JP2006261603A - Multi-chip type semiconductor device and manufacturing method thereof - Google Patents
Multi-chip type semiconductor device and manufacturing method thereof Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006261603A JP2006261603A JP2005080527A JP2005080527A JP2006261603A JP 2006261603 A JP2006261603 A JP 2006261603A JP 2005080527 A JP2005080527 A JP 2005080527A JP 2005080527 A JP2005080527 A JP 2005080527A JP 2006261603 A JP2006261603 A JP 2006261603A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chip
- integrated circuit
- semiconductor integrated
- semiconductor device
- circuit chip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H10W90/00—
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F1/00—Details not covered by groups G06F3/00 - G06F13/00 and G06F21/00
- G06F1/26—Power supply means, e.g. regulation thereof
-
- H02J7/70—
-
- H10W90/28—
-
- H10W90/754—
Landscapes
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Continuous-Control Power Sources That Use Transistors (AREA)
Abstract
Description
本発明は、降圧型シリーズレギュレータ回路を集積した半導体チップを内蔵したマルチチップ型半導体装置及びその製造方法に関し、特に、耐電圧の低い半導体集積回路チップと、この半導体集積回路チップに、外部電源電圧を降圧した電源電圧を供給する、降圧型シリーズレギュレータ回路を集積した半導体チップを、チップオンチップで構成したマルチチップ型半導体装置及びその製造方法に関する。 The present invention relates to a multichip semiconductor device having a semiconductor chip integrated with a step-down series regulator circuit and a method for manufacturing the same, and more particularly, to a semiconductor integrated circuit chip having a low withstand voltage and an external power supply voltage on the semiconductor integrated circuit chip. The present invention relates to a multi-chip type semiconductor device in which a semiconductor chip that integrates a step-down type series regulator circuit that supplies a power supply voltage that is stepped down is configured on a chip-on-chip basis and a manufacturing method thereof.
近年、電子機器の高機能化・小型化・軽量化及び低コスト化が急速に進んでいる。これらの要求を満たすため、半導体装置においては、より小さいチップに、より多くの回路を搭載するため、設計ルールの微細化が進んでいる。一方、微細化に伴って半導体装置の耐電圧が低下してきているため、誤って半導体装置に過電圧が印加される場合が増えてきた。特に、ACアダプタを使用する機器においては、出力電圧の高いACアダプタが誤って接続されて低電圧プロセスで製造した半導体装置に不具合が発生する場合があった。 In recent years, electronic devices have been rapidly advanced in function, size, weight, and cost. In order to satisfy these requirements, in a semiconductor device, design rules have been miniaturized in order to mount more circuits on a smaller chip. On the other hand, since the withstand voltage of the semiconductor device has been reduced with the miniaturization, the number of cases where an overvoltage is erroneously applied to the semiconductor device has increased. In particular, in an apparatus using an AC adapter, there is a case where a fault occurs in a semiconductor device manufactured by a low-voltage process because an AC adapter having a high output voltage is erroneously connected.
電圧の高いACアダプタが接続されても故障しないように、更には、電圧の高いACアダプタでも使用可能なようにするには、半導体装置を高電圧プロセスで製造する必要があった。しかし、高電圧プロセスで半導体装置を製造した場合は、チップサイズは現状のものよりもかなり大きくなり、しかも新たに半導体を開発するための開発費及び開発期間がかかることになる。
また、他の方法としては、耐電圧の低い半導体装置とACアダプタの間に、耐電圧の高い降圧型シリーズレギュレータ回路を集積した半導体装置を接続することが考えられる。
In order not to break down even if an AC adapter having a high voltage is connected, and to be usable even with an AC adapter having a high voltage, it is necessary to manufacture the semiconductor device by a high voltage process. However, when a semiconductor device is manufactured by a high voltage process, the chip size is considerably larger than the current one, and further, a development cost and a development period for newly developing a semiconductor are required.
As another method, it is conceivable to connect a semiconductor device in which a step-down series regulator circuit with a high withstand voltage is integrated between a semiconductor device with a low withstand voltage and an AC adapter.
従来は、電源回路を集積した半導体チップと、その出力電圧で動作する半導体チップがある場合は、各半導体チップを平面に並べてハイブリッドICとして1つのパッケージに組み込む方法が知られている(例えば、特許文献1参照。)。
しかし、このように半導体チップを平面に並べて配置する方法では、ハイブリッドICの面積が大きくなり、小型化を図ることができなかった。
そこで、半導体装置の実装面積を小さくするために、半導体チップの表面に、更に別の半導体チップを重ねて実装するチップオンチップ方式が知られている。
However, in the method of arranging semiconductor chips side by side in this way, the area of the hybrid IC is increased, and the size reduction cannot be achieved.
Therefore, in order to reduce the mounting area of the semiconductor device, a chip-on-chip system is known in which another semiconductor chip is stacked and mounted on the surface of the semiconductor chip.
しかし、チップオンチップ方式では、半導体チップの貼り付けに伴う応力の影響で、半導体チップに形成された回路素子の特性が変化したり、発熱の大きい半導体チップを重ねて実装した場合は、重ねた半導体チップ同士の発熱の影響を受けて特性が変化したりするため、実装できる半導体の種類はある程度限られていた。また、発熱を抑制するためには、パッケージに金属板などを密着させる等の放熱手段が必要であった。 However, in the chip-on-chip method, when the characteristics of the circuit elements formed on the semiconductor chip change due to the stress caused by the bonding of the semiconductor chip, or when the semiconductor chip generating a large amount of heat is stacked and stacked, Since the characteristics change due to the influence of heat generated between the semiconductor chips, the types of semiconductors that can be mounted are limited to some extent. Further, in order to suppress heat generation, a heat radiating means such as a metal plate or the like closely attached to the package is necessary.
本発明は、上記のような問題を解決するためになされたものであり、低電圧プロセスで製造した半導体チップと、該半導体チップに電源を供給する、高電圧プロセスで製造した定電圧電源回路を集積した定電圧チップを、チップオンチップ形式の半導体パッケージに収納することにより、実装面積を増やすことなく入力電圧に対する高耐圧化を図ることができるマルチチップ型半導体装置及びその製造方法を得ることを目的とする。 The present invention has been made to solve the above problems, and includes a semiconductor chip manufactured by a low voltage process, and a constant voltage power supply circuit manufactured by a high voltage process for supplying power to the semiconductor chip. To obtain a multi-chip type semiconductor device and a method for manufacturing the same capable of increasing the withstand voltage against an input voltage without increasing the mounting area by housing the integrated constant voltage chip in a chip-on-chip semiconductor package. Objective.
この発明に係るマルチチップ型半導体装置は、実装用基板上に搭載された所定の機能を有する第1の半導体集積回路チップと、
外部より供給される電源を受けて、前記第1の半導体集積回路チップに電力を供給するための電源回路を集積した第2の半導体集積回路チップと、
を備え、
前記第2の半導体集積回路チップが、前記第1の半導体集積回路チップ上に重ねられた後、該第1及び第2の各半導体集積回路チップは、樹脂でモールドされるものである。
A multi-chip type semiconductor device according to the present invention includes a first semiconductor integrated circuit chip having a predetermined function mounted on a mounting substrate;
A second semiconductor integrated circuit chip in which a power supply circuit for receiving power supplied from the outside and supplying power to the first semiconductor integrated circuit chip is integrated;
With
After the second semiconductor integrated circuit chip is overlaid on the first semiconductor integrated circuit chip, the first and second semiconductor integrated circuit chips are molded with resin.
具体的には、前記第2の半導体集積回路チップは、前記第1の半導体集積回路チップよりも小さい。 Specifically, the second semiconductor integrated circuit chip is smaller than the first semiconductor integrated circuit chip.
また、前記第2の半導体集積回路チップに集積されている回路素子は、前記第1の半導体集積回路チップに集積されている回路素子よりも耐電圧が大きい。 The circuit element integrated in the second semiconductor integrated circuit chip has a higher withstand voltage than the circuit element integrated in the first semiconductor integrated circuit chip.
また、前記第2の半導体集積回路チップは、前記第1の半導体集積回路チップに形成された回路の内、作動中の発熱が少ない回路が形成されている部分の上に配置されるようにした。 Further, the second semiconductor integrated circuit chip is arranged on a portion of the circuit formed in the first semiconductor integrated circuit chip where a circuit that generates less heat during operation is formed. .
また、前記第2の半導体集積回路チップは、前記第1の半導体集積回路チップに形成された回路の内、温度依存性の低い回路が形成されている部分の上に配置されるようにした。 In addition, the second semiconductor integrated circuit chip is arranged on a portion of the circuit formed in the first semiconductor integrated circuit chip where a circuit having low temperature dependency is formed.
また、前記第1の半導体集積回路チップは、アナログ回路部とデジタル回路部を有し、前記第2の半導体集積回路チップは、第1の半導体集積回路チップの該デジタル回路部が形成されている部分の上に配置されるようにした。 The first semiconductor integrated circuit chip has an analog circuit portion and a digital circuit portion, and the second semiconductor integrated circuit chip is formed with the digital circuit portion of the first semiconductor integrated circuit chip. It was arranged on the part.
また、前記第1の半導体集積回路チップは、仕様に基づいて動作の可否が決定されるオプション回路を有し、前記第2の半導体集積回路チップは、第1の半導体集積回路チップの該オプション回路の内、動作が禁止された回路が形成されている部分の上に配置されるようにした。 In addition, the first semiconductor integrated circuit chip has an optional circuit whose operation is determined based on specifications, and the second semiconductor integrated circuit chip is the optional circuit of the first semiconductor integrated circuit chip. Among them, the circuit is arranged on a portion where a circuit in which operation is prohibited is formed.
具体的には、前記第2の半導体集積回路チップに集積された電源回路は、降圧型シリーズレギュレータである。 Specifically, the power supply circuit integrated on the second semiconductor integrated circuit chip is a step-down series regulator.
この場合、前記降圧型シリーズレギュレータは、入力電圧が所定の定電圧よりも大きい場合は、該所定の定電圧を出力し、前記入力電圧が前記所定の定電圧よりも小さい場合は、該入力電圧とほぼ等しい電圧を出力するようにした。 In this case, the step-down type series regulator outputs the predetermined constant voltage when the input voltage is larger than the predetermined constant voltage, and the input voltage when the input voltage is smaller than the predetermined constant voltage. A voltage almost equal to is output.
また、前記降圧型シリーズレギュレータは、前記所定の定電圧が前記第1の半導体集積回路チップの最大入力電圧よりも小さく設定されるようにした。 In the step-down type series regulator, the predetermined constant voltage is set smaller than a maximum input voltage of the first semiconductor integrated circuit chip.
また、前記降圧型シリーズレギュレータは、出力電圧制御用のトランジスタを備え、該出力電圧制御用のトランジスタは、前記第2の半導体集積回路チップに外付けされるようにしてもよい。 The step-down type series regulator may include an output voltage control transistor, and the output voltage control transistor may be externally attached to the second semiconductor integrated circuit chip.
また、前記実装用基板は、外部基板と接続を行うための接続端子、並びに前記第1及び第2の各半導体集積回路チップ上にそれぞれ設けられた外部接続用パッドと接続を行うためのランドを備え、前記第1及び第2の各半導体集積回路チップ上の前記外部接続用パッドと対応する該ランドはワイヤボンディングによって接続されるようにした。 The mounting substrate includes a connection terminal for connection to an external substrate, and a land for connection to an external connection pad provided on each of the first and second semiconductor integrated circuit chips. The lands corresponding to the external connection pads on the first and second semiconductor integrated circuit chips are connected by wire bonding.
また具体的には、前記第1の半導体集積回路チップは、2次電池充電制御用回路が集積されるようにした。 More specifically, a secondary battery charge control circuit is integrated in the first semiconductor integrated circuit chip.
この場合、前記2次電池充電制御用回路は、2次電池充電電流供給用のトランジスタを備え、該2次電池充電電流供給用のトランジスタは、前記第2の半導体集積回路チップに外付けされるようにしてもよい。 In this case, the secondary battery charging control circuit includes a secondary battery charging current supply transistor, and the secondary battery charging current supply transistor is externally attached to the second semiconductor integrated circuit chip. You may do it.
また、この発明に係るマルチチップ型半導体装置の製造方法は、実装用基板上に搭載された所定の機能を有する第1の半導体集積回路チップと、
外部より供給される電源を受けて、前記第1の半導体集積回路チップに電力を供給するための電源回路を集積した第2の半導体集積回路チップと、
を備えたマルチチップ型半導体装置の製造方法において、
前記第1の半導体集積回路チップ上に前記第2の半導体集積回路チップを重ね、
該第1及び第2の各半導体集積回路チップを樹脂でモールドするようにした。
A method for manufacturing a multichip semiconductor device according to the present invention includes a first semiconductor integrated circuit chip having a predetermined function mounted on a mounting substrate;
A second semiconductor integrated circuit chip in which a power supply circuit for receiving power supplied from the outside and supplying power to the first semiconductor integrated circuit chip is integrated;
In a method for manufacturing a multichip semiconductor device comprising:
Overlaying the second semiconductor integrated circuit chip on the first semiconductor integrated circuit chip;
Each of the first and second semiconductor integrated circuit chips was molded with resin.
具体的には、前記第2の半導体集積回路チップは、前記第1の半導体集積回路チップに形成された回路の内、作動中の発熱が少ない回路が形成されている部分の上に配置されるようにした。 Specifically, the second semiconductor integrated circuit chip is disposed on a portion of the circuit formed on the first semiconductor integrated circuit chip where a circuit that generates less heat during operation is formed. I did it.
また、前記第2の半導体集積回路チップは、前記第1の半導体集積回路チップに形成された回路の内、温度依存性の低い回路が形成されている部分の上に配置されるようにしてもよい。 The second semiconductor integrated circuit chip may be disposed on a portion of the circuit formed in the first semiconductor integrated circuit chip where a circuit having low temperature dependency is formed. Good.
また、前記第1の半導体集積回路チップは、アナログ回路部とデジタル回路部を有し、前記第2の半導体集積回路チップは、第1の半導体集積回路チップの該デジタル回路部が形成されている部分の上に配置されるようにしてもよい。 The first semiconductor integrated circuit chip has an analog circuit portion and a digital circuit portion, and the second semiconductor integrated circuit chip is formed with the digital circuit portion of the first semiconductor integrated circuit chip. You may make it arrange | position on a part.
また、前記第1の半導体集積回路チップは、仕様に基づいて動作の可否が決定されるオプション回路を有し、前記第2の半導体集積回路チップは、第1の半導体集積回路チップの該オプション回路の内、動作が禁止された回路が形成されている部分の上に配置されるようにしてもよい。 In addition, the first semiconductor integrated circuit chip has an optional circuit whose operation is determined based on specifications, and the second semiconductor integrated circuit chip is the optional circuit of the first semiconductor integrated circuit chip. Of these, it may be arranged on a portion where a circuit in which operation is prohibited is formed.
また、前記第2の半導体集積回路チップに集積された電源回路は降圧型シリーズレギュレータであり、該降圧型シリーズレギュレータは出力電圧制御用のトランジスタを備え、該出力電圧制御用のトランジスタは、前記第2の半導体集積回路チップに外付けされるようにしてもよい。 The power supply circuit integrated in the second semiconductor integrated circuit chip is a step-down series regulator, the step-down series regulator includes an output voltage control transistor, and the output voltage control transistor It may be externally attached to the two semiconductor integrated circuit chips.
前記第1の半導体集積回路チップは2次電池充電制御用回路が集積され、該2次電池充電制御用回路は2次電池充電電流供給用のトランジスタを備え、該2次電池充電電流供給用のトランジスタは、前記第2の半導体集積回路チップに外付けされるようにしてもよい。 The first semiconductor integrated circuit chip is integrated with a secondary battery charge control circuit, and the secondary battery charge control circuit includes a transistor for supplying a secondary battery charge current. The transistor may be externally attached to the second semiconductor integrated circuit chip.
本発明のマルチチップ型半導体装置によれば、例えば高電圧プロセスで製造した降圧型シリーズレギュレータといった電源回路が集積された第2の半導体集積回路チップを、該電源回路の出力電圧で動作する第1の半導体集積回路チップの上に重ねてモールドし、チップオンチップ方式によるマルチチップ型半導体装置にしたことから、実装面積を増やすことなく入力電圧に対する高耐圧化を図ることができる。 According to the multichip semiconductor device of the present invention, the first semiconductor integrated circuit chip in which the power supply circuit such as the step-down series regulator manufactured by the high voltage process is integrated is operated with the output voltage of the power supply circuit. Since a multi-chip type semiconductor device using a chip-on-chip method is formed by being overlaid on the semiconductor integrated circuit chip, it is possible to increase the withstand voltage against the input voltage without increasing the mounting area.
また、降圧型シリーズレギュレータチップの大きさを、前記半導体チップに比べて十分に小さくしたことから、半導体チップ上で、発熱や応力の受けにくい位置を選んで搭載することが可能となり、性能を犠牲にすることなく、小型で高耐電圧の半導体装置を得ることができる。 In addition, since the size of the step-down series regulator chip is sufficiently smaller than that of the semiconductor chip, it is possible to select and mount a position on the semiconductor chip where it is difficult to generate heat and stress, sacrificing performance. Thus, a small and high withstand voltage semiconductor device can be obtained.
また、第1及び第2の各半導体集積回路チップに汎用の半導体チップを使用することができるため、多額の開発費用や長期の開発期間も不要となり、安価な半導体装置が短期間で入手することができる。 In addition, since a general-purpose semiconductor chip can be used for each of the first and second semiconductor integrated circuit chips, a large amount of development costs and a long development period are unnecessary, and an inexpensive semiconductor device can be obtained in a short period of time. Can do.
また、降圧型シリーズレギュレータの出力電圧制御用のトランジスタや、2次電池充電制御用回路の2次電池充電電流供給用のトランジスタといった作動時に発熱する素子を外付けにしたことから、パッケージに特別な放熱手段を設ける必要をなくすことができる。 In addition, since a device that generates heat during operation, such as a transistor for controlling the output voltage of the step-down series regulator and a transistor for supplying the secondary battery charging current of the secondary battery charging control circuit, is externally attached, a special package is used. It is possible to eliminate the need to provide heat dissipation means.
また、本発明のマルチチップ型半導体装置の製造方法によれば、例えば高電圧プロセスで製造した降圧型シリーズレギュレータといった電源回路が集積された第2の半導体集積回路チップを、該電源回路の出力電圧で動作する第1の半導体集積回路チップの上に重ねてモールドしたことから、実装面積を増やすことなく入力電圧に対する高耐圧化を図ることができる、マルチチップ型半導体装置の製造方法を得ることができる。 In addition, according to the method for manufacturing a multichip semiconductor device of the present invention, for example, a second semiconductor integrated circuit chip on which a power supply circuit such as a step-down series regulator manufactured by a high voltage process is integrated is connected to the output voltage of the power supply circuit. Therefore, it is possible to obtain a method for manufacturing a multi-chip type semiconductor device that can increase the withstand voltage against the input voltage without increasing the mounting area. it can.
次に、図面に示す実施の形態に基づいて、本発明を詳細に説明する。
第1の実施の形態.
図1は、本発明の第1の実施の形態におけるマルチチップ型半導体装置の構成例を示したブロック図である。
マルチチップ型半導体装置1は、高電圧プロセスで製造された定電圧電源回路が集積された定電圧チップ2と、低電圧プロセスで製造された半導体チップ3とで構成され、Vdd端子とGND端子との間に、電源をなすACアダプタ10が接続されている。定電圧チップ2は、降圧型シリーズレギュレータであり、ACアダプタ10からVdd端子に出力された電圧Vddは定電圧チップ2の電源入力端子PVinに入力される。なお、定電圧チップ2は第2の半導体集積回路チップをなし、半導体チップ3は第1の半導体集積回路チップをなす。
Next, the present invention will be described in detail based on the embodiments shown in the drawings.
First embodiment.
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration example of a multichip semiconductor device according to the first embodiment of the present invention.
The multi-chip
定電圧チップ2は、入力された電圧Vddを半導体チップ3の作動電圧範囲以内の電圧まで降圧して出力端子Voから半導体チップ3の電源入力端子CVinに出力し、半導体チップ3は、電源入力端子CVinに供給された電圧を電源にして作動する。また、GND端子には、定電圧チップ2のグラウンド端子PGNDと、半導体チップ3のグラウンド端子CGNDがそれぞれ接続されている。
定電圧チップ2は、高電圧プロセスを用いて製造されているため、例えば26V程度の耐電圧を有している。このため、例えばACアダプタ10から24V程度の電圧を受けても不具合が発生することはない。これに対して、半導体チップ3は、低電圧プロセスを用いて製造された高集積の多機能半導体であり、例えば定格電圧が5Vで最大印加電圧が8V程度である。
The
Since the
また、定電圧チップ2は、ACアダプタ10の出力電圧Vddが、定電圧チップ2の定格出力電圧よりも大きい場合は、該定格出力電圧を出力端子Voから出力する。逆に、ACアダプタ10の出力電圧Vddが、定電圧チップ2の定格出力電圧よりも小さくなると、ACアダプタ10の出力電圧Vddよりも若干小さい電圧を出力する構成になっている。
定電圧チップ2の定格出力電圧は、半導体チップ3の最大印加電圧8Vよりもやや小さい電圧に設定されており、これは、できるだけ定電圧チップ2内での消費電力を小さくするためである。
Further, when the output voltage Vdd of the
The rated output voltage of the
マルチチップ型半導体装置1には、通常、6〜7Vの電圧を出力するACアダプタ10を接続するが、誤って24Vの電圧を出力するACアダプタを接続しても正常に作動することができる。なお、ACアダプタ10の出力電圧が、通常の6〜7Vのように、定電圧チップ2の定格出力電圧よりも小さい電圧であれば、定電圧チップ2内の出力電圧制御用のトランジスタが完全にオンした状態で作動するため、定電圧チップ2での消費電力は小さく、チップの発熱を最小限にすることができる。
Normally, an
ここで、図2は、図1のマルチチップ型半導体装置1の内部構造例を示した図であり、図2(a)は、マルチチップ型半導体装置1を横から見た透視図であり、図2(b)は、マルチチップ型半導体装置1を上面から見た透視図である。
図2において、定電圧チップ2の縦及び横の各寸法は、共に半導体チップ3よりも十分に小さく、定電圧チップ2は、半導体チップ3の上面の任意の位置に載せることができる。定電圧チップ2及び半導体チップ3の上面周囲には複数の外部接続用のパッド11及び12がそれぞれ設けられている。
Here, FIG. 2 is a diagram illustrating an example of the internal structure of the
In FIG. 2, the vertical and horizontal dimensions of the
また、半導体チップ3は実装用基板13上にあり、実装用基板13には、外部基板と接続を行うための複数の接続端子14と、定電圧チップ2及び半導体チップ3を接続するための複数のランド15がそれぞれ設けられている。なお、対応する接続端子14とランド15は実装用基板13に設けられた配線パターン(図示せず)によってそれぞれ電気的に接続されている。定電圧チップ2及び半導体チップ3の各パッド11及び12は、ボンディングワイヤ16で、それぞれ対応する実装用基板13のランド15に接続されている。また、実装用基板13上の半導体チップ3、半導体チップ3上の定電圧チップ2及び各ボンディングワイヤ16は、封止用樹脂17でモールドされている。
Further, the
ここで、定電圧チップ2は発熱することがあるため、半導体チップ3に形成された回路の中で、作動中の発熱が少ない回路が形成されている個所の上に定電圧チップ2を搭載することで、定電圧チップ2と半導体チップ3によって発生する熱の極端な集中を避けることができる。
また、半導体チップ3に形成された回路の中で、温度依存性の低い回路が形成されている個所の上に定電圧チップ2を搭載することで、温度変化に対する特性を悪化させないようにすることができる。
Here, since the
Further, by mounting the
また、半導体チップ3がアナログ回路部とデジタル回路部を含んでいる場合は、定電圧チップ2を半導体チップ3におけるデジタル回路部が形成されている個所の上に搭載することで、定電圧チップ2と半導体チップ3を重ねたときに発生する応力の影響による半導体素子の特性変化の影響を回避することができる。
また、半導体チップ3が仕様に基づいて動作を選択するオプション回路を含んでおり、半導体チップ3に、動作を行わないオプション回路部分がある場合は、半導体チップ3のオプション回路でかつ動作が禁止された回路が形成されている個所の上に定電圧チップ2を搭載することで、熱や応力の影響を最小限にすることができる。
When the
In addition, if the
なお、図1では、定電圧チップ2内に出力電圧制御用のトランジスタを形成するようにしたが、図3で示すように、出力電圧制御用のトランジスタQ1をマルチチップ型半導体装置1に外付けすることで、定電圧チップ2のチップ面積を小さくすることができると共に、作動時の定電圧チップ2の発熱を低減させることができる。このようにすることにより、図3のマルチチップ型半導体装置1では、定電圧チップ2から出力電圧制御用のトランジスタQ1にベース信号を供給するためのEXT端子と、出力電圧制御用のトランジスタQ1のコレクタを定電圧チップ2の出力端子Voに接続するためのVo端子が、図1から新たに設けられている。
このようにすることで、定電圧チップ2のチップ面積を小さくすると共に発熱も少なくなると、半導体チップ3上における定電圧チップ2の搭載位置に関する自由度が増し、定電圧チップ2を半導体チップ3上の最適な位置に搭載しやすくなる。
Although the output voltage control transistor is formed in the
In this way, when the chip area of the
また、半導体チップ3に2次電池充電制御用回路が搭載されている場合、図4で示すように、2次電池20の充電を制御するための2次電池充電制御用回路における2次電池充電電流供給用パワートランジスタQ2を、マルチチップ型半導体装置1に外付けする。このようにすることにより、図4のマルチチップ型半導体装置1では、定電圧チップ2から出力電圧制御用のトランジスタQ1にベース信号を供給するためのEXT端子と、出力電圧制御用のトランジスタQ1のコレクタ及び2次電池充電電流供給用パワートランジスタQ2のエミッタを定電圧チップ2の出力端子Voに接続するためのVo端子と、半導体チップ3から2次電池充電電流供給用パワートランジスタQ2にベース信号を供給するためのCHG端子が、図1から新たに設けられている。
このようにすることで、半導体チップ3での発熱が少なくなり、放熱用の特別な配慮、例えば半導体装置に金属板等を貼り付ける必要がなくなる。
Further, when the secondary battery charging control circuit is mounted on the
By doing so, the heat generation in the
このように、本第1の実施の形態におけるマルチチップ型半導体装置は、定電圧チップ2と半導体チップ3を1つのパッケージに収納しているため、誤って高電圧出力タイプのACアダプタが接続された場合でも、ACアダプタからの高電圧が直接半導体チップ3に入力されることがなく、半導体チップ3の不具合の発生を防止することができる。更に、チップオンチップ方式を用いることで、半導体チップ3のパッケージの実装面積を増やすことなく、入力耐圧の高い半導体装置を実現することができる。また、定電圧チップ2と半導体チップ3は、共に汎用の半導体装置用として開発されたものを使用することができるため、多額の開発費用や長期の開発期間も不要となり、安価な半導体装置が短期間で入手することができる。
As described above, the multi-chip type semiconductor device according to the first embodiment stores the
1 マルチチップ型半導体装置
2 定電圧チップ
3 半導体チップ
10 ACアダプタ
11,12 パッド
13 実装用基板
14 接続端子
15 ランド
16 ボンディングワイヤ
17 封止用樹脂
20 2次電池
Q1 出力電圧制御用のトランジスタ
Q2 2次電池充電電流供給用パワートランジスタ
DESCRIPTION OF
Claims (21)
外部より供給される電源を受けて、前記第1の半導体集積回路チップに電力を供給するための電源回路を集積した第2の半導体集積回路チップと、
を備え、
前記第2の半導体集積回路チップが、前記第1の半導体集積回路チップ上に重ねられた後、該第1及び第2の各半導体集積回路チップは、樹脂でモールドされることを特徴とするマルチチップ型半導体装置。 A first semiconductor integrated circuit chip having a predetermined function mounted on a mounting substrate;
A second semiconductor integrated circuit chip in which a power supply circuit for receiving power supplied from the outside and supplying power to the first semiconductor integrated circuit chip is integrated;
With
After the second semiconductor integrated circuit chip is overlaid on the first semiconductor integrated circuit chip, each of the first and second semiconductor integrated circuit chips is molded with resin. Chip type semiconductor device.
外部より供給される電源を受けて、前記第1の半導体集積回路チップに電力を供給するための電源回路を集積した第2の半導体集積回路チップと、
を備えたマルチチップ型半導体装置の製造方法において、
前記第1の半導体集積回路チップ上に前記第2の半導体集積回路チップを重ね、
該第1及び第2の各半導体集積回路チップを樹脂でモールドすることを特徴とするマルチチップ型半導体装置の製造方法。 A first semiconductor integrated circuit chip having a predetermined function mounted on a mounting substrate;
A second semiconductor integrated circuit chip in which a power supply circuit for receiving power supplied from the outside and supplying power to the first semiconductor integrated circuit chip is integrated;
In a method for manufacturing a multichip semiconductor device comprising:
Overlaying the second semiconductor integrated circuit chip on the first semiconductor integrated circuit chip;
A method of manufacturing a multi-chip type semiconductor device, wherein the first and second semiconductor integrated circuit chips are molded with resin.
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005080527A JP4808979B2 (en) | 2005-03-18 | 2005-03-18 | Multi-chip type semiconductor device and manufacturing method thereof |
| CNA2006100547983A CN1835232A (en) | 2005-03-18 | 2006-03-10 | Multi-chip semiconductor device with high withstand voltage, and a fabrication method of the same |
| KR1020060024378A KR100799149B1 (en) | 2005-03-18 | 2006-03-16 | Multi-chip semiconductor device and manufacturing method thereof |
| US11/378,670 US7399660B2 (en) | 2005-03-18 | 2006-03-17 | Multi-chip semiconductor device with high withstand voltage, and a fabrication method of the same |
| US12/133,715 US7538439B2 (en) | 2005-03-18 | 2008-06-05 | Multi-chip semiconductor device with high withstand voltage, and a fabrication method of the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005080527A JP4808979B2 (en) | 2005-03-18 | 2005-03-18 | Multi-chip type semiconductor device and manufacturing method thereof |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2006261603A true JP2006261603A (en) | 2006-09-28 |
| JP4808979B2 JP4808979B2 (en) | 2011-11-02 |
Family
ID=37002915
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005080527A Expired - Fee Related JP4808979B2 (en) | 2005-03-18 | 2005-03-18 | Multi-chip type semiconductor device and manufacturing method thereof |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US7399660B2 (en) |
| JP (1) | JP4808979B2 (en) |
| KR (1) | KR100799149B1 (en) |
| CN (1) | CN1835232A (en) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009128400A (en) * | 2007-11-20 | 2009-06-11 | Sanyo Electric Co Ltd | Multi-chip package semiconductor device |
| JP2010073951A (en) * | 2008-09-19 | 2010-04-02 | Renesas Technology Corp | Semiconductor device |
| JP2011503832A (en) * | 2006-12-14 | 2011-01-27 | インテル・コーポレーション | Ceramic package substrate with recessed device |
| KR101094901B1 (en) | 2007-10-04 | 2011-12-15 | 주식회사 하이닉스반도체 | Semiconductor device comprising pad structure having reduced area |
| JP2012256862A (en) * | 2011-04-28 | 2012-12-27 | Internatl Rectifier Corp | Integrated electric power stage |
| JP2014154639A (en) * | 2013-02-06 | 2014-08-25 | Denso Corp | Semiconductor device |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4808979B2 (en) * | 2005-03-18 | 2011-11-02 | 株式会社リコー | Multi-chip type semiconductor device and manufacturing method thereof |
| KR100939153B1 (en) * | 2007-12-11 | 2010-01-28 | 주식회사 하이닉스반도체 | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
| US8040645B2 (en) * | 2008-08-12 | 2011-10-18 | Qualcomm Incorporated | System and method for excess voltage protection in a multi-die package |
| US8897470B2 (en) | 2009-07-31 | 2014-11-25 | Macronix International Co., Ltd. | Method of fabricating integrated semiconductor device with MOS, NPN BJT, LDMOS, pre-amplifier and MEMS unit |
| US9214415B2 (en) | 2013-04-11 | 2015-12-15 | Texas Instruments Incorporated | Integrating multi-output power converters having vertically stacked semiconductor chips |
| JP2018133503A (en) * | 2017-02-16 | 2018-08-23 | 東芝メモリ株式会社 | Semiconductor storage device |
| US10580762B1 (en) * | 2018-10-25 | 2020-03-03 | Infineon Technologies Ag | Integrated circuit (IC) chip arrangement |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6159762A (en) * | 1984-08-30 | 1986-03-27 | Fujitsu Ltd | Semiconductor device |
| JPH0637250A (en) * | 1992-05-22 | 1994-02-10 | Natl Semiconductor Corp <Ns> | Stacked multi-chip module and manufacturing method |
| JPH06112401A (en) * | 1992-09-25 | 1994-04-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Multi-chip mounting circuit |
| JPH113969A (en) * | 1997-06-13 | 1999-01-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Substrate components with stacked chip components |
| JP2001015680A (en) * | 1999-04-28 | 2001-01-19 | Sharp Corp | Semiconductor integrated circuit device |
| JP2001185676A (en) * | 1999-12-24 | 2001-07-06 | Sharp Corp | Semiconductor device |
| JP2002353325A (en) * | 2001-05-25 | 2002-12-06 | Mitsubishi Electric Corp | Semiconductor device |
| JP2003123472A (en) * | 2001-08-09 | 2003-04-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Semiconductor device |
| JP2004048060A (en) * | 2003-09-29 | 2004-02-12 | Oki Electric Ind Co Ltd | Semiconductor device |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63175906A (en) | 1987-01-16 | 1988-07-20 | Nec Corp | Multichip hybrid ic with power source monitoring circuit |
| JPH05326832A (en) * | 1992-05-25 | 1993-12-10 | Sharp Corp | Dc voltage stabilizing element |
| KR100264550B1 (en) * | 1995-11-21 | 2000-10-02 | 정몽규 | Abnormal state detection system and method thereof for power input terminal and voltage regulator of memory |
| CN100370612C (en) * | 1998-12-02 | 2008-02-20 | 株式会社日立制作所 | Semiconductor device |
| JP3592130B2 (en) | 1999-04-19 | 2004-11-24 | 富士通株式会社 | Electronic circuit |
| KR20010064907A (en) * | 1999-12-20 | 2001-07-11 | 마이클 디. 오브라이언 | wire bonding method and semiconductor package using it |
| JP2004103703A (en) | 2002-09-06 | 2004-04-02 | Ricoh Co Ltd | Semiconductor device and signal processing system using different levels of semiconductor device |
| KR100664796B1 (en) * | 2002-12-30 | 2007-01-04 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | Side braze package |
| JP2005039134A (en) | 2003-07-18 | 2005-02-10 | Nec Electronics Corp | Semiconductor integrated circuit device |
| JP4808979B2 (en) * | 2005-03-18 | 2011-11-02 | 株式会社リコー | Multi-chip type semiconductor device and manufacturing method thereof |
-
2005
- 2005-03-18 JP JP2005080527A patent/JP4808979B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-03-10 CN CNA2006100547983A patent/CN1835232A/en active Pending
- 2006-03-16 KR KR1020060024378A patent/KR100799149B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-03-17 US US11/378,670 patent/US7399660B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-06-05 US US12/133,715 patent/US7538439B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6159762A (en) * | 1984-08-30 | 1986-03-27 | Fujitsu Ltd | Semiconductor device |
| JPH0637250A (en) * | 1992-05-22 | 1994-02-10 | Natl Semiconductor Corp <Ns> | Stacked multi-chip module and manufacturing method |
| JPH06112401A (en) * | 1992-09-25 | 1994-04-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Multi-chip mounting circuit |
| JPH113969A (en) * | 1997-06-13 | 1999-01-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Substrate components with stacked chip components |
| JP2001015680A (en) * | 1999-04-28 | 2001-01-19 | Sharp Corp | Semiconductor integrated circuit device |
| JP2001185676A (en) * | 1999-12-24 | 2001-07-06 | Sharp Corp | Semiconductor device |
| JP2002353325A (en) * | 2001-05-25 | 2002-12-06 | Mitsubishi Electric Corp | Semiconductor device |
| JP2003123472A (en) * | 2001-08-09 | 2003-04-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Semiconductor device |
| JP2004048060A (en) * | 2003-09-29 | 2004-02-12 | Oki Electric Ind Co Ltd | Semiconductor device |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011503832A (en) * | 2006-12-14 | 2011-01-27 | インテル・コーポレーション | Ceramic package substrate with recessed device |
| KR101094901B1 (en) | 2007-10-04 | 2011-12-15 | 주식회사 하이닉스반도체 | Semiconductor device comprising pad structure having reduced area |
| JP2009128400A (en) * | 2007-11-20 | 2009-06-11 | Sanyo Electric Co Ltd | Multi-chip package semiconductor device |
| JP2010073951A (en) * | 2008-09-19 | 2010-04-02 | Renesas Technology Corp | Semiconductor device |
| JP2012256862A (en) * | 2011-04-28 | 2012-12-27 | Internatl Rectifier Corp | Integrated electric power stage |
| JP2014154639A (en) * | 2013-02-06 | 2014-08-25 | Denso Corp | Semiconductor device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20060101317A (en) | 2006-09-22 |
| KR100799149B1 (en) | 2008-01-29 |
| US7538439B2 (en) | 2009-05-26 |
| CN1835232A (en) | 2006-09-20 |
| US7399660B2 (en) | 2008-07-15 |
| JP4808979B2 (en) | 2011-11-02 |
| US20080246534A1 (en) | 2008-10-09 |
| US20060220618A1 (en) | 2006-10-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7538439B2 (en) | Multi-chip semiconductor device with high withstand voltage, and a fabrication method of the same | |
| US5694297A (en) | Integrated circuit mounting structure including a switching power supply | |
| US9406648B2 (en) | Power supply arrangement for semiconductor device | |
| US20180190635A1 (en) | Electronic device package | |
| JP5781624B2 (en) | Semiconductor device having stack power converter | |
| US20140070390A1 (en) | Multi-chip packaging structure and method | |
| JP2011513952A (en) | Micromodule including integrated thin film inductor and method of manufacturing the same | |
| US10582617B2 (en) | Method of fabricating a circuit module | |
| US9054088B2 (en) | Multi-component chip packaging structure | |
| EP3937225A1 (en) | Semiconductor device | |
| US20150249068A1 (en) | Chip package structure | |
| US20060238927A1 (en) | Active primary-sided circuit arrangement for a switch-mode power supply | |
| EP1294023B1 (en) | Semiconductor integrated circuit modules, manufacturing methods and usage thereof | |
| JP2008053319A (en) | Semiconductor device | |
| US20080211110A1 (en) | Semiconductor apparatus and mobile apparatus | |
| JP2012009717A (en) | Semiconductor chip and semiconductor module mounting it | |
| US11605959B2 (en) | Battery control system-in-package and method of fabricating the same | |
| US20250140621A1 (en) | Stacked Power Converter Assembly | |
| US20210257283A1 (en) | Notebook battery protection circuit package and method of fabricating the same | |
| CN112684858B (en) | Electronic system and processor substrate with embedded power device module | |
| CN113749295A (en) | Electronic cigarette control circuit module package | |
| CN219958250U (en) | Packaged chip and USB flash disk | |
| JP3165911U (en) | DC / DC converter | |
| US20090211797A1 (en) | Semiconductor package | |
| JP2002076176A (en) | Ball grid array package |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071127 |
|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20080131 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091005 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100126 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100323 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101124 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110111 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110301 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110419 |
|
| RD13 | Notification of appointment of power of sub attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7433 Effective date: 20110511 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20110512 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110614 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110726 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110816 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110818 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140826 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |