JP2006175638A - Sheet resin for compression molding and compression molding method - Google Patents
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Abstract
【課題】型内に空気が残存しにくいシート状樹脂及びこれを利用した圧縮成形方法を提供する。
【解決手段】シート状樹脂10は、圧縮成形用の原材料として型12内に収容される板状体で、厚さ方向に貫通する通気孔14が形成されている。
【選択図】図1The present invention provides a sheet-like resin in which air hardly remains in a mold and a compression molding method using the same.
A sheet-like resin 10 is a plate-like body accommodated in a mold 12 as a raw material for compression molding, and has a vent hole 14 penetrating in the thickness direction.
[Selection] Figure 1
Description
本発明は、例えば電子部品の封止のために用いられる圧縮成形用のシート状樹脂及びこれを用いた圧縮成形方法に関する。 The present invention relates to a compression molding sheet resin used for sealing electronic components, for example, and a compression molding method using the same.
従来、半導体のような電子部品を樹脂で封止する手法の一つとして、シート状樹脂を用いた圧縮成形法が知られている。簡単に説明すると、被封止物と原材料であるシート状樹脂とを加熱した型内に収容してシート状樹脂を軟化させ、軟化した樹脂を型で加圧して被封止物を封止しつつ所定の形状に成形する。樹脂は熱硬化性であり、軟化した後、更に加熱されて硬化する。 2. Description of the Related Art Conventionally, a compression molding method using a sheet-like resin is known as one method for sealing an electronic component such as a semiconductor with a resin. Briefly, the object to be sealed and the sheet-shaped resin as a raw material are accommodated in a heated mold to soften the sheet-shaped resin, and the softened resin is pressed with a mold to seal the object to be sealed. While forming into a predetermined shape. The resin is thermosetting, and after being softened, it is further heated and cured.
シート状樹脂は、適度の隙間を有して型に収容される形状に成形されており、これにより、型内に容易に搬入できるようになっている。 The sheet-like resin is molded into a shape that can be accommodated in the mold with an appropriate gap, and can be easily carried into the mold.
型には排気孔が形成されており、軟化した樹脂を型が加圧して所定の形状に成形する際、型とシート状樹脂との間の隙間の空気は排気孔から外部に排気される。 Exhaust holes are formed in the mold, and when the mold pressurizes the softened resin into a predetermined shape, the air in the gap between the mold and the sheet-shaped resin is exhausted to the outside through the exhaust holes.
しかしながら、樹脂は成形される過程で型内を仕切るような態様で変形することがあり、樹脂で排気孔から仕切られた部分の空気が型内に閉じ込められてしまうことがある。このような空気のために、樹脂の表面の一部が充分に加熱されず、軟化が不充分となり、欠陥部位が形成されてしまうことがある。 However, the resin may be deformed in such a manner as to partition the inside of the mold during the molding process, and the air in the part partitioned from the exhaust hole by the resin may be trapped in the mold. Due to such air, a part of the surface of the resin is not sufficiently heated, the softening becomes insufficient, and a defective part may be formed.
又、型内に閉じ込められた空気のために、製品の表面に凹部が形成されたり、製品の内部に空隙が形成されてしまうことがある。隙間の容積が僅かであっても、空気は加熱により膨張するため、許容できない大きさの凹部や空隙が製品に形成されてしまうことがある。 Further, due to air trapped in the mold, a concave portion may be formed on the surface of the product, or a void may be formed inside the product. Even if the volume of the gap is small, the air expands due to heating, so that recesses and voids with unacceptable sizes may be formed in the product.
これに対し、シート状樹脂の中央部を周辺部よりも突出した形状とすることで、型内の空気を排気しやすくする手法が提案されている(例えば、特許文献1参照)。 On the other hand, a method has been proposed in which the air in the mold is easily exhausted by making the central portion of the sheet-like resin protrude from the peripheral portion (see, for example, Patent Document 1).
しかしながら、中央部が周辺部よりも突出したシート状樹脂は、均一な厚さのシート状樹脂よりも、成形過程における変形の自由度が大きいため、型内を仕切るような態様の変形が生じることも考えられる。又、中央部が周辺部よりも突出したシート状樹脂は、均一な厚さのシート状樹脂よりも、型との間に容積が大きい隙間を形成するので、却って大きな凹部や空隙が製品に形成されることが懸念される。 However, since the sheet-like resin whose central portion protrudes from the peripheral portion has a greater degree of freedom of deformation in the molding process than the sheet-like resin having a uniform thickness, deformation in an aspect that partitions the inside of the mold occurs. Is also possible. In addition, the sheet-shaped resin with the central part protruding from the peripheral part forms a large gap between the mold and the sheet-shaped resin with a uniform thickness. There is concern about being done.
本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであって、型内に空気が残存しにくいシート状樹脂及びこれを利用した圧縮成形方法を提供することをその課題とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide a sheet-like resin in which air hardly remains in a mold and a compression molding method using the same.
本発明は、圧縮成形用の原材料として型内に収容される板状体で、厚さ方向に貫通する通気孔が形成された圧縮成形用のシート状樹脂により上記課題を解決したものである。 The present invention solves the above-mentioned problems with a sheet-like resin for compression molding, which is a plate-like body accommodated in a mold as a raw material for compression molding and has a vent hole penetrating in the thickness direction.
このように通気孔を形成しておくことで、シート状樹脂が型内を仕切るように変形しても、仕切られた隙間の空気は通気孔を通ってシート状樹脂の一方側から他方側に移動し、外部に排気される。 By forming a vent hole in this way, even if the sheet-shaped resin is deformed so as to partition the inside of the mold, the air in the partitioned gap passes through the vent hole from one side of the sheet-shaped resin to the other side. It moves and is exhausted to the outside.
又、通気孔に代えて、厚さ方向両面に連通する切り欠きを形成してもよい。 Moreover, it may replace with a ventilation hole and may form the notch connected to thickness direction both surfaces.
又、周縁に連通する通気溝を厚さ方向の少なくとも一方の面に形成してもよい。このように、シート状樹脂に通気溝を形成した場合、シート状樹脂が型内を仕切るように変形しても、仕切られた隙間の空気は、通気溝を通ってシート状樹脂の周縁まで移動し、外部に排気される。 Further, a ventilation groove communicating with the peripheral edge may be formed on at least one surface in the thickness direction. As described above, when the ventilation groove is formed in the sheet-shaped resin, even if the sheet-shaped resin is deformed so as to partition the inside of the mold, the air in the partitioned gap moves to the periphery of the sheet-shaped resin through the ventilation groove. And exhausted to the outside.
又、シート状樹脂の厚さ方向の少なくとも一方の面に複数の突起を形成し、型に嵌合した状態で型との間に、通気可能な空隙を形成する構成としてもよい。 Moreover, it is good also as a structure which forms several protrusion on the at least one surface of the thickness direction of sheet-like resin, and forms the space | gap which can ventilate between a type | mold in the state fitted to the type | mold.
このように意図的に通気可能な空隙を形成することで、確実な排気が可能である。又、突起を複数形成することで、シート状樹脂の成形過程における自由度を小さく抑制し、型内を仕切るような態様のシート状樹脂の変形を抑制できる。 In this way, by forming a void that can be intentionally ventilated, reliable exhaust is possible. Further, by forming a plurality of protrusions, it is possible to suppress the degree of freedom in the molding process of the sheet-like resin to be small, and to suppress deformation of the sheet-like resin that partitions the mold.
本発明によれば、型内の空気を確実に排気し、高品質の圧縮成形を実現できる。 According to the present invention, high-quality compression molding can be realized by reliably exhausting the air in the mold.
以下、本発明を実施するための好ましい形態について図面を参照して詳細に説明する。 Hereinafter, preferred embodiments for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
図1に示されるように、本発明の第1実施形態に係るシート状樹脂10は、圧縮成形用の原材料として型12内に収容される板状体で、厚さ方向に貫通する通気孔14が形成されたことを特徴としている。他の構成については、本実施形態の理解のために特に重要とは思われないため、説明を適宜省略する。
As shown in FIG. 1, a sheet-
シート状樹脂10は、図2に示されるように、厚さが均一な略長方形の板状体で、材料は熱硬化性樹脂である。
As shown in FIG. 2, the sheet-
通気孔14は、断面が略円形で、シート状樹脂10における複数(本第1実施形態では9箇所)の部位に適宜な間隔で形成されている。尚、通気孔14の直径は1mm以上であることが好ましく、3mm以上であれば更に好ましい。
The
被封止物16は、基板18の片面に複数固着されている。
A plurality of objects to be sealed 16 are fixed to one side of the
型12は、上型20と、下型22と、枠状型24と、これらを加熱するための図示しない加熱器と、を備えている。
The mold 12 includes an
上型20は、図示しない吸着機構又はチャック機構を備えており、下面において基板18における被封止物16が固着された面と反対側の面を保持/解放自在である。
The
下型22は、上端部22Aと、中間部22Bと、基部22Cと、を有している。上端部22Aは枠状型24の内側に上下方向摺動自在に嵌合している。中間部22Bは、枠状型24の下端部を貫通し、上端部22A及び基部22Cを連結している。基部22Cと枠状型24との間には圧縮ばね26が装架されている。
The
枠状型24の内側、且つ、下型22の上端部22Aの上側は、キャビティ24Aを構成している。枠状型24には、キャビティ24A内側の空気を外側に排気するための排気孔24Bが形成されている。排気孔24Bには、配管27を介して、キャビティ24A内の空気を吸引するための減圧装置28が連結されている。
The inside of the frame-
下型22及び枠状型24は、上型20に対し上下方向に接近/離間自在であり、枠状型24及び上型20で基板18の周縁を上下方向両側から挟持し、更に下型22が上型20に接近することで、シート状樹脂10を加圧できるようになっている。
The
次に、シート状樹脂10の型12内における作用について説明する。
Next, the operation of the sheet-
まず、上型20から下型22及び枠状型24を離間させた状態で、上型20の下面に基板18を被封止物16が下向きとなるように保持する。又、キャビティ24A内にシート状樹脂10を搬入する。
First, in a state where the
次に、上型20に下型22及び枠状型24を接近させて、上型20及び枠状型24で基板18の周縁を挟持すると共に、キャビティ24A内に被封止物16を収容する。上型20、下型22及び枠状型24は、加熱器で常時加熱されており、キャビティ24A内に搬入、収容されたシート状樹脂10は軟化する。
Next, the
この状態で、減圧装置26により、キャビティ24A内の空気を吸引して枠状型24の外側に排気しながら、圧縮ばね26の反力に抗して下型22を上型20に更に接近させて、軟化した樹脂を加圧する。これにより、樹脂は、被封止物16を封止しつつ、キャビティ24Aの形状に成形される。
In this state, the
この際、図3に示されるように、シート状樹脂10は、キャビティ24A内を仕切るような態様で変形することがある。尚、図3は、本実施形態の理解のため、シート状樹脂10と型12との間の隙間を実際よりも著しく大きく描いている。しかしながら、シート状樹脂10には通気孔14が形成されているので、シート状樹脂10により排気孔24B側から仕切られたような部分の空気は通気孔14を通ってシート状樹脂10の一方側から他方側に移動し、排気孔24Bから外部に排気される。従って、高品質の圧縮成形を実現できる。尚、一部又は全部の通気孔14は、被封止物16と、紙面に垂直な方向に位置がずれており、被封止部22Aで閉塞されていない。
At this time, as shown in FIG. 3, the sheet-
圧縮成形後、樹脂及び基板18は、被封止物16毎に切断され、複数の製品が完成する。
After the compression molding, the resin and the
尚、本第1実施形態において、減圧装置28でキャビティ24A内の空気を吸引しているが、キャビティ24A内の空気を充分に排気できれば、減圧装置は省略してもよい。
In the first embodiment, the
又、本第1実施形態において、通気孔14は断面が円形で、9個形成されているが、通気孔の形状、個数は、型の形状や、被封止物の形状に応じて適宜決定すればよい。例えば、図4に示される、本発明の第2実施形態に係るシート状樹脂30のように、細長い3本のスリット状の通気孔32を形成してもよい。
In the first embodiment, the
又、本第1実施形態において、1回の圧縮成形で複数の被封止物16を同時に樹脂で封止しているが、1回の圧縮成形で1個の被封止物を樹脂で封止する場合にも本発明を適用可能である。 In the first embodiment, a plurality of objects to be sealed 16 are simultaneously sealed with resin by one compression molding. However, one object to be sealed is sealed with resin by one compression molding. The present invention can also be applied when stopping.
次に、本発明の第3実施形態について説明する。 Next, a third embodiment of the present invention will be described.
図5に示されるように、本第3実施形態に係るシート状樹脂40は、前記第1実施形態に係るシート状樹脂10に対し、通気孔14に代えて厚さ方向両面に連通する切り欠き42が形成された点が異なっている。他の構成は、前記シート状樹脂10と同様であるので説明を省略する。
As shown in FIG. 5, the sheet-
切り欠き42は、周縁に略垂直な細長いスリット状で、複数(本実施形態では6箇所に)形成されている。具体的には、1の周縁の3箇所に適宜な間隔で3本の切り欠き42が形成され、これらと対称的に、他の周縁の3箇所に3本の切り欠き42が形成されている。
The
シート状樹脂40は、成形される際にキャビティ24A内を仕切るような態様で変形しても、前記シート状樹脂10と同様に、シート状樹脂40により排気孔24B側から仕切られた部分の空気は、切り欠き42を通ってシート状樹脂40の一方側から他方側に移動し、排気孔24B側から排気される。
Even if the sheet-
尚、本第3実施形態において、切り欠き42はスリット状で、シート状樹脂40の6箇所に形成されているが、切り欠きの形状、個数は、型の形状や、被封止物の形状に応じて適宜決定すればよい。
In the third embodiment, the
次に、本発明の第4実施形態について説明する。 Next, a fourth embodiment of the present invention will be described.
図6及び図7に示されるように、本第4実施形態に係るシート状樹脂50は、前記第1実施形態に係るシート状樹脂10に対し、通気孔14に代えて、周縁に連通する通気溝52が厚さ方向の両面に形成された点が異なる。他の構成は、前記シート状樹脂10と同様であるので説明を省略する。
As shown in FIG. 6 and FIG. 7, the sheet-
通気溝52は、シート状樹脂50の周縁に略平行な格子状のパターンで形成されている。
The
シート状樹脂50は、成形される際にキャビティ24A内を仕切るような態様で変形しても、シート状樹脂50により排気孔24B側から仕切られた部分の空気は、通気溝52を通ってシート状樹脂50の周縁部に移動し、排気孔24Bから外部に排気される。
Even when the sheet-
尚、本第4実施形態において、通気溝52は格子状のパターンで形成されているが、通気溝のパターンは、型の形状や、被封止物の形状に応じて適宜決定すればよい。又、通気溝のパターンはシート状樹脂の両面で異なるパターンとしてもよい。又、シート状樹脂の片面だけに、通気溝を形成してもよい。
In the fourth embodiment, the
次に、本発明の第5実施形態について説明する。 Next, a fifth embodiment of the present invention will be described.
図8及び図9に示されるように、本第5実施形態に係るシート状樹脂60は、前記第1実施形態に係るシート状樹脂10に対し、厚さ方向の一方の面に複数(本第5実施形態では5個)の突起62が形成され、型12との間に通気自在の空隙を形成するように構成された点が異なる。他の構成は、前記シート状樹脂10と同様であるので説明を省略する。
As shown in FIGS. 8 and 9, the sheet-
突起62は、断面が略円形でシート状樹脂10の中央部及び4隅近傍に形成され、これらの突出量はほぼ等しい。
The
このように意図的に通気可能な空隙を形成することで、空隙の空気を確実に排気できる。又、突起62は複数形成されているので、シート状樹脂60は変形過程における自由度が小さく抑制され、型内を仕切るような態様のシート状樹脂の変形が抑制される。
By thus forming a gap that can be intentionally ventilated, the air in the gap can be reliably exhausted. In addition, since a plurality of
尚、本第5実施形態において、突起62は断面が略円形で、シート状樹脂60の5箇所に形成されているが、突起の形状、個数は、型の形状や、被封止物の形状に応じて適宜決定すればよい。例えば、シート状樹脂の1辺に平行な2本の細長い2本の突起を形成してもよい。又、シート状樹脂の両面に複数の突起を形成してもよい。
In the fifth embodiment, the
又、上記第1〜第5実施形態において、それぞれ1枚のシート状樹脂に通気孔、切り欠き、通気溝、突起のいずれかを個別に形成したものであるが、これらの2以上の要素を1枚のシート状樹脂に形成してもよい。例えば、通気孔及び切り欠きを1枚のシート状樹脂に形成してもよい。 In the first to fifth embodiments, each of the sheet-like resin is formed with any one of a vent hole, a notch, a vent groove, and a protrusion. You may form in one sheet-like resin. For example, the air hole and the notch may be formed in one sheet-like resin.
上記第1〜第5実施形態において、シート状樹脂は略長方形であるが、シート状樹脂の形状は型の形状等に応じて決定すればよい。 In the first to fifth embodiments, the sheet-like resin is substantially rectangular, but the shape of the sheet-like resin may be determined according to the shape of the mold or the like.
本発明は、例えば電子部品の封止等のための圧縮成形に利用することができる。 The present invention can be used for compression molding for sealing electronic components, for example.
10、30、40、50、60…シート状樹脂
12…型
14、32…通気孔
16…被封止物
18…基板
20…上型
22…下型
22A…上端部
22B…中間部
22C…基部
24…枠状型
24A…キャビティ
24B…排気孔
26…圧縮ばね
27…配管
28…減圧装置
42…切り欠き
52…通気溝
62…突起
DESCRIPTION OF
Claims (6)
ことを特徴とする圧縮成形用のシート状樹脂。 A sheet-like resin for compression molding, which is a plate-like body accommodated in a mold as a raw material for compression molding, and has a vent hole penetrating in the thickness direction.
ことを特徴とする圧縮成形用のシート状樹脂。 A sheet-like resin for compression molding, which is a plate-like body accommodated in a mold as a raw material for compression molding, and has cutouts communicating with both sides in the thickness direction.
ことを特徴とする圧縮成形用のシート状樹脂。 A sheet-like resin for compression molding, characterized in that it is a plate-like body accommodated in a mold as a raw material for compression molding, and a ventilation groove communicating with the periphery is formed on at least one surface in the thickness direction.
ことを特徴とする圧縮成形用のシート状樹脂。 It is a plate-like body accommodated in a mold as a raw material for compression molding, and a plurality of protrusions are formed on at least one surface in the thickness direction, and a ventilation space is formed between the mold and the mold. A sheet-like resin for compression molding characterized by the above.
ことを特徴とする圧縮成形方法。 The sheet-like resin for compression molding according to any one of claims 1 to 4 and an object to be sealed are accommodated in the mold, the sheet-like resin is heated and softened, and the softened resin is A compression molding method characterized in that it is molded into a predetermined shape while sealing the object to be sealed by pressing with a mold.
前記型内の空気を吸引して外部に排気しつつ、前記軟化した樹脂を前記型で加圧して前記被封止体を封止しつつ所定の形状に成形する
ことを特徴とする圧縮成形方法。 In claim 5,
A compression molding method characterized by sucking air in the mold and exhausting it outside, pressurizing the softened resin with the mold and sealing the object to be sealed into a predetermined shape .
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A711 | Notification of change in applicant |
Effective date: 20060810 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 |
|
| A621 | Written request for application examination |
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|
| A977 | Report on retrieval |
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090616 |
|
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|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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|
| A02 | Decision of refusal |
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