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JP2006129304A - Piezoelectric vibrator and piezoelectric oscillator - Google Patents

Piezoelectric vibrator and piezoelectric oscillator Download PDF

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JP2006129304A
JP2006129304A JP2004317210A JP2004317210A JP2006129304A JP 2006129304 A JP2006129304 A JP 2006129304A JP 2004317210 A JP2004317210 A JP 2004317210A JP 2004317210 A JP2004317210 A JP 2004317210A JP 2006129304 A JP2006129304 A JP 2006129304A
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JP
Japan
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electrode pad
piezoelectric
connection electrode
container body
element connection
Prior art date
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Pending
Application number
JP2004317210A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Manabu Matsumoto
学 松本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Crystal Device Corp
Original Assignee
Kyocera Crystal Device Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Crystal Device Corp filed Critical Kyocera Crystal Device Corp
Priority to JP2004317210A priority Critical patent/JP2006129304A/en
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  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

【課題】従来の圧電振動子及び圧電発振器では、外形寸法の異なる圧電振動素子を使用する場合、その外形寸法に合わせた素子接続用電極パッドを形成したパッケージを設計使用している為、外形寸法が異なる圧電振動素子を使用する毎に、それの搭載に合わせた素子接続用電極パッドを形成したパッケージの設計をし直す必要があり、生産性が下がり又コストが係る課題がある。
【解決手段】本発明における圧電振動子及び圧電発振器は、各々の素子接続用電極パッドは、凹部空間底面の一方の短辺近傍に一方の短辺が配設されており、又この素子接続用電極パッドの長手方向の寸法は該凹部空間の長手方向寸法の30%以上の寸法で形成されており、更に各々の素子接続用電極パッドは容器体の短辺側の中心線に対し線対称となる位置に形成されている。
【選択図】 図1
In a conventional piezoelectric vibrator and piezoelectric oscillator, when a piezoelectric vibration element having a different external dimension is used, a package in which an electrode pad for element connection corresponding to the external dimension is used is designed and used. Each time a different piezoelectric vibration element is used, it is necessary to redesign the package in which the element connection electrode pad is formed in accordance with the mounting of the piezoelectric vibration element, resulting in a decrease in productivity and cost.
In the piezoelectric vibrator and the piezoelectric oscillator according to the present invention, each element connecting electrode pad has one short side disposed in the vicinity of one short side of the bottom surface of the recess space, and the element connecting electrode pad. The longitudinal dimension of the electrode pad is 30% or more of the longitudinal dimension of the concave space, and each element connecting electrode pad is symmetrical with respect to the center line on the short side of the container body. It is formed in the position.
[Selection] Figure 1

Description

本発明は、圧電振動素子を内部に搭載してなる圧電振動子及び圧電発振器に関する。   The present invention relates to a piezoelectric vibrator and a piezoelectric oscillator in which a piezoelectric vibration element is mounted.

従来より、携帯用通信機器等の電子機器には各種電子部品が使用されており、そのうち基準信号発生源等とする圧電振動子及び圧電発振器は、素子である圧電振動素子を容器内部に気密封止した形態の電子部品として用いられている。   Conventionally, various electronic parts have been used in electronic devices such as portable communication devices. Among them, piezoelectric vibrators and piezoelectric oscillators that serve as reference signal generation sources, etc., are airtightly sealed inside the container. It is used as a stopped electronic component.

かかる従来の圧電振動子の構造を説明する。図4には表面実装形態の圧電振動子を示した。即ち、矩形状の平板絶縁層31aと枠状絶縁層31bとを積層して、且つ枠状絶縁層31bの積層面と反対側の枠形状の主面上(以下容器側壁頂部という)には金属層35が形成して容器体31を構成している。枠状絶縁層31bと平板絶縁層31aとで囲われた容器体内部空間32に露出している平板絶縁層31aの主面上には、圧電振動素子34に形成した励振用電極膜38より引き出した容器接続用電極膜の形状寸法に合わせた矩形状の素子接続用電極パッド33が形成されており、この素子接続用電極パッド33に、導電性接着剤を介して電気的に接続する一対の容器接続用電極を有する圧電振動素子34を固着導通させる。   The structure of such a conventional piezoelectric vibrator will be described. FIG. 4 shows a surface mount type piezoelectric vibrator. That is, a rectangular flat plate insulating layer 31a and a frame-shaped insulating layer 31b are stacked, and a metal is formed on a frame-shaped main surface opposite to the stacked surface of the frame-shaped insulating layer 31b (hereinafter referred to as a container side wall top). The layer 35 is formed to constitute the container body 31. The main surface of the flat insulating layer 31a exposed in the container internal space 32 surrounded by the frame insulating layer 31b and the flat insulating layer 31a is drawn out from the excitation electrode film 38 formed in the piezoelectric vibration element 34. A rectangular element connecting electrode pad 33 is formed in accordance with the shape and dimension of the container connecting electrode film, and a pair of electrodes electrically connected to the element connecting electrode pad 33 via a conductive adhesive. The piezoelectric vibration element 34 having the container connecting electrode is fixedly conducted.

圧電振動素子34を容器内部空間32内に搭載した容器体31の容器側壁頂部に形成してある金属層35の上に、容器内部空間32の開口部を覆うように、容器側の主面全面に金属ろう材をクラッド化した金属蓋体36を配置して、この蓋体36と金属層35をシーム溶接などで接合することにより容器内部空間32を気密封止したパッケージ構造の圧電振動子30が知られている。(例えば、特許文献1を参照。)   The entire main surface on the container side covers the metal layer 35 formed on the top of the container side wall of the container body 31 in which the piezoelectric vibration element 34 is mounted in the container internal space 32 so as to cover the opening of the container internal space 32. A package having a package structure in which a container inner space 32 is hermetically sealed by disposing a metal lid 36 clad with a metal brazing material and joining the lid 36 and the metal layer 35 by seam welding or the like. It has been known. (For example, see Patent Document 1.)

このような圧電振動子30は容器体31の下面に設けられている外部接続用電極パッド37を介して圧電振動素子34に形成してある励振用電極膜38に外部からの変動電圧が印可されると、圧電振動素子34の特性に応じた所定の周波数で厚みすべり振動を起こすようになっており、その共振周波数に基づいて外部の発振回路で所定周波数の基準信号が発振出力される。このような基準信号は、例えば携帯用通信機器等の電子機器におけるクロック信号として利用されることとなる。   In such a piezoelectric vibrator 30, a fluctuation voltage from the outside is applied to the excitation electrode film 38 formed on the piezoelectric vibration element 34 via the external connection electrode pad 37 provided on the lower surface of the container body 31. Then, thickness shear vibration is caused at a predetermined frequency according to the characteristics of the piezoelectric vibration element 34, and a reference signal having a predetermined frequency is oscillated and output by an external oscillation circuit based on the resonance frequency. Such a reference signal is used as a clock signal in an electronic device such as a portable communication device.

又、従来の圧電発振器としては容器体の内部に圧電振動素子と発振回路を内蔵した集積回路素子とを搭載するとともに、容器体の開口部を金属製の蓋体によって気密封止した構造のものが知られている。このとき圧電振動素子は、その主面に形成した励振用電極膜より引き出した容器接続用電極膜の形状寸法に合わせた矩形状の素子接続用電極パッドが形成されており、圧電振動素子をこの素子接続用電極パッドに導電性接着剤を介して電気的に接続し且つ集積回路素子とも電気的に接続することにより圧電発振器を構成している。   As a conventional piezoelectric oscillator, a piezoelectric vibration element and an integrated circuit element incorporating an oscillation circuit are mounted inside a container body, and the opening of the container body is hermetically sealed with a metal lid. It has been known. At this time, the piezoelectric vibration element is formed with a rectangular element connection electrode pad that matches the shape and dimension of the container connection electrode film drawn from the excitation electrode film formed on the main surface of the piezoelectric vibration element. A piezoelectric oscillator is configured by being electrically connected to the element connecting electrode pad via a conductive adhesive and also electrically connected to the integrated circuit element.

尚、このような圧電振動子及び圧電発振器については、以下のような先行技術文献が公知となっている。   For such piezoelectric vibrators and piezoelectric oscillators, the following prior art documents are known.

特開2001−274649号公報JP 2001-274649 A 特開平07−297666号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 07-297666

なお、出願人は前記した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を、本件出願時までに発見するに至らなかった。   The applicant has not found any prior art documents related to the present invention other than the prior art documents specified by the prior art document information described above by the time of filing of the present application.

しかしながら、従来の圧電振動子及び圧電発振器では、外形寸法の異なる圧電振動素子を使用する場合、その外形寸法に合わせた素子接続用電極パッドを形成したパッケージを設計使用している為、外形寸法が異なる圧電振動素子を使用する毎に、それの搭載に合わせた素子接続用電極パッドを形成した容器体の設計をし直す必要があり、生産性が下がり又コストが係るという欠点があった。   However, in the conventional piezoelectric vibrator and piezoelectric oscillator, when using piezoelectric vibration elements having different outer dimensions, the package having the electrode pads for element connection that match the outer dimensions is designed and used. Each time a different piezoelectric vibration element is used, it is necessary to redesign the container body in which the element connection electrode pad is formed in accordance with the mounting of the piezoelectric vibration element, resulting in a decrease in productivity and cost.

本発明は上記欠点に鑑み案出されたもので、その目的は、取り扱いが簡便で、生産性に優れた圧電振動子を提供することにある。   The present invention has been devised in view of the above drawbacks, and an object thereof is to provide a piezoelectric vibrator that is easy to handle and excellent in productivity.

上記課題を解決するために本発明の圧電振動子は、矩形状の容器体に形成された一方の主面に開口する凹部空間内には、一対の素子接続用電極パッドが形成されており、この素子接続用電極パッドの上に圧電振動素子を配置固着し、且つ圧電振動素子の表裏主面に形成された励振用電極膜と素子接続用電極パッドとの間を電気的に接続されている圧電振動子において、
各々の素子接続用電極パッドは、凹部空間底面の一方の短辺近傍に一方の短辺が配設されており、又この素子接続用電極パッドの長手方向の寸法は該凹部空間の長手方向寸法の30%以上の寸法で形成されており、更に各々の素子接続用電極パッドは容器体の短辺側の中心線に対し線対称となる位置に形成されていることを特徴としている。
In order to solve the above problems, the piezoelectric vibrator of the present invention has a pair of element connection electrode pads formed in a recessed space opened in one main surface formed in a rectangular container body, The piezoelectric vibration element is disposed and fixed on the element connection electrode pad, and the excitation electrode film formed on the front and back main surfaces of the piezoelectric vibration element and the element connection electrode pad are electrically connected. In the piezoelectric vibrator,
Each element connection electrode pad has one short side disposed in the vicinity of one short side of the bottom surface of the recessed space, and the longitudinal dimension of the element connecting electrode pad is the longitudinal dimension of the recessed space. Further, each element connection electrode pad is formed at a position which is line-symmetric with respect to the center line on the short side of the container body.

又、前記圧電振動子において、素子接続用電極パッドの形状が、各々の素子接続用電極パッドの容器体長辺側の二辺が容器体の短辺側中心線に向かって所望のテーパ角度を形成する、凹部空間底面の一方の短辺近傍に形成した辺が長辺である台形形状であることを特徴とする請求項1記載の圧電振動子でもある。   Further, in the piezoelectric vibrator, the shape of the element connection electrode pad is such that the two long sides of each element connection electrode pad form a desired taper angle toward the short side center line of the container body. The piezoelectric vibrator according to claim 1, wherein the piezoelectric vibrator has a trapezoidal shape in which a side formed in the vicinity of one short side of the bottom surface of the concave space is a long side.

更に、矩形状の容器体に形成された一方の主面に開口する第一の凹部空間内に第2の凹部空間が段差部を介して形成されており、この段差部に一対の素子接続用電極パッドが形成されており、第2の凹部空間内に発振回路を内蔵した集積回路素子が搭載されており、素子接続用電極パッドの上に圧電振動素子を配置固着し、且つ圧電振動素子の表裏主面に形成された励振用電極膜と素子接続用電極パッドと集積回路素子の間を電気的に接続し構成されている圧電発振器において、
各々の素子接続用電極パッドの一方の短辺は、段差部と容器体の一方の短辺内側面とが交わる近傍に配設されており、又素子接続用電極パッドの長手方向の寸法は第一の凹部空間の長手方向寸法の30%以上の寸法で形成されており、更に各々の素子接続用電極パッドは容器体の短辺側の中心線に対し線対称となる位置に形成されていることを特徴としている。
Further, a second recess space is formed in the first recess space opened on one main surface formed in the rectangular container body via a step portion, and a pair of element connection is formed on the step portion. An electrode pad is formed, and an integrated circuit element including an oscillation circuit is mounted in the second recess space. The piezoelectric vibration element is disposed and fixed on the element connection electrode pad. In the piezoelectric oscillator configured by electrically connecting the excitation electrode film formed on the front and back main surfaces, the element connection electrode pad, and the integrated circuit element,
One short side of each element connection electrode pad is disposed in the vicinity where the stepped portion and one short side inner surface of the container body intersect, and the length in the longitudinal direction of the element connection electrode pad is the first dimension. It is formed with a dimension of 30% or more of the longitudinal dimension of one recess space, and each element connecting electrode pad is formed at a position that is line symmetric with respect to the center line on the short side of the container body. It is characterized by that.

更に又、前記圧電発振器においても、素子接続用電極パッドの形状が、各々の素子接続用電極パッドの容器体長辺側の二辺が容器体の短辺側中心線に向かって所望のテーパ角度を形成する、凹部空間底面の一方の短辺近傍に形成した辺が長辺である台形形状であることを特徴としている。   Furthermore, also in the piezoelectric oscillator, the shape of the element connection electrode pad is such that the two sides on the container body long side of each element connection electrode pad have a desired taper angle toward the center line on the short side of the container body. It is characterized by a trapezoidal shape in which the side formed in the vicinity of one short side of the bottom surface of the concave space is a long side.

本発明の圧電振動子及び圧電発振器によれば、圧電振動素子を搭載する為の素子接続用電極パッドの長手方向の寸法を凹部空間底面の長辺方向寸法の30%以上の寸法で形成するより、圧電振動素子毎の長さ寸法に合った位置で配置することが出来る為、圧電振動素子の外形寸法の変更があっても、その都度パッケージの設計変更する必要がなく、圧電振動子及び圧電発振器の生産性を向上し、更に設計及び製造コストも低く抑えることが可能となる。   According to the piezoelectric vibrator and the piezoelectric oscillator of the present invention, the length in the longitudinal direction of the element connection electrode pad for mounting the piezoelectric vibration element is 30% or more of the dimension in the long side direction of the bottom surface of the recess space. Because it can be placed at a position that matches the length of each piezoelectric vibration element, there is no need to change the package design each time the external dimensions of the piezoelectric vibration element change. The productivity of the oscillator can be improved, and the design and manufacturing costs can be kept low.

また、本発明の圧電振動子及び圧電発振器の別形態によれば、圧電振動素子を搭載する為の素子接続用電極パッドの形状が台形形状に形成することにより、どの形状の圧電振動素子(特に外形寸法が小型の圧電振動素子)を使用する場合においても、圧電振動素子の主面角部を保持することが可能な為、接続強度を維持し且つ圧電振動素子の振動特性に悪影響を与えないことが可能となる。   According to another embodiment of the piezoelectric vibrator and the piezoelectric oscillator of the present invention, the shape of the element connecting electrode pad for mounting the piezoelectric vibration element is formed in a trapezoidal shape, so that any shape of the piezoelectric vibration element (particularly, Even when a piezoelectric vibration element having a small external dimension is used, the main surface corner portion of the piezoelectric vibration element can be held, so that the connection strength is maintained and the vibration characteristics of the piezoelectric vibration element are not adversely affected. It becomes possible.

因って、本発明による圧電振動子及び圧電発振器を用いることにより、信頼性が高く、且つ生産効率が良く、更にコストが低い圧電振動子及び圧電発振器を提供できる効果を奏する。   Therefore, by using the piezoelectric vibrator and the piezoelectric oscillator according to the present invention, it is possible to provide a piezoelectric vibrator and a piezoelectric oscillator with high reliability, high production efficiency, and low cost.

以下、本発明を添付図面に基づいて詳細に説明する。
図1は本発明の一実施形態に係る表面実装型の圧電振動子の分解斜視図、図2(a)は図1に図示した圧電振動子を構成する容器体の平面図であり、図2(b)は他の実施形態の容器体の平面図である。これらの図に示す圧電振動子は、内部に圧電振動素子5が収容された矩形状の容器体1である構造を有している。図3は、本発明の一実施形態に係る表面実装型の圧電発振器を構成する容器体(集積回路素子搭載)の斜視図である。尚、各図において、本説明に必ずしも必要としない部品又は構造体は図示していない。又、各図による説明を明確にするために一部部品又は構造体を誇張して図示してある。
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
1 is an exploded perspective view of a surface mount type piezoelectric vibrator according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2A is a plan view of a container body constituting the piezoelectric vibrator shown in FIG. (B) is a top view of the container body of other embodiment. The piezoelectric vibrator shown in these drawings has a structure which is a rectangular container body 1 in which a piezoelectric vibration element 5 is accommodated. FIG. 3 is a perspective view of a container body (mounted with an integrated circuit element) constituting a surface-mounted piezoelectric oscillator according to an embodiment of the present invention. In each drawing, parts or structures that are not necessarily required for this description are not shown. In addition, some parts or structures are exaggerated for the sake of clarity in the description of the drawings.

図1、図2(a)及び図2(b)に図示した圧電振動子において、前記容器体1は、例えば、ガラスーセラミック、アルミナセラミックス等のセラミック材料から成る絶縁性の基板2と、42アロイやコバール,リン青銅等の金属から成るシールリング3と、該シールリング3と同様の金属から成る蓋体4とから成り、前記基板2の上面にシールリング3を取着させ、その上面に蓋体4を載置・固定させることによって容器体1が構成されている。   In the piezoelectric vibrator shown in FIGS. 1, 2A and 2B, the container body 1 includes an insulating substrate 2 made of a ceramic material such as glass-ceramic and alumina ceramic, and 42 The seal ring 3 is made of a metal such as alloy, Kovar, phosphor bronze, and the like, and the lid 4 is made of the same metal as the seal ring 3. The seal ring 3 is attached to the upper surface of the substrate 2, and the upper surface thereof is attached. The container body 1 is configured by placing and fixing the lid body 4.

前記容器体1は、その内部、具体的には、基板2の上面とシールリング3の内面と蓋体4の下面とで囲まれる空間内に、水晶、又はタンタル酸リチウム、或いはニオブ酸リチウムなどの圧電材により形成された圧電振動素子5を収容して気密封止するためのものであり、この基板2のには、圧電振動素子5の表裏主面に形成された励振用電極膜6に電気的に接続される一対の素子接続用電極パッド7が形成されている。これらのパッドは基板2表面に形成する配線導体や基板2内部に埋設されているビアホール導体等を介して、電気的な接続が必要とする構成体同士、相互に接続されている。   The container body 1 has quartz, lithium tantalate, lithium niobate, or the like in the interior thereof, specifically, in a space surrounded by the upper surface of the substrate 2, the inner surface of the seal ring 3, and the lower surface of the lid 4. The piezoelectric vibration element 5 formed of the piezoelectric material is accommodated and hermetically sealed. The substrate 2 has an excitation electrode film 6 formed on the front and back main surfaces of the piezoelectric vibration element 5. A pair of element connection electrode pads 7 to be electrically connected is formed. These pads are connected to each other necessary for electrical connection through a wiring conductor formed on the surface of the substrate 2 or a via-hole conductor embedded in the substrate 2.

尚、前記容器体1の基板2は、ガラスーセラミック等のセラミック材料から成る場合、例えば、セラミック材料粉末に適当な有機溶剤等を添加・混合して得たセラミックグリーンシ一トの表面等に配線導体となる導体ペーストを従来周知のスクリーン印刷等によって塗布するとともに、これを複数枚積層してプレス成形した後、高温で焼成することによって製作される。   When the substrate 2 of the container body 1 is made of a ceramic material such as glass-ceramic, for example, on the surface of a ceramic green sheet obtained by adding and mixing an appropriate organic solvent to the ceramic material powder. A conductor paste to be a wiring conductor is applied by well-known screen printing or the like, and a plurality of these are laminated, press-molded, and then fired at a high temperature.

また前記容器体1のシールリング3及び蓋体4は従来周知の金属加工法を採用し、42アロイ等の金属を所定形状に成形することによって製作され、得られたシールリング3を基板2の上面に予め被着させておいた導体層にロウ付けし、続いて圧電振動素子5を導電性接着剤を用いて基板2の上面に形成された素子接続用電極パッド7に実装・固定した後、上述の蓋体4を従来周知のシーム溶接等によってシールリング3の上面に接合することによって圧電振動子が組み立てられる。このようにシールリング3と蓋体4とをシーム溶接によって接合する場合、シールリング3や蓋体4の表面には予めNiメッキ層やAuメッキ層等が被着される。   The seal ring 3 and the lid body 4 of the container body 1 are manufactured by forming a metal such as 42 alloy into a predetermined shape by using a conventionally known metal processing method, and the obtained seal ring 3 is attached to the substrate 2. After brazing on a conductor layer previously deposited on the upper surface, and subsequently mounting and fixing the piezoelectric vibration element 5 to the element connection electrode pad 7 formed on the upper surface of the substrate 2 using a conductive adhesive. The piezoelectric vibrator is assembled by joining the above-described lid body 4 to the upper surface of the seal ring 3 by a conventionally known seam welding or the like. In this way, when the seal ring 3 and the lid body 4 are joined by seam welding, a Ni plating layer, an Au plating layer, or the like is previously deposited on the surfaces of the seal ring 3 and the lid body 4.

一方、前記容器体1の内部に収容される圧電振動素子5は、例えば水晶を用いた場合では、所定の結晶軸でカットした水晶片の両主面に一対の励振用電極膜6を被着・形成してなり、外部からの変動電圧が一対の励振用電極膜6を介して水晶片に印加されると、所定の周波数で励振振動を起こす。   On the other hand, the piezoelectric vibration element 5 accommodated in the container body 1 is formed of a pair of excitation electrode films 6 on both main surfaces of a crystal piece cut along a predetermined crystal axis when, for example, crystal is used. When formed, and when a fluctuation voltage from the outside is applied to the crystal piece via the pair of excitation electrode films 6, excitation vibration occurs at a predetermined frequency.

この圧電振動素子5は、一対の励振用電極膜6を導電性接着剤を介して基板2の上面に形成した素子接続用電極パッド7に電気的に接続させることによって基板2に搭載され、これによって圧電振動素子5と容器体1との電気的接続及び機械的接続が同時になされる。   The piezoelectric vibration element 5 is mounted on the substrate 2 by electrically connecting a pair of excitation electrode films 6 to an element connection electrode pad 7 formed on the upper surface of the substrate 2 through a conductive adhesive. Thus, electrical connection and mechanical connection between the piezoelectric vibration element 5 and the container body 1 are simultaneously made.

この素子接続用電極パッド7は、基板2の上面及びシールリング3により形成された凹部空間内に露出している基板2の上面(凹部空間の底面と同意であり、以下凹部空間の底面という)の一方の短辺近傍に一方の短辺7aが配設されており、又この素子接続用電極パッド7の長辺7c及び7dの寸法は該凹部空間の長手方向寸法の30%以上の寸法で形成されており、更に各々の素子接続用電極パッド7は基板2の短辺側の中心線Aに対し線対称となる位置に形成されている。これにより外形形状寸法の異なる圧電振動素子5を凹部空間内に配置し固着することが出来る為、使用する圧電振動素子毎に容器体1を変更する必要がなく、圧電振動子の生産性を向上させることが可能となる。(図2(b))   The element connection electrode pad 7 is exposed to the upper surface of the substrate 2 and the recessed space formed by the seal ring 3 (which is the same as the bottom surface of the recessed space, hereinafter referred to as the bottom surface of the recessed space). One short side 7a is disposed in the vicinity of one short side, and the dimensions of the long sides 7c and 7d of the element connection electrode pad 7 are 30% or more of the longitudinal dimension of the recess space. Further, each element connection electrode pad 7 is formed at a position which is symmetrical with respect to the center line A on the short side of the substrate 2. As a result, the piezoelectric vibration elements 5 having different outer shape dimensions can be arranged and fixed in the recess space, so that it is not necessary to change the container body 1 for each piezoelectric vibration element to be used, and the productivity of the piezoelectric vibrator is improved. It becomes possible to make it. (Fig. 2 (b))

また、図2(a)のように各々の素子接続用電極パッド7の形状を、各々の素子接続用電極パッドの基板長辺側の辺7cが基板2の短辺側中心線Aに向かって所望のテーパ角度を以て形成し、凹部空間底面の一方の短辺近傍に形成した素子接続用電極パッド7の辺7aが、対向する素子接続用電極パッド7の辺7bより長い寸法である台形形状で形成することにより、どの外形形状の圧電振動素子5を使用しても、圧電振動素子5の主面角部を保持をすることが可能な為、接続強度を維持及び圧電振動素子5の振動特性に悪影響を与えないすることが可能となる。   Further, as shown in FIG. 2A, the shape of each element connection electrode pad 7 is such that the side 7c on the long side of each element connection electrode pad is directed toward the center line A on the short side of the substrate 2. The trapezoidal shape is formed with a desired taper angle, and the side 7a of the element connection electrode pad 7 formed in the vicinity of one short side of the bottom surface of the recess space is longer than the side 7b of the opposing element connection electrode pad 7. By forming the piezoelectric vibration element 5 in any outer shape, the corner portion of the main surface of the piezoelectric vibration element 5 can be held, so that the connection strength is maintained and the vibration characteristics of the piezoelectric vibration element 5 are maintained. It is possible not to adversely affect

ここで容器体1の蓋体4を、容器体1の配線導体を介して容器体1下面に配される外部接続用端子9のうちのGND用端子に接続させておけば、その使用時、蓋体4がアースされることによりシールド機能が付与されることとなるため、圧電振動素子5を外部からの不要な電気的作用より良好に保護することができる。従って、容器体1の蓋体4は容器体1の配線導体を介してグランド端子用の外部端子9に接続させておくことが好ましい。   Here, if the lid body 4 of the container body 1 is connected to the GND terminal of the external connection terminals 9 arranged on the lower surface of the container body 1 via the wiring conductor of the container body 1, Since the shield function is imparted by grounding the lid 4, the piezoelectric vibration element 5 can be better protected than an unnecessary electrical action from the outside. Therefore, the lid 4 of the container body 1 is preferably connected to the external terminal 9 for the ground terminal via the wiring conductor of the container body 1.

また前記容器体1の下面には、4つの外部端子9が設けられており、これらの外部端子10は、表面実装型水晶発振器をマザーボード(図示せず)等の外部電気回路に搭載する際、半田付け等によって外部電気回路の回路配線と電気的に接続されることとなる。   Further, four external terminals 9 are provided on the lower surface of the container body 1, and these external terminals 10 are used when a surface-mounted crystal oscillator is mounted on an external electric circuit such as a mother board (not shown). It is electrically connected to the circuit wiring of the external electric circuit by soldering or the like.

上述した実施例の形態においては、容器体1の蓋体4をシールリング3を介して基板2に接合させるようにしたが、これに代えて、基板2の上面に接合用のメタライズパターンを形成しておき、このメタライズパターンに対して蓋体4をダイレクトに溶接するようにしても構わない。また上述した実施形態においては、容器体1の基板上面に直接シールリング3を取着させるようにしたが、これに代えて、基板2の上面に基板2と同材質のセラミック材料等から成る枠体を一体的に取着させた上、該枠体の上面にシールリング3を取着させるようにしても構わない。更に、シールリング3を使用せず、代わりに金錫ろう材を使用しても構わない。   In the embodiment described above, the lid 4 of the container body 1 is bonded to the substrate 2 via the seal ring 3. Instead, a metallized pattern for bonding is formed on the upper surface of the substrate 2. In addition, the lid 4 may be directly welded to the metallized pattern. In the embodiment described above, the seal ring 3 is directly attached to the upper surface of the substrate of the container body 1. Instead of this, a frame made of a ceramic material or the like made of the same material as the substrate 2 is provided on the upper surface of the substrate 2. After the body is attached integrally, the seal ring 3 may be attached to the upper surface of the frame. Furthermore, a gold-tin brazing material may be used instead of the seal ring 3.

尚、本実施例では容器体1に形成した凹部空間内に圧電振動素子5を搭載した形態の圧電振動子を開示したが、本発明の要旨は圧電振動子に限定されるものではなく、例えば図3に図示したような、圧電振動素子が搭載される容器体の凹部空間内に別の空間を形成、又は凹部空間とは別の空間を容器体に形成し、その別空間内に発振回路を形成した集積回路素子8や発振回路を構成する電子素子を搭載して、圧電振動素子,集積回路素子又は電子素子及び外部接続用端子とを導体配線やビアホール等で電気的に接続して構成される圧電発振器においても、本発明において生じる作用効果と同じ作用効果を奏することができる。更に、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能で、例えば平板状の絶縁基板の上面に圧電振動素板を搭載し、その上から所謂ハット(周囲に鍔がある帽子)型の金属製蓋体を被せて圧電振動素子を気密封止する形態の圧電振動子においても、本発明実施による作用効果は同様に奏する。   In the present embodiment, a piezoelectric vibrator in which the piezoelectric vibration element 5 is mounted in the recessed space formed in the container body 1 is disclosed. However, the gist of the present invention is not limited to the piezoelectric vibrator. As shown in FIG. 3, another space is formed in the recessed space of the container body on which the piezoelectric vibration element is mounted, or a space different from the recessed space is formed in the container body, and the oscillation circuit is formed in the other space. Built-in integrated circuit element 8 and an electronic element constituting an oscillation circuit are mounted, and a piezoelectric vibration element, an integrated circuit element or an electronic element and an external connection terminal are electrically connected by a conductor wiring or a via hole. Also in the piezoelectric oscillator, the same operation effect as the operation effect produced in the present invention can be achieved. Furthermore, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications and improvements can be made without departing from the scope of the present invention. For example, a piezoelectric vibration element plate is provided on the upper surface of a flat insulating substrate. The effect of the present invention is also the same in a piezoelectric vibrator which is mounted and covered with a so-called hat (hat with hat) so that the piezoelectric vibration element is hermetically sealed. Play.

図1は、本発明における圧電振動子を示した分解斜視図である。FIG. 1 is an exploded perspective view showing a piezoelectric vibrator according to the present invention. 図2(a)は、図1に図示した圧電振動子を構成する容器体の平面図であり、図2(b)は、本発明における圧電振動子を構成する他の形態の容器体の平面図である。2A is a plan view of a container body constituting the piezoelectric vibrator shown in FIG. 1, and FIG. 2B is a plan view of another form of container body constituting the piezoelectric vibrator of the present invention. FIG. 図3は、本発明における圧電発振器を構成する容器体の一形態を図示した斜視図である。FIG. 3 is a perspective view illustrating an embodiment of a container body constituting the piezoelectric oscillator according to the present invention. 図4は、従来の圧電振動子を示した分解斜視図である。FIG. 4 is an exploded perspective view showing a conventional piezoelectric vibrator.

符号の説明Explanation of symbols

1・・・容器体
4・・・蓋体
5・・・圧電振動素子
6・・・励振用電極膜
7・・・素子接続用電極パッド
8・・・集積回路素子
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Container body 4 ... Cover body 5 ... Piezoelectric vibration element 6 ... Electrode film for excitation 7 ... Electrode pad for element connection 8 ... Integrated circuit element

Claims (3)

矩形状の容器体に形成された一方の主面に開口する凹部空間内には、一対の素子接続用電極パッドが形成されており、該素子接続用電極パッドの上に圧電振動素子を配置固着し、且つ該圧電振動素子の表裏主面に形成された励振用電極膜と該素子接続用電極パッドとの間を電気的に接続されている圧電振動子において、
各々の該素子接続用電極パッドは、該凹部空間底面の一方の短辺近傍に一方の短辺が配設されており、又該素子接続用電極パッドの長手方向の寸法は該凹部空間の長手方向寸法の30%以上の寸法で形成されており、更に各々の該素子接続用電極パッドは該容器体の短辺側の中心線に対し線対称となる位置に形成されていることを特徴とする圧電振動子。
A pair of element connection electrode pads are formed in a recessed space opened in one main surface of the rectangular container body, and a piezoelectric vibration element is disposed and fixed on the element connection electrode pads. In addition, in the piezoelectric vibrator that is electrically connected between the excitation electrode film formed on the front and back main surfaces of the piezoelectric vibration element and the element connection electrode pad,
Each of the element connection electrode pads has one short side disposed in the vicinity of one short side of the bottom surface of the recess space, and the longitudinal dimension of the element connection electrode pad is the length of the recess space. The electrode pad for element connection is formed at a position that is line-symmetric with respect to the center line on the short side of the container body. Piezoelectric vibrator.
矩形状の容器体に形成された一方の主面に開口する第一の凹部空間内に第2の凹部空間が段差部を介して形成されており、該段差部に一対の素子接続用電極パッドが形成されており、該第2の凹部空間内に発振回路を内蔵した集積回路素子が搭載されており、該素子接続用電極パッドの上に圧電振動素子を配置固着し、且つ該圧電振動素子の表裏主面に形成された励振用電極膜と該素子接続用電極パッドと該集積回路素子の間を電気的に接続し構成されている圧電発振器において、
各々の該素子接続用電極パッドは、該段差部と該容器体の一方の短辺内側面とが交わる近傍に一方の短辺が配設されており、又該素子接続用電極パッドの長手方向の寸法は該第一の凹部空間の長手方向寸法の30%以上の寸法で形成されており、更に各々の該素子接続用電極パッドは該容器体の短辺側の中心線に対し線対称となる位置に形成されていることを特徴とする圧電発振器。
A second recess space is formed in the first recess space opened in one main surface of the rectangular container body via a stepped portion, and a pair of element connecting electrode pads is formed in the stepped portion. Is formed, and an integrated circuit element having an oscillation circuit is mounted in the second recess space, and a piezoelectric vibration element is disposed and fixed on the element connection electrode pad, and the piezoelectric vibration element In the piezoelectric oscillator configured to be electrically connected between the excitation electrode film formed on the front and back main surfaces of the electrode, the element connection electrode pad, and the integrated circuit element,
Each of the element connection electrode pads has one short side disposed in the vicinity of the stepped portion and one short side inner surface of the container body, and the longitudinal direction of the element connection electrode pad Are formed so as to be 30% or more of the longitudinal dimension of the first recess space, and each element connection electrode pad is symmetrical with respect to the center line on the short side of the container body. A piezoelectric oscillator characterized by being formed at a position.
該素子接続用電極パッドの形状が、各々の該素子接続用電極パッドの該容器体長辺側の二辺が該中心線に向かって所望のテーパ角度を形成する台形形状であることを特徴とする請求項1記載又は請求項2記載の圧電振動子又は圧電発振器。   The element connection electrode pad has a trapezoidal shape in which two sides on the long side of the container body of each element connection electrode pad form a desired taper angle toward the center line. The piezoelectric vibrator or the piezoelectric oscillator according to claim 1 or 2.
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