JP2005300240A - 回路配線検査方法およびその装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 幹配線から複数の枝配線を引き出してなる回路配線において、幹配線がレジスト膜により覆われている場合においても各枝配線の断線・短絡検査を行えるようにする。
【解決手段】 隣接する２つの枝配線Ｐ１，Ｐ２のうちの一方の枝配線Ｐ１側の端点Ｐ１ｘ，Ｐ１ｙ間に電流発生器１０から電流を供給するとともに、電圧測定器２０にて他方の枝配線Ｐ２側の端点Ｐ２ｘ，Ｐ２ｙ間の電圧を測定し、電圧測定器２０の読み値が０Ｖである場合には枝配線Ｐ１，Ｐ２間に短絡なしと判定し、上記読み値が０Ｖでない場合には短絡有りと判定する。
【選択図】 図１

Description

本発明は回路配線検査方法およびその装置に関し、さらに詳しく言えば、幹配線から分岐されている複数の枝配線の断線および枝配線間の短絡の有無を検査する技術に関するものである。

回路配線の検査項目の一つに配線パターンの断線（オープン）検査と、隣接する配線パターン間の短絡（ショート）検査とがある。すなわち、回路基板に隣接して形成されている配線パターンがある場合、断線検査は各配線パターンの端点間の各抵抗値Ｒを測定しＲ≒０であれば断線なし、Ｒ≒∞であれば断線ありと判定される。

また、配線パターン間の短絡検査は一方の配線パターンの端点と他方の配線パターンの端点との間の抵抗値Ｒを測定しＲ≒∞であればパターン間に短絡なし、Ｒ≒０であればパターン間に短絡ありと判定される。

ところで、例えばスルーホールを有する両面回路基板（多層回路基板）においては、図３（ａ）に示すように幹配線Ｍから複数の枝配線Ｐ１〜ＰＮが分岐して引き出されている回路パターンがよく見掛けられる。

すなわち、枝配線Ｐ１〜ＰＮの各々が回路基板の表裏両面で図示しないスルーホールを介してつなげられる配線であるとすると、電解めっきによってそのスルーホール内にめっき配線を形成する場合、各枝配線Ｐ１〜ＰＮに対して共通に電解めっき用の幹配線Ｍが形成される。なお、幹配線Ｍは捨て基板部に形成され最終的に各枝配線Ｐ１〜ＰＮから切り離される。

この場合、枝配線Ｐ１〜ＰＮはそれらの各一端（幹側端点）が幹配線Ｍにより相互に接続されているが、やはり抵抗測定により各枝配線Ｐ１〜ＰＮの断線検査と枝配線間の短絡検査とが行われる。例えば、図３（ａ）に示すように隣接する枝配線Ｐ１とＰ２の断線・短絡を検査するには、それらの反幹側端点Ｐ１ａとＰ２ａ間の抵抗値を低抵抗測定器にて測定する。

そして、その測定値Ｒと、あらかじめ設定されている所定のしきい値±Ｔｈとを比較することにより、断線・短絡の有無が検査される。なお、しきい値±Ｔｈは良品基板から得た基準値に基づいて設定される。

すなわち、図３（ｂ）に示すように枝配線Ｐ１，Ｐ２間が短絡していると、抵抗値Ｒが低くなりしきい値±Ｔｈから外れる。これにより枝配線間に短絡ありと判定される。また、図３（ｃ）に示すようにいずれか一方の枝配線（この例では枝配線Ｐ２）が断線していればＲ≒∞となるため、これをもって断線ありと判定される。

抵抗測定は、抵抗測定器の測定プローブを配線パターンの端点に接触させることにより行われるが、図３（ｄ）に模式的に示すように、例えば端点Ｐ１ａに対するプローブの接触位置が良品基板から基準値を得た際には図示実線位置であるのに対して、実際の検査時に図示鎖線位置のようにずれるとプローブ間の抵抗値が変わってしまうため、正確な測定ができず判定ミスが生ずることがある。

また、プローブの接触位置に上記のようなずれがなく、正確に配線パターンの抵抗値が測定できたとしても、配線パターン形成時の製造誤差（線幅のばらつきなど）が大きいと、基準値に対する最適なしきい値を設定することが困難となる。

ちなみに、配線パターン形成時の製造誤差により、例えば線幅が広く形成された場合には、短絡してしまっているパターンの抵抗値とほぼ同値になることがあり、このような場合にはしきい値を設定できなくなる。

一例として、配線パターンの抵抗値１００ｍΩを基準として、そのしきい値を±１０％の９０〜１１０ｍΩに設定したとして、例えば１２０ｍΩ位の抵抗値をもつ配線パターンが隣の配線パターンと短絡して１１０ｍΩになると、短絡しているにもかかわらず良品と判断されることになる。

また、しきい値を設定するうえで、あらかじめ良品である配線パターンをもった回路基板をビジュアル検査などにより探し出して、その抵抗値を測定しておく必要があるため、作成された回路基板の検査を１枚目から行うことができない。

さらに、抵抗測定による短絡検出は微小な抵抗変化を捉える必要があるため、測定プローブの接触抵抗の影響が問題となる。そのため、微小抵抗の測定には４端子法が用いられるが４端子法の測定プローブは他のプローブよりも高価であり、また、狭いピッチの配線パターンへのプロービングが困難となる。

これらの問題点を解決するため、本出願人は特許文献１において次のような発明を提案している。図４を参照して、特許文献１による発明では幹配線Ｍに接続されている複数の枝配線Ｐ１〜ＰＮの隣接する枝配線間の短絡および断線を検査するにあたって、電圧発生器１１により一方の枝配線Ｐ１の反幹側端点Ｐ１ａに電圧を印加した状態の下で、幹配線Ｍ上の所定箇所に電圧測定基準点Ｘを設定し、電圧計２１，２２にて他方の枝配線Ｐ２の反幹側端点Ｐ２ａと電圧測定基準点Ｘとの間の電圧Ｖ１と、同じく他方の枝配線Ｐ２の幹側端点Ｐ２ｂと電圧測定基準点Ｘとの間の電圧Ｖ２とを測定し、これらの電圧Ｖ１，Ｖ２により短絡・断線の有無を判断するようにしている。

これによれば、配線パターンの端点に対するプロービング位置によって検査精度が左右されることなく、高精度の検査を行うことができる。また、あらかじめ良品基板から判定基準となるデータを収集する必要がないため、作成された回路基板の１枚目から隣接パターンの断線・短絡検査を行うことができる。

さらには、測定プローブの接触抵抗による影響を受けないため、通常の安価な測定プローブを使用でき、しかも４端子法のように１ラインに付き４本の測定プローブをプロービングする必要もないため、狭いピッチの配線パターンの測定も容易にできる。

特開２００３−２５５００７号公報

しかしながら、上記特許文献１による発明にも次のような問題がある。すなわち、幹配線Ｍには図４の想像線枠で示すようにレジスト膜が設けられていることが多い。したがって、このような場合には上記電圧測定基準点Ｘや枝配線の幹側端点にプロービングすることが不可能で短絡・断線の検査を行うことができないことになる。

したがって、本発明の課題は、幹配線から複数の枝配線が引き出されている回路配線において、幹配線がレジスト膜により覆われている場合においても各枝配線の断線・短絡検査を行えるようにすることにある。

上記課題を解決するため、本願の請求項１に係る発明は、幹配線と同幹配線から枝状に引き出されている複数の枝配線とを含み、上記枝配線の各々に２つの端点が設けられている回路配線を検査対象とし、上記各枝配線の上記２つの端点間の断線の有無および隣接する２つの上記枝配線のうちの一方の枝配線側の２つの端点間と他方の枝配線側の２つの端点間との間の短絡の有無をそれぞれ検査する回路配線検査方法において、信号出力検出部を含む検査信号発生手段と検査信号検出手段とを備え、上記検査信号発生手段を上記一方の枝配線側の２つの端点間に接続して信号発生状態にするとともに、上記検査信号検出手段を上記他方の枝配線側の２つの端点間に接続し、上記信号出力検出部にて上記検査信号発生手段から上記一方の枝配線側の２つの端点間に供給される検査信号が検出されないときには上記一方の枝配線側の２つの端点間に断線有りと判定し、上記検査信号検出手段により上記他方の枝配線側の２つの端点間で上記検査信号が検出された場合には上記他方の枝配線側の２つの端点間と上記一方の枝配線側の２つの端点間との間に短絡有りと判定することを特徴としている。

また、上記課題を解決するため、本願の請求項２に係る発明は、幹配線と同幹配線から枝状に引き出されている複数の枝配線とを含み、上記枝配線の各々に２つの端点が設けられている回路配線を検査対象とし、上記各枝配線の上記２つの端点間の断線の有無および隣接する第１，第２の２つの上記枝配線のうちの第１枝配線側の２つの端点間と第２枝配線側の２つの端点間との間の短絡の有無をそれぞれ検査する回路配線検査方法において、信号出力検出部を含む検査信号発生手段と検査信号検出手段とを備え、上記検査信号発生手段を上記第１枝配線のうちの反幹配線側に位置する一方の端点と所定の第３枝配線との間に接続して信号発生状態にするとともに、上記検査信号検出手段を上記他方の枝配線側の２つの端点間に接続し、上記信号出力検出部にて上記第１枝配線の上記一方の端点と上記第３枝配線との間に供給される検査信号が検出されないときには上記第１枝配線側の２つの端点間に断線有りと判定し、上記検査信号検出手段により上記他方の枝配線の２つの端点間で上記検査信号が検出された場合には上記他方の枝配線側の２つの端点間と上記一方の枝配線側の２つの端点間との間に短絡有りと判定することを特徴としている。

本願の請求項３に係る発明は、上記検査信号発生手段が電流発生器で、上記検査信号検出手段が電圧測定器であることを特徴としている。また、本願の請求項４に係る発明は、上記検査信号発生手段が電圧発生器で、上記検査信号検出手段が電圧測定器であることを特徴とし、本願の請求項５に係る発明は、上記信号出力検出部に電流検出抵抗が用いられることを特徴としている。

また、上記課題を解決するため、本願の請求項６に係る発明は、幹配線と同幹配線から枝状に引き出されている複数の枝配線とを含み、上記枝配線の各々に２つの端点が設けられている回路配線を検査対象とし、上記各枝配線の上記２つの端点間の断線の有無および隣接する２つの上記枝配線のうちの一方の枝配線側の２つの端点間と他方の枝配線側の２つの端点間との間の短絡の有無をそれぞれ検査する回路配線検査装置において、信号出力検出部を含み上記一方の枝配線側の２つの端点間に検査信号を供給する検査信号発生手段と、上記他方の枝配線側の２つの端点間に接続される検査信号検出手段と、上記信号出力検出部および上記検査信号検出手段からの検出信号に基づいて断線，短絡の有無を判定する制御手段とを備えていることを特徴ととしている。

また、上記課題を解決するため、本願の請求項７に係る発明は、幹配線と同幹配線から枝状に引き出されている複数の枝配線とを含み、上記枝配線の各々に２つの端点が設けられている回路配線を検査対象とし、上記各枝配線の上記２つの端点間の断線の有無および隣接する２つの上記枝配線のうちの一方の枝配線側の２つの端点間と他方の枝配線側の２つの端点間との間の短絡の有無をそれぞれ検査する回路配線検査装置において、信号出力検出部を含み上記一方の枝配線のうちの反幹配線側に位置する一方の端点と所定の第３枝配線との間に検査信号を供給する検査信号発生手段と、上記他方の枝配線側の２つの端点間に接続される検査信号検出手段と、上記信号出力検出部および上記検査信号検出手段からの検出信号に基づいて断線，短絡の有無を判定する制御手段とを備えていることを特徴としている。

本願の請求項８に係る発明は、上記制御手段は上記信号出力検出部からの出力信号が上記検査信号を非検出とする信号である場合には上記一方の枝配線側の２つの端点間に断線有りと判定し、上記検査信号検出手段にて上記検査信号が検出された場合には上記他方の枝配線側の２つの端点間と上記一方の枝配線側の２つの端点間との間に短絡有りと判定することを特徴としている。

本願の請求項９に係る発明は、上記検査信号発生手段が電流発生器で、上記検査信号検出手段が電圧測定器であり、上記信号出力検出部に電流検出抵抗が用いられることを特徴としている。

本発明によれば、検査信号発生手段および検査信号検出手段を各枝配線の端点に接続すればよく、幹配線にはプロービングする必要がないため、幹配線がレジスト膜により覆われていても各枝配線の断線・短絡を検査することができる。

また、製品基板側に残されて実際に使用される各枝配線の端点間の断線の有無および隣接する２つの枝配線の一方の端点間と他方の端点間との間の短絡の有無を確実に検査することができる。

次に、本発明を図１の第１実施例および図２の第２実施例により説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。

図１（ａ）は本発明が検査対象とする被検査回路配線の一例および本発明で使用する検査装置を示す模式図で、図１（ｂ）に上記被検査回路配線が回路基板１００に形成されている状態を斜視図状に模式的に示す。

上記被検査回路配線には幹配線Ｍと同幹配線Ｍから枝状に引き出された複数の枝配線とが含まれているが、ここでは隣接する２つの枝配線Ｐ１，Ｐ２のみを示す。幹配線Ｍは各枝配線の部分に例えば電解めっきを施すために形成されるもので、この例では回路基板１００の捨て基板部１１０に配線されており、最終的に回路基板１００から切り離される。

枝配線Ｐ１，Ｐ２はそれぞれ同一ライン上に２つの端点Ｐ１ｘ，Ｐ１ｙ；Ｐ２ｘ，Ｐ２ｙを備えている。この例において回路基板１００は両面基板で、一方の各端点Ｐ１ｘ，Ｐ２ｘは基板表面１０１側に配置され、他方の各端点Ｐ１ｙ，Ｐ２ｙは回路基板１００の基板裏面１０２側に配置されている。なお、本発明には各枝配線にそれぞれ３つ以上の端点が設けられている場合も含まれる。

枝配線Ｐ１側の端点Ｐ１ｘとＰ１ｙはスルーホール１０３内のめっき配線を介して接続されており、同じく枝配線Ｐ２側の端点Ｐ２ｘとＰ２ｙはスルーホール１０４内のめっき配線を介して接続されている。なお、端点とは実装部品のリード電極などに対する接続部もしくは信号の入出力部として用いられるランドであり、その形状は角形パターン，丸形パターンなど任意に設計されてよい。

本発明は各枝配線Ｐ１，Ｐ２が幹配線に接続された状態で、それらの断線・短絡を検査する。そのため、本発明の検査装置は信号出力検出部を含む検査信号発生手段，検査信号検出手段および制御手段を備えている。

この例において、検査信号発生手段として電流発生器１０を用いている。電流発生器１０の場合、その信号出力検出部には一般的に電流検出抵抗１１が用いられるが、通常、電流発生器１０は抵抗を介して電流を出力するため、その出力側の抵抗を電流検出抵抗１１として利用することができる。電流発生器１０は直流，交流のいずれであってもよい。

この例において、検査信号検出手段には電圧測定器２０が用いられている。また、制御手段としてはＣＰＵ（中央演算処理ユニット）やマイクロプロセッサそれにマイクロコンピュータなどいずれも使用可能であるが、ここでは制御手段を参照符号３０が付されたブロックとして示す。

制御手段３０は電流発生器（検査信号発生手段）１０と、電圧測定器（検査信号検出手段）２０とから情報を得て断線・短絡の有無を判断し、その検査結果を表示手段３１に表示する。表示手段３１は液晶パネルなどのディスプレイやプリンタであってよい。

上記被検査回路配線に含まれている隣接する２つの枝配線Ｐ１，Ｐ２の断線・短絡を検査するにあたって、この第１実施例では電流発生器１０から引き出されている２本の電流供給用プローブ１０ａ，１０ｂを一方の枝配線Ｐ１側の端点Ｐ１ｘとＰ１ｙとに接触させるとともに、電圧測定器２０から引き出されている２本の電圧検出用プローブ２０ａ，２０ｂを他方の枝配線Ｐ２側の端点Ｐ２ｘとＰ２ｙとに接触させる。

制御手段３０は電流発生器１０からの情報と電圧測定器２０からの情報に基づいて枝配線Ｐ１，Ｐ２の断線・短絡の有無を判断する。すなわち、電流発生器１０から電流が発生されている場合において、電流検出抵抗１１に電圧が発生しており、かつ、電圧測定器２０の読み値が０Ｖである場合には、一方の枝配線Ｐ１側の端点Ｐ１ｘ，Ｐ１ｙ間に電流Ｉ１が流れており、他方の枝配線Ｐ２側の端点Ｐ２ｘ，Ｐ２ｙ間には電流が流れていないことを意味する。

したがって、制御手段３０は一方の枝配線Ｐ１側の端点Ｐ１ｘ，Ｐ１ｙ間には断線なしと判定し、また、一方の枝配線Ｐ１側の端点Ｐ１ｘ，Ｐ１ｙ間と他方の枝配線側の端点Ｐ２ｘ，Ｐ２ｙ間との間に短絡なしと判定する。すなわち、良品と判定しその結果を表示手段３１に表示する。

これに対して、電流検出抵抗１１に電圧が発生していて電圧測定器２０の読み値が０Ｖでない場合には、図１（ａ）に鎖線で示すように短絡箇所があり一方の枝配線Ｐ１側から他方の枝配線Ｐ２の端点Ｐ２ｘ，Ｐ２ｙ間に電流Ｉ２が流れていることを意味する。この短絡電流Ｉ２は枝配線Ｐ２から幹配線Ｍを介して枝配線Ｐ１側に戻される。

したがって、制御手段３０は一方の枝配線Ｐ１側の端点Ｐ１ｘ，Ｐ１ｙ間と他方の枝配線Ｐ２側の端点Ｐ２ｘ，Ｐ２ｙ間との間に短絡があると判定し、表示手段３１に不良品であることを表示する。

電流発生器１０から電流が発生されているにもかかわらず電流検出抵抗１１に電圧が発生していない場合、制御手段３０は一方の枝配線Ｐ１側の端点Ｐ１ｘ，Ｐ１ｙ間に電流が流れていないためとして端点Ｐ１ｘ，Ｐ１ｙ間に断線有りと判定し、表示手段３１に不良品であることを表示する。

なお、電圧測定器２０の読み値が０Ｖを示す要因として他方の枝配線Ｐ２側の端点Ｐ２ｘ，Ｐ２ｙ間が断線していることも考えられるため、枝配線Ｐ１，Ｐ２の検査が終了したら、次に枝配線Ｐ２とこれに隣接する図示しない枝配線Ｐ３とを検査する。これを順次繰り返す。

次に、図２の第２実施例について説明する。この第２実施例においても、検査信号発生手段に電流発生器１０を使用し、検査信号検出手段に電圧測定器２０を使用する。なお、図２において制御手段３０はその図示が省略されている。

この第２実施例では、隣接する２つの枝配線Ｐ１，Ｐ２の断線・短絡を検査するにあたって、一方の枝配線Ｐ１を第１枝配線，他方の枝配線Ｐ２を第２枝配線とすると、これとは別に第３枝配線ＰＮを利用する。第３枝配線ＰＮは枝配線Ｐ１，Ｐ２の隣の枝配線であってもよいし末端に位置する枝配線でもよく、幹配線Ｍにつながっている枝配線であれば任意に選択されてよい。

電流発生器１０の一方の電流供給用プローブ１０ａを第１，第２枝配線Ｐ１，Ｐ２のうちの第３枝配線ＰＮから見て位置的に離れている方の枝配線の反幹配線Ｍ側の端点（この場合、第１枝配線Ｐ１の反幹配線Ｍ側の端点Ｐ１ｙ）に接触させる。他方の電流供給用プローブ１０ｂは第３枝配線ＰＮに接触させる。第３枝配線ＰＮに対する接触箇所は端点ＰＮｘ，ＰＮｙのいずれでもよいが、幹配線Ｍ側の端点ＰＮｘが好ましい。

電圧測定器２０の電圧検出用プローブ２０ａ，２０ｂについては上記第１実施例と同じく第２枝配線Ｐ２の端点Ｐ２ｘ，Ｐ２ｙに接触させる。断線・短絡の有無の判定の仕方は上記第１実施例と同じである。

すなわち、電流発生器１０から電流が発生されている場合において、電流検出抵抗１１に電圧が発生しており、かつ、電圧測定器２０の読み値が０Ｖである場合には、第１枝配線Ｐ１の端点Ｐ１ｙ→端点Ｐ１ｘ→幹配線Ｍ→第３枝配線ＰＮへと電流Ｉ３が流れ、第２枝配線Ｐ２側の端点Ｐ２ｘ，Ｐ２ｙ間には電流が流れていないことを意味する。

したがって、第１枝配線Ｐ１側の端点Ｐ１ｘ，Ｐ１ｙ間には断線なしと判定し、また、第１枝配線Ｐ１側の端点Ｐ１ｘ，Ｐ１ｙ間と第２枝配線側の端点Ｐ２ｘ，Ｐ２ｙ間との間に短絡なしと判定することができる。

これに対して、電流検出抵抗１１に電圧が発生していて電圧測定器２０の読み値が０Ｖでない場合には、図２に鎖線で示すように短絡箇所があり第１枝配線Ｐ１側から第２枝配線Ｐ２の端点Ｐ２ｘ，Ｐ２ｙ間に電流Ｉ４が流れていることを意味する。この短絡電流Ｉ４は第２枝配線Ｐ２→幹配線Ｍ→第３枝配線ＰＮへと流れる。したがって、第１枝配線Ｐ１側の端点Ｐ１ｘ，Ｐ１ｙ間と第２枝配線Ｐ２側の端点Ｐ２ｘ，Ｐ２ｙ間との間に短絡があると判定することができる。

また、電流発生器１０から電流が発生されているにもかかわらず電流検出抵抗１１に電圧が発生していない場合には、第１枝配線Ｐ１側の端点Ｐ１ｘ，Ｐ１ｙ間に電流が流れていないためであるとして端点Ｐ１ｘ，Ｐ１ｙ間に断線有りと判定してよい。第１枝配線Ｐ１と第２枝配線Ｐ２の検査が終了したら、上記第１実施例と同じくそのいずれか一方の枝配線とそれに隣接する枝配線との検査を行う。これを順次繰り返す。

上記第１，第２実施例において、電流供給用プローブ１０ａ，１０ｂおよび電圧検出用プローブ２０ａ，２０ｂは、ピンボードに植設された固定プローブ，Ｘ−Ｙ方向に移動可能なフライングプローブのいずれであってもよい。

上記第２実施例において、フライングプローブを採用する場合には、第３枝配線ＰＮを末端に配置されている枝配線とすることが好ましい。これによれば、他方の電流供給用プローブ１０ｂを第３枝配線ＰＮとそれに隣接する枝配線とを検査するときのみ他の枝配線に移動させればよいことになる。

上記第１，第２実施例では検査信号発生手段に電流発生器を使用しているが、電流発生器に代えて電圧発生器を用いてもよい。その場合においても、信号出力検出部として電流検出抵抗を使用することができる。

また、上記第１，第２実施例での被検査回路配線は図１（ｂ）に示すようにスルーホール内配線を介して両面回路基板の表裏に跨って形成されているが、基板の片面に形成されている場合にも本発明にて検査可能である。

（ａ）は本発明の第１実施例で検査対象とする被検査回路配線の一例および本発明で使用する検査装置を示す模式図、（ｂ）は上記被検査回路配線が回路基板に形成されている状態を示す模式的な斜視図。 本発明の第２実施例を説明するための模式図。 （ａ）〜（ｄ）幹配線から分岐されている枝配線の抵抗測定法による断線・短絡検査を説明するため模式図。 幹配線から分岐されている枝配線の別の従来技術による断線・短絡検査を説明するため模式図。

符号の説明

１０ 電流発生器
１０ａ，１０ｂ 電流供給用プローブ
２０ 電圧測定器
２０ａ，２０ｂ 電圧検出用プローブ
３０ 制御手段
３１ 表示手段
Ｍ 幹配線
Ｐ１，Ｐ２，ＰＮ 枝配線
Ｐ１ｘ，Ｐ１ｙ，Ｐ２ｘ，Ｐ２ｙ，ＰＮｘ，ＰＮｙ 端点

Claims (9)

1. 幹配線と同幹配線から枝状に引き出されている複数の枝配線とを含み、上記枝配線の各々に２つの端点が設けられている回路配線を検査対象とし、上記各枝配線の上記２つの端点間の断線の有無および隣接する２つの上記枝配線のうちの一方の枝配線側の２つの端点間と他方の枝配線側の２つの端点間との間の短絡の有無をそれぞれ検査する回路配線検査方法において、
   信号出力検出部を含む検査信号発生手段と検査信号検出手段とを備え、上記検査信号発生手段を上記一方の枝配線側の２つの端点間に接続して信号発生状態にするとともに、上記検査信号検出手段を上記他方の枝配線側の２つの端点間に接続し、
   上記信号出力検出部にて上記検査信号発生手段から上記一方の枝配線側の２つの端点間に供給される検査信号が検出されないときには上記一方の枝配線側の２つの端点間に断線有りと判定し、
   上記検査信号検出手段により上記他方の枝配線側の２つの端点間で上記検査信号が検出された場合には上記他方の枝配線側の２つの端点間と上記一方の枝配線側の２つの端点間との間に短絡有りと判定することを特徴とする回路配線検査方法。
2. 幹配線と同幹配線から枝状に引き出されている複数の枝配線とを含み、上記枝配線の各々に２つの端点が設けられている回路配線を検査対象とし、上記各枝配線の上記２つの端点間の断線の有無および隣接する第１，第２の２つの上記枝配線のうちの第１枝配線側の２つの端点間と第２枝配線側の２つの端点間との間の短絡の有無をそれぞれ検査する回路配線検査方法において、
   信号出力検出部を含む検査信号発生手段と検査信号検出手段とを備え、上記検査信号発生手段を上記第１枝配線のうちの反幹配線側に位置する一方の端点と所定の第３枝配線との間に接続して信号発生状態にするとともに、上記検査信号検出手段を上記他方の枝配線側の２つの端点間に接続し、
   上記信号出力検出部にて上記第１枝配線の上記一方の端点と上記第３枝配線との間に供給される検査信号が検出されないときには上記第１枝配線側の２つの端点間に断線有りと判定し、上記検査信号検出手段により上記他方の枝配線の２つの端点間で上記検査信号が検出された場合には上記他方の枝配線側の２つの端点間と上記一方の枝配線側の２つの端点間との間に短絡有りと判定することを特徴とする回路配線検査方法。
3. 上記検査信号発生手段が電流発生器で、上記検査信号検出手段が電圧測定器であることを特徴とする請求項１または２に記載の回路配線検査方法。
4. 上記検査信号発生手段が電圧発生器で、上記検査信号検出手段が電圧測定器であることを特徴とする請求項１または２に記載の回路配線検査方法。
5. 上記信号出力検出部に電流検出抵抗が用いられることを特徴とする請求項３または４に記載の回路配線検査方法。
6. 幹配線と同幹配線から枝状に引き出されている複数の枝配線とを含み、上記枝配線の各々に２つの端点が設けられている回路配線を検査対象とし、上記各枝配線の上記２つの端点間の断線の有無および隣接する２つの上記枝配線のうちの一方の枝配線側の２つの端点間と他方の枝配線側の２つの端点間との間の短絡の有無をそれぞれ検査する回路配線検査装置において、
   信号出力検出部を含み上記一方の枝配線側の２つの端点間に検査信号を供給する検査信号発生手段と、上記他方の枝配線側の２つの端点間に接続される検査信号検出手段と、上記信号出力検出部および上記検査信号検出手段からの検出信号に基づいて断線，短絡の有無を判定する制御手段とを備えていることを特徴とする回路配線検査装置。
7. 幹配線と同幹配線から枝状に引き出されている複数の枝配線とを含み、上記枝配線の各々に２つの端点が設けられている回路配線を検査対象とし、上記各枝配線の上記２つの端点間の断線の有無および隣接する２つの上記枝配線のうちの一方の枝配線側の２つの端点間と他方の枝配線側の２つの端点間との間の短絡の有無をそれぞれ検査する回路配線検査装置において、
   信号出力検出部を含み上記一方の枝配線のうちの反幹配線側に位置する一方の端点と所定の第３枝配線との間に検査信号を供給する検査信号発生手段と、上記他方の枝配線側の２つの端点間に接続される検査信号検出手段と、上記信号出力検出部および上記検査信号検出手段からの検出信号に基づいて断線，短絡の有無を判定する制御手段とを備えていることを特徴とする回路配線検査装置。
8. 上記制御手段は上記信号出力検出部からの出力信号が上記検査信号を非検出とする信号である場合には上記一方の枝配線側の２つの端点間に断線有りと判定し、上記検査信号検出手段にて上記検査信号が検出された場合には上記他方の枝配線側の２つの端点間と上記一方の枝配線側の２つの端点間との間に短絡有りと判定することを特徴とする請求項６または７に記載の回路配線検査装置。
9. 上記検査信号発生手段が電流発生器で、上記検査信号検出手段が電圧測定器であり、上記信号出力検出部に電流検出抵抗が用いられることを特徴とする請求項６ないし８のいずれか１項に記載の回路配線検査装置。

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