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JP2006178016A - Liquid crystal display element and manufacturing method thereof - Google Patents

Liquid crystal display element and manufacturing method thereof Download PDF

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JP2006178016A
JP2006178016A JP2004368666A JP2004368666A JP2006178016A JP 2006178016 A JP2006178016 A JP 2006178016A JP 2004368666 A JP2004368666 A JP 2004368666A JP 2004368666 A JP2004368666 A JP 2004368666A JP 2006178016 A JP2006178016 A JP 2006178016A
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alignment
crystal display
display element
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JP2004368666A
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Japanese (ja)
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Seiichi Arakawa
清一 荒川
Yumiko Tatemori
由美子 舘森
Yasuhiro Shirasaka
康弘 白坂
Hitoshi Inukai
仁 犬飼
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Sony Corp
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Sony Corp
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Abstract

【課題】簡便に形成可能とした無機材料からなる配向膜を有する基板を備えた液晶表示素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】側鎖にアルキル基を有するSiOxを組成とするコーティング膜が塗布された後、配向処理されて形成された配向膜を有する基板を備えることとする。配向処理は、ラビング処理、光配向処理、ビーム処理のいずれか1つとする。配向膜が形成された2つの基板間に、屈折率が0.10〜0.20で誘電異方性を負とした垂直配向型の液晶を充填するとともに、基板間の間隔寸法を3.0μm以下とする。1フィールド毎に印加電圧を反転させる1フィールド反転駆動法によって駆動させる。
【選択図】 なし
A liquid crystal display element including a substrate having an alignment film made of an inorganic material that can be easily formed and a method for manufacturing the same are provided.
A substrate having an alignment film formed by applying an alignment treatment after a coating film composed of SiOx having an alkyl group in a side chain is applied. The alignment process is any one of rubbing process, optical alignment process, and beam process. A vertical alignment type liquid crystal having a refractive index of 0.10 to 0.20 and negative dielectric anisotropy is filled between two substrates on which alignment films are formed, and the distance between the substrates is set to 3.0 μm or less. Driving is performed by a one-field inversion driving method in which the applied voltage is inverted every field.
[Selection figure] None

Description

本発明は液晶表示素子及びその製造方法に関するものである。   The present invention relates to a liquid crystal display element and a method for manufacturing the same.

従来、液晶表示素子に光源から照射した光を照射して所定の画像を表示する投射型の液晶表示装置においては、高輝度の画像が要求されることから液晶表示素子には透過性の高いものを用いるのが望ましく、TN(Twisted Nematic)型の液晶を用いた透過率の高い液晶表示素子が採用されることが多い。   Conventionally, in a projection-type liquid crystal display device that displays a predetermined image by irradiating light emitted from a light source onto a liquid crystal display element, a high-luminance image is required. It is desirable to use a liquid crystal display element having a high transmittance using a TN (Twisted Nematic) type liquid crystal.

しかしながら、このような投射型の液晶表示装置においては、長時間の使用にともなって液晶表示素子が最大60〜65℃の高温に曝されるため、液晶表示素子の配向膜材料である有機材料が劣化しやすく、長寿命化には限界があった。   However, in such a projection-type liquid crystal display device, the liquid crystal display element is exposed to a high temperature of a maximum of 60 to 65 ° C. with long-term use, and therefore an organic material that is an alignment film material of the liquid crystal display element is used. It is easy to deteriorate and there was a limit to extending the service life.

そこで、有機材料ではなく無機材料で配向膜を構成することによって耐光性向上させることが試みられている。   Therefore, attempts have been made to improve light resistance by forming an alignment film with an inorganic material instead of an organic material.

このような試みの中で、TN型の液晶を用いた液晶表示素子に無機系配向膜を用いた場合には、無機系配向膜と液晶との間の化学的相互作用が弱いために、どのような配向処理を行っても配向の安定性が低く、実用に耐えるものではなかったが、垂直配向の液晶を用いた場合には、TN型のような配向規制力を必要とせず垂直に配向させる配向膜や、形状効果で比較的安定な垂直配向状態が得られることを本発明者らは知見した。   In such an attempt, when an inorganic alignment film is used for a liquid crystal display element using a TN liquid crystal, the chemical interaction between the inorganic alignment film and the liquid crystal is weak. Even if such an alignment treatment was performed, the alignment stability was low and it could not be put to practical use. However, when a vertically aligned liquid crystal was used, it was aligned vertically without the need for alignment restriction as in the TN type. The present inventors have found that a relatively stable vertical alignment state can be obtained by an alignment film to be formed and a shape effect.

このことから、本発明者らは、無機材料である酸化シリコンからなる酸化シリコン膜を配向膜として用いた液晶表示素子を発明した(例えば、特許文献1参照。)。   Accordingly, the present inventors have invented a liquid crystal display element using a silicon oxide film made of silicon oxide, which is an inorganic material, as an alignment film (see, for example, Patent Document 1).

この液晶表示素子の配向膜は、側鎖にアルキル基を有する無機コーティング材料を所定の基板上に塗布して焼成した後に、無機コーティング材料を基板の法線方向に対して斜め方向からSiOxを斜め蒸着して形成している。   The alignment film of this liquid crystal display element is formed by applying an inorganic coating material having an alkyl group on the side chain onto a predetermined substrate and baking it, and then inclining SiOx from the oblique direction with respect to the normal direction of the substrate. It is formed by vapor deposition.

そして、このように配向膜が形成されたTFT基板と対向基板とを互いに対向させて配置し、TFT(Thin Film Transistor)基板と対向基板との間に垂直配向の液晶を充填して液晶表示素子を形成している。
特開2004−126463号公報
Then, the TFT substrate on which the alignment film is formed in this way and the counter substrate are arranged so as to oppose each other, and a vertically aligned liquid crystal is filled between the TFT (Thin Film Transistor) substrate and the counter substrate so that the liquid crystal display element Is forming.
JP 2004-126463 A

しかしながら、上記した配向膜の形成は、所定基板への無機コーティング材料の塗布後に、焼成工程と、配向処理工程の2段階の工程が必要であり、その配向処理にはSiOx斜め蒸着工程が必要であって、生産性の向上が困難であって、実用に耐えないという問題があった。   However, the formation of the alignment film described above requires a two-step process, that is, a baking process and an alignment process after the inorganic coating material is applied to a predetermined substrate. The alignment process requires a SiOx oblique deposition process. Therefore, there is a problem that it is difficult to improve productivity and cannot withstand practical use.

本発明者らは、このような現状に鑑み、より簡便に無機材料からなる配向膜を形成可能とするために研究開発を行い、本発明を成すに至ったものである。   In view of such a current situation, the present inventors have conducted research and development to make it possible to form an alignment film made of an inorganic material more easily, and have achieved the present invention.

本発明の液晶表示素子では、主鎖は無機のシロキサン骨格からなり、側鎖にアルキル基を有するSiOxを組成とするコーティング膜が塗布された後、配向処理されて形成された配向膜を有する基板を備えることとした。   In the liquid crystal display device of the present invention, a substrate having an alignment film formed by applying an alignment treatment after coating a coating film composed of SiOx having a main chain of an inorganic siloxane skeleton and having an alkyl group in the side chain. It was decided to prepare.

さらに、以下の点にも特徴を有するものである。すなわち、
(1)配向処理は、ラビング処理、光配向処理、ビーム処理のいずれか1つであること。
(2)配向膜が形成された2つの基板間に、屈折率が0.10〜0.20で誘電異方性を負とした垂直配向型の液晶を充填するとともに、基板間の間隔寸法を3.0μm以下としたこと。
(3)1フィールド毎に印加電圧を反転させる1フィールド反転駆動法によって駆動させること。
Furthermore, the following points are also characteristic. That is,
(1) The alignment treatment is any one of rubbing treatment, optical alignment treatment, and beam treatment.
(2) A vertical alignment type liquid crystal having a refractive index of 0.10 to 0.20 and a negative dielectric anisotropy is filled between two substrates on which alignment films are formed, and the distance between the substrates is set to 3.0 μm or less. What you did.
(3) Drive by a one-field inversion driving method that inverts an applied voltage for each field.

また、本発明の液晶表示素子の製造方法では、2つの基板間に液晶を充填して形成する液晶表示素子の製造方法において、各基板に塗布したコーティング膜を配向処理して配向膜を形成する工程を有し、コーティング膜が、主鎖は無機のシロキサン骨格からなり、側鎖にアルキル基を有するSiOxを組成とする。   Further, in the method for manufacturing a liquid crystal display element of the present invention, in the method for manufacturing a liquid crystal display element in which liquid crystal is filled between two substrates, the alignment film is formed by aligning the coating film applied to each substrate. And the coating film is composed of SiOx having a main chain made of an inorganic siloxane skeleton and an alkyl group in the side chain.

さらに、配向処理は、ラビング処理、光配向処理、ビーム処理のいずれか1つであることにも特徴を有し、液晶は屈折率が0.10〜0.20で誘電異方性を負とした垂直配向型とし、前記基板間の間隔寸法を3.0μm以下としていることにも特徴を有するものである。   Further, the alignment process is characterized in that it is one of rubbing process, photo-alignment process, and beam process, and the liquid crystal is a vertical alignment type in which the refractive index is 0.10 to 0.20 and the dielectric anisotropy is negative. In addition, the distance between the substrates is 3.0 μm or less.

本発明では、配向膜として、側鎖にアルキル基はあるが、主鎖は無機のシロキサン骨格からなるので、従来のポリイミドなどの有機系配向膜を用いる場合に比較して、配向膜の耐光性を向上させることができ、液晶表示素子の長寿命化を図ることができる。   In the present invention, the alignment film has an alkyl group in the side chain, but the main chain is composed of an inorganic siloxane skeleton, so that the light resistance of the alignment film is higher than when using an organic alignment film such as a conventional polyimide. The life of the liquid crystal display element can be extended.

また、側鎖にアルキル基を有していることによって、常圧での基板へのコーティング膜の塗布、及び通常行われているラビング処理、または光配向処理、またはビーム配向処理などを使用することができ、従来の製造設備をそのまま踏襲できる。   In addition, by having an alkyl group in the side chain, the application of a coating film to the substrate at normal pressure, and the usual rubbing treatment, photo-alignment treatment, or beam orientation treatment, etc. should be used. And can follow conventional manufacturing equipment.

さらに、配向膜が形成された2つの基板間に、屈折率が0.10〜0.20で誘電異方性を負とした垂直配向型の液晶を充填するとともに、基板間の間隔寸法を3.0μm以下としたことによって、透過率の低減を抑制できる。   Furthermore, between the two substrates on which the alignment film is formed, a vertical alignment type liquid crystal having a refractive index of 0.10 to 0.20 and a negative dielectric anisotropy is filled, and the distance between the substrates is set to 3.0 μm or less. As a result, the reduction in transmittance can be suppressed.

しかも、1フィールド毎に印加電圧を反転させる1フィールド反転駆動法によって駆動させることによって、横電解の影響を抑制することができる。   In addition, the influence of lateral electrolysis can be suppressed by driving by the one-field inversion driving method in which the applied voltage is inverted for each field.

本発明の液晶表示素子及びその製造方法では、それぞれ配向膜が形成されるTFT基板と、このTFT基板に対向させる対向基板とに、主鎖は無機のシロキサン骨格からなり、側鎖にアルキル基を有するSiOxを組成とするコーティング膜が塗布して、その後、コーティング膜を配向処理することにより配向膜を形成しているものである。   In the liquid crystal display element and the manufacturing method thereof according to the present invention, the main chain is composed of an inorganic siloxane skeleton, and the side chain has an alkyl group on the TFT substrate on which the alignment film is formed and the counter substrate facing the TFT substrate. An alignment film is formed by applying a coating film having a composition of SiOx having, and then performing an alignment treatment on the coating film.

このように、配向膜として、側鎖にアルキル基を有してはいるが、主鎖は無機のシロキサン骨格からなるので、従来のポリイミドなどの有機系配向膜を用いる場合に比較して、配向膜の耐光性を2.6倍以上向上させることができ、7000時間以上の寿命を実現することができる。   As described above, the alignment film has an alkyl group in the side chain, but the main chain is composed of an inorganic siloxane skeleton. Therefore, the alignment film is aligned as compared with the case of using an organic alignment film such as a conventional polyimide. The light resistance of the film can be improved by 2.6 times or more, and a lifetime of 7000 hours or more can be realized.

ここで、耐光性寿命の定義は、UVカットフィルター(半値λ=430nm)使用し、明るさ2600ANSIlm、温度60℃の条件で、従来のポリイミドなどの有機系配向膜の累積故障率10%の値が3100時間であるのでこの値を有機系配向膜の寿命とした。なお、耐光性寿命は、当然ながら温度、光量、入射光波長等の使用条件により異なる。   Here, the definition of light resistance life is a value of 10% cumulative failure rate of conventional organic alignment films such as polyimide, using UV cut filter (half value λ = 430nm), brightness 2600ANSIlm, temperature 60 ℃. Since this is 3100 hours, this value was regarded as the lifetime of the organic alignment film. Of course, the light-resistant life varies depending on use conditions such as temperature, light quantity, incident light wavelength, and the like.

側鎖にはアルキル基を有していることによって、基板へのコーティング膜の塗布を常圧で行うことができ、しかもそのままラビング処理、または光配向処理、またはレーザービーム処理若しくはイオンビーム処理などのビーム配向処理のいずれか一つによって配向処理をすることができるので、製造コストが高騰することを抑制できる。   By having an alkyl group in the side chain, the coating film can be applied to the substrate at normal pressure, and further, such as rubbing treatment, photo-alignment treatment, laser beam treatment or ion beam treatment, etc. Since the alignment process can be performed by any one of the beam alignment processes, it is possible to suppress an increase in manufacturing cost.

前述したように配向膜が形成されたTFT基板と対向基板とを互いに対向させて貼り合わせて、基板間に注入・充填する液晶は、屈折率が0.10〜0.20で誘電異方性を負とした垂直配向型の液晶とし、しかも基板間の間隔寸法を3.0μm以下としている。   As described above, the TFT substrate on which the alignment film is formed and the counter substrate are bonded to each other so that the liquid crystal injected and filled between the substrates has a refractive index of 0.10 to 0.20 and a negative dielectric anisotropy. The liquid crystal is a vertical alignment type liquid crystal, and the distance between the substrates is 3.0 μm or less.

したがって、透過率を大きく低減させることなく、高い透過率を有する液晶表示素子とすることができる。   Therefore, a liquid crystal display element having high transmittance can be obtained without greatly reducing the transmittance.

さらに、TFT基板及び対向基板にはそれぞれ所定方向の偏光角を有する偏光板を装着して液晶表示素子としており、このTFT基板に対向させる対向基板を1フィールド毎に印加電圧を反転させる1フィールド反転駆動法によって駆動させている。したがって、横電解の影響を抑制することができる。   Furthermore, a polarizing plate having a polarization angle in a predetermined direction is mounted on each of the TFT substrate and the counter substrate to form a liquid crystal display element. The counter substrate facing the TFT substrate reverses the applied voltage for each field. It is driven by the driving method. Therefore, the influence of lateral electrolysis can be suppressed.

以下において、より具体的な実施例について説明する。   In the following, more specific examples will be described.

ここで、配向膜は、主鎖は無機のシロキサン骨格からなり、側鎖にアルキル基を有するSiOxを組成とするコーティング膜として、EXP-OA018(日産化学製)の4%エタノール/ブチルセロソルブ溶液を用いて形成しており、このコーティング膜を所要の基板に対してスピンコートにより塗布し、80℃-5分のホットプレートで乾燥し、180℃-60分のクリーンオーブンで焼成して形成している。焼成後の配向膜の膜厚は1000オングストローム程度としている。   Here, as the alignment film, a 4% ethanol / butyl cellosolve solution of EXP-OA018 (manufactured by Nissan Chemical Co., Ltd.) is used as a coating film whose composition is composed of SiOx whose main chain is composed of an inorganic siloxane skeleton and has an alkyl group in the side chain. This coating film is applied to a required substrate by spin coating, dried on a hot plate at 80 ° C. for 5 minutes, and baked in a clean oven at 180 ° C. for 60 minutes. . The film thickness of the alignment film after firing is about 1000 angstroms.

特に、側鎖にアルキル基を有する無機配向膜の主鎖の骨格は、次のようにシロキサン骨格系をベースとするものである。   In particular, the skeleton of the main chain of the inorganic alignment film having an alkyl group in the side chain is based on a siloxane skeleton system as follows.

Figure 2006178016
Figure 2006178016

配向膜は、側鎖に存在する長鎖アルキル基の影響で、液晶分子は、垂直に配向する。しかし、これだけでは電圧をかけた時、液晶の倒れる方向が定まらないので、ラビング処理、光配向処理、レーザービーム処理、イオンビーム処理などの配向処理する必要がある。   In the alignment film, the liquid crystal molecules are vertically aligned under the influence of the long-chain alkyl group present in the side chain. However, this alone does not determine the direction in which the liquid crystal tilts when a voltage is applied. Therefore, alignment processing such as rubbing processing, photo-alignment processing, laser beam processing, or ion beam processing is required.

第1実施例:配向処理としてラビング処理を用いた場合
0.79型XGAの画素パターンを形成したTFT基板に、上記のコーティング膜を塗布して配向膜を形成し、ラビング処理した後に、同様に配向膜が形成されてラビング処理された対向基板と、お互いの基板の配向方向がアンチパラレルとなるように重ね合わせ、屈折率ΔN=0.15の(メルク社製,Δε=−6.0)の誘電異方性が負の液晶を注入した。
First embodiment: When rubbing treatment is used as orientation treatment
The above coating film is applied to a TFT substrate on which a 0.79-type XGA pixel pattern is formed to form an alignment film, and after the rubbing treatment, the alignment film is similarly formed and the opposite substrate on which the rubbing treatment is performed The substrates were stacked so that the orientation directions of the substrates were antiparallel, and liquid crystal having a refractive index ΔN = 0.15 (Merck, Δε = −6.0) and negative dielectric anisotropy was injected.

その後、注入口を封止し、TFT基板及び対向基板にそれぞれ防塵ガラスを貼り付け、さらにフレキシブル基板、外枠及び見切り板を取り付け、液晶パネルを完成させた。なお、TFT基板と対向基板との間隔寸法であるセルギャップは2.8μmとした。   Thereafter, the injection port was sealed, dust-proof glass was attached to the TFT substrate and the counter substrate, and a flexible substrate, an outer frame, and a parting plate were attached to complete the liquid crystal panel. The cell gap, which is the distance between the TFT substrate and the counter substrate, was 2.8 μm.

作製した液晶表示素子のプロジェクタ−光学系評価装置にて、光学特性を調べた。駆動方法は倍速フィールド反転駆動で評価した。なお、この際用いた対向基板は、BLKマトリクス付きの透明基板である。   Optical characteristics were examined with a projector-optical system evaluation apparatus for the produced liquid crystal display element. The driving method was evaluated by double speed field inversion driving. The counter substrate used at this time is a transparent substrate with a BLK matrix.

透過率は、20.6%(TN型の2.6μmギャップセルの場合21.1%)とTNセルと大差のない光透過率が得られている。コントラストも、450:1が得られ、TNセルの410:1と大差のない結果を得ている。   The transmittance is 20.6% (21.1% in the case of a TN type 2.6 μm gap cell), which is a light transmittance that is not significantly different from that of the TN cell. Contrast was also obtained as 450: 1, which is not much different from 410: 1 of the TN cell.

第2実施例:配向処理としてイオンビーム処理を用いた場合
0.79型XGAの画素パターンを形成したTFT基板を300mmのウエハ状態のまま上記のコーティング膜を塗布して配向膜を形成し、次の条件でイオンビームを照射した。イオンビームはカーテン状に照射し、その下方側において基板を移動させて配向させた。なお、焼成後の膜厚は60nmであった。
Second embodiment: When ion beam processing is used as alignment processing
The above-mentioned coating film was applied to a TFT substrate on which a 0.79-type XGA pixel pattern was formed in a 300 mm wafer state to form an alignment film, and an ion beam was irradiated under the following conditions. The ion beam was irradiated in the form of a curtain, and the substrate was moved and oriented on the lower side. The film thickness after firing was 60 nm.

配向実験機の条件は、ビームサイズを200mm×60mm、イオン種をN2(窒素)、イオンエネルギーを〜1500eV、搬送速度を20mm/sec、入射角度を法線方向から40度とした。 The conditions of the orientation experiment machine were a beam size of 200 mm × 60 mm, an ion species of N 2 (nitrogen), an ion energy of ˜1500 eV, a transfer speed of 20 mm / sec, and an incident angle of 40 degrees from the normal direction.

対向基板にも同様の条件で配向膜を形成した。組立は、TFT基板と対向基板とを、お互いの基板の配向方向がアンチパラレルになるように重ね合わせた。なお、実験機なので、ウエハ全体にイオンビームが照射されないため、イオンビームが照射された部分のTFT基板及び対向基板を用いて液晶表示素子を組み立てた。セルギャプは、2.8μm、液晶は、屈折率ΔN=0.15の誘電異方性が負の液晶(Δε=−6.0)を実施例1と同様に作製した。   An alignment film was also formed on the counter substrate under the same conditions. In the assembly, the TFT substrate and the counter substrate were overlapped so that the orientation directions of the substrates were antiparallel. Since this was an experimental machine, the entire wafer was not irradiated with an ion beam. Therefore, a liquid crystal display element was assembled using the TFT substrate and the counter substrate at the portion irradiated with the ion beam. A liquid crystal with a negative dielectric anisotropy (Δε = −6.0) having a cell gap of 2.8 μm and a liquid crystal refractive index of ΔN = 0.15 was produced in the same manner as in Example 1.

実施例1と同様に光学特性を測定したところ、光透過率20.7%、コントラスト435:1を得た。   When the optical characteristics were measured in the same manner as in Example 1, a light transmittance of 20.7% and a contrast of 435: 1 were obtained.

第3実施例:配向処理として光配向処理を用いた場合
配向材料は前述した方法で作製し、UV光照射装置は、ELSICON社のE2−UV−600−SS−AA Exposure Unitを用いて照射した。
Third Example: When Photo-Alignment Treatment is Used as the Alignment Treatment The alignment material is prepared by the method described above, and the UV light irradiation device is irradiated using ELSICON E2-UV-600-SS-AA Exposure Unit. .

入射角度は45度から、P,S波が適度の割合にある偏光UV光(光強度 300mJ/cm2)を3分間(光強度 300mJ/cm2)照射した(図2、図3)。テストセルで同条件の照射を行った際のプレチルト角を測定したところ、法線方向から3.5度であった。 The incident angle was 45 degrees, and polarized UV light (light intensity 300 mJ / cm 2 ) with an appropriate ratio of P and S waves was irradiated for 3 minutes (light intensity 300 mJ / cm 2 ) (FIGS. 2 and 3). When the pretilt angle was measured with the test cell under the same conditions, it was 3.5 degrees from the normal direction.

このようにしてTFT基板側、対向基板側に配向処理を施し、液晶セルを組立て、液晶は屈折率ΔN=0.16, Δε=−5.3の液晶を用い、特性を調べたところ、次のような結果を得た。   In this way, alignment processing is performed on the TFT substrate side and the counter substrate side, a liquid crystal cell is assembled, and liquid crystal having a refractive index of ΔN = 0.16 and Δε = −5.3 is used. Got.

光透過率20.6%、コントラスト420:1であった。   The light transmittance was 20.6% and the contrast was 420: 1.

Claims (7)

主鎖は無機のシロキサン骨格からなり、側鎖にアルキル基を有するSiOxを組成とするコーティング膜が塗布された後、配向処理されて形成された配向膜を有する基板を備えた液晶表示素子。   A liquid crystal display device comprising a substrate having an alignment film formed by applying an alignment treatment after coating a coating film composed of an inorganic siloxane skeleton and having an SiOx composition having an alkyl group on a side chain. 前記配向処理は、ラビング処理、光配向処理、ビーム処理のいずれか1つであることを特徴とする請求項1記載の液晶表示素子。   The liquid crystal display element according to claim 1, wherein the alignment treatment is one of rubbing treatment, optical alignment treatment, and beam treatment. 前記配向膜が形成された2つの基板間に、屈折率が0.10〜0.20で誘電異方性を負とした垂直配向型の液晶を充填するとともに、前記基板間の間隔寸法を3.0μm以下としたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の液晶表示素子。   Between the two substrates on which the alignment film is formed, a vertical alignment type liquid crystal having a refractive index of 0.10 to 0.20 and a negative dielectric anisotropy is filled, and the distance between the substrates is set to 3.0 μm or less. The liquid crystal display element according to claim 1 or 2. 1フィールド毎に印加電圧を反転させる1フィールド反転駆動法によって駆動させることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の液晶表示素子。   The liquid crystal display element according to claim 1, wherein the liquid crystal display element is driven by a one-field inversion driving method that inverts an applied voltage for each field. 2つの基板間に液晶を充填して形成する液晶表示素子の製造方法において、
前記の各基板に塗布したコーティング膜を配向処理して配向膜を形成する工程を有し、
前記コーティング膜が、主鎖は無機のシロキサン骨格からなり、側鎖にアルキル基を有するSiOxを組成としていることを特徴とする液晶表示素子の製造方法。
In a manufacturing method of a liquid crystal display element formed by filling a liquid crystal between two substrates,
A process of forming an alignment film by performing an alignment treatment on the coating film applied to each of the substrates;
A method of manufacturing a liquid crystal display element, wherein the coating film is composed of SiOx having a main chain made of an inorganic siloxane skeleton and having an alkyl group in a side chain.
前記配向処理は、ラビング処理、光配向処理、ビーム処理のいずれか1つであることを特徴とする請求項4記載の液晶表示素子の製造方法。   The method for manufacturing a liquid crystal display element according to claim 4, wherein the alignment treatment is any one of rubbing treatment, optical alignment treatment, and beam treatment. 前記液晶は屈折率が0.10〜0.20で誘電異方性を負とした垂直配向型とし、前記基板間の間隔寸法を3.0μm以下としていることを特徴とする請求項5または請求項6に記載の液晶表示素子の製造方法。   7. The liquid crystal according to claim 5, wherein the liquid crystal is a vertical alignment type having a refractive index of 0.10 to 0.20 and a negative dielectric anisotropy, and a distance between the substrates is 3.0 μm or less. A method for manufacturing a liquid crystal display element.
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