JP2006108193A - ピックアップ装置及びピックアップ方法 - Google Patents

Abstract

【課題】チップ部品の微細化に伴い搬送処理数が増加したため、処理時間を短縮して高速化が求められるようになった。このため、不要な処理や、無駄な動作を排除して高速化に対応したピックアップ装置を提供する。
【解決手段】外周縁部に吸着ヘッド１７が設けられ、垂直方向に揺動して、チップ部品集合体５からチップ部品６をピックアップすると共に、間欠回転しチップ部品６を反転させる回転面板１４を有するピックアップ反転機構２と、チップ部品６の良否を判定する検査装置３と、ピックアップしたチップ部品６を次工程に搬送する搬送手段４とを具備してなり、検査装置３の良否判定の結果、良品のチップ部品６だけをピックアップするものとした。これにより、作業効率が向上し、高速化に対応したピックアップ装置が得られる。
【選択図】図１

Description

本発明は、キャリアテープやウエハなどのチップ部品集合体から、チップ部品を1個毎ピックアップして次工程に搬送するピックアップ装置に関し、特に高速化に対応したピックアップ装置及びピックアップ方法に関するものである。

IC等のチップ状電子部品は、半導体ウエハ上に複数の回路や電極等を形成した後、前記ウエハを搬送用のリングフレームで外周を補強された粘着フィルムに貼付され、その後個々に切断されチップ状電子部品となる。

従って、チップ状電子部品（以下ワークという）は上方に電極を有して前記粘着フィルムに貼付されているので、その後の工程は（１）粘着フィルムからワークを外す（ピックアップ：電極は上）（２）ワークを反転する（ワークの反転：電極は下）（３）ワークを搬送手段（テープなど）に装填（テーピング：電極は下）（４）ワークを搬送手段から取り出し、プリント基板等の上に設定（マウント：電極は下）となり、最終的に（４）において、「電極は下」である必要があり、途中で反転（ここでは（２））が必要である。なお、工程（１）〜（４）の間で検測（例えば外観）が行われる。

以下ピックアップ工程（１）につき詳述する。
図９は特開平11-261292号公報で開示されている従来のピックアップ装置50の一例を示す斜視図である。図９において、X-Y方向に移動自在の載置台56に載置されたウエハ51には、複数のICチップ52が集合されており、載置台56を位置決めした後、ICチップ搬送部57のピックアップ機構58により、ICチップ52が吸着されて１個毎分離されるようになっている。

収納マガジンストッカ53に収納された空の短冊テープ状支持体55がレール59上に送出されると、ICチップ52を吸着保持したピックアップ機構58が短冊テープ状支持体55上に移動して、吸着保持したICチップ52を短冊テープ状支持体55に移載させた後、再びウエハ51上に移動して次のICチップ52を分離吸着して短冊テープ状支持体55上に搬送するようになっている。
短冊テープ状支持体55に所定の数量のICチップ52が移載されると、レール59上を移動して収納マガジンストッカ54に収納されるようになっている。
特開平11-261292号公報

しかしながら、前記ピックアップ方法においては、往復動作によりICチップ52を1個毎ピックアップして搬送しなければならない為、全てのICチップ52を処理するのに多くの時間を要することとなり、高速化が困難であるという事情がある。
更に、ウエハ51のレベルでは個々のICチップの検査手段が設けられていないため、不良なICチップ52であっても全て搬送して移載されるので、後工程において検査して不良品の排除が行われる場合であっても、本工程においては、不良品の搬送移載という不要な時間を要するという事情がある。

なお、ウエハ51に集合されたICチップ52の外部電極は、図７の例に示すチップ部品6の外部電極6aと同様に、上面側に配置されており、ピックアップ機構58により短冊テープ状支持体55に移載されたICチップ52も外部電極は上面側のままである。

また、ピックアップ装置50においては、後工程の実装工程まで含まれており、短冊テープ状支持体55から取出されたICチップ52の検査及びバッドマークのマーキング又は不良品の排除などが行われた後、良品をピックアップして反転し、外部電極を下面側とした後、実装用吸着ヘッドに移載して所定位置に搬送し、実装するようになっている。
従って、短冊テープ状支持体55の搬送も含めて、実装に至るまでには多くの工程を経なければならない為、実装作業効率を低下させる要因になるという事情がある。
近年、チップ部品の微細化に伴い搬送処理数が増加したため、処理時間を短縮して高速化が求められるようになっている。

本発明の技術的課題は、前記のような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、
不要な処理や、無駄な動作を排除して高速化に対応したピックアップ装置及びピックアップ方法を提供することにある。
なお、本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。

前記目的を達成するため、請求項１に係る発明は、外周縁近傍に吸着ヘッドが設けられ、略水平に位置する回転軸を垂直方向に揺動して、前記吸着ヘッドの下方に搬入されたチップ部品集合体からチップ部品をピックアップするとともに、間欠回転して前記チップ部品を反転させる回転面板を備えたピックアップ反転手段と、前記回転面板の回転軸を垂直方向に揺動させるピックアップ揺動手段と、前記ピックアップ位置の上方に設けられ、反転された前記チップ部品を次工程に搬送する搬送手段と、前記チップ部品の良否を検査し判定する検査手段とを具備したことを特徴とするものである。

この構成によれば、良否判定の結果に基づき、良品チップ部品のみが吸着保持されピックアップされて、回転面板により表裏反転して搬送手段に受け渡される。よって、不良のチップ部品を搬送する無駄が省け、後工程における良否判定と不良品の排除や表裏反転等の多くの工程が不要となり、ピックアップから搬送手段への受渡しまでに、往復動作による搬送工程が無くなる。

請求項２に係る発明は、請求項１において、前記ピックアップ反転手段は、複数の前記吸着ヘッドを有し、これら吸着ヘッドは、前記回転面板の面上に突出かつ等配して設けられ、前記吸着ヘッドの吸着面は、外周方向を向きかつ前記回転面板の回転中心から等距離になるように設けられたことを特徴とするものである。
請求項３に係る発明は、請求項１または２において、前記吸着ヘッドがピックアップ位置にあるときまたは反転した前記チップ部品を前記搬送手段に供給する供給位置にあるとき、前記吸着ヘッドは必要に応じて前記吸着ヘッドに負圧を供給できる連通孔に連通するとともに、前記ピックアップ位置から前記供給位置までの前記チップ部品の前記反転時には、常時負圧を供給する連通溝に連通したことを特徴とするものである。

請求項４に係る発明は、請求項１〜３のいずれかにおいて、前記ピックアップ揺動手段は、揺動の支点である支軸と、揺動を発生させる揺動機構とを有し、前記支軸は、前記ピックアップ反転手段と前記揺動機構との間に設けられたことを特徴とするものである。
請求項５に係る発明は、請求項１〜３のいずれかにおいて、前記ピックアップ揺動手段は、揺動の支点である支軸と、揺動を発生させる揺動機構とを有し、前記ピックアップ反転手段が前記支軸と前記揺動機構との間に設けられたことを特徴とするものである。
請求項６に係る発明は、請求項４または５において、前記揺動機構は、カムとカムフォロアとからなるカム機構であることを特徴とするものである。

請求項７に係る発明は、請求項１〜６のいずれかにおいて、前記搬送手段は、移送手段と、前記移送手段に設けられ前記チップ部品を吸着搬送する複数の吸着ノズルと、前記吸着ノズルに負圧を供給する負圧供給手段とを備えたことを特徴とするものである。
請求項８に係る発明は、請求項７において、前記移送手段は、間欠回転を行う円板状のインデックステーブルであり、前記吸着ノズルが、前記インデックステーブルの外周近傍において該インデックステーブルの板面に垂直かつ回転中心から等距離に等配して設けられたことを特徴とするものである。

請求項９に係る発明は、請求項７または８において、前記吸着ノズルは、前記移送手段に対し昇降可能に設けられたことを特徴とするものである。
請求項１０に係る発明は、請求項１〜９のいずれかにおいて、前記検査手段は、前記チップ部品に光を照射する照明観察手段と、前記チップ部品の反射光を撮像する撮像手段と、前記チップ部品の判定手段とを備え、前記照明観察手段は、前記回転面板の中心近傍に近接しかつ前記回転面板及び前記吸着ヘッドに非接触に設けられ、前記照明観察手段の直下近傍にピックアップ予定の前記チップ部品が位置決めされることを特徴とするものである。

請求項１１に係る発明は、請求項１０において、前記照明観察手段は、照明装置からの照明光軸を曲光させ、前記チップ部品に導光する反射透過手段を有し、前記チップ部品からの反射光を前記反射透過手段に透過させた後、前記撮像手段に導光することを特徴とするものである。
請求項１２に係る発明は、請求項１１において、前記反射透過手段は、スプリッタであることを特徴とするものである。
請求項１３に係る発明は、請求項１１において、前記反射透過手段は、ハーフミラーであることを特徴とするものである。

請求項１４に係る発明は、請求項１０〜１３のいずれかにおいて、前記検査手段は、前記チップ部品の外観を検査し、前記判定手段により前記チップ部品の良否判定を行うことを特徴とするものである。
請求項１５に係る発明は、請求項１０〜１３のいずれかにおいて、前記検査手段は、前記チップ部品のピックアップ位置に対する位置ずれを検出することを特徴とするものである。
請求項１６に係る発明は、位置決めされたチップ部品集合体からチップ部品を揺動によりピックアップするピックアップ工程と、ピックアップした前記チップ部品を反転するピックアップ反転工程と、反転した前記チップ部品を次工程に搬送する搬送工程と、前記チップ部品を検査する検査工程とを含み、前記位置決めされたピックアップ位置にある前記チップ部品を前記検査工程により検査し、良品と判定された前記チップ部品だけをピックアップすることを特徴とするものである。

請求項１７に係る発明は、請求項１６において、前記ピックアップ及びピックアップ反転工程に用いられる回転面板に複数の吸着ヘッドが設けられ、前記検査工程は、ピックアップ位置近傍の隣接する２つの吸着ヘッドの間から行うことを特徴とするものである。
請求項１８に係る発明は、請求項１７において、前記隣接する２つの吸着ヘッドの間とは、前記ピックアップ位置にある吸着ヘッドを前記隣接する２つの吸着ヘッド間距離（ピッチ）の略１／２だけ前記回転面板を回転させた状態であることを特徴とするものである。
請求項１９に係る発明は、請求項１６〜１８のいずれかにおいて、前記検査工程は、前記チップ部品の位置を検査して位置ずれを補正した後、前記チップ部品の外観を検査することを特徴とするものである。

本発明の構成によれば、外観検査手段によりチップ部品をピックアップ位置に位置決めするとともに、チップ部品の良否を判定し、良品チップ部品のみを吸着保持してピックアップし、回転面板により表裏反転して搬送手段に受け渡すので、不良のチップ部品を搬送する無駄が省け、後工程における良否判定と不良品の排除や表裏反転等の多くの工程が不要となり、作業効率を向上させることができる。
また、ピックアップから搬送手段への受渡しまでに、往復動作による搬送工程が無いので、高速化に対応したピックアップ装置が得られる。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図１は本発明のピックアップ装置1の一実施例を示す正面図、図２はピックアップ反転機構2の拡大図、図３はチップ受渡部の拡大図、図４は外観検査装置3の部分断面拡大図、図５及び図６は図４の要部拡大図、図７はチップ部品6の一例を示す斜視図である。

図１において、ピックアップ装置1は、ピックアップ反転機構2、検査装置3及び搬送手段4とから構成されている。
ピックアップ反転機構2は、図２に示すように、水平に設けられたスリーブ18の一端に基盤15が固定して設けられ、他端は揺動レバー19の一端と結合している。揺動レバー19の他端に設けられた内接カムフォロア21a及び外接カムフォロア21bとから成るカムフォロア21が、モータ22により回動する円筒状の偏心カム20と当接して、支軸24を支点としてスリーブ18先端が垂直方向に揺動されるようになっている。スリーブ18及び基盤15を貫通した図示しない駆動軸は、一端がモータ23に連結され、他端が回転面板14に直結されて、基盤15の垂直面上を回転面板14が回動されるようになっている。

回転面板14の周縁部近傍には複数の吸着ヘッド17が等配、かつ回転面板14より突出して設けられ、吸着ヘッド17の吸着面17aはそれぞれ外周方向を向き、かつ回転面板14の回転中心から等距離になるようになっている。
基盤15には真空配管16が設けられ、図５に示すように、基盤15に設けられた連通孔16a、16c及び連通溝16bと連通して、回動する吸着ヘッド17の吸着孔17bに負圧が供給されるようになっている。なお、連通溝16bは常時負圧であるが、連通孔16a、16cはそれぞれ独立に図示しない制御装置により必要に応じて前記負圧をON、OFF（大気圧又は正圧）可能になっている。

検査装置3は、図４及び図６に示すように、複数のミラー29及びスプリッタ30により、例えば同軸落射等の照明を用いた照明観察装置25が構成され、照明観察装置25の鏡筒28を、回転面板14の概中心位置に配設されている。

搬送手段4は、図１に示すように、駆動モータ8により水平方向に回動自在に設けられた割出し位置決め可能な円形のインデックステーブル7の周縁部に、複数の吸着ノズル9を等配して設け、図３に示すように吸着ノズル9と吸着ヘッド17が対向するように配設されている。吸着ノズル9はインデックステーブル7を貫通してスライド自在に設けられ、インデックステーブル7の下面側で連結板10bを貫通して嵌合され、インデックステーブル7の上面側に挿入して設けられたスプリング9aにより付勢されて、連結板10bがインデックステーブル7の下面に押接されている。
また、吸着ノズル9には、真空配管９ｂが接続され、チップ部品6の吸着或いは吸着解除により適宜真空を供給できるようになっている。

更に、連結板10bにはインデックステーブル7をスライド自在に貫通したロッド10が螺合され、インデックステーブル7の上面側に挿入されたスプリング10aにより上方に付勢されている。
吸着ヘッド17と吸着ノズル9とが対向する位置では、モータ12により駆動されて、垂直方向に出没自在のスプール11が、ロッド10の上端と対向して設けられている。

次に、図１乃至図７により作用について詳述する。
図１乃至図５に示されたチップ部品集合体5においては、例えば図７に示すチップ部品6の例のように、電極6aが上面に有り、下面側はキャリア用のベースフィルム等に貼付されている場合が多く、また実装装置により実装する場合は、電極6aを下面とする必要がある。図１に示した本発明のピックアップ装置1においては、チップ部品集合体5からピックアップしたチップ部品6を表裏反転して搬送し、次工程に受け渡すことを可能としたものである。

図２において、ピックアップ反転機構2のモータ22により偏心カム20が回動すると、偏心カム20を挟持する内接カムフォロア20a及び外接カムフォロア21bによりガイドされて揺動レバー19が矢印で示す方向に揺動し、支軸24を支点とする回転運動に変換され、これにより、スリーブ18の先端に配設された回転面板14が垂直方向に揺動されるようになっている。

ピックアップされるチップ部品が良品である場合のピックアップ方法は次の通りである。モータ23により回転面板14が回動されて、吸着ヘッド17が載置台13に載置されたチップ部品集合体5と対向する位置に位置決めされると、偏心カム20が回動して吸着ヘッド17を下降させ、吸着面17aがチップ部品集合体5に当接する。このとき、チップ部品集合体の下面から図示しない突きピンなどの分離機構によりチップ部品6が1個ごと押し上げられ、返信カム20の次の回動による吸着ヘッド17の上昇に伴いチップ部品集合体の粘着フィルムから剥がされ易くなる。

そして、図５に示すように、真空配管16から連通孔16aを介して供給された負圧によりチップ部品6が吸着ヘッド17に吸着保持されると、再び偏心カム20が回動して、更に吸着ヘッド17を上昇させ、チップ部品集合体5からチップ部品6を離反させる。

ここで、チップ部品の検査方法について説明する。
回転面板14が1/2ピッチ回動すると、チップ部品6を吸着保持した吸着ヘッド17と、隣接する控えの吸着ヘッド17との間の空隙がチップ部品集合体5の上面となる。回転面板14の概中心に配設された照明観察装置25光源であるライトガイド26から照射された照明光は前記空隙から、載置台13に載置されたチップ部品集合体5上に照射され、反射光が画像光軸31として導光されて撮像手27に入力され、画像データが図示しない制御部に送信処理され、その結果、チップ部品6のピックアップ位置及び良否判別が行われるようになっている。

即ち、照明観察装置25は図４乃至図６に示すように、ライトガイド26から照射された照明光は照明光軸32に添い前進し、スプリッタ30により反射して90°曲光させ、下方のチップ部品6を照射する。チップ部品6から反射した画像光軸31はスプリッタ30を透過して、複数のミラー29によりカメラ等の撮像手段27に導光され、画像データが図示しない制御部に送信・処理されてチップ部品6のピックアップ位置及び欠けやはがれ等の外観の良否が判定されるようになっている。

図示されていないが、載置台13は、載置されたチップ部品集合体5のチップ部品6のそれぞれに対してX-Y或いは回転による平面方向に位置決め機能を有しており、チップ部品集合体5からチップ部品6がピックアップされるごと、或いは不良と判別されるごとに次のチップ部品6が位置決めされるようになっている。

したがって、チップ部品6の位置決めが不良と判定されると、載置台13は図示しない、例えばX-Yテーブルやロータリーテーブルのように、X、Yの位置或いはテーブルの割り出し角が修正されるが、外観検査で不良と判定されると、ピックアップ反転機構2はチップ部品6をピックアップせずに、載置台13が動作して次のチップ部品6を位置決めし、再び良否判定が行われるようになっている。チップ部品6の位置が正しいと判定され、また良品と判定されると、回転面板14が1/2ピッチ分回転して、空の吸着ヘッド17が良品のチップ部品6の位置に到達する。そして、偏心カム20が回動して吸着ヘッド17を下降させ、連通孔16aの負圧を印加した状態で、吸着面17aがチップ部品6に当接して吸着保持するようになっている。

以降、以上の繰り返しにより、順次チップ部品6が吸着ヘッド17に吸着保持され（連通溝16bは常時負圧）て搬送され、最初に吸着保持された良品のチップ部品6が回転面板14の垂直頂点に到達すると、チップ部品集合体5に有ったときのチップ部品6の姿勢から表裏が反転される。即ち、電極6aが下面側で裏面が上面となる。

図３において、吸着ヘッド17により垂直頂点にチップ部品6が搬送される（連通孔16cは負圧）と、モータ12が駆動してスプール11を突出させ、インデックステーブル7のロッド10を押圧してスプリング9a、10aの付勢力に抗して吸着ノズル9を下降させる。吸着ノズル9がチップ部品6に当接すると、吸着ノズル9に真空配管９ｂより負圧が供給されてチップ部品6が吸着ノズル9に吸着保持されると同時に、吸着ヘッド17が連通孔16cへの負圧制御により大気解放若しくは圧縮エア等の正圧が供給されてチップ部品6が解放される。

吸着ノズル9にチップ部品6が吸着保持されると、モータ12が再び駆動してスプール11が引込まれ、スプリング9a、10aに付勢されて吸着ノズル9及びロッド10が上昇し、連結板10bがインデックステーブル7の下面に当接して停止する。吸着ノズル9に吸着保持されたチップ部品6は、図１の駆動モータ8により１ピッチずつ間欠回転するインデックステーブル7により、例えばキャリアテープへのテーピングなど、図示しない次工程へ順次搬送されるようになっている。

なお、ピックアップ反転機構2は垂直方向に揺動するため、上昇時と下降時における吸着ヘッド17の吸着面17aの水平度は、僅かに傾斜することになる。このため、チップ部品集合体5に当接したとき、及び吸着ノズル9にチップ部品6を受渡しするときの何れにおいても、吸着面17aが水平であることが望ましく、したがって、ピックアップ反転機構2が下降位置においてチップ部品6のピックアップ及び吸着ノズル9への受渡しが、それぞれ吸着面17aが水平に近い状態で行われるようになっている。

図８はピックアップ反転機構40の他の実施例を模式的に示したもので、(a)は平面図、(b)は正面図である。図1乃至図２に示す前記実施例においては、揺動レバー19のカムフォロア21と偏心カム20により吸着ヘッド17を揺動させたのに対して、図８に示すピックアップ反転機構40は、揺動の支点である軸心41とは反対側、即ち、スリーブ18に嵌合された連結環44からスリーブ18前方に揺動レバー42を伸長させる。
伸長した揺動レバー42は、ブラックボックスで示した揺動機構43により垂直方向に揺動させるようになっており、揺動機構43は、例えば前記実施例と同様に一般の自由曲線のカムとカムフォロアによる方法、シリンダ等の空気圧による方法、若しくは電磁的方法或いはクランク機構など、手段に拘るものではない。

なお、図８に示す他の実施例は、吸着ヘッド17が前記揺動機構43と支軸41との間にあり、第１案に比べ振動に、より強くなっている。また、照明装置25は、スプリッタ30によりライトガイド26の照明光軸32を90°曲光させたが、スプリッタ30の代りにハーフミラーを用いても良い。更に、カムフォロア21は、内接カムフォロア21aと外接カムフォロア21bを組み合わせて用いたが、内接カムフォロア21aを用いず、弾性体により外接カムフォロア21bを偏心カム20に押接させるようにしても良い。以上、カムは、偏心カム20として説明したが、動作に合った自由曲線のカムであっても良い。

このように、本実施の形態では、ピックアップ反転機構２は、垂直方向に回動自在に設けた回転面板１４の周縁近傍に複数の吸着ヘッド１７を等配して設け、回転面板１４は垂直方向に揺動可能とし、揺動下限位置において、吸着ヘッド１７によりチップ部品集合体５から、予め、検測を行って良品と判定されたチップ部品６をピックアップするようにしたので、従来全品ピックアップしていた時間を短縮できるだけでなく、チップ部品６の処理数が低減され、後工程の時間短縮が可能となる。

また、不良のチップ部品６を搬送する無駄が省け、後工程における良否判定と不良品の排除や表裏反転等の多くの工程が不要となり、作業効率が向上する。
さらに、ピックアップから搬送手段４への受渡しまでに、往復動作による搬送工程が無いので、作業の高速化が達成される。

本発明のピックアップ装置の一実施例を示す正面図である。 図１のピックアップ反転機構の拡大図である。 チップ受渡部の拡大図である。 外観検査装置の部分断面拡大図である。 図４の側面拡大図である。 図４の要部拡大図である。 チップ部品の一例を示す斜視図である。 ピックアップ反転機構の他の実施例を模式的に示したもので、(a)は平面図、(b)は正面図である。 従来例におけるピックアップ装置の斜視図である。

符号の説明

１ ピックアップ装置
２ ピックアップ反転機構
３ 検査装置
４ 搬送手段
５ チップ部品集合体
６ チップ部品
６ａ 電極
７ インデックステーブル
８ 駆動モータ
９ 吸着ノズル
９ａ、１０ａ スプリング
９ｂ 真空配管
１０ ロッド
１０ｂ 連結板
１１ スプール
１２ モータ
１３ 載置台
１４ 回転面板
１５ 基盤
１６ 真空配管
１６ａ、１６ｃ 連通孔
１６ｂ 連通溝
１７ 吸着ヘッド
１７ａ 吸着面
１７ｂ 吸着孔
１８ スリーブ
１９、４２ 揺動レバー
２０ 偏心カム
２１ カムフォロア
２１ａ 内接カムフォロア
２１ｂ 外接カムフォロア
２２、２３ モータ
２４ 支軸
２５ 照明観察装置
２６ ライトガイド
２７ 撮像手段
２８ 鏡筒
２９ ミラー
３０ スプリッタ
３１ 画像光軸
３２ 照明光軸
４０ ピックアップ反転機構
４１ 支軸
４３ 揺動機構
４４ 連結環

Claims (19)

1. 外周縁近傍に吸着ヘッドが設けられ、略水平に位置する回転軸を垂直方向に揺動して、前記吸着ヘッドの下方に搬入されたチップ部品集合体からチップ部品をピックアップするとともに、間欠回転して前記チップ部品を反転させる回転面板を備えたピックアップ反転手段と、前記回転面板の回転軸を垂直方向に揺動させるピックアップ揺動手段と、前記ピックアップ位置の上方に設けられ、反転された前記チップ部品を次工程に搬送する搬送手段と、前記チップ部品の良否を検査し判定する検査手段とを具備したことを特徴とするピックアップ装置。
2. 前記ピックアップ反転手段は、複数の前記吸着ヘッドを有し、これら吸着ヘッドは、前記回転面板の面上に突出かつ等配して設けられ、前記吸着ヘッドの吸着面は、外周方向を向きかつ前記回転面板の回転中心から等距離になるように設けられたことを特徴とする請求項１に記載のピックアップ装置。
3. 前記吸着ヘッドがピックアップ位置にあるときまたは反転した前記チップ部品を前記搬送手段に供給する供給位置にあるとき、前記吸着ヘッドは必要に応じて前記吸着ヘッドに負圧を供給できる連通孔に連通するとともに、前記ピックアップ位置から前記供給位置までの前記チップ部品の前記反転時には、常時負圧を供給する連通溝に連通したことを特徴とする請求項１または２に記載のピックアップ装置。
4. 前記ピックアップ揺動手段は、揺動の支点である支軸と、揺動を発生させる揺動機構とを有し、前記支軸は、前記ピックアップ反転手段と前記揺動機構との間に設けられたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のピックアップ装置。
5. 前記ピックアップ揺動手段は、揺動の支点である支軸と、揺動を発生させる揺動機構とを有し、前記ピックアップ反転手段が前記支軸と前記揺動機構との間に設けられたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のピックアップ装置。
6. 前記揺動機構は、カムとカムフォロアとからなるカム機構であることを特徴とする請求項４または５に記載のピックアップ装置。
7. 前記搬送手段は、移送手段と、前記移送手段に設けられ前記チップ部品を吸着搬送する複数の吸着ノズルと、前記吸着ノズルに負圧を供給する負圧供給手段とを備えたことを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のピックアップ装置。
8. 前記移送手段は、間欠回転を行う円板状のインデックステーブルであり、前記吸着ノズルが、前記インデックステーブルの外周近傍において該インデックステーブルの板面に垂直かつ回転中心から等距離に等配して設けられたことを特徴とする請求項７に記載のピックアップ装置。
9. 前記吸着ノズルは、前記移送手段に対し昇降可能に設けられたことを特徴とする請求項７または８に記載のピックアップ装置。
10. 前記検査手段は、前記チップ部品に光を照射する照明観察手段と、前記チップ部品の反射光を撮像する撮像手段と、前記チップ部品の判定手段とを備え、前記照明観察手段は、前記回転面板の中心近傍に近接しかつ前記回転面板及び前記吸着ヘッドに非接触に設けられ、前記照明観察手段の直下近傍にピックアップ予定の前記チップ部品が位置決めされることを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載のピックアップ装置。
11. 前記照明観察手段は、照明装置からの照明光軸を曲光させ、前記チップ部品に導光する反射透過手段を有し、前記チップ部品からの反射光を前記反射透過手段に透過させた後、前記撮像手段に導光することを特徴とする請求項１０に記載のピックアップ装置。
12. 前記反射透過手段は、スプリッタであることを特徴とする請求項１１に記載のピックアップ装置。
13. 前記反射透過手段は、ハーフミラーであることを特徴とする請求項１１に記載のピックアップ装置。
14. 前記検査手段は、前記チップ部品の外観を検査し、前記判定手段により前記チップ部品の良否判定を行うことを特徴とする請求項１０〜１３のいずれかに記載のピックアップ装置。
15. 前記検査手段は、前記チップ部品のピックアップ位置に対する位置ずれを検出することを特徴とする請求項１０〜１３のいずれかに記載のピックアップ装置。
16. 位置決めされたチップ部品集合体からチップ部品を揺動によりピックアップするピックアップ工程と、ピックアップした前記チップ部品を反転するピックアップ反転工程と、反転した前記チップ部品を次工程に搬送する搬送工程と、前記チップ部品を検査する検査工程とを含み、前記位置決めされたピックアップ位置にある前記チップ部品を前記検査工程により検査し、良品と判定された前記チップ部品だけをピックアップすることを特徴とするピックアップ方法。
17. 前記ピックアップ及びピックアップ反転工程に用いられる回転面板に複数の吸着ヘッドが設けられ、前記検査工程は、ピックアップ位置近傍の隣接する２つの吸着ヘッドの間から行うことを特徴とする請求項１６に記載のピックアップ方法。
18. 前記隣接する２つの吸着ヘッドの間とは、前記ピックアップ位置にある吸着ヘッドを前記隣接する２つの吸着ヘッド間距離（ピッチ）の略１／２だけ前記回転面板を回転させた状態であることを特徴とする請求項１７に記載のピックアップ方法。
19. 前記検査工程は、前記チップ部品の位置を検査して位置ずれを補正した後、前記チップ部品の外観を検査することを特徴とする請求項１６〜１８のいずれかに記載のピックアップ方法。
    
    

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