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JP2004119217A - Method for manufacturing display panel, and display panel - Google Patents

Method for manufacturing display panel, and display panel Download PDF

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JP2004119217A
JP2004119217A JP2002281844A JP2002281844A JP2004119217A JP 2004119217 A JP2004119217 A JP 2004119217A JP 2002281844 A JP2002281844 A JP 2002281844A JP 2002281844 A JP2002281844 A JP 2002281844A JP 2004119217 A JP2004119217 A JP 2004119217A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
partition
display panel
forming material
alignment mark
dielectric layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2002281844A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tetsuya Nakayama
中山 徹也
Masaki Nonaka
野中 正貴
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Pioneer Corp
Pioneer Display Products Corp
Original Assignee
Pioneer Display Products Corp
Pioneer Electronic Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Pioneer Display Products Corp, Pioneer Electronic Corp filed Critical Pioneer Display Products Corp
Priority to JP2002281844A priority Critical patent/JP2004119217A/en
Publication of JP2004119217A publication Critical patent/JP2004119217A/en
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  • Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for a display panel, which can form a positioning mark capable of being recognized accurately. <P>SOLUTION: A positioning mark 14 is formed in a region where a swelled part 18a of a partition forming material layer 18 is not produced. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、位置合わせ用マークを有するディスプレイパネル及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
プラズマディスプレイパネル(以下、PDPと記す)は、一対の基板間に形成された気密空間内をストライプ状またはマトリクス状に区画して複数の放電空間内で選択的に放電を生じさせることにより画像表示を行うものである。
【0003】
一般的なPDPは、前面基板の内面に、透明電極とそれに積層された幅狭のバス電極からなり、表示ラインを構成する行電極対(表示電極)、行電極対を覆う誘電体層、MgO層(保護層)がこの順に設けられている。
【0004】
一方、前面基板と放電空間を介して対向する背面基板の内面には行電極対と直交する方向に形成され行電極対との各交差部にて放電セルを構成する列電極、列電極を覆う列電極保護層(白色誘電体層)、放電空間を放電セル毎に区画する隔壁、隔壁間の列電極保護層上及び隔壁の側壁を覆うR、G、B各色の蛍光体層が設けられている。
【0005】
放電空間にはネオン、キセノンガスを含む放電ガスが封入されている。隔壁は、列電極間に設けられ行電極方向に放電セルを区画するストライプ状の隔壁、または放電セルを行電極方向及び列電極方向に区画する格子状(井桁状の隔壁)からなる。
【0006】
行電極対を覆う誘電体層は、バス電極上及びバス電極間上に他の部分に比して膜厚が大であり、放電空間側に突出した嵩上げ誘電体層を有する。この嵩上げ誘電体層は、対をなす行電極間で生じた放電が列方向に飛び移ったり行方向に隣接するセルに広がって誤放電を生じるのを防止している。
【0007】
誘電体層は、低融点ガラスペーストをスクリーン印刷したり、またはフィルム状の低融点ガラス層を転写しパターニングし、焼成して形成している。パネルの表示領域では、表示領域の外側の非表示領域では、封着層が形成される周辺部を除いて一様にベたに形成している。
【0008】
上述のPDPにおいて、蛍光体を隔壁間に印刷して形成するために、スクリーン版との位置合わせを行う際に位置合わせ用マークが用いられる。
上記位置合わせ用マーク114は、図1に示すように、背面基板111における被印刷パターン部(表示領域)112の外周の非表示領域113内の4隅の近傍部分にそれぞれリング状に形成される。
なお、位置合わせ用マーク114は、スクリーン版側のアライメントマーク115が位置合わせ用マーク114のリングの内側に来るようにして位置合わせを行う。
【0009】
次に、上記の位置合わせ用マーク114の形成方法について説明する。図2は、位置合わせ用マークの形成を説明するための製造工程の概略断面図である。
位置合わせ用マーク114は、隔壁121と同一工程で作製される。すなわち、図2(a)に示されるように、背面基板111に列電極116、列電極保護層117を形成後、その上に、低融点ガラスペーストからなる隔壁形成材料層118の上にレジストフィルムを積層し、フォトリソ法でパターンニングして隔壁パターン121a及びリング状の位置合わせ用マークパターン114aに対応したサンドブラスト用マスク119を形成する。
【0010】
さらに、サンドブラスト用マスク119を介してサンドブラスト処理を行い、最後に焼成して隔壁121と位置合わせ用マーク114が、図2(b)に示すように形成される。
【0011】
上述のようにして、形成された位置合わせ用マーク114と隔壁121との位置関係を図3の平面図に示す。さらに、図3のV1−V1線の断面図を図4に示す。図3及び図4において、111は背面基板、114は位置合わせ用マーク、116は列電極、117は列電極保護層、121は隔壁、123は誘電体層、123aは嵩上げ誘電体層、124は前面基板、125は蛍光体、Sは放電空間、SLは隙間である。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、位置合わせ用マーク114の形成において、隔壁形成材料の厚膜塗布後、乾燥すると、図2(a)に示したように、隔壁形成材料層18の外周部分において幅5mm程度の盛り上がり部122が生じる。
【0013】
従来の技術による位置合わせ用マーク114は、図1及び図3に示したように、上記の盛り上がり部118aが生じる領域に設けられている。そして、盛り上がり部118aは、隔壁形成材料である低融点ガラスペーストの組成の変化に応じて幅、盛り上がり高さが微妙に変化するため、位置合わせ用マーク114の高さが盛り上がり部118aの高さに応じて変化し、その高さのばらつきが生じる。
このため、蛍光体ペーストのスクリーン印刷の際、位置合わせ用マーク114の画像処理における位置あわせ処理においてエラーが生じ、印刷ずれが生じるという問題点がある。
【0014】
本発明は、上述の問題点を考慮してなされたものであり、精度良く認識できる位置合わせ用マークを作製することができるディスプレイパネルの製造方法を提供することを目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るディスプレイパネルの製造方法は、請求項1に記載したように、基板上に隔壁形成材料を所定の膜厚で塗布して隔壁形成材料層を形成し、前記隔壁形成材料層の表面に、隔壁パターン及び位置合わせ用マークパターンに対応したサンドブラスト用マスクを介してサンドブラスト処理を行った後に、焼成を行って、隔壁及び位置合わせ用マークを同時に形成する厚膜パターン形成工程を含むディスプレイパネルの製造方法であって、前記厚膜パターン形成工程において、前記位置合わせ用マークを前記塗布された隔壁形成材料の盛り上がり端部を避けた位置に形成することを特徴とする。
【0016】
また、本発明に係るディスプレイパネルは、請求項2に記載したように、放電空間を介して対向する前面基板及び背面基板と、前記前面基板と背面基板の周囲を封止する封着層と、表示領域の前記放電空間を区画する隔壁と外周の非表示領域に前記隔壁と同時に厚膜パターンが形成された位置合わせ用マークと、を備え、前記前面基板の内面に、透明電極とそれに積層されたバス電極からなる表示電極と、前記表示電極を覆う誘電体層と、バス電極上に形成された嵩上げ誘電体層と、を有するディスプレイパネルであって、前記誘電体層が前記非表示領域に延長して形成されていると共に、前記嵩上げ誘電体層が前記位置合わせ用マークに対向する部分を除く前記非表示領域に延長してべたに形成されていることを特徴とする。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
本実施の形態に係るディスプレイパネルの製造方法は、基板上に隔壁形成材料を所定の膜厚で塗布して隔壁形成材料層を形成し、隔壁形成材料層の上部に隔壁パターン及び位置合わせ用マークパターンに対応したサンドブラスト用マスクを介してサンドブラスト処理を行い、最後に焼成を行って、隔壁及び位置合わせ用マークを同時に形成する厚膜パターン形成工程を含む製造方法である。
【0018】
実施の形態に係る厚膜パターン形成工程を図5及び図6を参照して説明する。図5は、実施の形態に係る厚膜パターン形成工程を説明するための概略断面図である。
【0019】
まず、図5(a)に示すように、位置合わせ用マーク14は、隔壁21と同一工程で作製される。すなわち、背面基板11に列電極16、列電極保護層17を形成後、その上に、低融点ガラスペーストからなる隔壁形成材料層18の上にレジストフィルムを積層し、フォトリソ法でパターンニングして隔壁パターン21a及びリング状の位置合わせ用マークパターン14aに対応したサンドブラスト用マスク19を形成する。このとき、位置合わせ用マークパターン14aは、塗布された隔壁形成材料層18の盛り上がり部18aを避けた位置に形成する。
【0020】
次に図5(b)に示すように、サンドブラスト用マスク19を介してサンドブラスト処理を行い、最後に焼成して隔壁21と位置合わせ用マーク14とが形成される。
【0021】
上述の厚膜パターン形成工程によって形成された位置合わせ用マーク14は、図6に示すように、背面基板11における被印刷パターン部(表示領域)12の外周の非表示領域13内の4隅の近傍部分にそれぞれリング状に形成され、図5(a)の厚膜パターン形成工程において塗布された隔壁形成材料層18の盛り上がり端部18bを避けた位置(盛り上がり部18aが生じない領域)に形成される。
【0022】
なお、位置合わせ用マーク14は、スクリーン版側のアライメントマーク15が位置合わせ用マーク14のリングの内側に来るようにして位置合わせを行うものである。
【0023】
上述のようにして形成された位置合わせ用マーク14の1つと被印刷パターン部(表示領域)12内の隔壁21との位置関係を図7の平面図に示す。さらに、図7のV2−V2線の断面図を図8に、図7のW2−W2線の断面図(前面基板側のみ図示)を図9に示す。
図7〜図9において、11は背面基板、14は位置合わせ用マーク、16は列電極、17は列電極保護層、21は隔壁、23は誘電体層、23aは嵩上げ誘電体層、24は前面基板、25は蛍光体、Sは放電空間、SLは隙間である。
【0024】
本実施の形態に係るディスプレイパネルは、図8の断面図に示すように、放電空間Sを介して対向する前面基板24及び背面基板11と、前面基板24と背面基板11の周囲を封止する封着層と、表示領域12の放電空間Sを区画する隔壁21と、外周の非表示領域13に隔壁21と同時に厚膜パターンが形成された位置合わせ用マーク14と、を備えている。
【0025】
さらに、前面基板24の内面に、透明電極とそれに積層されたバス電極からなる表示電極26と、表示電極26を覆う誘電体層23と、バス電極上に形成された嵩上げ誘電体層23aとを有している。
【0026】
また、誘電体層23が非表示領域13に延長して形成されていると共に、嵩上げ誘電体層23aが位置合わせ用マーク14に対向する部分を除く非表示領域13に延長してべたに形成されている。
【0027】
位置合わせ用マーク14は、隔壁形成材料の厚膜塗布及び隔壁形成材料のサンドブラスト処理により隔壁21と同時に形成されたものであり、厚膜塗布された隔壁形成材料の盛り上がり端部18bを避けた位置(盛り上がり部18aが生じない領域)に形成されている。
【0028】
そして、図7に示すように、リング状の位置合わせ用マーク14の幅は、隔壁21の幅より広いので、焼成した後、位置合わせ用マーク14より隔壁21の高さが低くなる。このため、位置合わせ用マーク14に対向する部分には、嵩上げ誘電体層23aを形成しないようにする(図9の嵩上げ切り欠き部23b)。
【0029】
なお、リング状の位置合わせ用マーク14の幅は、隔壁21の幅より広いため、焼成した後、位置合わせ用マーク14より隔壁21の高さが低くなるが、位置合わせ用マーク14の幅を狭くすることにより隔壁21と略同一の高さにすることも可能である。
【0030】
本実施の形態のディスプレイパネルは、厚膜パターン形成工程において、隔壁形成材料層18の盛り上がり端部18bを避けた位置(盛り上がり部18aが生じない領域)に位置合わせ用マーク14を形成したので、従来のディスプレイパネルよりも位置合わせ用マーク14の高さが低くなり、また、位置合わせ用マーク14の高さのばらつきも減少する。
このため、画像処理における位置合わせ用マーク14の認識の精度が向上し、印刷ずれが防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来のディスプレイパネルの位置合わせ用マークの配置を示す平面図である。
【図2】従来のディスプレイパネルの位置合わせ用マークの形成を説明するための厚膜パターン形成工程における断面図である。
【図3】従来の位置合わせ用マークと隔壁との位置関係を示すディスプレイパネルの平面図である。
【図4】図3のV1−V1線の断面図である。
【図5】本発明の実施の形態に係るディスプレイパネルの位置合わせ用マークの形成を説明するための厚膜パターン形成工程における断面図である。
【図6】本発明の実施の形態に係るディスプレイパネルの位置合わせ用マークの配置を示す平面図である。
【図7】本発明の実施の形態に係るディスプレイパネルの位置合わせ用マークと隔壁との位置関係を示す平面図である。
【図8】図7のV2−V2線の断面図である。
【図9】図7のW2−W2線の断面図である。
【符号の説明】
11   背面基板
14   位置合わせ用マーク
14a  位置合わせ用マークパターン
18   隔壁形成材料層
18a  盛り上がり部
18b  盛り上がり端部
21   隔壁
21a  隔壁パターン
23   誘電体層
23a  嵩上げ誘電体層
[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a display panel having an alignment mark and a method for manufacturing the same.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art A plasma display panel (hereinafter, referred to as a PDP) displays an image by partitioning an airtight space formed between a pair of substrates into a stripe or a matrix and selectively generating a discharge in a plurality of discharge spaces. Is what you do.
[0003]
A general PDP includes, on the inner surface of a front substrate, a transparent electrode and a narrow bus electrode laminated thereon, a row electrode pair (display electrode) constituting a display line, a dielectric layer covering the row electrode pair, a MgO layer. The layers (protective layers) are provided in this order.
[0004]
On the other hand, the inner surface of the rear substrate opposed to the front substrate via the discharge space is formed in a direction orthogonal to the row electrode pairs and covers the column electrodes and the column electrodes constituting the discharge cells at each intersection with the row electrode pairs. A column electrode protective layer (white dielectric layer), partition walls for partitioning a discharge space for each discharge cell, and R, G, and B phosphor layers covering the column electrode protective layer between the partition walls and the side walls of the partition walls are provided. I have.
[0005]
The discharge space is filled with a discharge gas containing neon and xenon gas. The partition is a stripe-shaped partition provided between the column electrodes to partition the discharge cells in the row electrode direction, or a grid-like (border-shaped partition) partitioning the discharge cells in the row electrode direction and the column electrode direction.
[0006]
The dielectric layer covering the row electrode pair has a larger thickness on the bus electrode and between the bus electrodes than other portions, and has a raised dielectric layer protruding toward the discharge space. This raised dielectric layer prevents the discharge generated between the paired row electrodes from jumping in the column direction or spreading to cells adjacent in the row direction to cause erroneous discharge.
[0007]
The dielectric layer is formed by screen-printing a low-melting glass paste or transferring and patterning a film-like low-melting glass layer, followed by firing. In the display area of the panel, the non-display area outside the display area is uniformly solid except for the peripheral portion where the sealing layer is formed.
[0008]
In the above-mentioned PDP, in order to form the phosphor by printing between the partition walls, an alignment mark is used when aligning with the screen plate.
As shown in FIG. 1, the alignment marks 114 are respectively formed in a ring shape in the vicinity of four corners in the non-display area 113 on the outer periphery of the pattern to be printed (display area) 112 on the back substrate 111. .
The alignment marks 114 are aligned such that the screen plate-side alignment marks 115 are inside the ring of the alignment marks 114.
[0009]
Next, a method of forming the alignment mark 114 will be described. FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a manufacturing process for explaining formation of a positioning mark.
The alignment mark 114 is formed in the same step as the partition 121. That is, as shown in FIG. 2A, after the column electrode 116 and the column electrode protection layer 117 are formed on the back substrate 111, a resist film is formed on the partition wall forming material layer 118 made of a low melting point glass paste. Are laminated and patterned by a photolithography method to form a sand blast mask 119 corresponding to the partition pattern 121a and the ring-shaped alignment mark pattern 114a.
[0010]
Further, a sand blasting process is performed via a sand blasting mask 119, and finally sintering is performed to form partition walls 121 and alignment marks 114 as shown in FIG. 2B.
[0011]
FIG. 3 is a plan view showing the positional relationship between the alignment marks 114 and the partition walls 121 formed as described above. FIG. 4 is a sectional view taken along line V1-V1 of FIG. 3 and 4, reference numeral 111 denotes a rear substrate, 114 denotes an alignment mark, 116 denotes a column electrode, 117 denotes a column electrode protective layer, 121 denotes a partition, 123 denotes a dielectric layer, 123a denotes a raised dielectric layer, and 124 denotes a raised dielectric layer. The front substrate, 125 is a phosphor, S is a discharge space, and SL is a gap.
[0012]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the formation of the alignment mark 114, when a thick film of the partition wall forming material is applied and then dried, the raised portion 122 having a width of about 5 mm is formed on the outer peripheral portion of the partition wall forming material layer 18 as shown in FIG. Occurs.
[0013]
As shown in FIGS. 1 and 3, the alignment mark 114 according to the related art is provided in a region where the above-mentioned raised portion 118a is generated. Since the width and the height of the raised portion 118a slightly change according to the change in the composition of the low melting point glass paste as the partition wall forming material, the height of the positioning mark 114 is the height of the raised portion 118a. And its height varies.
For this reason, when screen printing the phosphor paste, there is a problem that an error occurs in the alignment processing in the image processing of the alignment mark 114, and a printing shift occurs.
[0014]
The present invention has been made in consideration of the above-described problems, and has as its object to provide a method of manufacturing a display panel capable of producing an alignment mark that can be accurately recognized.
[0015]
[Means for Solving the Problems]
In the method for manufacturing a display panel according to the present invention, as described in claim 1, a partition wall forming material layer is formed by applying a partition wall forming material to a predetermined thickness on a substrate, and a surface of the partition wall forming material layer is formed. A display panel including a thick film pattern forming step of simultaneously performing a sand blasting process through a sand blast mask corresponding to the partition pattern and the alignment mark pattern, and then performing baking to form the partition and the alignment mark at the same time Wherein in the thick film pattern forming step, the alignment mark is formed at a position avoiding a protruding end of the applied partition wall forming material.
[0016]
Further, the display panel according to the present invention, as described in claim 2, a front substrate and a rear substrate facing each other via a discharge space, a sealing layer that seals around the front substrate and the rear substrate, A partition partitioning the discharge space in the display area, and an alignment mark in which a thick film pattern is formed simultaneously with the partition in a non-display area on the outer periphery, and a transparent electrode and a transparent electrode laminated on the inner face of the front substrate. A display electrode comprising a bus electrode, a dielectric layer covering the display electrode, and a raised dielectric layer formed on the bus electrode, wherein the dielectric layer is in the non-display area. It is characterized in that it is formed so as to extend, and the raised dielectric layer is formed so as to extend all over the non-display area except for a portion facing the alignment mark.
[0017]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
The display panel manufacturing method according to the present embodiment includes forming a partition wall forming material layer by applying a partition wall forming material to a predetermined thickness on a substrate, and forming a partition wall pattern and an alignment mark on the partition wall forming material layer. This is a manufacturing method including a thick film pattern forming step of performing sand blasting through a sand blasting mask corresponding to a pattern, and finally performing baking to simultaneously form partition walls and alignment marks.
[0018]
A thick film pattern forming process according to the embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 5 is a schematic cross-sectional view for explaining a thick film pattern forming step according to the embodiment.
[0019]
First, as shown in FIG. 5A, the alignment mark 14 is manufactured in the same step as the partition 21. That is, after the column electrode 16 and the column electrode protective layer 17 are formed on the rear substrate 11, a resist film is laminated thereon on a partition wall forming material layer 18 made of a low-melting glass paste, and patterned by a photolithography method. A sand blast mask 19 corresponding to the partition pattern 21a and the ring-shaped alignment mark pattern 14a is formed. At this time, the alignment mark pattern 14a is formed at a position avoiding the raised portion 18a of the applied partition wall forming material layer 18.
[0020]
Next, as shown in FIG. 5B, a sand blasting process is performed via a sand blasting mask 19, and finally sintering is performed to form the partition walls 21 and the alignment marks 14.
[0021]
As shown in FIG. 6, the alignment marks 14 formed in the above-described thick film pattern forming step are formed at four corners in the non-display area 13 on the outer periphery of the pattern to be printed (display area) 12 on the back substrate 11. Ring-shaped portions are formed in the vicinity, and are formed at positions (regions where the raised portions 18a do not occur) of the raised end portions 18b of the partition wall forming material layer 18 applied in the thick film pattern forming step of FIG. Is done.
[0022]
Note that the positioning mark 14 is used for positioning such that the alignment mark 15 on the screen plate side is located inside the ring of the positioning mark 14.
[0023]
FIG. 7 is a plan view showing the positional relationship between one of the alignment marks 14 formed as described above and the partition 21 in the pattern portion (display area) 12 to be printed. Further, FIG. 8 is a sectional view taken along line V2-V2 of FIG. 7, and FIG. 9 is a sectional view taken along line W2-W2 of FIG. 7 (only the front substrate side is shown).
7 to 9, reference numeral 11 denotes a rear substrate, 14 denotes a positioning mark, 16 denotes a column electrode, 17 denotes a column electrode protective layer, 21 denotes a partition, 23 denotes a dielectric layer, 23a denotes a raised dielectric layer, and 24 denotes a raised dielectric layer. A front substrate, 25 is a phosphor, S is a discharge space, and SL is a gap.
[0024]
As shown in the cross-sectional view of FIG. 8, the display panel according to the present embodiment seals the front substrate 24 and the rear substrate 11 facing each other via the discharge space S, and the periphery of the front substrate 24 and the rear substrate 11. It comprises a sealing layer, a partition 21 for partitioning the discharge space S of the display area 12, and an alignment mark 14 in which a thick film pattern is formed simultaneously with the partition 21 in the outer non-display area 13.
[0025]
Further, a display electrode 26 composed of a transparent electrode and a bus electrode laminated thereon, a dielectric layer 23 covering the display electrode 26, and a raised dielectric layer 23a formed on the bus electrode are formed on the inner surface of the front substrate 24. Have.
[0026]
Further, the dielectric layer 23 is formed so as to extend to the non-display area 13, and the raised dielectric layer 23 a is formed so as to extend all over the non-display area 13 except for the portion facing the alignment mark 14. ing.
[0027]
The alignment marks 14 are formed at the same time as the partition walls 21 by applying a thick film of the partition wall forming material and sandblasting the partition wall forming material. (A region where the raised portion 18a does not occur).
[0028]
Then, as shown in FIG. 7, the width of the ring-shaped alignment mark 14 is wider than the width of the partition 21, so that after firing, the height of the partition 21 is lower than that of the alignment mark 14. For this reason, the raised dielectric layer 23a is not formed in the portion facing the alignment mark 14 (raised notch 23b in FIG. 9).
[0029]
Since the width of the ring-shaped alignment mark 14 is wider than the width of the partition 21, the height of the partition 21 is lower than that of the alignment mark 14 after firing. By making it narrower, it is possible to make it almost the same height as the partition 21.
[0030]
In the display panel of the present embodiment, in the thick film pattern forming step, the alignment mark 14 is formed at a position avoiding the raised end portion 18b of the partition wall forming material layer 18 (region where the raised portion 18a does not occur). The height of the alignment mark 14 is lower than that of the conventional display panel, and the variation in the height of the alignment mark 14 is reduced.
For this reason, the accuracy of recognition of the alignment mark 14 in the image processing is improved, and printing deviation can be prevented.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view showing the arrangement of alignment marks on a conventional display panel.
FIG. 2 is a cross-sectional view in a thick film pattern forming process for explaining formation of a conventional alignment mark for a display panel.
FIG. 3 is a plan view of a display panel showing a positional relationship between a conventional alignment mark and a partition.
FIG. 4 is a sectional view taken along line V1-V1 of FIG. 3;
FIG. 5 is a cross-sectional view in a thick film pattern forming step for describing formation of a positioning mark of the display panel according to the embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a plan view showing the arrangement of alignment marks on the display panel according to the embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a plan view showing a positional relationship between alignment marks and partition walls of the display panel according to the embodiment of the present invention.
8 is a sectional view taken along line V2-V2 of FIG.
FIG. 9 is a sectional view taken along line W2-W2 of FIG. 7;
[Explanation of symbols]
REFERENCE SIGNS LIST 11 back substrate 14 positioning mark 14a positioning mark pattern 18 partition wall forming material layer 18a raised portion 18b raised end portion 21 partition 21a partition pattern 23 dielectric layer 23a raised dielectric layer

Claims (3)

基板上に隔壁形成材料を所定の膜厚で塗布して隔壁形成材料層を形成し、前記隔壁形成材料層の表面に、隔壁パターン及び位置合わせ用マークパターンに対応したサンドブラスト用マスクを介してサンドブラスト処理を行った後に、焼成を行って、隔壁及び位置合わせ用マークを同時に形成する厚膜パターン形成工程を含むディスプレイパネルの製造方法であって、
前記厚膜パターン形成工程において、前記位置合わせ用マークを前記塗布された隔壁形成材料の盛り上がり端部を避けた位置に形成することを特徴とするディスプレイパネルの製造方法。
A partition forming material layer is formed by applying a partition forming material to a predetermined thickness on a substrate, and sand blasting is performed on a surface of the partition forming material layer via a sand blast mask corresponding to the partition pattern and the alignment mark pattern. After performing the processing, baking is performed, a display panel manufacturing method including a thick film pattern forming step of simultaneously forming the partition and the alignment mark,
The method of manufacturing a display panel according to claim 1, wherein, in the thick film pattern forming step, the alignment mark is formed at a position avoiding a raised end of the applied partition wall forming material.
放電空間を介して対向する前面基板及び背面基板と、前記前面基板と背面基板の周囲を封止する封着層と、表示領域の前記放電空間を区画する隔壁と外周の非表示領域に前記隔壁と同時に厚膜パターンが形成された位置合わせ用マークと、を備え、
前記前面基板の内面に、透明電極とそれに積層されたバス電極からなる表示電極と、前記表示電極を覆う誘電体層と、バス電極上に形成された嵩上げ誘電体層と、を有するディスプレイパネルであって、
前記誘電体層が前記非表示領域に延長して形成されていると共に、前記嵩上げ誘電体層が前記位置合わせ用マークに対向する部分を除く前記非表示領域に延長してべたに形成されていることを特徴とするディスプレイパネル。
A front substrate and a rear substrate opposed to each other via a discharge space, a sealing layer sealing the periphery of the front substrate and the rear substrate, a partition for partitioning the discharge space in a display area, and the partition for a non-display area on an outer periphery. At the same time, a positioning mark with a thick film pattern formed thereon,
A display panel comprising a display electrode comprising a transparent electrode and a bus electrode laminated thereon, a dielectric layer covering the display electrode, and a raised dielectric layer formed on the bus electrode, on the inner surface of the front substrate. So,
The dielectric layer is formed so as to extend to the non-display area, and the raised dielectric layer is entirely formed to extend to the non-display area except for a portion facing the alignment mark. A display panel, characterized in that:
前記位置合わせ用マークは、隔壁形成材料の厚膜塗布及び隔壁形成材料のサンドブラスト処理により隔壁と同時に形成されてなり、かつ、厚膜塗布された隔壁形成材料の盛り上がり端部を避けた位置に形成されてなることを特徴とする請求項2に記載のディスプレイパネル。The alignment mark is formed at the same time as the partition wall by applying a thick film of the partition wall forming material and sandblasting the partition wall forming material, and is formed at a position avoiding the raised end of the partition wall forming material coated with the thick film. The display panel according to claim 2, wherein the display panel is formed.
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