JP2004303358A - Laminated body for HDD suspension and HDD suspension - Google Patents
Laminated body for HDD suspension and HDD suspension Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004303358A JP2004303358A JP2003096580A JP2003096580A JP2004303358A JP 2004303358 A JP2004303358 A JP 2004303358A JP 2003096580 A JP2003096580 A JP 2003096580A JP 2003096580 A JP2003096580 A JP 2003096580A JP 2004303358 A JP2004303358 A JP 2004303358A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin layer
- stainless steel
- layer
- polyimide resin
- thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Laminated Bodies (AREA)
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
Abstract
【課題】HDDサスペンションの軽量化を図り、ディスク上で移動−停止を繰り返す際に生じる慣性力、気流の微妙な乱れによって発生する振動ノイズを低減することを可能にしたHDDサスペンション用積層体を提供する。
【解決手段】ステンレス層A、樹脂層B、ステンレス層Cからなる積層体であって、ステンレス層AとCの厚みがいずれも15〜100μmの範囲にあり、かつ樹脂層Bが低熱膨張性ポリイミド樹脂層及び熱可塑性ポリイミド樹脂層からなり、その線膨張係数が(1〜3)×10−5/℃であり、厚みが8〜150μmであって、更にステンレス層Aと樹脂層Bの接着力及びステンレス層Cと樹脂層Bとの接着力がいずれも0.5kN/m以上であるHDDサスペンション用積層体。
【選択図】 なし[PROBLEMS] To provide an HDD suspension laminated body capable of reducing the weight of an HDD suspension and reducing vibration noise generated due to inertial force and subtle turbulence of airflow generated when moving and stopping repeatedly on a disk. I do.
A laminate comprising a stainless steel layer (A), a resin layer (B), and a stainless steel layer (C), wherein the thickness of each of the stainless steel layers (A) and (C) is in the range of 15 to 100 μm, and the resin layer (B) is a low thermal expansion polyimide. It is composed of a resin layer and a thermoplastic polyimide resin layer, has a coefficient of linear expansion of (1-3) × 10 −5 / ° C., has a thickness of 8-150 μm, and has an adhesive force between the stainless steel layer A and the resin layer B. And a laminate for an HDD suspension in which the adhesion between the stainless steel layer C and the resin layer B is 0.5 kN / m or more.
[Selection diagram] None
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、HDD(ハードディスクドライブ)サスペンション基板としての好適な積層体及びその利用に関するものである。詳しくはサスペンションの構成部材の一つであるステンレス製のロードビーム部材の軽量化を可能とする積層体に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
HDDの高容量化に向けた技術進化は目覚しく、スライダの小型化によって面記録密度は向上し、既にインチ当りの平均記憶容量が約40Gbits/in2まで達している(IDEMA Japan News No47.p8−10)。これら技術は、従来のワイヤ線を用いたワイヤタイプのサスペンションから配線が一体となったワイヤレスタイプのサスペンションへの置き替えが進み、この技術確立によって従来の問題であったワイヤ線の荷重の不均一化に基づくスライダの浮揚姿勢の不安定化が解消され、この浮揚姿勢が安定することによって更にスライダを小型化する技術が可能となり、このスライダの小型化によってトラック密度及び線記録(ビット)密度といった書き込み容量を向上させる技術が達成されてきたことによる(日経エレクトロニクス1998.4.6. p167−177)。
【0003】
しかしながら、HDDの高容量化に対する技術ニーズが止まる様相はなく、更なる高容量化を目指した技術開発が進んでいる。具体的にはスライダを更に小型化することで記憶容量を向上させる方法(日経エレクトロニクス1998.4.6. p167−177)、あるいはアームの動きを多段階に分けることでスライダの微小な動きを可能にしたマイクロアクチュエーターの導入(IDEMA Japan News No45.p6−10)、更にはチッアンプを直接サスペンション上に搭載したチップオンサスペンション(日経エレクトロニクス1998.4.6. p167−177)といった新技術の提案がなされている。これらの新規技術開発が進むことによって新たな技術ニーズとして、更にスライダの浮揚姿勢を低く安定化させる技術やディスクに対するスライダの位置精度を更に向上させる技術が要求されている。
【0004】
WO98/08216号公報では、サスペンションのフレクシャーブランク部材等に使用されるステンレス箔/ポリイミド系樹脂/銅箔の三層からなる積層体を開示している。そして、この積層体における各基材の厚みを薄くすることによって剛性を低減しバネ性を抑えることが期待される。しかし、この方法ではスライダの浮上距離を低くすることは可能であるとしても、サスペンションがディスク上を移動し停止する際に生じる慣性力によって発生する振動ノイズ、及びディスクの回転によって気流が発生しスライダが浮上する際に生じる風乱に伴う振動ノイズなどのノイズの影響を受けるため、フレクシャーブランク材の薄肉化による面記憶密度の向上に限界があり、更なる高容量化を達成させるためにはこれら振動ノイズの対策が必要である。
【0005】
HDDのサスペンション材はロードビーム材、フレクシャーブランク材、マウント材の3種類の部品を組合せたものから構成され、ロードビーム材とマウント材は単純にステンレス材を加工したものからなっている。ロードビーム材はサスペンション部材の中で支持体としての役割を担い、比較的厚く剛直なステンレス材が使用されている。このため、サスペンションがディスク上を移動と停止を繰り返しながら稼動する際にその慣性力によって振動が発生する。また、ディスクの回転に伴い生じる気流(風乱)によってスライダは浮上するが、この時乱流も同時に発生しその乱流によっても振動が発生する。これら振動ノイズが発生した場合、その振れによってスライダの位置精度が低下するため面記録密度は低下する。この振動ノイズを減衰させることが可能になれば、今以上の面記憶密度の向上を達成させることが可能となり、更には振動ノイズによる応答速度遅延や損失などの改善によりデータ転送速度の向上も可能となる (IDEMA Japan News No.50.p13‐17)。
【0006】
このような課題を解決するため、HDDサスペンションのステンレス製ロードビーム部材をハーフエッチング加工することによって機能上不必要な部分を削り軽量化を図ることでサスペンションがディスク上を移動と停止を繰り返す際に発生する慣性力を低減する方法、すなわち空気抵抗による粘性によって振動を熱エネルギーに変換させ振動を低減させる方法が考案されている。しかしながら、この方法では複雑な形状に加工することは困難であり、十分な軽量化を達成することができない。
【0007】
【特許文献1】
WO98/08216号公報
【非特許文献1】
日経エレクトロニクス、1998.4.6.p167−177
【非特許文献2】
IDEMA Japan News No47.p8−10
【非特許文献3】
IDEMA Japan News No45.p6−10
【非特許文献4】
IDEMA Japan News No.50.p13‐17
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、HDDの更なる高容量化を達成するため、HDDサスペンションの構成部材であるステンレス製ロードビーム部材において、ステンレスの一部を低比重のポリイミド系樹脂に置き換えることによって軽量化を図り、サスペンションがディスク上を移動と停止を繰り返しながら稼動する際に生じる慣性力によって発生する振動と回転するディスク上をスライダが浮遊する際に風乱によって発生する振動ノイズを低減することを目的する。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明者等はかかる課題を解決すべく鋭意検討した結果、ステンレス箔上に特定のポリイミド樹脂を塗布した積層体に更にステンレス箔を熱圧着することで、HDDサスペンションの軽量化を図ることが可能であることを見出し、本発明を完成するに至った。
【0010】
すなわち、本発明は、ステンレス層A、樹脂層B、ステンレス層Cからなる積層体であって、ステンレス層AとCの厚みがいずれも15〜100μmの範囲にあり、かつ樹脂層Bの厚みが8〜150μmであって、更にステンレス層Aと樹脂層Bの接着力及びステンレス層Cと樹脂層Bとの接着力がいずれも0.5kN/m以上であることを特徴とするHDDサスペンション用積層体である。
【0011】
ここで、1)樹脂層Bの線膨張係数が1×10−5〜3×10−5/℃であること、2)樹脂層Bがポリイミド系樹脂からなること、3)樹脂層Bが線膨張係数3×10−5/℃以下の低熱膨張性ポリイミド系樹脂層Dとガラス転移温度が300℃以下の熱可塑性ポリイミド系樹脂層Eの少なくとも2層を有する多層構造であること、4)樹脂層Bが熱可塑性ポリイミド系樹脂層E1/低熱膨張性ポリイミド系樹脂層D/熱可塑性ポリイミド系樹脂層E2の3層構造であり、熱可塑性ポリイミド系樹脂層E1と熱可塑性ポリイミド系樹脂層E2は同一でも異なっていても良く、かつ低熱膨張性ポリイミド系樹脂層Dの厚みが樹脂層B全体の50%以上の厚みを占めること、5)樹脂層Bの厚みが積層体全体の厚みの20〜90%であること、又は、6)ステンレス層A及びCがSUS304であることは本発明の好ましい態様である。また、HDDサスペンション用が、HDDサスペンションの構成部材であるロードビーム用であることも有利である。
【0012】
また、本発明は、HDDサスペンションのロードビームが、前記のHDDサスペンション用積層体からなるもの又はこれを加工して得られたものであることを特徴とするHDDサスペンションである。
【0013】
【発明の実施の形態】
本発明のHDDサスペンション用積層体は、HDDサスペンションの構成部材の少なくとも1つに使用されるものであり、HDDサスペンション又はその構成部材に加工する前の積層体(基板)を含むことはもちろん、HDDサスペンション又はその構成部材に加工後の積層体を含む。HDDサスペンションは特許文献1や非特許文献1に記載のように、マウント、ロードビーム及びフレキシャーから構成される(ロードビームとフレキシャーが一体化されたものもある)が、本発明の積層体は、ロードビーム用に好適である。
【0014】
本発明のHDDサスペンション用積層体は、ステンレス層A、樹脂層B及びステンレス層Cからなるが、有利にはステンレス層はステンレス箔から、樹脂層はポリイミド系樹脂から構成される。
【0015】
ステンレス層AとCを構成するステンレスの種類には、特に制約はないが、ばね特性や寸法安定性の観点からSUS304が好ましく、特に300℃以上の温度でアニール処理されたSUS304が好ましい。ステンレス層の厚さは15〜100μmの範囲にあり、20〜40μmの範囲にあることがより好ましい。また、ステンレス層AとCの合計の厚みは、30〜100μmの範囲にあることが好ましい。
【0016】
ステンレス層の厚みが15μmに満たないと、支持体としての必要な剛性が不足し、一方、100μmを超えると支持体の重量が重く慣性力によって振動の減衰効果は大きく低下する。ステンレス層AとCを構成するステンレスの種類や厚みは、同一であっても、異なってもよいが、いずれも上記で好ましいとした種類又は範囲にあることがよい。
【0017】
樹脂層Bを構成する樹脂としては、各種の樹脂が使用可能であるが、寸法安定性や反りの観点から、ポリイミド系樹脂が好ましい。エポキシ樹脂などの汎用樹脂はコスト的に有利な反面、熱膨張係数が大きいため、反りなどが発生し易く、HDDに搭載した際に反りによって位置精度が得られず記憶容量が低下する。また、樹脂層Bは複数の樹脂層からなるものであっても、単層の樹脂層からなるものであってもよい。樹脂層Bの厚みは8〜150μmの範囲である。この厚みが8μmに満たない場合は樹脂層の形成が困難で、且つ軽量化に殆ど寄与しない。また、150μmを超える場合は、強度を保持するため厚くなりすぎることになる。
【0018】
ポリイミド系樹脂は、ポリイミド、ポリアミドイミド。ポリエーテルイミドなど、その構造中にイミド結合を有するものであればよい。樹脂層Bをポリイミド系樹脂層から構成する場合は、単層のみからなるものでもよいが、好ましくは、複数層のポリイミド系樹脂層からなるものがよい。樹脂層Bを複数層のポリイミド系樹脂層から構成する場合、ステンレス層と接するポリイミド系樹脂層にはこれらステンレス層と良好な接着性を示すものを使用することが好ましい。良接着性を示すポリイミド系樹脂層としては、そのガラス転移温度が300℃以下の熱可塑性ポリイミド系樹脂層Eが挙げられる。また、ステンレス層と接しない中間層には、HDDサスペンションに加工した時の寸法安定性の点からも温度変化に対する寸法変化率、すなわち線膨張係数が30×10−6/℃以下の低熱膨張性ポリイミド系樹脂層Dが挙げられる。
【0019】
有利には、樹脂層Bを3層のポリイミド系樹脂層から構成することであり、この場合、熱可塑性ポリイミド系樹脂層E1/低熱膨張性ポリイミド系樹脂層D/熱可塑性ポリイミド系樹脂層E2の層構造とすることがよい。ここで、熱可塑性ポリイミド系樹脂層E1とE2は種類や厚みが異なってもよく、同一であってもよいが、いずれもステンレス層と接する層であるため、ステンレス層と良好な接着性を示し、そのガラス転移温度が300℃以下の熱可塑性ポリイミド系樹脂層であることがよい。同様に、低熱膨張性ポリイミド系樹脂層Dも2層以上の層構造とすることができる。更に、低熱膨張性ポリイミド系樹脂層Dの間に熱可塑性ポリイミド系樹脂層Eを設けることもできる。樹脂層Bの合計厚みに占める低熱膨張性ポリイミド系樹脂層Dの厚みは50%以上、好ましくは80〜99%の範囲にあることがよい。
【0020】
ステンレス層A及びCの合計厚みと、樹脂層Bの厚み比率は、ステンレス層と樹脂層の厚み比率が1:0.05〜4倍の範囲であるが、好ましくは1:0.1〜4倍で、樹脂層の比率が高いほど軽量化に対して効果的である。有利には、樹脂層Bの厚みが積層体厚みの5〜90%の範囲であるが、好ましくは10〜70%とすることがよい。
【0021】
次に、本発明の積層体の製造方法について説明する。
積層体を製造するにあたっては、まず、基体となるステンレス層上にポリイミド系樹脂液を塗布する。ポリイミド系樹脂の塗布は公知の方法により可能であり、通常、アプリケータを用いて塗布される。ポリイミド系樹脂液は、イミド化されたポリイミド樹脂が溶媒に溶解されたものを使用してもよいが、ポリイミド系樹脂の前駆体溶液を使用し、塗布後、予備加熱により溶媒をある程度除去した後、熱処理によりイミド化をする方法が好ましい。なお、イミド化されたポリイミド系樹脂溶液を使用する場合には、当然、イミド化のための熱処理は省略される。このようにして、ポリイミド系樹脂層を形成した後、このポリイミド系樹脂層上にステンレス箔を積み重ね、280℃以上の温度で加熱圧着してステンレス層/ポリイミド系樹脂層/ステンレス層から構成される積層体とすることができる。加圧条件は1〜50MPaの範囲で、5〜30分行なうことが好ましい。また、加圧時の熱プレス温度は280℃以上とすることが必要であるが、300〜400℃の範囲のなかで行なうことが好ましい。加熱圧着条件が上記範囲から外れると、ラミネート材に反りなどの変形や剥離強度の低下などが生じ好ましくない。
【0022】
また、別法としてステンレス上にポリイミド系樹脂層を形成したもの2枚を、樹脂面を合わせて積み重ね、280℃以上の温度で加熱圧着してステンレス層/ポリイミド系樹脂層/ステンレス層から構成される積層体とすることができる。この製造方法において使用するステンレスやポリイミド系樹脂としては、最初に記した製造方法で用いるものと同様なものが使用でき、好ましい態様も同様となるが、ステンレスに関しては、ステンレス層の両サイドの厚み異なるものは加熱圧着時の応力による変形量が異なる場合があるため、ラミネート材の反りの安定性からステンレス層の厚みは同一のものが好ましい。但し、必要に応じて厚みを変化させることが可能であり、要求される反り量を満足するものであればこの限りではない。また、この別法の場合は、ステンレス層上に形成する樹脂層Bの構成を、熱可塑性ポリイミド系樹脂層E/低熱膨張性ポリイミド系樹脂層D/熱可塑性ポリイミド系樹脂層Eとし、この樹脂面を重ね合わせて熱圧着して、ステンレス/E/D/E/E/D/E/ステンレスとなる層構造の積層体とすることがよい。
【0023】
本発明の積層体は、ステンレス層A又はCと、樹脂層Bの接着面における接着力がいずれも0.5kN/m以上である。0.5kN/m以上とすることにより、積層体の加工中の剥離、加工後のサスペンションとした後の変形等を防止できる。例えば、ロードビーム材に加工する際、加工時の折り曲げや搬送中のロール間での圧縮、及びサスペンションがディスク上を移動する際に発生する繰り返しの慣性力に耐えることのできる接着強度が必要である。剥離強度としては、0.5kN/m以上、好ましくは0.54kN/m以上、より好ましくは0.6kN/m以上があれば、良好に使用できることが見出された。かかる接着力を有するステンレス層/樹脂層の接着面構造は前記特許文献1等により公知であり、樹脂層の種類や、ステンレスの表面状態や、接着条件を選択することに達成可能である。特に、樹脂層Bの接着面層となる樹脂を、熱可塑性ポリイミド系樹脂層Eとすることにより達成可能である。ここで、接着力は実施例に示す剥離強度試験によって測定したものをいう。
【0024】
本発明の積層体をサスペンションの支持台であるロードビーム等に使用した場合、反りが発生すると磁気信号を読み取る位置精度が悪くなり、単位面積当りの記憶密度が低下する。このため、反りは65mmディスクで3mm以下とすることが好ましいことが見出された。また、本発明の積層体は、反りの発生を防止するため、樹脂層の熱膨張係数は金属層と同等であることが好ましく、100℃から50℃における熱膨張係数が16〜20ppm/Kであることがより好ましい。
【0025】
【実施例】
以下、実施例及び比較例などに基づき本発明を更に具体的に説明する。なお、実施例における基本特性の評価方法は以下の方法によるもので、ロードビーム用途で必要とされる基本性能は以下に併せて記載する。また、使用したポリイミド系樹脂は十分にイミド化が終了したものを用いた。
【0026】
(剥離強度試験)
金属層と樹脂層との接着力は、ステンレス箔上にポリイミド系樹脂を形成させた後、更にステンレス箔を熱圧着して両面金属箔の積層体を作成し、形状加工により1/8インチ配線幅の測定試験片を作成した。このサンプルを固定板に張付け、塗布側及び圧着側のステンレス層をそれぞれ引張試験機(東洋精機株式会社製、ストログラフ−M1)を用いて90°方向に引き剥がし強さを測定した。
【0027】
(反りの測定)
積層体の反りは、回路加工により直径65mmのディスクを作成し、ノギスを用いて机上に置いた際に最も反りが大きくなる部分を測定した。
【0028】
(線熱膨張係数の測定)
線熱膨張係数の測定は、サーモメカニカルアナライザー(センコーインスツルメンツ社製)を用いて255℃まで20℃/分の速度で昇温し、その温度で10分間保持した後、更に5℃/分の一定速度で冷却した。冷却時の100℃から50℃までの平均熱膨張係数(線熱膨張係数)を算出した。
【0029】
(試験片重量の測定)
重量測定は100×100mmの試験片を作成し、エー・アンド・デイ製電子天秤(EK−A)を用いて各基材の重量を測定した。
【0030】
また、実施例等に用いられる略号は以下の通りである。
BPDA:3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
DADMB:4,4’−ジアミノ−2,2’−ジメチルビフェニル
BAPP:2,2’−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン
DMAc:N,N−ジメチルアセトアミド
【0031】
合成例1
線膨張係数が30×10−6/℃以下の低熱膨張性のポリイミド系樹脂を合成するため、9.0モルのDADMBを秤量し、40Lのプラネタリーミキサーの中で攪拌しながら25.5kgの溶媒DMAcに溶解させた。次いで、8.9モルのBPDAを加え、室温にて3時間攪拌を続けて重合反応を行い、粘稠なポリイミド前駆体Aの溶液を得た。
【0032】
合成例2
ガラス転移温度が300℃以下のポリイミド系樹脂を合成するため、6.3モルのBAPPを秤量し、40Lのプラネタリーミキサーの中で攪拌しながら25.5kgの溶媒DMAcに溶解させた。次いで、6.4モルのBPDAを加え、室温にて3時間攪拌を続けて重合反応を行い、粘稠なポリイミド前駆体Bの溶液を得た。
【0033】
実施例1
合成例2で得られたポリイミド前駆体Bの溶液をステンレス箔(新日本製鐵株式会社製、SUS304、テンションアニール処理品、厚み30μm)上に、硬化後の厚みが1μmになるように塗布して110℃で3分間乾燥した後、その上に合成例1で得られたポリイミド前駆体Aの溶液を硬化後の厚さが38μmとなるように塗布して110℃で10分間乾燥し、更にその上に合成例2で得られたポリイミド前駆体Bの溶液を硬化後の厚みが1μmとなるように塗布して110℃で3分間乾燥した後、更に130〜360℃の範囲で段階的な熱処理によりイミド化を慣性させ、ステンレス上にポリイミド樹脂層の厚み40μmの積層体を得た。なお、第1層目のポリイミド樹脂層と第3層目のポリイミド樹脂層は同じとした。
次に、ステンレス箔(新日本製鐵株式会社製、SUS304、テンションアニール処理品、厚み30μm)をこの積層体に重ね合わせ、真空プレス機を用いて、面厚15MPa、温度320℃、プレス加圧時間20分の条件で加熱圧着してステンレス層/ポリイミド樹脂層/ステンレス層=30/40/30の積層体を得た。この積層体の特性を評価した結果を表1に示した。
【0034】
実施例2
合成例2で得られたポリイミド前駆体Bの溶液をステンレス箔(新日本製鐵株式会社製、SUS304、テンションアニール処理品、厚み30μm)上に、硬化後の厚みが1μmになるように塗布して110℃で3分間乾燥した後、その上に合成例1で得られたポリイミド前駆体Aの溶液を硬化後の厚さが18μmとなるように塗布して110℃で10分間乾燥し、更にその上に合成例2で得られたポリイミド前駆体Bの溶液を硬化後の厚みが1μmとなるように塗布して110℃で3分間乾燥した後、更に130〜360℃の範囲で段階的な熱処理によりイミド化を慣性させ、ステンレス上にポリイミド樹脂層の厚み20μmの第一積層体を得た。なお、第1層目のポリイミド樹脂層と第3層目のポリイミド樹脂層は同じとした。
次に、このようにして得られた2枚の第一積層体を、ポリイミド面が向かい合うように積層し、真空プレス機を用いて、面厚15MPa、温度320℃、プレス加圧時間20分の条件で加熱圧着してステンレス層/ポリイミド樹脂層/ステンレス層=30/40/30の積層体を得た。
【0035】
実施例3
合成例2で得られたポリイミド前駆体Bの溶液をステンレス箔(新日本製鐵株式会社製、SUS304、テンションアニール処理品、厚み25μm)上に、硬化後の厚みが1μmになるように塗布して110℃で3分間乾燥した後、その上に合成例1で得られたポリイミド前駆体Aの溶液を硬化後の厚さが8μmとなるように塗布して110℃で10分間乾燥し、更にその上に合成例2で得られたポリイミド前駆体Bの溶液を硬化後の厚みが1μmとなるように塗布して110℃で3分間乾燥した後、更に130〜360℃の範囲で段階的な熱処理によりイミド化を慣性させ、ステンレス上にポリイミド樹脂層の厚み10μmの第一の積層体を得た。なお、第1層目のポリイミド樹脂層と第3層目のポリイミド樹脂層は同じとした。
次に、第一の積層体の樹脂面に、ステンレス箔(新日本製鐵株式会社製、SUS304、テンションアニール処理品、厚み64μm)を重ね合わせ、真空プレス機を用いて、面厚15MPa、温度320℃、プレス加圧時間20分の条件で加熱圧着してステンレス層/ポリイミド樹脂層/ステンレス層=64/10/25の積層体を得た。
【0036】
比較例1
100μmのステンレス箔(新日本製鐵株式会社製、SUS304、テンションアニール処理品)を用意して、同様な比較評価を行なった。
【0037】
【表1】
【0038】
実施例1〜3で得た積層体及び比較例1のステンレス箔を用いてHDDのロードビームに加工したが、加工の際に剥離や変形等の問題はいずれもなく、また、得られたロードビームをサスペンションに組み込んだHDDについても、同様である。
【0039】
【発明の効果】
本発明によれば、HDDの高容量化に対応した技術として、HDDサスペンションの構成部材であるステンレス製ロードビーム材をステンレス層/ポリイミド系樹脂層/ステンレス層の高機能性複合積層体にすることによって軽量化を図り、この技術によってディスク上で移動−停止を繰り返す際に生じる慣性力、及びサスペンションがディスク上を浮揚する際に生じる気流の微妙な乱れによって発生する振動ノイズを空気との摩擦によって低減することを可能にした。これによってディスクとスライダ間の距離を短縮して且つ安定的な浮揚姿勢を保つことが可能となり、これまで以上のトラック密度及び線記録密度を向上させることでHDDの高容量化を可能にする。[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a laminated body suitable for an HDD (hard disk drive) suspension board and its use. More specifically, the present invention relates to a laminated body that enables a stainless steel load beam member, which is one of components of a suspension, to be reduced in weight.
[0002]
[Prior art]
The technological progress toward higher capacity of HDD is remarkable, and the surface recording density is improved by downsizing of the slider, and the average storage capacity per inch has already reached about 40 Gbits / in 2 (IDEMA Japan News No. 47.p8-). 10). In these technologies, the replacement of the conventional wire-type suspension using wire lines to the wireless-type suspension with integrated wiring is progressing, and the establishment of this technology has led to the non-uniformity of the load on the wire lines, which was a conventional problem. The instability of the flying attitude of the slider due to the development of the slider is eliminated, and the technique of further reducing the size of the slider is made possible by the stabilization of the flying attitude, and the downsizing of the slider enables the track density and the linear recording (bit) density. This is because a technique for improving the write capacity has been achieved (Nikkei Electronics 1998.4.6. P167-177).
[0003]
However, the technical needs for increasing the capacity of HDDs do not seem to stop, and technology development for further increasing the capacity is progressing. Specifically, a method of improving the storage capacity by further reducing the size of the slider (Nikkei Electronics 1998.4.6. P167-177), or allowing the slider to move minutely by dividing the arm movement into multiple stages New technologies have been proposed, such as the introduction of a microactuator (IDEMA Japan News No. 45.p6-10) and a chip-on suspension (Nikkei Electronics 1998.4.6. P167-177) in which a chip amplifier is mounted directly on a suspension. ing. With the development of these new technologies, new technology needs include a technology for lowering and stabilizing the flying attitude of the slider and a technology for further improving the positional accuracy of the slider with respect to the disk.
[0004]
WO 98/08216 discloses a laminate composed of three layers of stainless steel foil / polyimide resin / copper foil used for a flexure blank member of a suspension or the like. Then, it is expected that the rigidity is reduced and the spring property is suppressed by reducing the thickness of each base material in the laminate. However, even if this method can reduce the flying distance of the slider, vibration noise generated by inertial force generated when the suspension moves on the disk and stops, and airflow generated by rotation of the disk cause the slider to move. Is affected by noise such as vibration noise due to wind turbulence that occurs when the surface floats.Therefore, there is a limit to the improvement of the surface memory density by reducing the thickness of the flexure blank material. It is necessary to take measures against these vibration noises.
[0005]
The suspension material of the HDD is composed of a combination of three types of components, a load beam material, a flexure blank material, and a mount material. The load beam material and the mount material are simply made of stainless steel. The load beam material serves as a support in the suspension member, and a relatively thick and rigid stainless steel material is used. Therefore, when the suspension operates while repeatedly moving and stopping on the disk, vibration is generated by the inertial force. Further, the slider flies due to the air current (wind turbulence) generated by the rotation of the disk. At this time, the turbulence also occurs at the same time, and the turbulence also generates vibration. When these vibration noises are generated, the vibrations reduce the positional accuracy of the slider, so that the areal recording density is reduced. If this vibration noise can be attenuated, it will be possible to achieve a higher surface memory density than ever, and furthermore, it will be possible to improve the data transfer speed by improving response speed delay and loss due to vibration noise. (IDEMA Japan News No. 50. p13-17).
[0006]
In order to solve such a problem, the stainless steel load beam member of the HDD suspension is half-etched to remove unnecessary portions in function and to reduce the weight so that the suspension may repeatedly move and stop on the disk. A method for reducing the generated inertial force, that is, a method for converting vibration into heat energy by viscousness due to air resistance to reduce vibration has been devised. However, it is difficult to process into a complicated shape by this method, and sufficient weight reduction cannot be achieved.
[0007]
[Patent Document 1]
WO98 / 08216 [Non-Patent Document 1]
Nikkei Electronics, 1998.4.6. p167-177
[Non-patent document 2]
IDEMA Japan News No. 47. p8-10
[Non-Patent Document 3]
IDEMA Japan News No. 45. p6-10
[Non-patent document 4]
IDEMA Japan News No. 50. p13-17
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
The present invention achieves a further increase in the capacity of the HDD by reducing the weight of the stainless steel load beam member, which is a constituent member of the HDD suspension, by replacing a part of the stainless steel with a polyimide resin having a low specific gravity. An object of the present invention is to reduce vibration noise generated by inertial force generated when a suspension repeatedly moves and stops on a disk while operating, and vibration noise generated by wind turbulence when a slider floats on a rotating disk.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
The present inventors have conducted intensive studies to solve such problems, and as a result, it is possible to reduce the weight of the HDD suspension by further thermocompression bonding the stainless steel foil to a laminate obtained by applying a specific polyimide resin on the stainless steel foil. And completed the present invention.
[0010]
That is, the present invention is a laminate comprising a stainless steel layer A, a resin layer B, and a stainless steel layer C, wherein the thickness of each of the stainless steel layers A and C is in the range of 15 to 100 μm, and the thickness of the resin layer B is A laminate having a thickness of 8 to 150 μm and an adhesive force between the stainless steel layer A and the resin layer B and an adhesive force between the stainless steel layer C and the resin layer B of 0.5 kN / m or more. Body.
[0011]
Here, 1) the linear expansion coefficient of the resin layer B is 1 × 10 −5 to 3 × 10 −5 / ° C., 2) the resin layer B is made of a polyimide resin, and 3) the resin layer B is a linear resin. 4) Resin having a multilayer structure having at least two layers of a low thermal expansion polyimide resin layer D having an expansion coefficient of 3 × 10 −5 / ° C. or less and a thermoplastic polyimide resin layer E having a glass transition temperature of 300 ° C. or less. The layer B has a three-layer structure of a thermoplastic polyimide resin layer E1 / a low thermal expansion polyimide resin layer D / a thermoplastic polyimide resin layer E2, and the thermoplastic polyimide resin layer E1 and the thermoplastic polyimide resin layer E2 It may be the same or different, and the thickness of the low thermal expansion polyimide resin layer D occupies 50% or more of the entire resin layer B. 5) The thickness of the resin layer B is 20 to 20% of the total thickness of the laminate. 90% Or 6) the stainless steel layer A and C are SUS304 is a preferred embodiment of the present invention. It is also advantageous that the HDD suspension is for a load beam which is a component of the HDD suspension.
[0012]
According to the present invention, there is provided an HDD suspension, wherein a load beam of the HDD suspension is formed of the above-mentioned laminate for HDD suspension or obtained by processing the laminate.
[0013]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
The laminate for an HDD suspension of the present invention is used for at least one of the components of the HDD suspension, and includes the HDD suspension or the laminate (substrate) before being processed into the component. The suspension or a component of the suspension includes a processed laminate. As described in Patent Literature 1 and Non-Patent Literature 1, an HDD suspension is composed of a mount, a load beam, and a flexure (there is also one in which a load beam and a flexure are integrated). Suitable for load beams.
[0014]
The HDD suspension laminate of the present invention comprises a stainless steel layer A, a resin layer B and a stainless steel layer C. Preferably, the stainless steel layer is made of stainless steel foil and the resin layer is made of polyimide resin.
[0015]
The type of stainless steel forming the stainless steel layers A and C is not particularly limited, but SUS304 is preferable from the viewpoint of spring characteristics and dimensional stability, and SUS304 annealed at a temperature of 300 ° C. or more is particularly preferable. The thickness of the stainless steel layer is in the range of 15 to 100 μm, and more preferably in the range of 20 to 40 μm. Further, the total thickness of the stainless layers A and C is preferably in the range of 30 to 100 μm.
[0016]
If the thickness of the stainless steel layer is less than 15 μm, the rigidity required for the support is insufficient, while if it exceeds 100 μm, the weight of the support is heavy and the vibration damping effect is greatly reduced due to inertial force. The types and thicknesses of the stainless steels constituting the stainless steel layers A and C may be the same or different, but both are preferably in the above-mentioned preferred types or ranges.
[0017]
Various resins can be used as the resin constituting the resin layer B, but a polyimide resin is preferable from the viewpoint of dimensional stability and warpage. A general-purpose resin such as an epoxy resin is advantageous in terms of cost, but has a large thermal expansion coefficient, so that it is likely to be warped. When mounted on an HDD, the warpage does not provide positional accuracy and storage capacity is reduced. The resin layer B may be composed of a plurality of resin layers, or may be composed of a single resin layer. The thickness of the resin layer B is in the range of 8 to 150 μm. When the thickness is less than 8 μm, it is difficult to form a resin layer and hardly contributes to weight reduction. On the other hand, if it exceeds 150 μm, it will be too thick to maintain strength.
[0018]
The polyimide resin is polyimide or polyamide imide. What is necessary is just what has an imide bond in the structure, such as polyether imide. When the resin layer B is composed of a polyimide resin layer, it may be composed of only a single layer, but preferably composed of a plurality of polyimide resin layers. When the resin layer B is composed of a plurality of polyimide-based resin layers, it is preferable to use a polyimide-based resin layer in contact with the stainless steel layer that exhibits good adhesion to the stainless steel layers. Examples of the polyimide resin layer exhibiting good adhesiveness include a thermoplastic polyimide resin layer E having a glass transition temperature of 300 ° C. or less. In addition, the intermediate layer not in contact with the stainless steel layer has a low dimensional change rate with respect to temperature change, that is, a linear thermal expansion coefficient of 30 × 10 −6 / ° C. or less from the viewpoint of dimensional stability when processed into an HDD suspension. A polyimide resin layer D is exemplified.
[0019]
Advantageously, the resin layer B is composed of three polyimide resin layers. In this case, the thermoplastic polyimide resin layer E1 / the low thermal expansion polyimide resin layer D / the thermoplastic polyimide resin layer E2 It is preferable to have a layer structure. Here, the thermoplastic polyimide-based resin layers E1 and E2 may be different in type and thickness or may be the same, but since both are layers in contact with the stainless steel layer, they exhibit good adhesion to the stainless steel layer. And a thermoplastic polyimide resin layer having a glass transition temperature of 300 ° C. or less. Similarly, the low thermal expansion polyimide resin layer D can also have a layer structure of two or more layers. Further, a thermoplastic polyimide resin layer E may be provided between the low thermal expansion polyimide resin layers D. The thickness of the low thermal expansion polyimide resin layer D occupying the total thickness of the resin layer B is preferably 50% or more, and more preferably 80 to 99%.
[0020]
The ratio of the total thickness of the stainless layers A and C to the thickness of the resin layer B is such that the thickness ratio of the stainless layer and the resin layer is in the range of 1: 0.05 to 4 times, but preferably in the range of 1: 0.1 to 4 The higher the ratio of the resin layer, the more effective the weight reduction. Advantageously, the thickness of the resin layer B is in the range of 5 to 90% of the thickness of the laminate, but is preferably 10 to 70%.
[0021]
Next, a method for producing a laminate of the present invention will be described.
In manufacturing the laminate, first, a polyimide resin liquid is applied on a stainless steel layer serving as a base. The polyimide resin can be applied by a known method, and is usually applied using an applicator. The polyimide-based resin solution may be a solution in which the imidized polyimide resin is dissolved in a solvent, but using a precursor solution of the polyimide-based resin, after application, after removing the solvent to some extent by preheating. The method of imidization by heat treatment is preferable. When an imidized polyimide resin solution is used, the heat treatment for imidization is naturally omitted. After the polyimide-based resin layer is formed in this manner, a stainless steel foil is stacked on the polyimide-based resin layer, and heated and pressed at a temperature of 280 ° C. or more, and is composed of a stainless steel layer / polyimide-based resin layer / stainless steel layer. It can be a laminate. The pressurizing condition is preferably in a range of 1 to 50 MPa and for 5 to 30 minutes. In addition, the hot pressing temperature during pressurization needs to be 280 ° C. or higher, but it is preferable to perform the pressing within a range of 300 to 400 ° C. If the thermocompression bonding condition is out of the above range, the laminate material is undesirably deformed such as warpage or a decrease in peel strength.
[0022]
Alternatively, two sheets each having a polyimide resin layer formed on stainless steel are stacked together with their resin surfaces aligned, and then heated and pressed at a temperature of 280 ° C. or more, and are composed of a stainless layer / polyimide resin layer / stainless layer. It can be a laminated body. As the stainless steel or polyimide resin used in this manufacturing method, the same ones as those used in the manufacturing method described first can be used, and the preferred embodiment is also the same, but for stainless steel, the thickness of both sides of the stainless steel layer Since different materials may have different amounts of deformation due to stress at the time of thermocompression bonding, it is preferable that the thickness of the stainless steel layer is the same from the viewpoint of stability of warpage of the laminated material. However, the thickness can be changed as necessary, and the thickness is not limited as long as the required amount of warpage is satisfied. In the case of this alternative method, the resin layer B formed on the stainless steel layer is constituted by a thermoplastic polyimide resin layer E / a low thermal expansion polyimide resin layer D / a thermoplastic polyimide resin layer E. The surfaces may be overlapped and thermocompression-bonded to form a laminate having a layer structure of stainless steel / E / D / E / E / D / E / stainless steel.
[0023]
In the laminate of the present invention, the adhesive force on the adhesive surface between the stainless steel layer A or C and the resin layer B is 0.5 kN / m or more. When the thickness is 0.5 kN / m or more, it is possible to prevent peeling during processing of the laminated body, deformation after forming a processed suspension, and the like. For example, when processing into a load beam material, it is necessary to have an adhesive strength that can withstand bending during processing and compression between rolls during transport, and repetitive inertial force generated when the suspension moves on the disk. is there. It has been found that when the peel strength is at least 0.5 kN / m, preferably at least 0.54 kN / m, more preferably at least 0.6 kN / m, it can be used favorably. The bonding surface structure of the stainless steel layer / resin layer having such an adhesive force is known from Patent Document 1 and the like, and can be achieved by selecting the type of the resin layer, the surface state of stainless steel, and the bonding conditions. In particular, this can be achieved by using a thermoplastic polyimide resin layer E as the resin to be the adhesive surface layer of the resin layer B. Here, the adhesive strength refers to a value measured by a peel strength test shown in Examples.
[0024]
When the laminate of the present invention is used for a load beam or the like, which is a support for a suspension, when warpage occurs, the positional accuracy for reading a magnetic signal is deteriorated, and the storage density per unit area is reduced. For this reason, it has been found that the warp is preferably 3 mm or less for a 65 mm disk. In the laminate of the present invention, the thermal expansion coefficient of the resin layer is preferably the same as that of the metal layer in order to prevent warpage, and the thermal expansion coefficient at 100 ° C. to 50 ° C. is 16 to 20 ppm / K. More preferably, there is.
[0025]
【Example】
Hereinafter, the present invention will be described more specifically based on Examples and Comparative Examples. The evaluation method of the basic characteristics in the examples is based on the following method, and the basic performance required for the load beam application is also described below. The polyimide resin used was one whose imidization was sufficiently completed.
[0026]
(Peel strength test)
The adhesive force between the metal layer and the resin layer is determined by forming a polyimide resin on a stainless steel foil, then thermocompression bonding the stainless steel foil to create a double-sided metal foil laminate, and processing it by 1/8 inch wiring. A width measurement specimen was prepared. This sample was stuck on a fixing plate, and the stainless steel layers on the application side and the crimping side were peeled in a 90 ° direction using a tensile tester (Strograph-M1 manufactured by Toyo Seiki Co., Ltd.) to measure the strength.
[0027]
(Measurement of warpage)
The warpage of the laminate was measured by forming a disk having a diameter of 65 mm by circuit processing and using a caliper to measure the portion where the warp was greatest when placed on a desk.
[0028]
(Measurement of linear thermal expansion coefficient)
The linear thermal expansion coefficient was measured by using a thermomechanical analyzer (manufactured by Senko Instruments) at a rate of 20 ° C./min to 255 ° C., holding at that temperature for 10 minutes, and further maintaining a constant 5 ° C./min. Cooled at speed. The average thermal expansion coefficient (linear thermal expansion coefficient) from 100 ° C. to 50 ° C. during cooling was calculated.
[0029]
(Measurement of test piece weight)
For the weight measurement, a test piece of 100 × 100 mm was prepared, and the weight of each substrate was measured using an electronic balance (EK-A) manufactured by A & D.
[0030]
Abbreviations used in Examples and the like are as follows.
BPDA: 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride DADMB: 4,4′-diamino-2,2′-dimethylbiphenyl BAPP: 2,2′-bis [4- (4-amino [Phenoxy) phenyl] propane DMAc: N, N-dimethylacetamide
Synthesis Example 1
In order to synthesize a low thermal expansion polyimide resin having a linear expansion coefficient of 30 × 10 −6 / ° C. or less, 9.0 mol of DADMB is weighed, and 25.5 kg of DADMB is stirred in a 40 L planetary mixer. It was dissolved in the solvent DMAc. Next, 8.9 mol of BPDA was added, and the polymerization reaction was carried out with stirring at room temperature for 3 hours to obtain a viscous polyimide precursor A solution.
[0032]
Synthesis Example 2
In order to synthesize a polyimide resin having a glass transition temperature of 300 ° C. or lower, 6.3 mol of BAPP was weighed and dissolved in 25.5 kg of a solvent DMAc while stirring in a 40 L planetary mixer. Next, 6.4 mol of BPDA was added, and the polymerization reaction was carried out with stirring at room temperature for 3 hours to obtain a viscous polyimide precursor B solution.
[0033]
Example 1
The solution of the polyimide precursor B obtained in Synthesis Example 2 was applied on a stainless steel foil (SUS304, manufactured by Nippon Steel Corporation, tension-annealed product, thickness 30 μm) so that the thickness after curing became 1 μm. After drying at 110 ° C. for 3 minutes, the solution of the polyimide precursor A obtained in Synthesis Example 1 was applied thereon so that the thickness after curing became 38 μm, and dried at 110 ° C. for 10 minutes. The solution of the polyimide precursor B obtained in Synthesis Example 2 was applied thereon so that the thickness after curing became 1 μm, dried at 110 ° C. for 3 minutes, and further stepwise in the range of 130 to 360 ° C. The imidization was inertized by heat treatment to obtain a 40 μm-thick laminate of a polyimide resin layer on stainless steel. Note that the first polyimide resin layer and the third polyimide resin layer were the same.
Next, a stainless steel foil (SUS304, manufactured by Nippon Steel Corporation, tension-annealed product, thickness 30 μm) is superimposed on the laminate, and a surface pressure of 15 MPa, a temperature of 320 ° C., and press pressure are applied using a vacuum press. Heat and pressure bonding was performed for 20 minutes to obtain a laminate of stainless steel layer / polyimide resin layer / stainless steel layer = 30/40/30. Table 1 shows the results of evaluating the characteristics of the laminate.
[0034]
Example 2
The solution of the polyimide precursor B obtained in Synthesis Example 2 was applied on a stainless steel foil (SUS304, manufactured by Nippon Steel Corporation, tension-annealed product, thickness 30 μm) so that the thickness after curing became 1 μm. After drying at 110 ° C. for 3 minutes, the solution of the polyimide precursor A obtained in Synthesis Example 1 was applied thereon so that the thickness after curing became 18 μm, and dried at 110 ° C. for 10 minutes. The solution of the polyimide precursor B obtained in Synthesis Example 2 was applied thereon so that the thickness after curing became 1 μm, dried at 110 ° C. for 3 minutes, and further stepwise in the range of 130 to 360 ° C. By imidation of imidization by heat treatment, a 20 μm thick first laminate of a polyimide resin layer was obtained on stainless steel. Note that the first polyimide resin layer and the third polyimide resin layer were the same.
Next, the two first laminates thus obtained are laminated so that the polyimide surfaces face each other, and using a vacuum press machine, the surface thickness is 15 MPa, the temperature is 320 ° C., and the press pressing time is 20 minutes. Under the conditions, the laminate was heated and pressed to obtain a laminate of stainless steel layer / polyimide resin layer / stainless steel layer = 30/40/30.
[0035]
Example 3
The solution of the polyimide precursor B obtained in Synthesis Example 2 was applied onto a stainless steel foil (SUS304, manufactured by Nippon Steel Corporation, tension-annealed product, thickness 25 μm) so that the thickness after curing became 1 μm. After drying at 110 ° C. for 3 minutes, the solution of the polyimide precursor A obtained in Synthesis Example 1 was applied thereon so that the thickness after curing became 8 μm, and dried at 110 ° C. for 10 minutes. The solution of the polyimide precursor B obtained in Synthesis Example 2 was applied thereon so that the thickness after curing became 1 μm, dried at 110 ° C. for 3 minutes, and further stepwise in the range of 130 to 360 ° C. By imidation of imidization by heat treatment, a first laminate having a thickness of 10 μm of a polyimide resin layer was obtained on stainless steel. Note that the first polyimide resin layer and the third polyimide resin layer were the same.
Next, a stainless steel foil (SUS304, manufactured by Nippon Steel Corporation, tension-annealed product, thickness 64 μm) is superimposed on the resin surface of the first laminate, and the surface thickness is 15 MPa and the temperature is set using a vacuum press. The laminate was heat-pressed at 320 ° C. under a press pressure time of 20 minutes to obtain a laminate of stainless steel layer / polyimide resin layer / stainless steel layer = 64/10/25.
[0036]
Comparative Example 1
A 100 μm stainless steel foil (SUS304, manufactured by Nippon Steel Corporation, tension-annealed product) was prepared and subjected to the same comparative evaluation.
[0037]
[Table 1]
[0038]
The laminates obtained in Examples 1 to 3 and the stainless steel foil of Comparative Example 1 were processed into a load beam of an HDD. The same applies to the HDD in which the beam is incorporated in the suspension.
[0039]
【The invention's effect】
According to the present invention, as a technology corresponding to an increase in capacity of an HDD, a stainless steel load beam material, which is a constituent member of an HDD suspension, is formed into a high-performance composite laminate of a stainless layer / polyimide resin layer / stainless layer. By this technology, the vibration noise generated by the inertial force generated when moving and stopping repeatedly on the disk and the subtle turbulence of the airflow generated when the suspension flies above the disk by this technology is caused by friction with air. It was possible to reduce. As a result, the distance between the disk and the slider can be reduced and a stable flying attitude can be maintained. By increasing the track density and the linear recording density more than before, it is possible to increase the capacity of the HDD.
Claims (9)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003096580A JP2004303358A (en) | 2003-03-31 | 2003-03-31 | Laminated body for HDD suspension and HDD suspension |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003096580A JP2004303358A (en) | 2003-03-31 | 2003-03-31 | Laminated body for HDD suspension and HDD suspension |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004303358A true JP2004303358A (en) | 2004-10-28 |
Family
ID=33408582
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003096580A Pending JP2004303358A (en) | 2003-03-31 | 2003-03-31 | Laminated body for HDD suspension and HDD suspension |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2004303358A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006059692A1 (en) * | 2004-12-03 | 2006-06-08 | Mitsui Chemicals, Inc. | Polyimide metal laminate and suspension for hard disk using same |
| JP4757864B2 (en) * | 2005-02-23 | 2011-08-24 | 新日鐵化学株式会社 | Laminated body for flexible printed wiring board |
| JP2019214138A (en) * | 2018-06-11 | 2019-12-19 | 日鉄ステンレス株式会社 | Multi-layer stainless steel foil |
-
2003
- 2003-03-31 JP JP2003096580A patent/JP2004303358A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006059692A1 (en) * | 2004-12-03 | 2006-06-08 | Mitsui Chemicals, Inc. | Polyimide metal laminate and suspension for hard disk using same |
| JP4757864B2 (en) * | 2005-02-23 | 2011-08-24 | 新日鐵化学株式会社 | Laminated body for flexible printed wiring board |
| JP2019214138A (en) * | 2018-06-11 | 2019-12-19 | 日鉄ステンレス株式会社 | Multi-layer stainless steel foil |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8247699B2 (en) | Flex circuit assembly with a dummy trace between two signal traces | |
| US20060263598A1 (en) | Adhesive resin with high damping properties and method of manufacture thereof | |
| KR20200015643A (en) | Flexible printed circuit | |
| JP2008006818A (en) | Multilayer laminate substrate useful for electronic application | |
| JP2004303358A (en) | Laminated body for HDD suspension and HDD suspension | |
| JP4434960B2 (en) | Laminating bonding sheet and single-sided metal-clad laminate | |
| JP4086768B2 (en) | Manufacturing method of flexible circuit board | |
| CN1324562C (en) | Liquid crystal polymer disk drive suspension assembly | |
| JPWO2004049336A1 (en) | Laminate for HDD suspension using thin copper foil and manufacturing method thereof | |
| JPH0192975A (en) | Magnetic head | |
| JP2005285178A (en) | Laminate for HDD suspension and method of using the same | |
| JP2007323697A (en) | Laminated body for HDD suspension and manufacturing method thereof | |
| US6366426B1 (en) | Apparatus and method for reducing structural vibrations in a disc drive utilizing fusible alloys | |
| JP2005293645A (en) | Laminated body for HDD suspension and manufacturing method thereof | |
| JP2006190824A (en) | COF laminate and COF film carrier tape | |
| JP2009009655A (en) | Method for producing metal-clad laminate and jig for producing metal-clad laminate | |
| JP2005285198A (en) | Laminated body for HDD suspension and manufacturing method thereof | |
| CN100545911C (en) | head suspension | |
| JP2008246695A (en) | Method for producing metal-clad laminate | |
| JP5139631B2 (en) | Polyimide film and metal-clad laminate | |
| JP4781429B2 (en) | Laminated structure consisting of stainless steel foil, resin and metal foil | |
| JP2008210511A (en) | Laminated body for HDD suspension and manufacturing method thereof | |
| CN114698223B (en) | A laminated board covered with asymmetric metal foil and a printed circuit board containing the same | |
| JP2008135164A (en) | Manufacturing method of laminate for HDD suspension | |
| JP2006281581A (en) | Laminated body for HDD read / write cable and manufacturing method of HDD read / write cable using the same |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060316 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061121 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061205 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20070403 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |