JP2006328578A - 繊維状金属化合物及びその製造方法 - Google Patents
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- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 title claims abstract description 172
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 37
- 239000002243 precursor Substances 0.000 claims abstract description 89
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims abstract description 31
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 29
- 238000001523 electrospinning Methods 0.000 claims abstract description 20
- 239000011817 metal compound particle Substances 0.000 claims abstract description 13
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims abstract description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 36
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 36
- 239000002657 fibrous material Substances 0.000 claims description 35
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 28
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 20
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 20
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 11
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 8
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims description 6
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 6
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 claims description 6
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 150000004703 alkoxides Chemical class 0.000 claims description 5
- 229910001512 metal fluoride Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052976 metal sulfide Inorganic materials 0.000 claims description 5
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 240000002329 Inga feuillei Species 0.000 claims description 4
- XHCLAFWTIXFWPH-UHFFFAOYSA-N [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[V+5].[V+5] Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[V+5].[V+5] XHCLAFWTIXFWPH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 4
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 claims description 4
- 229910000476 molybdenum oxide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N nonaoxidotritungsten Chemical compound O=[W]1(=O)O[W](=O)(=O)O[W](=O)(=O)O1 QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- PQQKPALAQIIWST-UHFFFAOYSA-N oxomolybdenum Chemical compound [Mo]=O PQQKPALAQIIWST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910001930 tungsten oxide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910001935 vanadium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical compound [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000005751 Copper oxide Substances 0.000 claims description 3
- CXKCTMHTOKXKQT-UHFFFAOYSA-N cadmium oxide Inorganic materials [Cd]=O CXKCTMHTOKXKQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- CFEAAQFZALKQPA-UHFFFAOYSA-N cadmium(2+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Cd+2] CFEAAQFZALKQPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910000431 copper oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000013329 compounding Methods 0.000 claims 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims 1
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 6
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 6
- VXUYXOFXAQZZMF-UHFFFAOYSA-N titanium(IV) isopropoxide Chemical compound CC(C)O[Ti](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C VXUYXOFXAQZZMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZHNUHDYFZUAESO-UHFFFAOYSA-N Formamide Chemical compound NC=O ZHNUHDYFZUAESO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ISKQADXMHQSTHK-UHFFFAOYSA-N [4-(aminomethyl)phenyl]methanamine Chemical compound NCC1=CC=C(CN)C=C1 ISKQADXMHQSTHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 238000009987 spinning Methods 0.000 description 2
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004261 CaF 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003125 aqueous solvent Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 239000012702 metal oxide precursor Substances 0.000 description 1
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920002689 polyvinyl acetate Polymers 0.000 description 1
- 239000011118 polyvinyl acetate Substances 0.000 description 1
- 238000005118 spray pyrolysis Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
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- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
- Inorganic Fibers (AREA)
- Nonwoven Fabrics (AREA)
Abstract
【解決手段】エレクトロスピニング法により金属化合物の前駆体含有溶液又は分散液を噴射して、該金属化合物の前駆体からなる繊維状物を形成する工程と、前記金属化合物の前駆体からなる繊維状物にエネルギーを加えて、繊維状の金属化合物を生成させる工程とを含むことを特徴とする繊維状金属化合物の製造方法、並びに、該方法で製造された繊維状金属化合物である。前記金属化合物の前駆体含有溶液又は分散液には、金属化合物の粒子を混合してもよい。
【選択図】図1
Description
(i)エレクトロスピニング法により金属化合物の前駆体含有溶液又は分散液を噴射して、該金属化合物の前駆体からなる繊維状物を形成する工程と、
(ii)前記金属化合物の前駆体からなる繊維状物にエネルギーを加えて、繊維状の金属化合物を生成させる工程と
を含むことを特徴とする。
金属化合物の前駆体含有溶液又は分散液に金属化合物の粒子を混合する工程と、
前記金属化合物の前駆体及び前記金属化合物の粒子を含有する溶液又は分散液をエレクトロスピニング法により噴射して、該金属化合物の前駆体及び金属化合物の粒子からなる繊維状物を形成する工程と、
前記金属化合物の前駆体及び前記金属化合物の粒子からなる繊維状物にエネルギーを加えて、繊維状の金属化合物を生成させる工程と
を含んでもよい。この場合も、最終的に繊維状の金属化合物を得ることができる。
2 ドラム
3 電源
4 ジェット
Claims (14)
- エレクトロスピニング法により金属化合物の前駆体含有溶液又は分散液を噴射して、該金属化合物の前駆体からなる繊維状物を形成する工程と、
前記金属化合物の前駆体からなる繊維状物にエネルギーを加えて、繊維状の金属化合物を生成させる工程と
を含むことを特徴とする繊維状金属化合物の製造方法。 - 前記金属化合物の前駆体からなる繊維状物に加えるエネルギーが熱又は光であることを特徴とする請求項1に記載の繊維状金属化合物の製造方法。
- 前記金属化合物が、金属酸化物、金属窒化物、金属硫化物、金属炭化物、金属フッ化物及び金属ホウ化物からなる群から選択される少なくとも一種であることを特徴とする請求項1に記載の繊維状金属化合物の製造方法。
- 前記金属化合物の前駆体が1種又は2種以上の金属を含み、前記金属化合物が複合化合物であることを特徴とする請求項1に記載の繊維状金属化合物の製造方法。
- 前記金属化合物の前駆体が金属アルコキシドであり、前記金属化合物が金属酸化物であることを特徴とする請求項3に記載の繊維状金属化合物の製造方法。
- 前記金属化合物が、酸化亜鉛、酸化スズ、酸化インジウム、酸化カドミウム又は酸化銅、或いはこれら金属酸化物に他の金属酸化物を複合化した複合金属酸化物であることを特徴とする請求項3に記載の繊維状金属化合物の製造方法。
- 前記金属化合物がエレクトロクロミック特性を有することを特徴とする請求項1に記載の繊維状金属化合物の製造方法。
- 前記エレクトロクロミック特性を有する金属化合物が、酸化タングステン、酸化モリブデン、酸化チタン及び酸化バナジウムからなる群から選択される少なくとも一種であることを特徴とする請求項7に記載の繊維状金属化合物の製造方法。
- 前記金属化合物が半導体特性を有することを特徴とする請求項1に記載の繊維状金属化合物の製造方法。
- 前記半導体特性を有する金属化合物が、Cu(InGa)S2、CuAlO2及び酸化亜鉛からなる群から選択される少なくとも一種であることを特徴とする請求項9に記載の繊維状金属化合物の製造方法。
- 金属化合物の前駆体含有溶液又は分散液に金属化合物の粒子を混合する工程と、
前記金属化合物の前駆体及び前記金属化合物の粒子を含有する溶液又は分散液をエレクトロスピニング法により噴射して、該金属化合物の前駆体及び金属化合物の粒子からなる繊維状物を形成する工程と、
前記金属化合物の前駆体及び前記金属化合物の粒子からなる繊維状物にエネルギーを加えて、繊維状の金属化合物を生成させる工程と
を含むことを特徴とする請求項1に記載の繊維状金属化合物の製造方法。 - 前記金属化合物の前駆体含有溶液又は分散液を、基板、ドラム又はドラム上に配設された基板に向けて噴射して、該基板、ドラム又はドラム上に配設された基板上に前記金属化合物の前駆体からなる繊維状物を形成することを特徴とする請求項1に記載の繊維状金属化合物の製造方法。
- 前記金属化合物の前駆体含有溶液又は分散液を、基板又はドラム上に配設された基板に向けて噴射して、前記繊維状の金属化合物を基板上に形成することを特徴とする請求項12に記載の繊維状金属化合物の製造方法。
- 請求項1〜13のいずれかに記載の方法で製造された繊維状金属化合物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005152414A JP5170945B2 (ja) | 2005-05-25 | 2005-05-25 | 繊維状金属化合物及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005152414A JP5170945B2 (ja) | 2005-05-25 | 2005-05-25 | 繊維状金属化合物及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2006328578A true JP2006328578A (ja) | 2006-12-07 |
| JP5170945B2 JP5170945B2 (ja) | 2013-03-27 |
Family
ID=37550554
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005152414A Expired - Fee Related JP5170945B2 (ja) | 2005-05-25 | 2005-05-25 | 繊維状金属化合物及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5170945B2 (ja) |
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|---|---|
| JP5170945B2 (ja) | 2013-03-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080507 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110225 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
| A521 | Written amendment |
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|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120210 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121225 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |