JP2005077320A - 超音波探触子およびタービンブレード用探傷装置とその探傷方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 タービンブレードのような曲率が大きい曲面上に発生する微小なき裂の深さを短時間に精度良く測定することができる超音波探触子および探傷装置とその探傷方法を提供する。
【解決手段】 本発明にかかる超音波探触子３と被測定物であるタービンブレード面２２との間に介装させる接触媒質を薄膜状の弾性部材とすることで、広周波数帯域（１ＭＨｚ〜１５ＭＨｚ）の超音波を、被測定物（タービンブレード２）側に減衰させずに通過させることができるので、０．１ｍｍ以上の微小なき裂の深さを精度良く測定することが可能となる。
【選択図】 図４

Description

本発明は、タービンブレード等に発生する微小欠陥を検出する超音波探触子およびタービンブレードに発生する欠陥を探傷する探傷装置とその探傷方法に関するものである。

発電所やプラント等で使用されるガスタービンのタービンブレードには、タービンブレードの酸化を防止するためのコーティングがなされている。タービンを起動する際、タービンブレード内には大きな熱応力が発生するので、タービンブレードのコーティング層表面にき裂が発生する。このき裂は、タービンを繰返し起動することに伴うタービンブレードの疲労によって、タービンブレード内部方向に進展する。この際、き裂の先端がコーティング層に留まっていれば、再コーティングによりタービンブレードの再使用が可能となるが、き裂先端がコーティング層を越え、タービンブレード基材に達すると、もはや再使用は不可能であり、そのまま使用を継続するとタービンブレードが破壊する恐れがある。そのため、き裂深さをタービンブレードの一定使用期間毎に測定することによって再コーティングの時期を予測する必要がある。

従来、このようなき裂を非破壊で検出する方法として、例えば超音波探触子を用いてき裂の深さを測定する超音波探傷方法が特公昭６３−２１１３５号公報に開示されている（特許文献１参照）。この方法は、被測定物に対して所定の角度で入射させた超音波がき裂の先端で回折して検出部に達するまでに要する時間と、被測定物にき裂が存在しない場合に同様の方法で入射させた超音波が検出部に達するまでに要する時間との差からき裂の深さを推測するものである。
特公昭６３−２１１３５号公報（第２〜３項、第３図）

しかし、この方法では探触子を被測定物に接触させる必要があるので、曲率が大きく複雑な曲面を有するタービンブレード等に対して精度良く測定を行うことが難しい。また、曲率が小さい曲面に発生したき裂を、従来の超音波探触子を用いて検出する場合であっても、一定の入射エネルギーを確保するため探触子と被測定物との接触面積を大きくする必要がある。しかし、接触面積を大きくすると、超音波ビーム径が太くなるので、分解能が低下し、タービンブレードのコーティング層に発生するような微小なき裂（０．１ｍｍ以上）を精度良く測定することができない。また、上記コーティング層に発生するき裂は１ｍｍ以下の間隔で密集しているので、接触面積が大きいと、個々のき裂を正確に認識し測定することができない。逆に、接触面積が小さすぎると、接触面がき裂の開口幅と同サイズになってしまい、測定が困難となる。

き裂を検出する他の手段として、渦電流を利用した探傷装置が特開平１１−１０１７８３号公報に開示されている（特許文献２参照）。この探傷装置によれば、導電回路により被測定物内に渦電流を誘起させると、この誘起された渦電流により導電回路の出力が変化するが、この出力変化とき裂深さの間には一定の相関が確認されているので、出力の変化を計測することで、き裂深さを予測することができる。しかし、タービンブレードあるいはそのコーティング層は使用中に導電率が変化してしまい、なおかつコーティング層にセラミック等の絶縁体を使用する場合もあるので、き裂深さを精度良く測定することが難しい。
特開平１１−１０１７８３号公報（第４〜５頁、第１図）

また、上記特許文献２に記載の探傷装置は、タービンブレードの前縁部に生じたき裂のみを検出し、その寸法を計測するものであり、計測範囲も前縁部上の一直線上に限られるので、タービンブレードの前縁部以外の箇所（例えば背の部分）に発生するき裂を、広範囲に渡って探傷できないという問題が生じる。

そこで本発明は、上述の問題点を解決する超音波探触子および探傷装置とその探傷方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明にかかる超音波探触子は、被測定物と対向する接触媒質と、前記接触媒質を通じて超音波を被測定物に送信する送信用振動子と、送信用振動子と音響隔壁を介して隣接し被測定物から反射した超音波を前記接触媒質を通じて受信する受信用振動子とを有する超音波探触子であって、上記接触媒質を、薄膜状の弾性部材とすることにより、上記送信用振動子より送信された１ＭＨｚ〜１５ＭＨｚの広周波数帯域を有する超音波を、被測定物側へ減衰させずに通過させるものであることを特徴とした。

超音波探触子は、被測定物に接触させて使用される。実際には探触子と被測定物との間にすき間が発生するので、探触子側からの超音波を減衰させずに被測定物に入射させるため、両接触面の間に液体接触媒質（水やグリースなど）を充填する。しかし、測定するき裂深さが浅いと、き裂内部に浸入した液体接触媒質によって計測誤差が生まれる恐れがある。そこで、上述の通り、接触媒質を、例えば天然ゴム等からなる薄膜状の弾性部材とすることにより、送信用振動子より送信された１ＭＨｚ〜１５ＭＨｚの広周波数帯域を有する超音波を、被測定物側へ減衰させずに通過させるものとした。物質中を通過する波の速度は、物質に固有であり、波長と周波数との積に等しいことを考えれば、高い周波数領域を有する超音波の波長は短くなるので、分解能を向上させることができ、微小なき裂の深さを高精度に測定することができる。また、液体接触媒質に代えて、例えば天然ゴム等からなる薄膜状の弾性部材を用いることで、接触面が水平以外であっても両者の接触状態を良好に維持して測定を行うことができる（請求項１、４、１０）。

上記探触子下端部の外形を、下方を縮径させた截頭円錐状とすることによって、上記振動子と被測定物との接触面積が小さくても入射する超音波のエネルギーを確保することができる。また、上記の形状にすることで、送信波ビームと受信波ビームとの焦点を振動子側に近づけることができるので、より浅いき裂を精度良く測定することが可能になる。さらに、上記探触子の下端面の直径を１ｍｍ〜５ｍｍとすることにより、１ｍｍ以下の間隔で密集して発生するき裂を混同することなく、正確に測定することができる（請求項２、５、１１）。

また、本発明にかかるタービンブレード用探傷装置は、タービンブレード上の開口き裂を探傷する探傷部と、探傷部を保持する走査部と、走査部をタービンブレード面長手方向に沿って移動させる第一移動機構と、第一移動機構をタービンブレード面円弧方向に沿って移動させる第二移動機構と、第二移動機構をタービンブレードに固定する固定部材とを備えるものとした。これにより、タービンブレードをロータから取外すことなくタービンブレード面を探傷でき、かつタービンブレード面をもれなく走査できるので、迅速かつ正確なき裂深さの測定ができる（請求項３）。

上記探傷部には、超音波探触子だけでなく、渦電流プローブを用いることもできる（請求項６、１２）。

タービンブレード面上を走査してき裂を探傷する際、上述のように、超音波探触子あるいは渦電流プローブの何れかを用いるが、何れを用いる場合でも、その下端面とタービンブレード面（き裂を含む）とを接触させる必要がある。よって、超音波探触子あるいは渦電流プローブを下向きに付勢する手段（例えばスプリングを設置）を備えることにより、複雑な三次元曲面を有するタービンブレード面と上記超音波探触子あるいは上記渦電流プローブの下端面とを確実に接触させることができ、さらに高精度の測定が可能となる（請求項７、１３）。

上記走査部が、走査箇所の像を反射する反射鏡と、反射鏡により反射された像を拡大撮影する小型カメラとを備えることにより（請求項７、１４）、き裂の正確な位置を確認して、その箇所のみを測定することが可能となるので、探傷検査の迅速化を図ることができる（請求項８、１４）。

上記構成の超音波探傷装置を用いて、タービンブレード面上のき裂を探傷する方法として、まず渦電流探傷手段によりタービンブレード面上を走査して探傷を行い、次に超音波探傷手段によって、先の探傷操作（渦電流探傷手段による探傷）でき裂が発見された箇所のみを探傷する方法を採用することによって、比較的密集して発生するき裂のおおまかな位置を渦電流探傷手段により検出し、き裂の存在が認められた箇所にのみ超音波探傷手段による探傷操作を行うことができる。この操作手順により、検査時間の大幅な短縮を図ることができる（請求項９）。

次に、本発明にかかる超音波探触子の作動原理を、以下の実施形態を例にとって説明する。

まず、本発明にかかる超音波探触子３は、送信用圧電素子３１ａと、送信用圧電素子３１ａから送信された超音波（送信波）３２ａを被測定物に伝達する送信波伝達部材３３ａと、この送信波伝達部材３３ａと音響隔壁３４を介して対向する受信波伝達部材３３ｂと、この受信波伝達部材３３ｂに被測定物側から入射した回折波（受信波）３２ｂを受信する受信用圧電素子３１ｂとで構成される（図４（ａ）参照）。ここで、超音波探触子３は、その下端面と、この下端面に対向する開口き裂２１を含むタービンブレード面２２との間に天然ゴムなどからなる厚さ０．１ｍｍ程度のドライカップリング（薄膜状の弾性部材に相当）３５を介して接触している（図４（ｂ）参照）。また、上記探触子の下端部は、下方を縮径させた截頭円錐状の外形を有しており、その下端面の直径は約３ｍｍである。

ここで、上記ドライカップリング３５の厚さを０．１ｍｍとしたのは以下の理由による。０．１ｍｍより厚いドライカップリングを用いると、所定の広周波数帯域（今実施例では１０MHｚを中心とした周波数帯域）を有する超音波がドライカップリングに吸収されて、波長が長くなり分解能が低下する。また、ドライカップリングは上記探触子から下向きの負荷を受けた状態で使用されるため、０．１ｍｍより薄いと度重なる使用に対する耐久性に乏しく、安定した性能が発揮できない。ゆえに、本実施例では０．１ｍｍ厚さのドライカップリング３５を採用した。もちろん、ドライカップリング３５の厚さは０．１ｍｍに限られるものではなく、所定の広周波帯域を有する送信波３２ａを被測定物（この例ではタービンブレード２）に減衰させずに通過させるものであればよい。

タービンブレード２の表面に開口き裂２１が存在する場合、超音波探触子３を上方から見て超音波探触子３内の音響隔壁３４と開口き裂２１とが重なるように、超音波探触子３を配置する（図４（ａ）参照）。まず、パルス発生回路（図示しない）により発生させたパルス信号（この例ではスパイクパルス）が送信用圧電素子３１ａの振動を励起し、上記送信用圧電素子３１ａからの送信波３２ａが送信波伝達部材３３ａを伝達し、さらにドライカップリング３５を通過してタービンブレード２内に入射される。き裂先端２１ａで回折した波（受信波）３２ｂは、再びドライカップリング３５および受信波伝達部材３３ｂを介して受信用圧電素子３１ｂに受信される。

この時、送信用圧電素子３１ａから送出された送信波３２ａが，受信波３２ｂとして受信用圧電素子３１ｂに伝達されるまでに要した時間をＴとする。一方、開口き裂２１がタービンブレード面２２に存在しない場合、送信用圧電素子３１ａから送出された送信波３２ａは、タービンブレード内部には入射せずにタービンブレード面２２を経由して受信用圧電素子３１ｂに受信される。これに要した時間がＴａである場合、その時間差Ｔ−Ｔａは送信波３２ａおよび受信波３２ｂが辿る経路の差に比例するので、比例定数を予め求めておけばき裂深さを伝達時間の差から簡単に求めることができる。

この際、上述のドライカップリング３５を使用することによって、広帯域型の超音波が被測定物内に伝達され、高い分解能を発揮することができる。例えば、タービンブレード２のコーティング層（厚さ約２００μm）の表面に発生する開口き裂２１が微小（き裂深さ１００μｍ〜２００μｍ）であっても、その深さを正確に測定することができる。

超音波探触子と被測定物であるタービンブレード面との間に介装させる接触媒質を薄膜状の弾性部材とすることで、広周波数帯域（１ＭＨｚ〜１５ＭＨｚ）の超音波を、被測定物（タービンブレード）側に減衰させずに通過させることができ、分解能が高い受信波を得ることができる。ゆえに、タービンブレードのコーティング層に発生する微小なき裂の深さを精度良く測定することが可能となる。

本発明にかかるタービンブレード用探傷装置によれば、タービンブレードをロータから取外すことなくタービンブレード面を探傷でき、かつタービンブレード面をもれなく走査できるので、迅速かつ正確なき裂深さの測定ができる。

き裂の発生位置およびその深さを測定する渦電流探傷手段と、き裂の正確な深さを計測可能な超音波探傷手段とを使い分けることにより、作業全体を迅速化し、かつ精度の良いき裂深さの測定が可能となる。

以下、本発明にかかるタービンブレード用探傷装置の一実施形態を図１〜図３、図５〜図７に基づいて説明する。

図１、図２および図３に、タービンブレードに取付けたタービンブレード用探傷装置の正面図、平面図および右側面図をそれぞれ示す。このタービンブレード用探傷装置１は、タービンブレード２上のき裂を探傷する渦電流プローブ４と、上記渦電流プローブ４を保持するプローブホルダ（走査部に相当）５と、プローブホルダ５をタービンブレード面長手方向（図１中矢印Ａの方向）に沿って移動させる第一移動機構７と、第一移動機構７をタービンブレード面円弧方向（図３中矢印Ｂの方向）に沿って移動させる第二移動機構８と、第二移動機構８をタービンブレード２に固定するクランプ部（固定部材に相当）９を主な構成要素として構成される。上記構成は、渦電流探傷手段を用いて探傷検査を行う場合の構成例であり、渦電流探傷手段に代えて、超音波探傷手段によって探傷を行う場合、渦電流プローブ４の代わりに超音波探触子３を、プローブホルダ５の代わりに探触子ホルダ６０を用いることができる。また、このタービンブレード用探傷装置１は、タービンブレード２の平坦な端面にタービンブレード用探傷装置１の接触面６が対向するように取付けられる。

ここで第一移動機構７は、図１あるいは図２に示すように、プローブホルダ５に連結されて、ステッピングモーター等の第一駆動回路７１の駆動によりタービンブレード面長手方向に摺動するスライダ７２と、スライダ７２と連動するスライドレール摺動部７３ａと、スライドレール摺動部７３ａを摺動自在に支持するスライドレール支持部７３ｂと、スライドレール支持部７３ｂと第一駆動回路７１とを連結する第一の連結部材７４とで構成される。この時、スライダ７２の摺動可能幅を、タービンブレード２のうちタービンロータに植え込まれていない有効部の長手方向長さに設定すれば、タービンブレード面長手方向にもれなく探傷できる。

第二移動機構８は、図１に示すように、上記連結部材７４と連動する連動部材８１と、連動部材８１をギア８２を介して回動させるステッピングモーター等の第二駆動回路８３とで構成される。なお、第一駆動回路７１および第二駆動回路８３は図示しない制御回路によって制御される。

渦電流プローブ４は、図６に示すように、プローブ外枠４０と、プローブ外枠４０に上下方向に摺動自在に支持されるプローブコイル４１と、プローブコイル４１下端部の周縁に装着されるセラミックガイド４２と、上端がスプリングホルダ４３に係止され下端がプローブコイル４１に連結されており、プローブコイル４１を下向きに付勢する第二のスプリング４４とで構成される。この時、タービンブレード面２２と対向する渦電流プローブ４の下端面の直径は約５ｍｍである。なお、タービンブレード２内に誘起された渦電流によるプローブコイルの出力電圧の変化は、コード４５を介して図示しない出力計測装置により計測される。

渦電流プローブ４を保持するプローブホルダ５は、プローブホルダ本体５１と、プローブホルダ本体５１に回転自在に取付けられる四対の高密度樹脂からなるローラ５２とで構成されており、プローブホルダ本体５１は、第二の連結部材５３を介してスライダ７２に連結される（図１参照）。また、プローブホルダ本体５１には、渦電流プローブ４を装着するための貫通孔５４が設けられる（図２参照）。

また、上述の超音波探触子３は、図５に示すように、探触子ホルダ６０に保持される。ここで、探触子ホルダ６０は、ホルダ本体６０ａと、ホルダ本体６０ａに上下方向に摺動自在に支持される超音波探触子３と、上記超音波探触子３に連結されるガイドシャフト６１と、スプリングホルダ６２を介してガイドシャフト６１に連結されて、上記超音波探触子３を下向きに付勢する第一のスプリング６３と、上記探触子と対向するタービンブレード面２２の像を上方向に反射する反射鏡６４と、反射鏡６４により上方向に反射した像を撮影するＣＣＤカメラ６５と、ホルダ本体６０ａの下端部に設置される複数のキャスター６６とで構成される。なお、受信用圧電素子により受信された波は図中の伝達ケーブル６７を介して、パルサーレシーバー（図示しない）により増幅され、デジタルオシロスコープ（図示しない）に取込まれる。

上記超音波探触子３および上記渦電流プローブ４は、タービンブレード面２２と接触する上記超音波探触子３本体およびプローブコイル４１を下向きに付勢するための手段（この例ではスプリング４４、６３）を共に備えているので、上記超音波探触子３およびプローブコイル４１とタービンブレード面２２との安定した接触状態を得ることができる。

上記構成のタービンブレード用探傷装置１において、まず、タービンブレード用探傷装置１に備えられたプローブホルダ５は、図２に示す通り、タービンブレード面２２の背２２ｂ（図７参照）の端面側（探傷装置取付け側）に配置される。当初、プローブホルダ５には渦電流プローブ４が装着されている。第一移動機構７内の第一駆動回路７１を駆動させると、スライダ７２に連動してプローブホルダ５が、上記位置からタービンブレード面長手方向に沿ってタービンブレード面植え込み部２’側に一定速度で移動する。それに伴って、タービンブレード面２２に接触している渦電流プローブ４が探傷検査を行う。プローブホルダ５および渦電流プローブ４がタービンブレード面植え込み部２’に近い位置まで移動すると（図２中の走査軌跡Ａ０−Ａ１）、長手方向にはその位置を保持しつつ、第二移動機構８内の第二駆動回路８３により連動部材８１を介してプローブホルダ５を含む第一移動機構７全体をタービンブレード２前縁部方向（図３中矢印Ｂの方向）に一定角度回動させる（図２中の走査軌跡Ａ１−Ａ２）。次に、タービンブレード面略円弧方向にはその位置を保持しながら、第一移動機構７内の第一駆動回路７１を駆動させて渦電流プローブ４およびプローブホルダ５をタービンブレード面長手方向に再び摺動させつつ（図２中の走査軌跡Ａ２−Ａ３）探傷を行う。

上記手順の通り、渦電流プローブ４が図２に示す走査軌跡に沿って一定の走査範囲まで（例えば図２中走査軌跡の下端線まで）探傷走査を行う。これにより、タービンブレード面２２上の一定の範囲内に存在する開口き裂２１の位置およびき裂深さを求めることができる。この際、一定の深さ（例えば０．２ｍｍ以上）を有するき裂が検出された位置を、図示しないポテンショメーター等により検出し、記録しておく。

次に、超音波探触子３を用いてタービンブレード面２２の探傷走査を行う。プローブホルダ５に代えて探触子ホルダ６０が設置され、上記探触子ホルダ６０には超音波探触子３が装着されており、これらは上記初期位置Ａ０に配置されている。次に、上述の走査軌跡に沿って探触子ホルダ６０および超音波探触子３を移動させる。この時、上記記録装置により記録された一定深さを有するき裂の位置でのみ探傷走査を行い、より正確なき裂深さを計測する。この際、探触子ホルダ６０に設けられた反射鏡６４とＣＣＤカメラ６５により、図示しないモニタに映し出された映像で、き裂の正確な位置を確認して、その箇所を正確に測定することができる。

上記実施例では、タービンブレード面の背２２ｂを検査開始地点として、図２中に示される走査軌跡（Ａ０−Ａ４）に沿って走査が行われたが、無論実施形態はこれに限られるものではなく、必要な走査範囲に応じてプローブホルダ５（あるいは探触子ホルダ６０）の初期位置および走査軌跡を設定すればよい。

タービンブレード２に取付けたタービンブレード用探傷装置１の正面図である。 上記タービンブレード用探傷装置１の平面図である。 上記タービンブレード用探傷装置１の右側面図である。 超音波探触子３の原理を説明するための超音波探触子３の基本構成図および接触面付近の拡大断面図である。 超音波探触子３を内包した探触子ホルダ６０の断面図および右側面図である。 渦電流プローブ４の断面図である。 タービンブレード２の斜面図である。

符号の説明

１ タービンブレード用探傷装置
２ タービンブレード
３ 超音波探触子
４ 渦電流プローブ
５ プローブホルダ
７ 第一移動機構
８ 第二移動機構
９ クランプ部
２１ 開口き裂
２２ｂ タービンブレードの背
３１ａ 送信用振動子
３１ｂ 受信用振動子
３２ａ 送信波
３２ｂ 受信波
３５ ドライカップリング
４１ プローブコイル
６４ 反射鏡
６５ ＣＣＤカメラ
７１ 第一駆動回路
７３ａ スライドレール摺動部
７３ｂ スライドレール支持部
８３ 第二駆動回路

Claims (14)

1. 被測定物と対向する接触媒質と、前記接触媒質を通じて超音波を被測定物に送信する送信用振動子と、送信用振動子と音響隔壁を介して隣接し被測定物から反射した超音波を前記接触媒質を通じて受信する受信用振動子とを有する超音波探触子であって、
   上記接触媒質を、薄膜状の弾性部材とすることにより、上記送信用振動子より送信された１ＭＨｚ〜１５ＭＨｚの広周波数帯域を有する超音波を、被測定物側へ減衰させずに通過させることを特徴とする超音波探触子。
2. 上記超音波探触子を、その下端部の外形を、下方を縮径させた截頭円錐状とし、その下端面の直径が１ｍｍ〜５ｍｍであることを特徴とする請求項１に記載の超音波探触子。
3. タービンブレードの欠陥を探傷する探傷部と、探傷部を保持する走査部と、走査部をタービンブレード面長手方向に沿って移動させる第一移動機構と、第一移動機構をタービンブレード面円弧方向に沿って移動させる第二移動機構と、第二移動機構をタービンブレードに固定する固定部材とを備えるタービンブレード用探傷装置。
4. 上記探傷部が、被測定物と対向する接触媒質と、前記接触媒質を通じて超音波を被測定物に送信する送信用振動子と、送信用振動子と音響隔壁を介して隣接し被測定物から反射した超音波を前記接触媒質を通じて受信する受信用振動子とを有する超音波探触子であって、
   上記接触媒質を、薄膜状の弾性部材とすることにより、上記送信用振動子より送信された１ＭＨｚ〜１５ＭＨｚの広周波数帯域を有する超音波を、被測定物側へ減衰させずに通過させるものであることを特徴とする請求項３に記載のタービンブレード用探傷装置。
5. 上記超音波探触子を、その下端部の外形を、下方を縮径させた截頭円錐状とし、その下端面の直径が１ｍｍ〜５ｍｍであることを特徴とする請求項４に記載のタービンブレード用探傷装置。
6. 上記探傷部を、渦電流プローブとすることを特徴とする請求項３に記載のタービンブレード用探傷装置。
7. 上記走査部をタービンブレード面下向きに付勢して、走査部をタービンブレードに接触させる機構を備えることを特徴とする請求項３〜６の何れかに記載のタービンブレード用探傷装置。
8. 上記走査部が、走査箇所の像を反射する反射鏡と、反射鏡により反射された像を撮影する小型カメラとを備えることを特徴とする請求項３〜７の何れかに記載のタービンブレード用探傷装置。
9. タービンブレードの欠陥を探傷する探傷部を設けた走査部を、第一移動機構によりタービンブレード面長手方向に沿って移動させて探傷を行い、かつ第二移動機構により上記探傷部を含む第一移動機構をタービンブレード面円弧方向に沿って移動させて探傷を行う方法であって、
   上記探傷を、渦電流探傷手段により実行し、次に、先の渦電流探傷手段による探傷でき裂が発見された箇所のみ超音波探傷手段によって行うことを特徴とするタービンブレード用探傷方法。
10. 上記超音波探傷手段を、被測定物と対向する接触媒質と、前記接触媒質を通じて超音波を被測定物に送信する送信用振動子と、送信用振動子と音響隔壁を介して隣接し被測定物から反射した超音波を前記接触媒質を通じて受信する受信用振動子とを有する超音波探触子を用いて行うものとし、
    上記接触媒質を、薄膜状の弾性部材とすることにより、上記送信用振動子より送信された１ＭＨｚ〜１５ＭＨｚの広周波数帯域を有する超音波を、被測定物側へ減衰させずに通過させることを特徴とする請求項９に記載のタービンブレード用探傷方法。
11. 上記超音波探触子を、その下端部の外形を、下方を縮径させた截頭円錐状とし、その下端面の直径が１ｍｍ〜５ｍｍであることを特徴とする請求項１０に記載のタービンブレード用探傷方法。
12. 上記渦電流探傷手段を、渦電流プローブを用いて探傷を行うものとすることを特徴とする請求項９に記載のタービンブレード用探傷方法。
13. 上記走査部をタービンブレード面下向きに付勢して、走査部をタービンブレードに接触させる機構を備えることを特徴とする請求項９〜１２の何れかに記載のタービンブレード用探傷方法。
14. 上記走査部が、走査箇所の像を反射する反射鏡と、反射鏡により反射された像を撮影する小型カメラとを備えることを特徴とする請求項９〜１３の何れかに記載のタービンブレード用探傷方法。