JP2005154770A - 真空紫外線を励起源とする発光素子用緑色蛍光体，その製造方法及びこれを含む発光素子 - Google Patents

Abstract

【課題】 放電特性が優れると共に熱，イオン衝撃，及び真空紫外線照射に対して非常に安定した真空紫外線を励起源とする発光素子用緑色蛍光体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 真空紫外線を励起源とする発光素子用緑色蛍光体，発光素子用緑色蛍光体の製造方法及び発光素子用緑色蛍光体を含む発光素子に関して，上記緑色蛍光体は下記の化学式１で表示される。

上記化学式１において，ＡはＭｇ，Ｚｎ，Ｃａ，及びＬｉからなる群より選択される元素であり，ＢはＡｌ及びＧａからなる群より選択される元素であり，０．６≦ｘ≦１．４，０．０１≦ｙ≦０．１である。
【選択図】 図４

Description

本発明は，真空紫外線を励起源とする発光素子用緑色蛍光体，その発光素子用緑色蛍光体を製造する製造方法，及び発光素子用緑色蛍光体を含む発光素子に関する。

真空紫外線を励起源とする発光素子のうちの蛍光ディスプレイパネル，特にプラズマディスプレイパネル（Ｐｌａｓｍａ ｄｉｓｐｌａｙ ｐａｎｅｌ）はガラス基板の間に封入されたＮｅとＸｅの混合ガスの放電によって生成された紫外線による発光を利用したディスプレイである。この時，それぞれの蛍光体はＸｅイオンの共鳴放射光（１４７ｎｍ真空紫外線）によって可視光を発生する。プラズマディスプレイパネルに用いられる蛍光体はプラズマディスプレイパネルの開発初期から用いられてきたＣＲＴ蛍光体や蛍光灯などの蛍光体応用製品に用いられてきた蛍光材料を改良する方向に検討が進められてきた。蛍光体がプラズマディスプレイパネルに用いられるためには発光輝度，発光効率及び色純度が優れると共に残光時間が短くなければならず，特に熱や紫外線による蛍光体の劣化が起こってはいけない。

現在プラズマディスプレイパネル用緑色蛍光体としてはＺｎ_２ＳｉＯ_４：Ｍｎ（Ｐ１）が主に用いられている。Ｚｎ_２ＳｉＯ_４：Ｍｎは発光輝度が優れている反面，プラズマディスプレイパネルに用いられる青色又は赤色蛍光体に比べて相対的に残光時間が長く真空紫外線に対する発光輝度が速く飽和（ｓａｔｕｒａｔｉｏｎ）する短所がある。また，誘電常数が青色や赤色蛍光体に比べて高いためプラズマディスプレイパネル駆動時に放電開示電圧が高くなる致命的な短所がある。したがって，プラズマディスプレイパネルの要求条件を全て満足させる新たな組成の緑色蛍光体を開発するための多くの研究が行われている。

このような新たな組成の蛍光体の中の代表的なものにはＭｎを賦活剤とした磁鉛鉱（マグネトプラムバイト：ｍａｇｎｅｔｏｐｌｕｍｂｉｔｅ（ＡＢ_１２Ｏ_１９））やベータアルミナ構造を有するアルカリ土類金属アルミネート（ａｌｋａｌｉｎｅ ｅａｒｔｈ ａｌｕｍｉｎａｔｅ）系統として，バリウムアルミネート（ＢａＡｌ_１２Ｏ_１９：Ｍｎ，例えば，特許文献１，特許文献２，及び特許文献３，参照）やバリウムまたはストロンチウムマグネシウムアルミネート（（Ｂａ，Ｓｒ）ＭｇＡｌ_１４Ｏ_２３：Ｍｎ，例えば，特許文献４，参照）などがある。

米国特許第４０８５３５１号明細書 米国特許第６４２３２４８号明細書 米国特許第５８６８９６３号明細書 欧州特許出願公開第０９０８５０２Ａ１号公報

しかしながら，このような蛍光体は色純度及び残光特性はＺｎ_２ＳｉＯ_４：Ｍｎ蛍光体に比べて優れているが，発光輝度が相対的に非常に低く真空紫外線及び熱による劣化が激しいためディスプレイの寿命を低下させてしまうという問題があった。

本発明は，上記問題点に鑑みてなされたものであり，本発明の目的は，放電特性が優れると共に熱，イオン衝撃，及び真空紫外線照射に対して非常に安定した真空紫外線を励起源とする発光素子用緑色蛍光体及びその発光素子用緑色蛍光体の製造方法を提供することである。

上記課題を解決するため，本発明の第１の観点によれば，下記の化学式１で表示される，真空紫外線を励起源とする発光素子用緑色蛍光体を提供する。

上記化学式１において，ＡはＭｇ，Ｚｎ，Ｃａ，及びＬｉからなる群より選択される元素であり，ＢはＡｌ及びＧａからなる群より選択される元素であり，０．６≦ｘ≦１．４，０．０１≦ｙ≦０．１である。

また，上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，マンガン系化合物，マグネシウム化合物，アルミニウム化合物，及び融剤を均一に混合する段階と，混合物を１次熱処理する段階と，１次熱処理を経た混合物を還元雰囲気で２次熱処理する段階とを含む真空紫外線を励起源とする発光素子用緑色蛍光体の製造方法を提供する。

また，緑色蛍光体が下記の化学式２を有するように構成してもよい。

上記化学式２において，ｘとｙの範囲は，０．６≦ｘ≦１．４，０．０１≦ｙ≦０．１である。

光体の粒度が１〜５μｍの範囲にあるように構成してもよく，上記蛍光体はスピネル構造を有するように構成してもよい。

また，上記蛍光体は４〜９ｍｓの残光時間を有するように構成してもよく，蛍光体は，１４７ｎｍと１７３ｎｍの紫外線を励起源とする場合，５１５〜５２５ｎｍの範囲で緑色の発光バンドを示すように構成してもよい。

また，上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，下記の化学式１で表示される緑色蛍光体を含む，真空紫外線を励起源とする発光素子が提供される。

上記化学式１において，ＡはＭｇ，Ｚｎ，Ｃａ，及びＬｉからなる群より選択される元素であり，ＢはＡｌ及びＧａからなる群より選択される元素であり，０．６≦ｘ≦１．４，０．０１≦ｙ≦０．１である。

また，上記緑色蛍光体が下記の化学式２を有するように構成してもよい。

上記化学式２において，ｘとｙの範囲は，０．６≦ｘ≦１．４，０．０１≦ｙ≦０．１である。

上記蛍光体はスピネル構造を有するように構成してもよく，また上記発光素子はプラズマディスプレイパネルであるように構成してもよい。

また，上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，マンガン系化合物，マグネシウム化合物，アルミニウム化合物，及び融剤を均一に混合する段階と；混合物を１次熱処理する段階と；１次熱処理を経た混合物を還元雰囲気で２次熱処理する段階とを含むことを特徴とした真空紫外線を励起源とする発光素子用緑色蛍光体の製造方法が提供される。

上記マンガン系化合物はＭｎＣＯ_３，ＭｎＯ，ＭｎＦ_２，Ｍｎ（ＮＯ_３）_２，及びＭｎＣｌ_２からなる群のうち少なくとも一つ含むように構成してもよい。

マグネシウム化合物はＭｇＯ，ＭｇＣＯ_３，及びＭｇ（ＯＨ）_２からなる群のうち少なくとも一つ含むように構成してもよい。

上記アルミニウム化合物はＡｌ_２Ｏ_３，及びＡｌ（ＯＨ）_３からなる群のうち少なくとも一つ含むように構成してもよい。

上記融剤はＡｌＦ_３，ＭｇＦ_２，ＬｉＦ，及びＬｉ_２（ＳＯ_４）からなる群のうち少なくとも一つ含むように構成してもよい。

上記１次熱処理は１４００〜１６５０℃の温度で０〜１０時間実施するようにしてもよく，上記２次熱処理は還元雰囲気で１０００〜１６５０℃の温度で０〜３時間実施するようにしてもよい。

また，上記２次熱処理の還元雰囲気は窒素（Ｎ_２）と水素（Ｈ_２）を１００：０〜８０：２０の体積比で混合したものであるように構成してもよい。

以上説明したように，本発明によれば，蛍光体は真空紫外線を励起源とする発光素子用緑色蛍光体に主に用いられているＺｎ_２ＳｉＯ_４：Ｍｎの蛍光体に比べて輝度が約１０％増加し，色純度と残光特性が優れている。特に，安定したスピネル構造からなっていて熱，イオン衝撃，及び真空紫外線照射のような外部の影響に対して非常に安定しているため，真空紫外線を励起源とする発光素子，特にプラズマディスプレイパネルに使用する場合，全体発光効率が増加し色再現範囲が広くなるだけではなく，パネルの性能を長時間維持することができる。

以下，本発明の好適な実施の形態について，添付図面を参照しながら詳細に説明する。なお，以下の説明及び添付図面において，略同一の機能及び構成を有する構成要素については，同一符号を付することにより，重複説明を省略する。

本実施の形態では，真空紫外線（ＶＵＶ：ｖａｃｕｕｍ ｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ）を励起源とする発光素子用緑色蛍光体に関するものであって，前記蛍光体は下記の化学式１で表示される。

上記化学式１において，ＡはＭｇ，Ｚｎ，Ｃａ，及びＬｉからなる群より選択される元素であり，ＢはＡｌ及びＧａからなる群より選択される元素であり，０．６≦ｘ≦１．４，０．０１≦ｙ≦０．１，好ましくは０．８≦ｘ≦１．３，０．０１≦ｙ≦０．０５である。

上記化学式１の中では，次に示す化学式２で表示されたマグネシウムアルミネート系緑色蛍光体が好ましい。

なお，上記化学式２において，ｘ，ｙの範囲は，０．６≦ｘ≦１．４，０．０１≦ｙ≦０．１あり，より好ましくは０．８≦ｘ≦１．３，０．０１≦ｙ≦０．０５である。

緑色蛍光体はＸｅ−含有放電ガスのプラズマから発生する１４７ｎｍと１７３ｎｍの紫外線を励起源とする場合に５１５〜５２５ｎｍの範囲で緑色の発光バンドを示し，好ましくは５２０ｎｍで緑色の発光バンドを示す。

本実施の形態にかかる緑色蛍光体は１〜５μｍの粒度を有する。蛍光体の粒度が１μｍ未満の蛍光体は輝度が低下する問題があり，５μｍを超えれば蛍光膜形成時に工程上に問題があるため好ましくない。

本実施の形態にかかる蛍光体は４〜９ｍｓの残光時間を有する。その他に輝度，色純度，放電特性などが優れている。

本実施の形態にかかる緑色蛍光体は非化学量論的なマグネシウムアルミネート（ｍａｇｎｅｓｉｕｍ ａｌｕｍｉｎａｔｅ）母体に遷移金属であるＭｎを添加することによって製造される。

マグネシウム化合物，アルミニウム化合物，マンガン系化合物，及び融剤（ｆｌｕｘ）を均一に混合する段階，前記混合物を１次熱処理する段階，及び前記１次熱処理を経た混合物を還元雰囲気で２次熱処理する段階を経て製造できる。

マグネシウムアルミネート母体を形成するために用いられるマグネシウム化合物としてはＭｇＯ，ＭｇＣＯ_３，またはＭｇ（ＯＨ）_２を用いることができ，より好ましくはＭｇＯを使用することができ，アルミニウム化合物としてはＡｌ_２Ｏ_３またはＡｌ（ＯＨ）_３を用いることが好ましい。前記マンガン系化合物は遷移金属であるＭｎを提供する役割を果たす。マンガン系化合物としてはＭｎＣＯ_３，ＭｎＯ，ＭｎＦ_２，Ｍｎ（ＮＯ_３）_２，またはＭｎＣｌ_２を用いることができる。なお，マグネシウム化合物としてＭｇＯを用いるのは，マグネシウム化合物は湿気にとても敏感であるため，ＭｇＯ以外の化合物を用いる場合，組成の正確な化合物を作るのが難しく，比較的湿気に強いＭｇＯを用いるのが好ましい。

本実施の形態にかかる緑色蛍光体の製造に用いられる融剤としてはＡｌＦ_３，ＭｇＦ_２，ＬｉＦ，またはＬｉ_２（ＳＯ_４）を用いるのが好ましい。

本実施の形態にかかる緑色蛍光体は前記混合物に対して２段階の熱処理工程を実施して製造する。１次熱処理段階は１４００〜１６５０℃の温度で１０時間以下，好ましくは２〜１０時間実施する。１次熱処理は大気雰囲気で実施できるが，特にこれに限定されるわけではない。なお，上記２〜１０時間は蛍光体の特性を考慮して定められる範囲であり，当該２〜１０時間の範囲で熱処理を行うことで優れた特性の蛍光体を得ることができる。

２次熱処理段階は前記１次熱処理段階を経て得られた結果物を還元雰囲気下で１０００〜１６５０℃の温度で３時間以下，好ましくは１〜３時間実施する。２次熱処理時還元雰囲気を形成するために窒素と水素を流し，これらの混合比率は１００：０〜８０：２０の体積比であるのが好ましく，１００：２〜９０：１０であるのがさらに好ましい。なお，上記１〜３時間実施される２次熱処理と上記混合比率（１００：２〜９０：１０）は蛍光体の特性を考慮して定められる範囲であり，当該２〜１０時間の範囲，上記混合比率（１００：２〜９０：１０）で熱処理を行うことで優れた特性の蛍光体を得ることができる。

このような方法で製造された緑色蛍光体粉末は表面組成，蛍光体粉末の粒度及び形状が最適化されることによって，緑色蛍光体の輝度，色純度，放電特性，及び残光時間などのような特性を極大化することができる。

本実施の形態にかかる緑色蛍光体は真空紫外線を励起源として使用している発光素子，特にプラズマディスプレイパネル（Ｐｌａｓｍａ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｐａｎｅｌ）に緑色蛍光体として用いることができる。

図５は，本実施の形態にかかるプラズマディスプレイパネルの部分分解斜視図である。図５に示すように，プラズマディスプレイパネルは第１基板１上に一方向（図面のＹ方向）に沿ってアドレス電極３が形成され，アドレス電極３を覆いながら第１基板１の全面に誘電体層５が形成される。上記誘電体層５上の各アドレス電極３の間に隔壁７が形成され，それぞれの隔壁７の間に赤色Ｒ，緑色Ｇ，青色Ｂの蛍光体層９が配置される。

そして，第１基板１に対向する第２基板１１の一面にはアドレス電極３と直交する方向（図面のＸ方向）に沿って一対の透明電極１３ａとバス電極１３ｂで構成される放電維持電極１３が形成され，放電維持電極１３を覆いながら第２基板１１全体に透明誘電体層１５と保護膜１７が位置する。これによってアドレス電極３と放電維持電極１３の交差地点が放電セルを構成し，放電セルは放電ガスで満たされている。

このような構成によって，アドレス電極３といずれか一つの放電維持電極１３の間にアドレス電圧Ｖａを印加してアドレス放電を行い，再び一対の放電維持電極１３の間に維持電圧Ｖｓを印加すると，維持放電時に発生する真空紫外線が当該蛍光体層９を励起させて透明な前面基板１１を通じて可視光を放出する。

本実施の形態にかかる緑色蛍光体を含むプラズマディスプレイパネルは，現在広く用いられている緑色蛍光体のＺｎ_２ＳｉＯ_４：Ｍｎと比べて，発光効率が優れており色再現範囲が広いだけではなく，長時間の真空紫外線照射による蛍光体の劣化を防止できるのでパネルの性能を長時間維持することができる。

また，液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）のバックライトとして使用される発光ダイオード（ＬＥＤ）に用いることもできる。

以下，本実施形態にかかる好ましい実施例を記載する。ただし，下記の実施例は本発明にかかる好ましい一実施例にすぎず，本発明が下記の実施例によって限定されるものではない。

（実施例１〜実施例１９）
ｘＭｇＯ：（２−ｘ）Ａｌ_２Ｏ_３：ｙモル％ＭｎＣＯ_３において，組成比ｘとｙを下記の表１に記載のようにしてミキサー（製品名：Ｈｅｎｓｃｈｅｌ Ｍｉｘｅｒ，製造元：ミツイメタルマイニング社（Ｍｉｔｓｕｉ Ｍｅｔａｌ Ｍｉｎｉｎｇ社））に投入し，融剤としてＭｇＦ_２（製造元：Ａｌｄｒｉｃｈ社）を０．１モル％投入した後，５時間ミキサーで混合した。

上記混合された混合物を坩堝に入れ，電気炉で１５５０℃の温度で６時間１次熱処理した。上記１次熱処理が終わった後，窒素（Ｎ_２）：水素（Ｈ_２）の体積比が９５：５である還元雰囲気において１５５０℃で２時間２次熱処理して緑色蛍光体を得た。

上記の方法で得られた緑色蛍光体粉末：ガラスボール：蒸溜水を１：４：２に混合し，１５０ｒｐｍで４時間ミリングした後，乾燥して５μｍ以下の粒度を有する緑色蛍光体粉末を製造した。

Ｘｅランプを利用して実施例１〜実施例１９により製造された緑色蛍光体と比較例１〜５の緑色蛍光体の１４７ｎｍ励起光での相手強度，色座標，及び残光時間（ｄｅｃａｙ ｔｉｍｅ）を測定して下記の表１に記載した。

（表１）

上記表１において，相手強度は１４７ｎｍ波長の光を励起源とした時，ＰＬ発光スペクトルの最大値の比を示すものであって，実施例５の値を１００とした場合の相対的な強度比を示した。

表１に示すように，本実施の形態によって製造された実施例１〜実施例１９の緑色蛍光体は比較例１の緑色蛍光体に比べて色純度と残光特性が優れていることが分かる。例えば，実施例５のＣＩＥ色座標値はｘ座標＝０．１８１，ｙ座標＝０．７３７であるのに比べて，比較例１のＣＩＥ色座標値はｘ座標＝０．２５１，ｙ座標＝０．７０１であった。これから実施例１〜１９の緑色蛍光体の色純度が比較例１に比べて相対的に非常に優れた値を有することが分かる。一方，ｘ及びｙの範囲が０．６≦ｘ≦１．４と，０．０１≦ｙ≦０．１の範囲を逸脱する比較例２〜５の場合は１４７ｎｍでの相手強度が低下することが分かる。なお，表１に記載の「色座標」は，Ｇ（緑色）に関する座標である。

図１は実施例１３によって製造された緑色蛍光体のＸ線回折パターンを示した図面である。図１に示すように実施例１３によって製造された緑色蛍光体は主な相がスピネル（ＭｇＡｌ_２Ｏ_４）相であることが分かる。

図２は実施例５によって製造された緑色蛍光体と比較例１の緑色蛍光体に対して１４７ｎｍの励起光で測定したＰＬ（ｐｈｏｔｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）発光スペクトルであり，図３は実施例５によって製造された緑色蛍光体と比較例１の緑色蛍光体に対して１７３ｎｍの励起光で測定したＰＬ発光スペクトルである。

上記図２及び図３に示すように，実施例５によって製造された緑色蛍光体は１４７ｎｍ及び１７３ｎｍの励起光で励起させた時に全て５２０ｎｍで最大値を有する一つの発光バンドが現れた。

図２に示すように，実施例５の発光輝度は，略５２０ｎｍにおいて略２０．０ｋと最大となり，比較例１の発光輝度は，略５３０ｎｍにおいて略１５．０ｋと最大となる。また，図２に示すように，少なくとも略４６０〜５３５ｎｍでは，実施例５の方が，発光輝度が優れているのが分かる。

また，図３に示すように，実施例５の発光輝度は，略５２０ｎｍにおいて略１４．８ｋと最大となり，比較例１の発光輝度は，略５３０ｎｍにおいて略１１．０ｋと最大となる。また，図３に示すように，少なくとも略４６０〜５３５ｎｍでは，実施例５の方が，発光輝度が優れているのが分かる。

比較例１のＺｎ_２ＳｉＯ_４：Ｍｎ蛍光体は１４７ｎｍ及び１７３ｎｍの励起光で励起させた時に全て５２７ｎｍで最大値を有する一つの発光バンドが現れ，実施例５の発光バンドに比べて相対的にバンド幅が大きいことが分かる。これから本発明の実施例５によって製造された緑色蛍光体が比較例１のＺｎ_２ＳｉＯ_４：Ｍｎ蛍光体より１０％程度増加した発光輝度を有することが分かる。

図４は実施例５によって製造された緑色蛍光体と比較例１の緑色蛍光体に対して１４７ｎｍの励起光を使用して測定した２，０００時間寿命グラフである。図４に示すように，実施例５によって製造された緑色蛍光体は，比較例１のものと比べて，例えば，略４８０時間以上経過すると，非常に優れた寿命特性を有することが分かる。

したがって，上記記載から，放電特性，寿命特性に優れた発光素子用緑色蛍光体を含んだ発光素子を提供することができる。

以上，添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが，本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば，特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において各種の変更例または修正例を想定し得ることは明らかであり，それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。

本発明は，真空紫外線を励起源とする発光素子用緑色蛍光体，発光素子用緑色蛍光体の製造方法，及び発光素子用緑色蛍光体を含む発光素子に適用可能である。

本発明に係る実施例１３によって製造された緑色蛍光体のＸ線回折パターンを示した図面である。 本発明に係る実施例５及び比較例１によって製造された緑色蛍光体に対して１４７ｎｍの励起光で測定したＰＬ発光スペクトルを示した図面である。 本発明に係る実施例５及び比較例１によって製造された緑色蛍光体に対して１７３ｎｍの励起光で測定したＰＬ発光スペクトルを示した図面である。 本発明に係る実施例５及び比較例１によって製造された緑色蛍光体に対して１４７ｎｍの励起光を使用して測定した２，０００時間寿命特性を示した図面である。 プラズマディスプレイパネルの部分分解斜視図である。

符号の説明

１ 第１基板
３ アドレス電極
５ 誘電体層
７ 隔壁
９ 蛍光体層
１１ 第２基板
１３ 放電維持電極
１３ａ 透明電極
１３ｂ バス電極
１５ 透明誘電体層
Ｖａ アドレス電圧
Ｖｓ 維持電圧

Claims (21)

1. 下記の化学式１で表示される，真空紫外線を励起源とする発光素子用緑色蛍光体。
   

   

   前記化学式１において，ＡはＭｇ，Ｚｎ，Ｃａ，及びＬｉからなる群より選択される元素であり，ＢはＡｌ及びＧａからなる群より選択される元素であり，０．６≦ｘ≦１．４，０．０１≦ｙ≦０．１である。
2. 前記緑色蛍光体が下記の化学式２を有することを特徴とする，請求項１に記載の真空紫外線を励起源とする発光素子用緑色蛍光体：
   

   

   前記化学式２において，ｘとｙの範囲は，０．６≦ｘ≦１．４，０．０１≦ｙ≦０．１である。
3. 前記蛍光体の粒度が１〜５μｍの範囲にあることを特徴とする，請求項１に記載の真空紫外線を励起源とする発光素子用緑色蛍光体。
4. 前記蛍光体はスピネル構造を有することを特徴とする，請求項１に記載の真空紫外線を励起源とする発光素子用緑色蛍光体。
5. 前記蛍光体は４〜９ｍｓの残光時間を有することを特徴とする，請求項１に記載の真空紫外線を励起源とする発光素子用緑色蛍光体。
6. 前記蛍光体は，１４７ｎｍと１７３ｎｍの紫外線を励起源とする場合，５１５〜５２５ｎｍの範囲で緑色の発光バンドを示すことを特徴とする，請求項１に記載の真空紫外線を励起源とする発光素子用緑色蛍光体。
7. 下記の化学式１で表示される緑色蛍光体を含む，真空紫外線を励起源とする発光素子：
   

   

   前記化学式１において，ＡはＭｇ，Ｚｎ，Ｃａ，及びＬｉからなる群より選択される元素であり，ＢはＡｌ及びＧａからなる群より選択される元素であり，０．６≦ｘ≦１．４，０．０１≦ｙ≦０．１である。
8. 前記緑色蛍光体が下記の化学式２を有することを特徴とする，請求項７に記載の真空紫外線を励起源とする発光素子：
   

   

   前記化学式２において，ｘとｙの範囲は，０．６≦ｘ≦１．４，０．０１≦ｙ≦０．１である。
9. 前記蛍光体の粒度が１〜５μｍの範囲にあることを特徴とする，請求項７に記載の真空紫外線を励起源とする発光素子。
10. 前記蛍光体はスピネル構造を有することを特徴とする，請求項７に記載の真空紫外線を励起源とする発光素子。
11. 前記蛍光体は４〜９ｍｓの残光時間を有することを特徴とする，請求項７に記載の真空紫外線を励起源とする発光素子。
12. 前記蛍光体は，１４７ｎｍと１７３ｎｍの紫外線を励起源とする場合，５１５〜５２５ｎｍの範囲で緑色の発光バンドを示すことを特徴とする，請求項７に記載の真空紫外線を励起源とする発光素子。
13. 前記発光素子はプラズマディスプレイパネルであることを特徴とする，請求項７に記載の真空紫外線を励起源とする発光素子。
14. マンガン系化合物，マグネシウム化合物，アルミニウム化合物，及び融剤を均一に混合する段階と；
    前記混合物を１次熱処理する段階と；
    前記１次熱処理を経た混合物を還元雰囲気で２次熱処理する段階とを含むことを特徴とする，真空紫外線を励起源とする発光素子用緑色蛍光体の製造方法。
15. 前記マンガン系化合物はＭｎＣＯ_３，ＭｎＯ，ＭｎＦ_２，Ｍｎ（ＮＯ_３）_２，及びＭｎＣｌ_２からなる群のうち少なくとも一つ含むことを特徴とする，請求項１４に記載の真空紫外線を励起源とする発光素子用緑色蛍光体の製造方法。
16. 前記マグネシウム化合物はＭｇＯ，ＭｇＣＯ_３，及びＭｇ（ＯＨ）_２からなる群のうち少なくとも一つ含むことを特徴とする，請求項１４に記載の真空紫外線を励起源とする発光素子用緑色蛍光体の製造方法。
17. 前記アルミニウム化合物はＡｌ_２Ｏ_３，及びＡｌ（ＯＨ）_３からなる群のうち少なくとも一つ含むことを特徴とする，請求項１４に記載の真空紫外線を励起源とする発光素子用緑色蛍光体の製造方法。
18. 前記融剤はＡｌＦ_３，ＭｇＦ_２，ＬｉＦ，及びＬｉ_２（ＳＯ_４）からなる群のうち少なくとも一つ含むことを特徴とする，請求項１４に記載の真空紫外線を励起源とする発光素子用緑色蛍光体の製造方法。
19. 前記１次熱処理は１４００〜１６５０℃の温度で０〜１０時間実施することを特徴とする，請求項１４に記載の真空紫外線を励起源とする発光素子用緑色蛍光体の製造方法。
20. 前記２次熱処理は還元雰囲気で１０００〜１６５０℃の温度で０〜３時間実施することを特徴とする，請求項１４に記載の真空紫外線を励起源とする発光素子用緑色蛍光体の製造方法。
21. 前記２次熱処理の還元雰囲気は窒素（Ｎ_２）と水素（Ｈ_２）を１００：０〜８０：２０の体積比で混合したものであることを特徴とする，請求項１４に記載の真空紫外線を励起源とする発光素子用緑色蛍光体の製造方法。

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