JP2005111617A - Cutting tool, cutting device, and manufacturing method for electronic component - Google Patents
Cutting tool, cutting device, and manufacturing method for electronic component Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005111617A JP2005111617A JP2003349774A JP2003349774A JP2005111617A JP 2005111617 A JP2005111617 A JP 2005111617A JP 2003349774 A JP2003349774 A JP 2003349774A JP 2003349774 A JP2003349774 A JP 2003349774A JP 2005111617 A JP2005111617 A JP 2005111617A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cutting
- electronic component
- cutting blade
- cutting tool
- processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims abstract description 377
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 26
- 238000000227 grinding Methods 0.000 claims abstract description 29
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 20
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 14
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 7
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 36
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 10
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
Description
本発明は、電子部品の切断及び研磨、研削等の切削加工に用いて好適な切削具、切削加工装置及び電子部品の製造方法に関する。 The present invention relates to a cutting tool, a cutting device, and an electronic component manufacturing method suitable for use in cutting such as cutting, polishing, and grinding of electronic components.
電子部品の製造において、一枚のシートや基板に多数の電子部品を構成した電子部品集合体を切断して分離することにより、個別の電子部品を得る方法が従来より多用されている。切断面を含む外形形状には、種々の形状が要求される。例えば、圧電振動子や水晶振動子等では、必要な特性を得るために素子端部に傾斜面が設けられたり、段部が形成される。 In the manufacture of electronic components, a method of obtaining individual electronic components by cutting and separating an electronic component assembly comprising a large number of electronic components on a single sheet or substrate has been frequently used. Various shapes are required for the outer shape including the cut surface. For example, in a piezoelectric vibrator, a crystal vibrator, etc., an inclined surface is provided at the end of the element or a step is formed in order to obtain necessary characteristics.
電子部品に傾斜面を形成する技術は、例えば特許文献1や特許文献2に開示されている。特許文献1は、電子部品素子に傾斜面としてのベベル面を形成するための研磨方法であって、ベベル面の形成されるべき主面に対して、目的とするベベル面の傾斜角度に応じた角度をなすように、砥石又は電子部品素子を、相対的に移動させて平面研磨する方法を開示している。
Techniques for forming an inclined surface on an electronic component are disclosed in, for example,
また、特許文献2は、圧電素子に傾斜面を形成する技術として、圧電材料よりなるマザー基板を準備し、V字状断面を有する第1回転砥石をマザー基板に対して相対移動させることにより、マザー基板の表面にV溝を加工し、マザー基板のV溝中心に沿って平板状の第2回転砥石を相対移動させることにより、マザー基板をV溝中心で切断する技術を開示している。
Further,
特許文献1に開示された技術は、別途電子部品素子の切断工程を必要とするため、工程が複雑になり、加工コスト高く、加工位置精度が悪いという問題がある。また、特許文献2に開示された技術は、傾斜面の加工工程と切断工程とを連続して処理できるが、傾斜面を形成するために、マザー基板の表面にV溝を加工する工程と、その後に、マザー基板をV溝中心で切断する二つの工程を含むため、特許文献1に開示された技術と同様の問題を含んでいる。
本発明の課題は、切断と研削加工が同時に行え、加工工程の複合化によるコストダウン、加工時間の短縮及び加工精度の向上が可能な電子部品加工用切削具、切削加工装置及び電子部品の製造方法を提供することである。 An object of the present invention is to manufacture an electronic component processing cutting tool, a cutting apparatus, and an electronic component that can perform cutting and grinding simultaneously, and can reduce costs, reduce processing time, and improve processing accuracy by combining processing steps. Is to provide a method.
本発明のもう一つの課題は、複雑な形状の研削加工が切断と同時に行える電子部品加工用切削具、切削加工装置及び電子部品の製造方法を提供することである。 Another object of the present invention is to provide an electronic component machining cutting tool, a cutting apparatus, and an electronic component manufacturing method that can perform grinding of a complicated shape simultaneously with cutting.
上述した課題を解決するため、本発明は、電子部品加工用切削具、切削加工装置及びそれを用いた電子部品の製造方法を開示する。 In order to solve the above-described problems, the present invention discloses a cutting tool for processing an electronic component, a cutting apparatus, and a method for manufacturing an electronic component using the same.
1.切削具
本発明に係る電子部品加工用切削具は、複数の切削刃と、回転軸とを含む。前記複数の切削刃は、円板形に形成され、円周で切削を行う回転切削刃であって、前記回転軸と同軸上に組み合わされる。前記複数の切削刃の内少なくとも一つの切削刃は、他の切削刃より大径に形成されている。
1. Cutting Tool The cutting tool for processing an electronic component according to the present invention includes a plurality of cutting blades and a rotating shaft. The plurality of cutting blades are rotary cutting blades that are formed in a disc shape and perform cutting on a circumference, and are combined coaxially with the rotation shaft. At least one of the plurality of cutting blades has a larger diameter than the other cutting blades.
上述した切削具において、複数の切削刃は、円板形に形成され、円周で切削を行う回転切削刃であって、回転軸と同軸上に組み合わされる。複数の切削刃の内少なくとも一つの切削刃は、他の切削刃より大径に形成されているから、大径に形成された切削刃が電子部品集合体をその厚み方向に貫通すれば、電子部品集合体である電子部品集合体を切断できる。すなわち、大径に形成された切削刃は切断用切削刃として機能し得る。 In the cutting tool described above, the plurality of cutting blades are rotary cutting blades that are formed in a disk shape and perform cutting on the circumference, and are combined coaxially with the rotation axis. At least one of the plurality of cutting blades is formed with a larger diameter than the other cutting blades, so if the cutting blade formed with a large diameter penetrates the electronic component assembly in the thickness direction, An electronic component assembly that is a component assembly can be cut. That is, the cutting blade formed with a large diameter can function as a cutting blade for cutting.
他の切削刃は、大径に形成された切削刃より小径であるため、電子部品集合体を表面から研削する。すなわち、他の切削刃は研削用切削刃として機能し得る。また、種々の異なった径、異なった厚みの切削刃を組み合わせれば、複雑な形状の研削加工が行える。複数の切削刃は、円板形に形成され、円周で切削を行う回転切削刃であって、回転軸と同軸上に組み合わされるから、電子部品集合体の切断と研削が同時に行える。 Since the other cutting blade has a smaller diameter than the cutting blade formed to have a large diameter, the electronic component assembly is ground from the surface. That is, the other cutting blade can function as a cutting blade for grinding. In addition, by combining cutting blades with various different diameters and thicknesses, it is possible to grind complex shapes. The plurality of cutting blades are rotary cutting blades that are formed in a disk shape and perform cutting on the circumference, and are combined coaxially with the rotation shaft, so that the electronic component assembly can be cut and ground simultaneously.
従って、本発明に係る電子部品加工用切削具によれば、切断と研削加工を同時に実行し、加工工程の複合化によるコストダウン、加工時間の短縮及び加工精度の向上が可能であり、また、複雑な形状の研削加工が切断と同時に行える。 Therefore, according to the cutting tool for electronic component processing according to the present invention, it is possible to simultaneously perform cutting and grinding processing, it is possible to reduce costs, reduce processing time and improve processing accuracy by combining processing steps, Complex shape grinding can be performed simultaneously with cutting.
2.切削加工装置
本発明に係る切削加工装置は、切削具と、加工テーブルと、駆動装置とを含む。前記切削具は、上述した本発明に係る切削具でなる。前記加工テーブルは、電子部品集合体を固定する固定手段を含む。前記駆動装置は、回転駆動手段と、移送手段とを含む。前記回転駆動手段は、前記回転軸を介して前記切削具を回転駆動する。前記移送手段は、前記切削具と、前記加工テーブルとを相対的に移動する。
2. Cutting device The cutting device according to the present invention includes a cutting tool, a processing table, and a drive device. The cutting tool is the cutting tool according to the present invention described above. The processing table includes a fixing means for fixing the electronic component assembly. The drive device includes a rotation drive unit and a transfer unit. The rotational driving means rotationally drives the cutting tool via the rotational shaft. The transfer means relatively moves the cutting tool and the processing table.
上述した切削加工装置において、加工テーブルは、電子部品集合体を固定する固定手段を含むから、電子部品集合体を加工テーブルに固定できる。駆動装置は、回転駆動手段と、移送手段とを含む。回転駆動手段は、回転軸を介して切削具を回転駆動する。移送手段は、切削具と加工テーブルとを相対的に移動するから、加工テーブルに固定された電子部品集合体を切削加工できる。 In the above-described cutting apparatus, the processing table includes fixing means for fixing the electronic component assembly, so that the electronic component assembly can be fixed to the processing table. The drive device includes a rotation drive means and a transfer means. The rotational drive means rotationally drives the cutting tool via the rotational shaft. Since the transfer means relatively moves the cutting tool and the processing table, the electronic component assembly fixed to the processing table can be cut.
切削具は、上述した本発明に係る切削具を用いるので、本発明に係る切削具による作用効果をそのまま得ることができる。 Since the cutting tool according to the present invention described above is used as the cutting tool, the effects of the cutting tool according to the present invention can be obtained as they are.
3.電子部品の製造方法
本発明に係る電子部品の製造方法は、電子部品集合体を切断、研削する加工工程を含む電子部品の製造方法であって、上述した本発明に係る切削加工装置を用いる工程を含んでいる。
3. Manufacturing method of electronic component The manufacturing method of an electronic component according to the present invention is a manufacturing method of an electronic component including a processing step of cutting and grinding an electronic component assembly, and using the above-described cutting apparatus according to the present invention. Is included.
前記電子部品集合体は、一枚の基板上に多数個の個別電子部品を行列状に配列したものである。前記加工工程は、前記電子部品集合体の固定工程と、行方向切断加工工程と、列方向切断加工工程とを含んでいる。前記電子部品集合体の固定工程は、前記電子部品集合体を電子部品集合体として前記加工テーブルに固定する工程を含む。前記行方向切断加工工程及び前記列方向切断加工工程の内の少なくとも一方は、前記研削工程を含む。前記研削工程を含む加工工程は、前記切削具を回転駆動しながら、前記切削具と前記加工テーブルとを相対的に移動し、前記大径に形成された切削刃で前記加工テーブルに固定された前記電子部品集合体を切断すると同時に、前記他の切削刃で前記電子部品集合体の上面を研削する。 The electronic component assembly is obtained by arranging a large number of individual electronic components in a matrix on a single substrate. The processing step includes a fixing step of the electronic component assembly, a row direction cutting step, and a column direction cutting step. The fixing step of the electronic component assembly includes a step of fixing the electronic component assembly as an electronic component assembly to the processing table. At least one of the row direction cutting process and the column direction cutting process includes the grinding process. In the processing step including the grinding step, the cutting tool and the processing table are relatively moved while the cutting tool is driven to rotate, and the cutting tool is fixed to the processing table with the cutting blade formed in the large diameter. Simultaneously with cutting the electronic component assembly, the upper surface of the electronic component assembly is ground with the other cutting blade.
上述した本発明に係る電子部品の製造方法において、行方向切断加工工程及び列方向切断加工工程のいずれも研削工程を含む場合は、行方向切断加工工程及び列方向切断加工工程のいずれも切削具を回転駆動しながら、切削具と加工テーブルとを相対的に移動し、大径に形成された切削刃で加工テーブルに固定された電子部品集合体を切断すると同時に、他の切削刃で電子部品集合体の上面を研削する。 In the electronic component manufacturing method according to the present invention described above, when both the row direction cutting step and the column direction cutting step include a grinding step, both the row direction cutting step and the column direction cutting step are cutting tools. While rotating the tool, the cutting tool and the processing table are moved relative to each other, and the electronic component assembly fixed to the processing table is cut with a cutting blade formed with a large diameter. Grind the top surface of the assembly.
行方向切断加工工程及び列方向切断加工工程のいずれか一方が、研削工程を含む場合は、研削工程を含む加工工程において、切削具を回転駆動しながら、切削具と加工テーブルとを相対的に移動し、大径に形成された切削刃で加工テーブルに固定された電子部品集合体を切断すると同時に、他の切削刃で電子部品集合体の上面を研削する。研削工程を含まない切断工程は、一般的な1枚刃の切削刃で切断することもできる。 When either one of the row direction cutting process and the column direction cutting process includes a grinding process, the cutting tool and the processing table are relatively moved while rotating the cutting tool in the processing process including the grinding process. The electronic component assembly fixed to the processing table is cut with a cutting blade having a large diameter, and the upper surface of the electronic component assembly is ground with another cutting blade. The cutting process which does not include a grinding process can be cut with a general one-blade cutting blade.
このように、本発明に係る電子部品の製造方法は、研削を必要とする電子部品集合体の切断と研削とを同時に行い、電子部品集合体から分離した個別の電子部品を得ることができる。本発明に係る電子部品の製造方法は、上述した本発明に係る切削加工装置を用いるので、本発明に係る切削加工装置による作用効果をそのまま得ることができる。 As described above, the method of manufacturing an electronic component according to the present invention can simultaneously cut and grind the electronic component assembly that requires grinding to obtain individual electronic components separated from the electronic component assembly. Since the manufacturing method of the electronic component according to the present invention uses the above-described cutting apparatus according to the present invention, the effects of the cutting apparatus according to the present invention can be obtained as they are.
本発明の他の目的、構成及び利点については、添付図面を参照し、更に詳しく説明する。但し、添付図面は、単なる例示に過ぎない。 Other objects, configurations and advantages of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. However, the attached drawings are merely examples.
以上述べたように、本発明によれば次のような効果を得ることができる。 As described above, according to the present invention, the following effects can be obtained.
(a)切断と研削加工が同時に行え、加工工程の複合化によるコストダウン、加工時間の短縮及び加工精度の向上が可能な電子部品加工用切削具、切削加工装置及び電子部品の製造方法を提供することができる。 (A) A cutting tool for electronic component processing, a cutting device, and a method for manufacturing an electronic component capable of simultaneously cutting and grinding, reducing costs by combining processing steps, reducing processing time, and improving processing accuracy. can do.
(b)複雑な形状の研削加工が切断と同時に行える電子部品加工用切削具、切削加工装置及び電子部品の製造方法を提供することができる。 (B) It is possible to provide a cutting tool for machining an electronic component, a cutting device, and a method for producing an electronic component, which can perform grinding with a complicated shape simultaneously with cutting.
1.電子部品加工用切削具
図1は本発明に係る電子部品加工用切削具の一実施例を示す斜視図、図2は図1に図示した切削具の正面図、図3は図1に図示した切削具の分解図である。図示実施例の切削具は切削刃1、2と、回転軸6とを含む。
1. FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a cutting tool for processing electronic parts according to the present invention, FIG. 2 is a front view of the cutting tool shown in FIG. 1, and FIG. 3 is shown in FIG. It is an exploded view of a cutting tool. The cutting tool of the illustrated embodiment includes cutting
切削刃1、2は、円板形に形成され、円周面10、20で切削を行う回転切削刃である。切削刃1、2の内少なくとも一つの切削刃は、他の切削刃より大径に形成されている。本実施例では、2枚の切削刃1、2を含み、切削刃1が切削刃2より大径に形成されている。大径に形成された切削刃1は、円周面10の厚みが薄く、切断用切削刃として機能する。切削刃2は、一面21が大径に形成され、他面22が小径に形成されている。切削刃2は切削刃1との対比において、円周面20の厚みが相対的に厚く、その厚み方向に傾斜面を有しており、主として円周面20で研削を行うベベル加工用切削刃として機能する。
The
切削刃1、2は、その中心が回転軸6と同軸上に組み合わされ、フランジ7で固定される。具体的には、切削刃2の一面21が、大径に形成された切削刃1の片面に接して組み合わされる。
The centers of the
次に、本発明に係る電子部品加工用切削具を用いた加工方法について、図4〜図6を参照して説明する。図4は図1〜図3に図示した切削具を用いた加工状態を示す正面図、図5は加工後の状態を示す斜視図、図6は分離された電子部品を示す斜視図である。 Next, a processing method using the electronic component processing cutting tool according to the present invention will be described with reference to FIGS. 4 is a front view showing a machining state using the cutting tool shown in FIGS. 1 to 3, FIG. 5 is a perspective view showing a state after machining, and FIG. 6 is a perspective view showing separated electronic components.
まず、図4を参照すると、図1〜図3に図示した切削具100を、矢印F1で示す方向に回転させ、同一の圧電セラミック基板の上に、多数の電子部品要素80を行列状に配列した電子部品集合体8を、隣接する電子部品要素80の間で切断する。電子部品集合体8は、粘着シ−ト93等を用いて、加工テ−ブル94の上に固定されている。切削具100による切削加工は、まず、行、列方向の何れか一方、例えば列方向に沿って実行される。
First, referring to FIG. 4, the
切削具100は、切断用切削刃として機能する大径に形成された切削刃1と、ベベル加工用切削刃として機能する切削刃2とを含む。切削刃2は、一面21が大径に形成され、他面22が小径に形成され、円周面20の厚みが相対的に厚く、その厚み方向に傾斜面を有している。切削刃2は、その一面21が、大径に形成された切削刃1の片面に接して、それぞれの切削刃1、2の中心が回転軸6と同軸上に組み合わされる。
The
このため、大径に形成された切削刃1の円周面10が粘着シート93に達し、電子部品集合体8が列方向に切断される。切削刃2は、切断溝95の片側において、その外周面20により、電子部品集合体8に含まれる電子部品要素80の上面を研削加工する。従って、図4に示すように、電子部品要素80は、その列方向にベベル面81が形成される。電子部品要素80の切断とベベル面81の形成は同時に行われる。
For this reason, the
この後、行方向に切断することにより、図5及び図6に示すように、方形体の一辺にベベル面81を設けた7面体の電子部品80が得られる。電子部品要素80の行方向の切断は、ベベル研削加工を要しない場合は、一般的な一枚構成の切削刃を用いて実行することができる。
Thereafter, by cutting in the row direction, as shown in FIGS. 5 and 6, a seven-sided
上述したように、本発明に係る切削具100によれば、切断と研削加工が同時に行え、加工工程の複合化によるコストダウン、加工時間の短縮及び加工精度の向上が可能であり、また、複雑な形状の研削加工が切断と同時に行うことができる。
As described above, according to the
本発明において、切削の対象となる電子部品集合体の材質は特に限定されない。切削刃1、2の材質は従来から知られている種々の材質の中から電子部品集合体に適したものを選択して用いることができる。例えば、電子部品の材料となるアルミナや他のセラミックス、更には金属や樹脂で構成された基板に対しては、切削刃1、2の円周面10、20にレジンで固めたダイヤモンド砥粒を固着した砥石等が適している。
In the present invention, the material of the electronic component assembly to be cut is not particularly limited. As the material of the
切削刃1、2の表面粗さは互いに異なっていてもよい。切削刃1、2の表面粗さをそれぞれ独立して設定することにより、電子部品集合体のそれぞれの加工面の表面粗さを任意に設定できる。切削刃1、2の表面粗さは砥粒の粒度によって任意に設定可能である。また、焼成前のセラミックグリーンシートの如く、比較的柔らかな電子部品集合体に対しては、切断用切削刃1の円周面10を鋭利に形成したカッターとして構成してもよい。
The surface roughness of the
図7は本発明に係る切削具の他の実施例を示す図である。図において、図1〜図3に現れた構成部分と同一の構成部分については、同一の参照符号を付してある。図7に図示した切削具は、大径に形成された切削刃1の両側面にベベル加工用切削刃2が組み合わされており、電子部品集合体8を、例えば、列方向に切断する。
FIG. 7 is a view showing another embodiment of the cutting tool according to the present invention. In the figure, the same components as those shown in FIGS. 1 to 3 are denoted by the same reference numerals. The cutting tool shown in FIG. 7 has cutting
図8は図7に示した切削具を用いた加工方法を示す図、図9は図8の加工工程を経て得られた状態を示す図である。図7に図示した切削具は、大径に形成された切削刃1の両側面にベベル加工用切削刃2が組み合わされているから、この切削具100を用いて、電子部品集合体8を、例えば、列方向に切断した場合、図8に示すように、切断溝95の両側に同時にベベル面81を付与することができる。これにより、図9に示すように、電子部品要素80ごとに、相対する両辺にベベル面81を有することになる。この後、行方向Y1−Y1に切断することにより、所望の個別電子部品が得られる。
FIG. 8 is a diagram showing a machining method using the cutting tool shown in FIG. 7, and FIG. 9 is a diagram showing a state obtained through the machining process of FIG. Since the cutting tool illustrated in FIG. 7 is combined with the
図10は、本発明に係る切削具の別の実施例とそれを用いた加工方法を示す図、図11は図10の加工工程を経て得られた状態を示す図である。図10に図示された切削具100は、大径に形成された切削刃1と、ベベル加工用切削刃2とを含むとともに、更に、ベベル加工用切削刃2とは異なる第2のベベル加工用切削刃3を含んでいる。それぞれのベベル加工用切削刃2、3は、円周面20、30に、互いに異なる角度の傾斜面を有している。第2のベベル加工用切削刃3の一面は、ベベル加工用切削刃2の他面に対し、同一径で、接して組み合わされる。第2のベベル加工用切削刃3の他面は一面より小径に形成されている。
FIG. 10 is a view showing another embodiment of the cutting tool according to the present invention and a processing method using the same, and FIG. 11 is a view showing a state obtained through the processing steps of FIG. The
図10に図示した切削具は、大径に形成された切削刃1と、ベベル加工用切削刃2とを含むとともに、更に、ベベル加工用切削刃2とは異なる第2のベベル加工用切削刃3を含んでいるから、この切削具100を用いて、電子部品集合体8を、例えば、列方向に切断した場合、図10に示すように、切断溝95の両側に、傾斜角が途中で異なるベベル面81を付与することができる。これにより、図11に示すように、電子部品要素80ごとに、相対する両辺に、傾斜角が途中で異なるベベル面81を有することになる。この後、行方向Y1−Y1に切断することにより、所望の個別電子部品が得られる。
The cutting tool illustrated in FIG. 10 includes a
図12は、本発明に係る切削具の更に別の実施例と、それを用いた加工方法を示す図、図13は図12の加工工程を経て得られた状態を示す図である。図12に図示した切削具は、大径に形成された切削刃1を含み、更に、切削刃1の両側にそれぞれ4枚一組の段差加工用切削刃41、42、43、44を含んでいる。段差加工用切削刃41〜44のそれぞれは、互いに異なる径で構成され、それぞれの円周面410〜440は、傾斜を持たない。段差加工用切削刃41〜44は、切削刃1を基準にして、径の大きい順に順次組み合わされている。
FIG. 12 is a view showing still another embodiment of the cutting tool according to the present invention and a processing method using the same, and FIG. 13 is a view showing a state obtained through the processing steps of FIG. The cutting tool illustrated in FIG. 12 includes a
図12に図示した切削具及びそれを用いた加工方法によれば、図13に図示するように、切断溝95の両側に四つの段差82を有する切削加工が行える。段差加工用切削刃の数は4枚に限らず、形成する段差の数によって、任意の枚数を用いることができる。また、段差加工用切削刃とベベル加工用切削刃とを組み合わせることもできる。
According to the cutting tool shown in FIG. 12 and a processing method using the same, cutting having four
図14は、本発明に係る切削具の更に別の実施例と、それを用いた加工方法を示す図、図15は図14の加工工程を経て得られた状態を示す図である。図14に図示した切削具は、大径に形成された切削刃1を含み、更に、切削刃1の両側にそれぞれ段差加工用切削刃41とスリット加工用切削刃5とを含んでいる。スリット加工用切削刃5は、その径が、大径に形成された切削刃1の径より小さく、段差加工用切削刃41の径より大きく形成され、その厚みが、段差加工用切削刃41の厚みより薄く形成される。段差加工用切削刃41は、その一面が大径に形成された切削刃1の両面にそれぞれ接して組み合わされる。スリット加工用切削刃5は、その一面が、段差加工用切削刃41の他面に接して組み合わされる。
FIG. 14 is a view showing still another embodiment of the cutting tool according to the present invention and a processing method using the same, and FIG. 15 is a view showing a state obtained through the processing steps of FIG. The cutting tool illustrated in FIG. 14 includes a
図14に図示した切削具及び加工方法によれば、図15に図示したように、切断溝95の両側に段差82とスリット83とを有する切削加工が行える。
According to the cutting tool and the processing method illustrated in FIG. 14, as illustrated in FIG. 15, the cutting process having the
図7乃至図14に図示した切削具においても、図1乃至図3に図示した切削具と同様に、切断と研削加工が同時に行え、切削刃の交換容易性や加工工程の複合化によるコストダウン、加工時間の短縮及び加工精度の向上が可能であり、また、複雑な形状の研削加工が切断と同時に行える。また、切削の対象となる電子部品集合体の材質や切削刃の材質は特に限定されず、それぞれの切削刃の表面粗さも任意に設定できる。 The cutting tool shown in FIGS. 7 to 14 can perform cutting and grinding simultaneously at the same time as the cutting tool shown in FIGS. 1 to 3, and the cost can be reduced due to the ease of exchanging cutting blades and the combination of processing steps. In addition, the processing time can be shortened and the processing accuracy can be improved, and the grinding of a complicated shape can be performed simultaneously with the cutting. Moreover, the material of the electronic component assembly to be cut and the material of the cutting blade are not particularly limited, and the surface roughness of each cutting blade can be arbitrarily set.
2.切削加工装置
図16は、本発明に係る切削加工装置と、その使用状態を示す図、図17は図16に示した切削加工装置の一部拡大図である。図において、図1〜図15と同一参照符号は同一構成部分を示している。
2. Cutting Device FIG. 16 is a diagram showing a cutting device according to the present invention and a usage state thereof, and FIG. 17 is a partially enlarged view of the cutting device shown in FIG. In the figure, the same reference numerals as those in FIGS. 1 to 15 denote the same components.
本実施例に係る切削加工装置9は、切削具100と、加工テーブル94と、駆動装置とを含む。切削具100は、これまで説明したものを、全て用いることができる。図示実施例の切削具100は、図7に図示した切削具100でなり、大径に形成された切削刃1の両側面にベベル加工用切削刃2が組み合わされている。
The
加工テーブル94は、電子部品集合体8を固定する固定手段を含む。固定手段は、真空吸着やその他の固定手段が採用でき、切削刃1の切り代を確保するための片面粘着シート93を両面粘着シートに変更することで代用することもできる。
The processing table 94 includes fixing means for fixing the
駆動装置は、回転駆動手段96と、移送手段97とを含む。回転駆動手段96は、回転軸6を介して切削具100を回転駆動する。移送手段97は、切削具100と、加工テーブル94とを相対的に移動する。
The drive device includes a rotation drive means 96 and a transfer means 97. The rotation driving means 96 rotates the
上述した切削加工装置において、加工テーブル94は、電子部品集合体8を固定する固定手段を含むから、電子部品集合体8を、粘着シート93を介して加工テ−ブル94に固定できる。
In the above-described cutting apparatus, the processing table 94 includes fixing means for fixing the
駆動装置は、回転駆動手段96と、移送手段97とを含む。回転駆動手段96は、回転軸6を介して切削具100を回転駆動する。移送手段97は、切削具100と、加工テーブル94とを相対的に移動するから、加工テーブル94に固定された電子部品集合体8を切削加工できる。切削具100は、図7に図示した切削具100を用いるので、図8に図示したように、切断溝95の両側にベベル面81を有する切削加工が行える。
The drive device includes a rotation drive means 96 and a transfer means 97. The rotation driving means 96 rotates the
本実施例に係る切削加工装置9は、本発明に係る切削具100を用いるので、本発明に係る切削具による作用効果をそのまま得ることができる。
Since the
3.電子部品の製造方法
次に、図18乃至図21を参照して本発明の電子部品の製造方法について説明する。この製造方法は、図16、図17に図示した切削加工装置を用いて実行される。図18は、切削加工前の電子部品集合体8を示す正面図であって、片面粘着シート93が貼りつけられている。図19は、切削加工前の切削加工装置9を示す正面図であって、加工対象となる電子部品集合体8も合わせて示されている。図20は、切削加工後の電子部品集合体8を示す正面図である。図21は、分離された個別電子部品を示す正面図である。
3. Next, a method for manufacturing an electronic component according to the present invention will be described with reference to FIGS. This manufacturing method is executed using the cutting apparatus shown in FIGS. FIG. 18 is a front view showing the
本発明に係る電子部品の製造方法は、電子部品集合体8を切断、研削する切削加工工程を含む電子部品の製造方法であって、上述した本発明に係る切削加工装置9を用いる工程を含んでいる。
The method for manufacturing an electronic component according to the present invention is a method for manufacturing an electronic component including a cutting process for cutting and grinding the
電子部品集合体8は、上面と下面とを含み、圧電セラミック基板のように、面方向に行列状に切断分離されることにより多数の圧電セラミック素子を提供するものや、電子部品集合基板のように、多数個の個別電子部品が面方向に行列状に一体化して配列形成されているものであってもよく、その種類は特に限定されない。
The
切削加工工程は、電子部品集合体8の固定工程と、その後の行方向切断加工工程と、その後の列方向切断加工工程と、研削工程とを含んでいる。
The cutting process includes a fixing process of the
電子部品集合体8の固定工程では、始めに、図18に示すように、電子部品集合体8の下面に片面粘着シート93が貼りつけられる。片面粘着シート93は、切削刃1の切り代を確保し、切断後の電子部品集合体8を一体に保持する。粘着シート93が貼りつけられた電子部品集合体8は、図19に示すように、粘着シート93側を接して加工テーブル94上に載置される。加工テーブル94は、電子部品集合体8を固定する固定手段として、真空吸着等を含むから、電子部品集合体8を加工テーブル94に固定できる。その後の行方向切断加工工程では、図17に示すように、加工具100の切削刃1が粘着シート93に達する加工位置まで下げられる。
In the fixing process of the
次に、図16に示すように、切削具100を回転手段96により回転駆動しながら、移送手段97により加工テーブル94を矢印F2の方向に水平移動し、切削具100と、加工テーブル94とを、電子部品集合体8の行方向に相対的に移動する。加工テーブル94の水平移動によって、電子部品集合体8は、切削刃1で行方向に切断されると同時に、ベベル加工用切削刃2でその上面が研削される。すなわち、行方向切断加工工程は、研削工程を含み、両者は同時に実行される。
Next, as shown in FIG. 16, while the
加工具100が電子部品集合体8の行方向終端部に達した後は、加工具100が上方の待機位置まで上げられる。この時点で最初の行方向の切断加工と研削加工とが完了する。その後、加工テーブル94は矢印F2と反対方向に水平移動し、切削具100が次の行方向切断加工位置まで移動し、次の行方向切断加工工程に移行する。以上の動作を繰り返し、行方向切断加工工程が完了すると、列方向切断加工工程に移行する。
After the
列方向切断加工工程は、加工テーブル94を90度回転させた後に、行方向切断加工工程と同様に行われる。列方向切断加工工程も、研削工程を含み、両者は同時に実行される。行列方向に切断加工が行われた電子部品集合体8は、図20に示すように、行列方向に切断部を有し、その両側にベベル面81が形成され、電子部品集合体8から分離することにより、図21に示すような、方形体の上面の四方向にベベル面81が形成された10面体の個別電子部品80が得られる。
The column direction cutting process is performed in the same manner as the row direction cutting process after the processing table 94 is rotated 90 degrees. The row-direction cutting process also includes a grinding process, and both are executed simultaneously. As shown in FIG. 20, the
本発明の電子部品の製造方法は、本発明に係る切削加工装置を用いるので、本発明に係る切削加工装置による作用効果をそのまま得ることができる。 Since the method for manufacturing an electronic component according to the present invention uses the cutting apparatus according to the present invention, the effects of the cutting apparatus according to the present invention can be obtained as they are.
以上、好ましい実施例を参照して本発明を詳細に説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、当業者であれば、その基本的技術思想および教示に基づき、種々の変形例を想到できることは自明である。 The present invention has been described in detail with reference to the preferred embodiments. However, the present invention is not limited to these embodiments, and various modifications can be made by those skilled in the art based on the basic technical idea and teachings. It is self-evident that
1、2、3、41〜44、5 切削刃
6 回転軸
8 電子部品集合体
80 個別電子部品
9 切削加工装置
91 加工テーブル
96 回転駆動手段
97 移送手段
100 切削具
1, 2, 3, 41-44, 5 Cutting blade
6 Rotating shaft
8 Electronic component assembly
80 Individual electronic components
9 Cutting equipment
91 Machining table
96 Rotation drive means
97 Transport means
100 cutting tool
Claims (11)
前記複数の切削刃は、円板形に形成され、円周で切削を行う回転切削刃であって、中心が前記回転軸と同軸上に組み合わされ、
前記複数の切削刃の内少なくとも一つの切削刃は、他の切削刃より大径に形成されている
切削具。 A cutting tool for processing electronic parts including a plurality of cutting blades and a rotating shaft,
The plurality of cutting blades are rotary cutting blades that are formed in a disk shape and perform cutting on the circumference, and the centers are combined coaxially with the rotation axis,
A cutting tool in which at least one of the plurality of cutting blades is formed to have a larger diameter than the other cutting blades.
前記他の切削刃は、ベベル加工用切削刃を含み、
前記ベベル加工用切削刃は、一面が大径に形成され、他面が小径に形成され、円周面がその厚み方向に傾斜面を有しており、前記一面が、前記大径に形成された切削刃に接して組み合わされている
切削具。 The cutting tool according to any one of claims 1 to 3,
The other cutting blade includes a bevel cutting blade,
The bevel processing cutting blade has one surface formed in a large diameter, the other surface formed in a small diameter, a circumferential surface having an inclined surface in the thickness direction, and the one surface formed in the large diameter. Cutting tool that is combined in contact with the cutting blade.
前記他の切削刃は、更に、第2のベベル加工用切削刃を含み、
それぞれのベベル加工用切削刃は、前記円周面に、互いに異なる角度の傾斜面を有しており、
前記第2のベベル加工用切削刃の一面は、前記ベベル加工用切削刃の他面と同一径に形成され、
前記ベベル加工用切削刃の他面に接して組み合わされている
切削具。 The cutting tool according to claim 4, wherein
The other cutting blade further includes a second beveling cutting blade,
Each of the beveling cutting blades has inclined surfaces with different angles on the circumferential surface,
One surface of the second beveling cutting blade is formed to have the same diameter as the other surface of the beveling cutting blade,
A cutting tool combined in contact with the other surface of the cutting blade for bevel processing.
前記他の切削刃は、段差加工用切削刃を含み、
前記段差加工用切削刃は、両面が同一径で、円周面がその厚み方向に平坦に構成され、一面が、前記大径に形成された切削刃に接して組み合わされている
切削具。 The cutting tool according to any one of claims 1 to 3,
The other cutting blade includes a step cutting cutting blade,
The cutting tool for level difference machining is a cutting tool in which both surfaces have the same diameter, a circumferential surface is formed flat in the thickness direction, and one surface is combined in contact with the cutting blade formed in the large diameter.
前記他の切削刃は、更に、スリット加工用切削刃を含み、
前記スリット加工用切削刃は、その径が、前記大径に形成された切削刃の径より小さく、前記段差加工用切削刃の径より大きく形成され、その厚みが、前記段差加工用切削刃の厚みより薄く形成され、一面が、前記段差加工用切削刃に接して組み合わされている
切削具。 The cutting tool according to claim 6,
The other cutting blade further includes a slit cutting blade,
The slit cutting blade has a diameter smaller than that of the large cutting blade and larger than that of the step machining cutting blade. A cutting tool that is formed thinner than the thickness, and one surface is combined in contact with the step-cutting cutting blade.
前記切削具は、請求項1乃至9の何れかに記載されたものでなり、
前記加工テーブルは、電子部品集合体を固定する固定手段を含み、
前記駆動装置は、回転駆動手段と、移送手段とを含み、
前記回転駆動手段は、前記回転軸を介して前記切削具を回転駆動し、
前記移送手段は、前記切削具と、前記加工テーブルとを相対的に移動する
切削加工装置。 A cutting device including a cutting tool, a processing table, and a drive device,
The cutting tool is described in any one of claims 1 to 9,
The processing table includes a fixing means for fixing the electronic component assembly,
The drive device includes a rotation drive means and a transfer means,
The rotational drive means rotationally drives the cutting tool via the rotational shaft,
The transfer device is a cutting device that relatively moves the cutting tool and the processing table.
請求項10に記載された切削加工装置を含み、
前記電子部品集合体は、一枚の基板上に多数個の個別電子部品を行列状に配列したものであり、
前記加工工程は、前記電子部品集合体の固定工程と、行方向切断工程と、列方向切断工程とを含み、
前記電子部品集合体の固定工程は、前記電子部品集合体を前記加工テーブルに固定する工程を含み、
前記行方向切断工程及び前記列方向切断工程の内の少なくとも一方は、前記研削工程を含み、前記研削工程を含む加工工程は、前記切削具を回転駆動しながら、前記切削具と前記加工テーブルとを相対的に移動し、前記大径に形成された切削刃で前記加工テーブルに固定された前記電子部品集合体を切断すると同時に、前記他の切削刃で前記電子部品集合体の上面を研削する
ステップを含む電子部品の製造方法。 An electronic component manufacturing method including a processing step of cutting and grinding an electronic component assembly,
A cutting device according to claim 10,
The electronic component assembly is a plurality of individual electronic components arranged in a matrix on a single substrate,
The processing step includes a fixing step of the electronic component assembly, a row direction cutting step, and a column direction cutting step,
The step of fixing the electronic component assembly includes a step of fixing the electronic component assembly to the processing table,
At least one of the row direction cutting step and the column direction cutting step includes the grinding step, and the processing step including the grinding step includes rotating the cutting tool while driving the cutting tool and the processing table. The electronic component assembly fixed to the processing table is cut with the cutting blade formed with a large diameter, and the upper surface of the electronic component assembly is ground with the other cutting blade. A method of manufacturing an electronic component including steps.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003349774A JP2005111617A (en) | 2003-10-08 | 2003-10-08 | Cutting tool, cutting device, and manufacturing method for electronic component |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003349774A JP2005111617A (en) | 2003-10-08 | 2003-10-08 | Cutting tool, cutting device, and manufacturing method for electronic component |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2005111617A true JP2005111617A (en) | 2005-04-28 |
Family
ID=34541549
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003349774A Withdrawn JP2005111617A (en) | 2003-10-08 | 2003-10-08 | Cutting tool, cutting device, and manufacturing method for electronic component |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2005111617A (en) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010230546A (en) * | 2009-03-27 | 2010-10-14 | A & D Co Ltd | Load cell, and method for manufacturing of resilient member for the load cell |
| JP2017137090A (en) * | 2016-02-03 | 2017-08-10 | アイロップ株式会社 | Manufacturing method of cushioning material and cushioning material |
| JP2019012714A (en) * | 2017-06-29 | 2019-01-24 | 株式会社ディスコ | Manufacturing method of semiconductor package |
| CN109427631A (en) * | 2017-08-30 | 2019-03-05 | 株式会社迪思科 | The processing method of multitool cutter and machined object |
| JP2020093359A (en) * | 2018-12-14 | 2020-06-18 | 川崎重工業株式会社 | Work robot and unnecessary part scraping device equipped with it |
| CN117260400A (en) * | 2023-10-13 | 2023-12-22 | 哈尔滨工业大学 | A dry grinding processing method for grinding fused quartz rotary body parts with a small diameter ball head grinding wheel |
-
2003
- 2003-10-08 JP JP2003349774A patent/JP2005111617A/en not_active Withdrawn
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010230546A (en) * | 2009-03-27 | 2010-10-14 | A & D Co Ltd | Load cell, and method for manufacturing of resilient member for the load cell |
| JP2017137090A (en) * | 2016-02-03 | 2017-08-10 | アイロップ株式会社 | Manufacturing method of cushioning material and cushioning material |
| JP2019012714A (en) * | 2017-06-29 | 2019-01-24 | 株式会社ディスコ | Manufacturing method of semiconductor package |
| TWI752239B (en) * | 2017-06-29 | 2022-01-11 | 日商迪思科股份有限公司 | Manufacturing method of semiconductor package |
| CN109427631A (en) * | 2017-08-30 | 2019-03-05 | 株式会社迪思科 | The processing method of multitool cutter and machined object |
| JP2020093359A (en) * | 2018-12-14 | 2020-06-18 | 川崎重工業株式会社 | Work robot and unnecessary part scraping device equipped with it |
| JP7197859B2 (en) | 2018-12-14 | 2022-12-28 | 川崎重工業株式会社 | Work robot and waste scraping device equipped with it |
| CN117260400A (en) * | 2023-10-13 | 2023-12-22 | 哈尔滨工业大学 | A dry grinding processing method for grinding fused quartz rotary body parts with a small diameter ball head grinding wheel |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI418442B (en) | End face working device for glass substrate and end face working method thereof | |
| CN106346365B (en) | Dressing tool and method for forming tip end of cutting tool using the same | |
| JP2017154240A (en) | Work processing device | |
| JP2005111617A (en) | Cutting tool, cutting device, and manufacturing method for electronic component | |
| JP2009297862A (en) | Polishing tool | |
| US20090104853A1 (en) | Method of manufacturing disk substrate | |
| JP2012187692A (en) | Dressing material and dressing method | |
| JP2007030119A (en) | Wafer chamfering device and wafer chamfering method | |
| JP6608604B2 (en) | Chamfered substrate and method for manufacturing liquid crystal display device | |
| JP2003048166A (en) | Grinding wheel | |
| JP2007044853A (en) | Method and apparatus for chamfering wafer | |
| JP6590049B2 (en) | End face processing equipment for plate | |
| JP2007152440A (en) | Processing method of hard and brittle materials | |
| JP2007061978A (en) | Truing method for wafer chamfering grinding wheel and wafer chamfering device | |
| JP2016190284A (en) | Manufacturing method of chamfered baseboard and chamfering device used in the same | |
| JP2000349048A (en) | Manufacture of quartz crystal piece | |
| JPH085020Y2 (en) | Polishing tool | |
| JP2004042215A (en) | Polishing whetstone, cutting surface mirror finishing device, cutting surface mirror finishing method | |
| JPH02180554A (en) | Method and device for notch grinding of semiconductor wafer | |
| JP2007313620A (en) | Double-head grinder | |
| JP6609847B2 (en) | End face processing equipment for plate | |
| WO2014192590A1 (en) | Semiconductor wafer polishing device, semiconductor wafer manufacturing method, and semiconductor wafer polishing method | |
| JP2008023690A (en) | Truing method for wafer chamfering grinding wheel and wafer chamfering device | |
| JPH04261768A (en) | Double-side lapping device | |
| JPH10217077A (en) | Work method and work device of disk substrate |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20070109 |