JP2006349769A - 整合装置 - Google Patents

Abstract

【課題】原版フィルムをＸ軸方向、Ｙ軸方向及びθ軸回りに確実に移動させることができる整合装置を提供する。
【解決手段】整合装置１００は、原版フィルムＡと感光性のある基板との整合を行う装置であり、原版フィルムＡが貼付された透光板１と、透光板１をその周縁部１ａで保持する第１保持枠１０及び第２保持枠１１と、透光板１を第１保持枠１０及び第２保持枠１１に固定する固定機構２０と、第１保持枠１０及び第２保持枠１１と共に、透光板１を、透光板１と略平行な平面内で移動可能に支持し、上下方向に移動させる支持・昇降部３０と、第２保持枠１１の下方に配置され、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びθ軸回りの駆動力を発生させる整合テーブル４０と、整合テーブル４０の駆動力を第２保持枠１１の枠部材１１ｂ，１１ｄに伝達するアーム部５０等とを備えている。
【選択図】図２

Description

本発明は、プリント基板を製造する露光システム等に好適に用いられ、原版フィルムと感光性のある基板とを整合させる整合装置に関するものである。

従来、この種の整合装置は、回路パターンが形成された原版フィルムを、感光性のある基板に密着させて、露光することにより、回路パターンを基板に焼き付けてプリント基板を製造する露光システムに用いられる。
特許文献１は、原版フィルムと感光性基板との整合及び露光を同一位置で行う露光装置を開示している。この露光装置は、上下方向に移動する支持基板に固定され、原版フィルムが貼付された原版フィルム保持プレートと、原版フィルム保持プレートの上方に設置された露光ランプと、感光性基板上の位置決めマークをＣＣＤカメラで検出し、その検出結果に基づいて、感光性基板のＸ軸、Ｙ軸方向及びθ軸回りの精密位置決めを行う整合テーブルとを備えており、この整合テーブルの動きにより原版フィルムと感光性基板とを整合させた後に、原版フィルムと感光性基板とを密着させ、露光ランプで露光して、感光性基板を感光させる。

しかし、特許文献１の露光装置は、搬送されてくる感光性基板を整合テーブルで移動するので、感光性基板を搬送テーブルで整合テーブルに搬入した後に、搬送テーブルを退避させた後でなければ、整合動作に移れず、タクト時間が長くなる場合があった。

一方、感光性基板の代わりに、原版フィルムをＸ軸、Ｙ軸方向及びθ軸回りに駆動することにより、原版フィルムと感光性基板とを整合させる整合装置に用いられるＸＹθ軸の微調整機構が知られている（例えば、特許文献２）。
特許文献２のＸＹθ軸の微調整機構は、例えば、原版フィルムを支持する支持体上の仮想される四辺形の頂点に駆動点があるように、４個のＸＹ軸調整用のステージを配置し、対角上にある駆動点を同じ方向に駆動することによってＸ軸あるいはＹ軸を調整し、対角上にある駆動点を異なる方向に駆動することによってθ軸を調整している。

しかし、特許文献２のＸＹθ軸の微調整機構を用いた整合装置は、θ軸の調整を、Ｘ軸方向の駆動とＹ軸方向の駆動とを組み合わせて行うので、正確な位置で停止するためには、演算処理に時間が掛かかるうえ、検出の分解能や単位移動量を細かくしなければならず、コストアップになる。

特開２００１−７５２８８号公報 特開平５−１６２０３５号公報

本発明の課題は、原版フィルムをＸ軸方向、Ｙ軸方向及びθ軸回りに確実に移動させることができる整合装置を提供することである。

請求項１の発明は、原版フィルムと感光性のある基板との整合を行う整合装置において、原版フィルムが貼付された透光板と、前記透光板をその周縁部で保持する保持枠と、前記保持枠を前記透光板と略平行な平面内で移動可能に支持する支持機構と、前記保持枠の下方に配置され、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びθ軸回りの駆動力を発生させる１つのＸＹθ駆動機構と、前記ＸＹθ駆動機構の駆動力を前記保持枠の少なくとも２辺に伝達する駆動力伝達機構と、を備えたことを特徴とする整合装置である。

請求項２の発明は、請求項１に記載の整合装置において、前記保持枠を上下方向に移動させる昇降機構をさらに備え、前記駆動力伝達機構は、前記昇降機構の上下動に対して、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びθ軸回りの動きとは独立して、上下に移動すること、を特徴とする整合装置である。

（１）本発明の整合装置は、原版フィルムが貼付された透光板を周縁部で保持する保持枠を、支持機構により、透光板と略平行な平面内で移動可能に支持すると共に、１つのＸＹθ駆動機構が発生させるＸ軸方向、Ｙ軸方向及びθ軸回りの駆動力を、駆動力伝達機構により、保持枠の少なくとも２辺に伝達するので、保持枠を所定の位置まで移動させるために必要な駆動量は、独立したＸ軸方向、Ｙ軸方向及びθ軸回りの駆動量をそれぞれ演算すればよく、演算処理に時間が掛からず、さらに、保持枠をＸＹθ駆動機構の動きに追従させることができ、そのために、原版フィルムを所定の位置までＸ軸方向、Ｙ軸方向及びθ軸回りに確実に移動させることができる。

（２）伝達機構は、昇降機構の上下動に対して、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びθ軸回りの動きとは独立して上下に移動するので、昇降機構の上下動によって、保持枠がＸ軸方向、Ｙ軸方向及びθ軸回りに移動することがなく、原版フィルムと感光性のある基板とを整合させ、その後、原版フィルムを感光性のある基板に密着させるときに、原版フィルムの位置がずれてしまうことがない。

本発明は、原版フィルムをＸ軸方向、Ｙ軸方向及びθ軸回りに確実に移動させるという目的を、原版フィルムが貼付された透光板の周縁部を第１保持枠及び第２保持枠により保持し、この第１保持枠及び第２保持枠を支持・昇降機構により、透光板と略平行な平面内で移動可能に支持すると共に、上下方向に移動可能とし、さらに、この第２保持枠の枠部材に、１つの整合テーブルが発生させるＸ軸方向、Ｙ軸方向及びθ軸回りの駆動力をアーム部により伝達することによって実現する。

以下、図面等を参照して、本発明の実施例について、さらに詳しく説明する。
図１は、本発明による整合装置の実施例を用いた露光システムの概略構成を示す図である。
この実施例の露光システム２００は、感光性のある基板の両面に露光を行うものであって、粗位置決め部２１０と、整合・露光部２２０と、搬出・反転部２３０と、整合・露光部２４０と、搬出部２５０等とを備えている。
粗位置決め部２１０は、前工程からベルトコンベアにより搬入されてきた基板を粗位置決めする部分であり、例えば、複数のピンに基板の端面を突き当てる等して、位置決めを行う。

整合・露光部２２０は、回路パターンが形成された原版フィルムをＸ軸方向、Ｙ軸方向及びθ軸回りに移動させることにより、この原版フィルムと、粗位置決め部２１０で粗位置決めされた基板とを整合させた後に、原版フィルムと基板とを密着させ、露光ランプで露光して、基板の表面を感光させる部分である。

搬出・反転部２３０は、露光が終了した基板を搬送テーブルにより搬出し、この基板を反転すると共に、反転の終了した基板を、搬送テーブルにより整合・露光部２４０に搬送する部分である。
整合・露光部２４０は、整合・露光部２２０と略同様な機能を有し、原版フィルムと基板とを整合させた後に、基板の裏面に露光を行う部分である。
搬出部２５０は、その両面の露光が終了した基板を、次工程に搬出する部分である。

つぎに、本発明による整合・露光部２２０に設けられた整合装置について詳細に説明する。
図２は、本発明による整合装置の実施例を示す図である。
整合装置１００は、原版フィルムＡと基板（不図示）との整合を行う装置であって、例えば、透光板１と、第１保持枠１０と、第２保持枠１１と、固定機構２０と、支持・昇降機構３０と、整合テーブル４０と、アーム部５０等とを備えている。

透光板１は、アクリル板であり、その裏面に原版フィルムＡが貼付されている。透光板１は、不図示の露光ランプからの露光波長の光を透過する材質であれば、アクリルに限らず、例えば、ガラス、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリカーボネート等を用いることができる。

第１保持枠１０は、透光板１をその周縁部１ａで保持する枠であり、透光板１の４辺を保持する枠部材１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄを、井桁状に組んだ枠体を構成している。

第２保持枠１１は、第１保持枠１０の下方に所定間隔を隔てて配置された枠であり、後述する固定機構２０の固定部２０Ａ〜２０Ｄがそれぞれ取付けられた枠部材１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄを、井桁状に組んだ枠体を構成している（図５参照）。この枠部材１１ｂ，１１ｄは、その略中央部に、後述するアーム部５０のロッド５１ｂの先端部と連結される連結部１４，１５がそれぞれ設けられている。

図３は、透光板１が固定された状態を示す図である。
図４は、固定部２０Ａを示す拡大図である。
図５は、固定機構２０と支持・昇降機構３０とを主に示す図である。
固定機構２０は、透光板１を第１保持枠１０及び第２保持枠１１に固定するための機構であって、第１保持枠１０及び第２保持枠１１の４隅に取付けられた固定部２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄを備えている。なお、固定部２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄは、同一機能を有しており、以下では、固定部２０Ａについて説明する。

固定部２０Ａは、図３、図４に示すように、第１支持板２１ａと、軸部材２２ａと、第２支持板２３ａと、ネジ部材２４ａ等とを備えている。第１支持板２１ａは、縦断面がクランク形状であり、下側の平板部分が上述した枠部材１１ａ，１１ｂに固定されており、その下端部には不図示の搬送テーブルにより搬送されてきた基板を透光板１の下方に受け入れるための受け板１２ａが取り付けられている。第１支持板２１ａは、その上側の平板部分が、後述する支持・昇降機構３０のロッド３３ａの先端部に設けられた支持台に支持されている（図６参照）。なお、他の受け板１２ｂ，１２ｃ，１２ｄは、受け板１２ａと同一機能を有しており、説明を省略する。

軸部材２２ａは、第２支持板２３ａを上下方向にガイドするための部材であり、第１支持板２１ａの下側の平板部分の先端に設けられている。軸部材２２ａは、第２支持板２３ａに設けられた直動の軸受に挿入され、第２支持板２３ａをガイドしている。
第２支持板２３ａは、断面がＴ字形に形成され、その一端部に軸部材２２ａが挿入された直動の軸受が設けられ、他端部にネジ部材２４ａが設けられている。第２支持板２３ａは、その下端部が上述した枠部材１０ａに固定されている。
ネジ部材２４ａは、図３に示すように、透光板１を第２支持板２３ａに固定するためのネジである。また、透光板１は、枠部材１０ａ，１０ｃに設けられた複数のピンによりガイドされ、図３に示す矢印Ｂ方向にスライドさせて交換可能である。

また、固定部２０Ａと固定部２０Ｄとの間には、シリンダ１３ａが配置されている。シリンダ１３ａは、枠部材１１ａに設けられた板状部材上に設置されている。シリンダ１３ａは、上下方向に移動可能にロッドが設けられており、ロッド先端部が、枠部材１０ａに固定されたブラケットを下側から支持している。なお、固定部２０Ｂと固定部２０Ｃとの間の範囲には、シリンダ１３ａと同一機構を有するシリンダ１３ｂが配置されている。

ここで、透光板１を第１保持枠１０及び第２保持枠１１に固定するときの動作について説明する。
透光板１は、固定部２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄのネジ部材２４ａ〜２４ｄでネジ止めされ、交換時には、その側面が第１保持枠１０に設けられた複数のピンに摺接することにより矢印Ｂ方向にガイドされる。第１保持枠１０は、固定部２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄにより第２保持枠１１に対して上下方向に移動可能に保持されている。また、第１保持枠１０と第２保持枠１１とは、シリンダ１３ａ，１３ｂに設けられたロッドが駆動されることにより、その上下方向の距離が調整可能である。すなわち、シリンダ１３ａ，１３ｂに設けられたロッドを下側（第２保持枠１１側）に駆動して所定の位置で停止することにより、第１保持枠１０と第２保持枠１１との距離を調整し、これにより、透光板１を、第１保持枠１０及び第２保持枠１１に保持することができる。

図６は、支持・昇降機構３０の一部を示す拡大図である。
支持・昇降機構３０は、透光板１、第１保持枠１０、第２保持枠１１、固定機構２０、シリンダ１３ａ，１３ｂを一体で水平方向（透光板１と略平行な平面内）に移動可能に支持し（図３参照）、さらに、これらを一体で上下方向に移動するエアーシリンダ３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃ，３０Ｄ等を備えている。なお、エアーシリンダ３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃ，３０Ｄは、同一機能を有しており、以下では、エアーシリンダ３０Ａについて説明する。

エアーシリンダ３０Ａは、図２、図５に示すように、シリンダ本体部３１ａと、取付部３２ａと、ロッド３３ａと、円筒部３４ａ等とを備えている。取付部３２ａは、シリンダ本体部３１ａの下方に延設され、不図示の適宜の部材に取り付けられる。これにより、エアーシリンダ３０Ａの位置が固定される。ロッド３３ａは、円筒部３４ａに挿入されており、不図示の駆動源の駆動力によって、シリンダ本体部３１ａに対して昇降する。
このロッド３３ａは、図６に示すように、その先端部に支持台が設けられている。この支持台は、４つのボールベアリング部３５ａが設けられ、固定部２０Ａの第１支持板２１ａをその下側の面から支持している。これにより、第１支持板２１ａは、水平方向（透光板１と平行な平面内）に移動可能に支持される。

以上の構造により、透光板１は、支持・昇降機構３０によって、第１保持枠１０、第２保持枠１１、固定機構２０及びシリンダ１３ａ，１３ｂと一体で水平方向（透光板１と略平行な平面内）に移動可能に支持され、かつ、これらと一体で上下方向に移動可能とされる。

整合テーブル４０は、図２に示すように、第２保持枠１１の下方に配置され、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びθ軸回りの駆動力を発生させる機構であって、ベース４１と、θ軸移動ステージ４２と、Ｙ軸移動ステージ４３と、Ｘ軸移動ステージ４４と、移動テーブル４５等とを備える。
θ軸移動ステージ４２は、ベース４１に載置されており、移動テーブル４５をθ軸（図中、矢印参照）回りに回転移動させる部分である。Ｙ軸移動ステージ４３は、θ軸移動ステージ４２に載置されており、移動テーブル４５をＹ軸（図中、矢印参照）方向に往復移動させる部分である。Ｘ軸移動ステージ４４は、Ｙ軸移動ステージ４３に載置されており、移動テーブル４５をＸ軸（図中、矢印参照）方向に往復移動させる部分である。

このため、整合テーブル４０は、θ軸移動ステージ４２、Ｙ軸移動ステージ４３、Ｘ軸移動ステージ４４の駆動により、移動テーブル４５を動かすので、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びθ軸回りの駆動をそれぞれ独立して行うことができる。

アーム部５０は、整合テーブル４０が発生するＸ軸方向、Ｙ軸方向及びθ軸回りの駆動力を、第２保持枠１１に伝達する機構であって、例えば、移動テーブル４５の一端に設けられたアーム５１と、他端に設けられたアーム５２等とを備えている。
アーム５１は、支柱５１ａと、ロッド５１ｂと等を備えている。支柱５１ａは、移動テーブル４５に対して略垂直に設けられ、剛性を高めるために複数の補強部材が設けられている。ロッド５１ｂは、支柱５１ａに対して昇降し、かつ、回転不能に設けられており、支持・昇降機構３０の上下動に伴って、支柱５１ａに対して上下方向に移動する。

ロッド５１ｂは、その先端部で、上述した枠部材１１ｂに設けられた連結部１４に連結されている。この連結部１４は、支柱５１ａ及びロッド５１ｂを介して、移動テーブル４５の動きに伴って、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びθ軸回りに移動する。
これにより、アーム５１は、整合テーブル４０が発生する駆動力を第２保持枠１１の枠部材１１ｂに伝達することができる。なお、アーム５２は、アーム５１と比べると、整合テーブル４０が発生する駆動力を、連結部１５を介して、第２保持枠１１の枠部材１１ｄに伝達する点が異なる。

アーム５１は、ロッド５１ｂが支柱５１ａに対して回転不能に設けられているので、例えば、支持・昇降機構３０の上下動に伴って、ロッド５１ｂが上下方向に移動するときに、このロッド５１ｂの移動が原因となって、移動テーブル４５がＸ軸方向、Ｙ軸方向及びθ軸回りに動くことはない。すなわち、ロッド５１ｂの上下方向の移動は、移動テーブル４５のＸ軸方向、Ｙ軸方向及びθ軸回りの動きとは独立している。

つぎに、整合装置１００による整合動作について説明する。なお、整合動作とは、粗位置決め部２１０で粗位置決めされた基板が不図示の搬送テーブルにより、透光板１の下方に搬送されてきた後に、原版フィルムＡが貼付された透光板１を動かして、原版フィルムＡと基板との位置合わせを行う動作をいう。
整合装置１００は、不図示のＣＣＤカメラで基板の位置決め用マークを読み取り、その検出信号に基づいて、整合テーブル４０にＸ軸方向、Ｙ軸方向及びθ軸回りの駆動力を発生させて、移動テーブル４５を所定の位置まで移動させる。
その後に、整合装置１００は、支持・昇降機構３０により、透光板１を第１保持枠１０及び第２保持枠１１と共に降下させ、原版フィルムＡと基板とを密着させる。

したがって、整合装置１００によれば、以下のような効果がある。
（１）整合テーブル４０は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びθ軸回りの駆動をそれぞれ独立して行うことができるので、透光板１を所定の位置まで移動させるために必要な駆動量は、独立したＸ軸方向、Ｙ軸方向及びθ軸回りの駆動量をそれぞれ演算すればよく、演算処理に時間が掛からない。
（２）アーム５１，５２により、整合テーブル４０の駆動力を第２保持枠１１に伝達できるので、第２保持枠１１を整合テーブル４０の動きに追従させることができ、その結果、原版フィルムＡを所定の位置まで確実に移動させることができる。
（３）アーム５１，５２の上下方向の移動は、移動テーブル４５のＸ軸方向、Ｙ軸方向及びθ軸回りの動きとは独立しているので、原版フィルムＡと感光性のある基板とを整合させ、その後、原版フィルムＡを感光性のある基板に密着させるときに、原版フィルムＡの位置がずれてしまうことがない。

（比較例）
図７は、整合装置１００の比較例を示す図である。なお、上述した整合装置１００と同一部材については同一符号を付し、機能等の説明を適宜省略する。
整合装置３００は、整合装置１００と同様に、原版フィルムＡと基板とを整合させるための装置である。整合装置３００は、透光板１と、保持枠３１０と、支持機構３２０と、昇降機構３３０と、整合テーブル３４０，３５０等とを備えている。
保持枠３１０は、透光板１をその周縁部１ａで保持する枠であり、透光板１の４辺を保持する枠部材３１０ａ，３１０ｂ，３１０ｃ，３１０ｄを、井桁状に組んだ枠体を構成している。

支持機構３２０は、保持枠３１０を、透光板１と略平行な平面内で移動可能に支持するための機構であって、保持枠３１０の４隅に取付けられた支持部３２０Ａ，３２０Ｂ，３２０Ｃ，３２０Ｄを備えている。なお、支持部３２０Ａ，３２０Ｂ，３２０Ｃ，３２０Ｄは、同一機能を有しており、以下では、支持部３２０Ａについて説明する。

支持部３２０Ａは、コ字状部材３２１ａと、ボール部材３２２ａ，３２３ａ等とを備えている。コ字状部材３２１ａは、後述する昇降機構３３０のエアーシリンダ３３０Ａの上端部に設けられている。ボール部材３２２ａ，３２３ａは、コ字状部材３２１ａの対向する上板と下板とにそれぞれ回転可能に支持されている。
このボール部材３２２ａ，３２３ａは、その間に、枠部材３１０ａに板状部材を介して連結された連結板３１１ａを移動可能なように挟み込んでいる。なお、他の連結板３１１ｂ，３１１ｃ，３１１ｄも、それぞれ支持部３２０Ｂ，３２０Ｃ，３２０Ｄによって移動可能なように支持されている。

昇降機構３３０は、保持枠３１０及び支持機構３２０と共に、透光板１を上下方向に移動させる機構であって、エアーシリンダ３３０Ａ，３３０Ｂ，３３０Ｃ，３３０Ｄ等を備えており、その上端部には、支持部３２０Ａ，３２０Ｂ，３２０Ｃ，３２０Ｄが設けられている。

整合テーブル３４０は、Ｘ軸方向に移動するＸ軸用ステージ３４１と、Ｙ軸方向に移動するＹ軸用ステージ３４２と、保持枠３１０の枠部材３１０ｂに設けられた連結部３４３と、Ｘ軸用ステージ３４１を駆動するモータ３４４と、Ｙ軸用ステージ３４２を駆動する不図示のモータと、その上端に連結部３４３が取付けられたロッド３４５等とを備えている。なお、整合テーブル３５０は、整合テーブル３４０と同一機能を有しており、連結部が保持枠３１０の枠部材３１０ｄに設けられている点が異なる。

この整合装置３００は、原版フィルムＡが貼付された透光板１をその周縁部１ａで保持する保持枠３１０を、２つの整合テーブル３４０，３５０により、Ｘ軸方向又はＹ軸方向に駆動し、さらに、Ｘ軸方向の駆動とＹ軸方向の駆動とを組み合わせることにより、θ軸回りの回転を擬似的に行う。
このため、整合装置３００は、２つの整合テーブル３４０，３５０が必要であるので、構造が複雑になること、透光板１をθ軸回りに回転させるときに、Ｘ軸方向の駆動とＹ軸方向の駆動とを組み合わせる必要があるので、正確な位置で停止するためには、演算処理に時間が掛かってしまうこと等が考えられる。

これに対して、本実施例による整合装置１００は、上述したように、透光板１の周縁部１ａを、固定機構２０により第１保持枠１０及び第２保持枠１１に固定し、また、支持・昇降機構３０により、透光板１を平面内で移動可能に支持すると共に、上下方向に移動可能とし、さらに、この第２保持枠１１の枠部材１１ｂ，１１ｄに、整合テーブル４０が発生させるＸ軸方向、Ｙ軸方向及びθ軸回りの駆動力を、アーム部５０により伝達するので、原版フィルムＡをＸ軸方向、Ｙ軸方向及びθ軸回りに確実に移動させることができる。

（変形例）
以上説明した実施例に限定されることなく、種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の均等の範囲内である。
アーム５１，５２は、連結部１４，１５を介して、第２保持枠１１の対向する枠部材１１ｂ，１１ｄと連結するようにしたが、整合テーブル４０が発生させるＸ軸方向、Ｙ軸方向及びθ軸回りの駆動力を、第２保持枠１１に正確に伝達できるのであれば、これに限られず、対角線上に連結するようにしてもよい。

本発明による整合装置の実施例を用いた露光システムの概略構成を示す図である。 本発明による整合装置の実施例を示す図である。 透光板１が固定された状態を示す図である。 固定部２０Ａを示す拡大図である。 固定機構２０と支持・昇降機構３０とを主に示す図である。 支持・昇降機構３０の一部を示す拡大図である。 整合装置１００の比較例を示す図である。

符号の説明

１ 透光板
１０ 第１保持枠
１１ 第２保持枠
２０ 固定機構
３０ 支持・昇降機構
４０ 整合テーブル
５０ アーム部
１００，３００ 整合装置
２００ 露光システム
Ａ 原版フィルム

Claims (2)

1. 原版フィルムと感光性のある基板との整合を行う整合装置において、
   原版フィルムが貼付された透光板と、
   前記透光板をその周縁部で保持する保持枠と、
   前記保持枠を前記透光板と略平行な平面内で移動可能に支持する支持機構と、
   前記保持枠の下方に配置され、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びθ軸回りの駆動力を発生させる１つのＸＹθ駆動機構と、
   前記ＸＹθ駆動機構の駆動力を前記保持枠の少なくとも２辺に伝達する駆動力伝達機構と、
   を備えたことを特徴とする整合装置。
2. 請求項１に記載の整合装置において、
   前記保持枠を上下方向に移動させる昇降機構をさらに備え、
   前記駆動力伝達機構は、前記昇降機構の上下動に対して、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びθ軸回りの動きとは独立して、上下に移動すること、
   を特徴とする整合装置。
   

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