JP2004152960A

JP2004152960A - ドライエッチング装置及びエッチング方法

Info

Publication number: JP2004152960A
Application number: JP2002315851A
Authority: JP
Inventors: Norihito Fukugami; 典仁福上
Original assignee: Toppan Printing Co Ltd
Current assignee: Toppan Inc
Priority date: 2002-10-30
Filing date: 2002-10-30
Publication date: 2004-05-27

Abstract

【課題】低コスト且つ比較的容易に、所望の方向と角度で斜めエッチングを可能にするドライエッチング装置とそれを用いたエッチング方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ドライエッチング装置１００は、チャンバー１０と、加工基材コントロールユニット２０と、高周波発振器４１、整合器４２及びブロッキングコンデンサ４３を備えたプラズマ発生手段４０と、高周波発振器５１、整合器５２及びプラズマ発生用コイル（アノード電極）５３を備えたプラズマ発生手段５０と、ガス供給口１１と、排気口１２と、真空排気機構６０とを備えており、プラズマ処理中に被エッチング基材を傾斜、回転できる被エッチング基材ントロールユニット２０を備えているのが特徴である。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体プロセス等の微細加工分野で使用されるドライエッチング装置及びそれを用いて傾斜したトレンチを形成するドライエッチング方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体集積回路の高密度化にはトランジスタや配線などの寸法幅の微細化や、接続孔の形成方法が大きな役割を担っている。これらの加工寸法は１００ｎｍ以下のパターンが実用化されつつあるが、こうした微細パターンの実現にはフォトリソグラフィ技術とドライエッチング技術の発展に負うところが大きい。
【０００３】
ドライエッチング法は、適当なガスに１３．５６ＭＨｚの高周波（ＲＦ）電源を印加することによって生成される反応性プラズマやラジカル中に、被エッチング材を置くとエッチングされるという現象を利用するもので、微細パターンを形成するためには通常フォトレジストパターンをマスク材として用いる。
最近では、自己バイアス電圧（Ｖ_ｄｃ）を利用して、反応性イオンをプラズマから引き出し、異方性ドライエッチングを行なうＲＩＥ（ＲｅａｃｔｉｖｅＩｏｎＥｔｃｈｉｎｇ）が主流になっている。ＲＦ電源の周波数として１３．５６ＭＨｚが用いられているのは、電波法により割り当てられている周波数であるため、多少の電波が漏れても問題は無く、シールド装置が簡単に済むためである。
【０００４】
従来のドライエッチング装置について説明する。図６は、従来のドライエッチング装置（平行平板型ＲＩＥ）を示した構成概略図である。
まず、チャンバー１０を所定の真空度まで排気した後ガス供給口１３から反応性ガスを供給する。また、排気口１４を通して反応性ガスが排気されるので、チャンバー１０内は適当な圧力（約０．１〜数１００ｍＴｏｒｒ）に制御される。チャンバー１０の上部と下部には、それぞれアノード（陽極）５７及びカソード（陰極）２５があり、カソード（陰極）２５上には、レジストパターンが形成された被エッチング基材３１が載置されている。カソード（陰極）２５には、インピーダンス整合器（Ｍ．Ｂ）４５、ブロッキングコンデンサ４６を介して、ＲＦ（高周波）電源（高周波発振器）４４が接続され、チャンバー１０内のガス中にＲＦ（高周波）電力が供給される。
【０００５】
チャンバー１０内の反応性ガスにＲＦ電力が印可されるとアノード５７とカソード（陰極）２５間にグロー放電が生じ、電子とイオンが生成されてプラズマが発生する。その際、グロー放電が接する電極面積はカソード（陰極）２５上に被エッチング基材３１が載置されているため、アノード５７の方が大きくなり、同時にプラズマ中の電子とイオンは、電子の移動度がイオンの移動度より圧倒的に大きいため、カソード（陰極）２５に電子が流れ込み、ブロッキングコンデンサ４４が負に帯電することにより、カソード（陰極）２５は負にバイアスされる。このバイアスを自己バイアス電圧Ｖ_ｄｃという。
【０００６】
上記プラズマは、電位が一定であるバルク領域と自己バイアスによって電極付近で急激に電位が変化するシース領域に分けられ、イオンは主にバルク領域で生成される。バルク領域で生成されたイオンは、バルクとシースの境界からシース領域に入射し、シース領域の自己バイアスによる負電圧により加速されて被エッチング基材を衝撃してエッチング反応を生じ、方向性の強い、いわゆる異方性エッチングが得られる。
【０００７】
しかしながら、上記の方式ではプラズマ発生用のＲＦ電源４４とシース領域のバイアス用のＲＦ電源が同じものであるため、バイアスを調整してイオンの衝撃エネルギーを調整しようとすると、プラズマ密度等のプラズマ状態も変化してしまうため、必要とするプラズマ状態が得られないことがある。この問題を克服するドライエッチング装置（ＲＩＥ）として、図７に示すドライエッチング装置（ＲＩＥ）が開発されている。
この方式の特徴は、カソード２５側だけでなくアノード５７側にも、ブロッキングコンデンサ５６とインピーダンス整合器（Ｍ．Ｂ）５５を介してＲＦ電源５４が接続されており、プラズマ状態とイオン衝撃エネルギーを独立して制御できる。この方式が最近では一般的である。
【０００８】
ここまで、アノードとカソードの電極板が平行して配置される平行平板型ＲＩＥ方式のドライエッチング装置を例に上げて説明してきたが、これ以外にも誘導結合型（ＩＣＰ）、超高周波型（ＵＨＦ）、ＥＣＲ型、マイクロ波型、ヘリコン波型、表面波型、等の別方式のドライエッチング装置が開発されている。これらの方式の特徴は、一般に平行平板型と比較して、広い圧力範囲（１〜数十Ｐａ）で、高密度なプラズマ（１０^１１〜１０^１３ｃｍ^−３）が得られることである。これらは、プラズマ発生のためのエネルギー投入方式が異なるだけで、プラズマ状態を制御する電源とイオン衝撃エネルギーを制御する電源が独立して存在するという点においては、上述した図７の平行平板型ＲＩＥ方式と同じである。
【０００９】
次に、図７のドライエッチング装置を用いて等方性及び異方性エッチングを行なう方法について説明する。
通常、被エッチング基材３１上には、フォトリソグラフィもしくは電子線リソグラフィによりパターニング処理されてマスク材３４が形成される（図８（ａ）参照）。半導体集積回路のエッチング工程では、被エッチング基材３１としてはシリコン、酸化シリコン、窒化シリコン、炭化シリコン、アルミニウム等があり、マスク材３４としては、フォトレジスト、電子線レジスト、シリコン、酸化シリコン、窒化シリコン、炭化シリコン、アルミニウム等が挙げられる。エッチングガスには、Ｆ（フッ素原子）、Ｃｌ（塩素原子）、Ｂｒ（臭素原子）、Ｉ（ヨウ素原子）等のハロゲン元素をからなるガス、もしくはハロゲン元素を含む化合物が用いられる。また、チャンバー内の真空度は、真空ポンプによって０．１〜数十Ｐａに排気される。
【００１０】
等方性エッチングの場合、カソード側のＲＦ電源４４をＯＦＦにするか、もしくは非常に小さい電力（数Ｗ）にし、アノード側のＲＦ電源５４をＯＮにして、数十〜数千Ｗの電力を投入する。このときエッチングガスは、電離や解離が起こり、電子や電荷を持ったイオン、電荷を持たない中性ラジカルなどが存在する、いわゆるプラズマ状態になる。カソード側のＲＦ電源４４をＯＦＦ（もしくは数Ｗ程度の非常に小さい電力）にしているので、シース領域（バルク領域とカソードの間）のバイアスはほとんどなく、プラズマ中の正イオン７１はほとんど加速されないため、被エッチング基材３１に入射するイオンは様々な角度で入射し、等方性エッチングが起こる（図８（ｂ）参照）。
【００１１】
一方、異方性エッチングの場合は、カソード側のＲＦ電源４４も数十〜数千Ｗの電力を投入するのでシース領域にバイアスが発生し、プラズマ中の正イオン７１が試料方向に垂直に加速され、被エッチング基材３１に垂直に入射するために、異方性エッチングが実現する（図９（ｂ）参照）。
【００１２】
近年、高集積化した半導体においては素子間分離層を形成することがあるが、この場合素子間分離層周辺に生じる寄生サイリスタの導波路を長くしてラッチアップ（ＣＭＯＳ等の半導体デバイスにおいて素子間分離層の電気的分離が不十分のときに生じる不良）を防止する等のために、素子間分離層を斜めに形成することがなされている。
【００１３】
素子間分離層を斜めに形成するためには、まず、傾斜したトレンチを形成し、次いで、そのトレンチをシリコン酸化膜等の絶縁物で充填すれば良いが、傾斜したトレンチを形成する方法として、トレンチ開口部となる部分を挟んで、加熱流動性を示すマスク材を利用する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。図１０（ａ）〜（ｈ）にはこの方法の工程概略を示す。
この方法によれば、まず、Ｓｉ基板からなる被エッチング基材３１上に加熱流動性を示すマスク材としてボロンとリンをドープしたＳｉＯ_２層３４を形成し、その上に、加熱流動性の低いマスク材として、ボロンやリン等の不純物を含まないＳｉＯ_２層３５を形成する。さらに、その上にレジストパターン３６をフォトリソグラフィプロセスにより形成する（図１０（ａ）参照）。
【００１４】
次に、レジストパターン３６をマスクとして、ＲＩＥ型のドライエッチング装置により、加熱流動性を示すＳｉＯ_２層３４及び加熱流動性の低いＳｉＯ_２層３５をエッチングする（図１０（ｂ）参照）。このときのエッチング条件はＣＦ_４／Ｏ_２混合ガス、５０ｍＴｏｒｒ、ＲＩＥパワー：１０００Ｗである。
次に、酸素ガスを用いたプラズマアッシング装置により、レジストパターン３６を除去し、開口部３７を有するＳｉＯ_２パターン層３４ａ、３４ｂ及びＳｉＯ_２パターン層３５ａ、３５ｂを形成する（図１０（ｃ）参照）。
【００１５】
次に、ＳｉＯ_２パターン層３５ａにレジストパターン３８をフォトリソグラフィプロセスにより形成し（図１０（ｄ）参照）、上記と同様のドライエッチング装置により、加熱流動性の低いＳｉＯ_２パターン層３５ｂを除去する（図１０（ｅ）参照）。
次に、上記と同様のプラズマアッシング装置によりレジストパターン３８を除去し、Ｓｉ基板からなる被エッチング基材３１上の開口部３７を挟んで左側にＳｉＯ_２パターン層３４ｂ、右側に２層構成のＳｉＯ_２パターン層３４ａ及びＳｉＯ_２パターン層３５ａが形成される（図１０（ｆ）参照）。
【００１６】
次に、窒素雰囲気中９００℃、３０分の熱処理を行なうことで、加熱流動性を示す左側のＳｉＯ_２パターン層３４ｂの端部が流動し、ＳｉＯ_２パターン層３４ｂの端部が傾斜したテーパ形状を有するＳｉＯ_２パターン層３４ｃが形成される（図１０（ｇ）参照）。
次に、こうして得られたＳｉＯ_２パターン層をマスクとして、ＲＩＥ型のドライエッチング装置によりＳｉ基板３１をエッチングすると、傾斜した溝３９が形成される（図１０（ｈ）参照）。
【００１７】
【特許文献１】
特開平５−２９２８３
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した従来方法では、フォトリソグラフィプロセスを２回行なうため、露光の重ね合わせ精度に問題がある。通常、１回目のパターンに対し正確に２回目の露光を行なうためには、１回目の露光でパターニングしたアライメントマークを基準にして、２回目の露光を行なうが、露光機自体の位置精度、レジストパターンのパターンだれ、Ｓｉ基板の内部応力の変化に伴なう反りの発生等で、重ね露光では少なからず位置ずれが発生する。
また、加熱流動によってＳｉＯ_２パターン層端部を傾斜させるが、その傾斜角の制御は困難である。さらに、この方法では、片方向に斜めエッチングするのは可能であるが、両方向に斜めエッチングをした、いわゆる両側に広がった逆テーパエッチング（エッチング開口の入口部より底部の方が広い逆テーパ形状のもの＝テーパ角が９０°以上）は不可能である。コスト的にも、実際の斜めエッチングを行なうまでに、フォトリソグラフィプロセスが２回、エッチングが２回、アッシングが２回、不純物拡散が１回と多くの工程と多くの半導体製造装置を必要とするためコストが高くなってしまうという問題がある。
【００１９】
本発明は、上記問題点に鑑み考案されたもので、低コスト且つ比較的容易に、所望の方向と角度で斜めエッチングを可能にするエッチング装置とエッチング方法を提供することを目的とする。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
本発明において、上記問題を解決するため、まず請求項１においては、少なくともプラズマ発生手段４０及び５０と、チャンバー１０と、傾斜角及び回転制御機構２１、回転ユニット２２、傾斜角制御機構２３及びステージ２４からなる加工基材コントロールユニット２０と、ガス供給口１１と、排気口１２と、真空排気機構６０とを備えていることを特徴とするドライエッチング装置としたものである。
【００２１】
また、請求項２においては、被エッチング基材に傾斜したトレンチを形成するエッチング方法において、前記被エッチング基材を傾斜及び／または回転して異方性エッチングを行うことを特徴とするエッチング方法としたものである。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態につき説明する。
図１に、本発明のドライエッチング装置１００の構成概略図を、図２（ａ）に、加工基材コントロールユニット２０の構成概略図を示す。
本発明のドライエッチング装置１００は、図１に示すように、チャンバー１０と、加工基材コントロールユニット２０と、高周波発振器４１、整合器４２及びブロッキングコンデンサ４３を備えたプラズマ発生手段４０と、高周波発振器５１、整合器５２及びプラズマ発生用コイル（アノード電極）５３を備えたプラズマ発生手段５０と、ガス供給口１１と、排気口１２と、真空排気機構６０とを備えており、プラズマ処理中に被エッチング基材を傾斜、回転できる被エッチング基材ントロールユニット２０を備えているのが特徴である。プラズマ発生方法としては、平行平板型、容量結合型（ＣＣＰ）、誘導結合型（ＩＣＰ）、超高周波型（ＵＨＦ）、ＥＣＲ型、マイクロ波型、ヘリコン波型、表面波型等の制限はなく、これら全てのプラズマ発生方式が使用可能である。
【００２３】
加工基材コントロールユニット２０は、図８（ａ）に示すように、傾斜角及び回転制御機構２１と、回転ユニット２２と、傾斜角制御機構２３と、ステージ（カソード電極）２４とで構成されており、プラズマ処理中に被エッチング基材の傾斜、回転ができるようになっている。
【００２４】
本発明のエッチング方法は、上記ドライエッチング装置１００を用いて、異方性ドライエッチングを行う際、被エッチング基材を所望の角度で傾斜、回転することで、被エッチング基材に対するイオンの入射角を制御し、所望の角度の斜めエッチングができるようにしたものである。
また、被エッチング基材の傾斜角度や回転をエッチング中に自由にコントロールできるので、所望のテーパ角を有する両側に広がった逆テーパ形状のエッチングもできる。
【００２５】
具体的には、図３（ａ）〜（ｅ）に示すように、マスク材３３が形成された被エッチング基材３１を傾斜させずに異方性ドライエッチングを行なうとほぼ垂直なトレンチエッチングが出来る（図３（ｂ）参照）が、ここで被エッチング基材３１を３０度傾斜させて異方性ドライエッチングを行なった場合、３０度に傾斜したトレンチが形成される（図３（ｃ）参照）。また、エッチング中に被エッチング基材３１の傾斜及び回転をコントロールすることで、任意の逆テーパ形状のトレンチも形成可能である（図３（ｄ）及び（ｅ）参照）。
【００２６】
本発明のエッチング方法では、被エッチング基材、マスク材、エッチングガスの材料は、異方性ドライエッチングが可能であれば、特に制限はない。
【００２７】
【実施例】
以下、図面を用いて本発明の実施例を説明する。
＜実施例１＞
まず、ＩＣＰ型ドライエッチング装置に加工基材コントロールユニット２０を搭載して本発明のドライエッチング装置１００を作製した。図１を用いて本装置について説明する。チャンバー１０は一般的な真空チャンバーで、プロセスガスの供給口１１と排気口１２があり、チャンバー１０の上部にはＩＣＰプラズマ発生用コイル（アノード電極）５３と、チャンバー１０の下部にはＲＦバイアス用のステージ（カソード電極）２４を内蔵した加工基材コントロールユニット２０が搭載されている。
【００２８】
ＩＣＰプラズマ源となるプラズマ発生手段５０はＰＦＰＰ社製のＲＦ−２０Ｍ（２０ＭＨｚ，２ｋＷ）からなる高周波発振器５１と、整合器５２と、プラズマ発生用コイル（アノード電極）５３とで、ＲＦバイアス用のプラズマ発生手段４０はＥＮＩ社製のＡＧＣ−６Ｂ（１３．５６ＭＨｚ，６０〜６００Ｗ）からなる高周波発振器４１と、整合器４２と、ブロッキングコンデンサ４３とで構成されている。一般的なＩＣＰ型ドライエッチング装置と異なる点は、加工基材コントロールユニット２０が搭載されており、そこにステージ（カソード電極）２４が内蔵されていることである。
さらに、真空排気機構６０と、ガス供給口１１と、排気口１２とを有しており、広い圧力範囲で、各種のプラズマ状態が得られようになっている。
【００２９】
次に、加工基材コントロールユニット２０について図２（ａ）〜（ｃ）を用いて説明する。図２（ａ）に示す加工基材コントロールユニット２０は、傾斜角及び回転制御機構２１と、回転ユニット２２と、傾斜角制御機構２３と、ステージ（カソード電極）２４とを有し、ドライエッチングプロセス中に被エッチング基材３１を任意の方向に、任意の角度（０〜６０°）で傾斜させたり、回転することができる。また、ＲＦバイアス用のカソード電極は、基板コントロールユニット２０にステージ（カソード電極）２４として内蔵されている。
図２（ｂ）は、ステージ（カソード電極）２４及び被エッチング基材３１がイオン入射方向に対して直角に保持された状態を、図２（ｃ）は、ステージ（カソード電極）２４及び被エッチング基材３１がイオン入射方向に対して所定角度傾斜した状態をそれぞれ示す。
【００３０】
＜実施例２＞
本発明のドライエッチング装置１００を用いて斜めエッチングを実施した。
まず、Ｓｉ基板からなる被エッチング基材３１上に熱酸化により２００ｎｍ厚のＳｉＯ_２膜３２を形成し、その上にＥＢレジスト（ＺＥＰ−５２０（日本ゼオン））を塗布し、５００ｎｍ厚のＥＢレジスト層を形成した。さらに、ＥＢ描画機ＪＢＸ−７０００ＭＶ（ドーズ５０μＣ／ｃｍ^２）を用いたＥＢリソグラフィにより線幅２００ｎｍの孤立ラインを有するマスク材３３を形成した（図４（ａ）参照）。
【００３１】
次に、本発明のドライエッチング装置１００を使用して異方性ドライエッチング（垂直エッチング）によりＳｉＯ_２膜をエッチングした（図４（ｂ）参照）。このときのエッチング条件は、ＣＦ_４：１０ｓｃｃｍ、圧力：１０ｍＴｏｒｒの条件下で、プラズマ発生手段４０にてＲＦバイアス電極パワー：１５０Ｗ、プラズマ発生手段５０にてプラズマ発生電極パワー：５００Ｗをそれぞれ印加したプラズマ状態で、１分間エッチングした。また、エッチング中は加工基材コントロールユニット２０により被エッチング基材３１を水平に保持した状態で実施した。
次に、酸素プラズマアッシング装置によりマスク材３３を除去し、線幅２００ｎｍの孤立ＳｉＯ_２ラインパターン３２ａを形成した（図４（ｃ）参照）。
【００３２】
次に、孤立ＳｉＯ_２ラインパターン３２ａが形成されたＳｉ基板からなる被エッチング基材３１を本発明のドライエッチング装置１００の加工基材コントロールユニット２０のステージ（カソード電極）２４上に取り付け、傾斜角及び回転制御機構２１により被エッチング基材３１を３０°に傾斜させた状態で異方性ドライエッチングを実施した（図４（ｄ）参照）。
このときのエッチング条件は、Ｃｌ_２：６０ｓｃｃｍ、圧力：１５ｍＴｏｒｒの条件下で、プラズマ発生手段４０にてＲＦバイアス電極パワー：１５０Ｗ、プラズマ発生手段５０にてプラズマ発生電極パワー：３００Ｗをそれぞれ印加したプラズマ状態で、５分間の異方性エッチングを行った。
その結果、深さが約１５００ｎｍで、２９．１°に傾斜したトレンチ形状が、走査型電子顕微鏡による断面観察で確認された。
【００３３】
同様に、孤立ＳｉＯ_２ラインパターン３２ａが形成されたＳｉ基板からなる加工基材３１の傾斜角を５°、１０°、１５°、２０°、２５°、３０°、３５°として、斜めエッチングを実施した場合の結果を表１に示す。
【００３４】
【表１】

【００３５】
表１の結果から分かるように、全ての場合で、加工基材の傾斜角とほぼ同等のトレンチ傾斜角が得られた。特に、基板の傾斜角が３０°以下の場合、トレンチ傾斜角＝基板の傾斜角±１°以内と非常に良好な結果が得られた。
【００３６】
＜実施例３＞
本発明のドライエッチング装置１００を用いて逆テーパエッチングを実施した。
まず、孤立ＳｉＯ_２ラインパターン３２ａが形成されたＳｉ基板からなる被エッチング基材３１（図５（ａ）参照）を本発明のドライエッチング装置１００の加工基材コントロールユニット２０のステージ（カソード電極）２４上に取り付け、２段階のトレンチエッチングを実施した。
【００３７】
次に、傾斜角及び回転制御機構２１により被エッチング基材３１を２０°に傾斜させた状態で３分間の異方性ドライエッチングを行い、第１段階のトレンチエッチングを実施した（図５（ｂ）参照）。
次に、第１段階とは反対方向に被エッチング基材３１を２０°傾斜させ、３分間の異方性ドライエッチングを行い、第２段階のトレンチエッチングを実施した（図５（ｃ）参照）。このときのエッチング条件は、第１段階、第２段階とも、Ｃｌ_２：６０ｓｃｃｍ、圧力：１５ｍＴｏｒｒの条件下で、プラズマ発生手段４０にてＲＦバイアス電極パワー：１５０Ｗ、プラズマ発生手段５０にてプラズマ発生電極パワー：３００Ｗをそれぞれ印加したプラズマ状態で、異方性ドライエッチングを行なった。その結果、深さが約１４６０ｎｍで、トレンチ側壁角が垂直より２１．２°傾斜した逆テーパトレンチ形状が得られた（図４（ｄ）参照）。観察は走査型電子顕微鏡による断面観察で確認された。
同様に、基板の傾斜角を５°、１０°、１５°、２０°、２５°、３０°、３５°として、逆テーパエッチングを実施した場合の結果を表２に示す。
【００３８】
【表２】

【００３９】
表２の結果からも分かるように、全ての場合で、基板の傾斜角とほぼ同等のトレンチ側壁角が得られた。特に、基板の傾斜角が３０°以下の場合、トレンチ側壁角＝基板の傾斜角±１°以内と非常に良好な結果が得られた。
【００４０】
【発明の効果】
本発明のドライエッチング装置とそれを用いたエッチング方法によれば、所望の方向に、所望の角度でＳｉ基板等からなる被エッチング基材に所望の角度に傾斜したトレンチや所望の角度に逆テーパトレンチ形状を精度良く、且つ低コストで作製できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のドライエッチング装置の一実施例を示す構成概略図である。
【図２】（ａ）は、加工基材コントロールユニットの一実施例を構成概略図である。
（ｂ）は、加工基材コントロールユニットのステージ（カソード電極）がイオン入射方向に対して直角に保持されている状態を示す模式図である。
（ｃ）は、加工基材コントロールユニットのステージ（カソード電極）がイオン入射方向に対して所定角度傾斜している状態を示す模式図である。
【図３】（ａ）〜（ｅ）は、本発明のドライエッチング装置を用いて斜めエッチング及びテーパエッチングを行なった場合の工程例と被エッチング基材の状態を示す説明図である。
【図４】（ａ）〜（ｄ）は、本発明のドライエッチング装置を用いた斜めエッチングの工程例と被エッチング基材の状態を示す説明図である。
【図５】（ａ）〜（ｄ）は、本発明のドライエッチング装置を用いて斜めエッチング及びテーパエッチングを行なった工程例と被エッチング基材の状態を示す説明図である。
【図６】従来のドライエッチング装置（平行平板型ＲＩＥ）の一例を示す構成概略図である。
【図７】従来のドライエッチング装置（平行平板型ＲＩＥ）の他の例を示す構成概略図である。
【図８】（ａ）〜（ｂ）は、等方性エッチングの工程例と被エッチング基材の状態を示す説明図である。
【図９】（ａ）〜（ｂ）は、異方性エッチングの工程例と被エッチング基材の状態を示す説明図である。
【図１０】（ａ）〜（ｈ）は、従来方式による斜めエッチングの工程と被エッチング基材の状態を示す説明図である。
【符号の説明】
１０……チャンバー
１１、１３……ガス供給口
１２、１４……排気口
２０……加工基材コントロールユニット
２１……傾斜角及び回転制御機構
２２……回転ユニット
２３……傾斜角制御機構
２４……ステージ（カソード電極）
３１……被エッチング基材
３２……ＳｉＯ_２膜
３３……マスク材
３４……加熱流動性を示すＳｉＯ_２層
３４ａ、３４ｂ……ＳｉＯ_２層パターン
３４ｃ……端部を傾斜させたＳｉＯ_２層パターン
３５……加熱流動性の低いＳｉＯ_２層
３５ａ、３５ｂ……ＳｉＯ_２層パターン
３６……レジストパターン
３７……開口部
３８……レジストパターン
３９……傾斜した溝
４０……プラズマ発生手段
４１……高周波発振器
４２……整合器
４３……ブロッキングコンデンサ
５０……プラズマ発生手段
５１……高周波発振器
５２……整合器
５３……プラズマ発生用コイル（アノード電極）
６０……真空排気機構
７１……正イオン

Claims

少なくともプラズマ発生手段（４０、５０）と、チャンバー（１０）と、傾斜角及び回転制御機構（２１）、回転ユニット（２２）、傾斜角制御機構（２３）及びステージ（２４）からなる加工基材コントロールユニット（２０）と、ガス供給口（１１）と、排気口（１２）と、真空排気機構（６０）とを備えていることを特徴とするドライエッチング装置。
被エッチング基材に傾斜したトレンチを形成するエッチング方法において、前記被エッチング基材を傾斜及び／または回転して異方性エッチングを行うことを特徴とするエッチング方法。