヘキサンやシクロヘキサン等の脂肪族炭化水素系溶媒、N−メチルピロリドン、2硫化炭素等を挙げることができる。 In order to install the compound of the present invention in the active layer of the organic TFT device, it can be installed on the substrate by vacuum deposition, but a solution prepared by dissolving in an appropriate solvent and adding additives as necessary is cast coated. It is preferably installed on the substrate by spin coating, printing, ink jet method, ablation method or the like. In this case, the solvent for dissolving the organic semiconductor material of the present invention is not particularly limited as long as the organic semiconductor material can be dissolved to prepare a solution having an appropriate concentration. Specifically, diethyl ether or diisopropyl is used. Chain ether solvents such as ether, cyclic ether solvents such as tetrahydrofuran and dioxane, ketone solvents such as acetone and methyl ethyl ketone, alkyl halide solvents such as chloroform and 1,2-dichloroethane, toluene, o-dichlorobenzene, Aromatic solvents such as nitrobenzene and m-cresol, aliphatic hydrocarbon solvents such as hexane and cyclohexane, N-methylpyrrolidone, carbon disulfide and the like can be mentioned.
本発明おいて、ソース電極、ドレイン電極及びゲート電極を形成する材料は導電性材料であれば特に限定されず、白金、金、銀、ニッケル、クロム、銅、鉄、錫、アンチモン鉛、タンタル、インジウム、パラジウム、テルル、レニウム、イリジウム、アルミニウム、ルテニウム、ゲルマニウム、モリブデン、タングステン、酸化スズ・アンチモン、酸化インジウム・スズ(ITO)、フッ素ドープ酸化亜鉛、亜鉛、炭素、グラファイト、グラッシーカーボン、銀ペーストおよびカーボンペースト、リチウム、ベリリウム、ナトリウム、マグネシウム、カリウム、カルシウム、スカンジウム、チタン、マンガン、ジルコニウム、ガリウム、ニオブ、ナトリウム、ナトリウム−カリウム合金、マグネシウム、リチウム、アルミニウム、マグネシウム/銅混合物、マグネシウム/銀混合物、マグネシウム/アルミニウム混合物、マグネシウム/インジウム混合物、アルミニウム/酸化アルミニウム混合物、リチウム/アルミニウム混合物等が用いられるが、特に、白金、金、銀、銅、アルミニウム、インジウム、ITOおよび炭素が好ましい。あるいはドーピング等で導電率を向上させた公知の導電性ポリマー、例えば導電性ポリアニリン、導電性ポリピロール、導電性ポリチオフェン、ポリエチレンジオキシチオフェンとポリスチレンスルホン酸の錯体なども好適に用いられる。中でも半導体層との接触面において電気抵抗が少ないものが好ましい。 In the present invention, the material for forming the source electrode, the drain electrode, and the gate electrode is not particularly limited as long as it is a conductive material. Platinum, gold, silver, nickel, chromium, copper, iron, tin, antimony lead, tantalum, Indium, palladium, tellurium, rhenium, iridium, aluminum, ruthenium, germanium, molybdenum, tungsten, tin oxide / antimony, indium tin oxide (ITO), fluorine doped zinc oxide, zinc, carbon, graphite, glassy carbon, silver paste and Carbon paste, lithium, beryllium, sodium, magnesium, potassium, calcium, scandium, titanium, manganese, zirconium, gallium, niobium, sodium, sodium-potassium alloy, magnesium, lithium, aluminum, magnesium / Copper mixture, magnesium / silver mixture, magnesium / aluminum mixture, magnesium / indium mixture, aluminum / aluminum oxide mixture, lithium / aluminum mixture, etc., especially platinum, gold, silver, copper, aluminum, indium, ITO And carbon are preferred. Alternatively, a known conductive polymer whose conductivity is improved by doping or the like, for example, conductive polyaniline, conductive polypyrrole, conductive polythiophene, a complex of polyethylenedioxythiophene and polystyrenesulfonic acid, or the like is also preferably used. Among them, those having low electrical resistance at the contact surface with the semiconductor layer are preferable.
電極の形成方法としては、上記を原料として蒸着やスパッタリング等の方法を用いて形成した導電性薄膜を、公知のフォトリソグラフ法やリフトオフ法を用いて電極形成する方法、アルミニウムや銅などの金属箔上に熱転写、インクジェット等によるレジストを用いてエッチングする方法がある。また導電性ポリマーの溶液あるいは分散液、導電性微粒子分散液を直接インクジェットによりパターニングしてもよいし、塗工膜からリソグラフやレーザーアブレーションなどにより形成してもよい。さらに導電性ポリマーや導電性微粒子を含むインク、導電性ペーストなどを凸版、凹版、平版、スクリーン印刷などの印刷法でパターニングする方法も用いることができる。 As a method for forming an electrode, a method for forming an electrode using a known photolithographic method or a lift-off method, using a conductive thin film formed by a method such as vapor deposition or sputtering using the above as a raw material, or a metal foil such as aluminum or copper There is a method of etching using a resist by thermal transfer, ink jet or the like. Alternatively, a conductive polymer solution or dispersion, or a conductive fine particle dispersion may be directly patterned by ink jetting, or may be formed from a coating film by lithography or laser ablation. Furthermore, a method of patterning an ink containing a conductive polymer or conductive fine particles, a conductive paste, or the like by a printing method such as relief printing, intaglio printing, planographic printing, or screen printing can also be used.
ゲート絶縁層としては種々の絶縁膜を用いることができるが、特に、比誘電率の高い無機酸化物皮膜が好ましい。無機酸化物としては、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化タンタル、酸化チタン、酸化スズ、酸化バナジウム、チタン酸バリウムストロンチウム、ジルコニウム酸チタン酸バリウム、ジルコニウム酸チタン酸鉛、チタン酸鉛ランタン、チタン酸ストロンチウム、チタン酸バリウム、フッ化バリウムマグネシウム、チタン酸ビスマス、チタン酸ストロンチウムビスマス、タンタル酸ストロンチウムビスマス、タンタル酸ニオブ酸ビスマス、トリオキサイドイットリウムなどが挙げられる。それらのうち好ましいのは、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化タンタル、酸化チタンである。窒化ケイ素、窒化アルミニウム等の無機窒化物も好適に用いることができる。 Various insulating films can be used as the gate insulating layer, and an inorganic oxide film having a high relative dielectric constant is particularly preferable. Inorganic oxides include silicon oxide, aluminum oxide, tantalum oxide, titanium oxide, tin oxide, vanadium oxide, barium strontium titanate, barium zirconate titanate, lead zirconate titanate, lead lanthanum titanate, strontium titanate, Examples thereof include barium titanate, barium magnesium fluoride, bismuth titanate, strontium bismuth titanate, strontium bismuth tantalate, bismuth tantalate niobate, and yttrium trioxide. Of these, silicon oxide, aluminum oxide, tantalum oxide, and titanium oxide are preferable. Inorganic nitrides such as silicon nitride and aluminum nitride can also be suitably used.
上記皮膜の形成方法としては、真空蒸着法、分子線エピタキシャル成長法、イオンクラスタービーム法、低エネルギーイオンビーム法、イオンプレーティング法、CVD法、スパッタリング法、大気圧プラズマ法などのドライプロセスや、スプレーコート法、スピンコート法、ブレードコート法、デイップコート法、キャスト法、ロールコート法、バーコート法、ダイコート法などの塗布による方法、印刷やインクジェットなどのパターニングによる方法などのウェットプロセスが挙げられ、材料に応じて使用できる。 Examples of the method for forming the film include a vacuum process, a molecular beam epitaxial growth method, an ion cluster beam method, a low energy ion beam method, an ion plating method, a CVD method, a sputtering method, an atmospheric pressure plasma method, and a spray process. Wet processes such as coating methods, spin coating methods, blade coating methods, dip coating methods, casting methods, roll coating methods, bar coating methods, die coating methods, and other wet processes such as printing and ink jet patterning methods, etc. Can be used depending on the material.
ウェットプロセスは、無機酸化物の微粒子を、任意の有機溶剤あるいは水に必要に応じて界面活性剤などの分散補助剤を用いて分散した液を塗布、乾燥する方法や、酸化物前駆体、例えばアルコキシド体の溶液を塗布、乾燥する、いわゆるゾルゲル法が用いられる。 The wet process is a method of applying and drying a liquid in which fine particles of inorganic oxide are dispersed in an arbitrary organic solvent or water using a dispersion aid such as a surfactant as required, or an oxide precursor, for example, A so-called sol-gel method in which a solution of an alkoxide body is applied and dried is used.
これらのうち好ましいのは、大気圧プラズマ法とゾルゲル法である。 Among these, the atmospheric pressure plasma method and the sol-gel method are preferable.
大気圧下でのプラズマ製膜処理による絶縁膜の形成方法は、大気圧または大気圧近傍の圧力下で放電し、反応性ガスをプラズマ励起し、基材上に薄膜を形成する処理で、その方法については特開平11−61406、同11−133205、特開2000−121804、同2000−147209、同2000−185362等に記載されている(以下、大気圧プラズマ法とも称する)。これによって高機能性の薄膜を、生産性高く形成することができる。 The method for forming an insulating film by plasma film formation under atmospheric pressure is a process in which a reactive gas is discharged under atmospheric pressure or a pressure near atmospheric pressure to excite reactive gas to form a thin film on a substrate. The method is described in JP-A-11-61406, JP-A-11-133205, JP-A-2000-121804, 2000-147209, 2000-185362, etc. (hereinafter also referred to as atmospheric pressure plasma method). Accordingly, a highly functional thin film can be formed with high productivity.
また有機化合物皮膜としては、ポリイミド、ポリアミド、ポリエステル、ポリアクリレート、光ラジカル重合系、光カチオン重合系の光硬化性樹脂、あるいはアクリロニトリル成分を含有する共重合体、ポリビニルフェノール、ポリビニルアルコール、ノボラック樹脂、およびシアノエチルプルラン等を用いることもできる。 In addition, as the organic compound film, polyimide, polyamide, polyester, polyacrylate, photo radical polymerization type, photo cation polymerization type photo curable resin, or a copolymer containing an acrylonitrile component, polyvinyl phenol, polyvinyl alcohol, novolac resin, Also, cyanoethyl pullulan or the like can be used.
有機化合物皮膜の形成法としては、前記ウェットプロセスが好ましい。 As the method for forming the organic compound film, the wet process is preferable.
無機酸化物皮膜と有機酸化物皮膜は積層して併用することができる。またこれら絶縁膜の膜厚としては、一般に50nm〜3μm、好ましくは、100nm〜1μmである。 An inorganic oxide film and an organic oxide film can be laminated and used together. The thickness of these insulating films is generally 50 nm to 3 μm, preferably 100 nm to 1 μm.
また支持体はガラスやフレキシブルな樹脂製シートで構成され、例えばプラスチックフィルムをシートとして用いることができる。前記プラスチックフィルムとしては、例えばポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリエーテルスルホン(PES)、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリフェニレンスルフィド、ポリアリレート、ポリイミド、ボリカーボネート(PC)、セルローストリアセテート(TAC)、セルロースアセテートプロピオネート(CAP)等からなるフィルム等が挙げられる。このように、プラスチックフィルムを用いることで、ガラス基板を用いる場合に比べて軽量化を図ることができ、可搬性を高めることができるとともに、衝撃に対する耐性を向上できる。 Moreover, a support body is comprised with glass or a flexible resin-made sheet | seat, for example, a plastic film can be used as a sheet | seat. Examples of the plastic film include polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN), polyethersulfone (PES), polyetherimide, polyetheretherketone, polyphenylene sulfide, polyarylate, polyimide, polycarbonate (PC), Examples thereof include films made of cellulose triacetate (TAC), cellulose acetate propionate (CAP), and the like. Thus, by using a plastic film, the weight can be reduced as compared with the case of using a glass substrate, the portability can be improved, and the resistance to impact can be improved.
以下に、本発明に係わる半導体材料からなる有機薄膜を用いた電界効果トランジスタについて説明する。 Below, the field effect transistor using the organic thin film which consists of a semiconductor material concerning this invention is demonstrated.
図1は、本発明の有機半導体材料を用いた電界効果トランジスタの概略構成例を示す。同図(a)は、支持体6上に金属箔等によりソース電極2、ドレイン電極3を形成し、両電極間に本発明の半導体材料からなる活性層1を形成し、その上に絶縁層5を形成し、更にその上にゲート電極4を形成して電界効果トランジスタを形成したものである。同図(b)は、有機半導体を用いた活性層1を、(a)では電極間に形成したものを、コート法等を用いて電極及び支持体表面全体を覆うように形成したものを表す。(c)は、支持体6上に先ずコート法等を用いて、有機半導体を用いた活性層1を形成し、その後ソース電極2、ドレイン電極3、絶縁層5、ゲート電極4を形成したものを表す。
FIG. 1 shows a schematic configuration example of a field effect transistor using the organic semiconductor material of the present invention. In FIG. 2A, a
同図(d)は、支持体6上にゲート電極4を金属箔等で形成した後、絶縁層5を形成し、その上に金属箔等で、ソース電極2及びドレイン電極3を形成し、該電極間に本発明の半導体材料により形成された活性層1を形成する。その他同図(e)、(f)に示すような構成を取ることもできる。
In FIG. 4D, after forming the gate electrode 4 on the
以下、実施例により本発明を説明するが、本発明の実施態様はこれらに限定されるものではない。 EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention, the embodiment of this invention is not limited to these.
実施例1
ゲート電極としての比抵抗0.01Ω・cmのSiウェハーに、厚さ200nmの熱酸化膜を形成してゲート絶縁層とした後、オクチルトリクロロシランによる表面処理を行った。比較化合物〈1〉(ペンタセン、アルドリッチ社製市販試薬を昇華精製して用いた)のクロロホルム溶液をスピンコートを用いて塗布し、自然乾燥することによりキャスト膜(厚さ50nm)を形成して、窒素雰囲気下で50℃、30分間の熱処理を施した。更に、この膜の表面にマスクを用いて金を蒸着してソースおよびドレイン電極を形成した。ソースおよびドレイン電極は幅100μm、厚さ200nmで、チャネル幅W=3mm、チャネル長L=20μmの比較例1の有機TFT素子を作製した。
Example 1
A 200 nm thick thermal oxide film was formed on a Si wafer having a specific resistance of 0.01 Ω · cm as a gate electrode to form a gate insulating layer, and then surface treatment with octyltrichlorosilane was performed. A cast film (
比較化合物〈1〉を比較化合物〈2〉(特開平11−195790号開示の化合物)に代えた他は、比較例1と同様の方法で、比較例2の有機TFT素子を作製した。 An organic TFT device of Comparative Example 2 was produced in the same manner as Comparative Example 1, except that Comparative Compound <1> was replaced with Comparative Compound <2> (compound disclosed in JP-A No. 11-195790).
同様に、比較化合物〈1〉を比較化合物〈3〉(JACS誌第2005年誌第127巻第614−618に記載の化合物)に代えた他は、比較例1と同様の方法で、比較例3の有機TFT素子を作製した。 Similarly, Comparative Example <1> was replaced with Comparative Compound <3> (compound described in JACS Magazine 2005, Vol. 127, 614-618) in the same manner as Comparative Example 1, except that Comparative Example 3 organic TFT elements were produced.
更に、比較化合物〈1〉を表1に示した本発明の例示化合物に代えた他は比較例1と同様の方法で、実施例1〜3の有機TFT素子を作製した。 Furthermore, organic TFT elements of Examples 1 to 3 were produced in the same manner as in Comparative Example 1 except that the comparative compound <1> was replaced with the exemplary compounds of the present invention shown in Table 1.
以上のように作製した比較例1〜3及び実施例1〜3の各有機TFT素子は、pチャネルのエンハンスメント型FETは良好な動作特性を示した。さらに、各有機TFT素子について、I−V特性の飽和領域から、キャリア移動度とON/OFF比(ドレインバイアス−50Vとし、ゲートバイアス−50Vおよび0Vにしたときのドレイン電流値の比率)を求めた。 As for the organic TFT elements of Comparative Examples 1 to 3 and Examples 1 to 3 manufactured as described above, the p-channel enhancement type FET showed good operating characteristics. Further, for each organic TFT element, the carrier mobility and the ON / OFF ratio (the ratio of the drain current when the gate bias is −50 V and 0 V) are obtained from the saturation region of the IV characteristics. It was.
また得られた素子を大気中で1ヶ月放置し、再度キャリア移動度とON/OFF比を求めた。結果を表1に示す。 The obtained element was left in the atmosphere for one month, and the carrier mobility and the ON / OFF ratio were obtained again. The results are shown in Table 1.
表1の結果より本発明の有機TFT素子は、トランジスタとしての特性が良好であり、さらに、経時劣化が抑えられていることが分かった。 From the results shown in Table 1, it was found that the organic TFT element of the present invention had good characteristics as a transistor and further suppressed deterioration over time.
また、比較化合物〈1〉(ペンタセン)を用いた比較例1の結果は、塗布による薄膜形成では、活性層として機能する十分なペンタセン薄膜を得がたいことが明確に示されている。一方、本発明の有機TFT素子は、塗布による薄膜形成で、経時での劣化も少なく、良好なトランジスタとしての特性を示すことがわかった。 In addition, the result of Comparative Example 1 using Comparative Compound <1> (pentacene) clearly shows that it is difficult to obtain a sufficient pentacene thin film functioning as an active layer in forming a thin film by coating. On the other hand, it has been found that the organic TFT element of the present invention shows good characteristics as a transistor with little deterioration over time when a thin film is formed by coating.
1 活性層
2 ソース電極
3 ドレイン電極
4 ゲート電極
5 絶縁層
6 支持体
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