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JP2006168233A - Liquid discharge head and inkjet recording apparatus - Google Patents

Liquid discharge head and inkjet recording apparatus Download PDF

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JP2006168233A
JP2006168233A JP2004365245A JP2004365245A JP2006168233A JP 2006168233 A JP2006168233 A JP 2006168233A JP 2004365245 A JP2004365245 A JP 2004365245A JP 2004365245 A JP2004365245 A JP 2004365245A JP 2006168233 A JP2006168233 A JP 2006168233A
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JP
Japan
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sealing material
head
ink
wiring board
ilb
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Pending
Application number
JP2004365245A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kazunari Ishizuka
一成 石塚
Tadaki Inamoto
忠喜 稲本
Masako Shimomura
まさ子 下村
Yohei Sato
陽平 佐藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP2004365245A priority Critical patent/JP2006168233A/en
Publication of JP2006168233A publication Critical patent/JP2006168233A/en
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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

【課題】電気配線基板(TAB)のインナーリードを封止する封止部の割れや剥がれによるトラブルを低減する。
【解決手段】素子チップであるヘッド基板H1100は電気配線基板H1300のデバイスホールH1302に位置合わせされ、両者は支持板H1400を介してベース板H1200に固定される。電気配線基板H1300のインナーリードH1303を、ヘッド基板H1100の電気接続部に接続し、ヘッド基板H1100の周囲にチップ周囲封止材19を充填し、電気配線基板H1300の表面側からインナーリードH1303をILB封止材20によって封止する。ILB封止材20がチップ周囲封止材19上に流れ出るのを防ぐために、電気配線基板H1300の表面にILB封止材20を捕捉する凹所22を設ける。
【選択図】図1
An object of the present invention is to reduce troubles caused by cracking or peeling of a sealing portion for sealing an inner lead of an electric wiring board (TAB).
A head substrate H1100, which is an element chip, is aligned with a device hole H1302 of an electric wiring substrate H1300, and both are fixed to a base plate H1200 via a support plate H1400. The inner lead H1303 of the electrical wiring board H1300 is connected to the electrical connection portion of the head board H1100, the chip substrate sealing material 19 is filled around the head board H1100, and the inner lead H1303 is connected to the ILB from the surface side of the electrical wiring board H1300. Sealing is performed with the sealing material 20. In order to prevent the ILB sealing material 20 from flowing out onto the chip periphery sealing material 19, a recess 22 for capturing the ILB sealing material 20 is provided on the surface of the electric wiring board H 1300.
[Selection] Figure 1

Description

本発明は、液体吐出ヘッドおよびこれを用いたインクジェット記録装置に関するものである。   The present invention relates to a liquid discharge head and an ink jet recording apparatus using the same.

従来のインクジェット記録装置は、特許文献1に開示されたものである図17にその主要部を示すように、吐出圧発生手段を有するシリコン基板および吐出口列116を有するオリフィスプレートである上板部材117等を有し、電気的に外部と接続するための電気接続部を形成した素子チップであるヘッド基板110と、外部信号入力端子131、デバイスホール132、インナーリード133等を有する電気配線基板(TAB)130と、電気配線基板130を保持し、ヘッド基板110を囲む開口部を有する図示しない支持板とを備え、図18に示すように、ヘッド基板110は、その電気接続部とインナーリード133が接続するようにベース板200によって保持され、ヘッド基板110の周囲にはチップ周囲封止材119が充填され、インナーリード133とヘッド基板110との電気的接続部はILB封止材120によって封止される。
特開2002−79675号公報
As shown in FIG. 17, which is a conventional ink jet recording apparatus disclosed in Patent Document 1, an upper plate member which is a silicon substrate having discharge pressure generating means and an orifice plate having discharge port arrays 116. 117, etc., and an electric wiring substrate (head substrate 110, which is an element chip on which an electrical connection portion for electrical connection to the outside is formed, an external signal input terminal 131, a device hole 132, an inner lead 133, etc. TAB) 130 and a support plate (not shown) that holds the electrical wiring substrate 130 and has an opening surrounding the head substrate 110. As shown in FIG. 18, the head substrate 110 includes the electrical connection portion and the inner lead 133. Is held by the base plate 200 so as to be connected, and the periphery of the head substrate 110 is filled with a chip peripheral sealing material 119. Is, the electrical connection between the inner lead 133 and the head substrate 110 is sealed by the ILB sealant 120.
JP 2002-79675 A

上記従来の液体吐出ヘッドでは、ILB封止材120の一部が、先に充填されたチップ周囲封止材119の上へ流れ込み、流れ込んだ端部が薄皮状態になってヒケ120aを発生することがあった。すなわち、ILB封止材120とチップ周囲封止材119の理想的な封止状態では、図18の(b)に示すように電気配線基板130上にILB封止材120が塗布されたものが、ILB封止材120の流動性のために、同図の(a)に示すように、ILB封止材120の一部がチップ周囲封止材119上に流れ込んだ状態となる。   In the above-described conventional liquid discharge head, a part of the ILB sealing material 120 flows onto the previously-sealed sealing material 119 around the chip, and the flowed end portion becomes a thin skin state to generate sink marks 120a. was there. That is, in an ideal sealing state of the ILB sealing material 120 and the chip periphery sealing material 119, the one in which the ILB sealing material 120 is applied on the electric wiring board 130 as shown in FIG. Due to the fluidity of the ILB sealing material 120, a part of the ILB sealing material 120 flows into the chip peripheral sealing material 119 as shown in FIG.

このように、ILB封止材120の一部がチップ周囲封止材119上に流れ込んだ場合は、外界の熱変化等で、チップ周囲封止材119上に流れ込んだILB封止材120のヒケ120aに割れが発生し、これに伴って、チップ周囲封止材119にも割れが発生し、その結果、インク吐出性能等に対する信頼性の低下を引き起こすおそれがあった。   As described above, when a part of the ILB sealing material 120 flows onto the chip peripheral sealing material 119, the sink of the ILB sealing material 120 that has flowed onto the chip peripheral sealing material 119 due to a change in the external heat or the like. A crack is generated in 120a, and accordingly, a crack is also generated in the chip periphery sealing material 119. As a result, there is a possibility that the reliability of the ink discharge performance is lowered.

加えて、電気配線基板の表面はポリイミドであるために、通常、封止材との接着性は弱く、高速印字中に、電気配線基板の表面上の割れを発生した封止材にオリフィスプレート全面をふき取るためのブレードが接触すると、インク拭き動作中に電気配線基板の表面から封止材が剥がれ、インクがインナーリード接続部に浸入し、腐食するといった不良の原因となる。この場合、剥がれてめくれた封止材がちぎれて、オリフィスプレートに付着してしまうこともあり、また、今後の高印字品位化に向けて、インクが改良され従来にないインク溶剤の使用、強アルカリ化等があった場合には、電気配線基板の表面と封止材界面から封止材が剥がれてインクがインナーリード部に浸入し、腐食するといった不良は重大な性能劣化を招くおそれがある。   In addition, since the surface of the electrical wiring board is made of polyimide, the adhesion to the sealing material is usually weak, and the entire surface of the orifice plate is applied to the sealing material that has cracked on the surface of the electrical wiring board during high-speed printing. When the blade for wiping off contacts, the sealing material is peeled off from the surface of the electric wiring board during the ink wiping operation, and this causes a defect such that the ink penetrates into the inner lead connecting portion and corrodes. In this case, the peeled off sealing material may tear off and adhere to the orifice plate.In addition, the ink has been improved and the use of an unprecedented ink solvent has been strengthened in order to improve the quality of printing in the future. In the case of alkalinization or the like, a defect that the sealing material is peeled off from the surface of the electrical wiring board and the sealing material interface and the ink penetrates into the inner lead portion and corrodes may cause serious performance deterioration. .

本発明は、上記従来の技術の有する未解決の課題に鑑みてなされたものであり、電気配線基板の封止部におけるトラブルを低減し、吐出性能の信頼性を向上できる液体吐出ヘッドおよびインクジェット記録装置を提供することを目的とするものである。   The present invention has been made in view of the above-mentioned unsolved problems of the conventional techniques, and can reduce troubles in the sealing portion of the electric wiring board and improve the reliability of the discharge performance and ink jet recording. The object is to provide an apparatus.

上記の目的を達成するため、本発明の液体吐出ヘッドは、液体を吐出する吐出手段を有する素子チップと、前記素子チップの電気接続部に接続されるインナーリード接続部を有する電気配線基板と、前記インナーリード接続部を前記電気配線基板の表面側から封止する封止部とを有し、前記電気配線基板の表面に、前記封止部の封止材を捕捉する凹所が形成されていることを特徴とする。   In order to achieve the above object, a liquid discharge head according to the present invention includes an element chip having discharge means for discharging a liquid, an electric wiring board having an inner lead connection portion connected to an electric connection portion of the element chip, A sealing portion for sealing the inner lead connecting portion from the surface side of the electrical wiring board, and a recess for capturing the sealing material of the sealing portion is formed on the surface of the electrical wiring board. It is characterized by being.

電気配線基板の表面に凹所を設けて、インナーリード接続部を封止する封止部の封止材が、所定の封止領域を越えて流れ出すのを防ぎ、封止部の割れ等に起因するインク等液体の漏れ等による信頼性の低下を回避する。   Providing a recess on the surface of the electrical wiring board to prevent the sealing material of the sealing part that seals the inner lead connection part from flowing out beyond the predetermined sealing area, resulting from cracks in the sealing part, etc. The deterioration of reliability due to leakage of liquid such as ink is avoided.

また、電気配線基板上の凹所による封止部の封止材に対する接着面積の増加およびアンカー効果により、電気配線基板と封止材間の接着力が向上し、封止材の剥がれによるインナーリード接続部への液体の浸入を抑えて、インナーリード接続部の腐食による接続不良の発生が抑えられた、より信頼性の高い液体吐出ヘッドを実現できる。   In addition, the adhesive area between the electrical wiring board and the sealing material is improved by the increase in the adhesion area of the sealing part to the sealing material due to the recess on the electrical wiring board and the anchor effect, and the inner lead due to peeling of the sealing material It is possible to realize a more reliable liquid discharge head that suppresses the intrusion of liquid into the connection portion and suppresses the occurrence of connection failure due to corrosion of the inner lead connection portion.

図1に示すように、液体吐出ヘッドであるプリントヘッドH1001は、吐出手段である吐出口列16を有する上板部材(ノズルプレート)17や、後述するように吐出圧発生手段や電気的に外部と接続するための電気接続部を形成した本体部等を有する素子チップであるヘッド基板H1100と、外部信号入力端子H1301、デバイスホールH1302、およびインナーリードH1303によるインナーリード接続部等を有する電気配線基板(TAB)H1300と、電気配線基板H1300を保持し、ヘッド基板H1100を囲む開口部を備えた支持板H1400と、ヘッド基板H1100の電気接続部とインナーリードH1303が接続するようにヘッド基板H1100と支持板H1400を固定支持するベース板H1200を有し、デバイスホールH1302内に固定されたヘッド基板H1100の周囲には第1の封止部を形成するチップ周囲封止材19が充填され、インナーリードH1303とヘッド基板H1100の電気的接続部は第2の封止部を形成するILB封止材20によって封止される。   As shown in FIG. 1, a print head H1001 that is a liquid discharge head includes an upper plate member (nozzle plate) 17 having discharge port arrays 16 that are discharge means, discharge pressure generating means and an electrically external device as will be described later. An electric wiring board having an inner lead connecting part by an external signal input terminal H1301, a device hole H1302, and an inner lead H1303. (TAB) H1300, support board H1400 having an opening that holds electrical wiring board H1300 and surrounds head board H1100, and the head board H1100 is supported so that the electrical connection part of head board H1100 and inner lead H1303 are connected. It has a base plate H1200 that fixes and supports the plate H1400 The periphery of the head substrate H1100 fixed in the device hole H1302 is filled with a chip peripheral sealing material 19 that forms a first sealing portion, and the electrical connection between the inner lead H1303 and the head substrate H1100 is the second. It is sealed with an ILB sealing material 20 that forms a sealing portion.

電気配線基板H1300上のILB封止材20の塗布領域には、インナーリード接続部に近接する部位に凹所22を設ける。すなわち、図2に示すように、ILB封止材20がチップ周囲封止材19上に流れ込まないように、ILB封止材20の一部を溜め込むための貫通しない凹所22を設ける。   In the application region of the ILB sealing material 20 on the electric wiring substrate H1300, a recess 22 is provided in a portion close to the inner lead connection portion. That is, as shown in FIG. 2, a non-penetrating recess 22 for storing a part of the ILB sealing material 20 is provided so that the ILB sealing material 20 does not flow onto the chip periphery sealing material 19.

このように、ILB封止材の塗布領域に、貫通しない凹形状の段差である凹所を設けた電気配線基板を使用し、塗布したILB封止材の一部が、この凹所に捕捉されることで、チップ周囲封止材上へILB封止材が流れ込むのを防止する。また、凹所に充填されたILB封止材は、接着面積の増加およびアンカー効果により、電気配線基板の表面とILB封止材界面の剥がれを防止できるという効果がある。なお、電気配線基板表面の凹所は、インナーリードの配線領域を避けて配設されることは言うまでもない。   In this way, using an electrical wiring board provided with a recess that is a concave step that does not penetrate in the application region of the ILB sealing material, a part of the applied ILB sealing material is captured in this recess. This prevents the ILB sealing material from flowing onto the chip peripheral sealing material. Further, the ILB sealing material filled in the recesses has an effect of preventing peeling of the surface of the electric wiring board and the ILB sealing material interface due to an increase in the adhesion area and an anchor effect. Needless to say, the recesses on the surface of the electric wiring board are arranged to avoid the wiring area of the inner leads.

上記の封止材としては、熱硬化型のエポキシ樹脂や、常温硬化型のシリコーン樹脂等が用いられる。   As the sealing material, a thermosetting epoxy resin, a room temperature curing silicone resin, or the like is used.

図1に示すように、電気配線基板H1300の表面に、□1.0mm×0.4mmの凹形状の縦穴(深さ0.1mm)である凹所22を設けた。所定の位置にヘッド基板H1100が接着された支持板H1400にこの電気配線基板H1300をインナーリードH1303の位置が合うように圧着後、ILB接続を行い、次いで、チップ周囲封止材19およびILB封止材20による封止を行った。このとき、図2に示すように、凹所22にILB封止材20の一部が充填され、ILB封止材20のチップ周囲封止材19上への流れ込みは生じないことが確認された。   As shown in FIG. 1, a recess 22 that is a vertical hole (depth 0.1 mm) of □ 1.0 mm × 0.4 mm is provided on the surface of the electric wiring board H1300. The electric wiring board H1300 is pressure-bonded to the support plate H1400 to which the head substrate H1100 is bonded at a predetermined position so that the inner leads H1303 are aligned, and then ILB connection is performed, and then the chip peripheral sealing material 19 and the ILB sealing are performed. Sealing with the material 20 was performed. At this time, as shown in FIG. 2, it was confirmed that the recess 22 was partially filled with the ILB sealing material 20, and the ILB sealing material 20 did not flow onto the chip peripheral sealing material 19. .

封止材は、ILB封止材20としてチップ周囲封止材19よりも熱硬化後の硬度が高い熱硬化一液型エポキシ樹脂封止材を使用し、チップ周囲封止材19にはILB封止材20よりも流動性の高い熱硬化一液型エポキシ樹脂封止材を使用し、これらを同時に硬化させた。   As the sealing material, a thermosetting one-pack type epoxy resin sealing material having higher hardness after thermosetting than the chip peripheral sealing material 19 is used as the ILB sealing material 20. A thermosetting one-pack type epoxy resin sealing material having higher fluidity than the stopper 20 was used, and these were simultaneously cured.

このようにして実装を行ったプリントヘッドH1001を搭載した記録装置であるインクジェットプリンタについて、H/S試験、インク拭きブレード耐久試験、およびインク浸漬(PCT)後のブレード耐久試験を行い、また、従来例と同様に電気配線基板に凹所を持たない比較例についても同様の性能評価を行った。H/S試験は、0℃から100℃の熱衝撃を加えるもので、各温度30分、熱衝撃を100サイクル与えるものである。インク拭きブレード耐久試験には、H−NBR製のブレードを使用し、上板部材17からなるオリフィスプレート部を拭き続ける試験で、封止材19、20が剥がれる際のブレード拭き回数を評価するものである。インク浸漬(PCT)は、pH11に調整されたインク中にプリントヘッドH1001を入れ、120℃・2気圧で10時間保存することである。   The ink jet printer, which is a recording apparatus on which the print head H1001 thus mounted, is mounted is subjected to an H / S test, an ink wiping blade durability test, and a blade durability test after ink immersion (PCT). Similar to the example, the same performance evaluation was performed for the comparative example having no recess in the electrical wiring board. The H / S test applies a thermal shock from 0 ° C. to 100 ° C. and gives 100 cycles of thermal shock at each temperature of 30 minutes. In the ink wiping blade durability test, an H-NBR blade is used and the orifice plate portion made of the upper plate member 17 is continuously wiped to evaluate the number of times the blades are wiped when the sealing materials 19 and 20 are peeled off. It is. Ink immersion (PCT) is to place the print head H1001 in ink adjusted to pH 11 and store it at 120 ° C. and 2 atm for 10 hours.

末尾の表1に示すように、H/S試験の結果、本実施例ではチップ周囲封止材の割れは発生しなかった。また、インク拭きブレード耐久試験の結果、比較例による従来の約1.4倍の耐久性が確認された。インク浸漬後のブレード耐久試験では、1.3倍の耐久性が確認された。このように、信頼性の高いインクジェットプリンタを得ることができた。   As shown in Table 1 at the end, as a result of the H / S test, cracks in the chip peripheral sealing material did not occur in this example. Further, as a result of the ink wiping blade durability test, it was confirmed that the durability of the comparative example was about 1.4 times that of the conventional example. In the blade durability test after ink immersion, 1.3 times durability was confirmed. Thus, a highly reliable inkjet printer could be obtained.

図3に示すように、電気配線基板H1300に、□0.2mm×1.0mmの凹形状の横穴(深さ0.1mm)である凹所23を設けた。実施例1と同様に、凹所23にILB封止材が充填されていることが確認され、ILB封止材のチップ周囲封止材上への流れ込みは無かった。効果確認試験を実施例1と同様にして実施したところ、表1に示すようにH/S試験後のチップ周囲封止材割れは発生しなかった。また、インク拭きブレード耐久試験で従来の約1.3倍の耐久性が確認され、インクPCT後のブレード耐久試験では、約1.3倍の耐久性が確認された。このように、信頼性の高いインクジェットプリンタを得ることができた。   As shown in FIG. 3, the electrical wiring board H1300 was provided with a recess 23 that is a concave lateral hole (depth 0.1 mm) of □ 0.2 mm × 1.0 mm. As in Example 1, it was confirmed that the recess 23 was filled with the ILB sealing material, and the ILB sealing material did not flow onto the chip periphery sealing material. When the effect confirmation test was carried out in the same manner as in Example 1, as shown in Table 1, no cracking around the chip sealing material after the H / S test occurred. Further, the durability of the ink wiping blade was confirmed to be about 1.3 times that of the conventional one, and the blade durability test after the ink PCT was confirmed to be about 1.3 times the durability. Thus, a highly reliable inkjet printer could be obtained.

図4に示すように、φ0.5mmの凹形状の丸穴(深さ0.1mm)である凹所24を設けた。実施例1と同様に、凹所24にILB封止材が充填されていることが確認され、ILB封止材のチップ周囲封止材上への流れ込みは無かった。効果確認試験を実施例1と同様にして実施したところ、表1に示すようにH/S試験後のチップ周囲封止材割れは発生しなかった。また、インク拭きブレード耐久試験で従来の約1.2倍の耐久性が確認され、インクPCT後のブレード耐久試験では、約1.1倍の耐久性が確認された。このように、信頼性の高いインクジェットプリンタを得ることができた。   As shown in FIG. 4, a recess 24, which is a concave round hole (depth 0.1 mm) of φ0.5 mm, was provided. As in Example 1, it was confirmed that the recess 24 was filled with the ILB sealing material, and the ILB sealing material did not flow onto the chip periphery sealing material. When the effect confirmation test was carried out in the same manner as in Example 1, as shown in Table 1, no cracking around the chip sealing material after the H / S test occurred. Further, the durability of the ink wiping blade was confirmed to be about 1.2 times that of the conventional one, and the durability of the blade after the ink PCT was confirmed to be about 1.1 times. Thus, a highly reliable inkjet printer could be obtained.

図5に示すように、インナーリードH1303の配線部分を避けるように□0.5mm×0.1mmの凹形状の縦穴(深さ0.1mm)である細い凹所25を多数設けた。実施例1と同様に、凹所25にILB封止材が充填されていることが確認され、ILB封止材のチップ周囲封止材上への流れ込みは無かった。効果確認試験を実施例1と同様にして実施したところ、表1に示すようにH/S試験後のチップ周囲封止材割れは発生しなかった。また、インク拭きレード耐久試験で従来の約1.2倍の耐久性が確認され、インクPCT後のブレード耐久試験では、約1.1倍の耐久性が確認された。このように、信頼性の高いインクジェットプリンタを得ることができた。   As shown in FIG. 5, a large number of narrow recesses 25, which are concave vertical holes (depth 0.1 mm) of □ 0.5 mm × 0.1 mm, are provided so as to avoid the wiring portion of the inner lead H1303. As in Example 1, it was confirmed that the recess 25 was filled with the ILB sealing material, and the ILB sealing material did not flow onto the chip periphery sealing material. When the effect confirmation test was carried out in the same manner as in Example 1, as shown in Table 1, no cracking around the chip sealing material after the H / S test occurred. In addition, the durability of the ink wiping raid was confirmed to be about 1.2 times that of the conventional method, and the durability of the blade after the ink PCT was confirmed to be about 1.1 times. Thus, a highly reliable inkjet printer could be obtained.

次に、実施例1によるプリントヘッドH1001を用いたインクジェット記録装置の全体構成を説明する。図6ないし図8に示すように、プリンタ本体M1000に収納、保持されるプリント動作機構は、プリント媒体(記録媒体)をプリンタ本体M1000内へと自動的に給送する自動給送部M3022と、この自動給送部M3022から1枚ずつ送出されるプリント媒体を所望のプリント位置へと導くと共に、プリント位置から排出部M3030へとプリント媒体を導く搬送部M3029と、プリント位置に搬送されたプリント媒体に所定のプリントを行うプリント部と、このプリント部などに対する回復処理を行う回復部M5000とから構成されている。   Next, the overall configuration of the ink jet recording apparatus using the print head H1001 according to the first embodiment will be described. As shown in FIGS. 6 to 8, the printing operation mechanism housed and held in the printer main body M1000 includes an automatic feeding unit M3022 that automatically feeds a print medium (recording medium) into the printer main body M1000. A print medium sent one by one from the automatic feeding unit M3022 is guided to a desired print position, and a transport unit M3029 is configured to guide the print medium from the print position to the discharge unit M3030, and the print medium transported to the print position The printing unit includes a printing unit that performs predetermined printing, and a recovery unit M5000 that performs recovery processing on the printing unit.

前記プリント部は、キャリッジ軸M4021によって移動可能に支持されたキャリッジM4001と、このキャリッジM4001に着脱可能に搭載されるヘッドカートリッジH1000とを備えている。   The printing unit includes a carriage M4001 that is movably supported by a carriage shaft M4021, and a head cartridge H1000 that is detachably mounted on the carriage M4001.

(ヘッドカートリッジH1000)
プリント部の一部を構成するヘッドカートリッジH1000について、図8および図9に基づき説明する。すなわち、ヘッドカートリッジH1000は、図9に示すようにインクを貯溜するインクタンクH1900が搭載されるタンクホルダH1500と、このタンクホルダH1500を介してインクタンクH1900から供給されるインクをプリント情報に応じて吐出口列16から吐出させるプリントヘッドH1001とを有する。ヘッドカートリッジH1000は、キャリッジM4001に対して着脱可能に搭載される、いわゆるカートリッジ方式を採用している。
(Head cartridge H1000)
The head cartridge H1000 that constitutes a part of the print unit will be described with reference to FIGS. That is, in the head cartridge H1000, as shown in FIG. 9, a tank holder H1500 on which an ink tank H1900 for storing ink is mounted, and ink supplied from the ink tank H1900 via the tank holder H1500 according to print information. A print head H1001 that discharges from the discharge port array 16; The head cartridge H1000 employs a so-called cartridge system that is detachably mounted on the carriage M4001.

ここに示すヘッドカートリッジH1000に対しては、写真用の高画質なカラープリントを可能とするため、例えば黒色、淡シアン色、淡マゼンタ色、シアン色、マゼンタ色および黄色の各色独立のインクタンクH1900が用意されており、各インクタンクH1900に設けられ、ヘッドカードリッジH1000に対して係止し得る弾性変形可能な取り外し用レバーH1901を操作することにより、それぞれがプリントヘッドH1001のタンクホルダH1500に対して取り外し可能となっている。   For the head cartridge H1000 shown here, for example, black, light cyan, light magenta, cyan, magenta, and yellow independent ink tanks H1900 are provided to enable high-quality color printing for photographs. By operating an elastically deformable detachable lever H1901 that is provided in each ink tank H1900 and can be locked with respect to the head cartridge H1000, each of them is attached to the tank holder H1500 of the print head H1001. Can be removed.

プリントヘッドH1001は、図9の分解斜視図に示すように、ヘッド基板H1100、ベース板H1200、電気配線基板H1300、支持板H1400などから構成され、タンクホルダH1500は、流路形成部材H1600、フィルタH1700、シールゴムH1800などから構成されている。   As shown in the exploded perspective view of FIG. 9, the print head H1001 includes a head substrate H1100, a base plate H1200, an electric wiring substrate H1300, a support plate H1400, and the like. , And a seal rubber H1800.

ヘッド基板H1100には、図10に示すように、本体部であるシリコン基板11の片面にインクを吐出するための複数の吐出圧発生手段である電気熱変換体と、各電気熱変換体に電力を供給するアルミニウムなどの電気配線とが成膜技術により形成され、この電気熱変換体に対応した複数のインク路と複数の吐出口とがフォトリソグラフィ技術により形成されると共に、複数のインク路にインクを供給するためのインク通路が裏面に開口するように形成されている。ヘッド基板H1100は、ベース板H1200に接着固定されており、ここにはヘッド基板H1100にインクを供給するためのインク供給路H1201が形成されている。さらに、ベース板H1200には、開口部H1401を有する支持板H1400が接着固定されており、この支持板H1400には、ヘッド基板H1100に対して電気的に接続する電気配線基板H1300が接合されている。電気配線基板H1300は、ヘッド基板H1100にインクを吐出するための電気信号を印加するためのものであり、ヘッド基板H1100に対応する電気配線と、この電気配線の端部に位置し、プリンタ本体M1000からの電気信号を受け取るための外部信号入力端子H1301とを有しており、外部信号入力端子H1301は、後述のタンクホルダH1500の背面側に位置決め固定されている。   As shown in FIG. 10, the head substrate H1100 includes a plurality of electrothermal transducers that are a plurality of ejection pressure generating means for ejecting ink onto one surface of the silicon substrate 11 that is the main body, and power to each electrothermal transducer. An electrical wiring such as aluminum is supplied by a film forming technique, and a plurality of ink paths and a plurality of discharge ports corresponding to the electrothermal transducer are formed by a photolithography technique. An ink passage for supplying ink is formed to open on the back surface. The head substrate H1100 is bonded and fixed to the base plate H1200, and an ink supply path H1201 for supplying ink to the head substrate H1100 is formed here. Further, a support plate H1400 having an opening H1401 is bonded and fixed to the base plate H1200, and an electrical wiring substrate H1300 that is electrically connected to the head substrate H1100 is joined to the support plate H1400. . The electrical wiring substrate H1300 is for applying an electrical signal for ejecting ink to the head substrate H1100. The electrical wiring substrate H1300 is located at an end portion of the electrical wiring corresponding to the head substrate H1100 and the printer body M1000. And an external signal input terminal H1301 for receiving an electrical signal from the tank. The external signal input terminal H1301 is positioned and fixed on the back side of a tank holder H1500 described later.

インクタンクH1900を着脱可能に保持するタンクホルダH1500には、流路形成部材H1600が例えば超音波溶着により固定され、インクタンクH1900から流路形成部材H1600に至るインク流路H1501を形成している。インクタンクH1900と係合するインク流路H1501のインクタンク側端部には、フィルタH1700が設けられており、外部からの塵埃の侵入を防止し得るようになっている。インクタンクH1900との係合部にはシールゴムH1800が装着され、係合部からのインクの蒸発を防止し得るようになっている。   A flow path forming member H1600 is fixed to a tank holder H1500 that detachably holds the ink tank H1900, for example, by ultrasonic welding, and an ink flow path H1501 from the ink tank H1900 to the flow path forming member H1600 is formed. A filter H1700 is provided at the ink tank side end of the ink flow path H1501 that engages with the ink tank H1900, and can prevent dust from entering from the outside. A seal rubber H1800 is attached to the engaging portion with the ink tank H1900 so that ink can be prevented from evaporating from the engaging portion.

流路形成部材H1600、フィルタH1700およびシールゴムH1800などが一体的に組み付けられるタンクホルダH1500と、ヘッド基板H1100、ベース板H1200、電気配線基板H1300および支持板H1400などから構成されるプリントヘッドH1001とを接着剤などを介して結合することにより、ヘッドカートリッジH1000を構成している。   A tank holder H1500 in which a flow path forming member H1600, a filter H1700, a seal rubber H1800, and the like are integrally assembled is bonded to a print head H1001 including a head substrate H1100, a base plate H1200, an electrical wiring substrate H1300, a support plate H1400, and the like. The head cartridge H1000 is configured by coupling through an agent or the like.

(キャリッジM4001)
図7に示すように、ヘッドカートリッジH1000を搭載するキャリッジM4001には、ヘッドカートリッジH1000をキャリッジM4001上の所定の装着位置に案内するためのキャリッジカバーM4002と、ヘッドカートリッジH1000のタンクホルダH1500と係合し、ヘッドカートリッジH1000を所定の装着位置にセットさせるよう押圧するヘッドセットレバーM4007とが設けられている。
(Carriage M4001)
As shown in FIG. 7, a carriage M4001 on which the head cartridge H1000 is mounted is engaged with a carriage cover M4002 for guiding the head cartridge H1000 to a predetermined mounting position on the carriage M4001, and a tank holder H1500 of the head cartridge H1000. In addition, a head set lever M4007 that presses the head cartridge H1000 to be set at a predetermined mounting position is provided.

すなわち、ヘッドセットレバーM4007はキャリッジM4001の上部にヘッドセットレバー軸に対して回動可能に設けられると共に、ヘッドカートリッジH1000との係合部にはばね付勢されるヘッドセットプレート(図示せず)を有し、このばね力によってヘッドカートリッジH1000を押圧しながらキャリッジM4001に装着する構成となっており、これらヘッドセットレバーM4007、ヘッドセットレバー軸、ヘッドセットプレートなどが本発明の着脱手段として機能している。   That is, the head set lever M4007 is provided at the upper part of the carriage M4001 so as to be rotatable with respect to the head set lever shaft, and a spring-set head set plate (not shown) at the engaging portion with the head cartridge H1000. The head cartridge H1000 is attached to the carriage M4001 while pressing the head cartridge H1000 by this spring force, and the head set lever M4007, the head set lever shaft, the head set plate, etc. function as the attaching / detaching means of the present invention. ing.

キャリッジM4001のヘッドカートリッジH1000との別の係合部には、図示しないコンタクトFPC(Flexible Print Cable)が設けられ、コンタクトFPC上のコンタクト部とヘッドカートリッジH1000に設けられたコンタクト部(外部信号入力端子)H1301とが電気的に接触し、プリントのための各種情報の授受やヘッドカートリッジH1000への電力の供給などを行い得るようになっている。   A contact FPC (Flexible Print Cable) (not shown) is provided at another engagement portion of the carriage M4001 with the head cartridge H1000, and a contact portion on the contact FPC and a contact portion (external signal input terminal) provided on the head cartridge H1000. ) H1301 is in electrical contact with each other so that various information for printing can be exchanged and power can be supplied to the head cartridge H1000.

コンタクトFPCのコンタクト部とキャリッジM4001との間には不図示のゴムなどの弾性部材が設けられ、この弾性部材の弾性力と図示しないヘッドセットレバーばねによる押圧力とによって、コンタクト部H1301とキャリッジM4001との確実な接触を可能とするようになっている。コンタクトFPCは、キャリッジM4001の背面に搭載された図示しないキャリッジ基板に接続されている。   An elastic member such as rubber (not shown) is provided between the contact portion of the contact FPC and the carriage M4001, and the contact portion H1301 and the carriage M4001 are formed by the elastic force of the elastic member and the pressing force by a headset lever spring (not shown). It is designed to enable reliable contact with the The contact FPC is connected to a carriage substrate (not shown) mounted on the back surface of the carriage M4001.

(プリントヘッドH1001)
ヘッドカートリッジH1000の一部を構成するプリントヘッドH1001について、図10ないし図13を参照してさらに詳細に説明する。ベース板H1200は、厚さが例えば0.5〜10mmのアルミナ(Al2 3 )で形成されているが、このベース板H1200を構成する材料としては、ヘッド基板H1100の材料の線膨張率と同等の線膨張率を有し、かつヘッド基板H1100の材料の熱伝導率と同等またはそれ以上の熱伝導率を有する材料であればよく、例えばシリコン(Si)、窒化アルミニウム(AlN)、ジルコニア(ZrO2 )、窒化珪素(Si3 4 )、炭化珪素(SiC)、モリブデン(Mo)、タングステン(W)のうち何れであってもよい。ベース板H1200には、ヘッド基板H1100に複数のインクを供給するための各々のインク供給路H1201が形成されており、ヘッド基板H1100のインク通路12がベース板H1200のインク供給路H1201にそれぞれ対応し、かつヘッド基板H1100はベース板H1200に対して所定位置に精度良く接着固定される。
(Print head H1001)
The print head H1001 that constitutes a part of the head cartridge H1000 will be described in more detail with reference to FIGS. The base plate H1200 is formed of alumina (Al 2 O 3 ) having a thickness of, for example, 0.5 to 10 mm. As a material constituting the base plate H1200, a linear expansion coefficient of a material of the head substrate H1100 is used. Any material having an equivalent linear expansion coefficient and a thermal conductivity equal to or higher than that of the material of the head substrate H1100 may be used. For example, silicon (Si), aluminum nitride (AlN), zirconia ( ZrO 2 ), silicon nitride (Si 3 N 4 ), silicon carbide (SiC), molybdenum (Mo), or tungsten (W) may be used. The base plate H1200 is formed with respective ink supply paths H1201 for supplying a plurality of inks to the head substrate H1100. The ink passages 12 of the head substrate H1100 correspond to the ink supply paths H1201 of the base plate H1200, respectively. In addition, the head substrate H1100 is bonded and fixed to the base plate H1200 at a predetermined position with high accuracy.

支持板H1400は、厚さが例えば0.5〜1mmのアルミナにて形成されているが、ベース板H1200と同様に、ヘッド基板H1100と同等の線膨張率を有し、かつその熱伝導率と同等またはそれ以上の熱伝導率を有する材料であれることが好ましい。この支持板H1400は、ベース板H1200に接着固定されたヘッド基板H1100の外形寸法よりも大きな開口部H1401を有し、ヘッド基板H1100と電気配線基板H1300とをほぼ同一平面で電気的に接続できるように、ベース板H1200に接着されており、この支持板H1400に電気配線基板H1300の裏面が接着固定される。電気配線基板H1300は、ヘッド基板H1100に対してインクを吐出するための電気信号を印加するものであり、ヘッド基板H1100を組み込むためのデバイスホールH1302と、ヘッド基板H1100の電気接続部である接続端子14に対応するインナーリードH1303と、その配線端部に位置してプリンタ本体M1000からの電気信号を受け取るための外部信号入力端子H1301とを有している。   The support plate H1400 is formed of alumina having a thickness of, for example, 0.5 to 1 mm. Like the base plate H1200, the support plate H1400 has a linear expansion coefficient equivalent to that of the head substrate H1100, and its thermal conductivity. It is preferable that the material has the same or higher thermal conductivity. The support plate H1400 has an opening H1401 larger than the outer dimension of the head substrate H1100 bonded and fixed to the base plate H1200, so that the head substrate H1100 and the electrical wiring substrate H1300 can be electrically connected in substantially the same plane. The back surface of the electric wiring board H1300 is bonded and fixed to the support plate H1400. The electrical wiring substrate H1300 applies an electrical signal for ejecting ink to the head substrate H1100. A device hole H1302 for incorporating the head substrate H1100 and a connection terminal that is an electrical connection portion of the head substrate H1100. 14 and an external signal input terminal H1301 for receiving an electrical signal from the printer main body M1000 located at the end of the wiring.

ヘッド基板H1100は、厚さが0.5〜1mmのシリコン基板11の上に成膜技術を用いて吐出圧発生手段、インク室15などを形成したものである。   The head substrate H1100 is obtained by forming discharge pressure generating means, an ink chamber 15 and the like on a silicon substrate 11 having a thickness of 0.5 to 1 mm using a film forming technique.

シリコン基板11には、これを貫通する長孔状のインク通路12が形成されている。このインク通路12は、シリコン基板11の結晶構造を利用して異方性エッチングにより形成される。つまり、このシリコン基板11の表面の結晶面が(100)、厚さ方向の結晶面が(111)の場合、KOH、TMAH、ヒドラジンなどのアルカリ系エッチング液を用いて異方性エッチングを行うことにより、約54.7度の角度の傾斜面を持ったインク通路12が形成される。このインク通路12の両側には、インク通路12の長手方向に沿って所定間隔で2列に並ぶ複数(たとえば片側128個)の電気熱変換体13が相互に半ピッチずらした状態で形成され、吐出圧発生手段を構成している。   The silicon substrate 11 is formed with an elongated ink passage 12 penetrating therethrough. The ink passage 12 is formed by anisotropic etching using the crystal structure of the silicon substrate 11. That is, when the crystal plane of the surface of the silicon substrate 11 is (100) and the crystal plane in the thickness direction is (111), anisotropic etching is performed using an alkaline etching solution such as KOH, TMAH, or hydrazine. Thus, the ink passage 12 having an inclined surface with an angle of about 54.7 degrees is formed. On both sides of the ink passage 12, a plurality (for example, 128 pieces on one side) of the electrothermal transducers 13 arranged in two rows at predetermined intervals along the longitudinal direction of the ink passage 12 are formed in a state where they are shifted from each other by a half pitch. It constitutes a discharge pressure generating means.

シリコン基板11には、これら電気熱変換体13および接続端子14の他、電気熱変換体13と接続端子14とを導通する図示しない電気配線などが設けられており、これら接続端子14を介して図示しない駆動ICから電気熱変換体13に対する駆動信号が駆動電力と共に与えられる。このシリコン基板11上には、インク通路12に連通するインク室15を介して電気熱変換体13とそれぞれ正対する複数の吐出口列16を有する上板部材17が形成される。すなわち、この上板部材17とシリコン基板11との間にはインク通路12と個々のインク室15とに連通するインク路18が形成され、これらは吐出口列16と同様にフォトリソグラフィ技術により上板部材17と共に形成される。上板部材17の接続端子14側には、これら接続端子14の配列方向に沿って延在する溝状の堰部21が形成されており、後述するILB封止材20を接続端子14とインナーリードH1303との接続部分に塗布する際に、ILB封止材20がこの堰部21に流れ込んで吐出口列16側に流出するのを防止するようになっている。   In addition to the electrothermal transducer 13 and the connection terminal 14, the silicon substrate 11 is provided with electrical wiring (not shown) that conducts the electrothermal transducer 13 and the connection terminal 14. A drive signal for the electrothermal transducer 13 is supplied together with drive power from a drive IC (not shown). On the silicon substrate 11, an upper plate member 17 having a plurality of discharge port arrays 16 respectively facing the electrothermal transducer 13 through an ink chamber 15 communicating with the ink passage 12 is formed. That is, an ink path 18 communicating with the ink passage 12 and the individual ink chambers 15 is formed between the upper plate member 17 and the silicon substrate 11, and these are formed by photolithography technology in the same manner as the ejection port array 16. It is formed together with the plate member 17. On the connection terminal 14 side of the upper plate member 17, a groove-like dam portion 21 extending along the arrangement direction of the connection terminals 14 is formed, and an ILB sealing material 20 described later is connected to the connection terminal 14 and the inner member. When applying to the connection portion with the lead H1303, the ILB sealing material 20 is prevented from flowing into the weir portion 21 and flowing out to the discharge port array 16 side.

インク通路12から各インク室15内に供給される液体は、対応するインク室15内の電気熱変換体13に駆動信号が与えられることにより、電気熱変換体13の発熱に伴って沸騰し、これにより発生する気泡の圧力によって吐出口列16から吐出される。   The liquid supplied into each ink chamber 15 from the ink passage 12 boils as the electrothermal transducer 13 generates heat, when a drive signal is given to the corresponding electrothermal transducer 13 in the ink chamber 15. The air is generated from the discharge port array 16 by the pressure of the generated bubbles.

支持板H1400には、ヘッド基板H1100を囲む矩形の開口部H1401が形成され、この開口部とベース板H1200およびヘッド基板H1100の側面で形成される溝部にはインクやゴミ等からヘッド基板側面を保護するためのチップ周囲封止材19が充填されている。支持板H1400の厚みtは、電気配線基板H1300のインナーリードH1303がヘッド基板H1100の端縁と接触しないように、ベース板H1200の表面からヘッド基板H1100の接続端子14の上端までの高さよりも厚く設定されている。   A rectangular opening H1401 surrounding the head substrate H1100 is formed in the support plate H1400, and the side surface of the head substrate is protected from ink, dust, and the like in this opening and a groove formed on the side surface of the base plate H1200 and the head substrate H1100. A chip peripheral sealing material 19 for filling is filled. The thickness t of the support plate H1400 is thicker than the height from the surface of the base plate H1200 to the upper end of the connection terminal 14 of the head substrate H1100 so that the inner leads H1303 of the electrical wiring substrate H1300 do not contact the edge of the head substrate H1100. Is set.

上述したプリントヘッドの製造手順を図14ないし図16を参照して簡単に説明すると、まずベース板H1200の表面の所定位置にヘッド基板H1100を接着剤を用いて一体的に接合し、ベース板H1200のインク供給路H1201とシリコン基板11のインク通路12とを連通させる。ここで用いられる接着剤は、低粘度で薄い接着層(例えば50μm以下)を形成することができ、かつ硬化後に比較的高い硬度を持った耐インク性のあるものが好ましく、例えばエポキシ樹脂を主成分とした熱硬化性接着剤を使用することができる。接着剤は、ベース板H1200に形成されたインク供給路H1201の周囲に塗布され、インク供給路H1201から外部にインクが漏洩しないようにする。同様に、ヘッド基板H1100を囲むように支持板H1400をベース板H1200の表面に接着剤を用いて接合する(図14参照)。   The print head manufacturing procedure described above will be briefly described with reference to FIGS. 14 to 16. First, the head substrate H1100 is integrally bonded to a predetermined position on the surface of the base plate H1200 using an adhesive, and then the base plate H1200. The ink supply path H1201 and the ink path 12 of the silicon substrate 11 are communicated with each other. The adhesive used here is preferably an ink-resistant one that can form a low-viscosity and thin adhesive layer (for example, 50 μm or less) and has a relatively high hardness after curing. A thermosetting adhesive as a component can be used. The adhesive is applied around the ink supply path H1201 formed in the base plate H1200 so that the ink does not leak from the ink supply path H1201 to the outside. Similarly, a support plate H1400 is joined to the surface of the base plate H1200 using an adhesive so as to surround the head substrate H1100 (see FIG. 14).

しかる後、この支持板H1400に電気配線基板H1300を接着固定するが、この時、ヘッド基板H1100の接続端子14に対して電気配線基板H1300のインナーリードH1303が接続可能な範囲で位置決めされ、TAB実装技術により電気接続される(図15参照)。   Thereafter, the electric wiring board H1300 is bonded and fixed to the support plate H1400. At this time, the inner lead H1303 of the electric wiring board H1300 is positioned to the connection terminal 14 of the head board H1100 so that it can be connected. Electrical connection is made by technology (see FIG. 15).

次いで、ベース板H1200上のヘッド基板H1100と支持板H1400の開口部H1401で形成される空間にチップ周囲封止材19を流し込む。このときインナーリードH1303の下方にはヘッド基板側面の開口部より充填したチップ周囲封止材19を流し込む(図16参照)。このチップ周囲封止材19により、少なくとも、ヘッド基板H1100の側面と接続端子14、および、インナーリードH1303の下部が封止される。   Next, the chip periphery sealing material 19 is poured into a space formed by the head substrate H1100 on the base plate H1200 and the opening H1401 of the support plate H1400. At this time, the chip periphery sealing material 19 is poured below the inner lead H1303 from the opening on the side surface of the head substrate (see FIG. 16). The chip periphery sealing material 19 seals at least the side surface of the head substrate H1100, the connection terminal 14, and the lower portion of the inner lead H1303.

次いで、チップ周囲封止材19の硬化後に、インナーリードH1303の上部について、ILB封止材20をインナーリードH1303を覆うように塗布した後、硬化し封止する(図11および図12参照)。なお、ILB封止材20とチップ周囲封止材19は、用途が異なるため、特性を異にする封止材であるが、図10に示すように、電気配線基板H1300の表面に凹所22が設けられているため、ILB封止材20の一部がチップ周囲封止材19上に流れ出るのを防ぐことができる。   Next, after the chip periphery sealing material 19 is cured, the ILB sealing material 20 is applied to the upper portion of the inner lead H1303 so as to cover the inner lead H1303, and then cured and sealed (see FIGS. 11 and 12). The ILB sealing material 20 and the chip periphery sealing material 19 are sealing materials having different characteristics because of different uses. However, as shown in FIG. 10, the recess 22 is formed on the surface of the electric wiring board H1300. Therefore, a part of the ILB sealing material 20 can be prevented from flowing out onto the chip peripheral sealing material 19.

Figure 2006168233
Figure 2006168233

実施例1によるプリントヘッドの主要部を示すもので、(a)はその斜視図、(b)は(a)の電気配線基板のみを展開して示す斜視図である。1A and 1B show a main part of a print head according to a first embodiment, where FIG. 1A is a perspective view and FIG. 1B is a perspective view showing only an electric wiring board of FIG. 図1のプリントヘッドの封止部を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows the sealing part of the print head of FIG. 実施例2による電気配線基板のみを展開して示す平面図である。It is a top view which expand | deploys and shows only the electrical wiring board by Example 2. FIG. 実施例3による電気配線基板のみを展開して示す平面図である。It is a top view which expand | deploys and shows only the electrical wiring board by Example 3. FIG. 実施例4による電気配線基板のみを展開して示す平面図である。It is a top view which expand | deploys and shows only the electrical wiring board by Example 4. FIG. インクジェットプリンタの外観を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the external appearance of an inkjet printer. インクジェットプリンタの外装部材を取り外した状態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the state which removed the exterior member of the inkjet printer. ヘッドカートリッジにインクタンクを組み込んだ状態の斜視図である。FIG. 4 is a perspective view of a state in which an ink tank is incorporated in a head cartridge. ヘッドカートリッジを斜め下方から見た分解斜視図である。FIG. 4 is an exploded perspective view of the head cartridge as viewed obliquely from below. プリントヘッドの電気配線基板を分離した状態で示す斜視図である。It is a perspective view shown in the state where an electric wiring board of a print head was separated. プリントヘッドの封止部を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the sealing part of a print head. 図11のA−A線に沿ってとった断面図である。It is sectional drawing taken along the AA line of FIG. 素子チップを説明する一部破断斜視図である。It is a partially broken perspective view explaining an element chip. 電気配線基板との接合前の状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state before joining with an electrical wiring board. 電気配線基板を接合した状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state which joined the electrical wiring board. チップ周囲封止剤を充填した状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state with which the chip | tip periphery sealing agent was filled. 一従来例を説明する図である。It is a figure explaining a prior art example. ILB封止材とチップ周囲封止材による封止状態を説明する図である。It is a figure explaining the sealing state by an ILB sealing material and a chip periphery sealing material.

符号の説明Explanation of symbols

11 シリコン基板
12 インク通路
13 電気熱変換体
14 接続端子
15 インク室
16 吐出口列
17 上板部材
18 インク路
19 チップ周囲封止材
20 ILB封止材
21 堰部
22、23、24、25 凹所
H1001 プリントヘッド
H1100 ヘッド基板
H1200 ベース板
H1201 インク供給路
H1300 電気配線基板(TAB)
H1302 デバイスホール
H1303 インナーリード
H1400 支持板
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Silicon substrate 12 Ink path 13 Electrothermal converter 14 Connection terminal 15 Ink chamber 16 Discharge port array 17 Upper plate member 18 Ink path 19 Chip periphery sealing material 20 ILB sealing material 21 Weir part 22, 23, 24, 25 Concave Location H1001 Print head H1100 Head substrate H1200 Base plate H1201 Ink supply path H1300 Electrical wiring board (TAB)
H1302 Device hole H1303 Inner lead H1400 Support plate

Claims (4)

液体を吐出する吐出手段を有する素子チップと、前記素子チップの電気接続部に接続されるインナーリード接続部を有する電気配線基板と、前記インナーリード接続部を前記電気配線基板の表面側から封止する封止部とを有し、前記電気配線基板の表面に、前記封止部の封止材を捕捉する凹所が形成されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。   An element chip having a discharge means for discharging a liquid, an electric wiring substrate having an inner lead connection portion connected to the electric connection portion of the element chip, and sealing the inner lead connection portion from the surface side of the electric wiring substrate And a recess for capturing the sealing material of the sealing portion is formed on the surface of the electric wiring board. 前記電気配線基板はさらにデバイスホールを有し、前記デバイスホール内に設けられた前記素子チップの周囲を封止する他の封止部を有することを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド。   The liquid discharge head according to claim 1, wherein the electrical wiring board further includes a device hole, and further includes another sealing portion that seals the periphery of the element chip provided in the device hole. . 前記封止材は、熱硬化型または常温硬化型の樹脂であることを特徴とする請求項1または2記載の液体吐出ヘッド。   3. The liquid discharge head according to claim 1, wherein the sealing material is a thermosetting resin or a room temperature curable resin. 請求項1ないし3のいずれかに記載の液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドに対向するように記録媒体を搬送する搬送部を有するインクジェット記録装置。   An ink jet recording apparatus comprising: the liquid discharge head according to claim 1; and a transport unit that transports a recording medium so as to face the liquid discharge head.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2012532037A (en) * 2009-06-29 2012-12-13 ヴィデオジェット テクノロジーズ インコーポレイテッド Solvent resistant thermal inkjet printhead
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