JP2004291464A

JP2004291464A - ガスバリア性反射防止フィルム及びその製造方法

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Publication number: JP2004291464A
Application number: JP2003088277A
Authority: JP
Inventors: Osamu Shiino; 修椎野; Masahito Yoshikawa; 雅人吉川
Original assignee: Bridgestone Corp
Current assignee: Bridgestone Corp
Priority date: 2003-03-27
Filing date: 2003-03-27
Publication date: 2004-10-21

Abstract

【課題】優れたガスバリア性能と反射防止性能とを兼備するガスバリア性反射防止フィルムを提供する。
【解決手段】有機フィルム２の表面に、高屈折率透明膜４Ａ，４Ｂと低屈折率透明膜３Ａ，３Ｂとの積層膜よりなる反射防止層５が形成されてなる反射防止フィルム１。積層膜の少なくとも一層は、ガスバリア性スパッタ膜４Ａである。このガスバリア性スパッタ膜４Ａを、ターゲットを設けた複数のカソードに交互に間欠的な電圧を印加して成膜する。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガスバリア性に優れた反射防止フィルム及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
有機ＥＬ表示素子や液晶表示素子はフレキシブルな有機フィルム上に当該素子機能層を形成して作製することが可能である。しかし、実際に表示素子として用いるためには、視認性を高めるために、反射防止性能を有する層の形成が必要不可欠である。従来、表示素子用の反射防止膜としては、高屈折率層と低屈折率層との積層膜よりなるものが提案されており、これらの積層膜は、通常、スパッタ法や反応性スパッタ法で成膜される（特開平１１−１４２６０３号公報）。一方で、有機ＥＬ表示素子や液晶表示素子は酸素や水蒸気の存在下で急速に劣化することから、ガスバリア性を有する層で表示素子を保護する必要がある。このため、ガスバリア性能と反射防止性能を併せ持ったフィルムの開発が強く望まれている。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１１−１４２６０３号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
通常のスパッタ法、もしくは反応性ガス雰囲気中で成膜を行う反応性スパッタ法により、ガスバリア性に優れた反射防止膜を成膜するためには、ピンホール形成の阻止と組成の精密な制御が必要とされる。更に、工業的な見地からは成膜速度の向上も必要不可欠である。
【０００５】
しかしながら、従来のスパッタリングによるバリヤー膜の成膜方法では、長時間スパッタリングを続けていると、ターゲットの表面にノジュール（ブリスタ）が発生し、そのために異常放電が生じ、成膜されたスパッタ膜にピンホールが生じたり、成膜速度が低下するなどの弊害をもたらすことがあった。
【０００６】
本発明は、優れたガスバリア性能と反射防止性能とを兼備するガスバリア性反射防止フィルムと、このガスバリア性反射防止フィルムを効率良く製造する方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明のガスバリア性反射防止フィルムは、有機フィルムの表面に、高屈折率層と低屈折率層との積層膜よりなる反射防止層が形成されてなる反射防止フィルムであって、該積層膜を構成する高屈折率層及び低屈折率層のうちの少なくとも一層が、ピンホールやクラック等の欠陥の少ないガスバリア性スパッタ膜よりなることを特徴とするものである。
【０００８】
高屈折率層と低屈折率層との積層膜であれば、その積層構造による光の干渉作用で光の反射を効果的に防止することができる。しかも、本発明にあっては、この積層膜を構成する高屈折率層と低屈折率層の少なくとも一層がピンホールやクラック等の欠陥の少ないガスバリア性スパッタ膜であるため、良好なガスバリア性が得られる。
【０００９】
本発明のガスバリア性反射防止フィルムの製造方法は、このような本発明のガスバリア性反射防止フィルムを製造する方法であって、カソードに設けられたターゲットをスパッタリングすることにより該ガスバリア性スパッタ膜を成膜するに当たり、複数のカソードを配置し、各カソードに交互に間欠的な電圧を印加して成膜することを特徴とする。
【００１０】
即ち、本発明のガスバリア性反射防止フィルムの製造方法では、ガスバリア性スパッタ膜の成膜に当たり、通常のスパッタ法、もしくは反応性ガス雰囲気中で成膜を行う反応性スパッタ法による物理的蒸着法で、隣り合った少なくとも２つ以上のカソードに所定の周期で交互にパルス状の電圧を印加することによって大電流をターゲットに流し、安定した高速成膜を可能にする。同時に異常放電を大幅に抑制し、ピンホールの形成を阻止することが可能となり、ガスバリア性に優れた良質のスパッタ膜を成膜することができる。
【００１１】
本発明では、好ましくは、通常は負電圧に印加されているターゲットに対し、間欠的に正の電圧を印加することにより、該ターゲットのチャージアップを抑制する。
【００１２】
ところで、成膜されたスパッタ膜のガスバリア性能は、その膜組成に大きく依存する。そこで、反応性ガス雰囲気中でスパッタを行う反応性スパッタ法によってガスバリア性スパッタ膜を成膜する場合には、パルス電圧のパルス幅を変化させることにより反応性を制御し、膜中に取り込まれる反応性ガスの含有量を制御するようにしても良い。また、合金又は合金の酸化物を成膜する場合には、異なった２つ以上のカソードに一定の周期で交互にパルス状の電圧を印加することによって、その成膜を可能とする。更には、組成の異なるカソードにそれぞれ異なったパルス電圧を印加することにより、最終的に堆積される膜の組成を精密に制御することを可能とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下に図面を参照して本発明のガスバリア性反射防止フィルム及びその製造方法の実施の形態を詳細に説明する。
【００１４】
図１は本発明のガスバリア性反射防止フィルムの実施の形態を示す模式的な断面図であり、図２は本発明のガスバリア性反射防止フィルムの製造方法に係るガスバリア性スパッタ膜の成膜方法を説明するスパッタリング装置の模式的な断面図である。
【００１５】
まず、図２を参照して本発明におけるガスバリア性スパッタ膜の成膜方法について説明する。
【００１６】
図２において、真空ポンプ（図示略）によって真空排気されるチャンバ１０内の一方（図では上方）に基板となる有機フィルム２が配置され、他方にはマグネトロンカソード１１Ａ，１１Ｂが配置されている。このマグネトロンカソード１１Ａ，１１Ｂ上にそれぞれターゲット１２がボンディングされて設置されている。マグネトロンカソード１１Ａ，１１Ｂは、冷却水流路、磁石、ターゲット取付プレート等を備えている。
【００１７】
チャンバ１０内にアルゴン等の希ガスを微量導入した状態にてカソード１１Ａ，１１Ｂに負電圧を印加してアース電位の室壁との間で放電させるとプラズマＰが発生し、このプラズマＰ中で発生したイオンがターゲット１２に入射してこれをスパッタし、スパッタされた粒子が有機フィルム２の表面に付着して薄膜が形成される。
【００１８】
各カソード１１Ａ，１１Ｂにそれぞれパルス電源１３が接続され、各カソード１１Ａ，１１Ｂに交互にパルス電圧を印加可能としている。
【００１９】
種々の実験の結果、上記のように各ターゲットを設けたカソードに交互に間欠的な電圧を印加してスパッタすることにより、異常放電が殆ど又は全く発生しないようになり、ピンホールが極めて少ないか又は全く無いガスバリア性スパッタ膜が成膜されることが見出された。この異常放電の減少は、請求項３のように、通常は負電圧に印加されているターゲットに対し、間欠的に正の電圧を印加することにより、更に効果を高めることができる。
【００２０】
また、ターゲットを複数用いているので、成膜速度を大きくすることができると共に、膜成長速度が均一化され、成膜されるガスバリア性スパッタ膜の均質性が向上することが見出された。
【００２１】
このスパッタリング法にあっては、有機フィルム２は加熱することなく均一な薄膜を成膜することができる。このため、耐熱性の低い有機フィルムの上にも成膜を行うことができる。
【００２２】
なお、チャンバ１０内の初期排圧は１．３×１０^−３Ｐａ（１×１０^−５Ｔｏｒｒ以下）が好ましく、ここにアルゴン、ヘリウム、クリプトン等の希ガスをチャンバ１０内が０．１〜２．６Ｐａ（１〜２０ｍＴｏｒｒ）程度の圧力となるように導入して成膜を開始するのが好ましい。
【００２３】
パルス幅や周波数を制御することにより成膜速度を制御することができる。なお、この周波数は５〜１００ｋＨｚ程度が好ましい。更に、電圧を印加するカソードをスイッチする周波数は１〜５０ｋＨｚであることが好ましい。
【００２４】
本発明において、形成するガスバリア性スパッタ膜は、ジルコニウム、チタン、ニオブ、インジウム、スズ、アンチモン、シリコン、アルミニウム及びマグネシウムよりなる群から選ばれる１種の金属酸化物又は２種以上の合金酸化物よりなることが好ましい。
【００２５】
このうち、インジウム、スズ、亜鉛、チタン、ジルコニウム、セミウム等の１種の金属酸化物又はＩＴＯ、ＡＴＯ（スズをドープした酸化アンチモン）、ＺＡＯ（アルミニウムをドープした酸化亜鉛）などの２種以上の合金酸化物であればガスバリア性の高屈折率透明膜を形成することができる。また、ケイ素、アルミニウム、マグネシウムの１種の金属酸化物又は金属フッ化物、又は２種以上の合金酸化物もしくは合金フッ化物であればガスバリア性の低屈折率透明膜を形成することができる。
【００２６】
ガスバリア性スパッタ膜の膜厚は、後述する本発明のガスバリア性反射防止フィルムの積層膜のうちのどの部分に配置されるかによっても異なるが、通常の場合、５〜１０００ｎｍ程度が好ましい。
【００２７】
金属酸化物又は合金酸化物よりなるガスバリア性スパッタ膜は、金属酸化物よりなるターゲットを用いて成膜されてもよく、当該金属（合金であってもよい）のターゲットを用い、チャンバ内に酸素ガスを流通させて反応性スパッタリングを行うことにより金属又は合金酸化物バリヤー膜を形成してもよい。また、合金酸化物よりなるガスバリア性スパッタ膜を成膜する場合、各ターゲットがそれぞれ当該合金又は合金酸化物よりなるものであってもよく、異なる合金又は合金酸化物組成のターゲットであってもよく、少なくとも一部のターゲットが純金属又は純金属酸化物よりなるものであってもよい。各ターゲットの組成が異なる場合、ターゲットに印加するパルス電圧の電圧及び／又はパルス幅を各ターゲットにおいて制御することにより、膜組成を制御することができる。
【００２８】
なお、金属又は合金酸化物よりなるターゲットを用いてスパッタリングする場合にも、チャンバ内に酸素を流通させて反応性スパッタリングを行ってもよい。この場合のターゲットは、目的とするガスバリア性スパッタ膜と同組成であってもよく、異組成であってもよい。このターゲットは導電性金属又は合金酸化物であることが好ましい。
【００２９】
反応性スパッタリングにより、ガスバリア性スパッタ膜の組成を制御することができる。特に、パルス幅を制御することにより金属又は合金酸化物ガスバリア性スパッタ膜を成膜する場合も、パルス電圧の電圧及び／又はパルス幅を制御することにより、反応性ガスの反応性を制御し、バリヤー膜中に取り込まれる酸素量を制御することができる。
【００３０】
本発明では、特に金属又は合金酸化物ターゲットを反応性スパッタしてガスバリア性スパッタ膜を成膜する場合、スパッタ時における放電の発光波長をモニタリングすることにより反応性ガスの反応性を検知し、この発光波長が適性波長となるようにパルス電圧及び／又はパルス幅を制御し、これによってガスバリア性スパッタ膜中に取り込まれる酸素量を制御することができる。
【００３１】
次に、有機フィルム上の反射防止層を構成する高屈折率層と低屈折率層の少なくとも一層をこのようなガスバリア性スパッタ膜とした本発明のガスバリア性反射防止フィルムについて、図１を参照して説明する。
【００３２】
図１のガスバリア性反射防止フィルム１は、有機フィルム２上に、高屈折率透明膜４Ａ，４Ｂと低屈折率透明膜３Ａ，３Ｂとの交互積層膜よりなる反射防止層５を形成したものであり、反射防止層５を構成する高屈折率透明膜４Ａ，４Ｂ及び低屈折率透明膜３Ａ、３Ｂのうち、高屈折率透明膜４Ａがガスバリア性スパッタ膜となっている。
【００３３】
本発明において、有機フィルム２としては、ポリエステル、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート、ポリメチルメタアクリレート（ＰＭＭＡ）、アクリル、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリスチレン、トリアセテート、ポリビニルアルコール、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリエチレン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリウレタン、セロファン等、好ましくはＰＥＴ、ＰＣ、ＰＭＭＡの透明フィルムが挙げられる。
【００３４】
有機フィルム２の厚さは得られるガスバリア性反射防止フィルムの用途による要求特性（例えば、強度、薄膜性）等によって適宜決定されるが、通常の場合、１μｍ〜１０ｍｍの範囲とされる。
【００３５】
高屈折率透明膜４Ａ，４Ｂの材料として４００ｎｍ付近の光の透過性が高く、３５０ｎｍ付近及びそれ以下の光の吸収が多い材料を用いることにより、より一層優れた可視光透過性と紫外線カット性とを兼備する反射防止フィルムを実現することができ、好ましい。また、成膜速度の速い材料を用いることで、生産性を高めることができる。
【００３６】
高屈折率透明膜４Ａ，４Ｂのうち、ガスバリア性高屈折率透明膜４Ａは、前述の金属又は合金酸化物、好ましくはＴｉＯ_２やＩＴＯより形成される。これらの金属又は合金酸化物は、通常屈折率１．７以上で４００ｎｍ付近の光透過性が高く、３５０ｎｍ付近及びそれ以下の光の吸収が多く、高屈折率透明膜として有効である。
【００３７】
また、高屈折率透明膜４Ｂとしては、スズインジウム酸化物（ＩＴＯ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、アルミニウムをドープした酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化チタン（ＴｉＯ_２）、酸化錫（ＳｎＯ_２）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ）等の屈折率１．８以上の薄膜を採用することができるが、前述の光透過性、光吸収性を満たし、成膜速度の速い材料として、特に、酸化亜鉛が好適である。
【００３８】
一方、低屈折率透明膜３Ａ，３Ｂとしては酸化珪素（ＳｉＯ_２）、フッ化マグネシウム（ＭｇＦ_２）、酸化アルミニウム（Ａｌ_２Ｏ_３）等の屈折率が１．６以下の低屈折率材料よりなる薄膜を採用することができる。
【００３９】
これら高屈折率透明膜４Ａ，４Ｂ及び低屈折率透明膜３Ａ，３Ｂの膜厚は、光の干渉で可視光領域での反射率を下げるため、膜構成、膜種、中心波長により異なってくるが、図１に示すような４層構造の場合、有機フィルム２側の第１層（高屈折率透明膜４Ａ）が５〜５０ｎｍ、第２層（低屈折率透明膜３Ａ）が５〜５０ｎｍ、第３層（高屈折率透明膜４Ｂ）が５０〜１５０ｎｍ、第４層（低屈折率透明膜３Ｂ）が５０〜１５０ｎｍ程度の膜厚で形成するのが好ましい。
【００４０】
ガスバリア性スパッタ膜以外の高屈折率透明膜４Ｂ及び低屈折率透明膜３Ａ，３Ｂは、蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング、ＣＶＤ法等により形成することができるが、ガスバリア性高屈折率透明膜４Ａがスパッタリングにより形成されるため、他の透明膜もスパッタリングにより形成することが好ましく、特に、高屈折率透明膜４Ｂとしての酸化チタン膜は、金属チタンをターゲットとする反応性スパッタ法で形成するのが好ましい。この場合、スパッタ条件は、Ｏ_２１００％又はＯ_２−ＡｒでＯ_２４０％以上の雰囲気条件とするのが好ましい。
【００４１】
なお、図１に示すガスバリア性反射防止フィルム１の反射防止層５は、有機フィルム２上に高屈折率透明膜４Ａ、低屈折率透明膜３Ａ、高屈折率透明膜４Ｂ、低屈折率透明膜３Ａの順で各膜が２層ずつ交互に合計４層積層された多層膜とされたものであるが、この反射防止層５の高屈折率透明膜と低屈折率透明膜との積層構造は、図示のものの他、次のようなものであっても良い。
【００４２】
（ａ）高屈折率透明膜と低屈折率透明膜を１層ずつ合計２層に積層したもの
（ｂ）中屈折率透明膜／高屈折率透明膜／低屈折率透明膜の順で１層ずつ、合計３層に積層したもの
（ｃ）高屈折率透明膜／低屈折率透明膜の順で各層を交互に３層ずつ、合計６層に積層したもの
【００４３】
また、図１のガスバリア性反射防止フィルムは、このような積層膜のうち、有機フィルム２側の高屈折率透明膜４Ａをガスバリア性スパッタ膜としたものであるが、ガスバリア性スパッタ膜を適用するのはどの層であっても良い。本発明では、積層膜を構成する高屈折率透明膜及び低屈折率透明膜のうちの少なくとも一層をガスバリア性スパッタ膜とすれば良く、すべての高屈折率透明膜をガスバリア性スパッタ膜としても良く、また、積層膜を構成する全ての膜をガスバリア性スパッタ膜としても良く、更に、低屈折率透明膜の一部又は全部をガスバリア性スパッタ膜としても良い。
【００４４】
なお、本発明のガスバリア性反射防止フィルムは、必要に応じて、表面の耐汚染性を高めるために、更に反射防止層上に汚染防止膜を形成しても良い。この場合、汚染防止膜としては、フッ素系薄膜、シリコン系薄膜等よりなる膜厚１〜１０００ｎｍ程度の薄膜が好ましい。
【００４５】
このような本発明のガスバリア性反射防止フィルムは、有機ＥＬ表示素子や液晶表示素子などの薄膜表示素子に適用されるガスバリア性反射防止フィルムとして有効であり、良好な光透過性と、反射防止性能及びガスバリア性能を得ることができる。
【００４６】
【実施例】
以下に実施例及び比較例を挙げて本発明をより具体的に説明する。
【００４７】
実施例１
有機フィルムとしてＰＥＴフィルム（膜厚１００μｍ）を用い、このフィルムの表面に下記構成の反射防止層を形成して、図１に示すガスバリア性反射防止フィルムを製造した。
【００４８】
第１層：酸化チタン膜，膜厚２４．１ｎｍ
第２層：酸化シリコン膜，膜厚１３．９ｎｍ
第３層：酸化チタン膜，膜厚１２０ｎｍ
第４層：酸化シリコン膜，膜厚１０１．１ｎｍ
【００４９】
これらの４層のうち、ＰＥＴフィルム側の第１層は、スパッタ装置として、図２のスパッタ装置を用い、ターゲットとして純度９９．９９％の高純度化学社製のものを用いて成膜を行った。
【００５０】
チャンバ内は６．０×１０^−４Ｐａまで排気し、０．５Ｐａのガス圧となるように酸素及びＡｒガスを導入した。ガス組成は酸素５０％、Ａｒ５０％である。ガス流量は１５０ｓｃｃｍとした。印加パルスの電圧を約５００Ｖ、周波数を５０ｋＨｚとし、１０パルスずつ交互に各カソード１１Ａ，１１Ｂに印加してガスバリア性スパッタ膜を成膜した。消費電力は１２ｋＷであった。
【００５１】
その他の第２層〜第４層は、通常の反応性スパッタにより成膜した。
【００５２】
得られたガスバリア性反射防止フィルムの光透過率、可視光反射率、色調、ガスバリア性を下記方法で調べ、結果を表１に示した。なお、透過率にはＰＥＴ基板の裏面反射を含み、反射率にはＰＥＴ基板の裏面反射を含んでいない。
【００５３】
［光透過率（％），可視光反射率（％）］
日立製可視紫外光分光測定装置（Ｕ−４０００）を用い、表１に示す波長付近の平均透過率と可視光反射率を求めた。
［色調］
目視により観察し、ほぼ無色透明のものを○、黄色味がかったものを×とした。
［ガスバリア性］
ＭＯＣＯＮ社製透湿度測定装置ＰＥＲＭＡＴＲＡＮ−Ｗ３／３１を用いて４０℃、９０ＲＨの条件下で透湿度を測定した。
【００５４】
実施例２
実施例１において、第１層の成膜に当たり、更に、一方のカソードに負のパルス電圧が印加されている時に、他方のカソードに１０Ｖの正のパルス電圧を１０パルス印加し、これを交互に繰り返したこと以外は同様にしてガスバリア性反射防止フィルムを製造し、同様に評価を行って結果を表１に示した。
【００５５】
比較例１
実施例１において、第１層の成膜に当たり、各カソード１１Ａ，１１Ｂに５００Ｖの直流電圧を印加したこと以外は同様にして反射防止フィルムを製造し、同様に評価を行って結果を表１に示した。
【００５６】
【表１】

【００５７】
表１より明らかなように、本発明によれば、ガスバリア性に優れた良好な反射防止フィルムが提供される。
【００５８】
【発明の効果】
以上の通り、本発明によると、優れたガスバリア性能と反射防止性能とを兼備するガスバリア性反射防止フィルムが提供される。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明のガスバリア性反射防止フィルムの実施の形態を示す模式的な断面図である。
【図２】本発明のガスバリア性反射防止フィルムの製造方法の実施の形態に係るガスバリア性スパッタ膜の成膜方法を説明するスパッタリング装置の模式的な断面図である。
【符号の説明】
１ガスバリア性反射防止フィルム
２有機フィルム
３Ａ，３Ｂ低屈折率透明膜
４Ａガスバリア性高屈折率透明膜
４Ｂ高屈折率透明膜
５反射防止層
１０チャンバ
１１Ａ，１１Ｂカソード
１２ターゲット
１３パルス電源

Claims

有機フィルムの表面に、高屈折率層と低屈折率層との積層膜よりなる反射防止層が形成されてなる反射防止フィルムであって、
該積層膜を構成する高屈折率層及び低屈折率層のうちの少なくとも一層が、ピンホールやクラック等の欠陥の少ないガスバリア性スパッタ膜よりなることを特徴とするガスバリア性反射防止フィルム。
請求項１のガスバリア性反射防止フィルムを製造する方法であって、カソードに設けられたターゲットをスパッタリングすることにより該ガスバリア性スパッタ膜を成膜するに当たり、複数のカソードを配置し、各カソードに交互に間欠的な電圧を印加して成膜することを特徴とするガスバリア性反射防止フィルムの製造方法。
請求項２において、通常は負電圧に印加されているターゲットに対し、間欠的に正の電圧を印加することにより、該ターゲットのチャージアップを抑制することを特徴とするガスバリア性反射防止フィルムの製造方法。
請求項１ないし３のいずれか１項において、該ガスバリア性スパッタ膜が金属酸化物膜又は合金酸化物膜であることを特徴とするガスバリア性反射防止フィルムの製造方法。
請求項４において、該金属酸化物又は合金酸化物を構成する金属が、ジルコニウム、チタン、ニオブ、インジウム、スズ、アンチモン、シリコン、アルミニウム及びマグネシウムよりなる群から選ばれる１種又は２種以上であることを特徴とするガスバリア性反射防止フィルムの製造方法。
請求項４又は５において、ターゲットとして金属もしくは合金を用い、酸素ガスを流しながら反応性スパッタリングを行うことにより該ガスバリア性スパッタ膜を成膜することを特徴とするガスバリア性反射防止フィルムの製造方法。
請求項４又は５において、ターゲットとして導電性の金属酸化物又は合金酸化物を用いて成膜することを特徴とするガスバリア性反射防止フィルムの製造方法。
請求項７において、酸素ガスを流しながら成膜することを特徴とするガスバリア性反射防止フィルムの製造方法。
請求項６又は８において、ターゲットにパルス電圧を印加し、且つパルス幅を変化させることによりガスの反応性を制御し、該ガスバリア性スパッタ膜中に取り込まれる酸素量を制御することを特徴とするガスバリア性反射防止フィルムの製造方法。
請求項２ないし９のいずれか１項において、複数のターゲットがそれぞれ異なる材料よりなることを特徴とするガスバリア性反射防止フィルムの製造方法。
請求項１０において、ターゲットに印加するパルス電圧の電圧及び／又はパルス幅をそれぞれのターゲットに対して変化させることにより膜の組成を制御することを特徴とするガスバリア性反射防止フィルムの製造方法。
請求項６，８及び９のいずれか１項において、スパッタ時における放電の発光波長をモニタリングすることにより、該ガスバリア性スパッタ膜中の酸素量を制御することを特徴とするガスバリア性反射防止フィルムの製造方法。
請求項２ないし１２のいずれか１項に記載のガスバリア性反射防止フィルムの製造方法により製造されたガスバリア性反射防止フィルム。