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JP2006011092A - Optical module, and ceramic substrate for optical module - Google Patents

Optical module, and ceramic substrate for optical module Download PDF

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JP2006011092A
JP2006011092A JP2004188819A JP2004188819A JP2006011092A JP 2006011092 A JP2006011092 A JP 2006011092A JP 2004188819 A JP2004188819 A JP 2004188819A JP 2004188819 A JP2004188819 A JP 2004188819A JP 2006011092 A JP2006011092 A JP 2006011092A
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正樹 大野
Toshikatsu Takada
俊克 高田
Toshifumi Kojima
敏文 小嶋
Takeshi Ono
大野  猛
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical module which can be lowered in height and smaller in size and can be optically coupled to an optical fiber with high efficiently. <P>SOLUTION: The optical module 41 has a module main part 42 and an optical element 81. The optical module 41 can be coupled by a push-on fastening system to an MT ferrule 24 for an optical fiber connector. A ferrule support 27 for the optical fiber connector and a guide pin 31 for the optical fiber connector are used for coupling by the above system. The optical element 81 is disposed in the module main part 42 and is optically aligned when the MT ferrule 24 and the module main part 42 are coupled by the insertion of the guide pin 31. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、光電変換機能を備えるとともに光ファイバコネクタとの接続構造に特徴を有する光モジュール、そのような光モジュールの構成部品として用いられるセラミック基板に関するものである。   The present invention relates to an optical module having a photoelectric conversion function and a characteristic of a connection structure with an optical fiber connector, and a ceramic substrate used as a component of such an optical module.

近年、インターネットに代表される情報通信技術の発達や、情報処理装置の処理速度の飛躍的向上などに伴って、画像等の大容量データを送受信するニーズが高まりつつある。かかる大容量データを情報通信設備を通じて自由にやり取りするためには10Gbps以上の情報伝達速度が望ましく、そのような高速通信環境を実現しうる技術として光通信技術に大きな期待が寄せられている。一方、機器内の配線基板間での接続や、配線基板内のLSIチップ間での接続など、比較的短い距離における信号伝達に関しても近年高速化が望まれている。このため、従来一般的であった金属ケーブルや金属配線から、光ファイバや光導波路を用いた光伝送への移行が理想的であると考えられている。   In recent years, with the development of information communication technology represented by the Internet and the dramatic improvement in the processing speed of information processing apparatuses, there is an increasing need for transmitting and receiving large-capacity data such as images. An information transmission speed of 10 Gbps or higher is desirable to exchange such a large amount of data freely through an information communication facility, and great expectations are placed on optical communication technology as a technology that can realize such a high-speed communication environment. On the other hand, in recent years, it has been desired to increase the speed of signal transmission over a relatively short distance, such as connection between wiring boards in a device or connection between LSI chips in a wiring board. For this reason, it is considered that the transition from the conventional metal cable or metal wiring to the optical transmission using an optical fiber or an optical waveguide is ideal.

信号伝達経路として光ファイバ等を用いた光伝送では、通常、光信号を電気信号に変換する光素子や、電気信号を光信号に変換する光素子が使用される。そして、このような光素子と光ファイバとを接続するための構造としては、例えばガイドピン及びクランプスプリングを利用した手法が従来提案されている(例えば、特許文献1参照)。特許文献1に記載の装置は、光素子やLSIチップを収容した平板状の光パッケージと、多心光ファイバの先端に設けられた平板状の光ファイバコネクタとを備えている。光ファイバコネクタは光パッケージの上面に積層して配置される。光パッケージ及び光ファイバコネクタには、位置合わせ用のガイドピン穴がそれぞれ形成されている。そして、各々のガイドピン穴にガイドピンを嵌入し、かつ、クランプスプリングで締結することにより、光パッケージ及び光ファイバコネクタが配線基板に対して垂直方向に着脱可能に固定されるようになっている。また、この状態では光素子と光ファイバコネクタとが光学的に結合されるようになっている。   In optical transmission using an optical fiber or the like as a signal transmission path, an optical element that converts an optical signal into an electrical signal or an optical element that converts an electrical signal into an optical signal is usually used. As a structure for connecting such an optical element and an optical fiber, for example, a method using a guide pin and a clamp spring has been conventionally proposed (for example, see Patent Document 1). The apparatus described in Patent Document 1 includes a flat optical package that accommodates optical elements and LSI chips, and a flat optical fiber connector provided at the tip of a multi-core optical fiber. The optical fiber connector is laminated on the upper surface of the optical package. The optical package and the optical fiber connector each have a guide pin hole for alignment. And by inserting a guide pin into each guide pin hole and fastening with a clamp spring, the optical package and the optical fiber connector are detachably fixed to the wiring board in a vertical direction. . In this state, the optical element and the optical fiber connector are optically coupled.

また、光素子と光ファイバとを接続するための別の構造としては、例えば、上記のクランプスプリングの代わりにハウジング構造を利用した手法も従来提案されている(例えば、特許文献2参照)。特許文献2に記載の装置は、光素子等を備えた光電変換モジュールと、多心光ファイバの先端に設けられた光ファイバコネクタとを備えている。この光電変換モジュールは先端部にハウジング構造部を有しており、光ファイバコネクタの先端側はそのハウジング構造部内に収容可能となっている。光電変換モジュール及び光ファイバコネクタには、位置合わせ用の穴部及びペグが形成されている。そして、ハウジング構造部への収容状態で各々の穴部にペグを嵌合することにより、光電変換モジュール及び光ファイバコネクタが着脱可能に固定されるようになっている。また、この状態では光素子と光ファイバコネクタとが光学的に結合されるようになっている。
特開2003−207694号公報(図1等) 米国特許6459843号明細書
Further, as another structure for connecting the optical element and the optical fiber, for example, a method using a housing structure instead of the above-described clamp spring has been proposed (for example, see Patent Document 2). The device described in Patent Document 2 includes a photoelectric conversion module including an optical element and an optical fiber connector provided at the tip of a multi-core optical fiber. This photoelectric conversion module has a housing structure at the tip, and the tip of the optical fiber connector can be accommodated in the housing structure. An alignment hole and a peg are formed in the photoelectric conversion module and the optical fiber connector. And a photoelectric conversion module and an optical fiber connector are fixed so that attachment or detachment is possible by fitting a peg in each hole part in the accommodation state in a housing structure part. In this state, the optical element and the optical fiber connector are optically coupled.
JP 2003-207694 A (FIG. 1 etc.) US Pat. No. 6,459,843

しかしながら、特許文献1記載の従来技術では、光パッケージ上に光ファイバコネクタを積層配置する構造を採っていることに加え、さらにそれらの上側にクランプスプリングを装着する構造を採っている。それゆえ、装置全体が配線基板に対して垂直方向に大きくなってしまい、低背化が達成しにくくなるという欠点がある。   However, in the prior art described in Patent Document 1, in addition to adopting a structure in which optical fiber connectors are stacked and arranged on an optical package, a structure in which a clamp spring is further mounted on the upper side thereof is adopted. Therefore, the entire apparatus becomes large in the direction perpendicular to the wiring board, and there is a drawback that it is difficult to achieve a reduction in height.

また、特許文献2記載の従来技術では、光電変換モジュールの一部にハウジング構造部を設ける必要があるため、光電変換モジュールの大型化が避けられない。よって、光電変換モジュールを配線基板上に搭載する際に大きなスペースが必要になり、高密度実装を達成するうえで非常に不利になる。   Further, in the conventional technique described in Patent Document 2, since it is necessary to provide a housing structure part in a part of the photoelectric conversion module, it is inevitable to increase the size of the photoelectric conversion module. Therefore, a large space is required when mounting the photoelectric conversion module on the wiring board, which is very disadvantageous in achieving high-density mounting.

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、全体の低背化、小型化を達成しやすく、しかも高い効率で光ファイバと光結合することができる光モジュールを提供することにある。本発明の別の目的は、上記の光モジュールを実現するうえで好適な光モジュール用セラミック基板を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide an optical module that can easily achieve an overall reduction in height and size and can be optically coupled to an optical fiber with high efficiency. There is. Another object of the present invention is to provide a ceramic substrate for an optical module suitable for realizing the above optical module.

上記の課題を解決するための手段としては、光ファイバコネクタ用フェルールに対し、係止部を有する光ファイバコネクタ用フェルール支持体と光ファイバコネクタ用ガイドピンとを用いて、プッシュオン締結方式で結合可能なモジュール本体と、前記モジュール本体に設けられ、前記ガイドピンの挿入により前記フェルールと前記モジュール本体とを結合したときに光軸合わせされる光素子とを備えることを特徴とする光モジュールがある。   As a means for solving the above-mentioned problems, it is possible to connect to a ferrule for an optical fiber connector by a push-on fastening method using a ferrule support for an optical fiber connector having a locking portion and a guide pin for an optical fiber connector. There is provided an optical module comprising: a simple module main body; and an optical element that is provided in the module main body and that is optically aligned when the ferrule and the module main body are coupled by insertion of the guide pin.

従って、上記手段によると、フェルールとモジュール本体との機械的な結合にプッシュオン締結方式を採用したことにより、モジュール本体の一部にハウジング構造部を設ける必要がなくなり、光モジュールの低背化、小型化が達成しやすくなる。また、低背化の阻害要因となる積層配置構造を採らなくてもよくなる。さらに、ガイドピンの挿入によりフェルールとモジュール本体とを機械的に結合する際に、併せて光ファイバの光軸と光素子との光軸が合わせられる。このため、比較的簡単な方法であるにもかかわらず、光ファイバと光素子とを高い効率で光結合することができる。   Therefore, according to the above means, by adopting the push-on fastening method for mechanical coupling between the ferrule and the module main body, it is not necessary to provide a housing structure part in a part of the module main body. Miniaturization is easy to achieve. In addition, it is not necessary to adopt a stacked arrangement structure that is an obstacle to the reduction in height. Furthermore, when the ferrule and the module main body are mechanically coupled by inserting the guide pins, the optical axes of the optical fibers and the optical elements are aligned. For this reason, although it is a comparatively simple method, an optical fiber and an optical element can be optically coupled with high efficiency.

なお「光ファイバコネクタ」とは、光ファイバ同士を接続する際に用いられる部品であって、その具体例としては、光ファイバMTコネクタ等がある。また「光ファイバMTコネクタ」とは、1993年に制定され1998年に改正されたJIS C 5981で規定するF12型多心光ファイバコネクタのことを指す。この規格番号は、JIS C 5982に基づき、クランプスプリング締結構造及びガイドピンで整列されるプラグ(接栓)−ガイドピン−プラグ結合方式のコネクタについて規定したものである。なお、JIS C 5981に対応する同等の国際規格としては、1994年に改正されたIEC 60874−16がある。   The “optical fiber connector” is a component used when connecting optical fibers, and specific examples thereof include an optical fiber MT connector. The “optical fiber MT connector” refers to an F12 type multi-core optical fiber connector specified in JIS C 5981 established in 1993 and revised in 1998. This standard number is based on JIS C 5982 and defines a clamp spring fastening structure and a connector of a plug (plug) -guide pin-plug coupling system aligned with a guide pin. As an equivalent international standard corresponding to JIS C 5981, there is IEC 60874-16 revised in 1994.

また「光ファイバコネクタ用フェルール」とは、光ファイバコネクタ用プラグの構成要素である精密部品であり、その具体例としては、MTフェルール等がある。「光ファイバコネクタ用ガイドピン」とは、本来的には、フェルールのガイドピン穴に挿入することによって2つのフェルールの光軸を合わせる部品のことをいい、その具体例としては、光ファイバMTコネクタ用ガイドピン等がある。かかるガイドピンはステンレスにより形成されるとともに、その長さは10.8mm以上、直径は約0.7mmであると規定されている。   An “optical fiber connector ferrule” is a precision component that is a constituent element of an optical fiber connector plug. Specific examples thereof include an MT ferrule. “Guide pin for optical fiber connector” is essentially a component that aligns the optical axes of two ferrules by inserting them into a guide pin hole of a ferrule. As a specific example thereof, an optical fiber MT connector is used. There are guide pins for use. Such a guide pin is made of stainless steel and has a length of 10.8 mm or more and a diameter of about 0.7 mm.

「プッシュオン締結方式」とは、例えば、以下のようなものを指す。即ち、光ファイバコネクタ用フェルールを支持する光ファイバコネクタ用フェルール支持体がある場合、それらとは別体で形成された光モジュールを支持体側に押圧(プッシュ)してスライドさせ、支持体の係止部を光モジュールの被係止部に係止させてロックすることにより、支持体と光モジュールとを締結する方式のことをいう。逆に、光モジュールを引っ張って(プルして)反対方向にスライドさせ、支持体の係止部を光モジュールの被係止部から離脱させてロック解除することにより、支持体と光モジュールとを分離させる方式であると把握することもできる(いわゆるプルオフ方式)。なお、上記のようなプッシュオン締結方式に関しては、例えば、JIS C 5982にも類似の規定が存在する。   The “push-on fastening method” refers to the following, for example. That is, when there is a ferrule support for an optical fiber connector that supports the ferrule for an optical fiber connector, an optical module formed separately from the optical module is pressed (pushed) to the support side and slid to lock the support. This means that the support and the optical module are fastened by locking the portion by being locked to the locked portion of the optical module. Conversely, the optical module is pulled (pulled) and slid in the opposite direction, and the locking portion of the support body is detached from the locked portion of the optical module to release the lock, so that the support body and the optical module are released. It can also be understood that this is a method of separation (so-called pull-off method). Regarding the push-on fastening method as described above, for example, JIS C 5982 has a similar rule.

プッシュオン締結方式を採用する上記手段においては、光ファイバコネクタ用フェルールの後端面とフェルール支持体との間に、フェルールを光モジュール側に押圧する付勢力を与える付勢手段が配設されていることが好ましい。この構造によれば、プッシュオン締結時に付勢手段の付勢力が作用してフェルールと光モジュールとが強固に締結されるからである。なお、この種の付勢手段としては、板ばねやコイルばね等の弾性体が好適である。   In the above-described means employing the push-on fastening method, an urging means for applying an urging force for pressing the ferrule toward the optical module is disposed between the rear end face of the ferrule for the optical fiber connector and the ferrule support. It is preferable. This is because, according to this structure, the urging force of the urging means acts at the time of push-on fastening, and the ferrule and the optical module are firmly fastened. As this type of biasing means, an elastic body such as a leaf spring or a coil spring is suitable.

光モジュールを構成するモジュール本体は、光ファイバコネクタ用フェルールと略同じ形状及び略同じ寸法を有していてもよい。より具体的にいうと、前記モジュール本体は、光ファイバコネクタ用フェルールと同様に略直方体状に形成されることがよい。例えば、光ファイバコネクタ用フェルールがMTフェルールである場合、ガイドピン挿入方向(便宜上X軸方向とする。)に沿った寸法が8.0mmと規定されている。また、光ファイバの整列方向(便宜上Y軸方向とする。)に沿った寸法が6.4mm〜7.0mmと規定され、X軸方向及びY軸方向に直交する方向(便宜上Z軸方向とする。)に沿った寸法が2.5mm〜3.0mmと規定されている。従って、モジュール本体のX軸方向の寸法は、例えば、8.0mm±0.3mmに設定されることがよい。モジュール本体のY軸方向の寸法は、例えば、6.0mm〜8.0mmに設定されることがよい。モジュール本体のZ軸方向の寸法は、例えば、2.0mm〜4.0mmに設定されることがよい。   The module body constituting the optical module may have approximately the same shape and approximately the same dimensions as the optical fiber connector ferrule. More specifically, the module main body may be formed in a substantially rectangular parallelepiped shape like the ferrule for optical fiber connector. For example, when the optical fiber connector ferrule is an MT ferrule, the dimension along the guide pin insertion direction (X-axis direction for convenience) is defined as 8.0 mm. The dimension along the optical fiber alignment direction (for convenience, the Y-axis direction) is defined as 6.4 mm to 7.0 mm, and the direction orthogonal to the X-axis direction and the Y-axis direction (for convenience, the Z-axis direction). )) Is defined as 2.5 mm to 3.0 mm. Therefore, the dimension of the module body in the X-axis direction is preferably set to 8.0 mm ± 0.3 mm, for example. The dimension of the module body in the Y-axis direction is preferably set to 6.0 mm to 8.0 mm, for example. The dimension of the module body in the Z-axis direction is preferably set to 2.0 mm to 4.0 mm, for example.

そして、このようにモジュール本体を構成した場合には、光モジュールが確実に小型化し、小型の配線基板上への搭載に好適なものとなる結果、高密度実装が可能となる。   When the module main body is configured in this way, the optical module is surely downsized and is suitable for mounting on a small wiring board, so that high-density mounting is possible.

前記モジュール本体は先端面と後端面とを有している。モジュール本体の先端面はフェルール側の先端面に対向して配置され、そこにはガイドピンを挿入可能なガイドピン穴が2つ離間して開口形成されている。一方、モジュール本体の後端面は、先端面とは反対側に位置している。この位置にガイドピン穴を設けたのは以下の理由による。即ち、フェルール側ガイドピン穴はフェルール先端面(即ち光ファイバ先端露出面)に開口形成されており、モジュール本体側ガイドピン穴はそれに対向する面に配置する必要があるからである。なお、モジュール本体側ガイドピン穴は、各フェルール側ガイドピン穴のある位置に対応させて形成されることがよい。ここでJIS C 5981において、フェルール側ガイドピン穴の内径は7.0mm±0.001mmと規定され、フェルール側ガイドピン穴のピッチは4.6mm±0.003mmと規定されている。従って、確実な光軸合わせを実現するためには、モジュール本体側ガイドピン穴の内径を7.0mm±0.001mmに設定し、モジュール本体側ガイドピン穴のピッチを4.6mm±0.003mmに設定することが好ましい。   The module main body has a front end surface and a rear end surface. The front end surface of the module main body is disposed to face the front end surface on the ferrule side, and two guide pin holes into which guide pins can be inserted are formed to be spaced apart from each other. On the other hand, the rear end surface of the module main body is located on the side opposite to the front end surface. The reason for providing the guide pin hole at this position is as follows. That is, the ferrule side guide pin hole is formed in the ferrule tip end surface (that is, the exposed end of the optical fiber), and the module main body side guide pin hole needs to be disposed on the surface facing it. The module main body side guide pin holes are preferably formed corresponding to positions where the respective ferrule side guide pin holes are provided. Here, in JIS C 5981, the inner diameter of the ferrule side guide pin hole is defined as 7.0 mm ± 0.001 mm, and the pitch of the ferrule side guide pin hole is defined as 4.6 mm ± 0.003 mm. Therefore, in order to achieve reliable optical axis alignment, the inner diameter of the module body side guide pin hole is set to 7.0 mm ± 0.001 mm, and the pitch of the module body side guide pin hole is 4.6 mm ± 0.003 mm. It is preferable to set to.

光モジュールを構成するフェルール支持体とは、光ファイバコネクタ用フェルールを支持する構造体であって、光モジュールと別体で形成されている。かかるフェルール支持体は1つまたは2つ以上の係止部を備えている。かかるフェルール支持体の好適例としては、フェルールを挟持するべく離間配置された一対の支持アームを備え、それら支持アームの先端部内側に係止部を設けたものを挙げることができる。また、係止部の形状は任意に設定可能であるが、例えば鉤状に形成される。   The ferrule support constituting the optical module is a structure that supports the ferrule for an optical fiber connector, and is formed separately from the optical module. Such ferrule supports are provided with one or more locking portions. As a suitable example of such a ferrule support, there may be mentioned one provided with a pair of support arms that are spaced apart so as to sandwich the ferrule and provided with a locking portion inside the front end portion of the support arms. Moreover, although the shape of a latching | locking part can be set arbitrarily, it is formed, for example in hook shape.

フェルール支持体における一対の支持アームは、フェルールの先端面に垂直な2つの面に接触した状態で配置される。この場合、フェルール支持体の厚さはフェルールの厚さ(即ちZ軸方向の寸法)と同程度であることがよく、具体的には2.0mm〜4.0mmに設定されることがよい。これは低背化を確実に達成するためである。また、フェルール支持体の材料としては例えば樹脂材料が好適であり、その具体例を挙げると、PPS(ポリフェニレンスルフィド)、PBT(ポリブチレンテレフタレート)、PEI(ポリエーテルイミド)などのエンジニアリングプラスチック等がある。樹脂は一般的に可撓性を有するため、係止部の係脱を行う場合に好都合だからである。従って、樹脂製のフェルール支持体とすることは、セラミック等の可撓性のない材料を用いて光モジュールを構成した場合に有利である。なお、フェルール支持体の材料は、樹脂のみに限定されることはなく、例えばステンレス、アルミニウム等の金属であってもよい。ただし、低コスト化という観点からすると樹脂のほうが一般的に優れている。   The pair of support arms in the ferrule support is arranged in contact with two surfaces perpendicular to the tip surface of the ferrule. In this case, the thickness of the ferrule support may be approximately the same as the thickness of the ferrule (that is, the dimension in the Z-axis direction), and specifically, it may be set to 2.0 mm to 4.0 mm. This is to surely achieve a low profile. Further, as a material for the ferrule support, for example, a resin material is suitable. Specific examples thereof include engineering plastics such as PPS (polyphenylene sulfide), PBT (polybutylene terephthalate), and PEI (polyetherimide). . This is because the resin is generally flexible and is convenient when engaging and disengaging the locking portion. Therefore, the resin ferrule support is advantageous when the optical module is formed using a non-flexible material such as ceramic. Note that the material of the ferrule support is not limited to resin, and may be a metal such as stainless steel or aluminum. However, from the viewpoint of cost reduction, the resin is generally superior.

また、フェルール支持体の係止部は、光モジュールの所定部分(例えば被係止部)に対して係止または離脱するようになっている。このような被係止部は、光モジュールの外表面において、例えば凸状または凹状に形成される。   Further, the locking portion of the ferrule support is locked or detached from a predetermined portion (for example, a locked portion) of the optical module. Such a locked portion is formed, for example, in a convex shape or a concave shape on the outer surface of the optical module.

上記光モジュールは、ガイドピンの挿入によりフェルールとモジュール本体とを結合したときに光軸合わせされる光素子(発光素子や受光素子など)を備えている。ここで発光素子とは発光部を有する光素子のことを指し、その具体例としては、発光ダイオード(Light Emitting Diode;LED)、半導体レーザダイオード(Laser Diode ;LD)、面発光レーザ(Vertical Cavity Surface Emitting Laser;VCSEL)等がある。発光素子は、入力した電気信号を光信号に変換した後、その光信号を所定部位に向けて発光部から出射する機能を備えている。一方、受光素子とは受光部を有する光素子のことを指し、その具体例としては、pinフォトダイオード(pin Photo Diode;pin PD)、アバランシェフォトダイオード(APD)等がある。受光素子は、光信号を受光部にて入射し、その入射した光信号を電気信号に変換して出力する機能を有している。前記光素子に使用する好適な材料としては、例えば、Si、Ge、InGaAs、GaAsP、GaAlAsなどを挙げることができる。「光軸合わせされる光素子」とは、フェルールに設けられた光ファイバに対して光軸合わせされた状態の光素子のことである。   The optical module includes an optical element (such as a light emitting element or a light receiving element) that is optically aligned when the ferrule and the module body are coupled by inserting a guide pin. Here, the light emitting element refers to an optical element having a light emitting portion. Specific examples thereof include a light emitting diode (LED), a semiconductor laser diode (LD), and a surface emitting laser (Vertical Cavity Surface). Emitting Laser (VCSEL). The light emitting element has a function of converting an input electrical signal into an optical signal and then emitting the optical signal from a light emitting unit toward a predetermined portion. On the other hand, the light receiving element refers to an optical element having a light receiving portion, and specific examples include a pin photodiode (pin PD), an avalanche photodiode (APD), and the like. The light receiving element has a function of making an optical signal incident on the light receiving unit, converting the incident optical signal into an electric signal, and outputting the electric signal. Examples of suitable materials used for the optical element include Si, Ge, InGaAs, GaAsP, and GaAlAs. The “optical element whose optical axis is aligned” refers to an optical element whose optical axis is aligned with respect to an optical fiber provided in the ferrule.

この場合、光素子は、光モジュールの外表面から露出しないように光モジュール内部に設けられていることが好ましい。光素子が光モジュールの外表面にて露出する構成に比べて、上記構成であると光素子を確実に保護でき、信頼性向上にも寄与しうるからである。   In this case, the optical element is preferably provided inside the optical module so as not to be exposed from the outer surface of the optical module. This is because the optical device can be reliably protected and can contribute to the improvement of reliability as compared with the configuration in which the optical device is exposed on the outer surface of the optical module.

モジュール本体には、光素子のほかに、例えば、光素子駆動用の半導体集積回路素子及び光信号増幅用の半導体集積回路素子のうちの少なくともいずれかが設けられていてもよい。即ち、光素子が発光素子である場合、モジュール本体には、発光素子と発光素子駆動用の半導体集積回路素子(いわゆるドライバIC)とが設けられていてもよい。また、光素子が受光素子である場合、モジュール本体には、受光素子と光信号増幅用の半導体集積回路素子(いわゆるレシーバIC)とが設けられていてもよい。このような構成であると、例えば光モジュールの外部に半導体集積回路素子を設けてそれと光素子とを電気的に接続する場合に比べて、導通距離を短くすることができ、動作速度が速くなる。勿論、発光素子及び受光素子の両方を有する光モジュールの場合、モジュール本体には光素子駆動用の半導体集積回路素子及び光信号増幅用の半導体集積回路素子の両方が設けられていてもよい。   In addition to the optical element, the module body may be provided with at least one of a semiconductor integrated circuit element for driving the optical element and a semiconductor integrated circuit element for amplifying the optical signal, for example. That is, when the optical element is a light emitting element, the module body may be provided with a light emitting element and a semiconductor integrated circuit element (so-called driver IC) for driving the light emitting element. When the optical element is a light receiving element, the module main body may be provided with a light receiving element and a semiconductor integrated circuit element for optical signal amplification (so-called receiver IC). With such a configuration, for example, the conduction distance can be shortened and the operation speed can be increased compared to a case where a semiconductor integrated circuit element is provided outside the optical module and the optical element is electrically connected to the optical module. . Of course, in the case of an optical module having both a light emitting element and a light receiving element, the module body may be provided with both a semiconductor integrated circuit element for driving the optical element and a semiconductor integrated circuit element for amplifying the optical signal.

この場合、光素子駆動用や光信号増幅用の半導体集積回路素子は、光モジュールの外表面から露出しないように光モジュール内部に設けられていることが好ましい。当該半導体集積回路素子が光モジュールの外表面にて露出する構成に比べて、上記構成であると半導体集積回路素子を確実に保護でき、信頼性向上にも寄与しうるからである。   In this case, it is preferable that the semiconductor integrated circuit element for driving the optical element or for amplifying the optical signal is provided inside the optical module so as not to be exposed from the outer surface of the optical module. This is because the semiconductor integrated circuit element can be reliably protected and can contribute to improvement in reliability as compared with the structure in which the semiconductor integrated circuit element is exposed on the outer surface of the optical module.

さらにモジュール本体には、光素子や半導体集積回路素子以外の電子部品や素子が設けられていてもよい。前記電子部品の具体例としては、チップトランジスタ、チップダイオード、チップ抵抗、チップコンデンサ、チップコイルなどを挙げることができる。これらの電子部品は、能動部品であっても受動部品であってもよい。前記素子の具体例としては、薄膜トランジスタ、薄膜ダイオード、薄膜抵抗、薄膜コンデンサ、薄膜コイルなどを挙げることができる。これらの素子は、能動素子であっても受動素子であってもよい。この場合、チップコンデンサや薄膜コンデンサを設けておくことにより、低抵抗化及び低インダクタンス化を図ることができるため、光モジュールの高性能化を実現しやすくなる。   Further, the module body may be provided with electronic components and elements other than the optical element and the semiconductor integrated circuit element. Specific examples of the electronic component include a chip transistor, a chip diode, a chip resistor, a chip capacitor, and a chip coil. These electronic components may be active components or passive components. Specific examples of the element include a thin film transistor, a thin film diode, a thin film resistor, a thin film capacitor, and a thin film coil. These elements may be active elements or passive elements. In this case, by providing a chip capacitor or a thin film capacitor, it is possible to reduce the resistance and the inductance, so that it is easy to realize high performance of the optical module.

前記モジュール本体は、光ファイバコネクタ(即ちフェルール及びフェルール支持体)に使用される樹脂材料よりも高放熱性の材料(つまり熱伝導率が高い材料)を主体として構成されていることが好ましい。その理由を以下に述べる。光素子を動作させると熱が発生するが、フェルール等に使用される樹脂材料は一般に放熱性があまり高くないため、その熱を外部に効率よく放散できず、このことが動作の不安定化の原因となる。これに対して、高放熱性材料を主体として構成されたモジュール本体であれば、熱を外部に効率よく放散でき、安定した動作を得ることが可能となるからである。フェルール等に使用される樹脂材料よりも高放熱性の材料の好適例としては、金属やセラミックなどの無機材料を挙げることができる。   It is preferable that the module body is mainly composed of a material having higher heat dissipation (that is, a material having a higher thermal conductivity) than a resin material used for an optical fiber connector (that is, a ferrule and a ferrule support). The reason is described below. When an optical element is operated, heat is generated, but resin materials used for ferrules and the like are generally not very heat-dissipating, so that the heat cannot be efficiently dissipated to the outside, which causes instability of operation. Cause. On the other hand, if the module main body is mainly composed of a high heat dissipation material, heat can be efficiently dissipated to the outside and stable operation can be obtained. Preferable examples of the material having higher heat dissipation than the resin material used for ferrules and the like include inorganic materials such as metals and ceramics.

前記モジュール本体は、基板状に形成されたセラミック(即ちセラミック基板)を主体として構成されていることが好ましい。このようなものを主体として構成されたモジュール本体であれば、熱を外部に効率よく放散できるからである。この場合において好適なセラミック基板の具体例としては、アルミナ基板、ベリリア基板、ムライト基板、窒化アルミニウム基板、窒化珪素基板、窒化ほう素基板、炭化珪素基板などがある。ここに列挙したものは特に放熱性に優れている。   It is preferable that the module main body is mainly composed of a ceramic (that is, a ceramic substrate) formed in a substrate shape. This is because heat can be efficiently dissipated to the outside if the module body is mainly composed of such a structure. Specific examples of suitable ceramic substrates in this case include alumina substrates, beryllia substrates, mullite substrates, aluminum nitride substrates, silicon nitride substrates, boron nitride substrates, silicon carbide substrates and the like. Those listed here are particularly excellent in heat dissipation.

前記モジュール本体は、セラミック配線基板を主体として構成されていることがより好ましく、多層セラミック配線基板を主体として構成されていることが特に好ましい。このような配線基板は導体層及び絶縁層を備えているため、その導体層を利用して光素子と他の部品との電気的な接続を容易に図ることができる。   More preferably, the module body is mainly composed of a ceramic wiring substrate, and particularly preferably is composed mainly of a multilayer ceramic wiring substrate. Since such a wiring board is provided with a conductor layer and an insulating layer, electrical connection between the optical element and other components can be easily achieved using the conductor layer.

セラミック基板は、基板主面と、基板主面の反対側に位置する基板裏面と、基板主面に対して垂直な複数の側端面とを有している。そして、複数の側端面のうちの1つには、ガイドピン穴の少なくとも一部を構成する穴が開口形成される。より好ましくは、セラミック基板の基板主面に対して垂直な側端面に充填凹部を開口形成し、充填凹部内にセラミック基板よりも加工性のよい材料からなる充填材を充填し、充填材にガイドピン穴の少なくとも一部を構成する精密加工穴を形成することが好ましい。このような構成であると、ガイドピン穴が精密加工穴であるため、光ファイバと光素子との光軸合わせをより正確に行うことが可能となり、光結合効率を確実に向上することができる。また、セラミックは、放熱性や寸法安定性に優れるという利点を有する反面、硬質であって加工性に劣るという欠点を有する。このため、セラミック基板を直接加工して精密加工穴を設けることは困難であり、コスト高にもつながる。それに対して、易加工性材料からなる充填材に精密穴加工を施して形成された精密加工穴は、比較的容易にかつ低コストで得ることができる。なお、精密加工穴を形成する具体的手法としては、ドリル加工、パンチ加工、レーザ加工などがあるが、コスト性などを考慮すると精密ドリルを使用したドリル加工が最も好ましい。   The ceramic substrate has a substrate main surface, a substrate back surface located on the opposite side of the substrate main surface, and a plurality of side end surfaces perpendicular to the substrate main surface. A hole constituting at least a part of the guide pin hole is formed in one of the plurality of side end surfaces. More preferably, a filling recess is formed in a side end surface perpendicular to the main surface of the ceramic substrate, a filler made of a material having better workability than the ceramic substrate is filled in the filling recess, and the filler is guided. It is preferable to form a precision machined hole that constitutes at least a part of the pin hole. With such a configuration, since the guide pin hole is a precision machined hole, the optical axis of the optical fiber and the optical element can be more accurately aligned, and the optical coupling efficiency can be reliably improved. . Ceramics have the advantage of being excellent in heat dissipation and dimensional stability, but have the disadvantage of being hard and inferior in workability. For this reason, it is difficult to directly process a ceramic substrate to provide a precision processing hole, which leads to high costs. On the other hand, a precision drilled hole formed by subjecting a filler made of an easily processable material to precision drilling can be obtained relatively easily and at low cost. In addition, as a specific method for forming the precision processed hole, there are a drilling process, a punching process, a laser processing, and the like, but in consideration of cost and the like, a drilling process using a precision drill is most preferable.

また、前記充填材としては、セラミック基板よりも硬度が低くて加工性のよい樹脂材料、金属材料、ガラス材料などを選択することがよく、中でも特に樹脂材料を選択することが好ましい。樹脂材料はセラミック材料に比べて一般的に硬度が低いため、加工に要する労力やコストが少なくて済むからである。また、樹脂材料はセラミック材料に比べて一般的に安価であるため、低コスト化にも向くからである。   As the filler, it is preferable to select a resin material, a metal material, a glass material, or the like having a lower hardness than the ceramic substrate and good workability, and it is particularly preferable to select a resin material. This is because the resin material generally has a lower hardness than the ceramic material, so that labor and cost required for processing can be reduced. Moreover, since resin materials are generally cheaper than ceramic materials, they are also suitable for cost reduction.

また、モジュール本体は、フェルール支持体の一部が接触可能であってかつ前記先端面に垂直な位置関係にある支持体接触面を備えるとともに、当該フェルール支持体接触面には前記フェルール支持体の前記係止部が係脱可能な被係止部が設けられていることが好ましい。このような被係止部としては、凸状に形成された被係止突起や、凹状に形成された被係止窪みを例示することができる。凹凸のある被係止部にフェルール支持体の係止部が係止する構造であれば、フェルールと光モジュールとの結合をより確実にすることができ、例えばがたつき等による光軸のずれも未然に防ぐことが可能となる。なお、被係止突起や被係止窪みはモジュール本体に一体形成されていることがよい。なお、係止部が係脱可能な被係止部は、例えば、後端面に設けられていてもよい。   In addition, the module main body includes a support contact surface that can be contacted by a part of the ferrule support and is perpendicular to the tip surface, and the ferrule support contact surface includes the support of the ferrule support. It is preferable that a locked portion that can be engaged and disengaged is provided. Examples of such a locked portion include a locked protrusion formed in a convex shape and a locked recess formed in a concave shape. If the structure is such that the locking portion of the ferrule support is locked to the locked portion with irregularities, the coupling between the ferrule and the optical module can be made more reliable, for example, the deviation of the optical axis due to rattling or the like Can also be prevented. The locked protrusion and the locked recess are preferably formed integrally with the module body. In addition, the to-be-latched part which can engage / disengage a latching | locking part may be provided in the rear-end surface, for example.

前記光素子及び前記半導体集積回路素子は、セラミック基板における同じ面側に配置されていてもよく、異なる面側に配置されていてもよい。後者の構成を採用する場合には、例えば、光素子をセラミック基板の側端面側に配置し、半導体集積回路素子をセラミック基板の基板主面側に配置することがよい。この構成によると、光素子における発光面または受光面がX軸方向を向くため、特に光路変換を行わなくても光ファイバとの光結合を図ることが可能となる。なお、異なる面側に配置された光素子及び半導体集積回路素子間を導通するために、例えば、フレキシブル基板を利用してもよい。   The optical element and the semiconductor integrated circuit element may be disposed on the same surface side of the ceramic substrate or may be disposed on different surface sides. When the latter configuration is employed, for example, the optical element is preferably disposed on the side end face side of the ceramic substrate, and the semiconductor integrated circuit element is preferably disposed on the substrate main surface side of the ceramic substrate. According to this configuration, since the light emitting surface or the light receiving surface of the optical element faces the X-axis direction, it is possible to achieve optical coupling with an optical fiber without performing optical path conversion. For example, a flexible substrate may be used in order to conduct between the optical element and the semiconductor integrated circuit element arranged on different surfaces.

また、モジュール本体において先端面及び後端面以外の面上、例えば上端面上には、金属体が設けられていてもよい。このような金属体があると、放熱性がいっそう向上するため、光素子や半導体集積回路素子の熱を外部に効率よく放散することができる。よって、光モジュールの動作安定化を達成しやすくなる。また、高機能の半導体集積回路素子の使用が可能となるので、光モジュールの性能向上も達成しやすくなる。さらに、光素子や半導体集積回路素子が外部の電磁波からシールドされ、結果として光モジュールの動作安定化が図られる。前記金属体の材料としては、銅、銅合金、鉄、ニッケル、鉄−ニッケル合金、アルミニウムなどが挙げられる。金属体はこのような材料を用いて、例えば、板状、箔状、層状に形成される。また、前記金属体は、光モジュールが搭載されるべき基板側と接続されるバンプであってもよい。このような放熱用バンプがあると、光素子や半導体集積回路素子の熱を上記基板側に効率よく放散することができる。   In the module body, a metal body may be provided on a surface other than the front end surface and the rear end surface, for example, on the upper end surface. With such a metal body, heat dissipation is further improved, so that heat of the optical element and the semiconductor integrated circuit element can be efficiently dissipated to the outside. Therefore, it becomes easy to achieve operation stabilization of the optical module. In addition, since it is possible to use a highly functional semiconductor integrated circuit element, it is easy to achieve an improvement in the performance of the optical module. Furthermore, the optical element and the semiconductor integrated circuit element are shielded from external electromagnetic waves, and as a result, the operation of the optical module is stabilized. Examples of the material of the metal body include copper, copper alloy, iron, nickel, iron-nickel alloy, and aluminum. The metal body is formed using, for example, a plate shape, a foil shape, or a layer shape using such a material. The metal body may be a bump connected to a substrate side on which the optical module is to be mounted. With such a heat dissipation bump, the heat of the optical element and the semiconductor integrated circuit element can be efficiently dissipated to the substrate side.

モジュール本体において先端面及び後端面以外の面上、例えば下端面上には、複数の電気接続端子が設けられていることがよい。この構成によると、光モジュールが搭載されるべき基板側との電気的接続を容易に図ることができる。電気接続端子の形態は特に限定されず、例えばバンプ、パッド、リードなどが挙げられる。   In the module main body, a plurality of electrical connection terminals may be provided on a surface other than the front end surface and the rear end surface, for example, on the lower end surface. According to this configuration, electrical connection with the substrate side on which the optical module is to be mounted can be easily achieved. The form of the electrical connection terminal is not particularly limited, and examples thereof include bumps, pads, leads, and the like.

光モジュールには、集光機能を有する部品であるマイクロレンズアレイが設けられていてもよい。マイクロレンズアレイがあると、光が集められることによって光の伝送ロスが小さくなる。また、マイクロレンズアレイを採用した場合、焦点距離の調整のためのスペーサ部材をさらに設けてもよい。   The optical module may be provided with a microlens array which is a component having a light collecting function. When there is a microlens array, light transmission loss is reduced by collecting light. When a microlens array is employed, a spacer member for adjusting the focal length may be further provided.

また、上記の課題を解決するための別の手段としては、光ファイバコネクタ用MTフェルールに対し、MTフェルールにおける光ファイバ先端露出面と自身の先端面とを突き合わせた状態で、係止部を有する光ファイバコネクタ用支持体と光ファイバコネクタ用ガイドピンとを用いて結合可能なモジュール本体と、前記モジュール本体に設けられ、前記ガイドピンの挿入により前記MTフェルールと前記モジュール本体とを結合したときに光軸合わせされる光素子とを備えることを特徴とする光モジュールがある。   Further, as another means for solving the above-described problem, the optical fiber connector MT ferrule has a locking portion in a state in which the exposed end surface of the optical fiber in the MT ferrule is abutted with its own front end surface. A module main body that can be coupled using a support for optical fiber connector and a guide pin for optical fiber connector, and light provided when the MT ferrule and the module main body are coupled by insertion of the guide pin. There is an optical module including an optical element that is aligned with an axis.

従って、上記手段によると、MTフェルールとモジュール本体とを機械的に結合するにあたり、MTフェルールにおける光ファイバ先端露出面とモジュール本体の先端面とを突き合わせる配置態様を採用している。このため、両者の結合時におけるZ軸方向の寸法を確実に抑えることができ、装置全体の低背化が達成しやすくなる。さらに、ガイドピンの挿入によりフェルールとモジュール本体とを機械的に結合する際に、併せて光ファイバの光軸と光素子の光軸とが合わせられる。このため、比較的簡単な方法であるにもかかわらず、光ファイバと光素子とを高い効率で光結合することができる。この場合、フェルールと光モジュールとの結合時に、フェルールの上面と光モジュールの上面とが略面一となることが好ましい。   Therefore, according to the above means, when mechanically coupling the MT ferrule and the module main body, an arrangement mode is adopted in which the exposed end surface of the optical fiber in the MT ferrule and the front end surface of the module main body are abutted. For this reason, the dimension of the Z-axis direction at the time of coupling | bonding of both can be suppressed reliably, and it becomes easy to achieve the height reduction of the whole apparatus. Further, when the ferrule and the module main body are mechanically coupled by inserting the guide pin, the optical axis of the optical fiber and the optical axis of the optical element are also aligned. For this reason, although it is a comparatively simple method, an optical fiber and an optical element can be optically coupled with high efficiency. In this case, it is preferable that the upper surface of the ferrule and the upper surface of the optical module are substantially flush when the ferrule and the optical module are coupled.

上記の別の課題を解決するための手段としては、光ファイバコネクタ用フェルールに対し、係止部を有する光ファイバコネクタ用フェルール支持体と光ファイバコネクタ用ガイドピンとを用いて、プッシュオン締結方式で結合可能な光モジュールに使用されるセラミック基板であって、前記フェルール係止部が係脱可能な被係止部が設けられていることを特徴とする光モジュール用セラミック基板、がある。   As a means for solving the above-mentioned another problem, a push-on fastening method is used for an optical fiber connector ferrule by using an optical fiber connector ferrule support having a locking portion and an optical fiber connector guide pin. There is a ceramic substrate for an optical module that is used in a connectable optical module, and is provided with a locked portion to which the ferrule locking portion can be engaged and disengaged.

上記手段の光モジュール用セラミック基板は、放熱性、寸法安定性、コスト性に優れることに加え、被係止部を備えている。よって、このセラミック基板を用いれば、上記の優れた光モジュールを容易に実現することができる。この場合、被係止部は光モジュールの外表面にて一体形成されていることがよい。即ち、一体形成された被係止部のほうが別体で形成された被係止部に比べて強度的に強く、大きな荷重に耐えることができるからである。また、コスト高の要因となる部品点数の増加も回避できるからである。   In addition to being excellent in heat dissipation, dimensional stability, and cost performance, the optical module ceramic substrate of the above means includes a locked portion. Therefore, if this ceramic substrate is used, the above excellent optical module can be easily realized. In this case, the locked portion is preferably formed integrally on the outer surface of the optical module. That is, the integrally formed locked portion is stronger in strength than the locked portion formed separately and can withstand a large load. Moreover, it is also possible to avoid an increase in the number of parts that causes a high cost.

前記光モジュール用セラミック基板は、例えば、後に被係止部の一部となる凸部または凹部を有するセラミック未焼結体を用意する工程と、前記セラミック未焼結体を焼成してセラミック焼結体とする工程と、を経て製造することが可能である。そして、この製造方法によれば、未焼結の段階で凸部または凹部の形成を行っているので、比較的簡単にかつ安価に被係止部を一体形成することができる。   The ceramic substrate for an optical module includes, for example, a step of preparing a ceramic unsintered body having a convex part or a recessed part that will later become a part of the locked part, and firing the ceramic unsintered body to sinter the ceramic It is possible to manufacture through the process of making a body. And according to this manufacturing method, since a convex part or a recessed part is formed in the unsintered stage, a to-be-latched part can be integrally formed comparatively easily and cheaply.

より詳しくは、前記光モジュール用セラミック基板は、複数枚のグリーンシートを用意するとともに、後に被係止部の一部となる凸部または凹部を前記複数枚のグリーンシートに形成する工程と、前記凸部または凹部を重ね合わせるようにして前記複数枚のグリーンシートを積層して未焼結のセラミック積層体を作製する工程と、前記未焼結のセラミック積層体を焼成してセラミック焼結体とし、かつ前記被係止部を一体形成する工程と、を経て製造することが好適である。   More specifically, the ceramic substrate for an optical module is provided with a plurality of green sheets, and a step of forming a convex portion or a concave portion that later becomes a part of the locked portion on the plurality of green sheets; A step of laminating the plurality of green sheets so that convex portions or concave portions are overlapped to produce a green ceramic laminate, and firing the green ceramic laminate to form a ceramic sintered body. And a step of integrally forming the locked portion.

上記手段の光モジュール用セラミック基板は、基板主面及びその基板主面に対して垂直な側端面を備えるとともに、前記側端面に充填凹部が開口形成され、前記充填凹部内に基板材料よりも加工性のよい材料からなる充填材が充填され、前記充填材に前記ガイドピン穴である精密加工穴が形成されていることが好ましい。そしてこのような構成によると、光軸合わせの際の基準となるガイドピンを精密加工穴に確実に嵌合させることができ、ひいては光軸合わせをより正確に行うことが可能となる。よって、このセラミック基板を用いれば、上記の優れた光モジュールを容易に実現することができる。   The ceramic substrate for an optical module of the above means has a substrate main surface and a side end surface perpendicular to the substrate main surface, and a filling recess is formed in the side end surface, and the filling recess is processed more than the substrate material. It is preferable that a filler made of a good material is filled, and the precision processing hole which is the guide pin hole is formed in the filler. According to such a configuration, the guide pin serving as a reference when aligning the optical axis can be reliably fitted into the precision machined hole, and as a result, the optical axis can be aligned more accurately. Therefore, if this ceramic substrate is used, the above excellent optical module can be easily realized.

前記光モジュール用セラミック基板は、例えば、側端面にて開口する充填凹部を有するセラミック未焼結体を用意する工程と、前記セラミック未焼結体を焼成してセラミック焼結体とする工程と、前記セラミック焼結体における前記充填凹部内に充填材を充填する工程と、前記充填材を穴加工してガイドピン穴の少なくとも一部を構成する穴を開口形成する工程と、を経て製造することが可能である。そして、この製造方法によれば、未焼結の段階で穴加工を行っているので、比較的簡単にかつ安価にガイドピン穴を形成することができる。   The ceramic substrate for an optical module, for example, a step of preparing a ceramic unsintered body having a filling recess that opens at a side end surface, a step of firing the ceramic unsintered body to form a ceramic sintered body, Producing through a step of filling a filler in the filling recess in the ceramic sintered body and a step of forming a hole in the guide pin hole by drilling the filler. Is possible. According to this manufacturing method, since the hole processing is performed in an unsintered stage, the guide pin hole can be formed relatively easily and inexpensively.

より詳しくは、前記光モジュール用セラミック基板は、複数枚のグリーンシートを用意するとともに、側端面付近に切欠部を形成する工程と、前記複数枚のグリーンシートを積層して未焼結のセラミック積層体を作製するとともに、前記切欠部を重ね合わせることにより側端面にて開口する充填凹部を形成する工程と、前記未焼結のセラミック積層体を焼成してセラミック焼結体とする工程と、前記セラミック焼結体における前記充填凹部内に充填材を充填する工程と、前記充填材を穴加工してガイドピン穴の少なくとも一部を構成する精密加工穴を開口形成する工程と、を経て製造することが好適である。   More specifically, the ceramic substrate for an optical module is prepared by preparing a plurality of green sheets, forming a notch near the side end face, and laminating the plurality of green sheets to form an unsintered ceramic laminate. A step of forming a filling recess that opens at a side end surface by overlapping the notch, firing the green ceramic laminate to form a ceramic sintered body, Manufacturing through a step of filling the filler into the filling recess in the ceramic sintered body and a step of forming a hole in the filler to form at least a part of the guide pin hole. Is preferred.

[第1実施形態] [First Embodiment]

以下、本発明を具体化した第1実施形態を図1〜図7に基づいて詳細に説明する。   Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS.

図1は、本実施形態の光モジュール41をプリント配線基板11上に搭載して、光ファイバコネクタ用フェルールとしての光ファイバコネクタ用MTフェルール24を接続した状態を示す概略正面図である。図2は、プリント配線基板11、光モジュール41、MTフェルール24、多心光ファイバ26及び光ファイバコネクタ用ガイドピン31を示す概略上面図である。図3は、MTフェルール24及び光モジュール41を示す分解斜視図である。図4は、モジュール本体42を構成する光モジュール用セラミック基板51を示す斜視図である。図5は、光モジュール41の平面図である。図6は図5のA−A線における断面図である。図7は図5のB−B線における断面図である。   FIG. 1 is a schematic front view showing a state in which an optical module 41 of this embodiment is mounted on a printed wiring board 11 and an optical fiber connector MT ferrule 24 as an optical fiber connector ferrule is connected. FIG. 2 is a schematic top view showing the printed wiring board 11, the optical module 41, the MT ferrule 24, the multi-core optical fiber 26, and the guide pins 31 for the optical fiber connector. FIG. 3 is an exploded perspective view showing the MT ferrule 24 and the optical module 41. FIG. 4 is a perspective view showing an optical module ceramic substrate 51 constituting the module main body 42. FIG. 5 is a plan view of the optical module 41. 6 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 7 is a cross-sectional view taken along line BB in FIG.

図1等に示されるように、光モジュール搭載用のプリント配線基板11は、複数の絶縁層15及び複数の導体層(図示略)を有するいわゆる多層板であって、表面12及び裏面13を有している。プリント配線基板11の表面12には図示しない複数のパッドが形成されており、それらのパッド上には2個の光モジュール41がバンプ接続されている。図1において右側に位置する光モジュール41は、電気信号を光信号に変換する発光側光モジュールであって、図1において左側に位置する光モジュール41は、光信号を電気信号に変換する受光側光モジュールである。なお、プリント配線基板11の表面12には、光モジュール41のほかにICチップ16等が同じくバンプ接続されている。   As shown in FIG. 1 and the like, a printed wiring board 11 for mounting an optical module is a so-called multilayer board having a plurality of insulating layers 15 and a plurality of conductor layers (not shown), and has a front surface 12 and a back surface 13. is doing. A plurality of pads (not shown) are formed on the surface 12 of the printed wiring board 11, and two optical modules 41 are bump-connected on these pads. The optical module 41 located on the right side in FIG. 1 is a light emitting side optical module that converts an electrical signal into an optical signal. The optical module 41 located on the left side in FIG. 1 is a light receiving side that converts an optical signal into an electrical signal. It is an optical module. In addition to the optical module 41, the IC chip 16 and the like are similarly bump-connected to the surface 12 of the printed wiring board 11.

図1〜図3に示されるように、本実施形態のMTフェルール24は、可撓性を有する樹脂製のフェルールホルダ27(光ファイバコネクタ用フェルール支持体)によって支持されている。フェルールホルダ27は、離間配置された一対の支持アーム25と、それら支持アーム25を基端部において連結する連結部28とを備えており、全体として略コ字状をなしている。そして、このような構造を有することにより、光モジュール41を、MTフェルール24に対してプッシュオン締結方式で結合することが可能となっている。また、このフェルールホルダ27の厚さは、MTフェルール24とほぼ同じ厚さ(約3.0mm)に設定されている。両支持アーム25の先端部内側には、光モジュール41に一体形成された被係止突起60に係脱可能な鉤部33(係止部)が設けられている。また、MTフェルール24は、両支持アーム25間にてX軸方向(即ちガイドピン挿入方向)に沿って摺動可能に配置されている。なお、MTフェルール24の連結部28と、フェルールホルダ27の後端面との間には、2本のコイルばね29(付勢手段)が配置されている。これらのコイルばね29は、光モジュール41の結合時にフェルールホルダ27を光モジュール41の方向に押圧する役割を果たす。   As shown in FIGS. 1 to 3, the MT ferrule 24 of the present embodiment is supported by a flexible resin ferrule holder 27 (a ferrule support for an optical fiber connector). The ferrule holder 27 includes a pair of spaced apart support arms 25 and a connecting portion 28 that connects the support arms 25 at the base end portion, and has a substantially U-shape as a whole. With this structure, the optical module 41 can be coupled to the MT ferrule 24 by a push-on fastening method. Further, the thickness of the ferrule holder 27 is set to be substantially the same as that of the MT ferrule 24 (about 3.0 mm). On the inner side of the distal end portions of the both support arms 25, a collar portion 33 (locking portion) that can be engaged with and disengaged from the locked protrusion 60 integrally formed with the optical module 41 is provided. Further, the MT ferrule 24 is disposed between the support arms 25 so as to be slidable along the X-axis direction (that is, the guide pin insertion direction). Two coil springs 29 (biasing means) are disposed between the connecting portion 28 of the MT ferrule 24 and the rear end surface of the ferrule holder 27. These coil springs 29 serve to press the ferrule holder 27 in the direction of the optical module 41 when the optical module 41 is coupled.

また、MTフェルール24はその基端側に段部32を備えており、一対の支持アーム25の内側面において前記段部32に対応する箇所には、それぞれ移動規制段部30が形成されている。従って、これら移動規制段部30に両段部32が係合することにより、一対の支持アーム25からのMTフェルール24の離脱が防止されるようになっている。さらに、図3に示されるように、フェルールホルダ27の上面の一部及び下面の一部は、それぞれ薄いカバー36によって覆われている。そして、これらカバー36により、フェルールホルダ27からのMTフェルール24のZ軸方向(即ち上下方向)への離脱が防止されている。   Further, the MT ferrule 24 includes a stepped portion 32 on the proximal end side, and a movement restricting stepped portion 30 is formed at a position corresponding to the stepped portion 32 on the inner surface of the pair of support arms 25. . Accordingly, the engagement of the two step portions 32 with these movement restricting step portions 30 prevents the MT ferrule 24 from being detached from the pair of support arms 25. Furthermore, as shown in FIG. 3, a part of the upper surface and a part of the lower surface of the ferrule holder 27 are each covered with a thin cover 36. These covers 36 prevent the MT ferrule 24 from being detached from the ferrule holder 27 in the Z-axis direction (that is, the vertical direction).

また、図2,図3,図5,図6,図7に示されるように、本実施形態の光モジュール41は、セラミック基板51、フレキシブル基板76、リッド72(金属体)、マイクロレンズアレイ73、スペーサ74からなるモジュール本体42を備えている。この光モジュール41は略直方体状であって、各部分の寸法がMTフェルール24と略同じになるように設計されている。具体的にいうと、光モジュール41のX軸方向(図6では左右方向)の寸法は8.0mmに設定されている。光モジュール41のY軸方向(図5では上下方向)の寸法は7.0mmに設定されている。光モジュール41のZ軸方向(図4,図6では上下方向)の寸法は3.0mmに設定されている。また、モジュール本体42は、MTフェルール24及びフェルールホルダ27に使用される樹脂材料よりも高放熱性のセラミック材料(後述)を主体として構成されている。   2, 3, 5, 6, and 7, the optical module 41 of the present embodiment includes a ceramic substrate 51, a flexible substrate 76, a lid 72 (metal body), and a microlens array 73. The module main body 42 including the spacer 74 is provided. The optical module 41 has a substantially rectangular parallelepiped shape and is designed so that the dimensions of each part are substantially the same as those of the MT ferrule 24. Specifically, the dimension of the optical module 41 in the X-axis direction (left-right direction in FIG. 6) is set to 8.0 mm. The dimension of the optical module 41 in the Y-axis direction (vertical direction in FIG. 5) is set to 7.0 mm. The dimension of the optical module 41 in the Z-axis direction (vertical direction in FIGS. 4 and 6) is set to 3.0 mm. The module body 42 is mainly composed of a ceramic material (described later) having a higher heat dissipation than the resin material used for the MT ferrule 24 and the ferrule holder 27.

図4,図6,図7に示されるように、モジュール本体42の主体となるセラミック基板51は、複数層のセラミック絶縁層52と複数層の導体層57とを有する多層アルミナ配線基板である。このセラミック基板51内には、異なる層の導体層57同士を導通させるスルーホール導体58が形成されている。セラミック基板51の上端面55(基板主面)側及び下端面56側には、それぞれキャビティ59が形成されている。下端面56側のキャビティ59内にはキャパシタ83が収容されている。一方の光モジュール41については、セラミック基板51の上端面55側のキャビティ59内に、光素子駆動用の半導体集積回路素子としてのドライバIC82が収容されている。他方の光モジュール41については、セラミック基板51の上端面55側のキャビティ59内に、光信号増幅用の半導体集積回路素子としてのレシーバICが収容されている。なお、キャビティ59内にできる空隙は、例えばシリコーン樹脂84等により埋められていてもよい。また、放熱性を高めるために、前記空隙はサーマルグリースにより埋められていてもよい。   As shown in FIGS. 4, 6, and 7, the ceramic substrate 51 that is the main body of the module body 42 is a multilayer alumina wiring substrate having a plurality of ceramic insulating layers 52 and a plurality of conductor layers 57. In the ceramic substrate 51, a through-hole conductor 58 is formed for conducting different layers of conductor layers 57. Cavities 59 are formed on the upper end surface 55 (substrate main surface) side and the lower end surface 56 side of the ceramic substrate 51, respectively. A capacitor 83 is accommodated in the cavity 59 on the lower end surface 56 side. For one optical module 41, a driver IC 82 as a semiconductor integrated circuit element for driving an optical element is accommodated in a cavity 59 on the upper end surface 55 side of the ceramic substrate 51. As for the other optical module 41, a receiver IC as a semiconductor integrated circuit element for optical signal amplification is accommodated in a cavity 59 on the upper end surface 55 side of the ceramic substrate 51. Note that the gap formed in the cavity 59 may be filled with, for example, a silicone resin 84 or the like. Moreover, in order to improve heat dissipation, the gap may be filled with thermal grease.

セラミック基板51の上端面55にはポリイミド樹脂からなるフレキシブル基板76が接着され、さらにその上には洋白からなるリッド72が接着されている。このリッド72は厚さ約0.5mmの金属板であって、光モジュール41の上端面の面積にほぼ匹敵する面積を有している。フレキシブル基板76の片側面には、前記ドライバIC82及びVCSEL81(光素子)がバンプ接続されている。これらはフレキシブル基板76が有する配線パターンを介して電気的に接続されている。フレキシブル基板76の一部は、上端面55に対して垂直な第1側端面53から張り出しているとともに、第1側端面53に沿わせるようにして直角に折り曲げられている。従って、VCSEL81はセラミック基板51の第1側端面53上に配置され、その発光面は光モジュール41のX軸方向を向いた状態となっている。一方、ドライバIC82は、セラミック基板51の上端面55側のキャビティ59内にあるため、実質的にフレキシブル基板76の上端面55上に配置されていると把握できる。   A flexible substrate 76 made of polyimide resin is bonded to the upper end surface 55 of the ceramic substrate 51, and a lid 72 made of white and white is further bonded thereon. The lid 72 is a metal plate having a thickness of about 0.5 mm, and has an area substantially equal to the area of the upper end surface of the optical module 41. The driver IC 82 and the VCSEL 81 (optical element) are bump-connected to one side surface of the flexible substrate 76. These are electrically connected via a wiring pattern of the flexible substrate 76. A part of the flexible substrate 76 protrudes from the first side end surface 53 perpendicular to the upper end surface 55 and is bent at a right angle so as to be along the first side end surface 53. Accordingly, the VCSEL 81 is disposed on the first side end surface 53 of the ceramic substrate 51, and the light emitting surface thereof faces the X-axis direction of the optical module 41. On the other hand, since the driver IC 82 is in the cavity 59 on the upper end surface 55 side of the ceramic substrate 51, it can be grasped that the driver IC 82 is substantially disposed on the upper end surface 55 of the flexible substrate 76.

セラミック基板51の第1側端面53側には、透明な材料からなる平板のマイクロレンズアレイ73が、四角枠状のスペーサ74を介して取り付けられている。スペーサ74は、例えば、はんだ耐熱性を有する樹脂材料や金属材料等により形成される。前記VCSEL81は複数個の(本実施形態では12個の)発光部を有しており、それらに対応してマイクロレンズアレイ73には複数のマイクロレンズが設けられている。なお、発光部及びマイクロレンズは、いずれも光モジュール41のY軸方向に沿って一直線状に配置されている。   A flat microlens array 73 made of a transparent material is attached to the first side end face 53 side of the ceramic substrate 51 via a square frame spacer 74. The spacer 74 is formed of, for example, a resin material or metal material having solder heat resistance. The VCSEL 81 has a plurality of (in the present embodiment, twelve) light emitting sections, and the microlens array 73 is provided with a plurality of microlenses corresponding to these. The light emitting unit and the microlens are both arranged in a straight line along the Y-axis direction of the optical module 41.

図2,図4,図5,図7に示されるように、本実施形態のセラミック基板51の第1側端面53には、断面矩形状の充填凹部61が2つ開口形成されている。そして、それらの充填凹部61内には、セラミック基板51よりも加工性のよい樹脂材料からなる充填材63が充填されている。この充填材63には断面円形状の精密加工穴62が形成されている。精密加工穴62は2つであって、いずれもセラミック基板51の第1側端面53にて開口している。精密加工穴62は、MTフェルール24における2つのフェルール側ガイドピン穴22の位置に対応して形成されている。従って、これら精密加工穴62のピッチは、フェルール側ガイドピン穴22のピッチと等しく、4.6mm±0.003mmに設定されている。これら精密加工穴62の内径は、フェルール側ガイドピン穴22の内径と等しく、7.0mm±0.001mmに設定されている。また、フレキシブル基板76において前記精密加工穴62に対応した位置には、内径7.0mm±0.001mmかつピッチが4.6mm±0.003mmに設定された透孔70が形成されている。マイクロレンズアレイ73において各精密加工穴62に対応した位置には、内径7.0mm±0.001mmかつピッチが4.6mm±0.003mmに設定された透孔85が形成されている。   As shown in FIGS. 2, 4, 5 and 7, two filling recesses 61 having a rectangular cross section are formed in the first side end surface 53 of the ceramic substrate 51 of the present embodiment. The filling recesses 61 are filled with a filler 63 made of a resin material having better workability than the ceramic substrate 51. The filler 63 is formed with a precision machining hole 62 having a circular cross section. There are two precision machining holes 62, both of which are opened at the first side end face 53 of the ceramic substrate 51. The precision machining holes 62 are formed corresponding to the positions of the two ferrule side guide pin holes 22 in the MT ferrule 24. Accordingly, the pitch of the precision machining holes 62 is equal to the pitch of the ferrule side guide pin holes 22 and is set to 4.6 mm ± 0.003 mm. The inner diameter of these precision machining holes 62 is equal to the inner diameter of the ferrule side guide pin hole 22 and is set to 7.0 mm ± 0.001 mm. Further, a through hole 70 having an inner diameter of 7.0 mm ± 0.001 mm and a pitch of 4.6 mm ± 0.003 mm is formed at a position corresponding to the precision machining hole 62 in the flexible substrate 76. In the microlens array 73, through holes 85 having an inner diameter of 7.0 mm ± 0.001 mm and a pitch of 4.6 mm ± 0.003 mm are formed at positions corresponding to the precision machining holes 62.

モジュール本体42において精密加工穴62及び透孔70,85は互いに連通しており、結果としてガイドピン穴としてのモジュール本体側ガイドピン穴80を構成している。即ち、本実施形態のモジュール本体42は、先端面43にて開口するモジュール本体側ガイドピン穴80を2つ備えたものとなっている。モジュール本体側ガイドピン穴80の深さは、本実施形態では約3.0mmである。   In the module main body 42, the precision machining hole 62 and the through holes 70 and 85 communicate with each other, and as a result, a module main body side guide pin hole 80 is formed as a guide pin hole. That is, the module main body 42 of the present embodiment is provided with two module main body side guide pin holes 80 opened at the tip end face 43. The depth of the module main body side guide pin hole 80 is about 3.0 mm in this embodiment.

図2〜図5に示されるように、セラミック基板51は、一対の支持アーム25の内側が接触可能な第2側端面54(支持体接触面)を備えている。第2側端面54は、モジュール本体42の先端面43や、セラミック基板51の上端面55及び第1側端面53に対して垂直な位置関係にある。そして、第2側端面54には、一対の支持アーム25の鉤部33が係脱可能な被係止突起60(被係止部)が一体形成されている。被係止突起60の突出量は、モジュール本体42の先端面43から後端面44に行くに従って徐々に大きくなっている。つまり、光モジュール41のY軸方向の寸法は、被係止突起60の先端がある箇所において最大となっている。   2-5, the ceramic substrate 51 is provided with the 2nd side end surface 54 (support body contact surface) with which the inner side of a pair of support arm 25 can contact. The second side end face 54 is in a positional relationship perpendicular to the tip end face 43 of the module body 42, the upper end face 55 of the ceramic substrate 51, and the first side end face 53. And the to-be-latched protrusion 60 (latched part) which can engage / disengage the collar part 33 of a pair of support arm 25 is integrally formed in the 2nd side end surface 54. As shown in FIG. The protruding amount of the locked protrusion 60 gradually increases from the front end surface 43 to the rear end surface 44 of the module main body 42. That is, the dimension of the optical module 41 in the Y-axis direction is maximum at a position where the tip of the locked protrusion 60 is present.

図2,図3に示されるように、MTフェルール24において多心光ファイバ26の先端が露出している光ファイバ先端露出面23と、モジュール本体42の先端面43とは、平行でありかつ互いに突き合わされている。そしてこの状態で、ガイドピン31の一端をフェルール側ガイドピン穴22に挿入固定し、かつ、ガイドピン31の他端をモジュール本体側ガイドピン穴80に挿入固定する。これにより、MTフェルール24が、光モジュール41に対してプッシュオン締結方式で機械的に結合される。そして、このような結合時には、MTフェルール24が保持する多心光ファイバ26と、光モジュール41のVCSEL81とが光軸合わせされる。なお、本実施形態において具体的には、JIS C 5981に規定するガイドピン「CNF125A−21」(直径0.699mm)が使用されている。そしてさらに、MTフェルール24及び光モジュール41は、MTフェルール24の前記一対の支持アーム25間にて挟持固定されている。   As shown in FIGS. 2 and 3, the optical fiber tip exposed surface 23 where the tip of the multi-core optical fiber 26 is exposed in the MT ferrule 24 and the tip surface 43 of the module body 42 are parallel to each other. It is faced. In this state, one end of the guide pin 31 is inserted and fixed in the ferrule side guide pin hole 22, and the other end of the guide pin 31 is inserted and fixed in the module body side guide pin hole 80. As a result, the MT ferrule 24 is mechanically coupled to the optical module 41 by a push-on fastening method. At the time of such coupling, the multi-core optical fiber 26 held by the MT ferrule 24 and the VCSEL 81 of the optical module 41 are optically aligned. In the present embodiment, specifically, a guide pin “CNF125A-21” (diameter 0.699 mm) defined in JIS C 5981 is used. Further, the MT ferrule 24 and the optical module 41 are sandwiched and fixed between the pair of support arms 25 of the MT ferrule 24.

図3,図6,図7等に示されるように、セラミック基板51の下端面56には、複数の電気接続端子としての複数のはんだバンプ75がアレイ状に設けられている。そして、これらのはんだバンプ75を介して、光モジュール41がプリント配線基板11の表面12に電気的に接続されている。   As shown in FIGS. 3, 6, 7, etc., a plurality of solder bumps 75 as a plurality of electrical connection terminals are provided in an array on the lower end surface 56 of the ceramic substrate 51. The optical module 41 is electrically connected to the surface 12 of the printed wiring board 11 through these solder bumps 75.

このように構成された装置の一般的な動作について簡単に述べておく。   The general operation of the apparatus configured as described above will be briefly described.

発光素子を有する光モジュール41に対してはプリント配線基板11側から電力が供給され、この電力供給によりVCSEL81及びドライバIC82が動作可能な状態となる。プリント配線基板11側から入力された電気信号は、まずドライバIC82に入力される。すると、ドライバIC82はフレキシブル基板76の配線パターンを介してVCSEL81に所定の電気信号を出力する。VCSEL81は入力した電気信号を光信号(レーザ光)に変換した後、その光信号を多心光ファイバ26の先端面に向けて出射する。出射された光信号は、透明または半透明なフレキシブル基板76を通過した後、マイクロレンズアレイ73のマイクロレンズを通過する際に集光される。そして、集光された光は、MTフェルール24が保持する多心光ファイバ26の各コア内に入射し、受光側光モジュール41に向かって進むようになっている。   Electric power is supplied from the printed wiring board 11 side to the optical module 41 having a light emitting element, and the VCSEL 81 and the driver IC 82 are operable by this electric power supply. An electric signal input from the printed wiring board 11 side is first input to the driver IC 82. Then, the driver IC 82 outputs a predetermined electric signal to the VCSEL 81 via the wiring pattern of the flexible substrate 76. The VCSEL 81 converts the input electrical signal into an optical signal (laser light), and then emits the optical signal toward the distal end surface of the multi-core optical fiber 26. The emitted optical signal passes through the transparent or translucent flexible substrate 76 and is then collected when passing through the microlenses of the microlens array 73. The condensed light is incident on each core of the multi-core optical fiber 26 held by the MT ferrule 24 and travels toward the light receiving side optical module 41.

次に、光モジュール41の製造方法について説明する。   Next, a method for manufacturing the optical module 41 will be described.

まず以下の手順によりセラミック基板51を作製する。アルミナ粉末、有機バインダ、溶剤、可塑剤などを均一に混合・混練してなる原料スラリーを作製し、この原料スラリーを用いてドクターブレード装置によるシート成形を行って、所定厚みのグリーンシートを複数枚形成する。次に、グリーンシートにおける所定部分に、例えば打ち抜き加工を施すことにより、スルーホール用孔、切欠部及び凸部を形成する。かかる切欠部は、後に充填凹部61の一部を構成するものであり、グリーンシートの側端面にて開口するように形成される。また、かかる凸部は、後に被係止突起60の一部を構成するものであって、細長い三角形状に形成される。この場合、同じ金型を用いてスルーホール用孔、切欠部及び凸部を同時に形成することも可能であり、この方法によれば三者を効率よく低コストで形成することができる。次に、スルーホール用孔内にスルーホール導体用の金属ペースト(例えばタングステンペースト)を充填し、さらにグリーンシートの表面に、後に導体層となる印刷層を形成する。そして、これら複数枚のグリーンシートを積層する。その際には切欠部同士が重なり合い、かつ、凸部同士が重なり合うように配置する。そして、所定圧力でプレスして各グリーンシートを一体化し、未焼結のグリーンシート積層体とする。次に、周知の手法に従って乾燥工程や脱脂工程などを行った後、さらにアルミナが焼結しうる加熱温度(例えば1650℃〜1950℃)にて焼成工程を行う。これにより、未焼結のグリーンシート積層体を焼結させてセラミック基板51とするとともに、第1側端面53にて開口する充填凹部61を形成し、かつ、第2側端面54に被係止突起60を一体形成する。   First, the ceramic substrate 51 is manufactured by the following procedure. A raw material slurry is prepared by uniformly mixing and kneading alumina powder, organic binder, solvent, plasticizer, etc., and this raw material slurry is used to form a sheet with a doctor blade device to produce a plurality of green sheets with a predetermined thickness. Form. Next, a through hole, a cutout portion, and a convex portion are formed on a predetermined portion of the green sheet by, for example, punching. Such a notch part later constitutes a part of the filling recess 61 and is formed so as to open at the side end face of the green sheet. Moreover, this convex part will comprise a part of to-be-latched protrusion 60 later, and is formed in an elongated triangular shape. In this case, it is possible to simultaneously form the through-hole hole, the notch portion, and the convex portion using the same mold, and according to this method, the three members can be formed efficiently and at low cost. Next, a metal paste (for example, tungsten paste) for through-hole conductors is filled in the through-hole holes, and a printed layer to be a conductor layer later is formed on the surface of the green sheet. Then, the plurality of green sheets are laminated. In that case, it arrange | positions so that notch parts may overlap and convex parts may overlap. And it presses with a predetermined pressure, each green sheet is integrated, and it is set as an unsintered green sheet laminated body. Next, after performing a drying process, a degreasing process, etc. according to a well-known method, a baking process is performed at the heating temperature (for example, 1650 degreeC-1950 degreeC) which an alumina can sinter further. As a result, the unsintered green sheet laminate is sintered to form the ceramic substrate 51, the filling recess 61 that opens at the first side end surface 53 is formed, and the second side end surface 54 is locked. The protrusion 60 is integrally formed.

次に、ビスフェノールF型エポキシ樹脂(JER社製「エピコート807」)80重量部、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(JER社製「エピコート152」)20重量部に対し、硬化剤(四国化成工業社製「2P4MZ−CN」)5重量部、シランカップリング剤(信越化学社製「KBM−403」)で処理したシリカフィラー(龍森製「TSS−6」)200重量部、消泡剤(サンノプコ社製「ベレノールS−4」)を混合する。この混合物を3本ロールにて混練し、充填凹部61を埋めるための充填材63とする。即ち、本実施形態の充填材63は、熱硬化性樹脂中に無機フィラーを含んだものである。そして、この充填材63を従来公知の手法(例えば印刷法)により充填凹部61内に充填し、120℃,1時間の条件で加熱することにより、充填材63を半硬化させる。ここで、充填材63を完全に硬化させないのは、次工程での穴加工をよりいっそう容易に行うためである。   Next, with respect to 80 parts by weight of a bisphenol F type epoxy resin (“Epicoat 807” manufactured by JER) and 20 parts by weight of a cresol novolac type epoxy resin (“Epicoat 152” manufactured by JER), a curing agent (“Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.” 2P4MZ-CN ") 5 parts by weight, 200 parts by weight of silica filler (" TSS-6 "manufactured by Tatsumori) treated with a silane coupling agent (" KBM-403 "manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), defoaming agent (manufactured by Sannopco) "Berenol S-4") is mixed. This mixture is kneaded with three rolls to form a filler 63 for filling the filling recess 61. That is, the filler 63 of the present embodiment includes an inorganic filler in a thermosetting resin. Then, the filling material 63 is filled into the filling recess 61 by a conventionally known method (for example, a printing method), and is heated at 120 ° C. for 1 hour, so that the filling material 63 is semi-cured. Here, the reason why the filler 63 is not completely cured is to perform the hole processing in the next process more easily.

続いて、精密ドリルを用いた精密穴加工を行って、半硬化状態の前記充填材63に精密加工穴62を形成する。このような穴加工法によれば、光軸合わせの際の正確な基準となるガイドピン穴80を容易にかつ確実に得ることができる。なお、樹脂材料に対する穴加工であるため、加工に要する労力やコストを低減することができ、ひいては光モジュール41の低コスト化を図ることができる。ここで、セラミック基板51を表面研磨装置にセットして、第1側端面53を研磨することにより、充填凹部61の開口部から突出している余剰の充填材63を除去してもよい。   Subsequently, precision drilling using a precision drill is performed to form precision drilled holes 62 in the semi-cured filler 63. According to such a hole machining method, the guide pin hole 80 which becomes an accurate reference for optical axis alignment can be obtained easily and reliably. In addition, since the hole processing is performed on the resin material, labor and cost required for the processing can be reduced, and the cost of the optical module 41 can be reduced. Here, the surplus filler 63 protruding from the opening of the filling recess 61 may be removed by setting the ceramic substrate 51 in a surface polishing apparatus and polishing the first side end face 53.

次に、前記セラミック基板51を150℃,5時間の条件で加熱する本硬化処理を行って、充填材63を完全に硬化させる。さらに、周知の手法により仕上げ加工を行って、精密加工穴62の穴径を0.700mmとなるように微調整する。このときの加工に要求される精度は、具体的には±0.001mmである。以上の結果、光モジュール用セラミック基板51が完成する。完成したセラミック基板51については、さらに従来周知の手法によりはんだバンプ75が設けられる。   Next, a main curing process is performed in which the ceramic substrate 51 is heated at 150 ° C. for 5 hours to completely cure the filler 63. Further, finishing is performed by a well-known method, and fine adjustment is performed so that the hole diameter of the precision machining hole 62 becomes 0.700 mm. Specifically, the accuracy required for processing at this time is ± 0.001 mm. As a result, the optical module ceramic substrate 51 is completed. The completed ceramic substrate 51 is further provided with solder bumps 75 by a conventionally known method.

次に、前記セラミック基板51に他の部品を取り付けて光モジュール41を製造する手順について述べる。この場合、フレキシブル基板76を用意するとともに、片側面にあらかじめVCSEL81及びドライバIC82を実装しておく。そして、セラミック基板51、フレキシブル基板76、スペーサ74及びマイクロレンズアレイ73の順序で配置し、精密加工穴62及び透孔70,85にガイドピン31を挿通させる。その結果、セラミック基板51に対してフレキシブル基板76やマイクロレンズアレイ73が位置合わせされた状態で固定される。次に、フレキシブル基板76を直角に折り曲げて、その折り曲げた部分をセラミック基板51の上端面55に異方性導電性フィルムで接着する。さらにその上にリッド72を銀エポキシ接着剤で接着する。また、フレキシブル基板76側の導体とセラミック基板51側の導体とを、導電性ペースト、導電性フィルム、はんだ付け等の手段により電気的に接続することも可能である。その結果、図2に示されるような、ガイドピン31付き光モジュール41が得られる。この後、前記光モジュール41をプリント配線基板11の表面12上にはんだ付けする。なお、セラミック基板51のみをプリント配線基板11の表面12上にはんだ付けした後で、ガイドピン31によるフレキシブル基板76、スペーサ74及びマイクロレンズアレイ73の取り付けを行ってもよい。   Next, a procedure for manufacturing the optical module 41 by attaching other components to the ceramic substrate 51 will be described. In this case, the flexible substrate 76 is prepared, and the VCSEL 81 and the driver IC 82 are mounted in advance on one side surface. Then, the ceramic substrate 51, the flexible substrate 76, the spacer 74, and the microlens array 73 are arranged in this order, and the guide pins 31 are inserted into the precision processing holes 62 and the through holes 70 and 85. As a result, the flexible substrate 76 and the microlens array 73 are fixed to the ceramic substrate 51 while being aligned. Next, the flexible substrate 76 is bent at a right angle, and the bent portion is bonded to the upper end surface 55 of the ceramic substrate 51 with an anisotropic conductive film. Further, a lid 72 is adhered thereon with a silver epoxy adhesive. It is also possible to electrically connect the conductor on the flexible substrate 76 side and the conductor on the ceramic substrate 51 side by means such as conductive paste, conductive film, or soldering. As a result, an optical module 41 with guide pins 31 as shown in FIG. 2 is obtained. Thereafter, the optical module 41 is soldered onto the surface 12 of the printed wiring board 11. Note that the flexible substrate 76, the spacer 74, and the microlens array 73 may be attached by the guide pins 31 after only the ceramic substrate 51 is soldered on the surface 12 of the printed wiring board 11.

さらに、プリント配線基板11上に実装されたガイドピン31付き光モジュール41と、MTフェルール24とを接続する手順について述べる。ここでは、多心光ファイバ26と一体化されたMTフェルール24を使用する。また、MTフェルール24は、あらかじめフェルールホルダ27の両支持アーム25間に挟持されている。このMTフェルール24の光ファイバ先端露出面23を、光モジュール41の先端面43に対向して配置し、ガイドピン31の突出端をフェルール側ガイドピン穴22内に挿入する。そして、MTフェルール24の先端側を両支持アーム25間に配置して、MTフェルール24を光モジュール41側に近づけていき、MTフェルール24の光ファイバ先端露出面23と光モジュール41の先端面43とを突き当てるようにする。すると、このとき一対の支持アーム25に設けられた鉤部33が被係止突起60に係合し、光モジュール41がロックした状態で固定される。この状態では、コイルばね29がMTフェルール24を光モジュール41側に常時押圧することとなり、MTフェルール24及び光モジュール41が確実に結合される。   Furthermore, a procedure for connecting the optical module 41 with the guide pins 31 mounted on the printed wiring board 11 and the MT ferrule 24 will be described. Here, the MT ferrule 24 integrated with the multi-core optical fiber 26 is used. Further, the MT ferrule 24 is sandwiched between the support arms 25 of the ferrule holder 27 in advance. The exposed surface 23 of the optical fiber tip of the MT ferrule 24 is disposed to face the distal end surface 43 of the optical module 41, and the protruding end of the guide pin 31 is inserted into the ferrule side guide pin hole 22. The distal end side of the MT ferrule 24 is disposed between the support arms 25 so that the MT ferrule 24 is brought closer to the optical module 41 side, and the optical fiber distal end exposed surface 23 of the MT ferrule 24 and the distal end surface 43 of the optical module 41 are disposed. And try to hit. Then, at this time, the flanges 33 provided on the pair of support arms 25 engage with the locked protrusions 60, and the optical module 41 is fixed in a locked state. In this state, the coil spring 29 always presses the MT ferrule 24 toward the optical module 41, and the MT ferrule 24 and the optical module 41 are securely coupled.

従って、本実施形態によれば以下の効果を得ることができる。   Therefore, according to the present embodiment, the following effects can be obtained.

(1)本実施形態では、MTフェルール24と光モジュール41との機械的な結合にプッシュオン締結方式を採用しているため、モジュール本体の一部にハウジング構造部を設ける必要がなくなり、光モジュール41の低背化、小型化が達成しやすくなる。また、本実施形態では、MTフェルール42における光ファイバ先端露出面23とモジュール本体42の先端面43とを突き合わせる配置態様を採用しているため、両者の結合時におけるZ軸方向の寸法を確実に抑えることができる。   (1) In this embodiment, since the push-on fastening method is adopted for mechanical coupling between the MT ferrule 24 and the optical module 41, it is not necessary to provide a housing structure part in a part of the module body, and the optical module It is easy to achieve a reduction in height and size of 41. Further, in the present embodiment, since the arrangement mode in which the optical fiber tip exposed surface 23 of the MT ferrule 42 and the tip surface 43 of the module main body 42 are abutted is adopted, the dimension in the Z-axis direction when the two are coupled is ensured. Can be suppressed.

(2)また、ガイドピン31の挿入によりMTフェルール24とモジュール本体42とを機械的に結合する際に、併せて多心光ファイバ26の光軸とVCSEL81等の光素子の光軸とが合わせられる。このため、比較的簡単な方法であるにもかかわらず、多心光ファイバ26と光素子とを高い効率で光結合することができる。   (2) When the MT ferrule 24 and the module main body 42 are mechanically coupled by inserting the guide pin 31, the optical axis of the multi-core optical fiber 26 and the optical axis of the optical element such as the VCSEL 81 are aligned. It is done. For this reason, although it is a comparatively simple method, the multi-core optical fiber 26 and the optical element can be optically coupled with high efficiency.

(3)本実施形態では、モジュール本体42の第2側端面54に、フェルールホルダ27の鉤部33が係脱可能な被係止突起60を突設している。従って、例えば凹状の被係止部を形成した場合に比べて、モジュール本体42の外表面と内部構造との間に十分なマージンを設けやすくなる。   (3) In the present embodiment, a locked projection 60 to which the flange 33 of the ferrule holder 27 can be engaged and disengaged is provided on the second side end face 54 of the module main body 42. Therefore, for example, a sufficient margin can be easily provided between the outer surface of the module main body 42 and the internal structure as compared with the case where a concave locked portion is formed.

(4)本実施形態では、モジュール本体42には、光素子のほかに光素子駆動用または光信号増幅用の半導体集積回路素子が設けられている。よって、導通距離を短くすることができ、動作速度が速くなる。   (4) In this embodiment, the module body 42 is provided with a semiconductor integrated circuit element for driving an optical element or for amplifying an optical signal in addition to the optical element. Therefore, the conduction distance can be shortened and the operation speed is increased.

(5)本実施形態では、VCSEL81等の光素子やドライバIC82等の半導体集積回路素子が、光モジュール41の外表面から露出しないように設けられている。換言すると、光素子や半導体集積回路素子は光モジュール41内に埋設されている。ゆえに、光素子や半導体集積回路素子が光モジュール41の外表面にて露出する構成に比べて、光素子や半導体集積回路素子を確実に保護でき、信頼性向上にも寄与することができる。   (5) In this embodiment, the optical elements such as the VCSEL 81 and the semiconductor integrated circuit elements such as the driver IC 82 are provided so as not to be exposed from the outer surface of the optical module 41. In other words, the optical element and the semiconductor integrated circuit element are embedded in the optical module 41. Therefore, as compared with the configuration in which the optical element and the semiconductor integrated circuit element are exposed on the outer surface of the optical module 41, the optical element and the semiconductor integrated circuit element can be surely protected, and the reliability can be improved.

(6)本実施形態においては、光モジュール41に光素子のみならず半導体集積回路素子も設けているためトータルでの発熱量が多い。これに加え、光素子及び半導体集積回路素子を光モジュール41内に埋設しているため、そもそも内部に熱が溜まりやすい構造となっている。しかしながら、放熱性に優れたセラミック基板51を主体として光モジュール41を構成し、かつ、リッド72を設けたことにより、熱が外部に効率よく放散される。また、上記はんだバンプ75のうちの一部のものは放熱用はんだバンプであるため、それらを介して熱が光モジュール41外に効率よく放散される。
[第2実施形態]
(6) In this embodiment, since the optical module 41 is provided with not only optical elements but also semiconductor integrated circuit elements, the total amount of heat generated is large. In addition, since the optical element and the semiconductor integrated circuit element are embedded in the optical module 41, the structure is such that heat tends to accumulate in the first place. However, since the optical module 41 is mainly composed of the ceramic substrate 51 excellent in heat dissipation and the lid 72 is provided, heat is efficiently dissipated to the outside. In addition, since some of the solder bumps 75 are heat dissipation solder bumps, heat is efficiently dissipated outside the optical module 41 through them.
[Second Embodiment]

次に、第2実施形態の光モジュール141を図8,図9に基づいて詳細に説明する。図8は、本実施形態の光モジュール141の平面図である。図9は図8のC−C線における断面図である。ここでは第1実施形態と相違する部分を中心に説明し、共通する部分については同じ部材番号を付す代わりに説明を省略する。   Next, the optical module 141 according to the second embodiment will be described in detail with reference to FIGS. FIG. 8 is a plan view of the optical module 141 of the present embodiment. 9 is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG. Here, the description will focus on the parts that are different from the first embodiment, and the common parts will not be described in place of the same member numbers.

図8,図9に示されるように、この光モジュール141では、VCSEL81及びドライバIC82の支持体であったフレキシブル基板76が省略され、VCSEL81及びドライバIC82がセラミック基板51に直接接合されている。より詳細には、ドライバIC82がセラミック基板51の上端面55側のキャビティ59底面に接合され、VCSEL81がセラミック基板51の第1側端面53に接合されている。ドライバIC82は、スルーホール導体58または導体層57に電気的に接続されている。VCSEL81は、例えばボンディングワイヤ91を介して導体層57に電気的に接続されている。   As shown in FIGS. 8 and 9, in this optical module 141, the flexible substrate 76 that is a support for the VCSEL 81 and the driver IC 82 is omitted, and the VCSEL 81 and the driver IC 82 are directly bonded to the ceramic substrate 51. More specifically, the driver IC 82 is bonded to the bottom surface of the cavity 59 on the upper end surface 55 side of the ceramic substrate 51, and the VCSEL 81 is bonded to the first side end surface 53 of the ceramic substrate 51. The driver IC 82 is electrically connected to the through-hole conductor 58 or the conductor layer 57. The VCSEL 81 is electrically connected to the conductor layer 57 via a bonding wire 91, for example.

そして、上記構造の光モジュール141であっても、基本的に第1実施形態と同様の作用効果を奏する。しかも、この構造であると、フレキシブル基板76の省略により、部品点数も少なくなり、低コスト化を達成しやすくなる。また、セラミック基板51とリッド72との間での熱伝導性がよくなるため、放熱性のさらなる向上が期待できるようになる。
[第3実施形態]
And even if it is the optical module 141 of the said structure, there exists an effect similar to 1st Embodiment fundamentally. Moreover, with this structure, the number of components is reduced due to the omission of the flexible substrate 76, and it is easy to achieve cost reduction. In addition, since the thermal conductivity between the ceramic substrate 51 and the lid 72 is improved, further improvement in heat dissipation can be expected.
[Third Embodiment]

次に、第3実施形態の光モジュール241を図10,図11に基づいて詳細に説明する。図10は、本実施形態の光モジュール241の平面図である。図11は図10のD−D線における断面図である。ここでは第1実施形態と相違する部分を中心に説明し、共通する部分については同じ部材番号を付す代わりに説明を省略する。   Next, the optical module 241 according to the third embodiment will be described in detail with reference to FIGS. FIG. 10 is a plan view of the optical module 241 of the present embodiment. 11 is a cross-sectional view taken along the line DD of FIG. Here, the description will focus on the parts that are different from the first embodiment, and the common parts will not be described in place of the same member numbers.

図10,図11に示されるように、この光モジュール241においても、VCSEL81及びドライバIC82の支持体であったフレキシブル基板76が省略され、VCSEL81及びドライバIC82がセラミック基板51に直接接合されている。より詳細には、ドライバIC82がセラミック基板51の上端面55側のキャビティ59底面に接合されている。また、VCSEL81がセラミック基板51における肉薄張出部244の上面に接合されている。ドライバIC82及びVCSEL81は、スルーホール導体58または導体層57に電気的に接続されている。つまり、本実施形態では、VCSEL81がX軸方向ではなくZ軸方向(図11の上方向)を向いている。   As shown in FIGS. 10 and 11, in this optical module 241 as well, the flexible substrate 76 that was a support for the VCSEL 81 and the driver IC 82 is omitted, and the VCSEL 81 and the driver IC 82 are directly bonded to the ceramic substrate 51. More specifically, the driver IC 82 is bonded to the bottom surface of the cavity 59 on the upper end surface 55 side of the ceramic substrate 51. Further, the VCSEL 81 is bonded to the upper surface of the thin overhanging portion 244 in the ceramic substrate 51. The driver IC 82 and the VCSEL 81 are electrically connected to the through-hole conductor 58 or the conductor layer 57. In other words, in the present embodiment, the VCSEL 81 faces the Z-axis direction (upward direction in FIG. 11) instead of the X-axis direction.

肉薄張出部244の上側にあるスペースには、断面略L字状のスペーサ245が設けられ、そのスペーサ245の上には45°光路変換ミラー246付きのマイクロレンズアレイ247が設けられている。このマイクロレンズアレイ247には、Z軸方向に沿ってガイドピン穴251が形成されている。同様に、セラミック基板51の肉薄張出部244にガイドピン穴252が形成されている。そして、これらのガイドピン穴251,252にガイドピン31を挿通させることにより、VCSEL81とマイクロレンズアレイ247との光軸合わせが図られている。
そして、本実施形態によれば、全体の低背化、小型化を達成しやすく、しかも高い効率で多心光ファイバ26と光結合可能な光モジュール241を提供することができる。しかも、この構造であると、ドライバIC82及びVCSEL81を同じ向きで実装すればよいことから、部品実装を効率よく簡単に行うことができる。また、フレキシブル基板76の省略によりセラミック基板51とリッド72との間での熱伝導性がよくなるため、放熱性のさらなる向上が期待できるようになる。
[第4実施形態]
A spacer 245 having a substantially L-shaped cross section is provided in the space above the thin overhanging portion 244, and a microlens array 247 with a 45 ° optical path conversion mirror 246 is provided on the spacer 245. A guide pin hole 251 is formed in the microlens array 247 along the Z-axis direction. Similarly, a guide pin hole 252 is formed in the thin overhanging portion 244 of the ceramic substrate 51. The guide pins 31 are inserted into the guide pin holes 251 and 252 so that the optical axes of the VCSEL 81 and the microlens array 247 are aligned.
According to the present embodiment, it is possible to provide an optical module 241 that can easily achieve a reduction in height and size as a whole and can be optically coupled to the multi-core optical fiber 26 with high efficiency. Moreover, with this structure, the driver IC 82 and the VCSEL 81 need only be mounted in the same direction, so that component mounting can be performed efficiently and easily. Further, since the thermal conductivity between the ceramic substrate 51 and the lid 72 is improved by omitting the flexible substrate 76, further improvement in heat dissipation can be expected.
[Fourth Embodiment]

次に、第4実施形態の光モジュール261を図12に基づいて詳細に説明する。図12は、本実施形態の光モジュール261の平面図である。ここでは第1実施形態と相違する部分を中心に説明し、共通する部分については同じ部材番号を付す代わりに説明を省略する。   Next, the optical module 261 of the fourth embodiment will be described in detail with reference to FIG. FIG. 12 is a plan view of the optical module 261 of the present embodiment. Here, the description will focus on the parts that are different from the first embodiment, and the common parts will not be described in place of the same member numbers.

図12に示されるように、この光モジュール261は、いわば送受信用光モジュールであることから異なる2種類の光素子を備えており、具体的にはVCSEL81及びフォトダイオード271を1個ずつ備えている。それゆえ、この光モジュール261は、ドライバIC82ばかりでなくレシーバIC272(光信号増幅用の半導体集積回路素子)も備えている。ドライバIC82及びVCSEL81は、フレキシブル基板76の配線パターンを介して電気的に接続されている。レシーバIC272及びフォトダイオード271も、フレキシブル基板76における別の配線パターンを介して電気的に接続されている。セラミック基板51の上端面55側には、ドライバIC82を配置するためのキャビティ59と、レシーバIC272を配置するためのキャビティ59とが別個に形成されている。これらのキャビティ59の内面には導体めっき層が形成されている。また、これらキャビティ59同士は仕切壁273により隔てられている。そして、これらの構成により、送信側の構成であるドライバIC82と、受信側の構成であるレシーバIC272とが電磁的に分離されている。また、VCSEL81とフォトダイオード271との間には、基板の表面に導体めっきを施したシールド部材262が配設されている。そして、このようなシールド部材262の介在により、送信側の構成であるVCSEL81と、受信側の構成であるフォトダイオード271とが電磁的に分離されている。前記シールド部材262は、スペーサ74の表面に導体めっきを施したものであってもよい。   As shown in FIG. 12, this optical module 261 is a so-called transmission / reception optical module, and thus includes two different types of optical elements, specifically, one VCSEL 81 and one photodiode 271. . Therefore, the optical module 261 includes not only the driver IC 82 but also the receiver IC 272 (semiconductor integrated circuit element for optical signal amplification). The driver IC 82 and the VCSEL 81 are electrically connected via the wiring pattern of the flexible substrate 76. The receiver IC 272 and the photodiode 271 are also electrically connected via another wiring pattern on the flexible substrate 76. On the upper end surface 55 side of the ceramic substrate 51, a cavity 59 for disposing the driver IC 82 and a cavity 59 for disposing the receiver IC 272 are separately formed. A conductor plating layer is formed on the inner surfaces of these cavities 59. The cavities 59 are separated from each other by a partition wall 273. With these configurations, the driver IC 82 that is the configuration on the transmission side and the receiver IC 272 that is the configuration on the reception side are electromagnetically separated. A shield member 262 is provided between the VCSEL 81 and the photodiode 271. The shield member 262 is conductor-plated on the surface of the substrate. The VCSEL 81 that is the configuration on the transmission side and the photodiode 271 that is the configuration on the reception side are electromagnetically separated by the intervention of the shield member 262. The shield member 262 may be formed by conducting conductor plating on the surface of the spacer 74.

そして、本実施形態によれば、全体の低背化、小型化を達成しやすく、高い効率で多心光ファイバ26と光結合可能であって、しかも付加価値の高い光モジュール261を提供することができる。
[第5実施形態]
According to the present embodiment, it is easy to achieve a low profile and a small size as a whole, and provide an optical module 261 that can be optically coupled to the multi-core optical fiber 26 with high efficiency and has high added value. Can do.
[Fifth Embodiment]

次に、第5実施形態の光モジュール341を図13に基づいて詳細に説明する。図13は、本実施形態の光モジュール341、ガイドピン31、フェルールホルダ27及びMTフェルール24を示す分解斜視図である(ただしカバー36は図示略)。ここでは第1実施形態と相違する部分を中心に説明し、共通する部分については同じ部材番号を付す代わりに説明を省略する。   Next, the optical module 341 of the fifth embodiment will be described in detail with reference to FIG. FIG. 13 is an exploded perspective view showing the optical module 341, the guide pin 31, the ferrule holder 27, and the MT ferrule 24 of the present embodiment (however, the cover 36 is not shown). Here, the description will focus on the parts that are different from the first embodiment, and the common parts will not be described in place of the same member numbers.

図13に示されるように、この光モジュール341では、被係止部の形状及び形成位置が第1実施形態等とは異なっている。即ち、本実施形態では、鉤部33をモジュール本体42の後端面44に係合させる都合上、被係止部である被係止窪み342が当該後端面44における2箇所に一体形成されている。そして、これらの被係止窪み342に対しては、一対の支持アーム25が有する鉤部33が係脱可能となっている。つまり、本実施形態の構成であっても、光モジュール341とMTフェルール24とを、プッシュオン締結方式で着脱可能に結合することができる。
[第6実施形態]
As shown in FIG. 13, in this optical module 341, the shape and the formation position of the locked portion are different from those of the first embodiment and the like. That is, in the present embodiment, for the convenience of engaging the flange portion 33 with the rear end surface 44 of the module main body 42, locked recesses 342 that are locked portions are integrally formed at two locations on the rear end surface 44. . And the collar part 33 which a pair of support arm 25 has can be engaged / disengaged with respect to these to-be-latched hollows 342. That is, even with the configuration of the present embodiment, the optical module 341 and the MT ferrule 24 can be detachably coupled by a push-on fastening method.
[Sixth Embodiment]

次に、第6実施形態の光モジュール441を図14に基づいて詳細に説明する。図14は、本実施形態の光モジュール441、ガイドピン31、フェルールホルダ27及びMTフェルール24を示す分解斜視図である(ただしカバー36は図示略)。ここでは第1実施形態と相違する部分を中心に説明し、共通する部分については同じ部材番号を付す代わりに説明を省略する。   Next, the optical module 441 of the sixth embodiment will be described in detail with reference to FIG. FIG. 14 is an exploded perspective view showing the optical module 441, the guide pin 31, the ferrule holder 27, and the MT ferrule 24 of this embodiment (however, the cover 36 is not shown). Here, the description will focus on the parts that are different from the first embodiment, and the common parts will not be described in place of the same member numbers.

図14に示されるように、本実施形態では、鉤部33をモジュール本体42の後端面44に係合させる構成を採っているが、モジュール本体42には特に被係止部は形成されていない。このような構成であっても、光モジュール441とMTフェルール24とを、プッシュオン締結方式で着脱可能に結合することができる。
[第7実施形態]
As shown in FIG. 14, in this embodiment, the hook 33 is engaged with the rear end surface 44 of the module main body 42, but the module main body 42 is not particularly formed with a locked portion. . Even with such a configuration, the optical module 441 and the MT ferrule 24 can be detachably coupled by a push-on fastening method.
[Seventh Embodiment]

次に、第7実施形態の光モジュール541を図15に基づいて詳細に説明する。図15は、本実施形態の光モジュール541、ガイドピン31、フェルールホルダ27及びMTフェルール24を示す分解斜視図である(ただしカバー36は図示略)。ここでは第1実施形態と相違する部分を中心に説明し、共通する部分については同じ部材番号を付す代わりに説明を省略する。   Next, the optical module 541 of the seventh embodiment will be described in detail with reference to FIG. FIG. 15 is an exploded perspective view showing the optical module 541, the guide pin 31, the ferrule holder 27, and the MT ferrule 24 of the present embodiment (however, the cover 36 is not shown). Here, the description will focus on the parts that are different from the first embodiment, and the common parts will not be described in place of the same member numbers.

図15に示されるように、この光モジュール541では、被係止部の形成位置が第1実施形態と同様にモジュール本体42の第2側端面54であるものの、被係止部の形状が第1実施形態とは異なっている。具体的にいうと、係止部25の鉤部33が係脱可能な一対の被係止窪み542が、前記第2側端面54に一体形成されている。このような構成であっても、光モジュール541とMTフェルール24とを、プッシュオン締結方式で着脱可能に結合することができる。   As shown in FIG. 15, in this optical module 541, the position where the locked portion is formed is the second side end surface 54 of the module main body 42 as in the first embodiment, but the shape of the locked portion is the first. Different from one embodiment. More specifically, a pair of locked recesses 542 to which the hook portion 33 of the locking portion 25 can be engaged and disengaged are integrally formed on the second side end surface 54. Even with such a configuration, the optical module 541 and the MT ferrule 24 can be detachably coupled by a push-on fastening method.

本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、発明の範囲を逸脱しない限度において、適宜変更して適用できることは言うまでもない。   It goes without saying that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be appropriately modified and applied without departing from the scope of the invention.

・例えば、第1〜第3実施形態において使用していたスペーサ74,245を省略してもよく、この場合にはさらに部品点数を低減することができる。   For example, the spacers 74 and 245 used in the first to third embodiments may be omitted, and in this case, the number of parts can be further reduced.

・また、第3実施形態では、セラミック基板51、マイクロレンズアレイ247及びリッド72をガイドピン31により位置合わせ固定していたが、ガイドピン31を用いずに接着等の手法により位置合わせ固定してもよい。   In the third embodiment, the ceramic substrate 51, the microlens array 247, and the lid 72 are aligned and fixed by the guide pins 31. However, the ceramic substrate 51, the microlens array 247, and the lid 72 are aligned and fixed by bonding or the like without using the guide pins 31. Also good.

・第1〜第4実施形態では、リッド72をモジュール本体42の上端面のみに設けていたが、これを複数の面に設けるようにしてもよい。   -In 1st-4th embodiment, although the lid 72 was provided only in the upper end surface of the module main body 42, you may make it provide this in several surfaces.

・第1〜第4実施形態では、充填凹部61の内壁面に特に凹凸が存在せず内径もほぼ一定であったが、深さ位置によって内径を変えること等により凹凸を設けてもよい。この構成によると、充填凹部61の内壁面と充填材63との接触面積が大きくなり、充填材63の密着性が向上する。ゆえに、熱応力集中による隙間の発生やクラックの発生を回避でき、信頼性に優れたものとなる。   -In 1st-4th embodiment, although the unevenness | corrugation did not exist especially in the inner wall face of the filling recessed part 61, and the internal diameter was substantially constant, you may provide an unevenness | corrugation by changing an internal diameter with a depth position. According to this configuration, the contact area between the inner wall surface of the filling recess 61 and the filler 63 is increased, and the adhesion of the filler 63 is improved. Therefore, the generation of gaps and cracks due to thermal stress concentration can be avoided, and the reliability is excellent.

・第1実施形態では、精密加工穴62を形成するにあたり、充填材63の充填→充填材63の半硬化(120℃)→穴加工→表面研磨→充填材63の本硬化(150℃)というプロセスを採用したが、これとは別のプロセスを採用しても勿論よい。例えば、充填材63の充填→充填材63の半硬化(120℃)→表面研磨→充填材63の本硬化(150℃)→穴加工というプロセスであってもよい。   In the first embodiment, in forming the precision processed hole 62, filling of the filler 63 → semi-curing of the filler 63 (120 ° C.) → hole processing → surface polishing → main curing of the filler 63 (150 ° C.) Although the process is adopted, it is needless to say that another process may be adopted. For example, a process of filling the filler 63 → semi-curing of the filler 63 (120 ° C.) → surface polishing → main curing of the filler 63 (150 ° C.) → hole processing may be used.

・第1実施形態等においては、フェルールホルダ27からのMTフェルールの離脱を防止するために、フェルールホルダ27にカバー36を設ける構造を採用していたが、これに代えて別の離脱防止構造を採用してもよい。例えば、フェルールホルダ27の内側に、X軸方向に沿って延びるガイド溝またはガイド突条を設ける。その一方で、MTフェルール24の外側に、前記ガイド溝または前記ガイド突条に係合し、X軸方向に沿って延びる被ガイド突条または被ガイド溝を設ける。そしてこのような構造であっても、MTフェルール24のX軸方向への摺動を許容しつつ、フェルールホルダ27からのMTフェルールの離脱を防止することができる。   In the first embodiment, etc., in order to prevent the MT ferrule from detaching from the ferrule holder 27, a structure in which the cover 36 is provided on the ferrule holder 27 is adopted. It may be adopted. For example, a guide groove or a guide protrusion extending along the X-axis direction is provided inside the ferrule holder 27. On the other hand, on the outer side of the MT ferrule 24, a guided ridge or guided groove is provided that engages with the guide groove or the guide ridge and extends along the X-axis direction. Even with such a structure, the MT ferrule 24 can be prevented from detaching from the ferrule holder 27 while allowing the MT ferrule 24 to slide in the X-axis direction.

次に、前述した実施形態によって把握される技術的思想を以下に列挙する。   Next, the technical ideas grasped by the embodiment described above are listed below.

(1)光ファイバコネクタ用フェルールに対し、前記フェルールにおける光ファイバ先端露出面と自身の先端面とを突き合わせた状態で、係止部を有する光ファイバコネクタ用フェルール支持体と光ファイバコネクタ用ガイドピンとを用いて結合可能なモジュール本体と、前記モジュール本体に設けられ、前記ガイドピンの挿入により前記プラグと前記モジュール本体とを結合したときに光軸合わせされる光素子とを備えることを特徴とする光モジュール。   (1) A ferrule support for an optical fiber connector and a guide pin for an optical fiber connector having a locking portion in a state where the exposed end surface of the optical fiber in the ferrule and the front end surface of the ferrule are abutted against the ferrule for the optical fiber connector. A module main body that can be coupled using a light guide, and an optical element that is provided in the module main body and that is optically aligned when the plug and the module main body are coupled by insertion of the guide pin. Optical module.

(2)光ファイバコネクタ用フェルールに対し、係止部を有する光ファイバコネクタ用フェルール支持体と光ファイバコネクタ用ガイドピンとを用いて、プッシュオン締結方式で結合可能であって、側端面にガイドピン穴が開口形成されたモジュール本体と、前記モジュール本体に設けられ、前記ガイドピンの挿入により前記フェルールと前記モジュール本体とを結合したときに光軸合わせされる光素子とを備え、前記ガイドピン穴に前記ガイドピンが挿入固定され、前記ガイドピンの一部が前記モジュール本体から突出していることを特徴とする、ガイドピン付き光モジュール。   (2) A ferrule for an optical fiber connector can be coupled by a push-on fastening method using a ferrule support for an optical fiber connector having an engaging portion and a guide pin for an optical fiber connector, and a guide pin is attached to a side end surface. A module main body having a hole formed therein; and an optical element that is provided in the module main body and has an optical axis aligned when the ferrule and the module main body are coupled by insertion of the guide pin. An optical module with a guide pin, wherein the guide pin is inserted and fixed to a portion of the guide pin and protrudes from the module body.

(3)光ファイバコネクタ用フェルールに対し、係止部を有する光ファイバコネクタ用フェルール支持体と光ファイバコネクタ用ガイドピンとを用いて、プッシュオン締結方式で結合可能なモジュール本体と、前記モジュール本体に設けられ、前記ガイドピンの挿入により前記フェルールと前記モジュール本体とを結合したときに光軸合わせされる発光素子と、前記モジュール本体に設けられ、前記ガイドピンの挿入により前記フェルールと前記モジュール本体とを結合したときに光軸合わせされる受光素子とを備えることを特徴とする光モジュール。   (3) A module main body that can be coupled to the optical fiber connector ferrule by a push-on fastening method using an optical fiber connector ferrule support having an engaging portion and an optical fiber connector guide pin; A light emitting element that is optically aligned when the ferrule and the module main body are coupled by insertion of the guide pin, and is provided in the module main body, and the ferrule and the module main body are provided by insertion of the guide pin. An optical module comprising: a light receiving element that is optically aligned when coupled.

(4)光ファイバコネクタ用フェルールに対し、係止部を有する光ファイバコネクタ用フェルール支持体と光ファイバコネクタ用ガイドピンとを用いて、プッシュオン締結方式で結合可能な光モジュールに使用されるセラミック基板であって、基板主面及びその基板主面に対して垂直な複数の側端面を備えるとともに、前記複数の側端面のうちのいずれかに充填凹部が開口形成され、前記充填凹部内に基板材料よりも加工性のよい材料からなる充填材が充填され、前記充填材にガイドピン穴の少なくとも一部を構成する精密加工穴が形成され、前記充填凹部を有する側端面以外の側端面に前記係止部が係脱可能な被係止部が設けられていることを特徴とする光モジュール用セラミック基板。   (4) A ceramic substrate used for an optical module that can be coupled to an optical fiber connector ferrule by a push-on fastening method using an optical fiber connector ferrule support having an engaging portion and an optical fiber connector guide pin. And a substrate main surface and a plurality of side end surfaces perpendicular to the substrate main surface, and a filling recess is formed in one of the plurality of side end surfaces, and the substrate material is formed in the filling recess. A filler made of a material having better workability is filled, a precision machining hole constituting at least a part of the guide pin hole is formed in the filler, and the engagement is provided on the side end surface other than the side end surface having the filling recess. A ceramic substrate for an optical module, characterized in that a locked portion is provided in which the locking portion can be engaged and disengaged.

本発明を具体化した第1実施形態の光モジュールをプリント配線基板上に搭載し、フェルールホルダを用いてMTフェルールを接続した状態を示す概略正面図。The schematic front view which shows the state which mounted the optical module of 1st Embodiment which actualized this invention on the printed wiring board, and connected MT ferrule using the ferrule holder. フェルールホルダを用いてMTフェルールに光モジュールを接続した状態を示す概略平面図。The schematic plan view which shows the state which connected the optical module to MT ferrule using the ferrule holder. 光モジュール、ガイドピン、フェルールホルダ及びMTフェルールを示す分解斜視図。The disassembled perspective view which shows an optical module, a guide pin, a ferrule holder, and MT ferrule. モジュール本体を構成する光モジュール用セラミック基板を示す斜視図。The perspective view which shows the ceramic substrate for optical modules which comprises a module main body. 第1実施形態の光モジュールの平面図。The top view of the optical module of 1st Embodiment. 図5のA−A線における断面図。Sectional drawing in the AA of FIG. 図5のB−B線における断面図。Sectional drawing in the BB line of FIG. 第2実施形態の光モジュールの平面図。The top view of the optical module of 2nd Embodiment. 図8のC−C線における断面図。Sectional drawing in the CC line | wire of FIG. 第3実施形態の光モジュールの平面図。The top view of the optical module of 3rd Embodiment. 図10のD−D線における断面図。Sectional drawing in the DD line | wire of FIG. 第4実施形態の光モジュールの平面図。The top view of the optical module of 4th Embodiment. 第5実施形態の光モジュール、ガイドピン、フェルールホルダ及びMTフェルールを示す分解斜視図。The disassembled perspective view which shows the optical module, guide pin, ferrule holder, and MT ferrule of 5th Embodiment. 第6実施形態の光モジュール、ガイドピン、フェルールホルダ及びMTフェルールを示す分解斜視図。The disassembled perspective view which shows the optical module, guide pin, ferrule holder, and MT ferrule of 6th Embodiment. 第7実施形態の光モジュール、ガイドピン、フェルールホルダ及びMTフェルールを示す分解斜視図。The disassembled perspective view which shows the optical module, guide pin, ferrule holder, and MT ferrule of 7th Embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

24…光ファイバコネクタ用フェルールとしてのMTフェルール
27…光ファイバコネクタ用支持体としてのフェルールホルダ
31…光ファイバコネクタ用ガイドピン
33…係止部としての鉤部
41,141,241,261,341,441,541…光モジュール
42…モジュール本体
43…(光モジュールの)先端面
51…光モジュール用セラミック基板
53…第1側端面
54…支持体接触面としての第2側端面
55…基板主面としての上端面
60…被係止部としての被係止突起
61…充填凹部
62…精密加工穴
63…充填材
72…金属体としてのリッド
75…電気接続端子としてのはんだバンプ
80…ガイドピン穴としてのモジュール本体側ガイドピン穴
81…光素子としてのVCSEL
82…光素子駆動用の半導体集積回路素子としてのドライバIC
271…光素子としてのフォトダイオード
272…光信号増幅用の半導体集積回路素子としてのレシーバIC
24 ... MT ferrule as a ferrule for optical fiber connector 27 ... Ferrule holder as a support for optical fiber connector 31 ... Guide pin for optical fiber connector 33 ... Gutter 41, 141, 241, 261, 341 as a locking part 441, 541 ... optical module 42 ... module body 43 ... tip surface (of optical module) 51 ... ceramic substrate for optical module 53 ... first side end surface 54 ... second side end surface 55 as support body contact surface 55 ... as substrate main surface Upper end surface 60: Locked protrusion 61 as a locked portion 61 ... Filling recess 62 ... Precisely processed hole 63 ... Filler 72 ... Lid as metal body 75 ... Solder bump as electrical connection terminal 80 ... As guide pin hole Module body side guide pin hole 81... VCSEL as optical element
82 ... Driver IC as a semiconductor integrated circuit element for driving an optical element
271: Photodiode as an optical element 272: Receiver IC as a semiconductor integrated circuit element for optical signal amplification

Claims (10)

光ファイバコネクタ用フェルールに対し、係止部を有する光ファイバコネクタ用フェルール支持体と光ファイバコネクタ用ガイドピンとを用いて、プッシュオン締結方式で結合可能なモジュール本体と、
前記モジュール本体に設けられ、前記ガイドピンの挿入により前記フェルールと前記モジュール本体とを結合したときに光軸合わせされる光素子と
を備えることを特徴とする光モジュール。
Using a ferrule support for an optical fiber connector having a locking portion and a guide pin for an optical fiber connector, an optical fiber connector ferrule, a module main body that can be coupled by a push-on fastening method,
An optical module comprising: an optical element provided on the module main body, the optical element being optically aligned when the ferrule and the module main body are coupled by insertion of the guide pin.
前記モジュール本体は、先端面と、前記フェルール支持体の一部が接触可能であってかつ前記先端面に垂直な位置関係にあるフェルール支持体接触面とを備え、前記先端面には、前記ガイドピンを挿入可能なガイドピン穴が開口形成され、前記フェルール支持体接触面には、前記フェルール支持体の前記係止部が係脱可能な被係止部が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の光モジュール。   The module main body includes a front end surface and a ferrule support contact surface that can be contacted with a part of the ferrule support and is perpendicular to the front end surface. A guide pin hole into which a pin can be inserted is formed as an opening, and a locking portion to which the locking portion of the ferrule support is detachable is provided on the ferrule support contact surface. The optical module according to claim 1. 前記モジュール本体は、光ファイバコネクタに使用される樹脂材料よりも高放熱性の材料を主体として構成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の光モジュール。   3. The optical module according to claim 1, wherein the module body is mainly composed of a material having a higher heat dissipation property than a resin material used for an optical fiber connector. 前記モジュール本体は、セラミック基板を主体として構成されていることを特徴とする請求項3に記載の光モジュール。   The optical module according to claim 3, wherein the module body is mainly composed of a ceramic substrate. 前記セラミック基板の基板主面に対して垂直な第1側端面には充填凹部が開口形成され、前記充填凹部内には前記セラミック基板よりも加工性のよい材料からなる充填材が充填され、前記充填材には前記ガイドピン穴の少なくとも一部を構成する精密加工穴が形成されていることを特徴とする請求項4に記載の光モジュール。   A filling recess is formed in the first side end surface perpendicular to the substrate main surface of the ceramic substrate, and the filling recess is filled with a filler made of a material having better workability than the ceramic substrate, 5. The optical module according to claim 4, wherein the filler is formed with a precision processing hole that constitutes at least a part of the guide pin hole. 前記モジュール本体には、光素子駆動用の半導体集積回路素子及び光信号増幅用の半導体集積回路素子のうちの少なくともいずれかが設けられていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の光モジュール。   6. The module main body is provided with at least one of a semiconductor integrated circuit element for driving optical elements and a semiconductor integrated circuit element for amplifying optical signals. The optical module according to item. 前記光素子は前記セラミック基板の前記側端面側に配置され、前記半導体集積回路素子は前記セラミック基板の前記基板主面側に配置されていることを特徴とする請求項6に記載の光モジュール。   The optical module according to claim 6, wherein the optical element is disposed on the side end surface side of the ceramic substrate, and the semiconductor integrated circuit element is disposed on the substrate main surface side of the ceramic substrate. 前記モジュール本体において前記先端面及び前記後端面以外の面上には、金属体が設けられていることを特徴とする請求項2乃至7のいずれか1項に記載の光モジュール。   8. The optical module according to claim 2, wherein a metal body is provided on a surface other than the front end surface and the rear end surface in the module main body. 9. 前記モジュール本体には、複数の電気接続端子が設けられていることを特徴とする請求項2乃至8のいずれか1項に記載の光モジュール。   The optical module according to claim 2, wherein the module body is provided with a plurality of electrical connection terminals. 光ファイバコネクタ用フェルールに対し、係止部を有する光ファイバコネクタ用フェルール支持体と光ファイバコネクタ用ガイドピンとを用いて、プッシュオン締結方式で結合可能な光モジュールに使用されるセラミック基板であって、前記フェルール係止部が係脱可能な被係止部が設けられていることを特徴とする光モジュール用セラミック基板。   A ceramic substrate used for an optical module that can be coupled to a ferrule for an optical fiber connector by a push-on fastening method using a ferrule support for an optical fiber connector having a locking portion and a guide pin for an optical fiber connector. A ceramic substrate for an optical module, wherein a locked portion to which the ferrule locking portion can be engaged and disengaged is provided.
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