【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被処理物を大気圧雰囲気から真空チャンバー内の真空雰囲気中に搬入し、真空雰囲気中で被処理物に成膜等の真空処理を施し、しかる後に真空処理された被処理物を大気圧雰囲気に戻すようにした連続真空処理装置であって、真空チャンバーの真空度を高レベルで保ちながら、被処理物に対して真空処理できるようにした連続真空処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
真空処理装置に用いられる真空チャンバー内の真空度を高レベルに保つためのシール機構としては、以下のようなものがある。
（１）真空チャンバー外の大気雰囲気と、真空チャンバー内の真空雰囲気との間に、対向圧接して回転可能な一対のシールロール（大気遮蔽ロール）を設け、この一対のシールロール間で、連続送行する被処理物を挟み込むと共に、この一対のシールロールの周囲をシールするようにした機構。
（２）被処理物を、幅と高さを帯状の被処理物の寸法に合わせて設定したスリットを介して真空チャンバーの外側から内側に通ずるようにし、真空チャンバー内への大気の流入を最小限にするようにした機構。
（３）大気雰囲気と真空雰囲気の間に液体金属浴部を設け、その中に被処理物を通して真空チャンバー内に搬送するようにして、真空チャンバー内の真空度を確保するようにした機構。
【０００３】
上記（１）の機構は、一対のシールロールでシート状の被処理物を挟み込み、且つこのシールロールの周囲を、シール部材でシールするようにした機構であるが、シール部材とシールロールとを、しっかりと密接（摺接）させて大気の流入を抑えようとすると、シール部材と回転するシールロールとの間に摩擦抵抗が生じてしまう。そのため、シールロールを滑らかに回転させ、被処理物の搬送に支障がないように、シール部材とシールロールとの間に、ある程度の間隙（クリアランス）を設ける必要がある。
【０００４】
しかし、そのような間隙を設けると、ここを通して大気が真空雰囲気へ流入してしまう。そのために、強力な大容量の真空ポンプを使用して、真空チャンバー内の真空雰囲気を保っているのが現状である。
【０００５】
また上記（２）の機構は、スリットの巾と高さをシート状の被処理物の寸法（巾と厚さ）に合わせて設定し、このスリットに通して被処理物を搬送しているときに、大気が真空チャンバー内に流入するのを最小限にするようにした機構であるが、スリットの開口寸法は被処理物を通すための余裕がなければならず、スリットと被処理物との間隙を完全に無くすことはできない。
【０００６】
そのため、スリットからの大気の流入を防ぎきれず、しかも被処理物が連続送行中に揺動してしまう現象が発生し、スリットの端縁に接触して被処理物を傷付けてしまう。これを防ぐには、被処理物に大きな張力を掛けるか、送行する被処理物周囲からスリットを介して真空チャンバーの真空雰囲気内に流入する大気の圧力や流速を出来るかぎり一定にする必要がある。そして、真空雰囲気への大気の流入を防ぎきれないため、（１）と同様に、強力な大容量の真空ポンプを取り付け、このポンプにより真空雰囲気を保つ必要もあった。
【０００７】
さらに上記（３）の機構は、真空チャンバー外側の大気雰囲気と真空チャンバー内側の真空雰囲気との間に液体金属浴部を設け、この液体金属浴部中の液体金属中にシート状の被処理物を通しつつ、真空チャンバー内に被処理物を搬送する機構であるが、被処理物に液体金属が付着するため、被処理物は一部の金属に限られる。また、使用する液体金属浴によっては、液体金属から有毒なガスが発生したりして、後工程に悪影響を与える場合がある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、以上のような状況に対応してなされたものであり、その課題とするところは、大気の流入を極めて少なく抑え、且つばたつきや傷付きを発生せずに被処理物を真空チャンバー内にスムースに搬送し、真空蒸着等の真空処理ができるようにした連続真空処理装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決しようとする手段】
以上のような課題を達成すべくなされたもので、請求項１に記載の発明は、被処理物１を真空チャンバー４内にその導入開口部４ａから導入し、搬出開口部４ｂから搬出して被処理物１に対して成膜等の真空処理を連続して行なうための装置であって、真空チャンバー４内の前記導入開口部４ａの近傍には導入されてくる被処理物１を外気の流入を阻止しながら挟持する対向する一対のシールロール６を設け、また真空チャンバー４の前記導入開口部４ａには一端の先端部を前記一対のシールロール６の接触部からその近傍にかけての外周部に密接するように、且つその先端のスリット３−１から前記一対のシールロール６の接触部に向けて被処理物１が導入されるようになっているシール部材３を設けると共に、前記シール部材３を前記１対のシールロール６が接する部分の方向へ一定の力で押付ける構造としたことを特徴とする連続真空処理装置である。
【００１０】
本発明の請求項２に記載の発明は、上記請求項１に記載の連続真空処理装置において、前記対向する１対のシールロールを、その対向方向に一定の力で押付ける構造としたことを特徴とする連続真空処理装置である。
【００１１】
本発明の請求項３に記載の発明は、上記請求項１又は請求項２に記載の連続真空処理装置において、前記シール部材３には振動発生手段１５が付設してあることを特徴とする連続真空処理装置である。
【００１２】
【作用】
上記請求項１に係る連続真空処理装置は、被処理物１が通るシール部材３の先端にあるスリット３−１の周りを、対向する一対のシールロール６（６−１、６−２）でシールする構造であるが、このスリット３−１を持ったシール部材３のシールロール６に対する押し付けが強すぎると、シールロール６は摩擦抵抗で回転し難くなり、逆に弱すぎると、空気が洩れるという関係がある。
【００１３】
このように請求項１に係る発明は、シール部材３を、その先端のスリット３−１方向に一定の力でシールロール６の対向接触部分に対して押付ける構造としたことにより、被処理物１の進行方向の高精度な位置決めの必要が無くなり、大気（空気）の洩れとシールロール６の回転摩擦抵抗との間の相反する関係における最適条件が得られるものである。
【００１４】
また上記請求項１に係る発明は、被処理物１が通るスリット３−１の周りを、シールロール６でシールする構造であり、このことにより、シール面積を必要最小限にすることができ、それにより摩擦抵抗も最小限になる構造とすることができる。
【００１５】
上記請求項２に係る連続真空処理装置は、前記対向する１対のシールロール６のいずれか一方のシールロール（６−１又は６−２）を他方のシールロール（６−２又は６−１）の方向へ、一定の力で押付ける構造とした連続真空処理装置であるが、このように、一方のシールロール６対向した他方のシールロールの方向へ、一定の力で押付ける構造としたことにより、シート状の被処理物１の進行方向に対して直角方向（シート巾方向又はシート厚さ方向）の高精度な位置決めの必要が無くなり、しかも、対向する一対のシールロール６の適切なニップ圧を得ることができる。
【００１６】
上記請求項３に係る連続真空処理装置は、前記シール部材３に、振動発生手段１５を付設したものであり、このように、シール部材３に振動発生手段１５を付設して、シール部材３を振動させることにより、シールロール６とシール部材３との圧接によるシールロール６の回転摩擦抵抗を減らすことができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
本発明の連続真空処理装置の実施の形態について図面に基づいて説明すれば、図１は、本発明の連続真空処理装置の概略を示す構成説明図である。
【００１８】
この連続真空処理装置は、長尺シート状（ウエブ）の搬送送行する被処理物１を、真空チャンバー４内にその導入開口部４ａから導入し、搬出部４ｂから搬出して、被処理物１に対して成膜等の真空処理加工を行なうための装置である。
【００１９】
真空チャンバー４内の導入用開口部４ａの近傍には、搬送送行されてくる被処理物１を、外気の流入を阻止しながら挟持する上下一対の対向するシールロール６（６−１、６−２）を設け、また真空チャンバー４の導入開口部４ａには一端の先端部にスリット３−１を備え、且つ前記一対のシールロール６−１、６−２の対向接触部に向けて被処理物１が導入されるように内部に被処理物１の中空導入路を備えたシール部材３を設けてある。なお図中、１０は真空チャンバー４内に導入セットされた被処理物１に対して蒸着やスパッタリング等の真空処理を施すための真空処理手段である。
【００２０】
真空チャンバー４内に設置した真空処理手段１０は、特にその処理方式や種類が制限されるものではなく、処理目的に応じて、種々ある公知の真空処理手段１０から適宜のものを選択して設置することができる。
【００２１】
本発明の連続真空処理装置は、真空度を良好に保つことが可能で、高生産能力で高品質の真空処理加工が実施でき、高品質の真空処理加工物が得られ、特に樹脂フィルム、紙、布等の被処理物１に対し、例えば真空処理手段１０として、真空蒸着装置、ＣＶＤ装置、スパッタリング装置を適用し、良好な薄膜の生成を被処理物１に対して行なうことができる。
【００２２】
また図１中、５はシール部を示しており、前述の一対のシールロール６−１、６−２とシール部材３から構成される。図１に示す連続真空処理装置において、このシール部材３によるシール部５は、例えば２ヶ所に設定されている。このシール部５を有する連続真空処理装置を用いた被処理物１の真空処理加工は、以下のようにして行なわれる。
【００２３】
まず図１の側面図に示すように、被処理物１は、真空チャンバー４の外側の大気雰囲気から、真空チャンバー４内の真空雰囲気へ搬入される。この際、被処理物１は、図面左側に位置するシール部５を構成するシール部材３を通って、その先端のスリット３−１（図４参照）から真空チャンバー４の中に導入されて、さらに対向する上下一対のシールロール６−１、６−２の接触部の間に挟持されつつ、真空チャンバー４の中ほどまで搬送される。そして真空チャンバー４内の真空処理手段１０により、その真上にある被処理物１面に真空処理が行なわれる。
【００２４】
続いて、真空チャンバー４内で真空処理された被処理物１は、図１の右側に位置する真空チャンバー４内のシール部５を経由して、搬出部４ｂから大気雰囲気に搬出される。すなわち、真空チャンバー４内の被処理物１は、図１の右側に位置する対向する上下一対のシールロール６−１、６−２の間を通り、シール部材３先端のスリット３−１を経由して、シール部材３の他端の搬出部４ｂから真空チャンバー４の外側の大気雰囲気に搬出される。もちろん、左右反対であってもかまわない。
【００２５】
図１では、真空チャンバー４内へ被処理物１を導入（搬入）するところと、搬出するところに、それぞれ一つずつシール部５を設定しているが、本発明は、このような構成に限るものではなく、例えば、図２に示すように、導入部４ａ側と搬出部４ｂ側にそれぞれ一つずつシール部５を設けた図１の真空チャンバー４の被処理物導入部４ａ側と搬出部４ｂ側とに、それぞれ補助の真空チャンバー４−１、４−２を連接し、その真空チャンバー４−１、４−２内に、それぞれ一つずつシール部５を設けた構成としてもよい。このことにより、大気圧に対する真空シール性をさらに向上させることができる。
【００２６】
また、図３に示すように、真空チャンバー４の導入開口部４ａを複数箇所に設けて、その各々導入開口部４ａにシール部５を設定し、複数のシート状の被処理物１を各導入開口部４ａより真空チャンバー４内に導入し、途中、真空チャンバー４内に設けたラミネートロール２（２−１、２−２）にてそれら被処理物１をラミネートしながら真空処理した後、１箇所の搬出部４ｂより搬出するようにしてもよい。この方法により、真空中で２枚乃至それ以上のフィルムを貼り合わせる真空ラミネートが可能になる。
【００２７】
図４は、本発明装置のシール部材３とシールロール６（６−１、６−２）によるシール部５の構造及び配置を説明する拡大斜視図（わかり易くするためにシール部材３とシールロール６を離間させた状態で示す斜視図）である。
【００２８】
図４に示すように、シール部材３は全体にプレート状（偏平状）形状であり、その内部には被処理物１が通過可能な中空の導入路３ａが形成されている。
【００２９】
また、該シール部材３のシールロール６対向間に向かう先端の表裏面には、対向する一対のシールロール６周面に沿う部分円形状の境界シール面３−２、３−２を備えていて、該シール部材３先端は鋭角状に尖った形状である。
【００３０】
該鋭角状のシール部材３先端には、そのシール部材３の巾方向両端部を残して切欠部３ｂが形成され、その切欠部３ｂにより厚さが増加したシール部材３先端部に沿って巾方向に導入路３ａに連通する被処理物１が通過可能な狭いスリット３−１が形成されている。
【００３１】
そして、シール部材３先端の切欠部３ｂ部分以外の巾方向両端部のみに、対向する一対のシールロール６の対向間に深く進入する両端鋭角部３ｃが突出形成されている。
【００３２】
このようにプレート状のシール部材３には、導入路３ａに連続するスリット３−１が形成され、該被処理物１は、シール部材３先端のスリット３−１を通り、対向する一対のシールロール６（６−１、６−２）の間を通る。被処理物１の巾と厚さは、スリット３−１の巾方向の長さとスリット巾以下であればよい。そして、シール部材３のシールロール６との境界シール面３−２に、各シールロール６−１、６−２の周面が接することにより、真空チャンバー４外側の大気雰囲気に対して真空チャンバー４内の真空雰囲気がシールされる。
【００３３】
図５は、本発明の連続真空処理装置のシール部５において、シール部材３を対向する一対のシールロール６（６−１、６−２）の対向接触部に対して一定の力で押付けるための押付機構の平面図、図６はその側面図である。
【００３４】
図５、図６に示すように、シールロール６−１、６−２は、軸受部６ａに軸支されて回転可能（自由回転可能又はモーター駆動回転可能）であり、シール部５のシール部材３は、偏平なプレート状の形状を備え、その内部は、被処理物１が通過可能な中空導入路３ａが形成され、そのシール部材３の先端には、被処理物１が通過可能な所定のスリット長さとスリット巾のあるスリット３−１が形成され、シール部材３先端の境界シール面３−２は、シールロール６−１、６−２の周面に接触するとともに、切欠部３ｂ部分以外の巾方向両端部のみに突出形成された前記両端鋭角部３ｃが、対向する一対のシールロール６−１、６−２の対向間に深く進入する。
【００３５】
シール部材３は、図５、図６に示すように、その周囲を真空チャンバー４側のフレームＦに設けたＯリング９でシールされており、フレームＦに取り付け固定されたリニアガイド１１と前記Ｏリング９に沿って、真空チャンバー４に対して、そのチャンバー４内に進入、後退移動できる構造になっていて、シール部材３に取り付けたブラケット３ｄはリニアガイド１１に嵌挿されて、該シール部材３は、リニアガイド１１に沿って移動可能であり、前記リニアガイド１１に嵌挿したバネ７によりシールロール６（６−１、６−２）の対向接触部に一定の力でリニアガイド１１に沿って矢印方向に押付けられている。なお図７は、真空チャンバー４のフレームＦに取り付けた上記シール部材３と、その内部に形成された中空導入路３ａを示す正面図である。
【００３６】
また、図６に示すように、上下に対向する一対のシールロール６−１、６−２の各々軸受部６ａ、６ａは、真空チャンバー４側のフレームＦに取り付けた垂直リニアガイド１２に沿って移動ができる構造になっており、該リニアガイド１２に嵌挿したバネ８により、シールロール６−１と６−２の各々軸受部６ａ、６ａは互いに対向方向に付勢されていて、シールロール６−１とシールロール６−２は、シール部材３先端の境界シール面３−２に周接するように一定の力で押付けられている。軸受部６ａに対するバネ８の押し付け力は、リニアガイド１２に沿って移動可能に嵌装した調整プレート８ａの位置を、該プレート８ａに螺着したボルト８ｂの回動により上下方向に微調整することにより行うことができる。なお、図８は、真空チャンバー４内のフレームＦに取り付けた上記シールロール６−１、６−２と、両ロール６−１、６−２を対向方向に付勢するリニアガイド１２に嵌挿したバネ８を示す正面図である。
【００３７】
図６に示すように、シールロール６−１、６−２は、各々軸受部６ａを押圧する上下のバネ８、８により上下対向する方向に互いに押し合う。調整プレート８ａの上下方向の位置調整（例えば、各々上下バネ８、８による圧力が各々軸受部６ａに略均等に掛かる状態に調整）することにより、シールロール６−１、６−２の接触面（ニップ面）はシール部材３先端の正面に安定した状態で停止するようになっている。その後、そのシールロール６−１、６−２の接触面（ニップ面）に向かってシール部材３の先端が進入できるようになっているものである。
【００３８】
図９は、本発明の連続真空処理装置のシール部５において、シール部材３を対向する一対のシールロール６（６−１、６−２）の対向接触部に対して一定の力で押付けるための他の実施例の押付機構の平面図、図１０はその側面図である。
【００３９】
図９、図１０に示すように、シールロール６−１、６−２は、軸受部６ａに軸支されて回転可能（自由回転可能又はモーター駆動回転可能）であり、シール部５のシール部材３は、偏平なプレート状の形状を備え、その内部は、被処理物１が通過可能な中空導入路３ａが形成され、そのシール部材３の先端には、被処理物１が通過可能な所定のスリット長さとスリット巾のあるスリット３−１が形成され、シール部材３先端の境界シール面３−２は、シールロール６−１、６−２の周面に接触するとともに、切欠部３ｂ部分以外の巾方向両端部のみに突出形成された前記両端鋭角部３ｃが、対向する一対のシールロール６−１、６−２の対向間に深く進入する。
【００４０】
シール部材３は、図９、図１０に示すように、その周囲を真空チャンバー４側のフレームＦに設けたＯリング９でシールされており、フレームＦに取り付け固定されたリニアガイド１１と前記Ｏリング９に沿って、真空チャンバー４に対して、そのチャンバー４内に進入、後退移動できる構造になっていて、シール部材３に取り付けたブラケット３ｄはリニアガイド１１に嵌挿されて、該シール部材３は、リニアガイド１１に沿って移動可能であり、前記ブラケット３ｄに取り付けたアクチュエータ１３（空圧（エア）シリンダー又は油圧シリンダー）の作動ロッド１３ａによりシールロール６（６−１、６−２）の対向接触部に一定の力でリニアガイド１１に沿って矢印方向に押付けられている。前記アクチュエータ１３本体は、真空チャンバー４側のフレームＦに併設した取付支持部Ｆ１ に取付け固定される。なお図１１は、真空チャンバー４のフレームＦに取り付けた上記シール部材３と、その内部に形成された中空導入路３ａを示す正面図である。
【００４１】
また、図１０に示すように、上下に対向する一対のシールロール６−１、６−２の各々軸受部６ａ、６ａは、真空チャンバー４側のフレームＦに取り付けた垂直リニアガイド１２に沿って上下方向に移動ができる構造になっており、各軸受部６ａに取り付けたアクチュエータ１４（空圧（エア）シリンダー又は油圧シリンダー）の作動ロッド１４ａにより、シールロール６−１、６−２の各軸受部６ａ、６ａは対向方向に付勢されていて、シールロール６−１とシールロール６−２は互いに一定の力で押付けられている。前記アクチュエータ１４本体は、真空チャンバー４側のフレームＦに取付け固定され、またアクチュエータ１４本体は大気雰囲気中にあるので、アクチュエータ１４の作動ロッド１４ａの摺動部分はフレームＦに対してＯリング１６でシールされている。なお図１２は、真空チャンバー４内のフレームＦに取り付けた上記シールロール６−１、６−２と、シールロール６−１、６−２をリニアガイド１２に沿って対向方向に付勢するアクチュエータ１４を示す正面図である。
【００４２】
図１０に示すように、シールロール６−１、６−２は、各々軸受部６ａを押圧する各々上下のアクチュエータ１４、１４により、上下対向する方向に互いに押し合う。アクチュエータ１４、１４を調整（例えば同一動作速度、同一動作圧力に調整）することにより、各々アクチュエータ１４、１４による圧力が各々軸受部６ａに略均等に掛かった状態でシールロール６−１、６−２の接触面（ニップ面）は、シール部材３先端の正面に安定した状態で停止するようになっている。その後、そのシールロール６−１、６−２の接触面（ニップ面）に向かってシール部材３の先端が進入できるようになっているものである。
【００４３】
図１３は、図６に示す本発明の連続真空処理装置において、シール部材３に振動発生手段１５を取り付けた側面図であり、図１４は、図１０に示す本発明の連続真空処理装置において、シール部材３に振動発生手段１５を取り付けた側面図である。
【００４４】
振動発生手段１５は、その基部１５ａがシール部材３（又はブラケット３ｄを介してシール部材３）に取り付けられていて、振動発生手段１５により発生させた振動、特に、シール部材３を被処理物１の流れ方向に振動させることにより、シールロール６−１、６−２周面とシール部材３の先端とを、その両者間のエアシール性を一層向上させるために、さらに圧接させた状態にしても、前記振動により、これらの間の摺接による回転摩擦係数を低減させることができ、シールロール６−１、６−２の回転が摩擦抵抗により遅くなったり、停止したりすることを回避することができる。
【００４５】
ここで、前記シールロール６−１、６−２の材料は、金属又は合成樹脂が用いられるが、合成樹脂ロールが好適に使用できる。これは、ロールの弾性により、被処理物１を挟む場所と挟まない場所の段差をなくすことができ、シールの機能を満足する。なお、シール部材３が振動しても、振幅が合成樹脂の弾性範囲内であれば、シール性に影響を与えるような大きな隙間は発生せず、シール性を損なうことはない。
【００４６】
一方、シール部材３の材料としては、合成樹脂であっても金属であってもかまわない。振動発生手段１５をシール部材３に取り付けた場合は、シール部材３の材料としては、金属が好適に使用できる。これは、剛性のある金属を使用することにより、被処理物１が通る隙間を確保し、振動を正確に伝えることができるためである。しかし、剛性が有り、振動を正確に伝えることができるのであれば、合成樹脂であってもかまわない。
【００４７】
また、振動発生手段１５としては、電磁石やその他の方法を用いる公知の起振装置や超音波などの振動子を用いることができる。中でも、超音波を用いた振動発生手段が好適に使用できる。これは、超音波の場合、振幅がシールロールの弾性範囲内であれば隙間が発生しないことと、真空チャンバー４等の構成部品と共振を起こしにくく、騒音の発生も抑えられるという長所があるからである。
【００４８】
本発明の連続真空処理装置は、高生産能力及び高品質が得られるため、特に樹脂フィルム、紙、布等の被処理物１に対し、例えば図１、図２に示す真空処理用の処理手段１０として、ＣＶＤ、蒸着、スパッタリング装置を設置して、薄膜の生成等の処理に適している。また、被処理物１も１枚とは限らず、複数枚を真空チャンバー内で加熱、圧縮し貼り合わせる連続真空ラミネート装置としても使用することができる。
【００４９】
【発明の効果】
本発明の連続真空処理装置によれば、真空チャンバーの被処理物が通過する位置において、シール部材と対向する一対のシールロールとが互いに一定の圧力で接触することで、真空チャンバー内外のエアの出入りをシールすることができ、真空チャンバー外側の大気が、真空チャンバー内に流入することを最小限に抑えることができ、非常に優れたシール効果が得られ、このことにより、真空チャンバー内への大気の流入を防ぎながら、被処理物を大気雰囲気中から真空中に導入することが可能となる。
【００５０】
また、シール部材を振動させることによって、シール部材とシールロールとの間の摩擦係数を低減させることにより、良好なシール性を保持しながら、被処理物の移動をスムースに行うことができ、真空チャンバー内に導入される被処理物に、真空チャンバー外側の大気の流入により、ばたつきや、傷付きが発生することを防止でき、被処理物を安定して真空チャンバー内に導入でき、そのために真空処理品質の向上効果と、大容量の真空ポンプの必要が無くなり、真空処理操作におけるイニシャルコスト、ランニングコスト、スペースを低減することができる。
【００５１】
また、従来の真空処理装置においては、巻き取りロール状の被処理物をロールの状態で真空チャンバー内に入れて、真空チャンバー内にてウエブシート状に巻き出しながら真空処理するため、真空処理が終了して被処理物を交換する場合には、真空処理装置の真空チャンバー内を真空状態から大気圧に戻す必要があったが、本発明によれば、被処理物の交換時、真空チャンバー内を大気圧から真空圧にする排気時間、真空から大気圧に戻すリーク時間が無く、生産時間が短縮され、生産能率の向上効果が得られる。それに、真空チャンバーを開放せずに被処理物を交換できるため、真空チャンバー内を大気圧に戻すことによるチャンバー内の汚染が無く、品質上の効果も有る。さらに、真空チャンバー内を真空に保つことができるため、生産条件の変動が無く、均一な品質が得られ、品質向上及び生産能力向上の効果もある。
【００５２】
本発明の連続真空処理装置による真空チャンバー内での真空処理は、特にその処理の種類を制限するものではなく、目的に応じて公知の処理手段を設置して処理することができる。
【００５３】
本発明の連続真空処理装置は、高生産能力及び高品質が得られるため、特に樹脂フィルム、紙、布等の被処理物に対し、ＣＶＤ、蒸着、スパッタリング装置を設置して、薄膜の生成処理を行うことができ、また、被処理物も１枚とは限らず複数枚を、本装置の真空チャンバー内で加熱、圧縮し、貼り合わせる連続真空ラミネート装置等としても使用することができる。
【００５４】
このように、本発明の連続真空処理装置は、被処理物を大気圧雰囲気から真空チャンバー内の真空雰囲気中に搬入し、真空雰囲気中で被処理物に真空処理を施し、しかる後に真空処理された被処理物を大気圧雰囲気に戻すことができ、真空チャンバー内への大気の流入を一対のシールロールやシール部材によりシールして阻止することができ、真空チャンバーの真空度を高レベルで保ちながら、被処理物に対して真空処理できる優れた効果を発揮するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の連続真空処理装置の一実施の形態を説明する概略側面図である。
【図２】本発明の連続真空処理装置の他の実施の形態を説明する概略側面図である。
【図３】本発明の連続真空処理装置の他の実施の形態を説明する概略側面図である。
【図４】本発明の連続真空処理装置における真空処理のシール部を示す部分拡大斜視図である。
【図５】本発明の連続真空処理装置の一実施の形態における真空処理のシール部を示す部分平面図である。
【図６】本発明の連続真空処理装置の一実施の形態における真空処理のシール部を示す部分側面図である。
【図７】本発明の連続真空処理装置の一実施の形態における真空処理のシール部材を示す正面図である。
【図８】本発明の連続真空処理装置の一実施の形態における真空処理の対向する一対のシールロールを示す正面図である。
【図９】本発明の連続真空処理装置の他の実施の形態における真空処理のシール部を示す部分平面図である。
【図１０】本発明の連続真空処理装置の他の実施の形態における真空処理のシール部を示す部分側面図である。
【図１１】本発明の連続真空処理装置の他の実施の形態における真空処理のシール部材を示す正面図である。
【図１２】本発明の連続真空処理装置の他の実施の形態における真空処理の対向する一対のシールロールを示す正面図である。
【図１３】本発明の連続真空処理装置の一実施の形態においてシール部材に振動発生手段を取り付けた真空処理のシール部を示す部分平面図である。
【図１４】本発明の連続真空処理装置の他の実施の形態においてシール部材に振動発生手段を取り付けた真空処理のシール部を示す部分平面図である。
【符号の説明】
１…被処理物 ２…ラミネートロール ３…シール部材 ３−１…スリット
３−２…シール面 ４…真空チャンバー ５…シール部 ６…シールロール
６−１…シールロール ６−２…シールロール ７…バネ ８…バネ
９…Ｏリング
１０…真空処理用処理手段 １１…ガイド １２…ガイド
１３…アクチュエータ １４…アクチュエータ １５…振動発生手段
１６…Ｏリング[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
In the present invention, an object to be processed is carried from an atmospheric pressure atmosphere into a vacuum atmosphere in a vacuum chamber, and the object to be processed is subjected to vacuum processing such as film formation in a vacuum atmosphere. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a continuous vacuum processing apparatus capable of returning to an atmospheric pressure atmosphere, and capable of performing vacuum processing on an object to be processed while maintaining a high degree of vacuum in a vacuum chamber.
[0002]
[Prior art]
As a sealing mechanism for maintaining a high degree of vacuum in a vacuum chamber used in a vacuum processing apparatus, there are the following ones.
(1) A pair of seal rolls (air shield rolls) rotatable by opposing pressure contact are provided between the atmosphere outside the vacuum chamber and the vacuum atmosphere inside the vacuum chamber. A mechanism that sandwiches the object to be fed and seals around the pair of seal rolls.
(2) The workpiece is passed from the outside to the inside of the vacuum chamber through a slit whose width and height are set in accordance with the dimensions of the strip-shaped workpiece, so that the inflow of the atmosphere into the vacuum chamber is minimized. Mechanism to limit
(3) A mechanism in which a liquid metal bath is provided between the air atmosphere and the vacuum atmosphere, and the object to be processed is transported into the vacuum chamber in the vacuum chamber to ensure a degree of vacuum in the vacuum chamber.
[0003]
The mechanism (1) is a mechanism in which a sheet-like workpiece is sandwiched between a pair of seal rolls and the periphery of the seal roll is sealed with a seal member. In order to suppress the inflow of the air by firmly contacting (sliding), frictional resistance is generated between the seal member and the rotating seal roll. Therefore, it is necessary to provide a certain amount of clearance (clearance) between the seal member and the seal roll so that the seal roll is smoothly rotated so as not to hinder the transfer of the workpiece.
[0004]
However, when such a gap is provided, the air flows into the vacuum atmosphere through the gap. For this purpose, at present, a powerful large-capacity vacuum pump is used to maintain a vacuum atmosphere in a vacuum chamber.
[0005]
In the mechanism (2), the width and height of the slit are set in accordance with the dimensions (width and thickness) of the sheet-like workpiece, and the workpiece is conveyed through the slit. In addition, although the mechanism is designed to minimize the flow of air into the vacuum chamber, the opening size of the slit must allow for the passage of the object to be processed. The gap cannot be completely eliminated.
[0006]
For this reason, the inflow of air from the slit cannot be completely prevented, and a phenomenon occurs in which the workpiece swings during continuous feeding, and the workpiece contacts the edge of the slit to damage the workpiece. To prevent this, it is necessary to apply a large tension to the object to be processed or to make the pressure and flow rate of the air flowing into the vacuum atmosphere of the vacuum chamber through the slit from around the object to be transported as constant as possible. . Since it is not possible to prevent the air from flowing into the vacuum atmosphere, it is necessary to attach a powerful large-capacity vacuum pump and maintain the vacuum atmosphere with this pump, as in (1).
[0007]
Further, in the mechanism of the above (3), a liquid metal bath is provided between the atmosphere outside the vacuum chamber and the vacuum atmosphere inside the vacuum chamber, and the sheet-like workpiece is placed in the liquid metal in the liquid metal bath. Is a mechanism for transporting an object to be processed into the vacuum chamber while passing through the substrate. However, since the liquid metal adheres to the object to be processed, the object to be processed is limited to some metals. Further, depending on the liquid metal bath used, toxic gas may be generated from the liquid metal, which may adversely affect the subsequent steps.
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in response to the above circumstances, and has as its object to suppress the inflow of air to a very low level, and to perform processing in a vacuum chamber without generating fluttering or scratching. It is an object of the present invention to provide a continuous vacuum processing apparatus which can be smoothly transported in a vacuum chamber and perform vacuum processing such as vacuum deposition.
[0009]
[Means to solve the problem]
In order to achieve the above object, the invention according to claim 1 introduces the object to be processed 1 into the vacuum chamber 4 from the introduction opening 4a and unloads the object 1 from the unloading opening 4b. This is an apparatus for continuously performing vacuum processing such as film formation on the processing target 1, wherein the processing target 1 introduced into the vicinity of the introduction opening 4 a in the vacuum chamber 4 is exposed to outside air. A pair of opposing seal rolls 6 are provided to hold and prevent inflow, and an outer peripheral portion of the introduction opening 4a of the vacuum chamber 4 is provided with a tip end at one end from a contact portion of the pair of seal rolls 6 to a vicinity thereof. The sealing member 3 is provided so that the object 1 can be introduced into the contact portion of the pair of seal rolls 6 from the slit 3-1 at the end thereof so as to be in close contact with the sealing member 3. 3 to 1 A continuous vacuum processing apparatus characterized by in the direction of the portion where the seal roll 6 contacts was pressed structure with a constant force.
[0010]
According to a second aspect of the present invention, in the continuous vacuum processing apparatus according to the first aspect, a structure is employed in which the pair of opposed seal rolls is pressed with a constant force in the facing direction. It is a continuous vacuum processing device that is characterized.
[0011]
According to a third aspect of the present invention, in the continuous vacuum processing apparatus according to the first or second aspect, the seal member 3 is provided with a vibration generating means 15. It is a vacuum processing device.
[0012]
[Action]
In the continuous vacuum processing apparatus according to the first aspect, a pair of opposed seal rolls 6 (6-1, 6-2) surround the slit 3-1 at the tip of the seal member 3 through which the workpiece 1 passes. The seal member 3 has a structure for sealing. If the sealing member 3 having the slit 3-1 is pressed too strongly against the seal roll 6, the seal roll 6 becomes difficult to rotate due to frictional resistance, and if it is too weak, air leaks. There is a relationship.
[0013]
As described above, the invention according to claim 1 has a structure in which the seal member 3 is configured to be pressed against the opposing contact portion of the seal roll 6 with a constant force in the direction of the slit 3-1 at the tip of the seal member 3. This eliminates the necessity of high-precision positioning in the advancing direction, thereby obtaining the optimal condition in the conflicting relationship between the leakage of the atmosphere (air) and the rotational frictional resistance of the seal roll 6.
[0014]
The invention according to claim 1 has a structure in which the periphery of the slit 3-1 through which the workpiece 1 passes is sealed by the seal roll 6, whereby the sealing area can be minimized. Thereby, a structure in which frictional resistance is minimized can be obtained.
[0015]
The continuous vacuum processing apparatus according to claim 2, wherein one of the pair of opposed seal rolls 6 (6-1 or 6-2) is replaced with the other seal roll (6-2 or 6-1). ) Is a continuous vacuum processing apparatus that is configured to be pressed with a constant force in the direction described above. As described above, the continuous vacuum processing apparatus is configured to be pressed with a constant force in the direction of the other seal roll facing one seal roll 6. This eliminates the need for high-precision positioning in a direction (sheet width direction or sheet thickness direction) perpendicular to the traveling direction of the sheet-like workpiece 1, and furthermore, the appropriate positioning of the pair of opposed seal rolls 6. Nip pressure can be obtained.
[0016]
In the continuous vacuum processing apparatus according to the third aspect, the vibration generating means 15 is attached to the seal member 3, and thus the vibration generating means 15 is attached to the seal member 3 to By vibrating, the rotational friction resistance of the seal roll 6 due to the pressure contact between the seal roll 6 and the seal member 3 can be reduced.
[0017]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
An embodiment of a continuous vacuum processing apparatus of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a configuration explanatory view schematically showing a continuous vacuum processing apparatus of the present invention.
[0018]
In this continuous vacuum processing apparatus, the workpiece 1 to be transported and transported in a long sheet shape (web) is introduced into the vacuum chamber 4 through the introduction opening 4a, and is unloaded from the unloading section 4b. This is an apparatus for performing vacuum processing such as film formation on the substrate.
[0019]
In the vicinity of the introduction opening 4a in the vacuum chamber 4, a pair of upper and lower opposing seal rolls 6 (6-1, 6-6) for holding the workpiece 1 conveyed and transported while preventing the inflow of outside air are held. 2), and a slit 3-1 is provided at one end of the introduction opening 4a of the vacuum chamber 4 so as to be processed toward the opposed contact portion of the pair of seal rolls 6-1 and 6-2. A seal member 3 having a hollow introduction path for the article 1 to be processed is provided therein so that the article 1 is introduced. In the drawing, reference numeral 10 denotes a vacuum processing means for performing vacuum processing such as vapor deposition or sputtering on the processing target 1 introduced and set in the vacuum chamber 4.
[0020]
The vacuum processing means 10 installed in the vacuum chamber 4 is not particularly limited in its processing method and type, and is appropriately selected and installed from various known vacuum processing means 10 according to the processing purpose. can do.
[0021]
The continuous vacuum processing apparatus of the present invention can maintain a good degree of vacuum, can perform high-quality vacuum processing with high production capacity, and can obtain a high-quality vacuum-processed product. For example, a vacuum deposition device, a CVD device, or a sputtering device is applied to the workpiece 1 such as a cloth as the vacuum processing means 10 so that a good thin film can be formed on the workpiece 1.
[0022]
In FIG. 1, reference numeral 5 denotes a seal portion, which includes the above-described pair of seal rolls 6-1 and 6-2 and the seal member 3. In the continuous vacuum processing apparatus shown in FIG. 1, the seal portions 5 formed by the seal members 3 are set at, for example, two places. The vacuum processing of the workpiece 1 using the continuous vacuum processing apparatus having the seal portion 5 is performed as follows.
[0023]
First, as shown in the side view of FIG. 1, the workpiece 1 is carried from the atmosphere outside the vacuum chamber 4 to the vacuum atmosphere inside the vacuum chamber 4. At this time, the object 1 is introduced into the vacuum chamber 4 from the slit 3-1 (see FIG. 4) at the tip thereof through the sealing member 3 constituting the sealing portion 5 located on the left side of the drawing. Further, it is transported to the middle of the vacuum chamber 4 while being sandwiched between the contact portions of the pair of upper and lower seal rolls 6-1 and 6-2 facing each other. Then, the vacuum processing means 10 in the vacuum chamber 4 performs vacuum processing on the surface of the workpiece 1 directly above the workpiece.
[0024]
Subsequently, the workpiece 1 subjected to vacuum processing in the vacuum chamber 4 is carried out to the atmosphere from the carrying-out part 4b via the sealing part 5 in the vacuum chamber 4 located on the right side of FIG. That is, the workpiece 1 in the vacuum chamber 4 passes between a pair of opposed upper and lower seal rolls 6-1 and 6-2 located on the right side of FIG. Then, it is carried out to the atmosphere outside the vacuum chamber 4 from the carry-out portion 4b at the other end of the seal member 3. Of course, the right and left may be reversed.
[0025]
In FIG. 1, one seal portion 5 is set for each of a place where the object 1 is introduced (loaded) into the vacuum chamber 4 and a place where the workpiece 1 is unloaded. For example, as shown in FIG. 2, for example, as shown in FIG. 2, one sealing part 5 is provided on each of the introduction part 4 a side and the unloading part 4 b side, and the unloading is performed with the workpiece introduction part 4 a side of the vacuum chamber 4 of FIG. 1. The auxiliary vacuum chambers 4-1 and 4-2 may be connected to the part 4b side, respectively, and one seal part 5 may be provided in each of the vacuum chambers 4-1 and 4-2. As a result, the vacuum sealing performance with respect to the atmospheric pressure can be further improved.
[0026]
Further, as shown in FIG. 3, a plurality of introduction openings 4a of the vacuum chamber 4 are provided, a seal portion 5 is set in each of the introduction openings 4a, and a plurality of sheet-like workpieces 1 are introduced. After being introduced into the vacuum chamber 4 through the opening 4a and being vacuum-processed while laminating the workpieces 1 by laminating rolls 2 (2-1, 2-2) provided in the vacuum chamber 4 on the way, 1 You may make it unload from the unloading part 4b of a location. This method enables vacuum lamination in which two or more films are laminated in a vacuum.
[0027]
FIG. 4 is an enlarged perspective view for explaining the structure and arrangement of the seal portion 5 formed by the seal member 3 and the seal roll 6 (6-1, 6-2) of the apparatus of the present invention (for easy understanding, the seal member 3 and the seal roll 6). FIG. 3 is a perspective view showing the state in which is separated.
[0028]
As shown in FIG. 4, the seal member 3 has a plate-like (flat) shape as a whole, and has a hollow introduction passage 3a through which the object 1 can be passed.
[0029]
In addition, the front and back surfaces of the front end of the seal member 3 between the opposing seal rolls 6 are provided with partially circular boundary seal surfaces 3-2 and 3-2 along the peripheral surfaces of the pair of opposing seal rolls 6. The tip of the seal member 3 has a sharp pointed shape.
[0030]
A notch 3b is formed at the tip of the acute angled sealing member 3, leaving both ends in the width direction of the sealing member 3, and the notch 3b extends in the width direction along the tip of the sealing member 3 whose thickness is increased. A narrow slit 3-1 through which the workpiece 1 communicating with the introduction path 3a can pass is formed.
[0031]
Only at both ends in the width direction other than the cutout portion 3b at the tip of the seal member 3, sharp ends 3c at both ends which protrude deeply between the opposing pair of seal rolls 6 are formed.
[0032]
As described above, the plate-shaped seal member 3 is formed with the slit 3-1 continuous with the introduction path 3a, and the workpiece 1 passes through the slit 3-1 at the tip of the seal member 3 and a pair of opposed seals. It passes between the rolls 6 (6-1, 6-2). The width and thickness of the workpiece 1 may be equal to or less than the width and length of the slit 3-1 in the width direction. When the peripheral surfaces of the seal rolls 6-1 and 6-2 come into contact with the boundary seal surface 3-2 of the seal member 3 with the seal roll 6, the vacuum chamber 4 is removed from the atmosphere outside the vacuum chamber 4. The vacuum atmosphere inside is sealed.
[0033]
FIG. 5 shows that the sealing member 3 is pressed with a constant force against the opposing contact portions of the pair of opposing seal rolls 6 (6-1, 6-2) in the seal portion 5 of the continuous vacuum processing apparatus of the present invention. And FIG. 6 is a side view of the pressing mechanism for this.
[0034]
As shown in FIGS. 5 and 6, the seal rolls 6-1 and 6-2 are rotatably (freely rotatable or motor-driven rotatable) by being supported by the bearing 6 a, and the seal member of the seal 5. Reference numeral 3 denotes a flat plate-like shape, in which a hollow introduction passage 3a through which the object 1 can pass is formed, and a tip end of the seal member 3 has a predetermined passage through which the object 1 can pass. A slit 3-1 having a slit length and a slit width is formed, and the boundary sealing surface 3-2 at the tip of the seal member 3 contacts the peripheral surfaces of the seal rolls 6-1 and 6-2, and has a cutout 3b portion. The acute angle portions 3c formed at both ends in the width direction other than the above-mentioned portions are deeply inserted between the opposing seal rolls 6-1 and 6-2.
[0035]
As shown in FIGS. 5 and 6, the seal member 3 is sealed around the periphery thereof with an O-ring 9 provided on a frame F on the vacuum chamber 4 side. The bracket 3d attached to the seal member 3 is inserted into the linear guide 11 so that the bracket 3d can be inserted into and retracted from the vacuum chamber 4 along the ring 9 with respect to the vacuum chamber 4. Numeral 3 is movable along the linear guide 11, and is applied to the linear guide 11 with a constant force by a spring 7 fitted in the linear guide 11 to the opposing contact portion of the seal roll 6 (6-1, 6-2). Along the direction of the arrow. FIG. 7 is a front view showing the seal member 3 attached to the frame F of the vacuum chamber 4 and the hollow introduction passage 3a formed therein.
[0036]
As shown in FIG. 6, the bearings 6a, 6a of the pair of vertically opposed seal rolls 6-1 and 6-2 respectively move along the vertical linear guide 12 attached to the frame F on the vacuum chamber 4 side. The bearings 6a, 6a of the seal rolls 6-1 and 6-2 are urged in opposing directions by springs 8 inserted into the linear guides 12, respectively. The seal roll 6-1 and the seal roll 6-2 are pressed with a constant force so as to be in contact with the boundary seal surface 3-2 at the tip of the seal member 3. The pressing force of the spring 8 against the bearing 6a is to finely adjust the position of the adjustment plate 8a movably fitted along the linear guide 12 in the vertical direction by turning a bolt 8b screwed to the plate 8a. Can be performed. FIG. 8 shows a state in which the seal rolls 6-1 and 6-2 attached to the frame F in the vacuum chamber 4 and the linear guide 12 that urges the rolls 6-1 and 6-2 in opposite directions are inserted. FIG. 4 is a front view showing a spring 8 which is folded.
[0037]
As shown in FIG. 6, the seal rolls 6-1 and 6-2 are pressed against each other in upper and lower opposing directions by upper and lower springs 8, 8 respectively pressing the bearing portions 6a. By adjusting the position of the adjustment plate 8a in the vertical direction (for example, adjusting the pressure by the upper and lower springs 8 and 8 so that the pressure is applied to the bearing 6a substantially uniformly), the contact surface of the seal rolls 6-1 and 6-2 The (nip surface) stops in a stable state in front of the front end of the seal member 3. Thereafter, the tip of the seal member 3 can enter the contact surface (nip surface) of the seal rolls 6-1 and 6-2.
[0038]
FIG. 9 shows that the sealing member 3 is pressed with a constant force against the opposing contact portions of the pair of opposing seal rolls 6 (6-1, 6-2) in the seal portion 5 of the continuous vacuum processing apparatus of the present invention. FIG. 10 is a plan view of a pressing mechanism according to another embodiment, and FIG. 10 is a side view thereof.
[0039]
As shown in FIGS. 9 and 10, the seal rolls 6-1 and 6-2 are rotatably (freely rotatable or motor-driven) rotatably supported by the bearing 6a. Reference numeral 3 denotes a flat plate-like shape, in which a hollow introduction passage 3a through which the object 1 can pass is formed, and a tip end of the seal member 3 has a predetermined passage through which the object 1 can pass. A slit 3-1 having a slit length and a slit width is formed, and the boundary sealing surface 3-2 at the tip of the seal member 3 contacts the peripheral surfaces of the seal rolls 6-1 and 6-2, and has a cutout 3b portion. The acute angle portions 3c formed at both ends in the width direction other than the above-mentioned portions are deeply inserted between the opposing seal rolls 6-1 and 6-2.
[0040]
9 and 10, the periphery of the seal member 3 is sealed by an O-ring 9 provided on a frame F on the vacuum chamber 4 side. The bracket 3 d attached to the seal member 3 is inserted into the linear guide 11 so that the bracket 3 d can move into and out of the vacuum chamber 4 along the ring 9. The seal roll 6 (6-1, 6-2) is movable along a linear guide 11 and is operated by an operating rod 13a of an actuator 13 (pneumatic (air) cylinder or hydraulic cylinder) attached to the bracket 3d. Is pressed in the direction of the arrow along the linear guide 11 with a constant force. The main body of the actuator 13 is mounted and fixed to a mounting support portion F1 attached to the frame F on the vacuum chamber 4 side. FIG. 11 is a front view showing the seal member 3 attached to the frame F of the vacuum chamber 4 and the hollow introduction passage 3a formed therein.
[0041]
As shown in FIG. 10, the bearings 6a and 6a of the pair of vertically opposed seal rolls 6-1 and 6-2 are respectively arranged along the vertical linear guide 12 attached to the frame F on the vacuum chamber 4 side. Each of the bearings of the seal rolls 6-1 and 6-2 is configured to be movable in the vertical direction, and is operated by an operating rod 14a of an actuator 14 (pneumatic (air) cylinder or hydraulic cylinder) attached to each bearing 6a. The portions 6a, 6a are urged in the opposite direction, and the seal roll 6-1 and the seal roll 6-2 are pressed with a constant force. The main body of the actuator 14 is attached and fixed to the frame F on the vacuum chamber 4 side. Since the main body of the actuator 14 is in the atmosphere, the sliding portion of the operating rod 14a of the actuator 14 is fixed to the frame F by an O-ring 16. Sealed. FIG. 12 shows the seal rolls 6-1 and 6-2 attached to the frame F in the vacuum chamber 4 and an actuator for urging the seal rolls 6-1 and 6-2 in the facing direction along the linear guide 12. FIG.
[0042]
As shown in FIG. 10, the seal rolls 6-1 and 6-2 are pressed against each other in the vertically opposite directions by the upper and lower actuators 14 and 14 that press the bearing portions 6a. By adjusting the actuators 14, 14 (for example, to the same operation speed and the same operation pressure), the seal rolls 6-1, 6-6 are applied in a state where the pressures from the actuators 14, 14 are applied substantially equally to the bearing portions 6 a. The contact surface (nip surface) 2 stops at the front of the tip of the seal member 3 in a stable state. Thereafter, the tip of the seal member 3 can enter the contact surface (nip surface) of the seal rolls 6-1 and 6-2.
[0043]
FIG. 13 is a side view of the continuous vacuum processing apparatus of the present invention shown in FIG. 6, in which the vibration generating means 15 is attached to the seal member 3, and FIG. FIG. 4 is a side view in which vibration generating means 15 is attached to the seal member 3.
[0044]
The vibration generating means 15 has a base 15a attached to the seal member 3 (or the seal member 3 via the bracket 3d), and the vibration generated by the vibration generating means 15, particularly the seal member 3, is applied to the workpiece 1. By vibrating in the flow direction, the peripheral surfaces of the seal rolls 6-1 and 6-2 and the end of the seal member 3 are further pressed against each other in order to further improve the air sealing property between them. By the vibration, the coefficient of rotational friction caused by sliding contact between them can be reduced, and the rotation of the seal rolls 6-1 and 6-2 can be prevented from being delayed or stopped due to frictional resistance. Can be.
[0045]
Here, as the material of the seal rolls 6-1 and 6-2, metal or synthetic resin is used, but a synthetic resin roll can be preferably used. This makes it possible to eliminate the step between the place where the object 1 is sandwiched and the place where the object 1 is not sandwiched by the elasticity of the roll, thereby satisfying the sealing function. In addition, even if the seal member 3 vibrates, if the amplitude is within the elastic range of the synthetic resin, a large gap that affects the sealability is not generated, and the sealability is not impaired.
[0046]
On the other hand, the material of the seal member 3 may be a synthetic resin or a metal. When the vibration generating means 15 is attached to the seal member 3, a metal can be suitably used as a material of the seal member 3. This is because, by using a rigid metal, a gap through which the workpiece 1 passes can be ensured, and vibration can be transmitted accurately. However, synthetic resin may be used as long as it has rigidity and can transmit vibration accurately.
[0047]
Further, as the vibration generating means 15, a known vibrating device using an electromagnet or another method or a vibrator such as an ultrasonic wave can be used. Above all, a vibration generating means using ultrasonic waves can be preferably used. This is because, in the case of ultrasonic waves, there is an advantage that no gap is generated if the amplitude is within the elastic range of the seal roll, and that resonance does not easily occur with the components such as the vacuum chamber 4 and noise is suppressed, thereby reducing noise. It is.
[0048]
Since the continuous vacuum processing apparatus of the present invention can obtain high production capacity and high quality, the processing means for vacuum processing shown in FIG. 1 and FIG. 10 is suitable for processing such as formation of a thin film by installing a CVD, vapor deposition, or sputtering apparatus. Further, the number of the workpieces 1 is not limited to one, and a plurality of the workpieces can be used as a continuous vacuum laminating apparatus for heating, compressing and bonding in a vacuum chamber.
[0049]
【The invention's effect】
According to the continuous vacuum processing apparatus of the present invention, at a position where an object to be processed in the vacuum chamber passes, the seal member and the pair of seal rolls facing each other come into contact with each other at a constant pressure, so that air inside and outside the vacuum chamber can be removed. The entrance and exit can be sealed, the atmosphere outside the vacuum chamber can be minimized from flowing into the vacuum chamber, and a very excellent sealing effect can be obtained. The object to be processed can be introduced into the vacuum from the air atmosphere while preventing the inflow of the air.
[0050]
Further, by vibrating the seal member, the coefficient of friction between the seal member and the seal roll is reduced, so that the object to be processed can be smoothly moved while maintaining good sealing performance, and the vacuum The processing object introduced into the chamber can be prevented from fluttering or being damaged by the inflow of the atmosphere outside the vacuum chamber, and the processing object can be stably introduced into the vacuum chamber. The effect of improving the processing quality and the need for a large-capacity vacuum pump are eliminated, and the initial cost, running cost, and space in the vacuum processing operation can be reduced.
[0051]
Further, in a conventional vacuum processing apparatus, a workpiece in the form of a take-up roll is put into a vacuum chamber in a roll state, and is vacuum-processed while being unwound into a web sheet shape in the vacuum chamber. When the processing object is replaced after completion, it is necessary to return the inside of the vacuum chamber of the vacuum processing apparatus from the vacuum state to the atmospheric pressure. There is no evacuation time for changing the pressure from the atmospheric pressure to the vacuum pressure, and no leak time for returning the pressure from the vacuum to the atmospheric pressure, the production time is shortened, and the effect of improving the production efficiency is obtained. In addition, since the object to be processed can be replaced without opening the vacuum chamber, there is no contamination in the chamber due to returning the inside of the vacuum chamber to atmospheric pressure, and there is also an effect on quality. Furthermore, since the inside of the vacuum chamber can be kept in a vacuum, there is no variation in production conditions, uniform quality can be obtained, and there is an effect of improving quality and improving production capacity.
[0052]
Vacuum processing in a vacuum chamber by the continuous vacuum processing apparatus of the present invention does not particularly limit the type of the processing, and can be performed by installing known processing means according to the purpose.
[0053]
The continuous vacuum processing apparatus of the present invention can provide high production capacity and high quality. Therefore, a CVD, vapor deposition, and sputtering apparatus are particularly installed on an object to be processed, such as a resin film, paper, and cloth, to generate a thin film. In addition, the number of objects to be processed is not limited to one, and a plurality of objects can be heated, compressed, and bonded in a vacuum chamber of the present apparatus, and can be used as a continuous vacuum laminating apparatus or the like.
[0054]
As described above, the continuous vacuum processing apparatus of the present invention carries the object to be processed from the atmospheric pressure atmosphere into the vacuum atmosphere in the vacuum chamber, performs the vacuum processing on the object in the vacuum atmosphere, and then performs the vacuum processing. Can be returned to the atmospheric pressure atmosphere, the inflow of air into the vacuum chamber can be blocked and sealed by a pair of seal rolls and seal members, and the vacuum degree of the vacuum chamber is maintained at a high level. However, it exerts an excellent effect of performing vacuum processing on an object to be processed.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic side view illustrating an embodiment of a continuous vacuum processing apparatus according to the present invention.
FIG. 2 is a schematic side view illustrating another embodiment of the continuous vacuum processing apparatus of the present invention.
FIG. 3 is a schematic side view illustrating another embodiment of the continuous vacuum processing apparatus of the present invention.
FIG. 4 is a partially enlarged perspective view showing a seal portion for vacuum processing in the continuous vacuum processing apparatus of the present invention.
FIG. 5 is a partial plan view showing a seal portion for vacuum processing in one embodiment of the continuous vacuum processing apparatus of the present invention.
FIG. 6 is a partial side view showing a seal portion for vacuum processing in one embodiment of the continuous vacuum processing apparatus of the present invention.
FIG. 7 is a front view showing a seal member for vacuum processing in one embodiment of the continuous vacuum processing apparatus of the present invention.
FIG. 8 is a front view showing a pair of seal rolls facing each other in vacuum processing in one embodiment of the continuous vacuum processing apparatus of the present invention.
FIG. 9 is a partial plan view showing a seal portion for vacuum processing in another embodiment of the continuous vacuum processing apparatus of the present invention.
FIG. 10 is a partial side view showing a seal portion for vacuum processing in another embodiment of the continuous vacuum processing apparatus of the present invention.
FIG. 11 is a front view showing a seal member for vacuum processing in another embodiment of the continuous vacuum processing apparatus of the present invention.
FIG. 12 is a front view showing a pair of opposed seal rolls in vacuum processing in another embodiment of the continuous vacuum processing apparatus of the present invention.
FIG. 13 is a partial plan view showing a seal portion for vacuum processing in which vibration generating means is attached to a seal member in one embodiment of the continuous vacuum processing apparatus of the present invention.
FIG. 14 is a partial plan view showing a seal portion for vacuum processing in which a vibration generating means is attached to a seal member in another embodiment of the continuous vacuum processing apparatus of the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Workpiece 2 ... Laminate roll 3 ... Seal member 3-1 ... Slit
3-2: Sealing surface 4: Vacuum chamber 5: Seal part 6: Seal roll
6-1: Seal roll 6-2: Seal roll 7: Spring 8: Spring
9… O-ring
10 Processing means for vacuum processing 11 Guide 12 Guide
13 Actuator 14 Actuator 15 Vibration generating means
16 O-ring