JP2006337039A - Defect-detecting method of metal body, and scanning type magnetic detector - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は金属体の欠陥検出方法及びその方法に使用するスキャニング式磁気検出器に関するものである。 The present invention relates to a defect detection method for a metal body and a scanning magnetic detector used in the method.
磁性金属体に傷等の欠陥が存在すると、その欠陥箇所のリラクタンスが増し、金属体に磁束を通過させるとその欠陥箇所において磁束が漏洩する。
そこで、磁性金属体の欠陥を検出するのに、金属体を磁化し、金属体の表面を磁気センサでスキャニングし、磁束漏洩箇所を検出して欠陥位置を検知することが、所謂、漏洩磁束探傷試験方法として知られている。
この試験方法では、試験品の形状、寸法等に応じ磁化方法を異ならしめており、試験品に応じて軸通電法、直角通電法、プロッド法、電流貫通法、コイル法、極間法、磁束貫通法の何れかを選択している。
従来の漏洩磁束探傷試験方法では、磁気センサに、ホールセンサ、磁気抵抗素子、フラックスゲートセンサ等を使用しており、前記の磁化方法を選択しても、感度や空間分解能の面から、軽度の欠陥や表面から深い位置に存在する欠陥を検出することは困難である。
When defects such as scratches are present in the magnetic metal body, the reluctance of the defect portion increases, and when the magnetic flux is passed through the metal body, the magnetic flux leaks at the defect portion.
Therefore, in order to detect a defect in a magnetic metal body, magnetizing the metal body, scanning the surface of the metal body with a magnetic sensor, detecting a magnetic flux leakage location, and detecting the defect location, so-called leakage magnetic flux flaw detection Known as a test method.
In this test method, the magnetization method is varied according to the shape, dimensions, etc. of the test product, and the shaft energization method, the right angle energization method, the probe method, the current penetration method, the coil method, the interpole method, and the magnetic flux penetration according to the test product. One of the laws is selected.
In the conventional magnetic flux leakage test method, a Hall sensor, a magnetoresistive element, a fluxgate sensor, or the like is used as a magnetic sensor. Even if the magnetization method described above is selected, it is light in terms of sensitivity and spatial resolution. It is difficult to detect a defect or a defect that exists deep from the surface.
近来、ホールセンサ、磁気抵抗素子、フラックスゲートセンサ等に較べて高感度、高空間分解能、高速応答の磁気センサとして磁気インピーダンス効果を利用したセンサが開発され、そのセンサを使用した磁気検出方法も提案されている。(特許文献1)。
周知の通り、磁化は磁気双極子(微小磁石)が一方向に揃う現象である。而るに、金属体を磁化するまえでも、局部的に磁気的に変歪され残留磁気を帯有して局部的に漏洩磁束が発生していることが往々にしてある。
本発明者等の鋭意検討結果によれば、前記した磁気インピーダンス効果型センサを漏洩磁束探傷試験方法の磁気センサとして使用すると、磁気インピーダンス効果型センサが磁化前に既に発生している微小漏洩磁束にも反応してこれが検出エラーとなることが判明した。
As is well known, magnetization is a phenomenon in which magnetic dipoles (micromagnets) are aligned in one direction. Thus, even before the metal body is magnetized, it is often the case that a magnetic flux is locally deformed and a leakage magnetic flux is locally generated with residual magnetism.
According to the results of earnest studies by the present inventors, when the above-described magneto-impedance effect type sensor is used as a magnetic sensor for a leakage magnetic flux flaw detection test method, the magneto-impedance effect type sensor generates a small leakage magnetic flux already generated before magnetization. It also turned out to be a detection error.
従来、板状金属体の欠陥を漏洩磁束探傷試験方法により探傷する場合、磁化をプロッド法(手で自由に移動できる電極を用い、探傷しようとする試験品の個々の領域に電流を流して局部的に磁化する方法)や極間法(馬蹄型電磁石における2つの電極と試験品とで磁気回路を形成し、一方の電極から他方の電極に向け磁界を流し、その磁場の表面を磁気センサでスキャニングする方法)により行っているが、磁界強度が場所により異なり、同一寸法の欠陥でも場所により漏洩磁束の大きさが異なって欠陥の傷の軽重を判別し難い不具合もある。 Conventionally, when flaws in a plate-shaped metal body are detected by the leakage magnetic flux flaw detection test method, the magnetization is probed (using an electrode that can be moved freely by hand, and a current is applied to each region of the test product to be flawed to detect local defects. A magnetic circuit is formed by two electrodes in a horseshoe type electromagnet and a test product, a magnetic field is passed from one electrode to the other, and the surface of the magnetic field is measured with a magnetic sensor. However, there is a problem that it is difficult to determine the lightness of a flaw of a defect because the magnetic field strength varies depending on the location, and even if the defect has the same size, the magnitude of the leakage magnetic flux varies depending on the location.
本発明の目的は、磁性金属体の欠陥を漏洩磁束探傷試験方法により磁気インピーダンス効果型センサを用いて良好に検出できるようにすることにある。 An object of the present invention is to make it possible to satisfactorily detect a defect in a magnetic metal body using a magneto-impedance effect type sensor by a leakage magnetic flux test method.
請求項1に係る金属体の欠陥検出方法は、金属体の磁化状態を一様とするように脱磁または着磁処理を施し、次で金属体に磁界を加えるコイルと金属体の欠陥箇所での漏洩磁束を検出する磁気インピーダンス効果型センサを有する磁気検出器で金属体の表面を前記コイルにより磁界を加えつつスキャニングすることを特徴とする。ここで、 欠陥とは傷だけではなく、減肉、錆、亀裂、劣化等も含まれる(以下、同じ)。
請求項2に係る金属体の欠陥検出方法は、金属体の磁化状態を一様とするように脱磁または着磁処理を施し、次で金属体に磁界を加えるコイルと金属体の欠陥箇所での漏洩磁束の法線成分を検出する磁気インピーダンス効果型センサを有する磁気検出器で金属体の表面を前記コイルにより磁界を加えつつスキャニングすることを特徴とする。
請求項3に係る金属体の欠陥検出方法は、金属体に磁界を加えるコイルと金属体の欠陥箇所での漏洩磁束を検出する磁気インピーダンス効果型センサを有する磁気検出器で金属体の表面を前記コイルにより所定周波数の交流磁界を加えつつスキャニングし、このスキャニング中、前記所定の周波数を通過域に含み直流の通過を阻止するフィルターを通してセンサ出力を検出することを特徴とする。
請求項4に係る金属体の欠陥検出方法は、金属体に磁界を加えるコイルと金属体の欠陥箇所での漏洩磁束の法線成分を検出する磁気インピーダンス効果型センサを有する磁気検出器で金属体の表面を前記コイルにより所定周波数の交流磁界を加えつつスキャニングし、このスキャニング中、前記所定の周波数を通過域に含み直流の通過を阻止するフィルターを通してセンサ出力を検出することを特徴とする。
請求項5に係る金属体の欠陥検出方法は、請求項1〜4何れかの金属体の欠陥検出方法において、金属体の欠陥の方向に対し、磁界を交差方向、好ましくは直交方向に加えることを特徴とする。
請求項6に係る金属体の欠陥検出方法は、請求項1〜4何れかの金属体の欠陥検出方法において、互いに交差する二方向、好ましくは直交する二方向にスキャニングすることを特徴とする。
請求項7に係る金属体の欠陥検出方法は、請求項1〜4何れかの金属体の欠陥検出方法において、互いに交差する二方向、好ましくは直交する二方向及びこれら両方向の中間方向にスキャニングすることを特徴とする。
請求項8に係るスキャニング式磁気検出器は、請求項1〜7何れかの金属体の欠陥検出方法に使用する磁気検出器であり、金属体に磁界を加えるコイルと欠陥箇所での漏洩磁束を検出する磁気インピーダンス効果型センサを有し、前記センサの磁気インピーダンス効果素子をスキャニング方向に対し所定の距離を隔てた2個とし、検出部をこれら両素子の差動出力を検出する差動式としたことを特徴とする。
請求項9に係るスキャニング式磁気検出器は、請求項1〜7何れかの金属体の欠陥検出方法に使用する磁気検出器であり、金属体の欠陥箇所での漏洩磁束を検出する磁気インピーダンス効果型センサをフレーム内に収容し、金属体に磁界を加えるコイルをU字型鉄芯に巻装したU字型コイルを前記フレームの外側にU字開放側を金属体表面に近接させ得るように装着したことを特徴とする。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a method for detecting a defect in a metal body, wherein a demagnetization or magnetization process is performed so that the magnetization state of the metal body is uniform, and then a magnetic field is applied to the metal body and a defect portion of the metal body. A magnetic detector having a magneto-impedance effect type sensor for detecting a leakage magnetic flux of the metal is scanned while applying a magnetic field by the coil. Here, defects include not only scratches but also thinning, rust, cracks, deterioration, etc. (hereinafter the same).
According to a second aspect of the present invention, there is provided a method for detecting a defect in a metal body, wherein a demagnetization or magnetization process is performed so that the magnetization state of the metal body is uniform, and then a magnetic field is applied to the metal body and a defect portion of the metal body. A magnetic detector having a magneto-impedance effect type sensor for detecting a normal component of the leakage magnetic flux of the magnetic field is scanned while applying a magnetic field by the coil.
According to a third aspect of the present invention, there is provided a metal body defect detection method comprising: a magnetic detector including a coil that applies a magnetic field to a metal body and a magneto-impedance effect type sensor that detects a leakage magnetic flux at a defect portion of the metal body; Scanning is performed by applying an alternating magnetic field of a predetermined frequency by a coil, and during this scanning, the sensor output is detected through a filter that includes the predetermined frequency in the passband and blocks the passage of direct current.
A defect detection method for a metal body according to claim 4 is a magnetic detector comprising a coil for applying a magnetic field to the metal body and a magneto-impedance effect type sensor for detecting a normal component of leakage magnetic flux at the defect portion of the metal body. The surface of the sensor is scanned while applying an alternating magnetic field of a predetermined frequency by the coil, and during this scanning, a sensor output is detected through a filter that includes the predetermined frequency in a pass band and blocks the passage of direct current.
The defect detection method for a metal body according to
The defect detection method for a metal body according to a sixth aspect is the method for detecting a defect of a metal body according to any one of the first to fourth aspects, wherein the scanning is performed in two directions intersecting each other, preferably in two directions orthogonal to each other.
A defect detection method for a metal body according to a seventh aspect is the defect detection method for a metal body according to any one of the first to fourth aspects, wherein scanning is performed in two directions intersecting each other, preferably in two directions orthogonal to each other and an intermediate direction between these two directions. It is characterized by that.
A scanning magnetic detector according to an eighth aspect is a magnetic detector used in the defect detection method for a metal body according to any one of the first to seventh aspects, wherein a coil that applies a magnetic field to the metal body and a leakage magnetic flux at the defect location are detected. A magneto-impedance effect type sensor for detecting; and two magneto-impedance effect elements of the sensor separated by a predetermined distance with respect to the scanning direction; and a detection unit that detects a differential output of both elements; It is characterized by that.
The scanning magnetic detector according to claim 9 is a magnetic detector used in the defect detection method for a metal body according to any one of
(1)金属体が局部的に磁気的に変歪され局部的に残留磁気を帯びて漏洩磁束ノイズが発生していても、これに磁気インピーダンス効果型センサが反応しないように脱磁または着磁処理して磁化状態を一様にしたうえで、漏洩磁束探傷試験方法により磁気インピーダンス効果型センサを用いて欠陥を検出しているから、前記残留磁気による漏洩磁束ノイズの影響を排除して磁気インピーダンス効果に基づく本来の高感度で金属体の欠陥箇所を検出できる。
または、磁化に所定周波数の交流磁界を使用し、この所定周波数成分は通過させ直流の通過は阻止するフィルターに通して検出しているから、前記残留磁気による漏洩磁束ノイズを遮断して磁気インピーダンス効果に基づく本来の高感度で欠陥を検出できる。
(2)磁気インピーダンス効果型センサと磁化用コイルとの相対的位置関係を固定としているから、磁気インピーダンス効果型センサの移動中の位置に関係なしに磁気インピーダンス効果素子直下の磁界強度・方向を一定にでき、従って、磁気インピーダンス効果素子が通過する欠陥箇所での磁束漏洩が一定の磁界のもとで発生され、同じ基準で欠陥の重軽傷度を適切に評価できる。
(3)磁界方向と欠陥の方向との相対的関係により欠陥箇所の漏洩磁束の大きさが影響されることも考慮して検出しているから、かかる面からも欠陥の重軽傷度を正確に評価できる。
(1) Even if a metal body is locally magnetically distorted and locally has residual magnetism and leakage magnetic flux noise is generated, demagnetization or magnetization so that the magneto-impedance effect sensor does not react to this. After processing to make the magnetized state uniform, a defect is detected using a magneto-impedance effect type sensor by the leakage flux test method, so that the influence of leakage magnetic flux noise due to the residual magnetism is eliminated and the magnetic impedance is eliminated. It is possible to detect a defective portion of a metal body with high sensitivity based on the effect.
Alternatively, an AC magnetic field having a predetermined frequency is used for magnetization, and this predetermined frequency component is passed and detected by a filter that blocks the passage of direct current. Defects can be detected with the original high sensitivity based on.
(2) Since the relative positional relationship between the magneto-impedance effect type sensor and the magnetizing coil is fixed, the magnetic field strength and direction directly below the magneto-impedance effect element are constant regardless of the moving position of the magneto-impedance effect type sensor. Therefore, magnetic flux leakage at a defect location through which the magneto-impedance effect element passes is generated under a constant magnetic field, and the severity of the defect can be appropriately evaluated based on the same standard.
(3) Since the detection is performed in consideration of the fact that the magnitude of the leakage magnetic flux at the defect location is affected by the relative relationship between the magnetic field direction and the defect direction, the degree of serious damage of the defect is accurately evaluated from this aspect. it can.
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
図1は磁気インピーダンス効果素子を使用した磁気センサの一例の回路構成を示している。
図1において、1は磁気インピーダンス効果素子であり、自発磁化の方向がワイヤ周方向に対し互いに逆方向の磁区が交互に磁壁で隔てられた構成の外殻部を有する、零磁歪乃至は負磁歪のアモルファス合金ワイヤが使用される。かかる零磁歪乃至は負磁歪のアモルファス磁性ワイヤに高周波励磁電流を流したときに発生するワイヤ両端間出力電圧中のインダクタンス電圧分は、ワイヤの横断面内に生じる円周方向磁束によって上記の円周方向に易磁化性の外殻部が円周方向に磁化されることに起因して発生する。従って、周方向透磁率μθは同外殻部の円周方向の磁化に依存する。而るに、この通電中のアモルファスワイヤの軸方向に被検出磁界を作用させると、上記通電による円周方向磁束と被検出磁界磁束との合成により、上記円周方向に易磁化性を有する外殻部に作用する磁束の方向が円周方向からずれ、それだけ円周方向への磁化が生じ難くなり、上記周方向透磁率μθが変化し、上記インダクタンス電圧分が変動することになる。この変動現象は磁気インダクタンス効果と称され、これは上記高周波励磁電流(搬送波)が被検出波(信号波)で変調される現象ということができる。更に、上記通電電流の周波数がMHzオ−ダになると、高周波表皮効果が大きく現れ、表皮深さδ=(2ρ/wμθ)1/2(μθは前記した通り円周方向透磁率、ρは電気抵抗率、wは角周波数をそれぞれ示す)がμθにより変化し、このμθが前記した通り、被検出磁界によって変化するので、ワイヤ両端間出力電圧中の抵抗電圧分も被検出磁界で変動するようになる。この変動現象は磁気インピーダンス効果と称され、これは上記高周波励磁電流(搬送波)が被検出波(信号波)で変調される現象ということができる。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 shows an example of a circuit configuration of a magnetic sensor using a magneto-impedance effect element.
In FIG. 1,
図1において、2は磁気インピーダンス効果素子に高周波励磁電流を加えるための高周波電源回路、3は磁気インピーダンス効果素子の軸方向に作用する被検出磁界(信号波)で前記高周波励磁電流(搬送波)を変調させた被変調波を復調する検波回路、4は復調波を増幅する増幅回路、5は出力端、6は負帰還用コイル、7はバイアス磁界用コイルである。
磁気インピーダンス効果素子1には、零磁歪乃至は負磁歪のアモルファスワイヤの外、アモルファスリボン、アモルファススパッタ膜等も使用できる。
In FIG. 1, 2 is a high-frequency power supply circuit for applying a high-frequency excitation current to the magneto-impedance effect element, 3 is a detected magnetic field (signal wave) acting in the axial direction of the magneto-impedance effect element, and the high-frequency excitation current (carrier wave). A detector circuit that demodulates the modulated modulated wave, 4 an amplifier circuit that amplifies the demodulated wave, 5 an output terminal, 6 a negative feedback coil, and 7 a bias magnetic field coil.
For the magneto-
磁気インピーダンス効果素子1においては、前記した通り励磁電流に基づく円周方向磁束と被検出磁界による軸方向磁束との合成により、円周方向に易磁化性を有する外殻部に作用する磁束の方向が円周方向からずらされるために、周方向透磁率μθが変化し、インダクタンスが変動され、この円周方向透磁率μθの高周波表皮効果の表皮深さの変化でインピーダンスが変動される。従って、被検出磁界の±により上記合成磁界による周方向ずれφも±φになるが、周方向の磁界の減少倍率cos(±φ)は変わらず、従ってμθの減少度は被検出磁界の方向の正負によっては変化されない。従って、被検出磁界−出力特性は、図2の(イ)のように被検出磁界をx軸に、出力をy軸にとると、y軸に対してほぼ左右対称となる。この被検出磁界−出力特性は非線形である。非線形特性では、高感度の測定が困難である。そこで、負帰還用コイルで負帰還をかけて図2の(ロ)に示すように出力特性を直線化している。図2の(ロ)において、Δwは、負帰還無しのときの利得Aが非常に大きく帰還率βのみにより利得が定まるリニア範囲である。しかし、この出力特性では、被検出磁界の極性判別を行ない得ないので、バイアス用コイル7でバイアス磁界をかけ、図2の(ハ)に示すように極性判別可能としている。すなわち、図2の(ロ)の特性を、バイアス磁界によりx軸のマイナス方向に移動させ、被検出磁界の最大範囲を単斜め線領域の範囲内−Hmax〜+Hmaxに納めている。更に、図2の(ニ)に示すように0点調整により原点を通る直線特性(勾配係数kは変わらない)としている。従って、図2の(ニ)において被検出磁界を+Heとすると出力が+Eoとなり、被検出磁界を−Heとすると出力が−Eoとなって被検出磁界を極性判別のもとで正確に測定できる。
In the magneto-
図3は磁気インピーダンス効果素子を使用した上記とは別の磁気センサの回路構成を示している。
図3において、1a,1bは実質的に同一特性の磁気インピーダンス効果素子、2は両磁気インピーダンス効果素子1a,1bに励磁電流を流す高周波電源回路、3a,3bは各磁気インピーダンス効果素子1a,1bの軸方向に作用する被検出磁界(信号波)で高周波励磁電流(搬送波)を変調させた被変調波を復調する検波回路、40は両検波回路の復調波出力を差動増幅する差動増幅回路、5は出力端、6a,6bは差動増幅回路40の出力を各磁気インピーダンス効果素子1a,1bに負帰還させる負帰還用コイル、7a,7bは各磁気インピーダンス効果素子1a,1bのバイアス磁界用コイルである。
図3において、各磁気インピーダンス効果素子の軸方向に作用する磁界をHexa及びHexbとすると、差動出力Eoutは、Eout=k(Hexa−Hexb)で与えられる。
FIG. 3 shows a circuit configuration of a magnetic sensor different from the above using a magneto-impedance effect element.
In FIG. 3,
In FIG. 3, if the magnetic field acting in the axial direction of each magneto-impedance effect element is Hexa and Hexb, the differential output Eout is given by Eout = k (Hexa−Hexb).
上記磁気インピーダンス効果素子1、1a、1bとしては、遷移金属と非金属の合金で非金属が10〜30原子%組成のもの、特に遷移金属と非金属との合金で非金属量が10〜30原子%を占め、遷移金属がFeとCoで非金属がBとSiであるかまたは遷移金属がFeで非金属がBとSiである組成のものを使用することができ、例えば、組成Co70.5B15Si10Fe4.5、長さ2000μm〜6000μm、外径30μm〜50μmφのものを使用できる。
The magneto-
図2の(ニ)の磁界検出限界−Hmax〜+Hmaxは、通常+2.5Gauss〜−2.5Gaussとされる。 The magnetic field detection limit -Hmax to + Hmax in (d) of FIG. 2 is normally +2.5 Gauss to -2.5 Gauss.
上記において、高周波励磁電流には、例えば連続正弦波、パスル波、三角波等の通常の高周波を使用でき、高周波励磁電流源としては、例えばハートレー発振回路、コルピッツ発振回路、コレクタ同調発振回路、ベース同調発振回路のような通常の発振回路の外、水晶発振器の矩形波出力を直流分カットコンデンサを経て積分回路で積分しこの積分出力の三角波を増幅回路で増幅する三角波発生器、COMS−ICを発振部として使用した三角波発生器等を使用できる。 In the above, a normal high frequency such as a continuous sine wave, a pulse wave, or a triangular wave can be used as the high frequency excitation current, and examples of the high frequency excitation current source include a Hartley oscillation circuit, a Colpitts oscillation circuit, a collector tuning oscillation circuit, and a base tuning oscillation. In addition to a normal oscillation circuit such as an oscillation circuit, a square wave generator that integrates the square wave output of a crystal oscillator through an integration circuit via a DC cut capacitor and amplifies the triangular wave of the integration output by an amplification circuit, and oscillates a COMS-IC The triangular wave generator etc. which were used as a part can be used.
上記の検波回路としては、例えば被変調波を演算増幅回路で半波整流しこの半波整流波を並列RC回路またはRCローパスフィルターで処理して半波整流波の包絡線出力を得る構成、被変調波をダイオードで半波整流しこの半波整流波を並列RC回路またはRCローパスフィルターで処理して半波整流波の包絡線出力を得る構成等を使用できる。
また、被変調波(周波数fs)に同調させた周波数fsの方形波を被変調波に乗算して信号波をサンプリングする同調検波を使用することができる。
上記の実施例では、被変調波の復調によって被検出磁界を取り出しているが、これに限定されず、磁気インピーダンス効果素子に作用する被検出磁界(信号波)で変調された高周波励磁電流波(搬送波)から被検出磁界を検波し得るものであれば、適宜の検波手段を使用できる。
As the above detection circuit, for example, a configuration in which a modulated wave is half-wave rectified by an operational amplifier circuit and this half-wave rectified wave is processed by a parallel RC circuit or an RC low-pass filter to obtain an envelope output of the half-wave rectified wave, A configuration in which the modulated wave is half-wave rectified by a diode and the half-wave rectified wave is processed by a parallel RC circuit or an RC low-pass filter to obtain an envelope output of the half-wave rectified wave can be used.
Further, it is possible to use tuning detection in which a signal wave is sampled by multiplying the modulated wave by a square wave having a frequency fs tuned to the modulated wave (frequency fs).
In the above-described embodiment, the detected magnetic field is extracted by demodulating the modulated wave. However, the present invention is not limited to this, and a high-frequency excitation current wave modulated by the detected magnetic field (signal wave) acting on the magneto-impedance effect element ( Any suitable detecting means can be used as long as it can detect the detected magnetic field from the carrier wave.
前記負帰還用コイル及びバイアス磁界用コイルは磁気インピーダンス効果素子に巻き付けることができる。また、図4に示すように磁気インピーダンス効果素子とループ磁気回路を構成する鉄芯に負帰還用コイル及びバイアス磁界用コイルを巻き付けることもできる。 図4の(イ)は鉄芯コイル付き磁気インピーダンス効果ユニットの一例を示す側面図、図4の(ロ)は同じく底面図、図4の(ハ)は図4の(ロ)におけるハ−ハ断面図である。
図4において、100は基板チップであり、例えばセラミックス板を使用できる。101は基板片の片面に設けた電極であり、磁気インピーダンス効果素子接続用突部102を備えている。この電極は導電ペースト、例えば銀ペーストの印刷・焼付けにより設けることができる。1xは電極101,101の突部102,102間にはんだ付けや溶接により接続した磁気インピーダンス効果素子であり、前記した通り零磁歪乃至負磁歪のアモルファスワイヤ、アモルファスリボン、スパッタ膜等を使用できる。103は鉄やフェライト等からなるC型鉄芯、6xはC型鉄芯に巻装した負帰還用コイル、7xは同じくバイアス磁界用コイルであり、磁気インピーダンス効果素子1xとC型鉄芯103とでループ磁気回路を構成するように、C型鉄芯103の両端を基板片100の他面に接着剤等で固定してある。鉄芯材料としては、残留磁束密度の小さい磁性体であればよく、例えば、パーマロイ、フェライト、鉄、アモルファス磁性合金の他、磁性体粉末混合プラスチック等を挙げることができる。
The negative feedback coil and the bias magnetic field coil can be wound around a magneto-impedance effect element. Further, as shown in FIG. 4, a negative feedback coil and a bias magnetic field coil can be wound around an iron core constituting a magneto-impedance effect element and a loop magnetic circuit. 4 (a) is a side view showing an example of a magneto-impedance effect unit with an iron core coil, FIG. 4 (b) is a bottom view, and FIG. 4 (c) is a cross-sectional view of FIG. It is sectional drawing.
In FIG. 4,
図5は本発明において使用する磁気検出器8の一例を示し、図5の(イ)は正面図を、図5の(ロ)は側面図を、図5の(ハ)は図5の(イ)におけるハ−ハ断面図をそれぞれ示している。
図5において、81はフレームであり、2枚のプレート811,811をスペーサ812で締結してある。Aは磁気インピーダンス効果型センサであり、図2に示した差動式に属し、図5の(ハ)に示すように、基板片100に2箇の磁気インピーダンス効果素子1a,1bを配設し、各磁気インピーダンス効果素子に図4で示したように鉄芯を設け、各鉄芯に各磁気インピーダンス効果素子に対する負帰還用磁界コイル及びバイアス用磁界コイルを巻付けた鉄芯コイル付き磁気インピーダンス効果ユニットBを備え、図5の(ハ)に示すように、各磁気インピーダンス効果素子1a,1bに対する検波回路及び差動増幅回路並びに高周波励磁電流発生回路からなる駆動回路bや差動増幅回路並びに高周波励磁電流発生回路の電源としてのバッテリーcを搭載した回路板Cに前記鉄芯コイル付き磁気インピーダンス効果ユニットBを導体バーeにより接続してあり、回路板Cをフレーム81内に収容してホルダー813でフレーム81に固定してある。
82は磁化用のU字型コイルであり、U字型鉄芯にコイルを巻き付けてあり、図6に示すように両磁気インピーダンス効果素子1a,1bに対し同一方向・同一強度の磁界を作用させるようにフレーム81の外側に装着してある。U字型鉄芯には、パーマロイ、フェライト、鉄、アモルファス磁性合金の他、磁性体粉末混合プラスチック等を使用できる。
FIG. 5 shows an example of the magnetic detector 8 used in the present invention. FIG. 5A is a front view, FIG. 5B is a side view, and FIG. The ha cross-sectional view in a) is shown respectively.
In FIG. 5,
図5において、Eは被検出体としての金属体の表面を示し、磁気検出器8はこの表面に磁気インピーダンス効果素子1a,1bを法線方向に向け、かつ各素子の先端を表面Eに近接させると共にU字型コイル82の鉄芯端820を表面Eに近接させるようにして移動される。
In FIG. 5, E indicates the surface of a metal body as the object to be detected, and the magnetic detector 8 directs the magneto-
欠陥を検出しようとする磁性金属体においては、局部的に磁気的に変歪され残留磁気を帯有して局部的に漏洩磁束を発生していることが往々にしてある。この局部的漏洩磁束の磁界強度は磁気インピーダンス効果型センサの検出磁界レンジ±2.5Gaussの範囲内にある。
この残留磁気帯有箇所は傷ではなく、この残留磁気に基づく局部的漏洩磁束を検出してしまうと、エラーとなる。
本発明により磁性金属体の欠陥を検出するには、脱磁器または着磁器により金属体の磁化状態を0または有値の一様状態にしておく。金属体の磁化状態を一様にすれば、通常、表面からの漏洩磁束は存在し得ないし、万一存在しても一様であり、前記のように差動式を使用すれば検出され得ない。
In a magnetic metal body to detect a defect, it is often the case that a magnetic flux is locally deformed and has a residual magnetism to locally generate a leakage magnetic flux. The magnetic field strength of the locally leaked magnetic flux is within the detection magnetic field range ± 2.5 Gauss of the magneto-impedance effect type sensor.
This location of the residual magnetic band is not a flaw, and if a local leakage magnetic flux based on this residual magnetism is detected, an error occurs.
In order to detect a defect in a magnetic metal body according to the present invention, the magnetization state of the metal body is set to 0 or a uniform uniform value by a demagnetizer or a magnetizer. If the magnetized state of the metal body is made uniform, normally there will be no magnetic flux leakage from the surface, even if it exists, it can be detected by using the differential type as described above. Absent.
脱磁処理には、例えば図7の(イ)に示すように、残留磁束密度が0aであるとすれば、脱磁器により正の磁界を作用させて破線に沿いbを経て飽和磁界の点cに達しさせ、而るのち、飽和磁化の状態からの磁界の正負反転及び徐々に磁界を減少させる操作を繰返し、次第にヒステリシス環線を小さくして残留磁化をなくしていくことを、脱磁器を検出領域に移動させつつ行っていく方法を使用できる。
着磁処理には、例えば図7の(ロ)に示すように、残留磁束密度が01〜0nに存在しているとすれば、着磁器により正の磁界を作用させて破線に沿い点1〜nを飽和磁界の点cに達しさせ、而るのち、飽和磁化の状態から徐々に磁界を減少させ、残留磁束密度を点1〜nよりも高い点mに定着させることを、着磁器を検出領域に移動させつつ行っていく方法を使用できる。
In the demagnetization process, for example, as shown in FIG. 7 (a), if the residual magnetic flux density is 0a, a positive magnetic field is applied by a demagnetizer and a point c of the saturation magnetic field passes through b along the broken line. After that, the demagnetizer is detected in the detection area by repeating the operations of reversing the magnetic field from the saturation magnetization state and gradually decreasing the magnetic field, and gradually reducing the hysteresis ring to eliminate the residual magnetization. You can use the method of going while moving.
In the magnetizing process, for example, as shown in FIG. 7B, if the residual magnetic flux density exists in 01 to 0n, a positive magnetic field is applied by the magnetizer and points 1 to The magnetizer detects that n reaches the point c of the saturation magnetic field, and then gradually decreases the magnetic field from the state of saturation magnetization and fixes the residual magnetic flux density at a point m higher than the
このようにして、脱磁または着磁の前処理を行ったのち、金属体の表面Eに前記の気検出器8を磁気インピーダンス効果素子1a,1bをその表面Eに法線方向で近接させるように配置し、コイル82に直流電流を通電して金属体を直流磁界で磁化しつつ金属体表面を磁界検出器8で図8の(イ)や(ロ)に示すように所定の方向X、Yで走査していく。走査はロボットで行うことができる。
After the pretreatment for demagnetization or magnetization in this way, the gas detector 8 is brought close to the surface E of the metal body and the magneto-
傷が存在する金属体に磁界を通すと、傷箇所のリラクタンスが高いために、図9の(イ)〔断面図〕及び図9の(ロ)〔平面図〕に示すように傷箇所で磁束が漏洩し、その漏洩磁束の法線成分は図9の(ハ)に示すようになる。
磁気双極子による欠陥モデルによれば、磁気双極子の磁気強度をσ、傷の巾を2a、傷の深さをdとすると、漏洩磁束の法線成分ΔBzは
図10は図9の(ハ)に示す漏洩磁束の法線成分に対する前記差動式磁気インピーダンス効果の検出出力を示している。
而して、図9の(ハ)においてピークが傷の巾両端で生じ、図10の(イ)におけるピーク間の間隔Δtは、傷の巾をw、走査速度をvとすれば、
Δt=w/v
で与えられる。
磁気インピーダンス効果素子間の間隔をDとすれば、前方の磁気インピーダンス効果素子の検出出力Eaと後方の磁気インピーダンス効果素子の検出出力Ebとが時間D/v=ΔTの間隔で離隔され、傷の巾wに較べて磁気インピーダンス効果素子間の間隔Dが充分に広いと、両出力は重ならない。磁気インピーダンス効果素子間の間隔Dに対し傷の巾wが広くなって両出力が重なっても、差動のために図10の(ロ)に示すように重畳部分では検出波高値が加算により大きくされる。傷の巾w(2a)が広くなると、前記の数式からも明らかなように、漏洩磁束密度が小さくなり検出値がそれだけ減少されるが、前記の重なりによる検出波高値の増加のために、巾の広い傷でも充分に検出可能である。
When a magnetic field is passed through a scratched metal body, the reluctance of the scratched part is high, and as shown in FIG. 9 (a) [sectional view] and FIG. 9 (b) [plan view] Leaks, and the normal component of the leakage magnetic flux is as shown in FIG.
According to the defect model by the magnetic dipole, when the magnetic intensity of the magnetic dipole is σ, the width of the scratch is 2a, and the depth of the scratch is d, the normal component ΔBz of the leakage flux is
FIG. 10 shows the detection output of the differential magnetic impedance effect with respect to the normal component of the leakage magnetic flux shown in FIG.
Thus, in FIG. 9C, peaks occur at both ends of the scratch width, and the interval Δt between the peaks in FIG. 10A is given by assuming that the width of the scratch is w and the scanning speed is v.
Δt = w / v
Given in.
If the distance between the magneto-impedance effect elements is D, the detection output Ea of the front magneto-impedance effect element and the detection output Eb of the rear magneto-impedance effect element are separated by an interval of time D / v = ΔT. If the distance D between the magneto-impedance effect elements is sufficiently wide compared to the width w, both outputs do not overlap. Even if the width w of the flaw becomes wide with respect to the distance D between the magneto-impedance effect elements and both outputs overlap, the detected peak value is increased by the addition in the overlapped portion as shown in FIG. Is done. As the flaw width w (2a) becomes wider, as apparent from the above formula, the leakage magnetic flux density is reduced and the detected value is reduced accordingly. Even wide scratches can be detected sufficiently.
また、差動検出のために地磁気等の外部ノイズや回路素子の温度変化等で生じる検波回路等での内部ノイズも差動検出のために検出されない。
従って、漏洩磁束密度が小となる巾の広い傷や金属体表面から深い位置に存在する欠陥でも、充分に検出できる。
Further, external noise such as geomagnetism for differential detection or internal noise in a detection circuit or the like caused by a temperature change of a circuit element or the like is not detected for differential detection.
Therefore, it is possible to sufficiently detect even wide scratches where the leakage magnetic flux density is small and defects existing deep from the surface of the metal body.
前記漏洩磁束の強度は、磁界に対する傷の方向により異なり、直交の場合が最大となり、その相対角度が狭まっていくに伴い減少していき、両者の方向が一致する場合に最小となる。
図11において、Sは傷方向と磁化方向とが直交する場合の漏洩磁束の法線成分の分布を、Wは傷方向と磁化方向とが一致する場合の漏洩磁束の法線成分の分布をそれぞれ示し、傷方向と磁化方向との間の角度が90°→0°に近づくにつれて点線Mで示すようにピーク間の間隔が増すと共にピーク値が減少して漏洩磁束分布が平坦化し、検出感度が低下していく。
従って、輸送管のように傷等の欠陥の方向が既知の場合は、磁界の方向と欠陥の方向とを直交させるように、前記U字型コイルの向きを設定することが望ましい。
傷等の欠陥の方向が未知の場合は、互いに直交する二方向、更にはこの二方向に加えて中間方向のそれぞれを走査方向として検出し、これらの検出結果を総合的に評価したり、走査方向は同じでU字型コイルの向きを変えて複数回検出を行い、これらの検出結果を総合的に評価することが好ましい。
The intensity of the leakage magnetic flux varies depending on the direction of the flaws with respect to the magnetic field, and is maximized when it is orthogonal, decreases as the relative angle is narrowed, and is minimized when both directions coincide.
In FIG. 11, S is the distribution of the normal component of the leakage flux when the flaw direction and the magnetization direction are orthogonal, and W is the distribution of the normal component of the leakage flux when the flaw direction and the magnetization direction match. As the angle between the flaw direction and the magnetization direction approaches 90 ° → 0 °, the interval between peaks increases and the peak value decreases and the leakage flux distribution becomes flat as shown by the dotted line M, and the detection sensitivity increases. It goes down.
Therefore, when the direction of a defect such as a flaw is known as in a transport tube, it is desirable to set the direction of the U-shaped coil so that the direction of the magnetic field is perpendicular to the direction of the defect.
When the direction of a defect such as a flaw is unknown, the two directions orthogonal to each other, and further, in addition to these two directions, are detected as the scanning direction, and these detection results are comprehensively evaluated or scanned. It is preferable that the direction is the same and the detection is performed a plurality of times by changing the direction of the U-shaped coil, and these detection results are comprehensively evaluated.
前記の実施形態では、漏洩磁束の法線成分(垂直成分)を検出しているが、接線成分(平行成分)を検出してもよい。
図12はこの場合に使用する磁気検出器における磁気センサを示し、磁気インピーダンス効果素子1a,1bが共通の軸線上に長手方向に間隔を隔てて配設されている点及びU字型コイル82の配設位置を、図12の(ロ)に示すように、その鉄芯両端820,820を結ぶ線を両磁気インピーダンス効果素子1a,1b間の対称中央線に一致させるように設定した点を除けば、図5に示したものに実質的に同じである。
図12において、Eは被検出体の金属体の表面を示し、磁気検出器はこの表面Eに磁気インピーダンス効果素子1a,1bを平行に向け、かつ各素子1a,1bの側面を表面Eに近接させると共にU字型コイル82の鉄芯端820,820を表面Eに近接させるようにして移動される。
In the above embodiment, the normal component (vertical component) of the leakage magnetic flux is detected, but the tangential component (parallel component) may be detected.
FIG. 12 shows a magnetic sensor in the magnetic detector used in this case. The magneto-
In FIG. 12, E indicates the surface of the metal body to be detected, and the magnetic detector has the magneto-
前記の実施形態では、金属体を直流磁界で磁化しているが、交流磁界で磁化することもできる。金属体を磁化するまえに、局部的に磁気的に変歪されて残留磁気を帯有し局部的に漏洩磁束ノイズが発生していても、この漏洩磁束ノイズには交流成分が含まれていない。従って、コイルで交流磁界を発生させ、この交流磁界で金属体の欠陥箇所に漏洩磁界を発生させ、その交流の周波数を通過域に含み直流の通過を阻止する高域通過型フィルター若しくは帯域通過型フィルターを通して検出すれば漏洩磁束ノイズを阻止でき、前記した脱磁や着磁の前処理を省略できる。
また、広い周波数帯で外部磁界を印加することにより、印加磁界周波数に応じた傷深さの情報を検出することができる。
In the above embodiment, the metal body is magnetized by a DC magnetic field, but can be magnetized by an AC magnetic field. Even before the metal body is magnetized, even if the magnetic flux is locally distorted to have residual magnetism and leakage magnetic flux noise is generated locally, this leakage magnetic flux noise does not contain an AC component. . Therefore, an AC magnetic field is generated by the coil, a leakage magnetic field is generated at a defective portion of the metal body by this AC magnetic field, and a high-pass filter or a band-pass filter that includes the AC frequency in the pass band and blocks the passage of DC. If it detects through a filter, leakage magnetic flux noise can be prevented, and the above-mentioned pre-processing of demagnetization and magnetization can be omitted.
Further, by applying an external magnetic field in a wide frequency band, it is possible to detect information on the flaw depth according to the applied magnetic field frequency.
また、前記外部ノイズや内部ノイズの周波数帯域をも阻止できる高域通過型フィルター若しくは帯域通過型フィルターを通して検出すれば、図1に示した単一の磁気インピーダンス効果素子使用の磁気インピーダンス効果型センサを用いることもできる。 In addition, if the detection is made through a high-pass filter or a band-pass filter that can block the external noise and internal noise frequency bands, the magneto-impedance effect sensor using the single magneto-impedance effect element shown in FIG. It can also be used.
なお、図6に示す磁場において、磁気インピーダンス効果1a,1bを位置させる2ヵ所は、その2箇所の磁界強度の差が±10%以内である2ヵ所であることが好ましい。
In the magnetic field shown in FIG. 6, it is preferable that the two locations where the
1 磁気インピーダンス効果素子
1a 磁気インピーダンス効果素子
1b 磁気インピーダンス効果素子
8 磁気検出器
81 フレーム
82 U字型コイル
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