JP2007048780A - ウェーハ面取り装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ウェーハ及び砥石の冷却と研削屑の除去洗浄というクーラント液本来の目的を十分達成することのできる、効率のよいクーラント液の供給を可能にしたウェーハ面取り装置を提供すること。
【解決手段】ウェーハ面取り装置１０には、ウェーハＷの表面内側にクーラント液９１Ａを供給するクーラントノズル７１Ａ、７１Ｂを設け、供給されたクーラント液９１Ａがウェーハ表面で表面内側から外周に向けて広がって研削位置に到達するようにし、総形砥石を用いたヘリカル研削による面取り加工の場合やノッチ部Ｎの面取り加工の場合においても、加工ポイントに効率よくクーラント液９１Ａを供給することができるようにした。
【選択図】 図４

Description

本発明はウェーハ面取り装置に関するもので、特にクーラント液を効率よく供給することのできるクーラントノズルを備えたウェーハ面取り装置に関する。

半導体デバイス等の素材となるシリコン等のウェーハは、インゴットの状態からスライシングマシンやワイヤーソー等で薄くスライスされたのち、周縁エッジ部の割れや欠けを防止するために周縁が面取り加工される。ウェーハの面取り加工は、高速回転させた砥石にウェーハを回転させながら近づけ、ウェーハの周縁を砥石で研削することにより行われる。

研削加工部には、ウェーハ及び砥石の冷却と研削屑の除去洗浄を目的としてクーラント液を供給する。このクーラント液が効果的に効率よく供給されないと、ウェーハ及び砥石の温度上昇や砥石の目詰まりによる加工精度の低下や、加工面粗さの悪化をまねき、加工品質が低下する。

ところが、従来のウェーハ面取り装置においては、ウェーハの加工ポイント近辺に向けて大量のクーラント液を噴射するようにしたものがほとんどであった（例えば、特許文献１参照。）。

この特許文献１に記載のウェーハ面取り装置では、図９に記載のように、ウェーハＷの接線方向の両側から加工ポイントに向けてクーラント液を噴射するクーラントノズル１３０、１３０がウェーハＷに対して相対的に固定状態で設けられている。
特許第２９８０２３７号公報

ところで、ウェーハＷの面取り加工では、最終面取り形状に対応する溝を有する総形砥石が用いられることが多い。また、この総形砥石の回転軸をウェーハＷの外周接線方向に傾斜させたヘリカル研削と称される工法が用いられ、面取り加工面の面粗さ低減に大いなる効果を発揮している。

しかし、総形砥石による面取り加工や、総形砥石を用いたヘリカル研削による面取り加工の場合、接触長が長いため加工ポイントにクーラント液が届きにくく、前述した特許文献１に記載されたような従来のクーラント液の供給方法では、ウェーハＷ及び砥石の冷却と研削屑の除去洗浄というクーラント液の効果を達成するには不十分であった。

また、半導体ウェーハのような単結晶材料の場合、結晶方位を示すための基準としてウェーハ外周にノッチが形成されている場合が多いが、このノッチ部の面取りでは特に加工ポイントにクーラント液が到達し難いという問題があった。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、ウェーハ及び砥石の冷却と研削屑の除去洗浄というクーラント液本来の目的を十分達成することのできる、効率のよいクーラント液の供給を可能にしたウェーハ面取り装置を提供することを目的とする。

本発明は前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、回転するウェーハの外周を回転する砥石で研削し、該ウェーハの外周エッジ部を面取りするウェーハ面取り装置において、クーラント液を供給するクーラントノズルであって、供給されたクーラント液がウェーハ表面で表面内側から外周に向けて広がって研削位置に到達するように、前記ウェーハの表面内側にクーラント液を供給するクーラントノズルが設けられたことを特徴とするウェーハ面取り装置を提供する。

請求項１の発明によれば、クーラント液がウェーハの表面内側に供給され、ウェーハ表面で噴射力と遠心力とによって表面内側から外周に向けて広がって研削位置に到達するので、総形砥石を用いたヘリカル研削による面取り加工の場合やノッチ部の面取り加工の場合においても、加工ポイントに効率よくクーラント液を供給することができ、加工品質の向上を図ることができる。

請求項２に記載の発明は、請求項１の発明において、前記クーラントノズルは、前記面取りされるウェーハに対して相対的に固定して設置されたことを特徴とする。請求項２の発明によれば、クーラントノズルがウェーハに対して相対的に固定して設置されているので、全ての砥石の研削時に作用させることができ、クーラントノズルの数を減ずることができて、装置の複雑化を防止することができる。

請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２の発明において、前記クーラントノズルは、前記面取りされるウェーハの上下両面に対して夫々設けられたことを特徴とする。
請求項２の発明によれば、ウェーハの上下両面に対して夫々クーラントノズルを設けているので、ウェーハの両面から加工ポイントに効率よくクーラント液を供給することができる。

請求項４に記載の発明は、回転するウェーハの外周を回転する砥石で研削し、該ウェーハの外周エッジ部を面取りするウェーハ面取り装置において、前記砥石に対して相対的に固定して設置され、前記砥石の加工面、端面、及び砥石の台金表面に同時にクーラント液を供給するクーラントノズルが設けられたことを特徴とするウェーハ面取り装置を提供する。

請求項４の発明によれば、砥石の加工面、端面、及び砥石の台金表面に同時にクーラント液を供給するクーラントノズルを砥石に対して相対的に固定して設けたので、砥石の移動に関係なく砥石全体の温度を一定に保つことができるとともに、研削屑の除去洗浄効果が大である。

請求項５に記載の発明は、請求項４の発明において、前記クーラントノズルは、前記クーラント液を砥石幅以上に薄く広げるように形成された噴射口を有することを特徴とする。

請求項５の発明によれば、クーラントノズルの噴射口は、クーラント液を砥石幅以上に薄く広げるように形成されているので、１個のノズルで砥石の台金も含めた砥石全体を冷却及び洗浄することができ、クーラント液の消費量も少ない。

請求項６に記載の発明は、請求項４又は請求項５の発明において、前記砥石の回転中は、前記ウェーハの着脱時を除いて常時前記クーラントノズルからクーラント液を供給することを特徴とする。

請求項６の発明によれば、ウェーハの着脱時を除いて常時クーラント液を砥石幅以上に供給するので、研削屑の付着防止や除去洗浄効果が大で、砥石の温度上昇も防止して一定の温度に保つことができる。

請求項７に記載の発明は、回転するウェーハの外周を回転する砥石で研削し、該ウェーハの外周エッジ部を面取りするウェーハ面取り装置において、面取り用の複数の溝が形成された研削砥石と、前記研削砥石に対して相対的に固定して設置され、前記研削砥石による研削加工点に集中的にクーラント液を供給するクーラントノズルと、が設けられ、前記研削砥石による研削加工時のみ前記クーラントノズルからクーラント液を供給し、前記研削砥石による研削加工時以外はクーラント液の供給を停止することを特徴とするウェーハ面取り装置を提供する。

請求項７の発明によれば、面取り用の複数の溝が形成された研削砥石の研削加工点に集中的にクーラント液を供給するクーラントノズルが設けられているので、例えばクーラント液が到達し難いノッチ部の研削加工点にも効率よくクーラント液を供給することができる。また、研削加工時以外はクーラント液の供給を停止するので、クーラント液の消費量を節約することができる。

請求項８に記載の発明は、請求項７の発明において、前記クーラントノズルは、前記研削砥石に対して相対的に固定して設置されるとともに、前記研削砥石の複数の溝のうち加工に供する溝の位置に応じて位置調整可能に設けられたことを特徴とする。

請求項８の発明によれば、研削砥石に対して相対的に固定してクーラントノズルが設けられているので、研削砥石の移動に関係なく研削砥石にクーラント液を供給することができる。また、クーラントノズルが研削砥石の複数の溝のうち加工に供する溝の位置に応じて位置調整可能に設けられているので、研削加工点に効率よくクーラント液を供給することができる。

また、請求項９に記載の発明は、請求項８の発明において、前記クーラントノズルは、 前記面取り加工する加工室外で、前記溝の位置に応じた位置調整が可能に設けられたことを特徴とする。

請求項９の発明によれば、クーラントノズルは面取り加工する加工室外で位置調整が可能に設けられているので、研削砥石の複数の溝のうち加工に供する溝の位置に応じた位置調整を容易に行うことができる。

また、請求項１０に記載の発明は、請求項９の発明において、前記クーラントノズルを前記加工に供する溝の位置に合わせるための合マークが設けられ、該合マークが前記加工室外部に設けられたことを特徴とする。

請求項１０の発明によれば、クーラントノズルを前記加工に供する溝の位置に合わせるための合マークが加工室外部に設けられているので、研削砥石の複数の溝のうち加工に供する溝を変更する時に、溝の位置に応じた位置調整を極めて容易に行うことができる。

請求項１１に記載の発明は、回転するウェーハの外周を回転する砥石で研削し、該ウェーハの外周エッジ部を面取りするウェーハ面取り装置において、前記ウェーハのノッチ部を面取りするノッチ研削砥石と、前記ノッチ部の直線部分に平行にクーラント液を供給するクーラントノズルと、が設けられたことを特徴とするウェーハ面取り装置を提供する。

請求項１１の発明によれば、ウェーハのノッチ部の直線部分に平行にクーラント液を供給するクーラントノズルが設けられているので、総形砥石を用いた面取り加工の場合であっても、クーラント液が到達し難いノッチ部の研削加工点に効率よくクーラント液を供給することができ、加工品質の向上を図ることができる。

以上説明したように本発明のウェーハ面取り装置によれば、効率のよいクーラント液の供給が可能で、ウェーハ及び砥石の冷却と研削屑の除去洗浄というクーラント液本来の目的を十分達成することができる。

以下添付図面に従って本発明に係るウェーハ面取り装置の好ましい実施の形態について詳説する。尚、各図において同一部材には同一の番号または記号を付している。

図１は、ウェーハ面取り装置の主要部を示す正面図である。ウェーハ面取り装置１０は、ウェーハ送りユニット２０、砥石回転ユニット５０、図示しないウェーハ供給／収納部、ウェーハ洗浄／乾燥部、ウェーハ搬送手段、及び面取り装置各部の動作を制御するコントローラ等から構成されている。

ウェーハ送りユニット２０は、本体ベース１１上に載置されたＸ軸ベース２１、２本のＸ軸ガイドレール２２、２２、４個のＸ軸リニアガイド２３、２３、…、ボールスクリュー及びステッピングモータから成るＸ軸駆動手段２５によって図のＸ方向に移動されるＸテーブル２４を有している。

Ｘテーブル２４には、２本のＹ軸ガイドレール２６、２６、４個のＹ軸リニアガイド２７、２７、…、図示しないボールスクリュー及びステッピングモータから成るＹ軸駆動手段によって図のＹ方向に移動されるＹテーブル２８が組込まれている。

Ｙテーブル２８には、２本のＺ軸ガイドレール２９、２９と図示しない４個のＺ軸リニアガイドによって案内され、ボールスクリュー及びステッピングモータから成るＺ軸駆動手段３０によって図のＺ方向に移動されるＺテーブル３１が組込まれている。

Ｚテーブル３１には、θ軸モータ３２、θスピンドル３３が組込まれ、θスピンドル３３にはウェーハテーブル３４が取り付けられており、ウェーハテーブル３４はウェーハテーブル回転軸心ＣＷを中心として図のθ方向に回転される。ウェーハテーブル３４の上面は、図示しない真空源と連通する吸着面になっており、面取り加工されるウェーハＷが載置されて吸着固定される。

また、ウェーハテーブル３４の下部には、ウェーハＷの周縁を仕上げ面取りする砥石のツルーイングに用いるツルーイング砥石４１が、ウェーハテーブル回転軸心ＣＷと同心に取り付けられている。

このウェーハ送りユニット２０によって、ウェーハＷ及びツルーイング砥石４１は図のθ方向に回転されるとともに、Ｘ、Ｙ、及びＺ方向に移動される。

砥石回転ユニット５０は、外周加工砥石５２が取り付けられ、図示しない外周砥石モータによって軸心ＣＨを中心に回転駆動される外周砥石スピンドル５１、外周加工砥石５２の上方に配置されたターンテーブル５３に取付けられた外周精研スピンドル５４及び外周精研モータ５６、ノッチ粗研スピンドル６０及びノッチ粗研モータ６２、ノッチ精研スピンドル５７及びノッチ精研モータ５９を有している。

外周精研スピンドル５４にはウェーハＷの外周を仕上げ研削する面取り砥石である外周精研削砥石５５が取付けられ、ノッチ粗研スピンドル６０にはノッチ粗研削砥石６１が、またノッチ精研スピンドル５７にはノッチ部を仕上げ研削する面取り砥石であるノッチ精研削砥石５８が取付けられている。

外周精研削砥石５５、ノッチ精研削砥石５８、及びノッチ粗研削砥石６１はターンテーブル５３の回転によって夫々加工位置に位置付けられる。

図２は、外周加工砥石５２の構成を表わしたものである。外周加工砥石５２は３段構成になっており、最下部はツルーイング砥石４１の外周形状を形成するマスター溝５２ａを有するマスター砥石５２Ａで、中間部はウェーハＷの外周粗研削用溝５２ｂが形成された外周粗研削砥石５２Ｂになっており、最上部はウェーハＷのオリフラ及びオリフラコーナー精研削用溝５２ｄが形成され、オリフラ及びオリフラコーナーを仕上げ研削する面取り砥石であるオリフラ及びオリフラコーナー精研削砥石５２Ｄになっている。

なお、図２においては説明を簡略にするため、各砥石に夫々１個の溝が記載されているが、実際には摩耗による溝形状の変形に対処するため、各砥石には夫々複数個の溝が形成されている。

本実施の形態においては、ツルーイング砥石４１は加工されるウェーハＷと略同径、同厚の円盤状ＧＣ砥石が用いられ、砥石の粒度は＃３２０である。

また、マスター砥石５２Ａは直径２０２ｍｍのダイヤモンド砥粒のメタルボンド砥石で、粒度＃６００とした。また外周粗研削砥石５２Ｂは、直径２０２ｍｍのダイヤモンド砥粒のメタルボンド砥石で、粒度＃８００である。また、オリフラ及びオリフラコーナー精研削砥石５２Ｄは、直径２０２ｍｍのダイヤモンド砥粒のレジンボンド砥石で、粒度＃３０００である。

外周精研削砥石５５は、直径５０ｍｍのダイヤモンド砥粒のレジンボンド砥石で、粒度＃３０００とした。また、ノッチ粗研削砥石６１は直径１．８ｍｍ〜２．４ｍｍの小径で、ダイヤモンド砥粒のレジンボンド砥石、粒度＃８００が用いられ、ノッチ精研削砥石５８は、直径１．８ｍｍ〜２．４ｍｍの小径で、ダイヤモンド砥粒のレジンボンド砥石、粒度＃４０００が用いられている。

外周砥石スピンドル５１は、ボールベアリングを用いたビルトインモータ駆動のスピンドルで、回転速度８，０００ｒｐｍで回転される。また、外周精研スピンドル５４はエアーベアリングを用いたビルトインモータ駆動のスピンドルで、回転速度３５，０００ｒｐｍで回転される。

ノッチ粗研スピンドル６０は、エアーベアリングを用いたエアータービン駆動のスピンドルで、回転速度８０，０００ｒｐｍで回転され、ノッチ精研スピンドル５７はエアーベアリングを用いたビルトインモータ駆動のスピンドルで、回転速度１５０，０００ｒｐｍで回転される。

図３は、外周精研スピンドル５４の軸心をウェーハテーブル回転軸心ＣＷに対してウェーハ外周の接線方向に傾斜させたヘリカル研削によって、ウェーハＷの外周を仕上げ面取りする様子を表している。このように、研削用の溝付砥石を用いてヘリカル研削をおこなうことによって、砥粒の運動方向がウェーハ外周の運動方向と交差するため研削面の粗さが極度に改善される。ただし、この場合はウェーハＷとの接触長が長くなるので、クーラント液の供給の仕方に工夫を要する。

このように、各砥石には夫々の機能に応じて最適なクーラント液の供給方法が求められ、そのためのクーラントノズルの形状や配置が面取り加工において重要なポイントを占めている。以下に、本発明のウェーハ面取り装置１０に設けられた各種のクーラントノズルについて説明する。

図４は、外周加工砥石５２でウェーハＷの外周を面取り研削する様子を表す平面図である。ウェーハ面取り装置１０は、ウェーハテーブル３４の近傍にクーラントノズル７１Ａ、７１Ｂを設けている。クーラントノズル７１ＡはウェーハＷの上面内側にクーラント液９１Ａを供給する。供給されたクーラント液９１Ａは噴射力と遠心力によってウェーハＷの上面内側から外周にむけて広がり、外周加工砥石５２による研削ポイントに到達する。

また、クーラントノズル７１ＢはウェーハＷの下面内側に図示しないクーラント液を供給する。供給されたこのクーラント液も噴射力と遠心力によってウェーハＷの下面内側から外周にむけて広がり、外周加工砥石５２による研削ポイントに到達する。なお、クーラントノズル７１Ａ、７１Ｂは、外周加工砥石５２に対して相対的に固定して設けてもよいが、ウェーハＷに対して相対的に固定して設けるほうがより好ましい。

クーラントノズル７１Ａ、７１ＢをウェーハＷに対して相対的に固定して設けた場合は、
外周加工砥石５２のみでなく、全ての砥石の研削時に作用させることができ、クーラントノズルの数を減ずることができる。そのため装置の複雑化を防止することができる。

クーラントノズル７１Ａ、７１Ｂはクーラント液を前述のように供給可能に配置されているため、加工ポイントに効率よくクーラント液を供給することができ、加工品質の向上を図ることができる。

図５は、外周加工砥石５２からやや離れた位置に設けられたクーラントノズル７１Ｄを表している。クーラントノズル７１Ｄは外周加工砥石５２に対して相対的に固定して設けられたもので、図５中の拡大斜視図に示すように、クーラントノズル７１Ｄの先端は扁平に形成され、細長断面の噴射口７１ｄが形成されている。この細長断面の噴射口７１ｄから供給されるクーラント液９１Ｄは、薄く拡大されて外周加工砥石５２の加工面、端面、及び台金５２Ｃに供給される。

なお、クーラント液９１Ｄは、ウェーハＷをウェーハテーブル３４に対して着脱する時以外は常時供給するようにし、研削屑の付着防止や研削屑の除去洗浄効果を高めるとともに、外周加工砥石５２の温度上昇を抑制するようにするのが好適である。

このように、クーラントノズル７１Ｄを砥石に対して相対的に固定して設けるとともに、クーラント液９１Ｄを外周加工砥石５２全体に効率よく供給するので、外周加工砥石５２のウェーハＷに対する相対的な移動に関係なく砥石全体の温度を一定に保つことができ、研削屑の除去洗浄効果も大である。

なお、外周加工砥石５２の研削加工点にクーラント液を供給するためのクーラントノズルは、図示を省略しているが、前述のクーラントノズル７１Ｄとは別に加工点近傍に噴射口を有する後出のクーラントノズル７１Ｃが設けられている。

また、前述の実施形態ではクーラントノズル７１Ｄを外周加工砥石５２に適用させた例で説明したが、外周加工砥石５２のみに限らず、外周精研削砥石５５、ノッチ粗研削砥石６１、及びノッチ精研削砥石５８に適用させても効果が大である。

図６は、ノッチ精研削砥石５８に適応させたクーラントノズル７１Ｃを表している。クーラントノズル７１Ｃは、ノッチ精研削砥石５８に対して相対的に固定して設けられており、ノッチ精研削砥石５８の研削加工点に集中的にクーラント液９１Ｃを供給するように配置されている。なお、クーラント液９１Ｃはノッチ精研削砥石５８による研削加工時にのみ供給するようにし、クーラント液９１Ｃの消費量を節減している。

また、ノッチ精研削砥石５８には面取り形状に合わせた複数の溝５８ａ、５８ａ、…が形成されており、クーラントノズル７１Ｃは複数の溝５８ａ、５８ａ、…のうち研削加工に供する溝５８ａの位置に合わせて上下方向に位置調整できるように取り付けられている。

ウェーハテーブル３４に吸着固定されたウェーハＷは、サイドカバー４２及び上面カバー４３で覆われた加工室４０内で面取り加工されるが、クーラントノズル７１Ｃの位置調整機構部８０が加工室４０の外側に設けられており、クーラントノズル７１Ｃをノッチ精研削砥石５８の溝５８ａの位置に合わせる上下位置調整を加工室４０外で行うことができるようになっている。

図６に示すように、クーラントノズル７１Ｃは位置調整機構部８０で配管７２と接続され、位置調整の際には位置調整機構部８０の合マーク８５によって容易に位置合わせが可能になっている。

合マーク８５は、固定側のガイドベース８１に設けられた目盛り８５ｂと移動側に設けられた三角マーク８５ａとから構成されており、三角マーク８５ａの頂点を目盛り８５ｂの所定位置に合わせることによって、クーラントノズル７１Ｃの先端がノッチ精研削砥石５８の該当する溝５８ａに合うようになっている。

図７は、位置調整機構部８０の詳細を表した平面図である。位置調整機構部８０は、固定側のガイドベース８１、クーラントノズル７１Ｃを保持するノズルホルダ８２、締結板８３、クランプねじ部材８４、及び前出の合マーク８５で構成されている。

ガイドベース８１にはアリ溝ガイド用のアリ８１ａが形成されている。ノズルホルダ８２は、一方の面には傾斜面８２ａを形成する切欠きが設けられ、他方の面側エッジ部には傾斜面８２ｂが形成されている。締結板８３は傾斜面８３ａ、８３ｂを有する断面凹形状をなしており、図７に示すように、クランプねじ部材８４の雄ねじ部をノズルホルダ８２に形成された雌ねじ部にねじ込むことによってノズルホルダ８２に取り付けられる。

ノズルホルダ８２の傾斜面８２ａと締結板８３の傾斜面８３ａとでアリ溝ガイド用のアリ溝を形成するようになっており、ノズルホルダ８２はこのアリ溝ガイド手段によって図７の紙面と垂直方向に案内されるようになっている。

クランプねじ部材８４を締め付けると、締結板８３の傾斜面８３ｂとノズルホルダ８２の傾斜面８２ｂとが接触するとともに、締結板８３の傾斜面８３ａ及びノズルホルダ８２の傾斜面８２ａがガイドベース８１のアリ８１ａと接触し、ノズルホルダ８２は固定される。また、クランプねじ部材８４を緩めるとノズルホルダ８２は移動可能になる。

固定側のガイドベース８１には、目盛り８５ｂを記載した目盛り板８７が取り付けられ、
移動側の締結板８３には三角マーク８５ａを記載した表示板８６が取り付けられている。
クーラントノズル７１Ｃを位置調整するときは、クランプねじ部材８４を緩めてノズルホルダ８２を移動させ、三角マーク８５ａを該当する目盛り８５ｂに合わせ、クランプねじ部材８４を締め込んでクランプする。

クーラントノズル７１Ｃはこのような機構で取り付けられているため、加工室４０の外側でノッチ精研削砥石５８の複数の溝５８ａ、５８ａ、…のうち研削加工に供する溝５８ａの位置に合わせて上下方向に容易に位置調整することができる。

なお、図６においては、ノッチ精研削砥石５８全体にクーラント液９１Ｄを供給するクーラントノズル７１Ｄの記載は省略してある。また、この実施形態ではクーラントノズル７１Ｃをノッチ精研削砥石５８に適用させた例で説明したが、ノッチ精研削砥石５８のみに限らず、ノッチ粗研削砥石６１、外周加工砥石５２、及び外周精研削砥石５５に適用させても効果が大である。

また、図８に示すように、ウェーハＷのノッチ部Ｎを面取りする時は、図の矢印方向に回転するノッチ精研削砥石５８に対してノッチ部Ｎの直線部Ｎ１に平行に１個のクーラントノズル７１Ｃを設け、直線部Ｎ１に平行にクーラント液９１Ｃを供給することにより、
直線部Ｎ１を面取りする時だけでなく直線部Ｎ２の面取りにおいても、クーラント液９１Ｃがノッチ精研削砥石５８の研削加工点に到達し易いのでより好適である。

また、ノッチ部Ｎの直線部Ｎ１及びＮ２に夫々平行に１個のクーラントノズル７１Ｃを設け、両方のクーラントノズル７１Ｃ、７１Ｃからクーラント液９１Ｃを供給ししながら
ノッチ部Ｎの面取りを行うようにしてもよい。

なお、この場合もクーラント液９１Ｃをノッチ精研削砥石５８による研削加工時にのみ供給することにより、クーラント液９１Ｃの消費量を節減することができ好適である。

以上説明したように、本発明のウェーハ面取り装置１０では各種のクーラントノズルを適切に配置したので、クーラント液を有効に研削加工点に到達させることができ、ウェーハＷの面取り加工品質を高めるとともに、砥石の長寿命化を図ることができる。

なお、前述したウェーハ面取り装置の実施の形態では、各種のクーラントノズルを特定の砥石に合わせて適用させた形態のみで説明したが、本発明はこれに限らず、説明に供した砥石のみでなく他の砥石に対しても適用させることができる。例えば、図４に示したクーラントノズル７１Ａ、７１Ｂで全ての砥石に対して作用させ、クーラント液９１Ａを供給するとともに、全ての砥石に夫々相対的に固定して設置された図６に示すクーラントノズル７１Ｃと図５に示すクーラントノズル７１Ｄを設けることが理想である。しかし、砥石のボンド材、台金などの種類によっては、１種類又は２種類のクーラントノズル設置やクーラント液供給を省略することが可能な場合がある。

本発明の実施の形態に係るウェーハ面取り装置を表す正面図 外周加工砥石の構成を表わす説明図 ヘリカル研削を説明する斜視図 本発明の実施の形態に係るクーラントノズルを説明する概念図１ 本発明の実施の形態に係るクーラントノズルを説明する概念図２ 本発明の実施の形態に係るクーラントノズルを説明する概念図３ 位置調整機構部の詳細を表した平面図 本発明の実施の形態に係るクーラントノズルを説明する概念図４ 従来のクーラントノズルを説明する概念図

符号の説明

１０…ウェーハ面取り装置、５２…外周加工砥石（砥石）、５２Ｃ…台金、５５…外周精研削砥石（砥石）、５８…ノッチ精研削砥石（砥石、ノッチ研削砥石）、５８ａ…溝、７１Ａ・７１Ｂ・７１Ｃ・７１Ｄ…クーラントノズル、７１ｄ…噴射口、８５…合マーク、９１Ａ・９１Ｃ・９１Ｄ…クーラント液、Ｎ…ノッチ部、Ｎ１・Ｎ２…直線部分、Ｗ…ウェーハ

Claims (11)

1. 回転するウェーハの外周を回転する砥石で研削し、該ウェーハの外周エッジ部を面取りするウェーハ面取り装置において、
   クーラント液を供給するクーラントノズルであって、供給されたクーラント液がウェーハ表面で表面内側から外周に向けて広がって研削位置に到達するように、前記ウェーハの表面内側にクーラント液を供給するクーラントノズルが設けられたことを特徴とするウェーハ面取り装置。
2. 前記クーラントノズルは、前記面取りされるウェーハに対して相対的に固定して設置されたことを特徴とする請求項１に記載のウェーハ面取り装置。
3. 前記クーラントノズルは、前記面取りされるウェーハの上下両面に対して夫々設けられたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のウェーハ面取り装置。
4. 回転するウェーハの外周を回転する砥石で研削し、該ウェーハの外周エッジ部を面取りするウェーハ面取り装置において、
   前記砥石に対して相対的に固定して設置され、前記砥石の加工面、端面、及び砥石の台金表面に同時にクーラント液を供給するクーラントノズルが設けられたことを特徴とするウェーハ面取り装置。
5. 前記クーラントノズルは、
   前記クーラント液を砥石幅以上に薄く広げるように形成された噴射口を有することを特徴とする請求項４に記載のウェーハ面取り装置。
6. 前記砥石の回転中は、前記ウェーハの着脱時を除いて常時前記クーラントノズルからクーラント液を供給することを特徴とする請求項４又は請求項５に記載のウェーハ面取り装置。
7. 回転するウェーハの外周を回転する砥石で研削し、該ウェーハの外周エッジ部を面取りするウェーハ面取り装置において、
   面取り用の複数の溝が形成された研削砥石と、
   前記研削砥石に対して相対的に固定して設置され、前記研削砥石による研削加工点に集中的にクーラント液を供給するクーラントノズルと、が設けられ、
   前記研削砥石による研削加工時のみ前記クーラントノズルからクーラント液を供給し、前記研削砥石による研削加工時以外はクーラント液の供給を停止することを特徴とするウェーハ面取り装置。
8. 前記クーラントノズルは、
   前記研削砥石に対して相対的に固定して設置されるとともに、前記研削砥石の複数の溝のうち加工に供する溝の位置に応じて位置調整可能に設けられたことを特徴とする請求項７に記載のウェーハ面取り装置。
9. 前記クーラントノズルは、
   前記面取り加工する加工室外で、前記溝の位置に応じた位置調整が可能に設けられたことを特徴とする請求項８に記載のウェーハ面取り装置。
10. 前記クーラントノズルを前記加工に供する溝の位置に合わせるための合マークが設けられ、該合マークが前記加工室外部に設けられたことを特徴とする請求項９に記載のウェーハ面取り装置。
11. 回転するウェーハの外周を回転する砥石で研削し、該ウェーハの外周エッジ部を面取りするウェーハ面取り装置において、
    前記ウェーハのノッチ部を面取りするノッチ研削砥石と、
    前記ノッチ部の直線部分に平行にクーラント液を供給するクーラントノズルと、が設けられたことを特徴とするウェーハ面取り装置。

Images