JP2006344374A - Optical recording medium - Google Patents
Optical recording medium Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006344374A JP2006344374A JP2006231178A JP2006231178A JP2006344374A JP 2006344374 A JP2006344374 A JP 2006344374A JP 2006231178 A JP2006231178 A JP 2006231178A JP 2006231178 A JP2006231178 A JP 2006231178A JP 2006344374 A JP2006344374 A JP 2006344374A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording medium
- optical recording
- layer
- dielectric layer
- dielectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
Abstract
【課題】相変化型の光記録媒体を2層にして片側からの記録再生を可能とし、十分な放熱作用をもつ構造とし、大容量化と良好な記録再生消去特性をもち、且つ繰り返し特性のすぐれた相変化型光記録媒体を提供すること。
【解決手段】透明基板上に第1誘電体層、記録層、第2誘電体層、又は透明基板上に、第3誘電体層、第1誘電体層、記録層、第2誘電体層、又は透明基板上に第1誘電体層、記録層、第2誘電体層、第3誘電体層を順次形成した第1の光記録媒体と、透明基板上に反射層、第1誘電体層、記録層、第2誘電体層を順次形成した第2の光記録媒体とを、互いに第2誘電体層面が接するか又は第1の光記録媒体の第3誘電体層面と第2の光記録媒体の第2誘電体層面が接するように、透明接着剤で貼り合せてなり、且つ各々の記録層として相変化材料を用いた光記録媒体。
【選択図】図1
A phase change type optical recording medium is formed of two layers to enable recording / reproduction from one side, to have a structure with sufficient heat dissipation, to have a large capacity, good recording / reproduction erasing characteristics, and a repetitive characteristic. To provide an excellent phase change optical recording medium.
A first dielectric layer, a recording layer, a second dielectric layer on a transparent substrate, or a third dielectric layer, a first dielectric layer, a recording layer, a second dielectric layer on a transparent substrate, Or a first optical recording medium in which a first dielectric layer, a recording layer, a second dielectric layer, and a third dielectric layer are sequentially formed on a transparent substrate; and a reflective layer, a first dielectric layer on the transparent substrate, The recording layer and the second optical recording medium on which the second dielectric layer is sequentially formed are in contact with each other on the second dielectric layer surface, or the third dielectric layer surface of the first optical recording medium and the second optical recording medium An optical recording medium using a phase change material as each recording layer, which is bonded with a transparent adhesive so that the surface of the second dielectric layer is in contact.
[Selection] Figure 1
Description
本発明は、光記録媒体にレーザー光を集光照射して記録材料に相変化を生じさせ、高密度に情報を記録、再生、消去する書き換え可能な相変化型光記録媒体に関する。 The present invention relates to a rewritable phase change optical recording medium that records, reproduces, and erases information at a high density by causing a recording material to undergo phase change by condensing and irradiating an optical recording medium with laser light.
大容量を特徴として実用化された光ディスクには、コンパクトディスクやレーザーディスク(登録商標)として知られている再生専用型、一度記録できる追記型、繰り返し記録消去できる書き換え可能型がある。 Optical disks put to practical use with a large capacity include a read-only type known as a compact disk and a laser disk (registered trademark), a write-once type that can be recorded once, and a rewritable type that can be repeatedly recorded and erased.
CD−ROMに代表される再生専用の光ディスクは650MBの容量があり、更なる大容量化を図った結果、現在では片面4.7GBのDVD−ROMが開発されている。追記型の光ディスクはCD−Rとして製品化され、DVD−ROMと同程度の容量を目指した開発が進められている。書き換え可能型には、相変化型光ディスクと光磁気ディスクがある。なかでも、相変化型光ディスクは書き換え可能型の光ディスクとして重要になりつつあり、現在650MB容量のCD−RWや、2.6GB容量のDVD−RAMが製品化され、更に大容量化、高密度化の方向に向かって検討されている。 A read-only optical disk represented by a CD-ROM has a capacity of 650 MB, and as a result of further increasing the capacity, a single-sided 4.7 GB DVD-ROM has been developed. Write-once optical discs have been commercialized as CD-Rs, and development aimed at the same capacity as DVD-ROMs is underway. The rewritable type includes a phase change type optical disk and a magneto-optical disk. In particular, phase change optical discs are becoming important as rewritable optical discs. Currently, CD-RWs with a capacity of 650 MB and DVD-RAMs with a capacity of 2.6 GB have been commercialized, and the capacity and density are further increased. Is being considered in the direction of
また、上記した光ディスクを貼り合わせた両面構成のディスクが提案されている。この両面構成のディスクは容量を2倍にすることができるが、ヘッドを2個必要とするか、あるいは1個のヘッドでディスクをひっくり返して記録再生することになり、実用化にあたって問題となる。一方、再生専用のDVDの規格においては、2層ディスクが定義されていて、片側から両層の情報を再生し、大容量化を図っている。 In addition, a double-sided disc in which the above-described optical disc is bonded is proposed. This double-sided disk can double the capacity, but it requires two heads, or the disk is flipped over with one head for recording and reproduction, which is problematic for practical use. . On the other hand, in the DVD standard for reproduction only, a dual-layer disc is defined, and information on both layers is reproduced from one side to increase the capacity.
相変化型の光ディスクの場合には、「書き換え可能な2層−相変化光ディスク」が応用物理学会学術講演会(1998年9月)で提案されているが、大容量化と十分な記録再生消去特性を同時に満足し、且つ繰り返し特性のすぐれた光ディスクは実現していない。 In the case of phase change type optical discs, a “rewritable two-layer phase change optical disc” has been proposed by the Japan Society of Applied Physics (September 1998). An optical disk that satisfies the characteristics at the same time and has excellent repetitive characteristics has not been realized.
また、特許文献1(特開平10−293942号公報)において提案されている光学情報記録媒体は、相変化型光記録媒体を、透過性スペーサを介して複数積層し、上記と同様片側から記録再生を行う方式であるが、同様に大容量化と記録再生特性を同時にみたし、且つ繰り返し特性のすぐれたディスクは実現していない。特に、加熱冷却のヒートサイクル時に重要となる放熱作用を取り入れた冷却構造になっていないため熱劣化が生じる。 In addition, the optical information recording medium proposed in Patent Document 1 (Japanese Patent Laid-Open No. 10-293942) is formed by laminating a plurality of phase change type optical recording media via a transmissive spacer, and recording / reproducing from one side as described above. However, a disk having a large capacity and recording / reproducing characteristics at the same time and having excellent repetitive characteristics has not been realized. In particular, thermal deterioration occurs because the cooling structure does not have a heat dissipation function that is important during a heat-cooling heat cycle.
本発明の課題は、上記した相変化型の光記録媒体を2層にして片側からの記録再生を可能とし、十分な放熱作用をもつ構造とし、大容量化と良好な記録再生消去特性をもち、且つ繰り返し特性のすぐれたディスクを提供することにある。 An object of the present invention is to make the above-described phase change type optical recording medium into two layers to enable recording / reproduction from one side, to have a structure with sufficient heat dissipation, and to have a large capacity and good recording / reproduction erasure characteristics. Another object of the present invention is to provide a disc having excellent repetitive characteristics.
本発明によれば、第一に、透明基板上に第1誘電体層、記録層、第2誘電体層を順次形成した第1の光記録媒体と、透明基板上に反射層、第1誘電体層、記録層、第2誘電体層を順次形成した第2の光記録媒体とを、互いに第2誘電体層面が接するように透明接着剤で貼り合せてなり、且つ各々の記録層として相変化材料を用いたことを特徴とする光記録媒体が提供される。 According to the present invention, first, a first optical recording medium in which a first dielectric layer, a recording layer, and a second dielectric layer are sequentially formed on a transparent substrate, and a reflective layer and a first dielectric on the transparent substrate. The second optical recording medium in which the body layer, the recording layer, and the second dielectric layer are sequentially formed are bonded with a transparent adhesive so that the surfaces of the second dielectric layer are in contact with each other. An optical recording medium characterized by using a change material is provided.
第二に、上記第一において、第1の光記録媒体の透明基板と第1誘電体層との間に更に第3誘電体層を設け、且つ第3誘電体層の膜厚dと屈折率nとの積ndが、43nm≦nd≦645nmをみたすことを特徴とする光記録媒体が提供される。 Second, in the first, a third dielectric layer is further provided between the transparent substrate of the first optical recording medium and the first dielectric layer, and the film thickness d and refractive index of the third dielectric layer are provided. An optical recording medium is provided in which a product nd of n satisfies 43 nm ≦ nd ≦ 645 nm.
第三に、上記第一において、第1の光記録媒体の第2誘電体層の上に更に第3誘電体層を設け、その第3誘電体層面と第2の光記録媒体の第2誘電体層面とが接するように透明接着剤で貼り合せてなり、且つ第3誘電体層の膜厚dと屈折率nとの積ndが、43nm≦nd≦645nmをみたすことを特徴とする光記録媒体が提供される。 Third, in the first, a third dielectric layer is further provided on the second dielectric layer of the first optical recording medium, and the third dielectric layer surface and the second dielectric of the second optical recording medium are provided. The optical recording is characterized in that it is bonded with a transparent adhesive so as to be in contact with the body layer surface, and the product nd of the film thickness d and the refractive index n of the third dielectric layer satisfies 43 nm ≦ nd ≦ 645 nm. A medium is provided.
第四に、上記第二又は第三において、第3誘電体層が窒化物誘電体材料からなることを特徴とする光記録媒体が提供される。 Fourth, there is provided an optical recording medium according to the second or third aspect, wherein the third dielectric layer is made of a nitride dielectric material.
第五に、上記第四において、窒化物誘電体材料がAl、Ga、Si、Ge、又はBを主成分とした窒化物からなることを特徴とする光記録媒体が提供される。 Fifth, in the fourth aspect, there is provided an optical recording medium characterized in that the nitride dielectric material is made of a nitride containing Al, Ga, Si, Ge, or B as a main component.
第六に、上記第一〜第五のいずれかにおいて、第1の光記録媒体の記録層がAg、In、Sb、Teを主成分とする相変化材料からなり、且つ記録層膜厚dが5nm≦d≦15nmであることを特徴とする光記録媒体が提供される。 Sixth, in any one of the first to fifth, the recording layer of the first optical recording medium is made of a phase change material mainly composed of Ag, In, Sb, and Te, and the recording layer thickness d is An optical recording medium characterized in that 5 nm ≦ d ≦ 15 nm is provided.
第七に、上記第二において、第1の光記録媒体の第1及び第2誘電体層がZnSとSiO2を主成分とする材料からなり、且つ各々の膜厚をd1、d2とすると、次式をみたすことを特徴とする光記録媒体が提供される。
15nm≦d1≦40nm、20nm≦d2≦300nm
Seventh, in the second case, when the first and second dielectric layers of the first optical recording medium are made of a material mainly composed of ZnS and SiO 2 and the respective film thicknesses are d1 and d2, An optical recording medium characterized by satisfying the following formula is provided.
15 nm ≦ d1 ≦ 40 nm, 20 nm ≦ d2 ≦ 300 nm
第八に、上記第一において、第1の光記録媒体の第1及び第2誘電体層が窒化物誘電体材料又はZnSとSiO2を主成分とする材料からなり、且つ各々の膜厚をd1、d2とすると、次式をみたすことを特徴とする光記録媒体が提供される。
20nm≦d1≦300nm、20nm≦d2≦300nm
Eighth, in the first aspect, the first and second dielectric layers of the first optical recording medium are made of a nitride dielectric material or a material mainly composed of ZnS and SiO 2 , and each film thickness is If d1 and d2, an optical recording medium characterized by satisfying the following equation is provided.
20 nm ≦ d1 ≦ 300 nm, 20 nm ≦ d2 ≦ 300 nm
第九に、上記第三において、第1の光記録媒体の第1及び第2誘電体層がZnSとSiO2を主成分とする材料からなり、且つ各々の膜厚をd1、d2とすると、次式をみたすことを特徴とする光記録媒体が提供される。
20nm≦d1≦300nm、15nm≦d2≦40nm
Ninth, in the third, the first and second dielectric layers of the first optical recording medium is made of a material mainly containing ZnS and SiO 2, and each of the thickness and d1, d2, An optical recording medium characterized by satisfying the following formula is provided.
20 nm ≦ d1 ≦ 300 nm, 15 nm ≦ d2 ≦ 40 nm
第十に、上記第一〜第三のいずれかにおいて、透明接着剤が光硬化型樹脂からなることを特徴とする光記録媒体が提供される。 Tenth, in any one of the first to third aspects, an optical recording medium is provided in which the transparent adhesive is made of a photocurable resin.
第十一に、上記第一〜第九のいずれかにおいて、第2の光記録媒体の第1及び第2誘電体層がZnSとSiO2を主成分とする材料からなり、且つ各々の膜厚をd1、d2とすると、次式をみたすことを特徴とする光記録媒体が提供される。
15nm≦d1≦40nm、60nm≦d2≦300nm
Eleventhly, in any one of the first to ninth, the first and second dielectric layers of the second optical recording medium are made of a material mainly composed of ZnS and SiO 2 , and each film thickness is Where d1 and d2 are provided, an optical recording medium characterized by satisfying the following equation is provided.
15 nm ≦ d1 ≦ 40 nm, 60 nm ≦ d2 ≦ 300 nm
第十二に、上記第一〜第九のいずれかにおいて、第2の光記録媒体の記録層がAg、In、Sb、Teを主成分とする相変化材料からなり、且つ記録層膜厚dが12nm≦d≦20nmであることを特徴とする光記録媒体が提供される。 Twelfth, in any one of the first to ninth, the recording layer of the second optical recording medium is made of a phase change material mainly composed of Ag, In, Sb, and Te, and the recording layer thickness d Is 12 nm ≦ d ≦ 20 nm, and an optical recording medium is provided.
第十三に、上記第六又は第十二において、記録層に窒素が添加されていることを特徴とする光記録媒体が提供される。 Thirteenth, there is provided an optical recording medium according to the sixth or twelfth aspect, wherein nitrogen is added to the recording layer.
透明基板上に第1誘電体層、記録層、第2誘電体層、又は透明基板上に、第3誘電体層、第1誘電体層、記録層、第2誘電体層、又は透明基板上に第1誘電体層、記録層、第2誘電体層、第3誘電体層を順次設けた構成をとり、各層の材料と膜厚が適切に設定され、十分な放熱作用と高透過率をもつ第1の光記録媒体が実現する。透明基板上に、反射層、第1誘電体層、記録層、第2誘電体層を順次設けた構成であり、各層の材料と膜厚が適切に設定された十分な放熱作用と高感度、高反射率の第2の光記録媒体が実現する。第1と第2の光記録媒体を透明接着剤で貼り合わせることにより、2層構成の光記録媒体が実現する。2層構成の光記録媒体は1個の光ヘッドで片側からの記録再生が可能となり、大容量の光記録媒体が実現し、同時に両層とも、良好な記録再生特性をもち、繰り返し特性のよい光記録媒体が得られる。 On the first dielectric layer, recording layer, second dielectric layer, or transparent substrate on the transparent substrate, on the third dielectric layer, first dielectric layer, recording layer, second dielectric layer, or transparent substrate The first dielectric layer, the recording layer, the second dielectric layer, and the third dielectric layer are sequentially provided, and the material and film thickness of each layer are appropriately set to provide sufficient heat dissipation and high transmittance. A first optical recording medium having the same is realized. It is a structure in which a reflective layer, a first dielectric layer, a recording layer, and a second dielectric layer are sequentially provided on a transparent substrate. Sufficient heat dissipation action and high sensitivity in which the material and film thickness of each layer are set appropriately, A second optical recording medium with high reflectivity is realized. By bonding the first and second optical recording media with a transparent adhesive, a two-layer optical recording medium is realized. An optical recording medium having a two-layer structure enables recording / reproduction from one side with one optical head, realizing a large-capacity optical recording medium, and at the same time, both layers have good recording / reproduction characteristics and good repetition characteristics. An optical recording medium is obtained.
以下、本発明を更に詳細に説明する。図1及び2は、本発明の相変化記録膜を用いた光記録媒体の構成を示した模式断面図である。図1は、透明基板上に第3誘電体層、第1誘電体層、記録層、第2誘電体層をスパッタにより順次形成した第1の光記録媒体と、透明基板上に反射層、第1誘電体層、記録層、第2誘電体層をスパッタにより順次形成した第2の光記録媒体とを、透明接着剤で貼り合わせたものである。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail. 1 and 2 are schematic cross-sectional views showing the configuration of an optical recording medium using the phase change recording film of the present invention. FIG. 1 shows a first optical recording medium in which a third dielectric layer, a first dielectric layer, a recording layer, and a second dielectric layer are sequentially formed on a transparent substrate, a reflective layer on the transparent substrate, A second optical recording medium in which a first dielectric layer, a recording layer, and a second dielectric layer are sequentially formed by sputtering is bonded with a transparent adhesive.
図2は、透明基板上に第1誘電体層、記録層、第2誘電体層、第3誘電体層をスパッタにより順次形成した第1の光記録媒体と、透明基板上に反射層、第1誘電体層、記録層、第2誘電体層をスパッタにより順次形成した第2の光記録媒体とを、透明接着剤で貼り合わせたものである。 FIG. 2 shows a first optical recording medium in which a first dielectric layer, a recording layer, a second dielectric layer, and a third dielectric layer are sequentially formed on a transparent substrate, a reflective layer on the transparent substrate, A second optical recording medium in which a first dielectric layer, a recording layer, and a second dielectric layer are sequentially formed by sputtering is bonded with a transparent adhesive.
透明接着剤は光学分離層としての作用をもち、第1の光記録媒体と第2の光記録媒体とを光学的に分離するものである。透明接着剤の膜厚は40μm程度に設定され、光硬化性樹脂を用いてスピンコートにより形成される。 The transparent adhesive acts as an optical separation layer and optically separates the first optical recording medium and the second optical recording medium. The film thickness of the transparent adhesive is set to about 40 μm, and is formed by spin coating using a photocurable resin.
透明基板としては、アクリル系や、ポリカーボネート(PC)等のプラスチック基板若しくはガラス基板が使用される。 As the transparent substrate, an acrylic or plastic substrate such as polycarbonate (PC) or a glass substrate is used.
第1及び第2の光記録媒体における第1及び第2誘電体層としては、ZnSとSiO2の混合物からなるZnS:SiO2を使用するが、他の誘電体材料を使用してもよい。 As the first and second dielectric layers in the first and second optical recording medium, comprising a mixture of ZnS and SiO 2 ZnS: While using the SiO 2, it may use other dielectric materials.
第3誘電体層としては、Al、Ga、Si、Ge又はBを主成分とした窒化物誘電体材料が用いられる。これらの窒化物誘電体材料は熱伝導率が大きいため、記録層の冷却を行って熱劣化を防止する効果がある。また、窒化物以外の高熱伝導率の誘電体材料を使用してもよい。 As the third dielectric layer, a nitride dielectric material containing Al, Ga, Si, Ge, or B as a main component is used. Since these nitride dielectric materials have a large thermal conductivity, the recording layer is cooled and has an effect of preventing thermal deterioration. A dielectric material having a high thermal conductivity other than nitride may be used.
記録層としては、Ag、In、Sb、Teを主成分とした材料を使用するが、他の材料、例えばGeSbTe系やInSbTe系等のカルコゲナイド系材料を用いてもよい。また、Ag、In、Sb、Teを主成分とした記録層に窒素を添加することにより、結晶化温度を高くすることができる。例えば、窒素添加量が0のとき、結晶化温度Tcは約200℃であり、スパッタ時の窒素ガス流量が3sccmのときTcは約270℃となる。従って、窒素添加により熱的安定性が向上し、長期の保存に対して記録情報が失われることなく安定に保存される。 For the recording layer, a material mainly composed of Ag, In, Sb, and Te is used, but other materials such as a chalcogenide-based material such as a GeSbTe-based material or an InSbTe-based material may be used. In addition, the crystallization temperature can be increased by adding nitrogen to the recording layer containing Ag, In, Sb, and Te as main components. For example, when the nitrogen addition amount is 0, the crystallization temperature Tc is about 200 ° C., and when the nitrogen gas flow rate during sputtering is 3 sccm, Tc is about 270 ° C. Therefore, the thermal stability is improved by the addition of nitrogen, and the recorded information is stably stored without losing the record information for long-term storage.
反射層は、反射と第2の光記録媒体の記録層に対して放熱機能を同時にもたせるため、金属等の熱伝導率の高い材料が使われる。例えば、Au、Ag、Cu、Al、Al−Ti合金等の金属材料が挙げられる。 The reflective layer is made of a material having a high thermal conductivity such as a metal so that the reflective layer and the recording layer of the second optical recording medium can have a heat radiation function at the same time. For example, metal materials, such as Au, Ag, Cu, Al, an Al-Ti alloy, are mentioned.
まず、図1に示される構成の光記録媒体の実施例について説明する。図3−(a)、−(b)に、図1に示される構成の光記録媒体を用いた場合の第1の光記録媒体の結晶相とアモルファス相の反射率と透過率を求めた実施例を示す。図4−(a)、−(b)に、同上構成の光記録媒体を用いた場合の第2の光記録媒体の結晶相とアモルファス相の反射率と透過率を示す。これらの図においては、多層薄膜の反射率と透過率を一般によく知られているマトリックス法を用いて計算したものであり、図3−(a)、−(b)の横軸は、第1の光記録媒体の第2誘電体層の膜厚を表している。 First, an embodiment of the optical recording medium having the configuration shown in FIG. 1 will be described. FIGS. 3A and 3B show the reflectance and transmittance of the crystalline phase and the amorphous phase of the first optical recording medium when the optical recording medium having the configuration shown in FIG. 1 is used. An example is shown. 4A and 4B show the reflectance and transmittance of the crystal phase and the amorphous phase of the second optical recording medium when the optical recording medium having the same configuration is used. In these figures, the reflectance and transmittance of the multilayer thin film are calculated using a generally well-known matrix method, and the horizontal axes of FIGS. The thickness of the second dielectric layer of the optical recording medium is shown.
なお、図中、Rcは記録層が初期化された結晶相の反射率、Raは記録状態にあるアモルファス相の反射率である。Tcは結晶相の透過率、Taはアモルファス相の透過率である。 In the figure, Rc is the reflectance of the crystalline phase with the recording layer initialized, and Ra is the reflectance of the amorphous phase in the recording state. Tc is the transmittance of the crystal phase, and Ta is the transmittance of the amorphous phase.
図3−(a)、−(b)の第1の光記録媒体は、透明なポリカーボネート基板(PC基板)上に、膜厚60nmの窒化アルミ(AlN)を用いた第3誘電体層、膜厚20nmのZnS:SiO2を用いた第1誘電体層、膜厚8nmのAgInSbTeを主成分とした記録材料を用いた記録層、ZnS:SiO2を用いた第2誘電体層、透明接着剤層を順次形成した構成である。 A first optical recording medium shown in FIGS. 3A and 3B is a third dielectric layer and film using aluminum nitride (AlN) having a thickness of 60 nm on a transparent polycarbonate substrate (PC substrate). First dielectric layer using ZnS: SiO 2 with a thickness of 20 nm, recording layer using a recording material mainly composed of AgInSbTe with a thickness of 8 nm, second dielectric layer using ZnS: SiO 2 , transparent adhesive It is the structure which formed the layer one by one.
第2誘電体層の層厚としては、20nm以上で300nm以下の範囲内が適切で、この層厚範囲内で反射率Rと透過率Tが大きくなる様な層厚を設定することができる。例えば、本例〔図3−(a)、−(b)〕では、第2誘電体層の膜厚を80nm及び240nmに設定すると、Rc=10%、ΔR=Rc−Ra=5%と大きく、透過率Tc、Taはともに50%以上と大きくなる。従って、より好ましい第2誘電体層の膜厚として、60nmから240nmの範囲に設定するとよい。 The layer thickness of the second dielectric layer is suitably in the range of 20 nm or more and 300 nm or less, and the layer thickness can be set such that the reflectance R and the transmittance T are increased within this layer thickness range. For example, in this example (FIGS. 3A and 3B), when the thickness of the second dielectric layer is set to 80 nm and 240 nm, Rc = 10% and ΔR = Rc−Ra = 5%. Further, the transmittances Tc and Ta both increase to 50% or more. Therefore, the more preferable film thickness of the second dielectric layer is set in the range of 60 nm to 240 nm.
第1誘電体層は、第2誘電体層と同様に保護膜としての作用をしている。その膜厚は15nmから40nmが適切で、これ以上厚くなると前述した様に、AlN膜への放熱が十分行われなくなり、オーバーライト時に記録膜の冷却が悪くなり、特に急冷が必要な場合には、満足な記録ができなくなる。 The first dielectric layer acts as a protective film in the same manner as the second dielectric layer. The film thickness is suitably 15 nm to 40 nm, and if it is thicker than this, as described above, the heat radiation to the AlN film will not be sufficiently performed, and the recording film will be poorly cooled at the time of overwriting, especially when rapid cooling is necessary. , You can not record satisfactory.
第3誘電体層のAlN膜は、ヒートシンク的な作用をし、膜厚が厚い程、その効果が大きくなる。十分な放熱効果を得るため、AlN膜又は他の窒化膜の膜厚dと屈折率の積ndは、後述の実施例で示すように43nm≦nd≦645nmの範囲に設定するのが適切である。 The AlN film of the third dielectric layer acts as a heat sink, and the effect increases as the film thickness increases. In order to obtain a sufficient heat dissipation effect, it is appropriate to set the product nd of the film thickness d and the refractive index of the AlN film or other nitride film in the range of 43 nm ≦ nd ≦ 645 nm as shown in the examples described later. .
記録層にAgInSbTeを主成分とした材料を使用したときの第1の光記録媒体の記録層膜厚と、透過率Tと反射率Rの関係を図5−(a)、−(b)に示す。図5−(a)、−(b)では第2誘電体層ZnS:SiO2の膜厚を80nmにしてある。記録層の膜厚が厚くなるに従って透過率Tは減少し、反射率Rは増加する。第1の光記録媒体の平均透過率をTav、第2の光記録媒体単独の反射率をR2とすると、図1の構成において、第2の光記録媒体からの反射率r2は次式で与えられる。
r2=R2・Tav2 (1)
FIGS. 5A and 5B show the relationship between the recording layer thickness of the first optical recording medium, the transmittance T, and the reflectance R when a material mainly composed of AgInSbTe is used for the recording layer. Show. In FIGS. 5A and 5B, the thickness of the second dielectric layer ZnS: SiO 2 is set to 80 nm. As the thickness of the recording layer increases, the transmittance T decreases and the reflectance R increases. Assuming that the average transmittance of the first optical recording medium is Tav and the reflectance of the second optical recording medium alone is R 2 , the reflectance r 2 from the second optical recording medium in the configuration of FIG. Given in.
r 2 = R 2 · Tav 2 (1)
上式でR2=33%、Tav=40%とすると、r2=5.3%となり、第2の光記録媒体からの反射率r2は、第1の光記録媒体の平均透過率Tavに大きく左右される。第2の光記録媒体の光利用効率を5%程度以上確保するためには、第1の光記録媒体の平均透過率Tavとして40%以上の値が必要であり、第1の光記録媒体の記録層の膜厚を15nm以下に設定すればよい。また、第2の光記録媒体の光利用効率を8%以上にするにはTav=50%が必要で、第1の光記録媒体の記録層の膜厚を約10nm以下に設定することにより上記の値が実現される。 When R 2 = 33% and Tav = 40% in the above formula, r 2 = 5.3%, and the reflectance r 2 from the second optical recording medium is the average transmittance Tav of the first optical recording medium. Depends greatly on In order to secure the light utilization efficiency of the second optical recording medium of about 5% or more, the average transmittance Tav of the first optical recording medium needs to be 40% or more. The film thickness of the recording layer may be set to 15 nm or less. Further, Tav = 50% is required to increase the light utilization efficiency of the second optical recording medium to 8% or more. By setting the film thickness of the recording layer of the first optical recording medium to about 10 nm or less, The value of is realized.
一方、記録層の膜厚を薄くすると透過率Tavは大きくなる反面、第1の光記録媒体の反射率Rc、Raが小さくなってしまうので、所望の反射率を得るためには適切な膜厚に設定しなければならない。例えば、第1の光記録媒体の反射率Rcを5%以上にするには、記録層の膜厚を5nm以上に、またRcを8%以上にするには、記録層の膜厚を7nm以上に設定する必要がある。 On the other hand, when the thickness of the recording layer is reduced, the transmittance Tav is increased, but the reflectances Rc and Ra of the first optical recording medium are decreased. Therefore, an appropriate film thickness is obtained to obtain a desired reflectance. Must be set to For example, when the reflectance Rc of the first optical recording medium is 5% or more, the recording layer thickness is 5 nm or more, and when Rc is 8% or more, the recording layer thickness is 7 nm or more. Must be set to
図4−(a)、−(b)は前実施例(図3)において、第2誘電体層の膜厚を80nmに設定して、第3誘電体層AlN膜の膜厚を変えて、反射率Rと透過率Tの変化を示す実施例である。AlN膜の膜厚として20nm以上で300nm以下の範囲がよく(43nm≦nd≦645nm)、この範囲内で反射率Rと透過率Tを大きくできる。例えば、AlN膜の膜厚を60nm及び220nmにすると、Rc=10%、ΔR=Rc−Ra=5%と、Rc=15%、ΔR=Rc−Ra=5%と大きく、透過率Tc、Taも50%以上と大きい値をとる。 4- (a) and-(b) show that the film thickness of the second dielectric layer is set to 80 nm and the film thickness of the third dielectric layer AlN film is changed in the previous example (FIG. 3). It is an Example which shows the change of the reflectance R and the transmittance | permeability T. FIG. The thickness of the AlN film is preferably in the range of 20 nm to 300 nm (43 nm ≦ nd ≦ 645 nm), and the reflectance R and transmittance T can be increased within this range. For example, when the film thickness of the AlN film is 60 nm and 220 nm, Rc = 10%, ΔR = Rc−Ra = 5%, Rc = 15%, ΔR = Rc−Ra = 5%, and the transmittances Tc, Ta Takes a large value of 50% or more.
従って、より好ましいAlN膜の膜厚としては、40nm以上240nm以下の範囲に設定するとよい。AlN膜の屈折率をn=2.15(635nm)とすると、膜厚dと屈折率nとの積ndは86nm≦nd≦516nmの範囲がよい。 Therefore, a more preferable thickness of the AlN film is preferably set in a range of 40 nm to 240 nm. If the refractive index of the AlN film is n = 2.15 (635 nm), the product nd of the film thickness d and the refractive index n is preferably in the range of 86 nm ≦ nd ≦ 516 nm.
以上述べてきた第1の光記録媒体の実施例において、第3誘電体層AlNがない層構成も可能である。その場合には透明基板上に第1誘電体層、記録層、第2誘電体層をスパッタにより順次形成した構成となる。第1誘電体層と第2誘電体層には記録層の放熱作用を効果的にするため、高熱伝導率の材料を使用するのが好ましい。例えば、AlN膜などの窒化物誘電体材料や、ZnS:SiO2等である。ZnS:SiO2は、SiO2の混合比が大きいほど熱伝導率が高くなるので、ZnS:SiO2を用いる場合はSiO2の混合比の大きい値を用いるのが適切である。窒化物誘電体材料としては、Alの他にGa、Si、Ge又はBを主成分とした窒化物が使用される。 In the embodiment of the first optical recording medium described above, a layer structure without the third dielectric layer AlN is also possible. In this case, the first dielectric layer, the recording layer, and the second dielectric layer are sequentially formed on the transparent substrate by sputtering. For the first dielectric layer and the second dielectric layer, it is preferable to use a material having high thermal conductivity in order to effectively dissipate the heat of the recording layer. For example, a nitride dielectric material such as an AlN film, ZnS: SiO 2 or the like. ZnS: SiO 2, since the thermal conductivity as the mixing ratio of SiO 2 is large becomes high, ZnS: in the case of using a SiO 2 to use a large value of the mixing ratio of SiO 2 are suitable. As the nitride dielectric material, a nitride containing Ga, Si, Ge, or B as a main component in addition to Al is used.
第1及び第2誘電体層にAlN又はZnS:SiO2を使用し、各々の膜厚をd1、d2と表すと、両者とも20nm≦d1、d2≦300nmの範囲に設定することが適切である。記録層AgInSbTeの膜厚としては、前述したように第1の光記録媒体が適切な反射率と透過率を得るために、5nm≦記録層膜厚≦15nmの範囲内にすることが必要である。 When AlN or ZnS: SiO 2 is used for the first and second dielectric layers and the respective film thicknesses are expressed as d1 and d2, it is appropriate to set both in the ranges of 20 nm ≦ d1 and d2 ≦ 300 nm. . As described above, the film thickness of the recording layer AgInSbTe needs to be in the range of 5 nm ≦ recording layer film thickness ≦ 15 nm in order for the first optical recording medium to obtain appropriate reflectance and transmittance. .
次に、図2に示される構成の光記録媒体の実施例について説明する。図6−(a)、−(b)に、図2に示される構成の光記録媒体を用いた場合の第1の光記録媒体の結晶相とアモルファス相の反射率と透過率を求めた実施例を示す。図7−(a)、−(b)に、同上構成の光記録媒体を用いた場合の第2の光記録媒体の結晶相とアモルファス相の反射率と透過率を示す。これらの図においては、多層薄膜の反射率と透過率を一般によく知られているマトリックス法を用いて計算したものであり、図6−(a)、−(b)の横軸は、第1の光記録媒体の第1誘電体層の膜厚を表している。 Next, an example of the optical recording medium having the configuration shown in FIG. 2 will be described. 6 (a) and 6 (b), the reflectance and transmittance of the crystal phase and the amorphous phase of the first optical recording medium when the optical recording medium having the configuration shown in FIG. An example is shown. FIGS. 7A and 7B show the reflectance and transmittance of the crystal phase and the amorphous phase of the second optical recording medium when the optical recording medium having the same configuration is used. In these figures, the reflectance and transmittance of the multilayer thin film are calculated using a generally well-known matrix method, and the horizontal axes of FIGS. 6 (a) and 6 (b) are the first axis. Represents the film thickness of the first dielectric layer of the optical recording medium.
なお、図中、Rcは記録層が初期化された結晶相の反射率、Raは記録状態にあるアモルファス相の反射率である。Tcは結晶相の透過率、Taはアモルファス相の透過率である。 In the figure, Rc is the reflectance of the crystalline phase with the recording layer initialized, and Ra is the reflectance of the amorphous phase in the recording state. Tc is the transmittance of the crystal phase, and Ta is the transmittance of the amorphous phase.
図6−(a)、−(b)の第1の光記録媒体は、透明なポリカーボネート基板(PC基板)上に、ZnS:SiO2を用いた第1誘電体層、膜厚8nmのAgInSbTeを主成分とした記録材料を用いた記録層、膜厚20nmのZnS:SiO2を用いた第2誘電体層、膜厚60nmの窒化アルミ(AIN)を用いた第3誘電体層、透明接着剤層を順次形成した構成である。 6A and 6B, a first optical recording medium includes a first dielectric layer using ZnS: SiO 2 and AgInSbTe having a thickness of 8 nm on a transparent polycarbonate substrate (PC substrate). Recording layer using recording material as main component, second dielectric layer using ZnS: SiO 2 with a thickness of 20 nm, third dielectric layer using aluminum nitride (AIN) with a thickness of 60 nm, transparent adhesive It is the structure which formed the layer one by one.
第1誘電体層の層厚としては、20nm以上で300nm以下の範囲内が適切で、この層厚範囲内で反射率Rと透過率Tが大きくなる様な層厚を設定することができる。例えば、本例〔図6−(a)、−(b)〕では、第1誘電体層の膜厚を80nm及び240nmに設定すると、Rc=10%、ΔR=Rc−Ra=5%及びRc=15%、ΔR=Rc−Ra=5%と大きく、透過率Tc、Taはともに50%以上と大きくなる。従って、より好ましい第1誘電体層の膜厚として、60nmから240nmの範囲に設定するとよい。 The thickness of the first dielectric layer is suitably in the range of 20 nm or more and 300 nm or less, and the layer thickness can be set such that the reflectance R and the transmittance T are large within this layer thickness range. For example, in this example (FIGS. 6A and 6B), when the thickness of the first dielectric layer is set to 80 nm and 240 nm, Rc = 10%, ΔR = Rc−Ra = 5% and Rc = 15%, ΔR = Rc−Ra = 5%, and the transmittances Tc and Ta are both 50% or more. Therefore, the more preferable film thickness of the first dielectric layer is set in the range of 60 nm to 240 nm.
第2誘電体層は、第1誘電体層と同様に保護膜としての作用をしている。その膜厚は15nmから40nmが適切で、これ以上厚くなると前述した様に、AlN膜への放熱が十分行われなくなり、オーバーライト時に記録膜の冷却が悪くなり、特に急冷が必要な場合には、満足な記録ができなくなる。 The second dielectric layer acts as a protective film in the same manner as the first dielectric layer. The film thickness is suitably 15 nm to 40 nm, and if it is thicker than this, as described above, the heat radiation to the AlN film will not be sufficiently performed, and the recording film will be poorly cooled at the time of overwriting, especially when rapid cooling is necessary. , You can not record satisfactory.
第3誘電体層のAlN膜は、ヒートシンク的な作用をし、膜厚が厚い程、その効果が大きくなる。十分な放熱効果を得るため、AlN膜又は他の窒化膜の膜厚dと屈折率の積ndは、後述の実施例で示すように43nm≦nd≦645nmの範囲に設定するのが適切である。 The AlN film of the third dielectric layer acts as a heat sink, and the effect increases as the film thickness increases. In order to obtain a sufficient heat dissipation effect, it is appropriate to set the product nd of the film thickness d and the refractive index of the AlN film or other nitride film in the range of 43 nm ≦ nd ≦ 645 nm as shown in the examples described later. .
記録層にAgInSbTeを主成分とした材料を使用したときの第1の光記録媒体の記録層膜厚と、透過率Tと反射率Rの関係を図8−(a)、−(b)に示す。図8−(a)、−(b)では第1誘電体層ZnS:SiO2の膜厚を80nmにしてある。記録層の膜厚が厚くなるに従って透過率Tは減少し、反射率Rは増加する。第1の光記録媒体の平均透過率をTav、第2の光記録媒体単独の反射率をR2とすると、図2の構成において、第2の光記録媒体からの反射率r2は次式で与えられる。
r2=R2・Tav2 (1)
FIGS. 8A and 8B show the relationship between the recording layer thickness of the first optical recording medium and the transmittance T and the reflectance R when a material mainly composed of AgInSbTe is used for the recording layer. Show. In FIGS. 8A and 8B, the thickness of the first dielectric layer ZnS: SiO 2 is set to 80 nm. As the thickness of the recording layer increases, the transmittance T decreases and the reflectance R increases. Assuming that the average transmittance of the first optical recording medium is Tav and the reflectance of the second optical recording medium alone is R 2 , the reflectance r 2 from the second optical recording medium in the configuration of FIG. Given in.
r 2 = R 2 · Tav 2 (1)
上式でR2=33%、Tav=40%とすると、r2=5.3%となり、第2の光記録媒体からの反射率r2は、第1の光記録媒体の平均透過率Tavに大きく左右される。第2の光記録媒体の光利用効率を5%程度以上確保するためには、第1の光記録媒体の平均透過率Tavとして40%以上の値が必要であり、第1の光記録媒体の記録層の膜厚を15nm以下に設定すればよい。また、第2の光記録媒体の光利用効率を8%以上にするにはTav=50%が必要で、第1の光記録媒体の記録層厚を約10nm以下に設定することにより上記の値が実現される。 When R 2 = 33% and Tav = 40% in the above formula, r 2 = 5.3%, and the reflectance r 2 from the second optical recording medium is the average transmittance Tav of the first optical recording medium. Depends greatly on In order to secure the light utilization efficiency of the second optical recording medium of about 5% or more, the average transmittance Tav of the first optical recording medium needs to be 40% or more. The film thickness of the recording layer may be set to 15 nm or less. Further, Tav = 50% is required to increase the light utilization efficiency of the second optical recording medium to 8% or more, and the above value can be obtained by setting the recording layer thickness of the first optical recording medium to about 10 nm or less. Is realized.
一方、記録層の膜厚を薄くすると透過率Tavは大きくなる反面、第1の光記録媒体の反射率Rc、Raが小さくなってしまうので、所望の反射率を得るためには適切な膜厚に設定しなければならない。例えば、第1の光記録媒体の反射率Rcを5%以上にするには、記録層の膜厚を5nm以上に、またRcを8%以上にするには、記録層の膜厚を7nm以上に設定する必要がある。 On the other hand, when the thickness of the recording layer is reduced, the transmittance Tav is increased, but the reflectances Rc and Ra of the first optical recording medium are decreased. Therefore, an appropriate film thickness is obtained to obtain a desired reflectance. Must be set to For example, when the reflectance Rc of the first optical recording medium is 5% or more, the recording layer thickness is 5 nm or more, and when Rc is 8% or more, the recording layer thickness is 7 nm or more. Must be set to
図7−(a)、−(b)は前実施例(図6)において、第1誘電体層の膜厚を80nmに設定して、第3誘電体層AlN膜の膜厚を変えて、反射率Rと透過率Tの変化を示す実施例である。AlN膜の膜厚として20nm以上で300nm以下の範囲がよく(43nm≦nd≦645nm)、この範囲内で反射率Rと透過率Tを大きくできる。例えば、AlN膜の膜厚を60nm及び220nmにすると、Rc=10%、ΔR=Rc−Ra=5%と大きく、透過率Tc、Taも50%以上と大きい値をとる。 7- (a) and-(b) show that in the previous example (FIG. 6), the thickness of the first dielectric layer was set to 80 nm, and the thickness of the third dielectric layer AlN film was changed, It is an Example which shows the change of the reflectance R and the transmittance | permeability T. FIG. The thickness of the AlN film is preferably in the range of 20 nm to 300 nm (43 nm ≦ nd ≦ 645 nm), and the reflectance R and transmittance T can be increased within this range. For example, when the film thickness of the AlN film is 60 nm and 220 nm, Rc = 10%, ΔR = Rc−Ra = 5%, and the transmittances Tc and Ta also take large values of 50% or more.
従って、より好ましいAlN膜の膜厚としては、40nm以上240nm以下の範囲に設定するとよい。AlN膜の屈折率をn=2.15(635nm)とすると、膜厚dと屈折率nとの積ndは86nm≦nd≦516nmの範囲がよい。 Therefore, a more preferable thickness of the AlN film is preferably set in a range of 40 nm to 240 nm. If the refractive index of the AlN film is n = 2.15 (635 nm), the product nd of the film thickness d and the refractive index n is preferably in the range of 86 nm ≦ nd ≦ 516 nm.
次に、図1及び図2で示される光記録媒体に共通である第2の光記録媒体の実施例について説明する。図9に、第2の光記録媒体単独の場合、結晶相とアモルファス相の反射率Rc、Raを求めた実施例を示す。横軸は第2の光記録媒体の第2誘電体層の膜厚である。 Next, an example of the second optical recording medium common to the optical recording medium shown in FIGS. 1 and 2 will be described. FIG. 9 shows an example in which the reflectances Rc and Ra of the crystalline phase and the amorphous phase are obtained in the case of the second optical recording medium alone. The horizontal axis represents the film thickness of the second dielectric layer of the second optical recording medium.
Rcは第2の光記録媒体の記録層が初期化された結晶相の反射率、Raは記録状態にあるアモルファス相の反射率を示している。第2光記録媒体は透明なポリカーボネート基板(PC基板)上に、膜厚25nmのAl−Ti合金を用いた反射層、膜厚20nmのZnS:SiO2を用いた第1誘電体層、膜厚13nmのAgInSbTeを主成分とした材料を用いた記録層、ZnS:SiO2を用いた第2誘電体層、透明接着剤層を順次形成した構成である。 Rc represents the reflectance of the crystal phase in which the recording layer of the second optical recording medium is initialized, and Ra represents the reflectance of the amorphous phase in the recording state. The second optical recording medium is formed on a transparent polycarbonate substrate (PC substrate), a reflective layer using an Al—Ti alloy with a film thickness of 25 nm, a first dielectric layer using ZnS: SiO 2 with a film thickness of 20 nm, and a film thickness. In this configuration, a recording layer using a material mainly composed of 13 nm of AgInSbTe, a second dielectric layer using ZnS: SiO 2, and a transparent adhesive layer are sequentially formed.
第2の光記録媒体は、第1の高記録媒体を通して情報の記録再生を行うので、光利用効率を上げるために高感度で且つ高反射率の構成をとることが重要である。高感度化は本例の構成のように反射層を設け、記録層を13nmと薄めに設定することにより実現できる。記録層が薄い程、溶融に要するエネルギーを低くすることができるためである。高反射率の構成にするには、第2誘電体層の膜厚を適切に設定することにより実現する。例えば図9において、第2誘電体層の膜厚を120nmにすることにより、Rc=34%、Ra=18%と高反射率となる。 Since the second optical recording medium records and reproduces information through the first high recording medium, it is important to adopt a highly sensitive and high reflectance configuration in order to increase the light utilization efficiency. Higher sensitivity can be realized by providing a reflective layer as in the configuration of this example and setting the recording layer as thin as 13 nm. This is because the thinner the recording layer, the lower the energy required for melting. A high reflectivity configuration is realized by appropriately setting the thickness of the second dielectric layer. For example, in FIG. 9, by setting the film thickness of the second dielectric layer to 120 nm, a high reflectance is obtained with Rc = 34% and Ra = 18%.
第2誘電体層の膜厚の好ましい範囲としては、前述した(1)式において、反射率r2を5%以上、第1の光記録媒体の平均透過率Tavを60%とすると、R2(Rc)は14%以上となるため、図9より60nm以上180nm以下となる。またr2を8%以上、Tav=60%とすると、R2(Rc)は22%以上と高反射率になり、図9より第2誘電体層の膜厚のより好ましい範囲は82nm以上、170nm以下に設定すればよい。 As a preferable range of the film thickness of the second dielectric layer, when the reflectance r 2 is 5% or more and the average transmittance Tav of the first optical recording medium is 60% in the above-described equation (1), R 2 Since (Rc) is 14% or more, it is 60 nm or more and 180 nm or less from FIG. Further, when r 2 is 8% or more and Tav = 60%, R 2 (Rc) is 22% or more and has a high reflectivity. From FIG. 9, a more preferable range of the film thickness of the second dielectric layer is 82 nm or more, What is necessary is just to set to 170 nm or less.
上記した第2誘電体層の膜厚範囲の外にも、R2(Rc)が14%以上、又は22%以上になる膜厚が220nm以上に存在するので、第2誘電体層の膜厚dの適用範囲として60nm≦d≦300nmがよい。 In addition to the film thickness range of the second dielectric layer, the film thickness at which R 2 (Rc) is 14% or more, or 22% or more exists at 220 nm or more, so the film thickness of the second dielectric layer is The application range of d is preferably 60 nm ≦ d ≦ 300 nm.
第2の光記録媒体の第1誘電体層ZnS:SiO2は、第2誘電体層ZnS:SiO2と同様に保護膜としての作用をしている。その膜厚は15nmから40nmの範囲が適切で、これ以上に厚くなると、Al−Ti膜への放熱が悪くなり、オーバーライト時に満足な記録ができなくなる。 The first dielectric layer ZnS: SiO 2 of the second optical recording medium functions as a protective film in the same manner as the second dielectric layer ZnS: SiO 2 . The film thickness is suitably in the range of 15 nm to 40 nm, and if it is thicker than this, the heat dissipation to the Al—Ti film becomes worse, and satisfactory recording cannot be performed at the time of overwriting.
図10−(a)に第2の光記録媒体の反射率を、記録層AgInSbTeの厚さを変えてみたものを示す。高感度化のためには、記録層膜厚は薄い程よいが、あまり薄くすると反射率差Rc−Raが小さくなり、再生信号のコントラストが減少してしまう。従って、反射率差Rc−Raを15%以上にするためには、記録層膜厚として12nm以上で20nm以下が適切である。
FIG. 10- (a) shows the reflectance of the second optical recording medium when the thickness of the recording layer AgInSbTe is changed. In order to increase the sensitivity, the thinner the recording layer, the better. However, if the recording layer is too thin, the reflectance difference Rc-Ra is reduced, and the contrast of the reproduction signal is reduced. Therefore, in order to make the reflectance difference Rc-
図10−(b)は、第2の光記録媒体の反射率差Rc−Raを、反射層Al−Tiの厚さを変えてみたものである。反射層の膜厚が10nm以上で、反射率差Rc−Raが15%以上の値が得られる。しかし、反射層の放熱作用を効果的にするには、膜厚として20nm以上が好ましい。 FIG. 10B shows the reflectance difference Rc-Ra of the second optical recording medium when the thickness of the reflective layer Al-Ti is changed. When the thickness of the reflective layer is 10 nm or more, the reflectance difference Rc−Ra is 15% or more. However, in order to make the heat dissipation action of the reflective layer effective, the film thickness is preferably 20 nm or more.
以下、本発明における光記録媒体及び記録再生の具体的実施例を述べるが、本発明はこれらに限定されるものではない。 Specific examples of the optical recording medium and recording / reproducing in the present invention will be described below, but the present invention is not limited to these.
(実施例1)
PC基板上に厚さ70nmのAlNからなる第3誘電体層、厚さ20nmのZnS:SiO2からなる第1誘電体層、厚さ8nmのAgInSbTeにN2をスパッタ中の流量で0.5sccm添加した記録層、厚さ240nmのZnS:SiO2からなる第2誘電体層を順次スパッタリングにより形成し、初期化して第1の光記録媒体を製作した。
Example 1
A third dielectric layer made of AlN having a thickness of 70 nm on a PC substrate, a first dielectric layer made of ZnS: SiO 2 having a thickness of 20 nm, and N 2 on AgInSbTe having a thickness of 8 nm at a flow rate during sputtering of 0.5 sccm. The added recording layer and a 240 nm thick ZnS: SiO 2 second dielectric layer were sequentially formed by sputtering and initialized to produce a first optical recording medium.
次に、PC基板上に厚さ40nmのAl−Tiからなる反射層、厚さ25nmのZnS:SiO2からなる第1の誘電体層、厚さ13nmのAgInSbTeにN2をスパッタ中の流量で0.5sccm添加した記録層、厚さ260nmのZnS:SiO2からなる第2誘電体層を順次スパッタリングにより形成し、初期化して第2の光記録媒体を製作した後、スピンコート法により、第2誘電体層面上に紫外線硬化型樹脂を40μm厚さに塗布した。その後、第1及び第2の光記録媒体を各々の第2誘電体層面が紫外線硬化樹脂を介して接するように貼り合わせ、第1の光記録媒体側から紫外線を照射して接着した。 Next, reflective layer of Al-Ti having a thickness of 40nm on the PC board, with a thickness of 25 nm ZnS: a first dielectric layer made of SiO 2, the thickness of 13 nm AgInSbTe the N 2 at a flow rate in the sputtering A recording layer added with 0.5 sccm and a second dielectric layer made of ZnS: SiO 2 having a thickness of 260 nm were sequentially formed by sputtering, initialized to produce a second optical recording medium, and then the second coating layer was formed by spin coating. An ultraviolet curable resin was applied to a thickness of 40 μm on the surface of the two dielectric layers. Thereafter, the first and second optical recording media were bonded together such that the surfaces of the second dielectric layers were in contact with each other through an ultraviolet curable resin, and were bonded by irradiating ultraviolet rays from the first optical recording medium side.
こうして得られたディスクを回転数2000rpmで回転し、半径30mmの位置で、第1の光記録媒体のトラック上にフォーカスをかけ、同一トラック上で変調周波数40MHzの信号を用いて記録再生消去を繰り返し実行した。このときのレーザー波長はλ=635nm、対物レンズのNAは0.6、記録パワーと消去パワーは10mWと5mWに設定した。オーバーライト後、同一トラックを再生した結果、良好な再生信号が得られた。再生信号から消去部である結晶相の反射率は10%、記録部であるアモルファス相記録マークの反射率は4%であった。 The disk thus obtained was rotated at a rotational speed of 2000 rpm, focused on the track of the first optical recording medium at a radius of 30 mm, and repeated recording / reproducing erasure was performed using a signal with a modulation frequency of 40 MHz on the same track. Executed. At this time, the laser wavelength was set to λ = 635 nm, the NA of the objective lens was set to 0.6, and the recording power and the erasing power were set to 10 mW and 5 mW. As a result of reproducing the same track after overwriting, a good reproduction signal was obtained. From the reproduced signal, the reflectance of the crystal phase as the erasing portion was 10%, and the reflectance of the amorphous phase recording mark as the recording portion was 4%.
次に、フォーカスサーボのオフセットを変えて、ディスク奥側の第2の光記録媒体のトラック上にフォーカスをかけ、ディスク回転数2000rpmで回転し、半径30mmの位置で、変調周波数40MHzの信号を用いて記録再生消去を繰り返し実行した。このときの記録パワーと消去パワーは12mWと6mWに設定した。オーバーライト後、同一トラックを再生した結果、良好な再生信号が得られた。再生信号から消去部である結晶相の反射率は9%、記録部であるアモルファス相記録マークの反射率は3%であった。 Next, the focus servo offset is changed to focus on the track of the second optical recording medium on the back side of the disk, rotate at a disk rotation speed of 2000 rpm, and use a signal with a modulation frequency of 40 MHz at a radius of 30 mm. The recording / playback erasure was repeated. The recording power and erasing power at this time were set to 12 mW and 6 mW. As a result of reproducing the same track after overwriting, a good reproduction signal was obtained. From the reproduced signal, the reflectance of the crystal phase as the erasing portion was 9%, and the reflectance of the amorphous phase recording mark as the recording portion was 3%.
(実施例2)
PC基板上に厚さ80nmのZnS:SiO2からなる第1誘電体層、厚さ8nmのAgInSbTeにN2をスパッタ中の流量で0.5sccm添加した記録層、厚さ20nmのZnS:SiO2からなる第2誘電体層、厚さ220nmのAlNからなる第3誘電体層を順次スパッタリングにより形成して、第1の光記録媒体を製作した。
(Example 2)
A first dielectric layer made of ZnS: SiO 2 having a thickness of 80 nm on a PC substrate, a recording layer in which 0.5 sccm of N 2 is added to AgInSbTe having a thickness of 8 nm at a flow rate during sputtering, and ZnS: SiO 2 having a thickness of 20 nm. A first dielectric recording layer and a third dielectric layer made of AlN having a thickness of 220 nm were sequentially formed by sputtering to produce a first optical recording medium.
次に、PC基板上に厚さ40nmのAl−Tiからなる反射層、厚さ25nmのZnS:SiO2からなる第1の誘電体層、厚さ13nmのAgInSbTeにN2をスパッタ中の流量で0.5sccm添加した記録層、厚さ260nmのZnS:SiO2からなる第2誘電体層を順次スパッタリングにより形成して、第2の光記録媒体を製作した後、スピンコート法により、第2誘電体層面上に紫外線硬化型樹脂を40μm厚さに塗布した。その後、第1及び第2の光記録媒体を初期化し、第1の光記録媒体の第3誘導体層面と第2の光記録媒体の第2誘電体層面が紫外線硬化樹脂を介して接するように貼り合わせ、第1の光記録媒体側から紫外線を照射して接着した。 Next, reflective layer of Al-Ti having a thickness of 40nm on the PC board, with a thickness of 25 nm ZnS: a first dielectric layer made of SiO 2, the thickness of 13 nm AgInSbTe the N 2 at a flow rate in the sputtering A recording layer added with 0.5 sccm and a second dielectric layer made of ZnS: SiO 2 having a thickness of 260 nm are sequentially formed by sputtering to produce a second optical recording medium, and then the second dielectric layer is formed by spin coating. An ultraviolet curable resin was applied to a thickness of 40 μm on the body layer surface. Thereafter, the first and second optical recording media are initialized, and the third dielectric layer surface of the first optical recording medium and the second dielectric layer surface of the second optical recording medium are bonded so as to be in contact with each other via an ultraviolet curable resin. In addition, the first optical recording medium side was irradiated with ultraviolet rays and bonded.
こうして得られたディスクを回転数2000rpmで回転し、半径30mmの位置で、第1の光記録媒体のトラック上にフォーカスをかけ、同一トラック上で変調周波数40MHzの信号を用いて記録再生消去を繰り返し実行した。このときのレーザー波長はλ=635nm、対物レンズのNAは0.6、記録パワーと消去パワーは10mWと5mWに設定した。オーバーライト後、同一トラックを再生した結果、良好な再生信号が得られた。再生信号から消去部である結晶相の反射率は11%、記録部であるアモルファス相記録マークの反射率は5%であった。 The disk thus obtained was rotated at a rotational speed of 2000 rpm, focused on the track of the first optical recording medium at a radius of 30 mm, and repeated recording / reproducing erasure was performed using a signal with a modulation frequency of 40 MHz on the same track. Executed. At this time, the laser wavelength was set to λ = 635 nm, the NA of the objective lens was set to 0.6, and the recording power and the erasing power were set to 10 mW and 5 mW. As a result of reproducing the same track after overwriting, a good reproduction signal was obtained. From the reproduced signal, the reflectance of the crystal phase as the erasing portion was 11%, and the reflectance of the amorphous phase recording mark as the recording portion was 5%.
次に、フォーカスサーボのオフセットを変えて、ディスク奥側の第2の光記録媒体のトラック上にフォーカスをかけ、ディスク回転数2000rpmで回転し、半径30mmの位置で、変調周波数40MHzの信号を用いて記録再生消去を繰り返し実行した。このときの記録パワーと消去パワーは12mWと6mWに設定した。オーバーライト後、同一トラックを再生した結果、良好な再生信号が得られた。再生信号から消去部である結晶相の反射率は10%、記録部であるアモルファス相記録マークの反射率は4%であった。 Next, the focus servo offset is changed to focus on the track of the second optical recording medium on the back side of the disk, rotate at a disk rotation speed of 2000 rpm, and use a signal with a modulation frequency of 40 MHz at a radius of 30 mm. The recording / playback erasure was repeated. The recording power and erasing power at this time were set to 12 mW and 6 mW. As a result of reproducing the same track after overwriting, a good reproduction signal was obtained. From the reproduced signal, the reflectance of the crystal phase as the erasing portion was 10%, and the reflectance of the amorphous phase recording mark as the recording portion was 4%.
Claims (11)
15nm≦d1≦40nm、20nm≦d2≦300nm 3. In claim 2, when the first and second dielectric layers of the first optical recording medium are made of materials containing ZnS and SiO 2 as main components and the respective film thicknesses are d1 and d2, the following equation is satisfied. An optical recording medium characterized by the above.
15 nm ≦ d1 ≦ 40 nm, 20 nm ≦ d2 ≦ 300 nm
20nm≦d1≦300nm、20nm≦d2≦300nm According to claim 1, made of a material the first and second dielectric layers of the first optical recording medium is mainly composed of nitride dielectric material or ZnS and SiO 2, and the each of the film thickness d1, d2 Then, an optical recording medium characterized by satisfying the following formula:
20 nm ≦ d1 ≦ 300 nm, 20 nm ≦ d2 ≦ 300 nm
15nm≦d1≦40nm、60nm≦d2≦300nm 8. The first optical recording medium according to claim 1, wherein the first and second dielectric layers of the second optical recording medium are made of a material mainly composed of ZnS and SiO 2 , and the respective film thicknesses are d 1 and d 2. An optical recording medium characterized by satisfying the following formula:
15 nm ≦ d1 ≦ 40 nm, 60 nm ≦ d2 ≦ 300 nm
11. The optical recording medium according to claim 5, wherein nitrogen is added to the recording layer.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006231178A JP2006344374A (en) | 2006-08-28 | 2006-08-28 | Optical recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006231178A JP2006344374A (en) | 2006-08-28 | 2006-08-28 | Optical recording medium |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000340791A Division JP3862205B2 (en) | 2000-11-08 | 2000-11-08 | Optical recording medium |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2006344374A true JP2006344374A (en) | 2006-12-21 |
Family
ID=37641196
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006231178A Pending JP2006344374A (en) | 2006-08-28 | 2006-08-28 | Optical recording medium |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2006344374A (en) |
-
2006
- 2006-08-28 JP JP2006231178A patent/JP2006344374A/en active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3689612B2 (en) | Information recording medium | |
| JP4059714B2 (en) | Optical recording medium | |
| JP2002515623A (en) | Rewritable optical information medium | |
| JP2003034081A (en) | Phase change optical information recording medium | |
| JP2004503047A (en) | Optical information media | |
| JP2000322770A (en) | Optical information recording medium | |
| JPH11203725A (en) | Phase transition optical disk | |
| JP3698905B2 (en) | Optical information recording medium, information recording method thereof, and information erasing method thereof | |
| TWI246078B (en) | Information recording medium | |
| JP2005025910A (en) | Optical information recording medium and manufacturing method thereof | |
| JP2004528673A (en) | Multi-stack optical data storage medium and use thereof | |
| JP3862205B2 (en) | Optical recording medium | |
| JP4127789B2 (en) | Phase change optical recording medium | |
| JP2001344809A (en) | Optical recording medium | |
| JP3138661B2 (en) | Phase change optical disk | |
| JP2006344374A (en) | Optical recording medium | |
| JP2001184722A (en) | Phase change optical disk | |
| JP3289716B2 (en) | Phase change optical disk | |
| JP3912954B2 (en) | Information recording medium | |
| JP4686779B2 (en) | Multi-layer phase change optical recording medium | |
| JP4462431B2 (en) | Optical information recording medium and optical information recording / reproducing apparatus | |
| JP4086689B2 (en) | Optical information recording medium and manufacturing method thereof | |
| JPH04228126A (en) | Optical information recording medium | |
| JP4300193B2 (en) | Optical recording medium | |
| KR20050026477A (en) | Multi-stack optical data storage medium and use of such medium |