JP2007005434A

JP2007005434A - 静電チャック装置用電極シートおよび静電チャック装置

Info

Publication number: JP2007005434A
Application number: JP2005181710A
Authority: JP
Inventors: Ritsu Kawase; 律川瀬
Original assignee: Tomoegawa Paper Co Ltd
Current assignee: Tomoegawa Co Ltd
Priority date: 2005-06-22
Filing date: 2005-06-22
Publication date: 2007-01-11

Abstract

【課題】正電極端子と正電極用リード線との接続部や、負電極端子と負電極用リード線との接続部において、放電を抑制できる静電チャック装置用電極シートおよびこれを用いた静電チャック装置を提供する。
【解決手段】正電極端子と、これに接続された正電極用リード線６０Ａと、負電極端子と、これに接続された負電極用リード線６０Ｂとを有する静電チャック装置用電極シートであって、正電極端子と正電極用リード線６０Ａとの接続部と、負電極端子と負電極用リード線６０Ｂとの接続部の、一方あるいは両方が、絶縁性樹脂８０にて被覆されていることを特徴とする静電チャック装置用電極シートおよびこれを基板の上に設けてなる静電チャック装置。
【選択図】図７

Description

本発明は、半導体ウエハ、光学ガラス等を真空中で保持するのに好適な静電チャック装置用電極シートおよび静電チャック装置に関する。

静電チャック装置は、半導体ウエハや光学ガラスを加工する工程において、加工機の所定部位に搬送、固定するために使用される。チャック装置としては、機械式と呼ばれるメカチャック方式や、真空式と呼ばれるバキューム方式、および静電式と呼ばれる静電チャック方式が存在する。この中でも、静電チャック装置は、取り扱いが容易で、大気中のみならず、真空中でも使用できる利点を有している。また、静電チャック装置は吸着物を面で静電的に吸着させるため、機械式のような、部分的な吸着ではないため、吸着物の変形、および吸着による吸着物の加工範囲に制限がない利点を有する。また、真空式のような、吸着物の変形、および吸着物とチャックのサイズ関係を吸着物がチャックよりも大とする必要がないことも静電チャック装置の利点である。

従来の静電チャック装置としては、例えば、特許文献１に示されているような構造のものが挙げられる。図８は、従来の静電チャック装置の断面図であり、この静電チャック装置１は、中央の両表面に貫通孔２で連通した凹部３，４が設けられた円盤状の金属基盤５と、絶縁層６，７およびこれに挟まれた導電層８を有し金属基盤５上に積層された電極シート９と絶縁層１０，１１およびこれに挟まれた導電層１２を有し凹部４から貫通孔２を通って凹部３に至るように金属基盤５に接着された給電シート１３と凹部３における電極シート９の導電層８の露出部および給電シート１３の導電層１２の露出部に接合された金属バネ１４とを具備して概略構成されるものである。

金属基盤５内には、冷却水や温熱水によって装置の温度を調整するための調温手段(図示略)が形成されている。また、この静電チャック装置１の下方には、金属基盤支持体１５が設けられており、さらに、金属基盤支持体１５の給電孔１６内には、バネ１７によって上方に押し上げられる給電ピン１８が設けられている。この静電チャック装置１においては、バネ１７によって上方に押し上げられる給電ピン１８を、凹部４における給電シート１３の導電層１２の露出部に設けられた接続導体１９に接触させ、給電ピン１８に接続する直流高圧電源(図示略)から電極シート９に通電することにより、電極シート９の上面に静電気力を生じさせ、その静電気力で電極シート９上面にウエハや光学ガラスが吸着固定されるようになっている。
なお、給電ピン１８は正電極端子(図示略)と負電極端子(図示略)を有し、それぞれには直流高圧電源(図示略)からのびる正電極用リード線と負電極用リード線とが接続されている。
特開２００３−１１５５２９号公報

しかしながら、従来の静電チャック装置においては、静電チャック装置用電極シートを吸着面用、および給電用の２枚構成とする必要があり、上述したような構造とするための、電極シートの貼着における位置合わせが困難である。また、静電チャック装置用電極シートを貼着させる金属基盤に上述のような貫通孔を設ける必要があり、金属基盤の加工が複雑になること、および電圧を静電チャック装置に供給するための給電ピンや金属支持体が必要となり、部品点数の増加、および組み立てが容易でなく、静電チャック装置の取り付け、取り替えが容易でないことが問題であった。

さらには、近年の静電チャック装置の使用プロセスとしては、真空中のみで、吸着物を搬送、保持する形態のものから、大気から真空へ、あるいはその逆へと連続して変化するプロセス環境下で静電チャック装置を使用するケースが要望されており、使用環境が複雑化しつつある。そのような状況から、静電チャック装置における電気的接続部分には、大気から真空を繰り返すプロセス環境においても、上述の正電極端子と正電極用リード線との接続部や、負電極端子と負電極用リード線との接続部において、放電や、リーク電流の増大しない安定した信頼性を有する電気的接続部が要求されている。また、静電チャック装置としては、取り付け、取り外しの簡易性が求められており、より少ない部品点数化が要求されている。

そこで、本発明においては、正電極端子と正電極用リード線との接続部や、負電極端子と負電極用リード線との接続部において、絶縁不良、接触不良による放電の発生を抑制でき、大気から真空におよぶ使用環境においても安定した吸着性能を発揮できる静電チャック装置用電極シート、およびこれを用いた静電チャック装置を提供することを目的とする。

前記課題を解決するために本発明においては以下の手段を提供する。
第１の態様は、正電極端子と、これに接続された正電極用リード線と、負電極端子と、これに接続された負電極用リード線とを有する静電チャック装置用電極シートであって、
正電極端子と正電極用リード線との接続部と、負電極端子と負電極用リード線との接続部の、一方あるいは両方が、絶縁性樹脂にて被覆されていることを特徴とする静電チャック装置用電極シートである。
第２の態様は、基板と、その上に設けられた本発明の静電チャック装置用電極シートとを有することを特徴とする静電チャック装置である。

本発明においては、正電極端子と正電極用リード線との接続部や、負電極端子と負電極用リード線との接続部において、放電を抑制できる静電チャック装置用電極シートおよびこれを用いた静電チャック装置を提供することができる。

［静電チャック装置用電極シート］
本発明の静電チャック装置用電極シートは、正電極端子と正電極用リード線との接続部と、負電極端子と負電極用リード線との接続部の、一方あるいは両方が、絶縁性樹脂にて被覆されていることを特徴とする。
本発明の静電チャック装置用電極シートは、正電極用リード線と負電極用リード線を接続する前の静電チャック装置用電極シート本体を用意し、これに正電極用リード線と負電極用リード線を接続し、これらの接続部の一方あるいは両方を絶縁性樹脂にて被覆することにより得ることができる。
以下、本発明の静電チャック装置用電極シートの構造を、その製造方法とともに説明する。

まず、正電極用リード線と負電極用リード線を接続する前の静電チャック装置用電極シート本体を用意する。
図１は、静電チャック装置用電極シート本体の一例を示す平面図である。
図２〜４は静電チャック装置用電極シート本体の断面図である。
図５は図１に示した静電チャック装置用電極シート本体の斜視図である。

静電チャック装置用電極シート本体３０は、略長方形のシート本体４０と、その一辺の両端から、それぞれのびる棒状の２本のリード部４０Ａ、４０Ｂとからなる。
シート本体４０とリード部４０Ａ、４０Ｂは、樹脂シート４１と、その内部に埋め込まれた櫛歯状の帯状正電極３４と、帯状正電極３４と同一平面上に対称に配置された櫛歯状の帯状負電極３５とから構成されている。

帯状正電極３４においては、ストライプ状に配置された複数本の電極が共通する正電極端子３４ａに接続されている。
帯状負電極３５においても同様に、ストライプ状に配置された複数本の電極が共通する負電極端子３５ａに接続されている。
そして、帯状正電極３４と帯状負電極３５のストライプ状の電極は、シート本体４０に対応する位置に交互に配置されている。
また、正電極端子３４ａの先端部分は、リード部４０Ａに対応する位置に配置されている。負電極端子３５ａの先端部分はリード部４０Ｂに対応する位置に配置されている。

この静電チャック装置用電極シート本体３０は、このように極性の異なる電圧が印加される複数の電極を備えたいわゆる双極型構造を有するものである。双極型では、単極型と異なり、被吸着体に直接通電することなく、被吸着体を吸着保持できるので、被吸着体に対して影響を与える恐れがなく、好適である。なお、極性の異なる電圧が印加される帯状正電極３４と帯状負電極３５は、交互に配置されていれば良いので、そのパターンは図１に示したようなパターンに限定されるものではない。加えて、各電極の形状も帯状に限定されるものではない。

静電チャック装置用電極シート本体３０の構造は例えば図２〜図４に示す断面図の様に、一対の絶縁性有機フィルム３１、３２が絶縁性接着剤層３３を介して貼着され、絶縁性接着剤層３３内に帯状正電極３４と帯状負電極３５が形成されてなる。
本実施形態では、絶縁性有機フィルム３２の上面が、被吸着体を吸着する吸着面となっている。

また、帯状正電極３４と帯状負電極３５は絶縁性接着剤層３３内に形成されていれば良いので、その形成位置については適宜設計できる。具体的には、図２に示すように、下側の絶縁性有機フィルム３１の上面に形成されていても良いし、図４に示すように、上側の絶縁性有機フィルム３２の下面に形成されていても良い。また、図３に示すように、上下の絶縁性有機フィルム３１及び３２から離間するように形成されていても良い。

絶縁性有機フィルム３１、３２の材質としては特に限定されるものではないが、例えば、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル類、ポリエチレン等のポリオレフィン類、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルイミド、トリアセチルセルロース、シリコーンゴム等が挙げられる。中でも、絶縁性に優れることから、ポリエステル類、ポリオレフィン類、ポリイミド、シリコーンゴム、ポリエーテルイミド、ポリエーテルサルフォン等が好ましい。特にポリイミドは高耐熱性であり、高温時においてもリーク電流が増大せず、エレクトロマイグレーションの発生が極めて少ないので好ましく使用することができる。
ポリイミドフィルムは市販されており、例えば、東レ・デュポン社製商品名カプトン、宇部興産社製商品名ユーピレックス、鐘淵化学工業社製商品名アピカル等が好ましく用いられる。
絶縁性有機フィルム３１、３２の厚さも特に限定されるものではないが、１２〜１５０μｍが好ましく、２５〜７５μｍがより好ましい。被吸着体を吸着する側の絶縁性有機フィルム３２の厚さを２０μｍ以上とすることにより、絶縁性を向上させることができる。１５０μｍ以下にすることにより、十分な静電吸着力が得られる。

絶縁性接着剤層３３を構成する絶縁性接着剤としては、例えばエポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリアミド樹脂、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体、ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂、シリコーン樹脂、スチレン系ブロック共重合体、アミン化合物、ビスマレイミド化合物等から選択される１種又は２種以上の樹脂を主成分とする接着剤を用いることができる。
ここで、エポキシ樹脂としては、ビスフェノール型、フェノールノボラック型、クレゾールノボラック型、グリシジルエーテル型、グリシジルエステル型、グリシジルアミン型、トリヒドロキシフェニルメタン型、テトラグリシジルフェノールアルカン型、ナフタレン型、ジグリシジルジフェニルメタン型、ジグリシジルビフェニル型等の２官能又は多官能エポキシ樹脂等が具体的に挙げられる。中でも、ビスフェノール型エポキシ樹脂が好ましく、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂が特に好ましい。また、エポキシ樹脂を主成分とする場合、必要に応じて、イミダゾール類、第３アミン類、フェノール類、ジシアンジアミド類、芳香族ジアミン類、有機過酸化物等のエポキシ樹脂用の硬化剤や硬化促進剤を配合したものを用いることもできる。
フェノール樹脂としては、アルキルフェノール樹脂、ｐ−フェニルフェノール樹脂、ビスフェノールＡ型フェノール樹脂等のノボラックフェノール樹脂、レゾールフェノール樹脂、ポリフェニルパラフェノール樹脂等が具体的に挙げられる。
スチレン系ブロック共重合体としては、スチレン−ブタジエン−スチレンブロック共重合体（ＳＢＳ）、スチレン−イソプレン−スチレンブロック共重合体（ＳＩＳ）、スチレン−エチレン−ブチレン−スチレンブロック共重合体（ＳＥＢＳ）、スチレン−エチレン−プロピレン−スチレン共重合体（ＳＥＰＳ）等が具体的に挙げられる。

帯状正電極３４と帯状負電極３５としては、電圧を印加した際に静電吸着力を発現できる導電性物質からなるものであれば特に限定されず、銅、アルミニウム、金、銀、白金、クロム、ニッケル、タングステン等やこれらの合金から選択される１種又は２種以上の金属からなる薄膜をパターニングしたものが好ましい。金属薄膜としては、蒸着、メッキ、スパッタリング等により成膜されたものや、導電性ペーストを塗布乾燥して成膜されたもの、銅箔等の金属箔等が具体的に挙げられる。

本実施形態では、絶縁性接着剤層３３が帯状正電極３４と帯状負電極３５よりも厚く形成されている必要がある。
帯状正電極３４と帯状負電極３５の厚さは、以上の条件を充足するものであれば特に限定されないが、それぞれ具体的には２０μｍ以下が好ましい。帯状正電極３４と帯状負電極３５の厚さを２０μｍ以下とすることにより、吸着面上に形成される凹凸を小さくすることができる。また、帯状正電極３４と帯状負電極３５の厚さは１μｍ以上であることが好ましい。帯状正電極３４と帯状負電極３５の厚さを１μｍ以上とすることにより、電極の接合時に強度を充分なものとすることができる。
また、隣接する帯状正電極３４と帯状負電極３５の間隔が２ｍｍ以下であることが好ましい。電極間隔を２ｍｍ以下とすることにより、電極間に十分な静電力を発現させることができ、吸着力を充分なものとすることができる。さらに、被吸着体を吸着する側の絶縁性有機フィルム３２の表面（すなわち吸着面）の凹凸差が１０μm以下であることが好ましい。吸着面の凹凸差を１０μｍ以下とすることにより、被吸着体との密着性を向上させ、吸着力を充分なものとすることができる。
前述した絶縁性接着剤層と電極との積層方法に関しては何ら制限されるものではないが、取り扱いの簡便さ、および積層後の厚さ精度を確保するためには、常温において固体の接着剤が剥離性フィルムに所定の厚さで塗布された、いわゆるドライフィルムを用いて転写して使用することが望ましい。また、予め常温固体の接着剤が片面もしくは両面に塗布された接着剤付きプラスティックフィルムを使用してもよい。さらにまた、例えばポリイミドフィルムの片面もしくは両面に、銅箔が直接積層された構造のものを使用して、ポリイミドフィルム上に接着剤層を介さずに電極層を設けても良い。

ついで、以下の様にして、静電チャック装置用電極シート３０に正電極用リード線６０Ａと負電極用リード線６０Ｂを接続して静電チャック装置用電極シートを完成させる。
図５に示す様に、静電チャック装置用電極シート本体３０を用意し、図６（ａ）に示す様に、静電チャック装置用電極シート本体３０のリード部４０Ａの先端部において、樹脂シート４１を除去し、正電極端子３４ａの先端を露出させる。
一方、図６（ｂ）に示す様に、正電極用リード線６０Ａの先端部の樹脂被覆層６１を除去し、導電線６２を露出させる。導電線６２の材質としては、帯状正電極３４と帯状負電極３５に適用する材料と同様のものが挙げられる。樹脂被覆層６１の材質としては、絶縁性有機フィルム３１、３２に適用する材料と同様のものが挙げられる。
ついで、この導電線６２の先端を、正電極端子３４ａの先端とつきあわせる。
ついで、図６（ｃ）に示す様に、ハンダ７０にて、リード部４０Ａの正電極端子３４ａと、正電極用リード線６０Ａの導電線６２を電気的に導通させて接続する。接続方法はハンダに限らず、溶接する方法、ネジで接続する方法、導電性樹脂を介して粘着固定、接着固定する方法等を適用できる。

ついで、図６（ｄ）に示す様に、この接続部の周囲に、露出した正電極端子３４ａと導電線６２を覆うように円柱状の絶縁性樹脂８０を設ける。絶縁性樹脂８０は、例えば樹脂パイプ内に正電極端子３４ａと導電線６２の接続部をおさめ、このパイプの内部に硬化前の絶縁性樹脂を流し込み、硬化させることによって設けることができる。
また、絶縁性樹脂８０は他の部材によって被覆されていてもよい。絶縁性樹脂８０を被覆する材料としては、ポリエーテルエーテルケトン（PEEK）樹脂や、デルリン樹脂等のプラスティック材料や、ステンレス等の金属材料を用いることができる。絶縁性樹脂８０はその外形を被覆しなくても構わないが、静電チャック装置を装着する真空装置の真空チャンバーにおける大気側と真空側の境界部にこの静電チャック装置接続部を設ける場合、すなわち、チャンバー本体の外壁と内壁とを貫通する貫通孔内に前記絶縁性樹脂８０が設けられた接続部を配置し、正電極用リード線６０Ａを引き出す場合、上記した樹脂材料や金属材料にて絶縁性樹脂８０を被覆して、さらにこの部分をO−リング等でシールすれば、絶縁性が確保された静電チャック装置の接続部が得られると共に、真空チャンバ内を高真空にできる装置とすることができる。このＯ−リング等は、形状安定の点からも好ましい。絶縁性樹脂８０からなる被覆層の厚みは、例えば５０μｍ以上とすることが、信頼性向上の点から望ましい。
絶縁性樹脂８０のその他のサイズや形状は、正電極端子３４ａと導電線６２が露出した範囲全体を覆うことができれば、自由に設計することができる。

絶縁性樹脂８０としては、例えばエポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリアミド樹脂、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体、ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂、シリコーン樹脂、スチレン系ブロック共重合体、アミン化合物、ビスマレイミド化合物等から選択される１種又は２種以上の樹脂を主成分とするものが挙げられる。
ここで、エポキシ樹脂としては、ビスフェノール型、フェノールノボラック型、クレゾールノボラック型、グリシジルエーテル型、グリシジルエステル型、グリシジルアミン型、トリヒドロキシフェニルメタン型、テトラグリシジルフェノールアルカン型、ナフタレン型、ジグリシジルジフェニルメタン型、ジグリシジルビフェニル型等の２官能又は多官能エポキシ樹脂等が具体的に挙げられる。中でも、ビスフェノール型エポキシ樹脂が好ましく、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂が特に好ましい。また、エポキシ樹脂を主成分とする場合、必要に応じて、イミダゾール類、第３アミン類、フェノール類、ジシアンジアミド類、芳香族ジアミン類、有機過酸化物等のエポキシ樹脂用の硬化剤や硬化促進剤を配合したものを用いることもできる。
フェノール樹脂としては、アルキルフェノール樹脂、ｐ−フェニルフェノール樹脂、ビスフェノールＡ型フェノール樹脂等のノボラックフェノール樹脂、レゾールフェノール樹脂、ポリフェニルパラフェノール樹脂等が具体的に挙げられる。
スチレン系ブロック共重合体としては、スチレン−ブタジエン−スチレンブロック共重合体（ＳＢＳ）、スチレン−イソプレン−スチレンブロック共重合体（ＳＩＳ）、スチレン−エチレン−ブチレン−スチレンブロック共重合体（ＳＥＢＳ）、スチレン−エチレン−プロピレン−スチレン共重合体（ＳＥＰＳ）等が具体的に挙げられる。

そして、リード部４０Ｂ側の負電極端子３５ａと負電極用リード線６０Ｂの接続部も同様にして処理して絶縁性樹脂８０を設けると、図７に示す様に、正電極端子３４ａと正電極用リード線６０Ａとの接続部と、負電極端子３５ａと負電極用リード線６０Ｂとの接続部の両方に絶縁性樹脂８０、８０が設けられた静電チャック装置用電極シートが得られる。

［静電チャック装置］
そして、この静電チャック装置用電極シートの本体３０の被吸着体を吸着する吸着面と反対側の面を、図７に示す様に基板２０に貼着することによって、静電チャック装置が得られる。
基板２０としては特に限定されないが、アルミニウム基板、ステンレス基板、セラミック基板、アクリル樹脂等の樹脂基板、ガラス基板等が挙げられる。
また、基板２０と静電チャック装置用電極シート本体３０とを貼着するための接着剤としては、絶縁性接着剤層３３と同様の接着剤を用いることができる。
なお、この接着剤には、絶縁性接着剤３３に求められるような高い絶縁耐性は必要としないため、接着剤等を選定するにあたって何ら制限はなく、場合によっては導電性の接着剤、粘着剤等を使用しても構わない。

本発明においては、正電極端子３４ａと正電極用リード線６０Ａとの接続部と、負電極端子３５ａと負電極用リード線６０Ｂとの接続部の一方あるいは両方に絶縁性樹脂８０が設けられていれば、真空条件下、及び大気から真空雰囲気に移行する過程において、接続部が近接することによって生じると推測される放電を抑制することができ、信頼性向上の点から、両方に設けることが望ましい。

この様に、本発明においては、絶縁性樹脂８０の作用により、正電極端子３４ａと正電極用リード線６０Ａとの接続部や、負電極端子３５ａと負電極用リード線６０Ｂとの接続部において、大気から真空雰囲気に移行する操作を繰り返すプロセス環境下においても、放電を抑制できる静電チャック装置用電極シート本体３０およびこれを用いた静電チャック装置を提供することができる。本発明の静電チャック装置用電極シート本体３０およびこれを用いた静電チャック装置は、半導体ウエハ、光学ガラス等を真空中で保持するのに好適なものである。

以下に実施例を用いて本発明をさらに詳しく説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
（実施例）
下記のようにして、図１、図４、図５に示した構造の、正電極用リード線、負電極用リード線を接続する前の静電チャック装置用電極シート本体を作製した。
上側の絶縁性有機フィルムとして、膜厚７５μｍのポリイミドフィルム（東レ・デュポン社製商品名カプトン）を用意し、この片面に、電極及び端子を形成した。続いて剥離性フィルムに、ｏ−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂３５質量部、ノボラックフェノール樹脂１５質量部、硬化促進剤（ジシアンジアミド）０．２質量部、およびアクリロニトリル−ブタジエン共重合体５０質量部からなる絶縁性接着剤を乾燥後の厚さが１５μｍになるように塗布した後、乾燥及び加熱により半硬化させて絶縁性接着剤層を形成した。次にこの絶縁性接着剤層を上記絶縁性有機フィルムの電極形成面に貼着した後、剥離フィルムを剥離した。
さらに、下側の絶縁性有機フィルムとして、膜厚５０μｍのポリイミドフィルム（東レ・デュポン社製商品名カプトン）を、上記絶縁性接着剤層に貼着した。次いで、加熱により絶縁性接着剤層を完全に硬化させて、静電チャック装置用電極シート本体を得た。

ついで、図６（ａ）〜図６（ｄ）に示す手順で正電極用リード線と負電極用リード線を、それぞれ正電極端子と、負電極端子に接続した。
正電極用リード線と負電極用リード線は、いずれも銅線の上にシリコーンゴムからなる樹脂被覆層が設けられたものである。
銅線と端子との接続には、ハンダ付けを用いた。また、絶縁性樹脂はエポキシ樹脂（セメダイン社製商品名ＥＰ−００７）を用い、その被覆層の厚さは１００μｍとした。

この様にして得られた静電チャック装置用電極シートの下面（膜厚５０μｍのポリイミドフィルム側の面）にさらに絶縁性接着剤を乾燥後の厚さが２０μｍになるように塗布した後、乾燥及び加熱により半硬化させて接着剤層を形成した。最後に、該接着剤層を介してアルミニウム基板を貼着し、静電チャック装置を得た。

そして、真空チャンバ内に配置し、大気圧から真空雰囲気となるプロセスを繰り返し、正電極端子と正電極用リード線との接続部、および負電極端子と負電極用リード線との接続部を観察したところ、放電は生じなかった。

（比較例）
正電極端子と正電極用リード線との接続部、および負電極端子と負電極用リード線との接続部に絶縁性樹脂を設けない以外は実施例と同様にして静電チャック装置用電極シートおよび静電チャック装置を製造し、同様に評価したところ、前記接続部において放電が生じ、静電チャック装置用電極シートが劣化した。

実施例、比較例の結果より、本発明により、正電極端子と正電極用リード線との接続部や、負電極端子と負電極用リード線との接続部において、放電を抑制できることが確認できた。

正電極用リード線、負電極用リード線を接続する前の静電チャック装置用電極シート（静電チャック装置用電極シート本体）の一例を示す平面図である。静電チャック装置用電極シート本体の一例を示す断面図である。静電チャック装置用電極シート本体の他の例を示す断面図である。静電チャック装置用電極シート本体の他の例を示す断面図である。静電チャック装置用電極シート本体の一例を示す斜視図である。図６（ａ）〜図６（ｄ）は絶縁性樹脂を設ける手順を示すための説明図である。本発明の静電チャック装置用電極シートの一例を示す斜視図である。従来の静電チャック装置の一例を示す要部拡大断面図である。

符号の説明

３０静電チャック装置用電極シート本体
２０基板
３４帯状正電極
３５帯状負電極
３４ａ正電極端子
３５ａ負電極端子
６０Ａ正電極用リード線
６０Ｂ負電極用リード線
８０絶縁性樹脂

Claims

正電極端子と、これに接続された正電極用リード線と、負電極端子と、これに接続された負電極用リード線とを有する静電チャック装置用電極シートであって、
正電極端子と正電極用リード線との接続部と、負電極端子と負電極用リード線との接続部の、一方あるいは両方が、絶縁性樹脂にて被覆されていることを特徴とする静電チャック装置用電極シート。
基板と、その上に設けられた請求項１に記載の静電チャック装置用電極シートとを有することを特徴とする静電チャック装置。