JP2006030135A

JP2006030135A - 光学特性測定装置

Info

Publication number: JP2006030135A
Application number: JP2004213221A
Authority: JP
Inventors: Hidetoshi Nagase; 英俊長瀬
Original assignee: Seiwa Electric Mfg Co Ltd
Current assignee: Seiwa Electric Mfg Co Ltd
Priority date: 2004-07-21
Filing date: 2004-07-21
Publication date: 2006-02-02

Abstract

【目的】本発明の目的は、ＬＥＤチップ等の測定対象のより正確な光学特性を測定することができる光学特性測定装置を提供する。
【構成】ステージ１００上に載置されたＬＥＤチップ１０の電極に接触し、当該ＬＥＤチップ１０を発光させるためのプローブ針２００と、ＬＥＤチップ１０の照射光を検出し、その光学特性を測定する検出測定手段３００と、ＬＥＤチップ１０をステージ１００上の測定位置で把持し、これによりＬＥＤチップ１０を検出測定手段３００の検出部３１０に対向させる位置決め手段４００とを具備する。位置決め手段４００は、ＬＥＤチップ１０を把持する一対の爪部４１０、４１０を有する。この爪部４１０、４１０は、ＬＥＤチップ１０に当接する当接部の周辺部がＬＥＤチップ１０の正面光以外の照射光を検出部３１０に向けて反射する反射面４１１、４１１となっている。
【選択図】図１

Description

本発明は、ＬＥＤチップ等の測定対象の光学特性を測定する光学特性測定装置に関する。

この種の光学特性測定装置は、位置決め手段を用いてＬＥＤチップを測定位置で把持し、これによりＬＥＤチップを検出測定手段の検出部に対向させ、検出部でＬＥＤチップの正面光を受光し、その光学特性を検出測定手段の測定部で測定するようにしている( 特許文献１参照) 。

特開２０００- １８０１２２号公報

しかしながら、前記光学特性測定装置は、ＬＥＤチップの正面光のみの光学特性を測定していることから、その測定値と、実際のＬＥＤチップの光学特性の値とが異なる場合がある。また、前記光学特性測定装置では、ＬＥＤチップの配光特性が均一でない場合、これをうまく測定できない可能性がある。

本発明は、上記事情に鑑みて創案されたものであって、その目的とするところは、ＬＥＤチップ等の測定対象のより正確な光学特性を測定することができる光学特性測定装置を提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明の光学特性測定装置は、ＬＥＤチップ等の測定対象の照射光を検出し、その光学特性を測定する検出測定手段と、測定対象を測定位置で把持し、これにより測定対象を検出測定手段の検出部に対向させる位置決め手段とを具備した光学特性測定装置であって、前記位置決め手段は、測定対象を把持する複数の爪部を有し、この爪部の測定対象に当接する当接部の周辺部が測定対象の正面光以外の照射光を検出部に向けて反射する反射面となっていることを特徴としている。

前記反射面は放物面又はその近似曲面、或いは前記反射面をテーパ面とすることができる。この反射面は鏡面処理が施されている。

本発明の光学特性測定装置による場合、測定対象を把持する複数の爪部の測定対象に当接する当接部の周辺部が測定対象の正面光以外の照射光を測定部に向けて反射する反射面となっている。このため、測定部で測定対象の正面光及び前記反射面で反射された正面光以外の光の光学特性を測定することができるので、従来例と比べてより正確に測定対象の光学特性を測定することができる。

以下、本発明の実施の形態に係る光学特性測定装置について図面を参照しながら説明する。図１は本発明の実施の形態に係る光学特性測定装置の模式図、図２は同装置の位置決め手段の概略的斜視図、図３は同装置の位置決め手段の設計変更例を示す模式的平面図、図４は同装置の位置決め手段の反射面の設計変更例を示す模式的断面図である。

図１に示す光学特性測定装置は、ステージ１００上に載置されたＬＥＤチップ１０の電極に接触し、当該ＬＥＤチップ１０を発光させるためのプローブ針２００と、ＬＥＤチップ１０の照射光を検出し、その光学特性を測定する検出測定手段３００と、ＬＥＤチップ１０をステージ１００上の測定位置で把持し、これによりＬＥＤチップ１０を検出測定手段３００の検出部３１０に対向させる位置決め手段４００とを具備している。以下、各部を詳しく説明する。なお、ＬＥＤチップ１０は正面に発光面及び電極を有する。

位置決め手段４００は、図２に示すように、図示しない第１の駆動装置に互いに対向するように取り付けられ、当該駆動装置によりステージ１００に沿って移動させられ、これによりＬＥＤチップ１０を把持する一対の爪部４１０、４１０を有する。この爪部４１０、４１０は、ＬＥＤチップ１０に当接する当接部の周辺部がＬＥＤチップ１０の正面光以外の照射光を検出部３１０に向けて反射する反射面４１１、４１１となっている。この反射面４１１、４１１は、図１に示すように、放物面又はその近似曲面となっており、メッキ等が蒸着され、鏡面処理が施されている。

プローブ針２００はステージ１００の上方に配置されており且つ図示しない第２の駆動装置によってステージ１００に相対的に近接する。これによりプローブ針２００がＬＥＤチップ１０の電極に接触する。

検出測定手段３００は、ステージ１００の測定位置上のＬＥＤチップ１０の光を検出する検出部３１０と、検出部３１０により検出された光の光学特性を測定する測定部３２０とを有している。検出部３１０は、ステージ１００の測定位置上のＬＥＤチップ１０に対向配置される光ファイバ３１１と、この光ファイバ３１１の末端に取り付けられた受光部３１２とを有する光学検出器である。即ち、光ファイバ３１１により導かれた光を受光部３１２で受光しその光を検出するようになっている。

測定部３２０は検出部３１０により検出された光の光学特性を測定するコンピュータであり、ＣＰＵ３２１と、このＣＰＵ３２１により処理される測定プログラムが記録されたハードディスク等のメモリ部３２２とを有している。ＣＰＵ３２１の入力ポートには検出部３１０の受光部３１２が接続されている。即ち、検出信号が入力されると、ＣＰＵ３２１がメモリ部３２２に記録された測定プログラムを読み出して処理し、これによりＬＥＤチップ１０の光学特性が測定されるようになっている。

以下、この光学特性測定装置の使用方法及び同装置の動作について説明する。

まず、図示しない搬入装置によりＬＥＤチップ１０がステージ１００上の測定位置付近上に載置される。その後、第１の駆動装置を駆動させ、爪部４１０、４１０でＬＥＤチップ１０を狭持する。すると、ＬＥＤチップ１０がステージ１００の測定位置に位置決めされ、これによりＬＥＤチップ１０が検出部３１０の光ファイバ３１１に対向する。

その後、第２の駆動装置によりプローブ針２００とステージ１００とを相対的に近接させ、プローブ針２００をＬＥＤチップ１０の電極に接触させる。これによりＬＥＤチップ１０の発光面が発光する。この光のうち正面光は検出部３１０の光ファイバ３１１に向けて照射される。正面光以外の光は爪部４１０、４１０の反射面４１１、４１１に反射され、これにより検出部３１０の光ファイバ３１１に向けて照射される。これらの光は光ファイバ３１１を通じて受光部３１２に導かれる。受光部３１２は当該光を受光し検出して検出信号として測定部３２０に送信する。測定部３２０は検出信号が入力されると、ＣＰＵ３２１により測定プログラムを処理し、これによりＬＥＤチップ１０の光学特性を測定する。

このような光学特性測定装置による場合、位置決め手段４００の爪部４１０、４１０に反射面４１１、４１１を設け、当該反射面４１１、４１１によりＬＥＤチップ１０の正面光以外の光を検出部３１０の光ファイバ３１１に向けて反射させるようになっている。このため、受光部３１２は、ＬＥＤチップ１０の正面光及び正面光以外の光を光ファイバ３１１を通じて受光し検出することができる。よって、測定部３２０が従来例よりも多くの検出信号に基いてＬＥＤチップ１０の光学特性を測定することができるので、ＬＥＤチップ１０の正確な光学特性を測定することができる。

この光学特性測定装置は、ＬＥＤチップ等の測定対象の照射光を検出し、その光学特性を測定する検出測定手段と、測定対象を測定位置で把持し、これにより測定対象を検出測定手段の検出部に対向させる位置決め手段とを具備した光学特性測定装置であって、前記位置決め手段は、測定対象を把持する複数の爪部を有し、この爪部の測定対象に当接する当接部の周辺部が測定対象の正面光以外の照射光を検出部に向けて反射する反射面となっている限りどのような設計変更を行ってもかまわない。

位置決め手段４００は、互いに対向する一対の爪部４１０、４１０を有するとしたが、３以上爪部を用いてＬＥＤチップ１０を把持するようにしても良い。例えば、図３に示すように、４つの爪部４１０、４１０、４１０、４１０を用いて４方からＬＥＤチップ１０を把持するように設計変更することができる。

反射面４１１、４１１は、放物面又はその近似曲面となっているとしたが、ＬＥＤチップ１０の正面光以外の照射光を検出部３１０に向けて反射し得る限りどのように設計変更を行ってもかまわない。例えば、図４に示すように、反射面４１１、４１１をテーパ面とすることができる。

ＬＥＤチップ１０は上面に発光面及び電極を有するとしたが、電極を下面に有するものであっても良い。この場合、ＬＥＤランプ１０の電極とは導電性を有するステージ１００を通じて電気的導通を図るようにすれば良く、プローブ針２００は不要になる。

なお、ここでは、ＬＥＤチップ１０の光学特性を測定する測定装置として説明したが、当該測定装置は、位置決め手段により把持し、光学特性を測定し得るものである限り、使用可能であることは言う迄もない。

本発明の実施の形態に係る光学特性測定装置の模式図である。同装置の位置決め手段の概略的斜視図である。同装置の位置決め手段の設計変更例を示す模式的平面図である。同装置の位置決め手段の反射面の設計変更例を示す模式的断面図である。

符号の説明

１０ＬＥＤチップ
１００ステージ
２００プローブ針
３００検出測定手段
４００位置決め手段

Claims

ＬＥＤチップ等の測定対象の照射光を検出し、その光学特性を測定する検出測定手段と、測定対象を測定位置で把持し、これにより測定対象を検出測定手段の検出部に対向させる位置決め手段とを具備した光学特性測定装置において、前記位置決め手段は、測定対象を把持する複数の爪部を有し、この爪部の測定対象に当接する当接部の周辺部が測定対象の正面光以外の照射光を検出部に向けて反射する反射面となっていることを特徴とする光学特性測定装置。
請求項１記載の光学特性測定装置において、前記反射面が放物面又はその近似曲面となっていることを特徴とする測定対象の光学特性測定装置。
請求項１記載の光学特性測定装置用において、前記反射面がテーパ面となっていることを特徴とする光学特性測定装置。
請求項１、２又は３記載の光学特性測定装置において、前記反射面は鏡面処理が施されていることを特徴とする光学特性測定装置。