JP2006013108A - Integrated circuit and manufacturing method thereof - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ポリマー系p型有機半導体材料を用いた電界効果トランジスタを用いた集積回路に係り、特にポリマー系有機半導体を用いることで、インクジェット印刷法などの簡便な方法で作製できる有機半導体トランジスタを用いた増幅回路やディジタル回路、さらにそれらを用いた液晶ディスプレイなどの駆動素子などに適用可能な集積回路およびその製造方法に関する。 The present invention relates to an integrated circuit using a field effect transistor using a polymer-based p-type organic semiconductor material, and more particularly to an organic semiconductor transistor that can be manufactured by a simple method such as an inkjet printing method by using a polymer-based organic semiconductor. The present invention relates to an integrated circuit applicable to an amplifier circuit and a digital circuit used, and a driving element such as a liquid crystal display using the same, and a manufacturing method thereof.
従来、ポリマーでなくオリゴマーについてはpn両極材料を用いたC型FET(コンプリメンタリ型電界効果トランジスタ)の構成についての特許は数多く出願されている。たとえば、ルーセント テクノロジーズ インコーポレイテッドによって出願された特開2002−324931号公報(特許文献1)などがある。 Conventionally, many patents have been filed for the configuration of C-type FETs (complementary field effect transistors) using pn bipolar materials for oligomers rather than polymers. For example, there is JP-A-2002-324931 (Patent Document 1) filed by Lucent Technologies Inc.
C型FETを構成するあるいはバイポーラトランジスタを構成するために、pn両極性の材料を用いる特許は多数提出されてきている。しかし、pMOSのみで構成するといった内容のものは現在見出せない。 Many patents using pn bipolar materials have been filed to construct C-type FETs or bipolar transistors. However, it is not currently possible to find a content that consists only of pMOS.
従来、通常は高速性が追求されているものの、無機系半導体では原理的にpn両チャネルの材料が存在しないわけではなく、高速性に影響のない部分には、速度の遅いpチャネルのFETを用いたりすることはあった。また、高速にするためのチャネルは電子伝導に関わるnチャネルであり、pチャネルのみによる集積回路はなかった。 Conventionally, high-speed performance is usually pursued. However, in inorganic semiconductors, pn-channel materials are not in principle present, and p-channel FETs with low speed are used for parts that do not affect high-speed performance. I used it. Further, the channel for increasing the speed is an n-channel related to electron conduction, and there is no integrated circuit using only the p-channel.
以下、従来技術の問題点と利用可能な技術を箇条書きにする。
(a)ポリマー系有機半導体材料は、溶媒に溶けやすい誘導体を容易に作製できるという材料開発上の自由度が大きい。
(b)したがって、インクジェットや印刷技術などを利用した塗布がしやすい。
In the following, the problems of the prior art and available technologies are listed.
(A) The polymer-based organic semiconductor material has a high degree of freedom in material development that a derivative that is easily soluble in a solvent can be easily produced.
(B) Therefore, it is easy to apply using ink jet or printing technology.
(c)なお、ポリマーでない有機半導体材料の例として、ペンタセン、アントラセンなどがある。これらは、有機溶媒には比較的溶けにくく、蒸着によって有機半導体層を作製するため、作製は無機系と同様に真空プロセスを必要とし面倒であった。 (C) Examples of organic semiconductor materials that are not polymers include pentacene and anthracene. Since these are relatively insoluble in organic solvents and an organic semiconductor layer is produced by vapor deposition, the production requires a vacuum process as in the case of inorganic systems, which is troublesome.
(d)ポリマー系有機半導体材料は、上記のとおり事実上p型半導体のみである(すくなくとも現在のところ)。
(e)今後たとえ、n型のポリマー系有機半導体材料が作製できても、移動度が低いなど必ずしも有用とは限らず、現行のp型だけの回路構成による改善によって、有機半導体によるFETを作製できることは極めて有用である。
(D) As described above, the polymer-based organic semiconductor material is practically only a p-type semiconductor (at least at present).
(E) Even if an n-type polymer organic semiconductor material can be produced in the future, it is not always useful because of its low mobility, and an FET made of an organic semiconductor is produced by improvements based on the current p-type circuit configuration. What you can do is very useful.
(f)したがって、pn両型の半導体が必要になるC型FET構成を使わないようにすることが必要である。
(g)このようなことから、p型FETだけで構成される回路が必要であった。
(F) Therefore, it is necessary not to use a C-type FET configuration that requires both pn type semiconductors.
(G) For this reason, a circuit composed only of a p-type FET is required.
(h)特にアナログアンプの場合、電力効率の極めて高いC型FET(図2(b)(ニ)は、図2(a)の(ハ)と対応している)で構成したいが、ポリマー系の有機半導体材料は、p型半導体しかないため、ソースフォロワなどを利用して電圧出力をするようにする。 (H) Especially in the case of an analog amplifier, it is desirable to configure a C-type FET with extremely high power efficiency (FIG. 2 (b) (d) corresponds to (c) in FIG. 2 (a)). Since the organic semiconductor material is only a p-type semiconductor, a voltage is output using a source follower or the like.
(i)前述のように、高速化のために、無機系半導体(シリコン系、化合物半導体系など)でも片方のnチャネルを多く使用することは特に公知であると思われる。 (I) As described above, it seems to be particularly well known that a large number of n-channels on one side are used even in inorganic semiconductors (silicon-based, compound semiconductor-based, etc.) for speeding up.
(j)しかし、高速化が対象の場合は、全てのトランジスタをどちらか一方にするというのではなく、多くは、回路の速度に影響する部分にできるだけ多用するといった意味合いが強い。 (J) However, when speeding up is a target, not all transistors are used as one, but many have a strong meaning of using them as much as possible in a part that affects the speed of the circuit.
(k)無機系半導体では、実効移動度が数倍程度しか違わないため使い道を選べば、全てを片方の型の半導体でしなければならないことは、必ずしもなかった。 (K) In inorganic semiconductors, the effective mobility differs only by a few times, so if the usage is selected, it is not always necessary to use one type of semiconductor for all.
(l)また、(直接FETには関係ないが)バイポーラトランジスタを用いた回路で構成する場合も、作製のしやすさから横型のみをもちいてすこしでも高速化するために、キャリア走行距離が長くなるソース側およびコレクタ側をn型とするnpn型を多用することは多く、そういった回路は多用されてきた。 (L) Also, even in the case of a circuit using a bipolar transistor (although not directly related to the FET), the carrier travel distance is long in order to speed up even a little by using only the horizontal type for ease of fabrication. In many cases, an npn type having an n type on the source side and the collector side is used, and such a circuit has been frequently used.
(m)しかし、無機系半導体では、わざわざ移動度が遅いpFETのみによって構成される回路を利用することは、従来にはなかった。 (M) However, inorganic semiconductors have never used a circuit composed solely of pFETs having a low mobility.
本発明は、以上の事情に鑑みてなされたものであり、ポリマー系有機半導体材料を用いたp型FETで構成した集積回路およびその製造方法を提供することを目的としている。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide an integrated circuit including a p-type FET using a polymer organic semiconductor material and a manufacturing method thereof.
本発明は、上記目的を達成するために、以下のような構成を採用したことを特徴としている。以下、請求項毎の構成を述べる。 The present invention is characterized by adopting the following configuration in order to achieve the above object. Hereinafter, the structure for each claim will be described.
a)請求項1記載の発明は、ポリマー系有機材料による有機半導体を用いたトランジスタを含む集積回路であって、前記トランジスタがpチャネル型電界効果トランジスタのみからなることを特徴としている。
a) The invention according to
請求項2記載の発明は、ポリマー系有機材料による有機半導体を用いたトランジスタを含む集積回路であって、出力段の回路にpチャネル型電界効果トランジスタによるソースフォロワ回路を用いたことを特徴としている。
The invention described in
請求項3記載の発明は、請求項1または2記載の集積回路の製造方法であって、基板上に導電性ポリマー印刷してソース電極およびドレイン電極を形成するステップと、前記ソース電極とドレイン電極を繋ぐようにp型ポリマー系有機材料を印刷するステップと、前記p型ポリマー系有機材料上に絶縁層を形成するステップと、前記絶縁層上にゲート電極を形成するステップとを有することを特徴としている。 A third aspect of the present invention is a method of manufacturing an integrated circuit according to the first or second aspect, wherein a step of forming a source electrode and a drain electrode by printing a conductive polymer on a substrate, and the source electrode and the drain electrode A step of printing a p-type polymer organic material so as to connect, a step of forming an insulating layer on the p-type polymer organic material, and a step of forming a gate electrode on the insulating layer. It is said.
本発明は上記構成を採用することにより次のような効果を有する。以下、請求項毎の効果を述べる。 The present invention has the following effects by adopting the above configuration. The effects of each claim will be described below.
請求項1記載の発明によれば、p型FETのみによる回路を構成したことで、作製に極めて有利なポリマー形有機半導体による各種集積回路を作製できる。また材料としてn型のポリマー系有機半導体を使わずに、高性能の集積回路が得られる。 According to the first aspect of the present invention, since a circuit using only a p-type FET is configured, various integrated circuits using polymer organic semiconductors that are extremely advantageous for manufacturing can be manufactured. Further, a high-performance integrated circuit can be obtained without using an n-type polymer organic semiconductor as a material.
請求項2記載の発明によれば、ポリマー系有機材料による有機半導体を用いたトランジスタを用いる集積回路において、出力段の回路にp型FETによるソースフォロワ回路を用いることで、ドライブ段に、従来のようにポリマー系有機半導体では作製しにくいnMOS−FETとともに使わなければならないプッシュプル回路あるいはCMOS回路(図2(b)参照)を使わないで、ポリマー系有機半導体アナログ集積回路が実現できる。 According to the second aspect of the present invention, in an integrated circuit using a transistor using an organic semiconductor made of a polymer organic material, a source follower circuit using a p-type FET is used for a circuit of an output stage. Thus, a polymer-based organic semiconductor analog integrated circuit can be realized without using a push-pull circuit or a CMOS circuit (see FIG. 2B) that must be used with an nMOS-FET that is difficult to fabricate with a polymer-based organic semiconductor.
請求項3記載の発明によれば、簡便な方法で請求項1、2記載の集積回路を製造できる。
According to invention of
本発明の新規性に関わる部分は、ポリマー系の有機半導体が、ホールドリフトによる場合が多く、ポリマー系でもごく例外としてn型の有機半導体材料もあるが、現状では移動度2桁程度低いため、同一の回路に用いることは極めて困難であることが判明したことに基づくものである。 As for the part related to the novelty of the present invention, the polymer-based organic semiconductor is often due to hole drift, and there is also an n-type organic semiconductor material as an exception even in the polymer system, but because the mobility is currently about two orders of magnitude lower, This is based on the fact that it was found to be extremely difficult to use in the same circuit.
本発明の実施例として取り上げた各種の回路自体の構成は概ね公知である。つまり、無機系(シリコンやGaAsなどの化合物半導体など、pn両極半導体を作製できる材料)においてはすでに知られている回路構成基本にして説明する。 The configurations of various circuits taken up as embodiments of the present invention are generally known. That is, in the case of inorganic systems (materials capable of producing pn bipolar semiconductors such as compound semiconductors such as silicon and GaAs), the description will be made on the basis of an already known circuit configuration.
以下、本発明の実施例を、図面を用いて説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
図1は、ディジタルロジック回路の典型的な3種類を示す図であり、同図(a)はインバーター回路、同図(b)はAND回路、同図(c)はOR回路を示している。いずれも、p型FETのみで構成されているため、−VDDはアース電位より低い電源である(VDD自体はアース電位より高い電圧)。 FIG. 1 is a diagram showing three typical types of digital logic circuits. FIG. 1A shows an inverter circuit, FIG. 1B shows an AND circuit, and FIG. 1C shows an OR circuit. Since both are composed only of p-type FETs, -VDD is a power supply lower than the ground potential (VDD itself is a voltage higher than the ground potential).
以下、図1(a)のインバーター回路、図1(b)のAND回路、図1(c)のOR回路の動作の説明をする。本例では、−VDDの電圧(アース電位より低い電圧)を論理「1」、アース電位を論理「0」とする。 The operation of the inverter circuit of FIG. 1A, the AND circuit of FIG. 1B, and the OR circuit of FIG. 1C will be described below. In this example, the voltage of −VDD (voltage lower than the ground potential) is set to logic “1”, and the ground potential is set to logic “0”.
<図1(a)のインバーター回路の動作の説明>
イ)入力がアース電位(=「0」)のときは、下側のp型FET1の動作は「OFF状態となるため、上側のp型FET2が能動負荷(抵抗)として動作し、出力の電位は、アース電位より低いほぼ−VDD「=1」の電位になる。
<Description of Operation of Inverter Circuit of FIG. 1A>
B) When the input is at ground potential (= “0”), the operation of the lower p-
ロ)反対に、入力が−VDDに近い電位(=「1」)が与えられると、同p型FET1は「ON」状態になるため、出力の電位はほぼアース電位(=「0」)となる。
B) On the other hand, if the input has a potential close to −VDD (= “1”), the p-
<図1(b)のAND回路の動作の説明>
イ)入力Aと入力Bが同時に「1」(=〜−VDD)のときのみ1段目のp型FET3と4の両方がONとなり、2段目の下のp型FET6が「OFF」となるため、出力は−VDDに近い電位となり出力「1」となる。
<Description of Operation of AND Circuit in FIG. 1B>
B) Only when the input A and the input B are simultaneously “1” (= ˜−VDD), both the p-
ロ)入力AおよびBのどちらか一方または両方が「0」(=〜GND)のとき1段目のp型FET3,4のどちらか一方または両方がOFFとなり、1段目の上のp型FET5が能動負荷(抵抗)として動作し、2段目の下のp型FET6に−VDDに近い電位が印加されて「ON」となるため、出力の電位は「0」(=〜GND)となる。
B) When either one or both of inputs A and B are “0” (= ˜GND), one or both of p-
<図1(c)のOR回路の動作の説明>
イ)入力AまたはBのいずれか一方または両方が「1」(=〜−VDD)になると、出力段のp型FETのゲート電極にはほぼアース電位(=「0」)が印加されてOFFになるため、出力は「1」(=〜−VDD)となる。
<Description of Operation of OR Circuit in FIG. 1C>
B) When either one or both of input A or B becomes “1” (= ˜−VDD), the ground potential (= “0”) is almost applied to the gate electrode of the p-type FET in the output stage, and it is turned OFF. Therefore, the output is “1” (= ˜−VDD).
ロ)入力AまたはBのいずれか一方または両方が「0」(=〜GND)の場合、出力段のp型FET10のゲート電極にはほぼ−VDD(=「1」)が印加されてONになるため、出力は「0」(=〜GND)となる。
B) When either one or both of the inputs A and B are “0” (= ˜GND), approximately −VDD (= “1”) is applied to the gate electrode of the p-
このように、p型FETのみで基本的なロジック回路(インバータ(NOT)回路、AND回路、OR回路)を構成でき、これらを組み合わせることにより、増幅回路や各種ディジタル回路、それらを用いた液晶ディスプレイなどの駆動素子などを実現できる。 In this way, a basic logic circuit (inverter (NOT) circuit, AND circuit, OR circuit) can be configured by using only a p-type FET, and by combining them, an amplifier circuit, various digital circuits, and a liquid crystal display using them. A driving element such as can be realized.
図2は、本発明に係る増幅回路の一例であり、アナログアンプをp型FETだけで構成した回路例を示す図である。
イ)入力段は、ソースを共通としたオペレーショナルアンプ20の構成をとり、共通のソースは、カレントミラー回路21で構成される電流源を通して+VDD側で接続される。
FIG. 2 is an example of an amplifier circuit according to the present invention, and is a diagram illustrating a circuit example in which an analog amplifier is configured by only a p-type FET.
B) The input stage takes the configuration of the
ロ)一方、同回路のドレイン側、すなわち出力側には、能動負荷とよばれるカレントミラー回路22を挿入した。
ハ)これらはいずれもp型FETのみで構成され、出力はソースフォロワ回路23を介して、出力段のオペレーショナルアンプ構成の回路に入力される。
B) On the other hand, a
C) These are all configured only by p-type FETs, and the output is input to the operational amplifier circuit in the output stage via the
ニ)出力段も前述の入力段と同様の構成を有している。出力段はソースフォロア回路24を介して出力する。
ホ)この出力電圧を入力に抵抗RFを介して帰還を掛けて、全体としてアナログ動作を実現している。
D) The output stage has the same configuration as the above-described input stage. The output stage outputs via the
E) The output voltage is fed back to the input via a resistor RF to realize an analog operation as a whole.
図3(a)は、上記回路に使用したp型FETの構成図である。同p型FET素子は、図4に示したポリマーで分子量109000のものを使った。 FIG. 3A is a configuration diagram of the p-type FET used in the above circuit. As the p-type FET element, the polymer shown in FIG. 4 having a molecular weight of 109000 was used.
以下、図3(a)を用いて、本発明に係るp型FETの製造方法を説明する。
イ)基板101上に、導電性ポリマーをインクジェットで印刷し、ソース電極1−2S,ドレイン電極102−Dとした。
Hereinafter, the manufacturing method of the p-type FET according to the present invention will be described with reference to FIG.
B) A conductive polymer was printed on the
ロ)次に、p型のポリマー系有機半導体材料103をインクジェットで印刷する。
ハ)その上に、絶縁膜としてポリビニルアルコールによる有機絶縁膜104を塗布する。
ニ)さらにその上に、ポリマー系で導電性ポリマーを塗布しゲート電極102−Gとする。
B) Next, the p-type polymer
C) An organic insulating
D) Further, a conductive polymer is applied thereon to form a gate electrode 102-G.
ホ)以上のようにして、本発明に係るp型FETを簡単に製造できる。
ヘ)このp型FETのソースドレイン間にバイアス電圧Vdを掛け、Vgをソースゲート間電圧とすると、電圧−電流特性は図3(b)のようになる。p型FETのバイアスは、ソース電位に対して負側に掛け、またゲート電圧も負側に掛かった時に、アクティブになる。
E) As described above, the p-type FET according to the present invention can be easily manufactured.
F) When a bias voltage Vd is applied between the source and drain of the p-type FET and Vg is a source-gate voltage, the voltage-current characteristics are as shown in FIG. The bias of the p-type FET becomes active when the source voltage is applied to the negative side and the gate voltage is applied to the negative side.
ト)このように、Vgに掛かる電圧によってIdは変化し、ソースドレイン間を電流Idが「On」「OFF」できた。
チ)p型FETでは、電流の流れる方向は、図3(a)に示した矢印の通りである。ポリマー系有機半導体材料103の中では、ドレインからソース方向へ流れる(正孔として見た場合、ソースからドレイン方向へながれる)。
G) As described above, Id was changed by the voltage applied to Vg, and the current Id could be “On” and “OFF” between the source and drain.
H) In the p-type FET, the direction of current flow is as shown by the arrow in FIG. In the polymer
図4は、本発明に関わるポリマー有機半導体材料の典型的な構造図である。しかしその他の構造を有するポリマー系有機半導体材料を用いてもp型半導体として動作する。本発明はこれら他の構造を有するポリマー系有機半導体材料を用いることが可能である。 FIG. 4 is a typical structural diagram of a polymer organic semiconductor material according to the present invention. However, even if a polymer organic semiconductor material having another structure is used, it operates as a p-type semiconductor. In the present invention, it is possible to use polymer-based organic semiconductor materials having these other structures.
1〜12:p型FET
20:オペレーショナルアンプ
21,22:カレントミラー回路
23,24:ソースフォロワ回路
101:基板
102−S:ソース電極
102−D:ドレイン電極
102−G:ゲート電極
103:ポリマー系有機半導体材料
104:有機絶縁膜
1-12: p-type FET
20:
Claims (3)
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