[go: up one dir, main page]

JP2005033037A - Semiconductor light emitting module - Google Patents

Semiconductor light emitting module Download PDF

Info

Publication number
JP2005033037A
JP2005033037A JP2003271548A JP2003271548A JP2005033037A JP 2005033037 A JP2005033037 A JP 2005033037A JP 2003271548 A JP2003271548 A JP 2003271548A JP 2003271548 A JP2003271548 A JP 2003271548A JP 2005033037 A JP2005033037 A JP 2005033037A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light emitting
semiconductor light
conductor
electrode
electrically connected
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2003271548A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takashi Konosu
貴 鴻巣
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Electric Industries Ltd filed Critical Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority to JP2003271548A priority Critical patent/JP2005033037A/en
Publication of JP2005033037A publication Critical patent/JP2005033037A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Semiconductor Lasers (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a semiconductor light emitting module capable of quickly operating a semiconductor light emitting module. <P>SOLUTION: In the semiconductor light emitting module 1, a semiconductor light emitting element 2 is loaded on a wiring board 22 so that a 1st electrode 2c is brought into contact with a wiring pattern 22a. The wiring board 22 is loaded on a conductive base 24. A 1st area 24a, a 2nd area 24b and a 3rd area 24c are successively formed on the base 24 in a direction crossing with the sidewall 12a of a housing 6. The semiconductor light emitting element 2 is loaded on the 1st area 24a through the wiring board 22. A 2nd electrode 2d of the semiconductor light emitting element 2 is electrically connected to the 2nd area. The 3rd area 24c and the 1st conductor 14a of a terminal substrate 14 are successively formed in the direction crossing with the sidewall 12a along a 1st reference surface extending in a prescribed X axis direction and the direction crossing with the sidewall 12a and electrically connected. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、半導体発光素子を備えた半導体発光モジュールに関するものである。   The present invention relates to a semiconductor light emitting module including a semiconductor light emitting element.

半導体発光素子と、半導体発光素子の電極と電気的に接続されるリード端子とを含み半導体発光素子を収容するハウジングとを備える半導体発光モジュールでは、半導体発光素子とリード端子とが中継パターン及びワイヤを介して電気的に接続される(例えば、特許文献1)。
特開平2002−158389号公報
In a semiconductor light emitting module comprising a semiconductor light emitting element and a housing that contains a lead terminal electrically connected to an electrode of the semiconductor light emitting element and accommodates the semiconductor light emitting element, the semiconductor light emitting element and the lead terminal have a relay pattern and a wire. (For example, Patent Document 1).
Japanese Patent Laid-Open No. 2002-158389

半導体発光モジュールから高速に変調された信号を出力させるためには、半導体発光素子を高速に動作させる必要がある。しかしながら、上述した従来の発光モジュールでは、半導体発光素子の電極とハウジングとの間の寄生キャパシタンスや寄生インダクタンによって半導体発光素子に高速な変調信号を伝えることができず、半導体発光素子を高速に動作させることができなかった。   In order to output a signal modulated at high speed from the semiconductor light emitting module, it is necessary to operate the semiconductor light emitting element at high speed. However, in the conventional light emitting module described above, a high speed modulation signal cannot be transmitted to the semiconductor light emitting element due to the parasitic capacitance or parasitic inductance between the electrode of the semiconductor light emitting element and the housing, and the semiconductor light emitting element operates at high speed. I couldn't let you.

そこで、本発明は、半導体発光素子を高速に動作させることが可能な半導体発光モジュールを提供することを目的としている。   Therefore, an object of the present invention is to provide a semiconductor light emitting module capable of operating a semiconductor light emitting element at high speed.

上記目的を達成するため、本発明の半導体発光モジュールは、半導体発光素子と、配線基板と、導電性のベースと、ハウジングとを備える。半導体発光素子は、光出射面と第1の電極と第2の電極とを有し、該光出射面から光を出射する。配線基板は、第1の電極と電気的に接続され半導体発光素子が搭載される配線パターンを有する。ベースは、配線基板を搭載する第1の領域と、第2の電極と電気的に接続される第2の領域と、第3の領域とを有する。ハウジングは、第3の領域と電気的に接続される第1の導体と、配線パターンと電気的に接続される第2の導体とを少なくとも含む複数の導体を有する端子基板を有し、半導体発光素子と配線基板とベースとを収容する収容空間を提供する。第1の導体と第3の領域は、第1の基準面に沿って設けられている。   In order to achieve the above object, a semiconductor light emitting module of the present invention includes a semiconductor light emitting element, a wiring board, a conductive base, and a housing. The semiconductor light emitting element has a light emitting surface, a first electrode, and a second electrode, and emits light from the light emitting surface. The wiring board has a wiring pattern that is electrically connected to the first electrode and on which the semiconductor light emitting element is mounted. The base includes a first region on which the wiring board is mounted, a second region electrically connected to the second electrode, and a third region. The housing has a terminal substrate having a plurality of conductors including at least a first conductor electrically connected to the third region and a second conductor electrically connected to the wiring pattern, and emitting semiconductor light An accommodation space for accommodating the element, the wiring board, and the base is provided. The first conductor and the third region are provided along the first reference plane.

この発明によれば、第1の導体と第3の領域とが第1の基準面に沿って設けられているので、第3の領域と第1の導体とを電気的に接続するワイヤの長さを短くできる。したがって、半導体発光素子の第2の電極への信号の伝送路におけるインダクタンスを低減することができる。   According to this invention, since the first conductor and the third region are provided along the first reference plane, the length of the wire that electrically connects the third region and the first conductor. You can shorten it. Therefore, it is possible to reduce the inductance in the transmission path of the signal to the second electrode of the semiconductor light emitting element.

また、本発明の半導体発光モジュールにおいては、配線パターンと第2の導体は、第1の基準面と異なる第2の基準面に沿って設けられていることが好ましい。   In the semiconductor light emitting module of the present invention, it is preferable that the wiring pattern and the second conductor are provided along a second reference plane different from the first reference plane.

かかる構成によれば、配線パターンと第2の導体とが、第2基準面に沿って設けられているので、配線パターンと第2の導体とを接続するワイヤの長さを短くすることができる。したがって、半導体発光素子の第1の電極への信号の伝送路におけるインダクタンスを低減することができる。   According to such a configuration, since the wiring pattern and the second conductor are provided along the second reference plane, the length of the wire connecting the wiring pattern and the second conductor can be shortened. . Therefore, it is possible to reduce the inductance in the transmission path of the signal to the first electrode of the semiconductor light emitting device.

また、本発明の半導体発光モジュールにおいては、第2の領域は、頂面を有する導電性のブロックを有し、第2の電極と上記頂面とは、第3の基準面に沿って設けられており、上記頂面と第2の電極とが電気的に接続されていることが好ましい。   In the semiconductor light emitting module of the present invention, the second region has a conductive block having a top surface, and the second electrode and the top surface are provided along the third reference surface. The top surface and the second electrode are preferably electrically connected.

かかる構成によれば、ベースの第2の領域が有するブロックの頂面と半導体発光素子の第2の電極とが第3基準面に沿って設けられているので、第2の電極とブロックの頂面とを接続するワイヤの長さを短くすることができる。したがって、半導体発光素子の第2の電極への信号の伝送路におけるインダクタンスを更に低減することができる。   According to such a configuration, since the top surface of the block included in the second region of the base and the second electrode of the semiconductor light emitting element are provided along the third reference surface, the second electrode and the top of the block are provided. The length of the wire connecting the surfaces can be shortened. Therefore, it is possible to further reduce the inductance in the transmission path of the signal to the second electrode of the semiconductor light emitting device.

また、本発明の半導体発光モジュールにおいては、端子基板は、接地層、第1絶縁層、第1導電層、第2絶縁層、第2導電層、及び第3絶縁層が順に積層された積層構造を有し、第1絶縁層には複数のビアホールが設けられており、接地層と第1導電層とは、複数のビアホールに埋め込まれた導電材料によって電気的に接続されており、接地層は第1の導体を含み、第2導電層は第2の導体を含むことが好ましい。   In the semiconductor light emitting module of the present invention, the terminal substrate has a laminated structure in which a ground layer, a first insulating layer, a first conductive layer, a second insulating layer, a second conductive layer, and a third insulating layer are sequentially stacked. The first insulating layer is provided with a plurality of via holes, and the ground layer and the first conductive layer are electrically connected by a conductive material embedded in the plurality of via holes. The first conductor is preferably included, and the second conductive layer preferably includes the second conductor.

また、本発明の半導体発光モジュールにおいては、ベースが搭載される搭載部材を更に備え、搭載部材は、第1の基準面に沿う接続面を有し、接続面と第1の導体とが電気的に接続されていることが好ましい。   The semiconductor light emitting module according to the present invention further includes a mounting member on which the base is mounted. The mounting member has a connection surface along the first reference plane, and the connection surface and the first conductor are electrically connected. It is preferable that it is connected to.

かかる構成によれば、ベースを介して半導体発光素子の第2の電極と電気的に接続されている搭載部材の接続面と、第1の導体とが、第1の基準面に沿って設けられているので、接続面と、第1の導体とを短いワイヤによって接続することができる。また、ベースの第3の領域と搭載部材の接続面とを第1の導体に複数のワイヤによって接続することができるので、半導体発光素子の第2の電極への信号の伝送路におけるインダクタンスを更に低減することができる。   According to this configuration, the connection surface of the mounting member that is electrically connected to the second electrode of the semiconductor light emitting element via the base and the first conductor are provided along the first reference surface. Therefore, the connection surface and the first conductor can be connected by a short wire. In addition, since the third region of the base and the connection surface of the mounting member can be connected to the first conductor by a plurality of wires, the inductance in the signal transmission path to the second electrode of the semiconductor light emitting element is further increased. Can be reduced.

以上説明したように、本発明によれば、半導体発光素子の第2の電極に至る信号の伝送路のインダクタンスを低減することができるので、半導体発光素子を高速に動作させることが可能な半導体発光モジュールが提供される。   As described above, according to the present invention, since the inductance of the signal transmission path leading to the second electrode of the semiconductor light emitting device can be reduced, the semiconductor light emitting device capable of operating the semiconductor light emitting device at high speed can be achieved. A module is provided.

以下、図面を参照して本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、各図面において同一又は相当の部分に対しては同一の符号を附すこととする。図1は、本発明の実施形態にかかる半導体発光モジュール1の一部破断斜視図である。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the drawings, the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals. FIG. 1 is a partially broken perspective view of a semiconductor light emitting module 1 according to an embodiment of the present invention.

図1に示すように半導体発光モジュール1は、半導体発光素子2を含む半導体発光モジュール主要部4と、半導体発光モジュール主要部4を収容するハウジング6と、光導波部8とを備えている。   As shown in FIG. 1, the semiconductor light emitting module 1 includes a semiconductor light emitting module main part 4 including a semiconductor light emitting element 2, a housing 6 that houses the semiconductor light emitting module main part 4, and an optical waveguide part 8.

ハウジング6は、半導体発光モジュール主要部4を収容する収容空間10を規定する容器である。ハウジング6は、所定軸X方向に延びる一対の側壁12aと、所定軸Xに交差する面に沿って延びる前壁12b,後壁12cと、半導体発光モジュール主要部4が搭載される底板12dと、上蓋(図示せず)と、一対の側壁12aに各々取り付けられた端子基板14,16と、前壁12bに設けられた孔12gに取り付けられた光学窓18とを含む。一対の側壁12a、前壁12b、後壁12cと、底板12d、及び上蓋は、金属製であり、例えば、コバールやCuWによって構成される。   The housing 6 is a container that defines a housing space 10 that houses the semiconductor light emitting module main part 4. The housing 6 includes a pair of side walls 12a extending in the predetermined axis X direction, front and rear walls 12b and 12c extending along a plane intersecting the predetermined axis X, and a bottom plate 12d on which the semiconductor light emitting module main part 4 is mounted. It includes an upper lid (not shown), terminal boards 14 and 16 attached to the pair of side walls 12a, and an optical window 18 attached to a hole 12g provided in the front wall 12b. The pair of side walls 12a, the front wall 12b, the rear wall 12c, the bottom plate 12d, and the upper lid are made of metal, and are made of, for example, Kovar or CuW.

端子基板14及び16は、絶縁体層と金属層とによる積層構造の配線基板にリード端子が電気的に接続されたものである。端子基板14は、第1の導体14a、第2の導体14bを含む複数の導体14cを有している。複数の導体14cには、複数のリード端子14dが電気的に接続されている。端子基板16も同様に、複数の導体16cと、複数の導体16c各々に電気的に接続された複数のリード端子16dとを有している。端子基板14の詳細については、後述する。   The terminal boards 14 and 16 are obtained by electrically connecting lead terminals to a wiring board having a laminated structure of an insulator layer and a metal layer. The terminal board 14 has a plurality of conductors 14c including a first conductor 14a and a second conductor 14b. A plurality of lead terminals 14d are electrically connected to the plurality of conductors 14c. Similarly, the terminal board 16 includes a plurality of conductors 16c and a plurality of lead terminals 16d electrically connected to the plurality of conductors 16c. Details of the terminal board 14 will be described later.

半導体発光モジュール主要部4は、半導体発光素子2と、半導体発光素子2を搭載した配線基板22と、配線基板22を搭載したベース24と、受光部26を搭載した配線基板28と、ベース24及び配線基板28を搭載したLキャリア(搭載部材)30と、ペルチェ素子モジュール32とを有している。   The semiconductor light emitting module main part 4 includes a semiconductor light emitting element 2, a wiring board 22 on which the semiconductor light emitting element 2 is mounted, a base 24 on which the wiring board 22 is mounted, a wiring board 28 on which a light receiving unit 26 is mounted, a base 24, An L carrier (mounting member) 30 on which the wiring board 28 is mounted and a Peltier element module 32 are provided.

図2は、半導体発光モジュール主要部4の斜視図であり、図3は、半導体発光モジュール1の平面図である。図3に示すように、半導体発光素子2は、光出射面2a、光出射面2aに対向する光反射面2b、第1の電極2c、及び第2の電極2dを有する端面発光型の半導体レーザである。半導体発光素子2は、光出射面2aから所定軸X方向に光を出射するように配線基板22に搭載されている。   FIG. 2 is a perspective view of the main part 4 of the semiconductor light emitting module, and FIG. 3 is a plan view of the semiconductor light emitting module 1. As shown in FIG. 3, the semiconductor light emitting device 2 includes an edge emitting semiconductor laser having a light emitting surface 2a, a light reflecting surface 2b facing the light emitting surface 2a, a first electrode 2c, and a second electrode 2d. It is. The semiconductor light emitting element 2 is mounted on the wiring board 22 so as to emit light in the direction of the predetermined axis X from the light emitting surface 2a.

配線基板22は、AlNといったセラミックス製の基板の主面上に印刷された配線パターン22aを有している。配線パターン22a上には、半導体発光素子2の第1の電極2cが接触するように搭載されており、配線パターン22aと第1の電極2cが電気的に接続されている。図2及び図3に示すように、配線パターン22aは、所定軸X方向に延びた後、側壁12aに交差する方向に延びている。配線パターン22aには、NiCrといった材料からなる抵抗部22bが含まれている。抵抗部22bは、半導体発光素子2の第1の電極2cへの信号の伝送路における抵抗を調整するために設けられている。   The wiring substrate 22 has a wiring pattern 22a printed on the main surface of a ceramic substrate such as AlN. On the wiring pattern 22a, it mounts so that the 1st electrode 2c of the semiconductor light-emitting device 2 may contact, and the wiring pattern 22a and the 1st electrode 2c are electrically connected. As shown in FIGS. 2 and 3, the wiring pattern 22a extends in the direction crossing the side wall 12a after extending in the predetermined axis X direction. The wiring pattern 22a includes a resistance portion 22b made of a material such as NiCr. The resistance portion 22b is provided to adjust the resistance in the signal transmission path to the first electrode 2c of the semiconductor light emitting element 2.

図3に示すように、配線パターン22aの端部22cと端子基板14の第2の導体14bは、側壁12aに交差する方向に順に設けられている。配線パターン22aの端部22cと端子基板14の第2の導体14bは、複数のワイヤ34によって電気的に接続されている。半導体発光素子2の第1の電極2cには、第2の導体14bに接続されたリード端子14dからマイナスの変調信号が供給される。配線基板22は、CuWといった導電性の材料によって構成されたベース24に搭載されている。   As shown in FIG. 3, the end 22c of the wiring pattern 22a and the second conductor 14b of the terminal board 14 are provided in order in a direction intersecting the side wall 12a. The end 22 c of the wiring pattern 22 a and the second conductor 14 b of the terminal substrate 14 are electrically connected by a plurality of wires 34. A negative modulation signal is supplied to the first electrode 2c of the semiconductor light emitting element 2 from the lead terminal 14d connected to the second conductor 14b. The wiring board 22 is mounted on a base 24 made of a conductive material such as CuW.

ベース24は、第1の領域24a、第2の領域24b、及び第3の領域24cを有している。第1の領域24aには、配線基板22が搭載されている。本実施形態では、第1の領域24aのうち半導体発光素子2を、配線基板22を介して搭載している部分、第2の領域24b、及び第3の領域24cは、側壁12aに交差する方向に順に設けられている。   The base 24 has a first region 24a, a second region 24b, and a third region 24c. The wiring board 22 is mounted in the first region 24a. In the present embodiment, a portion of the first region 24a where the semiconductor light emitting element 2 is mounted via the wiring substrate 22, the second region 24b, and the third region 24c intersect with the side wall 12a. In order.

第2の領域24bは、配線基板22の一角が切りかかれることによって、露出されている。第2の領域24bには、半導体発光素子2の第2の電極2dがワイヤ38によって電気的に接続されている。   The second region 24b is exposed by cutting one corner of the wiring board 22. A second electrode 2 d of the semiconductor light emitting element 2 is electrically connected to the second region 24 b by a wire 38.

第3の領域24cと端子基板14の第1の導体14aは、図3に示すように、側壁12aに交差する方向に順に設けられており、複数のワイヤ39によって電気的に接続されている。第1の導体14aに接続されたリード端子14dはグランドに接続されている。   As shown in FIG. 3, the third region 24 c and the first conductor 14 a of the terminal substrate 14 are sequentially provided in a direction intersecting the side wall 12 a and are electrically connected by a plurality of wires 39. The lead terminal 14d connected to the first conductor 14a is connected to the ground.

受光部26は、フォトダイオードといった半導体受光素子26aと、半導体受光素子26aが支持されたステム26bとを含む。受光部26は、半導体発光素子2の光反射面2bからの背面光を半導体受光素子26aによって受けるように、配線基板28に搭載されている。ステム26bには、半導体受光素子26aに電気的に接続された配線パターン26c及び26dが設けられている。配線パターン26c,26dは、配線基板28の主面上に設けられた配線28a,28bの一端にワイヤ40,42によって電気的に接続されている。図3に示すように、配線28a,28bの他端は、端子基板16の導体16cにワイヤによって電気的に接続されている。半導体受光素子28は、光反射面2bからの背面光を受け、背面光の強度に応じた光電流を、導体16cに電気的に接続されたリード端子16dに出力する。   The light receiving unit 26 includes a semiconductor light receiving element 26a such as a photodiode, and a stem 26b on which the semiconductor light receiving element 26a is supported. The light receiving unit 26 is mounted on the wiring board 28 so that the back light from the light reflecting surface 2b of the semiconductor light emitting element 2 is received by the semiconductor light receiving element 26a. The stem 26b is provided with wiring patterns 26c and 26d that are electrically connected to the semiconductor light receiving element 26a. The wiring patterns 26 c and 26 d are electrically connected to one end of the wirings 28 a and 28 b provided on the main surface of the wiring substrate 28 by wires 40 and 42. As shown in FIG. 3, the other ends of the wirings 28a and 28b are electrically connected to the conductor 16c of the terminal board 16 by wires. The semiconductor light receiving element 28 receives the back light from the light reflecting surface 2b, and outputs a photocurrent corresponding to the intensity of the back light to the lead terminal 16d electrically connected to the conductor 16c.

また、図2及び図3に示すように、配線基板28には、配線パターン28c及び28dが設けられており、配線パターン28c及び28dにインダクタ29が電気的に接続されている。配線パターン28dは、ワイヤによって配線パターン22aに電気的に接続されている。図3に示すように、配線パターン28cは、端子基板16の導体16cに接続されており、導体16cに接続されているリード端子16dから、バイアス電流が、インダクタ29、及び配線パターン22aを介して半導体発光素子2の第1の電極2cに供給される。   Further, as shown in FIGS. 2 and 3, the wiring board 28 is provided with wiring patterns 28c and 28d, and an inductor 29 is electrically connected to the wiring patterns 28c and 28d. The wiring pattern 28d is electrically connected to the wiring pattern 22a by a wire. As shown in FIG. 3, the wiring pattern 28 c is connected to the conductor 16 c of the terminal substrate 16, and a bias current is passed through the inductor 29 and the wiring pattern 22 a from the lead terminal 16 d connected to the conductor 16 c. It is supplied to the first electrode 2 c of the semiconductor light emitting element 2.

ベース24及び配線基板28は、図1に示すように半導体発光モジュール1の温度を制御するためのペルチェ素子モジュール32上に搭載されたLキャリア30上に搭載されている。   The base 24 and the wiring board 28 are mounted on an L carrier 30 mounted on a Peltier element module 32 for controlling the temperature of the semiconductor light emitting module 1 as shown in FIG.

Lキャリア30は、例えばCuWといった導電性の材料によって構成される。図2に示すように、Lキャリア30は、所定軸X方向及び側壁12aに交差する方向に延びる面に沿うように設けられた搭載部30aと、所定軸Xに交差する面に沿って設けられた保持部30bとを有している。搭載部30aは、その主面30cに交差する方向へ凹状に設けられた収容部30dを有している。収容部30dには、ベース24が収容されている。収容部30dに収容されたベース24は、Lキャリア30に電気的に接続されている。主面30c上には、配線基板28が搭載されている。   The L carrier 30 is made of a conductive material such as CuW. As shown in FIG. 2, the L carrier 30 is provided along a surface that intersects the predetermined axis X direction and a surface that extends in a direction that intersects the side wall 12 a, and a surface that intersects the predetermined axis X. Holding part 30b. The mounting portion 30a has a housing portion 30d provided in a concave shape in a direction intersecting the main surface 30c. A base 24 is accommodated in the accommodating portion 30d. The base 24 accommodated in the accommodating portion 30d is electrically connected to the L carrier 30. A wiring board 28 is mounted on the main surface 30c.

保持部30bには、所定軸X方向に延びるレンズ保持孔30eが設けられている。レンズ保持孔30eには、レンズ50を保持したレンズホルダ52が固定されている。レンズ50は、半導体発光素子2の光出射面2aと光学的に結合されている。   The holding portion 30b is provided with a lens holding hole 30e extending in the predetermined axis X direction. A lens holder 52 that holds the lens 50 is fixed to the lens holding hole 30e. The lens 50 is optically coupled to the light emitting surface 2 a of the semiconductor light emitting element 2.

また、保持部30bには、半導体発光素子2への戻り光を防止するためのアイソレータを保持したアイソレータホルダ56が支持されている。アイソレータ56は、レンズ50及びハーメチックガラスといった光学窓18と光学的に結合されている。   Further, an isolator holder 56 that holds an isolator for preventing return light to the semiconductor light emitting element 2 is supported by the holding portion 30b. The isolator 56 is optically coupled to an optical window 18 such as a lens 50 and hermetic glass.

光導波部8は、図1に示すように、レンズ60と、レンズ60を保持したレンズホルダ62と、レンズホルダ62の一端に支持されたフェルールホルダ64と、フェルールホルダ64に保持されたフェルール66、フェルール66に嵌合され内孔に光ファイバ68を保持したフェルール70、これらの部材を覆うカバー72を有している。半導体発光素子2の光出射面2aは、レンズ50、アイソレータ54、光学窓18、及びレンズ60を介して、光ファイバ68の一端に光学的に結合されている。   As shown in FIG. 1, the optical waveguide unit 8 includes a lens 60, a lens holder 62 that holds the lens 60, a ferrule holder 64 that is supported by one end of the lens holder 62, and a ferrule 66 that is held by the ferrule holder 64. And a ferrule 70 fitted to the ferrule 66 and holding the optical fiber 68 in the inner hole, and a cover 72 covering these members. The light emitting surface 2 a of the semiconductor light emitting element 2 is optically coupled to one end of the optical fiber 68 through the lens 50, the isolator 54, the optical window 18, and the lens 60.

以下、端子基板14、配線基板22、ベース24、及びLキャリア30の更に詳細な構成を説明する。図4は、図1のIV−IV線断面図である。端子基板14は、CuWといった導電性の材料から構成されるグランド板(接地層)14g、第1絶縁体層14h、第1導電層14iと、第2絶縁体層14jと、第2導電層14kと、第3絶縁体層14mとが積層されたものであり、側壁12aに接合されている。第1絶縁体層14h、第2絶縁体層14j、第3絶縁体層14mは、例えばAlO2といったセラミックスから構成されている。 Hereinafter, more detailed configurations of the terminal board 14, the wiring board 22, the base 24, and the L carrier 30 will be described. 4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV in FIG. The terminal substrate 14 includes a ground plate (ground layer) 14g made of a conductive material such as CuW, a first insulator layer 14h, a first conductive layer 14i, a second insulator layer 14j, and a second conductive layer 14k. And the third insulator layer 14m are laminated and joined to the side wall 12a. The first insulator layer 14h, the second insulator layer 14j, and the third insulator layer 14m are made of ceramics such as AlO 2 .

図1のIV−IV線に沿う部分において、第1絶縁体層14hには、二つのビアホール14nが設けられている。ビアホール14nに導電材料14pが埋め込まれることによって、グランド板14gと第1導電層14iが電気的に接続されている。また、第2絶縁体層14jの縁部に設けられた導電膜14qによって、第1導電体層14hと第2絶縁体層14kが電気的に接続されている。以上の構成によって、第2絶縁体層14kに接合されたリード端子14dとグランド板14gが電気的に接続されている。   In the portion along the line IV-IV in FIG. 1, the first insulator layer 14h is provided with two via holes 14n. By burying the conductive material 14p in the via hole 14n, the ground plate 14g and the first conductive layer 14i are electrically connected. Further, the first conductor layer 14h and the second insulator layer 14k are electrically connected by the conductive film 14q provided at the edge of the second insulator layer 14j. With the above configuration, the lead terminal 14d joined to the second insulator layer 14k and the ground plate 14g are electrically connected.

グランド板14gは、第1の導体14aとして、収容空間10内まで延びている。この第1の導体14aとベース24の第3の領域24cとは、側壁12aに交差する方向に順に設けられている。また、第1の導体14aとベース24の第3の領域24cとは、所定軸X方向及び側壁に交差する方向に延びる第1基準面Aに沿って設けられている。したがって、第1の導体14aとベース24の第3の領域24cとの距離を近づけることができるので、第1の導体14aと第3の領域24cとを接続する複数のワイヤ39の距離を短くして、半導体発光素子2の第2の電極2cに至る信号の伝送路のインダクタンスを低減することができる。なお、本実施形態では、図3に示すように第1の導電パターン14aと第3の領域24cとは5本の金ワイヤによって接続されている。   The ground plate 14g extends into the accommodation space 10 as the first conductor 14a. The first conductor 14a and the third region 24c of the base 24 are sequentially provided in a direction intersecting the side wall 12a. The first conductor 14a and the third region 24c of the base 24 are provided along the first reference plane A extending in the direction of the predetermined axis X and the direction intersecting the side wall. Therefore, since the distance between the first conductor 14a and the third region 24c of the base 24 can be reduced, the distance between the plurality of wires 39 connecting the first conductor 14a and the third region 24c can be shortened. Thus, the inductance of the signal transmission path reaching the second electrode 2c of the semiconductor light emitting element 2 can be reduced. In the present embodiment, as shown in FIG. 3, the first conductive pattern 14a and the third region 24c are connected by five gold wires.

Lキャリア30の保持部30bには、図2及び図3に示すように、接続面30gが設けられている。この接続面30gは、図4に示すように上記の第1基準面Aに沿って設けられている。接続面30gと第1の導体14aとは、図3に示すように、側壁12aに交差する方向に順に設けられている。第1の導体14aは、この接続面30gと複数のワイヤ80によって電気的に接続されている。以上のように接続面30gを設けることによって、第1の導体14aと接続面30gとを接続するワイヤ80の距離を短くし、ワイヤ80のインダクタンスを低減することができる。   The holding part 30b of the L carrier 30 is provided with a connection surface 30g as shown in FIGS. The connection surface 30g is provided along the first reference surface A as shown in FIG. As shown in FIG. 3, the connection surface 30g and the first conductor 14a are sequentially provided in a direction intersecting the side wall 12a. The first conductor 14a is electrically connected to the connection surface 30g by a plurality of wires 80. By providing the connection surface 30g as described above, the distance of the wire 80 connecting the first conductor 14a and the connection surface 30g can be shortened, and the inductance of the wire 80 can be reduced.

また、第1の導体14aには、第3の領域24cに加えて接続面30gもワイヤによって接続することができるので、ワイヤの数を増やすことができ、半導体発光素子2の第2の電極2cに至る信号の伝送路のインダクタンスを更に低減することができる。   In addition to the third region 24c, the connection surface 30g can be connected to the first conductor 14a by a wire, so that the number of wires can be increased, and the second electrode 2c of the semiconductor light emitting element 2 can be increased. It is possible to further reduce the inductance of the signal transmission path leading to.

また、第1の導体14aに接続するワイヤの数を調整することができるので、ペルチェ素子モジュール32が有するキャパシタンスとワイヤのインダクタンスとによる共振周波数を使用周波数範囲からずらすことができ、使用周波数内において安定した変調信号を半導体発光素子2に供給することができる。その結果、半導体発光素子2から安定した光出力を得ることができる。なお、本実施形態では、接続面30gと第3の領域24cとは6本の金ワイヤによって接続されている。   In addition, since the number of wires connected to the first conductor 14a can be adjusted, the resonance frequency due to the capacitance of the Peltier element module 32 and the inductance of the wire can be shifted from the operating frequency range, and within the operating frequency. A stable modulation signal can be supplied to the semiconductor light emitting element 2. As a result, a stable light output can be obtained from the semiconductor light emitting element 2. In the present embodiment, the connection surface 30g and the third region 24c are connected by six gold wires.

さらに、接続面30gと第1の導体14aとが電気的に接続されることによって、Lキャリア30がグランドに接続されたグランド板14nに接続されるので、Lキャリア30と配線基板22との間のキャパシタンスが抑制される。   Further, since the connection surface 30g and the first conductor 14a are electrically connected, the L carrier 30 is connected to the ground plate 14n connected to the ground, and therefore, between the L carrier 30 and the wiring board 22. Capacitance is suppressed.

図4に示すように、ベース24の第1の領域24aのうち配線基板22を介して半導体発光素子2を搭載している部分と、第2の領域24bとは、側壁12aに交差する方向に順に設けられている。また、ベース24の第2の領域24bは、頂面を有するブロックとされている。半導体発光素子2の第2の電極2dとベース24の第2の領域24bに設けられたブロックの頂面とは、側壁12aに交差する第3基準面Cに沿って設けられている。この構成によって、半導体発光素子2の第2の電極2dと第2の領域24bに設けられたブロックの頂面とを接続するワイヤ38の長さを短くできるので、半導体発光素子2の第2の電極2dに至る信号の伝送路のインピーダンスを更に低減することができる。   As shown in FIG. 4, a portion of the first region 24a of the base 24 where the semiconductor light emitting element 2 is mounted via the wiring substrate 22 and the second region 24b are in a direction intersecting the side wall 12a. It is provided in order. The second region 24b of the base 24 is a block having a top surface. The second electrode 2d of the semiconductor light emitting element 2 and the top surface of the block provided in the second region 24b of the base 24 are provided along the third reference plane C that intersects the side wall 12a. With this configuration, the length of the wire 38 that connects the second electrode 2d of the semiconductor light emitting element 2 and the top surface of the block provided in the second region 24b can be shortened. The impedance of the signal transmission path reaching the electrode 2d can be further reduced.

図5は、図1のV−V線断面図である。図1のV−V線に沿う部分において、第1絶縁体層14hには、三つのビアホール14nが設けられている。ビアホール14nに導電材料14pが埋め込まれることによって、グランド板14gと第1導電層14iが電気的に接続されている。第2導電体層14kは第2の導体14bとして、収容空間10の外側から内部まで延びている。   FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line VV in FIG. In the portion along the line V-V in FIG. 1, the first insulator layer 14h is provided with three via holes 14n. By burying the conductive material 14p in the via hole 14n, the ground plate 14g and the first conductive layer 14i are electrically connected. The second conductor layer 14k extends from the outside to the inside of the accommodation space 10 as the second conductor 14b.

第2の導体14bは、配線パターン22aの端部22cと複数のワイヤ34によって電気的に接続されている。本実施形態では、第2の導体14bと、配線パターン22aの端部22cとは、側壁12aに交差する方向に順に設けられており、所定軸X方向及び側壁12aに交差する方向に延びる第2基準面Bに沿って設けられている。この構成によって、第2の導体14bと、配線パターン22aの端部22cとの距離を近づけて、第2の導体14bと端部22cを接続するワイヤ34の長さを短くすることができる。その結果、半導体発光素子2の第1の電極2cに至る信号の伝送路のインピーダンスを低減することができる。   The second conductor 14 b is electrically connected to the end 22 c of the wiring pattern 22 a by a plurality of wires 34. In the present embodiment, the second conductor 14b and the end 22c of the wiring pattern 22a are sequentially provided in a direction intersecting the side wall 12a, and extend in a direction intersecting the predetermined axis X direction and the side wall 12a. It is provided along the reference plane B. With this configuration, the distance between the second conductor 14b and the end 22c of the wiring pattern 22a can be reduced, and the length of the wire 34 connecting the second conductor 14b and the end 22c can be shortened. As a result, the impedance of the signal transmission path reaching the first electrode 2c of the semiconductor light emitting element 2 can be reduced.

以上のように、半導体発光モジュール1では、半導体発光素子2の第1の電極2c及び第2の電極2dに信号を伝送するための伝送路におけるインピーダンスが低減されているので、半導体発光素子2に高速な変調信号を供給することができる。その結果、半導体発光素子2を高速、かつ、安定に動作させることができ、広い周波数帯域で安定した光出力を得ることができる。   As described above, in the semiconductor light emitting module 1, the impedance in the transmission path for transmitting a signal to the first electrode 2c and the second electrode 2d of the semiconductor light emitting element 2 is reduced. A high-speed modulation signal can be supplied. As a result, the semiconductor light emitting element 2 can be operated at high speed and stably, and stable light output can be obtained in a wide frequency band.

なお、本発明は上記実施形態に限定されることなく種々の変形態様を構成することができる。図6は、本発明の他の実施形態にかかる半導体発光モジュール1aの斜視図である。半導体発光モジュール1aでは、第3の領域24c及び接続面30gが第1の導体14aとワイヤリボン90によって電気的に結合されており、配線パターン22aの端部22cが第2の導体14bともワイヤリボン92によって接続されている。半導体発光モジュール1aの他の構成は、半導体発光モジュール1と同様である。このように、第3の領域24c,接続面30gと第1の導体14aとの接続、配線パターン22aと第2の導体14bとの接続にワイヤリボンを用いても、本発明の思想が適用されうる。   In addition, this invention can comprise a various deformation | transformation aspect, without being limited to the said embodiment. FIG. 6 is a perspective view of a semiconductor light emitting module 1a according to another embodiment of the present invention. In the semiconductor light emitting module 1a, the third region 24c and the connection surface 30g are electrically coupled to the first conductor 14a by the wire ribbon 90, and the end 22c of the wiring pattern 22a is also connected to the second conductor 14b. 92 are connected. Other configurations of the semiconductor light emitting module 1 a are the same as those of the semiconductor light emitting module 1. Thus, even if the wire ribbon is used for the connection between the third region 24c, the connection surface 30g and the first conductor 14a, and the connection between the wiring pattern 22a and the second conductor 14b, the idea of the present invention is applied. sell.

図1は、本発明の実施形態にかかる半導体発光モジュールの一部破断斜視図である。FIG. 1 is a partially broken perspective view of a semiconductor light emitting module according to an embodiment of the present invention. 図2は、半導体発光モジュール主要部の斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of the main part of the semiconductor light emitting module. 図3は、本発明の実施形態にかかる半導体発光モジュールの平面図である。FIG. 3 is a plan view of the semiconductor light emitting module according to the embodiment of the present invention. 図4は、図1のIV−IV断面図である。4 is a cross-sectional view taken along the line IV-IV in FIG. 図5は、図1のV−V断面図である。5 is a cross-sectional view taken along the line V-V in FIG. 図6は、本発明の他の実施形態にかかる半導体発光モジュールの一部破断斜視図である。FIG. 6 is a partially broken perspective view of a semiconductor light emitting module according to another embodiment of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

1…半導体発光モジュール、2…半導体発光素子、2c…第1の電極、2d…第2の電極、4…半導体発光モジュール主要部、6…ハウジング、8…光導波部、10…収容空間、12a…側壁、14,16…端子基板、14a…第1の導体,14b…第2の導体、22…配線基板,20a…配線パターン、22c…端部、24…ベース、24a…第1の領域、24b…第2の領域、24c…第3の領域、26…受光部、28…配線基板、30…Lキャリア、30g…接続面、32…ペルチェ素子モジュール。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Semiconductor light emitting module, 2 ... Semiconductor light emitting element, 2c ... 1st electrode, 2d ... 2nd electrode, 4 ... Semiconductor light emitting module main part, 6 ... Housing, 8 ... Optical waveguide part, 10 ... Housing space, 12a ... side walls, 14, 16 ... terminal board, 14a ... first conductor, 14b ... second conductor, 22 ... wiring board, 20a ... wiring pattern, 22c ... end, 24 ... base, 24a ... first area, 24b ... 2nd area | region, 24c ... 3rd area | region, 26 ... Light-receiving part, 28 ... Wiring board, 30 ... L carrier, 30g ... Connection surface, 32 ... Peltier device module.

Claims (5)

光出射面と第1の電極と第2の電極とを有し、該光出射面から光を出射する半導体発光素子と、
前記第1の電極と電気的に接続され前記半導体発光素子が搭載される配線パターンを有する配線基板と、
前記配線基板を搭載する第1の領域と、前記第2の電極と電気的に接続される第2の領域と、第3の領域とを有する導電性のベースと、
前記第3の領域と電気的に接続される第1の導体と、前記配線パターンと電気的に接続される第2の導体とを少なくとも含む複数の導体を有する端子基板を有し、前記半導体発光素子と前記配線基板と前記ベースとを収容する収容空間を提供するハウジングと
を備え、
前記第1の導体と前記第3の領域とは、第1の基準面に沿って設けられていることを特徴とする半導体発光モジュール。
A semiconductor light emitting element having a light emitting surface, a first electrode, and a second electrode, and emitting light from the light emitting surface;
A wiring board having a wiring pattern electrically connected to the first electrode and on which the semiconductor light emitting element is mounted;
A conductive base having a first region for mounting the wiring board, a second region electrically connected to the second electrode, and a third region;
A terminal substrate having a plurality of conductors including at least a first conductor electrically connected to the third region and a second conductor electrically connected to the wiring pattern; A housing that provides a housing space for housing the element, the wiring board, and the base;
The semiconductor light emitting module, wherein the first conductor and the third region are provided along a first reference plane.
前記配線パターンと前記第2の導体は、前記第1の基準面と異なる第2の基準面に沿って設けられていることを特徴とする請求項1に記載の半導体発光モジュール。 The semiconductor light emitting module according to claim 1, wherein the wiring pattern and the second conductor are provided along a second reference plane different from the first reference plane. 前記第2の領域は、頂面を有する導電性のブロックを有し、
前記第2の電極と前記頂面とは、第3の基準面に沿って設けられており、
前記頂面と前記第2の電極とが電気的に接続されている
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体発光モジュール。
The second region has a conductive block having a top surface;
The second electrode and the top surface are provided along a third reference plane,
The semiconductor light emitting module according to claim 1, wherein the top surface and the second electrode are electrically connected.
前記端子基板は、接地層、第1絶縁層、第1導電層、第2絶縁層、第2導電層、及び第3絶縁層が順に積層された積層構造を有し、
前記第1絶縁層には複数のビアホールが設けられており、
前記接地層と前記第1導電層とは、前記複数のビアホールに埋め込まれた導電材料によって電気的に接続されており、
前記接地層は、前記第1の導体を含み、
前記第2導電層は、前記第2の導体を含む
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体発光モジュール。
The terminal substrate has a stacked structure in which a ground layer, a first insulating layer, a first conductive layer, a second insulating layer, a second conductive layer, and a third insulating layer are stacked in order,
The first insulating layer is provided with a plurality of via holes,
The ground layer and the first conductive layer are electrically connected by a conductive material embedded in the plurality of via holes,
The ground layer includes the first conductor;
The semiconductor light emitting module according to claim 1, wherein the second conductive layer includes the second conductor.
前記ベースが搭載される搭載部材を更に備え、
前記搭載部材は、前記第1の基準面に沿う接続面を有し、
前記接続面と前記第1の導体とが電気的に接続されている
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体発光モジュール。
A mounting member on which the base is mounted;
The mounting member has a connection surface along the first reference surface;
The semiconductor light emitting module according to claim 1, wherein the connection surface and the first conductor are electrically connected.
JP2003271548A 2003-07-07 2003-07-07 Semiconductor light emitting module Pending JP2005033037A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003271548A JP2005033037A (en) 2003-07-07 2003-07-07 Semiconductor light emitting module

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003271548A JP2005033037A (en) 2003-07-07 2003-07-07 Semiconductor light emitting module

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2005033037A true JP2005033037A (en) 2005-02-03

Family

ID=34209383

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003271548A Pending JP2005033037A (en) 2003-07-07 2003-07-07 Semiconductor light emitting module

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2005033037A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US12429657B2 (en) 2020-06-12 2025-09-30 Sumitomo Electric Device Innovations, Inc. Optical device and manufacturing method for optical device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US12429657B2 (en) 2020-06-12 2025-09-30 Sumitomo Electric Device Innovations, Inc. Optical device and manufacturing method for optical device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7512165B2 (en) Photoelectric conversion module and optical transceiver using the same
US20130114629A1 (en) Enclosure for a laser package
JP6834108B2 (en) Electronic device assembly
US20070183718A1 (en) Optical module
KR101929465B1 (en) Optical module
US6556608B1 (en) Small format optical subassembly
US6824314B2 (en) Package for opto-electrical components
JP2019036584A (en) Optical module
JP2004356233A (en) Semiconductor laser module and semiconductor laser device
CN109286128A (en) Optical transmitter device
JP6232950B2 (en) Light emitting module
JP2012084614A (en) Optical device
JP6558688B2 (en) Semiconductor optical amplifier
JP4525478B2 (en) Optical subassembly with radiating fins
JP3788249B2 (en) Light emitting module
CN100470971C (en) optical module
JP2006284781A (en) Circuit board
JP2009260095A (en) Optical module
JP2005033037A (en) Semiconductor light emitting module
JP2016018120A (en) Semiconductor optical amplification device
JP2007123739A (en) Optical transmission module, optical transmission / reception module, and optical communication device
JP2019186455A (en) Package for optical receiver module
JP2009253176A (en) Photoelectric conversion module and optical subassembly
JP2004200279A (en) Photoelectric device
US6783393B2 (en) Package for opto-electrical components

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060704

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090611

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090623

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090824

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20091104