JP2005114352A - Fluid heating device - Google Patents
Fluid heating device Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005114352A JP2005114352A JP2005003512A JP2005003512A JP2005114352A JP 2005114352 A JP2005114352 A JP 2005114352A JP 2005003512 A JP2005003512 A JP 2005003512A JP 2005003512 A JP2005003512 A JP 2005003512A JP 2005114352 A JP2005114352 A JP 2005114352A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic
- bottomed cylindrical
- cylindrical body
- heater
- fluid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Resistance Heating (AREA)
- Instantaneous Water Boilers, Portable Hot-Water Supply Apparatuses, And Control Of Portable Hot-Water Supply Apparatuses (AREA)
Abstract
【課題】効率的に流体を加熱することができる流体加熱装置を提供することにある。
【解決手段】発熱抵抗体を埋設した筒状のセラミックス体を、該セラミックス体の内周面と外周面を同時に覆うような二重の有底筒状体に挿入し、両者の間に粉体を介在させるとともに、該有底筒状体の内面側及び外面側の両方に流体を通過させるようにした流体加熱装置である。
【選択図】図6An object of the present invention is to provide a fluid heating apparatus capable of efficiently heating a fluid.
A cylindrical ceramic body in which a heating resistor is embedded is inserted into a double-bottomed cylindrical body that simultaneously covers an inner peripheral surface and an outer peripheral surface of the ceramic body, and a powder is sandwiched between the two. And a fluid heating device that allows fluid to pass through both the inner surface side and the outer surface side of the bottomed cylindrical body.
[Selection] Figure 6
Description
本発明は、金属製の有底筒状体にセラミックヒータを挿入してなるセラミックシーズヒータを用いた液体加熱装置に関する。 The present invention relates to a liquid heating apparatus using a ceramic sheathed heater formed by inserting a ceramic heater into a metal bottomed cylindrical body.
従来より、セラミックス体中に発熱抵抗体を埋設したセラミックヒータがさまざまな分野で使用されている。そして、浴槽用温水器等の液体加熱用のヒータとして用いる場合は、上記セラミックヒータを直接水の中に入れて、加熱することが行われている。 Conventionally, ceramic heaters in which a heating resistor is embedded in a ceramic body have been used in various fields. And when using as a heater for liquid heating, such as a water heater for bathtubs, putting the said ceramic heater directly in water and heating is performed.
しかし、セラミックヒータの途中までしか水がないような場合、水の無い部分が異常発熱してクラックが生じたり、あるいは水垢等の付着により発熱が不均一となってヒートショックによりクラックが生じやすかった。あるいは、アルカリ溶液中等に浸漬した場合は、セラミックスが浸食される恐れもあった。 However, when there was water only partway through the ceramic heater, the water-free part generated abnormal heat and cracks were generated, or heat generation was uneven due to adhesion of scales, etc., and cracking was likely to occur due to heat shock. . Alternatively, when immersed in an alkaline solution or the like, ceramics may be eroded.
このように、クラックや浸食が生じると発熱抵抗体が剥き出しとなって漏電や感電事故を起こすという問題があった。 As described above, when a crack or erosion occurs, the heating resistor is exposed to cause a leakage or an electric shock.
そこで、上記セラミックヒータを金属製の有底筒状体で覆うようにしたセラミックシーズヒータが用いられている。これは、例えば特許文献1、特許文献2等に示すように、セラミックス体中に発熱抵抗体を埋設してなる棒状のセラミックヒータを、金属製の有底筒状体中に挿入し、両者の間に粉体を充填したものである。
Therefore, a ceramic sheathed heater in which the ceramic heater is covered with a metal bottomed cylindrical body is used. For example, as shown in
このような構造とすることによって、セラミックヒータが直接水と触れることを防止し、クラックの発生を防ぐことができる。 By adopting such a structure, it is possible to prevent the ceramic heater from coming into direct contact with water and to prevent generation of cracks.
また、セラミックヒータと金属製有底筒状体との間に充填する粉体としては、熱伝導性を高くするために金属粉末を用いることが一般的である。
ところが、上記のようなセラミックシーズヒータであっても、使用条件等によっては、発熱抵抗体を埋設したセラミックス体にクラックが生じることがある。このような場合、発熱抵抗体に印加した電流が、粉体と有底筒状体を通じて水中に流れ、漏電や感電の恐れがあるという問題があった。 However, even with the ceramic sheathed heater as described above, cracks may occur in the ceramic body in which the heating resistor is embedded depending on the use conditions and the like. In such a case, there is a problem that the current applied to the heating resistor flows into the water through the powder and the bottomed cylindrical body, and there is a risk of electric leakage or electric shock.
即ち、従来のセラミックシーズヒータにおいては、セラミックヒータ自体が絶縁性が高いため、有底筒状体との間に介在させる粉体としては、金属粉末等の絶縁性の低い粉体を用いている。そのため、万一セラミックヒータにクラックが生じたような場合は、電流の漏れを防止する効果が乏しいものであった。 That is, in the conventional ceramic sheathed heater, since the ceramic heater itself has high insulation, powder having low insulation such as metal powder is used as the powder interposed between the bottomed cylindrical body. . Therefore, in the event that a crack occurs in the ceramic heater, the effect of preventing current leakage is poor.
また、従来のセラミックシーズヒータでは、セラミックヒータと有底筒状体の間に充填した粉体の密度が低く、熱伝達が悪いという問題もあった。さらに、繰り返し使用時に、有底筒状体中でのセラミックヒータの位置がずれやすいという問題もあった。 Further, the conventional ceramic sheathed heater has a problem that the density of the powder filled between the ceramic heater and the bottomed cylindrical body is low and heat transfer is poor. Furthermore, there has been a problem that the position of the ceramic heater in the bottomed cylindrical body tends to shift during repeated use.
そこで、請求項1の発明は、発熱抵抗体を埋設した筒状のセラミックス体を、該セラミックス体の内周面及び外周面を同時に覆うような二重の有底筒状体に挿入し、両者の間に粉体を介在させるともに、上記有底筒状体の内面側及び外面側の両方に流体を通過させて流体加熱装置を構成したことを特徴とする。
Therefore, the invention of
即ち、セラミックシーズヒータ自体を筒状に形成し、その内面側と外面側の両方に流体を通過させることによって、効率的に流体を加熱できるようにしたものである。 That is, the ceramic sheathed heater itself is formed in a cylindrical shape, and the fluid can be efficiently heated by passing the fluid through both the inner surface side and the outer surface side.
本発明によれば、発熱抵抗体を埋設した筒状のセラミックス体を、該セラミックス体の内周面及び外周面を覆うような二重の有底筒状体で覆い、両者の間に粉体を介在させるとともに、上記有底筒状体の内面側及び外面側の両方に流体を通過させるようにして流体加熱装置を構成したことによって、効率的に流体を加熱することができる。 According to the present invention, a cylindrical ceramic body in which a heating resistor is embedded is covered with a double-bottomed cylindrical body that covers the inner peripheral surface and outer peripheral surface of the ceramic body, and a powder is sandwiched between the two. In addition, the fluid heating device is configured such that the fluid passes through both the inner surface side and the outer surface side of the bottomed cylindrical body, so that the fluid can be efficiently heated.
従って、本発明によれば、熱効率に優れるとともに、漏電や感電を防止できる安全性の高いセラミックシーズヒータを得ることができ、浴槽用温水器等の流体加熱装置として好適に使用することができる。 Therefore, according to the present invention, it is possible to obtain a highly safe ceramic sheathed heater that is excellent in thermal efficiency and can prevent leakage and electric shock, and can be suitably used as a fluid heating device such as a water heater for a bathtub.
以下、発明を説明するのに参考例を図によって説明する。 Hereinafter, reference examples will be described with reference to the drawings to explain the present invention.
図1、2に示すように、セラミックシーズヒータは、円柱状のセラミックヒータ1を金属製の有底筒状体3に挿入し、両者の間に絶縁粉体2を介在させ、セラミックヒータ1の後端部は金属製のカバー4を配置して、有底筒状体3の後端部でかしめて構成したものである。上記セラミックヒータ1は、円柱状のセラミックス体11中に発熱抵抗体12を埋設し、該発熱抵抗体12の後端部をリード線13に接続したものであり、リード線13間に通電することによって、発熱抵抗体12を発熱させることができるようになっている。
As shown in FIGS. 1 and 2, the ceramic sheathed heater includes a cylindrical
このセラミックシーズヒータを浴槽用温水器等の水加熱用に使用する場合は、有底筒状体3部分を水中に浸漬し、リード線13に通電することによってセラミックヒータ1を発熱させ、この熱を伝えることによって水を加熱することができる。この時、セラミックス体11が直接水に触れることがないため、クラック等の発生を防止することができる。
When this ceramic sheathed heater is used for water heating such as a bath water heater, the bottomed
このようなセラミックシーズヒータにおいて、絶縁粉体2は、セラミックヒータ1と有底筒状体3間の緩衝材を成すとともに、熱を伝達する作用を成す。しかし、本発明で最も大切な点は、万一セラミックス体11にクラック等が生じたような場合でも、発熱抵抗体12の電流が有底筒状体3に流れることを防止できるように、絶縁粉体2に充分な絶縁性を持たせていることである。
In such a ceramic sheathed heater, the
具体的には、セラミックス体11にクラックが生じた場合でも、発熱抵抗体12と有底筒状体3との間の室温での抵抗値Rが104Ω以上となるようにしておけば良い。これは、家庭用電圧100Vを印加した時に、上記抵抗値Rを104Ω以上としておけば、万一漏れ電流が生じても10mA以下となり、人体に悪影響を及ぼさないレベルとできるためである。
Specifically, even when a crack occurs in the
好ましくは漏れ電流は0.5mA以下が良く、そのためにはセラミックス体11にクラックが生じた場合でも、発熱抵抗体12と有底筒状体3との間の室温での抵抗値Rを2×105Ω以上としておけば良い。
Preferably, the leakage current is 0.5 mA or less. Therefore, even when a crack occurs in the
なお、上記抵抗値Rを測定する場合は、予めセラミックシーズヒータに規定以上の電圧を印加してセラミックス体1にクラックを発生させ、この状態で発熱抵抗体12と有底筒状体3間の抵抗値Rを室温で測定すれば良い。
When the resistance value R is measured, a voltage higher than a specified voltage is applied to the ceramic sheathed heater in advance to generate a crack in the
このような絶縁粉体2としては、窒化ホウ素(BN)、窒化珪素(Si3N4)、窒化アルミニウム(AlN)、炭化珪素(SiC)の一種以上を用いる。これらは、表1に示すように、いずれも体積固有抵抗が大きく、絶縁性を高くすることができる。
As such an
同時に、絶縁粉体2は伝熱性を良くする必要があるが、これらの材質は表1に示すように熱伝導率が0.06cal/cm・sec・℃以上と高いことから、セラミックヒータ1に生じる熱を効率的に有底筒状体3に伝えることができる。
At the same time, it is necessary for the insulating
これらの絶縁粉体2は平均粒径0.5〜10μmのものを用い、充填した際の厚みt2は1mm以下とすることが好ましい。これは、厚みt2が1mmを超えると熱伝導性が低くなるためである。また、充填率は50%以上となるように高密度に充填することによって熱伝導性を向上できる。
These
さらに、絶縁粉体2に対し、シリコンオイル等の耐熱性、絶縁性が良好な液体を含浸することによって、さらに熱伝導性を高くすることもできる。
一方、有底筒状体3は、熱伝導性の良好な銅やアルミニウム等の金属材を用いるが、必要に応じてステンレスや他の鉄系合金を用いることもできる。また、この有底筒状体3の厚みt1は、熱効率を高くするために、1mm以下とすることが好ましい。
On the other hand, although the bottomed
さらに、セラミックヒータ1を成すセラミックス体11としてはアルミナ、窒化珪素等のセラミックスを用い、発熱抵抗体12としては、W,Mo,Mn等の高融点金属やTiC,TiN,WC等の金属化合物を用いる。そして、上記円柱状のセラミックヒータ1を作製する場合は、例えばセラミックスのシート状成形体に上記発熱抵抗体12を成す材質をペースト状として所定パターンに塗布し、このシート状成形体を別の円柱状成形体の周囲を覆うように重ね合わせ、全体を焼成一体化することによって得ることができる。
Furthermore, ceramics such as alumina and silicon nitride are used as the
なお、図では円柱状のセラミックヒータ1と円筒状の有底筒状体3を示したが、これに限らず、角柱状や板状等さまざまな形状とできることは言うまでもない。また、本発明のセラミックシーズヒータは、特に浴槽用温水器等の液体加熱用に敵しているが、その他のさまざまな用途にも好適に用いることができる。
In addition, although the column-shaped
次に、他の参考例を説明する。 Next, another reference example will be described.
図3に示すセラミックシーズヒータは、基本的に前述した参考の実施形態と同様であるが、セラミックヒータ1と有底筒状体2との接合構造に特徴がある。
The ceramic sheathed heater shown in FIG. 3 is basically the same as the reference embodiment described above, but has a feature in the joining structure of the
即ち、有底筒状体2の開口部には、筒状のフランジ部材20を接合してあり、このフランジ部材20の有底筒状体2と反対側端部において、セラミックヒータ1とフランジ部材20の間に押圧部材21を配置してある。
That is, a
この押圧部材21は、内径がセラミックヒータ1の外径とほぼ一致する円筒状体であり、先端外周にネジ部21aを備え、一方、フランジ部20側の内径にもネジ部20aを備えている。そして、押圧部材21をこのネジ部20aに螺着することによって、絶縁粉体2を押圧し、充填密度を高めることができる。
The
また、押圧部材21の後端側には切り欠き21bを形成し、この部分に接着剤22を充填してセラミックヒータ1と接合してある。この時、接合力を高めるために、セラミックヒータ1側のセラミックス体11の表面に凹部14を形成しておけばより好適である。例えば、セラミックヒータ1を作製する際に最外周のセラミックグリーンシートに孔を形成しておいて積層し、図4に示すように、表面に凹部14を形成することもできる。この場合、凹部14は、直径0.5mm以上、深さ0.1mm以上とすることが好ましく、接着材22として、エポキシ樹脂、シリコン樹脂、又は,無機接着剤を用いる。
Further, a notch 21 b is formed on the rear end side of the
このように、押圧部材21を備えたことによって、絶縁粉体2の充填密度を高めて熱伝導率を向上できるとともに、有底筒状体2に対してセラミックヒータ1を強固に位置決めできるため、使用中にセラミックヒータ1の位置がずれることを防止できる。
Thus, by providing the pressing
また、上記参考例では押圧部材21を螺着する構造を示したが、螺着以外でも、絶縁粉体2を押圧できるような接合構造であれば良い。
Moreover, although the structure which screws the pressing
さらに、フランジ部材20には外周面側にもネジ部20bを備えており、他部材との接合を容易にしてある。なお、この実施形態では有底筒状体2とフランジ部材20を別体として接合したが、両者を一体形成することもできる。
Furthermore, the
また、上記セラミックヒータ1や有底筒状体2の材質は図1、2の実施形態と同様であり、フランジ部材20、押圧部材21は、有底筒状体2と同様にステンレス、銅、黄銅、チタン等の金属で形成する。さらに、絶縁粉体3の材質は、図1、2の実施形態に示した窒化ホウ素(BN)、窒化珪素(Si3 N4 )、窒化アルミニウム(AlN)、炭化珪素(SiC)に限らず、Al2O3、MgOを用いることもでき、また絶縁粉体の代わりにCu、Al等の金属粉末を用いることもできる。また、接着剤22としては、エポキシ系、シリコン系等の樹脂、ガラス、無機接着剤等を用いる。
The material of the
次に、セラミックシーズヒータを用いた流体加熱装置を説明する。 Next, a fluid heating apparatus using a ceramic sheathed heater will be described.
図5に示す流体加熱装置は、セラミックヒータ1を絶縁粉体2を介して金属製の有底筒状体3に挿入し、この有底筒状体3と金属外管30とを接合して構成される。また、この金属外管30には、入水ホース31と吐水ホース32を接合してあり、セラミックヒータ1に通電し、加熱しながら、入水ホース31より水等の流体を供給すれば、加熱されて吐水ホース32より外部へ送り出すことができる。
In the fluid heating apparatus shown in FIG. 5, the
このとき、セラミックヒータ1は有底筒状体3で覆われているため、流体が接触しない。そのため、ヒートショックによるクラックの発生や、水垢の付着を防止できる。
At this time, since the
なお、図2では有底筒状体3の開口部をパッキン33で塞いだが、図3に示すような押圧部材を備えれば、より好適である。
In FIG. 2, the opening of the bottomed
次に、本発明の実施形態を説明する。 Next, an embodiment of the present invention will be described.
図6に示す流体加熱装置は、セラミックヒータ1を成すセラミックス体11を筒状に形成し、このセラミックス体11の外周面と内周面の両方を、絶縁粉体2を介して二重の有底筒状体3で覆い、この有底筒状体3と金属外管30を接合してある。また、上記有底筒状体3のうち、セラミックス体11の内周面を覆う内管3aはセラミックヒータ1の後端まで導出して、入水パイプ31と接合し、吐水パイプ32は金属外管30に備えてある。
In the fluid heating apparatus shown in FIG. 6, the
いま、セラミックヒータ1に通電し、加熱しながら、入水ホース31より水等の流体を供給すれば、内管3aを通過する際にセラミックヒータ1の内面で加熱され、金属外管30を通過する際にセラミックヒータ1の外面で加熱されることになり、効率的に加熱することができる。
If a fluid such as water is supplied from the
参考例1
本発明の実施例の参考として、図1、2に示すセラミックシーズヒータを作製した。
Reference example 1
As a reference for the examples of the present invention, the ceramic sheathed heater shown in FIGS.
アルミナセラミックスからなるセラミックス体11に、Wからなる発熱抵抗体12を埋設し、直径10mm、長さ120mmの円柱状セラミックヒータ1を作製した。一方、ステンレスからなり、外径11.5mm、内径10.5mm、長さ122mmの有底筒状体3中に上記セラミックヒータ1を挿入して、両者が接触しないように保持する。これらの隙間に窒化ホウ素又は炭化珪素からなる絶縁粉体2を充填し、有底筒状体3を振動させて絶縁粉体2の充填密度を高くする。最後に、セラミックヒータ1のリード線13に絶縁パイプ(不図示)を備え、後端部に金属製のカバー4を配置して、有底筒状体3の後端部でかしめて固定した。
A heating resistor 12 made of W was embedded in a
なお、絶縁粉体2を充填する場合は、以下のようにすることもできる。即ち、有底筒状体3とセラミックヒータ1との隙間に、絶縁粉体2を分散剤を併用して溶媒中に分散させたスラリーを充填し、その後加熱して溶媒を蒸発させることもできる。
In addition, when filling with the insulating
以上のように、本参考例として、絶縁粉体2が窒化ホウ素又は炭化珪素からなり、その充填時の厚みt2 が0.25mmのセラミックシーズヒータを得た。
As described above, as this reference example, a ceramic sheathed heater was obtained in which the insulating
一方、本参考例の比較例として、絶縁粉体2の代わりに金属(銅)粉末を充填し、他は全て上記実施例と同様にしてシーズヒータを作製した。
On the other hand, as a comparative example of this reference example, a metal (copper) powder was filled instead of the insulating
これら、本発明実施例と比較例について、100Vの電圧を印加して水加熱用に用いた場合の加熱効率を比較した後、それぞれ規定値以上の電圧を印加して意識的にセラミックヒータ1にクラックを発生させた。この時の、発熱抵抗体13と有底筒状体3間の抵抗値Rと、使用時に水中に発生する漏れ電流を測定した。
About these invention examples and comparative examples, after applying a voltage of 100 V and comparing the heating efficiency when used for water heating, a voltage exceeding a specified value is applied to each
結果は表2に示す通りである。この結果より、比較例ではクラックが生じた時の発熱抵抗体13と有底筒状体3間の抵抗値が低く、水中に10mAを超える漏れ電流が流れたため、感電等の恐れがあった。
The results are as shown in Table 2. From this result, in the comparative example, the resistance value between the
これに対し、本参考例では、クラックが生じても発熱抵抗体13と有底筒状体3間の抵抗値Rが104Ωを超えているため、水中の漏れ電流を10mA以下とすることができ、感電の恐れはなかった。また、絶縁粉体2が充分な熱伝導性を有するため、水を良好に加熱することができた。
実施例1
次に、本発明の実施例として、図6に示す流体加熱装置を試作した。外径8mm、全長120mm、発熱部長さ85mmのアルミナ製セラミックヒータ1を、外径12mm、内径10mmの有底筒状体3に挿入した。この装置に、3リットルの水を流し、25℃から45℃まで5分間で昇温させた。
Example 1
Next, as an example of the present invention, a fluid heating apparatus shown in FIG. 6 was prototyped. An alumina
この時の平均電力は906.1Wで、熱効率92.4%であった。なお、比較例として有底筒状体3を備えない装置についても同様の測定を行ったところ、平均電力902.2Wで熱効率92.8%であった。この結果より、本発明の流体加熱装置は、有底筒状体3を備えていても、従来例と同様に優れた熱効率を示すことがわかる。
The average power at this time was 906.1 W, and the thermal efficiency was 92.4%. As a comparative example, the same measurement was performed on an apparatus that does not include the bottomed
1:セラミックヒータ
11:セラミックス体
12:発熱抵抗体
13:リード線
14:凹部
2:絶縁粉体
3:有底筒状体
4:カバー
20:フランジ部材
21:押圧部材
22:接着剤
30:金属外管
1: Ceramic heater 11: Ceramic body 12: Heating resistor 13: Lead wire 14: Recess 2: Insulating powder 3: Bottomed cylindrical body 4: Cover 20: Flange member 21: Press member 22: Adhesive 30: Metal Outer tube
Claims (2)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005003512A JP3940149B2 (en) | 2005-01-11 | 2005-01-11 | Fluid heating device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005003512A JP3940149B2 (en) | 2005-01-11 | 2005-01-11 | Fluid heating device |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04679197A Division JP3784124B2 (en) | 1997-02-28 | 1997-02-28 | Ceramic sheathed heater and fluid heating apparatus using the same |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2005114352A true JP2005114352A (en) | 2005-04-28 |
| JP3940149B2 JP3940149B2 (en) | 2007-07-04 |
Family
ID=34545414
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005003512A Expired - Lifetime JP3940149B2 (en) | 2005-01-11 | 2005-01-11 | Fluid heating device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3940149B2 (en) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7833866B2 (en) | 2006-12-18 | 2010-11-16 | Renesas Electronics Corporation | Manufacture of semiconductor device |
| CN102840675A (en) * | 2012-09-13 | 2012-12-26 | 莆田市清华园电器发展有限公司 | Ceramic electric heating liner |
| JP2015008130A (en) * | 2013-05-30 | 2015-01-15 | 京セラ株式会社 | Heater |
| JP2015526685A (en) * | 2012-07-20 | 2015-09-10 | ミン シン,ユーン | Hot water boiler, pipe for heating pipe and installation structure thereof |
| WO2016068242A1 (en) * | 2014-10-31 | 2016-05-06 | 日本特殊陶業株式会社 | Ceramic heater and manufacturing method for same |
| JP2017009255A (en) * | 2015-06-26 | 2017-01-12 | 新熱工業株式会社 | Fluid heater |
| DE102017119473A1 (en) | 2017-08-25 | 2019-02-28 | Dbk David + Baader Gmbh | Fluid heater and method of making a fluid heater |
| WO2020075703A1 (en) * | 2018-10-09 | 2020-04-16 | 京セラ株式会社 | Heat exchange unit and cleaning device provided therewith |
-
2005
- 2005-01-11 JP JP2005003512A patent/JP3940149B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7833866B2 (en) | 2006-12-18 | 2010-11-16 | Renesas Electronics Corporation | Manufacture of semiconductor device |
| JP2015526685A (en) * | 2012-07-20 | 2015-09-10 | ミン シン,ユーン | Hot water boiler, pipe for heating pipe and installation structure thereof |
| CN102840675A (en) * | 2012-09-13 | 2012-12-26 | 莆田市清华园电器发展有限公司 | Ceramic electric heating liner |
| CN102840675B (en) * | 2012-09-13 | 2014-12-03 | 莆田市清华园电器发展有限公司 | Ceramic electric heating liner |
| JP2015008130A (en) * | 2013-05-30 | 2015-01-15 | 京セラ株式会社 | Heater |
| KR20170076753A (en) * | 2014-10-31 | 2017-07-04 | 니혼도꾸슈도교 가부시키가이샤 | Ceramic heater and manufacturing method for same |
| JPWO2016068242A1 (en) * | 2014-10-31 | 2017-04-27 | 日本特殊陶業株式会社 | Ceramic heater and manufacturing method thereof |
| WO2016068242A1 (en) * | 2014-10-31 | 2016-05-06 | 日本特殊陶業株式会社 | Ceramic heater and manufacturing method for same |
| US20170245324A1 (en) * | 2014-10-31 | 2017-08-24 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Ceramic heater and manufacturing method for same |
| CN107113923A (en) * | 2014-10-31 | 2017-08-29 | 日本特殊陶业株式会社 | Ceramic heater and its manufacture method |
| EP3214896A4 (en) * | 2014-10-31 | 2018-07-04 | NGK Spark Plug Co., Ltd. | Ceramic heater and manufacturing method for same |
| KR101918427B1 (en) * | 2014-10-31 | 2019-01-21 | 니혼도꾸슈도교 가부시키가이샤 | Ceramic heater and manufacturing method for same |
| CN107113923B (en) * | 2014-10-31 | 2021-04-09 | 日本特殊陶业株式会社 | Ceramic heater and method of making the same |
| US11096250B2 (en) | 2014-10-31 | 2021-08-17 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Ceramic heater and manufacturing method for same |
| JP2017009255A (en) * | 2015-06-26 | 2017-01-12 | 新熱工業株式会社 | Fluid heater |
| DE102017119473A1 (en) | 2017-08-25 | 2019-02-28 | Dbk David + Baader Gmbh | Fluid heater and method of making a fluid heater |
| WO2020075703A1 (en) * | 2018-10-09 | 2020-04-16 | 京セラ株式会社 | Heat exchange unit and cleaning device provided therewith |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3940149B2 (en) | 2007-07-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3784124B2 (en) | Ceramic sheathed heater and fluid heating apparatus using the same | |
| EP3282814B1 (en) | Heater | |
| JP4672597B2 (en) | Substrate processing equipment | |
| TWI480972B (en) | A wafer holding body for improving the connection method of the high-frequency electrode, and a semiconductor manufacturing apparatus including the same | |
| WO2010035687A1 (en) | Ceramic heater | |
| JP3940149B2 (en) | Fluid heating device | |
| JP7525569B2 (en) | Heat exchange unit and cleaning device equipped with same | |
| TWI643832B (en) | Ceramic components | |
| US11457513B2 (en) | Ceramic heating element | |
| JPWO2006068131A1 (en) | Ceramic heater, heat exchange unit, and warm water flush toilet seat | |
| CN104838724A (en) | heater | |
| JP3393798B2 (en) | Fluid heating device | |
| JP2005085657A (en) | Ceramic heater | |
| JP7344759B2 (en) | electrostatic chuck device | |
| CN109315020A (en) | Ceramic heater | |
| JP2017182910A (en) | heater | |
| JP7444946B2 (en) | heater | |
| JPWO2020054554A1 (en) | A heater and a tobacco heater equipped with it | |
| JP6102577B2 (en) | Corrosive liquid heating device | |
| JP2003100421A (en) | Ceramic heater | |
| JP6313155B2 (en) | heater | |
| JP6100633B2 (en) | heater | |
| JP6339413B2 (en) | heater | |
| JPH1154245A (en) | Ceramic heater | |
| JP6798812B2 (en) | heater |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050210 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060823 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060912 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061113 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070320 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070329 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110406 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110406 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120406 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120406 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130406 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130406 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140406 Year of fee payment: 7 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |