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JP2005140190A - 電力増幅装置および磁気軸受 - Google Patents

電力増幅装置および磁気軸受 Download PDF

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JP2005140190A JP2003375339A JP2003375339A JP2005140190A JP 2005140190 A JP2005140190 A JP 2005140190A JP 2003375339 A JP2003375339 A JP 2003375339A JP 2003375339 A JP2003375339 A JP 2003375339A JP 2005140190 A JP2005140190 A JP 2005140190A
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Abstract

【課題】 入力電圧の微小な範囲においても入力電圧と出力電流との関係を線形化できる電力増幅装置を提供する。
【解決手段】 電力増幅装置15、16は、電磁石4、5に供給すべき電流目標値に基づいて電流指令信号を出力する電流指令装置17と、電流指令信号を増幅して電磁石4、5に電流を供給する電力増幅器18と、電磁石4、5に流れる電流を検出する電流検出装置19とを備えている。電流指令装置17が、電流検出装置19による電流検出値をフィードバックして、電流検出値が電流目標値を等しくなるように電流指令信号を制御する。
【選択図】 図１

Description

この発明は、電力増幅装置およびそれを用いた磁気軸受に関する。
複数組の制御型磁気軸受により回転体を磁気浮上させて非接触支持する制御型磁気軸受装置は、フライホイール式電力貯蔵装置などに使用されている。
この種の磁気軸受装置は、たとえば、鉛直状の回転体を１組のアキシアル磁気軸受ユニットと２組のラジアル磁気軸受ユニットで非接触支持するものである。アキシアル磁気軸受ユニットは、回転体の軸方向の１箇所を鉛直なアキシアル制御軸（軸方向の制御軸）方向の目標位置に非接触支持するものであり、１組のアキシアル磁気軸受を備えている。ラジアル磁気軸受ユニットは、回転体の軸方向の２箇所において、それぞれ、アキシアル制御軸と直交するとともに互いに直交する２つのラジアル制御軸（径方向の制御軸）方向の目標位置に回転体を非接触支持するものであり、各ラジアル磁気軸受ユニットは、それぞれ、２つのラジアル制御軸に対応する２組のラジアル磁気軸受を備えている。
アキシアル磁気軸受および各ラジアル磁気軸受は、それぞれ、対応する制御軸方向の両側から回転体の被支持部分を挟むように配置された１対の電磁石と、回転体の該制御軸方向の変位を検出する変位検出装置と、回転体の変位検出値に基づいて各電磁石に供給する励磁電流を制御する電磁石制御装置とを備えている。各磁気軸受において、電磁石制御装置は、通常、変位検出値に基づいて各電磁石に供給すべき励磁電流目標値を決定しこれを励磁電流指令信号として出力する電流制御装置と、この励磁電流指令信号を増幅して各電磁石に励磁電流を供給する電力増幅器とを備えている。
従来は、磁気軸受の各電磁石に供給される励磁電流は、バイアス電流（定常電流）と制御電流を合わせたものであった。１対の電磁石のバイアス電流は互いに等しく、かつ回転体の変位にかかわらず一定である。制御電流は回転体の変位に応じて変化し、１対の電磁石について、常に、制御電流の絶対値は互いに等しく、符号は反対である。また、制御電流の絶対値の最大値は、バイアス電流より小さい。このため、回転体の変位にかかわらず、１対の電磁石には常に励磁電流が流れている。
上記のように各磁気軸受の１対の電磁石に常にバイアス電流を供給することにより、制御電流と１対の電磁石による磁気吸引力との関係を線形化できるという利点があるが、電磁石による消費電力が大きく、磁気軸受およびそれを用いた装置の消費電力が大きいという問題がある。
そこで、特許文献１に示されているように、１対の電磁石の両方のバイアス電流をともに０とするか、あるいは一方にのみバイアス電流を供給するようにしたいわゆるゼロバイアス電流制御の磁気軸受が提案されている。この磁気軸受では、制御軸が水平な場合は、両方の電磁石のバイアス電流をともに０とし、制御軸が水平でない場合は、上側に配置される電磁石にのみバイアス電流を供給するようになっている。
ところで、上記のような磁気軸受の電磁石制御装置に使用される電力増幅器では、図４に示すように、入力電圧（励磁電流目標値）の広い範囲で見れば、入力電圧と出力電流（励磁電流）との関係は線形であるが、入力電圧が微小な範囲では、両者の関係が線形ではなく、この範囲では、ゲインが小さくなる。このため、回転体が目標位置の近傍にあって励磁電流目標値が微小であるときに、実際に電磁石に流れる励磁電流が励磁電流目標値より小さくなり、回転体の位置制御が不安定になるという問題がある。
特開平１１−２２７３０号公報
この発明の目的は、入力電圧の微小な範囲においても入力電圧と出力電流との関係を線形化できる電力増幅装置を提供することにある。
この発明の目的は、また、電力増幅装置の入力電圧と出力電流との関係を線形化して、ゼロバイアス電流制御の場合で、回転体が目標位置の近傍にあるときでも、位置制御が安定している磁気軸受を提供することにある。
この発明による電力増幅装置は、被駆動体に供給すべき電流目標値に基づいて電流指令信号を出力する電流指令手段と、電流指令信号を増幅して被駆動体に電流を供給する電力増幅器と、被駆動体に流れる電流を検出する電流検出手段とを備えており、電流指令手段が、電流検出手段による電流検出値をフィードバックして、電流検出値が電流目標値と等しくなるように電流指令信号を制御するものであることを特徴とするものである。
被駆動体としては、たとえば、磁気軸受を構成する電磁石、各種駆動用の電動機などがある。
電流目標値は電圧値で与えられ、これが電力増幅装置の入力電圧となる。電流指令手段からの電流指令信号も電圧値で与えられ、これが電力増幅器の入力電圧となる。
電流指令手段が電流検出値をフィードバックして電流指令信号を制御するものであるから、電力増幅器の入力電圧（電流指令信号）と出力電流との関係が線形でない入力電圧の微小な範囲すなわち電流目標値の微小な範囲においても、入力電圧である電流目標値と出力電流との関係を線形化することができる。
したがって、電力増幅装置を磁気軸受の電磁石の駆動に用いる場合、バイアス電流が０であるかあるいは非常に小さい制御を行なっても、電磁石に流れる励磁電流を励磁電流目標値と等しくして、安定した位置制御を行なうことができる。また、電動機を微小な電圧で駆動する場合も、同様に、安定した制御を行なうことができる。
この発明による磁気軸受は、回転体を１つの制御軸方向に非接触支持するための磁気軸受であって、回転体を磁気吸引力によって前記制御軸方向の目標位置に非接触支持するために前記制御軸方向の両側から回転体を挟むように配置された１対の電磁石と、回転体の目標位置からの変位を検出する変位検出手段と、回転体の変位検出値に基づいて各電磁石に供給すべき励磁電流目標値を決定する励磁電流目標値決定手段と、励磁電流目標値を増幅して各電磁石に励磁電流を供給する２つの電力増幅装置とを備えており、各電力増幅装置が、励磁電流目標値に基づいて励磁電流指令信号を出力する電流指令手段と、励磁電流指令信号を増幅して電磁石に励磁電流を供給する電力増幅器と、電磁石に流れる励磁電流を検出する電流検出手段とを備えており、電流指令手段が、電流検出手段による励磁電流検出値をフィードバックして、励磁電流検出値が励磁電流目標値と等しくなるように励磁電流指令信号を制御するものであることを特徴とするものである。
上記同様、電力増幅器の入力電圧（励磁電流指令信号）と出力電流である励磁電流との関係が線形でない入力電圧の微小な範囲すなわち励磁電流目標値の微小な範囲においても、入力電圧である励磁電流目標値と出力電流である励磁電流との関係を線形化することができる。
制御軸が水平である場合、たとえば、両方の電磁石について、バイアス電流を０とし、回転体の変位によって変化する制御電流のみを励磁電流として供給する。この場合、少なくとも一方の電磁石の制御電流すなわち励磁電流は０である。
制御軸が水平でない場合、上側の電磁石にのみバイアス電流を供給し、下側の電磁石のバイアス電流は０とする。そして、上側の電磁石にはバイアス電流と制御電流を合わせた励磁電流を供給し、下側の電磁石には制御電流のみを励磁電流として供給する。この場合も、少なくとも一方の電磁石の制御電流は０である。
このように、両方の電磁石または片方の電磁石のバイアス電流を０にすることにより、消費電力を低減することができる。
上記のように、励磁電流目標値の微小な範囲においても、励磁電流目標値と励磁電流との関係を線形化できるので、電磁石のバイアス電流を０にした場合であって、回転体が目標位置の近傍にあるときでも、電磁石に流れる励磁電流を励磁電流目標値と等しくして、安定した位置制御を行なうことができる。
この発明の電力増幅装置によれば、入力電圧の微小な範囲においても入力電圧と出力電流との関係を線形化することができ、したがって、磁気軸受の電磁石のバイアス電流を０または微小な値とした場合、あるいは各種駆動用の電動機を微小な電圧で駆動する場合などでも、安定した制御を行なうことができる。
この発明の磁気軸受によれば、電流増幅装置の入力電圧と出力電流との関係を線形化して、電磁石のバイアス電流制御を０または微小な値とした場合で、回転体が目標位置の近傍にあるときでも、安定した位置制御を行なうことができる。
以下、図面を参照して、この発明を前記のようなフライホイール式電力貯蔵装置に使用される磁気軸受に適用した実施形態について説明する。
全体の図示は省略したが、電力貯蔵装置は、前記のように、鉛直状の回転体(1)を１組のアキシアル磁気軸受ユニットと上下２組のラジアル磁気軸受ユニットで非接触支持するものであり、図１には、ラジアル磁気軸受ユニットを構成する２組のラジアル磁気軸受のうちの一方のラジアル磁気軸受(2)が示されている。
図１に示すラジアル磁気軸受(2)は、回転体(1)を２つのラジアル制御軸のうちの一方の制御軸（これを「Ｘ軸」とする）方向に非接触支持するものであり、これは、回転体(1)を磁気吸引力によってＸ軸方向の所定の目標位置に非接触支持するためにＸ軸方向の両側から回転体(1)の外周のターゲット（被支持部分）(3)を挟むように配置された１対の電磁石(4)(5)と、回転体(1)の目標位置からのＸ軸方向の変位を検出する変位検出手段を構成する変位検出装置(6)と、回転体(1)を目標位置に非接触支持するために回転体(1)のＸ軸方向の変位に基づいて各電磁石(4)(5)の励磁電流を制御する電磁石制御手段を構成する電磁石制御装置(7)とを備えている。１対の電磁石(4)(5)のうち、Ｘ軸正側のものを第１電磁石(4)、Ｘ軸負側のものを第２電磁石(5)ということにする。
各電磁石(4)(5)は、回転体(1)の軸方向にのびる連結部(8a)の両端部にＸ軸方向の内側に突出した１対の磁極部(8b)(8c)が一体に形成されたコ字状のコア(8)と、コア(8)の両磁極部(8b)(8c)に巻かれたコイル(9)とを備えている。各電磁石(4)(5)の連結部(8a)が円筒状のハウジング(10)の内周部に固定され、磁極部(8b)(8c)が回転体(1)のターゲット(3)にＸ軸方向の外側からわずかな空隙をあけて対向している。各電磁石(4)(5)のコイル(9)は、電磁石制御装置(7)に接続されている。そして、制御装置(7)からコイル(9)に供給される励磁電流により、１対の電磁石(4)(5)の上側の磁極部(8b)が同一の極性に励磁され、下側の磁極部(8c)が上記と逆の同一の極性に励磁される。この例では、上側の磁極部(8b)がＮ極、下側の磁極部(8c)がＳ極となる。
変位検出装置(6)は、回転体(1)をＸ軸方向の両側から挟むように各電磁石(4)(5)のすぐ下のハウジング(10)の内周部に固定されて回転体(1)との間のＸ軸方向の空隙の大きさを検出する１対の変位センサ(11)(12)と、第１センサ(11)の出力から第２センサ(12)の出力を減算することにより回転体(1)のＸ軸方向の目標位置からの変位を求める減算器(13)とを備えている。減算器(13)の出力すなわち変位検出値は、制御装置(7)に入力する。
制御装置(7)は、両方の電磁石(4)(5)のバイアス電流を０とし、回転体(1)のＸ軸方向の変位が生じたときに、いずれか一方の電磁石(4)(5)に制御電流のみからなる励磁電流を供給する。したがって、回転体(1)の変位が０のときは、各電磁石(4)(5)の制御電流は０であり、各電磁石(4)(5)の励磁電流も０である。この場合、制御軸であるＸ軸は水平であるから、回転体(1)に作用する重力のＸ軸方向の成分は０であり、回転体(1)が目標位置にあるとき、両方の電磁石(4)(5)の励磁電流が０で、これらの磁気吸引力が０であっても、回転体(1)に作用するＸ軸方向の力は０で、釣合が保たれる。そして、回転体(1)が目標位置からＸ軸負側に変位したときは、Ｘ軸正側の第１電磁石(4)にのみ変位量に応じた正の値の制御電流（＝励磁電流）が供給され、この電磁石(4)の磁気吸引力により回転体(1)はＸ軸正方向に吸引される。回転体(1)がＸ軸正方向に変位したときは、Ｘ軸負側の第２電磁石(5)にのみ変位量に応じた正の値の制御電流（＝励磁電流）が供給され、この電磁石(5)の磁気吸引力により回転体(1)はＸ軸負側に吸引される。このように１対の電磁石(4)(5)の制御電流が制御されることにより、回転体(1)がＸ軸方向の目標位置に保持される。
制御装置(7)は、励磁電流目標値決定手段としての励磁電流目標値決定装置(14)、および各電磁石(4)(5)に対応する２つの電力増幅装置(15)(16)を備えている。目標値決定装置(14)は、後に詳しく説明するように、回転体(1)の変位検出値に基づいて、各電磁石(4)(5)に供給すべき励磁電流の目標値を決定するものである。電力増幅装置(15)(16)は、目標値決定装置(14)からの励磁電流目標値を増幅して電磁石(4)(5)に供給するものである。
各電力増幅装置(15)(16)は、電流指令手段としての電流指令装置(17)、電力増幅器(18)および電流検出手段としての電流検出装置(19)を備えている。各電流検出装置(19)は、各電磁石(4)(5)のコイル(9)に接続されて、それに流れる励磁電流を検出する。電流指令装置(17)は、目標値決定装置(14)からの励磁電流目標値と検出装置(19)による励磁電流検出値に基づいて励磁電流指令信号を出力する。すなわち、励磁電流検出値をフィードバックし、この検出値が励磁電流目標値と等しくなるように励磁電流指令信号を制御する。各電力増幅器(18)は、電流指令装置(17)からの励磁電流指令信号を増幅して各電磁石(4)(5)のコイル(9)に励磁電流を供給する。電力増幅器(18)としては、従来と同様のもの、たとえば、入力電圧の微小な範囲において入力電圧と出力電流との関係が線形でない図４のような特性を有するものを使用することができる。
上記の電力増幅装置(15)(16)では、電流指令装置(17)が励磁電流検出値をフィードバックして励磁電流指令信号を制御するので、電力増幅器(18)の入力電圧と出力電流との関係が入力電圧の全範囲あるいは一部の範囲たとえば入力電圧の微小な範囲で線形でなくても、図３に示すように、入力電圧の全範囲において、電力増幅装置(15)(16)の入力電圧である励磁電流目標値と出力電流である励磁電流との関係が線形化され、ゲインもほぼ一定となる。このため、上記のように各電磁石(4)(5)のバイアス電流を０にした場合、回転体(1)が目標位置の近傍にあって、いずれかの電磁石(4)(5)に供給すべき励磁電流目標値が微小であるときでも、電磁石(4)(5)に流れる励磁電流を励磁電流目標値と等しくして、安定した位置制御を行なうことができる。
次に、図２を参照して、目標値決定装置(14)における励磁電流目標値の決定について詳細に説明する。
図２は、１対の電磁石(4)(5)の励磁電流と磁気吸引力との関係を表わすグラフである。図２において、横軸の原点(0)より右側の部分は第１電磁石(4)の励磁電流Ｉ1を示し、右側が正、左側が負である。横軸の原点(0)より左側の部分は第２電磁石(5)の励磁電流Ｉ2を示し、左側が正、右側が負である。縦軸は電磁石(4)(5)による磁気吸引力Ｆを示し、上側が正、下側が負である。Ｆ1は第１電磁石(4)の磁気吸引力、Ｆ2は第２電磁石(5)の磁気吸引力を表わしている。励磁電流Ｉ1、Ｉ2は０または正の値であり、一方が正の値のとき、他方は０である。両方の電磁石(4)(5)のバイアス電流が０であるから、制御電流が０のとき、電磁石(4)(5)の励磁電流Ｉ1、Ｉ2は０で、磁気吸引力Ｆ1、Ｆ2は０である。第１電磁石(4)の磁気吸引力Ｆ1は正の値で、励磁電流Ｉ1の増加に伴って二次関数的に増加する。第１電磁石(4)の励磁電流Ｉ1が正の値であるとき、第２電磁石(5)の励磁電流Ｉ2は０で、その磁気吸引力Ｆ2は０であるから、第１電磁石(4)の磁気吸引力Ｆ1がそのまま全体の磁気吸引力となる。第２電磁石(5)の磁気吸引力Ｆ2は負の値で、その絶対値は励磁電流Ｉ2の増加に伴って二次関数的に増加する。第２電磁石(5)の励磁電流Ｉ2が正の値であるとき、第１電磁石(4)の励磁電流Ｉ1は０で、その磁気吸引力Ｆ1は０であるから、第２電磁石(5)の磁気吸引力Ｆ2がそのまま全体の磁気吸引力となる。目標値決定装置(14)には、第１電磁石(4)の励磁電流Ｉ1と磁気吸引力Ｆ1との関係、および第２電磁石(5)の励磁電流Ｉ2と磁気吸引力Ｆ2との関係が記憶されている。
目標値決定装置(14)は、まず、変位検出装置(6)で検出された回転体(1)の変位に基づき、これに対応する１対の電磁石(4)(5)全体の磁気吸引力値を求める。この処理は、従来の磁気軸受の電磁石制御装置におけるものと同様である。そして、次に説明するように、上記の磁気吸引力値に基づき、各電磁石(4)(5)に供給すべき励磁電流目標値を求め、これらを対応する電力増幅装置(15)(16)の電流指令装置(17)に出力する。
回転体(1)の変位が０のとき、電磁石(4)(5)による磁気吸引力値は０であり、これに対応する励磁電流Ｉ1、Ｉ2はともに０であるから、目標値決定装置(14)で決定されて電力増幅装置(15)(16)に出力される励磁電流目標値はともに０である。このため、増幅装置(15)(16)から各電磁石(4)(5)に供給される励磁電流は０で、全体の磁気吸引力が０となり、回転体(1)に作用するＸ軸方向の力が０で、回転体(1)は目標位置に保持される。
回転体(1)が負側に変位した場合、目標値決定装置(14)で求められる磁気吸引力値は正の値となる。これをＦaとすると、目標値決定装置(14)は、第２電磁石(5)の励磁電流目標値を０として、これを第２の励磁電流目標値として第２の電力増幅装置(16)の電流指令装置(17)に出力するとともに、記憶している磁気吸引力Ｆ1と励磁電流Ｉ1との関係から、Ｆaに対応する第１電磁石(4)の励磁電流値Ｉaを求めて、これを第１の励磁電流目標値として第１の電力増幅装置(15)に出力する。これにより、第１電磁石(4)に磁気吸引力Ｆaが発生し、回転体(1)はＸ軸正方向に吸引される。
回転体(1)が正側に変位した場合、目標値決定装置(14)で求められる磁気吸引力値は負の値となる。これを（−Ｆb）とすると、目標値決定装置(14)は、第１電磁石(4)の励磁電流目標値を０として、これを第１の励磁電流目標値として第１の電力増幅装置(15)の電流指令装置(17)に出力するとともに、記憶している磁気吸引力Ｆ2と励磁電流Ｉ2との関係から、（−Ｆb）に対応する第２電磁石(5)の励磁電流値Ｉbを求めて、これを第２の励磁電流目標値として第２の電力増幅装置(16)に出力する。これにより、第２電磁石(5)に磁気吸引力（−Ｆb）が発生し、回転体(1)はＸ軸負方向に吸引される。
上記のように１対の電磁石(4)(5)の励磁電流が制御されることにより、回転体(1)がＸ軸方向の目標位置に保持される。
図示は省略したが、他方のラジアル制御軸（これを「Ｙ軸」とする）方向のラジアル磁気軸受も、上記のＸ軸方向のラジアル磁気軸受(2)と同じ構成を有する。また、上下２組のラジアル磁気軸受ユニットは、同じ構成を有する。そして、上下２組のラジアル磁気軸受ユニットのＸ軸方向の磁気軸受(2)およびＹ軸方向の磁気軸受により、回転体(1)がＸ軸方向およびＹ軸方向に目標位置に非接触支持される。
図示は省略したが、アキシアル磁気軸受ユニットは、回転体(1)をアキシアル制御軸（これを「Ｚ軸」とする）方向に非接触支持するための１組のアキシアル磁気軸受を備えている。アキシアル磁気軸受は、回転体(1)を磁気吸引力によってＺ軸方向の所定の目標位置に非接触支持するためにＺ軸方向の両側から回転体(1)のフランジ部（被支持部分）を挟むようにハウジング(10)の内周部に固定された上下１対の電磁石を備えている。下側の電磁石のバイアス電流は０で、上側の電磁石にのみ一定のバイアス電流を常時供給し、このバイアス電流による上側の電磁石の磁気吸引力と回転体(1)に作用するＺ軸方向下向きの重力とを釣り合わせている。他は、上記のラジアル磁気軸受の場合と同様であり、１対の電磁石の制御電流を制御することにより、回転体(1)がＺ軸方向の目標位置に保持される。
目標値決定装置(14)は１つのＤＳＰによって構成され、２つの電流指令装置(17)は他の１つのＤＳＰによって構成されている。ＤＳＰはディジタル信号プロセッサ（Digital Signal Processor）の略で、これは、ディジタル信号を入力してディジタル信号を出力し、ソフトウェアプログラムが可能で、高速実時間処理が可能な専用ハードウェアを指す。
目標値決定装置(14)および２つの電流指令装置(17)は、１つのＤＳＰによって構成されてもよい。また、ＤＳＰの代わりに、ＣＰＵ、ＭＰＵなど、他のディジタル処理手段が使用されてもよい。
上記の実施形態には、磁気軸受を構成する１対の電磁石のうちの少なくとも一方のバイアス電流が０であるものを示したが、この発明は、１対の電磁石の両方に常に一定のバイアス電流を供給するようになった磁気軸受にも適用できる。
また、この発明による電力増幅装置は、磁気軸受だけでなく、たとえば電動機などの他の被駆動体の駆動にも使用できる。
図１は、この発明の１実施形態を示すラジアル磁気軸受の構成図である。 図２は、図１のラジアル磁気軸受における電磁石の励磁電流と磁気吸引力との関係を示すグラフである。 図３は、図１のラジアル磁気軸受の電力増幅装置における励磁電流目標値と励磁電流およびゲインとの関係を示すグラフである。 図４は、電力増幅器における入力電圧と出力電流およびゲインとの関係を示すグラフである。
符号の説明
(1) 回転体
(2) ラジアル磁気軸受
(4)(5) 電磁石
(6) 変位検出装置
(14) 励磁電流目標値決定装置
(15)(16) 電力増幅装置
(17) 電流指令装置
(18) 電力増幅器
(19) 電流検出装置

Claims (2)

  1. 被駆動体に供給すべき電流目標値に基づいて電流指令信号を出力する電流指令手段と、電流指令信号を増幅して被駆動体に電流を供給する電力増幅器と、被駆動体に流れる電流を検出する電流検出手段とを備えており、
    電流指令手段が、電流検出手段による電流検出値をフィードバックして、電流検出値が電流目標値と等しくなるように電流指令信号を制御するものであることを特徴とする電力増幅装置。
  2. 回転体を１つの制御軸方向に非接触支持するための磁気軸受であって、
    回転体を磁気吸引力によって前記制御軸方向の目標位置に非接触支持するために前記制御軸方向の両側から回転体を挟むように配置された１対の電磁石と、回転体の目標位置からの変位を検出する変位検出手段と、回転体の変位検出値に基づいて各電磁石に供給すべき励磁電流目標値を決定する励磁電流目標値決定手段と、励磁電流目標値を増幅して各電磁石に励磁電流を供給する２つの電力増幅装置とを備えており、
    各電力増幅装置が、励磁電流目標値に基づいて励磁電流指令信号を出力する電流指令手段と、励磁電流指令信号を増幅して電磁石に励磁電流を供給する電力増幅器と、電磁石に流れる励磁電流を検出する電流検出手段とを備えており、
    電流指令手段が、電流検出手段による励磁電流検出値をフィードバックして、励磁電流検出値が励磁電流目標値と等しくなるように励磁電流指令信号を制御するものであることを特徴とする磁気軸受。
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