JP2005071482A - Optical pickup evaluation apparatus, evaluation method, and manufacturing method - Google Patents
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Abstract
【課題】 半導体レーザもしくは光学部品の不具合により適正なレーザ出力ができない光ピックアップをユニットの製造段階で確実に且つ容易に選別することが可能な評価装置を提供する。
【解決手段】 この光ピックアップ評価装置５０は、レーザビームの発光及び記憶媒体からの反射光の受光を行うレーザダイオード（以下、ＬＤと記す）２と、レーザビームの発光光を平行光に変換するコリメータレンズ３と、平行光の透過及び反射を行うビームスプリッタ４と、平行光の透過光を光電変換する受光素子５と、アクチュエータ６を有する対物レンズ７とを備えた光ピックアップ１と、受光素子５の出力をモニタしこの出力波形の判定を行う受光素子計測部Ａと、対物レンズ７から出射される収束光を受光して光パワーを測定する光パワーメータ８と、この光パワーメータ８の出力を計測して、この計測データを保存するパワー計測部Ｂと、光ピックアップ１の動作制御と受光素子計測部Ａ及びパワー計測部Ｂのデータを収集して最終判定を行う制御判定部Ｃとを備えて構成される。
【選択図】 図１
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an evaluation apparatus capable of reliably and easily selecting an optical pickup that cannot produce an appropriate laser output due to a defect of a semiconductor laser or an optical component in a unit manufacturing stage.
An optical pickup evaluation apparatus 50 converts a laser diode (hereinafter referred to as LD) 2 that emits a laser beam and receives reflected light from a storage medium, and converts the emitted light of the laser beam into parallel light. An optical pickup 1 including a collimator lens 3, a beam splitter 4 for transmitting and reflecting parallel light, a light receiving element 5 for photoelectrically converting the transmitted light of parallel light, and an objective lens 7 having an actuator 6, and a light receiving element A light receiving element measuring unit A that monitors the output of 5 and determines the output waveform, an optical power meter 8 that receives the convergent light emitted from the objective lens 7 and measures the optical power, and the optical power meter 8 The power measurement unit B that measures the output and stores the measurement data, the operation control of the optical pickup 1 and the data of the light receiving element measurement unit A and the power measurement unit B are collected. And a control determination unit C that performs final determination.
[Selection] Figure 1
Description
本発明は、光ピックアップ評価装置に関し、さらに詳しくは、光ピックアップの生産工程における品質規格の合格及び不合格を判定する装置及び方法に関するものである。 The present invention relates to an optical pickup evaluation apparatus, and more particularly to an apparatus and a method for determining pass or failure of a quality standard in an optical pickup production process.
光ディスク装置における光ピックアップは、主にＬＤ(Laser Diode)を光源として発光を行い、その発光光をコリメートレンズにより平行光に変換し、対物レンズにより記録媒体への集光を行っている。そして記録媒体からの反射光を受光素子により受光して再生信号を得ている。またこの時、永久磁石の極性と導電時の発生磁界の極性により対物レンズを上下・左右に移動させ、ピントの調整とビーム位置を所望の位置に設定するためにアクチュエータが用いられており、このアクチュエータの適正な駆動のための信号が得られるようになっている。
ここで、適正なアクチュエータの駆動を行うため、発光光を回折格子により１つの主ビームと２つの副ビームに分割し、主ビームと副ビームの記録媒体からの反射光量及び光量バランスから演算された信号に基づいて、常に発光光が記録媒体の記録溝中央に集光するようにアクチュエータ制御する方式が主に用いられている。
また近年の記録情報の大容量化、高密度記録化および読みとり高速化に対応するため、光ピックアップに対する調整及び評価に対して精度の向上が要求される。このような要求に応えるために、特開平７−６５４００号公報においては、光ピックアップにおいて、偏光ビームスプリッタによって分岐され対物レンズへ向かわない光を第二の受光素子によって受光し、該受光出力によって半導体レーザに内蔵された第一の受光素子の出力を補正することにより、半導体レーザの出射光の偏光面が温度によって回転した場合でも、ディスク上のスポットの光パワーを一定に制御することができる技術について開示されている。
また、特開２００１−１１８２４７公報においては、情報記録中の半導体レーザからの光束を受光するモニタ受光素子と、前記モニタ受光素子からの出力波形により、情報記録の記録品質を把握する手段を備えた光情報記録再生装置が提案されており、これにより最適な記録が実施できるとされている。
Here, in order to drive an appropriate actuator, the emitted light is divided into one main beam and two sub beams by a diffraction grating, and the light beam is calculated from the reflected light amount and the light amount balance of the main beam and the sub beam from the recording medium. Based on the signal, a method is mainly used in which the actuator is controlled so that the emitted light is always focused on the center of the recording groove of the recording medium.
Further, in order to cope with the recent increase in capacity, high density recording and reading speed of recorded information, improvement in accuracy is required for adjustment and evaluation of the optical pickup. In order to meet such a requirement, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-65400, in an optical pickup, light that is branched by a polarizing beam splitter and does not go to the objective lens is received by a second light receiving element, and a semiconductor is generated by the light receiving output. By correcting the output of the first light receiving element built in the laser, the optical power of the spot on the disk can be controlled to be constant even when the polarization plane of the emitted light from the semiconductor laser rotates with temperature. Is disclosed.
Japanese Patent Laid-Open No. 2001-118247 includes a monitor light receiving element that receives a light beam from a semiconductor laser that is recording information, and means for grasping the recording quality of the information recording from the output waveform from the monitor light receiving element. An optical information recording / reproducing apparatus has been proposed, and it is said that optimum recording can be performed.
しかしながら、特許文献１に開示されている従来例においては、半導体レーザ出力が迷光の影響を受けやすいものであったり、偏光ビームスプリッタの透過・反射特性がレーザ波長により変動しやすい特性があった場合には、第二受光素子への入射光量が変動して、第二受光素子からの出力がゆらぐ（変動する）ことになるが、第二受光素子出力がゆらぐと、適正な光パワー制御ができなくなってしまう不具合がある。
また、特許文献２に開示されている従来例においては、半導体レーザが発光による自己温度変化により波長変動した場合、光束分離素子に進入したレーザの透過・反射率が変化することになるが、これによりモニタ受光素子への入射光量が適正であったとしても、該光束分離素子を反射した光量が過大・過小となる場合があり、この場合は第二受光素子の出力評価だけでは出射パワー制御が適切に実施できないといった問題がある。
本発明は、かかる課題に鑑み、半導体レーザもしくは光学部品の不具合により適正なレーザ出力ができない光ピックアップをユニットの製造段階で確実に且つ容易に選別することが可能な評価装置を提供することを目的とする。
However, in the conventional example disclosed in Patent Document 1, when the output of the semiconductor laser is easily affected by stray light, or the transmission / reflection characteristics of the polarization beam splitter tend to vary depending on the laser wavelength. In this case, the amount of light incident on the second light receiving element fluctuates and the output from the second light receiving element fluctuates (fluctuates). However, if the second light receiving element output fluctuates, appropriate optical power control can be performed. There is a bug that disappears.
In the conventional example disclosed in Patent Document 2, when the wavelength of the semiconductor laser fluctuates due to a self-temperature change due to light emission, the transmittance / reflectance of the laser entering the light beam separation element changes. Even if the amount of light incident on the monitor light receiving element is appropriate, the amount of light reflected by the light beam separating element may be too large or too small.In this case, the output power control can be performed only by evaluating the output of the second light receiving element. There is a problem that it cannot be implemented properly.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide an evaluation apparatus capable of reliably and easily selecting an optical pickup that cannot produce an appropriate laser output due to a defect of a semiconductor laser or an optical component at a unit manufacturing stage. And
本発明はかかる課題を解決するために、請求項１は、レーザビームの発光及び記憶媒体からの反射光の受光を行うレーザダイオードと、前記レーザビームの発光光を平行光に変換するコリメータレンズと、前記平行光の透過及び反射を行うビームスプリッタと、前記平行光の透過光を光電変換する受光素子と、アクチュエータを有する対物レンズとを備えた光ピックアップの評価装置であって、前記受光素子の出力をモニタし該出力波形の判定を行う受光素子計測部と、前記対物レンズから出射される収束光を受光して光パワーを測定する光パワーメータと、該光パワーメータの出力を計測して該計測データを保存するパワー計測部と、前記光ピックアップの動作制御と前記受光素子計測部及びパワー計測部のデータを収集して最終判定を行う制御判定部と、を備えたことを特徴とする。
光ピックアップを評価する場合、それを構成する各部品を的確に評価できることが必要である。即ち、レーザダイオード、ビームスプリッタが主な評価対象である。そこで本発明ではビームスプリッタの透過光を評価する受光素子と、レーザビームの光パワーを測定する光パワーメータを備え、更に、これらのデータに基づいて予め設定された評価値と比較して総合評価する制御判定部が備えられている。
かかる発明によれば、ビームスプリッタの透過光を評価する受光素子と、レーザビームの光パワーを測定する光パワーメータと、それらのデータに基づいて総合評価する制御判定部とを備えたので、光ピックアップを実機と同様の評価基準により判定することができる。
請求項２は、前記制御判定部は、被測定光ピックアップのレーザダイオードを発光させ、該発光パワーを前記パワー計測部により測定してデータを保存すると共に、前記受光素子計測部により当該光ピックアップの受光素子の出力を継続してモニタし、前記出力波形のＤＣ成分及びＡＣ成分の最大値および最小値を測定し、該測定値を予め設定された規格に照らし合わせてゆらぎ幅を評価する第一評価手段と、前記出力波形のＤＣ成分と前記光パワーメータの値に基づいて前記受光素子の感度を評価する第二評価手段を備え、前記第一評価手段及び第二評価手段の双方の規格を満足した場合、前記被測定光ピックアップを合格品と判定することを特徴とする。
任意のパワーを得るためのＤＡＣ値にてレーザダイオードを駆動発光させ、光パワーメータにて発光パワーが測定されデータ保存する。続いて、受光素子にて得られた出力に対してフィルターをかけそのＤＣ成分を測定する。さらに受光素子出力のゆらぎＡＣ成分に対しそのｍａｘとｍｉｎを測定する。このゆらぎ幅判定を第一評価手段とする。また、受光素子の出力のＤＣ値と、光パワーメータ出力値を用いて受光素子の感度計算が行われる。この感度が狙い値以内のものをＯＫ品としこれを第二評価手段とする。そして第一評価結果と第二評価結果共にＯＫとなったものを完全ＯＫ品と判定する。
かかる発明によれば、第一評価手段及び第二評価手段の２つの評価基準を設けて総合評価するので、ＡＣ成分とＤＣ成分を総合的に評価することができる。
In order to solve the above problems, the present invention provides a laser diode that emits a laser beam and receives reflected light from a storage medium, and a collimator lens that converts the emitted light of the laser beam into parallel light. An evaluation apparatus for an optical pickup comprising a beam splitter that transmits and reflects the parallel light, a light receiving element that photoelectrically converts the transmitted light of the parallel light, and an objective lens that includes an actuator. A light receiving element measuring section for monitoring the output and determining the output waveform, an optical power meter for receiving the convergent light emitted from the objective lens and measuring the optical power, and measuring the output of the optical power meter The power measurement unit that stores the measurement data, the operation control of the optical pickup, and the data of the light receiving element measurement unit and the power measurement unit are collected to make a final determination. A control determination unit, characterized by comprising a.
When evaluating an optical pickup, it is necessary to be able to accurately evaluate each component constituting the optical pickup. That is, laser diodes and beam splitters are the main evaluation targets. Therefore, in the present invention, a light receiving element for evaluating the light transmitted through the beam splitter and an optical power meter for measuring the optical power of the laser beam are provided, and further, comprehensive evaluation is performed by comparing with evaluation values set in advance based on these data. A control determination unit is provided.
According to this invention, since the light receiving element that evaluates the light transmitted through the beam splitter, the optical power meter that measures the optical power of the laser beam, and the control determination unit that performs comprehensive evaluation based on these data, The pickup can be determined based on the same evaluation criteria as the actual machine.
According to a second aspect of the present invention, the control determination unit causes the laser diode of the optical pickup to be measured to emit light, measures the light emission power by the power measurement unit, stores the data, and uses the light receiving element measurement unit to store the optical pickup. First, the output of the light receiving element is continuously monitored, the maximum value and the minimum value of the DC component and AC component of the output waveform are measured, and the fluctuation width is evaluated by comparing the measured values with a preset standard. Evaluation means; and second evaluation means for evaluating the sensitivity of the light receiving element based on the DC component of the output waveform and the value of the optical power meter. The standards of both the first evaluation means and the second evaluation means are If satisfied, the optical pickup to be measured is determined to be an acceptable product.
The laser diode is driven to emit light at a DAC value for obtaining an arbitrary power, the light emission power is measured by an optical power meter, and the data is stored. Subsequently, the output obtained by the light receiving element is filtered and the DC component is measured. Further, the max and min of the fluctuation AC component of the light receiving element output are measured. This fluctuation width determination is used as the first evaluation means. Further, the sensitivity calculation of the light receiving element is performed using the DC value of the output of the light receiving element and the output value of the optical power meter. A product having this sensitivity within the target value is regarded as an OK product, and this is used as the second evaluation means. Then, both the first evaluation result and the second evaluation result are determined to be complete OK products.
According to this invention, since the two evaluation criteria of the first evaluation means and the second evaluation means are provided for comprehensive evaluation, the AC component and the DC component can be comprehensively evaluated.
請求項３は、前記受光素子の感度Ｓは、所定の発光パワーにおける前記受光素子の出力をＶｆ、前記受光素子の回路オフセットをＶｏｆ、前記所定の発光パワーをＰＷとした場合、Ｓ＝（Ｖｆ−Ｖｏｆ）／ＰＷにより求めることを特徴とする。
光ピックアップのレーザ発光は、受光素子からの出力に対して、任意に設定された受光素子感度を用いてフィードバックすることにより、所望のパワーに安定させることができる。そして、受光素子の感度は、（所定の発光パワーにおける受光素子出力−回路オフセット）／所定の発光パワーとして求めることができる。
かかる発明によれば、受光素子の感度を所定の計算式により一義的に求めることができるので、簡易な回路構成により正確に受光素子の感度を求めることができる。
請求項４は、前記制御判定部は、前記レーザダイオードの発光出力を段階的に変化させ、各段階の発光出力レベルに対する前記受光素子の出力をモニタしながら前記第一評価手段及び第二評価手段により前記被測定光ピックアップを評価することを特徴とする。
任意のレーザダイオード発光出力において、受光素子のゆらぎが発生する光ピックアップについては、特定の発光出力のみで評価してしまうと、ゆらぎの発生を見落とす虞がある。そのため、レーザダイオード発光出力を段階的に複数段変化させ、その都度受光素子ゆらぎ評価を実施することで、特定の発光出力でゆらぎが発生する不具合品をＮＧとして除去することが可能となる。
かかる発明によれば、レーザダイオードの発光出力を段階的に変化させ、各段階の発光出力レベルに対する受光素子の出力をモニタしながら評価するので、特定の発光出力でゆらぎが発生する不具合品をＮＧとして除去することができる。
請求項５は、前記制御判定部は、前記レーザダイオードの発光出力を段階的に変化させた際に、前記受光素子の評価に不合格が発生した場合、該不合格の時点のレーザ出力について再評価を実施し、該再評価中のレーザ出力を一定時間継続すると共に、該レーザ出力の波形データを保存することを特徴とする。
保持初期においてゆらぎが出現せず、時間経過後に突然ゆらぎ出すような不安定状態の光ピックアップも存在する。このような不安定状態の光ピックアップに対し、瞬間的な受光素子ゆらぎのみをとらえて評価してはＯＫ品として後工程にてドライブとして組んで評価した際に、突然発光出力系の不具合が発生することとなる。そこで本発明では、時間経過後のゆらぎ発生については、ミラーの膜特性、ＬＤの波長変動、あるいは回路的な不具合など種種の要因が可能性として挙げられるので、一定時間保持した受光素子のゆらぎ波形を保存し、ゆらぎが任意の時間経過後に出現しているかどうかを判定することにより、不具合品をＮＧとして除去することができる。
かかる発明によれば、一定時間保持した受光素子のゆらぎ波形を保存し、ゆらぎが任意の時間経過後に出現しているかどうかを判定するので、経時変化に対しても、更に細かく不具合品をＮＧとして除去することができる。
According to a third aspect of the present invention, the sensitivity S of the light receiving element is S = (Vf) when the output of the light receiving element at a predetermined light emission power is Vf, the circuit offset of the light receiving element is Vof, and the predetermined light emission power is PW. -Vof) / PW.
The laser emission of the optical pickup can be stabilized at a desired power by feeding back the output from the light receiving element using an arbitrarily set light receiving element sensitivity. The sensitivity of the light receiving element can be obtained as (light receiving element output at predetermined light emission power−circuit offset) / predetermined light emission power.
According to this invention, since the sensitivity of the light receiving element can be uniquely determined by a predetermined calculation formula, the sensitivity of the light receiving element can be accurately determined with a simple circuit configuration.
According to a fourth aspect of the present invention, the control determination unit changes the light emission output of the laser diode stepwise, and the first evaluation unit and the second evaluation unit while monitoring the output of the light receiving element with respect to the light emission output level of each step. And evaluating the optical pickup to be measured.
With respect to an optical pickup in which fluctuation of the light receiving element occurs at an arbitrary laser diode light emission output, there is a possibility that the occurrence of fluctuation may be overlooked if it is evaluated only with a specific light emission output. Therefore, by changing the laser diode light emission output in a plurality of stages step by step and performing the light receiving element fluctuation evaluation each time, it is possible to remove a defective product in which fluctuation occurs at a specific light emission output as NG.
According to this invention, the light emission output of the laser diode is changed step by step, and the evaluation is performed while monitoring the output of the light receiving element with respect to the light emission output level of each step. As can be removed.
According to a fifth aspect of the present invention, when the light-emission output of the laser diode is changed stepwise, the control determination unit repeats the laser output at the time of the failure when the evaluation of the light-receiving element occurs. Evaluation is performed, and the laser output during the re-evaluation is continued for a certain time, and the waveform data of the laser output is stored.
There is an optical pickup in an unstable state in which no fluctuation appears in the initial stage of holding and sudden fluctuation starts after a lapse of time. For such an unstable optical pickup, when only the momentary fluctuation of the light receiving element is evaluated and evaluated as an OK product and assembled as a drive in a later process, a problem with the light emission output system suddenly occurs. Will be. Therefore, in the present invention, since fluctuations after the lapse of time can be exemplified by various factors such as mirror film characteristics, LD wavelength fluctuations, or circuit malfunctions, the fluctuation waveform of the light receiving element held for a certain period of time. , And it is possible to remove the defective product as NG by determining whether the fluctuation appears after an arbitrary time.
According to this invention, the fluctuation waveform of the light receiving element held for a certain period of time is stored, and it is determined whether or not the fluctuation appears after an arbitrary period of time. Can be removed.
請求項６は、前記制御判定部は、前記再評価中のレーザ出力を一定時間継続し保存された波形データの形状により、不具合の光ピックアップを複数の種類に分別することを特徴とする。
再評価中のレーザ出力を一定時間継続し保存された波形データの形状のタイプは前述のミラーやレーザダイオードの特性により変化するが、レーザダイオードについてはレーザダイオードチップへの戻り光の影響により発光出力が変動してしまい、結果的に受光素子のゆらぎとなる場合もある。また、光ピックアップ内の回路におけるノイズの発生があった場合にも、同様の現象が観測される場合もある。そこで本発明では、受光素子のゆらぎパターンにより不具合光ピックアップを種別化するので、ＮＧ品の解析時に、不具合箇所の想定・特定がよりしやすくなる利点がある。
かかる発明によれば、受光素子のゆらぎパターンにより不具合光ピックアップを種別化するので、ＮＧ品の解析時に、不具合箇所の想定・特定がよりしやすくなる。
請求項７は、レーザビームの発光及び記憶媒体からの反射光の受光を行うレーザダイオードと、前記レーザビームの発光光を平行光に変換するコリメータレンズと、前記平行光の透過及び反射を行うビームスプリッタと、前記平行光の透過光を光電変換する受光素子と、アクチュエータを有する対物レンズとを備えた光ピックアップの評価方法であって、前記受光素子の出力をモニタし該出力波形の判定を行う受光素子計測ステップと、光パワーメータの出力を計測して該計測データを保存するパワー計測ステップと、前記光ピックアップの動作制御と前記受光素子計測ステップ及びパワー計測ステップのデータを収集して最終判定を行う制御判定ステップと、を備えたことを特徴とする。
かかる発明によれば、請求項１と同様の作用効果を奏する。
According to a sixth aspect of the present invention, the control determination unit classifies the defective optical pickup into a plurality of types according to the shape of the waveform data stored by continuing the laser output being reevaluated for a predetermined time.
The shape of the waveform data saved by continuing the laser output during reevaluation for a certain period of time changes depending on the characteristics of the mirror and laser diode described above, but the laser diode emits light due to the influence of the return light to the laser diode chip. May fluctuate, resulting in fluctuations in the light receiving element. The same phenomenon may be observed when noise is generated in a circuit in the optical pickup. Therefore, in the present invention, since the defective light pickup is classified according to the fluctuation pattern of the light receiving element, there is an advantage that it becomes easier to assume and identify the defective part when analyzing the NG product.
According to this invention, since the defective light pickup is classified according to the fluctuation pattern of the light receiving element, it becomes easier to assume and identify the defective part when analyzing the NG product.
A laser diode that emits a laser beam and receives reflected light from a storage medium, a collimator lens that converts the emitted light of the laser beam into parallel light, and a beam that transmits and reflects the parallel light. An evaluation method of an optical pickup comprising a splitter, a light receiving element that photoelectrically converts the transmitted light of the parallel light, and an objective lens having an actuator, and monitors the output of the light receiving element and determines the output waveform A light receiving element measuring step, a power measuring step for measuring the output of the optical power meter and storing the measured data, and collecting the data of the optical pickup operation control and the light receiving element measuring step and the power measuring step to make a final determination And a control determination step for performing the above.
According to this invention, there exists an effect similar to Claim 1.
請求項８は、前記制御判定ステップは、被測定光ピックアップのレーザダイオードを発光させ、該発光パワーを前記パワー計測ステップにより測定してデータを保存すると共に、前記受光素子計測ステップにより当該光ピックアップの受光素子の出力を継続してモニタし、前記出力波形のＤＣ成分及びＡＣ成分の最大値および最小値を測定し、該測定値を予め設定された規格に照らし合わせてゆらぎ幅を評価する第一評価ステップと、前記出力波形のＤＣ成分と前記光パワーメータの値に基づいて前記受光素子の感度を評価する第二評価ステップを備え、前記第一評価ステップ及び第二評価ステップの双方の規格を満足した場合、前記被測定光ピックアップを合格品と判定することを特徴とする。
かかる発明によれば、請求項２と同様の作用効果を奏する。
請求項９は、前記受光素子の感度Ｓは、所定の発光パワーにおける前記受光素子の出力をＶｆ、前記受光素子の回路オフセットをＶｏｆ、前記所定の発光パワーをＰＷとした場合、Ｓ＝（Ｖｆ−Ｖｏｆ）／ＰＷにより求めることを特徴とする。
かかる発明によれば、請求項３と同様の作用効果を奏する。
請求項１０は、前記制御判定ステップは、前記レーザダイオードの発光出力を段階的に変化させ、各段階の発光出力レベルに対する前記受光素子の出力をモニタしながら前記第一評価ステップ及び第二評価ステップにより前記被測定光ピックアップを評価することを特徴とする。
かかる発明によれば、請求項４と同様の作用効果を奏する。
In the control determining step, the laser diode of the optical pickup to be measured is caused to emit light, the light emission power is measured by the power measurement step, data is stored, and the light receiving element measurement step is used to store the optical pickup. First, the output of the light receiving element is continuously monitored, the maximum value and the minimum value of the DC component and AC component of the output waveform are measured, and the fluctuation width is evaluated by comparing the measured values with a preset standard. An evaluation step, and a second evaluation step for evaluating the sensitivity of the light receiving element based on the DC component of the output waveform and the value of the optical power meter, the standards for both the first evaluation step and the second evaluation step being If satisfied, the optical pickup to be measured is determined to be an acceptable product.
According to this invention, there exists an effect similar to Claim 2.
According to a ninth aspect of the present invention, when the sensitivity S of the light receiving element is Vf as an output of the light receiving element at a predetermined light emission power, Vof as a circuit offset of the light receiving element, and PW as the predetermined light emission power, S = (Vf -Vof) / PW.
According to this invention, there exists an effect similar to Claim 3.
According to a tenth aspect of the present invention, in the control determining step, the first evaluation step and the second evaluation step are performed while changing the light emission output of the laser diode stepwise and monitoring the output of the light receiving element with respect to the light emission output level of each step. And evaluating the optical pickup to be measured.
According to this invention, there exists an effect similar to Claim 4.
請求項１１は、前記制御判定ステップは、前記レーザダイオードの発光出力を段階的に変化させた際に、前記受光素子の評価に不合格が発生した場合、該不合格の時点のレーザ出力について再評価を実施し、該再評価中のレーザ出力を一定時間継続すると共に、該レーザ出力の波形データを保存することを特徴とする。
かかる発明によれば、請求項５と同様の作用効果を奏する。
請求項１２は、前記制御判定ステップは、前記再評価中のレーザ出力を一定時間継続し保存された波形データの形状により、不具合の光ピックアップを複数の種類に分別することを特徴とする。
かかる発明によれば、請求項６と同様の作用効果を奏する。
請求項１３は、レーザビームの発光及び記憶媒体からの反射光の受光を行うレーザダイオードと、前記レーザビームの発光光を平行光に変換するコリメータレンズと、前記平行光の透過及び反射を行うビームスプリッタと、前記平行光の透過光を光電変換する受光素子と、アクチュエータを有する対物レンズとを備えた光ピックアップの製造方法であって、前記受光素子の出力をモニタし該出力波形の判定を行う受光素子計測ステップと、光パワーメータの出力を計測して該計測データを保存するパワー計測ステップと、前記光ピックアップの動作制御と前記受光素子計測ステップ及びパワー計測ステップのデータを収集して最終判定を行う制御判定ステップと、を備えたことを特徴とする。
かかる発明によれば、請求項１と同様の作用効果を奏する。
請求項１４は、前記制御判定ステップは、被測定光ピックアップのレーザダイオードを発光させ、該発光パワーを前記パワー計測ステップにより測定してデータを保存すると共に、前記受光素子計測ステップにより当該光ピックアップの受光素子の出力を継続してモニタし、前記出力波形のＤＣ成分及びＡＣ成分の最大値および最小値を測定し、該測定値を予め設定された規格に照らし合わせてゆらぎ幅を評価する第一評価ステップと、前記出力波形のＤＣ成分と前記光パワーメータの値に基づいて前記受光素子の感度を評価する第二評価ステップを備え、前記第一評価ステップ及び第二評価ステップの双方の規格を満足した場合、前記被測定光ピックアップを合格品と判定することを特徴とする。
かかる発明によれば、請求項２と同様の作用効果を奏する。
According to an eleventh aspect of the present invention, when the light emission output of the laser diode is changed in a stepwise manner and the evaluation of the light receiving element fails, the control determination step re-executes the laser output at the time of the failure. Evaluation is performed, and the laser output during the re-evaluation is continued for a certain time, and the waveform data of the laser output is stored.
According to this invention, there exists an effect similar to Claim 5.
According to a twelfth aspect of the present invention, in the control determination step, the defective optical pickup is classified into a plurality of types according to the shape of the waveform data stored by continuing the laser output during the re-evaluation for a predetermined time.
According to this invention, there exists an effect similar to Claim 6.
A laser diode that emits a laser beam and receives reflected light from a storage medium, a collimator lens that converts the emitted light of the laser beam into parallel light, and a beam that transmits and reflects the parallel light. A method of manufacturing an optical pickup comprising a splitter, a light receiving element that photoelectrically converts the transmitted light of the parallel light, and an objective lens having an actuator, and monitors the output of the light receiving element and determines the output waveform A light receiving element measuring step, a power measuring step for measuring the output of the optical power meter and storing the measured data, and collecting the data of the optical pickup operation control and the light receiving element measuring step and the power measuring step to make a final determination And a control determination step for performing the above.
According to this invention, there exists an effect similar to Claim 1.
According to a fourteenth aspect of the present invention, in the control determination step, the laser diode of the optical pickup to be measured is caused to emit light, the emission power is measured by the power measurement step, and data is stored. First, the output of the light receiving element is continuously monitored, the maximum value and the minimum value of the DC component and AC component of the output waveform are measured, and the fluctuation width is evaluated by comparing the measured values with a preset standard. An evaluation step, and a second evaluation step for evaluating the sensitivity of the light receiving element based on the DC component of the output waveform and the value of the optical power meter, the standards for both the first evaluation step and the second evaluation step being If satisfied, the optical pickup to be measured is determined to be an acceptable product.
According to this invention, there exists an effect similar to Claim 2.
請求項１５は、前記受光素子の感度Ｓは、所定の発光パワーにおける前記受光素子の出力をＶｆ、前記受光素子の回路オフセットをＶｏｆ、前記所定の発光パワーをＰＷとした場合、Ｓ＝（Ｖｆ−Ｖｏｆ）／ＰＷにより求めることを特徴とする。
かかる発明によれば、請求項３と同様の作用効果を奏する。
請求項１６は、前記制御判定ステップは、前記レーザダイオードの発光出力を段階的に変化させ、各段階の発光出力レベルに対する前記受光素子の出力をモニタしながら前記第一評価ステップ及び第二評価ステップにより前記被測定光ピックアップを評価することを特徴とする。
かかる発明によれば、請求項４と同様の作用効果を奏する。
請求項１７は、前記制御判定ステップは、前記レーザダイオードの発光出力を段階的に変化させた際に、前記受光素子の評価に不合格が発生した場合、該不合格の時点のレーザ出力について再評価を実施し、該再評価中のレーザ出力を一定時間継続すると共に、該レーザ出力の波形データを保存することを特徴とする。
かかる発明によれば、請求項５と同様の作用効果を奏する。
請求項１８は、前記制御判定ステップは、前記再評価中のレーザ出力を一定時間継続し保存された波形データの形状により、不具合の光ピックアップを複数の種類に分別することを特徴とする。
かかる発明によれば、請求項６と同様の作用効果を奏する。
According to a fifteenth aspect, the sensitivity S of the light receiving element is S = (Vf when the output of the light receiving element at a predetermined light emission power is Vf, the circuit offset of the light receiving element is Vof, and the predetermined light emission power is PW. -Vof) / PW.
According to this invention, there exists an effect similar to Claim 3.
In the control determination step, the first evaluation step and the second evaluation step may be performed while changing the light emission output of the laser diode stepwise and monitoring the output of the light receiving element with respect to the light emission output level of each step. And evaluating the optical pickup to be measured.
According to this invention, there exists an effect similar to Claim 4.
According to a seventeenth aspect of the present invention, when the light emission output of the laser diode is changed in a stepwise manner and the evaluation of the light receiving element fails, the control determination step re-executes the laser output at the time of the failure. Evaluation is performed, and the laser output during the re-evaluation is continued for a certain time, and the waveform data of the laser output is stored.
According to this invention, there exists an effect similar to Claim 5.
According to an eighteenth aspect of the present invention, in the control determination step, the defective optical pickup is classified into a plurality of types according to the shape of the waveform data stored by continuing the laser output during the re-evaluation for a predetermined time.
According to this invention, there exists an effect similar to Claim 6.
請求項１、７、１３の発明によれば、ビームスプリッタの透過光を評価する受光素子と、レーザビームの光パワーを測定する光パワーメータと、それらのデータに基づいて総合評価する制御判定部とを備えたので、光ピックアップを実機と同様の評価基準により判定することができる。
また請求項２、８、１４では、第一評価手段及び第二評価手段の２つの評価基準を設けて総合評価するので、ＡＣ成分とＤＣ成分を総合的に評価することができる。
また請求項３、９、１５では、受光素子の感度を所定の計算式により一義的に求めることができるので、簡易な回路構成により正確に受光素子の感度を求めることができる。
また請求項４、１０、１６では、レーザダイオードの発光出力を段階的に変化させ、各段階の発光出力レベルに対する受光素子の出力をモニタしながら評価するので、特定の発光出力でゆらぎが発生する不具合品をＮＧとして除去することができる。
また請求項５、１１、１７では、一定時間保持した受光素子のゆらぎ波形を保存し、ゆらぎが任意の時間経過後に出現しているかどうかを判定するので、経時変化に対しても、更に細かく不具合品をＮＧとして除去することができる。
また請求項６、１２、１８では、受光素子のゆらぎパターンにより不具合光ピックアップを種別化するので、ＮＧ品の解析時に、不具合箇所の想定・特定がよりしやすくなる。
According to the first, seventh, and thirteenth inventions, the light receiving element that evaluates the light transmitted through the beam splitter, the optical power meter that measures the optical power of the laser beam, and the control determination unit that performs comprehensive evaluation based on the data. Therefore, the optical pickup can be determined based on the same evaluation criteria as the actual machine.
Further, in claims 2, 8, and 14, since the two evaluation criteria of the first evaluation means and the second evaluation means are provided for comprehensive evaluation, the AC component and the DC component can be comprehensively evaluated.
In the third, ninth, and fifteenth aspects, the sensitivity of the light receiving element can be uniquely determined by a predetermined calculation formula, and therefore the sensitivity of the light receiving element can be accurately determined by a simple circuit configuration.
According to the fourth, tenth, and sixteenth aspects, the light emission output of the laser diode is changed stepwise, and the evaluation is performed while monitoring the output of the light receiving element with respect to the light emission output level of each step. Therefore, fluctuation occurs in a specific light emission output. The defective product can be removed as NG.
According to the fifth, eleventh, and seventeenth aspects, the fluctuation waveform of the light receiving element held for a predetermined time is stored, and it is determined whether or not the fluctuation appears after an arbitrary time has passed. The product can be removed as NG.
In the sixth, twelfth and eighteenth aspects, since the defective optical pickup is classified according to the fluctuation pattern of the light receiving element, it becomes easier to assume and specify the defective part when analyzing the NG product.
以下、本発明を図に示した実施形態を用いて詳細に説明する。但し、この実施形態に記載される構成要素、種類、組み合わせ、形状、その相対配置などは特定的な記載がない限り、この発明の範囲をそれのみに限定する主旨ではなく単なる説明例に過ぎない。
図１は本発明の光ピックアップ評価装置の模式図である。この光ピックアップ評価装置５０は、レーザビームの発光及び記憶媒体からの反射光の受光を行うレーザダイオード（以下、ＬＤと記す）２と、レーザビームの発光光を平行光に変換するコリメータレンズ３と、平行光の透過及び反射を行うビームスプリッタ４と、平行光の透過光を光電変換する受光素子５と、アクチュエータ６を有する対物レンズ７とを備えた光ピックアップ１と、受光素子５の出力をモニタしこの出力波形の判定を行う受光素子計測部Ａと、対物レンズ７から出射される収束光を受光して光パワーを測定する光パワーメータ８と、この光パワーメータ８の出力を計測して、この計測データを保存するパワー計測部Ｂと、光ピックアップ１の動作制御と受光素子計測部Ａ及びパワー計測部Ｂのデータを収集して最終判定を行う制御判定部Ｃとを備えて構成される。
そして光ピックアップ１は、主にＬＤ２を光源として発光を行い、コリメートレンズ３による平行光の生成、対物レンズ７による記録媒体への集光を経て、該記録媒体からの反射光をＬＤ２内の受光素子で受光することにより再生信号を得ている。またこの時、永久磁石の極性と導電時の発生磁界の極性により対物レンズを上下・左右動させ、対物レンズ７位置を所望の位置に設定するためのアクチュエータ６が用いられており、適正な駆動のための信号が得られるようになっている。ここで、適正なアクチュエータ６の駆動を行うため、発光光を回折格子により１つの主ビームと２つの副ビームに分割し、主ビームと副ビームの記録媒体からの反射光量及び光量バランスから演算された信号を元に、常に発光光が記録媒体の記録溝（以降トラックと呼ぶ）中央に集光するようにアクチュエータ制御する方式が主に用いられている。
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to embodiments shown in the drawings. However, the components, types, combinations, shapes, relative arrangements, and the like described in this embodiment are merely illustrative examples and not intended to limit the scope of the present invention only unless otherwise specified. .
FIG. 1 is a schematic diagram of an optical pickup evaluation apparatus according to the present invention. This optical pickup evaluation apparatus 50 includes a laser diode (hereinafter referred to as LD) 2 that emits a laser beam and receives reflected light from a storage medium, and a collimator lens 3 that converts the emitted light of the laser beam into parallel light. An optical pickup 1 including a beam splitter 4 that transmits and reflects parallel light, a light receiving element 5 that photoelectrically converts the transmitted light of parallel light, and an objective lens 7 that has an actuator 6, and an output of the light receiving element 5 The light receiving element measuring unit A that monitors and determines the output waveform, the optical power meter 8 that receives the convergent light emitted from the objective lens 7 and measures the optical power, and the output of the optical power meter 8 are measured. The power measurement unit B for storing the measurement data, the operation control of the optical pickup 1 and the data of the light receiving element measurement unit A and the power measurement unit B are collected to make a final determination. Constructed and a Cormorant control determination unit C.
The optical pickup 1 emits light mainly using the LD 2 as a light source, generates parallel light by the collimating lens 3, collects the light on the recording medium by the objective lens 7, and receives the reflected light from the recording medium in the LD 2. A reproduction signal is obtained by receiving light at the element. At this time, the actuator 6 is used to move the objective lens up and down and left and right according to the polarity of the permanent magnet and the magnetic field generated during conduction, and to set the objective lens 7 position to a desired position. The signal for is to be obtained. Here, in order to drive the actuator 6 appropriately, the emitted light is divided into one main beam and two sub beams by the diffraction grating, and the main beam and the sub beam are calculated from the reflected light amount and the light amount balance from the recording medium. Based on the received signal, a method of controlling the actuator so that the emitted light is always condensed at the center of a recording groove (hereinafter referred to as a track) of the recording medium is mainly used.
光ピックアップ１のレーザ発光は、受光素子５からの出力に対して、任意に設定された受光素子感度を用いてフィードバックすることにより、所望のパワーに安定させることができる。ここで、受光素子感度は以下の式により求められる。
受光素子感度＝（所定の発光パワーにおける受光素子出力−回路オフセット）／所定の発光パワー、例えば、発光パワー１０ｍＷ時に受光素子出力が２１０ｍＶで、電源投入時の受光素子回路オフセットが１０ｍＶであった場合は、受光素子感度は（２１０−１０）／１０＝２０[ｍＶ／ｍＷ]となる。
またビームスプリッタ４を透過し受光素子５に入射したレーザ光は電圧出力に変換されて受光素子計測部Ａにて計測されるが、受光素子５の出力は図２に示すように、出力本来のＤＣ成分１０と、ノイズ成分を含んだゆらぎをもつＡＣ成分１１からなる。通常、受光素子感度に基づく発光パワーのフィードバックが実施されていると、時間ｔに対する受光素子出力はＤＣ成分１０、ＡＣ成分１１ともにほぼ一定値で安定するが、ビームスプリッタ４の膜特性によっては、この受光素子出力が不安定となり、ＡＣ成分１１が大となる場合がある。
またＬＤレーザ光は温度により波長が変化し、同時に偏光特性も変化するが、ここで、透過・反射を行っているビームスプリッタ４に対して偏光特性が大きく変化したレーザ光が照射されると、偏光に対するビームスプリッタ４の膜特性に応じて、反射・透過比率も変化することになる。これにより、ＬＤレーザ波長による透過率変動が大きいビームスプリッタが存在した場合は、受光素子出力が不安定となり、ゆらぎのＡＣ成分１１が大となって、ＬＤ発光パワーが不安定となる不具合がある。
本発明では、まず任意のパワーを得るためのＤＡＣ値にてＬＤを駆動発光させ、光パワーメータ８にて発光パワーが測定されデータ保存される。続いて、受光素子５にて得られた受光素子出力に対してフィルターをかけ、そのＤＣ成分１０を測定する。さらに図３に示した受光素子出力のゆらぎＡＣ成分１１に対し、そのｍａｘ１２とｍｉｎ１３を測定する。ここで（ｍａｘ−ｍｉｎ）をゆらぎ幅１４とし、例えば、ゆらぎ幅１５ｍＶ以内をＯＫとする。このゆらぎ幅判定を第一次判定とする。また、この受光素子出力のＤＣ値１０と、光パワーメータ出力値を用いて、前述の計算式から受光素子感度計算が行われる。例えば、この受光素子感度が狙い値±５％以内のものをＯＫ品とし、これを第二次判定結果とする。そして第一次判定結果と第二次判定結果共にＯＫとなったものを完全ＯＫ品と判定する。
これにより、受光素子出力が安定した状態での受光素子感度測定が可能となり、受光素子出力のゆらぎがなく、また、受光素子感度が所定の値である良品を得ることが可能となる。また、ここで第一次判定結果がＯＫ、ＮＧ、第二次判定結果がＯＫ、ＮＧという組合せでデータ保存をすることにより判定ＮＧ品を種類分けすることができる。例えば、第一次の判定結果受光素子ゆらぎのみがＮＧのものは修理工程にてビームスプリッタの交換を実施し、第二次の判定結果である受光素子感度のみがＮＧのものは受光素子感度調整を再実施するとことにより、決まった修理フローで処理することができる。
The laser light emission of the optical pickup 1 can be stabilized to a desired power by feeding back the output from the light receiving element 5 by using a light receiving element sensitivity arbitrarily set. Here, the light receiving element sensitivity is obtained by the following equation.
Light receiving element sensitivity = (light receiving element output at predetermined light emitting power−circuit offset) / predetermined light emitting power, for example, when the light receiving element output is 210 mV when the light emitting power is 10 mW and the light receiving element circuit offset is 10 mV when the power is turned on. The sensitivity of the light receiving element is (210-10) / 10 = 20 [mV / mW].
The laser beam that has passed through the beam splitter 4 and entered the light receiving element 5 is converted into a voltage output and measured by the light receiving element measuring unit A. The output of the light receiving element 5 is the original output as shown in FIG. It consists of a
In addition, the wavelength of the LD laser beam changes with temperature, and the polarization characteristics also change at the same time. Here, when the laser beam whose polarization characteristics are greatly changed is irradiated to the beam splitter 4 that is transmitting and reflecting, The reflection / transmission ratio also changes according to the film characteristics of the beam splitter 4 with respect to the polarized light. As a result, when there is a beam splitter with a large transmittance variation due to the LD laser wavelength, the light receiving element output becomes unstable, the
In the present invention, first, the LD is driven to emit light at a DAC value for obtaining an arbitrary power, and the light emission power is measured by the optical power meter 8 and stored. Subsequently, the light receiving element output obtained by the light receiving element 5 is filtered, and the
As a result, it is possible to measure the sensitivity of the light receiving element in a state where the light receiving element output is stable, and it is possible to obtain a non-defective product having no fluctuation in the light receiving element output and having a predetermined light receiving element sensitivity. In addition, it is possible to classify the determination NG products by storing the data in a combination where the primary determination result is OK and NG and the secondary determination result is OK and NG. For example, if the primary determination result is that the light receiving element fluctuation is NG, the beam splitter is replaced in the repair process, and if the light receiving element sensitivity that is the secondary determination result is only NG, the light receiving element sensitivity adjustment is performed. By re-implementing, it is possible to process with a fixed repair flow.
図４はＬＤ駆動のためのＤＡＣ値（ＬＤ電流）を増加させた時のＬＤ発光出力を模式的に示した図である。図４のように、ある大きさのＤＡＣ値に到達するとＬＤ発光が開始される。ここで、ＬＤ発光出力に比例して、受光素子出力のＤＣ成分も増加する。
図５はＬＤ発光出力を増加させていった時に、任意のＤＡＣ値において受光素子ゆらぎが観測された時の状態を模式的に示した図である。例えば、本実施例を用いた実験においては、ＬＤ駆動電流で４５ｍＡ〜６０ｍＡ付近で図５（ａ）の波形が図５（ｂ）のような変化して不連続ゆらぎ２０が観測された。また、６５ｍＡ〜９０ｍＡではゆらぎの振幅自体が増加する傾向が見られた。このように、任意のＬＤ発光出力において受光素子ゆらぎが発生する光ピックアップについては、特定の発光出力のみで評価してしまうと、ゆらぎの発生を見落とす虞がある。そのため、ＬＤ発光出力を段階的に複数段変化させ、その都度受光素子ゆらぎ評価を実施することで、特定の発光出力でゆらぎが発生する不具合品をＮＧとして除去することが可能となる。なお、上記ＬＤ駆動電流値は本実施例の実験にて使用したＬＤについての測定値であり種々のＬＤを採用した場合は、上記範囲外にて受光素子ゆらぎが観測される場合もある。段階的にＬＤ発光出力を変化させた場合、各ポイントにてゆらぎ観測を実施するのは、最低５ｓｅｃは必要となる。これ以下の保持時間では十分なゆらぎ観測が行えない。
FIG. 4 is a diagram schematically showing the LD light emission output when the DAC value (LD current) for LD driving is increased. As shown in FIG. 4, when a certain DAC value is reached, LD light emission is started. Here, the DC component of the light receiving element output also increases in proportion to the LD light emission output.
FIG. 5 is a diagram schematically showing a state when fluctuation of the light receiving element is observed at an arbitrary DAC value when the LD light emission output is increased. For example, in the experiment using the present embodiment, the
図６は任意のＬＤ発光出力において、このＬＤ発光出力設定を一定時間保持した場合の時間に対する受光素子出力変化を模式的に示した図である。このように、保持初期（例えば３ｓｅｃ）においてゆらぎが出現せず、時間経過後２１に突然ゆらぎ出すような不安定状態の光ピックアップも存在する。このような不安定状態の光ピックアップに対し、瞬間的な受光素子ゆらぎのみをとらえて評価してはＯＫ品として後工程にてドライブとして組んで評価した際に、突然発光出力系の不具合が発生することとなる。そのため、任意の時間経過においても受光素子ゆらぎが発生しない光ピックアップが要求される。時間経過後のゆらぎ発生については、ビームスプリッタの膜特性、ＬＤの波長変動、あるいは回路的な不具合など種種の要因が可能性として挙げられる。本発明では一定時間保持した受光素子ゆらぎ波形を保存し、ゆらぎが任意の時間経過後に出現しているかどうかを判定するので、上述の不具合品をＮＧとすることができる。
図７は前述の受光素子出力ゆらぎを３種類のパターンに分別し、それを模式化した図である。図７（ａ）は、電源ＯＮ時の受光素子出力振幅が上下に広がる振幅増加タイプであり、図７（ｂ）は特定の時間で突然受光素子出力が大きくなり、経時的に受光素子出力が不連続になる不連続タイプである。また、図７（ｃ）はさらに大きなゆらぎ成分が重畳されたような変動タイプである。これらのタイプは前述のビームスプリッタやＬＤの特性により変化するが、ＬＤについてはＬＤチップへの戻り光の影響により発光出力が変動してしまい、結果的に受光素子ゆらぎとなる場合もある。また、光ピックアップ内の回路におけるノイズの発生があった場合にも、同様の現象が観測される場合もある。本発明では、上記説明のように、受光素子ゆらぎパターンにより不具合光ピックアップを種別化するので、ＮＧ品の解析時に、不具合箇所の想定・特定がよりしやすくなる利点がある。
FIG. 6 is a diagram schematically showing a change in the light receiving element output with respect to time when the LD light emission output setting is held for a certain time in an arbitrary LD light emission output. Thus, there is an optical pickup in an unstable state in which fluctuation does not appear at the initial stage of holding (for example, 3 sec) and suddenly starts to fluctuate 21 after a lapse of time. For such an unstable optical pickup, when only the momentary fluctuation of the light receiving element is evaluated and evaluated as an OK product and assembled as a drive in a later process, a problem with the light emission output system suddenly occurs. Will be. Therefore, there is a demand for an optical pickup that does not cause fluctuations in the light receiving element even after an arbitrary time has elapsed. As for the occurrence of fluctuations after the elapse of time, various factors such as the film characteristics of the beam splitter, the wavelength variation of the LD, or circuit malfunctions can be cited as possibilities. In the present invention, the light-receiving element fluctuation waveform held for a certain time is stored, and it is determined whether or not the fluctuation appears after an arbitrary time, so that the above-mentioned defective product can be determined as NG.
FIG. 7 is a diagram schematically showing the light receiving element output fluctuations divided into three types of patterns. FIG. 7 (a) is an amplitude increasing type in which the light receiving element output amplitude when the power is turned on spreads up and down. FIG. 7 (b) shows that the light receiving element output suddenly increases at a specific time, and the light receiving element output increases with time. It is a discontinuous type that becomes discontinuous. FIG. 7C shows a variation type in which a larger fluctuation component is superimposed. These types vary depending on the characteristics of the beam splitter and the LD described above, but for the LD, the light emission output fluctuates due to the influence of the return light to the LD chip, resulting in fluctuations in the light receiving element. The same phenomenon may be observed when noise is generated in a circuit in the optical pickup. In the present invention, as described above, since the defective optical pickup is classified according to the light receiving element fluctuation pattern, there is an advantage that it becomes easier to assume and specify the defective part when analyzing the NG product.
１ 光ピックアップ、２ レーザダイオード、３ コリメータレンズ、４ ビームスプリッタ、５ 受光素子、６ アクチュエータ、７ 対物レンズ、８ 光パワーメータ、Ａ 受光素子計測部、Ｂ パワー計測部、Ｃ 制御判定部 1 optical pickup, 2 laser diode, 3 collimator lens, 4 beam splitter, 5 light receiving element, 6 actuator, 7 objective lens, 8 optical power meter, A light receiving element measuring unit, B power measuring unit, C control determination unit
Claims (18)
前記受光素子の出力をモニタし該出力波形の判定を行う受光素子計測部と、前記対物レンズから出射される収束光を受光して光パワーを測定する光パワーメータと、該光パワーメータの出力を計測して該計測データを保存するパワー計測部と、前記光ピックアップの動作制御と前記受光素子計測部及びパワー計測部のデータを収集して最終判定を行う制御判定部と、を備えたことを特徴とする光ピックアップ評価装置。 A laser diode that receives a laser beam and reflected light from a storage medium; a collimator lens that converts the emitted light of the laser beam into parallel light; a beam splitter that transmits and reflects the parallel light; and An evaluation apparatus for an optical pickup comprising a light receiving element for photoelectrically converting transmitted light and an objective lens having an actuator,
A light receiving element measuring unit that monitors the output of the light receiving element and determines the output waveform, an optical power meter that receives the convergent light emitted from the objective lens, and measures the optical power, and an output of the optical power meter And a power determination unit that stores the measurement data, and a control determination unit that collects data of the optical pickup operation control and the light receiving element measurement unit and the power measurement unit, and performs final determination. An optical pickup evaluation device characterized by the above.
前記受光素子の出力をモニタし該出力波形の判定を行う受光素子計測ステップと、光パワーメータの出力を計測して該計測データを保存するパワー計測ステップと、前記光ピックアップの動作制御と前記受光素子計測ステップ及びパワー計測ステップのデータを収集して最終判定を行う制御判定ステップと、を備えたことを特徴とする光ピックアップ評価方法。 A laser diode that emits a laser beam and receives reflected light from a storage medium, a collimator lens that converts the emitted light of the laser beam into parallel light, a beam splitter that transmits and reflects the parallel light, and the parallel An evaluation method of an optical pickup comprising a light receiving element that photoelectrically converts transmitted light and an objective lens having an actuator,
A light receiving element measuring step for monitoring the output of the light receiving element and determining the output waveform, a power measuring step for measuring the output of an optical power meter and storing the measured data, operation control of the optical pickup, and the light receiving An optical pickup evaluation method comprising: a control determination step for collecting data of an element measurement step and a power measurement step and performing a final determination.
前記受光素子の出力をモニタし該出力波形の判定を行う受光素子計測ステップと、光パワーメータの出力を計測して該計測データを保存するパワー計測ステップと、前記光ピックアップの動作制御と前記受光素子計測ステップ及びパワー計測ステップのデータを収集して最終判定を行う制御判定ステップと、を備えたことを特徴とする光ピックアップ製造方法。 A laser diode that emits a laser beam and receives reflected light from a storage medium, a collimator lens that converts the emitted light of the laser beam into parallel light, a beam splitter that transmits and reflects the parallel light, and the parallel A method of manufacturing an optical pickup including a light receiving element that photoelectrically converts transmitted light and an objective lens having an actuator,
A light receiving element measuring step for monitoring the output of the light receiving element and determining the output waveform, a power measuring step for measuring the output of an optical power meter and storing the measured data, operation control of the optical pickup, and the light receiving An optical pickup manufacturing method comprising: a control determination step for collecting data of an element measurement step and a power measurement step and performing a final determination.
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