JP2006082480A - インクジェットヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】 ＦＰＣとアクチュエータユニットとの加熱接合時にＦＰＣが下垂してアクチュエータユニットの圧力室対向領域に接触しないようにする。
【解決手段】 圧力室１０が形成された流路ユニットには、アクチュエータユニット２１が接着されている。個別電極３５は、ランド３６及び導電性接着剤層３７を介してＦＰＣ５０に形成されたコンタクト５４と電気的に接続されている。圧電シート４１上において個別電極３５の中心に対してランド３６と点対称の位置には、下スペーサ層６１が形成されている。下スペーサ層６１上には中スペーサ層６２及び上スペーサ層６３が順次形成されている。下スペーサ層６１、中スペーサ層６２及び上スペーサ層６３から構成されたスペーサ６５は、１つの個別電極３５に対して１つずつ形成されている。
【選択図】 図８

Description

本発明は、記録媒体にインクを吐出して印刷を行うインクジェットヘッドに関する。

特許文献１には、圧電シートの圧力室対向領域に個別電極がそれぞれ形成されたインクジェットヘッドが開示されている。このインクジェットヘッドにおいて、圧電シートが積層されてなるアクチュエータユニットは、ノズル及び圧電シートが多数形成された流路ユニットに接着されている。そして、アクチュエータユニットの表面に形成された各個別電極は、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）やＣＯＦ（Chip On Film）などのフレキシブルケーブルのコンタクトと電気的に接続されている。

特許文献１に記載されたインクジェットヘッドにおいては、圧電シートが圧電横効果によってユニモルフ変形する。したがって、圧電シートの変形効率を高めるために、アクチュエータユニットの圧力室対向領域には、ＦＰＣが接触しないようにする必要がある。このような観点から、特許文献１のインクジェットヘッドにおいては、ランドと称される個別電極よりも厚みの大きい導電部材が個別電極と接合されるように圧電シートの圧力室非対向領域に形成されており、個別電極とＦＰＣに形成されたコンタクトとがランドを介して電気的に接続されている。さらに、平面視において台形形状を有する圧電シートの上下辺に沿って、多数のダミー電極が形成されている。これらダミー電極は、ＦＰＣに形成されたコンタクトと接合されている。

特開２００４−１１４３４２号公報（図１７、図２２、図２６）

特許文献１に記載されたインクジェットヘッドにおいて、ランド及びダミー電極をＦＰＣに形成されたコンタクトと接合するには、接合剤として半田又は熱硬化型の導電性接着剤などが用いられるため、接合時に加熱処理を行う必要がある。しかしながら、かかる加熱処理時にＦＰＣが下垂変形し、圧電シートにおいて圧力室対向領域に接触すると、常温に戻った後もＦＰＣは圧電シートから離れないため、吐出時にアクチュエータユニットの変形が阻害されて吐出特性が悪化してしまうことになる。

本発明の主たる目的は、インク吐出に伴うアクチュエータユニットの変形がフレキシブルケーブルの接触によって阻害されることを抑制することである。

課題を解決するための手段及び発明の効果

本発明のインクジェットヘッドは、複数のノズル及びそれぞれが前記ノズルと連通した複数の圧力室を有し、前記複数の圧力室が互いに隣接するように規則的に二次元配列された流路ユニットと、それぞれが前記圧力室に対向する複数の個別電極、前記複数の個別電極に跨って形成された共通電極、及び、前記複数の個別電極と前記共通電極とによって挟まれた圧電シートを有しており、前記流路ユニットに接着されたアクチュエータユニットと、複数の配線が形成されたフレキシブルケーブルとを備えている。そして、前記アクチュエータユニットと前記フレキシブルケーブルとの間には、前記個別電極と前記配線とを電気的に接続する複数の導電体と、これら導電体が存在しない位置において前記アクチュエータユニットと前記フレキシブルケーブルとを離間させ且つ前記個別電極と前記配線との電気的接続に関与しない複数のスペーサとが介在している。さらに、前記複数の導電体によって取り囲まれた領域内に、少なくとも１個の前記スペーサが存在している。

この構成によると、フレキシブルケーブルとアクチュエータユニットとの間にスペーサがあるので、フレキシブルケーブルがアクチュエータユニットの圧力室対向領域に接触しにくくなる。そのため、インク吐出に伴うアクチュエータユニットの変形がフレキシブルケーブルによって阻害されることが少なくなる。

本発明のインクジェットヘッドにおいては、前記スペーサが、前記導電体が設けられた位置における前記アクチュエータユニットと前記フレキシブルケーブルとの離隔距離と実質的に同じ高さを有していることが好ましい。これにより、フレキシブルケーブルをアクチュエータユニットに接合する際に、フレキシブルケーブルがアクチュエータユニットの圧力室対向領域に接触するのを抑制しつつ、接合に係る押圧荷重を高くすることができる。そのため、フレキシブルケーブルの反りなどに起因したオープン不良を減少させることができる。

この場合、前記スペーサが、前記アクチュエータユニットに接合されていることが好ましい。これにより、フレキシブルケーブルとアクチュエータユニットとの接合個所が増えることによって両者間の接合強度が大きくなるので、フレキシブルケーブルの反りなどに起因したオープン不良をさらに減少させることができる。

本発明のインクジェットヘッドにおいては、前記複数の導電体を取り囲む領域内に、複数の前記スペーサが実質的に均一に分布していてよい。これにより、フレキシブルケーブルがアクチュエータユニットの圧力室対向領域にさらに接触しにくくなる。

この場合、各導電体に対して１つ以上の前記スペーサが設けられていることが好ましい。これにより、フレキシブルケーブルがアクチュエータユニットの圧力室対向領域により一層接触しにくくなる。

本発明のインクジェットヘッドにおいては、各圧力室の中心に関して、複数の前記導電体及び複数の前記スペーサが対称に配置されていることが好ましい。例えば、各圧力室の中心に関して、３つの前記導電体及び３つの前記スペーサが対称に配置されていてもよい。これにより、フレキシブルケーブルをアクチュエータユニットに接合する際に、フレキシブルケーブルがアクチュエータユニットの圧力室対向領域に接触するのを効果的に抑制することができる。

本発明のインクジェットヘッドにおいては、前記導電体及び前記スペーサが、前記アクチュエータユニットを支持する前記複数の圧力室の間にある桁部に対向していることが好ましい。これにより、インク吐出に伴うアクチュエータユニットの変形が、導電体及びスペーサによって阻害されにくくなる。さらに、フレキシブルケーブルをアクチュエータユニットに接合する際にアクチュエータユニットに加えられる加圧力が桁部によって受けられるので、アクチュエータユニットの破損を防止しつつ加圧力を大きくすることができる。

本発明のインクジェットヘッドにおいては、前記スペーサが、前記導電体が設けられた位置における前記アクチュエータユニットと前記フレキシブルケーブルとの間と同じ層構造を有していることが好ましい。これにより、スペーサの製造工程を簡略化することができる。

この場合、前記個別電極が、前記アクチュエータユニットにおいて前記フレキシブルケーブルに面した表面に形成されていることが好ましい。これにより、アクチュエータユニットにスルーホールなどを形成することなく、個別電極とフレキシブルケーブルに形成された配線とを容易に電気的に接続することができる。また、アクチュエータユニットの最外層が圧電シートとなるので、圧電横効果によるアクチュエータユニットのユニモルフ変形の変形効率が優れたものとなる。

一例として、前記スペーサが、前記個別電極と同じ導電材料からなり且つ前記個別電極と実質的に同じ厚みを有する第１スペーサ層と、前記導電体と同じ導電材料からなり且つ前記導電体と実質的に同じ厚みを有する第２スペーサ層とから構成されていてよい。これにより、個別電極と第１スペーサ層とを同一工程で形成することができると共に導電体と第２スペーサ層とを同一工程で形成することができるので、製造工程を簡略化することができる。

この場合、前記導電体及び前記第２スペーサ層が、導電性接着剤からなるものであってよい。これにより、半田を用いるよりも製造工程を簡略化することができる。

また、前記個別電極には、前記アクチュエータユニットの表面からの最大離隔距離が前記個別電極よりも大きい導電性のランドが接合されていてよい。そして、このとき、前記ランドが、前記アクチュエータユニットの表面から最も離隔した部分において前記導電体と接合されていることが好ましい。これにより、フレキシブルケーブルがアクチュエータユニットの圧力室対向領域にさらに接触しにくくなる。

一例として、前記ランドが前記個別電極上に形成されており、前記スペーサが、前記個別電極と同じ導電材料からなり且つ前記個別電極と実質的に同じ厚みを有する第１スペーサ層と、前記ランドと同じ導電材料からなり且つ前記ランドと実質的に同じ厚みを有する第２スペーサ層と、前記導電体と同じ導電材料からなり且つ前記導電体と実質的に同じ厚みを有する第３スペーサ層とから構成されていてよい。これにより、個別電極と第１スペーサ層とを同一工程で形成することができ、ランドと第２スペーサ層とを同一工程で形成することができると共に、導電体と第３スペーサ層とを同一工程で形成することができるので、製造工程を簡略化することができる。

この場合、前記導電体及び前記第３スペーサ層が、導電性接着剤からなるものであってよい。これにより、半田を用いるよりも製造工程を簡略化することができる。

本発明のインクジェットヘッドにおいては、前記スペーサが、前記アクチュエータユニットにおいて前記フレキシブルケーブルに面した表面から突出した単一部材であってよい。或いは、前記スペーサが、前記フレキシブルケーブルにおいて前記アクチュエータユニットに面した表面から突出した単一部材であってよい。これにより、スペーサの構造を簡略化することができる。

以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。

［第１の実施の形態］
まず、本発明の第１の実施の形態によるインクジェットヘッドについて説明する。図１に、本実施の形態に係るインクジェットヘッド２を含むプリンタ１を示す。図１に示すプリンタ１は、平面視において図１紙面と直交する方向に細長い矩形である４つの固定されたインクジェットヘッド２を有するラインヘッド型カラーインクジェットプリンタである。プリンタ１には、図中下方に給紙装置１１４が、図中上方に紙受け部１１６が、図中中央部に搬送ユニット１２０がそれぞれ設けられている。さらに、プリンタ１には、これらの動作を制御する制御部１００が備えられている。

給紙装置１１４は、積層された複数の矩形印刷用紙Ｐを収容可能な用紙収容部１１５と、用紙収容部１１５内において最も上にある印刷用紙Ｐを１枚ずつ搬送ユニット１２０に向けて送り出す給紙ローラ１４５とを有している。用紙収容部１１５内には、印刷用紙Ｐがその長辺と平行な方向に給紙されるように収容されている。用紙収容部１１５と搬送ユニット１２０との間には、搬送経路に沿って、二対の送りローラ１１８ａ、１１８ｂ；１１９ａ、１１９ｂが配置されている。給紙装置１１４から排出された印刷用紙Ｐは、その一方の短辺を先端として、送りローラ１１８ａ、１１８ｂによって図１中上方へ送られ、その後送りローラ１１９ａ、１１９ｂによって搬送ユニット１２０に向けて左方へと送られる。

搬送ユニット１２０は、エンドレスの搬送ベルト１１１と、搬送ベルト１１１が巻き掛けられた２つのベルトローラ１０６、１０７とを備えている。搬送ベルト１１１の長さは、２つのベルトローラ１０６、１０７間に巻き掛けられた搬送ベルト１１１に所定の張力が発生するような長さに調整されている。２つのベルトローラ１０６、１０７に巻き掛けられることによって、搬送ベルト１１１には、ベルトローラ１０６、１０７の共通接線をそれぞれ含む互いに平行な２つの平面が形成されている。これら２つの平面のうちインクジェットヘッド２と対向する方が印刷用紙Ｐの搬送面１２７となる。給紙装置１１４から送り出された印刷用紙Ｐは、その上面（印刷面）にインクジェットヘッド２によって印刷が施されつつ搬送ベルト１１１によって形成された搬送面１２７上を搬送されて、紙受け部１１６に到達する。紙受け部１１６では、印刷が施された複数の印刷用紙Ｐが重なり合うように載置される。

４つのインクジェットヘッド２は、それぞれ、その下端にヘッド本体１３を有している。ヘッド本体１３は、後述するように、ノズル８に連通した圧力室１０を含む個別インク流路３２が多数形成された流路ユニット４に、多数の圧力室１０のうち、所望の圧力室１０内のインクに圧力を与えることができる４つのアクチュエータユニット２１が貼り合わされたものである（図２及び図４参照）。そして、各アクチュエータユニット２１には、ＦＰＣ５０が貼り合わされている（図８参照）。

ヘッド本体１３は、平面視において図１紙面と直交する方向に細長い直方体形状を有している。４つのヘッド本体１３は、図１紙面における左右方向に沿って互いに近接配置されている。４つのヘッド本体１３の各底面（インク吐出面）には、微小径を有する多数のノズル８が設けられている（図３参照）。ノズル８から吐出されるインク色は、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｋ）のいずれかであって、１つのヘッド本体１３に属する多数のノズル８から吐出されるインク色は同じである。なおかつ、４つのヘッド本体１３に属する多数のインク吐出口からは、マゼンタ、イエロー、シアン、ブラックの４色から選択された互いに異なる色のインクが吐出される。

ヘッド本体１３の底面と搬送ベルト１１１の搬送面１２７との間には、僅かな隙間が形成されている。印刷用紙Ｐは、この隙間を貫通する搬送経路に沿って図１中右から左へと搬送される。４つのヘッド本体１３の下方を印刷用紙Ｐが順次通過する際、印刷用紙Ｐの上面に向けてノズル８からインクが画像データに応じて吐出されることで、印刷用紙Ｐ上に所望のカラー画像が形成される。

２つのベルトローラ１０６、１０７は、搬送ベルト１１の内周面１１１ｂと接している。搬送ユニット１２０の２つのベルトローラ１０６、１０７のうち、搬送経路の下流側に位置するベルトローラ１０６は、搬送モータ１７４と接続されている。搬送モータ１７４は、制御部１００の制御に基づいて回転駆動される。他方のベルトローラ１０７は、ベルトローラ１０６の回転に伴って搬送ベルト１１１から付与される回転力によって回転する従動ローラである。

ベルトローラ１０７の近傍にはニップローラ１３８とニップ受けローラ１３９とが、搬送ベルト１１１を挟むように配置されている。ニップローラ１３８は、搬送ユニット１２０に供給された印刷用紙Ｐを搬送面１２７に押し付けることができるように、図示しないばねによって下方に付勢されている。そしてニップローラ１３８とニップ受けローラ１３９とが、搬送ベルト１１１と共に印刷用紙Ｐを挟み込むため、印刷用紙Ｐは搬送面１２７に確実に粘着させられる。

搬送ユニット１２０の図１中左方には剥離プレート１４０が設けられている。剥離プレート１４０は、その右端が印刷用紙Ｐと搬送ベルト１１１との間に入り込むことによって、搬送ベルト１１１の搬送面１２７に粘着させられているカット紙を搬送面１２７から剥離する。

搬送ユニット１２０と紙受け部１１６との間には、二対の送りローラ１２１ａ、１２１ｂ；１２２ａ、１２２ｂが配置されている。搬送ユニット１２０から排出された印刷用紙Ｐは、その一方の短辺を先端として、送りローラ１２１ａ、１２１ｂによって図１中上方へ送られ、送りローラ１２２ａ、１２２ｂによって紙受け部１１６へ送られる。

図１に示すように、ニップローラ１３８と最も上流側にあるインクジェットヘッド２との間には、搬送経路上における印刷用紙Ｐの先端位置を検出するために、発光素子と受光素子とから構成される光学センサである紙面センサ１３３が配置されている。

次に、ヘッド本体１３の詳細について説明する。図２は、図１に示したヘッド本体１３の平面図である。図３は、図２の一点鎖線で囲まれたブロックの拡大平面図である。図２及び図３に示すように、ヘッド本体１３は、４つの圧力室群９を構成する多数の圧力室１０及び各圧力室１０に連通した多数のノズル８が形成された流路ユニット４を有している。流路ユニット４の上面には、千鳥状になって２列に配列された４つの台形のアクチュエータユニット２１が接着されている。より詳細には、各アクチュエータユニット２１は、その平行対向辺（上辺及び下辺）が流路ユニット４の長手方向に沿うように配置されている。また、隣接するアクチュエータユニット２１の斜辺同士が、流路ユニット４の幅方向にオーバーラップしている。

アクチュエータユニット２１の接着領域に対向した流路ユニット４の下面は、インク吐出領域となっている。図３に示すように、インク吐出領域の表面には、多数のノズル８が規則的に配列されている。流路ユニット４の上面には、多数の圧力室１０がマトリクス状に配列されており、流路ユニット４の上面において１つのアクチュエータユニット２１の接着領域に対向した領域内に存在する複数の圧力室１０が、１つの圧力室群９を構成している。

流路ユニット４内には、共通インク室であるマニホールド流路５及びその分岐流路である副マニホールド流路５ａが形成されている。１つのインク吐出領域には、流路ユニット４の長手方向に延在した４本の副マニホールド流路５ａが対向している。流路ユニット４の上面に設けられているマニホールド流路５の開口部５ｂは、図示しないインク流出流路と接合されている。そのため、図示しないインクタンクからインク流出流路を介してマニホールド流路５及び副マニホールド流路５ａにインクが供給されるようになっている。

各ノズル８は、平面形状がほぼ菱形の圧力室１０及びアパーチャ１２を介して副マニホールド流路５ａと連通している。流路ユニット４の長手方向に延在する互いに隣接した４つのノズル列に含まれるノズル８は、同じ副マニホールド流路５ａに連通している。なお、図２及び図３において、図面を分かりやすくするために、アクチュエータユニット２１の下方にあって破線で描くべき圧力室１０（圧力室群９）、アパーチャ１２を実線で描いている。

流路ユニット４に形成された多数のノズル８は、これらノズル８を流路ユニット４の長手方向に延びた仮想線上にこの仮想線と直交する方向から射影した射影点が、６００ｄｐｉで等間隔に並ぶような位置に形成されている。

ヘッド本体１３の断面構造について説明する。図４は、図３のIV−IV線における断面図である。図４に示すように、ヘッド本体１３は、流路ユニット４とアクチュエータユニット２１とが貼り合わされたものである。そして、流路ユニット４は、上から、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャプレート２４、サプライプレート２５、マニホールドプレート２６、２７、２８、カバープレート２９及びノズルプレート３０が積層された積層構造を有している。

キャビティプレート２２は、圧力室１０となるほぼ菱形の孔が多数形成された金属プレートである。ベースプレート２３は、各圧力室１０とこれに対応するアパーチャ１２とを連通させるための連通孔及び各圧力室１０とこれに対応するノズル８とを連通させるための連通孔が多数形成された金属プレートである。アパーチャプレート２４は、各アパーチャ１２となる孔及び各圧力室１０とこれに対応するノズル８とを連通させるための連通孔が多数形成された金属プレートである。サプライプレート２５は、各アパーチャ１２と副マニホールド流路５ａとを連通させるための連通孔及び各圧力室１０とこれに対応するノズル８とを連通させるための連通孔が多数形成された金属プレートである。マニホールドプレート２６、２７、２８は、副マニホールド流路５ａとなる孔及び各圧力室１０とこれに対応するノズル８とを連通させるための多数の連通孔が形成された金属プレートである。カバープレート２９は、各圧力室１０とこれに対応するノズル８とを連通させるための連通孔が多数形成された金属プレートである。ノズルプレート３０は、ノズル８が多数形成された金属プレートである。これら９枚の金属プレートは、個別インク流路３２が形成されるように、互いに位置合わせして積層されている。

アクチュエータユニット２１の構成について説明する。図５はアクチュエータユニット２１の部分拡大断面図である。図５に示すように、アクチュエータユニット２１は、４枚の圧電シート４１、４２、４３、４４が積層された積層構造を有している。これら圧電シート４１〜４４は、すべて厚みが１５μｍ程度である。いずれの圧電シート４１〜４４も、ヘッド本体１３内の１つのインク吐出領域内に形成された多数の圧力室１０に跨って配置されるように連続した層状の平板（連続平板層）となっている。圧電シート４１〜４４は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなるものである。

アクチュエータユニット２１の平面図である図６に描かれているように、最上層の圧電シート４１上には、そのほぼ全域にわたって多数の個別電極３５が規則的に二次元配列されている。個別電極３５及び後述する共通電極３４は共に、例えばＡｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる。そして、アクチュエータユニット２１の部分拡大平面図である図７には、個別電極３５が圧力室１０に対向するように且つ平面視において大部分が圧力室１０内に収まるように形成されている様子が描かれている。個別電極３５は、厚みが１μｍ程度であって、圧力室１０と相似であるほぼ菱形の平面形状を有している。本実施の形態では、個別電極３５がアクチュエータユニット２１の表面だけに形成されているので、アクチュエータユニット２１の最外層である圧電シート４１だけが活性領域を含むことになる。そのため、アクチュエータユニット２１におけるユニモルフ変形の変形効率が優れたものとなる。

個別電極３５の一方（アクチュエータユニット２１の長辺に近い方）の鋭角部は、キャビティプレート２２においてアクチュエータユニット２１と接着されてこれを支持している桁部（キャビティプレート２２において圧力室１０が形成されていない部分）４１ａ上にまで延出されている。そして、その延出部の先端近傍上には、厚み１５μｍ程度の円柱形状を有するランド３６が形成されている。個別電極３５とランド３６とは、電気的に接合されている。ランド３６は、例えばガラスフリットを含む金からなる。

さらに、圧電シート４１上において桁部４１ａと対向する部分には、個別電極３５と同じ厚みでランド３６と同じ径を有する円形の下スペーサ層６１が形成されている。下スペーサ層６１は、個別電極３５と同じ導電材料からなる。しかしながら、下スペーサ層６１は、ダミー電極であって、駆動信号が付与されない。下スペーサ層６１は、個別電極３５の中心に対してランド３６と点対称の位置にある。また、下スペーサ層６１上の全域には、ランド３６と同じ厚みを有する中スペーサ層（ダミーランド）６２が形成されている。中スペーサ層６２は、ランド３６と同じ導電材料からなる。

図６から明らかなように、アクチュエータユニット２１の上面の全域には、多数の個別電極３５、ランド３６、下スペーサ層６１及び中スペーサ層６２のそれぞれが実質的に均一な配置密度となるように規則的に分布している。これら個別電極３５、ランド３６、下スペーサ層６１及び中スペーサ層６２は、同数ずつ形成されている。

図７に示すように、個別電極３５がヘッド２の長手方向に関して千鳥状に配置されているので、互いに近接した３つのランド３６及び３個の中スペーサ層６２（具体的には、任意の個別電極３５に接合されたランド３６及び当該個別電極３５に対してアクチュエータユニット２１の短辺方向に隣接する中スペーサ層６２、当該個別電極３５の右上及び左上にそれぞれ隣接する各個別電極３５に接合された２つのランド３６、並びに、当該個別電極３５の右下及び左下にそれぞれ隣接する各個別電極３５に対してアクチュエータユニット２１の短辺方向に隣接する２つの中スペーサ層６２）は、平面視において正六角形の頂点にそれぞれ位置している。

任意の個別電極３５と、その右下及び左下にそれぞれ隣接する個別電極３５との合計３つの個別電極３５に接合された３つのランド３６の中心を結ぶと、正三角形が形成される。このように形成された正三角形の重心位置には、中スペーサ層６２の中心が存在している。言い換えると、中スペーサ層６２は、正三角形をなすように互いに近接した３つのランド３６によって取り囲まれた領域内にある。

最上層の圧電シート４１とその下側の圧電シート４２との間には、シート全面に形成された厚み２μｍ程度の共通電極３４が介在している。なお、圧電シート４２と圧電シート４３の間に、電極は配置されていない。

共通電極３４は、図示しない領域において接地されている。これにより、共通電極３４は、すべての圧力室１０に対向する領域において等しくグランド電位に保たれている。多数の個別電極３５は、個別に電位を制御することができるように、それぞれがＦＰＣ５０上の配線５３を介して個別に制御部１００の一部である図示しないドライバＩＣに電気的に接続されている（図８参照）。

ここで、アクチュエータユニット２１の動作について述べる。アクチュエータユニット２１においては、４枚の圧電シート４１〜４４のうち圧電シート４１だけが個別電極３５から共通電極３４に向かう方向に分極されている。ドライバＩＣから駆動信号を与えることによって、個別電極３５を正の所定電位とすると、圧電シート４１のうち個別電極３５と対向する領域（活性領域）が圧電横効果のために分極方向と直角方向に縮む。その他の圧電シート４２〜４４は、電界が印加されないので自発的には縮まない。したがって、圧電シート４１〜４４において活性領域と対向する部分には、全体として、圧力室１０側に凸となるユニモルフ変形が生じる。すると、圧力室１０の容積が低下してインクの圧力が上昇し、図４に示したノズル８からインクが吐出される。その後、個別電極３５がグランド電位に戻ると、圧電シート４１〜４４は元の形状に戻って圧力室１０も元の容積に戻る。そのため、副マニホールド流路５ａから個別インク流路３２へとインクが吸い込まれる。

他の駆動方法としては、予め個別電極３５に正電位を与えておき、吐出要求があるごとに一旦個別電極３５をグランド電位とし、その後所定のタイミングにて再び個別電極３５を正電位とする方法もある。この場合、個別電極３５がグランド電位となるタイミングで圧電シート４１〜４４が元の状態に戻ることにより、圧力室１０の容積は初期状態（予め電圧が印加された状態）と比較して増加し、副マニホールド流路５ａから個別インク流路３２へとインクが吸い込まれる。その後、再び個別電極３５に正電位が与えられたタイミングで圧電シート４１〜４４において活性領域と対向する部分が圧力室１０側に凸となるように変形し、圧力室１０の容積低下によりインクの圧力が上昇し、ノズル８からインクが吐出される。

次に、ＦＰＣ５０を含むインクジェットヘッド２の断面構造について説明する。図８に示すように、ＦＰＣ５０は、厚み２５μｍ程度のベースフィルム５１と、ベースフィルム５１の下面のほぼ全域を覆う厚み２０μｍ程度のレジストからなるカバーフィルム５２とを含んでいる。そして、ベースフィルム５１とカバーフィルム５２との間には、厚み９μｍ程度の多数の配線５３が挟まれている。カバーフィルム５２においてランド３６に対向する位置には、ランド３６よりも平面積が小さい貫通孔５２ａがそれぞれ形成されている。

ベースフィルム５１及びカバーフィルム５２は、いずれも絶縁性を有するシート部材である。ベースフィルム５１はポリイミド樹脂からなり、カバーフィルム５２は感光性材料からなる。このようにカバーフィルム５２として感光性材料を用いているので、多数の貫通孔５２ａを容易に形成することができるという利点がある。

銅からなる配線５３は、個別電極３５ごとに設けられている。各配線５３は、それぞれ別々にドライバＩＣに接続されている。各配線５３はその先端が貫通孔５２ａにまで達するように延在している。配線５３の先端には、ランド３６と同程度の平面積となるように膨らんだコンタクト５４が形成されている。コンタクト５４の中心は、貫通孔５２ａの中心とほぼ一致している。配線５３及びコンタクト５４は、下スペーサ層６１に対しては設けられていない。

ランド３６は、厚み４０μｍ程度の熱硬化性の導電性接着剤層３７を介してコンタクト５４と電気的に接合されている。これによって、配線５３、導電性接着剤５５及びランド３６を介して個別電極３５の電位を個別に制御できるようになっている。本実施の形態では、上述したように個別電極３５がアクチュエータユニット２１の表面に形成されているので、アクチュエータユニット２１にスルーホールなどを形成する必要がなく比較的容易に個別電極３５とＦＰＣ５０の配線５３との電気的接続を実現することができている。

一方、中スペーサ層６２は、熱硬化性の導電性接着剤からなる上スペーサ層６３を介してカバーフィルム５２の下面と接合されている。カバーフィルム５２の下面において上スペーサ層６３に対応する位置には、凹部５２ｂが予め形成されている。上スペーサ層６３の上端に形成された凸部６３ａは、凹部５２ｂと嵌合している。そのため、上スペーサ層６３は、安定して強固にＦＰＣ５０に接合されている。

図８に示されているように、下スペーサ層６１、中スペーサ層６２及び上スペーサ層６３の３つは、個別電極３５の電位制御に関与しておらず浮遊電位となっている。そして、これらが一体となってアクチュエータユニット２１とＦＰＣ５０との間のクリアランスを確保するスペーサ６５を構成している。上スペーサ層６３の厚みは、導電性接着剤層３７と同じく４０μｍ程度である。したがって、スペーサ６５の高さは、ランド３６及び導電性接着剤層３７が設けられた位置におけるアクチュエータユニット２１とＦＰＣ５０との離隔距離（つまり、個別電極３５の厚みとランド３６の厚みと導電性接着剤層３７の厚みとの合計）と等しくなっている。アクチュエータユニット２１とＦＰＣ５０との離隔距離が場所によらず同じであるため、ＦＰＣ５０は全域に亘って湾曲しておらずほぼ平板形状となっている。

上述したインクジェットヘッド２を製造するには、まず、流路ユニット４及びアクチュエータユニット２１をそれぞれ別々に作製する。流路ユニット４は、位置合わせしつつ積層した各プレート２２〜３０を接着剤によって接合することによって作製される。アクチュエータユニット２１を作製するには、共通電極３４が含まれるように積層された４枚のグリーンシートを焼成し、その後、その焼成体をアクチュエータユニット２１の形状に切断する。そして、圧電シート４１上に個別電極３５及び下スペーサ層６１となる導電性ペーストを同じ厚さに塗布する。さらに、ランド３６及び中スペーサ層６２となる導電性ペーストを同じ厚さに塗布する。その後、加熱処理を行うことによって、アクチュエータユニット２１が得られる。

ＦＰＣ５０をアクチュエータユニット２１に接合するには、まず、ランド３６上及び中スペーサ層６２上に熱硬化性の導電性接着剤をほぼ同量塗布する。これによって、ランド３６上及び中スペーサ層６２上には、それぞれ、導電性接着剤層３７及び上スペーサ層６３が形成される。しかる後、各貫通孔５２ａが対応するランド３６上の導電性接着剤層３７と重なり合うようにＦＰＣ５０をアクチュエータユニット２１に対して位置合わせする。そして、ＦＰＣ５０上にセラミックヒータを設置して、硬化温度以上となるように導電性接着剤層３７及び上スペーサ層６３を加熱しつつＦＰＣ５０をアクチュエータユニット２１に対して押圧する。この加熱加圧処理によって、導電性接着剤層３７及び上スペーサ層６３が硬化するため、ＦＰＣ５０がアクチュエータユニット２１に強固に接合されると共に、コンタクト５４とランド３６とを導電性接着剤層３７を介して電気的に接続させることができる。

このように、本実施の形態のインクジェットヘッド２を製造するには、個別電極３５と下スペーサ層６１とを同一工程で形成することができると共に、ランド３６と中スペーサ層６２とを同一工程で形成することができ、導電性接着剤層３７と上スペーサ層６３とを同一工程で形成することができる。したがって、製造工程が非常に簡略なものとなる。
特に、ＦＰＣ５０とアクチュエータユニット２１とを接合するのに導電性接着剤を用いているので、半田を用いるよりも製造工程を簡略化することができる。

インクジェットヘッド２には、上述したように互いに正三角形をなすように近接した３つのランド３６によって取り囲まれた領域内にスペーサ６５があるので、ＦＰＣ５０をアクチュエータユニット２１に接合する際の加熱処理やその後の反り・うねりなどの経時的変形によってＦＰＣ５０が部分的に下垂したとしても、ＦＰＣ５０がスペーサ６５によって支えられる。そのため、ＦＰＣ５０がアクチュエータユニット２１の圧力室対向領域に接触しにくい。したがって、インク吐出に伴うアクチュエータユニット２１の変形がＦＰＣ５０によって阻害されることが少なくなる。ＦＰＣ５０がアクチュエータユニット２１の圧力室対向領域に接触しにくくなる効果は、各圧力室１０の中心に関して複数のランド３６及びスペーサ６５が対称に配置されていることによって、増強されている。

さらに、スペーサ６５が、ランド３６が形成された位置におけるアクチュエータユニット２１とＦＰＣ５０との離隔距離と同じ高さを有しているので、ＦＰＣ５０のアクチュエータユニット２１の圧力室対向領域への接触を抑制しつつランド３６とコンタクト５４との接合に係る押圧荷重を大きくすることができる。その結果、ＦＰＣ５０の反りなどに起因したオープン不良を減少させることができる。

また、スペーサ６５がＦＰＣ５０に接合されることによって、これらが接合されていない場合に比べてＦＰＣ５０とアクチュエータユニット２１との接合個所が２倍となっている。その分両者間の接合強度が大きくなるので、インクジェットヘッド２においては、ＦＰＣ５０の反りなどに起因したオープン不良がほとんど発生することがない。さらに、アクチュエータユニット２１とＦＰＣ５０との密着力が大きいために、ＦＰＣ５０を接合した後におけるヘッド２のハンドリング性が向上する。しかも、個別電極３５の中心に対して点対称の位置関係にあるランド３６及び導電性接着剤層３７とスペーサ６５とが共にＦＰＣ５０に接合されているので、インクの吐出時において圧電シート４１の活性領域が周囲から受ける応力の方向依存性が減少する。このため、ノズルからのインク吐出特性のばらつきが減少する。

加えて、各個別電極３５について１つのスペーサ６５が設けられており、これら多数のスペーサ６５がアクチュエータユニット２１の上面の全域に均一に分布しているので、ＦＰＣ５０がアクチュエータユニット２１の圧力室対向領域にさらに接触しにくくなっている。

さらに、本実施の形態によるインクジェットヘッド２では、ランド３６及びスペーサ６５がキャビティプレート２２において圧力室１０間にある桁部４１ａに対向しているので、インク吐出に伴うアクチュエータユニット２１の変形がランド３６及びスペーサ６５によって阻害されにくくなっている。そして、ＦＰＣ５０をアクチュエータユニット２１に接合する際に、アクチュエータユニット２１に加えられる加圧力が桁部４１ａによって受けられるので、アクチュエータユニット２１の破損を防止しつつ加圧力を大きくすることができるという利点もある。

［第２の実施の形態］
次に、本発明の第２の実施の形態によるインクジェットヘッドについて、さらに図９を参照して説明する。本実施の形態によるインクジェットヘッドは、ランド３６及び中スペーサ層６２が形成されていない点においてのみ、上述した第１の実施の形態のヘッド２と相違している。そこで、以下の説明では、両者の相違点を中心として説明することとする。また、第１の実施の形態で説明したのと同じ部材には同じ符号を付することとしてその説明を省略する。

図９に示すように、本実施の形態のインクジェットヘッドにおいては、アクチュエータユニット７１が、ランド３６及び中スペーサ層６２を有していない。そのため、個別電極３５上に導電性接着剤層３７が形成されており、両者が電気的に接合している。同様に、下スペーサ層６１上に上スペーサ層６３が形成されており、両者が電気的に接合している。下スペーサ層６１及び上スペーサ層６３がスペーサ６６を構成している。スペーサ６６の高さは、導電性接着剤層３７が設けられた位置におけるアクチュエータユニット７１とＦＰＣ５０との離隔距離（個別電極３５の厚みと導電性接着剤層３７の厚みとの合計）と等しくなっている。

本実施の形態では、ランド３６及び中スペーサ層６２が形成されていない分だけ、アクチュエータユニット７１とＦＰＣ５０との離隔距離が第１の実施の形態によるインクジェットヘッド２よりも短くなっている。そのため、導電性接着剤層３７とコンタクト５４との接合に係る押圧荷重を大きくし過ぎると、ＦＰＣ５０がアクチュエータユニット７１の圧力室対向領域に接触することがある。しかしながら、本実施の形態においても、互いに正三角形をなすように近接した３つの導電性接着剤層３７によって取り囲まれた領域内にスペーサ６６があるので、ＦＰＣ５０をアクチュエータユニット７１に接合する際の加熱処理やその後の反り・うねりなどの経時的変形によってＦＰＣ５０が部分的に下垂したとしても、ＦＰＣ５０がスペーサ６６によって支えられる。そのため、ＦＰＣ５０がアクチュエータユニット７１の圧力室対向領域に接触しにくい。したがって、インク吐出に伴うアクチュエータユニット７１の変形がＦＰＣ５０によって阻害されることが少なくなる。その他、第１の実施の形態によるのと同様の効果が得られる。

［第３の実施の形態］
次に、本発明の第３の実施の形態によるインクジェットヘッドについて、さらに図１０を参照して説明する。本実施の形態によるインクジェットヘッドは、スペーサが単一部材からなる点においてのみ、上述した第１の実施の形態のヘッド２と相違している。そこで、以下の説明では、両者の相違点を中心として説明することとする。また、第１の実施の形態で説明したのと同じ部材には同じ符号を付することとしてその説明を省略する。

図１０に示すように、本実施の形態のインクジェットヘッドにおいて、アクチュエータユニット７２は、下スペーサ層６１及び中スペーサ層６２を有していない。圧電シート４１上において個別電極３５の中心に対してランド３６と点対称の位置には、導電性接着剤からなる単一部材であるスペーサ６７が配置されている。スペーサ６７は、圧電シート４１の上面に上向きに突出するように接着されている。スペーサ６７の高さは、導電性接着剤層３７が設けられた位置におけるアクチュエータユニット７２とＦＰＣ５０との離隔距離（個別電極３５の厚みとランド３６の厚みと導電性接着剤層３７の厚みとの合計）と等しくなっている。スペーサ６７の頂面は、ＦＰＣ５０の下面に接合されている。本実施の形態では、スペーサ６７が上記したような高さを有しているので、アクチュエータユニット７２とＦＰＣ５０との離隔距離は場所によらず第１の実施の形態によるインクジェットヘッド２の場合と同じになっている。

図１０に示すようなインクジェットヘッドの製造工程例について説明する。まず、第１の実施の形態で説明したのと同様にして、圧電シート４１上に個別電極３５及びランド３６を形成し、さらにランド３６上に導電性接着剤層３７を形成する。その後、圧電シート４１上にフォトレジストをスペーサ６７と同じ厚みに塗布し、そのフォトレジストをスペーサ６７の位置に開孔を有するようにパターニングし、その開孔に導電性接着剤を充填する。しかる後に、フォトレジストをリフトオフする。その後アクチュエータユニット７２とＦＰＣ５０とを加熱接合することによって、図１０に示すような構造を得ることができる。以上の説明から分かるように、本実施の形態のインクジェットヘッドを製造するに当たっては、個別電極３５、ランド３６及び導電性接着剤層３７の形成と同時にスペーサ６７を形成することができない。そのため、工程数の点で第１の実施の形態よりも不利となる。しかしながら、スペーサ６７が単一部材からなるため、スペーサ６７の構造が簡単で強度が強いという利点がある。その他、本実施の形態によっても、第１の実施の形態によるのと同様の効果が得られる。

［第４の実施の形態］
次に、本発明の第４の実施の形態によるインクジェットヘッドについて、さらに図１１を参照して説明する。本実施の形態によるインクジェットヘッドは、スペーサが単一部材からなる点においてのみ、上述した第１の実施の形態のヘッド２と相違している。そこで、以下の説明では、両者の相違点を中心として説明することとする。また、第１の実施の形態で説明したのと同じ部材には同じ符号を付することとしてその説明を省略する。

図１１に示すように、本実施の形態のインクジェットヘッドにおいて、アクチュエータユニット７３は、下スペーサ層６１及び中スペーサ層６２を有していない。圧電シート４１上において個別電極３５の中心に対してランド３６と点対称の位置には、何も配置されていない。その代わりとして、圧電シート４１上において個別電極３５の中心に対してランド３６と点対称の位置と対向するカバーフィルム５２の下面には、導電性接着剤からなる単一部材であるスペーサ６８が下向きに突出するように接着されている。スペーサ６８の高さは、導電性接着剤層３７が設けられた位置におけるアクチュエータユニット７３とＦＰＣ５０との離隔距離（個別電極３５の厚みとランド３６の厚みと導電性接着剤層３７の厚みとの合計）と等しくなっている。スペーサ６８の底面は、圧電シート４１の上面に接合されている。本実施の形態では、スペーサ６８が上記したような高さを有しているので、アクチュエータユニット７３とＦＰＣ５０との離隔距離は場所によらず第１の実施の形態によるインクジェットヘッド２の場合と同じになっている。

図１１に示すようなインクジェットヘッドの製造工程例について説明する。まず、第１の実施の形態で説明したのと同様にして、圧電シート４１上に個別電極３５及びランド３６を形成し、さらにランド３６上に導電性接着剤層３７を形成する。その後、カバーフィルム５２上にフォトレジストをスペーサ６８と同じ厚みに塗布し、そのフォトレジストをスペーサ６８の位置に開孔を有するようにパターニングし、その開孔に導電性接着剤を充填する。しかる後に、フォトレジストをリフトオフする。その後アクチュエータユニット７３とＦＰＣ５０とを加熱接合することによって、図１１に示すような構造を得ることができる。以上の説明から分かるように、本実施の形態のインクジェットヘッドを製造するに当たっては、個別電極３５、ランド３６及び導電性接着剤層３７の形成と同時にスペーサ６８を形成することができない。そのため、工程数の点で第１の実施の形態よりも不利となる。しかしながら、スペーサ６８が単一部材からなるため、スペーサ６８の構造が簡単で強度が強いという利点がある。その他、本実施の形態によっても、第１の実施の形態によるのと同様の効果が得られる。

以上本発明の好適な実施の形態を説明したが、本発明は上記実施の形態の構成に限定されることなく、特許請求の範囲に記載した限度において様々な変更を施すことが可能なものである。例えば、上述の実施の形態では、正三角形をなすように互いに近接した３つの導電性接着剤層３７によって取り囲まれた領域内にスペーサ６５，６６，６７，６８があるが、スペーサは、アクチュエータユニットにおいて多数の導電性接着剤層３７を取り囲む台形領域内に少なくとも１つあればよい。この場合においても、ＦＰＣなどのフレキシブルケーブルが接合時にアクチュエータユニットの圧力室対向領域に接触しにくくなる。

スペーサの材料は個別電極やランド３６などと同じである必要はない。例えばスペーサが絶縁材料を含んでいてもよい。上述した実施の形態では、１つの個別電極に１個のスペーサが設けられているが、１つの個別電極に２個以上のスペーサが設けられていてもよい。また、スペーサはＦＰＣに接合されていなくてもよい。さらに、スペーサの高さは導電性接着剤層３７が形成された位置におけるＦＰＣ５０とアクチュエータユニット２１との離隔距離より低くても高くてもよい。また、スペーサが４層以上の層構造を有していてもよい。

上述の実施の形態ではランド３６を個別電極３５上に形成しているが、ランド３６は個別電極３５との電気的接続が保たれている限り、圧電シート４１上に形成されていてもよい。この場合、ランド３６のアクチュエータユニットの表面からの最大離隔距離を個別電極３５よりも大きくすると共に、アクチュエータユニットの表面から最も離隔した部分においてランド３６と導電性接着剤層３７とを接合する必要がある。

上述した実施の形態では、スペーサ、導電性接着剤層３７及びランド３６が圧力室１０に対向しないようにしているが、圧力室に対向していてもよい。また、スペーサ６５，６６，６７，６８は、多数の導電性接着剤層３７を取り囲む台形領域内に均一分布していなくてよい。

上述した実施の形態では個別電極３５がアクチュエータユニット２１の表面に形成されているが、個別電極３５が例えば圧電シート４２と圧電シート４３との間など、アクチュエータユニット２１の表面以外の場所に形成されていてもよい。

上述した実施の形態ではアクチュエータユニットとＦＰＣとを接合するのに導電性接着剤を用いているが、半田などの接合剤で両者が接合されていてもよい。また、上述した実施の形態によるインクジェットヘッドはラインタイプであるが、本発明はシリアルタイプのインクジェットヘッドにも適用可能である。

本発明に係る第１の実施の形態であるインクジェットヘッドを含むインクジェットプリンタの概略構成図である。 図１に示すヘッド本体の平面図である。 図２に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。 図３のIV−IV線に沿った断面図である。 図２に描かれたアクチュエータユニットの拡大図である。 図２に描かれたアクチュエータユニットの平面図である。 図６の部分拡大図である。 図１に示すインクジェットヘッドにおいて、ＦＰＣとアクチュエータユニットとの接合状態を示した断面図である。 本発明の第２の実施の形態によるインクジェットヘッドにおいて、ＦＰＣとアクチュエータユニットとの接合状態を示した断面図である。 本発明の第３の実施の形態によるインクジェットヘッドにおいて、ＦＰＣとアクチュエータユニットとの接合状態を示した断面図である。 本発明の第４の実施の形態によるインクジェットヘッドにおいて、ＦＰＣとアクチュエータユニットとの接合状態を示した断面図である。

符号の説明

１ インクジェットプリンタ
２ インクジェットヘッド
４ 流路ユニット
５ マニホールド流路（共通インク室）
５ａ 副マニホールド流路
８ ノズル
１０ 圧力室
２１ アクチュエータユニット
１３ ヘッド本体
３５ 個別電極
３６ ランド
３７ 導電性接着剤層（導電体）
４１〜４４ 圧電シート
４１ａ 桁部
５０ ＦＰＣ（フレキシブルケーブル）
５３ 配線
５４ コンタクト
６１ 下スペーサ層
６２ 中スペーサ層
６３ 上スペーサ層
６５ スペーサ

Claims (17)

1. 複数のノズル及びそれぞれが前記ノズルと連通した複数の圧力室を有し、前記複数の圧力室が互いに隣接するように規則的に二次元配列された流路ユニットと、
   それぞれが前記圧力室に対向する複数の個別電極、前記複数の個別電極に跨って形成された共通電極、及び、前記複数の個別電極と前記共通電極とによって挟まれた圧電シートを有しており、前記流路ユニットに接着されたアクチュエータユニットと、
   複数の配線が形成されたフレキシブルケーブルとを備えており、
   前記アクチュエータユニットと前記フレキシブルケーブルとの間には、前記個別電極と前記配線とを電気的に接続する複数の導電体と、これら導電体が存在しない位置において前記アクチュエータユニットと前記フレキシブルケーブルとを離間させ且つ前記個別電極と前記配線との電気的接続に関与しない複数のスペーサとが介在しており、
   前記複数の導電体によって取り囲まれた領域内に、少なくとも１個の前記スペーサが存在していることを特徴とするインクジェットヘッド。
2. 前記スペーサが、前記導電体が設けられた位置における前記アクチュエータユニットと前記フレキシブルケーブルとの離隔距離と実質的に同じ高さを有していることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
3. 前記スペーサが、前記アクチュエータユニットに接合されていることを特徴とする請求項２に記載のインクジェットヘッド。
4. 前記複数の導電体を取り囲む領域内に、複数の前記スペーサが実質的に均一に分布していることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
5. 各導電体に対して１つ以上の前記スペーサが設けられていることを特徴とする請求項４に記載のインクジェットヘッド。
6. 各圧力室の中心に関して、複数の前記導電体及び複数の前記スペーサが対称に配置されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
7. 各圧力室の中心に関して、３つの前記導電体及び３つの前記スペーサが対称に配置されていることを特徴とする請求項６に記載のインクジェットヘッド。
8. 前記導電体及び前記スペーサが、前記アクチュエータユニットを支持する前記複数の圧力室の間にある桁部に対向していることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
9. 前記スペーサが、前記導電体が設けられた位置における前記アクチュエータユニットと前記フレキシブルケーブルとの間と同じ層構造を有していることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
10. 前記個別電極が、前記アクチュエータユニットにおいて前記フレキシブルケーブルに面した表面に形成されていることを特徴とする請求項９に記載のインクジェットヘッド。
11. 前記スペーサが、
    前記個別電極と同じ導電材料からなり且つ前記個別電極と実質的に同じ厚みを有する第１スペーサ層と、
    前記導電体と同じ導電材料からなり且つ前記導電体と実質的に同じ厚みを有する第２スペーサ層とから構成されていることを特徴とする請求項１０に記載のインクジェットヘッド。
12. 前記導電体及び前記第２スペーサ層が、導電性接着剤からなることを特徴とする請求項１１に記載のインクジェットヘッド。
13. 前記個別電極には、前記アクチュエータユニットの表面からの最大離隔距離が前記個別電極よりも大きい導電性のランドが接合されており、
    前記ランドが、前記アクチュエータユニットの表面から最も離隔した部分において前記導電体と接合されていることを特徴とする請求項１０に記載のインクジェットヘッド。
14. 前記ランドが前記個別電極上に形成されており、
    前記スペーサが、
    前記個別電極と同じ導電材料からなり且つ前記個別電極と実質的に同じ厚みを有する第１スペーサ層と、
    前記ランドと同じ導電材料からなり且つ前記ランドと実質的に同じ厚みを有する第２スペーサ層と、
    前記導電体と同じ導電材料からなり且つ前記導電体と実質的に同じ厚みを有する第３スペーサ層とから構成されていることを特徴とする請求項１３に記載のインクジェットヘッド。
15. 前記導電体及び前記第３スペーサ層が、導電性接着剤からなることを特徴とする請求項１４に記載のインクジェットヘッド。
16. 前記スペーサが、前記アクチュエータユニットにおいて前記フレキシブルケーブルに面した表面から突出した単一部材であることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
17. 前記スペーサが、前記フレキシブルケーブルにおいて前記アクチュエータユニットに面した表面から突出した単一部材であることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。

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