JP2004240361A - レンズ一体型光ファイバおよびその製造方法、光モジュール、ならびに光伝達装置 - Google Patents
レンズ一体型光ファイバおよびその製造方法、光モジュール、ならびに光伝達装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004240361A JP2004240361A JP2003032076A JP2003032076A JP2004240361A JP 2004240361 A JP2004240361 A JP 2004240361A JP 2003032076 A JP2003032076 A JP 2003032076A JP 2003032076 A JP2003032076 A JP 2003032076A JP 2004240361 A JP2004240361 A JP 2004240361A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- optical fiber
- core
- face
- integrated optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 title claims abstract description 333
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 109
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 40
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 title claims description 15
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 claims abstract description 19
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims abstract description 14
- 239000002243 precursor Substances 0.000 claims description 65
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 46
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 42
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 24
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 24
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 claims description 16
- 238000005253 cladding Methods 0.000 claims description 11
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 abstract description 10
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 32
- 239000000463 material Substances 0.000 description 24
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 22
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 20
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 17
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 13
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 10
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 8
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 7
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 7
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 7
- DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 5-(5-carboxythiophen-2-yl)thiophene-2-carboxylic acid Chemical compound S1C(C(=O)O)=CC=C1C1=CC=C(C(O)=O)S1 DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 5
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 5
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000007429 general method Methods 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/32—Optical coupling means having lens focusing means positioned between opposed fibre ends
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4202—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details for coupling an active element with fibres without intermediate optical elements, e.g. fibres with plane ends, fibres with shaped ends, bundles
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4204—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms
- G02B6/4206—Optical features
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】レンズ一体型光ファイバ150は、光ファイバ120と、光ファイバ120の端面120a上に設けられたレンズ140を含む。レンズは、液体材料の液滴を光ファイバ端面に吐出して硬化させて、その最大輻が光ファイバの端面の最大輻よりも大きくなるように形成する。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、レンズ一体型光ファイバおよびその製造方法に関する。
【0002】
また、本発明は、レンズ一体型光ファイバを含む光モジュールおよび光伝達装置に関する。
【0003】
【背景技術】
近年、情報通信が高速化・大容量化の傾向にあり、光通信の開発が進んでいる。一般に、光通信では、電気信号を光信号に変換し、光信号を光ファイバで送信し、受信した光信号を電気信号に変換する。電気信号と光信号との変換は、光素子によって行なわれる。
【0004】
この場合、光ファイバとして、先球ファイバが用いられる場合がある。この先球ファイバは、先端に半球状のレンズが設置されているファイバである。先球ファイバを用いることにより、通常光ファイバと光素子との間に設置されるレンズが省略可能となるため、光路の調整が容易となるうえ、装置の小型化が可能となる。
【0005】
しかしながら、先球ファイバを製造するためには、複雑な加工が必要となる場合が多い(例えば、特許文献1参照)。このため、先球ファイバは一般に、通常の光ファイバと比較してかなり高価である。
【0006】
【特許文献1】
特開平8−286082号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、安価であり、かつ光学特性が良好に制御されたレンズ一体型光ファイバおよびその製造方法を提供することにある。
【0008】
また、本発明の目的は、前記レンズ一体型光ファイバを含む光モジュールおよび光伝達装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
(1)本発明のレンズ一体型光ファイバは、
光ファイバの端面上に設けられたレンズを含み、
前記光ファイバの端面と平行でかつ前記レンズの切断面の面積が最大となる面で前記レンズを切断した場合の切断面を最大切断面S1としたとき、
前記最大切断面S1の最大幅d2が、前記光ファイバの端面の最大幅d1よりも大きい。
【0010】
(2)また、本発明のレンズ一体型光ファイバは、
コアおよびクラッドを含む光ファイバと、
前記光ファイバの端部において、前記コアの端面上に設けられたレンズと、
を含む。
【0011】
ここで、前記光ファイバの端面は、前記レンズを設置できる限り、形状は特に限定されるわけではなく、円形であってもよいし楕円形であってもよい。また、前記レンズの切断面も同様に、形状は特に限定されるわけではない。
【0012】
また、ここで、「最大切断面S1」とは、前記光ファイバの端面と平行な面で前記レンズを切断した場合の切断面のうち、面積が最大である切断面をいう。また、「最大切断面S1の最大幅d2」とは、前記最大切断面S1における最大の幅をいう。さらに、「光ファイバの端面の最大幅d1」とは、前記光ファイバの端面における最大の幅をいい、例えば光ファイバの端面が円形である場合、光ファイバの端面を構成する円の直径をいい、例えば光ファイバの端面が楕円形である場合、光ファイバの端面を構成する楕円の長軸をいう。
【0013】
本発明のレンズ一体型光ファイバによれば、上記構成を有することにより、前記レンズの曲面(前記レンズの表面)の上部と前記光ファイバの端面との距離を大きくすることができるため、前記レンズのレンズ効果を高めることができる。詳しくは、本実施の形態の欄で説明する。
【0014】
なお、本発明において、光ファイバの材質は特に限定されるわけではなく、例えば石英ガラス、プラスチック、プラスチックと石英との複合体、あるいは多成分ガラスからなる光ファイバに本発明を適用することができる。
【0015】
(3)このレンズ一体型光ファイバにおいて、前記端部において、前記コアの端面と前記クラッドの端面との高さが異なるようにすることができる。
【0016】
(i)この場合、前記端部において、前記コアを、前記クラッドで覆われていないようにすることができる。これにより、前記端部において、前記コアと前記クラッドとで凸部を構成することができる。
【0017】
ここで、前記端部において、前記コアの周囲を封止材で覆うことができる。この構成によれば、前記レンズを前記端面上に確実に固定することができる。その結果、歩留まりが高いレンズ一体型光ファイバを得ることができる。
【0018】
また、ここで、前記コアの端面と平行でかつ前記レンズの切断面の面積が最大となる面で前記レンズを切断した場合の切断面を最大切断面S2としたとき、
前記最大切断面S2の最大幅d4を、前記コアの端面の最大幅d3よりも大きくすることができる。
【0019】
ここで、「最大切断面S2」とは、前記コアの端面と平行な面で前記レンズを切断した場合の切断面のうち、面積が最大である切断面をいう。また、「コアの端面の最大幅d3」とは、前記コアの端面における最大の幅をいい、例えばコアの端面が円形である場合、コアの端面を構成する円の直径をいい、例えばコアの端面が楕円形である場合、コアの端面を構成する楕円の長軸をいう。さらに、「最大切断面S2の最大幅d4」とは、前記最大切断面S2における最大の幅をいう。
【0020】
この構成によれば、レンズ効果が大きいレンズを、前記コアの端面上に設置することができる。
【0021】
(ii)また、この場合、前記端部において、前記クラッドは前記コアを覆っていないようにすることができる。これにより、前記端部において、前記コアと前記クラッドとで凹部が構成される。この構成によれば、前記レンズを前記端面上に確実に固定することができる。その結果、歩留まりが高いレンズ一体型光ファイバを得ることができる。
【0022】
(4)このレンズ一体型光ファイバにおいて、前記レンズの屈折率を、前記コアの屈折率とほぼ等しくすることができる。
【0023】
また、前記レンズの屈折率を、前記封止材の屈折率より大きく、前記封止材の屈折率を、前記クラッドの屈折率とほぼ等しくすることができる。
【0024】
(5)このレンズ一体型光ファイバにおいて、前記レンズは、エネルギーを付加することによって硬化可能な液体材料を硬化させることにより形成できる。これにより、前記レンズが所望の形状および大きさに調整されることにより、光学特性が良好に制御されたレンズを含むレンズ一体型光ファイバを得ることができる。
【0025】
この場合、前記レンズは、紫外線硬化型樹脂からなることができる。
【0026】
(6)本発明の光モジュールは、前述した本発明のレンズ一体型光ファイバと、
光学的部分を有する光素子と、
前記光素子と電気的に接続された半導体チップと、を含む。
【0027】
本発明の光モジュールによれば、前記レンズ一体型光ファイバと、前記光素子とを含むことにより、光ファイバと光素子との間に別途レンズが設けられた一般的な光モジュールと比較して、装置の簡素化を図ることができるうえ、装置の小型化および低コスト化を図ることができる。
【0028】
また、光ファイバと光素子との間に別途レンズが設けられた一般的な光モジュールと比較して、本発明のレンズ一体型光ファイバでは、前記レンズが前記光ファイバに設置されているため、別途設けられるレンズと、光ファイバおよび光素子との位置合わせが不要になる。すなわち、前記レンズ一体型光ファイバと前記光素子との間の位置合わせを行なうだけで足りるため、光路調整の簡易化を図ることができる。
【0029】
(7)本発明の光伝達装置は、前述した本発明のレンズ一体型光ファイバと、
前記光ファイバの一方の端面に発光部を向けて搭載された発光素子と、
前記発光素子と電気的に接続されて前記発光素子とパッケージ化された半導体チップと、
前記光ファイバの他方の端面に受光部を向けて搭載された受光素子と、
前記受光素子と電気的に接続されて前記受光素子とパッケージ化された半導体チップと、を含む。
【0030】
(8)本発明のレンズ一体型光ファイバの製造方法は、
(a)光ファイバの端面に対して液滴を吐出して、レンズ前駆体を前記光ファイバの端面上に形成し、
(b)前記レンズ前駆体を硬化させて、レンズを形成すること、を含み、
前記光ファイバの端面と平行でかつ前記レンズの切断面の面積が最大となる面で前記レンズを切断した場合の切断面を最大切断面S1としたとき、
前記最大切断面S1の最大幅d2を、前記光ファイバの端面の最大幅d1よりも大きくなるように形成する。
【0031】
(9)また、本発明のレンズ一体型光ファイバの製造方法は、
(a)コアとクラッドとを含む光ファイバの端部において、前記コアの端面に対して液滴を吐出して、レンズ前駆体を前記コアの端面上に形成し、
(b)前記レンズ前駆体を硬化させて、レンズを形成すること、を含む。
【0032】
本発明のレンズ一体型光ファイバの製造方法によれば、より簡便な方法にて、所望の形状および大きさに調整されかつ光学特性が良好に制御されたレンズを含む、レンズ一体型光ファイバを得ることができる。詳しくは、本実施の形態の欄で説明する。
【0033】
(10)このレンズ一体型光ファイバの製造方法において、さらに、前記(a)および(b)の前に、(c)前記端部において、前記コアの端面の高さが、前記クラッドの端面の高さと異なるように形成すること、を含むことができる。
【0034】
(i)この場合、前記(c)は、前記端部において、前記コアの周囲の前記クラッドを除去すること、を含むことができる。あるいは、この場合、前記(c)は、前記端部において、前記コアを伸長すること、を含むことができる。
【0035】
また、この場合、さらに、(d)前記コアの周囲を封止材で覆うこと、を含むことができる。
【0036】
さらに、この場合、前記コアの端面と平行でかつ前記レンズの切断面の面積が最大となる面で前記レンズを切断した場合の切断面を最大切断面S2としたとき、
前記最大切断面S2の最大幅d4を、前記コアの端面の最大幅d3よりも大きくなるように形成することができる。
【0037】
(ii)また、この場合、前記端部において、前記クラッドに隣り合う前記コアを除去すること、を含むことができる。
【0038】
(11)このレンズ一体型光ファイバの製造方法において、前記液滴の吐出を、インクジェット法により行なうことができる。この方法によれば、前記液滴の吐出量の微妙な調整が可能であるため、微細なレンズを、前記光ファイバの端面上に簡便に設置することができる。
【0039】
(12)このレンズ一体型光ファイバの製造方法において、前記レンズ前駆体の硬化を、エネルギーの付加により行なうことができる。
【0040】
この場合、前記レンズ前駆体は、紫外線硬化型樹脂からなり、
前記エネルギーは、紫外光であり、
前記レンズ前駆体の硬化は、前記光ファイバの他方の端部において、前記コアの端面から紫外光を入射させた後、該紫外光が前記コア内を伝搬し、前記光ファイバの端部から出射した紫外光が該レンズ前駆体に照射することにより行なわれる。この方法によれば、前記紫外光が前記コアの端面から出射して直接前記レンズ前駆体に照射されるため、前記レンズ前駆体を確実に硬化させることができるのに加えて、より少ない紫外線の量で前記レンズ前駆体を効率良く硬化させることができる。
【0041】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【0042】
(第1の実施の形態)
1.レンズ一体型光ファイバの構造
図1(a)は、本発明を適用した一実施の形態に係るレンズ一体型光ファイバ150を模式的に示す側面図であり、図1(b)は、図1(a)に示すレンズ一体型光ファイバ150を模式的に示す正面図である。図1(a)および図1(b)は、レンズ一体型光ファイバ150のうち、端面120a上にレンズ140が設けられた光ファイバ120の端部を示している。
【0043】
本実施の形態のレンズ一体型光ファイバ150は、図1(a)および図1(b)に示すように、光ファイバ120と、光ファイバ120の端面120a上に設けられたレンズ140とを含む。
【0044】
[光ファイバ]
光ファイバ120は一般に、コア122およびクラッド124を含む。クラッド124はコア122を同心円状に囲んでいる。光ファイバ120では、コア122とクラッド124との境界で光が反射されて、コア122内に光が閉じ込められ、コア122内を光が伝搬する。また、クラッド124の周囲は、ジャケット(図示せず)によって保護することができる。
【0045】
また、本実施の形態においては、光ファイバ120の断面形状が円形である場合について示したが、光ファイバ120の断面形状は特に限定されるわけではない。このことは、後述する実施形態および変形例に示される光ファイバについても同様である。例えば、光ファイバ120として、断面形状が楕円形である光ファイバや、コアが円形または楕円形でクラッドがその他の形状である光ファイバを用いることができる。
【0046】
なお、図1(a)および図1(b)においては、光ファイバ120の端部(一方の端部)を示している。このレンズ一体型光ファイバ150は、光ファイバ120の両方の端部において、光ファイバ120の端面120a上にレンズ140が形成されていてもよいし、光ファイバ120の両方の端部のうちいずれか一方において、光ファイバ120の端面上にレンズ140が形成されていてもよい。このことは、後述する実施形態および変形例に示されるレンズ一体型光ファイバでも同様である。
【0047】
[レンズ]
レンズ140は、図1(a)および図1(b)に示すように、光ファイバ120の端面120a上に設けられている。また、最大切断面S1の最大幅d2は、光ファイバ120の端面120aの最大幅d1よりも大きい。ここで、最大切断面S1は、光ファイバ120の端面120aと平行な面でレンズ140を切断した場合のレンズ140の切断面のうち、面積が最大となる切断面である。
【0048】
また、このレンズ一体型光ファイバ150においては、最大切断面S1は円形であるため、最大切断面S1の最大幅d2は、最大切断面S1を構成する円の直径である。この場合、図示しないが、最大切断面S1がほぼ楕円形である場合、最大切断面S1の最大幅d2は、最大切断面S1を構成する楕円の長軸である。
【0049】
さらに、このレンズ一体型光ファイバ150においては、光ファイバ120の端面120aの最大幅d1は、光ファイバ120の端面120aにおける最大の幅である。本実施の形態においては、光ファイバ120の端面120aは円形であるため、光ファイバ120の端面120aの最大幅d1は、光ファイバ120の端面120aを構成する円の直径である。この場合、図示しないが、光ファイバ120の端面120aがほぼ楕円形である場合、光ファイバ120の端面120aの最大幅d1は、光ファイバ120の端面120aを構成する楕円の長軸である。
【0050】
光ファイバ120から出射する光を、例えば受光素子(図示せず)に入射させる場合、光ファイバ120から出射した光をレンズ140によって集光した後、受光素子に入射させることができる。あるいは、発光素子(図示せず)から出射する光を、例えば光ファイバ120に入射させる場合、発光素子から出射した光をレンズ140に入射させ、レンズ140によって該光を集光した後、光ファイバ120へと入射させることができる。
【0051】
レンズ140は、エネルギーを付加することによって硬化可能な液体材料を硬化させて形成することができる。前記液体材料としては、例えば、紫外線硬化型樹脂や熱硬化型樹脂の前駆体が挙げられる。紫外線硬化型樹脂としては、例えば紫外線硬化型のアクリル系樹脂およびエポキシ系樹脂が挙げられる。また、熱硬化型樹脂としては、熱硬化型のポリイミド系樹脂が例示できる。
【0052】
さらに、レンズ140の屈折率は、光ファイバ120のコア122の屈折率とほぼ等しくすることができる。この構成によれば、レンズ140とコア122との界面における光の反射を少なくすることができるため、該界面における光の損失を少なくすることができる。このことは、後述する実施形態および変形例においても同様である。
【0053】
具体的には、レンズ140は、光ファイバ120の端面120aに対して液滴を吐出して、レンズ前駆体(後述する)を形成した後、このレンズ前駆体を硬化させることにより形成することができる。
【0054】
より具体的には、レンズ140は、紫外線硬化型樹脂または熱硬化型樹脂の前駆体からなる。この場合、レンズ140の形状および大きさは、レンズ140を形成する際に用いる液体材料の種類や量を調整することによって、制御することができる。例えば、図1(a)および図1(b)には、最大切断面S1の最大幅d2が光ファイバ120の端面120aの最大幅d1よりも大きい場合を示したが、レンズ140を形成するために用いる液体材料の量および種類を調整することによって、最大切断面S1の最大幅d2を、光ファイバ120の端面120aの最大幅d1よりも小さくすることもできる。このことは、後述する第2の実施形態のレンズ240についても同様に適用される。
【0055】
2.レンズ一体型光ファイバの製造方法
次に、図1(a)および図1(b)に示すレンズ一体型光ファイバ150の製造方法について、図2および図3を参照して説明する。図2および図3はそれぞれ、レンズ一体型光ファイバ150の一製造工程を模式的に示す図である。
【0056】
[レンズ前駆体の形成]
まず、光ファイバ120の端面120a上にレンズ前駆体140aを形成する(図2および図3参照)。具体的には、光ファイバ120の端面120aに対して、レンズ140を形成するための液体材料の液滴140bを吐出して、レンズ前駆体140aを形成する。前述したように、前記液体材料は、エネルギーを付加することによって硬化可能な性質を有する。
【0057】
液滴140bを吐出する方法としては、例えば、ディスペンサ法またはインクジェット法が挙げられる。ディスペンサ法は、液滴を吐出する方法として一般的な方法であり、比較的広い領域に液滴140bを吐出する場合に有効である。また、インクジェット法は、インクジェットヘッドを用いて液滴を吐出する方法であり、液滴を吐出する位置についてμmオーダーの単位で制御が可能である。また、吐出する液滴の量をピコリットルオーダーの単位で制御することができる。このため、微細な光ファイバの端面上に、微細な構造のレンズを作製することができる。
【0058】
ここでは、図2に示すように、インクジェットヘッド110を用いて液滴140bを吐出する方法について説明する。図2に示すように、光ファイバ120の端面120aに対して、インクジェットヘッド110を用いて液体材料の液滴140bを吐出する。これにより、図3に示すように、光ファイバ120の端面120a上にレンズ前駆体140aを形成する。必要に応じて、液滴140bを複数回吐出することにより、所望の形状および大きさのレンズ前駆体140aを、光ファイバ120の端面120a上に形成する。
【0059】
なお、液滴140bを吐出する前に、必要に応じて、光ファイバ120の端面120aに親液性処理または撥液性処理を行なうことにより、液滴140bに対する端面120aの濡れ性を制御することができる。これにより、レンズ140の形状および大きさをより厳密に制御することができる。
【0060】
[レンズの形成]
次いで、レンズ前駆体140aを硬化させて、レンズ140を形成する(図1および図3参照)。具体的には、図3に示すように、レンズ前駆体140aに対して、熱または光等のエネルギー113を付加する。
【0061】
レンズ前駆体140aを硬化する際は、前記液体材料の種類により適切な方法を選択する。硬化手段としては、具体的には、熱エネルギーの付加、あるいは紫外線またはレーザ光等の光照射が挙げられる。また、付加するエネルギー113の量は、レンズ前駆体140aの形状、大きさおよび材質によって適宜調整する。以上の工程により、光ファイバ120と、光ファイバ120の端面120a上に形成されたレンズ140とを含むレンズ一体型光ファイバ150が得られる(図1参照)。
【0062】
3.作用効果
本実施の形態に係るレンズ一体型光ファイバおよびその製造方法は、以下に示す作用効果を有する。これらの作用効果によって、安価であり、かつ光学特性が良好に制御されたレンズ一体型光ファイバ150を得ることができる。
【0063】
(1)第1に、最大切断面S1の最大幅d2が、光ファイバ120の端面120aの最大幅d1よりも大きい。これにより、レンズ140の曲面(レンズ140の表面)の上部と、光ファイバ120の端面120aとの距離を大きくすることができるため、レンズ140のレンズ効果を高めることができる。
【0064】
(2)第2に、レンズ140の大きさおよび形状を厳密に制御することができる。すなわち、レンズ140の形状は液滴140bの吐出量によって制御することができる。これにより、所望の形状および大きさのレンズ140を含むレンズ一体型光ファイバ150を得ることができる。その理由について、以下説明する。
【0065】
本実施の形態のレンズ一体型光ファイバ150によれば、図1に示すように、レンズ前駆体140aは光ファイバ120の端面120a上に形成される。これにより、光ファイバ120の側面がレンズ前駆体140aで濡れない限り、レンズ前駆体140aには表面張力が主に作用する。このため、レンズ前駆体140aを形成するための液滴140bの量を調整することによって、レンズ前駆体140aの形状および大きさを制御することができる。これにより、所望の形状および大きさのレンズ140を得ることができる。
【0066】
(3)第3に、レンズ140の設置位置を厳密に制御することができる。前述したように、レンズ140は、光ファイバ120の端面120aに対して液滴140bを吐出して、レンズ前駆体140aを形成した後、レンズ前駆体140aを硬化させることにより形成される(図2および図3参照)。
【0067】
一般に、吐出された液滴の着弾位置を厳密に制御するのは難しい。しかしながら、この方法によれば、特に位置合わせを行なうことなく光ファイバ120の端面120a上にレンズ140を形成することができる。すなわち、光ファイバ120の端面120a上に液滴140bが着弾すれば、液滴140bが端面120a上に濡れ広がるため、厳密な位置合わせを行なうことなくレンズ前駆体140aを端面120a上に形成することができる。これにより、設置位置が厳密に制御されたレンズ140を簡便な方法で得ることができる。
【0068】
(第2の実施の形態)
1.レンズ一体型光ファイバの構造
図4(a)は、本発明を適用した一実施の形態に係るレンズ一体型光ファイバ250を模式的に示す側面図であり、図4(b)は、図4(a)に示すレンズ一体型光ファイバ250を模式的に示す正面図である。図4(a)および図4(b)は、端面220a上にレンズ240が設けられた光ファイバ220の端部を示している。
【0069】
本実施の形態のレンズ一体型光ファイバ250は、図4(a)および図4(b)に示すように、光ファイバ220と、光ファイバ220のコア222の端面222a上に設けられたレンズ240とを含む。
【0070】
本実施の形態のレンズ一体型光ファイバ250は、図4(a)および図4(b)に示すように、光ファイバ220の端部において、コア222の端面222aとクラッド224の端面224aとの高さが異なる点、ならびに光ファイバ220のコア222の端面222a上にレンズ240が設けられている点で、第1の実施の形態のレンズ一体型光ファイバ150と異なる構成を有する。
【0071】
本実施の形態のレンズ一体型光ファイバ250およびその製造方法において、第1の実施の形態のレンズ一体型光ファイバ150と同様の構成を有する点については、原則として同一の符号を付して詳しい説明を省略する。
【0072】
[光ファイバ]
光ファイバ220は、コア222およびクラッド224を含む。本実施の形態においては、図4(a)に示す光ファイバ220の端部において、コア222がクラッド224で覆われていない場合を示す。すなわち、図4(a)に示す光ファイバ220の端部において、コア222の端面222aはクラッド224の端面224aより突出しており、コア222とクラッド224とで凸部260が構成されている。
【0073】
光ファイバ220は、第1の実施の形態において光ファイバ120の材質として示したものと同様の材質から形成することができる。
【0074】
[レンズ]
レンズ240は、図4(a)および図4(b)に示すように、光ファイバ220のコア222の端面222a上に設けられている。また、最大切断面S2の最大幅d4は、光ファイバ220のコア222の端面222aの最大幅d3よりも大きくすることができる。ここで、最大切断面S2は、コア222の端面222aと平行な面でレンズ240を切断した場合のレンズ240の切断面のうち、面積が最大となる切断面である。
【0075】
また、このレンズ一体型光ファイバ250においては、最大切断面S2は円形であるため、最大切断面S2の最大幅d4は、最大切断面S2を構成する円の直径である。この場合、図示しないが、最大切断面S2がほぼ楕円形である場合、最大切断面S2の最大幅d4は、最大切断面S2を構成する楕円の長軸に相当する。このことは、後述する実施形態および変形例において、最大切断面S2がほぼ円形または楕円形である場合についても同様に適用される。
【0076】
さらに、このレンズ一体型光ファイバ250においては、コア222の端面222aの最大幅d3は、光ファイバ220のコア222の端面222aにおける最大の幅である。本実施の形態においては、コア222の端面222aは円形であるため、コア222の端面222aの最大幅d3は、コア222の端面222aを構成する円の直径である。この場合、図示しないが、コア222の端面222aがほぼ楕円形である場合、最大幅d3は、コア222の端面222aを構成する楕円の長軸である。このことは、後述する実施形態および変形例において、光ファイバのコアの端面がほぼ円形または楕円形である場合についても同様に適用される。
【0077】
レンズ240は、第1の実施の形態において示したレンズ140と同様の材質からなることができる。
【0078】
また、レンズ240は、第1の実施の形態のレンズ140と同様の方法にて形成される。具体的には、レンズ240は、光ファイバ220のコア222の端面222aに対して液滴を吐出して、レンズ前駆体(後述する)を形成した後、このレンズ前駆体を硬化させることにより形成することができる。
【0079】
2.レンズ一体型光ファイバの製造方法
次に、図4(a)および図4(b)に示すレンズ一体型光ファイバ250の製造方法について説明する。なお、前述した第1の実施の形態のレンズ一体型光ファイバ150の製造工程と同様の工程については、原則として説明を省略する。
【0080】
[コアおよびクラッドの端面の加工]
まず、コア222の端面222aを、クラッド224の端面224aより突出させる工程について説明する。コア222の端面222aを、クラッド224の端面224aより突出させるためには、具体的には、図5および図6に示す方法が例示できる。
【0081】
(1)ウエットエッチングによる方法
まず、ウエットエッチングによって、コア222の端面222aを、クラッド224の端面224aより突出させる工程について、図5を参照して説明する。ここでは、光ファイバ220が石英系光ファイバからなる場合について説明する。
【0082】
一般に、光ファイバは、コアの屈折率をクラッドとの屈折率よりも大きくするために、コアとクラッドとが異なる成分から形成されている。このコアとクラッドとの成分の違いを利用して、ウエットエッチングにて、コアまたはクラッドを選択的に除去することができる。
【0083】
例えば、端面が平坦な光ファイバ(図5参照)に対してウエットエッチングを行なうことによって、クラッド224を選択的に除去できるエッチャントを用いる。これにより、コア222の端面222aとクラッド224の端面224aよりも突出させることができる
石英系光ファイバのコアとクラッドとの選択的エッチングに用いられるエッチャントとしては、例えば、フッ化水素酸とフッ化アンモニウムを混合した水溶液(バッファフッ酸水溶液)を用いることができる。このバッファフッ酸水溶液中のフッ化水素酸およびフッ化アンモニウムの濃度を調整することにより、クラッド224を選択的に除去することができる。
【0084】
ウエットエッチングの模式図を図5に示す。図5に示すように、光ファイバ220の端部をエッチャント230に浸す。これにより、クラッド224が選択的に溶解するため、光ファイバ220の端部において、クラッド224を除去することができる。
【0085】
具体的には、40重量%フッ化アンモニウム水溶液と50重量%フッ化水素酸水溶液と純水(H2O)とを所定の体積比で用いることにより調製されたバッファフッ酸水溶液を用いることにより、クラッド224を選択的に除去することができる。
【0086】
なお、バッファフッ酸水溶液中のフッ化水素酸とフッ化アンモニウムの濃度を調整することにより、コア222を選択的に除去することもできる。この場合については、詳しくは、後述する実施形態で述べる。
【0087】
(2)光硬化による方法
次に、光硬化によってコア222を伸長させる工程について、図6を参照して説明する。この方法では、光ファイバ220のコア222の端面に光硬化型樹脂を伸長させることにより、コア222の端面222aをクラッド224の端面224aよりも突出させる。ここで、光ファイバ220の材質は、光硬化型樹脂との密着性が確保できるかぎり、特に限定されない。
【0088】
具体的には、図6に示すように、端面222aを含む光ファイバ220の端部(一方の端部)を、紫外線硬化型樹脂の前駆体を含有する液体材料232の中に浸す。光ファイバ220のもう一方の端部において、コアの端面222bから紫外線213を入射させる。これにより、端面222bから入射した紫外線213はコア222内を伝搬した後、端面222aから出射する。ここで、クラッド224には紫外光が導入されないため、クラッド224からは紫外光が出射せず、紫外光213が出射するのはコア222の端面222aからのみである。すなわち、コア222の端面222aから出射する紫外線213によって、コア222の端面222aにて、液体材料230に含まれる紫外線硬化型樹脂の前駆体が反応する。この結果、コア222の端面222a上に紫外線硬化樹脂が形成されることによりコア222が伸長し、図4に示すように、コア222の端面222aが、クラッド224の端面224aより突出した構造の光ファイバ220が得られる。
【0089】
なお、図6においては、光ファイバ220の端部を液体材料232内に浸した状態でコア222を伸長する例について示した。ここで、光ファイバ220の端部を液体材料232内に浸すかわりに、光ファイバ220の端面222上に液体材料を設置した状態で、図6に示す場合と同様に、もう一方の端部のコア222の端面から紫外線を導入して、コア222を伸長してもよい。
【0090】
[レンズの形成]
次いで、光ファイバ220のコア222の端面222a上にレンズ240を形成する。本実施の形態において、レンズ240を形成する方法は、光ファイバ220のコア222の端面222a上にレンズ240を形成する点を除いて、第1の実施の形態においてレンズ140を形成する方法と同様である。また、レンズ240の材質は、第1の実施の形態のレンズ140と同様の材質を用いることができる。
【0091】
具体的には、レンズ240を形成するための液体材料からなる液滴を、光ファイバ220のコア222の端面222aに対して吐出して、レンズ前駆体をコア222の端面222a上に形成する。次いで、このレンズ前駆体に対してエネルギーを付加することによって硬化させて、レンズ240を形成する。
【0092】
ここで、レンズ前駆体を硬化する方法の一例を図7に示す。本例では、レンズ前駆体が紫外線硬化型樹脂の前駆体からなる場合について説明する。図7には、光ファイバ220の端部において、光ファイバ220と、光ファイバのコア222の端面222a上に設けられたレンズ前駆体240aとが示されている。なお、ここで示す方法のかわりに、第1の実施の形態で示したレンズ前駆体の硬化方法(図3参照)によっても、レンズ前駆体240aを硬化することができる。
【0093】
まず、図7に示すように、光ファイバ220のもう一方の端部において、コアの端面222bから紫外線213を入射させる。これにより、端面222bから入射した紫外線213はコア222内を伝搬した後、端面222aから出射する。ここで、クラッド224には紫外光が導入されないため、クラッド224からは紫外光が出射せず、紫外光213が出射するのはコア222の端面222aからのみである。すなわち、コア222の端面222aから出射する紫外線213によって、コア222の端面222a上に形成されたレンズ前駆体240aが硬化する。これにより、図4(a)および図4(b)に示すように、コア222の端面222a上に形成されたレンズ240が得られる。
【0094】
この方法によれば、紫外光213がコア222の端面222aから出射して直接レンズ前駆体240aに照射されるため、レンズ前駆体240aを確実に硬化させることができるのに加えて、より少ない紫外線の量でレンズ前駆体240aを効率良く硬化させることができる。
【0095】
これにより、光ファイバ220のコア222の端面222a上にレンズ240が設けられたレンズ光ファイバ250が得られる(図4(a)および図4(b)参照)。
【0096】
なお、上記の硬化方法は、本実施の形態だけでなく、他の実施形態においてレンズ前駆体を硬化させる場合に適用することができる。特に、コアの端面上に形成されたレンズ前駆体を硬化する場合や、光ファイバのコアおよびクラッドの端面にレンズ前駆体が形成されていて、クラッドの膜厚がコアの膜厚と比較して薄い場合には、コアの端面から出射する紫外光を効率良くレンズ前駆体に導入することができるため、レンズ前駆体を確実に硬化させることができる。
【0097】
3.作用効果
本実施の形態のレンズ一体型光ファイバ250およびその製造方法によれば、第1の実施の形態のレンズ一体型光ファイバ150およびその製造方法と同様の作用効果を有する。
【0098】
さらに、本実施の形態のレンズ一体型光ファイバ250によれば、光ファイバ220のコア222の端面222a上にレンズ240が設けられている。光ファイバ220において実際に光が伝搬するのはコア222の部分である。すなわち、コア222の端面222a上にのみレンズ240が設けられていることにより、レンズ240を介して外部から光をコア222内に導入する場合は、光を効率良くコア222に取り込むことができる。あるいは、コア222内を伝搬する光をレンズ240で集光した後外部に放出する場合は、レンズ240にて光を効率良く集光した後外部に放出することができる。
【0099】
4.変形例
次に、本実施の形態のレンズ一体型光ファイバの変形例について説明する。図8(a)は、本実施の形態の一変形例のレンズ一体型光ファイバ251を模式的に示す側面図であり、図8(b)は、図8(a)に示すレンズ一体型光ファイバ251を模式的に示す正面図である。図8(a)および図8(b)は、レンズ240が設けられた光ファイバ220の端部を示している。
【0100】
図8(a)および図8(b)に示すレンズ一体型光ファイバ251は、第2の実施の形態のレンズ一体型光ファイバ250の光ファイバ220の端部において(図4(a)および図4(b)参照)、コア222の周囲を封止材226で埋め込んだものである。
【0101】
すなわち、本変形例のレンズ一体型光ファイバ251において、封止材226以外の構成はレンズ一体型光ファイバ250と同様である。したがって、本変形例のレンズ一体型光ファイバ251は、第2の実施の形態のレンズ一体型光ファイバ250と同様の作用効果を有する。
【0102】
レンズ一体型光ファイバ251において、コア222の周囲を封止材226で覆うことにより、コア222の端面222a上にレンズ240を確実に固定することができる。その結果、歩留まりが高いレンズ一体型光ファイバ251を得ることができる。
【0103】
封止材226の屈折率は、光ファイバ220のコア222の屈折率よりも小さくすることができる。また、レンズ240の屈折率は、封止材226の屈折率より大きくすることができ、封止材226の屈折率は、光ファイバ220のクラッド224の屈折率とほぼ等しくすることができる。この構成によれば、図8(a)および図8(b)に示す光ファイバ220の端部において、コア222内に光を閉じ込めるクラッドとしての機能を、封止材226にもたせることができる。これにより、コア222内を伝搬する光の損失を少なくすることができる。このことは、後述する実施形態および変形例においても同様である。封止材226の材質は特に限定されないが、例えば熱硬化型樹脂や光硬化型樹脂などの樹脂材料を用いることができる。
【0104】
(第3の実施の形態)
1.レンズ一体型光ファイバの構造
図9(a)は、本発明を適用した一実施の形態に係るレンズ一体型光ファイバ350を模式的に示す側面図であり、図9(b)は、図9(a)に示すレンズ一体型光ファイバ350を模式的に示す正面図である。図9(a)および図9(b)は、レンズ340が設けられた光ファイバ320の端部を示している。
【0105】
本実施の形態のレンズ一体型光ファイバ350は、図9(a)および図9(b)に示すように、光ファイバ320と、光ファイバ320のコア322の端面322a上に設けられたレンズ340とを含む。
【0106】
本実施の形態のレンズ一体型光ファイバ350は、図9(a)および図9(b)に示すように、光ファイバ320の端部において、コア322の端面322aとクラッド324の端面324aとの高さが異なる点、および光ファイバ320のコア322の端面322a上にレンズ340が設けられている点で、第2の実施の形態のレンズ一体型光ファイバ250と同様の構成を有する。
【0107】
一方、本実施の形態のレンズ一体型光ファイバ350は、図9(a)および図9(b)に示すように、光ファイバ320の端部において、クラッド324がコア322を覆っていない点で、第2の実施の形態のレンズ一体型光ファイバ250とは異なる構成を有する。
【0108】
なお、本実施の形態のレンズ一体型光ファイバ350およびその製造方法において、第2の実施の形態のレンズ一体型光ファイバ250と同様の構成を有する点については、原則として同一の符号を付して詳しい説明を省略する。
【0109】
[光ファイバ]
光ファイバ320は、コア322およびクラッド324を含む。本実施の形態においては、前述したように、光ファイバ320の端部において、クラッド324はコア322を覆っていない場合を示している。すなわち、図9(a)および図9(b)に示すように、光ファイバ320の端部において、クラッド324の端面324aはコア322の端面322aより突出しており、コア322とクラッド324とで凹部360が構成されている。
【0110】
光ファイバ320は、第1の実施の形態において光ファイバ120の材質として示したものと同様の材質から形成することができる。
【0111】
[レンズ]
レンズ340は、図9(a)および図9(b)に示すように、光ファイバ320のコア322の端面322a上に設けられている。このレンズ340は、第1の実施の形態において示したレンズ140と同様の材質からなることができる。
【0112】
また、レンズ340は、第1の実施の形態のレンズ140と同様の方法にて形成される。具体的には、レンズ340は、光ファイバ320のコア322の端面322aに対して液滴を吐出して、レンズ前駆体(後述する)を形成した後、このレンズ前駆体を硬化させることにより形成することができる。
【0113】
2.レンズ一体型光ファイバの製造方法
次に、図9(a)および図9(b)に示すレンズ一体型光ファイバ350の製造方法について説明する。なお、前述した第1の実施の形態のレンズ一体型光ファイバ150の製造工程と同様の工程については、原則として説明を省略する。
【0114】
[コアおよびクラッドの端面の加工]
本実施の形態において、光ファイバ320のコア322およびクラッド324の端面は、第2の実施の形態の欄で説明した方法のうち、ウエットエッチングを用いる方法にて加工することができる。具体的には、ウエットエッチングにおいて、エッチャントを構成する各成分の種類や濃度を調整することによって、コア322が選択的に除去できる条件にてエッチングを行なう。
【0115】
例えば、光ファイバ320が石英系光ファイバからなり、エッチャントとしてバッファフッ酸水溶液を用いる場合、このバッファフッ酸水溶液中のフッ化水素酸および/またはフッ化アンモニウムの濃度を調整することにより、コア322を選択的に除去することができる。
【0116】
具体的には、第2の実施の形態の欄でクラッドを除去する際に用いた水溶液を、各成分の割合を変えることにより用いることができる。
【0117】
[レンズの形成]
次いで、光ファイバ320のコア322の端面322a上にレンズ340を形成する。本実施の形態において、レンズ340を形成する方法は、第2の実施の形態においてレンズ240を形成する方法と同様である。また、レンズ340の材質は、第1の実施の形態のレンズ140と同様の材質を用いることができる。
【0118】
具体的には、レンズ340を形成するための液体材料からなる液滴を、光ファイバ320のコア322の端面322aに対して吐出して、レンズ前駆体をコア322の端面322a上に形成する。次いで、このレンズ前駆体に対してエネルギーを付加することによって硬化させて、レンズ340を形成する。これにより、光ファイバ320のコア322の端面322a上にレンズ340が設けられたレンズ光ファイバ350が得られる(図9(a)および図9(b)参照)。
【0119】
4.作用効果
本実施の形態のレンズ一体型光ファイバ350およびその製造方法によれば、第2の実施の形態のレンズ一体型光ファイバ250およびその製造方法と同様の作用効果を有する。
【0120】
さらに、本実施の形態のレンズ一体型光ファイバ350によれば、図9(a)および図8(b)に示すように、光ファイバ320の端部において、クラッド324がコア322を覆っていない。すなわち、コア322とクラッド324とで凹部360が構成されている。レンズ340はこの凹部360に設けられているため、コア322の端面322a上に設置したレンズ340を確実に固定することができる。その結果、歩留まりが高いレンズ一体型光ファイバ350を得ることができる。
【0121】
(第4の実施の形態)
図10は、本発明を適用した第4の実施の形態の光モジュールを模式的に示す図である。この光モジュールは、光素子10と、半導体チップ20と、第2の実施の形態のレンズ一体型光ファイバ250(図4(a)および図4(b)参照)とを含む。なお、この光モジュールにおいて、第2の実施の形態のレンズ一体型光ファイバ250のかわりに、前述した変形例または他の実施形態のレンズ一体型光ファイバを用いてもよい。
【0122】
1.光モジュールの構造
光素子10は、発光素子であっても受光素子であってもよい。発光素子の一例として面発光素子、特に面発光レーザを適用することができる。面発光レーザなどの面発光素子は、基板に対して垂直方向に光を発する。光素子10は、光学的部分12を有する。光素子10が発光素子であるときは、光学的部分12は発光部であり、光素子10が受光素子であるときは、光学的部分12は受光部である。
【0123】
光素子10は、レンズ一体型光ファイバ250との相対的な位置が固定された状態となっている。具体的には、光素子10の光学的部分12と、レンズ一体型光ファイバ250の先端との相対的な位置が固定されていることが好ましい。より具体的には、光学的部分12が、レンズ一体型光ファイバ250のレンズ140と対向する状態であることが多い。また、本実施の形態では、光学的部分12は、半導体チップ20の穴28と対向している。
【0124】
光素子10は、少なくとも1つ(一般的には2つまたはそれ以上)の電極を有する。例えば、光学的部分12が形成された面に、第1の電極14が設けられていてもよい。なお、複数の第1の電極14のうち、少なくとも一つがダミー電極であってもよい。ダミー電極は、第1の電極14と同じ材料で形成してもよいが、光素子10の内部には電気的に接続されていないものである。例えば、全てを直線で結んで三角形以上の多角形を描く位置に、第1の電極14を形成し、そのうちの少なくとも一つがダミー電極であってもよい。こうすることで、光素子10を3点以上の箇所で安定して支持することができる。
【0125】
第1の電極14が設けられた面とは別の面に、第2の電極16が設けられていてもよい。光素子10が面発光レーザなどの半導体レーザであるときは、第1の電極14が設けられた面とは反対側の面に第2の電極16が設けられてもよい。
【0126】
半導体チップ20は、光素子10を駆動するためのものである。半導体チップ20には、光素子10を駆動するための回路が内蔵されている。半導体チップ20には、内部の回路に電気的に接続された複数の電極(またはパッド)22が形成されている。電極22が形成された面に、少なくとも一つの電極22に電気的に接続した配線パターン24が形成されることが好ましい。
【0127】
半導体チップ20と光素子10とは、電気的に接続されている。例えば、光素子10の第1の電極14と、半導体チップ20上に形成された配線パターン24と、を電気的に接続する。接続には、ワイヤなどを使用してもよいが、ろう材の一例であるハンダ26などによる金属接合や異方性導電材料(膜)を介して、第1の電極14と配線パターン24とを接合してもよい。この場合、光素子10は、半導体チップ20に対してフェースダウン実装される。こうすることで、ハンダ26によって、電気的な接続を行えるのみならず、光素子10と半導体チップ20とを固定することができる。なお、第1の電極14のうち、ダミー電極となるものも、配線パターン24に接合することが好ましい。こうすることで、光素子10を安定した状態で半導体チップ20上に固定することができる。
【0128】
また、光素子10の第2の電極16と、配線パターン24とが電気的に接続されている。接続には、ワイヤ27を使用したり、導電ペーストを第2の電極16から配線パターン24まで設けてもよい。
【0129】
光素子10と半導体チップ20との間には、アンダーフィル材40を設けてもよい。アンダーフィル材40が光素子10の光学的部分12を覆うときには、アンダーフィル材40は透明であることが好ましい。アンダーフィル材40は、光素子10と半導体チップ20との電気的な接続部分を覆って保護するとともに、光素子10および半導体チップ20の表面も保護する。さらに、アンダーフィル材40は、光素子10および半導体チップ20の接合状態を保持する。
【0130】
半導体チップ20には、穴(例えば貫通穴)28が形成されていてもよい。穴28には、レンズ一体型光ファイバ250が挿入される。穴28は、内部の回路を避けて、電極22が形成された面からその反対側の面に至るまで形成されている。穴28の少なくとも一方の開口端部には、テーパ29が形成されていることが好ましい。テーパ29を形成することで、穴28にレンズ一体型光ファイバ250を挿入しやすくなる。
【0131】
半導体チップ20は、基板42に取り付けられていてもよい。詳しくは、半導体チップ20は、接着剤44を介して基板42に貼り付けられていてもよい。基板42には、穴46が形成されている。穴46は、半導体チップ20の穴28と連通する位置に形成されている。半導体チップ20と基板42とを接着する接着剤44は、2つの穴28、46の連通を妨げないように、これらを塞がないように設けられる。基板42の穴46は、半導体チップ20とは反対側の方向に内径が大きくなるように、テーパが付された形状になっている。これにより、レンズ一体型光ファイバ250を挿入しやすくなっている。
【0132】
基板42は、樹脂、ガラスまたはセラミックなどの絶縁性を有する材料から形成されてもよいが、金属などの導電性を有する材料から形成されてもよい。基板42が導電性の材料からなるときには、少なくとも半導体チップ20が取り付けられる面に、絶縁膜43を形成することが好ましい。なお、以下の実施の形態でも、基板42として同様の材料を用いることができる。
【0133】
また、基板42は、高い熱伝導性を有することが好ましい。これによれば、基板42が、光素子10および半導体チップ20の少なくとも一方の熱の発散を促進する。この場合、基板42はヒートシンクまたはヒートスプレッダである。本実施の形態では、半導体チップ20が基板42に接着されているので、直接的には半導体チップ20を冷却することができる。なお、半導体チップ20と基板42とを接着する接着剤44は、熱伝導性を有することが好ましい。さらに、半導体チップ20が冷却されるので、半導体チップ20に接合された光素子10も冷却される。
【0134】
基板42には、配線パターン48が設けられている。また、基板42には、外部端子50が設けられている。本実施の形態では、外部端子50はリードである。基板42に形成された配線パターン48は、例えばワイヤ52を介して、半導体チップ20の電極22、半導体チップ20上に形成された配線パターン24、光素子10の第1または第2の電極14、16のうち、少なくとも一つと電気的に接続される。また、配線パターン48は、外部端子50と電気的に接続されてもよい。
【0135】
レンズ一体型光ファイバ250は、半導体チップ20の穴28に挿入されている。光素子10の光学的部分12は、半導体チップ20の穴28に対向している。したがって、穴28に挿入されたレンズ一体型光ファイバ250は、光学的部分12に対して位置合わせされた状態となる。
【0136】
レンズ一体型光ファイバ250は、基板42の穴46にも挿通されている。穴46は、半導体チップ20の穴28に向けて徐々に内径が小さくなっており、半導体チップ20とは反対側の面では、穴46の開口の内径は、光ファイバ220よりも大きくなっている。光ファイバ220と穴46の内面との間の隙間は、樹脂などの充填材54で埋めることが好ましい。充填材54は、レンズ一体型光ファイバ250を固定して抜け止めを図る機能も有する。
【0137】
本実施の形態では、光素子10および半導体チップ20が、樹脂56で封止されている。樹脂56は、光素子10と半導体チップ20との電気的な接続部分や、半導体チップ20と基板42に形成された配線パターン48との電気的な接続部分も封止する。
【0138】
2.作用効果
本実施の形態の光モジュールによれば、レンズ一体型光ファイバ250と、光学的部分12を含む光素子10とを含むことにより、光ファイバと光素子との間に別途レンズが設けられた一般的な光モジュールと比較して、装置の簡素化を図ることができるうえ、装置の小型化および低コスト化を図ることができる。
【0139】
また、光ファイバと光素子との間に別途レンズが設けられた一般的な光モジュールと比較して、本実施の形態のレンズ一体型光ファイバ250では、レンズ140が光ファイバ220に設置されているため、別途設けられたレンズと、光ファイバおよび光素子との位置合わせが不要になる。すなわち、レンズ一体型光ファイバ250と光素子10との間の位置合わせを行なうだけで足りるため、光路調整の簡易化を図ることができる。
【0140】
(第5の実施の形態)
図11は、本発明を適用した実施の形態の光伝達装置を示す図である。光伝送装置90は、コンピュータ、ディスプレイ、記憶装置、プリンタ等の電子機器92を相互に接続するものである。電子機器92は、情報通信機器であってもよい。光伝送装置90は、ケーブル94の両端にプラグ96が設けられたものであってもよい。ケーブル94は、少なくとも一つのレンズ一体型光ファイバ250(図4(a)および図4(b)参照)を含む。この場合、光ファイバ220の少なくとも一方の端部にレンズ140が設けられている。プラグ96は、半導体チップ20を内蔵する。レンズ一体型光ファイバ250と、光素子10または半導体チップ20との取り付け状態は、第4の実施の形態にて説明した通りである。なお、このレンズ一体型光ファイバ250のかわりに、前述した変形例または他の実施形態のレンズ一体型光ファイバを用いてもよい。
【0141】
レンズ一体型光ファイバ250の一方の端部に接続される光素子10は、発光素子である。一方の電子機器92から出力された電気信号は、発光素子である光素子10によって光信号に変換される。光信号はレンズ一体型光ファイバ250を伝わり、他方の光素子10に入力される。この他方の光素子10は、受光素子であり、入力された光信号が電気信号に変換される。電気信号は、他方の電子機器92に入力される。こうして、本実施の形態の光伝達装置90によれば、光信号によって、電子機器92の情報伝達を行うことができる。
【0142】
(第6の実施の形態)
図12は、本発明を適用した実施の形態の光伝達装置の使用形態を示す図である。光伝送装置90は、電子機器100間を接続する。電子機器100として、液晶表示モニターまたはディジタル対応のCRT(金融、通信販売、医療、教育の分野で使用されることがある。)、液晶プロジェクタ、プラズマディスプレイパネル(PDP)、ディジタルTV、小売店のレジ(POS(Point of Sale Scanning)用)、ビデオ、チューナー、ゲーム装置、プリンター等が挙げられる。
【0143】
本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成(例えば、機能、方法および結果が同一の構成、あるいは目的および結果が同一の構成)を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成または同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1(a)は、本発明を適用した第1の実施の形態に係るレンズ一体型光ファイバを模式的に示す側面図であり、図1(b)は、図1(a)に示すレンズ一体型光ファイバを模式的に示す正面図である。
【図2】図1(a)および図1(b)に示すレンズ一体型光ファイバの一製造工程を模式的に示す図である。
【図3】図1(a)および図1(b)に示すレンズ一体型光ファイバの一製造工程を模式的に示す図である。
【図4】図4(a)は、本発明を適用した第2の実施の形態に係るレンズ一体型光ファイバを模式的に示す側面図であり、図4(b)は、図4(a)に示すレンズ一体型光ファイバを模式的に示す正面図である。
【図5】図4(a)および図4(b)に示すレンズ一体型光ファイバの一製造工程を模式的に示す図である。
【図6】図4(a)および図4(b)に示すレンズ一体型光ファイバの一製造工程を模式的に示す図である。
【図7】図4(a)および図4(b)に示すレンズ一体型光ファイバの一製造工程を模式的に示す図である。
【図8】図8(a)は、図4(a)および図4(b)に示すレンズ一体型光ファイバの一変形例を模式的に示す図であり、図8(b)は、図8(a)に示すレンズ一体型光ファイバを模式的に示す正面図である。
【図9】図9(a)は、本発明を適用した第3の実施の形態に係るレンズ一体型光ファイバを模式的に示す側面図であり、図9(b)は、図9(a)に示すレンズ一体型光ファイバを模式的に示す正面図である。
【図10】本発明を適用した第4の実施の形態に係る光モジュールを模式的に示す図である。
【図11】本発明を適用した第5の実施の形態に係る光伝達装置を模式的に示す図である。
【図12】本発明を適用した第6の実施の形態に係る光伝達装置の使用形態を模式的に示す図である。
【符号の説明】
10 光素子、 12 光学的部分、 14 第1の電極、 16 第2の電極、 20 半導体チップ、 21 凹部、 22 電極、 24 配線パターン、 26 ハンダ、 27 ワイヤ、 28 穴、 29 テーパ、 32 先端面、 40 アンダーフィル材、 42 基板、 43 絶縁膜、 44 接着剤、 46 穴、 48 配線パターン、 50 外部端子、 52 ワイヤ、 54 充填材、 56 樹脂、 90 光伝送装置、 92,100 電子機器、 94 ケーブル、96 プラグ、 110 インクジェットヘッド、112 インクジェットノズル、 113 エネルギー、 120,220,320 光ファイバ、 120a 光ファイバの端面、 140,240,340 レンズ、 140a,240a レンズ前駆体、 140b 液滴、 S1,S2 最大切断面、 122,222,322 コア、 124,224,324 クラッド、 150,250,251,350 レンズ一体型光ファイバ、 213 紫外線、 222a,222b,322a コアの端面、 224a,324a クラッドの端面、 226 封止材、 230 エッチャント、232 液体、 260 凸部、 360 凹部、 S1,S2 最大切断面、 d1 光ファイバの端面の最大幅、 d2 最大切断面S1の最大幅、 d3 コアの端面の最大幅、 d4 最大切断面S2の最大幅
Claims (26)
- 光ファイバの端面上に設けられたレンズを含み、
前記光ファイバの端面と平行でかつ前記レンズの切断面の面積が最大となる面で前記レンズを切断した場合の切断面を最大切断面S1としたとき、
前記最大切断面S1の最大幅d2が、前記光ファイバの端面の最大幅d1よりも大きい、レンズ一体型光ファイバ。 - コアおよびクラッドを含む光ファイバと、
前記光ファイバの端部において、前記コアの端面上に設けられたレンズと、
を含む、レンズ一体型光ファイバ。 - 請求項2において、
前記端部において、前記コアの端面と前記クラッドの端面との高さが異なる、レンズ一体型光ファイバ。 - 請求項3において、
前記端部において、前記コアは前記クラッドで覆われていない、レンズ一体型光ファイバ。 - 請求項4において、
前記端部において、前記コアと前記クラッドとで凸部が構成される、レンズ一体型光ファイバ。 - 請求項2ないし5のいずれかにおいて、
前記レンズの屈折率は、前記コアの屈折率とほぼ等しい、レンズ一体型光ファイバ。 - 請求項4ないし6のいずれかにおいて、
前記端部において、前記コアの周囲が封止材で覆われた、レンズ一体型光ファイバ。 - 請求項7において、
前記レンズの屈折率は、前記封止材の屈折率より大きく、
前記封止材の屈折率は、前記クラッドの屈折率とほぼ等しい、レンズ一体型光ファイバ。 - 請求項2ないし8のいずれかにおいて、
前記コアの端面と平行でかつ前記レンズの切断面の面積が最大となる面で前記レンズを切断した場合の切断面を最大切断面S2としたとき、
前記最大切断面S2の最大幅d4が、前記コアの端面の最大幅d3よりも大きい、レンズ一体型光ファイバ。 - 請求項3において、
前記端部において、前記クラッドは前記コアを覆っていない、レンズ一体型光ファイバ。 - 請求項10において、
前記端部において、前記コアと前記クラッドとで凹部が構成される、レンズ一体型光ファイバ。 - 請求項1ないし11のいずれかにおいて、
前記レンズは、エネルギーを付加することによって硬化可能な液体材料を硬化させることにより形成された、レンズ一体型光ファイバ。 - 請求項12において、
前記レンズは、紫外線硬化型樹脂からなる、レンズ一体型光ファイバ。 - 請求項1ないし13のいずれかに記載のレンズ一体型光ファイバと、
光学的部分を有する光素子と、
前記光素子と電気的に接続された半導体チップと、を含む、光モジュール。 - 請求項1ないし13のいずれかに記載のレンズ一体型光ファイバと、
前記光ファイバの一方の端面に発光部を向けて搭載された発光素子と、
前記発光素子と電気的に接続されて前記発光素子とパッケージ化された半導体チップと、
前記光ファイバの他方の端面に受光部を向けて搭載された受光素子と、
前記受光素子と電気的に接続されて前記受光素子とパッケージ化された半導体チップと、
を含む、光伝達装置。 - (a)光ファイバの端面に対して液滴を吐出して、レンズ前駆体を前記光ファイバの端面上に形成し、
(b)前記レンズ前駆体を硬化させて、レンズを形成すること、を含み、
前記光ファイバの端面と平行でかつ前記レンズの切断面の面積が最大となる面で前記レンズを切断した場合の切断面を最大切断面S1としたとき、
前記最大切断面S1の最大幅d2を、前記光ファイバの端面の最大幅d1よりも大きくなるように形成する、レンズ一体型光ファイバの製造方法。 - (a)コアとクラッドとを含む光ファイバの端部において、前記コアの端面に対して液滴を吐出して、レンズ前駆体を前記コアの端面上に形成し、
(b)前記レンズ前駆体を硬化させて、レンズを形成すること、を含む、レンズ一体型光ファイバの製造方法。 - 請求項17において、
さらに、前記(a)および(b)の前に、(c)前記端部において、前記コアの端面の高さが、前記クラッドの端面の高さと異なるように形成すること、を含む、レンズ一体型光ファイバの製造方法。 - 請求項18において、
前記(c)は、前記端部において、前記コアの周囲の前記クラッドを除去すること、を含む、レンズ一体型光ファイバの製造方法。 - 請求項18において、
前記(c)は、前記端部において、前記コアを伸長すること、を含む、レンズ一体型光ファイバの製造方法。 - 請求項19または20において、
さらに、(d)前記コアの周囲を封止材で覆うこと、を含む、レンズ一体型光ファイバの製造方法。 - 請求項19ないし21のいずれかにおいて、
前記コアの端面と平行でかつ前記レンズの切断面の面積が最大となる面で前記レンズを切断した場合の切断面を最大切断面S2としたとき、
前記最大切断面S2の最大幅d4を、前記コアの端面の最大幅d3よりも大きくなるように形成する、レンズ一体型光ファイバの製造方法。 - 請求項18において、
前記(c)は、前記端部において、前記クラッドに隣り合う前記コアを除去すること、を含む、レンズ一体型光ファイバの製造方法。 - 請求項16ないし23のいずれかにおいて、
前記液滴の吐出は、インクジェット法により行なわれる、レンズ一体型光ファイバの製造方法。 - 請求項16ないし24のいずれかにおいて、
前記レンズ前駆体の硬化は、エネルギーの付加により行なわれる、レンズ一体型光ファイバの製造方法。 - 請求項25において、
前記レンズ前駆体は、紫外線硬化型樹脂からなり、
前記エネルギーは、紫外光であり、
前記レンズ前駆体の硬化は、前記光ファイバの他方の端部において、前記コアの端面から紫外光を入射させた後、該紫外光が前記コア内を伝搬し、前記光ファイバの端部から出射した紫外光を該レンズ前駆体に照射することにより行なわれる、レンズ一体型光ファイバの製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003032076A JP2004240361A (ja) | 2003-02-10 | 2003-02-10 | レンズ一体型光ファイバおよびその製造方法、光モジュール、ならびに光伝達装置 |
| US10/761,368 US6944371B2 (en) | 2003-02-10 | 2004-01-22 | Lens-integrated optical fiber and production method thereof, optical module, and optical transmission apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003032076A JP2004240361A (ja) | 2003-02-10 | 2003-02-10 | レンズ一体型光ファイバおよびその製造方法、光モジュール、ならびに光伝達装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004240361A true JP2004240361A (ja) | 2004-08-26 |
Family
ID=32866210
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003032076A Pending JP2004240361A (ja) | 2003-02-10 | 2003-02-10 | レンズ一体型光ファイバおよびその製造方法、光モジュール、ならびに光伝達装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6944371B2 (ja) |
| JP (1) | JP2004240361A (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006221159A (ja) * | 2005-01-17 | 2006-08-24 | Murata Mfg Co Ltd | 光送信モジュールおよびその製造方法 |
| JP2006227607A (ja) * | 2005-01-21 | 2006-08-31 | Seiko Epson Corp | 通信用ケーブル |
| WO2006112228A1 (ja) * | 2005-04-13 | 2006-10-26 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | 半導体レーザ |
| JP2007095809A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Stanley Electric Co Ltd | 半導体光源装置とその発光部及び発光部の製造方法 |
| US7261474B2 (en) | 2003-02-10 | 2007-08-28 | Seiko Epson Corporation | Connection structure between optical element and optical fiber, connection method thereof, and optical module |
| JP2007271674A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Kyocera Corp | 光デバイス |
| WO2011055568A1 (ja) * | 2009-11-03 | 2011-05-12 | 株式会社オートネットワーク技術研究所 | 光通信モジュール |
| JP2011127841A (ja) * | 2009-12-18 | 2011-06-30 | Eiko:Kk | 太陽光集光装置 |
| JP2014006459A (ja) * | 2012-06-27 | 2014-01-16 | Fujitsu Ltd | 光学部品の製造方法及び光学部品の製造装置 |
| WO2016132535A1 (ja) * | 2015-02-20 | 2016-08-25 | オリンパス株式会社 | 照明ユニット及び内視鏡 |
| US20200289385A1 (en) * | 2017-10-10 | 2020-09-17 | Imertech Sas | Use of calcined kaolin as a mattifying agent |
| WO2025254231A1 (ko) * | 2024-06-04 | 2025-12-11 | 배석만 | 인시튜 형성 렌즈를 갖는 섬유사형 광 수송 매체 및 그 제조 방법 |
| US12544319B2 (en) * | 2017-10-10 | 2026-02-10 | Imertech Sas | Use of calcined kaolin as a mattifying agent |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20050069243A1 (en) * | 2003-09-30 | 2005-03-31 | Ljerka Ukrainczyk | Fiber-optic sensor probe for sensing and imaging |
| TWI427342B (zh) * | 2009-12-31 | 2014-02-21 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | 非球面透鏡模組及其製造方法 |
| TWI487962B (zh) | 2011-01-18 | 2015-06-11 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | 具有凸透鏡的光波導結構及其製造方法 |
| US8675284B2 (en) * | 2011-05-24 | 2014-03-18 | Tyco Electronics Corporation | Truncated ball lens for an expanded beam connector |
| WO2016042346A1 (en) | 2014-09-17 | 2016-03-24 | Institut Za Fiziku | Device for production of optical elements |
| JP2019124725A (ja) * | 2018-01-12 | 2019-07-25 | 富士通コンポーネント株式会社 | 光導波路及び光導波路の製造方法 |
| CN113064329B (zh) * | 2021-03-25 | 2022-04-26 | 上海大学 | 一种基于光纤端超透镜的笔光刻系统和制备方法 |
Citations (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02277006A (ja) * | 1989-04-19 | 1990-11-13 | Mitsubishi Electric Corp | レンズ付光ファイバの製造方法 |
| JPH05107428A (ja) * | 1991-10-18 | 1993-04-30 | Kyocera Corp | 光フアイバの端部構造及びその製造方法 |
| JPH0647906U (ja) * | 1992-12-02 | 1994-06-28 | 並木精密宝石株式会社 | 光ファイバ端末付き光学装置 |
| JPH08320422A (ja) * | 1994-06-22 | 1996-12-03 | Fujitsu Ltd | 光導波路系の作製方法およびそれを用いた光デバイス |
| JPH08320433A (ja) * | 1995-05-24 | 1996-12-03 | Fuji Photo Optical Co Ltd | 広角レンズ |
| JPH09186389A (ja) * | 1996-01-08 | 1997-07-15 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光制御レーザスイッチ |
| JPH10107323A (ja) * | 1996-09-30 | 1998-04-24 | Nec Corp | 光ダイオード用パッケージ |
| JP2000026988A (ja) * | 1998-07-10 | 2000-01-25 | Nau Chemical:Kk | 溶着用Au−Sn部材とその製造方法 |
| JP2000280367A (ja) * | 1999-03-30 | 2000-10-10 | Seiko Epson Corp | マイクロレンズの製造装置及び製造方法 |
| JP2001147349A (ja) * | 1999-11-18 | 2001-05-29 | Sharp Corp | 光送受信モジュール |
| JP2002057372A (ja) * | 2000-08-10 | 2002-02-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光半導体装置の製造方法 |
| JP2002189137A (ja) * | 2000-12-20 | 2002-07-05 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光配線基板 |
Family Cites Families (29)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4193663A (en) * | 1977-07-18 | 1980-03-18 | Robert Bosch Gmbh | Coupling-equipped light guide |
| US4268113A (en) * | 1979-04-16 | 1981-05-19 | International Business Machines Corporation | Signal coupling element for substrate-mounted optical transducers |
| US4265699A (en) * | 1979-05-04 | 1981-05-05 | Rca Corporation | Etching of optical fibers |
| US4338352A (en) * | 1981-02-23 | 1982-07-06 | Mcdonnell Douglas Corporation | Process for producing guided wave lens on optical fibers |
| NL8204961A (nl) * | 1982-12-23 | 1984-07-16 | Philips Nv | Monomode optische transmissievezel met een taps eindgedeelte en werkwijze voor het vervaardigen daarvan. |
| JPS59161116U (ja) | 1983-04-14 | 1984-10-29 | オムロン株式会社 | 光結合器 |
| JPS59192219A (ja) | 1983-04-16 | 1984-10-31 | Omron Tateisi Electronics Co | 光結合方法 |
| JPS60156023A (ja) | 1983-12-29 | 1985-08-16 | Omron Tateisi Electronics Co | 発光素子と光フアイバとの光結合装置 |
| NL8602277A (nl) * | 1986-09-10 | 1988-04-05 | Philips Nv | Optische transmissievezel met een taps eindgedeelte voorzien van een lens. |
| DE4335426A1 (de) * | 1993-10-18 | 1995-04-20 | Hoechst Ag | Selbstgelierende Bindemittelharze für Offsetdruckfarben mit verbesserter Lagerstabilität |
| US5498444A (en) * | 1994-02-28 | 1996-03-12 | Microfab Technologies, Inc. | Method for producing micro-optical components |
| JPH0843678A (ja) * | 1994-07-27 | 1996-02-16 | Kyocera Corp | 光ファイバレンズおよびその製造方法 |
| JPH08286082A (ja) | 1995-04-18 | 1996-11-01 | Kyocera Corp | 半導体レーザと光ファイバの結合構造 |
| JPH09197196A (ja) | 1996-01-16 | 1997-07-31 | Hitachi Ltd | 光部品の接合方法 |
| JP2000067449A (ja) | 1998-08-18 | 2000-03-03 | Seiko Epson Corp | 面発光型半導体レーザおよびその製造方法 |
| JP3514165B2 (ja) * | 1999-04-22 | 2004-03-31 | 日本電信電話株式会社 | レンズ形成方法 |
| JP3329764B2 (ja) * | 1999-05-13 | 2002-09-30 | 日本電気株式会社 | 半導体レーザー及び半導体光増幅器 |
| US6625351B2 (en) * | 2000-02-17 | 2003-09-23 | Microfab Technologies, Inc. | Ink-jet printing of collimating microlenses onto optical fibers |
| JP2002221627A (ja) * | 2001-01-24 | 2002-08-09 | Yazaki Corp | 光ファイバの製造方法 |
| US20020150333A1 (en) * | 2001-02-17 | 2002-10-17 | Reed William Alfred | Fiber devices using grin fiber lenses |
| JP2002250846A (ja) * | 2001-02-26 | 2002-09-06 | Seiko Epson Corp | 光モジュール及びその製造方法並びに光伝達装置 |
| US6587618B2 (en) * | 2001-03-16 | 2003-07-01 | Corning Incorporated | Collimator array and method and system for aligning optical fibers to a lens array |
| CN1541340A (zh) * | 2001-06-15 | 2004-10-27 | 康宁股份有限公司 | 热形成的透镜型纤维 |
| US6549704B2 (en) * | 2001-06-26 | 2003-04-15 | Corning Incorporated | Fabrication of microlensed fiber using doped silicon dioxide |
| US6674940B2 (en) * | 2001-10-29 | 2004-01-06 | Lucent Technologies Inc. | Microlens |
| US20030138201A1 (en) * | 2002-01-18 | 2003-07-24 | Cabot Microelectronics Corp. | Self-aligned lens formed on a single mode optical fiber using CMP and thin film deposition |
| JP2003240913A (ja) | 2002-02-22 | 2003-08-27 | Seiko Epson Corp | マイクロレンズの製造方法、マイクロレンズ、光学膜、プロジェクション用スクリーン、及びプロジェクターシステム |
| JP4161590B2 (ja) | 2002-02-22 | 2008-10-08 | セイコーエプソン株式会社 | マイクロレンズの製造方法、マイクロレンズ、光学膜、プロジェクション用スクリーン、及びプロジェクターシステム |
| JP3767496B2 (ja) | 2002-03-01 | 2006-04-19 | セイコーエプソン株式会社 | 面発光型発光素子およびその製造方法、光モジュール、光伝達装置 |
-
2003
- 2003-02-10 JP JP2003032076A patent/JP2004240361A/ja active Pending
-
2004
- 2004-01-22 US US10/761,368 patent/US6944371B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02277006A (ja) * | 1989-04-19 | 1990-11-13 | Mitsubishi Electric Corp | レンズ付光ファイバの製造方法 |
| JPH05107428A (ja) * | 1991-10-18 | 1993-04-30 | Kyocera Corp | 光フアイバの端部構造及びその製造方法 |
| JPH0647906U (ja) * | 1992-12-02 | 1994-06-28 | 並木精密宝石株式会社 | 光ファイバ端末付き光学装置 |
| JPH08320422A (ja) * | 1994-06-22 | 1996-12-03 | Fujitsu Ltd | 光導波路系の作製方法およびそれを用いた光デバイス |
| JPH08320433A (ja) * | 1995-05-24 | 1996-12-03 | Fuji Photo Optical Co Ltd | 広角レンズ |
| JPH09186389A (ja) * | 1996-01-08 | 1997-07-15 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光制御レーザスイッチ |
| JPH10107323A (ja) * | 1996-09-30 | 1998-04-24 | Nec Corp | 光ダイオード用パッケージ |
| JP2000026988A (ja) * | 1998-07-10 | 2000-01-25 | Nau Chemical:Kk | 溶着用Au−Sn部材とその製造方法 |
| JP2000280367A (ja) * | 1999-03-30 | 2000-10-10 | Seiko Epson Corp | マイクロレンズの製造装置及び製造方法 |
| JP2001147349A (ja) * | 1999-11-18 | 2001-05-29 | Sharp Corp | 光送受信モジュール |
| JP2002057372A (ja) * | 2000-08-10 | 2002-02-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光半導体装置の製造方法 |
| JP2002189137A (ja) * | 2000-12-20 | 2002-07-05 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光配線基板 |
Cited By (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7261474B2 (en) | 2003-02-10 | 2007-08-28 | Seiko Epson Corporation | Connection structure between optical element and optical fiber, connection method thereof, and optical module |
| JP2006221159A (ja) * | 2005-01-17 | 2006-08-24 | Murata Mfg Co Ltd | 光送信モジュールおよびその製造方法 |
| JP2006227607A (ja) * | 2005-01-21 | 2006-08-31 | Seiko Epson Corp | 通信用ケーブル |
| US7643527B2 (en) | 2005-04-13 | 2010-01-05 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Semiconductor laser |
| WO2006112228A1 (ja) * | 2005-04-13 | 2006-10-26 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | 半導体レーザ |
| JP2006294975A (ja) * | 2005-04-13 | 2006-10-26 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体レーザ |
| US7920614B2 (en) | 2005-04-13 | 2011-04-05 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Semiconductor laser |
| JP2007095809A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Stanley Electric Co Ltd | 半導体光源装置とその発光部及び発光部の製造方法 |
| JP2007271674A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Kyocera Corp | 光デバイス |
| WO2011055568A1 (ja) * | 2009-11-03 | 2011-05-12 | 株式会社オートネットワーク技術研究所 | 光通信モジュール |
| JP5382132B2 (ja) * | 2009-11-03 | 2014-01-08 | 株式会社オートネットワーク技術研究所 | 光通信モジュール |
| JP2011127841A (ja) * | 2009-12-18 | 2011-06-30 | Eiko:Kk | 太陽光集光装置 |
| JP2014006459A (ja) * | 2012-06-27 | 2014-01-16 | Fujitsu Ltd | 光学部品の製造方法及び光学部品の製造装置 |
| WO2016132535A1 (ja) * | 2015-02-20 | 2016-08-25 | オリンパス株式会社 | 照明ユニット及び内視鏡 |
| JPWO2016132535A1 (ja) * | 2015-02-20 | 2017-12-07 | オリンパス株式会社 | 照明ユニット及び内視鏡 |
| US10856731B2 (en) | 2015-02-20 | 2020-12-08 | Olympus Corporation | Illumination unit and endoscope |
| US20200289385A1 (en) * | 2017-10-10 | 2020-09-17 | Imertech Sas | Use of calcined kaolin as a mattifying agent |
| US12544319B2 (en) * | 2017-10-10 | 2026-02-10 | Imertech Sas | Use of calcined kaolin as a mattifying agent |
| WO2025254231A1 (ko) * | 2024-06-04 | 2025-12-11 | 배석만 | 인시튜 형성 렌즈를 갖는 섬유사형 광 수송 매체 및 그 제조 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20040165824A1 (en) | 2004-08-26 |
| US6944371B2 (en) | 2005-09-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2004240361A (ja) | レンズ一体型光ファイバおよびその製造方法、光モジュール、ならびに光伝達装置 | |
| US6623178B1 (en) | Optical module and method of manufacture thereof, semiconductor device, and optical transmission device | |
| JP3900280B2 (ja) | 光素子と光ファイバとの結合構造、光素子と光ファイバとの結合方法、ならびに光モジュール | |
| WO2019207744A1 (ja) | 内視鏡用光モジュール、内視鏡、および内視鏡用光モジュールの製造方法 | |
| JPWO2007111236A1 (ja) | 光電気配線板、光通信用デバイス及び光通信用デバイスの製造方法 | |
| KR20050067098A (ko) | 광 반도체 모듈 및 그 제조 방법 | |
| JP4845333B2 (ja) | 光電変換素子パッケージ、その作製方法及び光コネクタ | |
| JP4351965B2 (ja) | 光電変換ヘッダー及び光配線システム | |
| JP4686967B2 (ja) | 光素子の製造方法 | |
| JP3900298B2 (ja) | 光素子と光ファイバとの結合構造、光素子と光ファイバとの結合方法、ならびに光モジュール | |
| JP3928723B2 (ja) | 光素子と光ファイバとの結合構造、光素子と光ファイバとの結合方法、ならびに光モジュール | |
| JP2012113180A (ja) | 光導波路及びその製造方法と光導波路装置 | |
| JP2007133427A (ja) | 光素子と光ファイバとの結合方法 | |
| US6917745B2 (en) | Platform and optical module, manufacturing method of the same, and optical transmission device | |
| JP4062403B2 (ja) | 光モジュールの製造方法 | |
| JP3831350B2 (ja) | 光半導体モジュール及びその製造方法 | |
| JP3920264B2 (ja) | 光半導体モジュールの製造方法 | |
| JP2008294226A (ja) | 光電子回路基板 | |
| JP3987404B2 (ja) | 光導波路およびその製造方法、回路基板、光モジュール、光伝達装置 | |
| KR20010103598A (ko) | 3차원 실장부품과 그 제조방법 및 광 전달장치 | |
| US20120243835A1 (en) | Optical coupling element and method of manufacturing the same | |
| JP2008197380A (ja) | 多チャンネル光路変換素子とその作製方法 | |
| WO2024105846A1 (ja) | 光素子およびその製造方法 | |
| CN120752565A (zh) | 光模块的制造方法以及光模块 | |
| JP2004325866A (ja) | 光ファイバ間の結合構造および結合方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050826 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051207 |
|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20051221 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060118 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060301 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060418 |
|
| A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20060516 |
|
| A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20060616 |