JP2006060565A - Ｓａｗフィルタ、及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 生産性が良く、安価なＳＡＷフィルタ、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明のＳＡＷフィルタにおいて、圧電基板６の一面には、複数の表面弾性波素子９の外周部に設けられた導電体からなるパターン部１０と、表面弾性波素子９とパターン部１０との間に設けられた導電体除去部１１を有し、導電体除去部１１によって表面弾性波素子９の外形が形成されると共に、導電体除去部１１によって表面弾性波素子９がパターン部１０と非導通状態となしたため、製造時において焦電破壊防止用として作用するパターン部１０が残存した状態となり、このパターン部１０の除去作業が不要となって、従来に比して、生産性が良く、安価なものが得られる。
【選択図】 図２

Description

本発明は通信装置等に使用して好適なＳＡＷフィルタ、及びその製造方法に関する。

従来のＳＡＷフィルタに用いられる表面弾性波素子、及びその製造方法に係る図面を説明すると、図１０は従来の表面弾性波素子に係り、圧電基板上に表面弾性波素子を形成した状態を示す平面図、図１１は従来の表面弾性波素子の製造方法に係る第１工程を示す説明図、図１２は従来の表面弾性波素子の製造方法に係る第２工程を示す説明図である。

次に、従来の表面弾性波素子の構成を図１０に基づいて説明すると、圧電基板５１の一面側には、導電体からなる１個の表面弾性波素子５２と、この表面弾性波素子５２の両側に配置された導電体からなる一対の反射器５３が設けられている。

そして、表面弾性波素子５２は、一対の対向する櫛歯電極５２ａ、５２ｂと、この櫛歯電極５２ａ、５２ｂに接続された接続電極５２ｃ、５２ｄが設けられると共に、圧電基板５１の一面側には、表面弾性波素子５２と反射器５３を除く大部分の箇所に設けられた導電体除去部５４ａと、一対の櫛歯電極５２ａ、５２ｂ間の導電体を除去した電極間除去部５４ｂが設けられている。（例えば、特許文献１参照）

そして、従来のＳＡＷフィルタは、表面弾性波素子５２と反射器５３を除く圧電基板５１の大部分の箇所に導電体除去部５４ａが設けられているため、この導電体除去部５４ａを設ける作業が面倒で、生産性が悪く、コスト高になる。

次に、従来のＳＡＷフィルタの製造方法を図１０〜図１２に基づいて説明すると、先ず、圧電基板５１の一面全体に導電体パターン５４を設けた圧電基板５１を用意し、次に、図１１に示すように、フォトリソグラフ技術による加工によって、電極間除去部５４ｂを設けて成る一対の櫛歯電極５２ａ、５２ｂと、一対の反射器５３を形成する。

この時、一対の櫛歯電極５２ａ、５２ｂと一対の反射器５３は、焦電破壊防止用の導電体パターン５４に繋がって、導電体パターン５４と同じ電位になっているため、フォトリソグラフ技術による加工時に焦電破壊が生じない。

次に、図１２に示すように、一対の櫛歯電極５２ａ、５２ｂに接続される接続電極５２ｃ、５２ｄが導電体パターン５４上に形成されるが、この時も、導電体パターン５４と同じ電位になっているため、フォトリソグラフ技術による加工時に焦電破壊が生じない。

しかる後、図１０に示すように、フォトリソグラフ技術による加工によって、表面弾性波素子５２と反射器５３を除く箇所の導電体パターン５４には、導電体除去部５４ａが設けられて、その製造が完了する。（例えば、特許文献１参照）

しかし、従来のＳＡＷフィルタの製造方法は、表面弾性波素子５２と反射器５３を除く圧電基板５１の大部分の箇所に、導電体パターン５４を除去した導電体除去部５４ａが設けられているため、この導電体除去部５４ａを設ける作業が面倒で、生産性が悪く、コスト高になる。

特開２００２−３７４１３７号公報

従来のＳＡＷフィルタ、及びその製造方法は、表面弾性波素子５２と反射器５３を除く圧電基板５１の大部分の箇所に、導電体パターン５４を除去した導電体除去部５４ａが設けられているため、この導電体除去部５４ａを設ける作業が面倒で、生産性が悪く、コスト高になるという問題がある。

そこで、本発明は生産性が良く、安価なＳＡＷフィルタ、及びその製造方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するための第１の解決手段として、圧電基板と、この圧電基板の一面上に設けられた導電体によって形成された対向した一対の櫛歯電極、及びこの櫛歯電極のそれぞれに接続された導電体からなる接続電極とからなる複数の表面弾性波素子とを備え、前記圧電基板の前記一面には、複数の前記表面弾性波素子の外周部に設けられた導電体からなるパターン部と、前記表面弾性波素子と前記パターン部との間に設けられた導電体除去部を有し、前記導電体除去部によって前記表面弾性波素子の外形が形成されると共に、前記導電体除去部によって前記表面弾性波素子が前記パターン部と非導通状態となした構成とした。

また、第２の解決手段として、前記導電体除去部が細幅の導体溝部によって形成され、前記圧電基板の前記一面には、前記表面弾性波素子と前記導電体除去部を除くほぼ全面に前記パターン部が形成された構成とした。

また、第３の解決手段として、前記導電体除去部は、前記表面弾性波素子の外形を形成するための外形除去部と、一つの前記表面弾性波素子の両端部の位置で、前記櫛歯電極と前記接続電極の境目を含む近傍から前記外形除去部に繋がって前記圧電基板の側縁方向に延びる側方向除去部を有し、この側方向除去部によって、前記表面弾性波素子の両側に位置する前記パターン部が二つに切り離された構成とした。

また、第４の解決手段として、複数の前記表面弾性波素子が直列に接続されると共に、この直列に接続された前記表面弾性波素子に対して、別の複数の前記表面弾性波素子が並列に接続されてなる梯子型フィルタを有し、直列に接続された前記表面弾性波素子の少なくとも一つの両端部の位置には、前記側方向除去部が設けられた構成とした。

また、第５の解決手段として、二つの前記表面弾性波素子が隣接した状態で向かい合って並設して形成されると共に、前記二つの表面弾性波素子の一方の前記櫛歯電極は、前記接続電極によって接続され、前記導電体除去部は、前記表面弾性波素子の外形を形成するための外形除去部と、前記二つの表面弾性波素子の両端部の位置で、互いに接続されていない他方の前記櫛歯電極とこの櫛歯電極に接続された前記接続電極の境目を含む近傍から前記外形除去部に繋がって前記圧電基板の側縁方向に延びる４個の側方向除去部を有し、この側方向除去部によって、前記表面弾性波素子の両側に位置する前記パターン部が三つに切り離された構成とした。

また、第６の解決手段として、二つの前記表面弾性波素子が隣接した状態で向かい合って並設して形成されると共に、前記二つの表面弾性波素子の一方の前記櫛歯電極は、前記接続電極によって接続され、前記導電体除去部は、前記表面弾性波素子の外形を形成するための外形除去部と、前記二つの表面弾性波素子間の両端部の位置で、前記櫛歯電極と前記接続電極の境目を含む近傍から前記外形除去部に繋がって前記圧電基板の側縁方向に延びる側方向除去部を有し、この側方向除去部によって、前記表面弾性波素子の両側に位置する前記パターン部が二つに切り離された構成とした。

また、第７の解決手段として、前記二つの表面弾性波素子の双方、或いは何れか一方、或いは片方ずつの前記表面弾性波素子の端部には、互いに接続されていない他方の前記櫛歯電極とこの櫛歯電極に接続された前記接続電極の境目を含む近傍から前記外形除去部に繋がって前記圧電基板の側縁方向に延びる側方向除去部が設けられ、前記側方向除去部によって、前記表面弾性波素子の両側に位置する前記パターン部が三つ、或いは四つに切り離された構成とした。

また、第８の解決手段として、前記側方向除去部は、前記外形除去部に繋がって前記圧電基板の側縁に到らない状態に形成された延出除去部と、この延出除去部の端部と前記側縁との間に位置する前記パターン部が前記延出除去部の幅より小さい幅で除去された端縁除去部とで形成された構成とした。

また、第９の解決手段として、前記外形除去部は、前記表面弾性波素子の外形のほぼ全体に形成された主除去部と、間隔を置いて配置された前記主除去部間に位置し、前記パターン部と前記接続電極、又は前記パターン部と前記櫛歯電極を接続する連結部が前記主除去部の幅より小さい幅で除去された第１の連結除去部と、前記主除去部の端部と前記圧電基板の側縁との間に位置し、前記パターン部と前記接続電極を接続する連結部が前記主除去部の幅より小さい幅で除去された第２の連結除去部とで形成された構成とした。
また、第１０の解決手段として、それぞれの前記表面弾性波素子の両側に配置された前記パターン部には、反射器が設けられた構成とした。

また、第１１の解決手段として、請求項１記載のＳＡＷフィルタと、前記表面弾性波素子と前記パターン部を形成するための導電体パターンを有した前記圧電基板とを備え、前記表面弾性波素子の外形のほぼ全体を形成するために、前記表面弾性波素子と前記パターン部間に形成される前記導電体パターンの除去部である主除去部が前記導電体パターンの一部で構成される連結部によって前記表面弾性波素子と前記パターン部を連結した状態で形成され、しかる後、前記連結部を除去した連結除去部が設られることによって、前記主除去部と前記連結除去部とで前記導電体除去部が形成されて、前記導電体除去部によって前記表面弾性波素子が前記パターン部と非導通状態となした製造方法とした。

また、第１２の解決手段として、前記連結除去部は、前記主除去部の幅よりも小さい幅で形成された製造方法とした。
また、第１３の解決手段として、前記導電体除去部は、一つの前記表面弾性波素子の両端部の位置で、前記櫛歯電極と前記接続電極の境目を含む近傍から前記主除去部に繋がって前記圧電基板の側縁に到らない状態に形成された延出除去部と、前記延出除去部の端部と前記側縁との間に位置する前記パターン部が除去された端縁除去部を有し、前記延出除去部が前記主除去部と同一工程で形成されると共に、前記端縁除去部が前記連結除去部と同一工程で形成されて、前記表面弾性波素子の両側に位置する前記パターン部が二つに切り離された製造方法とした。

また、第１４の解決手段として、複数個の前記圧電基板を形成するための大判圧電基板と、この大判圧電基板上に、前記圧電基板に対応して設けられた前記表面弾性波素子と前記パターン部を形成するための複数の前記導電体パターンを有し、隣り合う前記導電体パターンが接続導体によって接続された製造方法とした。
また、第１５の解決手段として、前記大判圧電基板に形成された複数の前記導電体パターンには、同一工程によって、前記表面弾性波素子と前記パターン部が形成された製造方法とした。

本発明のＳＡＷフィルタは、圧電基板と、この圧電基板の一面上に設けられた導電体によって形成された対向した一対の櫛歯電極、及びこの櫛歯電極のそれぞれに接続された導電体からなる接続電極とからなる複数の表面弾性波素子とを備え、圧電基板の前記一面には、複数の表面弾性波素子の外周部に設けられた導電体からなるパターン部と、表面弾性波素子とパターン部との間に設けられた導電体除去部を有し、導電体除去部によって表面弾性波素子の外形が形成されると共に、導電体除去部によって表面弾性波素子がパターン部と非導通状態となしたため、製造時において焦電破壊防止用として作用するパターン部が残存した状態となり、このパターン部の除去作業が不要となって、従来に比して、生産性が良く、安価なものが得られる。

また、導電体除去部が細幅の導体溝部によって形成され、圧電基板の一面には、表面弾性波素子と導電体除去部を除くほぼ全面にパターン部が形成されたため、導電体除去部の面積が小さく、導電体除去部の形成作業が容易で、その作業を早めることができて、生産性の良好なものが得られる。

また、導電体除去部は、表面弾性波素子の外形を形成するための外形除去部と、一つの表面弾性波素子の両端部の位置で、櫛歯電極と接続電極の境目を含む近傍から外形除去部に繋がって圧電基板の側縁方向に延びる側方向除去部を有し、この側方向除去部によって、表面弾性波素子の両側に位置するパターン部が二つに切り離されたため、パターン部に漏れた信号は、側方向除去部によって減衰されて、アイソレーションの高いものが得られる。

また、複数の表面弾性波素子が直列に接続されると共に、この直列に接続された表面弾性波素子に対して、別の複数の表面弾性波素子が並列に接続されてなる梯子型フィルタを有し、直列に接続された表面弾性波素子の少なくとも一つの両端部の位置には、側方向除去部が設けられたため、パターン部に漏れた信号は、側方向除去部によって減衰されて、アイソレーションの高いものが得られる。

また、二つの表面弾性波素子が隣接した状態で向かい合って並設して形成されると共に、二つの表面弾性波素子の一方の櫛歯電極は、接続電極によって接続され、導電体除去部は、表面弾性波素子の外形を形成するための外形除去部と、二つの表面弾性波素子の両端部の位置で、互いに接続されていない他方の櫛歯電極とこの櫛歯電極に接続された接続電極の境目を含む近傍から前記外形除去部に繋がって圧電基板の側縁方向に延びる４個の側方向除去部を有し、この側方向除去部によって、表面弾性波素子の両側に位置するパターン部が三つに切り離されたため、それぞれ表面弾性波素子の片側では、パターン部に漏れた信号が二つの側方向除去部によって減衰されて、アイソレーションのより高いものが得られる。

また、二つの表面弾性波素子が隣接した状態で向かい合って並設して形成されると共に、二つの表面弾性波素子の一方の櫛歯電極は、接続電極によって接続され、導電体除去部は、表面弾性波素子の外形を形成するための外形除去部と、二つの表面弾性波素子間の両端部の位置で、櫛歯電極と接続電極の境目を含む近傍から外形除去部に繋がって圧電基板の側縁方向に延びる側方向除去部を有し、この側方向除去部によって、表面弾性波素子の両側に位置するパターン部が二つに切り離されたため、側方向除去部の形成が容易であると共に、パターン部に漏れた信号が側方向除去部によって減衰されて、アイソレーションの高いものが得られる。

また、二つの表面弾性波素子の双方、或いは何れか一方、或いは片方ずつの表面弾性波素子の端部には、互いに接続されていない他方の櫛歯電極とこの櫛歯電極に接続された接続電極の境目を含む近傍から外形除去部に繋がって圧電基板の側縁方向に延びる側方向除去部が設けられ、側方向除去部によって、表面弾性波素子の両側に位置するパターン部が三つ、或いは四つに切り離されたため、それぞれ表面弾性波素子の片側では、パターン部に漏れた信号が二つ、或いは三つの側方向除去部によって減衰されて、アイソレーションのより高いものが得られる。

また、側方向除去部は、外形除去部に繋がって圧電基板の側縁に到らない状態に形成された延出除去部と、この延出除去部の端部と側縁との間に位置するパターン部が延出除去部の幅より小さい幅で除去された端縁除去部とで形成されたため、端縁除去部の形成が容易で、その作業を早めることができて、生産性の良好なものが得られる。

また、外形除去部は、表面弾性波素子の外形のほぼ全体に形成された主除去部と、間隔を置いて配置された主除去部間に位置し、パターン部と接続電極、又はパターン部と櫛歯電極を接続する連結部が主除去部の幅より小さい幅で除去された第１の連結除去部と、主除去部の端部と圧電基板の側縁との間に位置し、パターン部と接続電極を接続する連結部が主除去部の幅より小さい幅で除去された第２の連結除去部とで形成されたため、第１，第２の連結除去部の形成が容易で、その作業を早めることができて、生産性の良好なものが得られる。

また、それぞれの表面弾性波素子の両側に配置されたパターン部には、反射器が設けられたため、パターン部の一部を反射器として利用できると共に、製造時において焦電破壊防止用として作用するパターン部と反射器が繋がっているため、焦電破壊の生じないものが得られる。

また、本発明のＳＡＷフィルタの製造方法は、ＳＡＷフィルタと、表面弾性波素子とパターン部を形成するための導電体パターンを有した圧電基板とを備え、表面弾性波素子の外形のほぼ全体を形成するために、表面弾性波素子とパターン部間に形成される導電体パターンの除去部である主除去部が導電体パターンの一部で構成される連結部によって表面弾性波素子とパターン部を連結した状態で形成され、しかる後、連結部を除去した連結除去部が設られることによって、主除去部と連結除去部とで導電体除去部が形成されて、導電体除去部によって表面弾性波素子がパターン部と非導通状態となした製造方法とした。
即ち、主除去部の形成時、表面弾性波素子とパターン部が連結部によって連結された状態で行われるため、焦電破壊が生ぜず、また、主除去部の形成後、パターン部を残存させたため、従来に比して、生産性が良く、安価なものが得られ、更に、連結除去部の形成が容易で、その作業を早めることができて、生産性の良好なものが得られる。

また、連結除去部は、主除去部の幅よりも小さい幅で形成されたため、連結除去部の面積が小さく、その作業を早めることができて、生産性の良好なものが得られる。

また、導電体除去部は、一つの表面弾性波素子の両端部の位置で、櫛歯電極と接続電極の境目を含む近傍から主除去部に繋がって圧電基板の側縁に到らない状態に形成された延出除去部と、延出除去部の端部と側縁との間に位置するパターン部が除去された端縁除去部を有し、延出除去部が主除去部と同一工程で形成されると共に、端縁除去部が連結除去部と同一工程で形成されて、表面弾性波素子の両側に位置するパターン部が二つに切り離されたため、その製造が容易となって、生産性の良好なものが得られる。

また、複数個の圧電基板を形成するための大判圧電基板と、この大判圧電基板上に、圧電基板に対応して設けられた表面弾性波素子とパターン部を形成するための複数の導電体パターンを有し、隣り合う導電体パターンが接続導体によって接続されたため、多数個取りができて、生産性が良好であると共に、隣り合う導電体パターンが接続導体によって接続されているため、焦電破壊防止の確実なものが得られる。

また、大判圧電基板に形成された複数の導電体パターンには、同一工程によって、表面弾性波素子とパターン部が形成されたため、生産性が良好であると共に、焦電破壊防止の確実なものが得られる。

本発明のＳＡＷフィルタ、及びその製造方法の図面を説明すると、図１は本発明のＳＡＷフィルタの第１実施例に係り、その概要を示す要部断面図、図２は本発明のＳＡＷフィルタの第１実施例に係り、圧電基板上に複数の表面弾性波素子を形成した状態を示す拡大平面図、図３は本発明のＳＡＷフィルタに係る第１の回路図、図４は本発明のＳＡＷフィルタに係る第２の回路図、図５は本発明のＳＡＷフィルタに係る第３の回路図である。

また、図６は本発明のＳＡＷフィルタの第１実施例に係り、その製造方法の第１工程を示す説明図、図７は本発明のＳＡＷフィルタの第１実施例に係り、その製造方法の第２工程を示す説明図、図８は本発明のＳＡＷフィルタの第２実施例に係り、圧電基板上に複数の表面弾性波素子を形成した状態を示す要部の拡大平面図、図９は本発明のＳＡＷフィルタの第３実施例に係り、圧電基板上に複数の表面弾性波素子を形成した状態を示す要部の拡大平面図である。

次に、本発明のＳＡＷフィルタの第１実施例の構成を図１、図２に基づいて説明すると、積層基板１は、アルミナ基板等からなる複数枚の絶縁基板２が積層されて形成され、上部に開放部１ａを有すると共に、段差部１ｂを設けた凹部からなる収容部１ｃを有している。

この収容部１ｃ内の段差部１ｂには、複数のランド部３が設けられると共に、積層基板１の下面には、複数の端子４が設けられ、これ等の端子４とランド部３間は、積層基板１内に設けられた複数の接続導体５によって接続されている。

四角形の板状の圧電基板６の一面には、導電体からなり、互いに対向して配設された一対の櫛歯電極７ａ、７ｂ、及びこの櫛歯電極７ａ、７ｂのそれぞれに接続された接続電極８ａ、８ｂを有した複数の表面弾性波素子９と、この表面弾性波素子９の外周部に設けられた導電体からなるパターン部１０と、表面弾性波素子９とパターン部１０との間に設けられた細幅の導体溝部からなる導電体除去部１１を有し、導電体除去部１１によって表面弾性波素子９の外形が形成されると共に、導電体除去部１１によって表面弾性波素子９がパターン部１０と非導通状態となしている。

そして、圧電基板６は、表面弾性波素子９を上方にして、積層基板１の収容部１ｃ内に収容され、圧電基板６の下部が収容部１ｃ内で熱硬化性の接着剤２１によって積層基板１に接着されると共に、表面弾性波素子９の接続電極８ａ、或いは８ｂがランド部３にワイヤー２２ボンディングによって接続されている。

また、収容部１ｃ内は、不活性ガスが密封された状態で、蓋体２３が開放部１ａを塞ぐように積層基板１の上端部に取り付けられることによって、図１に示すような本発明のＳＡＷフィルタが形成されている。

次に、圧電基板６上に形成された表面弾性波素子９の詳細な構成を図２に基づいて説明すると、この実施例における表面弾性波素子９は、圧電基板６の中央部を縦方向に横切るように、６個の共振器を形成するための第１〜第６の表面弾性波素子９ａ〜９ｆが設けられて、梯子型（ラダー型）のＳＡＷフィルタＦが形成されている。

即ち、第１の表面弾性波素子９ａの接続電極８ｂと第２の表面弾性波素子９ｂの接続電極８ａ同士が接続されて、第１、第２の表面弾性波素子９ａ、９ｂが直列接続となり、また、第２、第３の表面弾性波素子９ｂ、９ｃは、互いに隣接した状態で向かい合って並設されると共に、第２の表面弾性波素子９ｂの接続電極８ｂと第３の表面弾性波素子９ｃの接続電極８ａ同士が接続されて、第２、第３の表面弾性波素子９ｂ、９ｃが直列接続となり、更に、第３の表面弾性波素子９ｃの接続電極８ｂと第４の表面弾性波素子９ｄの接続電極８ａ同士が接続されて、第３、第４の表面弾性波素子９ｃ、９ｄが直列接続となっている。

また、第５の表面弾性波素子９ｅは、第１，第２の表面弾性波素子９ａ、９ｂに近い位置に配置され、並列状態に接続される第５の表面弾性波素子９ｅの接続電極８ｂは、第１の表面弾性波素子９ａの接続電極８ｂと第２の表面弾性波素子９ｂの接続電極８ａとに接続され、更に、第６の表面弾性波素子９ｆは、第３，第４の表面弾性波素子９ｃ、９ｄに近い位置に配置され、並列状態に接続される第６の表面弾性波素子９ｆの接続電極８ａは、第３の表面弾性波素子９ｃの接続電極８ｂと第４の表面弾性波素子９ｄの接続電極８ａとに接続されている。

そして、ここでは図示しないが、第１の表面弾性波素子９ａの接続電極８ａは、一つのランド部３にワイヤー２２を介して接続され、また、第４の表面弾性波素子９ｄの接続電極８ｂは、一つのランド部３にワイヤー２２を介して接続され、更に、第５の表面弾性波素子９ｅの接続電極８ａと第６の表面弾性波素子９ｆの接続電極８ｂとがワイヤー２２で接続された状態で、第５の表面弾性波素子９ｅの接続電極８ａが一つのランド部３にワイヤー２２を介して接続されると共に、第６の表面弾性波素子９ｆの接続電極８ｂが一つのランド部３にワイヤー２２を介して接続される。

その結果、図３の梯子型ＳＡＷフィルタＦの第１の回路図に示すように、第１〜第６の表面弾性波素子９ａ〜９ｆで形成される第１〜第６の共振器Ｋ１〜Ｋ６は、第１〜第４の共振器Ｋ１〜Ｋ４が直列接続され、また、第１，第２の共振器Ｋ１，Ｋ２間には、第５の共振器Ｋ５が並列接続されると共に、第３，第４の共振器Ｋ３，Ｋ４間には、第６の共振器Ｋ６が並列接続されて、第１，第５の共振器Ｋ１，Ｋ５に接続された端子４間が入力端子になると共に、第４，第６の共振器Ｋ４，Ｋ６に接続された端子４間が出力端子となる。

更に、パターン部１０、及び導電体除去部１１の詳細な構成を図２に基づいて説明すると、導電体除去部１１は、一対の櫛歯電極８ａ、８ｂ間に設けられた電極間除去部１２と、この電極間除去部１２に繋がり、表面弾性波素子９の外形を形成するための外形除去部１３を有し、この外形除去部１３は、表面弾性波素子９の外形のほぼ全体に形成された主除去部１３ａと、間隔を置いて配置された主除去部１３ａ間に位置し、パターン部１０と接続電極８ａ、８ａ、又はパターン部１０と櫛歯電極７ａ、７ｂを接続する連結部２８（後述する）が主除去部１３ａの幅より小さい幅で除去された第１の連結除去部１３ｂと、主除去部１３ａの端部と圧電基板６の側縁６ａとの間に位置し、パターン部１０と接続電極８ａ、８ｂを接続する連結部２９（後述する）が主除去部１３ａの幅より小さい幅で除去された第２の連結除去部１３ｃとで形成されている。

また、導電体除去部１１は、表面弾性波素子９の両端部の位置で、櫛歯電極７ａ、７ｂと接続電極８ａ、８ｂの境目を含む近傍から外形除去部１３に繋がって圧電基板６の側縁６ａ方向に延びる側方向除去部１４を有し、この側方向除去部１４によって、表面弾性波素子９の両側に位置するパターン部１０のそれぞれが複数個に切り離された状態となっている。

そして、この実施例では、隣接した状態で向かい合って並設された二つの第２，第３の表面弾性波素子９ｂ、９ｃにおいて、第２の表面弾性波素子９ｂの一端部で、櫛歯電極７ａと接続電極８ａの境目を含む近傍から圧電基板６の側縁６ａ方向に延びる１個の側方向除去部１４と、第３の表面弾性波素子９ｃの他端部で、櫛歯電極７ｂと接続電極８ｂの境目を含む近傍から圧電基板６の側縁６ａ方向に延びる１個の側方向除去部１４と、第２，第３の表面弾性波素子６ｂ、６ｃ間の両端部の位置で、第２の表面弾性波素子９ｂの櫛歯電極７ｂと接続電極８ｂの境目を含む近傍、及び第３の表面弾性波素子９ｃの櫛歯電極７ａと接続電極８ａの境目を含む近傍から圧電基板６の側縁６ａ方向に延びる２個の側方向除去部１４を有して、表面弾性波素子９の両側に位置するそれぞれのパターン部１０が三つに切り離された状態となっている。

また、側方向除去部１４は、外形除去部１３に繋がって圧電基板６の側縁６ａに到らない状態に形成された延出除去部１４ａと、この延出除去部１４ａの端部と側縁６ａとの間に位置するパターン部１０の接続部３０（後述する）が延出除去部１４ａの幅より小さい幅で除去された端縁除去部１４ｂとで形成されている。

更に、それぞれの表面弾性波素子９の両側に配置されたパターン部１０には、反射器１５が設けられ、この反射器１５によって信号の漏れが防止され、このような構成によって本発明のＳＡＷフィルタが形成されている。

また、図４は本発明のＳＡＷフィルタに係る第２の回路図を示し、この第２の回路図で示す梯子型ＳＡＷフィルタＦは、表面弾性波素子９からなる第１〜第４の共振器Ｋ１〜Ｋ４で構成され、直列に接続された第１，第２の共振器Ｋ１，Ｋ２に対して、第３，第４の共振器Ｋ３，Ｋ４が並列に接続されたものであり、このようなＳＡＷフィルタにおいても、本発明のＳＡＷフィルタが適用できることは勿論である。

また、図５は本発明のＳＡＷフィルタに係る第３の回路図を示し、この第３の回路図で示す梯子型ＳＡＷフィルタＦは、表面弾性波素子９からなる第１〜第７の共振器Ｋ１〜Ｋ７で構成され、直列に接続された第１〜第４の共振器Ｋ１〜Ｋ４に対して、第５〜第７の共振器Ｋ５〜Ｋ７が並列に接続されたものであり、このようなＳＡＷフィルタにおいても、本発明のＳＡＷフィルタが適用できることは勿論である。

なお、本発明のＳＡＷフィルタは、図３〜図５に示す梯子型ＳＡＷフィルタ以外の梯子型ＳＡＷフィルタにも適用できることは勿論である。

次に、本発明のＳＡＷフィルタの製造方法を図６，図７に基づいて説明すると、先ず、複数個の圧電基板６が形成できる大判圧電基板２５と、この大判圧電基板２５上に、個々の圧電基板６に対応して設けられた複数の導電体パターン２６と、隣り合う導電体パターン２６を接続する接続導体２７を形成したものを用意する。

次に、図６に示すように、フォトリソグラフ技術による加工によって、複数の表面弾性波素子９と反射器１５、及び外周部に位置するパターン部１０を形成するための導電体除去部１１が形成されるが、この図６の加工時における導電体除去部１１は、電極間除去部１３と、外形除去部１３の主除去部１３ａと、側方向除去部１４の延出除去部１４ａが形成（加工）される。

その結果、主除去部１３ａ間に位置し、パターン部１０と接続電極８ａ、８ｂ、ｍたはパターン部１０と櫛歯電極７ａ、７ｂを接続する連結部２８と、主除去部１３ａの端部と圧電基板６の側縁６ａとの間に位置し、パターン部１０と接続電極８ａ、８ｂを接続する連結部２９と、延出除去部１４ａの端部と圧電基板６の側縁６ａとの間に位置し、パターン部１０同士を接続する接続部３０とが存在し、複数の表面弾性波素子９とパターン部１０が繋がった状態となる。

従って、パターン部１０は、焦電破壊防止用のパターンとなると共に、表面弾性波素子９とパターン部１０が同じ電位になって、フォトリソグラフ技術による加工時に焦電破壊が生じない。

次に、図７に示すように、連結部２８，２９の除去によって第１，第２の連結除去部１３ｂ、１３ｃを設け、表面弾性波素子９とパターン部１０を非導通状態にすると共に、接続部３０の除去によって端縁除去部１４ｂを設け、パターン部１０が複数に切り離された後、大判圧電基板２５が圧電基板６の外形に沿って切断されると、図２に示すような圧電基板６が形成されて、その製造が完了する。
また、連結部２８，２９の除去と接続部３０の除去は、同一工程によって行われるようになっている。

なお、大判圧電基板２５からの表面弾性波素子９の製造は、大判圧電基板２５を順送りしながら表面弾性波素子９の製造を行っても良く、また、大判圧電基板２５上において、同一工程で一度に表面弾性波素子９の製造を行っても良く、更に、個々に表面弾性波素子９の製造を行っても良い。

また、図８は本発明のＳＡＷフィルタの第２実施例を示し、この第２実施例の構成を説明すると、外形除去部１３に繋がった側方向除去部１４が第２，第３の表面弾性波素子９ｂ、９ｃの両端部の位置で、互いに接続されていない第２の表面弾性波素子９ｂの接続電極８ａ側と、第３の表面弾性波素子９ｃの接続電極８ｂ側とに設けられ、表面弾性波素子９の両側に位置するパターン部１０がそれぞれ三つに切り離されものである。

その他の構成は、上記第１実施例と同様の構成を有し、同一部品に同一番号を付し、ここではその説明を省略する。

なお、この第２実施例において、第２の表面弾性波素子９ｂ、又は第３の表面弾性波素子９ｃの何れか一方の両端部の位置に、側方向除去部１４を設けても良く、また、第２，第３の表面弾性波素子９ｂ、９ｃの何れか一方の一端部と、第２，第３の表面弾性波素子９ｂ、９ｃの何れか一方の他端部とに側方向除去部１４を設けても良い。

また、図９は本発明のＳＡＷフィルタの第３実施例を示し、この第３実施例の構成を説明すると、外形除去部１３に繋がった側方向除去部１４が第２，第３の表面弾性波素子９ｂ、９ｃの両端部の位置で、互いに接続されていない第２の表面弾性波素子９ｂの接続電極８ａ側と、第３の表面弾性波素子９ｃの接続電極８ｂ側と、互いに接続された第２、第３の表面弾性波素子９ｂ、９ｃ間とに設けられ、表面弾性波素子９の両側に位置するパターン部１０がそれぞれ四つに切り離されものである。

その他の構成は、上記第１実施例と同様の構成を有し、同一部品に同一番号を付し、ここではその説明を省略する。

本発明のＳＡＷフィルタの第１実施例に係り、その概要を示す要部断面図。 本発明のＳＡＷフィルタの第１実施例に係り、圧電基板上に複数の表面弾性波素子を形成した状態を示す拡大平面図。 本発明のＳＡＷフィルタに係る第１の回路図。 本発明のＳＡＷフィルタに係る第２の回路図。 本発明のＳＡＷフィルタに係る第３の回路図。 本発明のＳＡＷフィルタの第１実施例に係り、その製造方法の第１工程を示す説明図。 本発明のＳＡＷフィルタの第１実施例に係り、その製造方法の第２工程を示す説明図。 本発明のＳＡＷフィルタの第２実施例に係り、圧電基板上に複数の表面弾性波素子を形成した状態を示す要部の拡大平面図。 本発明のＳＡＷフィルタの第３実施例に係り、圧電基板上に複数の表面弾性波素子を形成した状態を示す要部の拡大平面図。 従来の表面弾性波素子に係り、圧電基板上に表面弾性波素子を形成した状態を示す平面図。 従来の表面弾性波素子の製造方法に係る第１工程を示す説明図。 従来の表面弾性波素子の製造方法に係る第２工程を示す説明図。

符号の説明

１：積層基板
１ａ：開放部
１ｂ：段差部
１ｃ：収容部
２：絶縁基板
３：ランド部
４：端子
５：接続導体
６：圧電基板
６ａ：側縁
７ａ、７ｂ：櫛歯電極
８ａ、８ｂ：接続電極
９：表面弾性波素子
９ａ：第１の表面弾性波素子
９ｂ：第２の表面弾性波素子
９ｃ：第３の表面弾性波素子
９ｄ：第４の表面弾性波素子
９ｅ：第５の表面弾性波素子
９ｆ：第６の表面弾性波素子
１０：パターン部
１１：導電体除去部
１２：電極間除去部
１３：外形除去部
１３ａ：主除去部
１３ｂ：第１の連結除去部
１３ｃ：第２の連結除去部
１４：側方向除去部
１４ａ：延出除去部
１４ｂ：端縁除去部
１５：反射器
２１：接着材
２２：ワイヤー
２３：蓋体
２５：大判圧電基板
２６：導電体パターン
２７：接続導体
２８，２９：連結部
３０：接続部
Ｆ：梯子型ＳＡＷフィルタ
Ｋ１：第１の共振器
Ｋ２：第２の共振器
Ｋ３：第３の共振器
Ｋ４：第４の共振器
Ｋ５：第５の共振器
Ｋ６：第６の共振器
Ｋ７：第７の共振器

Claims (15)

1. 圧電基板と、この圧電基板の一面上に設けられた導電体によって形成された対向した一対の櫛歯電極、及びこの櫛歯電極のそれぞれに接続された導電体からなる接続電極とからなる複数の表面弾性波素子とを備え、前記圧電基板の前記一面には、複数の前記表面弾性波素子の外周部に設けられた導電体からなるパターン部と、前記表面弾性波素子と前記パターン部との間に設けられた導電体除去部を有し、前記導電体除去部によって前記表面弾性波素子の外形が形成されると共に、前記導電体除去部によって前記表面弾性波素子が前記パターン部と非導通状態となしたことを特徴とするＳＡＷフィルタ。
2. 前記導電体除去部が細幅の導体溝部によって形成され、前記圧電基板の前記一面には、前記表面弾性波素子と前記導電体除去部を除くほぼ全面に前記パターン部が形成されたことを特徴とする請求項１記載のＳＡＷフィルタ。
3. 前記導電体除去部は、前記表面弾性波素子の外形を形成するための外形除去部と、一つの前記表面弾性波素子の両端部の位置で、前記櫛歯電極と前記接続電極の境目を含む近傍から前記外形除去部に繋がって前記圧電基板の側縁方向に延びる側方向除去部を有し、この側方向除去部によって、前記表面弾性波素子の両側に位置する前記パターン部が二つに切り離されたことを特徴とする請求項１、又は２記載のＳＡＷフィルタ。
4. 複数の前記表面弾性波素子が直列に接続されると共に、この直列に接続された前記表面弾性波素子に対して、別の複数の前記表面弾性波素子が並列に接続されてなる梯子型フィルタを有し、直列に接続された前記表面弾性波素子の少なくとも一つの両端部の位置には、前記側方向除去部が設けられたことを特徴とする請求項３記載のＳＡＷフィルタ。
5. 二つの前記表面弾性波素子が隣接した状態で向かい合って並設して形成されると共に、前記二つの表面弾性波素子の一方の前記櫛歯電極は、前記接続電極によって接続され、前記導電体除去部は、前記表面弾性波素子の外形を形成するための外形除去部と、前記二つの表面弾性波素子の両端部の位置で、互いに接続されていない他方の前記櫛歯電極とこの櫛歯電極に接続された前記接続電極の境目を含む近傍から前記外形除去部に繋がって前記圧電基板の側縁方向に延びる４個の側方向除去部を有し、この側方向除去部によって、前記表面弾性波素子の両側に位置する前記パターン部が三つに切り離されたことを特徴とする請求項１、又は２記載のＳＡＷフィルタ。
6. 二つの前記表面弾性波素子が隣接した状態で向かい合って並設して形成されると共に、前記二つの表面弾性波素子の一方の前記櫛歯電極は、前記接続電極によって接続され、前記導電体除去部は、前記表面弾性波素子の外形を形成するための外形除去部と、前記二つの表面弾性波素子間の両端部の位置で、前記櫛歯電極と前記接続電極の境目を含む近傍から前記外形除去部に繋がって前記圧電基板の側縁方向に延びる側方向除去部を有し、この側方向除去部によって、前記表面弾性波素子の両側に位置する前記パターン部が二つに切り離されたことを特徴とする請求項１、又は２記載のＳＡＷフィルタ。
7. 前記二つの表面弾性波素子の双方、或いは何れか一方、或いは片方ずつの前記表面弾性波素子の端部には、互いに接続されていない他方の前記櫛歯電極とこの櫛歯電極に接続された前記接続電極の境目を含む近傍から前記外形除去部に繋がって前記圧電基板の側縁方向に延びる側方向除去部が設けられ、前記側方向除去部によって、前記表面弾性波素子の両側に位置する前記パターン部が三つ、或いは四つに切り離されたことを特徴とする請求項６記載のＳＡＷフィルタ。
8. 前記側方向除去部は、前記外形除去部に繋がって前記圧電基板の側縁に到らない状態に形成された延出除去部と、この延出除去部の端部と前記側縁との間に位置する前記パターン部が前記延出除去部の幅より小さい幅で除去された端縁除去部とで形成されたことを特徴とする請求項３から７の何れかに記載のＳＡＷフィルタ。
9. 前記外形除去部は、前記表面弾性波素子の外形のほぼ全体に形成された主除去部と、間隔を置いて配置された前記主除去部間に位置し、前記パターン部と前記接続電極、又は前記パターン部と前記櫛歯電極を接続する連結部が前記主除去部の幅より小さい幅で除去された第１の連結除去部と、前記主除去部の端部と前記圧電基板の側縁との間に位置し、前記パターン部と前記接続電極を接続する連結部が前記主除去部の幅より小さい幅で除去された第２の連結除去部とで形成されたことを特徴とする請求項３から８の何れかに記載のＳＡＷフィルタ。
10. それぞれの前記表面弾性波素子の両側に配置された前記パターン部には、反射器が設けられたことを特徴とする請求項１から９の何れかに記載のＳＡＷフィルタ。
11. 請求項１記載のＳＡＷフィルタと、前記表面弾性波素子と前記パターン部を形成するための導電体パターンを有した前記圧電基板とを備え、前記表面弾性波素子の外形のほぼ全体を形成するために、前記表面弾性波素子と前記パターン部間に形成される前記導電体パターンの除去部である主除去部が前記導電体パターンの一部で構成される連結部によって前記表面弾性波素子と前記パターン部を連結した状態で形成され、しかる後、前記連結部を除去した連結除去部が設られることによって、前記主除去部と前記連結除去部とで前記導電体除去部が形成されて、前記導電体除去部によって前記表面弾性波素子が前記パターン部と非導通状態となしたことを特徴とするＳＡＷフィルタの製造方法。
12. 前記連結除去部は、前記主除去部の幅よりも小さい幅で形成されたことを特徴とする請求項１１記載のＳＡＷフィルタの製造方法。
13. 前記導電体除去部は、一つの前記表面弾性波素子の両端部の位置で、前記櫛歯電極と前記接続電極の境目を含む近傍から前記主除去部に繋がって前記圧電基板の側縁に到らない状態に形成された延出除去部と、前記延出除去部の端部と前記側縁との間に位置する前記パターン部が除去された端縁除去部を有し、前記延出除去部が前記主除去部と同一工程で形成されると共に、前記端縁除去部が前記連結除去部と同一工程で形成されて、前記表面弾性波素子の両側に位置する前記パターン部が二つに切り離されたことを特徴とする請求項１１、又は１２記載のＳＡＷフィルタの製造方法。
14. 複数個の前記圧電基板を形成するための大判圧電基板と、この大判圧電基板上に、前記圧電基板に対応して設けられた前記表面弾性波素子と前記パターン部を形成するための複数の前記導電体パターンを有し、隣り合う前記導電体パターンが接続導体によって接続されたことを特徴とする請求項１１から１３の何れかに記載のＳＡＷフィルタの製造方法。
15. 前記大判圧電基板に形成された複数の前記導電体パターンには、同一工程によって、前記表面弾性波素子と前記パターン部が形成されたことを特徴とする請求項１４記載のＳＡＷフィルタの製造方法。
    

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