JP2004349728A - カプセル化電子部品、特に集積回路の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 カプセル化電子部品を製造する改良された方法を提供する。
【解決手段】 少なくとも、ａ）導電性支持体（１）の第１の面上に電子部品（２）を取り付け、電子部品を導電性支持体（１）と電気的に接続（３）する段階；ｂ）支持体（１）の第２の面を粘着フィルムを用いて実質的に完全に遮蔽しながら、型を用いて、導電性支持体（１）の第１の面のみに、カプセル化材料（８）により、電子部品（２）をカプセル化する段階；ｃ）粘着フィルムを除去し、切取線に沿って、個々のカプセル化電子部品（２）を分離する段階をこの順序で有する方法において、導電性支持体（１）の遮蔽すべき第２の面への粘着フィルムの接着を段階ａ）と段階ｂ）の間で行うことを特徴とする。
【選択図】 図４

Description

本発明は第１に、カプセル化電子部品、特には集積回路の製造方法であって、少なくとも
ａ）導電性支持体の第１の面上に電子部品を取り付け、電子部品を導電性支持体と電気的に接続する段階；
ｂ）支持体の第２の面を粘着フィルムを用いて実質的に完全に遮蔽しながら、型を用いて、導電性支持体の第１の面のみに、カプセル化材料により、１以上の型穴中で電子部品をカプセル化する段階；
ｃ）粘着フィルムを除去し、切取線に沿って、個々のカプセル化電子部品を分離する段階
をこの順序で有する方法に関するものである。

そのような方法は、先行技術から公知である。その方法では一般に、電子部品を取り付ける前に、導電性支持体に粘着フィルムが与えられる。それは、電子部品に損傷を与える危険性なしに容易に行うことができる。例えば集積回路は、容易に損傷を受ける非常に壊れやすい部品である。特に、非常に細い金製の接続配線は損傷を受けやすい。

粘着フィルムを貼った後、例えばセメンティング（ダイボンディング）によって電子部品を支持体に取り付ける。これは、高温での硬化を必要とするエポキシ樹脂によって行われる場合が多い。そのような温度上昇は、粘着フィルムの粘着性を低下させることが認められている。

次いで電子部品の接続配線が、例えば溶接（例：サーモソニック）、ハンダなど（ワイヤボンディング）によって、導電性支持体に電気的に接続される。この温度上昇も、粘着フィルムの接着性を低下させることが認められている。

本願においては、「導電性支持体」という用語は、例えばリードフレームを指す。リードフレームは、電気部品の接続配線に接続された多数の非常に微細なリードを含む金属支持体である。粘着フィルムをそのようなリードフレームの片面に貼り付けたならば、そのようなリードが粘着フィルムから容易に分離して全て逆の結果となることから、接着に対して逆の影響を有する作用は回避しなければならないことは明らかであろう。

次ぎに、粘着フィルムおよび電子部品を有する支持体を型に入れ、いわゆるトランスファー成形を用いて、カプセル化材料（化合物）により、１以上の型穴で、支持体の第１の面上の電子部品をカプセル化する場合が多い。カプセル化の際、導電性支持体の第２の面とカプセル化材料とのいかなる接触も回避しなければならない。支持体の前記第２の面上に加工されずに残った支持体の導電性領域は、最終用途の際に電子部品の電気的接続に使用される。

最後に、粘着フィルムを除去し、カプセル化電子部品を切取線に沿って互いに分離する。その後において部品は、さらなる加工に好適となる。

リードまたはリードフレームの他の部分が粘着フィルムに確実に接着されていない場合、カプセル化時にカプセル化材料が、粘着フィルムとリードフレームの間に侵入する可能性がある。結果的に導電性領域が絶縁されることで、その後の電気的接続ができなくなる場合がある。先行技術では、多くの熱処理（電気部品の取り付けおよびそれらの支持体への電気的接続）によって粘着フィルムの局所的な粘着力低下が生じる場合が多いことから、粘着フィルムと支持体との間の接着は確実で再現性のあるものではない。さらに、加熱操作や冷却操作時における支持体と粘着フィルムとの間の膨張係数差のため、支持体の一部が粘着フィルムから剥離する可能性もある。

当然のことながら同様に、粘着フィルムが貼り付けられた支持体の取り扱いは最小限とすることが望ましい。粘着フィルムが貼り付けられた支持体を移動したり、曲げたりすると、粘着フィルムの支持体からの局所剥離が生じる場合がある。

従って先行技術においては、上記の序言で述べたようにカプセル化電子部品を製造する改良された方法が強く望まれている。そこで本発明の目的は、そのような要請に応えることにある。

従って本発明は、導電性支持体の遮蔽されるべき第２の面への粘着フィルムの接着を段階ａ）と段階ｂ）の間で行うことを特徴とする。

本発明の方法により、粘着フィルムと導電性支持体の第２の面との間の好ましい接着を、再現性良く確実に行うことができる。

粘着フィルムを取り付けてからは、その粘着フィルム取り付け後には型内の電子部品のみがカプセル化された状態となることから、接着を損なう加熱処理はもはや行われない。

ＵＳ−Ａ−５２１８７５９自体は、型で電子部品のカプセル化を行う直前に貼り付けた粘着フィルムを用いるカプセル化電子部品の製造方法を開示している。しかしながらこの文献は、導電性支持体に関するものではなく、例えばセラミック材料製の支持体に関するものである。本発明が解決を提供する問題については言及されていない。

本発明によれば、型に挿入する直前または型自体内で、粘着フィルムを支持体に接着することができる。好ましくは粘着フィルムを型に入れてから、第２の面に電子部品を有する導電性支持体をそれに接着する。

そうすることで、粘着フィルムが貼り付けられた支持体を不必要に取り扱うことが回避される。

電子部品を取り付けた導電性支持体を、本発明に従って粘着フィルムに接着させる方法については特に制限はない。好ましい実施態様では、導電性支持体への粘着フィルムの接着は、切取線に沿って配列させることができるような設計の押圧突出物を有する押圧部品を用いて行う。すなわち、押圧部品の設計は、電子部品間の位置で、支持体を粘着フィルムに押圧できるようなものとする。この全ての点について、図面の説明で以下にさらに詳細に説明する。

優先的には、個々の電子部品のために好適な形に形られた凹部を有し、その凹部間のブリッジが押圧突出部を形成している押圧部品を用いる。この実施態様もやはり、図面の説明でさらに詳細に説明する。

本発明による粘着フィルムには特に制限はないが、粘着フィルムを除去した後に、接着剤が実質的に残らないことが重要である。粘着フィルム上に使用する好適な接着剤は例えば、ある程度の時間経過後に粘着力を失ういわゆる一時接着剤、熱可塑性接着剤、熱硬化性接着剤およびいわゆるスーパー接着剤（superglue）などがある。スーパー接着剤は非常に良好な接着力を有するが、剥離強度は低い。

好ましくは粘着フィルムは、温度上昇すると接着性となる材料を含む接着層を有する基材フィルムを有する。

電子部品のカプセル化は高温で行なうことが多いことから、そのような接着剤を用いることが有利である。

より好ましくは接着層は、ホットメルト接着剤を含む。そのホットメルト接着剤は好ましくは変性ポリマーを含むものであり、より好ましくは変性ポリマーは変性ポリエチレンテレフタレートを含む。

導電性支持体を粘着フィルムに接着する場合、圧力に応じて、粘着フィルム材料が支持体の凹部または開口部に侵入する場合があると考えられる。実際にはそれによって、第２の面でのカプセル化後に支持体表面がカプセル化材料表面と同じ面に位置しなくなることから、その現象は望ましくないと考えられる。従って、好ましくは本発明による接着層の厚さはできるだけ小さくし、有利には５μｍ未満とする。

有利には段階ｂ）で、型穴当たり２個以上の電子部品をカプセル化する。

本発明は、いわゆるマトリクスリードフレームにおいて特に有利である。そのようなマトリクスリードフレームは、その上でグループ化された多数の小さい電子部品のために非常に小さく脆いリードを有し、１個の型穴内で１組の部品がカプセル化される。すなわち、粘着フィルムの正確な接着がこの文脈においては非常に重要である。

本発明はさらに、本発明による方法で使用するための粘着フィルムであって、基材フィルムと接着層とを有する接着フィルムを提供する。

最後に本発明は、本発明による方法で使用するための押圧部品を提供する。好ましくは前記押圧部品は平坦なスチール製プレートであり、導電性支持体を粘着フィルム上に押圧する間に電子部品を収納するのに好適な形に形作られた凹部を有する。

以下、添付の図面を参照しながら、本発明についてさらに詳細に説明する。

図１において、１は模式的に本発明による導電性支持体の１実施態様、いわゆる銅リードフレームを示す。そのリードフレーム１は３組（ａ、ｂ、ｃ）の集積回路（ＩＣ）２を有する。この種のリードフレーム１は、マトリクスリードフレームとして知られている。

図２には、図１によるリードフレームを通るＩＩ−ＩＩ線での断面図を示してある。やはりリードフレーム１およびＩＣ２がここにはあり、ＩＣは金配線３を介して、リードフレームの一部を構成しているリード４に接続されている。

リードフレーム１は第１の面５および第２の面６を有する。本発明によれば、図３に示したように、リードフレーム１の第２の面６上に粘着フィルム７が取り付けられている。次に、第１の面５上で、カプセル化材料８を用いて、アセンブリを型においてカプセル化し、その後に粘着フィルム５を除去し、対象のＩＣを互いに分離する。

そのように製造されたカプセル化ＩＣを図４に示してある。リードフレーム１の下面および局所カプセル化材料８のいずれも第２の面６上で見ることができることは明らかであろう。

実際にカプセル化材料８は多くの場合、カプセル化操作時に使用されるように低粘度の熱硬化性材料からなる。

この図において、使用される粘着フィルムは、厚さ５μｍの変性ポリエチレンテレフタレート接着層を有するポリエチレンフィルムである。

図５には、リードフレーム１の詳細を示すカプセル化集積回路の具体的な実施態様を示す。この図においてリードフレーム１は局所的に凹部９を有しており、集積回路２のカプセル化後、その凹部も同様にカプセル化材料によって充填され、いわゆる固着部１０を形成する。固着部１０によってカプセル化材料は、ＩＣ２およびリードフレーム１のアセンブリに対して非常に高い耐久性で固着される。

図６には、リードフレーム１の図１からの断面Ａの拡大図を示してあり、同じ参照符号は同じ部品を示している。図６の下図に示した断面図は、ＶＩ−ＶＩ線での断面図である。

図７には、粘着フィルム７がやはりリードフレーム１上に取り付けられており、リードフレームの上部に押圧部品１２がある以外は同じ拡大図Ａが示してある。押圧部品１２には押圧突出部１３がある。押圧突出部は、カプセル化された集積回路２を互いに分離する箇所、すなわち切取線の箇所でリードフレーム１上に押圧されている連続的な周縁状突出部１３である。

好ましくは先ず最初に、カプセル化に先だって粘着フィルム７を型に入れ、その後に集積回路２を有するリードフレーム１を型に入れる。１４は、一般に高温に保持されている下半分の型を模式的に示している。高温であるために、粘着フィルム７は粘着性となることから、リードフレーム１がそれに接着することができる。次に、押圧部品１２を介して矢印方向に粘着フィルム上にリードフレーム１を押圧する。図７の下図には、ＶＩＩ−ＶＩＩ線での断面図を示してある。

図８には、リードフレーム１上の集積回路２に平行に並ぶことができるように配置された凹部１５が設けられた押圧部１２の斜視図を示してある。凹部１５間のブリッジが押圧突出部１３を形成している。

最後に図９にもやはり断面図Ａの拡大図を示してあり、粘着フィルム７を貼り付けた後に、リードフレーム１の電子部品がカプセル化材料８でカプセル化されている。やはり、この図の下図において、ＩＸ−ＩＸ線での断面図を示してある。この断面図においても同様に、カプセル化後にフィルム７を除去し得る方法が明らかである。それに関しては、例えばフィルムをある程度まで加熱して除去を容易にする好適な加熱手段を使用することができる。

一点鎖線１６はいわゆる切り目すなわち切取線を示しており、その線に沿って、上記のようにカプセル化された集積回路を互いに分離する。この線は二重切取線であっても良いと考えられるが、好適な厚さのノコ刃を用いて、１点鎖線１６間の材料を切り離していくことも同じように可能であると考えられる。それに関しては、レーザー法、打抜き法または何らかの他の分離法を用いることも同じように可能である。

本発明によれば、押圧部品１２の押圧突出部１３を前記切取線に沿って配置して、リードフレーム１を粘着フィルム７上に押圧する際に集積回路や金接続配線３に損傷を与えないようにすることが有利であることは明らかであろう。

３組の集積回路を有するマトリクスリードフレームの上方からの平面図である。 図１におけるＩＩ−ＩＩ線での断面図である。 粘着フィルムを貼り付けた図２の断面図である。 カプセル化後のＩＩ−ＩＩ線での断面図である。 カプセル化集積回路または固着部配置を有する支持体の断面図である。 図１によるリードフレームの拡大図Ａの上方からの平面図および拡大断面図である。 粘着フィルムおよび押圧部品を有する図６の図である。 本発明による押圧部品の斜視図である。 図７によるリードフレームからの拡大図Ａであって、カプセル化材を備えたものである。

Claims (14)

1. カプセル化電子部品、特に集積回路（２）の製造方法であって、少なくとも
   ａ）導電性支持体（１）の第１の面（５）上に電子部品（２）を取り付け、電子部品（２）を導電性支持体（１）と電気的に接続する段階；
   ｂ）支持体（１）の第２の面（６）を粘着フィルム（７）を用いて実質的に完全に遮蔽しながら、型を用いて、導電性支持体（１）の第１の面（５）のみに、カプセル化材料（８）により、電子部品（２）をカプセル化する段階；
   ｃ）粘着フィルム（７）を除去し、切取線に沿って、個々のカプセル化電子部品（２）を分離する段階
   をこの順序で有する方法において、
   導電性支持体（１）の遮蔽すべき第２の面（６）への粘着フィルム（７）の接着を段階ａ）と段階ｂ）の間で行うことを特徴とする方法。
2. 粘着フィルム（７）を型に入れた後に、第２の面（６）上に電子部品（２）を有する導電性支持体（１）を粘着フィルムに接着する請求項１に記載の方法。
3. 粘着フィルム（７）の導電性支持体（１）への接着を、切取線（１６）に沿って配置可能な設計の押圧突出部（１３）を有する押圧部品（１２）を用いて行う請求項１または２に記載の方法。
4. 個々の電子部品（２）に好適な形に作られた凹部（１５）を有し、凹部間のブリッジが押圧突出部（１３）を形成している押圧部品（１２）を用いる請求項３に記載の方法。
5. 粘着フィルム（７）が基材フィルムおよび接着層からなり、接着層が温度上昇することで粘着性となる材料からなる請求項１ないし５のいずれかに記載の方法。
6. 接着層がホットメルト接着剤からなる請求項５に記載の方法。
7. ホットメルト接着剤が変性ポリマーからなる請求項６に記載の方法。
8. 変性ポリマーが、変性ポリエチレンテレフタレートからなる請求項７に記載の方法。
9. 接着層（１４）の厚さが５μｍ未満である請求項１ないし８のいずれかに記載の方法。
10. 段階ｂ）において、型穴１個当たり少なくとも２個の電子部品（２）をカプセル化する請求項１ないし９のいずれかに記載の方法。
11. 請求項１ないし９のいずれかの方法で使用される少なくとも基材フィルムおよび接着層からなる粘着フィルム（７）。
12. 請求項３ないし９のいずれかに記載の方法で使用される押圧部品。
13. 押圧部品（１２）が、導電性支持体（１）を粘着フィルム（７）に押圧する間に電子部品（２）を収納するのに好適な形に作られた凹部（１５）を有する平坦なスチール製プレートからなる請求項１２に記載の押圧部品。
14. 導電性支持体（１）上の電子部品（２）であって、支持体の片面で、カプセル化材料（８）によってカプセル化され、請求項１ないし９のいずれかに記載の方法によって得ることができる電子部品。

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