JP2004297032A

JP2004297032A - 露光方法及びこれを用いた半導体装置製造方法

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Publication number: JP2004297032A
Application number: JP2003206104A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Suzuki; 啓之鈴木; Hideki Okawa; 秀樹大川; Junichi Tonotani; 純一戸野谷
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 2003-02-03
Filing date: 2003-08-05
Publication date: 2004-10-21
Also published as: KR100702929B1; CN1325997C; CN1570771A; KR20040071072A; US6869737B2; US20050147922A1; US20040152323A1

Abstract

【課題】フォトマスクや感光性レジスト層を損傷させることなく、光源の波長に制限されない微細な露光を実現できる露光方法を提供すること。
【解決手段】上層レジスト１３とクロム膜２２を有するフォトマスク２０とを近接させて上記上層レジスト１３を露光する露光方法において、光源から発振される光の波長より小さい寸法の開口部２３を有する上記クロム膜２２を純水膜１５を介して上記上層レジスト１３に近接させ、上記開口部２３と対応する位置に近接場光Ｋを発生させて上記上層レジスト１３を露光する。
【選択図】図２

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、感光性レジスト層とフォトマスクとを密着させて上記感光性レジスト層を露光する露光方法及びこれを用いた半導体装置製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置や液晶表示装置の製造工程においては、基板としての半導体ウエハやガラス基板に回路パターンを形成するリソグラフィーとして、フォトリソグラフィーを用いることがある。
【０００３】
フォトリソグラフィーには、基板に成膜された感光性レジスト層に対してフォトマスク越しに光を照射し、フォトマスクに形成されたパターンを上記感光性レジスト層に転写する露光工程がある。
【０００４】
そのため、昨今の半導体メモリの大容量化やＣＰＵプロセッサの高速化・大型化の進展に伴うフォトリソグラフィーの微細化には、露光の微細化が不可欠となっている。
【０００５】
一般に、ステッパ等の露光装置による露光では、光をレンズで絞ることで得られるスポットサイズが微細化の限界となっている。このスポットサイズは、下記［数１］（Ｒａｙｌｅｉｇｈの式）によって表される。
【０００６】
【数１】

【０００７】
［数１］中の符号を以下に示す。
【０００８】
φ：スポットサイズ、
λ：光の波長、
ＮＡ：対物レンズの開口数、
ｋ１：光学系の比例定数。
【０００９】
［数１］によれば、光の波長λを短くしたり、対物レンズの開口数ＮＡを大きくすることで、スポットサイズφを縮小できることがわかる。
【００１０】
しかしながら、光源として短波長であるＡｒＦエキシマレーザ（１９３［ｎｍ］）やＦ２レーザ（１５２［ｎｍ］）を用いると、光路を含む光学系を真空にする必要があり、さらに、対物レンズとして使用できる素材が制限されてしまう。例えば、Ｆ２レーザを用いた場合、対物レンズとして使用できる透明な材料は蛍石（ＣａＦ２）だけである。このように、最小のスポットサイズφを得るために光の波長λを短くすることには種々の問題がある。
【００１１】
一方、対物レンズの開口数ＮＡを大きくすると、それに伴って焦点深度が下記［数２］に従って浅くなり、露光する基板の表面が荒れている場合に微細な加工を行えないという問題がある。
【００１２】
【数２】

【００１３】
［数２］中の符号を以下に示す。
【００１４】
ＤＯＦ：焦点深度、
λ：光の波長、
ＮＡ：対物レンズの開口数、
ｋ２：光学系の比例定数。
【００１５】
そこで、光源の波長λと対物レンズの開口数ＮＡで決まる露光の微細化の限界を超える超解像の手法として、位相シフトマスクを用いることがある。位相シフトマスクとは、マスク基板に形成された格子状のパターンにハーフトーン膜等からなる位相シフタを交互に設けたものである。
【００１６】
位相シフトマスクに光を照射すると、位相シフタを透過した光の位相だけが１８０度ずれるため、隣接する２つのパターンを透過した光が見かけ上打ち消し合って消失する。そのため、透過光のコントラストが向上し、Ｆ２レーザの仕様によって５０［ｎｍ］前後の加工ができる。
【００１７】
しかしながら、位相シフトマスクを用いる場合、ステッパ等の高価な露光装置が必要となり、コストの点で問題がある。
【００１８】
そこで、近年、近接場光を用いる露光方法が注目されている。
【００１９】
図５を用いて近接場光の発生原理について説明する。
【００２０】
図５に示すように、物質に光を照射すると、物質中の多数の原子（１つの原子のみ図示）に互いに振動する電気双極子が形成される。この電気双極子の周囲には、閉曲線状の電気力線Ｅ１と、電気双極子間で閉じている電気力線Ｅ２が同時に発生し存在している。
【００２１】
閉曲線状の電気力線Ｅ１は、いわゆる伝播光として回折しながら遠隔場に伝播していく。そのため、通常観測している伝播光は、この電気力線Ｅ１によるものである。一方、電気双曲線間で閉じている電気力線Ｅ２は、遠隔場に伝播することがなく、近接場光として原子近傍に局在する。そのため、近接場光は通常観測されることはない。
【００２２】
次に、図６を用いて近接場光による感光性レジスト層の露光の様子について説明する。
【００２３】
近接場光を用いて感光性レジスト層を露光する場合、レジスト基板１０１の表面に成膜された感光性レジスト層１０２にフォトマスク１０３の遮光膜１０４を密着させ、その状態でフォトマスク１０３にマスク基板１０５側から光を照射する。
【００２４】
フォトマスク１０３に光が照射されると、遮光膜１０４に形成された露光用の開口部１０６内に近接場光Ｋが発生し、その一部が開口部１０６から感光性レジスト層１０２側に滲み出て感光性レジスト層１０２を露光する。このような近接場光Ｋを利用したフォトリソグラフィーを近接場光リソグラフィーと呼ぶ。
【００２５】
なお、上述した近接場光リソグラフィーにおいては、フォトマスク１０３に照射する光は、露光用の開口部１０６の形状によって偏光を制御する必要がある。例えば、露光用の開口部１０６がスリット状である場合、スリットに対して電界が平行になるように光を偏光することにより、開口部形状と同等の形状がレジストに転写される。
【００２６】
上述した近接場光リソグラフィーによれば、近接場光Ｋは開口部１０６の寸法に制限されることなく発生するため、遮光膜１０４に形成された開口部１０６の寸法を微細化することで、それと同程度の微細な露光を行うことができる。
【００２７】
しかしながら、上述したように近接場光Ｋは原子周辺に局在しており、感光性レジスト層１０２側に僅かしか滲み出ていない。そのため、遮光膜１０４と感光性レジスト層１０２を密着させることで、フォトマスク１０３と感光性レジスト層１０２との距離を縮小する必要がある。
【００２８】
そこで、従来は、図７に示すように、レジスト基板１０１に成膜された感光性レジスト層１０２表面にフォトマスク１０３の遮光膜１０４表面に形成された、スペーサとしての薄い固体層１０７を直接密着させるということが行われていた（例えば非特許文献１参照。）。
【００２９】
また、図８に示すように、レジスト基板１０１上の感光性レジスト層１０２表面側にフォトマスク１０３を配置するとともに、このフォトマスク１０３と感光性レジスト層１０２の間を真空に排気することで、その密着性を高めるということが行われていた（例えば非特許文献２参照。）。
【００３０】
【非特許文献１】
ＡＰＰＬＩＥＤＰＨＹＳＩＣＳＬＥＴＴＥＲＳＶｏｌ８１，Ｎｏ７１２ＡＵＧＵＳＴ２００２ｐ．１３１５
【００３１】
【非特許文献２】
ＡＡＰＰＳＢｕｌｌｅｔｉｎＶｏｌ．１１，Ｎｏ３Ｓｅｐｔｅｍｂｅｒ２００１ｐ．１０
【００３２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、感光性レジスト層の表面にフォトマスクを直接密着させて感光性レジスト層を露光する露光方法では、フォトマスクと感光性レジスト層を密着させる際にこれらが擦れ合い、フォトマスクや感光性レジスト層が損傷するという問題がある。特にフォトマスクは、基板にパターンを転写する際に使用される精密に作成された原版であり、長期にわたって使用するものであるため、損傷させるわけにはいかない。
【００３３】
本発明は上記事情を鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、フォトマスクや感光性レジスト層を損傷させることなく、光源の波長に制限されない微細な露光を実現できる露光方法及びこれを用いた半導体装置製造方法を提供することにある。
【００３４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決し目的を達成するために、本発明の露光方法及びこれを用いた半導体装置製造方法は次のように構成されている。
【００３５】
（１）感光性レジスト層と遮光膜を有するフォトマスクとを近接させて上記感光性レジスト層を露光する露光方法において、光源から発振される光の波長より小さい寸法の開口部を有する上記遮光膜を液体を介して上記感光性レジスト層に近接させ、上記開口部と対応する位置に近接場光を発生させて上記感光性レジスト層を露光することを特徴とする。
【００３６】
（２）感光性レジスト層と遮光膜を有するフォトマスクとを近接させて上記感光性レジスト層を露光する露光方法において、光源から発振される光が通過できない開口部を有する上記遮光膜を液体を介して上記感光性レジスト層に近接させ、上記開口部と対応する位置に近接場光を発生させて上記感光性レジスト層を露光することを特徴とする。
【００３７】
（３）（１）又は（２）に記載された露光方法であって、上記液体は、上記感光性レジスト層及びフォトマスクを腐食することなく、透明で、かつ不活性であることを特徴とする。
【００３８】
（４）（１）又は（２）に記載された露光方法であって、上記液体は、純水及びグリセリンの少なくとも一方を含有することを特徴とする。
【００３９】
（５）（１）又は（２）に記載された露光方法であって、上記液体は、純水に界面活性剤を添加したものであることを特徴とする。
【００４０】
（６）被加工膜の表面に感光性レジスト層を形成する感光性レジスト層形成工程と、上記感光性レジスト層の表面に、光源から発振される光の波長より小さい寸法の開口部を有する遮光膜が形成されたフォトマスクを液体を介して近接させ、上記開口部と対応する位置に近接場光を発生させて上記感光性レジスト層を露光する露光工程と、露光された上記感光性レジスト層を現像し、上記感光性レジスト層に上記開口部の形状と同等のパターンを形成する感光性レジスト層パターン化工程と、上記パターンが形成された上記感光性レジスト層をマスクにして上記被加工膜を加工する被加工膜加工工程とを具備することを特徴とする。
【００４１】
（７）被加工膜の表面に感光性レジスト層を形成する感光性レジスト層形成工程と、上記感光性レジスト層の表面に、光源から発振される光が通過できない寸法の開口部を有する遮光膜が形成されたフォトマスクを液体を介して近接させ、上記開口部と対応する位置に近接場光を発生させて上記感光性レジスト層を露光する露光工程と、露光された上記感光性レジスト層を現像し、上記感光性レジスト層に上記開口部の形状と同等のパターンを形成する感光性レジスト層パターン化工程と、上記パターンが形成された上記感光性レジスト層をマスクにして上記被加工膜を加工する被加工膜加工工程とを具備することを特徴とする。
【００４２】
（８）（６）又は（７）に記載された半導体装置製造方法であって、上記液体は、上記フォトマスク、非感光性レジスト層、及び感光性レジスト層を腐食することなく、透明で、かつ不活性であることを特徴とする。
【００４３】
（９）（６）又は（７）に記載された半導体装置製造方法であって、上記液体は、純水及びグリセリンの少なくとも一方を含有することを特徴とする。
【００４４】
（１０）（６）又は（７）に記載された半導体装置製造方法であって、上記液体は、純水に界面活性剤を添加したものであることを特徴とする。
【００４５】
（１１）（６）又は（７）に記載された半導体装置製造方法であって、上記液体に超音波振動を付与する超音波付与工程と、この超音波付与工程中に上記感光性レジスト層とフォトマスクとを引き離す剥離工程とをさらに具備することを特徴とする。
【００４６】
（１２）（６）又は（７）に記載された半導体装置製造方法であって、上記液体を加熱して、その一部又は全部を気化する加熱工程と、この加熱工程中に上記感光性レジスト層とフォトマスクとを引き離す剥離工程とをさらに具備することを特徴とする。
【００４７】
【発明の実施の形態】
以下、図１〜４を参照しながら本発明の第１の実施の形態を説明する。
【００４８】
図１は本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置製造方法を用いた半導体装置の製造工程を示す工程図、図２は本発明の露光方法の原理を示す説明図である。
【００４９】
本実施の形態に係る半導体装置製造方法を用いて半導体装置を製造する場合、図１（ａ）に示すように、石英ガラス製の第１のレジスト基板１０を用意し、その表面にＳｉＮやＧａＰ等の金属膜１１（被加工膜）を形成する。
【００５０】
次に、図１（ｂ）に示すように、金属膜１１の表面にスピンコートによって下層レジスト１２（被加工膜でもある非感光性レジスト層）［ＪＳＲ製；ＰＦＲＩＸ７９５Ｇ］を所定の厚さ、本実施の形態では約２８０［ｎｍ］の厚さに塗布する。そして、この下層レジスト１２を約１９０［度］で２時間程度加熱して感光性を消失させる（非感光性レジスト層形成工程）。
【００５１】
なお、後述するように、下層レジスト１２の膜厚は、金属膜１１をエッチングする際にマスクとして耐えられる程度の厚さとなっている。
【００５２】
次に、図１（ｃ）に示すように、下層レジスト１２の表面にスピンコートによって上層レジスト１３（感光性レジスト層）［富士フィルム製；Ｆｉ−ＳＰ２、Ｓｉ含有率約１０％］を所定の厚さ、本実施の形態では約１３０［ｎｍ］の厚さに塗布する。そして、この上層レジスト１３を約９０［度］で２分程度加熱する（感光性レジスト層形成工程）。なお、上層レジスト３３の材料である上記Ｆｉ−ＳＰのベースポリマーは、ノボラック樹脂にアルカリ可溶性のシリコンポリマー（ＡＰＳＡ）と、感光物としてのナフトキノンジアジドとを含有したものである。
【００５３】
一方、上述したレジスト形成工程とは別工程として、図１（ｄ）に示すフォトマスク２０を用意する。このフォトマスク２０は、上層レジスト１３を露光する際に用いるものであって、約６［ｍｍ］の厚さからなる石英ガラス製のマスク基板２１（誘電体基板）を有し、その表面にはスパッタ等によってクロム膜２２（遮光膜）が約４０［ｎｍ］の厚さに形成されている。
【００５４】
このクロム膜２２には、上層レジスト１３を露光するための開口部２３が集束イオンビームによって形成されている。この開口部２３の寸法は、露光に使用される光源から発振される光の波長よりも小さく、光源からの光は開口部２３を通過することができない。そのため、上層レジスト１３は光源からの光により直接露光されることはない。因みに、開口部２３の寸法が光源の波長より小さい場合に、その光が開口部２３を通過できないことは、発明者の実験によっても確認されている。
【００５５】
なお、本実施の形態では、上述した開口部２３として、図３に示すように、幅が１３０［ｎｍ］のスリット２３ａを格子状に並設した格子パターンを用いている。
【００５６】
次に、図１（ｅ）に示すように、第１のレジスト基板１０にアトマイザー等の噴霧器を用いて、金属膜１１、下層レジスト１２、上層レジスト１３、及びフォトマスク２０を腐食することがなく、透明で、かつ不活性である純水を噴霧し、上層レジスト１３の表面に薄い純水膜１５（液体）を形成する。なお、純水膜１５の膜厚は、後述する近接場光Ｋが上層レジスト１３を露光できる程度の厚さとなっている。
【００５７】
そして、上層レジスト１３の表面に純水膜１５を介してフォトマスク２０のクロム膜２２を密着させ、プロキシミティマスクアライナー（キャノン製）等によりフォトマスク２０と第１のレジスト基板１０の間を真空排気する。
【００５８】
次に、図１（ｆ）に示すように、フォトマスク２０に向けて任意の波長の光、本実施の形態では、光源として高圧水銀ランプを用いて４３５［ｎｍ］、４０５［ｎｍ］、３６５［ｎｍ］の波長からなる光を１００秒程度照射する。なお、本実施の形態では、偏光していない自然光を用いている。
【００５９】
マスク基板２１に光が照射されると、図２に示すように、クロム膜２２の開口部２３から第１のレジスト基板１０側に近接場光Ｋが滲み出し、上層レジスト１３を露光する（露光工程）。
【００６０】
なお、第１のレジスト基板１０側に滲み出す近接場光Ｋは、開口部２３の寸法と対応しているため、上層レジスト１３は開口部２３とほぼ同寸法の露光がなされる。
【００６１】
上層レジスト１３の露光工程が終了したら、第１のレジスト基板１０からフォトマスク２０を取り外し、ＮＭＤ−３等を用いて上層レジスト１３を３０秒程度現像する。これによって、下層レジスト１２の表面には、上述したフォトマスク２０と同じパターンを備えた上層マスクが形成される（感光性レジスト層パターン化工程）。
【００６２】
次に、第１のレジスト基板１０をエッチング装置（不図示）の反応室に搬入する。そして、反応室内にＮ２ガスを約９４［ｓｃｃｍ］、Ｏ２ガスを約６［ｓｃｃｍ］流し、内部圧力を約３［Ｐａ］に設定する。
【００６３】
そして、第１のレジスト基板１０が載置されたステージ電極に約２００［Ｗ］のパワーを供給し、上述した上層マスク越しに下層レジスト１２をＲＩＥによってエッチングする。
【００６４】
これによって、金属膜１１の表面には、上層マスクとほぼ同じパターン、すなわち上述したフォトマスク２０と同じパターンを備えた下層マスクが形成される（非感光性レジスト層パターン化工程）。そして、この下層マスクを用いて金属膜１１をエッチング等によって加工する（被加工膜加工工程）。
【００６５】
このようにして金属膜１１の表面に形成されたレジストパターンを図４に示す。図４に示すように、このレジストパターンは、約１３０［ｎｍ］の精度で加工されている。
【００６６】
すなわち、第１のレジスト基板１０とフォトマスク２０との間に純水膜１５を介在させる、本発明の半導体装置製造方法を用いることにより、フォトマスク２０に照射する光を偏光制御することなく、図４に示すような微細な加工を行うことができる。
【００６７】
これにより、第１のレジスト基板１０とフォトマスク２０との間に純水膜１５を介在させることで、従来では不可能であった偏光制御されていない光による近接場露光が実現されたと推測できる。
【００６８】
本実施の形態に係る露光方法及びこれを用いた半導体装置製造方法によれば、クロム膜２２の開口部２３から滲み出た近接場光を利用して上層レジスト１３を露光している。
【００６９】
そのため、ステッパ等の露光装置を用いる必要がないから、低コストで、光源の波長に制限されない微細な加工を行うことができる。
【００７０】
さらに、第１のレジスト基板１０とフォトマスク２０とを密着させた状態で、上層レジスト１３を露光している。
【００７１】
そのため、大型のフォトマスクを作成することによって、本発明の露光方法を液晶ディスプレイ等に用いられるマザー基板のようなメートル角寸法の大型基板に適用することができる。
【００７２】
また、第１のレジスト基板１０とフォトマスク２０を密着させる際、上層レジスト１３とクロム膜２２との間に純水膜１５を介在させている。
【００７３】
そのため、上層レジスト１３とクロム膜２２とが擦れ合うことがないから、上層レジスト１３及びフォトマスク２０が損傷するのを抑制することができる。
【００７４】
なお、上述した実施の形態では、上層レジスト１３とフォトマスク２０との間に純水を介在させているが、２層レジスト１４、マスク基板２１、及びクロム膜２２等を腐食させることがない、透明で、かつ反応性の無い液体であれば、例えばグリセリン等であってもよい。
【００７５】
また、上層レジスト１３とフォトマスク２０との間に介在させる液体として、純水に界面活性剤を添加したものを用いてもよい。純水に界面活性剤を添加したものを用いた場合、上層レジスト１３とフォトマスク２０との間に純水を円滑に行き渡らせることができる。
【００７６】
次に、図９を参照しながら本発明の第２の実施の形態を説明する。
【００７７】
図９は本発明の第２の実施の形態に係る半導体装置製造方法を用いた半導体装置の製造工程を示す工程図である。
【００７８】
本実施の形態に係る半導体装置製造方法を用いて半導体装置を製造する場合、図９（ａ）に示すように、可撓性を有する第２のレジスト基板３０を用意し、その表面にＳｉＮやＧａＰ等の金属膜３１（被加工膜）を形成する。第２のレジスト基板３０としては、紙、プラスティックフィルム、薄いガラス基板などが用いられる。
【００７９】
次に、図９（ｂ）に示すように、金属膜３１の表面にスピンコートによって下層レジスト３２（被加工膜でもある非感光性レジスト層）［ＪＳＲ製；ＰＦＲＩＸ７９５Ｇ］を所定の厚さ、本実施の形態では約２８０［ｎｍ］の厚さに塗布する。そして、この下層レジスト３２を約１９０［度］で２時間程度加熱し、その感光性を消失させる（非感光性レジスト層形成工程）。なお、後述するように、下層レジスト３２の膜厚は、金属膜３１をエッチングする際にマスクとして耐えられる程度の厚さとなっている。
【００８０】
次に、図９（ｃ）に示すように、下層レジスト３２の表面にスピンコートによって上層レジスト３３（感光性レジスト層）［富士フィルム製；Ｆｉ−ＳＰ２、Ｓｉ含有率約１０％］を所定の厚さ、本実施の形態では約１００［ｎｍ］の厚さに塗布する。そして、この上層レジスト３３を約９０［度］で２分程度加熱して、硬化させる（感光性レジスト層形成工程）。
【００８１】
それによって、金属膜３１の表面には、下層レジスト３２と上層レジスト３３からなる２層レジスト３４が形成される（レジスト形成工程）。なお、上層レジスト３３の材料である上記Ｆｉ−ＳＰのベースポリマーは、ノボラック樹脂にアルカリ可溶性のシリコンポリマー（ＡＰＳＡ）と、感光物としてのナフトキノンジアジドとを含有したものである。
【００８２】
一方、上述したレジスト形成工程とは別工程として、図９（ｄ）に示すフォトマスク４０を用意する。このフォトマスク４０は、上層レジスト３３を露光する際に用いるものであって、約６［ｍｍ］の厚さからなる石英ガラス製のマスク基板４１（誘電体基板）の表面に、スパッタ等によって約４０［ｎｍ］の厚さのタンタル膜４２（遮光膜）をパターン状に形成したものである。
【００８３】
なお、フォトマスク４０の平面寸法は、第２のレジスト基板３０よりも小さいため、上層レジスト３３を露光する際には、後述するようにフォトマスク４０を上層レジスト３３上で走査する必要がある。
【００８４】
上記タンタル膜４２には、上層レジスト３３を露光するための複数の開口部４３が、電子ビーム露光（ＥＢ露光）を用いて碁盤の目のように形成されている。各開口部４３は平面矩形状をしており、その寸法は光源から発振される光の波長より大きくても、小さくても構わない。
【００８５】
なお、本実施の形態では、上述した開口部４３として、ピッチが０．３２［μｍ］、０．４５［μｍ］、０．５７［μｍ］の碁盤目状のパターンを用いている。
【００８６】
次に、図９（ｅ）に示すように、第２のレジスト基板３０の表面の第１露光範囲３７に、金属膜３１、下層レジスト３２、上層レジスト３３、及びフォトマスク４０を腐食することがなく、透明で、かつ不活性である液体として、例えば純水とグリセリンを所定の比率で混合した混合液を微量滴下し、この混合液を介して上層レジスト３３の表面にフォトマスク４０のタンタル膜４２を密着させる。このとき、フォトマスク４０と第２のレジスト基板３０は、その間が上記混合液によって満たされるように貼り合わされる。
【００８７】
これによって、上層レジスト３３とフォトマスク４０の間には、ほぼ均一な厚さの液膜３５（液体）が形成され、上層レジスト３３とフォトマスク４０の間の距離が全面に亘ってほぼ一定になる。
【００８８】
なお、純水とグリセリンの混合比率は、露光条件に応じて最適なものを選択する。
【００８９】
次に、図９（ｆ）に示すように、フォトマスク４０に向けて任意の波長の光、本実施の形態では、光源として高圧水銀ランプを用いて４３５［ｎｍ］、４０５［ｎｍ］、３６５［ｎｍ］の波長からなる光を２５秒程度照射する。
【００９０】
マスク基板４１に光が照射されると、開口部４３の寸法が光の波長より小さい場合には、第１の実施の形態と同様に、タンタル膜４２の開口部４３から第２のレジスト基板３０側に近接場光Ｋが滲み出し、上層レジスト３３の第１露光範囲３７をフォトマスク４０のパターンに沿って露光する（図２を参照）。この場合、液膜３５の膜厚は、近接場光Ｋが上層レジスト３３を露光できる程度に設定しておく必要がある。
【００９１】
なお、第２のレジスト基板３０側に滲み出す近接場光Ｋは、開口部４３の寸法と対応しているため、上層レジスト３３は開口部４３とほぼ同寸法の露光がなされる。
【００９２】
一方、開口部４３の寸法が光の波長より大きい場合には、高圧水銀ランプから発振された伝播光がタンタル膜４２の開口部４３を通過し、上層レジスト３３の第１露光範囲３７をフォトマスク４０のパターンに沿って露光する。
【００９３】
すなわち、開口部４３の寸法が、光の波長より大きい部分と小さい部分を共に備えたフォトマスクを用いた場合でも、第２のレジスト基板３０とフォトレジスト４０の間に介挿される液膜３５の厚さを調整しておくことで、上層レジスト３３を各々の寸法に応じた光、すなわち、伝播光あるいは近接場光によって露光することができる。
【００９４】
上層レジスト３３の第１露光範囲３７の露光が終了したら、図９（ｇ）に示すように、液膜３５を介して密着したフォトマスク４０と第２のレジスト基板３０を水槽３８の中に入れ、超音波振動体３６によって水槽３８中の水に超音波振動を付与する（超音波付与工程）。
【００９５】
水槽３８中の水に付与された超音波振動は、液膜３５に伝わり、液膜３５中の水分子の密度に濃淡を発生させる。これによって、液膜３５と第２のレジスト基板３０間、及び液膜３５とフォトマスク４０間の密着力は部分的に低下する。そして、この状態でフォトマスク４０と第２のレジスト基板３０を引き離す（剥離工程）。
【００９６】
なお、本実施の形態では、フォトマスク４０と第２のレジスト基板３０とを引き離すのに、水槽３８中の水を介して液膜３５に超音波振動を付与しているが、これに限定されるものではない。
【００９７】
たとえば、超音波振動体３６を液膜３５に接近させ、空気を介して液膜３５に超音波振動を付与するようにしてもよい。さらに、超音波振動体３６を直接フォトマスク４０又は第２のレジスト基板３０に接触させて、液膜３５に超音波振動を付与してもよい。
【００９８】
なお、超音波振動の与え方や周波数によっては、液膜３５中にキャビテーションが発生することがある。この場合、フォトマスク４０と第２のレジスト基板３０の密着性が低下し、フォトマスク４０と第２のレジスト基板３０を引き離し易くなることもある。
【００９９】
また、加熱装置により液膜３５を加熱し（加熱工程）、液膜３５の一部、又は全部を気化させることによって、フォトマスク４０と第２のレジスト基板３０の密着性を低下させ、フォトマスク４０と第２のレジスト基板３０とを引き離してもよい（剥離工程）。なお、液膜３５が純水である場合、加熱装置としては、純水で吸収が起こる赤外線ランプが適している。
【０１００】
上層レジスト３３の第１露光範囲３７の露光が終了したら、図９（ｈ）に示すよううに、上層レジスト３３表面の未だ露光されていない第２露光範囲３９にフォトマスク４０を移動し、その領域を露光する。そして、この作業を繰り返すことで、上層レジスト３３の表面全体を露光する（露光工程）。
【０１０１】
上層レジスト３３の露光工程が終了したら、第２のレジスト基板３０からフォトマスク２０を取り外し、ＮＭＤ−３等を用いて上層レジスト３３を２０秒程度現像する。これによって、下層レジスト３２の表面には、上述したフォトマスク４０と同じパターンの上層マスクが形成される（感光性レジスト層パターン化工程）。なお、ポスト露光ベーキング（ＰＥＢ）は行っていない。
【０１０２】
次に、第２のレジスト基板３０を平行平板ＲＩＥ装置（不図示）の反応室に搬入する。そして、反応室内にＮ２ガスを約９４［ｓｃｃｍ］、Ｏ２ガスを約６［ｓｃｃｍ］流し、内部圧力を約３［Ｐａ］に設定する。
【０１０３】
そして、第２のレジスト基板３０が載置されたステージ電極に１３．５６［ＭＨｚ］のＲＦ（約２００［Ｗ］のパワー）を供給し、上述した上層マスク越しに下層レジスト３２をエッチングする。
【０１０４】
これによって、金属膜３１の表面には、上層マスクとほぼ同じパターン、すなわち上述したフォトマスク４０と同じパターンの下層マスクが形成される（非感光性レジスト層パターン化工程）。そして、この下層マスクを用いて金属膜３１をエッチング等によって加工する（被加工膜加工工程）。
【０１０５】
上述した工程により、金属膜３１の表面には、第１の実施の形態で形成された図４と同等のレジストパターンが形成された。また、このレジストパターンが約３２０［ｎｍ］の高いピッチ精度で加工されていることを確認した。
【０１０６】
本実施の形態に係る露光方法及びこれを用いた半導体装置製造方法によれば、第２のレジスト基板３０として、紙、プラスティックフィルム、薄いガラス基板などの可撓性を有する素材を用いている。そのため、露光工程時に、第２のレジスト基板３０に曲げや反りが生じていることがある。
【０１０７】
しかしながら、本実施の形態では、第２のレジスト基板３０とフォトマスク４０との間に液膜３５を介在させることで、これら第２のレジスト基板３０とフォトマスク４０の間の距離をほぼ一定に保つことができるから、上記可撓性を有する第２のレジスト基板３０に対しても高い精度の露光を行うことができる。
【０１０８】
また、液晶ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイの大画面化に伴って、大面積薄膜ガラス基板が用いられるようになっている。この大面積薄膜ガラス基板は、曲げや反りが生じ易いが、その製造に本発明を適用すれば、極めて有効であるといえる。
【０１０９】
さらに、電子ペーパーなどの可撓性を有する基板上にＩＣの形成や、画素の形成などの微細加工を行うことができる。
【０１１０】
また、第２のレジスト基板３０とフォトマスク４０の間に介在する液膜３５に超音波振動や熱を付与することで、第２のレジスト基板３０とフォトマスク４０を容易かつ迅速に剥離できるようにしている。
【０１１１】
そのため、フォトマスク４０の平面寸法が第２のレジスト基板３０に比べて小さく、フォトマスク４０を第２のレジスト基板３０上でずらしながら露光を繰り返し行う場合であっても、一回一回の剥離に要する時間を短縮することができるから、生産性を向上することができる。
【０１１２】
【発明の効果】
本発明によれば、フォトマスクや感光性レジストを損傷させることなく、光の波長に制限されない微細な露光を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置製造方法を用いた半導体装置の製造工程を示す工程図。
【図２】本発明の露光方法の原理を示す説明図。
【図３】同実施の形態で使用されるフォトマスクに形成された格子パターンを示す概略図。
【図４】同実施の形態に係る半導体装置製造方法により金属膜の表面に形成されたレジストパターンを示す概略図。
【図５】近接場光の発生原理を示す概略図。
【図６】近接場光による感光性レジスト層の露光の様子を示す概略図。
【図７】従来の近接場光リソグラフィーを説明するための概略図。
【図８】従来の近接場光リソグラフィーを説明するための概略図であって、（ａ）は全体図、（ｂ）は（ａ）中の囲線Ａ内の拡大図。
【図９】本発明の第２の実施の形態に係る半導体装置製造方法を用いた半導体装置の製造工程を示す工程図。
【符号の説明】
１１…金属膜（被加工膜）、１２、３２…下層レジスト（非感光性レジスト層）、１３、３３…上層レジスト（感光性レジスト層）、１５…純水膜（液体）、２０、４０…フォトマスク、２１、４１…マスク基板（誘電体基板）、２２…クロム膜（遮光膜）、２３、４３…（開口部）、３５…液膜（液体）、４２…タンタル膜。

Claims

感光性レジスト層と遮光膜を有するフォトマスクとを近接させて上記感光性レジスト層を露光する露光方法において、
光源から発振される光の波長より小さい寸法の開口部を有する上記遮光膜を液体を介して上記感光性レジスト層に近接させ、上記開口部と対応する位置に近接場光を発生させて上記感光性レジスト層を露光することを特徴とする露光方法。
感光性レジスト層と遮光膜を有するフォトマスクとを近接させて上記感光性レジスト層を露光する露光方法において、
光源から発振される光が通過できない開口部を有する上記遮光膜を液体を介して上記感光性レジスト層に近接させ、上記開口部と対応する位置に近接場光を発生させて上記感光性レジスト層を露光することを特徴とする露光方法。
上記液体は、上記感光性レジスト層及びフォトマスクを腐食することなく、透明で、かつ不活性であることを特徴とする請求項１又は２記載の露光方法。
上記液体は、純水及びグリセリンの少なくとも一方を含有することを特徴とする請求項１又は２記載の露光方法。
上記液体は、純水に界面活性剤を添加したものであることを特徴とする請求項１又は２記載の露光方法。
被加工膜の表面に感光性レジスト層を形成する感光性レジスト層形成工程と、
上記感光性レジスト層の表面に、光源から発振される光の波長より小さい寸法の開口部を有する遮光膜が形成されたフォトマスクを液体を介して近接させ、上記開口部と対応する位置に近接場光を発生させて上記感光性レジスト層を露光する露光工程と、
露光された上記感光性レジスト層を現像し、上記感光性レジスト層に上記開口部の形状と同等のパターンを形成する感光性レジスト層パターン化工程と、
上記パターンが形成された上記感光性レジスト層をマスクにして上記被加工膜を加工する被加工膜加工工程と、
を具備することを特徴とする半導体装置製造方法。
被加工膜の表面に感光性レジスト層を形成する感光性レジスト層形成工程と、
上記感光性レジスト層の表面に、光源から発振される光が通過できない寸法の開口部を有する遮光膜が形成されたフォトマスクを液体を介して近接させ、上記開口部と対応する位置に近接場光を発生させて上記感光性レジスト層を露光する露光工程と、
露光された上記感光性レジスト層を現像し、上記感光性レジスト層に上記開口部の形状と同等のパターンを形成する感光性レジスト層パターン化工程と、
上記パターンが形成された上記感光性レジスト層をマスクにして上記被加工膜を加工する被加工膜加工工程と、
を具備することを特徴とする半導体装置製造方法。
上記液体は、上記フォトマスク、非感光性レジスト層、及び感光性レジスト層を腐食することなく、透明で、かつ不活性であることを特徴とする請求項６又は７記載の半導体装置製造方法。
上記液体は、純水及びグリセリンの少なくとも一方を含有することを特徴とする請求項６又は７記載の半導体装置製造方法。
上記液体は、純水に界面活性剤を添加したものであることを特徴とする請求項６又は７記載の半導体装置製造方法。
上記液体に超音波振動を付与する超音波付与工程と、
この超音波付与工程中に上記感光性レジスト層とフォトマスクとを引き離す剥離工程と、
をさらに具備することを特徴とする請求項６又は７記載の半導体装置製造方法。
上記液体を加熱して、その一部又は全部を気化する加熱工程と、
この加熱工程中に上記感光性レジスト層とフォトマスクとを引き離す剥離工程と、
をさらに具備することを特徴とする請求項６又は７記載の半導体装置製造方法。