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JP2007080998A - 画像表示装置、面状光源装置、及び、液晶表示装置組立体 - Google Patents

画像表示装置、面状光源装置、及び、液晶表示装置組立体 Download PDF

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JP2007080998A
JP2007080998A JP2005264937A JP2005264937A JP2007080998A JP 2007080998 A JP2007080998 A JP 2007080998A JP 2005264937 A JP2005264937 A JP 2005264937A JP 2005264937 A JP2005264937 A JP 2005264937A JP 2007080998 A JP2007080998 A JP 2007080998A
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Abstract

【課題】部品点数等の増加といった製造コストの増加を伴うこと無く、色再現範囲を一層広くすることを可能とする、GaN系半導体発光素子が組み込まれた画像表示装置を提供する。
【解決手段】画像表示装置は、青色を発光する第1発光素子1Bを備えた第1画像表示装置50B、緑色を発光する第2発光素子1Gを備えた第2画像表示装置50G、及び、赤色を発光する第3発光素子1Rを備えた第3画像表示装置50Rから成り、第1画像表示装置50B、第2画像表示装置50G及び第3画像表示装置50Rから射出された青色、緑色及び赤色の光によって画像が形成され、第1発光素子1B、第2発光素子1G及び第3発光素子1Rの内の少なくとも1つの発光素子は、GaN系半導体発光素子から構成されており、該GaN系半導体発光素子は、異なる動作電流密度に基づき異なる波長の光を発光する。
【選択図】 図1

Description

本発明は、GaN系半導体発光素子が組み込まれた画像表示装置、面状光源装置、及び、液晶表示装置組立体に関する。
通常、カラー画像を表示する画像表示装置は、赤色/緑色/青色を3原色としており、陰極線管における蛍光体や液晶表示装置におけるカラーフィルター等は、所望の3原色が得られるように選択されている。このような赤色/緑色/青色の3原色で表現される色域は、色度図上で3原色の色度点を頂点とする3角形で表され、代表的には、NTSC規格やEBU規格、Adobe RGB規格やsRGB規格等、種々の規格がある。従来の陰極線管ではEBU規格やsRGB規格を基本としていたが、近年、赤色/緑色/青色の3色(3種類)の発光ダイオードを面状光源装置(バックライト)に使用した液晶表示装置等においては、NTSC規格やAdobe RGB規格をカバーするような広色域の装置も市販されるようになっている。
また、自然界に存在する様々な色を表現するために、より多くの原色を用いる画像表示装置が提案されている。例えば、410nm、510nm、540nm、615nm、625nmという6色を発光する6種類の発光ダイオードを使用することで、sRGB規格に対して181%と広い色域を表現できる画像表示装置が提案されている(日経エレクトロニクス記事 http://techon.nikkeibp.co.jp/article/NEWS/20050510/104520/参照)。更には、液晶表示装置のみならず発光ダイオードを光源とした画像表示装置は、例えば、屋外用の大型直視型画像表示装置に応用されており、更には、小型直視型やプロジェクション型の画像表示装置等が、開発レベルで種々提案されている。
窒化ガリウム(GaN)系化合物半導体から成る活性層を備えた発光素子(GaN系半導体発光素子)においては、活性層の混晶組成や厚さによってバンドギャップエネルギーを制御することにより、紫外から赤外までの広い範囲に亙る発光波長を実現し得る。そして、既に、種々の色を発光するGaN系半導体発光素子が市販されており、画像表示装置や照明装置、検査装置、消毒用光源等、幅広い用途に用いられている。また、青紫色を発光する半導体レーザや発光ダイオード(LED)も開発されており、大容量光ディスクの書込みや読取り用のピックアップとして使用されている。
一般に、GaN系半導体発光素子は、駆動電流(動作電流)が増加すると、発光波長が短波長側にシフトすることが知られており、例えば、駆動電流を20mAから100mAへと増加させた場合、青色の発光領域においては−3nm、緑色の発光領域においては−19nmもの発光波長のシフトが報告されている(例えば、日亜化学工業株式会社製品仕様書NSPB500Sや日亜化学工業株式会社製品仕様書NSPG500S参照)。
そして、このような駆動電流(動作電流)の増加に起因した発光波長のシフトといった現象は、特に、可視光以上の発光波長を有するIn原子を含有するGaN系化合物半導体から成る活性層に共通する問題であり、活性層を構成する井戸層内でのIn原子によるキャリアの局在(例えば、Y. Kawakami, et al., J. Phys. Condens. Matter 13 (2001) pp. 6993 参照)や、格子不整合に起因する内部電界効果(S. F. Chichibu, Materials Science and Engineering B59 (1999) pp.298 参照)が関与していると考えられている。
ところで、例えば、特開2002−237619には、電流値を変化させることによって発光波長が変化する発光ダイオードに、複数のピーク電流値を有するパルス電流を供給することで複数の色を発光させる、発光ダイオードの発光色制御方法が開示されている。これにより、この発光ダイオードの発光色制御方法においては、発光源を1箇所として小型化を図ることができると共に、容易に発光色を制御することができるとされている。
また、GaN系半導体発光素子においては、高効率化のために、井戸層と障壁層とから成る多重量子井戸構造を有する活性層に関して様々な技術が提唱されており、例えば、特表2003−520453には、少なくとも2つの発光活性層、及び、少なくとも1つのバリア層を有する多重量子井戸構造の活性層において、発光活性層あるいはバリア層がチャーピングされた半導体発光素子が開示されている。ここで、チャーピングとは、類似した複数の層の厚さ及び/又は組成が一様とならないように、又は、非対称となるように、これらの層を形成することを意味する。そして、このような構成にすることで、多重量子井戸構造を有するLEDにおける各井戸層の光出力又は光生成効率を高めている。
より具体的には、この特許出願公表公報の段落番号[0031]には、第1の例として、LED30における活性層48〜56の厚さのみがチャーピングされており、活性領域36における活性層48,50,52,54及び56は、それぞれ、200,300,400,500及び600オングストロームの厚さを有するように構成されることが開示されている。また、この特許出願公表公報の段落番号[0032]には、第3の例として、バリア層58〜64の厚さのみがチャーピングされており、バリア層は、ほぼ10オングストロームからほぼ500オングストローム以上の間に亙る厚さを有し、n型の下部封層34により近いところに位置するバリア層が、n型の下部封層34から離れたところに位置するバリア層よりも厚くなるように構成されていることが開示されている。
特開2002−237619 特表2003−520453 http://techon.nikkeibp.co.jp/article/NEWS/20050510/104520/ 日亜化学工業株式会社製品仕様書NSPB500S 日亜化学工業株式会社製品仕様書NSPG500S Y. Kawakami, et al., J. Phys. Condens. Matter 13 (2001) pp. 6993 S. F. Chichibu, Materials Science and Engineering B59 (1999) pp.298 日経エレクトロニクス 2004年12月20日第889号の第128ページ
ところで、例えば、青色の発光波長を有するGaN系半導体発光素子(発光ダイオード)と、緑色の発光波長を有するGaN系半導体発光素子(発光ダイオード)と、赤色の発光波長を有するAlInGaP系の化合物半導体発光素子(発光ダイオード)とを、各サブピクセルに対応させて配列して構成される画像表示装置においては、ピクセル(画素)間の色度座標や輝度の調整が行われるものの、部品点数等の増加といった製造コストの増加を伴うこと無く、即ち、多くの原色に対応した複数種の発光素子(発光ダイオード)を必要とすること無しに、色再現範囲を一層広くすることに対する強い要望がある。また、液晶表示装置を背面から照射する面状光源装置においても、同様の強い要望がある。
しかしながら、上述の特許公開公報や特許出願公表公報、あるいは、上述した文献には、多くの原色に対応した複数種の発光素子(発光ダイオード)を必要とすること無しに、色再現範囲を一層広くする技術に関しては、具体的には、何らの開示は無い。
従って、本発明の目的は、部品点数等の増加といった製造コストの増加を伴うこと無く、色再現範囲を一層広くすることを可能とする、GaN系半導体発光素子が組み込まれた画像表示装置、面状光源装置、及び、液晶表示装置組立体を提供することにある。
上記の目的を達成するための本発明の第1の態様に係る画像表示装置は、
青色を発光する第1発光素子を備えた第1画像表示装置、緑色を発光する第2発光素子を備えた第2画像表示装置、及び、赤色を発光する第3発光素子を備えた第3画像表示装置から成り、第1画像表示装置、第2画像表示装置及び第3画像表示装置から射出された青色、緑色及び赤色の光によって画像が形成される画像表示装置であって、
第1発光素子、第2発光素子及び第3発光素子の内の少なくとも1つの発光素子は、GaN系半導体発光素子から構成されており、
該GaN系半導体発光素子は、異なる動作電流密度に基づき異なる波長の光を発光することを特徴とする。
上記の目的を達成するための本発明の第2の態様に係る画像表示装置は、
青色を発光する第1発光素子、緑色を発光する第2発光素子、及び、赤色を発光する第3発光素子から構成された、カラー画像を表示するための発光素子ユニットが、2次元マトリクス状に配列されて成る画像表示装置であって、
第1発光素子、第2発光素子及び第3発光素子の内の少なくとも1つの発光素子は、GaN系半導体発光素子から構成されており、
該GaN系半導体発光素子は、異なる動作電流密度に基づき異なる波長の光を発光することを特徴とする。
上記の目的を達成するための本発明の面状光源装置は、透過型あるいは半透過型の液晶表示装置を背面から照射する面状光源装置であって、
青色を発光する第1発光素子、緑色を発光する第2発光素子、及び、赤色を発光する第3発光素子を備えており、
第1発光素子、第2発光素子及び第3発光素子の内の少なくとも1つの発光素子は、GaN系半導体発光素子から構成されており、
該GaN系半導体発光素子は、異なる動作電流密度に基づき異なる波長の光を発光することを特徴とする。
上記の目的を達成するための本発明の液晶表示装置組立体は、透過型あるいは半透過型の液晶表示装置、及び、該液晶表示装置を背面から照射する面状光源装置を備えた液晶表示装置組立体であって、
面状光源装置は、青色を発光する第1発光素子、緑色を発光する第2発光素子、及び、赤色を発光する第3発光素子を備えており、
第1発光素子、第2発光素子及び第3発光素子の内の少なくとも1つの発光素子は、GaN系半導体発光素子から構成されており、
該GaN系半導体発光素子は、異なる動作電流密度に基づき異なる波長の光を発光することを特徴とする。
本発明の第1の態様あるいは第2の態様に係る画像表示装置、面状光源装置、又は、液晶表示装置組立体(以下、これらを総称して、単に、本発明と呼ぶ場合がある)において、前記GaN系半導体発光素子は、本質的には任意の構成、構造を有するGaN系半導体発光素子とすることができるが、
(A)n型の導電型を有する第1GaN系化合物半導体層、
(B)井戸層、及び、井戸層と井戸層とを隔てる障壁層から成る多重量子井戸構造を有する活性層、及び、
(C)p型の導電型を有する第2GaN系化合物半導体層、
を備えており、
活性層における第1GaN系化合物半導体層側の井戸層密度をd1、第2GaN系化合物半導体層側の井戸層密度をd2としたとき、d1>d2を満足するように活性層における井戸層が配置されている構成とすることが好ましい。尚、このような構成を、便宜上、井戸層密度変化構造を有する本発明と呼ぶ場合がある。
ここで、井戸層密度を異ならせるために、井戸層の厚さを一定とし、障壁層の厚さを異ならせる(具体的には、活性層における第1GaN系化合物半導体層側の障壁層の厚さを、第2GaN系化合物半導体層側の障壁層の厚さよりも薄くする)構成とすることが好ましいが、これに限定されるものではなく、障壁層の厚さを一定とし、井戸層の厚さを異ならせる(具体的には、活性層における第1GaN系化合物半導体層側の井戸層の厚さを、第2GaN系化合物半導体層側の井戸層の厚さよりも厚くする)構成としてもよいし、井戸層の厚さ及び障壁層の厚さの両方を異ならせる構成としてもよい。
井戸層密度d1及び井戸層密度d2を、以下のように定義する。即ち、総厚t0の活性層を厚さ方向に2つに分割したとき、第1GaN系化合物半導体層側の活性層の領域である活性層第1領域AR1の厚さをt1、第2GaN系化合物半導体層側の活性層の領域である活性層第2領域AR2の厚さをt2(但し、t0=t1+t2)とする。また、活性層第1領域AR1に含まれる井戸層の数をWL1(正数であり、整数には限定されない)、活性層第2領域AR2に含まれる井戸層の数をWL2(正数であり、整数には限定されず、井戸層の総数WL=WL1+WL2)とする。尚、活性層第1領域AR1と活性層第2領域AR2に跨って1つ井戸層(厚さtIF)が存在する場合には、活性層第1領域AR1内のみに含まれる井戸層の数をWL’1、活性層第2領域AR2内のみに含まれる井戸層の数をWL’2とし、活性層第1領域AR1と活性層第2領域AR2に跨った井戸層における活性層第1領域AR1に含まれる厚さを厚さtIF-1、活性層第2領域AR2に含まれる厚さを厚さtIF-2(tIF=tIF-1+tIF-2)としたとき、
WL1=WL’1+ΔWL1
WL2=WL’2+ΔWL2
である。但し、
ΔWL1+ΔWL2=1
であり、
WL=WL1+WL2
=WL’1+WL’2+1
ΔWL1=tIF-1/tIF
ΔWL2=tIF-2/tIF
である。
そして、井戸層密度d1及び井戸層密度d2は、以下の式(1−1)、式(1−2)から求めることができる。但し、k≡(t0/WL)である。
1=(WL1/WL)/(t1/t0
=k(WL1/t1) (1−1)
2=(WL2/WL)/(t2/t0
=k(WL2/t2) (1−2)
そして、この場合、活性層の総厚をt0とし、活性層における第1GaN系化合物半導体層側界面から厚さ(2t0/3)までの活性層第1領域AR1内の井戸層密度をd1、第2GaN系化合物半導体層側界面から厚さ(t0/3)までの活性層第2領域AR2内の井戸層密度をd2としたとき、d1>d2を満足するように活性層における井戸層が配置されている構成とすることができ、あるいは又、活性層の総厚をt0とし、活性層における第1GaN系化合物半導体層側界面から厚さ(t0/2)までの活性層第1領域AR1内の井戸層密度をd1、第2GaN系化合物半導体層側界面から厚さ(t0/2)までの活性層第2領域AR2内の井戸層密度をd2としたとき、d1>d2を満足するように活性層における井戸層が配置されている構成とすることができ、あるいは又、活性層の総厚をt0とし、活性層における第1GaN系化合物半導体層側界面から厚さ(t0/3)までの活性層第1領域AR1内の井戸層密度をd1、第2GaN系化合物半導体層側界面から厚さ(2t0/3)までの活性層第2領域AR2内の井戸層密度をd2としたとき、d1>d2を満足するように活性層における井戸層が配置されている構成とすることができる。
以上に説明した種々の好ましい形態、構成を含む井戸層密度変化構造を有する本発明においては、d2/d1≦0.8、好ましくは、d2/d1≦0.5を満足するように活性層における井戸層が配置されていることが望ましい。
また、以上に説明した種々の好ましい形態、構成を含む井戸層密度変化構造を有する本発明において、GaN系半導体発光素子は、
(D)第1GaN系化合物半導体層と活性層との間に形成されたIn原子を含有する下地層、及び、
(E)活性層と第2GaN系化合物半導体層との間に形成され、p型ドーパントを含有する超格子構造層、
を更に備えている構成とすることができる。このような構成にすることで、発光効率の一層の向上と動作電圧の一層の低下を図りつつ、高い動作電流密度における一層安定したGaN系半導体発光素子の動作を達成することができる。
尚、このような構成にあっては、活性層と超格子構造層との間には、アンドープGaN系化合物半導体層が形成され、該アンドープGaN系化合物半導体層の厚さは100nm以下であることが好ましい。また、超格子構造層の総厚は5nm以上であることが望ましく、超格子構造層における超格子構造の周期は、2原子層以上、20nm以下であることが好ましい。また、超格子構造層が含有するp型ドーパントの濃度は、1×1018/cm3乃至4×1020/cm3であることが望ましい。あるいは又、下地層の厚さは20nm以上であることが好ましく、下地層と活性層との間には、アンドープGaN系化合物半導体層が形成され、該アンドープGaN系化合物半導体層の厚さは50nm以下であることが望ましい。更には、下地層及び活性層はInを含有し、下地層におけるIn組成割合は0.005以上であり、且つ、活性層におけるIn組成割合よりも低い構成とすることもでき、また、下地層は、1×1016/cm3乃至1×1021/cm3のn型ドーパントを含有する構成とすることもできる。
以上に説明した種々の好ましい形態、構成を含む本発明において、緑色を発光する第2発光素子がGaN系半導体発光素子から構成されており、このGaN系半導体発光素子の発光波長をλ1(nm)及びλ2(nm)としたとき、緑色である510(nm)≦λ1≦540(nm)、及び、470(nm)≦λ2≦510(nm)を満足し、あるいは又、GaN系半導体発光素子の発光波長をλ1(nm)、λ2(nm)、及び、λ3(nm)としたとき、緑色である510(nm)≦λ1≦540(nm)、490(nm)≦λ2≦510(nm)、及び、470(nm)≦λ3≦490(nm)を満足することが好ましい。尚、発光波長にピークが存在する場合には、発光ピーク波長を意味する。以下の説明においても同様である。
あるいは又、以上に説明した種々の好ましい形態、構成を含む本発明において、青色を発光する第1発光素子がGaN系半導体発光素子から構成されており、このGaN系半導体発光素子の発光波長をλ1(nm)及びλ2(nm)としたとき、青色である430(nm)≦λ1≦460(nm)、及び、455(nm)≦λ2≦470(nm)を満足することが好ましい。あるいは又、動作電流密度が低い場合には、青の色度のy座標が大きく、動作電流密度が高い場合には、青の色度のy座標が小さくなるように発光することが好ましい。
一般に、半導体発光素子は、特性測定時の発熱や温度変化によっても発光波長に変化が生じる。従って、本発明においては、ほぼ室温(25゜C)での特性を対象とする。GaN系半導体発光素子自身の発熱が少ない場合には、直流電流での駆動でも問題は生じないが、発熱が大きい場合、パルス電流で駆動する等、GaN系半導体発光素子自身の温度(接合領域の温度)が室温から大幅に変化しないような測定方法を採用する必要がある。
また、発光波長に関しては、スペクトルにおけるパワーピークの波長を対象とする。人間の視感特性等を考慮したスペクトルや、通常色合いを表現するために用いるドミナント波長(主波長)ではない。更には、測定条件によっては、薄膜干渉等によって活性層から発せられた光が多数回反射することで、見掛け上、周期的な変動をもったスペクトルとして観測される場合があるが、これらの周期的な変動分を取り除いた、活性層で生じた光を反映したスペクトルを対象とする。
更には、GaN系半導体発光素子の動作電流密度とは、動作電流値を活性層面積(接合領域面積)で除した値である。即ち、市販のGaN系半導体発光素子は、種々のパッケージ形態を有するだけでなく、用途や光量によってGaN系半導体発光素子の大きさも異なる。また、GaN系半導体発光素子の大きさに応じて標準的な駆動電流(動作電流)が異なる等、特性の電流値依存性を直接比較することは困難である。本発明においては、一般化のために、駆動電流の値それ自体ではなく、このような駆動電流値を活性層面積(接合領域面積)で除した動作電流密度(単位:アンペア/cm2)で表現する。
尚、以上に説明した種々の好ましい形態、構成を含む井戸層密度変化構造を有する本発明においては、活性層にはインジウム原子が含まれている形態、より具体的には、AlxGa1-x-yInyN(但し、x≧0,y>0,0<x+y≦1)とすることができる。また、第1GaN系化合物半導体層、第2GaN系化合物半導体層として、GaN層、AlGaN層、InGaN層、AlInGaN層を挙げることができる。更には、これらの化合物半導体層にホウ素(B)原子やタリウム(Tl)原子、ヒ素(As)原子、リン(P)原子、アンチモン(Sb)原子が含まれていてもよい。
更には、以上に説明した種々の好ましい形態、構成を含む井戸層密度変化構造を有する本発明において、活性層における井戸層の数(WL)は、2以上、好ましくは4以上であることが、一層確実に、発光効率を犠牲にすることなく、動作電流密度の増加に伴い発光波長を大きくシフトさせるといった観点から、好ましい。
本発明において、第1発光素子、第2発光素子及び第3発光素子の内の少なくとも1つ(1種類)の発光素子はGaN系半導体発光素子によって構成される。云い換えれば、第1発光素子、第2発光素子及び第3発光素子の内のいずれか1種類の発光素子はGaN系半導体発光素子から構成され、残りの2種類の発光素子は他の構成の半導体発光素子から構成されていてもよいし、第1発光素子、第2発光素子及び第3発光素子の内のいずれか2種類の発光素子はGaN系半導体発光素子から構成され、残りの1種類の発光素子は他の構成の半導体発光素子から構成されていてもよいし、第1発光素子、第2発光素子及び第3発光素子の全ての発光素子がGaN系半導体発光素子から構成されていてもよい。尚、他の構成の半導体発光素子として、赤色を発光するAlGaInP系半導体発光素子を挙げることができる。
本発明の第1の態様に係る画像表示装置として、例えば、以下に説明する構成、構造の画像表示装置を挙げることができる。尚、特に断りの無い限り、画像表示装置あるいは発光素子パネルを構成する発光素子の数は、画像表示装置に要求される仕様に基づき、決定すればよい。また、画像表示装置に要求される仕様に基づき、ライト・バルブを更に備えている構成とすることができる。
(1)第1Aの態様に係る画像表示装置・・・
(α)青色を発光する第1発光素子が2次元マトリクス状に配列された第1発光素子パネルから成る第1画像表示装置、
(β)緑色を発光する第1発光素子が2次元マトリクス状に配列された第2発光素子パネルから成る第2画像表示装置、及び、
(γ)赤色を発光する第1発光素子が2次元マトリクス状に配列された第3発光素子パネルから成る第3画像表示装置、並びに、
(δ)第1画像表示装置、第2画像表示装置及び第3画像表示装置から射出された光を1本の光路に纏めるための手段(例えば、ダイクロイック・プリズムであり、以下の説明においても同様である)、
を備えており、
第1発光素子、第2発光素子及び第3発光素子のそれぞれの発光/非発光状態を制御するカラー表示の画像表示装置(直視型あるいはプロジェクション型)。
(2)第1Bの態様に係る画像表示装置・・・
(α)青色を発光する第1発光素子、及び、青色を発光する第1発光素子から射出された射出光の通過/非通過を制御するための第1光通過制御装置[一種のライト・バルブであり、例えば、液晶表示装置やデジタルマイクロミラーデバイス(DMD)、LCOS(Liquid Crystal On Silicon)から構成され、以下の説明においても同様である]から成る第1画像表示装置、
(β)緑色を発光する第2発光素子、及び、緑色を発光する第2発光素子から射出された射出光の通過/非通過を制御するための第2光通過制御装置(ライト・バルブ)から成る第2画像表示装置、及び、
(γ)赤色を発光する第3発光素子、及び、赤色を発光する第3発光素子から射出された射出光の通過/非通過を制御するための第3光通過制御装置(ライト・バルブ)から成る第3画像表示装置、並びに、
(δ)第1光通過制御装置、第2光通過制御装置及び第3光通過制御装置を通過した光を1本の光路に纏めるための手段、
を備えており、
光通過制御装置によってこれらの発光素子から射出された射出光の通過/非通過を制御することで画像を表示するカラー表示の画像表示装置(直視型あるいはプロジェクション型)。尚、第1発光素子、第2発光素子、第3発光素子の数は、画像表示装置に要求される仕様に基づき、決定すればよく、1又は複数とすることができる。また、第1発光素子、第2発光素子、第3発光素子から射出された射出光を光通過制御装置へと案内するための手段(光案内部材)として、導光部材、マイクロレンズアレイ、ミラーや反射板、集光レンズを例示することができる。
(3)第1Cの態様に係る画像表示装置・・・
(α)青色を発光する第1発光素子が2次元マトリクス状に配列された第1発光素子パネル、及び、第1発光素子パネルから射出された射出光の通過/非通過を制御するための青色光通過制御装置(ライト・バルブ)から成る第1画像表示装置、
(β)緑色を発光する第2発光素子が2次元マトリクス状に配列された第2発光素子パネル、及び、第2発光素子パネルから射出された射出光の通過/非通過を制御するための緑色光通過制御装置(ライト・バルブ)から成る第2画像表示装置、
(γ)赤色を発光する第3発光素子が2次元マトリクス状に配列された第3発光素子パネル、及び、第3発光素子パネルから射出された射出光の通過/非通過を制御するための赤色光通過制御装置(ライト・バルブ)から成る第3画像表示装置、並びに、
(δ)青色光通過制御装置、緑色光通過制御装置及び赤色光通過制御装置を通過した光を1本の光路に纏めるための手段を備えており、
光通過制御装置(ライト・バルブ)によってこれらの第1発光素子パネル、第2発光素子パネル及び第3発光素子パネルから射出された射出光の通過/非通過を制御することで画像を表示するカラー表示の画像表示装置(直視型あるいはプロジェクション型)。
(4)第1Dの態様に係る画像表示装置・・・
(α)青色を発光する第1発光素子を備えた第1画像表示装置、
(β)緑色を発光する第2発光素子を備えた第2画像表示装置、及び、
(γ)赤色を発光する第3発光素子を備えた第3画像表示装置、並びに、
(δ)第1画像表示装置、第2画像表示装置及び第3画像表示装置から射出された光を1本の光路に纏めるための手段、更には、
(ε)1本の光路に纏めるための手段から射出された光の通過/非通過を制御するための光通過制御装置(ライト・バルブ)、
を備えており、
光通過制御装置によってこれらの発光素子から射出された射出光の通過/非通過を制御することで画像を表示する、フィールドシーケンシャル方式のカラー表示の画像表示装置(直視型あるいはプロジェクション型)。
(5)第1Eの態様に係る画像表示装置・・・
(α)青色を発光する第1発光素子が2次元マトリクス状に配列された第1発光素子パネルから成る第1画像表示装置、
(β)緑色を発光する第2発光素子が2次元マトリクス状に配列された第2発光素子パネルから成る第2画像表示装置、及び、
(γ)赤色を発光する第3発光素子が2次元マトリクス状に配列された第3発光素子パネルから成る第3画像表示装置、並びに、
(δ)第1画像表示装置、第2画像表示装置及び第3画像表示装置のそれぞれから射出された光を1本の光路に纏めるための手段、更には、
(ε)1本の光路に纏めるための手段から射出された光の通過/非通過を制御するための光通過制御装置(ライト・バルブ)、
を備えており、
光通過制御装置によってこれらの発光素子パネルから射出された射出光の通過/非通過を制御することで画像を表示する、フィールドシーケンシャル方式のカラー表示の画像表示装置(直視型あるいはプロジェクション型)。
また、本発明の第2の態様に係る画像表示装置として、例えば、以下に説明する構成、構造の画像表示装置を挙げることができる。尚、発光素子ユニットの数は、画像表示装置に要求される仕様に基づき、決定すればよい。また、画像表示装置に要求される仕様に基づき、ライト・バルブを更に備えている構成とすることができる。
(1)第2Aの態様に係る画像表示装置・・・
第1発光素子、第2発光素子及び第3発光素子のそれぞれの発光/非発光状態を制御することで、各発光素子の発光状態を直接的に視認させることで画像を表示する、パッシブマトリックスタイプあるいはアクティブマトリックスタイプの直視型、カラー表示の画像表示装置。
(2)第2Bの態様に係る画像表示装置・・・
第1発光素子、第2発光素子及び第3発光素子のそれぞれの発光/非発光状態を制御し、スクリーンに投影することで画像を表示する、パッシブマトリックスタイプあるいはアクティブマトリックスタイプのプロジェクション型、カラー表示の画像表示装置。
(3)第2Cの態様に係る画像表示装置・・・
2次元マトリクス状に配列された発光素子ユニットからの射出光の通過/非通過を制御するための光通過制御装置(ライト・バルブ)を備えており、発光素子ユニットにおける第1発光素子、第2発光素子及び第3発光素子のそれぞれの発光/非発光状態を時分割制御し、更に、光通過制御装置によって第1発光素子、第2発光素子及び第3発光素子から射出された射出光の通過/非通過を制御することで画像を表示する、フィールドシーケンシャル方式のカラー表示の画像表示装置(直視型あるいはプロジェクション型)。
本発明の面状光源装置、あるいは、本発明の液晶表示装置組立体における面状光源装置は、2種類の面状光源装置(バックライト)、即ち、例えば実開昭63−187120や特開2002−277870に開示された直下型の面状光源装置、並びに、例えば特開2002−131552に開示されたエッジライト型(サイドライト型とも呼ばれる)の面状光源装置とすることができる。尚、発光素子の数は本質的に任意であり、面状光源装置に要求される仕様に基づき決定すればよい。また、面状光源装置における光源を構成する第1発光素子、第2発光素子及び第3発光素子は、それぞれ、1つであってもよいし、複数であってもよい。
ここで、直下型の面状光源装置にあっては、液晶表示装置に対向して、第1発光素子、第2発光素子及び第3発光素子が配置され、液晶表示装置と第1発光素子、第2発光素子及び第3発光素子との間には、拡散板、拡散シート、プリズムシート、偏光変換シートといった光学機能シート群や、反射シートが配置されている。
直下型の面状光源装置にあっては、より具体的には、青色(例えば、主に波長450nm)を発光する第1発光素子、緑色(例えば、主に波長530nm)を発光する第2発光素子、及び、赤色(例えば、主に波長640nm)を発光する第3発光素子が、筐体内に配置、配列されている構成とすることができるが、これに限定するものではない。ここで、複数の青色を発光する第1発光素子、複数の緑色を発光する第2発光素子、及び、複数の赤色を発光する第3発光素子が、筐体内に配置、配列されている場合、これらの発光素子の配列状態として、青色発光の第1発光素子、緑色発光の第2発光素子及び赤色発光の第3発光素子を1組とした発光素子列を液晶表示装置の画面水平方向に複数、連ねて発光素子列アレイを形成し、この発光素子列アレイを液晶表示装置の画面垂直方向に複数本、並べる配列を例示することができる。尚、発光素子列として、(1つの青色発光の第1発光素子,1つの緑色発光の第2発光素子,1つの赤色発光の第3発光素子)、(1つの青色発光の第1発光素子,2つの緑色発光の第2発光素子,1つの赤色発光の第3発光素子)、(1つの青色発光の第1発光素子,2つの緑色発光の第2発光素子,2つの赤色発光の第3発光素子)等の複数個の組合せを挙げることができる。尚、赤色、緑色、青色以外の第4番目の色を発光する発光素子を更に備えていてもよい。また、発光素子には、例えば、日経エレクトロニクス 2004年12月20日第889号の第128ページに掲載されたような光取出しレンズが取り付けられていてもよい。
一方、エッジライト型の面状光源装置にあっては、液晶表示装置に対向して導光板が配置され、導光板の側面(次に述べる第1側面)に発光素子が配置される。導光板は、第1面(底面)、この第1面と対向した第2面(頂面)、第1側面、第2側面、第1側面と対向した第3側面、及び、第2側面と対向した第4側面を有する。導光板のより具体的な形状として、全体として、楔状の切頭四角錐形状を挙げることができ、この場合、切頭四角錐の2つの対向する側面が第1面及び第2面に相当し、切頭四角錐の底面が第1側面に相当する。そして、第1面(底面)の表面部には凸部及び/又は凹部が設けられていることが望ましい。導光板の第1側面から光が入射され、第2面(頂面)から液晶表示装置に向けて光が射出される。ここで、導光板の第2面は、平滑としてもよいし(即ち、鏡面としてもよいし)、拡散効果のあるブラストシボを設けてもよい(即ち、微細な凹凸面とすることもできる)。
導光板の第1面(底面)には、凸部及び/又は凹部が設けられていることが望ましい。即ち、導光板の第1面には、凸部が設けられ、あるいは又、凹部が設けられ、あるいは又、凹凸部が設けられていることが望ましい。凹凸部が設けられている場合、凹部と凸部とが連続していてもよいし、不連続であってもよい。導光板の第1面に設けられた凸部及び/又は凹部は、導光板への光入射方向と所定の角度を成す方向に沿って延びる連続した凸部及び/又は凹部である構成とすることができる。このような構成にあっては、導光板への光入射方向であって第1面と垂直な仮想平面で導光板を切断したときの連続した凸形状あるいは凹形状の断面形状として、三角形;正方形、長方形、台形を含む任意の四角形;任意の多角形;円形、楕円形、放物線、双曲線、カテナリー等を含む任意の滑らかな曲線を例示することができる。尚、導光板への光入射方向と所定の角度を成す方向とは、導光板への光入射方向を0度としたとき、60度〜120度の方向を意味する。以下においても同様である。あるいは又、導光板の第1面に設けられた凸部及び/又は凹部は、導光板への光入射方向と所定の角度を成す方向に沿って延びる不連続の凸部及び/又は凹部である構成とすることができる。このような構成にあっては、不連続の凸形状あるいは凹形状の形状として、角錐、円錐、円柱、三角柱や四角柱を含む多角柱、球の一部、回転楕円体の一部、回転放物線体の一部、回転双曲線体の一部といった各種の滑らかな曲面を例示することができる。尚、導光板において、場合によっては、第1面の周縁部には凸部や凹部が形成されていなくともよい。更には、光源から射出され、導光板に入射した光が導光板の第1面に形成された凸部あるいは凹部に衝突して散乱されるが、導光板の第1面に設けられた凸部あるいは凹部の高さや深さ、ピッチ、形状を、一定としてもよいし、光源から離れるに従い変化させてもよい。後者の場合、例えば凸部あるいは凹部のピッチを光源から離れるに従い細かくしてもよい。ここで、凸部のピッチ、あるいは、凹部のピッチとは、導光板への光入射方向に沿った凸部のピッチ、あるいは、凹部のピッチを意味する。
導光板を備えた面状光源装置にあっては、導光板の第1面に対向して反射部材を配置することが望ましい。導光板の第2面に対向して液晶表示装置が配置されている。光源から射出された光は、導光板の第1側面(例えば、切頭四角錐の底面に相当する面)から導光板に入射し、第1面の凸部あるいは凹部に衝突して散乱され、第1面から射出し、反射部材にて反射され、第1面に再び入射し、第2面から射出され、液晶表示装置を照射する。液晶表示装置と導光板の第2面との間に、例えば、拡散シートやプリズムシートを配置してもよい。また、光源から射出された光を直接、導光板に導いてもよいし、間接的に導光板に導いてもよい。後者の場合、例えば、光ファイバーを用いればよい。
導光板は、光源が射出する光を余り吸収することの無い材料から導光板を作製することが好ましい。具体的には、導光板を構成する材料として、例えば、ガラスや、プラスチック材料(例えば、PMMA、ポリカーボネート樹脂、アクリル系樹脂、非晶性のポリプロピレン系樹脂、AS樹脂を含むスチレン系樹脂)を挙げることができる。
例えば、透過型のカラー液晶表示装置は、例えば、透明第1電極を備えたフロント・パネル、透明第2電極を備えたリア・パネル、及び、フロント・パネルとリア・パネルとの間に配された液晶材料から成る。
ここで、フロント・パネルは、より具体的には、例えば、ガラス基板やシリコン基板から成る第1の基板と、第1の基板の内面に設けられた透明第1電極(共通電極とも呼ばれ、例えば、ITOから成る)と、第1の基板の外面に設けられた偏光フィルムとから構成されている。更には、フロント・パネルは、第1の基板の内面に、アクリル樹脂やエポキシ樹脂から成るオーバーコート層によって被覆されたカラーフィルターが設けられ、オーバーコート層上に透明第1電極が形成された構成を有している。透明第1電極上には配向膜が形成されている。カラーフィルターの配置パターンとして、デルタ配列、ストライプ配列、ダイアゴナル配列、レクタングル配列を挙げることができる。一方、リア・パネルは、より具体的には、例えば、ガラス基板やシリコン基板から成る第2の基板と、第2の基板の内面に形成されたスイッチング素子と、スイッチング素子によって導通/非導通が制御される透明第2電極(画素電極とも呼ばれ、例えば、ITOから成る)と、第2の基板の外面に設けられた偏光フィルムとから構成されている。透明第2電極を含む全面には配向膜が形成されている。これらの透過型のカラー液晶表示装置を構成する各種の部材や液晶材料は、周知の部材、材料から構成することができる。尚、スイッチング素子として、単結晶シリコン半導体基板に形成されたMOS型FETや薄膜トランジスタ(TFT)といった3端子素子や、MIM素子、バリスタ素子、ダイオード等の2端子素子を例示することができる。
以上に説明した種々の好ましい形態、構成を含む井戸層密度変化構造を有する本発明において、第1GaN系化合物半導体層、活性層、第2GaN系化合物半導体層等の種々のGaN系化合物半導体層の形成方法として、有機金属化学的気相成長法(MOCVD法)やMBE法、ハロゲンが輸送あるいは反応に寄与するハイドライド気相成長法等を挙げることができる。
MOCVD法における有機ガリウム源ガスとして、トリメチルガリウム(TMG)ガスやトリエチルガリウム(TEG)ガスを挙げることができるし、窒素源ガスとして、アンモニアガスやヒドラジンガスを挙げることができる。また、n型の導電型を有する第1GaN系化合物半導体層の形成においては、例えば、n型不純物(n型ドーパント)としてケイ素(Si)を添加すればよいし、p型の導電型を有する第2GaN系化合物半導体層の形成においては、例えば、p型不純物(p型ドーパント)としてマグネシウム(Mg)を添加すればよい。また、GaN系化合物半導体層の構成原子としてアルミニウム(Al)あるいはインジウム(In)が含まれる場合、Al源としてトリメチルアルミニウム(TMA)ガスを用いればよいし、In源としてトリメチルインジウム(TMI)ガスを用いればよい。更には、Si源としてモノシランガス(SiH4ガス)を用いればよいし、Mg源としてシクロペンタジエニルマグネシウムガスやメチルシクロペンタジエニルマグネシウム、ビスシクロペンタジエニルマグネシウム(Cp2Mg)を用いればよい。尚、n型不純物(n型ドーパント)として、Si以外に、Ge、Se、Sn、C、Tiを挙げることができるし、p型不純物(p型ドーパント)として、Mg以外に、Zn、Cd、Be、Ca、Ba、Oを挙げることができる。
p型の導電型を有する第2GaN系化合物半導体層に接続されたp型電極は、パラジウム(Pd)、白金(Pt)、ニッケル(Ni)、Al(アルミニウム)、Ti(チタン)、金(Au)及び銀(Ag)から成る群から選択された少なくとも1種類の金属を含む、単層構成又は多層構成を有していることが好ましく、あるいは又、ITO(Indium Tin Oxide)等の透明導電材料を用いることもできるが、中でも、光を高い効率で反射させることができる銀(Ag)やAg/Ni、Ag/Ni/Ptを用いることが好ましい。一方、n型の導電型を有する第1GaN系化合物半導体層に接続されたn型電極は、金(Au)、銀(Ag)、パラジウム(Pd)、Al(アルミニウム)、Ti(チタン)、タングステン(W)、Cu(銅)、Zn(亜鉛)、錫(Sn)及びインジウム(In)から成る群から選択された少なくとも1種類の金属を含む、単層構成又は多層構成を有することが望ましく、例えば、Ti/Au、Ti/Al、Ti/Pt/Auを例示することができる。n型電極やp型電極は、例えば、真空蒸着法やスパッタリング法等のPVD法にて形成することができる。
n型電極やp型電極上に、外部の電極あるいは回路と電気的に接続するために、パッド電極を設けてもよい。パッド電極は、Ti(チタン)、アルミニウム(Al)、Pt(白金)、Au(金)、Ni(ニッケル)から成る群から選択された少なくとも1種類の金属を含む、単層構成又は多層構成を有することが望ましい。あるいは又、パッド電極を、Ti/Pt/Auの多層構成、Ti/Auの多層構成に例示される多層構成とすることもできる。
以上に説明した好ましい形態、構成を含む本発明において、発光素子の組立品は、フェイスアップ構造を有していてもよいし、フリップチップ構造を有していてもよい。
本発明にあっては、GaN系半導体発光素子の発光波長の制御を、上述したとおり動作電流密度(より具体的には、駆動電流のピーク電流値)で行う方法を採用する。また、本発明にあっては、GaN系半導体発光素子の発光量の制御を、駆動電流のパルス幅制御で行うことができ、あるいは又、駆動電流のパルス密度制御で行うことができ、あるいは又、これらの組合せで行うことができる。尚、駆動電流のピーク電流値の時間周期は、10ミリ秒以下(100Hz以上)とすることが、ちらつきを抑制するために好ましい。
具体的には、例えば、1種類のGaN系半導体発光素子において、或る発光波長λ1を得るときの駆動電流のピーク電流値をI1、駆動電流のパルス幅をP1、発光波長λ2(≠λ1)を得るときの駆動電流のピーク電流値をI2(≠I1)、駆動電流のパルス幅をP2とし、GaN系半導体発光素子のピーク電流値I1での駆動、及び、それに引き続く、ピーク電流値I2での駆動を総合して1パルス周期TPと呼び、GaN系半導体発光素子が組み込まれた画像表示装置、面状光源装置、液晶表示装置組立体におけるGaN系半導体発光素子の動作の1動作周期をTOPとするとき、
(1)駆動電流のピーク電流値I1、ピーク電流値I2を制御することによって、GaN系半導体発光素子からの射出光の発光波長λを制御することができ、
(2)駆動電流のパルス幅P1、パルス幅P2を制御することによって(駆動電流のパルス幅制御)、GaN系半導体発光素子からの射出光の全体としての発光色[2種類の波長の異なる発光色(即ち、2種類の光)、あるいは、1種類の発光色と2種類の波長の異なる発光色が混色された発光色との組合せ(即ち、2種類の光)、あるいは、2種類の波長の異なる発光色と係る2種類の発光色が混色された発光色との組合せ(即ち、3種類の光)]を制御することができ、更には、
(3)GaN系半導体発光素子の1パルス周期TPの長さ(パルス幅)を制御することによって(駆動電流のパルス幅制御)、GaN系半導体発光素子からの射出光の発光量(明るさ、輝度)を制御することができ、及び/又は、
(3’)GaN系半導体発光素子の動作の1動作周期TOP中における1パルス周期TPの数(パルス密度)を制御することによって(駆動電流のパルス密度制御)、GaN系半導体発光素子からの射出光の発光量(明るさ、輝度)を制御することができる。尚、以上の説明においては、2種類の発光波長λ1,λ2としたが、3種類以上の発光波長にも適用することができることは云うまでもない。
尚、上述したGaN系半導体発光素子の発光波長及び発光量の同時制御は、例えば、
(a)GaN系半導体発光素子にパルス駆動電流を供給するパルス駆動電流供給手段、及び、
(b)パルス駆動電流のパルス幅及びパルス密度を設定するパルス駆動電流設定手段、
を備えるGaN系半導体発光素子の駆動回路によって達成することができる。尚、このGaN系半導体発光素子の駆動回路は、井戸層密度に特徴を有する井戸層密度変化構造を有する本発明におけるGaN系半導体発光素子に対して適用することができるだけでなく、従来のGaN系半導体発光素子に対して適用することもできる。
本発明にあっては、従来と同じように3原色(RGB)表示用に3種類の発光素子を用意するだけで、4種類以上の色の表示が可能となる。即ち、NTSC比で120%より大きい色域を表現することができ、更には、NTSC比で130%より大きい色域を表現することができ、更には、NTSC比で140%より大きい色域を表現することができる。それ故、例えば、明るさを優先する場合や従来の映像ソースを表示する際にはRGBの3原色、色再現範囲を広げたい場合には3原色に加えて1種類以上の色を表示することができ、両者は、動作電流密度(具体的には、例えば、駆動電流波形等)の制御により容易に切り替えることができる。また、使用する発光素子はいずれの表示の場合も無駄にならず、部品点数の低減とコスト削減に役立つ。
また、本発明において、活性層における第1GaN系化合物半導体層側の井戸層密度をd1、第2GaN系化合物半導体層側の井戸層密度をd2としたとき、d1>d2を満足するように活性層における井戸層を配置することで、発光効率を低減させること無く、動作電流密度の増加に伴い発光波長を大きくシフトさせることができる。本発明者の実験によれば、GaN系半導体発光素子においては、電流密度の増加と共に、発光に寄与する井戸層が次第に第2GaN系化合物半導体層側の井戸層へと移行していくことが分かった。よって、低い電流密度において発光に寄与する位置に井戸層をより多く配分すれば、発光に関与する井戸層1つ当たりのキャリア濃度をより少なくすることができ、高い電流密度において発光に寄与する位置に井戸層を少なく配分すれば、発光に関与する井戸層1つ当たりのキャリア濃度をより高くすることができる。つまり、同じ動作電流密度の変化幅であっても、均等に井戸層を配分した場合よりも、発光に関与する井戸層1つ当たりのキャリア密度の変化幅をより大きくすることができる。GaN系半導体発光素子における波長シフトの主な要因は、局在発光中心のバンドフィリングとピエゾ電界によるクーロン遮蔽効果であり、これらはキャリア濃度に敏感に左右される。つまり、GaN系半導体発光素子において上述のような構造を採用することで、同じ動作電流密度の変化幅であっても、活性層内に均等に井戸層を配分した場合よりも、発光に関与する井戸層1つ当たりのキャリア密度の変化幅をより大きくすることができ、それによって、波長シフトをより大きくすることができる。従って、動作電流密度(あるいは、駆動電流)の制御に基づき、発光波長の調整、制御を行うことができるし、多色発光させる場合において少ない電流ピークの変化幅で大きな波長シフトを実現することができる。
以下、図面を参照して、実施例に基づき本発明を説明する。
実施例1は、本発明の第1の態様に係る画像表示装置に関する。以下、実施例1の画像表示装置を説明するが、それに先立ち、従来の構造を有するGaN系発光ダイオードの特性を調べた。尚、動作電流値は発光ダイオードの活性層面積(接合領域面積)によって標準的な値が変化する。例えば、300乃至350μm角の活性層面積(接合領域面積)を有するGaN系発光ダイオードの動作電流値は20mA程度であり、1mm角の活性層面積(接合領域面積)を有するGaN系発光ダイオードの動作電流値は350mA程度である。それ故、一般化するために、動作電流値を活性層面積(接合領域面積)で除した値である動作電流密度を用いて、以下、説明を行う。
図27及び図28に、青色を発光するGaN系発光ダイオード及び緑色を発光するGaN系発光ダイオードの駆動電流密度に対する発光ピーク波長をプロットした。青色を発光するGaN系発光ダイオードにあっては、駆動電流密度の増加によって、僅かな波長シフトが存在するが、大幅に発光色が変わるほどではない。一方、緑色を発光するGaN系発光ダイオードにあっては、駆動電流密度の増加によって、大きく短波長側にシフトすることが分かる。駆動電流密度30A/cm2での発光ピーク波長はおおよそ520nmという緑色であるが、600A/cm2での発光ピーク波長は500nmというエメラルド色、3kA/cm2での発光ピーク波長は484nmという青緑色である。
実施例1の画像表示装置は、青色を発光する第1発光素子1Bを備えた第1画像表示装置、緑色を発光する第2発光素子1Gを備えた第2画像表示装置、及び、赤色を発光する第3発光素子1Rを備えた第3画像表示装置から構成されており、第1画像表示装置、第2画像表示装置及び第3画像表示装置から射出された青色、緑色及び赤色の光によって画像が形成される画像表示装置である。そして、第1発光素子1B、第2発光素子1G及び第3発光素子1Bの内の少なくとも1つの発光素子は、GaN系半導体発光素子1Aから構成されており、このGaN系半導体発光素子1Aは、異なる動作電流密度に基づき異なる波長の光を発光する。
具体的には、実施例1の画像表示装置は、第1Aの態様に係る画像表示装置に関し、図1に概念図を示すように、
(α)青色を発光する第1発光素子1Bが2次元マトリクス状に配列された第1発光素子パネル50Bから成る第1画像表示装置、
(β)緑色を発光する第2発光素子1Gが2次元マトリクス状に配列された第2発光素子パネル50Gから成る第2画像表示装置、及び、
(γ)赤色を発光する第3発光素子1Rが2次元マトリクス状に配列された第3発光素子パネル50Rから成る第3画像表示装置、並びに、
(δ)第1発光素子パネル50B(第1画像表示装置)、第2発光素子パネル50G(第2画像表示装置)及び第3発光素子パネル50R(第3画像表示装置)から射出された青色、緑色及び赤色の光を1本の光路に纏めるための手段(例えば、ダイクロイック・プリズム57)、
を備えており、青色発光の第1発光素子1B、緑色発光の第2発光素子1G及び赤色発光の第3発光素子1Rのそれぞれの発光/非発光状態を制御するカラー表示の直視型あるいはプロジェクション型の画像表示装置である。ここで、発光素子パネル50R,50G,50Bから射出された光は、より具体的には、ダイクロイック・プリズム57に入射し、これらの光の光路は1本の光路に纏められ、直視型画像表示装置にあっては、直視され、あるいは又、プロジェクション型画像表示装置にあっては、投影レンズ56を経由して、スクリーンに投影される。
尚、特に断りの無い限り、発光素子パネルあるいは画像表示装置を構成する発光素子の数は、画像表示装置に要求される仕様に基づき、決定すればよい。以下の実施例においても同様である。また、発光素子パネル50R,50G,50Bの説明のために、単に、これらを纏めて発光素子パネル50と呼び、発光素子1B,1G,1Rの説明のために、単に、これらを纏めて発光素子1と呼ぶ場合がある。また、発光素子パネル50の構成要素を説明するとき、参照番号を用いて説明するが、発光素子パネル50B,50G,50Rの構成要素に関しては、その参照番号に「B」、「G」、「R」を付して読み換えればよい。
例えば、パッシブマトリックスタイプの発光素子パネルを含む回路図を図2の(A)に示し、発光素子1が2次元マトリクス状に配列された発光素子パネルの模式的な断面図を図2の(B)に示すが、各発光素子1の一方の電極(p型電極あるいはn型電極)はコラム・ドライバ41に接続され、各発光素子1の他方の電極(n型電極あるいはp型電極)はロウ・ドライバ42に接続されている。各発光素子1の発光/非発光状態の制御は、例えばロウ・ドライバ42によって行われ、コラム・ドライバ41から各発光素子1を駆動するための駆動電流が供給される。コラム・ドライバ41の機能の1つは、後述する駆動回路26の有する機能と同じである。各発光素子1の選択、駆動、それ自体は周知の方法とすることができるので、詳細な説明は省略する。
また、例えば、アクティブマトリックスタイプの発光素子パネルを含む回路図を図3に示すが、各発光素子1の一方の電極(p型電極あるいはn型電極)はドライバ45に接続され、ドライバ45は、コラム・ドライバ43及びロウ・ドライバ44に接続されている。また、各発光素子1の他方の電極(n型電極あるいはp型電極)は接地線に接続されている。各発光素子1の発光/非発光状態の制御は、例えばロウ・ドライバ44によるドライバ45の選択によって行われ、コラム・ドライバ43から各発光素子1を駆動するための輝度信号がドライバ45に供給される。図示しない電源から所定の電圧がそれぞれのドライバ45に別途供給され、ドライバ45は輝度信号に応じた駆動電流(PDM制御やPWM制御に基づく)を発光素子1に供給する。コラム・ドライバ43の機能の1つは、後述する駆動回路26の有する機能と同じである。各発光素子1の選択、駆動、それ自体は周知の方法とすることができるので、詳細な説明は省略する。
発光素子パネル50は、例えば、プリント配線板から成る支持体51、支持体51に取り付けられた発光素子1、支持体51上に形成され、発光素子1の一方の電極(p型電極あるいはn型電極)に電気的に接続され、且つ、コラム・ドライバ41あるいはロウ・ドライバ42に接続されたX方向配線52、発光素子1の他方の電極(n型電極あるいはp型電極)に電気的に接続され、且つ、ロウ・ドライバ42あるいはコラム・ドライバ41に接続されたY方向配線53、発光素子1を覆う透明基材54、及び、透明基材54上に設けられたマイクロレンズ55から構成されている。但し、発光素子パネル50は、このような構成に限定されるものではない。
実施例1にあっては、青色を発光する第1発光素子1B及び緑色を発光する第2発光素子1GがGaN系半導体発光素子(GaN系半導体発光ダイオード)から構成されており、赤色を発光する第3発光素子1RはAlInGaP系の化合物半導体発光ダイオードから構成されている。そして、緑色を発光する第2発光素子1Gを構成するGaN系半導体発光素子1Aが、異なる動作電流密度に基づき異なる波長の光を発光する。青色を発光する第1発光素子1Bは、一定の動作電流密度に基づき一定波長の光を発光する。即ち、実施例1の画像表示装置は、3原色(RGB)表示用に3種類の発光素子1B,1G,1Rを用意するだけで、4種類の色の表示が可能である。
具体的には、緑色を発光する第2発光素子1Gを構成するGaN系半導体発光素子1Aの発光波長をλ1(nm)及びλ2(nm)としたとき、λ1=520nm(緑色)、λ2=484nm(青緑色)である。図29に、発光強度と発光波長との関係を図示する。
ここで、青色発光のGaN系半導体発光素子から成る第1発光素子1B、緑色発光のGaN系半導体発光素子から成る第2発光素子1G、及び、赤色発光のAlGaInP系半導体発光素子から成る第3発光素子1Rを、図4に模式的に示すパルス電流で駆動したときの色再現範囲(色度図)を図5に示す。図4、図5に示す例にあっては、青色発光のGaN系半導体発光素子から成る第1発光素子1B、緑色発光のGaN系半導体発光素子から成る第2発光素子1G、及び、赤色発光のAlGaInP系半導体発光素子から成る第3発光素子1Rのそれぞれは、1色を発光している。この状態にあっては、NTSC規格(破線で示す)をほぼ完全に表現しており、NTSC比は119%である。
また、青色発光のGaN系半導体発光素子から成る第1発光素子1B、緑色発光のGaN系半導体発光素子から成る第2発光素子1G、及び、赤色発光のAlGaInP系半導体発光素子から成る第3発光素子1Rを、図6に模式的に示すパルス電流で駆動したときの色再現範囲(色度図)を図7に示す。図6、図7に示す例にあっては、青色発光のGaN系半導体発光素子から成る第1発光素子1B、及び、赤色発光のAlGaInP系半導体発光素子から成る第3発光素子1Rのそれぞれは、1色を発光している。一方、緑色発光のGaN系半導体発光素子から成る第2発光素子1Gは、上述したとおり、本来の緑色(発光波長λ1=520nm)の発光(図7において、「G−L」で示す)だけでなく、青緑色(発光波長λ2=484nm)も発光(図7において、「G−H」で示す)している。尚、緑色の発光及び青緑色の発光は、同時でなく時分割であるが、これらの発光の周期(図12の(B)におけるP1,P2を参照)を10ミリ秒以下とすることで、ちらつきを低減することができる。そして、このように、緑色発光のGaN系半導体発光素子1Gを駆動するためのパルス駆動電流のピーク値を適宜設定することにより、図7に示すように、広い色域を実現することができる。尚、この状態にあっては、NTSC比は142%である。
更には、青色発光のGaN系半導体発光素子から成る第1発光素子1Bを、異なる動作電流密度に基づき異なる波長の光を発光させ、即ち、本来の青色(発光波長λ1=460nm)の発光だけでなく、青色(発光波長λ2=455nm)をも発光させることで、図8に示すように、一層広い色域を実現することができる。
色域は種々の規格によりその色度点が異なり、例えばNTSC規格における青は(0.14,0.08)であるが、EBU規格においては(0.15,0.06)である。青色発光のGaN系半導体発光素子の色純度が十分高ければ両規格を共に内包する座標を色度として選択することができるが、多数のGaN系半導体発光素子を使用した場合のばらつきや、GaN系半導体発光素子における結晶品質によって、通常、両規格を完全に満たすことは極めて困難である。このような場合、上述したように、同一の青色発光のGaN系半導体発光素子において、動作電流密度を制御することで、NTSC規格の青色に近い青色を発光させることができるだけでなく、高い動作電流密度で駆動することで短波長化させ、EBU規格の青色に近い青色を発光させることができる。このように動作電流密度を変えるだけで、即座に所望の、且つ、広い色再現範囲を実現できるため、どちらかの色再現範囲を択一的に選択することは勿論、時分割駆動等によって2種類の青色を発光する多原色化(例えばR,G,B1,B2)を行うことができ、同時に、NTSC規格とEBU規格を満たすことが可能となる。
更には、青色発光のGaN系半導体発光素子から成る第1発光素子1B、緑色発光のGaN系半導体発光素子から成る第2発光素子1G、及び、赤色発光のAlGaInP系半導体発光素子から成る第3発光素子1Rを、図9に模式的に示すパルス電流で駆動したときの色再現範囲(色度図)を図10に示す。図9、図10に示す例にあっては、赤色発光のAlGaInP系半導体発光素子から成る第3発光素子1Rは1色を発光している。一方、緑色発光のGaN系半導体発光素子から成る第2発光素子1Gは、本来の緑色(発光波長λ1=520nm)の発光だけでなく、青緑色(発光波長λ3=484nm)、及び、エメラルド色(発光波長λ2=500nm)も発光している。また、青色発光のGaN系半導体発光素子から成る第1発光素子1Bは、本来の青色(発光波長λ1=460nm)の発光だけでなく、青色(発光波長λ2=455nm)も発光している。これによって、図10に示すように、更に一層広い色域を実現することができる。尚、この状態にあっては、NTSC比は150%である。
このように多色を用いる場合、従来の技術にあっては、各色に対応する複数種の発光ダイオードを必要とするが、実施例1にあっては、3種類の発光ダイオード、即ち、通常の、赤色を発光する発光ダイオード、緑色を発光する発光ダイオード、青色を発光する発光ダイオードだけを用意すればよい。また、多色用に各色の発光ダイオードを個別に用意した場合には、通常の3原色表示のときは使用しないため無駄になるが、実施例1にあっては、3原色表示の場合は3原色用光源として使用するので、無駄にならない。つまり、3原色表示用に3種類の発光ダイオードを用意することで、明るさを優先する場合や従来の映像ソースを表示する際には3原色、色再現範囲を広げたい場合は4色以上を表示することができ、両者は駆動電流波形により容易に切り替えることができる。即ち、通常、赤色/緑色/青色の3原色を前提とした映像の場合には3原色のままで、また、印刷媒体とのカラーマッチングや特に印象的な青緑色(新緑色やマリンブルー色、エメラルド色や翡翠色)を強調したい場合には、例えば、4原色あるいはそれ以上に切り替えることが可能となる。また、使用する発光ダイオードはいずれの表示の場合も無駄にならず、部品点数の低減とコスト削減に役立つ。尚、赤色発光の半導体発光素子として、AlGaInP系半導体発光素子の他、GaN系半導体発光素子を用いることもできる。以下の実施例においても同様である。
ここで、このGaN系半導体発光素子(発光ダイオード)1Aは、本質的には任意の構成、構造を有するGaN系半導体発光素子とすることができるが、実施例1にあっては、
(A)n型の導電型を有する第1GaN系化合物半導体層13、
(B)井戸層、及び、井戸層と井戸層とを隔てる障壁層から成る多重量子井戸構造を有する活性層15、及び、
(C)p型の導電型を有する第2GaN系化合物半導体層17、
を備えており、
活性層15における第1GaN系化合物半導体層側の井戸層密度をd1、第2GaN系化合物半導体層側の井戸層密度をd2としたとき、d1>d2を満足するように活性層15における井戸層が配置されている。
層構成を概念的に図11に示し、模式的な断面図を図12の(A)に示すように、異なる動作電流密度に基づき異なる波長の光を発光する発光素子1を構成するGaN系半導体発光素子1Aは、より具体的には、サファイアから成る基板10上に、バッファ層11(厚さ30nm);アンドープのGaN層12(厚さ1μm);n型の導電型を有する第1GaN系化合物半導体層13(厚さ3μm);アンドープGaN層14(厚さ5nm);井戸層、及び、井戸層と井戸層とを隔てる障壁層から成る多重量子井戸構造を有する活性層15(井戸層及び障壁層の図示は省略);アンドープGaN層16(厚さ10nm);p型の導電型を有する第2GaN系化合物半導体層17(厚さ20nm);MgドープのGaN層(コンタクト層)18(厚さ100nm)が、順次、積層された構成、構造を有する。尚、図面にあっては、バッファ層11、アンドープのGaN層12、アンドープGaN層14、アンドープGaN層16、MgドープのGaN層18の図示を省略している場合がある。アンドープGaN層14は、その上に結晶成長させられる活性層15の結晶性向上のために設けられており、アンドープGaN層16は、第2GaN系化合物半導体層17中のドーパント(例えば、Mg)が活性層15内に拡散することを防止するために設けられている。
そして、このようなGaN系半導体発光素子1Aがサブマウント21に固定され、GaN系半導体発光素子1Aは、サブマウント21に設けられた配線(図示せず)、金線23Aを介して外部電極23Bに電気的に接続され、外部電極23Bは駆動回路26に電気的に接続されている。また、サブマウント21はリフレクターカップ24に取り付けられ、リフレクターカップ24はヒートシンク25に取り付けられている。更には、GaN系半導体発光素子1Aの上方にはプラスチックレンズ22が配置され、プラスチックレンズ22とGaN系半導体発光素子1Aとの間には、GaN系半導体発光素子1Aから射出される光に対して透明なエポキシ樹脂(屈折率:例えば1.5)、ゲル状材料[例えば、Nye社の商品名OCK−451(屈折率:1.51)、商品名OCK−433(屈折率:1.46)]、シリコーンゴム、シリコーンオイルコンパウンドといったオイルコンパウンド材料[例えば、東芝シリコーン株式会社の商品名TSK5353(屈折率:1.45)]で例示される光透過媒体層(図示せず)が充填されている。
そして、活性層15における第1GaN系化合物半導体層側の井戸層密度をd1、第2GaN系化合物半導体層側の井戸層密度をd2としたとき、d1>d2を満足するように活性層15における井戸層が配置されている。活性層15を構成する多重量子井戸構造の詳細を、以下の表1に示す。尚、表1中、井戸層の厚さ及び障壁層の厚さの値の右側の括弧内の数字は、活性層15における第1GaN系化合物半導体層側界面(より具体的には、実施例1にあっては、アンドープGaN層14と活性層15との界面)からの積算厚さを示す。
[表1]
Figure 2007080998
実施例1にあっては、活性層15の総厚をt0とし、活性層15における第1GaN系化合物半導体層側界面(より具体的には、実施例1にあっては、アンドープGaN層14と活性層15との界面)から厚さ(t0/3)までの活性層第1領域AR1内の井戸層密度をd1、第2GaN系化合物半導体層側界面(より具体的には、実施例1にあっては、アンドープGaN層16と活性層15との界面)から厚さ(2t0/3)までの活性層第2領域AR2内の井戸層密度をd2としたとき、d1>d2を満足するように活性層15における井戸層が配置されている。
また、実施例1にあっては、活性層第1領域AR1と活性層第2領域AR2に跨って1つ井戸層(厚さtIF=3nm,第5井戸層)が存在する。従って、活性層第1領域AR1に含まれる井戸層の数をWL1、活性層第2領域AR2に含まれる井戸層の数をWL2(但し、井戸層の総数WL=WL1+WL2)とし、活性層第1領域AR1内のみに含まれる井戸層の数をWL’1、活性層第2領域AR2内のみに含まれる井戸層の数をWL’2とし、活性層第1領域AR1と活性層第2領域AR2に跨った井戸層における活性層第1領域AR1に含まれる厚さを厚さtIF-1、活性層第2領域AR2に含まれる厚さを厚さtIF-2(tIF=tIF-1+tIF-2)としたとき、
ΔWL1=tIF-1/tIF=7/9
ΔWL2=tIF-2/tIF=2/9
であり、
WL1=WL’1+ΔWL1=4+7/9
WL2=WL’2+ΔWL2=5+2/9
である。従って、井戸層密度d1及び井戸層密度d2を式(1−1)、式(1−2)から求めると、以下のとおりとなる。
[実施例1]
1=(WL1/WL)/(t1/t0
={(4+7/9)/10}/{(50+1/3)/151}
=1.43
2=(WL2/WL)/(t2/t0
={(5+2/9)/10}/{(100+2/3)/151}
=0.78
比較のために、表1に比較例1として示す活性層を有するGaN系半導体発光素子を作製した。
尚、実施例1及び比較例1のGaN系半導体発光素子にあっては、評価のために、また、製造工程の簡略のために、リソグラフィ工程及びエッチング工程に基づき、n型の導電型を有する第1GaN系化合物半導体層13を部分的に露出させ、MgドープのGaN層18上にAg/Niから成るp型電極19Bを形成し、第1GaN系化合物半導体層13の上にTi/Alから成るn型電極19Aを形成し、これらのn型電極19A及びp型電極19Bにプルーブで針立てを行い、駆動電流を供給し、基板10の裏面から放射される光を検出した。この状態を、図13の概念図を示す。また、GaN系半導体発光素子1Aを上から眺めた模式図を図14の(A)に示し、図14の(A)の矢印B−Bに沿った模式的な断面図(但し、斜線は省略)を図14の(B)に示す。実施例1及び比較例1のGaN系半導体発光素子にあっては、活性層面積(接合領域面積)を6×10-4cm2とした。従って、GaN系半導体発光素子の動作電流密度とは、動作電流値を活性層面積(接合領域面積)である6×10-4cm2で除した値となる。例えば、図14に示すGaN系半導体発光素子1Aに20mAの駆動電流を流した場合の動作電流密度は33A/cm2と算出される。また、例えば図15に示すようなGaN系半導体発光素子1Aが直列に接続された状態にあっても、動作電流密度は33A/cm2と算出される。
比較例1における井戸層密度d1及び井戸層密度d2を式(1−1)、式(1−2)から求めると、以下のとおりとなる。
[比較例1]
1=(WL1/WL)/(t1/t0
={(3+1/3)/10}/(49/147)
=1.00
2=(WL2/WL)/(t2/t0
={(6+2/3)/10}/(98/147)
=1.00
GaN系半導体発光素子の動作電流密度と光出力との関係を測定した結果を、図16に示すが、実施例1のGaN系半導体発光素子1Aの光出力は、従来のGaN系半導体発光素子である比較例1と同程度である。
更には、GaN系半導体発光素子の動作電流密度と発光ピーク波長の関係を、図17に示す。動作電流密度を0.1A/cm2から300A/cm2へと増加させると、比較例1にあっては、Δλ=−19nmであるのに対して、実施例1にあっては、Δλ=−31nmと、大きな発光波長シフトが実現されている。即ち、例えば、動作電流密度を0.1A/cm2とした場合には緑色(発光波長530nm)の発光が得られ、動作電流密度を10A/cm2とした場合には緑色(発光波長518nm)の発光が得られ、動作電流密度を300A/cm2とした場合には青緑色(発光波長499nm)の発光が得られる。
尚、このようなGaN系半導体発光素子1Aの発光波長の制御は駆動電流のピーク電流値I1,I2で行う方法を採用すればよい。また、GaN系半導体発光素子1Aの発光量の制御は、駆動電流のパルス幅制御で行えばよいし、あるいは又、駆動電流のパルス密度制御で行えばよいし、あるいは又、これらの組合せで行えばよい。以下の実施例にあっても同様とすることができる。
具体的には、図12の(B)に示すように、或る発光波長λ1を得るときの駆動電流のピーク電流値をI1、駆動電流のパルス幅をP1、発光波長λ2(<λ1)を得るときの駆動電流のピーク電流値をI2(<I1)、駆動電流のパルス幅をP2としたとき、
(1)駆動電流のピーク電流値I1,I2を制御することによって、GaN系半導体発光素子1Aからの射出光の発光波長λを制御することができ、
(2)駆動電流のパルス幅P1、パルス幅P2を制御することによって(駆動電流のパルス幅制御)、GaN系半導体発光素子1Aからの射出光の全体としての発光色を制御することができ、更には、
(3)GaN系半導体発光素子1Aの1パルス周期TPの長さ(パルス幅)を制御することによって(駆動電流のパルス幅制御)、GaN系半導体発光素子1Aからの射出光の発光量(明るさ、輝度)を制御することができ、及び/又は、
(3’)GaN系半導体発光素子1Aの動作の1動作周期TOP中における1パルス周期TPの数(パルス密度)を制御することによって(駆動電流のパルス密度制御)、GaN系半導体発光素子1Aからの射出光の発光量(明るさ、輝度)を制御することができる。
後述する実施例にあっても、GaN系半導体発光素子1Aの発光波長の制御、及び、GaN系半導体発光素子1Aの発光量の制御は、同様の方法で行えばよい。
尚、活性層15の総厚をt0とし、活性層15における第1GaN系化合物半導体層側界面(より具体的には、アンドープGaN層14と活性層15との界面)から厚さ(t0/2)までの活性層第1領域AR1内の井戸層密度をd1、第2GaN系化合物半導体層側界面(より具体的には、アンドープGaN層16と活性層15との界面)から厚さ(t0/2)までの活性層第2領域AR2内の井戸層密度をd2としたとき、d1>d2を満足するように活性層15における井戸層が配置されているとした場合の、井戸層密度d1及び井戸層密度d2を式(1−1)、式(1−2)から求めると、以下のとおりとなる。
[実施例1相当]
1=(WL1/WL)/(t1/t0
=(6/10)/{(75+1/2)/151}
=1.20
2=(WL2/WL)/(t2/t0
=(4/10)/{(75+1/2)/151}
=0.78
[比較例1相当]
1=(WL1/WL)/(t1/t0
=(5/10)/{(73+1/2)/147}
=1.00
2=(WL2/WL)/(t2/t0
=(5/10)/{(73+1/2)/147}
=1.00
また、活性層15の総厚をt0とし、活性層15における第1GaN系化合物半導体層側界面(より具体的には、アンドープGaN層14と活性層15との界面)から厚さ(2t0/3)までの活性層第1領域AR1内の井戸層密度をd1、第2GaN系化合物半導体層側界面(より具体的には、アンドープGaN層16と活性層15との界面)から厚さ(t0/3)までの活性層第2領域AR2内の井戸層密度をd2としたとき、d1>d2を満足するように活性層15における井戸層が配置されているとした場合の、井戸層密度d1及び井戸層密度d2を式(1−1)、式(1−2)から求めると、以下のとおりとなる。
[実施例1相当]
1=(WL1/WL)/(t1/t0
=(7/10)/{(100+2/3)/151}
=1.05
2=(WL2/WL)/(t2/t0
=(3/10)/{(50+1/3)/151}
=0.90
[比較例1相当]
1=(WL1/WL)/(t1/t0
={(6+2/3)/10}/(98/147)
=1.00
2=(WL2/WL)/(t2/t0
={(3+1/3)/10}/(49/147)
=1.00
以上のとおり、いずれの場合にあっても、実施例1に相当する場合、d1>d2を満足するように活性層15における井戸層が配置されている。
実施例1における駆動回路26は、図12の(A)に示すように、制御部27と、駆動電流の供給源である駆動電流源28と、所定のパルス信号を生成するパルス生成回路29と、ドライバ30とを備えている。ここで、駆動電流源28、パルス生成回路29及びドライバ30が、GaN系半導体発光素子1Aにパルス駆動電流を供給するパルス駆動電流供給手段に相当する。また、制御部27が、パルス駆動電流のパルス幅及びパルス密度を設定するパルス駆動電流設定手段に相当する。
そして、駆動回路26にあっては、制御部27の制御下、駆動電流のピーク電流値I1,I2を駆動電流源28から出力する。併せて、制御部27の制御下、GaN系半導体発光素子1Aの1パルス周期TPの長さ(パルス幅)を制御し、しかも、GaN系半導体発光素子1Aの動作の1動作周期TOP中における1パルス周期TPの数(パルス密度)を制御するために、パルス生成回路29からパルス信号を出力する。そして、これらの駆動電流及びパルス信号を受け取ったドライバ30においては、駆動電流源28から送出された駆動電流に対して、パルス生成回路29から送出されたパルス信号に基づいてパルス変調が施され、このパルス駆動電流がGaN系半導体発光素子1Aに供給される。これによって、GaN系半導体発光素子1Aの発光波長の制御、及び、GaN系半導体発光素子1Aの発光量の制御が行われる。
以下、実施例1のGaN系半導体発光素子1Aの製造方法の概要を説明する。
[工程−100]
先ず、C面を主面とするサファイアを基板10として使用し、水素から成るキャリアガス中、基板温度1050゜Cで10分間の基板クリーニングを行った後、基板温度を500゜Cまで低下させる。そして、MOCVD法に基づき、窒素原料であるアンモニアガスを供給しながら、ガリウム原料であるトリメチルガリウム(Trimethygallium, TMG)ガスの供給を行い、低温GaNから成る厚さ30nmのバッファ層11を基板10の上に結晶成長させた後、TMGガスの供給を中断する。
[工程−110]
次いで、基板温度を1020゜Cまで上昇させた後、再び、TMGガスの供給を開始することで、厚さ1μmのアンドープのGaN層12をバッファ層11上に結晶成長させ、引き続き、シリコン原料であるモノシラン(SiH4)ガスの供給を開始することで、SiドープのGaN(GaN:Si)から成り、n型の導電型を有する厚さ3μmの第1GaN系化合物半導体層13を、アンドープのGaN層12上に結晶成長させる。尚、ドーピング濃度は、約5×1018/cm3である。
[工程−120]
その後、一旦、TMGガスとSiH4ガスの供給を中断し、キャリアガスを水素ガスから窒素ガスに切り替えると共に、基板温度を750゜Cまで低下させる。そして、Ga原料としてトリエチルガリウム(Triethylgallium, TEG)ガス、In原料としてトリメチルインジウム(Trimethylindium, TMI)ガスを使用し、バルブ切り替えによりこれらのガスの供給を行うことで、先ず最初に、厚さ5nmアンドープGaN層14を結晶成長させ、引き続き、InGaNから成る井戸層、及び、GaNから成る障壁層から構成された多重量子井戸構造を有する活性層15を形成する。尚、井戸層におけるIn組成割合は、例えば0.23であり、発光波長λ515nmに相当する。井戸層におけるIn組成割合は、所望とする発光波長に基づき決定すればよい。多重量子井戸構造の詳細は、例えば、表1に示したとおりである。
[工程−130]
多重量子井戸構造の形成完了後、引き続き、アンドープの10nmのGaN層16を成長させながら基板温度を800゜Cまで上昇させ、Al原料としてトリメチルアルミニウム(Trimethylaluminium, TMA)ガス、Mg原料としてビスシクロペンタジエニルマグネシウム(Biscyclopentadienyl Magnesium, Cp2Mg)ガスの供給を開始することで、MgドープAl組成割合0.20のAlGaN(AlGaN:Mg)から成り、p型の導電型を有する厚さ20nmの第2GaN系化合物半導体層17を結晶成長させる。尚、ドーピング濃度は、約5×1019/cm3である。
[工程−140]
その後、TEGガス、TMAガス、Cp2Mgガスの供給中断と共に、キャリアガスを窒素から水素に切り替え、850゜Cまで基板温度を上昇させ、TMGガスとCp2Mgガスの供給を開始することで、厚さ100nmのMgドープのGaN層(GaN:Mg)18を第2GaN系化合物半導体層17の上に結晶成長させる。尚、ドーピング濃度は、約5×1019/cm3である。その後、TMGガス及びCp2Mgガスの供給中止と共に基板温度を低下させ、基板温度600゜Cでアンモニアガスの供給を中止し、室温まで基板温度を下げて結晶成長を完了させる。
ここで、活性層15の成長後の基板温度TMAXに関しては、発光波長をλnmとしたとき、TMAX<1350−0.75λ(゜C)、好ましくは、TMAX<1250−0.75λ(゜C)を満足している。このような活性層15の成長後の基板温度TMAXを採用することで、特開2002−319702でも述べられているように、活性層15の熱的な劣化を抑制することができる。
こうして結晶成長を完了した後、基板を窒素ガス雰囲気中で800゜C、10分間のアニール処理を行ってp型不純物(p型ドーパント)の活性化を行う。その後、通常のLEDのウェハプロセス、チップ化工程と同様に、フォトリソグラフィ工程やエッチング工程、金属蒸着によるp型電極、n型電極の形成工程を経て、ダイシングによりチップ化を行い、更に、樹脂モールド、パッケージ化を行うことで、砲弾型や面実装型といった種々の発光ダイオードを作製することができる。
実施例2は、実施例1の変形である。実施例2におけるGaN系半導体発光素子1Aにあっては、第1GaN系化合物半導体層13と活性層15との間(より具体的には、実施例2にあっては、第1GaN系化合物半導体層13とアンドープGaN層14との間)に、In原子を含有する下地層が形成されており、活性層15と第2GaN系化合物半導体層17との間(より具体的には、実施例2にあっては、アンドープGaN層16と第2GaN系化合物半導体層17との間)に、p型ドーパントを含有する超格子構造層が形成されている。このような構成にすることで、発光効率の一層の向上と動作電圧の一層の低下を図りつつ、高い動作電流密度における一層安定したGaN系半導体発光素子1Aの動作を達成することができる。
ここで、下地層は、In組成割合が0.03の厚さ150nmのSiドープInGaN層から成る。ドーピング濃度は5×1018/cm3である。一方、超格子構造層は、厚さ2.4nmのAlGaN層(Mgドーピング)と厚さ1.6nmのGaN層(Mgドーピング)とを5周期積層した超格子構造を有する。尚、AlGaN層におけるAl組成割合は0.15である。また、超格子構造層が含有するp型ドーパントの濃度は、5×1019/cm3である。
以上の点を除き、実施例2におけるGaN系半導体発光素子1Aは、実施例1におけるGaN系半導体発光素子1Aと同じ構成、構造を有するので、詳細な説明は省略する。
実施例3も、実施例1の変形である。具体的には、実施例3の画像表示装置は、第1Bの態様に係る画像表示装置に関し、図18に概念図を示すように、
(α)GaN系半導体発光素子から成り、青色を発光する第1発光素子101B、及び、青色を発光する第1発光素子101Bから射出された射出光の通過/非通過を制御するための第1光通過制御装置[一種のライト・バルブであり、例えば、高温ポリシリコンタイプの薄膜トランジスタを備えた液晶表示装置58Bやデジタルマイクロミラーデバイス(DMD)から構成され、以下の説明においても同様である]から成る第1画像表示装置、
(β)GaN系半導体発光素子から成り、緑色を発光する第2発光素子101G、及び、緑色を発光する第2発光素子101Gから射出された射出光の通過/非通過を制御するための第2光通過制御装置(例えば、液晶表示装置58G)から成る第2画像表示装置、及び、
(γ)例えば、AlGaInP系半導体発光素子やGaN系半導体発光素子から成り、赤色を発光する第3発光素子101R、及び、赤色を発光する第3発光素子101Rから射出された射出光の通過/非通過を制御するための第3光通過制御装置(例えば、液晶表示装置58R)から成る第3画像表示装置、並びに、
(δ)第1光通過制御装置58B、第2光通過制御装置58G及び第3光通過制御装置58Rを通過した光を1本の光路に纏めるための手段(ダイクロイック・プリズム57)、
を備えており、
光通過制御装置58B,58G,58Rによってこれらの発光素子から射出された射出光の通過/非通過を制御することで画像を表示するカラー表示の画像表示装置(直視型あるいはプロジェクション型)である。
尚、第1発光素子101B、第2発光素子101G、第3発光素子101Rの数は、画像表示装置に要求される仕様に基づき、決定すればよく、1又は複数とすることができ、図示した例では、それぞれ、1つである。また、第1発光素子101B、第2発光素子101G、第3発光素子101Rから射出された射出光を光通過制御装置58B,58G,58Rへと案内するための手段(光案内部材59B,59G,59R)として、導光部材、マイクロレンズアレイ、ミラーや反射板、集光レンズを例示することができる。
ここで、実施例1と同様に、青色を発光する第1発光素子101B及び赤色を発光する第3発光素子101Rは、それぞれ、1色を発光し、緑色発光のGaN系半導体発光素子1Aから成る第2発光素子101Gは2色を発光する構成(合計、4色を発光する構成)とすることもできるし、青色を発光する第1発光素子101B及び赤色を発光する第3発光素子101Rは、それぞれ、1色を発光し、緑色発光のGaN系半導体発光素子1Aから成る第2発光素子101Gは3色を発光する構成(合計、5色を発光する構成)とすることもできるし、赤色を発光する第3発光素子101Rは1色を発光し、青色発光のGaN系半導体発光素子1Aから成る第1発光素子101B及び緑色発光のGaN系半導体発光素子1Aから成る第2発光素子101Gは2色を発光する構成(合計、5色を発光する構成)とすることもできるし、赤色を発光する第3発光素子101Rは1色を発光し、青色発光のGaN系半導体発光素子1Aから成る第1発光素子101Bは2色を発光し、緑色発光のGaN系半導体発光素子1Aから成る第2発光素子101Gは3色を発光する構成(合計、6色を発光する構成)とすることもできる。2色以上を発光するGaN系半導体発光素子1Aは、実施例1あるいは実施例2において説明したGaN系半導体発光素子1Aと同じ構成、構造とすればよい。
尚、図19に概念図を示すように、第1Dの態様に係る画像表示装置とすることもできる。この画像表示装置は、具体的には、
(α)青色を発光する第1発光素子101Bを備えた第1画像表示装置、
(β)緑色を発光する第2発光素子101Gを備えた第2画像表示装置、及び、
(γ)赤色を発光する第3発光素子101Rを備えた第3画像表示装置、並びに、
(δ)第1画像表示装置、第2画像表示装置及び第3画像表示装置から射出された光を1本の光路に纏めるための手段(ダイクロイック・プリズム57)、更には、
(ε)1本の光路に纏めるための手段(ダイクロイック・プリズム57から射出された光の通過/非通過を制御するための光通過制御装置(液晶表示装置58)、
を備えており、
光通過制御装置58によってこれらの発光素子101B,101G,101Rから射出された射出光の通過/非通過を制御することで画像を表示する、フィールドシーケンシャル方式のカラー表示の画像表示装置(直視型あるいはプロジェクション型)である。
この第1Dの態様に係る画像表示装置にあっては、発光素子101R,101G,101Bから射出された光は、ダイクロイック・プリズム57に入射し、これらの光の光路は1本の光路に纏められ、ダイクロイック・プリズム57から射出したこれらの光は光通過制御装置58によって通過/非通過が制御され、直視型画像表示装置にあっては、直視され、あるいは又、プロジェクション型画像表示装置にあっては、投影レンズ56を経由して、スクリーンに投影される。
実施例4も、実施例1の変形である。具体的には、実施例4の画像表示装置は、第1Cの態様に係る画像表示装置に関し、図20に概念図を示すように、
(α)青色を発光する第1発光素子1Bが2次元マトリクス状に配列された第1発光素子パネル50B、及び、第1発光素子パネル50Bから射出された射出光の通過/非通過を制御するための青色光通過制御装置(液晶表示装置58B)から成る第1画像表示装置、
(β)緑色を発光する第2発光素子1Gが2次元マトリクス状に配列された第2発光素子パネル50G、及び、第2発光素子パネル50Gから射出された射出光の通過/非通過を制御するための緑色光通過制御装置(液晶表示装置58G)から成る第2画像表示装置、
(γ)赤色を発光する第3発光素子1Rが2次元マトリクス状に配列された第3発光素子パネル50R、及び、第3発光素子パネル50Rから射出された射出光の通過/非通過を制御するための赤色光通過制御装置(液晶表示装置58R)から成る第3画像表示装置、並びに、
(δ)青色光通過制御装置58B、緑色光通過制御装置58G及び赤色光通過制御装置58Rを通過した光を1本の光路に纏めるための手段(ダイクロイック・プリズム57)を備えており、
光通過制御装置58B,58G,58Rによってこれらの第1発光素子パネル50B、第2発光素子パネル50G及び第3発光素子パネル50Rから射出された射出光の通過/非通過を制御することで画像を表示するカラー表示の画像表示装置(直視型あるいはプロジェクション型)である。
この第1Cの態様に係る画像表示装置にあっては、発光素子パネル50R,50G,50Bから射出された光は、光通過制御装置58R,58G,58Bによって通過/非通過が制御され、ダイクロイック・プリズム57に入射し、これらの光の光路は1本の光路に纏められ、直視型画像表示装置にあっては、直視され、あるいは又、プロジェクション型画像表示装置にあっては、投影レンズ56を経由して、スクリーンに投影される。発光素子パネル50R,50G,50Bの構成、構造は、図2の(B)を参照して説明した発光素子パネル50の構成、構造と同じとすることができるので、詳細な説明は省略する。
ここで、実施例1と同様に、青色を発光する第1発光素子1B及び赤色を発光する第3発光素子1Rは、それぞれ、1色を発光し、緑色発光のGaN系半導体発光素子1Aから成る第2発光素子1Gは2色を発光する構成(合計、4色を発光する構成)とすることもできるし、青色を発光する第1発光素子1B及び赤色を発光する第3発光素子1Rは、それぞれ、1色を発光し、緑色発光のGaN系半導体発光素子1Aから成る第2発光素子1Gは3色を発光する構成(合計、5色を発光する構成)とすることもできるし、赤色を発光する第3発光素子1Rは1色を発光し、青色発光のGaN系半導体発光素子1Aから成る第1発光素子1B及び緑色発光のGaN系半導体発光素子1Aから成る第2発光素子1Gは2色を発光する構成(合計、5色を発光する構成)とすることもできるし、赤色を発光する第3発光素子1Rは1色を発光し、青色発光のGaN系半導体発光素子1Aから成る第1発光素子1Bは2色を発光し、緑色発光のGaN系半導体発光素子1Aから成る第2発光素子1Gは3色を発光する構成(合計、6色を発光する構成)とすることもできる。2色以上を発光するGaN系半導体発光素子1Aは、実施例1あるいは実施例2において説明したGaN系半導体発光素子1Aと同じ構成、構造とすればよい。
尚、図21に概念図を示すように、第1Eの態様に係る画像表示装置とすることもできる。この画像表示装置は、具体的には、
(α)青色を発光する第1発光素子1Bが2次元マトリクス状に配列された第1発光素子パネル50Bから成る第1画像表示装置、
(β)緑色を発光する第2発光素子1Gが2次元マトリクス状に配列された第2発光素子パネル50Gから成る第2画像表示装置、及び、
(γ)赤色を発光する第3発光素子1Rが2次元マトリクス状に配列された第3発光素子パネル50Rから成る第3画像表示装置、並びに、
(δ)第1画像表示装置(第1発光素子パネル50B)、第2画像表示装置(第2発光素子パネル50G)及び第3画像表示装置(第3発光素子パネル50R)のそれぞれから射出された光を1本の光路に纏めるための手段(ダイクロイック・プリズム57)、更には、
(ε)1本の光路に纏めるための手段(ダイクロイック・プリズム57)から射出された光の通過/非通過を制御するための光通過制御装置(液晶表示装置58)、
を備えており、
光通過制御装置58によってこれらの発光素子パネルから射出された射出光の通過/非通過を制御することで画像を表示する、フィールドシーケンシャル方式のカラー表示の画像表示装置(直視型あるいはプロジェクション型)である。
この第1Eの態様に係る画像表示装置にあっては、発光素子パネル50R,50G,50Bから射出された光は、ダイクロイック・プリズム57に入射し、これらの光の光路は1本の光路に纏められ、ダイクロイック・プリズム57から射出したこれらの光は光通過制御装置58によって通過/非通過が制御され、直視型画像表示装置にあっては、直視され、あるいは又、プロジェクション型画像表示装置にあっては、投影レンズ56を経由して、スクリーンに投影される。発光素子パネル50R,50G,50Bの構成、構造は、図2の(B)を参照して説明した発光素子パネル50の構成、構造と同じとすることができるので、詳細な説明は省略する。
実施例5は、本発明の第2の態様に係る画像表示装置に関する。実施例5の画像表示装置は、青色を発光する第1発光素子、緑色を発光する第2発光素子、及び、赤色を発光する第3発光素子から構成された、カラー画像を表示するための発光素子ユニットUNが、2次元マトリクス状に配列されて成る画像表示装置である。そして、第1発光素子、第2発光素子及び第3発光素子の内の少なくとも1つの発光素子は、GaN系半導体発光素子から構成されており、このGaN系半導体発光素子は、異なる動作電流密度に基づき異なる波長の光を発光する。
尚、このような画像表示装置にあっては、異なる動作電流密度に基づき異なる波長の光を発光するGaN系半導体発光素子は、実施例1あるいは実施例2において説明したGaN系半導体発光素子1Aとすればよく、その他の発光素子を、GaN系半導体発光素子、あるいは、例えば、赤色を発光する発光素子をAlInGaP系の化合物半導体発光ダイオードから構成してもよい。
実施例5の画像表示装置にあっても、従来と同じように3原色(RGB)表示用に3種類の発光素子を用意するだけで4種類以上の色の表示が可能となる。例えば、明るさを優先する場合や従来の映像ソースを表示する際にはRGBの3原色、色再現範囲を広げたい場合には3原色に加えて1種類以上の色を表示することができ、両者は、駆動電流波形等により容易に切り替えることができる。また、使用するGaN系半導体発光素子はいずれの表示の場合も無駄にならず、部品点数の低減とコスト削減に役立つ。
ここで、実施例5の画像表示装置として、例えば、以下に説明する構成、構造の画像表示装置を挙げることができる。尚、発光素子ユニットUNの数は、画像表示装置に要求される仕様に基づき、決定すればよい。
[1]第2Aの態様に係る画像表示装置及び第2Bの態様に係る画像表示装置
第1発光素子、第2発光素子及び第3発光素子のそれぞれの発光/非発光状態を制御することで、各発光素子の発光状態を直接的に視認させることで画像を表示する、パッシブマトリックスタイプあるいはアクティブマトリックスタイプの直視型のカラー表示の画像表示装置、及び、第1発光素子、第2発光素子及び第3発光素子のそれぞれの発光/非発光状態を制御し、スクリーンに投影することで画像を表示する、パッシブマトリックスタイプあるいはアクティブマトリックスタイプのプロジェクション型のカラー表示の画像表示装置。
例えば、このようなアクティブマトリックスタイプの直視型のカラー表示の画像表示装置を構成する発光素子パネルを含む回路図を図22に示すが、各発光素子1(図22においては、赤色を発光する発光素子を「R」で示し、緑色を発光するGaN系半導体発光素子を「G」で示し、青色を発光するGaN系半導体発光素子を「B」で示す)の一方の電極(p型電極あるいはn型電極)はドライバ45に接続され、ドライバ45は、コラム・ドライバ43及びロウ・ドライバ44に接続されている。また、各発光素子1の他方の電極(n型電極あるいはp型電極)は接地線に接続されている。各発光素子1の発光/非発光状態の制御は、例えばロウ・ドライバ44によるドライバ45の選択によって行われ、コラム・ドライバ43から各発光素子1を駆動するための輝度信号がドライバ45に供給される。図示しない電源から所定の電圧がそれぞれのドライバ45に別途供給され、ドライバ45は輝度信号に応じた駆動電流(PDM制御やPWM制御に基づく)を発光素子1に供給する。コラム・ドライバ43の機能の1つは、実施例1における駆動回路26の有する機能と同じである。赤色を発光する発光素子R、緑色を発光するGaN系半導体発光素子G、青色を発光するGaN系半導体発光素子Bの選択は、ドライバ45によって行われ、これらの赤色を発光する発光素子R、緑色を発光するGaN系半導体発光素子G、青色を発光するGaN系半導体発光素子Bのそれぞれの発光/非発光状態は時分割制御されてもよく、あるいは又、同時に発光されてもよい。各発光素子1の選択、駆動、それ自体は周知の方法とすることができるので、詳細な説明は省略する。尚、直視型画像表示装置にあっては、直視され、あるいは又、プロジェクション型画像表示装置にあっては、投影レンズを経由して、スクリーンに投影される。
[2]第2Cの態様に係る画像表示装置
2次元マトリクス状に配列された発光素子ユニットUNからの射出光の通過/非通過を制御するための光通過制御装置(例えば、液晶表示装置)を備えており、発光素子ユニットUNにおける第1発光素子、第2発光素子及び第3発光素子のそれぞれの発光/非発光状態を時分割制御し、更に、光通過制御装置によって第1発光素子、第2発光素子及び第3発光素子から射出された射出光の通過/非通過を制御することで画像を表示する、フィールドシーケンシャル方式のカラー表示の直視型あるいはプロジェクション型画像表示装置。
このようなパッシブマトリックスタイプの画像表示装置を構成する発光素子パネルを含む回路図は、図2の(A)に示したと同様であるし、アクティブマトリックスタイプの画像表示装置を構成する発光素子パネルを含む回路図は、図22に示したと同様であるので、詳細な説明は省略する。また、発光素子1が2次元マトリクス状に配列された発光素子パネル50等の概念図を図23に示すが、発光素子パネル50から射出された光は投影レンズ56を経由して、スクリーンに投影され、あるいは又、直視される。発光素子パネル50の構成、構造は、図2の(B)を参照して説明した発光素子パネル50の構成、構造と同じとすることができるので、詳細な説明は省略する。
ここで、実施例1と同様に、青色を発光する第1発光素子B及び赤色を発光する第3発光素子Rは、それぞれ、1色を発光し、緑色発光のGaN系半導体発光素子1Aから成る第2発光素子Gは2色を発光する構成(合計、4色を発光する構成)とすることもできるし、青色を発光する第1発光素子B及び赤色を発光する第3発光素子Rは、それぞれ、1色を発光し、緑色発光のGaN系半導体発光素子1Aから成る第2発光素子Gは3色を発光する構成(合計、5色を発光する構成)とすることもできるし、赤色を発光する第3発光素子Rは1色を発光し、青色発光のGaN系半導体発光素子1Aから成る第1発光素子B及び緑色発光のGaN系半導体発光素子1Aから成る第2発光素子Gは2色を発光する構成(合計、5色を発光する構成)とすることもできるし、赤色を発光する第3発光素子Rは1色を発光し、青色発光のGaN系半導体発光素子1Aから成る第1発光素子Bは2色を発光し、緑色発光のGaN系半導体発光素子1Aから成る第2発光素子Gは3色を発光する構成(合計、6色を発光する構成)とすることもできる。2色以上を発光するGaN系半導体発光素子1Aは、実施例1あるいは実施例2において説明したGaN系半導体発光素子1Aと同じ構成、構造とすればよい。
実施例6は、本発明の面状光源装置及び液晶表示装置組立体(具体的には、カラー液晶表示装置組立体)に関する。実施例6の面状光源装置は、透過型あるいは半透過型のカラー液晶表示装置を背面から照射する面状光源装置である。また、実施例6のカラー液晶表示装置組立体は、透過型あるいは半透過型のカラー液晶表示装置、及び、このカラー液晶表示装置を背面から照射する面状光源装置を備えたカラー液晶表示装置組立体である。
実施例6の面状光源装置における発光素子の配置、配列状態を図24の(A)に模式的に示し、面状光源装置及びカラー液晶表示装置組立体の模式的な一部断面図を図24の(B)に示し、カラー液晶表示装置の模式的な一部断面図を図25に示す。
実施例6における面状光源装置は、青色を発光する第1発光素子1B、緑色を発光する第2発光素子1G、及び、赤色を発光する第3発光素子1Rを備えており、第1発光素子1B、第2発光素子1G及び第3発光素子1Rの内の少なくとも1つの発光素子は、GaN系半導体発光素子1Aから構成されており、このGaN系半導体発光素子1Aは、異なる動作電流密度に基づき異なる波長の光を発光する。
ここで、実施例1と同様に、青色を発光する第1発光素子1B及び赤色を発光する第3発光素子1Rは、それぞれ、1色を発光し、緑色発光のGaN系半導体発光素子1Aから成る第2発光素子1Gは2色を発光する構成(合計、4色を発光する構成)とすることもできるし、青色を発光する第1発光素子1B及び赤色を発光する第3発光素子1Rは、それぞれ、1色を発光し、緑色発光のGaN系半導体発光素子1Aから成る第2発光素子1Gは3色を発光する構成(合計、5色を発光する構成)とすることもできるし、赤色を発光する第3発光素子1Rは1色を発光し、青色発光のGaN系半導体発光素子1Aから成る第1発光素子1B及び緑色発光のGaN系半導体発光素子1Aから成る第2発光素子1Gは2色を発光する構成(合計、5色を発光する構成)とすることもできるし、赤色を発光する第3発光素子1Rは1色を発光し、青色発光のGaN系半導体発光素子1Aから成る第1発光素子1Bは2色を発光し、緑色発光のGaN系半導体発光素子1Aから成る第2発光素子1Gは3色を発光する構成(合計、6色を発光する構成)とすることもできる。2色以上を発光するGaN系半導体発光素子1Aは、実施例1あるいは実施例2において説明したGaN系半導体発光素子1Aと同じ構成、構造とすればよい。
実施例6のカラー液晶表示装置組立体200は、より具体的には、
(a)透明第1電極224を備えたフロント・パネル220、
(b)透明第2電極234を備えたリア・パネル230、及び、
(c)フロント・パネル220とリア・パネル230との間に配された液晶材料227、
から成る透過型のカラー液晶表示装置210、並びに、
(d)光源としての発光素子1R,1G,1Bを有する面状光源装置(直下型のバックライト)240、
を備えている。ここで、面状光源装置(直下型のバックライト)240は、リア・パネル230に対向(対面)して配置され、カラー液晶表示装置210をリア・パネル側から照射する。
直下型の面状光源装置240は、外側フレーム243と内側フレーム244とを備えた筐体241から構成されている。そして、透過型のカラー液晶表示装置210の端部は、外側フレーム243と内側フレーム244とによって、スペーサ245A,245Bを介して挟み込まれるように保持されている。また、外側フレーム243と内側フレーム244との間には、ガイド部材246が配置されており、外側フレーム243と内側フレーム244とによって挟み込まれたカラー液晶表示装置210がずれない構造となっている。筐体241の内部であって上部には、拡散板251が、スペーサ245C、ブラケット部材247を介して、内側フレーム244に取り付けられている。また、拡散板251の上には、拡散シート252、プリズムシート253、偏光変換シート254といった光学機能シート群が積層されている。
筐体241の内部であって下部には、反射シート255が備えられている。ここで、この反射シート255は、その反射面が拡散板251と対向するように配置され、筐体241の底面242Aに図示しない取付け用部材を介して取り付けられている。反射シート255は、例えば、シート基材上に、銀反射膜、低屈折率膜、高屈折率膜を順に積層された構造を有する銀増反射膜から構成することができる。反射シート255は、赤色を発光する複数のAlGaInP系半導体発光素子1R、緑色を発光する複数のGaN系半導体発光素子1G、青色を発光する複数のGaN系半導体発光素子1Bから射出された光や、筐体241の側面242Bによって反射された光を反射する。こうして、複数の半導体発光素子1R,1G,1Bから射出された赤色、緑色及び青色が混色され、色純度の高い白色光を照明光として得ることができる。この照明光は、拡散板251、拡散シート252、プリズムシート253、偏光変換シート254といった光学機能シート群を通過し、カラー液晶表示装置210を背面から照射する。
発光素子の配列状態は、例えば、青色発光のGaN系半導体発光素子から成る第1発光素子1B、赤色発光のAlGaInP系半導体発光素子から成る第3発光素子1R及び緑色発光のGaN系半導体発光素子から成る第2発光素子1Gを1組とした発光素子列を水平方向に複数、連ねて発光素子列アレイを形成し、この発光素子列アレイを垂直方向に複数本、並べる配列とすることができる。そして、発光素子列を構成する各発光素子の個数は、例えば、(1つの青色発光の第1発光素子,2つの緑色発光の第2発光素子,2つの赤色発光の第3発光素子)であり、赤色発光の第3発光素子、緑色発光の第2発光素子、青色発光の第1発光素子、緑色発光の第2発光素子、赤色発光の第3発光素子の順に配列されている。
図25に示すように、カラー液晶表示装置210を構成するフロント・パネル220は、例えば、ガラス基板から成る第1の基板221と、第1の基板221の外面に設けられた偏光フィルム226とから構成されている。第1の基板221の内面には、アクリル樹脂やエポキシ樹脂から成るオーバーコート層223によって被覆されたカラーフィルター222が設けられ、オーバーコート層223上には、透明第1電極(共通電極とも呼ばれ、例えば、ITOから成る)224が形成され、透明第1電極224上には配向膜225が形成されている。一方、リア・パネル230は、より具体的には、例えば、ガラス基板から成る第2の基板231と、第2の基板231の内面に形成されたスイッチング素子(具体的には、薄膜トランジスタ、TFT)232と、スイッチング素子232によって導通/非導通が制御される透明第2電極(画素電極とも呼ばれ、例えば、ITOから成る)234と、第2の基板231の外面に設けられた偏光フィルム236とから構成されている。透明第2電極234を含む全面には配向膜235が形成されている。フロント・パネル220とリア・パネル230とは、それらの外周部で封止材(図示せず)を介して接合されている。尚、スイッチング素子232は、TFTに限定されず、例えば、MIM素子から構成することもできる。また、図面における参照番号237は、スイッチング素子232とスイッチング素子232との間に設けられた絶縁層である。
尚、これらの透過型のカラー液晶表示装置を構成する各種の部材や、液晶材料は、周知の部材、材料から構成することができるので、詳細な説明は省略する。
青色発光の第1発光素子1B、緑色発光の第2発光素子1G及び赤色発光の第3発光素子1Rのそれぞれは、図12の(A)に示した構造を有し、駆動回路26に接続されている。そして、実施例1において説明したと同様の方法で駆動される。
このように多色を用いる場合、従来の技術にあっては、各色に対応する発光ダイオードを必要とするが、実施例6にあっては、3種類の発光ダイオード、即ち、通常の、赤色を発光する発光ダイオード、緑色を発光する発光ダイオード、青色を発光する発光ダイオードだけを用意すればよい。また、多色用に各色の発光ダイオードを個別に用意した場合には、通常の3原色表示のときは使用しないため無駄になるが、実施例6にあっては、3原色表示の場合は3原色用光源として使用するので、無駄にならない。つまり、3原色表示用に3種類の発光ダイオードを用意することで、明るさを優先する場合や従来の映像ソースを表示する際には3原色、色再現範囲を広げたい場合は4色以上を表示することができ、両者は駆動電流波形により容易に切り替えることができる。また、使用する発光ダイオードはいずれの表示の場合も無駄にならず、部品点数の低減とコスト削減に役立つ。尚、赤色発光の半導体発光素子として、AlGaInP系半導体発光素子の他、GaN系半導体発光素子を用いることもできる。実施例7においても同様である。
また、面状光源装置を、複数の領域に分割し、各領域を独立して動的に制御することで、カラー液晶表示装置の輝度に関するダイナミックレンジを広げることが可能である。即ち、画像表示フレーム毎に面状光源装置を複数の領域に分割し、各領域毎に、画像信号に応じて面状光源装置の明るさを変化させる(例えば、各領域に相当する画像の領域の最大輝度に、面状光源装置の該当する領域の輝度を比例させる)ことで、画像の明るい領域にあっては面状光源装置の該当する領域を明るくし、画像の暗い領域にあっては面状光源装置の該当する領域を暗くすることにより、カラー液晶表示装置のコントラスト比を大幅に向上させることができる。更には、平均消費電力も低減できる。この技術においては、面状光源装置の領域間の色むらを低減することが重要である。GaN系半導体発光素子は製造時の発光色ばらつきが生じ易いが、実施例6において使用するGaN系半導体発光素子1Aは、実施例1あるいは実施例2において説明したGaN系半導体発光素子1Aであり、ピーク電流値を変えるだけで、大きく発光波長を変化させることができるため、面状光源装置の領域毎にピーク電流値を調整して発光色ばらつきの補正を行い、駆動電流のパルス幅及び/又はパルス密度によって輝度を調整することができる。これにより、領域毎の発光色ばらつきの少ない面状光源装置を達成することができる。
実施例7は、実施例6の変形である。実施例6にあっては、面状光源装置を直下型とした。一方、実施例7にあっては、面状光源装置をエッジライト型とする。実施例7のカラー液晶表示装置組立体の概念図を図26に示す。尚、実施例7におけるカラー液晶表示装置の模式的な一部断面図は、図25に示した模式的な一部断面図と同様である。
実施例7のカラー液晶表示装置組立体200Aは、
(a)透明第1電極224を備えたフロント・パネル220、
(b)透明第2電極234を備えたリア・パネル230、及び、
(c)フロント・パネル220とリア・パネル230との間に配された液晶材料227、
から成る透過型のカラー液晶表示装置210、並びに、
(d)導光板270及び光源260から成り、カラー液晶表示装置210をリア・パネル側から照射する面状光源装置(エッジライト型のバックライト)250、
を備えている。ここで、導光板270は、リア・パネル230に対向(対面)して配置されている。
光源260は、例えば、赤色発光のAlGaInP系半導体発光素子から成る第3発光素子、緑色発光のGaN系半導体発光素子から成る第2発光素子、及び、青色発光のGaN系半導体発光素子から成る第1発光素子から構成されている。尚、これらの発光素子は、具体的には図示していない。緑色発光の第2発光素子及び青色発光の第1発光素子は、実施例1あるいは実施例2において説明したGaN系半導体発光素子1Aと同様とすることができる。また、カラー液晶表示装置210を構成するフロント・パネル220及びリア・パネル230の構成、構造は、図25を参照して説明した実施例6のフロント・パネル220及びリア・パネル230と同様の構成、構造とすることができるので、詳細な説明は省略する。
例えば、ポリカーボネート樹脂から成る導光板270は、第1面(底面)271、この第1面271と対向した第2面(頂面)273、第1側面274、第2側面275、第1側面274と対向した第3側面276、及び、第2側面274と対向した第4側面を有する。導光板270のより具体的な形状は、全体として、楔状の切頭四角錐形状であり、切頭四角錐の2つの対向する側面が第1面271及び第2面273に相当し、切頭四角錐の底面が第1側面274に相当する。そして、第1面271の表面部には凹凸部272が設けられている。導光板270への光入射方向であって第1面271と垂直な仮想平面で導光板270を切断したときの連続した凸凹部の断面形状は、三角形である。即ち、第1面271の表面部に設けられた凹凸部272は、プリズム状である。導光板270の第2面273は、平滑としてもよいし(即ち、鏡面としてもよいし)、拡散効果のあるブラストシボを設けてもよい(即ち、微細な凹凸面とすることもできる)。導光板270の第1面271に対向して反射部材281が配置されている。また、導光板270の第2面273に対向してカラー液晶表示装置210が配置されている。更には、カラー液晶表示装置210と導光板270の第2面273との間には、拡散シート282及びプリズムシート283が配置されている。光源260から射出された光は、導光板270の第1側面274(例えば、切頭四角錐の底面に相当する面)から導光板270に入射し、第1面271の凹凸部272に衝突して散乱され、第1面271から射出し、反射部材281にて反射され、第1面271に再び入射し、第2面273から射出され、拡散シート282及びプリズムシート283を通過して、カラー液晶表示装置210を照射する。
以上、本発明を好ましい実施例に基づき説明したが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。実施例において説明したGaN系半導体発光素子、並びに、係るGaN系半導体発光素子が組み込まれた画像表示装置、面状光源装置、カラー液晶表示装置組立体の構成、構造は例示であるし、これらを構成する部材、材料等も例示であり、適宜、変更することができる。GaN系半導体発光素子における積層の順序は、逆であってもよい。直視型の画像表示装置にあっては、人の網膜に画像を投影する形式の画像表示装置とすることもできる。
色再現範囲(色度図)の説明に関しては、画像表示装置を例にとり、専ら説明したが、面状光源装置においても、同様の色再現範囲の拡大を図ることができる。
また、画像表示装置、面状光源装置、及び、液晶表示装置組立体にあっては、3種類の発光素子で4色以上の色を発光させたが、N種類(但し、N≧4)の発光素子で(N+1)色以上の色を発光させてもよい。
更には、P種類[但し、P≧3]の発光素子の(P+Q)個[但し、Q=1,2,3・・・]の集合を1ユニットとし、(P+Q)色を発光する画像表示装置、面状光源装置、あるいは、液晶表示装置組立体とすることもできる。
即ち、例えば、本発明の第1の態様あるいは第2の態様に係る画像表示装置、本発明の面状光源装置、本発明の液晶表示装置組立体における面状光源装置にあっては、実施例において説明したように、1つのGaN系半導体発光素子が、異なる動作電流密度に基づき異なる波長の光を発光する構成とすることが好ましいが、場合によっては、同一GaN系半導体発光素子を2以上を組として用意し、各GaN系半導体発光素子を異なる動作電流密度にて駆動することで、各GaN系半導体発光素子から異なる波長の光を発光する構成とすることもできる。即ち、例えば、緑色発光のGaN系半導体発光素子から成る同一の第2発光素子を2つ、組とし、一方の第2発光素子からλ1=520nm(緑色)の光を射出し、他方の第2発光素子からλ2=484nm(青緑色)の光を射出する構成とすることもできる。
あるいは又、云い換えれば、本発明の第1の態様に係る画像表示装置は、青色を発光する第1発光素子を備えた第1画像表示装置、緑色を発光する第2発光素子を備えた第2画像表示装置、及び、赤色を発光する第3発光素子を備えた第3画像表示装置から成り、第1画像表示装置、第2画像表示装置及び第3画像表示装置から射出された青色、緑色及び赤色の光によって画像が形成される画像表示装置であって、
第1発光素子、第2発光素子及び第3発光素子の内の少なくとも1つの発光素子は、GaN系半導体発光素子から構成されており、
該GaN系半導体発光素子から構成された第4の色を発光する第4発光素子を備えた第4画像表示装置を更に備えており、
GaN系半導体発光素子から構成された第1発光素子、第2発光素子及び第3発光素子の内の少なくとも1つの発光素子と、第4発光素子とは、異なる動作電流密度に基づき異なる波長の光を発光することを特徴とする。
あるいは又、云い換えれば、本発明の第2の態様に係る画像表示装置は、青色を発光する第1発光素子、緑色を発光する第2発光素子、及び、赤色を発光する第3発光素子から構成された、カラー画像を表示するための発光素子ユニットが、2次元マトリクス状に配列されて成る画像表示装置であって、
第1発光素子、第2発光素子及び第3発光素子の内の少なくとも1つの発光素子は、GaN系半導体発光素子から構成されており、
該GaN系半導体発光素子から構成された第4の色を発光する第4発光素子を、発光素子ユニットは更に備えており、
GaN系半導体発光素子から構成された第1発光素子、第2発光素子及び第3発光素子の内の少なくとも1つの発光素子と、第4発光素子とは、異なる動作電流密度に基づき異なる波長の光を発光することを特徴とする。
あるいは又、云い換えれば、本発明の面状光源装置、若しくは、本発明の液晶表示装置組立体における面状光源装置は、
透過型あるいは半透過型の液晶表示装置を背面から照射する面状光源装置であって、
青色を発光する第1発光素子、緑色を発光する第2発光素子、及び、赤色を発光する第3発光素子を備えており、
第1発光素子、第2発光素子及び第3発光素子の内の少なくとも1つの発光素子は、GaN系半導体発光素子から構成されており、
該GaN系半導体発光素子から構成された第4の色を発光する第4発光素子を更に備えており、
GaN系半導体発光素子から構成された第1発光素子、第2発光素子及び第3発光素子の内の少なくとも1つの発光素子と、第4発光素子とは、異なる動作電流密度に基づき異なる波長の光を発光することを特徴とする。
AlGaInP系半導体発光素子やGaN系半導体発光素子の温度特性(温度−発光波長の関係)を予め求めておき、面状光源装置あるいはカラー液晶表示装置組立体におけるAlGaInP系半導体発光素子やGaN系半導体発光素子の温度をモニターすることによって、電源投入直後から安定したAlGaInP系半導体発光素子やGaN系半導体発光素子の動作を実現することが可能となる。
駆動回路として、その他、特開2003−22052に開示された駆動回路を用いることもできる。この駆動回路は、複数のGaN系半導体発光素子間の発光波長のばらつきをGaN系半導体発光素子に供給する電流を制御することで補正する発光波長補正手段と、GaN系半導体発光素子間の輝度のばらつきを補正する発光輝度補正手段を有する。ここで、発光波長補正手段は駆動されるGaN系半導体発光素子毎に設けられたカレントミラー回路を有し、このカレントミラー回路によってGaN系半導体発光素子を流れる電流を調整する構成とすることができる。尚、カレントミラー回路の参照側を流れる電流は、並列接続された複数の能動素子を流れる電流の制御によって制御される。また、発光輝度補正手段は駆動されるGaN系半導体発光素子に電流を供給する定電流回路を有し、この定電流回路のスイッチング素子のオンオフを制御する構成とすることができる。
図1は、実施例1における第1発光素子パネル、第2発光素子パネル及び第3発光素子パネルを備えたプロジェクション型、カラー表示の画像表示装置(第1Aの態様に係る画像表示装置)の概念図である。 図2の(A)は、実施例1におけるパッシブマトリックスタイプの発光素子パネルの回路図であり、図2の(B)は、発光素子が2次元マトリクス状に配列された発光素子パネルの模式的な断面図である。 図3は、実施例1におけるアクティブマトリックスタイプの発光素子パネルの回路図である。 図4は、実施例1の画像表示装置において、青色発光の第1発光素子、緑色発光のGaN系半導体発光素子から成る第2発光素子、及び、赤色発光のAlGaInP系半導体発光素子(第3発光素子)を駆動するパルス電流を模式的に示す図である。 図5は、図4に示すパルス電流で、青色発光の第1発光素子(1色を発光)、緑色発光のGaN系半導体発光素子から成る第2発光素子(1色を発光)、及び、赤色発光のAlGaInP系半導体発光素子(第3発光素子であり1色を発光)を駆動したときの色再現範囲を示すグラフ(色度図)である。 図6は、実施例1の画像表示装置において、青色発光の第1発光素子、緑色発光のGaN系半導体発光素子から成る第2発光素子、及び、赤色発光のAlGaInP系半導体発光素子(第3発光素子)を駆動するパルス電流を模式的に示す図である。 図7は、図6に示すパルス電流で、青色発光の第1発光素子(1色を発光)、緑色発光のGaN系半導体発光素子から成る第2発光素子(2色を発光)、及び、赤色発光のAlGaInP系半導体発光素子(第3発光素子であり、1色を発光)を駆動したときの色再現範囲を示すグラフ(色度図)である。 図8は、実施例1の画像表示装置において、青色発光の第1発光素子(2色を発光)、緑色発光のGaN系半導体発光素子から成る第2発光素子(2色を発光)、及び、赤色発光のAlGaInP系半導体発光素子(第3発光素子であり、1色を発光)を駆動したときの色再現範囲を示すグラフ(色度図)である。 図9は、実施例1の画像表示装置において、青色発光の第1発光素子、緑色発光のGaN系半導体発光素子から成る第2発光素子、及び、赤色発光のAlGaInP系半導体発光素子(第3発光素子)を駆動するパルス電流を模式的に示す図である。 図10は、図9に示すパルス電流で、青色発光の第1発光素子(2色を発光)、緑色発光のGaN系半導体発光素子から成る第2発光素子(3色を発光)、及び、赤色発光のAlGaInP系半導体発光素子(第3発光素子であり、1色を発光)を駆動したときの色再現範囲を示すグラフ(色度図)である。 図11は、実施例1のGaN系半導体発光素子における層構成を概念的に示す図である。 図12の(A)は、実施例1のGaN系半導体発光素子の模式的な断面図であり、図12の(B)は、実施例1のGaN系半導体発光素子を駆動するための駆動電流のパルス波形を模式的に示す図である。 図13は、GaN系半導体発光素子の評価のために、GaN系半導体発光素子に駆動電流を供給している状態を示す概念図である。 図14の(A)は、GaN系半導体発光素子を上から眺めた模式図であり、図14の(B)は、図14の(A)の矢印B−Bに沿った模式的な断面図(但し、斜線は省略)である。 図15は、直列に接続された2つのGaN系半導体発光素子を上から眺めた模式図である。 図16は、実施例1及び比較例1のGaN系半導体発光素子の動作電流密度と光出力との関係を測定した結果を示すグラフである。 図17は、実施例1及び比較例1のGaN系半導体発光素子の動作電流密度と発光ピーク波長の関係を示すグラフである。 図18は、GaN系半導体発光素子及び光通過制御装置を3組備えたカラー表示のプロジェクション型の実施例3の画像表示装置(第1Bの態様に係る画像表示装置)の概念図である。 図19は、GaN系半導体発光素子を3組、及び、光通過制御装置を備えたカラー表示のプロジェクション型の実施例3の画像表示装置の変形例(第1Dの態様に係る画像表示装置)の概念図である。 図20は、発光素子パネル及び光通過制御装置を3組備えたカラー表示のプロジェクション型の実施例4の画像表示装置(第1Cの態様に係る画像表示装置)の概念図である。 図21は、発光素子パネルを3組、及び、光通過制御装置を備えたカラー表示のプロジェクション型の実施例4の画像表示装置の変形例(第1Eの態様に係る画像表示装置)の概念図である。 図22は、実施例5におけるアクティブマトリックスタイプの直視型のカラー表示の画像表示装置(第2Aの態様に係る画像表示装置)の回路図である。 図23は、GaN系半導体発光素子が2次元マトリクス状に配列された発光素子パネルを備えた実施例5のプロジェクション型の画像表示装置(第2A,2Bの態様に係る画像表示装置)の概念図である。 図24の(A)は、実施例6の面状光源装置における発光素子の配置、配列状態を模式的に示す図であり、図24の(B)は、面状光源装置及びカラー液晶表示装置組立体の模式的な一部断面図である。 図25は、カラー液晶表示装置の模式的な一部断面図である。 図26は、実施例7のカラー液晶表示装置組立体の概念図である。 図27は、青色を発光するGaN系発光ダイオードの駆動電流密度に対する発光ピーク波長をプロットしたグラフである。 図28は、緑色を発光するGaN系発光ダイオードの駆動電流密度に対する発光ピーク波長をプロットしたグラフである。 図29は、緑色を発光する第2発光素子を構成するGaN系半導体発光素子の発光波長をλ1(nm)及びλ2(nm)としたとき、λ1=520nm(緑色)、λ2=484nm(青緑色)のスペクトル図である。
符号の説明
1,101・・・GaN系半導体発光素子、UN・・・発光素子ユニット、10・・・基板、11・・・バッファ層、12・・・アンドープのGaN層、13・・・n型の導電型を有する第1GaN系化合物半導体層、14・・・アンドープGaN層、15・・・活性層、16・・・アンドープGaN層、17・・・p型の導電型を有する第2GaN系化合物半導体層、18・・・MgドープのGaN層、19A・・・n型電極、19B・・・p型電極、21・・・サブマウント、22・・・プラスチックレンズ、23A・・・金線、23B・・・外部電極、24・・・リフレクターカップ、25・・・ヒートシンク、26・・・駆動回路、27・・・制御部、28・・・駆動電流源、29・・・パルス生成回路、30・・・ドライバ、41,43・・・コラム・ドライバ、42,44・・・ロウ・ドライバ、45・・・ドライバ、50・・・発光素子パネル、51・・・支持体、52・・・X方向配線、53・・・Y方向配線、54・・・透明基材、55・・・マイクロレンズ、56・・・投影レンズ、57・・・ダイクロイック・プリズム、58・・・液晶表示装置、59・・・光案内部材、102・・・ヒートシンク、200,200A・・・カラー液晶表示装置組立体、210・・・カラー液晶表示装置、220・・・フロント・パネル、221・・・第1の基板、222・・・カラーフィルター、223・・・オーバーコート層、224・・・透明第1電極、225・・・配向膜、226・・・偏光フィルム、227・・・液晶材料、230・・・リア・パネル、231・・・第2の基板、232・・・スイッチング素子、234・・・透明第2電極、235・・・配向膜、236・・・偏光フィルム、240・・・面状光源装置、241・・・筐体、242A・・・筐体の底面、242B・・・筐体の側面、243・・・外側フレーム、244・・・内側フレーム、245A,245B・・・スペーサ、246・・・ガイド部材、247・・・ブラケット部材、251・・・拡散板、252・・・拡散シート、253・・・プリズムシート、254・・・偏光変換シート、255・・・反射シート、250・・・面状光源装置、260・・・光源、270・・・導光板、271・・・導光板の第1面、272・・・第1面における凹凸部、273・・・導光板の第2面、274・・・導光板の第1側面、275・・・導光板の第2側面、276・・・導光板の第3側面、281・・・反射部材、282・・・拡散シート、283・・・プリズムシート

Claims (23)

  1. 青色を発光する第1発光素子を備えた第1画像表示装置、緑色を発光する第2発光素子を備えた第2画像表示装置、及び、赤色を発光する第3発光素子を備えた第3画像表示装置から成り、第1画像表示装置、第2画像表示装置及び第3画像表示装置から射出された青色、緑色及び赤色の光によって画像が形成される画像表示装置であって、
    第1発光素子、第2発光素子及び第3発光素子の内の少なくとも1つの発光素子は、GaN系半導体発光素子から構成されており、
    該GaN系半導体発光素子は、異なる動作電流密度に基づき異なる波長の光を発光することを特徴とする画像表示装置。
  2. 青色を発光する第1発光素子、緑色を発光する第2発光素子、及び、赤色を発光する第3発光素子から構成された、カラー画像を表示するための発光素子ユニットが、2次元マトリクス状に配列されて成る画像表示装置であって、
    第1発光素子、第2発光素子及び第3発光素子の内の少なくとも1つの発光素子は、GaN系半導体発光素子から構成されており、
    該GaN系半導体発光素子は、異なる動作電流密度に基づき異なる波長の光を発光することを特徴とする画像表示装置。
  3. 前記GaN系半導体発光素子は、
    (A)n型の導電型を有する第1GaN系化合物半導体層、
    (B)井戸層、及び、井戸層と井戸層とを隔てる障壁層から成る多重量子井戸構造を有する活性層、及び、
    (C)p型の導電型を有する第2GaN系化合物半導体層、
    を備えており、
    活性層における第1GaN系化合物半導体層側の井戸層密度をd1、第2GaN系化合物半導体層側の井戸層密度をd2としたとき、d1>d2を満足するように活性層における井戸層が配置されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の画像表示装置。
  4. 活性層の総厚をt0とし、活性層における第1GaN系化合物半導体層側界面から厚さ(2t0/3)までの活性層第1領域内の井戸層密度をd1、第2GaN系化合物半導体層側界面から厚さ(t0/3)までの活性層第2領域内の井戸層密度をd2としたとき、d1>d2を満足するように活性層における井戸層が配置されていることを特徴とする請求項3に記載の画像表示装置。
  5. 活性層の総厚をt0とし、活性層における第1GaN系化合物半導体層側界面から厚さ(t0/2)までの活性層第1領域内の井戸層密度をd1、第2GaN系化合物半導体層側界面から厚さ(t0/2)までの活性層第2領域内の井戸層密度をd2としたとき、d1>d2を満足するように活性層における井戸層が配置されていることを特徴とする請求項3に記載の画像表示装置。
  6. 活性層の総厚をt0とし、活性層における第1GaN系化合物半導体層側界面から厚さ(t0/3)までの活性層第1領域内の井戸層密度をd1、第2GaN系化合物半導体層側界面から厚さ(2t0/3)までの活性層第2領域内の井戸層密度をd2としたとき、d1>d2を満足するように活性層における井戸層が配置されていることを特徴とする請求項3に記載の画像表示装置。
  7. 2/d1≦0.8を満足するように活性層における井戸層が配置されていることを特徴とする請求項3に記載の画像表示装置。
  8. (D)第1GaN系化合物半導体層と活性層との間に形成されたIn原子を含有する下地層、及び、
    (E)活性層と第2GaN系化合物半導体層との間に形成され、p型ドーパントを含有する超格子構造層、
    を更に備えていることを特徴とする請求項3に記載の画像表示装置。
  9. 緑色を発光する第2発光素子がGaN系半導体発光素子から構成されており、
    該GaN系半導体発光素子の発光波長をλ1(nm)及びλ2(nm)としたとき、
    510(nm)≦λ1≦540(nm)、及び、
    470(nm)≦λ2≦510(nm)
    を満足することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の画像表示装置。
  10. 緑色を発光する第2発光素子がGaN系半導体発光素子から構成されており、
    該GaN系半導体発光素子の発光波長をλ1(nm)、λ2(nm)、及び、λ3(nm)としたとき、
    510(nm)≦λ1≦540(nm)、
    490(nm)≦λ2≦510(nm)、及び、
    470(nm)≦λ3≦490(nm)
    を満足することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の画像表示装置。
  11. 青色を発光する第1発光素子がGaN系半導体発光素子から構成されており、
    該GaN系半導体発光素子の発光波長をλ1(nm)及びλ2(nm)としたとき、
    430(nm)≦λ1≦460(nm)、及び、
    455(nm)≦λ2≦470(nm)
    を満足することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の画像表示装置。
  12. ライト・バルブを更に備えていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の画像表示装置。
  13. 透過型あるいは半透過型の液晶表示装置を背面から照射する面状光源装置であって、
    青色を発光する第1発光素子、緑色を発光する第2発光素子、及び、赤色を発光する第3発光素子を備えており、
    第1発光素子、第2発光素子及び第3発光素子の内の少なくとも1つの発光素子は、GaN系半導体発光素子から構成されており、
    該GaN系半導体発光素子は、異なる動作電流密度に基づき異なる波長の光を発光することを特徴とする面状光源装置。
  14. 前記GaN系半導体発光素子は、
    (A)n型の導電型を有する第1GaN系化合物半導体層、
    (B)井戸層、及び、井戸層と井戸層とを隔てる障壁層から成る多重量子井戸構造を有する活性層、及び、
    (C)p型の導電型を有する第2GaN系化合物半導体層、
    を備えており、
    活性層における第1GaN系化合物半導体層側の井戸層密度をd1、第2GaN系化合物半導体層側の井戸層密度をd2としたとき、d1>d2を満足するように活性層における井戸層が配置されていることを特徴とする請求項13に記載の面状光源装置。
  15. 活性層の総厚をt0とし、活性層における第1GaN系化合物半導体層側界面から厚さ(2t0/3)までの活性層第1領域内の井戸層密度をd1、第2GaN系化合物半導体層側界面から厚さ(t0/3)までの活性層第2領域内の井戸層密度をd2としたとき、d1>d2を満足するように活性層における井戸層が配置されていることを特徴とする請求項14に記載の面状光源装置。
  16. 活性層の総厚をt0とし、活性層における第1GaN系化合物半導体層側界面から厚さ(t0/2)までの活性層第1領域内の井戸層密度をd1、第2GaN系化合物半導体層側界面から厚さ(t0/2)までの活性層第2領域内の井戸層密度をd2としたとき、d1>d2を満足するように活性層における井戸層が配置されていることを特徴とする請求項14に記載の面状光源装置。
  17. 活性層の総厚をt0とし、活性層における第1GaN系化合物半導体層側界面から厚さ(t0/3)までの活性層第1領域内の井戸層密度をd1、第2GaN系化合物半導体層側界面から厚さ(2t0/3)までの活性層第2領域内の井戸層密度をd2としたとき、d1>d2を満足するように活性層における井戸層が配置されていることを特徴とする請求項14に記載の面状光源装置。
  18. 2/d1≦0.8を満足するように活性層における井戸層が配置されていることを特徴とする請求項14に記載の面状光源装置。
  19. (D)第1GaN系化合物半導体層と活性層との間に形成されたIn原子を含有する下地層、及び、
    (E)活性層と第2GaN系化合物半導体層との間に形成され、p型ドーパントを含有する超格子構造層、
    を更に備えていることを特徴とする請求項14に記載の面状光源装置。
  20. 緑色を発光する第2発光素子がGaN系半導体発光素子から構成されており、
    該GaN系半導体発光素子の発光波長をλ1(nm)及びλ2(nm)としたとき、
    510(nm)≦λ1≦540(nm)、及び、
    470(nm)≦λ2≦510(nm)
    を満足することを特徴とする請求項13に記載の面状光源装置。
  21. 緑色を発光する第2発光素子がGaN系半導体発光素子から構成されており、
    該GaN系半導体発光素子の発光波長をλ1(nm)、λ2(nm)、及び、λ3(nm)としたとき、
    510(nm)≦λ1≦540(nm)、
    490(nm)≦λ2≦510(nm)、及び、
    470(nm)≦λ3≦490(nm)
    を満足することを特徴とする請求項13に記載の面状光源装置。
  22. 青色を発光する第1発光素子がGaN系半導体発光素子から構成されており、
    該GaN系半導体発光素子の発光波長をλ1(nm)及びλ2(nm)としたとき、
    430(nm)≦λ1≦460(nm)、及び、
    455(nm)≦λ2≦470(nm)
    を満足することを特徴とする請求項13に記載の面状光源装置。
  23. 透過型あるいは半透過型の液晶表示装置、及び、該液晶表示装置を背面から照射する面状光源装置を備えた液晶表示装置組立体であって、
    面状光源装置は、青色を発光する第1発光素子、緑色を発光する第2発光素子、及び、赤色を発光する第3発光素子を備えており、
    第1発光素子、第2発光素子及び第3発光素子の内の少なくとも1つの発光素子は、GaN系半導体発光素子から構成されており、
    該GaN系半導体発光素子は、異なる動作電流密度に基づき異なる波長の光を発光することを特徴とする液晶表示装置組立体。
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