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JP2005128169A - Optical element cooling device and video projector - Google Patents

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JP2005128169A
JP2005128169A JP2003362306A JP2003362306A JP2005128169A JP 2005128169 A JP2005128169 A JP 2005128169A JP 2003362306 A JP2003362306 A JP 2003362306A JP 2003362306 A JP2003362306 A JP 2003362306A JP 2005128169 A JP2005128169 A JP 2005128169A
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JP
Japan
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prism
cooling device
optical element
light
incident light
Prior art date
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Pending
Application number
JP2003362306A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takashi Kashiwabara
隆司 柏原
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2003362306A priority Critical patent/JP2005128169A/en
Publication of JP2005128169A publication Critical patent/JP2005128169A/en
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Abstract

【課題】光学結合媒体である液体の使用をなくし、その帰結として複雑な組み立て工程を必要とする液体封止作業がなくなり、より簡単な構成で安価な光学素子の冷却装置を提供することを目的とする。
【解決手段】金属を主成分とする放熱体48と、光透過性を有し、樹脂の射出成形時に放熱体48と合体成形結合されている樹脂成形体49とを備え、放熱体48は、樹脂成形体49との接合部に複数の櫛歯状の凹凸部48bを有し、表面に黒色ニッケルメッキが施されている光学素子の冷却装置。
【選択図】図7
An object of the present invention is to provide a cooling device for an optical element that has a simpler structure and is less expensive, eliminating the use of a liquid that is an optical coupling medium, eliminating the need for a liquid sealing operation that requires a complicated assembly process. And
A heat dissipating body having a metal as a main component and a resin molded body having light transmittance and being united and bonded to the heat dissipating body at the time of resin injection molding are provided. A cooling device for an optical element having a plurality of comb-like uneven portions 48b at a joint portion with a resin molded body 49 and black nickel plating on the surface thereof.
[Selection] Figure 7

Description

本発明は、ガラスプリズムなどの光学素子の冷却装置及びそれを用いたビデオプロジェクタに関するものである。   The present invention relates to a cooling device for an optical element such as a glass prism and a video projector using the same.

最近、デジタルマイクロミラーデバイス(以下DMDと称す)を画像創生素子として用いるビデオプロジェクタが普及してきており、市場で数多く販売されるようになってきた。DMDは、半導体製造プロセスと同様のプロセスで製造され、シリコン基板上に一辺が数ミクロンのマイクロミラーが縦横に多数整列された構成からなっている。   Recently, video projectors using a digital micromirror device (hereinafter referred to as DMD) as an image creation element have become widespread, and many have been sold in the market. The DMD is manufactured by a process similar to the semiconductor manufacturing process, and has a configuration in which a number of micromirrors each having a side of several microns are aligned vertically and horizontally on a silicon substrate.

この一つのDMDチップには、マイクロミラーが数十万〜数百万個整列されており、この一つ一つが画像創生の一画素として機能する(例えば、特許文献1参照。)。   In one DMD chip, hundreds of thousands to millions of micromirrors are arranged, and each one functions as one pixel for image creation (for example, refer to Patent Document 1).

この一画素として機能するマイクロミラーは、所定の軸を回動軸として、電気信号のON−OFFによってシーソー運動を行う。したがってマイクロミラーは、電気信号のONの位置と、OFFの位置の2つの位置をとるようになっている。   The micromirror functioning as one pixel performs a seesaw motion by turning on and off an electrical signal with a predetermined axis as a rotation axis. Therefore, the micromirror takes two positions, that is, an ON position of the electric signal and an OFF position.

図1は、DMD1内のマイクロミラーの構成及び動作を示す図である。DMD1内に整列されたマイクロミラー2(説明上拡大表示している)に、左斜め下方から入射する光線Lは、マイクロミラー2がどちらに傾いているかで、反射光の方向が2方向に分かれる。電気信号がONの時は位置mをとり、反射光はRmの方向に出射される。また電気信号がOFFの時は位置nをとり、反射光はRnの方向に出射される。   FIG. 1 is a diagram showing the configuration and operation of the micromirror in the DMD 1. The light beam L incident on the micromirrors 2 (enlarged and displayed for explanation) arranged in the DMD 1 obliquely from the lower left is divided into two directions depending on which of the micromirrors 2 is inclined. . When the electrical signal is ON, the position m is taken, and the reflected light is emitted in the direction of Rm. When the electrical signal is OFF, the position n is taken and the reflected light is emitted in the direction of Rn.

図2は、DMDを用いた従来のビデオプロジェクタの概略構成図である。図に示すように、従来のビデオプロジェクタは直方体形状のカラープリズム3と、三角柱形状のプリズム4及び5を備えている。このカラープリズム3の一面にマイクロミラー2が対面するようDMD1が設置されている。また、カラープリズム3のDMD1が配置されている面とは反対側の面に対抗して、投射レンズ8が設置されている。この投射レンズ8とカラープリズム3の間に、側面がカラープリズム3の側面と平行になるようにプリズム4が設置されており、プリズム4の側面と一側面が平行になるようにプリズム5が設置されている。これらのプリズム4とプリズム5は底面である三角形状が上下逆になるように設置され、その対向面間はごく薄い平行な空気層6(空気層厚は約5ミクロン)となっている。また、不用光を吸収消滅させるために、カラープリズム3を冷却するプリズム冷却装置9がDMD1とプリズム4が設置されている以外の側面に設置されている。   FIG. 2 is a schematic configuration diagram of a conventional video projector using a DMD. As shown in the figure, the conventional video projector includes a rectangular parallelepiped color prism 3 and triangular prisms 4 and 5. The DMD 1 is installed so that the micromirror 2 faces one surface of the color prism 3. In addition, the projection lens 8 is installed against the surface of the color prism 3 opposite to the surface on which the DMD 1 is disposed. A prism 4 is installed between the projection lens 8 and the color prism 3 so that the side surface is parallel to the side surface of the color prism 3, and the prism 5 is installed so that the side surface of the prism 4 and one side surface are parallel. Has been. These prisms 4 and 5 are installed so that the triangular shape which is the bottom surface is turned upside down, and a very thin parallel air layer 6 (the air layer thickness is about 5 microns) is formed between the opposing surfaces. Further, in order to absorb and extinguish unnecessary light, a prism cooling device 9 for cooling the color prism 3 is installed on the side surface other than the DMD 1 and the prism 4 are installed.

次ぎに、上記構成の従来のビデオプロジェクタの動作について以下に述べる。   Next, the operation of the conventional video projector having the above configuration will be described below.

図2において、Aの方向から入射した光線は、プリズム4の傾斜面4aで全反射される(プリズム4と5の間には空気層6が存在するため全反射となる)。傾斜面4aで反射された光線は、光路Lを進行し、カラープリズム3の右側面から出射する。光線がカラープリズム3のガラス中から空気中に出射する際に図2に示すように屈折が起こる。そして、カラープリズム3の右面から出射した光線はDMD内のマイクロミラー2に入射する。マイクロミラー2がmの位置にある時は、反射光線はプリズム3,4,5の中を通過しRmの方向に進行する。   In FIG. 2, the light beam incident from the direction A is totally reflected by the inclined surface 4a of the prism 4 (because there is an air layer 6 between the prisms 4 and 5, it is totally reflected). The light beam reflected by the inclined surface 4 a travels along the optical path L and exits from the right side surface of the color prism 3. When light rays are emitted from the glass of the color prism 3 into the air, refraction occurs as shown in FIG. The light beam emitted from the right surface of the color prism 3 enters the micromirror 2 in the DMD. When the micromirror 2 is at the position m, the reflected light passes through the prisms 3, 4 and 5 and travels in the direction of Rm.

プリズム5から出射した光線は投射レンズ8に入り、この投射レンズ8の前方に設置されたスクリーン(図示せず)に映像が拡大投射される。   Light rays emitted from the prism 5 enter the projection lens 8, and an image is enlarged and projected onto a screen (not shown) installed in front of the projection lens 8.

A方向から入射する並行光束は、きわめてエネルギ密度の高い強力な均一光線束である。この光線束がDMDのマイクロミラー7群に入射され、個々のマイクロミラーは映像信号によって超高速で駆動されて入射光は投射光と不用光に振り分けられる。個々のマイクロミラー7(個々の画素に相当する)で反射された多数の光線群の組み合わせによって映像が形成される。   The parallel light beam incident from the A direction is a strong uniform light beam having an extremely high energy density. This light beam is incident on a group of micromirrors 7 of the DMD, and each micromirror is driven at a very high speed by a video signal, and the incident light is distributed to projection light and unnecessary light. An image is formed by a combination of a number of light beam groups reflected by individual micromirrors 7 (corresponding to individual pixels).

映像の明暗は個々のマイクロミラー7が高速でON−OFF駆動されることにより、一定時間内に投写方向に駆動されている積算時間の差よって表現される。   The contrast of the image is expressed by the difference in the accumulated time during which the individual micromirrors 7 are driven in the projection direction within a certain time by being driven ON-OFF at high speed.

ここで、マイクロミラー7がnの位置にある時は、反射光線(不用光となる)はRn方向に進行する。Rn方向に進行する光線は不用光であり、反射や散乱によるコントラストの低下やゴーストの発生を避けるために、出来るだけ速やかに吸収消滅させる必要がある。そのためにプリズム冷却装置9がカラープリズム3の上面に接合搭載されている。   Here, when the micromirror 7 is at the position n, the reflected light (unnecessary light) travels in the Rn direction. The light beam traveling in the Rn direction is unnecessary light, and it is necessary to absorb and extinguish it as quickly as possible in order to avoid a decrease in contrast and ghosting due to reflection and scattering. For this purpose, a prism cooling device 9 is mounted on the upper surface of the color prism 3.

もし、プリズム冷却装置9が備えられていない場合には、図3に示すように、マイクロミラー2からR1の方向に反射された不用光はカラープリズム3内を進行し、そのカラープリズム3の上面3aで全反射してこのカラープリズム3の外へは出射しない。これはガラスの屈折率をNd=1.52とすると、全反射角は41.14°となり、入射角がこの角度より大きいことによる。   If the prism cooling device 9 is not provided, as shown in FIG. 3, the unnecessary light reflected from the micromirror 2 in the direction of R <b> 1 travels through the color prism 3, and the upper surface of the color prism 3. The light is totally reflected by 3a and is not emitted outside the color prism 3. This is because if the refractive index of the glass is Nd = 1.52, the total reflection angle is 41.14 °, and the incident angle is larger than this angle.

上記のように反射される不用光R1のエネルギーの一部はカラープリズム3の内部で熱に変化するため、カラープリズム3の温度が極めて高くなり、プリズム同士あるいはカラープリズム3を基台(図示せず)に取付けている接着剤が熱のために劣化するなど種々な面で問題となる。またカラープリズム3の上面3aで反射した不用光R1は、各プリズム3、4、5の内部をR2,R3,R4と経路をたどり、プリズム周辺に出て行き不用な光線として散乱し、投写像のコントラストを悪化させたり、ゴースト像発生の原因となったり、また光線の到達した部分の温度上昇を招くなどの深刻な不具合が発生する。   Since a part of the energy of the unnecessary light R1 reflected as described above changes to heat inside the color prism 3, the temperature of the color prism 3 becomes extremely high, and the prisms or the color prism 3 is a base (not shown). )), The adhesive is deteriorated due to heat, causing various problems. Further, the unnecessary light R1 reflected by the upper surface 3a of the color prism 3 follows the path of each of the prisms 3, 4, and 5 with R2, R3, and R4, goes out to the periphery of the prism, is scattered as unnecessary light, and is projected. Serious problems such as deterioration of the contrast of the image, generation of a ghost image, and increase in the temperature of the part where the light beam reaches.

次に、従来のプリズム冷却装置9について説明する。図4は従来のプリズム冷却装置9の構成図である。銅、銅合金、アルミニュームなどの熱伝導性のよい金属で造られたヒートシンク10は光の吸収がよく、かつ熱の放散性を高めるために艶消し黒色の表面仕上げが成されている(例えば、黒色ニッケルメッキ)。このヒートシンク10は、放熱効果を高めるために放熱フィン10aを有している。   Next, the conventional prism cooling device 9 will be described. FIG. 4 is a block diagram of a conventional prism cooling device 9. The heat sink 10 made of a metal having good thermal conductivity such as copper, copper alloy, aluminum or the like has good light absorption and has a matte black surface finish to improve heat dissipation (for example, , Black nickel plating). The heat sink 10 has heat radiating fins 10a to enhance the heat radiating effect.

前記ヒートシンク10の底面部には、入射した光線を効率的に減衰させるために櫛歯状突起10bが多数個形成されている。図5に示すように櫛歯状突起10bに当った光線は、殆どがその部分で吸収されるが、わずかな反射光は図5に示すように櫛歯状突起10bの間で多段反射を繰り返し最終的に熱に変換される。   A plurality of comb-like protrusions 10b are formed on the bottom surface of the heat sink 10 in order to efficiently attenuate incident light rays. As shown in FIG. 5, most of the light rays striking the comb-like projection 10b are absorbed by that portion, but a slight amount of reflected light repeatedly undergoes multi-stage reflection between the comb-like projections 10b as shown in FIG. Eventually converted to heat.

また、ヒートシンク10の櫛歯状突起10bが形成されている側には、液密に透明なシールガラス11が接着されている。そして上記ヒートシンク10とシールガラス11とで構成される液密空間に、オプチカルカップリング液12(以後OC液)が充填されている。このOC液を前記液密空間に注入するための注入栓13がヒートシンク10に設置されている。図4には注入栓13を1つしか図示していないが、実際にはOC液注入用と空気抜き用の2つの注入栓が設置されている。なお、OC液12は残留気泡が無いように液密空間全体に充填される。   Further, a liquid-tight transparent sealing glass 11 is bonded to the side of the heat sink 10 where the comb-like projections 10b are formed. A liquid-tight space constituted by the heat sink 10 and the seal glass 11 is filled with an optical coupling liquid 12 (hereinafter referred to as an OC liquid). An injection plug 13 for injecting the OC liquid into the liquid tight space is installed in the heat sink 10. Although only one injection plug 13 is shown in FIG. 4, two injection plugs for OC liquid injection and air venting are actually installed. The OC liquid 12 is filled in the entire liquid-tight space so that there are no residual bubbles.

上述したように、反射光が熱に変換されプリズム冷却装置9全体が温度上昇すると、OC液12も同様に温度上昇するので体積が膨張する。この体積膨張を吸収緩和する仕掛けが注入栓13に組み込まれている。この注入栓13は中空軸13aを有しており、中空軸13aの中心部には上下貫通して、OC液12を注入あるいは空気を抜くための貫通孔が形成されている。そして中空軸13aを覆うようにゴムキャップ13bが被せられている。さらにその上から封止キャップ13cがねじ止めされている。ゴムキャップ13bの根元部に形成されている断面が円形状のシール部分が、封止キャップ13cを螺合することで、中空軸13aと封止キャップ13cに形成された双方の段差部に挟み込まれ液密なシールがなされる。OC液12の膨張・収縮は、上記ゴムキャップ13bの弾性変形によって吸収される。   As described above, when the reflected light is converted into heat and the temperature of the entire prism cooling device 9 rises, the temperature of the OC liquid 12 similarly rises, so that the volume expands. A device for absorbing and relaxing the volume expansion is incorporated in the injection plug 13. The injection plug 13 has a hollow shaft 13a, and a through-hole for injecting the OC liquid 12 or extracting the air is formed in the central portion of the hollow shaft 13a in the vertical direction. And the rubber cap 13b is covered so that the hollow shaft 13a may be covered. Further, a sealing cap 13c is screwed from above. A seal portion having a circular cross section formed at the base portion of the rubber cap 13b is sandwiched between both step portions formed on the hollow shaft 13a and the sealing cap 13c by screwing the sealing cap 13c. A liquid-tight seal is made. The expansion / contraction of the OC liquid 12 is absorbed by the elastic deformation of the rubber cap 13b.

図4のように組み立てられたプリズム冷却装置9は、カラープリズム3の上に透明度の高い接着剤で接合されている。接着層での反射を少なくするため、接着剤の屈折率は出来るだけプリズムの屈折率に近いものを用いる必要がある(屈折率Nd=1.49前後)。   The prism cooling device 9 assembled as shown in FIG. 4 is bonded onto the color prism 3 with a highly transparent adhesive. In order to reduce reflection at the adhesive layer, it is necessary to use an adhesive having a refractive index as close as possible to that of the prism (refractive index Nd = 1.49).

図2に示すようにプリズム冷却装置9が接合搭載されると、不用光Rnはプリズム上面3aで全反射することなく、接着層→シールガラス11→OC液12を透過しヒートシンク10に形成された櫛歯状突起10bに到達する。櫛歯状突起10bに到達した光線は、既に図5で説明したような反射経路で減衰し熱に変換される。なお、ヒートシンク10は、自然空冷だけでは高温になる場合、送風空冷される場合もある。
特許第3065068号明細書
As shown in FIG. 2, when the prism cooling device 9 is bonded and mounted, the unnecessary light Rn is transmitted through the adhesive layer → the seal glass 11 → the OC liquid 12 without being totally reflected by the prism upper surface 3 a and formed on the heat sink 10. The comb-like protrusion 10b is reached. The light beam that has reached the comb-like projection 10b is attenuated by the reflection path as described with reference to FIG. 5 and converted into heat. Note that the heat sink 10 may be blown and air-cooled when it becomes hot only by natural air cooling.
Japanese Patent No. 3065068

拡大投射した時、明るい画像を得るために、DMDに入射してくる光線束はきわめてエネルギ密度が高い。投射光と不用光の、エネルギ密度は同等である。投射光は投射レンズを通してスクリーンに拡大投射されるため問題はないが、不用光は速やかにプリズム外に取り出し、光吸収体に導き入れ熱に変換して減衰消滅させる必要がある。   In order to obtain a bright image when enlarged and projected, the light flux incident on the DMD has an extremely high energy density. The energy density of the projection light and the unnecessary light is the same. There is no problem because the projection light is enlarged and projected on the screen through the projection lens. However, the unnecessary light needs to be quickly taken out of the prism, introduced into the light absorber, converted into heat, and attenuated and extinguished.

図4に示す、不用光を導き入れ減衰消滅させる従来のプリズム冷却装置は、光学結合媒体として液体が使われているため、その液体を封止するための透明ガラスが必要であり、該封止ガラスを液密にシールするための接着作業、注入栓の取り付け、OC液の注入充填、液漏れ確認作業等々必要であり、従来の冷却装置は組み立てに時間を要しコストの高いものとなっている。   The conventional prism cooling apparatus that introduces unnecessary light and attenuates and extinguishes as shown in FIG. 4 uses a liquid as an optical coupling medium, and thus requires a transparent glass for sealing the liquid. Adhesive work for sealing the glass in a liquid-tight manner, installation of injection plugs, injection and filling of OC liquid, liquid leakage confirmation work, etc. are necessary. Conventional cooling devices take time to assemble and are expensive. Yes.

本発明は、上記従来の課題を考慮し、光学結合媒体である液体の使用をなくし、その帰結として複雑な組み立て工程を必要とする液体封止作業がなくなり、より簡単な構成で安価な光学素子の冷却装置及びこれを用いたビデオプロジェクタを提供することを目的とする。   In view of the above-described conventional problems, the present invention eliminates the use of a liquid as an optical coupling medium, and as a result, eliminates a liquid sealing operation that requires a complicated assembly process, thereby reducing the cost of the optical element with a simpler configuration. It is an object of the present invention to provide a cooling device and a video projector using the same.

上述した課題を解決するために、第1の本発明は、金属を主成分とする放熱体と、光透過性を有し、樹脂の射出成形時に前記放熱体と合体成形結合されている樹脂成形体とを備えた光学素子の冷却装置である。   In order to solve the above-described problems, a first aspect of the present invention is a resin molding that has a metal-based heat dissipation body and a light transmitting property, and is combined and bonded to the heat dissipation body at the time of resin injection molding. An optical element cooling apparatus including a body.

また、第2の本発明は、前記放熱体は、表面に黒色ニッケルメッキが施されている第1の本発明の光学素子の冷却装置である。   The second aspect of the present invention is the optical element cooling apparatus according to the first aspect of the present invention, wherein the heat dissipating body has a surface plated with black nickel.

また、第3の本発明は、前記放熱体は、前記樹脂成形体との接合部に複数の櫛歯状の凹凸部を有する第1の本発明の光学素子の冷却装置である。   The third aspect of the present invention is the optical element cooling device according to the first aspect of the present invention, wherein the heat dissipating member has a plurality of comb-like uneven portions at a joint portion with the resin molded body.

また、第4の本発明は、前記放熱体の前記樹脂成形体との接合部の凸部の先端は、入射光線と実質上平行になるように、前記入射光線の角度と実質上同程度の傾斜を有している第3の本発明の光学素子の冷却装置である。   Further, the fourth aspect of the present invention is substantially the same as the angle of the incident light beam so that the tip of the convex portion of the joint portion of the heat radiating member with the resin molded body is substantially parallel to the incident light beam. It is a cooling device of the optical element of the 3rd present invention which has an inclination.

また、第5の本発明は、第1乃至第4のいずれかの本発明の光学素子の冷却装置と、入射される光に応じて、前記入射光を異なる二方向のうちいずれか一方向に反射するデジタルマイクロミラーデバイスと、入射光を投射する投射レンズと、前記デジタルマイクロミラーデバイスと前記投影レンズの間に設置され、前記光学素子の冷却装置の樹脂と密着接合されているプリズムとを備え、前記樹脂成形体は、前記プリズムと近似する屈折率を有し、前記異なる二方向は、前記プリズムを透過して前記投射レンズに入射する方向と、前記プリズムの前記光学素子の冷却装置が設置されている方向であるビデオプロジェクタである。   According to a fifth aspect of the present invention, there is provided the optical element cooling device according to any one of the first to fourth aspects of the present invention, and the incident light is made to be in one of two different directions according to the incident light. A digital micromirror device that reflects light, a projection lens that projects incident light, and a prism that is installed between the digital micromirror device and the projection lens and is in close contact with the resin of the cooling device for the optical element. The resin molding has a refractive index similar to that of the prism, and the two different directions are a direction that passes through the prism and enters the projection lens, and a cooling device for the optical element of the prism is installed. It is a video projector that is in the direction that is being performed.

本発明により、光学結合媒体として従来のような液体の使用を無くし、多数の組み立て工程とチェックを必要とする液体封止作業が無くなり、簡単な構成で安価な光学素子の冷却装置を提供することが出来る。   According to the present invention, there is provided a cooling device for an optical element that has a simple structure and is inexpensive, eliminating the use of a conventional liquid as an optical coupling medium, eliminating a liquid sealing operation that requires a large number of assembly steps and checks. I can do it.

以下、図面を参照しながら実施の形態について説明する。   Hereinafter, embodiments will be described with reference to the drawings.

(実施の形態1)
図6は、本実施の形態1における光学素子の冷却装置を用いたビデオプロジェクタの概略構成図である。図6に示す様に、本実施の形態1における光学素子の冷却装置を用いたビデオプロジェクタは直方体形状のカラープリズム41と、三角柱形状のカラープリズム42及び43を備えている。この直方体形状のカラープリズム41の一面にマイクロミラー45が設置されている。又、カラープリズム41のマイクロミラー45が設置されている面とは反対側の面に対抗して投射レンズ46が設置されている。この投射レンズ46とカラープリズム41の間に、カラープリズム41の側面と、側面が平行になる様にプリズム42が設置されている。
(Embodiment 1)
FIG. 6 is a schematic configuration diagram of a video projector using the optical element cooling device according to the first embodiment. As shown in FIG. 6, the video projector using the optical element cooling apparatus according to the first embodiment includes a rectangular parallelepiped color prism 41 and triangular prism shaped color prisms 42 and 43. A micromirror 45 is provided on one surface of the rectangular prism shaped color prism 41. In addition, the projection lens 46 is installed against the surface of the color prism 41 opposite to the surface on which the micromirror 45 is installed. A prism 42 is installed between the projection lens 46 and the color prism 41 so that the side surface of the color prism 41 is parallel to the side surface.

前記プリズム42にプリズム43が、それらの底面である三角形状が上下逆になるように、ごく薄い平行な空気層44(5〜10ミクロン)を保って設置されている。また、不用光を消滅させるために、本発明の光学素子の冷却装置の一例であるプリズム冷却装置47が、マイクロミラー45とプリズム42が設置されている以外のカラープリズム41の側面に設置されている。   A prism 43 is installed on the prism 42 while maintaining a very thin parallel air layer 44 (5 to 10 microns) so that the triangular shape of the bottom surface thereof is turned upside down. In order to eliminate unnecessary light, a prism cooling device 47, which is an example of the optical element cooling device of the present invention, is installed on the side surface of the color prism 41 other than the micromirror 45 and the prism 42. Yes.

次に、プリズム冷却装置47の構成について以下に説明する。   Next, the configuration of the prism cooling device 47 will be described below.

図7は、本実施の形態1におけるプリズム冷却装置の構成図である。このプリズム冷却装置47は、銅、銅合金、鉄系合金あるいはアルミニュームなどの金属で造られた本発明の放熱体の一例であるヒートシンク48を有している。このヒートシンク48には放熱のためのフィン48aが複数個形成されている。またヒートシンク48の底凹部には櫛歯状の突起48bが多数個形成されている。さらに、このヒートシンク48の表面は光線の吸収を高めるために、黒色ニッケルメッキを施すなどにより黒く着色されている。   FIG. 7 is a configuration diagram of the prism cooling device according to the first embodiment. The prism cooling device 47 has a heat sink 48 which is an example of a heat radiator of the present invention made of a metal such as copper, copper alloy, iron-based alloy or aluminum. The heat sink 48 has a plurality of fins 48a for heat dissipation. A plurality of comb-like protrusions 48 b are formed in the bottom recess of the heat sink 48. Further, the surface of the heat sink 48 is colored black by applying black nickel plating or the like to enhance light absorption.

そして底凹部には本発明の樹脂の一例である透明プラスチック材料49が、従来からよく知られたプラスチック成形法の一つである例えばインサート成形法を用い、金属で造られたヒートシンク48と一体化成形されている。透明プラスチック材料49は、ヒートシンク48を鋳型として成形されるので、複雑に入り組んだ櫛歯状突起48bとも完全に密接している。また透明プラスチック材料49の平面部49aは、後でカラープリズム41に密に接着するために平滑な面に仕上げられている。   A transparent plastic material 49, which is an example of the resin of the present invention, is integrated with the heat sink 48 made of metal using, for example, an insert molding method, which is one of the well-known plastic molding methods. Molded. Since the transparent plastic material 49 is formed using the heat sink 48 as a mold, the transparent plastic material 49 is also in close contact with the complicated comb-like protrusions 48b. Further, the flat portion 49a of the transparent plastic material 49 is finished to be a smooth surface so as to be closely adhered to the color prism 41 later.

また、図8はプリズム冷却装置47の櫛歯状の突起48b部の拡大図である。図に示す様に、櫛歯状突起48bの先端は、透明プラスチック材料49への入射光Rnと実質上平行になるように傾斜が形成されている。   FIG. 8 is an enlarged view of a comb-like protrusion 48b portion of the prism cooling device 47. FIG. As shown in the figure, the tip of the comb-like protrusion 48b is inclined so as to be substantially parallel to the incident light Rn to the transparent plastic material 49.

なお、上述したプリズム冷却装置47がカラープリズム41の側面に設置されているが、この時接着面に空気が残留しないように密着接合されている。   The prism cooling device 47 described above is installed on the side surface of the color prism 41. At this time, the prism cooling device 47 is closely bonded so that no air remains on the bonding surface.

上記構成の本実施の形態1における光学素子の冷却装置を用いたビデオプロジェクタの動作について以下に述べる。   The operation of the video projector using the optical element cooling apparatus according to the first embodiment having the above configuration will be described below.

はじめに、図6においてJ方向から入ってきた光線は、プリズム42の斜面42aで全反射されL方向に進行し、カラープリズム41の右側面41aから出射した光線は、DMDのマイクロミラー45に入射する。   First, in FIG. 6, a light beam that has entered from the J direction is totally reflected by the inclined surface 42 a of the prism 42 and travels in the L direction, and a light beam emitted from the right side surface 41 a of the color prism 41 is incident on the DMD micromirror 45. .

ここで、マイクロミラー45が左倒れの位置(位置m)にある時は、反射光線はRm方向に反射される。Rm方向に進行した光線は、プリズム42に進入し斜面42aに到達する。光線Rmは斜面42aから出射し、微小な空気層44を経てプリズム43に入射しその中をさらに進行する(図6では見易いように空気層44は大きな間隔で描いている)。   Here, when the micro mirror 45 is in the left-tilt position (position m), the reflected light beam is reflected in the Rm direction. The light beam traveling in the Rm direction enters the prism 42 and reaches the inclined surface 42a. The light ray Rm is emitted from the inclined surface 42a, enters the prism 43 through the minute air layer 44, and further travels through the prism 43 (in FIG. 6, the air layer 44 is drawn at a large interval for easy viewing).

次に、光線は斜面42aで屈折し、さらにプリズム43の斜面43aで屈折する。プリズム42と43は同材質なので光線の進行方向に変化はないが、ごくわずかな段差が生じる。しかし空気層44は数ミクロンの間隔であり、段差量はごく僅かなので実質上は一直線といえる。斜面42aおよび斜面43aには、反射防止膜が施されている。   Next, the light beam is refracted by the slope 42 a and further refracted by the slope 43 a of the prism 43. Since the prisms 42 and 43 are made of the same material, there is no change in the traveling direction of the light beam, but a very slight step is generated. However, the air layers 44 are spaced apart by a few microns, and the amount of step is very small, so it can be said that the air layer 44 is substantially straight. An antireflection film is applied to the slope 42a and the slope 43a.

プリズム43を通過してきた光線は、投射レンズ46に入射し、前方に設置されたスクリーン(図示せず)に拡大投射される。   The light beam that has passed through the prism 43 enters the projection lens 46, and is enlarged and projected onto a screen (not shown) installed in front.

また、マイクロミラー45が右倒れの位置(位置n)にある時は、反射光線はRn方向に反射される。この不用光Rnは、カラープリズム41の上面で全反射しなくなり、そのままほぼ直進し透明プラスチック材料49に進入する。透明プラスチック材料49は光線透過性が高いのでその内部で光線が減衰することはない。そして不用光Rnはヒートシンク48に形成された櫛歯状突起48bに突き当たる。   Further, when the micro mirror 45 is in the right-tilt position (position n), the reflected light beam is reflected in the Rn direction. The unnecessary light Rn is not totally reflected on the upper surface of the color prism 41, and travels almost straight as it is and enters the transparent plastic material 49. Since the transparent plastic material 49 has a high light transmittance, the light does not attenuate inside thereof. The unnecessary light Rn strikes a comb-like protrusion 48b formed on the heat sink 48.

次に、上記構成において示した様に櫛歯状突起48bの各先端は、不用光の入射角と実質的に同角度の傾斜部が形成されているために、不用光Rnは櫛歯状突起48bの各先端部に衝突することなく、櫛歯状突起48bの側面に突き当たる。   Next, as shown in the above-described configuration, the tip of each comb-like protrusion 48b is formed with an inclined portion having substantially the same angle as the incident angle of the unwanted light. It strikes against the side surface of the comb-like projection 48b without colliding with each tip of 48b.

そしてこの突き当たった不用光Rnは、図8に示すように多段反射を経ながら減衰してゆく。光エネルギの多くは初回の衝突で吸収されるが、多数回反射することでほぼ完全に熱エネルギに変換される。   The impinging unnecessary light Rn attenuates while undergoing multi-stage reflection as shown in FIG. Most of the light energy is absorbed in the first impact, but is reflected almost completely and converted into thermal energy.

また、透明プラスチック材料49は断熱性が高いので、櫛歯状突起48b部分で発生した熱は、カラープリズム41側に流れるより、熱伝導性の良い放熱フィン48aの方に速やかに伝導し空気中に放熱される。ヒートシンク48を送風空冷すればさらに効率的にカラープリズム41の冷却が行える。   Further, since the transparent plastic material 49 has high heat insulating properties, the heat generated in the comb-like projections 48b is more quickly conducted to the heat dissipating fins 48a having better thermal conductivity than flowing to the color prism 41 side. Heat is dissipated. If the heat sink 48 is blown and air cooled, the color prism 41 can be cooled more efficiently.

次に、本実施の形態1における光学素子の冷却装置の製造方法について以下に説明する。   Next, a method for manufacturing the optical element cooling apparatus according to Embodiment 1 will be described below.

上述した様に、ヒートシンク48の櫛歯状突起48bが形成されている側に、既知の合成樹脂の成形法の一つである例えばインサート成形法を用いて透明プラスチック材料49を一体化成形する。これにより、金属で造られたヒートシンク48と透明な樹脂成形体を一体化結合させた複合部品である冷却装置を得ることが出来る。   As described above, the transparent plastic material 49 is integrally formed on the side of the heat sink 48 on which the comb-like projections 48b are formed by using, for example, an insert molding method which is one of known synthetic resin molding methods. Thereby, a cooling device which is a composite part in which a heat sink 48 made of metal and a transparent resin molded body are integrally bonded can be obtained.

ここで、金属とプラスチックのインサート成形(またはアウトサート成形)による結合一体化の強度では不充分な場合、その強度をより強固なものにするために、その接合部に化学結合層を形成するようにしてもよい。   Here, when the strength of the combined integration by metal and plastic insert molding (or outsert molding) is insufficient, a chemical bonding layer is formed at the joint in order to make the strength stronger. It may be.

一般にインサート成形法によりプラスチックと金属とを一体結合して複合化した場合、金属表面の微細な凹凸に軟化したプラスチック材料が入り込んで固化し、アンカー効果や摩擦力によって結合がなされている。したがって、これに温度サイクルが作用した場合、金属とプラスチックの熱膨張率の違いによって、境界面に僅かなズレおよび熱応力が発生し、温度昇降が繰り返されることで徐々に剥離が進行し、ごくごく薄い空間層が形成され、光結合力が低下する。   In general, when a plastic and a metal are integrally combined by an insert molding method to be combined, a softened plastic material enters and solidifies on fine irregularities on the metal surface, and is bonded by an anchor effect or frictional force. Therefore, when a temperature cycle is applied to this, slight deviation and thermal stress are generated at the interface due to the difference in thermal expansion coefficient between metal and plastic, and peeling is gradually progressed due to repeated temperature rise and fall. A thin space layer is formed and the optical coupling force is reduced.

上記の様に剥離によってヒートシンク48と透明プラスチック材料49との境界面に僅かでも空間層が生じると、その部分で光線の反射率が増大し、迷光となった反射光によって「背景技術」の項でも説明したような様々な不具合が発生する。   As described above, if even a slight space layer is formed on the boundary surface between the heat sink 48 and the transparent plastic material 49 due to peeling, the reflectance of the light beam increases at that portion, and the reflected light that has become stray light causes the “Background Technology” section. However, various problems as described above occur.

ヒートシンク48に入射してくる光線エネルギ密度は極めて高く、光→熱変換が効率的に行われる程、ヒートシンク48の温度は高くなる。したがって過酷な温度昇降がある中においても、ヒートシンク48と透明プラスチック材料49との密着状態は確保されなければならない。   The energy density of light incident on the heat sink 48 is extremely high, and the temperature of the heat sink 48 increases as the light-to-heat conversion is efficiently performed. Therefore, even in a severe temperature rise and fall, the close contact state between the heat sink 48 and the transparent plastic material 49 must be ensured.

このため、過酷な温度条件の中においても、ヒートシンク48と透明プラスチック材料49の密着状態を維持確保するため、ヒートシンク48に、公知の表面処理を行い、インサート成形時にヒートシンク48と透明プラスチック材料49が、前記表面処理層の物質を仲介として化学的に強固に結合するようにすればよい。   For this reason, a known surface treatment is performed on the heat sink 48 in order to maintain the close contact between the heat sink 48 and the transparent plastic material 49 even under harsh temperature conditions, and the heat sink 48 and the transparent plastic material 49 are formed during insert molding. The material of the surface treatment layer may be chemically bonded with the substance as an intermediary.

上記公知の表面処理とは、例えば一般式(化1)で示されるトリアジンチオール類の水溶液、又はメチルアルコール、イソプロピルアルコール、エチルアルコール、アセトン、トルエン、エチルセルソルブ、ジメチルホルムアルデヒド、テトラヒドロフラン、メチルエチルケトン、ベンゼン、酢酸エチルエーテルなどの有機溶剤を溶媒とした溶液を電着溶液として用い、金属を陽極に、白金板チタン板またはカーボン板などを陰極とし、これに20V以下で、0.1mA/dm〜10mA/dmの電流を、0〜80℃、0.1秒〜10分間、通じて行う低音高速処理を特徴とする金属の電気化学的表面処理法である(参照文献、特許第1840482号公報。)。 The known surface treatment is, for example, an aqueous solution of triazine thiols represented by the general formula (Chemical Formula 1), or methyl alcohol, isopropyl alcohol, ethyl alcohol, acetone, toluene, ethyl cellosolve, dimethylformaldehyde, tetrahydrofuran, methyl ethyl ketone, benzene. In addition, a solution using an organic solvent such as ethyl acetate as a solvent is used as an electrodeposition solution, a metal is used as an anode, a platinum plate titanium plate or a carbon plate is used as a cathode, and this is 20 V or less, 0.1 mA / dm 2 to This is a metal electrochemical surface treatment method characterized by low-frequency, high-speed treatment performed by passing a current of 10 mA / dm 2 at 0 to 80 ° C. for 0.1 seconds to 10 minutes (reference document, Japanese Patent No. 1840482). .)

Figure 2005128169
また、上記(化1)において、Rは−OR´、−SR´、−NHR´、−N(R´);R´はアルキル基、アルケニル基、フェニル基、フェニルアルキル基、アルキルフェニル基又はシクロアルキル基、またMはH、Na、Li、K、1/2Ba、1/2Ca、脂肪族一級、二級及び三級アミン類、4級アンモニウム塩などである。
Figure 2005128169
In the above (Chemical Formula 1), R is —OR ′, —SR ′, —NHR ′, —N (R ′) 2 ; R ′ is an alkyl group, an alkenyl group, a phenyl group, a phenylalkyl group, an alkylphenyl group. Or a cycloalkyl group, and M is H, Na, Li, K, 1 / 2Ba, 1 / 2Ca, aliphatic primary, secondary and tertiary amines, quaternary ammonium salts and the like.

なお、上記透明プラスチック材料のこの種のものとしては、ノルボルネン系の樹脂、例えばJSR社製の商品名「アートンF5023」、「アートンFX4726」、「アートンD4532」、また脂環式ポリオレフィン系樹脂で、側鎖に極性基を有する樹脂がある。   In addition, as this kind of the above-mentioned transparent plastic material, norbornene-based resins, for example, trade names “Arton F5023”, “Arton FX4726”, “Arton D4532” manufactured by JSR, and alicyclic polyolefin-based resins, There are resins having a polar group in the side chain.

なお、本発明の樹脂として、本実施の形態1の光学素子の冷却装置では、プラスチック材料49をヒートシンク48に射出合体成形しているが、光透過性のあるシリコーンラバー体のような高分子エラストマを射出成形材料として用いても良い。   As the resin of the present invention, in the optical element cooling apparatus of the first embodiment, the plastic material 49 is injection-moulded into the heat sink 48, but a polymer elastomer such as a light-transmitting silicone rubber body is used. May be used as an injection molding material.

上述したように、従来例で示したプリズム冷却装置の光学結合媒体、すなわち封止ガラスと液体が占めている容積領域を、光透過率の高い透明な樹脂成形体に置き換えることにより、封止ガラスを液密にシールするための接着作業、液体封止作業等がなくなり、より簡単な構成で安価な光学素子の冷却装置及びこの冷却装置を用いたビデオプロジェクタを提供することが出来る。   As described above, by replacing the optical coupling medium of the prism cooling device shown in the conventional example, that is, the volume region occupied by the sealing glass and the liquid, with a transparent resin molded body having a high light transmittance, the sealing glass Therefore, an optical element cooling apparatus and a video projector using the cooling apparatus can be provided with a simpler structure and an inexpensive optical element.

本発明にかかる光学素子の冷却装置は、簡単な構成で安価に提供することが可能な効果を有し、ビデオプロジェクタ等として有用である。   The optical element cooling apparatus according to the present invention has an effect that can be provided at a low cost with a simple configuration, and is useful as a video projector or the like.

DMDデバイスのなかに形成されたマイクロミラーの構成及び動作を説明する図The figure explaining the structure and operation | movement of a micromirror formed in a DMD device 従来のプリズム冷却装置が搭載されたビデオプロジェクタの概略構成図Schematic configuration diagram of a video projector equipped with a conventional prism cooling device 従来のビデオプロジェクタにおいてプリズム冷却装置が無い場合の、不用光の進行経路を説明する図The figure explaining the advancing path of unnecessary light when there is no prism cooling device in the conventional video projector 従来のプリズム冷却装置の構成図Configuration of conventional prism cooling device 従来のプリズム冷却装置において不用光が多段反射しながら吸収消滅していく過程を示す説明図Explanatory drawing showing the process of absorbing and extinguishing unnecessary light while reflecting multiple stages in a conventional prism cooling device 本発明にかかる実施の形態1における光学素子の冷却装置が搭載されたビデオプロジェクタの概略構成図1 is a schematic configuration diagram of a video projector equipped with a cooling device for optical elements according to a first embodiment of the present invention. 本発明にかかる実施の形態1における光学素子の冷却装置の構成図1 is a configuration diagram of an optical element cooling device according to a first embodiment of the present invention. 本発明にかかる実施の形態1における光学素子の冷却装置において不用光が多段反射しながら吸収消滅していく過程を示す図The figure which shows the process in which the unnecessary light is absorbed and extinguished in multistage reflection in the cooling device of the optical element in Embodiment 1 concerning this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 DMD
2 マイクロミラー
3 カラープリズム
4、5 プリズム
6 空気層
8 投射レンズ
9 プリズム冷却装置
41 カラープリズム
42、43 プリズム
44 空気層
45 マイクロミラー
46 投射レンズ
47 プリズム冷却装置
48 ヒートシンク
48a フィン
48b 櫛歯状突起
49 透明プラスチック材料
49a 平面部
L DMDへの入射光
Rm 投射光
Rn 不用光
R1,R2,R3,R4 不用光の光線進路
1 DMD
2 Micromirror 3 Color prism 4, 5 Prism 6 Air layer 8 Projection lens 9 Prism cooling device 41 Color prism 42, 43 Prism 44 Air layer 45 Micromirror 46 Projection lens 47 Prism cooling device 48 Heat sink 48 a Fin 48 b Comb-like projection 49 Transparent plastic material 49a Plane portion L Incident light to DMD Rm Projection light Rn Unnecessary light R1, R2, R3, R4 Ray path of unnecessary light

Claims (5)

金属を主成分とする放熱体と、
光透過性を有し、樹脂の射出成形時に前記放熱体と合体成形結合されている樹脂成形体とを備えた光学素子の冷却装置。
A heat sink composed mainly of metal,
A cooling device for an optical element, comprising: a light-transmitting resin molded body that is combined and bonded to the heat radiating body during resin injection molding.
前記放熱体は、表面に黒色ニッケルメッキが施されている請求項1記載の光学素子の冷却装置。   The cooling device for an optical element according to claim 1, wherein the heat dissipating body has black nickel plating on a surface thereof. 前記放熱体は、前記樹脂成形体との接合部に複数の櫛歯状の凹凸部を有する請求項1記載の光学素子の冷却装置。   The cooling device for an optical element according to claim 1, wherein the heat dissipating member has a plurality of comb-like uneven portions at a joint portion with the resin molding. 前記放熱体の前記樹脂成形体との接合部の凸部の先端は、入射光線と実質上平行になるように、前記入射光線の角度と実質上同程度の傾斜を有している請求項3記載の光学素子の冷却装置。   The tip of the convex portion of the joint portion between the heat radiating body and the resin molded body has an inclination substantially equal to the angle of the incident light beam so as to be substantially parallel to the incident light beam. The cooling device for an optical element according to the description. 請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の光学素子の冷却装置と、
入射される光に応じて、前記入射光を異なる二方向のうちいずれか一方向に反射するデジタルマイクロミラーデバイスと、
入射光を投射する投射レンズと、
前記デジタルマイクロミラーデバイスと前記投射レンズの間に設置され、前記光学素子の冷却装置の樹脂成形体と密着接合されているプリズムとを備え、
前記樹脂成形体は、前記プリズムと近似する屈折率を有し、
前記異なる二方向は、前記プリズムを透過して前記投射レンズに入射する方向と、前記プリズムの前記光学素子の冷却装置が設置されている方向であるビデオプロジェクタ。
A cooling device for an optical element according to any one of claims 1 to 4,
A digital micromirror device that reflects the incident light in one of two different directions according to incident light; and
A projection lens for projecting incident light;
A prism which is installed between the digital micromirror device and the projection lens and is closely bonded to a resin molded body of the cooling device for the optical element;
The resin molded body has a refractive index approximating that of the prism,
The two different directions are a direction in which the prism passes through the prism and enters the projection lens, and a direction in which a cooling device for the optical element of the prism is installed.
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