JP2004199970A - Ｅｌ表示装置の補修方法及びｅｌ表示装置の補修装置 - Google Patents

Abstract

【課題】正確にショート箇所を捉えることができるＥＬ表示装置の補修方法及びＥＬ表示装置の補修装置を提供し、ミスショットを防止して補修作業の信頼性向上、補修作業の効率化を図る。
【解決手段】ＥＬ表示装置１５の補修方法において、被補修対象のＥＬ表示装置１５を全面点灯させる。全面点灯させたＥＬ表示装置１５の滅点画素を光学顕微鏡７の低倍率視野内で捉えて位置を求める。求められた位置に基づき滅点画素を赤外線温度画像検出顕微鏡５の高倍率視野内で捉えて発熱箇所の位置を求める。求められた発熱箇所の位置に基づき発熱箇所を光学顕微鏡７の光軸に一致させて高倍率視野内に捉えるとともに、光学顕微鏡７と同一の光軸でレーザを照射して発熱箇所であるショート箇所を分断する。
【選択図】 図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＥＬ表示装置のショートによる滅点画素を正確かつ効率的に補修するＥＬ表示装置の補修方法及びＥＬ表示装置の補修装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ＣＲＴに比べ薄型化が可能であり、液晶表示装置に比べ広い視野角が得られ、プラズマ表示装置に比べ真空封止の必要が不要なことから軽量、低コスト化が容易なＥＬ表示装置（有機ＥＬディスプレイ）の開発が盛んとなっている。有機ＥＬディスプレイは、一般的に、表示面側のガラス基板上に、透明電極、第１絶縁層、発光層、第２絶縁層、背面電極とを順次積層した構造を有している。
発光層を挟む透明電極と背面電極とは、ＸＹマトリクス電極を構成するよう配設され、互いに直交する。このＸＹマトリクス電極の交点が１画素を構成することとなる。また、アクティブマトリクス方式のものでは、画素ごとにアクティブ素子（ＴＦＴ等）を付設している。カラー表示を行う有機ＥＬディスプレイの場合には、単一色の発光層を有するＥＬ素子に対し、複数色に分光可能なカラーフィルタを対向配置させる。この場合の１画素は、ＲＧＢの分光部に対応した３つのサブピクセルの集合から構成されることとなる。
ＴＦＴを付設した有機ＥＬディスプレイのアクティブマトリクス動作は、例えばＸ電極に順次操作パルス電圧を印加し、これに接続されているＴＦＴを一斉にオン状態とする。同時に、Ｙ電極に信号電圧を印加し、ＴＦＴを通して各画素の静電容量に電荷を蓄積する。１ラインの走査が終了すると、ＴＦＴはオフ状態となり、画素容量に蓄積された電荷はそのまま保持されることになる。これにより、幅広い範囲で印加電圧を任意に設定でき、早い応答速度と高いコントラストを得ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、有機ＥＬディスプレイは、画素を構成するＥＬ素子がショートした場合、その部分のＥＬ素子が発光しない所謂滅点欠陥を発生させる。このような滅点欠陥は、ショート箇所をレーザで焼き切ることにより絶縁化し、正常点灯させることが可能となる。ショートが発生している画素は、通電しても発光しないので画素の特定は容易となる。
しかしながら、画素中のどこにショート箇所が存在するのかは発見し難い場合がある。すなわち、ショート箇所は、局所発熱するため、透明電極膜、絶縁膜等の破壊が起き、これらの欠陥形状として光学的に（目視により）検出される場合もあるが、その一方で、破壊が微細である場合には形状変化として捉え難いこともある。このため、目視による形状判断では、正確にショート箇所を捉えることができない。このような状況下、ショートしていると推測される箇所を、誤ってレーザリペア（焼断補修）してしまうことがあり、レーザを照射した箇所が実際にはショートしていない場合には、絶縁化が起こり、発光しなくなる場合もあった。このようなことから、正確にショート箇所を捉えることができる補修方法の要請があった。
本発明は上記状況に鑑みてなされたもので、正確にショート箇所を捉えることができるＥＬ表示装置の補修方法及びＥＬ表示装置の補修装置を提供し、ミスショットを防止して補修作業の信頼性向上、補修作業の効率化を図ることを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための本発明に係る請求項１記載のＥＬ表示装置の補修方法は、被補修対象のＥＬ表示装置を全面点灯させる工程と、前記全面点灯させたＥＬ表示装置の滅点画素を光学顕微鏡の低倍率視野内で捉えて該滅点画素の位置を求める工程と、該求められた位置に基づき該滅点画素を赤外線温度画像検出顕微鏡の高倍率視野内で捉えて発熱箇所の位置を求める工程と、該求められた発熱箇所の位置に基づき該発熱箇所を前記光学顕微鏡の光軸に一致させて高倍率視野内に捉えるとともに該光学顕微鏡と同一の光軸でレーザを照射して前記発熱箇所であるショート箇所を分断する工程とを含むことを特徴とする。
【０００５】
このＥＬ表示装置の補修方法では、ＥＬ表示装置が全面点灯され、光学顕微鏡で滅点画素が捉えられて位置が求められた後、この滅点画素が高倍率の赤外線温度画像検出顕微鏡で捉えられて発熱箇所の位置が求められる。次いで、この発熱箇所が高倍率の光学顕微鏡の光軸に一致され、同一の光軸でレーザが照射されて、ショート箇所が分断される。つまり、最初から赤外線温度画像検出顕微鏡を用いたのでは検出が難しい滅点画素は光学顕微鏡によって、また、光学顕微鏡によっては判定が困難なショート箇所は赤外線温度画像検出顕微鏡によって特定でき、それぞれの顕微鏡の長所を発揮させてショート箇所が検出可能となる。したがって、形状欠陥からショート箇所を推定する曖昧な目視判断に依存せずに、正確にショート箇所が捉えられるようになる。これにより、レーザを誤照射するミスショットが防止されて、補修作業の信頼性向上、効率化が図られる。
【０００６】
請求項２記載のＥＬ表示装置の補修装置は、被補修対象のＥＬ表示装置を点灯させる発光信号発生器と、前記ＥＬ表示装置の１画素を測定可能な赤外線温度画像検出顕微鏡と、低倍率視野内で前記ＥＬ表示装置の一部分が捉えられるとともに高倍率視野内で前記１画素が捉えられる光学顕微鏡と、前記ＥＬ表示装置と前記赤外線温度画像検出顕微鏡及び前記光学顕微鏡とを相対移動させＥＬ表示装置上の同一位置に対して前記赤外線温度画像検出顕微鏡と前記光学顕微鏡とのそれぞれを位置合わせ可能な移動機構と、前記光学顕微鏡と同一の光軸で前記ＥＬ表示装置に向けてレーザを出射するレーザ出射装置とを具備したことを特徴とする。
【０００７】
このＥＬ表示装置の補修装置では、最初に滅点画素が光学顕微鏡によって捉えられ、その位置に赤外線温度画像検出顕微鏡が移動され、高倍率の赤外線温度画像によって１画素中の発熱箇所が特定される。そして、この発熱箇所に光学顕微鏡の光軸を介して位置合わせしたレーザ出射装置からレーザが出射される。これにより、ショート箇所であることの確率が極めて高い箇所のみにレーザが的確に照射され、目視による形状欠陥からショート箇所を特定する場合に比べ、レーザの誤照射が大幅に低減されることになり、正確な補修が可能となる。
【０００８】
請求項３記載のＥＬ表示装置の補修装置は、請求項２記載のＥＬ表示装置の補修装置において、前記赤外線温度画像検出顕微鏡が、波長３〜５μｍ帯域の赤外線を検出することを特徴とする。
【０００９】
このＥＬ表示装置の補修装置では、赤外線温度画像検出顕微鏡に、ガラスに対して反射や吸収が小さく、かつ透過性の高い３〜５μｍ帯域の赤外線が用いられる。市販される赤外線温度画像検出装置には８〜１３μｍ帯域の赤外線が用いられるものもあるが、ガラスは一般的にこの帯域で反射率が上昇して遮蔽性が高まる。このため、８〜１３μｍ帯域を用いた場合には、ガラスより下層のショート箇所を検出せずに、ガラス表面温度の分布を検出してしまい、誤検出が発生し易くなる。これに対し、ガラス透過性の高い帯域である３〜５μｍ波長の赤外線が用いられれば、ガラス表示面を有する一般的なＥＬ表示装置において、このガラス基板を透過して、下層のショート箇所の検出精度が高められることになる。
【００１０】
請求項４記載のＥＬ表示装置の補修装置は、請求項２又は３記載のＥＬ表示装置の補修装置において、前記赤外線温度画像検出顕微鏡と前記光学顕微鏡とが一定の相対位置で同一のフレームに固定され、該フレームが前記移動機構によって前記ＥＬ表示装置に対して相対的に移動されることを特徴とする。
【００１１】
このＥＬ表示装置の補修装置では、赤外線温度画像検出顕微鏡と光学顕微鏡とが同一のフレームに固定され、このフレームがＥＬ表示装置に対して相対移動される。したがって、赤外線温度画像検出顕微鏡と光学顕微鏡との相対位置が例えばＸＹ座標上の位置データとして予め分るので、その差分が移動機構の移動制御データとして用いられることで、赤外線温度画像検出顕微鏡と光学顕微鏡との双方（光軸）が高い精度で同一位置に位置合わせ可能となる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るＥＬ表示装置の補修方法及びＥＬ表示装置の補修装置の好適な実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
図１は本発明に係る補修装置の概略の構成を表すブロック図、図２はＥＬ表示装置を発光させる構成を表すブロック図、図３はＥＬ表示装置に対する赤外線温度画像検出顕微鏡及び光学顕微鏡の位置関係を表す平面図、図４は本発明に係る補修方法の手順を表す流れ図である。
【００１３】
本実施の形態によるＥＬ表示装置の補修方法を実施するための補修装置１は、発光信号発生器３と、赤外線温度画像検出顕微鏡５と、光学顕微鏡７と、移動機構９と、レーザ出射装置１１とを基本構成部材として有している。
【００１４】
発光信号発生器３は、ドライブ回路１３を介して検査対象であるＥＬ表示装置１５に対し、点灯制御信号１７を送出する。この点灯制御信号１７は、発光信号発生器３に送られる点灯制御コンピュータ１９からの発生制御信号２１により種々に可変可能となっている。すなわち、発光信号発生器３は、点灯制御コンピュータ１９から送られるそれぞれの異なる発生制御信号２１によって、ＥＬ表示装置１５を全面点灯させたり、赤外線温度画像検出顕微鏡５で観測できる領域のみを点灯させたり、１画素ずつ点灯させたり、或いは最小点灯画素である上記のＲＧＢサブピクセルごとに点灯させたりすることができるようになっている。
【００１５】
ＥＬ表示装置１５には電流計２３が取り付けられ、上記したそれぞれの点灯モードごとの検出値２４が検出され、その検出値２４は点灯制御コンピュータ１９へと入力可能となっている。また、この電流検出値２４は、後述する計測制御コンピュータへ送出可能となっている。
【００１６】
赤外線温度画像検出顕微鏡（ＩＲ顕微鏡）５としては、アビオニクス社製 ＴＶＳ−８５００等を用いることができる。ＩＲ顕微鏡５は、ＩＲ画像モニタ２５とにより、赤外線温度画像検出装置（赤外線サーモグラフィ）２７を構成している。赤外線温度画像検出装置２７は、ＩＲ顕微鏡５からの撮像データから温度分布画像をＩＲ画像モニタ２５に表示するようになっている。ＩＲ顕微鏡５は、２次元温度測定に一般的に使われる赤外線温度画像検出カメラに、顕微鏡レンズを取り付けることで、解像度を１０μｍまでの観測が行えるようになっている。これにより、最小点灯画素であるＲＧＢサブピクセルの観測を可能としている。
【００１７】
本実施の形態におけるＩＲ顕微鏡５は、波長３〜５μｍ帯域の赤外線を検出するようになっている。すなわち、ＩＲ顕微鏡５には、ガラスに対して反射や吸収が小さく、かつ透過性の高い３〜５μｍ帯域の赤外線が用いられている。市販される赤外線温度画像検出装置には８〜１３μｍ帯域の赤外線が用いられるものもあるが、ガラスは一般的にこの帯域で反射率が上昇して遮蔽性が高まる。このため、８〜１３μｍ帯域を用いた場合には、ガラスより下層のショート箇所を検出せずに、ガラス表面温度の分布を検出してしまい、誤検出が発生し易くなる。これに対し、ガラス透過性の高い帯域である３〜５μｍ波長の赤外線が用いられるＩＲ顕微鏡５によれば、ガラス表示面を有する一般的なＥＬ表示装置１５において、このガラス基板を透過して、下層のショート箇所の検出精度が高められる。
【００１８】
また、３〜５μｍ波長の赤外線が用いられるＩＲ顕微鏡５は、解像度においても、８〜１３μｍ帯域の赤外線が用いられる赤外線温度画像検出装に比べ、原理的に２倍程度の高解像度化が可能となる。
【００１９】
光学顕微鏡７は、ＣＣＤカメラ２９を付設してなり、ＣＣＤカメラ２９からの観測画像を撮像データとして計測制御コンピュータ３１へ送出できるようになっている。計測制御コンピュータ３１にはモニタ３３が接続され、ＣＣＤカメラ２９から送られた撮像データは観測画像としてこのモニタ３３に表示されるようになっている。
【００２０】
光学顕微鏡７は、少なくとも低倍率と、高倍率の対物レンズ７ａ、７ｂとを備えている。光学顕微鏡７は、計測制御コンピュータ３１からの倍率切り替え信号によって、低倍率対物レンズ７ａと、高倍率対物レンズ７ｂとの切り替えが自動で行えるようになっている。ここで、高倍率対物レンズ７ｂの倍率は、ＩＲ顕微鏡５の倍率と略同等であり、ＲＧＢサブピクセルの観測が可能となっている。また、低倍率対物レンズ７ａは、ＥＬ表示装置１５の表示画面を、数分割〜数十分割した個々の分割領域を視野内に捉えることができる倍率となっている。
【００２１】
ＩＲ顕微鏡５と光学顕微鏡７とは、一定の相対位置で同一のフレーム３５（図３参照）に固定されている。このフレーム３５は、移動機構９によってＥＬ表示装置１５に対して相対的に移動可能となっている。本実施の形態では、移動機構９が、固定状態となるフレーム３５と、ＸＹステージ３７と、ＸＹステージ３７を駆動するステージ駆動装置３９とから構成される。
【００２２】
ステージ駆動装置３９は、計測制御コンピュータ３１と、双方向の信号送受信が可能となっている。ＸＹステージ３７は、ステージ駆動装置３９からの駆動信号を受けることにより、図示しないＹ方向用、Ｙ方向用のアクチュエータを駆動させ、ＥＬ表示装置１５の表示面上における任意の位置を、ＩＲ顕微鏡５、光学顕微鏡７の光軸に位置合わせ可能にしている。
【００２３】
したがって、ＩＲ顕微鏡５と光学顕微鏡７との相対位置が例えばＸＹ座標上の位置データとして予め分るので、その差分が移動機構９の移動制御データとして用いられることで、ＩＲ顕微鏡５と光学顕微鏡７との双方（光軸）が高い精度で同一位置に位置合わせ可能となっている。
【００２４】
ＩＲ顕微鏡５と光学顕微鏡７との光軸間隔は、発熱性の微小サンプルに対し、それぞれＩＲ顕微鏡５と光学顕微鏡７とを移動させて観測することにより、正確に設定することができる。
【００２５】
また、本実施の形態では、ＥＬ表示装置１５を取り付けるＸＹステージ３７が可動する場合を例に説明するが、移動機構９は、これとは逆に、ＸＹステージ３７が固定され、フレーム３５がＸＹ方向に移動自在なＸＹロボット等に搭載されるものであってもよい。
【００２６】
なお、ＸＹステージ３７には、ＸＹ方向にリニアスケールが設置されることが好ましく、これにより移動量の積算誤差を少なくすることが可能となり、光軸位置を正確に記録することができるようになる。
【００２７】
レーザ出射装置１１は、光学顕微鏡７に付設され、図示しないプリズム等を介して光学顕微鏡７と同一の光軸でＥＬ表示装置１５に向けてレーザを出射可能としている。レーザ出射装置１１は、一般にパルスレーザが好ましく、ＱスイッチＹＡＧの基本波や第２、３、４高周波等を用いるものとすることができる。
【００２８】
次に、このように構成されるＥＬ表示装置の補修装置１を用いたＥＬ表示装置の補修方法を図４を参照して説明する。
先ず、ＸＹステージ３７上にはＥＬ表示装置１５を固定し、ＥＬ表示装置１５上の基準点を、光学顕微鏡７のレーザ照射位置と一致させ、ＥＬ表示装置１５の原点位置、座標軸を設定する（ｓｔ１）。この際のＸＹステージ３７の駆動操作及び原点位置データの設定は、計測制御コンピュータ３１によって行う。
【００２９】
次いで、計測制御コンピュータ３１を介して点灯制御コンピュータ１９へ信号を送ることで、ＥＬ表示装置１５を全面点灯させ（ｓｔ３）、光学顕微鏡７の低倍率対物レンズ７ａにて、表示面を走査し、モニタ３３に表示された画像から点灯していない画素（滅点画素）を捜索する（ｓｔ５）。
【００３０】
複数分割された視野内に滅点画素を捉えるのは、例えば計測制御コンピュータ３１から順次捜索するようにステージ駆動装置３９に駆動信号を送出することにより、自動で行うことができる。また、計測制御コンピュータ３１は、滅点画素を画像処理により特性することができ、特定した滅点画素の位置データを記憶する（ｓｔ７）。
【００３１】
この位置を求める方法としては、視野内に現れた滅点画素を、視野内のリニアスケールから読み取って位置を求めることができる。また、滅点画素を視野内のレーザ照射位置（すなわち、光学顕微鏡７の光軸）に一致するように、ＸＹステージ３７を移動させ、この移動データから滅点画素の位置を求めてもよい。前者の場合は、視野内に捉えた複数の滅点画素を、ＸＹステージ３７を移動させることなく迅速に位置を求めることができる。後者の場合は、滅点画素ごとにＸＹステージ３７の移動が必要となるが、位置検出精度を高めることができる。
【００３２】
このようにして滅点画素の位置を求めたなら、次に、この位置データに基づき、計測制御コンピュータ３１からステージ駆動装置３９に、移動制御信号を送出し、この滅点画素にＩＲ顕微鏡５を一致させる（ｓｔ９）。ＩＲ顕微鏡５は、１画素を高倍率視野内で捉え、滅点画素内の発熱箇所を観測する。観測により特定された発熱箇所をショート箇所として求め（ｓｔ１１）、その位置データを計測制御コンピュータ３１に記憶する（ｓｔ１３）。
【００３３】
この際、好ましくはＥＬ表示装置１５の点灯を一旦消し、温度分布が均一となったところで再点灯し、その瞬間の温度分布を捉えることが望ましい。これにより、ショートによる発熱の熱伝導を抑えて、正確なショート源の検出が可能となる。その結果、サブピクセル内でのショート箇所が１０μｍ程度の精度で特定可能となる。
【００３４】
次いで、求められた発熱箇所の位置データに基づき、発熱箇所を高倍率対物レンズ７ｂを使用した光学顕微鏡７の光軸に一致させ（ｓｔ１５）、高倍率視野内に捉える。そして、レーザ出射装置１１からレーザを出射させることにより（ｓｔ１７）、光学顕微鏡７の光軸に一致した発熱箇所にレーザが照射され、ショート箇所が分断されて（ｓｔ１９）、絶縁化されることになる。滅点原因がこのショート箇所である場合には、ショート箇所の分断と同時に、その画素が点灯する（ｓｔ２１）。点灯がモニタ３３で確認されることにより、当該滅点画素の補修が完了する（ｓｔ２３）。
【００３５】
なお、ショート箇所を分断したにもかかわらず、滅点画素が点灯しないときには、その他の故障（例えばＴＦＴ回路の不良）が考えられるので、当該滅点画素のそれ以上の補修は行わず、他の滅点画素へ上述と同様の補修作業を繰り返して行い（ｓｔ２５）、全ての滅点画素の補修を終了して、ＥＬ表示装置１５の補修を完了する。
【００３６】
このように、上記のＥＬ表示装置１５の補修方法によれば、このＥＬ表示装置１５が全面点灯され、光学顕微鏡７で滅点画素が捉えられて位置が求められた後、この滅点画素が高倍率のＩＲ顕微鏡５で捉えられて発熱箇所の位置が求められる。次いで、この発熱箇所が高倍率の光学顕微鏡７の光軸に一致され、同一の光軸でレーザが照射されて、ショート箇所が分断される。つまり、最初からＩＲ顕微鏡５を用いたのでは検出が難しい滅点画素は光学顕微鏡７によって、また、光学顕微鏡７によっては判定が困難なショート箇所はＩＲ顕微鏡５によって特定でき、それぞれの顕微鏡の長所を発揮させてショート箇所が検出可能となる。したがって、形状欠陥からショート箇所を推定する曖昧な目視判断に依存せずに、正確にショート箇所が捉えられるようになる。これにより、レーザを誤照射するミスショットが防止されて、補修作業の効率化が図られる。
【００３７】
また、ＥＬ表示装置１５の補修装置１によれば、最初に滅点画素が光学顕微鏡７によって捉えられ、その位置にＩＲ顕微鏡５が移動され、高倍率の赤外線温度画像によって１画素中の発熱箇所が特定される。そして、この発熱箇所に光学顕微鏡７の光軸を介して位置合わせしたレーザ出射装置１１からレーザが出射される。これにより、ショート箇所であることの確率が極めて高い箇所のみにレーザが的確に照射される。したがって、目視による形状欠陥からショート箇所を特定する場合に比べ、レーザの誤照射が大幅に低減されることになり、正確な補修が可能となる。
【００３８】
なお、本発明に係るＥＬ表示装置の補修方法は、ＥＬ表示装置１５の固定から、全ての滅点画素の補修完了までを、全自動で、或いは任意の動作を手動で行うこととしてもよい。
【００３９】
また、上記した実施の形態では、ＥＬ表示装置１５を最初に全面点灯させて滅点画素を検出する例を説明したが、この他、ＥＬ表示装置１５を１画素ずつスキャンすることにより、その際の電流値を電流計２３によって検出することで、電流の流れないＴＦＴ欠陥画素のマッピングを作成し、滅点画素を検出した際に、このＴＦＴ欠陥画素でないもののみを抽出してレーザ出射を行うものであってもよい。このような手順とすることで、レーザ出射によっては補修が不可能なＴＦＴ欠陥画素に対してレーザ照射を行わなくすることができ、誤照射を防止して、いっそう補修作業の信頼性を向上させ、かつ補修作業効率を向上させることが可能となる。
【００４０】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明に係るＥＬ表示装置の補修方法によれば、ＥＬ表示装置を全面点灯させ、光学顕微鏡で滅点画素を捉えて位置を求めた後、この滅点画素を高倍率の赤外線温度画像検出顕微鏡で捉えて発熱箇所の位置を求め、この発熱箇所を高倍率の光学顕微鏡の光軸に一致させて、同一の光軸でレーザを照射してショート箇所を分断するので、形状欠陥からショート箇所を推定する曖昧な目視判断に依存することなく、正確にショート箇所を捉えることができる。この結果、ミスショットを防止して補修作業の効率化を図ることができる。
【００４１】
本発明によるＥＬ表示装置の補修装置によれば、ＥＬ表示装置の表示面を１画素単位で測定可能とする赤外線温度画像検出顕微鏡及び光学顕微鏡と、表示面上の同一位置に対して赤外線温度画像検出顕微鏡と光学顕微鏡とを位置合わせ可能とする移動機構と、光学顕微鏡と同一の光軸でＥＬ表示装置に向けてレーザを出射するレーザ出射装置とを備えたので、最初に滅点画素を光学顕微鏡によって捉え、その位置に赤外線温度画像検出顕微鏡を移動し、高倍率の赤外線温度画像によって１画素中の発熱箇所を特定し、この発熱箇所に光学顕微鏡の光軸を介して位置合わせしたレーザ出射装置からレーザを出射させることができる。この結果、ショート箇所であることの確率が極めて高い箇所のみにレーザを的確に照射することができ、レーザの誤照射をなくして、正確な補修を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る補修装置の概略の構成を表すブロック図である。
【図２】ＥＬ表示装置を発光させる構成を表すブロック図である。
【図３】ＥＬ表示装置に対する赤外線温度画像検出顕微鏡及び光学顕微鏡の位置関係を表す平面図である。
【図４】本発明に係る補修方法の手順を表す流れ図である。
【符号の説明】
１…ＥＬ表示装置の補修装置、３…発光信号発生器、５…ＩＲ顕微鏡（赤外線温度画像検出顕微鏡）、７…光学顕微鏡、９…移動機構、１１…レーザ出射装置、１５…ＥＬ表示装置、３５…フレーム

Claims (4)

1. 被補修対象のＥＬ表示装置を全面点灯させる工程と、
   前記全面点灯させたＥＬ表示装置の滅点画素を光学顕微鏡の低倍率視野内で捉えて該滅点画素の位置を求める工程と、
   該求められた位置に基づき該滅点画素を赤外線温度画像検出顕微鏡の高倍率視野内で捉えて発熱箇所の位置を求める工程と、
   該求められた発熱箇所の位置に基づき該発熱箇所を前記光学顕微鏡の光軸に一致させて高倍率視野内に捉えるとともに該光学顕微鏡と同一の光軸でレーザを照射して前記発熱箇所であるショート箇所を分断する工程と
   を含むことを特徴とするＥＬ表示装置の補修方法。
2. 被補修対象のＥＬ表示装置を点灯させる発光信号発生器と、
   前記ＥＬ表示装置の１画素を測定可能な赤外線温度画像検出顕微鏡と、
   低倍率視野内で前記ＥＬ表示装置の一部分が捉えられるとともに高倍率視野内で前記１画素が捉えられる光学顕微鏡と、
   前記ＥＬ表示装置と前記赤外線温度画像検出顕微鏡及び前記光学顕微鏡とを相対移動させＥＬ表示装置上の同一位置に対して前記赤外線温度画像検出顕微鏡と前記光学顕微鏡とのそれぞれを位置合わせ可能な移動機構と、
   前記光学顕微鏡と同一の光軸で前記ＥＬ表示装置に向けてレーザを出射するレーザ出射装置と
   を具備したことを特徴とするＥＬ表示装置の補修装置。
3. 請求項２記載のＥＬ表示装置の補修装置において、
   前記赤外線温度画像検出顕微鏡が、波長３〜５μｍ帯域の赤外線を検出することを特徴とするＥＬ表示装置の補修装置。
4. 請求項２又は３記載のＥＬ表示装置の補修装置において、
   前記赤外線温度画像検出顕微鏡と前記光学顕微鏡とが一定の相対位置で同一のフレームに固定され、該フレームが前記移動機構によって前記ＥＬ表示装置に対して相対的に移動されることを特徴とするＥＬ表示装置の補修装置。

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