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JP2004255335A - Liquid material discharging method, liquid material discharging device, color filter manufacturing method and color filter, liquid crystal display device, electroluminescent device manufacturing method and electroluminescent device, plasma display panel manufacturing method and plasma display, and electronic equipment - Google Patents

Liquid material discharging method, liquid material discharging device, color filter manufacturing method and color filter, liquid crystal display device, electroluminescent device manufacturing method and electroluminescent device, plasma display panel manufacturing method and plasma display, and electronic equipment Download PDF

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JP2004255335A
JP2004255335A JP2003051127A JP2003051127A JP2004255335A JP 2004255335 A JP2004255335 A JP 2004255335A JP 2003051127 A JP2003051127 A JP 2003051127A JP 2003051127 A JP2003051127 A JP 2003051127A JP 2004255335 A JP2004255335 A JP 2004255335A
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JP
Japan
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droplet discharge
substrate
regions
head
color filter
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP2003051127A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tomoki Kawase
智己 川瀬
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
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Abstract

【課題】材料配列領域を基板上に複数配列形成する液状物の吐出方法において、基板上における材料配列領域の配列態様如何に拘わらず材料を配列可能にすることにより、材料配列領域の配列態様に対する制約を撤廃し、材料配列領域の配列態様に関する自由度を増大させ、製造効率の向上、製造コストの低減を図る。
【解決手段】本発明の液状物の吐出方法は、複数のノズル２７が配列されてなるノズル列２８を有する液滴吐出ヘッド２２を用いて材料が所定パターンにて配列されてなる複数の材料配列領域１１を基板１０上に形成する液状物の吐出方法であって、１又は複数の液滴吐出ヘッドの組２２（Ａ１），２２（Ａ２）を材料配列領域毎に位置決めすることにより、複数の材料配列領域にそれぞれ対応する複数組の液滴吐出ヘッドで構成されるヘッド列を構成し、ヘッド列または基板を走査しながら、複数の材料配列領域に対して並行して液状物を吐出する。
【選択図】 図４In a method of discharging a liquid material in which a plurality of material arrangement regions are formed on a substrate, the material can be arranged regardless of the arrangement of the material arrangement regions on the substrate, so that the material arrangement region can be arranged. The restriction is eliminated, the degree of freedom regarding the arrangement mode of the material arrangement region is increased, the production efficiency is improved, and the production cost is reduced.
A liquid material discharging method according to the present invention includes a plurality of material arrangements in which materials are arranged in a predetermined pattern using a droplet ejection head having a nozzle row in which a plurality of nozzles are arranged. This is a method for discharging a liquid material in which the region 11 is formed on the substrate 10. By positioning one or a plurality of droplet discharge head sets 22 (A1) and 22 (A2) for each material arrangement region, a plurality of droplet discharge heads can be formed. A head row including a plurality of sets of droplet discharge heads respectively corresponding to the material arrangement areas is formed, and a liquid material is discharged in parallel to the plurality of material arrangement areas while scanning the head row or the substrate.
[Selection diagram] Fig. 4

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液状物の吐出方法、液状物の吐出装置、カラーフィルタの製造方法およびカラーフィルタ、液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス装置の製造方法およびエレクトロルミネッセンス装置、並びにプラズマディスプレイパネルの製造方法およびプラズマディスプレイパネルに係り、より詳しくは、本発明は、材料が所定パターンにて配列されてなる複数の材料配列領域を基板上に形成する場合に用いる液状物の吐出方法、液状物の吐出装置、カラーフィルタの製造方法およびカラーフィルタ、液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス装置の製造方法およびエレクトロルミネッセンス装置、並びにプラズマディスプレイパネルの製造方法およびプラズマディスプレイパネルに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、携帯電話機や携帯型コンピュータ等の電子機器の表示部において、電気光学装置、例えば、液晶装置（以下、ＬＣＤと称する場合がある。）、エレクトロルミネッセンス装置（以下、ＥＬ装置と称する場合がある。）、プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと称する場合がある。）等の表示装置が幅広く用いられ、或いは、幅広い分野に採用するべく鋭意開発されている。
【０００３】
これらの表示装置の多くはフルカラー表示が可能なカラー表示装置であり、例えば、ＬＣＤにおいては、液晶層によって変調される光が進行面に配置されたカラーフィルタを通過することによってフルカラー表示が達成される。このカラーフィルタは、例えば、ガラス基板やプラスチック基板の表面に、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）に対応したドット状の各フィルタエレメント材料を、所定配列で規則的に並べることによって構成されている。
【０００４】
上記のようなカラーフィルタを製造するには、一般にフォトリソグラフィー法が用いられているが、製造工程が複雑であることや、あるいは各色に対応したカラーフィルタ材料やフォトレジストなどを多量に消費することから、製造コストが高く、環境負荷が大きいという問題が見られた。
【０００５】
そこで、このような製造上の問題や環境上の問題を解決するために、いわゆるインクジェット法によって、カラーフィルタのフィルタエレメントを製造する方法が提案されている。例えば、図２４には、液晶表示装置の製造工程におけるインクジェット法を用いたカラーフィルタの製造方法を示す。図２４（ａ）に示すマザーボード３０１には、複数のパネル予定領域３０２が縦横にマトリクス状に配列された状態に設定されている。これらのパネル予定領域３０２は、それぞれ一つの液晶表示装置の構成要素となるものである。このパネル予定領域３０２内には、図２４（ｂ）に示すように、複数のフィルタエレメント３０３が縦横にマトリクス状に配列形成される。この場合には、図２４（ｃ）に示すように、多数のノズル３０４を配列してなるノズル列３０５を備えた液滴吐出ヘッド３０６を用いる。この液滴吐出ヘッド３０６は図２４（ｂ）に示すようにマザーボード３０１上を図示矢印Ａ１，Ａ２の方法に走査され、この走査中にノズル３０４からフィルタエレメント材料を液滴として吐出していく。このようにして、上記パネル予定領域３０２の予め設定された位置には、所定パターンにて配列されたフィルタエレメント３０３が配置される。
【０００６】
上記のようなインクジェット法を用いたカラーフィルタの製造工程において、最も基本的な方法は、液滴吐出ヘッド３０６を図示矢印Ａ１に沿って走査しながら多数の液滴を吐出させた後に、液滴吐出ヘッド３０６を図示点線で示す位置に送り、再び図示矢印Ａ２に沿って走査しながら多数の液滴を吐出させるというように、走査動作と送り動作とを交互に繰り返して全てのフィルタエレメント３０３を形成していく方法である。しかしながら、このような方法では、マザーボード３０１上の全てのパネル予定領域３０２について全てのフィルタエレメント３０３を形成するのにきわめて多くの時間が必要となる。
【０００７】
そこで、液滴吐出ヘッド３０６を送り方向（図示左右方向）に複数配列させ、これらの複数の液滴吐出ヘッド３０６を並行して走査方向に走査しながら広い面積に亘って一度に液滴を吐出させる方法が考案されている（以下の特許文献１及び特許文献２参照）。この方法では、複数の液滴吐出ヘッドをキャリッジ（支持手段）に搭載し、このキャリッジを走査することによって複数の液滴吐出ヘッドから並行して液滴が吐出されることになるため、効率的にカラーフィルタを形成することができる。
【０００８】
【特許文献１】
特開２００２−２７３８６８号公報
【特許文献２】
特開２００２−２７３８６９号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のカラーフィルタの製造方法では、複数の液滴吐出ヘッドにそれぞれ設けられたノズル列が連続する一つのノズル列を構成するように配置することにより、より広い範囲に亘り一括して液滴を吐出することができるように構成されているため、マザーボード３０１のパネル予定領域３０２の配置に制約が課せられることとなっていた。すなわち、図２４（ｂ）に示すように、パネル予定領域３０２内におけるフィルタエレメント３０３の配列周期Ｐの自然数倍が、隣接するパネル予定領域３０２間の領域間隔Ｑとなるように構成する必要があった。これは、各液滴吐出ノズル３０６のノズル周期をフィルタエレメント３０３の配列周期Ｐに合致させる必要があるが、通常、一つのパネル予定領域３０３の幅を一つの液滴吐出ヘッド３０６によって一度にカバーすることはできないため、隣接する液滴吐出ヘッド３０６間の間隔を、複数の液滴吐出ヘッドに亘るノズル周期が一定となるように（すなわち各液滴吐出ヘッド３０６のノズル列３０５が相互に連続するように）調整していたためである。
【００１０】
このようにマザーボード３０１におけるパネル予定領域３０２間の間隔Ｑに制約が課せられることにより、マザーボード３０１に効率的に複数のパネル予定領域３０２を配列させることができず、パネル予定領域３０２の配列態様の自由度が低下する結果、一枚のマザーボード３０１から製造できる液晶表示パネルの数が減少したり、たとえば、基板３０１を分断する工程などの他の工程が影響を受けたりすることにより、製造効率が低下し、製造コストが増大するという問題点があった。
【００１１】
そこで、本発明は上記問題点を解決するものであり、その課題は、複数の液滴吐出ヘッドを配列させた状態で液滴を吐出させることにより、所定パターンで材料が配列されてなる材料配列領域を基板上に複数配列形成する液状物の吐出方法において、基板上における材料配列領域の配列態様如何に拘わらず材料を配列させることができるようにすることにより、材料配列領域の配列態様に対する制約を撤廃することができ、これにより、材料配列領域の配列態様に関する自由度を増大させ、これをもって製造効率を向上させ、製造コストを低減することのできる方法を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明の液状物の吐出方法は、複数のノズルが配列されてなるノズル列を有する液滴吐出ヘッドを用いて材料が所定パターンにて配列されてなる複数の材料配列領域を基板上に形成する液状物の吐出方法であって、１又は複数の前記液滴吐出ヘッドの組を前記材料配列領域毎に位置決めすることにより、前記複数の材料配列領域にそれぞれ対応する複数組の前記液滴吐出ヘッドで構成されるヘッド列を構成し、前記ヘッド列または基板を走査しながら、前記複数の材料配列領域に対して並行して液状物を吐出することを特徴とする。
【００１３】
上記のように複数の液滴吐出ヘッドを用いる場合に、１又は複数の液滴吐出ヘッドの組が各材料配列領域に対応して位置決めされた状態で基板に対して相対的に走査されることにより、基板上の複数の材料配列領域がどのような配列態様であっても対応することが可能になるため、基板上における材料配列領域の配列設計の自由度を高めることができる。
【００１４】
本発明において、前記材料配列領域毎に複数の前記液滴吐出ヘッドの組を対応させて設け、該組内において隣接する前記液滴吐出ヘッドを、その前記ノズル列同士が前記材料配列領域の前記所定パターンに対応して前記走査方向から見たときに連続するように配置することが好ましい。このように、材料配列領域毎に設けられた複数の液滴吐出ヘッドの組において各ヘッドのノズル列が走査方向から見たときに相互に連続するように液滴吐出ヘッドが配置されていることにより、各材料配列領域に対して全面的に液滴を吐出させることが可能になるので、効率的に材料を配置していくことができる。
【００１５】
本発明において、前記組内に配置された複数の前記ノズル列により構成されるノズル全幅を対応する前記材料配列領域の幅よりも広くすることが好ましい。これによれば、各材料配列領域の幅よりも各組において構成されるノズル全幅の方が広いことにより、各液滴吐出ヘッドに設けられたノズル列の端部近傍にあるノズルを使用しないことによりノズル間の液滴吐出量のばらつきを低減したり、或いは、ノズル全幅を材料配列領域に対して幅方向にずらしながら走査を行って、材料配列領域内の各材料列に異なるノズルにより複数回の液滴吐出を行うことにより、各材料列間における吐出総量のばらつきを低減させたりするといったことが可能になる。
【００１６】
本発明において、前記ヘッド列において隣接する前記液滴吐出ヘッドを前記走査方向にずらして配置することが好ましい。これによって隣接する液滴吐出ヘッド間の相対的位置関係をより広い範囲にて調整可能になるため、材料配列領域の配列態様に対してより柔軟に対応できるようになる。
【００１７】
本発明において、前記ヘッド列において複数の前記液滴吐出ヘッドを千鳥状に配列させることが好ましい。複数の液滴吐出ヘッドが千鳥状に配列されてヘッド列を構成していることにより、隣接する液滴吐出ヘッドを走査方向にずらして配置しても、複数の液滴吐出ヘッドにおけるノズル配列の走査方向の広がり範囲を制限できるので、走査ストロークを短くすることが可能になることから、生産効率をより向上させることができる。
【００１８】
次に、本発明の液状物の吐出装置は、複数のノズルが配列されてなるノズル列を有する液滴吐出ヘッドを用いて材料が所定パターンにて配列されてなる複数の材料配列領域を基板上に形成する液状物の吐出装置であって、相互に位置調整可能に構成された複数の液滴吐出ヘッドを配列させてなるヘッド列と、前記ヘッド列または基板を走査する走査手段と、１又は複数の前記液滴吐出ヘッドの組を前記材料配列領域毎に位置決めするための制御部と、を有することを特徴とする。
【００１９】
この発明によれば、ヘッド列において１又は複数の液滴吐出ヘッドの組が材料配列領域毎に位置決めされるので、基板上の複数の材料配列領域がどのような配列態様であっても対応することが可能になるため、基板上における材料配列領域の設計自由度を高めることができる。
【００２０】
本発明において、前記制御部は、前記材料配列領域毎に複数の前記液滴吐出ヘッドの組を対応させ、該組内において隣接する前記液滴吐出ヘッドを、その前記ノズル列同士が前記材料配列領域の前記所定パターンに対応して前記走査方向から見たときに連続するように配置することが好ましい。このように、材料配列領域毎に設けられた複数の液滴吐出ヘッドの組において各ヘッドのノズル列が走査方向から見たときに相互に連続するように液滴吐出ヘッドが配置されることにより、各材料配列領域に対して全面的に液滴を吐出させることが可能になるので、効率的に材料を配置していくことができる。
【００２１】
本発明において、前記制御部は、前記組内に配置された複数の前記ノズル列により構成されるノズル全幅を対応する前記材料配列領域の幅よりも広く構成することが好ましい。これによれば、各材料配列領域の幅よりも各組において構成されるノズル全幅の方が広いことにより、各液滴吐出ヘッドに設けられたノズル列の端部近傍にあるノズルを使用しないことによりノズル間の液滴吐出量のばらつきを低減したり、或いは、ノズル全幅を材料配列領域に対して幅方向にずらしながら走査を行って、材料配列領域内の各材料列に異なるノズルにより複数回の液滴吐出を行うことにより、各材料列間における吐出総量のばらつきを低減させたりするといったことが可能になる。
【００２２】
本発明において、前記ヘッド列において隣接する前記液滴吐出ヘッドが前記走査方向にずらして配置されることが好ましい。これによって隣接する液滴吐出ヘッド間の相対的位置関係をより広い範囲にて調整可能になるため、材料配列領域の配列態様に対してより柔軟に対応できるようになる。
【００２３】
本発明において、前記ヘッド列において複数の前記液滴吐出ヘッドが千鳥状に配列されることが好ましい。複数の液滴吐出ヘッドが千鳥状に配列されてヘッド列を構成していることにより、隣接する液滴吐出ヘッドを走査方向にずらして配置しても、複数の液滴吐出ヘッドにおけるノズル配列の走査方向の広がり範囲を制限できるので、走査ストロークを短くすることが可能になることから、生産効率をより向上させることができる。
【００２４】
次に、本発明のカラーフィルタの製造方法は、複数のノズルが配列されてなるノズル列を有する液滴吐出ヘッドを用いてカラーフィルタ材料が所定パターンにて配列されてなる複数のカラーフィルタ領域を基板上に形成するカラーフィルタの製造方法であって、１又は複数の前記液滴吐出ヘッドの組を前記カラーフィルタ領域毎に位置決めすることにより、前記複数のカラーフィルタ領域にそれぞれ対応する複数組の前記液滴吐出ヘッドで構成されるヘッド列を構成し、前記ヘッド列または基板を走査しながら、前記複数のカラーフィルタ領域に対して並行して液状物を吐出することを特徴とする。
【００２５】
この発明によれば、上記のように複数の液滴吐出ヘッドを用いる場合に、１又は複数の液滴吐出ヘッドの組が各カラーフィルタ領域に対応して位置決めされた状態で基板に対して相対的に走査されることにより、基板上の複数のカラーフィルタ領域がどのような配列態様であっても対応することが可能になるため、基板上におけるカラーフィルタ領域の配列設計の自由度を高めることができる。
【００２６】
また、上記のカラーフィルタの製造方法により得られたカラーフィルタは、製造段階において１又は複数の液滴吐出ヘッドが各カラーフィルタ領域に位置決めされているため、カラーフィルタ領域内に配列された複数のカラーフィルタ材料の配置誤差が基板上のカラーフィルタ領域の配列位置に応じて変化するといったことがなくなり、その結果、カラーフィルタ材料の配置誤差のばらつきが少ないものとなる。
【００２７】
このカラーフィルタは液晶表示装置に用いることができる。この場合、液晶表示装置の各表示ドットにそれぞれカラーフィルタのフィルタエレメント（カラーフィルタ材料）が一つずつ対応するように配置される。また、エレクトロルミネッセンス装置やプラズマディスプレイパネルなどのその他の電気光学装置にも同様に適用できる。
【００２８】
次に、本発明のエレクトロルミネッセンス装置の製造方法は、複数のノズルが配列されてなるノズル列を有する液滴吐出ヘッドを用いてエレクトロルミネッセンス材料（発光材料や電子輸送材料などの発光領域に配置される各種材料）が所定パターンにて配列されてなる複数のエレクトロルミネッセンス領域を基板上に形成するエレクトロルミネッセンス装置の製造方法であって、１又は複数の前記液滴吐出ヘッドの組を前記エレクトロルミネッセンス領域毎に位置決めすることにより、前記複数のエレクトロルミネッセンス領域にそれぞれ対応する複数組の前記液滴吐出ヘッドで構成されるヘッド列を構成し、前記ヘッド列または基板を走査しながら、前記複数のエレクトロルミネッセンス領域に対して並行して液状物を吐出することを特徴とする。
【００２９】
この発明によれば、上記のように複数の液滴吐出ヘッドを用いる場合に、１又は複数の液滴吐出ヘッドの組が各エレクトロルミネッセンス領域（発光領域）に対応して位置決めされた状態で基板に対して相対的に走査されることにより、基板上の複数のエレクトロルミネッセンス領域がどのような配列態様であっても対応することが可能になるため、基板上におけるエレクトロルミネッセンス領域の配列設計の自由度を高めることができる。
【００３０】
また、上記のエレクトロルミネッセンス装置の製造方法により得られたエレクトロルミネッセンス装置は、製造段階において１又は複数の液滴吐出ヘッドが各エレクトロルミネッセンス領域に位置決めされているため、エレクトロルミネッセンス領域内に配列された複数のエレクトロルミネッセンス材料の配置誤差が基板上のエレクトロルミネッセンス領域の配列位置に応じて変化するといったことがなくなり、その結果、エレクトロルミネッセンス材料の配置誤差のばらつきが少ないものとなる。
【００３１】
次に、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、複数のノズルが配列されてなるノズル列を有する液滴吐出ヘッドを用いてプラズマ発光材料（たとえば蛍光体などの発光材料）が所定パターンにて配列されてなる複数のプラズマ発光領域を基板上に形成するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、１又は複数の前記液滴吐出ヘッドの組を前記プラズマ発光領域毎に位置決めすることにより、前記複数のプラズマ発光領域にそれぞれ対応する複数組の前記液滴吐出ヘッドで構成されるヘッド列を構成し、前記ヘッド列または基板を走査しながら、前記複数のプラズマ発光領域に対して並行して液状物を吐出することを特徴とする。
【００３２】
この発明によれば、上記のように複数の液滴吐出ヘッドを用いる場合に、１又は複数の液滴吐出ヘッドの組が各プラズマ発光領域に対応して位置決めされた状態で基板に対して相対的に走査されることにより、基板上の複数のプラズマ発光領域がどのような配列態様であっても対応することが可能になるため、基板上におけるプラズマ発光領域の配列設計の自由度を高めることができる。
【００３３】
また、上記のプラズマディスプレイパネルの製造方法により得られたプラズマディスプレイパネルは、製造段階において１又は複数の液滴吐出ヘッドが各プラズマ発光領域に位置決めされているため、プラズマ発光領域内に配列された複数のプラズマ発光材料の配置誤差が基板上のプラズマ発光領域の配列位置に応じて変化するといったことがなくなり、その結果、プラズマ発光材料の配置誤差のばらつきが少ないものとなる。
【００３４】
さらに、本発明の電子機器は、上記の液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス、或いは、プラズマディスプレイパネルを備えたことを特徴とする。これらの表示装置或いは電気光学装置を備えていることにより、表示品位に関して再現性が高く、ばらつきの少ない電子機器を得ることができる。
【００３５】
【発明の実施の形態】
本発明の液状物の吐出方法、液状物の吐出装置、カラーフィルタの製造方法およびカラーフィルタ、カラーフィルタを用いた液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス装置の製造方法、およびエレクトロルミネッセンス装置、プラズマディスプレイパネル及びその製造方法、並びに電子機器に関する実施形態を、適宜図面を参照しながらそれぞれ具体的に説明する。
【００３６】
［液滴吐出方法及び装置の基本構成］
図１には、本発明に係る各実施形態において共通に用いる液滴吐出ヘッド２２の内部構造の一例を示し、図２には、液適吐出ヘッド２２の外観を示す。ここで、図１（ａ）は、ノズル列２７が設けられた液滴吐出ヘッド２２を部分的に切り欠いて示す斜視図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）に示すＪ−Ｊ線で切断した場合のノズル列２７が設けられた液滴吐出ヘッド２２の断面図であり、さらに、図２は、液滴吐出ヘッドの斜視図及びそのノズル列の一部拡大図である。
【００３７】
図１に示すように、液滴吐出ヘッド２２は、例えばステンレス製のノズルプレート２９と、それに対向する振動板３１と、それらを互いに接合する複数の仕切部材３２とを有する。ノズルプレート２９と振動板３１との間には、仕切部材３２によって複数の材料室３３と液溜り３４とが形成されている。また、複数の材料室３３と液溜り３４とは、通路３８を介して互いに連通している。振動板３１の適所には材料供給孔３６が形成され、この材料供給孔３６に材料供給装置３７が接続される。この材料供給装置３７は、後述するフィルタエレメント材料、エレクトロルミネッセンス材料、プラズマ発光材料などの液状物Ｍを材料供給孔３６へ供給する。そして、供給された液状物Ｍは液溜り３４に供給され、さらに通路３８を通って材料室３３に導入される。
【００３８】
ノズルプレート２９には、材料室３３から液状物Ｍをジェット状に噴射するためのノズル２７が設けられている。そして、振動板３１における材料室３３を形成した面の裏面には、この材料室３３に対応させて材料加圧体３９が取り付けられている。この材料加圧体３９は、図１（ｂ）に示すように、圧電素子４１ならびにこれを挟持する一対の電極４２ａおよび４２ｂを有する。
【００３９】
電極４２ａ及び４２ｂに所定電圧を印加すると、圧電素子４１は矢印Ｃで示す外側へ突出するように撓み変形し、これにより材料室３３の容積を増大させる。その結果、増大した容積分に相当する液状物Ｍが液溜り３４から通路３８を通って材料室３３へ流入する。その後、圧電素子４１への通電が解除されると、この圧電素子４１は振動板３１と共に元の形状へ戻る。これにより、材料室３３も元の容積に戻るため、材料室３３の内部にある液状物Ｍの圧力が上昇し、ノズル２７から液状物Ｍが液滴８となって噴出する。なお、ノズルプレート２９の外面上には、液状物Ｍが付着しないように撥液性を有する撥液層４３が形成されている。
【００４０】
上記の液滴吐出ヘッド２２は、上記のような動作を繰り返すことにより多数の液滴８を順次連続的に吐出させることができるように構成される。液滴吐出ヘッド２２には、図２に示すように、複数のノズル２７が図示Ｙ方向に配列され、ノズル列２８が構成されている。図示例では、ノズル２７は一列に直線状に配列されている。また、このノズル列２８の配列方向と直交する図示Ｘ方向が基準の走査方向となるように構成されている。ここで、基準方向とは、後述する走査方向の基準となる方向を言う。したがって、液滴吐出ヘッド２２の走査方向は、基準方向と一致する場合もあれば、基準方向に対して所定角度（後述する傾斜角度θ）だけ傾斜する場合もある。
【００４１】
図３には、液滴吐出ヘッド２２の変形例を示す。この液滴吐出ヘッド２２では、ノズル２７が図示Ｙ方向に２列に配列され、２つのノズル列２８，２８が形成されている。この２つのノズル列に属する全てのノズル２７から同じ液状物Ｍが吐出されるように構成してもよく、或いは、２つのノズル列の一方に属する各ノズル２７と、他方に属するノズル２７とで相互に異なる液状物を吐出するように構成してもよい。さらに、液滴吐出ヘッド２２には３列以上のノズル列を設けてもよい。この場合、たとえば、カラーフィルタを形成する場合に、３つのノズル列は、相互に異なる色の液状物（すなわちフィルタエレメント材料１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂ）が吐出されるように構成することができる。
【００４２】
なお、上記液滴吐出ヘッド２２においては上述のように圧電素子の変形によって液滴が吐出されるように構成されている。しかし、これとは異なる方式の液滴吐出ヘッドを用いてもよい。例えば、加熱によって発生するバブルを利用して材料を吐出するように構成されていてもよい。
【００４３】
液状物の種類は特に制限されるものではないが、後述する実施形態に対応させて言えば、例えば、顔料インク、染料インク、カラーフィルタ用材料（フィルタエレメント材料と称する場合がある。）、エレクトロルミネッセンス材料（正孔輸送性材料や電子輸送性材料等を含む。）、プラズマ発光材料（蛍光体など）等が挙げられる。ここで、液状物としては、最終的に基板上に形成すべき材料に適宜の溶剤等を添加することによって液状に構成したものを用いることができる。
【００４４】
このときの液状物の物理的特性に関しては、例えば、溶液粘度を１〜３０ｍＰａ・ｓ（測定温度が２５℃のときの値、以下同様である。）の範囲内の値とすることが好ましい。この理由は、溶液粘度が１ｍＰａ・ｓ未満の値となると、塗布物における厚膜化が実質的に困難となる場合があるためであり、一方、溶液粘度が３０ｍＰａ・ｓを超えると、ノズル部分で目つまりしたり、均一な厚さを有する塗布物を形成したりすることが困難となる場合があるためである。特に、塗布物における厚膜化と、塗布物における厚さの均一性等のバランスがより良好となることから、複数の液状物の種類等を適宜選択して、溶液粘度を２〜１０ｍＰａ・ｓの範囲内の値とすることがより好ましく、３〜８ｍＰａ・ｓの範囲内の値とすることがさらに好ましい。なお、複数の液状物における溶液粘度を、塗布物の用途に応じて、適宜選択することも好ましい。例えば、カラーフィルタを作成する場合には色純度の関係で厚膜化が望まれることから、溶液粘度を６〜８ｍＰａ・ｓの範囲内の値とすることがより好ましい。
【００４５】
液状物を塗布する基板についても特に制限されるものではないが、例えば、ポリエステルフィルム、ポリサルホンフィルム、ポリプロピレンフィルム、酢酸セルロースフィルム、ＴＡＣフィルム、ガラス基板、セラミック基板等を用いることが好ましい。また、その基板の厚さについても特に制限されるものでないが、例えば、１０μｍ〜５ｍｍの範囲内の値とすることが好ましい。
【００４６】
次に、上記液滴吐出ヘッド２２を用いて液状物を吐出させる場合に用いる液滴吐出装置について説明する。なお、後述するように、本発明は複数の液滴吐出ヘッド２２を用いるものであるが、以下の液滴吐出装置に関する説明及び参照図面には、複数の液滴吐出ヘッド２２の配列構成などには触れず、図示も省略してある。この液滴吐出装置１６は、図１１に示すように、液滴吐出ヘッド２２を備えたヘッドユニット２６と、液滴吐出ヘッド２２の位置を制御するためのヘッド位置制御装置１７と、基板の位置を制御するための基板位置制御装置１８と、液滴吐出ヘッド２２を基板に対して走査方向Ｘに走査するための走査駆動装置１９と、液滴吐出ヘッド２２を基板に対して走査方向と交差する送り方向Ｙに送り動作させるための送り駆動装置２１と、外部から液滴吐出装置１６内の所定の作業位置へ基板を供給するための基板供給装置（図示せず。）と、液滴吐出装置１６の全般の制御を司るための後述する制御部とをそれぞれ有する。
【００４７】
基板位置制御装置１８は、基板を載置するためのテーブル４９と、そのテーブル４９を矢印θのように面内回転させるためのθモータ５１とを有する。これによって、テーブル４９上に載置された基板５０を所定の平面姿勢に設定することができる。
【００４８】
また、走査駆動装置１９は、走査方向Ｘへ延びるＸガイドレール５２と、パルス駆動されるリニアモータを内蔵したＸスライダ５３とを有する。ここで、Ｘスライダ５３は、内蔵するリニアモータが作動するときに、Ｘガイドレール５２に沿って走査方向Ｘへ平行移動する。一方、送り駆動装置２１は、送り方向Ｙへ延びるＹガイドレール５４と、パルス駆動されるリニアモータを内蔵したＹスライダ５６とを有する。ここで、Ｙスライダ５６は、内蔵するリニアモータが作動する際に、Ｙガイドレール５４に沿って送り方向Ｙへ平行移動する。
【００４９】
なお、液滴吐出ヘッド２２の近傍には、そのヘッドと一体に移動する関係で、位置合わせを容易にするためのヘッド用カメラが配設してあることが好ましい。また、ベース上に設けた支持装置に支持された基板用カメラが、マザー基板を撮影できる位置に配設してあることが好ましい。
【００５０】
図１３は、上記液滴吐出装置１６の全体構成を示す概略構成図である。なお、この図１３は基本的にカラーフィルタを製造する場合に適合する各構成部の表示を一例として付してある。制御部はマイクロプロセッサユニット（ＭＰＵ）やプログラマブルコントローラなどで構成することができる。制御部には、演算処理を行うためのＣＰＵなどで構成される中央処理部６９と、各種情報を記憶するメモリ、すなわち情報記憶媒体７１とが設けられる。中央処理部６９は、情報記憶媒体７１に記憶されたプログラムソフトに従って、基板における所定位置に液状物を吐出するための制御を行うものである。また、図１１に示すヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、走査駆動装置１９、送り駆動装置２１、及び、上記液滴吐出ヘッド２２内の圧電素子４１を駆動するためのヘッド駆動回路の各装置は、入出力インターフェース７３及びバス７４を介して、中央処理部６９に接続されている。
【００５１】
さらに、基板供給装置２３、入力装置６７、表示装置（ディスプレイ）６８、電子天秤７８、クリーニング装置７７及びキャッピング装置７６の各機器についても、入出力インターフェース７３およびバス７４を介して、中央処理部６９に接続されている。
【００５２】
そして、中央処理部６９は、具体的な機能実現手段として、クリーニング処理を実現するための演算を行うクリーニング演算部と、キャッピング処理を実現するためのキャッピング演算部と、電子天秤を用いた重量測定を実現するための演算を行う重量測定演算部と、液滴吐出によって材料を描画するための演算を行う描画演算部とを有するように動作する。
【００５３】
ここで、描画演算部は、液滴吐出ヘッド２２を描画のための初期位置へセットするための描画開始位置演算部と、液滴吐出ヘッド２２を走査方向Ｘへ所定の速度で走査移動させるための制御を演算する走査制御演算部と、基板を送り方向Ｙへ所定の送り量だけずらすための制御を演算する送り制御演算部と、液滴吐出ヘッド２２内の複数のノズル２７のうちのいずれを作動させて液状物を吐出するか否かを制御するための演算を行うノズル吐出制御演算部とを有する。
【００５４】
上記のクリーニング装置は、ヘッドを洗浄するための装置である。また、電子天秤は、ヘッド内の個々のノズル列から吐出される材料の液滴の重量を、ノズル毎に測定する機器である。そして、キャッピング装置は、ヘッドが待機状態にあるときに、ノズル列の乾燥を防止するための装置である。
【００５５】
図１２は、上記液滴吐出ヘッド２２の一般的な走査方法を示す説明図である。液滴吐出ヘッド２２は、上記液滴吐出装置１６によって、送り方向Ｙの位置及び送り方向Ｙに対する傾斜角度θが適宜に設定された状態に設定され、基板１０に対して相対的に走査方向Ｘに走査される。ここで、液滴吐出ヘッド２２の位置及び姿勢は、ノズル２７の配列態様が、材料配列領域１１内に配置されるべき材料１２の予定位置に同期するように設定される。より具体的には、液滴吐出ヘッド２２の送り方向Ｙの位置は、任意のノズル２７が上記予定位置に合わせるように設定され、また、液滴吐出ヘッド２２の送り方向Ｙに対する傾斜角度θは、走査方向Ｘから見たノズル２７の形成周期が材料１２の予定位置の送り方向Ｙの配列周期に一致するように設定される。
【００５６】
また、液滴吐出ヘッド２２が走査方向Ｘに走査されると、その後、送り方向Ｙに所定距離だけ移動して再び走査が行われるといったことを繰り返す。ここで、一つの走査が終わった後に逆方向に移動して当初の位置に戻り、その後、送り方向Ｙに所定距離だけ移動するといった動作を繰り返すようにしてもよく、或いは、一つの走査が終わった後に直ちに送り方向Ｙに所定距離だけ移動し、今度は、前回とは逆方向に走査するといった動作を繰り返すようにしてもよい。
【００５７】
図１２には、誤差分散方式の走査態様をも示してある。誤差分散方式の走査態様では、前回の走査によって液滴を吐出した範囲と、今回の走査によって液滴が吐出される範囲とが一部重なるように、液滴吐出ヘッド２２を走査方向Ｘに走査した後に行われる送り方向Ｙへの送り距離をノズル列２８の送り方向Ｙの幅よりも小さくなるように設定するものである。図示例では、液滴吐出ヘッドの幅Ｌを３等分して、送り動作によって液滴吐出ヘッド２２がＬ／３ずつ送り方向に移動する場合を示してある。これによって、走査方向Ｘに配列された列に属する複数の材料１２が液滴吐出ヘッド２２内の異なるノズル２７から吐出された液滴で構成されたものとなるように構成することもでき、或いは、各材料１２が複数回の走査で異なるノズル２７から吐出された複数の液滴で構成されたものとなるように構成することもできるため、材料１２の量のばらつきに起因するムラを低減できるという利点がある。
【００５８】
［第１実施形態］
次に、上記のような液滴吐出ヘッド２２及び液滴吐出装置１６を用いた液状物の吐出方法及び吐出装置の実施形態について説明する。図４は、本発明に係る第１実施形態の液滴吐出方法及び液滴吐出装置を示す説明図である。本実施形態では、複数の液滴吐出ヘッド２２を図示のように送り方向Ｙに配列してヘッド列を構成する。ここで、ヘッド列は、図示二点鎖線で示すキャリッジ２５に複数の液滴吐出ヘッド２２をそれぞれ取り付けることによって構成することができる。なお、キャリッジ２５は、たとえば上記液滴吐出装置１６に設けられたヘッドユニット２６に取り付けられ、適宜に駆動される。この点は、以下に説明する全ての実施形態でも同様である。
【００５９】
上記ヘッド列内において、送り方向Ｙに隣接する液滴吐出ヘッド２２は、相互に走査方向Ｘにずれるように配置されている。また、ヘッド列では、全体として複数の液滴吐出ヘッド２２が送り方向Ｙに千鳥状に配列されている。このように構成すると、ヘッド列の走査方向の長さを低減することができるので、基板１０に対する走査ストロークを短く構成することが可能になり、その結果、走査時間が短縮されるため製造効率を向上できる。
【００６０】
液状物を吐出する対象としての基板１０には、液状物の吐出によって配置されるべき材料１２が所定パターンにて配列されてなる材料配列領域１１が複数設定されている。より具体的には、材料配列領域１１は、基板１０上において縦横にマトリクス状に配列されている。また、図示例において、各材料配列領域１１内には、材料１２が縦横にマトリクス状に配列される。
【００６１】
この実施形態では、基板１０上に設定された材料配列領域１１（正確には、基板１０上に設定された走査方向Ｘに伸びる材料配列領域１１の列）毎に、１又は複数の液滴吐出ヘッド２２の組が位置決めされる。図示例では、材料配列領域１１毎に複数の液滴吐出ヘッドの組、すなわち、液滴吐出ヘッド２２（Ａ１）と２２（Ａ２）の組、２２（Ｂ１）と２２（Ｂ２）の組、２２（Ｃ１）と２２（Ｃ２）の組がそれぞれ位置決めされている。各組の液滴吐出ヘッドは、対応する材料配列領域１１内の材料１２の予定位置の配列パターンに対応させて位置決めされる。
【００６２】
たとえば、ノズル列内の全ての液滴吐出ヘッド２２においてノズル周期をＮとし、また、液滴吐出ヘッド２２の組の送り方向Ｙの配置周期をＬとし、さらに、各材料配列領域１１の内部の材料１２の予定位置の送り方向Ｙの配列周期をＰ、材料配列領域１１間の送り方向Ｙの領域間隔をＱ、材料配列領域１１の送り方向の領域幅をＲ（上記配列周期Ｐの自然数倍）とする。この場合、液滴吐出ヘッド２２の各組に設けられている各ノズル２７の送り方向Ｙの位置は、材料配列領域１１内の上記配列周期Ｐと同期した位置に配置されるように構成されている。より具体的には、液滴吐出ヘッド２２（Ａ１）のノズル列と２２（Ａ２）のノズル列とのノズル列間隔Ｇは、上記配列周期Ｐの自然数倍と一致するように構成されている。図示例では、上記ノズル列間隔Ｇは上記配列周期Ｐと一致するように構成され、これによって、液滴吐出ヘッド２２（Ａ１）のノズル列２８と、液滴吐出ヘッド２２（Ａ２）のノズル列２８とが送り方向Ｘから見たときに連続する（すなわち両ヘッドのノズル２７が一体の列を実質的に構成する）ようになっている。
【００６３】
また、図示例では、液滴吐出ノズル２２の各組は、対応する材料配列領域１１の送り方向Ｙの位置に合わせて配置されている。より具体的には、ヘッド列における隣接する液滴吐出ヘッド２２の組間の送り方向Ｙの組配置周期、すなわち、液滴吐出ノズル２２（Ａ１）及び２２（Ａ２）の組と液滴吐出ノズル２２（Ｂ１）及び（Ｂ２）の組との組配置周期Ｌ、或いは、液滴吐出ノズル２２（Ｂ１）及び２２（Ｂ２）の組と液滴吐出ノズル２２（Ｃ１）及び２２（Ｃ２）の組との組配置周期Ｌは、材料配列領域１１の送り方向Ｙの上記領域幅Ｒと上記領域間隔Ｑとの和に一致している。
【００６４】
上記の複数の液滴吐出ヘッド２２で構成されるヘッド列は、基板１０に対して相対的に走査方向Ｘに走査され、各ノズル２７からそれぞれ液滴が吐出されることによって、図示のような材料１２が所定のパターンにて配列されていく。
【００６５】
このように、送り方向Ｙに配列した複数の材料配列領域１１に対して液滴吐出ヘッド２２の組がそれぞれ対応して位置決めされることにより、材料配列領域１１の領域間隔Ｑが如何なる値に設定されたとしても、各材料配列領域１１のそれぞれに対して正確に材料１２を配置していくことができる。したがって、基板１０に形成される材料配列領域１１内の材料１２の位置精度が送り方向Ｙに沿ってばらつくこと（たとえば、基板１０上を送り方向Ｙに沿って観察していくと、徐々に送り方向Ｙの位置ずれが大きくなっていくことなど）を抑制することができ、材料配列領域１１間における材料１２の配列精度の差を低減できる。
【００６６】
また、この実施形態では、液滴吐出ヘッド２２の各組に設けられるノズル全幅（上記組配置周期Ｌに対応する）は、材料配列領域１１の送り方向Ｙの領域幅Ｒよりも大きく構成されている。これによって、たとえば、各液滴吐出ヘッド２２における材料吐出量のばらつきを抑制するために、各液滴吐出ヘッド２２の両端近傍のノズル２７を用いないようにすることが可能になり、液滴吐出量のばらつきの低減を図ることによって材料１２の量（厚さや広がり）のばらつきを抑制することができる。これは、液滴吐出ヘッド２２の両端部近傍に設けられたノズルの液滴吐出量の変動がそれ以外のノズルに較べて大きいからである。また、上記のように、液滴吐出ヘッド２２のヘッド列を送り方向Ｙに少しずつずらしながら複数回の走査によって材料１２を配列させていくことも可能になるため、走査方向Ｘに配列される列に属する複数の材料１２が相互に異なるノズル２７により吐出された液滴によって構成されるようにしたり、或いは、各材料１２が複数回の走査に係る異なるノズル２７によって吐出された複数の液滴によって構成されるようにしたりすることが可能になる。このような誤差分散方式の液滴吐出方法によれば、やはり材料１２の量（厚さや広がり）のばらつきを抑制することができる。
【００６７】
［第２実施形態］
次に、図５を参照して、本発明に係る第２実施形態について説明する。この実施形態は、上記第１実施形態と同様に構成された液滴吐出ヘッド２２、材料１２が所定パターンにて配列されるべき材料配列領域１１が所定態様で配列された状態に設定される基板１０を有する。また、この実施形態でも複数の液滴吐出ヘッド２２が全体として送り方向Ｙに配列されてヘッド列を構成し、また、このヘッド列において、隣接する液滴吐出ヘッド２２は相互に走査方向Ｘにずれた位置に配置されている。より具体的には、このヘッド列は、送り方向Ｙに向けて複数の液滴吐出ヘッド２２を千鳥状に配列させたものである。
【００６８】
この実施形態においては、材料配列領域１１（の走査方向Ｘに伸びる列）毎に３つの液滴吐出ノズル２２を含む組が対応している。そして、各組の液適吐出ヘッドでは、ノズル周期Ｎの自然数倍が上記配列周期Ｐとなるように構成された各ノズル２７の位置が材料配列領域１１内の材料１２の予定位置の配列周期Ｐに同期するように配置されている。したがって、各組内において、隣接する液滴吐出ヘッド２２のヘッド間隔Ｇ１，Ｇ２はそれぞれ上記配列周期Ｐの自然数倍になるように構成される。より具体的には、上記ヘッド間隔Ｇ１，Ｇ２はそれぞれ上記配列周期Ｐと一致し、これにより、各組内の複数の液適吐出ヘッド２２のノズル列２８が相互に一体化し、走査方向Ｘから見て連続し、一体のノズル列が実質的に構成されるようになっている。
【００６９】
また、液滴吐出ヘッド２２の各組間の組配置周期Ｌは、材料配列領域１１の領域間隔Ｑと、材料配列領域１１の領域幅Ｒ（上記配列周期Ｐの自然数倍）との和に一致している。したがって、領域間隔Ｑが上記配列周期Ｐの自然数倍でなくても支障なく各材料配列領域１１内の所定位置に材料１２を配置することができる。
【００７０】
さらに、本実施形態においても、複数の液滴吐出ヘッド２２で構成される各組において、その組内に構成されるノズル全幅（上記組配置周期Ｌに相当する。）は、材料配列領域１１の領域幅Ｒよりも大きくなるように構成されている。これによって、上記第１実施形態と同様に、使用するノズルを限定することによる液滴吐出量のばらつきの低減、或いはまた、誤差分散方式による材料１２の量のばらつきの低減を図ることができる。
【００７１】
なお、上記第１実施形態では材料配列領域１１に対応する各組内に２つの液滴吐出ヘッド２２が属し、第２実施形態では３つの液滴吐出ヘッド２２が属しているが、本発明においては、各組には一つの液滴吐出ヘッド２２のみが属していてもよく、或いは、４以上の液滴吐出ヘッド２２が属していてもよい。すなわち、材料配列領域１１に対応する各組に属する液滴吐出ヘッド２２の数は任意の自然数であればよい。
【００７２】
［第３実施形態］
次に、図６を参照して、本発明に係る第３実施形態について説明する。この実施形態では、上記第１実施形態と同様の配列態様を有するヘッド列が構成されている。また、基板１０の各材料配列領域１１の配列態様、及び、ヘッド列と材料配列領域１１との相対的な位置関係についても第１実施形態と全く同様であるので、これらの説明は省略する。
【００７３】
本実施形態では、材料配列領域１１内に複数種類（図示例では３種）の材料１２Ｒ，１２Ｇ，１２Ｂが所定パターンにて配列されるところが上記第１実施形態とは異なる。これらの材料１２Ｒ，１２Ｂ，１２Ｂは、たとえば、後述するカラーフィルタの３種のフィルタエレメント材料に相当する。図示例では、各材料１２Ｒ，１２Ｇ，１２Ｂは走査方向Ｘに伸びるストライプ状に配列されている。したがって、一種の材料１２Ｒの予定位置は、送り方向Ｙに向けて複数個おき（図示例では３つおき）に配置されている。
【００７４】
この実施形態では、上記材料１２Ｒの送り方向Ｙの配列周期Ｐ×ｋ（ｋは自然数、図示例ではｋ＝３）に合わせて、液滴吐出ヘッド２２内の各ノズル２７のうち、所定数おき（図示例の場合にはｋ個おき（図示例では３））のノズル２７だけが液滴を吐出するように駆動される。なお、この図示例では、液滴吐出ヘッド２２のノズル周期は配列周期Ｐと一致するようになっているが、使用されるノズル２７のノズル周期はＮ＝ｋ×Ｐとなっている。もっとも、液滴吐出ヘッド２２の全てのノズル２７に関するノズル周期がｋ×Ｐと一致するように構成してあっても構わない。この場合には上記第１実施形態と全く同じ構成となる。
【００７５】
本実施形態では、他の材料１２Ｇ，１２Ｂについても、上記と同様にしてそれぞれ液滴吐出によって配置していく。すなわち、上記複数の材料１２Ｒ，１２Ｇ，１２Ｂに対応させて複数の材料を吐出する液滴吐出ヘッド２２を用意し、それぞれの液滴吐出ヘッド２２を備えたヘッド列によってそれぞれの材料を吐出し、配置していく。
【００７６】
この実施形態でも、各材料の種類別に考えた場合には上記第１実施形態と全く同様に把握することができ、同様の効果を奏する。また、第２実施形態に記載したように材料配列領域１１に対応する各組に属する液滴吐出ヘッド２２の数は任意の自然数であればよい。
【００７７】
［第４実施形態］
次に、図７を参照して、本発明に係る第４実施形態について説明する。この実施形態では、複数の液滴吐出ヘッド２２が送り方向Ｙに配列されてヘッド列を構成している点では上記各実施形態と同様であるが、各液滴吐出ヘッド２２のノズル列２８が送り方向Ｙに対して傾斜角度θにて傾斜している点で異なる。
【００７８】
この実施形態のヘッド列では、各液滴吐出ヘッド２２は、送り方向Ｙにほぼ一列に配列されている。これは、ヘッド列に属する隣接する液滴吐出ヘッド２２が走査方向Ｘから見て送り方向Ｙに重なってはいるが、傾斜角度θによって相互に干渉しないように配置できるからである。傾斜角度θが小さい場合に隣接する液滴吐出ヘッド２２が相互に干渉する場合には、上記各実施形態のように走査方向に相互に位置をずらして配置したり、送り方向Ｙに向けて千鳥状に配列させたりすればよい。
【００７９】
ここで、上記傾斜角度θは、液晶吐出ヘッド２２の送り方向Ｙに見たノズル周期Ｎの自然数倍が各材料１２の予定位置の配列周期Ｐに一致するように設定される。すなわち、ノズル列２８におけるノズルピッチをＮ０とすると、Ｐ＝ｍ×Ｎ＝ｍ×Ｎ０ｃｏｓθ（ｍは自然数、図示例ではｍ＝１）が成立するように設定される。このようにすると、傾斜角度θを調整することによって、ノズルピッチＮ０を変えることなく、種々の配列周期Ｐに対応できるようになる。
【００８０】
この実施形態でも、材料配列領域１１毎に液滴吐出ヘッド２２を位置決めして上記ヘッド列を構成してあるので、上記実施形態と同様の効果を得ることができる。すなわち、ヘッド列においては、材料配列領域１１に対応して設定された液滴吐出ヘッド２２の組内における隣接する液滴吐出ヘッド２２のヘッド間隔Ｇは上記ノズル周期Ｎ或いは配列周期Ｐの自然数倍（特に１倍）に一致するように構成される。また、各組の組配置周期Ｌは、材料配列領域１１の領域間隔Ｑと、領域幅Ｒとの和に一致するように構成されている。
【００８１】
［第５実施形態］
次に、図８を参照して、本発明に係る第５実施形態について説明する。この実施形態においては、上記第１実施形態と同様に構成されているので、各部の構造や配置についての説明を省略する。この実施形態では、本発明の液滴吐出方法に上記の誤差分散方式を採用したものである。すなわち、複数の液滴吐出ヘッド２２が配列されて成るヘッド列を、最初に図示Ａの位置で走査方向Ｘに走査し、その後、所定のノズル周期分（たとえばノズル１周期分）だけ送り方向Ｙに移動させて再び走査を行うといったことを繰り返し実施し、途中で図示Ｂの位置で走査を行い、最終的に図示Ｃの位置で走査を行う。これによって、液滴吐出ヘッド２２に設けられた複数のノズル２７間において液滴吐出量にばらつきがあったとしても、材料配列領域１１内において配列された材料１２間の量のばらつきを低減することができる。
【００８２】
この場合、上記の動作中における各走査において、走査方向Ｘに配列された列に属する全ての予定位置に対して液滴を吐出させてもよく、或いは、走査方向Ｘに配列された列に属する予定位置の一部に対してのみ液滴を吐出し、他の予定位置については別の走査時に液滴が吐出されるように構成してもよい。
【００８３】
本実施形態において、上記ノズル列に含まれる液滴吐出ヘッド２２の各組のノズル全幅（上記第１実施形態で説明した各組間の組配置周期Ｌに相当する）は、材料配列領域１１の領域幅Ｒよりも大きく構成されている。この点は、上記各実施形態も同様である。この実施形態では、意図的にノズル全幅を上記領域幅Ｒより大きく構成することにより、上記誤差分散方式における送り方向Ｙに各組毎に送り余裕を設けている。この送り余裕（ノズル２７の余裕数）によって誤差分散方式における送り方向Ｙのマージンが確保される。
【００８４】
［第６実施形態］
次に、図９を参照して本発明に係る第６実施形態について説明する。この実施形態では、基本的に複数の液滴吐出ヘッド２２が第１実施形態の配列態様と同様に配列され、第１実施形態と同様に基板１０の材料配列領域１１に対して位置決めされる。
【００８５】
この実施形態では、複数の液滴吐出ヘッド２２がキャリッジ２５にそれぞれ搭載されている。このキャリッジ２５には、各液滴吐出ヘッド２２を送り方向Ｙに移動させるための案内路２５ａが設けられている。また、液滴吐出ヘッド２２には、案内路２５ａに沿って摺動可能で、かつ、案内路２５ａの任意の位置に固定可能に構成された位置決め固定手段２２ａが設けられている。この位置決め固定手段２２ａは、たとえば、ラック状の歯を設けた案内路２５ａに噛合する歯車を有し、この歯車が電動モータ等の適宜の駆動源によって回転駆動されるように構成できる。上記歯車を回転駆動させると液滴吐出ヘッド２２は送り方向Ｙの前後いずれかに向けて移動し、上記歯車を停止させると液滴吐出ヘッド２２は固定される。もちろん、駆動源を用いることなく、手動で液滴吐出ヘッド２２の位置を変え、適宜の位置で固定できるように構成してもよい。
【００８６】
上記の各液滴吐出ヘッド２２の位置は、上記の中央処理部６９及び情報記録媒体７１などで構成される制御部によって制御される。中央処理部６９は、情報記録媒体７１などに記録されたパラメータ、或いは、入力装置６７から入力されたバラメータなどに基づいて各液滴吐出ヘッド２２の位置情報（すなわち、第１実施形態において説明したヘッド列内の相対位置など）を算出し、当該位置情報に基づいて入出力インターフェース７３及びバス７４を介して上記位置決め固定手段２２ａを駆動する。
【００８７】
上記のように構成することによって、基板１０の材料配列領域１１の配列態様（たとえば上述の領域間隔Ｑや領域幅Ｒなど）や各材料配列領域１１内の材料１２の予定位置のパターン態様（たとえば配列周期Ｐなど）を任意に設定することができ、また、任意に設定された上記基板１０に対して液滴吐出装置１６において柔軟に対応することができる。たとえば、図９に示したところでは、材料形成領域１１の領域幅Ｐ１〜Ｐ３、領域間隔Ｑ１〜Ｑ２がそれぞれどのように設定されていても、これに対応させて、組配置周期Ｌ１〜Ｌ３、ヘッド間隔Ｇ１〜Ｇ５を適宜に設定することにより、材料配列領域１１毎に１又は複数の液滴吐出ヘッド２２の組を位置決めすることができる。
【００８８】
なお、本実施形態では２本の案内路２５ａ，２５ａが形成され、これらの２本の案内路２５ａに沿って複数の液滴吐出ヘッド２２が２列に配置されるように構成されている。その結果、本実施形態では液滴吐出ヘッド２２を千鳥状に配列することができる。
【００８９】
［第７実施形態］
次に、図１０を参照して、本発明に係る第７実施形態について説明する。この実施形態では、第６実施形態のヘッド構成の代わりに用いることのできるヘッド構造を示す。このヘッド構成においては、キャリッジ２５に対して複数の液滴吐出ヘッド２２が移動可能に取り付けられている点では上記第６実施形態と同様である。すなわち、案内路２５ａに沿って複数液滴吐出ヘッド２２が移動可能に構成されている。しかしながら、本実施形態では、液滴吐出ヘッド２２がそれぞれの中心軸周りに回転可能に構成されている。より具体的には、液滴吐出ヘッド２２には、位置決め固定手段として、案内路２５ａに沿って液滴吐出ヘッド２２を移動可能に構成する並進位置決め手段２２Ａと、この並進位置決め手段２２Ａに対して液滴吐出ヘッド２２を回転可能に構成する回転位置決め手段２２Ｂとを備えている。
【００９０】
本実施形態では、上記のように各液滴吐出ヘッド２２が回転可能に構成されているため、上記傾斜角度θを任意に設定できるように構成されている。この傾斜角度θについても、上記第６実施形態と同様に、制御部によって基板１０の構成態様に応じて設定されるように構成されている。したがって、この構成によれば、上記第４実施形態（図７参照）のようなヘッド列を自動的に設定することができる。
【００９１】
なお、この実施形態では、複数の液滴吐出ヘッド２２の相互位置関係、すなわち、隣接する液滴吐出ヘッド２２の間隔Ｓ１〜Ｓ４を任意に設定できる。したがって、一つの材料配列領域１１に対応する組に属する液滴吐出ヘッド２２の数も基板１０の配列態様に応じて任意に設定できる。
【００９２】
［カラーフィルタの製造方法］
次に、本発明に係る第８実施形態としてカラーフィルタの製造方法について説明する。この実施形態は、上記の第１実施形態乃至第７実施形態のいずれか一つを用いたものであるが、以下の説明においては、カラーフィルタの製造方法に特有の部分について主に説明する。
【００９３】
図１４には、カラーフィルタ１の製造方法を工程順に模式的に示す。まず、図１４（ａ）に示すように、基板１０の表面に、透光性を有しない樹脂材料によって、矢印Ｂ方向から見て格子状パターンが構成されるように隔壁６を形成する。この格子状パターンにおける格子穴に相当する部分は、フィルタエレメント３が形成されるべき材料配置領域（上記材料１２の予定位置に相当する。）、すなわちフィルタエレメント形成領域７である。このフィルタエレメント形成領域７は、たとえば、３０μｍ×１００μｍ程度の大きさとなるように構成される。
【００９４】
ここで、隔壁６は、フィルタエレメント形成領域７に供給される液状物としてのフィルタエレメント材料１３の流動を阻止する機能、およびブラックマスクの機能を併せて有する。隔壁６を精度良く作成するとともに、その機械的強度を高めるために、例えば、フォトリソグラフィー法を用いて形成するとともに、必要に応じてヒータやオーブン等を用いて加熱して熱硬化等させる。
【００９５】
次いで、図１４（ｂ）に示すように、ＲＧＢドットあるいはＹＭＣドット等に対応したフィルタエレメント材料１３をそれぞれに対応した上記液滴吐出ヘッド２２の各ノズル２７から順次に吐出させる。すなわち、ＲＧＢドットあるいはＹＭＣドット等に対応したフィルタエレメント材料１３の液滴８を、フィルタエレメント形成領域７に供給し、各フィルタエレメント形成領域７をフィルタエレメント材料１３で埋める。
【００９６】
次いで、ヒータによってマザー基板１０を例えば７０℃程度に加熱することにより、各フィルタエレメント形成領域７に充填された所定量のフィルタエレメント材料１３の溶媒を揮発させる。この溶媒の蒸発により、図１４（ｃ）に示すようにフィルタエレメント材料１３は固化する。このとき、フィルタエレメント材料１３の体積が減少して表面が平坦化した状態になる。一方、液滴吐出ヘッド２２により吐出されるフィルタエレメント材料１３が固化するときに体積の減少が激しい場合には、カラーフィルタ１として十分な膜厚が得られるまで、フィルタエレメント材料１３の液滴８の供給とその液滴８の加熱とを繰り返して実行することが好ましい。例えば、図１４においては、フィルタエレメント形成領域７に対する液滴８の吐出が複数回（たとえば３回）繰り返されることが例示されている。
【００９７】
次いで、形成したフィルタエレメント３を完全に乾燥させるために、所定の温度で所定時間の加熱処理を実行する。その後、さらにスピンコート法、ロールコート法、ディッピング法、またはインクジェット法などといった公知の手法を用いて、図１４（ｄ）に示すように、保護膜４を形成する。この保護膜４は、フィルタエレメント３などの保護、およびカラーフィルタ１の表面における平坦化のために形成される。
【００９８】
上記のようにして形成されたカラーフィルタ１は、ガラス、プラスチックなどによって形成された方形状の基板１０の表面に、複数のフィルタエレメント３をドットパターン状、本実施の形態ではドットマトリックス状に形成してある。ここで、フィルタエレメント３は、透光性を有しない樹脂材料を用いて格子状パターンに形成された隔壁６によって区画されているとともに、ドットマトリックス状に並んだ複数の方形状の領域を、フィルタエレメント材料（カラーフィルタ用材料）で埋めることによって形成してある。また、これらのフィルタエレメント３は、それぞれが、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のうちのいずれか１色、あるいはＹ（黄）、Ｍ（マゼンダ）、Ｃ（シアン）のうちのいずれか１色のフィルタエレメント材料によって形成され、それらの各色のフィルタエレメント３が、所定の配列に並べられている。
【００９９】
このようなフィルタエレメント３の配列態様の例としては、例えば、図２３（ａ）に示すように、マトリクスの縦列が全て同色になるストライプ配列、図２３（ｂ）に示すように、縦横の直線上に並んだ任意の３つのフィルタエレメント３がＲＧＢ画素からなる３色の配色である（斜め）モザイク配列、図２３（ｃ）に示すような、フィルタエレメント３の配置を段違いにし、任意の隣接する３つのフィルタエレメント３が、ＲＧＢ画素あるいはＹＭＣ画素からなるデルタ配列などが挙げられる。
【０１００】
また、上記カラーフィルタ１の大きさについては特に制限されるものではないが、例えば、対角線の長さが１．８インチ（４．５７ｃｍ）の長方形とする。また、１個のフィルタエレメント３の大きさについても特に制限されるものではないが、例えば、横１０μｍ〜１００μｍ、縦５０μｍ〜２００μｍの長方形とすることができる。そして、各フィルタエレメント３の間の間隔、いわゆるエレメント間ピッチを例えば、５０μｍや７５μｍとすることができる。
【０１０１】
ここで、上記のカラーフィルタ１を液晶表示装置等においてフルカラー表示のための光学要素として用いる場合には、ＲＧＢあるいはＹＭＣに対応した３個のフィルタエレメント３を１つの画素として構成することが好ましい。そして、１画素内のＲＧＢあるいはＹＭＣの３つの表示ドットの光学状態を制御することにより、エレクトロルミネッセンス装置やプラズマディスプレイパネルなどの自己発光型の装置においてはそのままで、或いは、液晶表示装置等の自己非発光型の装置においてはバックライト光や外光などの適宜の光源から発せられた光を用いることにより、それぞれフルカラー表示を行うことが可能になる。
【０１０２】
なお、上記の隔壁６を、透光性を実質的に有していない樹脂材料によって形成することにより、この隔壁６をブラックマスク（遮光層或いは遮光部材）として作用させることができるので、混色を防止したり、コントラストを向上させたりすることができる。
【０１０３】
上述したカラーフィルタ１は、大判の基板１０上に複数配列されるカラーフィルタ形成領域１１（上記各実施形態における材料配列領域１１に相当し、各フィルタエレメント３は上記の材料１２に相当する。）によって構成される。これにより、製造コストが安く、経済的に有利となる。より具体的には、基板１０内に設定された複数のカラーフィルタ形成領域１１において、それぞれの表面にカラーフィルタ１の１個分のパターンを形成する。次いで、カラーフィルタ形成領域１１の周りに切断用の溝を形成し、それらの溝に沿って基板１０を切断する。これにより、個々の基板２（図１４（ａ）参照。）上にカラーフィルタ１が形成されてなるカラーフィルタ基板が形成される。
【０１０４】
［カラーフィルタを備えた表示装置］
次に、上記のようにして形成されたカラーフィルタを用いて構成した液晶表示装置について説明する。液晶表示装置の構成や製造方法は、公知の一般的な内容とすることができるが、一例として、図１５に示す液晶表示装置１７０を構成することができる。この液晶表示装置１７０は、下方から、第１の偏向板１７５、第１の基板１７４、反射膜（半透過反射膜）１８２、第１の電極１８１、第１の配向板１８０、液晶１７９、第２の配向板１７８、第２の電極１７７、カラーフィルタ１７６、第２の基板１７２、第１の偏向板１７１を順次積層した構造を有する。ここで、第１の基板１７４と第２の基板１７２とはシール材１７３で所定間隔をもって貼り合わされ、その間に配置された液晶１７９がシール材１７３によって封入された状態となっている。
【０１０５】
この液晶表示装置１７０においては、その周辺位置（たとえば第１の基板１７４上に搭載されたドライバＩＣ１８３により上記第１の電極１８１と第２の電極１７７にそれぞれ所定電位が供給され、これによって液晶１７９に所定電圧が印加されることにより、各表示ドット毎にその光学状態を制御することができる。そして、上述のカラーフィルタを介することによってフルカラー表示が可能になる。ここで、図１５の図示例では、単純マトリックスのパッシブ方式のパネル構造を前提として示してあるが、ＴＦＤ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｄｉｏｄｅ）素子をスイッチング素子としたアクティブ方式や、ＴＦＴ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）素子をスイッチング素子としたアクティブ方式等のパネル構造を設けてもよい。また、液晶表示装置としては、図示例のように、第１の偏向板１７５の下方に配置された導光板１８６及び光源１８７で構成されるバックライトを設けた反射半透過型構造とすることができるが、透過型構造として構成してもよく、さらには、バックライトを有しない反射型構造としても構わない。
【０１０６】
［エレクトロルミネッセンス装置の製造方法］
次に、アクティブマトリックス型のエレクトロルミネッセンス表示装置を製造する工程手順について説明する。このエレクトロルミネッセンス装置は、図１６に示すように、駆動回路１０７，１０８から供給される電位に基づいて駆動されるパネル構造を有する。
【０１０７】
まず、図１７（Ａ）に示すように、透明ガラス等で構成される表示基板１０２に対して、テトラエトキシシラン（ｔｅｔｒａｅｔｈｏｘｙｓｉｌａｎｅ：ＴＥＯＳ）や酸素ガスなどを原料ガスとしてプラズマＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法により、シリコン酸化膜からなる下地保護膜（図示せず。）を形成する。この際、下地保護膜の厚さを約２、０００〜５、０００オングストロームの範囲内の値とすることが好ましい。
【０１０８】
次いで、表示基板１０２の温度を約３５０°に設定し、下地保護膜の表面にプラズマＣＶＤ法により、非晶質のシリコン膜である半導体膜１２０ａを形成する。その際、シリコン膜の厚さを約３００〜７００オングストロームの範囲内の値とすることが好ましい。この後、半導体膜１２０ａに対して、レーザアニールまたは固相成長法などの結晶化工程を実施し、半導体膜１２０ａをポリシリコン膜に結晶化することが好ましい。
【０１０９】
次いで、図１７（Ｂ）に示すように、半導体膜１２０ａをパターニングして、島状の半導体膜１２０ｂを形成する。そして、半導体膜１２０ｂが設けられた表示基板１０２の表面に、ＴＥＯＳや酸素ガスなどを原料ガスとして、プラズマＣＶＤ法により、シリコン酸化膜あるいは窒化膜からなるゲート絶縁膜１２１ａを形成する。その際、ゲート絶縁膜の厚さを約６００〜１５００オングストロームの範囲内の値とすることが好ましい。なお、半導体膜１２０ｂは、図１６に示すカレント薄膜トランジスタ１１０のチャネル領域およびソース・ドレイン領域となるものであるが、異なる断面位置においては、スイッチング薄膜トランジスタ１０９のチャネル領域およびソース・ドレイン領域となる図示しない半導体膜も形成されている。すなわち、図１７に示す製造工程では二種類のスイッチング薄膜トランジスタ１０９およびカレント薄膜トランジスタ１１０が同時に形成される。ただし、これらのトランジスタは同じ手順で形成されるため、以下の説明では、カレント薄膜トランジスタ１１０についてのみ説明し、スイッチング薄膜トランジスタ１０９については説明を省略する。
【０１１０】
次いで、図１７（Ｃ）に示すように、アルミニウムやタンタル等の導電膜をスパッタ法により形成し、その後にパターニングして、ゲート電極１１０Ａを形成する。この状態で、不純物、例えば、高温度のリンイオンを注入し、半導体膜１２０ｂにゲート電極１１０Ａに対して自己整合的にソース・ドレイン領域１１０ａ，１１０ｂを形成する。なお、半導体膜１２０ｂのうち不純物が導入されなかった部分が、チャネル領域１１０ｃとなる。
【０１１１】
次いで、図１７（Ｄ）に示すように、層間絶縁膜１２２を形成した後、コンタクトホール１２３，１２４を形成し、これらコンタクトホール１２３，１２４内に中継電極１２６，１２７を埋め込み形成する。さらに、図１７（Ｅ）に示すように、層間絶縁膜１２２上に、信号線１０４、共通給電線１０５および走査線１０３（図１７中には図示しないので、図１６を参照）を形成する。そして、各配線の上面を覆うように層間絶縁膜１３０を形成し、中継電極１２６に対応する位置にコンタクトホール１３２を形成する。さらに、このコンタクトホール１３２内を埋めるようにＩＴＯ膜を形成した後、このＩＴＯ膜をパターニングして、信号線１０４、共通給電線１０５および走査線１０３に囲まれた所定位置に、ソース・ドレイン領域１１０ａに電気的に接続する画素電極１１１を形成する。
【０１１２】
次いで、図１８（Ａ）に示すように、前処理が実施された表示基板１０２に、複数のエレクトロルミネッセンス材料を吐出する。すなわち、複数のエレクトロルミネッセンス材料をそれぞれに対応した液滴吐出ヘッド２２のノズル２７から順次に吐出させる。より具体的には、図１８（Ａ）に示すように、前処理が実施された表示基板１０２の上面を上方に向けた状態で、エレクトロルミネッセンス材料１４０Ａ、例えば、ポリフェニレンビニレン、１，１−ビス−（４−Ｎ，Ｎ−ジトリルアミノフェニル）シクロヘキサン、トリス（８−ヒドロキシキノリノール）アルミニウム等を、液状物として吐出し、段差１３５で囲まれた領域内に選択的に塗布する。ここで、このエレクトロルミネッセンス材料１４０Ａは、この領域に形成される発光素子の下層部分に当たる後述する正孔注入層１１３Ａを形成するための材料である。かかるエレクトロルミネッセンス材料１４０Ａは、機能性液状体として、溶媒に溶かされた状態の前駆体であることが好ましい。
【０１１３】
次いで、図１８（Ｂ）に示すように、加熱あるいは光照射等を実施することにより、エレクトロルミネッセンス材料１４０Ａに含まれる溶媒を蒸発させ、画素電極１１１上に固形の薄い正孔注入層１１３Ａを形成する。そして、図１８（Ａ），（Ｂ）を必要回数繰り返し、図１８（Ｃ）に示すように、十分な厚さ寸法の正孔注入層１１３Ａを形成する。
【０１１４】
次いで、図１９（Ａ）に示すように、表示基板１０２の上面を上に向けた状態で、エレクトロルミネッセンス材料１４０Ｂ、例えば、シアノポリフェニレンビニレン、ポリフェニレンビニレン、ポリアルキルフェニレンを、インクジェット方式により吐出し、これを段差１３５で囲まれた領域内に選択的に塗布する。ここで、このエレクトロルミネッセンス材料１４０Ｂは、この領域に形成される発光素子の上層部分に相当する後述する有機半導体膜１１３Ｂを形成するための材料である。なお、かかるエレクトロルミネッセンス材料１４０Ｂは、機能性液状体として、溶媒に溶かされた状態の有機蛍光材料であることが好ましい。
【０１１５】
次いで、図１９（Ｂ）に示すように、加熱あるいは光照射等を実施することにより、エレクトロルミネッセンス材料１４０Ｂに含まれる溶媒を蒸発させ、正孔注入層１１３Ａ上に、固形の薄い有機半導体膜１１３Ｂを形成する。なお、図１９（Ａ）、（Ｂ）に示す操作を複数回繰り返し、図１９（Ｃ）に示すように、十分な厚さを有する有機半導体膜１１３Ｂを形成する。そして、上記の正孔注入層１１３Ａおよびこの有機半導体膜１１３Ｂによってエレクトロルミネッセンス発光素子１１３が構成される。
【０１１６】
最後に、図１９（Ｄ）に示すように、表示基板１０２の表面全体、若しくはストライプ状に反射電極（対向電極）１１２を形成する。すなわち、このように反射電極を形成することにより、サンドイッチ構造のエレクトロルミネッセンス装置を製造することができる。
【０１１７】
上記のエレクトロルミネッセンス装置としては、上記発光素子１１３の材料を相互に変えることにより形成された、ＲＧＢ画素あるいはＹＭＣ画素に対応した発光特性をそれぞれ有する３種類の発光画素を適宜のパターンで形成したものが挙げられる。また、上記発光素子１１３が白色光を発光するものとして構成され、この発光素子と平面的に重なるフィルタエレメントを有するように上記のカラーフィルタ１を備えたものであってもよい。また、駆動構造（方式）としては、画素毎に発光層に流す電流を制御するトランジスタを備えたアクティブマトリックス型構造、あるいはパッシブマトリックス型構造のいずれの構成にも適用することができる。
【０１１８】
［プラズマディスプレイパネルの製造方法］
図２０は、プラズマディスプレイパネル４００の１表示ドットを示す概略拡大断面図である。ここで、ガラスなどで構成されるバック基板４０１上に、金属で構成されるアドレス電極４１１が形成され、このアドレス電極４１１上に誘電体層４１９が形成される。誘電体層４１９上には隔壁４１５がストライプ状に構成される。この隔壁４１５はフォトリソグラフィー法などによって形成できる。そして、この隔壁４１５によって画成された領域に、上記液滴吐出ヘッド２２によって蛍光物質を溶媒中に分散させてなる液状物を吐出し、この液状物を硬化させることによって蛍光体４１７を形成する。
【０１１９】
一方、ガラス等で構成される表示基板４０２上には表示電極４１２が形成される。その上には塗布及び焼成工程により誘電体ガラスで構成される誘電体層４１３が形成される。さらに、蒸着法などによってＭｇＯなどで構成される保護膜４１４が形成される。そして、保護膜４１４側を上記基板４０１側に向けた姿勢で、バック基板４０１と表示基板４０２とをその周囲に低誘電ガラスを封着材として塗布した後、重ね合わせて焼成することによって封着し、さらに内部を真空引きした後、希ガスを封入することによって、放電室４１６が形成される。
【０１２０】
この製造方法では、液滴吐出ヘッド２２を用いた上記実施形態の方法によって液状物として配置させ、乾燥・硬化させることにより上記の蛍光体４１７を形成できるため、蛍光体量のばらつきの少ない良質の表示体を構成できる。
【０１２１】
図２１は、上記とは異なるプラズマディスプレイパネル５００の分解斜視図を示し、図２２は、本実施形態のプラズマディスプレイパネル５００の基本概念図を示す。本実施形態のプラズマディスプレイパネル５００は、カラーフィルタ１として先の第３の実施形態で説明したカラーフィルタ１と同等のものを備えており、このカラーフィルタ１を観察側に配置して構成されている。すなわち、このカラーフィルタ１は、基板２、フィルタエレメント（着色層）３、隔壁６、及び、保護層４を備えている。
【０１２２】
プラズマディスプレイパネル５００は、互いに対向して配置されたガラス基板５０１と上記のカラーフィルタ１と、これらの間に形成された放電表示部５１０とから概略構成される。放電表示部５１０は、複数の放電室５１６が集合されてなり、複数の放電室５１６のうち、３つの放電室５１６が対になって１画素を構成するように配置されている。従って、先のカラーフィルタ１の各フィルタエレメント３（３Ｒ，３Ｇ，３Ｂ）にそれぞれ対応するように各放電室５１６が設けられる。
【０１２３】
前記（ガラス）基板５０１の上面には所定の間隔でストライプ状にアドレス電極５１１が形成され、それらアドレス電極５１１と基板５０１の上面とを覆うように誘電体層５１９が形成され、更に、誘電体層５１９上においてアドレス電極５１１、５１１間に位置して各アドレス電極５１１に沿うように隔壁５１５が形成される。なお、隔壁５１５においてはその長手方向の所定位置においてアドレス電極５１１と直交する方向にも所定の間隔で仕切られており（図示略）、基本的にはアドレス電極５１１の幅方向左右両側に隣接する隔壁と、アドレス電極５１１と直交する方向に延設された隔壁により仕切られる長方形状の領域が形成され、これら長方形状の領域に対応するように放電室５１６が形成され、これら長方形状の領域が３つ対になって１画素が構成される。また、隔壁５１５で区画される長方形状の領域の内側には蛍光体５１７が形成されている。
【０１２４】
次に、カラーフィルタ１側には、先のアドレス電極５１１と直交する方向に複数の表示電極５１２がストライプ状に所定の間隔で形成され、これらを覆って誘電体層５１３が形成され、更に、ＭｇＯなどからなる保護膜５１４が形成されている。なお、図２２では、図示の都合上、表示電極５１２の延長方向が実際と相違している。前記基板５０１とカラーフィルタ１の基板２は、前記アドレス電極５１１…と表示電極５１２…を互いに直交させるように対向させて相互に貼り合わされ、基板５０１と隔壁５１５とカラーフィルタ１側に形成されている保護膜５１４とで囲まれる空間部分を排気して希ガスを封入することで放電室５１６が形成されている。なお、カラーフィルタ１側に形成される表示電極５１２は各放電室５１６に対して２本ずつ配置されるように形成されている。
【０１２５】
アドレス電極５１１と表示電極５１２は図示略の交流電源に接続され、各電極に通電することで必要な位置の放電表示部５１０において蛍光体を励起発光させて白色発光させ、この発光をカラーフィルタ１を介して見ることでカラー表示ができるようになっている。
【０１２６】
［電子機器］
最後に、図２５及び図２６を参照して、本発明に係る電子機器の実施形態について説明する。この実施形態では、上記の液晶表示装置１７０を表示手段として備えた電子機器について説明する。図２５は、本実施形態の電子機器における液晶表示装置１７０に対する制御系（表示制御系）の全体構成を示す概略構成図である。ここに示す電子機器は、表示情報出力源２９１と、表示情報処理回路２９２と、電源回路２９３と、タイミングジェネレータ２９４とを含む表示制御回路２９０を有する。また、上記と同様の液晶表示装置１７０には、表示領域１７０Ａを駆動する駆動回路１７０Ｂが設けられている。この駆動回路１７０Ｂは、通常、液晶パネルに直接実装されている半導体ＩＣチップ、パネル表面上に形成された回路パターン、或いは、液晶パネルに導電接続された回路基板に実装された半導体ＩＣチップ若しくは回路パターンなどによって構成される。
【０１２７】
表示情報出力源２９１は、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）やＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）等からなるメモリと、磁気記録ディスクや光記録ディスク等からなるストレージユニットと、デジタル画像信号を同調出力する同調回路とを備え、タイミングジェネレータ２９４によって生成された各種のクロック信号に基づいて、所定フォーマットの画像信号等の形で表示情報を表示情報処理回路２９２に供給するように構成されている。
【０１２８】
表示情報処理回路２９２は、シリアル−パラレル変換回路、増幅・反転回路、ローテーション回路、ガンマ補正回路、クランプ回路等の周知の各種回路を備え、入力した表示情報の処理を実行して、その画像情報をクロック信号ＣＬＫと共に駆動回路１７０Ｂへ供給する。駆動回路１７０Ｂは、走査線駆動回路、信号線駆動回路及び検査回路を含む。また、電源回路２９３は、上述の各構成要素にそれぞれ所定の電圧を供給する。
【０１２９】
図２６は、本発明に係る電子機器の一実施形態である携帯電話の外観を示す。この電子機器１０００は、操作部１００１と、表示部１００２とを有し、表示部１００２の内部に回路基板１１００が配置されている。回路基板１１００上には上記の液晶表示装置１７０が実装されている。そして、表示部１００２の表面において上記表示領域１７０Ａを視認できるように構成されている。
【０１３０】
以上説明した本実施形態では、液晶表示装置１７０を実装した電子機器について説明したが、上記と同様の構成により、エレクトロルミネッセンス装置やプラズマディスプレイパネルを表示駆動することもでき、これによって、これらの各種表示装置を搭載した各種の電子機器を構成することができる。
【０１３１】
［他の実施の形態］
以上、好ましい実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記の第１〜７実施形態及びその適用例に限定されるものではなく、以下に示すような変形例をも含み、本発明の目的を達成できる範囲で、他のいずれの具体的な構造および形状を有する実施の形態も提供することができる。
【０１３２】
すなわち、本発明の吐出方法等が適用されるのは、上述したカラーフィルタ及びその製造装置、カラーフィルタを備えた液晶表示装置及びその製造装置、エレクトロルミネッセンス装置及びその製造装置、あるいは、プラズマ型表示装置及びその製造装置に限定されるものではなく、ＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｄｉｓｐｌａｙ：フィールドエミッションディスプレイ）、電気泳動装置、薄型ブラウン管、ＣＲＴ（Ｃａｔｈｏｄｅ−Ｒａｙ Ｔｕｂｅ）など様々な電気光学装置に用いることができる。
【０１３３】
また、本発明の吐出方法等は、電気光学装置に含まれる各種基板の製造工程においても用いることができる。例えば、プリント回路基板の電気配線を形成するために、液状金属や導電性材料などを吐出して金属配線を形成する製造工程、微細なマイクロレンズを形成する製造工程、基板上に塗布するレジストを必要な部分だけに塗布する工程、透光性基板などに光を散乱させる凸部や微小白パターンなどを形成する製造工程、ＤＮＡ（ｄｅｏｘｙｒｉｂｏｎｕｃｌｅｉｃ ａｃｉｄ：デオキシリボ核酸）チップ上にマトリクス配列するスパイクスポットにＲＮＡ（ｒｉｂｏｎｕｃｌｅｉｃ ａｃｉｄ：リボ核酸）を吐出して蛍光標識プローブを作成する製造工程、基板に区画されたドット状の位置に、試料や抗体、ＤＮＡ（ｄｅｏｘｙｒｉｂｏｎｕｃｌｅｉｃ ａｃｉｄ：デオキシリボ核酸）などを吐出してバイオチップを形成する製造工程にも利用できる。
【０１３４】
本発明によれば、複数の液状物を複数の液滴吐出ヘッドで構成されるそれぞれのノズル列から吐出することによって、基板上に任意の配列態様で材料配列領域が設定されていても対応することができることから、材料配列領域の配列設計の自由度が向上し、製造効率を高めることができる。これにより、カラーフィルタ、それを用いた液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス装置、および発光媒体の厚さが均一なプラズマディスプレイパネル等を効率的に提供することが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】液滴吐出ヘッドの内部構造を示す概略斜視図（ａ）及び断面図（ｂ）。
【図２】液滴吐出ヘッドの外観及びノズル列を示す説明図。
【図３】異なる液滴吐出ヘッドの説明図。
【図４】第１実施形態の説明図。
【図５】第２実施形態の説明図。
【図６】第３実施形態の説明図。
【図７】第４実施形態の説明図。
【図８】第５実施形態の説明図。
【図９】第６実施形態の説明図。
【図１０】第７実施形態のヘッド列構成を示す概略斜視図。
【図１１】液滴吐出装置の主要部を示す概略斜視図。
【図１２】液滴吐出装置の走査方法を示す説明図。
【図１３】液滴吐出装置の構成ブロック図。
【図１４】カラーフィルタの製造工程を示す工程断面図（ａ）〜（ｄ）。
【図１５】液晶表示装置の構成例を示す概略断面図。
【図１６】エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）装置の等価回路図。
【図１７】ＥＬ装置の製造工程を示す工程断面図（Ａ）〜（Ｅ）。
【図１８】ＥＬ装置の製造工程を示す工程断面図（Ａ）〜（Ｃ）。
【図１９】ＥＬ装置の製造工程を示す工程断面図（Ａ）〜（Ｄ）。
【図２０】プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）の表示ドットを示す拡大断面図。
【図２１】別のＰＤＰの分解斜視図。
【図２２】図２１に示すＰＤＰの拡大断面図。
【図２３】カラーフィルタの配列パターンを示すパターン図（ａ）〜（ｃ）。
【図２４】従来の液滴吐出ヘッドを用いた方法を適用する対象物である基板の平面構成図（ａ）、液滴吐出ヘッドの動作を示す説明図（ｂ）及び液滴吐出ヘッドのノズル構成を示す平面図（ｃ）。
【図２５】実施形態の電子機器の表示制御系の構成を示す概略構成ブロック図。
【図２６】電子機器の外観を示す概略斜視図。
【符号の説明】
１…カラーフィルタ、８…液滴、１０…基板、１１…材料配列領域（カラーフィルタ形成領域）、１２…材料、１６…液滴吐出装置、２２…液滴吐出ヘッド、２５…キャリッジ、２７…ノズル、２８…ノズル列、Ｐ…配列周期、Ｑ…領域間隔、Ｒ…領域幅、Ｎ…ノズル周期、Ｌ…組配置周期、Ｇ…ヘッド間隔、１７０…液晶表示装置、１７０Ａ…表示領域、１７０Ｂ…駆動回路、２９０…表示制御回路、１０００…電子機器[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a method for discharging a liquid material, a device for discharging a liquid material, a method for manufacturing a color filter and a color filter, a liquid crystal display device, a method for manufacturing an electroluminescent device and an electroluminescent device, a method for manufacturing a plasma display panel, and a plasma display. More particularly, the present invention relates to a liquid material discharging method, a liquid material discharging apparatus, and a color filter used when forming a plurality of material arrangement regions in which materials are arranged in a predetermined pattern on a substrate. And a color filter, a liquid crystal display device, a method of manufacturing an electroluminescence device and an electroluminescence device, and a method of manufacturing a plasma display panel and a plasma display panel.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art In recent years, electro-optical devices, for example, liquid crystal devices (hereinafter, may be referred to as LCDs) and electroluminescent devices (hereinafter, may be referred to as EL devices) are used in display units of electronic devices such as mobile phones and portable computers. ), A display device such as a plasma display panel (hereinafter, sometimes referred to as a PDP) is widely used, or is being intensively developed for adoption in a wide range of fields.
[0003]
Most of these display devices are color display devices capable of full-color display. For example, in an LCD, full-color display is achieved by passing light modulated by a liquid crystal layer through a color filter arranged on a traveling surface. You. In this color filter, for example, dot-shaped filter element materials corresponding to R (red), G (green), and B (blue) are regularly arranged in a predetermined arrangement on a surface of a glass substrate or a plastic substrate. It is constituted by.
[0004]
Generally, photolithography is used to manufacture the above color filters.However, the manufacturing process is complicated, or a large amount of color filter material or photoresist corresponding to each color is consumed. Therefore, the problem that the manufacturing cost is high and the environmental load is large was found.
[0005]
Therefore, in order to solve such manufacturing problems and environmental problems, a method of manufacturing a filter element of a color filter by a so-called inkjet method has been proposed. For example, FIG. 24 illustrates a method for manufacturing a color filter using an inkjet method in a manufacturing process of a liquid crystal display device. On the motherboard 301 shown in FIG. 24A, a plurality of panel scheduled areas 302 are set in a state of being arranged vertically and horizontally in a matrix. These scheduled panel regions 302 serve as components of one liquid crystal display device. As shown in FIG. 24B, a plurality of filter elements 303 are vertically and horizontally arranged in a matrix in the panel scheduled area 302. In this case, as shown in FIG. 24C, a droplet discharge head 306 having a nozzle row 305 in which a large number of nozzles 304 are arranged is used. As shown in FIG. 24B, the droplet discharge head 306 scans over the motherboard 301 in the manner shown by arrows A1 and A2, and discharges the filter element material as droplets from the nozzle 304 during this scan. In this way, the filter elements 303 arranged in a predetermined pattern are arranged at predetermined positions in the panel scheduled area 302.
[0006]
In the process of manufacturing a color filter using the inkjet method as described above, the most basic method is to discharge a large number of droplets while scanning the droplet discharge head 306 along the illustrated arrow A1, and then drop the droplets. The scanning operation and the feeding operation are alternately repeated so that the ejection head 306 is sent to the position shown by the dotted line in the drawing and a large number of droplets are ejected while scanning along the arrow A2 in the drawing again. It is a method of forming. However, such a method requires an extremely large amount of time to form all the filter elements 303 for all the planned panel regions 302 on the motherboard 301.
[0007]
Therefore, a plurality of droplet discharge heads 306 are arranged in the feed direction (horizontal direction in the drawing), and the plurality of droplet discharge heads 306 discharge droplets at a time over a wide area while scanning in the scanning direction in parallel. A method has been devised (see Patent Documents 1 and 2 below). In this method, a plurality of droplet discharge heads are mounted on a carriage (supporting means), and scanning of the carriage causes droplets to be discharged in parallel from the plurality of droplet discharge heads. A color filter can be formed on the substrate.
[0008]
[Patent Document 1]
JP 2002-273868 A
[Patent Document 2]
JP 2002-273869 A
[0009]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the above-described conventional method for manufacturing a color filter, the nozzle rows provided in the plurality of droplet discharge heads are arranged so as to constitute one continuous nozzle row, so that the nozzle rows are collectively over a wider range. Since the configuration is such that droplets can be ejected, restrictions are imposed on the arrangement of the scheduled panel area 302 of the motherboard 301. That is, as shown in FIG. 24B, it is necessary to configure so that a natural number times the arrangement period P of the filter elements 303 in the panel scheduled area 302 becomes the area interval Q between the adjacent panel scheduled areas 302. there were. This requires that the nozzle period of each droplet discharge nozzle 306 match the array period P of the filter element 303, but usually, the width of one panel scheduled area 303 is covered by one droplet discharge head 306 at a time. Therefore, the distance between the adjacent droplet discharge heads 306 is set so that the nozzle cycle over the plurality of droplet discharge heads is constant (that is, the nozzle rows 305 of each droplet discharge head 306 are mutually continuous). To make adjustments).
[0010]
Since the space Q between the planned panel regions 302 on the motherboard 301 is restricted as described above, the plurality of planned panel regions 302 cannot be efficiently arranged on the motherboard 301. As a result, the number of liquid crystal display panels that can be manufactured from one motherboard 301 is reduced, or other processes such as a process of dividing the substrate 301 are affected. However, there has been a problem that the manufacturing cost increases.
[0011]
Therefore, the present invention is to solve the above-mentioned problem, and an object of the present invention is to arrange a material arrangement in which materials are arranged in a predetermined pattern by ejecting droplets in a state where a plurality of droplet ejection heads are arranged. In a method for discharging a liquid material in which a plurality of regions are formed on a substrate, the material can be arranged regardless of the arrangement of the material arrangement regions on the substrate, thereby limiting the arrangement of the material arrangement regions. It is an object of the present invention to provide a method capable of increasing the degree of freedom regarding the arrangement mode of the material arrangement region, thereby improving the production efficiency and reducing the production cost.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
In the method for discharging a liquid material according to the present invention, a plurality of material arrangement regions in which materials are arranged in a predetermined pattern are formed on a substrate using a droplet discharge head having a nozzle array in which a plurality of nozzles are arranged. A method of discharging a liquid material, wherein a plurality of sets of the droplet discharge heads respectively corresponding to the plurality of material arrangement regions are positioned by positioning one or a plurality of sets of the droplet discharge heads for each of the material arrangement regions. Wherein a liquid material is discharged in parallel to the plurality of material arrangement areas while scanning the head row or the substrate.
[0013]
When a plurality of droplet discharge heads are used as described above, one or a plurality of droplet discharge head sets are scanned relative to the substrate while being positioned corresponding to each material arrangement region. Accordingly, it is possible to cope with a plurality of material arrangement regions on the substrate in any arrangement manner, so that the degree of freedom in designing the arrangement of the material arrangement regions on the substrate can be increased.
[0014]
In the present invention, a plurality of sets of the droplet discharge heads are provided in correspondence with each of the material arrangement regions, and the adjacent droplet discharge heads in the set are arranged such that the nozzle rows are arranged in the material arrangement region. It is preferable to arrange so as to be continuous when viewed from the scanning direction corresponding to a predetermined pattern. As described above, in the set of the plurality of droplet discharge heads provided for each material arrangement region, the droplet discharge heads are arranged such that the nozzle rows of each head are mutually continuous when viewed from the scanning direction. This makes it possible to discharge droplets over the entire material arrangement region, so that materials can be efficiently arranged.
[0015]
In the present invention, it is preferable that the total width of the nozzles configured by the plurality of nozzle rows arranged in the set is wider than the width of the corresponding material arrangement region. According to this, since the total width of the nozzles formed in each set is wider than the width of each material arrangement region, the nozzles near the ends of the nozzle rows provided in each droplet discharge head are not used. Or reduce the variation of the droplet discharge amount between the nozzles, or perform scanning while shifting the entire width of the nozzle in the width direction with respect to the material arrangement region, and perform multiple scans with different nozzles for each material row in the material arrangement region. By performing the droplet discharge, it is possible to reduce the variation in the total discharge amount between the material rows.
[0016]
In the aspect of the invention, it is preferable that the droplet discharge heads adjacent to each other in the head row are shifted from each other in the scanning direction. This makes it possible to adjust the relative positional relationship between adjacent droplet discharge heads in a wider range, so that it is possible to more flexibly cope with the arrangement of the material arrangement regions.
[0017]
In the present invention, it is preferable that a plurality of the droplet discharge heads are arranged in a staggered manner in the head row. Since a plurality of droplet discharge heads are arranged in a staggered manner to form a head row, even if adjacent droplet discharge heads are displaced in the scanning direction, the nozzle arrangement of the plurality of droplet discharge heads can be reduced. Since the spread range in the scanning direction can be limited, the scanning stroke can be shortened, and thus the production efficiency can be further improved.
[0018]
Next, the apparatus for discharging a liquid material of the present invention uses a droplet discharge head having a nozzle row in which a plurality of nozzles are arranged to form a plurality of material arrangement areas in which materials are arranged in a predetermined pattern on a substrate. A liquid ejection apparatus, comprising: a head array in which a plurality of droplet ejection heads arranged so as to be mutually position adjustable are arranged; a scanning unit that scans the head array or the substrate; A control unit for positioning a set of a plurality of the droplet discharge heads for each of the material arrangement regions.
[0019]
According to the present invention, one or a plurality of sets of droplet discharge heads are positioned for each material arrangement region in the head row, so that the plurality of material arrangement regions on the substrate can be arranged in any arrangement manner. Therefore, the degree of freedom in designing the material arrangement region on the substrate can be increased.
[0020]
In the present invention, the control unit associates a plurality of sets of the droplet discharge heads for each of the material arrangement regions, and sets the nozzle rows of the adjacent droplet discharge heads in the group to the material arrangement. It is preferable to arrange so as to be continuous when viewed from the scanning direction corresponding to the predetermined pattern of the area. In this way, in the set of the plurality of droplet discharge heads provided for each material arrangement region, the droplet discharge heads are arranged so that the nozzle rows of each head are mutually continuous when viewed from the scanning direction. Since the liquid droplets can be ejected to the entire material arrangement region, the materials can be efficiently arranged.
[0021]
In the present invention, it is preferable that the control unit configures a total width of the nozzles configured by the plurality of nozzle rows arranged in the set to be wider than a width of the corresponding material arrangement region. According to this, since the total width of the nozzles formed in each set is wider than the width of each material arrangement region, the nozzles near the ends of the nozzle rows provided in each droplet discharge head are not used. Or reduce the variation of the droplet discharge amount between the nozzles, or perform scanning while shifting the entire width of the nozzle in the width direction with respect to the material arrangement region, and perform multiple scans with different nozzles for each material row in the material arrangement region. By performing the droplet discharge, it is possible to reduce the variation in the total discharge amount between the material rows.
[0022]
In the present invention, it is preferable that the droplet discharge heads adjacent to each other in the head row are displaced in the scanning direction. This makes it possible to adjust the relative positional relationship between adjacent droplet discharge heads in a wider range, so that it is possible to more flexibly cope with the arrangement of the material arrangement regions.
[0023]
In the present invention, it is preferable that a plurality of the droplet discharge heads are arranged in a staggered manner in the head row. Since a plurality of droplet discharge heads are arranged in a staggered manner to form a head row, even if adjacent droplet discharge heads are displaced in the scanning direction, the nozzle arrangement of the plurality of droplet discharge heads can be reduced. Since the spread range in the scanning direction can be limited, the scanning stroke can be shortened, and thus the production efficiency can be further improved.
[0024]
Next, the method for manufacturing a color filter of the present invention uses a droplet discharge head having a nozzle row in which a plurality of nozzles are arranged to form a plurality of color filter regions in which color filter materials are arranged in a predetermined pattern. A method of manufacturing a color filter formed on a substrate, wherein one or a plurality of sets of the droplet discharge heads are positioned for each of the color filter regions, so that a plurality of sets respectively corresponding to the plurality of color filter regions are provided. A head row composed of the droplet discharge heads is formed, and a liquid material is discharged in parallel to the plurality of color filter regions while scanning the head row or the substrate.
[0025]
According to the present invention, when a plurality of droplet discharge heads are used as described above, one or a plurality of droplet discharge head sets are positioned relative to the respective color filter regions with respect to the substrate. Scanning allows the plurality of color filter regions on the substrate to correspond to any arrangement mode, thereby increasing the degree of freedom in designing the arrangement of the color filter regions on the substrate. Can be.
[0026]
Further, in the color filter obtained by the above-described method for manufacturing a color filter, since one or a plurality of droplet discharge heads are positioned in each color filter region in a manufacturing stage, a plurality of color filters arranged in the color filter region are arranged. The arrangement error of the color filter material does not change according to the arrangement position of the color filter region on the substrate, and as a result, the dispersion of the arrangement error of the color filter material is reduced.
[0027]
This color filter can be used for a liquid crystal display device. In this case, a filter element (color filter material) of a color filter is arranged so as to correspond to each display dot of the liquid crystal display device one by one. Further, the present invention can be similarly applied to other electro-optical devices such as an electroluminescent device and a plasma display panel.
[0028]
Next, the method for manufacturing an electroluminescent device according to the present invention includes the steps of: using a droplet discharge head having a nozzle row in which a plurality of nozzles are arranged, disposing an electroluminescent material (emitted in a light emitting region such as a light emitting material or an electron transport material). A plurality of electroluminescent regions in which a plurality of electroluminescent regions are arranged in a predetermined pattern on a substrate. By performing positioning for each of the plurality of electroluminescence regions, a head row including a plurality of sets of the droplet discharge heads respectively corresponding to the plurality of electroluminescence regions is formed, and while scanning the head row or the substrate, the plurality of electroluminescence It is special to discharge liquid material in parallel to the area. To.
[0029]
According to the present invention, when a plurality of droplet discharge heads are used as described above, the substrate is set in a state in which one or a plurality of droplet discharge head sets are positioned corresponding to the respective electroluminescent regions (light emitting regions). , The plurality of electroluminescent regions on the substrate can be arranged in any arrangement manner, so that the arrangement of the electroluminescent regions on the substrate can be freely designed. The degree can be increased.
[0030]
Further, in the electroluminescent device obtained by the above-described method of manufacturing an electroluminescent device, one or a plurality of droplet discharge heads are positioned in each electroluminescent region in a manufacturing stage, and thus are arranged in the electroluminescent region. The arrangement error of the plurality of electroluminescent materials does not change according to the arrangement position of the electroluminescent region on the substrate, and as a result, the dispersion of the arrangement errors of the electroluminescent materials is reduced.
[0031]
Next, in the method of manufacturing a plasma display panel according to the present invention, a plasma light emitting material (for example, a light emitting material such as a phosphor) is formed in a predetermined pattern using a droplet discharge head having a nozzle row in which a plurality of nozzles are arranged. A method of manufacturing a plasma display panel, wherein a plurality of plasma emission regions arranged are formed on a substrate, wherein one or a plurality of sets of the droplet discharge heads are positioned for each of the plasma emission regions. A plurality of sets of the droplet discharge heads respectively corresponding to the plasma emission regions, and a liquid material in parallel with the plurality of plasma emission regions while scanning the head array or the substrate. Is discharged.
[0032]
According to the present invention, when a plurality of droplet discharge heads are used as described above, one or a plurality of droplet discharge head sets are positioned relative to each of the plasma emission regions with respect to the substrate. Scanning makes it possible to correspond to a plurality of plasma light emitting regions on the substrate in any arrangement mode, thereby increasing the degree of freedom in designing the arrangement of the plasma light emitting regions on the substrate. Can be.
[0033]
Further, in the plasma display panel obtained by the above-described method for manufacturing a plasma display panel, one or a plurality of droplet discharge heads are positioned in each plasma light emitting region in the manufacturing stage, and thus are arranged in the plasma light emitting region. The arrangement error of the plurality of plasma emission materials does not change according to the arrangement position of the plasma emission regions on the substrate, and as a result, the dispersion of the arrangement errors of the plasma emission materials is reduced.
[0034]
Furthermore, an electronic apparatus according to the present invention includes the above-described liquid crystal display device, electroluminescence, or plasma display panel. By providing such a display device or an electro-optical device, it is possible to obtain an electronic device having high reproducibility and low variation in display quality.
[0035]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Liquid material discharge method, liquid material discharge device, color filter manufacturing method and color filter of the present invention, color filter, liquid crystal display device using color filter, electroluminescence device manufacturing method, electroluminescence device, plasma display panel, and the like Embodiments relating to a manufacturing method and an electronic device will be specifically described with reference to the drawings as appropriate.
[0036]
[Basic Configuration of Droplet Discharge Method and Apparatus]
FIG. 1 shows an example of an internal structure of a droplet discharge head 22 commonly used in each embodiment according to the present invention, and FIG. Here, FIG. 1A is a perspective view showing the droplet discharge head 22 provided with the nozzle row 27 in a partially cutaway manner, and FIG. 1B is a perspective view showing J shown in FIG. FIG. 2 is a cross-sectional view of the droplet discharge head 22 provided with the nozzle row 27 when cut along the line −J, and FIG. 2 is a perspective view of the droplet discharge head and a partially enlarged view of the nozzle row. .
[0037]
As shown in FIG. 1, the droplet discharge head 22 includes, for example, a nozzle plate 29 made of stainless steel, a vibration plate 31 facing the nozzle plate 29, and a plurality of partition members 32 for joining them together. A plurality of material chambers 33 and a liquid reservoir 34 are formed between the nozzle plate 29 and the vibration plate 31 by the partition member 32. The plurality of material chambers 33 and the liquid reservoir 34 communicate with each other via a passage 38. A material supply hole 36 is formed at an appropriate position of the vibration plate 31, and a material supply device 37 is connected to the material supply hole 36. The material supply device 37 supplies a liquid material M such as a filter element material, an electroluminescence material, and a plasma light-emitting material described later to the material supply hole 36. Then, the supplied liquid material M is supplied to the liquid reservoir 34 and further introduced into the material chamber 33 through the passage 38.
[0038]
The nozzle plate 29 is provided with nozzles 27 for jetting the liquid material M from the material chamber 33 in a jet shape. A material pressing body 39 is attached to the rear surface of the surface of the vibration plate 31 where the material chamber 33 is formed, corresponding to the material chamber 33. As shown in FIG. 1B, the material pressing body 39 has a piezoelectric element 41 and a pair of electrodes 42a and 42b sandwiching the piezoelectric element 41.
[0039]
When a predetermined voltage is applied to the electrodes 42a and 42b, the piezoelectric element 41 bends and deforms so as to protrude outward as indicated by the arrow C, thereby increasing the volume of the material chamber 33. As a result, the liquid material M corresponding to the increased volume flows from the liquid reservoir 34 into the material chamber 33 through the passage 38. Thereafter, when the power supply to the piezoelectric element 41 is released, the piezoelectric element 41 returns to the original shape together with the diaphragm 31. As a result, the material chamber 33 also returns to its original volume, so that the pressure of the liquid material M inside the material chamber 33 increases, and the liquid material M is ejected from the nozzle 27 as droplets 8. A liquid repellent layer 43 having liquid repellency is formed on the outer surface of the nozzle plate 29 so that the liquid material M does not adhere.
[0040]
The above-described droplet discharge head 22 is configured to be capable of sequentially and continuously discharging a large number of droplets 8 by repeating the above operation. As shown in FIG. 2, a plurality of nozzles 27 are arranged in the droplet discharge head 22 in the Y direction in the drawing to form a nozzle row 28. In the illustrated example, the nozzles 27 are linearly arranged in a line. Further, the apparatus is configured so that the illustrated X direction orthogonal to the arrangement direction of the nozzle rows 28 is the reference scanning direction. Here, the reference direction refers to a direction serving as a reference of a scanning direction described later. Therefore, the scanning direction of the droplet discharge head 22 may be coincident with the reference direction, or may be inclined by a predetermined angle (inclination angle θ described later) with respect to the reference direction.
[0041]
FIG. 3 shows a modification of the droplet discharge head 22. In the droplet discharge head 22, the nozzles 27 are arranged in two rows in the Y direction in the drawing, and two nozzle rows 28, 28 are formed. The same liquid material M may be discharged from all the nozzles 27 belonging to the two nozzle rows, or each nozzle 27 belonging to one of the two nozzle rows and the nozzle 27 belonging to the other may be used. You may comprise so that mutually different liquid substances may be discharged. Furthermore, the droplet discharge head 22 may be provided with three or more nozzle rows. In this case, for example, when forming a color filter, the three nozzle rows can be configured so that liquids of different colors (that is, filter element materials 13R, 13G, and 13B) are discharged.
[0042]
The droplet discharge head 22 is configured to discharge droplets by deformation of the piezoelectric element as described above. However, a different type of droplet discharge head may be used. For example, it may be configured to discharge the material using bubbles generated by heating.
[0043]
The type of the liquid material is not particularly limited, but, for example, a pigment ink, a dye ink, a material for a color filter (sometimes referred to as a filter element material), and an electrode, according to the embodiment described later. Examples include a luminescent material (including a hole transporting material and an electron transporting material), a plasma light emitting material (such as a phosphor), and the like. Here, as the liquid material, a material that is formed into a liquid state by adding an appropriate solvent or the like to a material to be finally formed on the substrate can be used.
[0044]
Regarding the physical properties of the liquid material at this time, for example, the solution viscosity is preferably set to a value within a range of 1 to 30 mPa · s (a value at a measurement temperature of 25 ° C., the same applies hereinafter). The reason for this is that if the solution viscosity is less than 1 mPa · s, it may be substantially difficult to increase the thickness of the coating material, while if the solution viscosity exceeds 30 mPa · s, the nozzle portion This is because, in some cases, it may be difficult to form a coating having a uniform thickness or to form a coating having a uniform thickness. In particular, since the balance between the thickening of the coating material and the uniformity of the thickness of the coating material becomes better, the type of the plurality of liquid materials is appropriately selected, and the solution viscosity is adjusted to 2 to 10 mPa · s. Is more preferably set to a value in the range of 3 to 8 mPa · s. In addition, it is also preferable to appropriately select the solution viscosities of the plurality of liquid materials according to the use of the applied material. For example, when a color filter is formed, it is more preferable to set the solution viscosity to a value in the range of 6 to 8 mPa · s since it is desired to increase the film thickness in view of the color purity.
[0045]
The substrate on which the liquid material is applied is not particularly limited. For example, a polyester film, a polysulfone film, a polypropylene film, a cellulose acetate film, a TAC film, a glass substrate, a ceramic substrate, or the like is preferably used. Also, the thickness of the substrate is not particularly limited, but is preferably, for example, a value within a range of 10 μm to 5 mm.
[0046]
Next, a droplet discharge device used when a liquid material is discharged using the droplet discharge head 22 will be described. As will be described later, the present invention uses a plurality of droplet discharge heads 22. However, in the following description of the droplet discharge device and reference drawings, the arrangement configuration of the plurality of droplet discharge heads 22 and the like will be described. Are not mentioned and the illustration is omitted. As shown in FIG. 11, the droplet discharge device 16 includes a head unit 26 having a droplet discharge head 22, a head position control device 17 for controlling the position of the droplet discharge head 22, and a substrate position. Position control device 18 for controlling the scanning, a scan driving device 19 for scanning the droplet discharge head 22 with respect to the substrate in the scanning direction X, and intersecting the droplet discharge head 22 with the substrate in the scanning direction. And a substrate supply device (not shown) for supplying a substrate to a predetermined work position in the droplet discharge device 16 from outside, and a droplet discharge device. It has a control unit, which will be described later, for controlling the overall control of the device 16.
[0047]
The substrate position control device 18 has a table 49 for mounting a substrate, and a θ motor 51 for rotating the table 49 in a plane as indicated by an arrow θ. Thus, the substrate 50 placed on the table 49 can be set to a predetermined plane posture.
[0048]
Further, the scanning drive device 19 has an X guide rail 52 extending in the scanning direction X, and an X slider 53 including a pulse-driven linear motor. Here, the X slider 53 moves in the scanning direction X along the X guide rail 52 when the built-in linear motor operates. On the other hand, the feed driving device 21 has a Y guide rail 54 extending in the feed direction Y, and a Y slider 56 containing a pulse-driven linear motor. Here, the Y slider 56 moves in the feed direction Y along the Y guide rail 54 when the built-in linear motor operates.
[0049]
In addition, it is preferable that a head camera for facilitating alignment is provided near the droplet discharge head 22 because it moves integrally with the head. Further, it is preferable that the substrate camera supported by the supporting device provided on the base is disposed at a position where the mother substrate can be photographed.
[0050]
FIG. 13 is a schematic configuration diagram showing the entire configuration of the droplet discharge device 16. Note that FIG. 13 basically shows, as an example, the display of each component suitable for manufacturing a color filter. The control unit can be configured by a microprocessor unit (MPU), a programmable controller, or the like. The control unit includes a central processing unit 69 including a CPU for performing arithmetic processing, and a memory for storing various information, that is, an information storage medium 71. The central processing unit 69 performs control for discharging the liquid material to a predetermined position on the substrate according to the program software stored in the information storage medium 71. Further, the head position control device 17, the substrate position control device 18, the scan drive device 19, the feed drive device 21, and the head drive circuit for driving the piezoelectric element 41 in the droplet discharge head 22 shown in FIG. Each device is connected to a central processing unit 69 via an input / output interface 73 and a bus 74.
[0051]
Further, the respective components of the substrate supply device 23, the input device 67, the display device (display) 68, the electronic balance 78, the cleaning device 77, and the capping device 76 are also connected to the central processing unit 69 via the input / output interface 73 and the bus 74. It is connected to the.
[0052]
The central processing unit 69 includes, as specific function realizing means, a cleaning operation unit for performing an operation for realizing a cleaning process, a capping operation unit for realizing a capping process, and weight measurement using an electronic balance. And a drawing calculation unit that performs a calculation for drawing a material by discharging droplets.
[0053]
Here, the drawing calculation unit includes a drawing start position calculation unit for setting the droplet discharge head 22 to an initial position for drawing, and a scanning movement of the droplet discharge head 22 at a predetermined speed in the scanning direction X. Any one of a plurality of nozzles 27 in the droplet discharge head 22; a scan control calculation unit that calculates the control of the substrate; a feed control calculation unit that calculates the control for shifting the substrate by a predetermined feed amount in the feed direction Y; And a nozzle discharge control calculation unit for performing a calculation for controlling whether or not to discharge the liquid material by operating the.
[0054]
The above cleaning device is a device for cleaning the head. The electronic balance is a device that measures the weight of a droplet of a material discharged from each nozzle row in the head for each nozzle. The capping device is a device for preventing the nozzle row from drying when the head is in a standby state.
[0055]
FIG. 12 is an explanatory diagram showing a general scanning method of the droplet discharge head 22. The droplet discharge head 22 is set by the droplet discharge device 16 in a state where the position in the feed direction Y and the inclination angle θ with respect to the feed direction Y are appropriately set, and the droplet discharge head 22 is moved relative to the substrate 10 in the scanning direction X. Is scanned. Here, the position and orientation of the droplet discharge head 22 are set so that the arrangement of the nozzles 27 is synchronized with the expected position of the material 12 to be arranged in the material arrangement region 11. More specifically, the position of the droplet discharge head 22 in the feed direction Y is set so that an arbitrary nozzle 27 is aligned with the above-mentioned expected position, and the inclination angle θ of the droplet discharge head 22 with respect to the feed direction Y is Is set so that the formation cycle of the nozzles 27 as viewed from the scanning direction X matches the arrangement cycle of the predetermined position of the material 12 in the feed direction Y.
[0056]
Further, when the droplet discharge head 22 is scanned in the scanning direction X, thereafter, it is moved by a predetermined distance in the feeding direction Y and scanning is repeated again. Here, after one scan is completed, it may be moved in the reverse direction to return to the initial position, and thereafter, the operation of moving a predetermined distance in the feed direction Y may be repeated, or one scan may be completed. After that, it may be moved immediately by a predetermined distance in the feed direction Y, and this time, the operation of scanning in the direction opposite to the previous time may be repeated.
[0057]
FIG. 12 also shows a scanning mode of the error dispersion method. In the scanning mode of the error dispersion method, the droplet discharge head 22 is scanned in the scanning direction X so that the range where the droplet is discharged by the previous scan and the range where the droplet is discharged by the current scan partially overlap. After that, the feed distance in the feed direction Y is set to be smaller than the width of the nozzle row 28 in the feed direction Y. In the illustrated example, the width L of the droplet discharge head is divided into three equal parts, and the droplet discharge head 22 moves in the transport direction by L / 3 by the transport operation. Thereby, the plurality of materials 12 belonging to a row arranged in the scanning direction X can be configured to be formed by droplets ejected from different nozzles 27 in the droplet ejection head 22, or Since each material 12 can be constituted by a plurality of droplets ejected from different nozzles 27 in a plurality of scans, unevenness due to variation in the amount of the material 12 can be reduced. There is an advantage that.
[0058]
[First Embodiment]
Next, an embodiment of a method and apparatus for discharging a liquid using the above-described droplet discharge head 22 and the droplet discharge device 16 will be described. FIG. 4 is an explanatory diagram showing a droplet discharge method and a droplet discharge device according to the first embodiment of the present invention. In the present embodiment, a head row is configured by arranging a plurality of droplet discharge heads 22 in the feed direction Y as illustrated. Here, the head row can be configured by attaching a plurality of droplet discharge heads 22 to a carriage 25 indicated by a two-dot chain line in the drawing. The carriage 25 is attached to, for example, a head unit 26 provided in the droplet discharge device 16 and is appropriately driven. This point is the same in all the embodiments described below.
[0059]
In the head row, the droplet discharge heads 22 adjacent to each other in the feeding direction Y are arranged so as to be shifted from each other in the scanning direction X. In the head row, a plurality of droplet discharge heads 22 are arranged in a zigzag pattern in the feed direction Y as a whole. With this configuration, the length of the head row in the scanning direction can be reduced, so that the scanning stroke with respect to the substrate 10 can be configured to be short. As a result, the scanning time is reduced, and the manufacturing efficiency is reduced. Can be improved.
[0060]
A plurality of material arrangement regions 11 in which materials 12 to be arranged by ejection of a liquid material are arranged in a predetermined pattern are set on a substrate 10 to which a liquid material is discharged. More specifically, the material arrangement regions 11 are arranged on the substrate 10 vertically and horizontally in a matrix. Further, in the illustrated example, the materials 12 are vertically and horizontally arranged in a matrix in each material arrangement region 11.
[0061]
In this embodiment, one or a plurality of droplet ejections are performed for each material arrangement region 11 set on the substrate 10 (more precisely, a row of the material arrangement region 11 extending in the scanning direction X set on the substrate 10). The set of heads 22 is positioned. In the illustrated example, a set of a plurality of droplet discharge heads, that is, a set of droplet discharge heads 22 (A1) and 22 (A2), a set of 22 (B1) and 22 (B2), 22 The sets of (C1) and 22 (C2) are positioned respectively. Each set of the droplet discharge heads is positioned in accordance with the arrangement pattern of the expected position of the material 12 in the corresponding material arrangement region 11.
[0062]
For example, the nozzle period is set to N in all the droplet discharge heads 22 in the nozzle row, the arrangement period of the set of the droplet discharge heads 22 in the feed direction Y is set to L, The arrangement period of the planned position of the material 12 in the feed direction Y is P, the interval between the material arrangement regions 11 in the feed direction Y is Q, the region width of the material arrangement region 11 in the feed direction is R (a natural number of the arrangement period P) Times). In this case, the position in the feed direction Y of each nozzle 27 provided in each set of the droplet discharge heads 22 is configured to be arranged at a position in the material arrangement region 11 in synchronization with the arrangement period P. I have. More specifically, the nozzle row interval G between the nozzle row of the droplet discharge head 22 (A1) and the nozzle row of 22 (A2) is configured to be equal to a natural number times the arrangement period P. . In the illustrated example, the nozzle row interval G is configured to coincide with the arrangement cycle P, whereby the nozzle row 28 of the droplet discharge head 22 (A1) and the nozzle row of the droplet discharge head 22 (A2) are formed. 28 are continuous when viewed from the feed direction X (that is, the nozzles 27 of both heads substantially form an integrated row).
[0063]
Further, in the illustrated example, each set of the droplet discharge nozzles 22 is arranged in accordance with the position of the corresponding material arrangement region 11 in the feed direction Y. More specifically, the set arrangement cycle in the feed direction Y between adjacent sets of the droplet discharge heads 22 in the head row, that is, the set of the droplet discharge nozzles 22 (A1) and 22 (A2) and the droplet discharge nozzle 22 (B1) and 22 (B2), or a set arrangement period L, or a set of droplet discharge nozzles 22 (B1) and 22 (B2) and a set of droplet discharge nozzles 22 (C1) and 22 (C2) Is equal to the sum of the region width R and the region interval Q in the feed direction Y of the material arrangement region 11.
[0064]
The head row constituted by the plurality of droplet discharge heads 22 is scanned relative to the substrate 10 in the scanning direction X, and droplets are respectively discharged from the respective nozzles 27, as shown in the drawing. The materials 12 are arranged in a predetermined pattern.
[0065]
As described above, the set of the droplet discharge heads 22 is positioned corresponding to the plurality of material arrangement regions 11 arranged in the feed direction Y, so that the region interval Q of the material arrangement region 11 is set to any value. Even if this is done, the material 12 can be accurately arranged for each of the material arrangement regions 11. Therefore, the positional accuracy of the material 12 in the material arrangement region 11 formed on the substrate 10 varies along the feed direction Y (for example, as the position on the substrate 10 is observed along the feed direction Y, the feed accuracy gradually increases). It is possible to suppress the positional deviation in the direction Y from increasing, and the difference in the arrangement accuracy of the materials 12 between the material arrangement regions 11 can be reduced.
[0066]
Further, in this embodiment, the total width of the nozzles (corresponding to the above group arrangement period L) provided in each set of the droplet discharge heads 22 is configured to be larger than the area width R of the material arrangement area 11 in the feed direction Y. I have. This makes it possible to avoid using the nozzles 27 near both ends of each droplet discharge head 22, for example, in order to suppress the variation in the material discharge amount in each droplet discharge head 22, and to perform droplet discharge. By reducing the variation in the amount, the variation in the amount (thickness and spread) of the material 12 can be suppressed. This is because the variation in the droplet discharge amount of the nozzles provided near both ends of the droplet discharge head 22 is larger than that of the other nozzles. Further, as described above, it is possible to arrange the materials 12 by scanning a plurality of times while slightly shifting the head row of the droplet discharge heads 22 in the feed direction Y, and thus the material 12 is arranged in the scanning direction X. A plurality of materials 12 belonging to a row may be constituted by droplets ejected from nozzles 27 different from each other, or a plurality of droplets ejected from different nozzles 27 in which each material 12 is scanned a plurality of times. And so on. According to such an error dispersion type droplet discharging method, variation in the amount (thickness and spread) of the material 12 can also be suppressed.
[0067]
[Second embodiment]
Next, a second embodiment according to the present invention will be described with reference to FIG. In this embodiment, a droplet discharge head 22 configured in the same manner as in the first embodiment and a substrate in which the material arrangement regions 11 in which the materials 12 are to be arranged in a predetermined pattern are set in a predetermined mode are set. With 10. Also in this embodiment, a plurality of droplet discharge heads 22 are arranged as a whole in the feed direction Y to form a head row, and in this head row, adjacent droplet discharge heads 22 mutually move in the scanning direction X. It is located at a shifted position. More specifically, in this head row, a plurality of droplet discharge heads 22 are arranged in a staggered manner in the feed direction Y.
[0068]
In this embodiment, a set including three droplet discharge nozzles 22 corresponds to (a row extending in the scanning direction X of) the material arrangement region 11. Then, in each set of liquid suitable ejection heads, the position of each nozzle 27 configured such that a natural number multiple of the nozzle period N becomes the above arrangement period P is the arrangement period of the expected position of the material 12 in the material arrangement region 11. It is arranged to synchronize with P. Therefore, in each set, the head gaps G1 and G2 between the adjacent droplet discharge heads 22 are each configured to be a natural number multiple of the arrangement period P. More specifically, the head intervals G1 and G2 respectively correspond to the arrangement cycle P, whereby the nozzle rows 28 of the plurality of suitable liquid ejection heads 22 in each set are integrated with each other, and from the scanning direction X Seenly continuous, an integrated nozzle row is substantially constituted.
[0069]
The group arrangement period L between each pair of the droplet discharge heads 22 is the sum of the region interval Q of the material arrangement region 11 and the region width R of the material arrangement region 11 (a natural number times the arrangement period P). Match. Therefore, the material 12 can be arranged at a predetermined position in each material arrangement region 11 without any problem even if the region interval Q is not a natural number multiple of the arrangement period P.
[0070]
Further, also in the present embodiment, in each set composed of the plurality of droplet discharge heads 22, the total width of the nozzles (corresponding to the set arrangement period L) in the set is determined by the material arrangement region 11. It is configured to be larger than the region width R. Thus, similarly to the first embodiment, it is possible to reduce the variation in the droplet discharge amount by limiting the nozzles to be used, or to reduce the variation in the amount of the material 12 by the error dispersion method.
[0071]
In the first embodiment, two droplet discharge heads 22 belong to each set corresponding to the material arrangement region 11, and in the second embodiment, three droplet discharge heads 22 belong. In each set, only one droplet discharge head 22 may belong, or four or more droplet discharge heads 22 may belong. That is, the number of the droplet discharge heads 22 belonging to each set corresponding to the material arrangement region 11 may be an arbitrary natural number.
[0072]
[Third embodiment]
Next, a third embodiment according to the present invention will be described with reference to FIG. In this embodiment, a head row having the same arrangement as in the first embodiment is configured. The arrangement of the material arrangement regions 11 of the substrate 10 and the relative positional relationship between the head row and the material arrangement regions 11 are completely the same as those in the first embodiment, and thus description thereof is omitted.
[0073]
This embodiment is different from the first embodiment in that a plurality of (three in the illustrated example) materials 12R, 12G, and 12B are arranged in a predetermined pattern in a material arrangement region 11. These materials 12R, 12B, and 12B correspond to, for example, three types of filter element materials of a color filter described later. In the illustrated example, the materials 12R, 12G, and 12B are arranged in a stripe shape extending in the scanning direction X. Therefore, the scheduled positions of the kind of material 12R are arranged in plural numbers (every three in the illustrated example) in the feed direction Y.
[0074]
In this embodiment, a predetermined number of the nozzles 27 in the droplet discharge head 22 are arranged in accordance with the arrangement period P × k (k is a natural number, k = 3 in the illustrated example) of the material 12R in the feed direction Y. (In the illustrated example, only every k nozzles (three in the illustrated example)) are driven so as to discharge droplets. In the illustrated example, the nozzle cycle of the droplet discharge head 22 matches the arrangement cycle P, but the nozzle cycle of the nozzle 27 used is N = k × P. However, the nozzle cycle of all the nozzles 27 of the droplet discharge head 22 may be configured to match k × P. In this case, the configuration is exactly the same as that of the first embodiment.
[0075]
In this embodiment, the other materials 12G and 12B are also arranged by droplet discharge in the same manner as described above. That is, a droplet discharge head 22 that discharges a plurality of materials corresponding to the plurality of materials 12R, 12G, and 12B is prepared, and each material is discharged by a head row including the respective droplet discharge heads 22, Place them.
[0076]
Also in this embodiment, when each type of material is considered, it can be grasped exactly in the same manner as in the first embodiment, and the same effect is achieved. Further, as described in the second embodiment, the number of the droplet discharge heads 22 belonging to each set corresponding to the material arrangement region 11 may be an arbitrary natural number.
[0077]
[Fourth embodiment]
Next, a fourth embodiment according to the present invention will be described with reference to FIG. This embodiment is the same as the above embodiments in that a plurality of droplet discharge heads 22 are arranged in the feed direction Y to form a head row, but the nozzle row 28 of each droplet discharge head 22 is It is different in that it is inclined at an inclination angle θ with respect to the feed direction Y.
[0078]
In the head row of this embodiment, the droplet discharge heads 22 are arranged substantially in a line in the feed direction Y. This is because the adjacent droplet discharge heads 22 belonging to the head row overlap in the feed direction Y when viewed from the scanning direction X, but can be arranged so as not to interfere with each other due to the inclination angle θ. When the adjacent droplet discharge heads 22 interfere with each other when the inclination angle θ is small, they may be arranged so as to be shifted from each other in the scanning direction as in the above-described embodiments, or may be staggered in the feeding direction Y. It may be arranged in a shape.
[0079]
Here, the inclination angle θ is set such that a natural number multiple of the nozzle period N as viewed in the feed direction Y of the liquid crystal discharge head 22 matches the arrangement period P of the expected position of each material 12. That is, the nozzle pitch in the nozzle row 28 is set to N 0 Then, P = m × N = m × N 0 cos θ (m is a natural number, m = 1 in the illustrated example) is set. By adjusting the inclination angle θ, the nozzle pitch N 0 Can be adapted to various arrangement periods P without changing.
[0080]
Also in this embodiment, since the head row is configured by positioning the droplet discharge heads 22 for each material arrangement region 11, the same effect as in the above embodiment can be obtained. That is, in the head row, the head interval G between adjacent droplet discharge heads 22 in the set of droplet discharge heads 22 set corresponding to the material arrangement region 11 is a natural number of the nozzle cycle N or the arrangement cycle P. It is configured so as to correspond to double (especially 1). The set arrangement period L of each set is configured to be equal to the sum of the region interval Q of the material arrangement region 11 and the region width R.
[0081]
[Fifth Embodiment]
Next, a fifth embodiment according to the present invention will be described with reference to FIG. In this embodiment, since the configuration is the same as that of the first embodiment, description of the structure and arrangement of each unit will be omitted. In this embodiment, the above-described error dispersion method is adopted in the droplet discharging method of the present invention. That is, a head row in which a plurality of droplet discharge heads 22 are arranged is first scanned in the scanning direction X at the position A in the drawing, and thereafter, in the feed direction Y for a predetermined nozzle cycle (for example, one nozzle cycle). , And scanning is performed again. The scanning is performed at the position B in the drawing, and finally the scanning is performed at the position C in the drawing. As a result, even if the droplet discharge amount varies among the plurality of nozzles 27 provided in the droplet discharge head 22, the variation in the amount between the materials 12 arranged in the material arrangement region 11 is reduced. Can be.
[0082]
In this case, in each scan during the above operation, droplets may be ejected to all scheduled positions belonging to the row arranged in the scanning direction X, or may belong to the row arranged in the scanning direction X. A configuration may be adopted in which droplets are ejected only to a part of the scheduled position, and droplets are ejected at another scheduled position in another scan.
[0083]
In the present embodiment, the total nozzle width of each set of the droplet discharge heads 22 included in the nozzle row (corresponding to the set arrangement period L between each set described in the first embodiment) is equal to the material arrangement area 11. It is configured to be larger than the region width R. This is the same in the above embodiments. In this embodiment, the total width of the nozzles is intentionally configured to be larger than the region width R, so that a feed margin is provided for each set in the feed direction Y in the error dispersion method. A margin in the feed direction Y in the error dispersion method is secured by the feed allowance (the allowance of the nozzles 27).
[0084]
[Sixth embodiment]
Next, a sixth embodiment according to the present invention will be described with reference to FIG. In this embodiment, a plurality of droplet discharge heads 22 are basically arranged in the same manner as in the arrangement of the first embodiment, and are positioned with respect to the material arrangement region 11 of the substrate 10 as in the first embodiment.
[0085]
In this embodiment, a plurality of droplet discharge heads 22 are mounted on the carriage 25, respectively. The carriage 25 is provided with a guide path 25a for moving each droplet discharge head 22 in the feed direction Y. Further, the droplet discharge head 22 is provided with a positioning and fixing means 22a which is slidable along the guide path 25a and can be fixed at an arbitrary position on the guide path 25a. The positioning and fixing means 22a has, for example, a gear that meshes with a guide path 25a provided with rack-shaped teeth, and the gear can be configured to be rotationally driven by an appropriate drive source such as an electric motor. When the gear is driven to rotate, the droplet discharge head 22 moves forward or backward in the feed direction Y, and when the gear is stopped, the droplet discharge head 22 is fixed. Of course, without using a drive source, the position of the droplet discharge head 22 may be manually changed and fixed at an appropriate position.
[0086]
The position of each of the droplet discharge heads 22 is controlled by a control unit including the central processing unit 69 and the information recording medium 71. The central processing unit 69 determines the position information of each of the droplet discharge heads 22 based on the parameters recorded on the information recording medium 71 or the like or the parameters input from the input device 67 (that is, as described in the first embodiment). The relative position in the head row is calculated, and the positioning and fixing means 22a is driven via the input / output interface 73 and the bus 74 based on the position information.
[0087]
With the above configuration, the arrangement of the material arrangement regions 11 of the substrate 10 (for example, the above-described region interval Q and the region width R) and the pattern of the expected position of the material 12 in each material arrangement region 11 (for example, The arrangement period P, etc.) can be set arbitrarily, and the droplet discharge device 16 can flexibly respond to the arbitrarily set substrate 10. For example, as shown in FIG. 9, no matter how the region widths P1 to P3 and the region intervals Q1 to Q2 of the material forming region 11 are set, the group arrangement periods L1 to L3, By appropriately setting the head intervals G1 to G5, one or a plurality of sets of the droplet discharge heads 22 can be positioned for each material arrangement region 11.
[0088]
In the present embodiment, two guide paths 25a are formed, and a plurality of droplet discharge heads 22 are arranged in two rows along these two guide paths 25a. As a result, in the present embodiment, the droplet discharge heads 22 can be arranged in a staggered manner.
[0089]
[Seventh embodiment]
Next, a seventh embodiment according to the present invention will be described with reference to FIG. This embodiment shows a head structure that can be used instead of the head configuration of the sixth embodiment. This head configuration is similar to the sixth embodiment in that a plurality of droplet discharge heads 22 are movably attached to the carriage 25. That is, the plurality of droplet discharge heads 22 are configured to be movable along the guide path 25a. However, in the present embodiment, the droplet discharge heads 22 are configured to be rotatable around their respective central axes. More specifically, the droplet discharge head 22 includes, as positioning and fixing means, a translation positioning means 22A configured to be able to move the droplet discharge head 22 along the guide path 25a. A rotation positioning means 22B for rotatably configuring the droplet discharge head 22.
[0090]
In the present embodiment, since each of the droplet discharge heads 22 is configured to be rotatable as described above, the configuration is such that the inclination angle θ can be arbitrarily set. This inclination angle θ is configured to be set by the control unit in accordance with the configuration of the substrate 10 as in the sixth embodiment. Therefore, according to this configuration, the head row as in the fourth embodiment (see FIG. 7) can be automatically set.
[0091]
In this embodiment, the mutual positional relationship between the plurality of droplet discharge heads 22, that is, the intervals S1 to S4 between the adjacent droplet discharge heads 22 can be arbitrarily set. Therefore, the number of the droplet discharge heads 22 belonging to a set corresponding to one material arrangement region 11 can be arbitrarily set according to the arrangement mode of the substrate 10.
[0092]
[Production method of color filter]
Next, a method for manufacturing a color filter will be described as an eighth embodiment according to the present invention. This embodiment uses any one of the above-described first to seventh embodiments. In the following description, a portion specific to a method of manufacturing a color filter will be mainly described.
[0093]
FIG. 14 schematically shows a method of manufacturing the color filter 1 in the order of steps. First, as shown in FIG. 14A, the partition walls 6 are formed on the surface of the substrate 10 using a resin material having no translucency so as to form a lattice pattern when viewed in the direction of arrow B. The portion corresponding to the lattice holes in this lattice pattern is a material arrangement region where the filter element 3 is to be formed (corresponding to the expected position of the material 12), that is, a filter element formation region 7. The filter element formation region 7 is configured to have a size of, for example, about 30 μm × 100 μm.
[0094]
Here, the partition wall 6 has both a function of preventing the flow of the filter element material 13 as a liquid supplied to the filter element formation region 7 and a function of a black mask. In order to form the partition wall 6 with high accuracy and to increase its mechanical strength, for example, the partition wall 6 is formed by using a photolithography method and, if necessary, is heated and cured by using a heater or an oven.
[0095]
Next, as shown in FIG. 14B, the filter element materials 13 corresponding to RGB dots or YMC dots are sequentially discharged from the nozzles 27 of the droplet discharge head 22 corresponding to each. That is, droplets 8 of the filter element material 13 corresponding to RGB dots, YMC dots, or the like are supplied to the filter element forming regions 7, and each filter element forming region 7 is filled with the filter element material 13.
[0096]
Next, the mother substrate 10 is heated to, for example, about 70 ° C. by a heater to volatilize a predetermined amount of the solvent of the filter element material 13 filled in each filter element formation region 7. Due to the evaporation of the solvent, the filter element material 13 is solidified as shown in FIG. At this time, the volume of the filter element material 13 decreases and the surface becomes flat. On the other hand, when the volume of the filter element material 13 discharged by the droplet discharge head 22 is drastically reduced when the filter element material 13 is solidified, the droplets 8 of the filter element material 13 are removed until a sufficient film thickness as the color filter 1 is obtained. And heating of the droplets 8 are preferably performed repeatedly. For example, FIG. 14 illustrates that the ejection of the droplet 8 to the filter element formation region 7 is repeated a plurality of times (for example, three times).
[0097]
Next, in order to completely dry the formed filter element 3, a heating process is performed at a predetermined temperature for a predetermined time. Thereafter, as shown in FIG. 14D, the protective film 4 is further formed by using a known method such as a spin coating method, a roll coating method, a dipping method, or an inkjet method. This protective film 4 is formed for protecting the filter element 3 and the like and for flattening the surface of the color filter 1.
[0098]
In the color filter 1 formed as described above, a plurality of filter elements 3 are formed in a dot pattern, in the present embodiment, in a dot matrix on the surface of a rectangular substrate 10 formed of glass, plastic, or the like. I have. Here, the filter element 3 is partitioned by partition walls 6 formed in a lattice pattern using a resin material having no light transmissivity, and a plurality of rectangular regions arranged in a dot matrix form are filtered. It is formed by filling with an element material (color filter material). Each of these filter elements 3 is one of R (red), G (green), and B (blue), or Y (yellow), M (magenta), and C (cyan). The filter elements 3 are formed of a filter element material of any one of the colors, and the filter elements 3 of the respective colors are arranged in a predetermined arrangement.
[0099]
As an example of such an arrangement mode of the filter element 3, for example, as shown in FIG. 23A, a stripe array in which all columns of the matrix have the same color, and as shown in FIG. Arbitrary three filter elements 3 arranged on the upper side have a (diagonal) mosaic arrangement of three colors composed of RGB pixels, and the arrangement of the filter elements 3 is stepped as shown in FIG. The three filter elements 3 to be used include a delta arrangement composed of RGB pixels or YMC pixels.
[0100]
The size of the color filter 1 is not particularly limited, but is, for example, a rectangle having a diagonal length of 1.8 inches (4.57 cm). The size of one filter element 3 is not particularly limited, but may be, for example, a rectangle having a width of 10 μm to 100 μm and a length of 50 μm to 200 μm. The interval between the filter elements 3, that is, the so-called element pitch can be set to, for example, 50 μm or 75 μm.
[0101]
Here, when the above-described color filter 1 is used as an optical element for full-color display in a liquid crystal display device or the like, it is preferable to configure three filter elements 3 corresponding to RGB or YMC as one pixel. By controlling the optical state of the three display dots RGB or YMC in one pixel, the self-luminous device such as an electroluminescence device or a plasma display panel can be used as it is, or the self-luminous device such as a liquid crystal display device can be used. In a non-emission type device, full-color display can be performed by using light emitted from an appropriate light source such as backlight or external light.
[0102]
By forming the partition 6 from a resin material having substantially no translucency, the partition 6 can function as a black mask (light-shielding layer or light-shielding member). This can prevent or improve the contrast.
[0103]
The above-described color filter 1 has a plurality of color filter forming regions 11 arranged on a large-sized substrate 10 (corresponding to the material arrangement region 11 in each of the above embodiments, and each filter element 3 corresponding to the material 12 described above). It is constituted by. As a result, the production cost is low, and it is economically advantageous. More specifically, in a plurality of color filter forming regions 11 set in the substrate 10, a pattern for one color filter 1 is formed on each surface. Next, grooves for cutting are formed around the color filter forming region 11, and the substrate 10 is cut along the grooves. Thus, a color filter substrate in which the color filters 1 are formed on the individual substrates 2 (see FIG. 14A) is formed.
[0104]
[Display device with color filter]
Next, a liquid crystal display device constituted by using the color filters formed as described above will be described. The configuration and the manufacturing method of the liquid crystal display device can be known and general contents. For example, the liquid crystal display device 170 shown in FIG. 15 can be configured. The liquid crystal display device 170 includes a first deflecting plate 175, a first substrate 174, a reflective film (semi-transmissive reflective film) 182, a first electrode 181, a first alignment plate 180, a liquid crystal 179, The second alignment plate 178, the second electrode 177, the color filter 176, the second substrate 172, and the first deflection plate 171 are sequentially laminated. Here, the first substrate 174 and the second substrate 172 are attached to each other at a predetermined interval with a sealant 173, and a liquid crystal 179 disposed therebetween is sealed by the sealant 173.
[0105]
In this liquid crystal display device 170, a predetermined potential is supplied to the first electrode 181 and the second electrode 177 by a driver IC 183 mounted on a peripheral position thereof (for example, a first substrate 174). By applying a predetermined voltage to each of the display dots, the optical state of each display dot can be controlled, and a full-color display can be performed through the above-described color filter. In the description, a passive matrix panel structure of a simple matrix is assumed, but an active system using a TFD (Thin Film Diode) element as a switching element, an active system using a TFT (Thin Film Transistor) element as a switching element, and the like. A panel structure may be provided. The liquid crystal display device may have a transflective structure in which a backlight including a light guide plate 186 and a light source 187 disposed below the first deflecting plate 175 is provided as in the illustrated example. And a transmissive structure, or a reflective structure without a backlight.
[0106]
[Method of Manufacturing Electroluminescence Device]
Next, a process procedure of manufacturing an active matrix type electroluminescent display device will be described. As shown in FIG. 16, the electroluminescence device has a panel structure driven based on potentials supplied from drive circuits 107 and 108.
[0107]
First, as shown in FIG. 17A, a plasma CVD (Chemical Vapor Deposition) method is performed on a display substrate 102 made of transparent glass or the like by using tetraethoxysilane (TEOS), oxygen gas, or the like as a source gas. Thereby, a base protective film (not shown) made of a silicon oxide film is formed. At this time, it is preferable that the thickness of the underlayer protective film is set to a value within a range of about 2,000 to 5,000 angstroms.
[0108]
Next, the temperature of the display substrate 102 is set to about 350 ° C., and a semiconductor film 120a, which is an amorphous silicon film, is formed on the surface of the base protective film by a plasma CVD method. At this time, it is preferable that the thickness of the silicon film is set to a value within a range of about 300 to 700 Å. After that, it is preferable that a crystallization step such as laser annealing or a solid phase growth method be performed on the semiconductor film 120a to crystallize the semiconductor film 120a into a polysilicon film.
[0109]
Next, as shown in FIG. 17B, the semiconductor film 120a is patterned to form an island-shaped semiconductor film 120b. Then, a gate insulating film 121a made of a silicon oxide film or a nitride film is formed on the surface of the display substrate 102 provided with the semiconductor film 120b by plasma CVD using TEOS, oxygen gas, or the like as a source gas. At this time, it is preferable that the thickness of the gate insulating film be set to a value within a range of about 600 to 1500 angstroms. Although the semiconductor film 120b serves as the channel region and the source / drain region of the current thin film transistor 110 shown in FIG. 16, the semiconductor film 120b serves as the channel region and the source / drain region of the switching thin film transistor 109 at different cross-sectional positions. A semiconductor film is also formed. That is, in the manufacturing process shown in FIG. 17, two types of switching thin film transistors 109 and current thin film transistors 110 are formed simultaneously. However, since these transistors are formed in the same procedure, in the following description, only the current thin film transistor 110 will be described, and description of the switching thin film transistor 109 will be omitted.
[0110]
Next, as shown in FIG. 17C, a conductive film such as aluminum or tantalum is formed by a sputtering method, and then patterned to form a gate electrode 110A. In this state, impurities, for example, phosphorus ions at a high temperature are implanted to form source / drain regions 110a and 110b in the semiconductor film 120b in a self-aligned manner with respect to the gate electrode 110A. Note that a portion of the semiconductor film 120b where the impurity is not introduced becomes the channel region 110c.
[0111]
Next, as shown in FIG. 17D, after forming the interlayer insulating film 122, contact holes 123 and 124 are formed, and the relay electrodes 126 and 127 are buried in the contact holes 123 and 124. Further, as shown in FIG. 17E, a signal line 104, a common power supply line 105, and a scanning line 103 (not shown in FIG. 17; see FIG. 16) are formed over the interlayer insulating film 122. Then, an interlayer insulating film 130 is formed so as to cover the upper surface of each wiring, and a contact hole 132 is formed at a position corresponding to the relay electrode 126. Further, after forming an ITO film so as to fill the inside of the contact hole 132, the ITO film is patterned, and a source / drain region is formed at a predetermined position surrounded by the signal line 104, the common power supply line 105, and the scanning line 103. A pixel electrode 111 electrically connected to 110a is formed.
[0112]
Next, as shown in FIG. 18A, a plurality of electroluminescent materials are discharged onto the display substrate 102 on which the pretreatment has been performed. That is, a plurality of electroluminescent materials are sequentially discharged from the nozzles 27 of the droplet discharge head 22 corresponding to the respective electroluminescent materials. More specifically, as shown in FIG. 18A, the electroluminescent material 140A, for example, polyphenylenevinylene, 1,1-bis, is used with the upper surface of the pre-processed display substrate 102 facing upward. -(4-N, N-ditolylaminophenyl) cyclohexane, tris (8-hydroxyquinolinol) aluminum or the like is discharged as a liquid material, and is selectively applied to a region surrounded by the step 135. Here, the electroluminescent material 140A is a material for forming a hole injection layer 113A to be described later, which corresponds to a lower layer portion of the light emitting element formed in this region. The electroluminescent material 140A is preferably a precursor in a state of being dissolved in a solvent as a functional liquid.
[0113]
Next, as shown in FIG. 18B, by heating or irradiating light, the solvent contained in the electroluminescent material 140A is evaporated to form a solid thin hole injection layer 113A on the pixel electrode 111. I do. Then, FIGS. 18A and 18B are repeated as many times as necessary, and as shown in FIG. 18C, a hole injection layer 113A having a sufficient thickness is formed.
[0114]
Next, as shown in FIG. 19A, the electroluminescent material 140B, for example, cyanopolyphenylenevinylene, polyphenylenevinylene, or polyalkylphenylene is discharged by an inkjet method with the upper surface of the display substrate 102 facing upward, This is selectively applied in a region surrounded by the step 135. Here, the electroluminescent material 140B is a material for forming an organic semiconductor film 113B to be described later, which corresponds to an upper layer portion of the light emitting element formed in this region. It is preferable that the electroluminescent material 140B is an organic fluorescent material dissolved in a solvent as a functional liquid.
[0115]
Next, as shown in FIG. 19B, the solvent contained in the electroluminescent material 140B is evaporated by performing heating, light irradiation, or the like, and a solid thin organic semiconductor film 113B is formed on the hole injection layer 113A. To form Note that the operation illustrated in FIGS. 19A and 19B is repeated a plurality of times, and an organic semiconductor film 113B having a sufficient thickness is formed as illustrated in FIG. The hole injection layer 113A and the organic semiconductor film 113B constitute an electroluminescent light emitting device 113.
[0116]
Finally, as shown in FIG. 19D, a reflective electrode (counter electrode) 112 is formed on the entire surface of the display substrate 102 or in a stripe shape. That is, by forming the reflection electrode in this way, an electroluminescence device having a sandwich structure can be manufactured.
[0117]
As the above-described electroluminescent device, three types of light-emitting pixels formed by changing the material of the light-emitting element 113 mutually and having light-emitting characteristics corresponding to RGB pixels or YMC pixels are formed in an appropriate pattern. Is mentioned. Further, the light emitting element 113 may be configured to emit white light, and may include the color filter 1 so as to include a filter element that overlaps the light emitting element in a plane. In addition, as a driving structure (method), any of an active matrix structure and a passive matrix structure including a transistor for controlling a current flowing to a light emitting layer for each pixel can be applied.
[0118]
[Method of Manufacturing Plasma Display Panel]
FIG. 20 is a schematic enlarged sectional view showing one display dot of the plasma display panel 400. Here, an address electrode 411 made of metal is formed on a back substrate 401 made of glass or the like, and a dielectric layer 419 is formed on the address electrode 411. Partition walls 415 are formed in a stripe shape on the dielectric layer 419. The partition 415 can be formed by a photolithography method or the like. Then, a liquid material obtained by dispersing a fluorescent material in a solvent is discharged from the droplet discharge head 22 to the region defined by the partition 415, and the liquid material is cured to form the fluorescent material 417. .
[0119]
On the other hand, a display electrode 412 is formed on a display substrate 402 made of glass or the like. A dielectric layer 413 made of dielectric glass is formed thereon by a coating and baking process. Further, a protective film 414 made of MgO or the like is formed by an evaporation method or the like. Then, the back substrate 401 and the display substrate 402 are coated with low dielectric glass as a sealing material around the back substrate 401 and the display substrate 402 with the protective film 414 side facing the substrate 401 side. Then, after evacuating the inside, a discharge chamber 416 is formed by filling a rare gas.
[0120]
In this manufacturing method, the above-described phosphor 417 can be formed as a liquid by the method of the above-described embodiment using the droplet discharge head 22 and then dried and cured, so that a high-quality phosphor with little variation in the amount of the phosphor can be obtained. A display body can be configured.
[0121]
FIG. 21 is an exploded perspective view of a plasma display panel 500 different from the above, Figure 22 shows a basic conceptual diagram of the plasma display panel 500 of the present embodiment. The plasma display panel 500 of the present embodiment includes a color filter 1 equivalent to the color filter 1 described in the third embodiment, and is configured by disposing the color filter 1 on the observation side. I have. That is, the color filter 1 includes a substrate 2, a filter element (colored layer) 3, a partition 6, and a protective layer 4.
[0122]
The plasma display panel 500 is roughly composed of a glass substrate 501 and the above-described color filter 1, which are arranged to face each other, and a discharge display section 510 formed between them. The discharge display unit 510 is configured such that a plurality of discharge chambers 516 are assembled, and among the plurality of discharge chambers 516, three discharge chambers 516 form a pair to constitute one pixel. Therefore, each discharge chamber 516 is provided so as to correspond to each filter element 3 (3R, 3G, 3B) of the color filter 1 described above.
[0123]
Address electrodes 511 are formed in stripes at predetermined intervals on the upper surface of the (glass) substrate 501, and a dielectric layer 519 is formed so as to cover the address electrodes 511 and the upper surface of the substrate 501. A partition 515 is formed on the layer 519 between the address electrodes 511 and 511 and along each address electrode 511. The partition 515 is also partitioned at predetermined intervals in the longitudinal direction at predetermined intervals in a direction orthogonal to the address electrodes 511 (not shown), and is basically adjacent to the left and right sides of the address electrodes 511 in the width direction. A rectangular region is formed which is partitioned by the partition and a partition extending in a direction orthogonal to the address electrode 511. A discharge chamber 516 is formed so as to correspond to the rectangular region. One pixel is composed of three pairs. In addition, a phosphor 517 is formed inside a rectangular area defined by the partition 515.
[0124]
Next, on the color filter 1 side, a plurality of display electrodes 512 are formed at predetermined intervals in a stripe shape in a direction orthogonal to the address electrodes 511, and a dielectric layer 513 is formed to cover them. A protective film 514 made of MgO or the like is formed. In addition, Figure In FIG. 22, the extension direction of the display electrode 512 is different from the actual direction for convenience of illustration. The substrate 501 and the substrate 2 of the color filter 1 are bonded to each other so that the address electrodes 511... And the display electrodes 512 are opposed to each other so as to be orthogonal to each other, and formed on the substrate 501, the partition 515, and the color filter 1 side. The discharge chamber 516 is formed by exhausting a space portion surrounded by the protective film 514 and filling a rare gas. The display electrodes 512 formed on the color filter 1 side are formed so as to be arranged two by two for each discharge chamber 516.
[0125]
The address electrode 511 and the display electrode 512 are connected to an AC power supply (not shown), and when a current is applied to each electrode, the phosphor is excited and emitted in the discharge display portion 510 at a required position to emit white light. The color display can be performed by viewing through the.
[0126]
[Electronics]
Lastly, an embodiment of an electronic device according to the invention will be described with reference to FIGS. In this embodiment, an electronic apparatus including the liquid crystal display device 170 as a display unit will be described. FIG. 25 is a schematic configuration diagram illustrating an overall configuration of a control system (display control system) for the liquid crystal display device 170 in the electronic apparatus of the present embodiment. The electronic device shown here has a display control circuit 290 including a display information output source 291, a display information processing circuit 292, a power supply circuit 293, and a timing generator 294. In addition, the same liquid crystal display device 170 as above has a drive circuit 170B for driving a display area 170A. The drive circuit 170B is usually a semiconductor IC chip directly mounted on a liquid crystal panel, a circuit pattern formed on the panel surface, or a semiconductor IC chip or circuit mounted on a circuit board conductively connected to the liquid crystal panel. It is composed of patterns and the like.
[0127]
The display information output source 291 includes a memory such as a ROM (Read Only Memory) or a RAM (Random Access Memory), a storage unit such as a magnetic recording disk or an optical recording disk, and a tuning circuit for synchronizing and outputting a digital image signal. , And is configured to supply display information to the display information processing circuit 292 in the form of an image signal in a predetermined format or the like based on various clock signals generated by the timing generator 294.
[0128]
The display information processing circuit 292 includes various known circuits such as a serial-parallel conversion circuit, an amplification / inversion circuit, a rotation circuit, a gamma correction circuit, and a clamp circuit. Is supplied to the drive circuit 170B together with the clock signal CLK. The driving circuit 170B includes a scanning line driving circuit, a signal line driving circuit, and an inspection circuit. The power supply circuit 293 supplies a predetermined voltage to each of the above-described components.
[0129]
FIG. 26 shows an appearance of a mobile phone which is an embodiment of the electronic apparatus according to the present invention. The electronic device 1000 includes an operation unit 1001 and a display unit 1002, and a circuit board 1100 is disposed inside the display unit 1002. The liquid crystal display device 170 is mounted on the circuit board 1100. The display area 170A is configured to be visible on the surface of the display section 1002.
[0130]
In the present embodiment described above, the electronic device on which the liquid crystal display device 170 is mounted has been described. However, with the same configuration as described above, an electroluminescence device or a plasma display panel can be driven for display. Various electronic devices equipped with a display device can be configured.
[0131]
[Other embodiments]
As described above, the present invention has been described with reference to the preferred embodiments. However, the present invention is not limited to the above-described first to seventh embodiments and application examples thereof, and includes the following modified examples, Embodiments having any other specific structures and shapes can be provided as long as the object of the present invention can be achieved.
[0132]
That is, the discharge method and the like of the present invention are applied to the above-described color filter and its manufacturing apparatus, a liquid crystal display device having the color filter and its manufacturing apparatus, an electroluminescence apparatus and its manufacturing apparatus, or a plasma display. The present invention is not limited to an apparatus and a manufacturing apparatus thereof, and can be used for various electro-optical devices such as a field emission display (FED), an electrophoresis apparatus, a thin cathode ray tube, and a CRT (Cathode-Ray Tube).
[0133]
Further, the ejection method and the like of the present invention can also be used in a process of manufacturing various substrates included in the electro-optical device. For example, in order to form electric wiring of a printed circuit board, a manufacturing process of forming a metal wiring by discharging a liquid metal or a conductive material, a manufacturing process of forming fine microlenses, a resist applied on the substrate, A process of applying only necessary parts, a manufacturing process of forming a convex portion that scatters light on a light-transmitting substrate or the like, a fine white pattern, etc., RNA is formed on a spike spot arranged in a matrix on a DNA (deoxyribonucleic acid) chip. (Ribonucleic acid: ribonucleic acid) to produce a fluorescently labeled probe, a biochip by discharging a sample, an antibody, DNA (deoxyribonucleic acid: deoxyribonucleic acid), etc., to dot-like positions defined on a substrate. Can also be used in the manufacturing process to form .
[0134]
According to the present invention, even if a material arrangement region is set in an arbitrary arrangement manner on a substrate, a plurality of liquids are ejected from respective nozzle rows constituted by a plurality of droplet ejection heads. Therefore, the degree of freedom in the arrangement design of the material arrangement region is improved, and the production efficiency can be increased. Thereby, it has become possible to efficiently provide a color filter, a liquid crystal display device using the same, an electroluminescence device, a plasma display panel having a uniform thickness of a light emitting medium, and the like.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1A is a schematic perspective view showing the internal structure of a droplet discharge head, and FIG.
FIG. 2 is an explanatory diagram showing the appearance of a droplet discharge head and a nozzle row.
FIG. 3 is an explanatory diagram of a different droplet discharge head.
FIG. 4 is an explanatory diagram of the first embodiment.
FIG. 5 is an explanatory diagram of the second embodiment.
FIG. 6 is an explanatory diagram of the third embodiment.
FIG. 7 is an explanatory diagram of a fourth embodiment.
FIG. 8 is an explanatory diagram of the fifth embodiment.
FIG. 9 is an explanatory view of a sixth embodiment.
FIG. 10 is a schematic perspective view showing a head row configuration according to a seventh embodiment.
FIG. 11 is a schematic perspective view showing a main part of a droplet discharge device.
FIG. 12 is an explanatory diagram illustrating a scanning method of the droplet discharge device.
FIG. 13 is a configuration block diagram of a droplet discharge device.
FIGS. 14A to 14D are process cross-sectional views illustrating a process for manufacturing a color filter.
FIG. 15 is a schematic cross-sectional view illustrating a configuration example of a liquid crystal display device.
FIG. 16 is an equivalent circuit diagram of an electroluminescence (EL) device.
17A to 17E are process cross-sectional views illustrating a manufacturing process of the EL device.
FIGS. 18A to 18C are process cross-sectional views illustrating a manufacturing process of the EL device.
FIGS. 19A to 19D are process cross-sectional views illustrating a manufacturing process of the EL device.
FIG. 20 is an enlarged sectional view showing display dots of a plasma display panel (PDP).
FIG. 21 is an exploded perspective view of another PDP.
FIG. 22 is an enlarged sectional view of the PDP shown in FIG. 21;
FIGS. 23A to 23C are pattern diagrams showing arrangement patterns of color filters.
24A is a plan view of a substrate as an object to which a method using a conventional droplet discharge head is applied, FIG. 24B is an explanatory diagram showing the operation of the droplet discharge head, and FIG. The top view (c) which shows a structure.
FIG. 25 is an exemplary configuration block diagram illustrating the configuration of a display control system of the electronic apparatus of the embodiment.
FIG. 26 is a schematic perspective view illustrating an appearance of an electronic device.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Color filter, 8 ... Droplet, 10 ... Substrate, 11 ... Material arrangement area (color filter formation area), 12 ... Material, 16 ... Droplet discharge device, 22 ... Droplet discharge head, 25 ... Carriage, 27 ... Nozzle, 28: nozzle row, P: arrangement cycle, Q: area interval, R: area width, N: nozzle cycle, L: group arrangement cycle, G: head interval, 170: liquid crystal display device, 170A: display area, 170B ... Drive circuit, 290 ... Display control circuit, 1000 ... Electronic equipment

Claims (20)

複数のノズルが配列されてなるノズル列を有する液滴吐出ヘッドを用いて材料が所定パターンにて配列されてなる複数の材料配列領域を基板上に形成する液状物の吐出方法であって、１又は複数の前記液滴吐出ヘッドの組を前記材料配列領域毎に位置決めすることにより、前記複数の材料配列領域にそれぞれ対応する複数組の前記液滴吐出ヘッドで構成されるヘッド列を構成し、前記ヘッド列または基板を走査しながら、前記複数の材料配列領域に対して並行して液状物を吐出することを特徴とする液状物の吐出方法。A method for discharging a liquid material, wherein a plurality of material arrangement regions in which materials are arranged in a predetermined pattern are formed on a substrate by using a droplet discharge head having a nozzle row in which a plurality of nozzles are arranged, comprising: Or, by positioning a set of a plurality of the droplet discharge heads for each of the material arrangement regions, configure a head row composed of a plurality of sets of the droplet discharge heads respectively corresponding to the plurality of material arrangement regions, A method for discharging a liquid material, comprising discharging a liquid material to the plurality of material arrangement regions in parallel while scanning the head row or the substrate. 前記材料配列領域毎に複数の前記液滴吐出ヘッドの組を対応させて設け、該組内において隣接する前記液滴吐出ヘッドを、その前記ノズル列同士が前記材料配列領域の前記所定パターンに対応して前記走査方向から見たときに連続するように配置することを特徴とする請求項１に記載の液状物の吐出方法。A plurality of sets of the droplet discharge heads are provided in correspondence with each of the material arrangement regions, and the adjacent droplet discharge heads in the group correspond to the predetermined pattern of the material arrangement region. 2. The method according to claim 1, wherein the liquid material is arranged so as to be continuous when viewed from the scanning direction. 前記組内に配置された複数の前記ノズル列により構成されるノズル全幅を対応する前記材料配列領域の幅よりも広くすることを特徴とする請求項１又は２に記載の液状物の吐出方法。3. The method according to claim 1, wherein a total width of the nozzles formed by the plurality of nozzle rows arranged in the set is wider than a width of the corresponding material arrangement region. 4. 前記ヘッド列において隣接する前記液滴吐出ヘッドを前記走査方向にずらして配置することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液状物の吐出方法。4. The method according to claim 1, wherein the droplet discharge heads adjacent to each other in the head row are displaced in the scanning direction. 5. 前記ヘッド列において複数の前記液滴吐出ヘッドを千鳥状に配列させることを特徴とする請求項４に記載の液状物の吐出方法。5. The method according to claim 4, wherein a plurality of the droplet discharge heads are arranged in a staggered manner in the head row. 複数のノズルが配列されてなるノズル列を有する液滴吐出ヘッドを用いて材料が所定パターンにて配列されてなる複数の材料配列領域を基板上に形成する液状物の吐出装置であって、
相互に位置調整可能に構成された複数の液滴吐出ヘッドを配列させてなるヘッド列と、
前記ヘッド列または基板を走査する走査手段と、
１又は複数の前記液滴吐出ヘッドの組を前記材料配列領域毎に位置決めするための制御部と、
を有することを特徴とする液状物の吐出装置。A liquid ejection apparatus for forming a plurality of material arrangement regions in which materials are arranged in a predetermined pattern on a substrate using a droplet ejection head having a nozzle row in which a plurality of nozzles are arranged,
A head row in which a plurality of droplet discharge heads configured to be mutually position adjustable are arranged,
Scanning means for scanning the head row or the substrate,
A control unit for positioning one or more sets of the droplet discharge heads for each of the material arrangement regions;
A device for discharging a liquid material, comprising: 前記制御部は、前記材料配列領域毎に複数の前記液滴吐出ヘッドの組を対応させ、該組内において隣接する前記液滴吐出ヘッドを、その前記ノズル列同士が前記材料配列領域の前記所定パターンに対応して前記走査方向から見たときに連続するように配置することを特徴とする請求項６に記載の液状物の吐出装置。The control unit associates a plurality of sets of the droplet discharge heads with respect to each of the material arrangement regions, and sets adjacent ones of the droplet discharge heads in the group to the predetermined row of the material arrangement region. The liquid ejecting apparatus according to claim 6, wherein the liquid ejecting apparatus is arranged so as to be continuous when viewed from the scanning direction corresponding to the pattern. 前記制御部は、前記組内に配置された複数の前記ノズル列により構成されるノズル全幅を対応する前記材料配列領域の幅よりも広く構成することを特徴とする請求項６又は７に記載の液状物の吐出装置。8. The control unit according to claim 6, wherein the control unit configures a total width of the nozzles configured by the plurality of nozzle rows arranged in the set to be wider than a width of the corresponding material arrangement region. 9. Liquid material discharge device. 前記ヘッド列において隣接する前記液滴吐出ヘッドが前記走査方向にずらして配置されることを特徴とする請求項６乃至８のいずれか一項に記載の液状物の吐出装置。The liquid ejecting apparatus according to any one of claims 6 to 8, wherein the adjacent droplet ejecting heads in the head row are displaced in the scanning direction. 前記ヘッド列において複数の前記液滴吐出ヘッドが千鳥状に配列されることを特徴とする請求項９に記載の液状物の吐出装置。10. The apparatus according to claim 9, wherein a plurality of the droplet discharge heads are arranged in a staggered manner in the head row. 複数のノズルが配列されてなるノズル列を有する液滴吐出ヘッドを用いてカラーフィルタ材料が所定パターンにて配列されてなる複数のカラーフィルタ領域を基板上に形成するカラーフィルタの製造方法であって、１又は複数の前記液滴吐出ヘッドの組を前記複数のカラーフィルタ領域毎に位置決めすることにより、前記複数のカラーフィルタ領域にそれぞれ対応する複数組の前記液滴吐出ヘッドで構成されるヘッド列を構成し、前記ヘッド列または基板を走査しながら、前記複数のカラーフィルタ領域に対して並行して液状物を吐出することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。A method for manufacturing a color filter, wherein a plurality of color filter regions in which color filter materials are arranged in a predetermined pattern is formed on a substrate using a droplet discharge head having a nozzle row in which a plurality of nozzles are arranged. A head row including a plurality of sets of the droplet discharge heads respectively corresponding to the plurality of color filter regions by positioning a set of one or a plurality of the droplet discharge heads for each of the plurality of color filter regions; And discharging a liquid material to the plurality of color filter regions in parallel while scanning the head row or the substrate. 請求項１１に記載のカラーフィルタの製造方法により得られたカラーフィルタ。A color filter obtained by the method for manufacturing a color filter according to claim 11. 請求項１２に記載のカラーフィルタを備えた液晶表示装置。A liquid crystal display device comprising the color filter according to claim 12. 複数のノズルが配列されてなるノズル列を有する液滴吐出ヘッドを用いてエレクトロルミネッセンス材料が所定パターンにて配列されてなる複数のエレクトロルミネッセンス領域を基板上に形成するエレクトロルミネッセンス装置の製造方法であって、１又は複数の前記液滴吐出ヘッドの組を前記エレクトロルミネッセンス領域毎に位置決めすることにより、前記複数のエレクトロルミネッセンス領域にそれぞれ対応する複数組の前記液滴吐出ヘッドで構成されるヘッド列を構成し、前記ヘッド列または基板を走査しながら、前記複数のエレクトロルミネッセンス領域に対して並行して液状物を吐出することを特徴とするエレクトロルミネッセンス装置の製造方法。A method for manufacturing an electroluminescent device, wherein a plurality of electroluminescent regions in which a plurality of electroluminescent materials are arranged in a predetermined pattern are formed on a substrate using a droplet discharge head having a nozzle row in which a plurality of nozzles are arranged. By positioning one or a plurality of sets of the droplet discharge heads for each of the electroluminescence regions, a head row including a plurality of sets of the droplet discharge heads respectively corresponding to the plurality of electroluminescence regions is formed. A method for manufacturing an electroluminescent device, comprising: discharging a liquid material to the plurality of electroluminescent regions in parallel while scanning the head row or the substrate. 請求項１４に記載のエレクトロルミネッセンス装置の製造方法により得られたエレクトロルミネッセンス装置。An electroluminescent device obtained by the method for manufacturing an electroluminescent device according to claim 14. 複数のノズルが配列されてなるノズル列を有する液滴吐出ヘッドを用いてプラズマ発光材料が所定パターンにて配列されてなる複数のプラズマ発光領域を基板上に形成するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、１又は複数の前記液滴吐出ヘッドの組を前記プラズマ発光領域毎に位置決めすることにより、前記複数のプラズマ発光領域にそれぞれ対応する複数組の前記液滴吐出ヘッドで構成されるヘッド列を構成し、前記ヘッド列または基板を走査しながら、前記複数のプラズマ発光領域に対して並行して液状物を吐出することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。A method for manufacturing a plasma display panel, wherein a plurality of plasma emission regions in which plasma emission materials are arranged in a predetermined pattern is formed on a substrate using a droplet discharge head having a nozzle row in which a plurality of nozzles are arranged. By positioning one or a plurality of sets of the droplet discharge heads for each of the plasma emission regions, a head row including a plurality of sets of the droplet discharge heads respectively corresponding to the plurality of plasma emission regions is formed. A method for manufacturing a plasma display panel, comprising: discharging a liquid material to the plurality of plasma emission regions in parallel while scanning the head row or the substrate. 請求項１６に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法により得られたプラズマディスプレイパネル。A plasma display panel obtained by the method for manufacturing a plasma display panel according to claim 16. 請求項１３に記載の液晶表示装置を備えることを特徴とする電子機器。An electronic apparatus comprising the liquid crystal display device according to claim 13. 請求項１５に記載のエレクトロルミネッセンス装置を備えることを特徴とする電子機器。An electronic apparatus comprising the electroluminescence device according to claim 15. 請求項１７に記載のプラズマディスプレイパネルを備えることを特徴とする電子機器。An electronic apparatus comprising the plasma display panel according to claim 17.
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