JP2004039011A

JP2004039011A - Optical recording medium, master for producing optical recording medium, recording / reproducing apparatus and recording / reproducing method

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Publication number: JP2004039011A
Application number: JP2002190577A
Authority: JP
Inventors: Somei Endo; 遠藤　惣銘
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 2002-06-28
Filing date: 2002-06-28
Publication date: 2004-02-05

Abstract

【課題】グルーブを形成する場合に、側面が細かい波状であってもウォブル情報の安定した再生を可能とする。
【解決手段】レーザカッティング装置１０では、９．０９１ＭＨｚのウォブル振幅量でグルーブの幅を広げることができ、８４．６７２ｋＨｚのウォブル信号の光学偏向を施し、フォトレジスト１２の表面に集光され、レーザ光が高周波数９．０９１ＭＨｚで多重露光することでグルーブの幅を広げることができ、幅広かつ両側面が９．０９１ＭＨｚで細かい波状にウォブルしたグルーブが形成される。記録再生装置のカットオフ周波数以上の高周波のウォブルでグルーブ側面が細かい波状にウォブルしてもウォブル再生信号振幅が０となるため、低周波（８４．６７２ｋＨｚ）でウォブルしたグルーブのウォブルアドレス信号の再生が可能である。
【選択図】　図３When a groove is formed, stable reproduction of wobble information can be performed even if the side surface has a fine wavy shape.
In a laser cutting device, a groove width can be widened by a wobble amplitude amount of 9.091 MHz, an optical deflection of a wobble signal of 84.672 kHz is performed, and the laser beam is condensed on a surface of a photoresist, and a laser beam is collected. By performing multiple exposure of light at a high frequency of 9.091 MHz, the width of the groove can be increased, and a groove that is wide and wobbled in a fine wavy shape on both sides at 9.091 MHz is formed. Even if the groove side surface is wobbled in a fine wave shape with a high frequency wobble higher than the cut-off frequency of the recording / reproducing apparatus, the wobble reproduction signal amplitude becomes 0, and therefore the reproduction of the groove wobble address signal wobbled at a low frequency (84.672 kHz). Is possible.
[Selection diagram] FIG.

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、記録トラックに沿ってグルーブが形成されてなる光記録媒体、並びにそのような光記録媒体を製造する際に使用される光記録媒体製造用原盤に関する。また、この発明は、記録トラックに沿ってグルーブが形成されてなる光記録媒体に対する記録および／または再生処理を行う記録再生装置および記録再生方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光記録媒体は、光学的に記録および／または再生が行われる記録媒体であり、例えば、コンパクトディスクやレーザディスク等のように、データに対応したエンボスピットがディスク基板に予め形成されてなる再生専用光ディスクや、ミニディスク（Ｍｉｎｉ　Ｄｉｓｃ；ＭＤ）等のように、磁気光学効果を利用してデータの記録再生を行う光磁気ディスクや、ＤＶＤ等のように、記録膜の相変化を利用してデータの記録再生を行う相変化型光ディスクなどがある。
【０００３】
光磁気ディスクや相変化型光ディスクのように書き込みが可能な光記録媒体には、通常、記録トラックに沿ったグルーブがディスク基板に形成される。ここで、グルーブとは、主にトラッキングサーボを行えるようにするために、記録トラックに沿って形成された、いわゆる案内溝のことである。なお、グルーブとグルーブの間の部分は、ランドと称される。
【０００４】
そして、グルーブが形成されてなる光記録媒体では、通常、プッシュプル信号を用いることでトラッキングサーボがなされる。なお、プッシュプル信号は、光記録媒体に光ビームを照射し、当該光ビームが光記録媒体によって反射された光を、トラック中心に対して対称に配置された２つの光検出器により検出し、それら２つの光検出器からの出力の差をとることにより得られる。
【０００５】
先に提案されている特許第２９６００１８号においては、ＭＤのデータ記録部であるウォブルワイドグルーブの形成方法が提案されている。ウォブルワイドグルーブの形成は、２２．０５ｋＨｚと５ＭＨｚの重畳信号によりレーザ光のスポットをウォブルすることで行われる。２２．０５ｋＨｚのＦＭ変調信号は、アドレスのウォブル情報を記録するもので、５ＭＨｚの信号はその振幅量によってグルーブの幅を広げることができる。ウォブルワイドグルーブは、グルーブの両方の側面がウォブルしている。上記特許に記載の方法を用いたＭＤディスクは、ウォブルワイドグルーブを用いているため、安定にＡＤＩＰ（Ａｄｄｒｅｓｓ　Ｉｎ　Ｐｒｅ−ｇｒｏｏｖｅ）　のウォブル信号を再生でき、また、ＭＯ信号を安定に記録再生ができる。
【０００６】
ＭＤのフォーマットの記録の場合、記録ビームの半径（Ｄ／２）以下の短い周期で多重露光するように、ウォブル（偏向）周波数の空間周波数を選定することでグルーブの幅を広げることができる。例えばＭＤでは、５ＭＨｚの偏向周波数で多重露光することで、幅広のグルーブが形成される。このようにしてグルーブの側面が細かい波状に多重露光することのないウォブルグルーブを形成することができる。すなわち、細かい波状を生じないために、線速度ｖ、偏向周波数ｆおよび記録ビーム径Ｄの関係が次の式（１）の関係を満足するようになされている。
【０００７】
ｖ・１／ｆ　≦　Ｄ／２　　　（１）
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
最近では、記録密度の高密度化にともない、記録ビーム径Ｄを小さくして微小なピットや、幅が狭いグルーブを形成するようになっている。また、高転送レート化にともない、線速度ｖが高速度化する。しかしながら、現状では、ウォブル（偏向）周波数は９ＭＨｚ程度が限界である。
【０００９】
例えばＣＤ−ＲＯＭに匹敵するような大容量化を目的として、データ専用のＭＤＤａｔａ２が提案されている。ＭＤＤａｔａ２は、ＭＤの４倍の密度とされている。ＭＤＤａｔａ２の場合、記録ビーム径Ｄが４００ｎｍ程度、線速度ｖが２．０ｍ／ｓであり、ウォブル周波数が９ＭＨｚの場合では、（１）式が下記の示されるものとなる。
【００１０】
ｖ・１／ｆ＝（２．０ｍ／ｓ）／９ＭＨｚ＝２２２ｎｍ＞２００ｎｍ（Ｄ／２）
【００１１】
このように、９ＭＨｚでは、式（１）の条件を満足することができなくなり、ウォブル周波数も９ＭＨｚ程度以上高くすることが困難であり、グルーブの側面が細かい波状になる問題があった。
【００１２】
この発明は、以上のような点を考慮して案出されたものであり、記録密度を高密度化にした場合でも、安定したウォブル信号の再生が可能で、また、安定した記録再生特性が可能な光記録媒体を提供することを目的としている。また、この発明は、そのような光記録媒体を製造することが可能な光記録媒体製造用原盤を提供することも目的としている。また、この発明は、そのような光記録媒体に対する記録および／または再生処理を行う記録再生装置および記録再生方法を提供することも目的としている。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、請求項１の発明は、記録トラックに沿って低周波でウォブルしたグルーブが形成されてなると共に、光記録再生装置のカットオフ周波数以上の高周波のウォブルでグルーブ側面が細かい波状にウォブルしたグルーブが重畳されていることを特徴とする光記録媒体である。
【００１４】
請求項３の発明は、ラックに沿ってピットが形成されてなると共に、光記録再生装置のカットオフ周波数以上の高周波のウォブルでピット側面が細かい波状にウォブルしたピットが形成されることを特徴とする光記録媒体である。
【００１５】
請求項４の発明は、記録トラックに沿って低周波でウォブルしたグルーブが形成されてなると共に、光記録再生装置のカットオフ周波数以上の高周波のウォブルでグルーブ側面が細かい波状にウォブルしたグルーブが重畳されていることを特徴とする光記録媒体製造用原盤である。
【００１６】
請求項６の発明は、トラックに沿ってピットが形成されてなると共に、光記録再生装置のカットオフ周波数以上の高周波のウォブルでピット側面が細かい波状にウォブルしたピットが形成されることを特徴とする光記録媒体製造用原盤である。
【００１７】
請求項７の発明は、光記録媒体に対する記録および／または再生処理を行う記録再生装置であって、光記録媒体は、記録トラックに沿って低周波でウォブルしたグルーブが形成されてなると共に、光記録再生装置のカットオフ周波数以上の高周波のウォブルでグルーブ側面が細かい波状にウォブルしたグルーブが重畳されており、低周波でウォブルしたグルーブのウォブル情報を再生すると共にグルーブにデータを記録再生することを特徴とする記録再生装置である。請求項９の発明は、低周波でウォブルしたグルーブのウォブル情報を再生すると共にグルーブにデータを記録再生することを特徴とする記録再生方法である。
【００１８】
請求項８の発明は、光記録媒体に対する記録および／または再生処理を行う記録再生装置であって、光記録媒体は、トラックに沿ってピットが形成されてなると共に、光記録再生装置のカットオフ周波数以上の高周波のウォブルでピット側面が細かい波状にウォブルしたピットが形成され、ピット側面が細かい波状にウォブルしたピットを再生することを特徴とする記録再生装置である。請求項１０の発明は、ピット側面が細かい波状にウォブルしたピットを再生することを特徴とする記録再生方法である。
【００１９】
この発明に係る光記録媒体は、記録トラックに沿ってグルーブが形成されてなると共に、多重露光するウォブルによりグルーブの側面が細かい波状になっても、光記録再生装置のカットオフ周波数以上の高周波の多重露光ウォブル周波数を用いることにより、グルーブ内の記録特性およびウォブルグルーブのウォブル信号再生特性を充分に得ることができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態について、この発明を適用した光磁気ディスクを例に挙げ、図面を参照しながら詳細に説明する。この発明を適用した光磁気ディスクについて、要部を拡大した断面図を図１に示す。図１において、参照符号１が光磁気ディスクを示す。一例として、光磁気ディスクは、ＭＤＤａｔａ２の仕様のものである。
【００２１】
光磁気ディスク１は、円盤状に形成されてなり、磁気光学効果を利用してデータの記録再生が行われる。そして、この光磁気ディスク１は、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）やポリカーボネート（ＰＣ）等からなるディスク基板２の上に、光磁気記録がなされる記録層３と、当該記録層３を保護する保護層４とが形成されてなる。ここで、記録層３は、例えば、ＳｉＮ等からなる誘電体膜３ａと、ＴｅＦｅＣｏ合金等からなる垂直磁気記録膜３ｂと、ＳｉＮ等からなる誘電体膜３ｃと、Ａｌ等からなる反射膜３ｄとが積層されたものである。また、保護層４は、例えば、記録層３の上に紫外線硬化樹脂がスピンコートされることで形成されている。なお、この発明において、記録層３や保護層４の構成は任意であり、本例に限定されるものではない。
【００２２】
この光磁気ディスク１（ＭＤＤａｔａ２）は、記録領域の一部を拡大した図１に示すように、光ピックアップ５によりピット部６が再生領域、ウォブルグルーブ７が光磁気記録によるデータの書き込みが可能な領域となっている。
【００２３】
また、この光磁気ディスク１において、トラックピッチＴＰｉｔｃｈは０．９５μｍとされ、同様に、書き込み可能領域ウォブルグルーブの幅は、０．６０μｍ程度とされている。現行のＭＤＤａｔａ２は、グルーブの幅０．６０μｍ程度、ランド幅０．６５μｍ程度であり、ランドが書き込み可能領域とされているが、この実施の形態では、０．６０μｍ程度の幅広のウォブルグルーブが書き込み可能領域とされる。さらに、ウォブルグルーブと同心円状のウォブルしていないグルーブとが交互に形成されたダブルスパイラルの構造とされている。
【００２４】
上述した光磁気ディスク１を製造する際には、光磁気ディスク１の原盤となる光記録媒体製造用原盤の作製にレーザカッティング装置が使用される。以下、光記録媒体製造用原盤の作製に使用されるレーザカッティング装置の一例について、図２を参照して詳細に説明する。
【００２５】
図２に示したレーザカッティング装置１０は、ガラス基板１１の上に塗布されたフォトレジスト１２を露光して、当該フォトレジスト１２に潜像を形成するためのものである。このレーザカッティング装置１０でフォトレジスト１２に潜像を形成する際、フォトレジスト１２が塗布されたガラス基板１１は、移動光学テーブル上に設けられた回転駆動装置に取り付けられる。そして、フォトレジスト１２を露光する際、ガラス基板１１は、フォトレジスト１２の全面にわたって所望のパターンでの露光がなされるように、回転駆動装置によって回転駆動されると共に、移動光学テーブルによって平行移動される。
【００２６】
このレーザカッティング装置１０は、レーザ光を出射する光源１３と、光源１３から出射されたレーザ光の光強度を調整するための電気光学変調器（ＥＯＭ：Ｅ１ｅｃｔｒｏ　Ｏｐｔｉｃａｌ　Ｍｏｄｕｌａｔｏｒ）１４と、電気光学変調器１４から出射されたレーザ光の光軸上に配された検光子１５と、検光子１５を透過してきたレーザ光を反射光と透過光とに分割する第１のビームスプリッタＢＳ１および第２のビームスプリッタＢＳ２と、第２のビームスプリッタＢＳ２を透過してきたレーザ光を検出するフォトディテクタ（ＰＤ：Ｐｈｏｔｏ　Ｄｅｔｅｃｔｏｒ）１６と、電気光学変調器１４に対して信号電界を印加して電気光学変調器１４から出射されるレーザ光強度を調整する光出力制御部（ＡＰＣ：Ａｕｔｏ　Ｐｏｗｅｒ　Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）１７とを備えている。
【００２７】
光源１３から出射されたレーザ光は、先ず、ＡＰＣ１７から印加される信号電界によって駆動される電気光学変調器１４によって所定の光強度とされた上で検光子１５に入射される。ここで、検光子１５は、Ｓ偏光だけを透過する検光子であり、この検光子１５を透過してきたレーザ光は、Ｓ偏光となる。
【００２８】
なお、光源１３には、任意のものが使用可能であるが、短波長のレーザ光を出射するものが好ましい。具体的には、例えば、波長λが３５１ｎｍのレーザ光を出射するＫｒレーザや、波長λが４４２ｎｍのレーザ光を出射するＨｅ−Ｃｄレーザなどが、光源１３として好適である。
【００２９】
ビームスプリッタＢＳ１およびＢＳ２を透過したレーザ光は、フォトディテクタ１６によって、その光強度が検出され、当該光強度に応じた信号がフォトディテクタ１６からＡＰＣ１７に送られる。そして、ＡＰＣ１７は、フォトディテクタ１６によって検出される光強度が所定のレベルにて一定となるように、電気光学変調器１４に対して印加する信号電界を調整する。これにより、電気光学変調器１４から出射するレーザ光の光強度が一定となるように、フィードバック制御がなされ、ノイズの少ない安定したレーザ光が得られる。
【００３０】
光源１３より出射されたレーザ光は、ビームスプリッタＢＳ１およびミラーＭ１で反射され、移動光学テーブル１８上に水平に導かれ、偏向光学系（図２においてＯＤと示す）１８によって光学偏向が施された上でミラーＭ３によって反射されて進行方向が９０°曲げられた上で偏光ビームスプリッタＰＢＳに入射する。
【００３１】
偏向光学系１８は、ウォブルグルーブのウォブルに対応するように、レーザ光に対して光学偏向を施すためのものである。すなわち、偏向光学系１８に入射したレーザ光は、ウェッジプリズム１９を介して音響光学偏向器（ＡＯＤ：ＡｃｏｕｓｔｏＯｐｔｉｃａｌ　Ｄｅｆｌｅｃｔｏｒ）２０に入射し、この音響光学偏向器２０によって、所望する露光パターンに対応するように光学偏向が施される。ここで、音響光学偏向器２０に使用される音響光学素子としては、例えぱ、酸化テルル（ＴｅＯ_２　）からなる音響光学素子が好適である。音響光学偏向器２０によって光学偏向が施された第２のレーザ光は、ウエッジプリズム２１を介して偏向光学系１８から出射される。
【００３２】
なお、ウェッジプリズム１９、２１は、音響光学偏向器２０の音響光学素子の格子面に対してブラッグ条件を満たすようにレーザ光が入射するようにすると共に、音響光学偏向器２０によってレーザ光に対して光学偏向を施したとしてもビーム水平高さが変わらないようにするためのものである。換言すれば、ウエッジプリズム１９、音響光学偏向器２０およびウエッジプリズム２１は、音響光学偏向器２０の音響光学素子の格子面がレーザ光に対してブラッグ条件を満たし、且つ偏向光学系１８から出射されるレーザ光のビーム水平高さが変わらないように配置される。
【００３３】
ここで、音響光学偏向器２０には、音響光学偏向器２０を駆動するための駆動用ドライバ２２が接続されている。駆動用ドライバ２２には、直流電圧と、電圧制御発振器（ＶＣＯ：Ｖｏｌｔａｇｅ　Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｄ　Ｏｓｃｉｌｌａｔｏｒ）２３からの高周波信号がアドレス情報を含む制御信号によりＦＭ変調された信号とが供給される。そして、ガラス基板１１上のフォトレジスト１２の露光時には、所望する露光パターンに応じた信号が電圧制御発振器２３から駆動用ドライバ２２に入力され、当該信号に応じて駆動用ドライバ２２によって音響光学偏向器２０が駆動され、これにより、レーザ光に対して光学偏向が施される。
【００３４】
具体的には、例えば、周波数８４．６７２ｋＨｚにてグルーブをウォブルさせることにより、グルーブにアドレス情報が付加される。この場合では、例えば中心周波数が２２４ＭＨｚの高周波信号を周波数を８４．６７２ｋＨｚのＦＭ変調した信号と９．０９１ＭＨｚを重畳した制御信号を、電圧制御発振器２３から駆動用ドライバ２２に供給する。
【００３５】
そして、この信号に応じて、駆動用ドライバ２２によって音響光学偏向器２０を駆動し、音響光学偏向器２０の音響光学素子のブラッグ角を変化させ、その結果、フォトレジスト１２上に集光されるレーザ光の光スポットの位置は、周波数８４．６７２ｋＨｚ＋９．０９１ＭＨｚ、振幅±２０ｎｍにて、ガラス基板１１の半径方向に振動される。９．０９１ＭＨｚのウォブル振幅量の変化でグルーブの幅を広げることができる。
【００３６】
そして、このような偏向光学系１８によって、ウォブルグルーブのウォブルに対応するように光学偏向が施されたレーザ光は、ミラーＭ３によって反射されて進行方向が９０°曲げられた上で偏光ビームスプリッタＰＢＳに入射する。レーザ光は、偏光ビームスプリッタＰＢＳによって反射されて、拡大レンズＬ３によって所定のビーム径とされた上でミラーＭ４によって反射されて対物レンズ２４へと導かれ、対物レンズ２４によってフォトレジスト膜１２上に集光される。
【００３７】
なお、レーザ光をフォトレジスト１２の上に集光するための対物レンズ２４は、より微細なルーブパターンを形成できるようにするために、開口数ＮＡが大きい方が好ましく、具体的には、開口数ＮＡが０．９程度の対物レンズが好適である。
【００３８】
さらに、光源１３より出射されたレーザ光は、ビームスプリッタＢＳ２およびミラーＭ２で反射され、ＨＷＰを介して偏光ビームスプリッタＰＢＳに入射する。このレーザ光は、ウォブルグルーブを形成するためのレーザ光と半径方向で一定の間隔でフォトレジスト膜１２上に照射される。このレーザ光は、偏向されず、ウォブルしない同心円状のグルーブを形成するためのものである。ウォブルグルーブとウォブルしないグルーブとを形成するように、フォトレジスト膜１２の表面に対物レンズ２４がレーザ光を集光する。
【００３９】
フォトレジスト膜１２が露光され、フォトレジスト膜１２に潜像が形成される。このとき、フォトレジスト膜１２が塗布されているガラス基板１１は、フォトレジスト膜１２の全面にわたって所望のパターンでの露光がなされるように、図示しない回転駆動装置によって回転駆動されると共に、移動光学テーブルによってレーザ光が径方向に移動される。この結果、レーザ光の照射軌跡に応じた潜像がフォトレジスト膜１２の全面にわたって形成されることとなる。
【００４０】
前述の式（１）において、線速度ｖ＝２．００ｍ／ｓ、記録ビーム径Ｄ＝４００ｎｍとすると、偏向周波数ｆを１０ＭＨｚ以上にしないと、多重露光で形成されるグルーブの側面が細かい波状となる。一実施形態では、ｆ＝９．０９１ＭＨｚとしているので、細かい波状が生じる。この偏向周波数は、例えばクロックの周波数に等しいものであり、空間周波数は２２０ｎｍ（１Ｔ）になる。
【００４１】
以上のようなレーザカッティング装置１０では、９．０９１ＭＨｚのウォブル振幅量でグルーブの幅を広げることができ、８４．６７２ｋＨｚのウォブル信号で光学偏向（ウォブル）を施し、フォトレジスト１２の表面に集光され、レーザ光が高周波数９．０９１ＭＨｚで多重露光することでグルーブの幅を広げることができ、幅広かつ両側面が９．０９１ＭＨｚで細かい波状にウォブルしたグルーブが形成される。
【００４２】
図３Ａは、この発明の一実施形態におけるウォブルグルーブの露光方法と偏向で多重露光する方法を模式的に示す。また、図３Ｂは、現像処理により形成される両側面が細かい波状のウォブルグルーブを示す。偏向を生じさせる制御信号は、ＦＭ変調したウォブルアドレス信号（８４．６７２ｋＨｚ）とグルーブの幅を広げる信号（９．０９１ＭＨｚ）の正弦波の重畳信号である。
【００４３】
次に、図１に示した光磁気ディスク１の製造方法について、具体的な一例を挙げて詳細に説明する。光磁気ディスク１を作製する際は、先ず、原盤工程として、幅広かつ両側面のウォブル振幅量の異なるグルーブに対応した凹凸パターンを有する光記録媒体製造用原盤を、上述したレーザカッティング装置１０を用いて作製する。
【００４４】
この原盤工程においては、先ず、表面を研磨した円盤状のガラス基板１１を洗浄し乾燥させ、その後、このガラス基板１１上に感光材料であるフォトレジスト１２を塗布する。次に、このフォトレジスト１２をレーザカッティング装置１０によって露光し、両側面が９．０９１ＭＨｚで細かい波状にウォブルしたグルーブに対応した潜像をフォトレジスト１２に形成する。
【００４５】
なお、後述する評価用光磁気ディスクを作製する際、レーザカッティング装置１０の光源１３には、波長λが３５１ｎｍのレーザ光を出射するＫｒレーザを使用し、レーザ光をフォトレジスト１２上に集光するための対物レンズ２４には、開口数ＮＡが０．９のものを使用した。また、拡大レンズＬ３には焦点距離が５０ｍｍのレンズを使用した。
【００４６】
レーザ光に対して、偏向光学系１８により光学偏向を施し、幅広かつ両側面のウォブル振幅量の異なるグルーブに対応した潜像がフォトレジスト１２に形成される。具体的には、電圧制御発振器２３から高周波信号を制御信号にて変調して駆動用ドライバ２２に供給し、この信号に基づいて駆動用ドライバ２２によって音響光学偏向器２０を駆動して、当該音響光学偏向器２０の音響光学素子のブラッグ角を変化させ、これにより、レーザ光に対して光学偏向を施す。
【００４７】
なお、後述する評価用光磁気ディスクを作製する際は、中心周波数２２４ＭＨｚの高周波信号を８４．６７２ｋＨｚのＦＭ変調アドレス信号と９．０９１ＭＨｚの重畳制御信号にて変調して、電圧制御発振器２３から駆動用ドライバ２２に供給した。そして、この信号に基づいて、駆動用ドライバ２２によって音響光学偏向器２０を駆動し、音響光学偏向器２０の音響光学素子のブラッグ角を変化させ、これにより、フォトレジスト１２上に集光されるレーザ光の光スポットの位置が、９．０９１ＭＨｚのウォブル周期で多重露光されグルーブ幅が広げられ、８４．６７２ｋＨｚのＦＭ変調アドレス信号に応じて両側面がウォブルするように光学偏向される。
【００４８】
そして、このように光学偏向を施したレーザ光を、対物レンズ２４によってフォトレジスト１２上に集光することにより、フォトレジスト１２を露光し、幅広で且つ両側面が９．０９１ＭＨｚで細かい波状にウォブルしたグルーブに対応した潜像をフォトレジスト１２に形成する。
【００４９】
具体的には、後述する評価用光磁気ディスクを作製する際、ガラス基板１１の回転速度は、レーザ光による光スポットとフォトレジスト１２との相対的な移動速度が線速２．００ｍ／ｓｅｃとなるようにした。そして、ガラス基板１１を１回転毎に０．９５μｍ（すなわちトラックピッチの分）だけ、移動光学テーブルによってガラス基板１１の半径方向に平行移動させた。
【００５０】
以上のようにしてフォトレジスト１２に潜像を形成した後、フォトレジスト１２が塗布されている面が上面となるように、ガラス基板１１を現像機のターンテーブル上に載置する。そして、当該ターンテーブルを回転させることによりガラス基板１１を回転させながら、フォトレジスト１２上に現像液を滴下して現像処理を施して、ガラス基板１１上に幅広かつ両側面が９．０９１ＭＨｚで細かい波状にウォブルしたグルーブに対応した凹凸パターンを形成する。
【００５１】
次に、凹凸パターン上に無電界メッキ法によりニッケル等からなる導電化膜を形成し、その後、導電化膜が形成されたガラス基板１１を電鋳装置に取り付け、電気メッキ法により導電化膜上に３００±５〔μｍ〕程度の厚さになるようにニッケルメッキ層を形成する。その後、このメッキ層を剥離し、剥離したメッキをアセトン等を用いて洗浄し、凹凸パターンが転写された面に残存しているフォトレジスト１２を除去する。
【００５２】
以上の工程により、ガラス基板１１上に形成されていた凹凸パターンが転写されたメッキからなる光記録媒体製造用原盤、すなわち、幅広で且つ両側面が９．０９１ＭＨｚで細かい波状にウォブルしたグルーブに対応した凹凸パターンが形成された光記録媒体製造用原盤（いわゆるスタンパ）が完成する。
【００５３】
次に、転写工程として、Ｐｈｏｔｏ−Ｐｏｌｙｍｅｒｉｚａｔｉｏｎ法（２Ｐ法：光硬化法（光硬化樹脂を紫外線で硬化させる））を用いて、光記録媒体製造用原盤の表面形状が転写されてなるディスク基板を作製する。
【００５４】
具体的には、先ず、光記録媒体製造用原盤の凹凸パターンが形成された面上にフォトポリマーを平滑に塗布してフォトポリマー層を形成し、次に、当該フォトポリマー層に泡やゴミが入らないようにしながら、フォトポリマー層上にベースプレートを密着させる。ここで、ベースプレートには、例えば、１．２ｍｍ厚のポリメチルメタクリレート（屈折率１．４９）からなるベースプレートを使用する。
【００５５】
その後、紫外線を照射してフォトポリマーを硬化させ、その後、光記録媒体製造用原盤を剥離することにより、光記録媒体製造用原盤の表面形状が転写されてなるディスク基板２を作製する。
【００５６】
なお、ここでは、光記録媒体製造用原盤に形成された凹凸パターンがより正確にディスク基板２に転写されるように、２Ｐ法を用いてディスク基板２を作製する例を挙げたが、ディスク基板２を量産するような場合には、ポリメチルメタクリレートやポリカーボネート等の透明樹脂を用いて射出成形によってディスク基板２を作製するようにしても良いことは言うまでもない。
【００５７】
次に、成膜工程として、光記録媒体製造用原盤の表面形状が転写されてなるディスク基板２上に記録層３および保護層４を形成する。具体的には例えば、先ず、ディスク基板２の凹凸パターンが形成された面上に、ＳｉＮ等からなる第１の誘電体膜３ａと、ＴｂＦｅＣｏ合金等からなる垂直磁気記録膜３ｂと、ＳｉＮ等からなる第２の誘電体膜３ｃとをスパッタリングによって順次成膜し、更に、第２の誘電体膜３ｃ上にＡｌ等からなる光反射膜３ｄを蒸着によって成膜する。その結果、第１の誘電体膜３ａ、垂直磁気記録膜３ｂ、第２の誘電体膜３ｃおよび光反射膜３ｄからなる記録層３が形成される。その後、記録層３上に紫外線硬化樹脂がスピンコート法により塗布され、紫外線硬化樹脂に対して紫外線を照射し硬化させることにより、保護層４が形成される。以上の工程により、光磁気ディスク１が完成する。
【００５８】
つぎに、上述のような製造方法にて評価用光磁気ディスクを複数作製し、それらの評価を行った結果について説明する。
【００５９】
評価用光磁気ディスクの評価を行うにあたっては、先ず、両側面が９．０９１ＭＨｚで細かい波状にウォブルしたグルーブに対応した凹凸パターンの複数の光記録媒体製造用原盤を作製した。
【００６０】
そして、幅広かつ両側面が９．０９１ＭＨｚで細かい波状にウォブルしたグルーブに対応した潜像を形成するため、レーザ光のパワーを１．２ｍＷ、１．５ｍＷ、１．９５ｍＷの範囲で変化させ、複数の光記録媒体製造用原盤のウォブルグルーブ幅を電子顕微鏡で測定した。グルーブ幅はそれぞれ、５７２ｎｍ、５９４ｎｍ、６１５ｎｍであった。
【００６１】
８４．６７２ｋＨｚのＦＭ変調アドレス信号の振幅量は±２０ｎｍ、９．０９１ＭＨｚで多重露光ウォブルの振幅量は±１００ｎｍでウォブルするように形成した。
【００６２】
そして、以上のようにして作製した複数の光記録媒体製造用原盤を用いて、上述したような２Ｐ法により、評価用光磁気ディスクＡを作製した。
【００６３】
また、多重露光の偏向の周波数をクロックの周波数９．０９１ＭＨｚの半分（４．５４５ＭＨｚ、空間周波数；４４０ｎｍ（２Ｔ））で多重露光した細かい波状にウォブルしたグルーブに対応した評価用光磁気ディスクＢを作製した。レーザ光のパワーを１．２ｍＷ、１．５ｍＷ、１．９５ｍＷの範囲で変化させ、複数の光記録媒体製造用原盤のグルーブ幅を電子顕微鏡で測定した。グルーブ幅はそれぞれ、５６１ｎｍ、５８３ｎｍ、６０６ｎｍであった。
【００６４】
そして、以上のように作製した各評価用光磁気ディスクＡ，Ｂについて、ウォブルアドレス信号の再生特性、光磁気記録膜の記録再生特性の測定した。なお、測定には、レーザ光の波長λが６５０ｎｍ、対物レンズの開口数ＮＡが０．５２の光ピックアップを用いた。
【００６５】
各評価用光磁気ディスクＡ，Ｂについて、すべてのグルーブ幅において、安定したウォブルアドレス信号の再生が可能であった。
【００６６】
また、一方の側面の振幅量±２０ｎｍ、磁気記録膜の記録再生特性（ジッター）は以下に示すように、充分に安定した記録再生特性を得た。
【００６７】

【００６８】

【００６９】
このように、空間周波数２２０ｎｍ（１Ｔ）でグルーブ側面が細かい波状にウォブルしかつ８４．６７２ｋＨｚでウォブルしたグルーブの評価用光磁気ディスクＡおよび空間周波数４４０ｎｍ（２Ｔ）でグルーブ側面が細かい波状にウォブルしかつ８４．６７２ｋＨｚでウォブルしたグルーブの評価用光磁気ディスクＢは、安定したウォブルアドレス信号の再生が可能であった。また、充分に安定した記録再生特性を得た。
【００７０】
空間周波数２２０ｎｍ（１Ｔ）や空間周波数４４０ｎｍ（２Ｔ）でグルーブ側面が細かい波状にウォブルしても、８４．６７２ｋＨｚでウォブルしたグルーブのウォブルアドレス信号の再生が可能であった。空間周波数２２０ｎｍや空間周波数４４０ｎｍのウォブルは、カットオフ周波数以上の高周波のウォブルである。カットオフ周波数以上の高周波のウォブルでグルーブ側面が細かい波状にウォブルしても、８４．６７２ｋＨｚでウォブルしたグルーブのウォブルアドレス信号の再生が可能である。
【００７１】
カットオフ周波数とは、再生信号振幅がほぼ０となる空間周波数のことであり、データの再生に使用するレーザ光の波長をλとし、光ディスク上にレーザ光を集光する対物レンズの開口数をＮＡとしたとき、２ＮＡ／λで表される。ＭＤＤａｔａ２の場合、ＮＡ＝０．５２、λ＝６５０ｎｍであるから、カットオフ周波数（２ＮＡ／λ）は１６００本／ｍｍであり、そのピッチは０．６２５μｍである。つまり、０．６２５μｍの周期より短い周期の微細なパターンを読み取ることができない。
【００７２】
換言すると、クロックの周波数９．０９１ＭＨｚ（１Ｔ；空間周波数２２０ｎｍ＝０．２２０μｍ）やクロックの周波数の半分の周波数４．５４５ＭＨｚ（２Ｔ；空間周波数４４０ｎｍ＝０．４４０μｍ）のカットオフ周波数以上の高周波のウォブルでグルーブ側面が細かい波状にウォブルしてもウォブル再生信号振幅が０となるため、低周波（８４．６７２ｋＨｚ）でウォブルしたグルーブのウォブルアドレス信号の再生が可能である。
【００７３】
図４は、上述した光磁気ディスクを使用する記録再生装置の構成例を示す。図４において、参照符号３１が上述したように、側面が細かい波状にウォブルしているウォブルグルーブが形成された光磁気ディスクである。入力端子３２には、記録するデータが供給される。データ変調器３３は、入力データに対してディジタル変調を施す。例えばＲＬＬ（１，７）によって入力データが変調される。ＲＬＬ（１，７）では、最短マーク長が２Ｔで最長マーク長が８Ｔである。
【００７４】
データ変調器３３の出力データが記録ヘッド駆動部３４に供給される。記録ヘッド駆動部３４は、記録／再生部３５に含まれる記録ヘッドに変調データを供給する。記録／再生部３４には、光ピックアップが含まれている。記録時では、記録用のレーザ光を光ピックアップが光磁気ディスク３１に対して照射する。
【００７５】
また、光ピックアップは、光磁気ディスク３１からの反射光からトラッキングエラー信号、フォーカスエラー信号およびアドレス情報を含むウォブル信号を生成する。記録／再生部３５からのトラッキングエラー信号およびフォーカスエラー信号は、サーボ部３６に対して出力される。サーボ部３６は、記録／再生部３５内の光ピックアップのトラッキングおよびフォーカスを制御する制御信号、光磁気ディスク３１の回転を制御する制御信号、並びに光ピックアップのディスク径方向の移動を制御する制御信号を生成する。
【００７６】
ウォブル信号は、ウォブル信号検出部３７に出力される。ウォブル信号検出部３７は、現在記録または再生を行っているトラックが奇数番目か偶数番目かを判別し、トラック判別結果をアドレスデコーダ３８に対して出力すると共に、ウォブル信号からアドレス情報を復調し、アドレス情報をアドレスデコーダ３８に対して出力する。さらに、ウォブル信号検出部３７は、ウォブル信号から正弦波のキャリア信号を抽出し、サーボ部３６に対して抽出したキャリア信号を供給する。
【００７７】
アドレスデコーダ３８は、ウォブル信号検出部３７から供給されるアドレス情報信号およびトラック判別信号からアドレスを算出し、そのアドレスをシステムコントローラ３９に対して出力する。システムコントローラ３９は、アドレスデコーダ３８から供給されるアドレス情報にしたがって、所定の制御信号をサーボ部３６に出力すると共に、入力装置４０から所定の操作に対応する信号が供給されると、その操作に応じた制御信号をサーボ部３６に出力し、記録／再生部３５を制御するようになされている。
【００７８】
光磁気ディスク３１の光ピックアップによって読み出され、記録／再生部３５における処理によって得られた再生データがデータ復調器４１に供給される。データ復調器４１では、記録時に施されたディジタル変調例えばＲＬＬ（１，７）の復調処理がなされる。データ復調器４１の出力端子４２に対して再生データが取り出される。
【００７９】
この発明は、上述したこの発明の一実施形態に限定されるものでは無く、この発明の要旨を逸脱しない範囲内で様々な変形や応用が可能である。この発明は、記録トラックに沿ってグルーブが形成されてなる光記録媒体、並びにその製造に使用される光記録媒体製造用原盤に対して広く適用可能であり、この発明の対象となる光記録媒体は、例えば、再生専用の光記録媒体、繰り返しデータの書き換えが可能な光記録媒体、或いはデータの追記は可能だか消去はできないような光記録媒体のいずれでもよい。
【００８０】
また、データの記録方法も特に限定されるものではなく、この発明の対象となる光記録媒体は、例えば、予めデータが書き込まれている再生専用の光記録媒体、磁気光学効果を利用してデータの記録再生を行う光磁気記録媒体、或いは記録層の相変化を利用してデータの記録再生を行う相変化型光記録媒体などのいずれでもよい。
【００８１】
また、この発明は、記録領域の少なくとも一部にグルーブが形成されている光記録媒体、並びにその製造に使用される光記録媒体製造用原盤に対して広く適用可能である。すなわち、例えば、記録領域全体にグルーブが形成されていてもよいし、或いは、光磁気ディスクＡ，Ｂのように、グルーブが形成されることなくエンボスピットによってデータが記録されているような領域が記録領域内に存在していてもよい。
【００８２】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、この発明によれば、カットオフ周波数以上の高周波のウォブルでグルーブ側面が細かい波状にウォブルしても、低周波（例えば８４．６７２ｋＨｚ）でウォブルしたグルーブのウォブルアドレス信号の再生が可能であり、充分に安定した記録再生動作が可能である。また、クロックの周波数９．０９１ＭＨｚ（周期１Ｔ）やクロックの周波数の半分の周波数４．５４５ＭＨｚ（周期２Ｔ）の高周波のウォブルでグルーブ側面が細かい波状にウォブルしても、低周波でウォブルしたグルーブのウォブルアドレス信号の再生が可能であり、充分に安定した記録再生動作が可能である。
【００８３】
この発明によれば、多重露光するウォブルによりグルーブの側面が細かい波状であっても、安定したウォブル信号の再生が可能な光記録媒体を提供できる。また、この発明は、そのような光記録媒体を製造することが可能な光記録媒体製造用原盤を提供できる。また、この発明は、そのような光記録媒体に対する記録および／または再生処理を行う記録再生装置および記録再生方法を提供することもできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明を適用した光磁気ディスクの一例について、その要部を拡大して示す断面図である。
【図２】この発明を適用した光磁気ディスクの記録領域の一部を拡大して示す図である。
【図３】この発明に係る記録媒体および記録媒体製造用原盤を作製する際に使用されるレーザカッティング装置の一例について、その光学系の概要を示す図である。
【図４】この発明を適用した光磁気ディスクに対して記録再生を行う記録再生装置の一例のブロック図である。
【符号の説明】
１・・・光磁気ディスク、２・・・ディスク基板、３・・・記録層、４・・・保護層、１０・・・レーザカッティング装置、１１・・・ガラス基板、・・・１２　フォトレジスト、１３・・・光源、１８・・・偏向光学系、２０・・・音響光学偏向器（ＡＯＤ）、１９，２１・・・ウェッジプリズム、２２・・・ドライバ、２３・・・電圧制御発振器（ＶＣＯ）、２４・・・対物レンズ[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to an optical recording medium having a groove formed along a recording track, and an optical recording medium manufacturing master used when manufacturing such an optical recording medium. The present invention also relates to a recording / reproducing apparatus and a recording / reproducing method for performing recording and / or reproducing processing on an optical recording medium having grooves formed along recording tracks.
[0002]
[Prior art]
An optical recording medium is a recording medium on which recording and / or reproduction is performed optically. For example, a read-only medium in which embossed pits corresponding to data are formed in advance on a disk substrate, such as a compact disk or a laser disk. Magneto-optical discs that record and reproduce data using the magneto-optical effect, such as optical discs and mini discs (Mini Discs; MDs), and data, such as DVDs, that use the phase change of a recording film, such as DVDs There is a phase change type optical disk for recording and reproducing data.
[0003]
In a writable optical recording medium such as a magneto-optical disk or a phase-change optical disk, grooves along recording tracks are usually formed on a disk substrate. Here, the groove is a so-called guide groove formed along a recording track in order to mainly perform tracking servo. The portion between the grooves is called a land.
[0004]
In an optical recording medium having grooves formed thereon, tracking servo is usually performed by using a push-pull signal. The push-pull signal irradiates the optical recording medium with a light beam, and detects the light reflected from the optical recording medium by two photodetectors symmetrically arranged with respect to the track center. It is obtained by taking the difference between the outputs from the two photodetectors.
[0005]
Japanese Patent No. 2960018, which has been previously proposed, proposes a method of forming a wobble wide groove, which is a data recording portion of an MD. The wobble wide groove is formed by wobbling the spot of the laser beam with a superimposed signal of 22.05 kHz and 5 MHz. The 22.05 kHz FM modulation signal records address wobble information, and the 5 MHz signal can increase the width of the groove depending on the amplitude. In a wobble wide groove, both sides of the groove are wobbled. Since the MD disk using the method described in the above patent uses a wobble wide groove, it is possible to stably reproduce an ADIP (Address In Pre-groove) wobble signal and stably record and reproduce an MO signal. .
[0006]
In the case of recording in the MD format, the width of the groove can be widened by selecting the spatial frequency of the wobble (deflection) frequency so that multiple exposure is performed in a short cycle equal to or less than the radius (D / 2) of the recording beam. For example, in an MD, a wide groove is formed by performing multiple exposure at a deflection frequency of 5 MHz. In this way, it is possible to form a wobble groove in which the side surfaces of the groove are not subjected to multiple exposure in a fine wavy shape. In other words, the relationship among the linear velocity v, the deflection frequency f, and the recording beam diameter D satisfies the relationship of the following equation (1) so as not to generate fine waves.
[0007]
v · 1 / f ≦ D / 2 (1)
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
Recently, as the recording density has been increased, the recording beam diameter D has been reduced to form minute pits and narrow grooves. In addition, the linear velocity v increases as the transfer rate increases. However, at present, the wobble (deflection) frequency is limited to about 9 MHz.
[0009]
For example, MDData2 dedicated to data has been proposed for the purpose of increasing the capacity comparable to a CD-ROM. MDData2 has a density four times as high as MD. In the case of MDData2, when the recording beam diameter D is about 400 nm, the linear velocity v is 2.0 m / s, and the wobble frequency is 9 MHz, the equation (1) is as shown below.
[0010]
v · 1 / f = (2.0 m / s) / 9 MHz = 222 nm> 200 nm (D / 2)
[0011]
As described above, at 9 MHz, the condition of Expression (1) cannot be satisfied, and it is difficult to increase the wobble frequency by about 9 MHz or more, and there has been a problem that the side surface of the groove becomes fine and wavy.
[0012]
The present invention has been devised in consideration of the above points. Even when the recording density is increased, stable wobble signal reproduction is possible, and stable recording / reproducing characteristics are obtained. It is intended to provide a possible optical recording medium. Another object of the present invention is to provide an optical recording medium manufacturing master disc capable of manufacturing such an optical recording medium. Another object of the present invention is to provide a recording / reproducing apparatus and a recording / reproducing method for performing recording and / or reproducing processing on such an optical recording medium.
[0013]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above-mentioned problem, the invention according to claim 1 is characterized in that a groove wobbled at a low frequency is formed along a recording track, and the groove side surface is formed by a wobble of a high frequency equal to or higher than a cutoff frequency of an optical recording / reproducing apparatus. The optical recording medium is characterized in that grooves wobbled in a fine wavy shape are superimposed.
[0014]
The invention according to claim 3 is characterized in that pits are formed along the rack, and pits whose wobble is finely wobbled on the side surfaces of the pits with a high frequency wobble higher than the cutoff frequency of the optical recording / reproducing apparatus are formed. Optical recording medium.
[0015]
According to a fourth aspect of the present invention, a groove wobbled at a low frequency is formed along a recording track, and a groove wobbled with a high frequency wobble equal to or higher than a cutoff frequency of an optical recording / reproducing apparatus so that the groove side surface has a fine wave shape is superimposed. This is a master for producing an optical recording medium.
[0016]
The invention according to claim 6 is characterized in that pits are formed along the track and pits whose wobble has a high frequency higher than the cut-off frequency of the optical recording / reproducing apparatus and whose pit side surfaces are wobbled in a fine wavy shape are formed. This is a master for producing an optical recording medium.
[0017]
A seventh aspect of the present invention is a recording / reproducing apparatus for performing recording and / or reproducing processing on an optical recording medium, wherein the optical recording medium is formed with a groove wobbled at a low frequency along a recording track. Grooves wobbled in a fine wave shape with a high frequency wobble higher than the cut-off frequency of the recording / reproducing device are superimposed, and the wobble information of the groove wobbled at a low frequency is reproduced and data is recorded / reproduced in the groove. This is a recording / reproducing apparatus characterized by the following. A ninth aspect of the present invention is a recording / reproducing method characterized by reproducing wobble information of a groove wobbled at a low frequency and recording / reproducing data in / from the groove.
[0018]
The invention according to claim 8 is a recording / reproducing apparatus for performing recording and / or reproducing processing on an optical recording medium, wherein the optical recording medium has pits formed along a track and a cut-off of the optical recording / reproducing apparatus. The recording / reproducing apparatus is characterized in that pits whose wobble is wobbled with fine pit side surfaces are formed by wobbles with a high frequency higher than the frequency, and pits whose wobble is wobbled with fine pit side surfaces are reproduced. According to a tenth aspect of the present invention, there is provided a recording / reproducing method for reproducing a pit wobbled in a fine pit side surface.
[0019]
In the optical recording medium according to the present invention, the groove is formed along the recording track, and even if the wobble subjected to multiple exposure makes the side surface of the groove finely wavy, the optical recording medium has a high frequency higher than the cutoff frequency of the optical recording / reproducing apparatus. By using the multiple exposure wobble frequency, the recording characteristics in the groove and the wobble signal reproduction characteristics of the wobble groove can be sufficiently obtained.
[0020]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings, taking a magneto-optical disk to which the present invention is applied as an example. FIG. 1 is an enlarged sectional view of a main part of a magneto-optical disk to which the present invention is applied. In FIG. 1, reference numeral 1 indicates a magneto-optical disk. As an example, the magneto-optical disk is of the specification of MDData2.
[0021]
The magneto-optical disk 1 is formed in a disk shape, and records and reproduces data using a magneto-optical effect. The magneto-optical disk 1 has a recording layer 3 on which magneto-optical recording is performed and a protective layer for protecting the recording layer 3 on a disk substrate 2 made of polymethyl methacrylate (PMMA), polycarbonate (PC), or the like. 4 are formed. Here, the recording layer 3 includes, for example, a dielectric film 3a made of SiN or the like, a perpendicular magnetic recording film 3b made of a TeFeCo alloy or the like, a dielectric film 3c made of SiN or the like, and a reflective film 3d made of Al or the like. Are laminated. The protective layer 4 is formed, for example, by spin-coating an ultraviolet curable resin on the recording layer 3. In the present invention, the configurations of the recording layer 3 and the protective layer 4 are arbitrary, and are not limited to this example.
[0022]
In the magneto-optical disk 1 (MDData2), as shown in FIG. 1 in which a part of a recording area is enlarged, a pit portion 6 is a reproduction area, and a wobble groove 7 is capable of writing data by magneto-optical recording by an optical pickup 5. Area.
[0023]
In the magneto-optical disk 1, the track pitch TPitch is 0.95 μm, and the width of the writable area wobble groove is about 0.60 μm. The current MDData2 has a groove width of about 0.60 μm and a land width of about 0.65 μm, and the land is a writable area. In this embodiment, a wide wobble groove of about 0.60 μm is used for writing. It is a possible area. Further, it has a double spiral structure in which wobble grooves and concentric non-wobble grooves are alternately formed.
[0024]
When the above-described magneto-optical disk 1 is manufactured, a laser cutting device is used for manufacturing an optical recording medium manufacturing master which is a master of the magneto-optical disk 1. Hereinafter, an example of a laser cutting apparatus used for manufacturing an optical recording medium manufacturing master will be described in detail with reference to FIG.
[0025]
The laser cutting device 10 shown in FIG. 2 is for exposing a photoresist 12 applied on a glass substrate 11 to form a latent image on the photoresist 12. When a latent image is formed on the photoresist 12 by the laser cutting device 10, the glass substrate 11 coated with the photoresist 12 is attached to a rotary driving device provided on a movable optical table. When exposing the photoresist 12, the glass substrate 11 is driven to rotate by a rotation driving device and is translated by a moving optical table so that exposure with a desired pattern is performed over the entire surface of the photoresist 12. You.
[0026]
The laser cutting device 10 includes a light source 13 that emits a laser beam, an electro-optic modulator (EOM: E1 Electro Optical Modulator) 14 for adjusting the light intensity of the laser beam emitted from the light source 13, and an electro-optic modulator. An analyzer 15 arranged on the optical axis of the laser light emitted from the light source 14, a first beam splitter BS1 and a second beam splitting the laser light transmitted through the analyzer 15 into reflected light and transmitted light A signal electric field is applied to the splitter BS2, a photodetector (PD) 16 for detecting the laser beam transmitted through the second beam splitter BS2, and the electro-optic modulator 14, and the light is emitted from the electro-optic modulator 14. Output controller (APC: Auto Power Cont) for adjusting the intensity of the laser beam oller) and a 17.
[0027]
The laser light emitted from the light source 13 is first given a predetermined light intensity by an electro-optic modulator 14 driven by a signal electric field applied from the APC 17 and then enters the analyzer 15. Here, the analyzer 15 is an analyzer that transmits only S-polarized light, and the laser light transmitted through the analyzer 15 becomes S-polarized light.
[0028]
Although any light source can be used as the light source 13, a light source that emits laser light of a short wavelength is preferable. Specifically, for example, a Kr laser that emits a laser beam having a wavelength of 351 nm, a He-Cd laser that emits a laser beam having a wavelength of 442 nm, or the like is suitable as the light source 13.
[0029]
The light intensity of the laser light transmitted through the beam splitters BS1 and BS2 is detected by the photodetector 16, and a signal corresponding to the light intensity is transmitted from the photodetector 16 to the APC 17. Then, the APC 17 adjusts the signal electric field applied to the electro-optic modulator 14 so that the light intensity detected by the photodetector 16 becomes constant at a predetermined level. As a result, feedback control is performed so that the light intensity of the laser light emitted from the electro-optic modulator 14 becomes constant, and a stable laser light with less noise is obtained.
[0030]
The laser light emitted from the light source 13 is reflected by the beam splitter BS1 and the mirror M1, is guided horizontally on the moving optical table 18, and is optically deflected by the deflection optical system (shown as OD in FIG. 2) 18. The light is reflected by the mirror M3 and the traveling direction is bent by 90 °, and then enters the polarization beam splitter PBS.
[0031]
The deflection optical system 18 is for performing optical deflection on the laser light so as to correspond to the wobble of the wobble groove. That is, the laser light incident on the deflecting optical system 18 is incident on an acousto-optic deflector (AOD) 20 via a wedge prism 19 so that the acousto-optic deflector 20 corresponds to a desired exposure pattern. Is subjected to optical deflection. Here, as the acousto-optic element used for the acousto-optic deflector 20, for example, tellurium oxide (TeO ₂ An acousto-optic element comprising: The second laser light optically deflected by the acousto-optic deflector 20 is emitted from the deflection optical system 18 via the wedge prism 21.
[0032]
The

wedge prisms

19 and 21 allow the laser beam to be incident on the lattice plane of the acousto-optic device of the acousto-optic deflector 20 so as to satisfy the Bragg condition. This is to prevent the beam horizontal height from being changed even if optical deflection is performed. In other words, the wedge prism 19, the acousto-optic deflector 20, and the wedge prism 21 are such that the lattice plane of the acousto-optic element of the acousto-optic deflector 20 satisfies the Bragg condition with respect to the laser light, and is emitted from the deflection optical system 18. Are arranged so that the horizontal height of the laser beam does not change.
[0033]
Here, a driving driver 22 for driving the acousto-optic deflector 20 is connected to the acousto-optic deflector 20. The driving driver 22 is supplied with a DC voltage and a signal obtained by FM-modulating a high-frequency signal from a voltage controlled oscillator (VCO) 23 by a control signal including address information. When exposing the photoresist 12 on the glass substrate 11, a signal corresponding to a desired exposure pattern is input from the voltage controlled oscillator 23 to the driving driver 22, and the driving driver 22 responds to the signal by the acousto-optic deflector. 20 is driven, whereby the laser light is optically deflected.
[0034]
Specifically, for example, by wobbling the groove at a frequency of 84.672 kHz, address information is added to the groove. In this case, for example, a control signal in which a high-frequency signal having a center frequency of 224 MHz is FM-modulated with a frequency of 84.672 kHz and a signal in which 9.091 MHz is superimposed is supplied from the voltage controlled oscillator 23 to the driving driver 22.
[0035]
The acousto-optic deflector 20 is driven by the driving driver 22 in accordance with this signal, and the Bragg angle of the acousto-optic element of the acousto-optic deflector 20 is changed. As a result, the Bragg angle is collected on the photoresist 12. The position of the light spot of the laser light is oscillated in the radial direction of the glass substrate 11 at a frequency of 84.672 kHz + 9.091 MHz and an amplitude of ± 20 nm. The width of the groove can be increased by changing the wobble amplitude amount of 9.091 MHz.
[0036]
The laser light that has been optically deflected by the deflecting optical system 18 so as to correspond to the wobble of the wobble groove is reflected by the mirror M3, the traveling direction is bent by 90 °, and the polarization beam splitter PBS Incident on. The laser light is reflected by the polarizing beam splitter PBS, has a predetermined beam diameter by the magnifying lens L3, is reflected by the mirror M4, is guided to the objective lens 24, and is reflected on the photoresist film 12 by the objective lens 24. It is collected.
[0037]
The objective lens 24 for condensing the laser light on the photoresist 12 preferably has a large numerical aperture NA so that a finer lube pattern can be formed. An objective lens having a numerical aperture of about 0.9 is preferable.
[0038]
Further, the laser light emitted from the light source 13 is reflected by the beam splitter BS2 and the mirror M2, and enters the polarization beam splitter PBS via the HWP. The laser light is applied to the photoresist film 12 at a constant interval in the radial direction with the laser light for forming the wobble groove. This laser beam is used to form concentric grooves that are not deflected and do not wobble. The objective lens 24 focuses the laser beam on the surface of the photoresist film 12 so as to form a wobble groove and a groove that does not wobble.
[0039]
The photoresist film 12 is exposed, and a latent image is formed on the photoresist film 12. At this time, the glass substrate 11 on which the photoresist film 12 has been applied is rotationally driven by a rotation driving device (not shown) so that the entire surface of the photoresist film 12 is exposed in a desired pattern, The table moves the laser beam in the radial direction. As a result, a latent image corresponding to the laser beam irradiation locus is formed over the entire surface of the photoresist film 12.
[0040]
In the above equation (1), assuming that the linear velocity v is 2.00 m / s and the recording beam diameter D is 400 nm, unless the deflection frequency f is set to 10 MHz or more, the side face of the groove formed by the multiple exposure has a fine wavy shape. Become. In one embodiment, since f = 9.091 MHz, a fine wavy shape is generated. This deflection frequency is, for example, equal to the clock frequency, and the spatial frequency is 220 nm (1T).
[0041]
In the laser cutting apparatus 10 as described above, the width of the groove can be widened by the wobble amplitude amount of 9.091 MHz, the optical deflection (wobble) is performed by the wobble signal of 84.672 kHz, and the light is focused on the surface of the photoresist 12. Then, the width of the groove can be widened by multiple exposure of the laser beam at a high frequency of 9.091 MHz, and a groove that is wide and wobbled in a fine wavy shape at 9.091 MHz on both side surfaces is formed.
[0042]
FIG. 3A schematically shows a method of exposing a wobble groove and a method of performing multiple exposure by deflection in an embodiment of the present invention. FIG. 3B shows a wobble groove formed by a developing process and having fine wavy sides. The control signal causing the deflection is a superposition signal of a sine wave of the wobble address signal (84.672 kHz) subjected to FM modulation and the signal (9.091 MHz) for expanding the groove width.
[0043]
Next, a method for manufacturing the magneto-optical disk 1 shown in FIG. 1 will be described in detail using a specific example. When the magneto-optical disk 1 is manufactured, first, as a mastering process, an optical recording medium manufacturing master having a concave-convex pattern corresponding to grooves having different widths of wobble amplitude on both sides is used by using the laser cutting apparatus 10 described above. To make.
[0044]
In this mastering step, first, a disc-shaped glass substrate 11 whose surface has been polished is washed and dried, and then a photoresist 12 as a photosensitive material is applied onto the glass substrate 11. Next, the photoresist 12 is exposed by the laser cutting device 10 to form a latent image on the photoresist 12 corresponding to the groove wobbled in a fine wavy shape on both sides at 9.091 MHz.
[0045]
When a magneto-optical disc for evaluation described later is manufactured, a Kr laser that emits laser light having a wavelength λ of 351 nm is used as the light source 13 of the laser cutting device 10, and the laser light is focused on the photoresist 12. The objective lens 24 used had a numerical aperture NA of 0.9. A lens having a focal length of 50 mm was used as the magnifying lens L3.
[0046]
The laser beam is optically deflected by the deflection optical system 18, and a wide latent image corresponding to grooves having different wobble amplitudes on both side surfaces is formed on the photoresist 12. Specifically, a high-frequency signal is modulated by a control signal from a voltage controlled oscillator 23 and supplied to a driving driver 22. Based on this signal, the driving driver 22 drives the acousto-optic deflector 20 to The Bragg angle of the acousto-optic element of the optical deflector 20 is changed, and thereby the laser beam is optically deflected.
[0047]
When a magneto-optical disk for evaluation described later is manufactured, a high-frequency signal having a center frequency of 224 MHz is modulated by an FM modulation address signal of 84.672 kHz and a superimposition control signal of 9.091 MHz, and driven by a voltage control oscillator 23. Driver 22. Then, based on this signal, the acousto-optic deflector 20 is driven by the driving driver 22 to change the Bragg angle of the acousto-optic element of the acousto-optic deflector 20, whereby the light is focused on the photoresist 12. The position of the light spot of the laser beam is subjected to multiple exposure at a wobble cycle of 9.091 MHz to widen the groove width, and is optically deflected so that both sides are wobbled according to an FM modulation address signal of 84.672 kHz.
[0048]
The laser beam thus optically deflected is condensed on the photoresist 12 by the objective lens 24, thereby exposing the photoresist 12 to wobbles in a wide wavy fine shape at 9.091 MHz on both sides. A latent image corresponding to the formed groove is formed on the photoresist 12.
[0049]
Specifically, when manufacturing a magneto-optical disk for evaluation described later, the rotation speed of the glass substrate 11 is such that the relative moving speed between the light spot by the laser beam and the photoresist 12 is a linear speed of 2.00 m / sec. I made it. Then, the glass substrate 11 was translated in the radial direction of the glass substrate 11 by a moving optical table by 0.95 μm (that is, the track pitch) for each rotation.
[0050]
After a latent image is formed on the photoresist 12 as described above, the glass substrate 11 is placed on a turntable of a developing machine such that the surface on which the photoresist 12 is applied is the upper surface. Then, while rotating the glass substrate 11 by rotating the turntable, a developing solution is dropped on the photoresist 12 and subjected to development processing, and the glass substrate 11 is wide and both sides are fine at 9.091 MHz. An uneven pattern corresponding to the groove wobbled is formed.
[0051]
Next, a conductive film made of nickel or the like is formed on the concavo-convex pattern by electroless plating, and then the glass substrate 11 on which the conductive film is formed is attached to an electroforming apparatus, and the conductive film is formed on the conductive film by electroplating. Then, a nickel plating layer is formed to a thickness of about 300 ± 5 [μm]. Thereafter, the plating layer is peeled off, and the peeled plating is washed with acetone or the like to remove the photoresist 12 remaining on the surface to which the uneven pattern has been transferred.
[0052]
According to the above-described process, the master corresponds to an optical recording medium manufacturing master made of plating on which the concavo-convex pattern formed on the glass substrate 11 has been transferred, that is, a groove that is wobbled in a wide wavy shape at 9.091 MHz on both side surfaces. A master for manufacturing an optical recording medium (a so-called stamper) on which the formed concavo-convex pattern is formed is completed.
[0053]
Next, as a transfer step, using a Photo-Polymerization method (2P method: photocuring method (curing a photocurable resin with ultraviolet rays)), a disk substrate on which the surface shape of an optical recording medium manufacturing master is transferred is used. Make it.
[0054]
Specifically, first, a photopolymer is smoothly applied on the surface of the master for producing an optical recording medium on which the concavo-convex pattern has been formed to form a photopolymer layer. The base plate is brought into close contact with the photopolymer layer while preventing it from entering. Here, as the base plate, for example, a 1.2 mm thick base plate made of polymethyl methacrylate (refractive index: 1.49) is used.
[0055]
Thereafter, the photopolymer is cured by irradiating ultraviolet rays, and thereafter, the optical recording medium manufacturing master is peeled off, thereby producing the disk substrate 2 on which the surface shape of the optical recording medium manufacturing master has been transferred.
[0056]
Here, an example is described in which the disk substrate 2 is manufactured using the 2P method so that the concavo-convex pattern formed on the optical recording medium manufacturing master is more accurately transferred to the disk substrate 2. Needless to say, when mass-producing the disk substrate 2, the disk substrate 2 may be manufactured by injection molding using a transparent resin such as polymethyl methacrylate or polycarbonate.
[0057]
Next, as a film forming step, the recording layer 3 and the protective layer 4 are formed on the disk substrate 2 on which the surface shape of the optical recording medium manufacturing master has been transferred. More specifically, for example, first, a first dielectric film 3a made of SiN or the like, a perpendicular magnetic recording film 3b made of a TbFeCo alloy or the like, A second dielectric film 3c is sequentially formed by sputtering, and a light reflecting film 3d made of Al or the like is further formed on the second dielectric film 3c by vapor deposition. As a result, the recording layer 3 including the first dielectric film 3a, the perpendicular magnetic recording film 3b, the second dielectric film 3c, and the light reflecting film 3d is formed. Thereafter, an ultraviolet curable resin is applied onto the recording layer 3 by a spin coating method, and the ultraviolet curable resin is irradiated with ultraviolet light to be cured, whereby the protective layer 4 is formed. Through the above steps, the magneto-optical disk 1 is completed.
[0058]
Next, a plurality of evaluation magneto-optical disks are manufactured by the above-described manufacturing method, and the results of the evaluation are described.
[0059]
In order to evaluate the evaluation magneto-optical disk, first, a plurality of masters for producing an optical recording medium having a concavo-convex pattern corresponding to grooves wobbled at 9.091 MHz on both sides were formed.
[0060]
Then, in order to form a latent image corresponding to a groove wobbled in a fine wavy shape with a width of 9.091 MHz on both side surfaces, the power of the laser beam was changed in the range of 1.2 mW, 1.5 mW and 1.95 mW. The wobble groove width of the master for producing an optical recording medium was measured by an electron microscope. The groove width was 572 nm, 594 nm, and 615 nm, respectively.
[0061]
The amplitude amount of the FM modulated address signal of 84.672 kHz was ± 20 nm, and the amplitude amount of the multiple exposure wobble at 9.091 MHz was wobbled at ± 100 nm.
[0062]
Then, the magneto-optical disc A for evaluation was manufactured by the above-described 2P method using the plurality of masters for manufacturing an optical recording medium manufactured as described above.
[0063]
The evaluation magneto-optical disk B corresponding to the groove wobbled in the form of a fine wave, which has been subjected to multiple exposure at a deflection frequency of multiple exposure at half of the clock frequency 9.091 MHz (4.545 MHz, spatial frequency; 440 nm (2T)). Produced. The power of the laser beam was changed in the range of 1.2 mW, 1.5 mW, and 1.95 mW, and the groove widths of a plurality of masters for producing an optical recording medium were measured with an electron microscope. The groove width was 561 nm, 583 nm, and 606 nm, respectively.
[0064]
Then, the reproduction characteristics of the wobble address signal and the recording and reproduction characteristics of the magneto-optical recording film were measured for each of the evaluation magneto-optical disks A and B manufactured as described above. In the measurement, an optical pickup having a wavelength λ of laser light of 650 nm and a numerical aperture NA of the objective lens of 0.52 was used.
[0065]
For each of the evaluation magneto-optical disks A and B, a stable wobble address signal could be reproduced in all groove widths.
[0066]
In addition, the recording / reproducing characteristics (jitter) of the magnetic recording film were sufficiently stable as shown below, with an amplitude of ± 20 nm on one side.
[0067]

[0068]

[0069]
As described above, the groove side wobble at a spatial frequency of 220 nm (1T) and a grooved magneto-optical disk A wobbled at 84.672 kHz and the groove side wobble at a spatial frequency of 440 nm (2T). The grooved magneto-optical disk B wobbled at 84.672 kHz was able to reproduce a stable wobble address signal. In addition, sufficiently stable recording and reproducing characteristics were obtained.
[0070]
Even if the groove side surface was wobbled at a spatial frequency of 220 nm (1T) or a spatial frequency of 440 nm (2T), the wobble address signal of the groove wobbled at 84.672 kHz could be reproduced. The wobble having a spatial frequency of 220 nm or 440 nm is a high-frequency wobble equal to or higher than the cutoff frequency. Even if the groove side surface is wobbled in a fine wave shape with a high frequency wobble higher than the cutoff frequency, the wobble address signal of the groove wobbled at 84.672 kHz can be reproduced.
[0071]
The cutoff frequency is a spatial frequency at which the amplitude of a reproduction signal becomes almost zero, the wavelength of a laser beam used for data reproduction is λ, and the numerical aperture of an objective lens for condensing the laser beam on an optical disk is Assuming NA, it is represented by 2NA / λ. In the case of MDData2, NA = 0.52 and λ = 650 nm, so the cutoff frequency (2NA / λ) is 1600 lines / mm, and the pitch is 0.625 μm. That is, a fine pattern with a period shorter than the period of 0.625 μm cannot be read.
[0072]
In other words, a high frequency higher than the cutoff frequency of 9.091 MHz (1 T; spatial frequency 220 nm = 0.220 μm) of the clock frequency or 4.545 MHz (2 T; spatial frequency 440 nm = 0.440 μm) of half the frequency of the clock. Since the wobble reproduction signal amplitude becomes 0 even if the groove side surface is wobbled in a fine wave shape, the wobble address signal of the groove wobbled at a low frequency (84.672 kHz) can be reproduced.
[0073]
FIG. 4 shows a configuration example of a recording / reproducing device using the above-described magneto-optical disk. In FIG. 4, reference numeral 31 denotes a magneto-optical disk in which a wobble groove whose side surface is wobbled in a fine wave shape is formed as described above. Data to be recorded is supplied to the input terminal 32. The data modulator 33 performs digital modulation on input data. For example, input data is modulated by RLL (1, 7). In RLL (1, 7), the shortest mark length is 2T and the longest mark length is 8T.
[0074]
The output data of the data modulator 33 is supplied to the recording head driving unit 34. The recording head driving unit 34 supplies modulated data to the recording head included in the recording / reproducing unit 35. The recording / reproducing unit 34 includes an optical pickup. At the time of recording, the optical pickup irradiates the magneto-optical disk 31 with a recording laser beam.
[0075]
The optical pickup generates a tracking error signal, a focus error signal, and a wobble signal including address information from the reflected light from the magneto-optical disk 31. The tracking error signal and the focus error signal from the recording / reproducing unit 35 are output to the servo unit 36. The servo unit 36 controls the tracking and focus of the optical pickup in the recording / reproducing unit 35, the control signal for controlling the rotation of the magneto-optical disk 31, and the control signal for controlling the movement of the optical pickup in the disk radial direction. Generate
[0076]
The wobble signal is output to the wobble signal detection unit 37. The wobble signal detection unit 37 determines whether the track currently being recorded or reproduced is odd or even, outputs a track determination result to the address decoder 38, and demodulates address information from the wobble signal. The address information is output to the address decoder 38. Further, the wobble signal detection unit 37 extracts a sine wave carrier signal from the wobble signal and supplies the extracted carrier signal to the servo unit 36.
[0077]
The address decoder 38 calculates an address from the address information signal and the track discrimination signal supplied from the wobble signal detection unit 37, and outputs the address to the system controller 39. The system controller 39 outputs a predetermined control signal to the servo unit 36 in accordance with the address information supplied from the address decoder 38, and when a signal corresponding to a predetermined operation is supplied from the input device 40, A corresponding control signal is output to the servo unit 36 to control the recording / reproducing unit 35.
[0078]
The reproduced data read by the optical pickup of the magneto-optical disk 31 and obtained by the processing in the recording / reproducing unit 35 is supplied to the data demodulator 41. In the data demodulator 41, demodulation processing of digital modulation performed during recording, for example, RLL (1, 7) is performed. Reproduction data is extracted from an output terminal 42 of the data demodulator 41.
[0079]
The present invention is not limited to the embodiment of the present invention described above, and various modifications and applications are possible without departing from the gist of the present invention. INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is widely applicable to an optical recording medium in which a groove is formed along a recording track and an optical recording medium manufacturing master used in the manufacturing thereof, and is an object of the present invention. For example, any of a read-only optical recording medium, an optical recording medium capable of repeatedly rewriting data, and an optical recording medium capable of additionally writing data but not erasing data may be used.
[0080]
Also, the data recording method is not particularly limited, and examples of the optical recording medium to which the present invention is applied include a read-only optical recording medium in which data is written in advance, and a data recording medium utilizing a magneto-optical effect. Or a phase-change type optical recording medium for recording and reproducing data utilizing a phase change of a recording layer.
[0081]
Further, the present invention can be widely applied to an optical recording medium in which a groove is formed in at least a part of a recording area, and an optical recording medium manufacturing master used for manufacturing the optical recording medium. That is, for example, a groove may be formed in the entire recording area, or an area in which data is recorded by embossed pits without forming a groove, such as magneto-optical disks A and B, may be formed. It may exist in the recording area.
[0082]
【The invention's effect】
As described above in detail, according to the present invention, even if the groove side surface is wobbled in a fine wave shape with a high frequency wobble equal to or higher than the cutoff frequency, the wobble address signal of the groove wobbled at a low frequency (for example, 84.672 kHz). And a sufficiently stable recording / reproducing operation is possible. Further, even if the groove side surface is wobbled in a fine wave shape with a high frequency wobble of a clock frequency of 9.091 MHz (period 1T) or a frequency of 4.545 MHz (period 2T) which is half of the clock frequency, the groove wobbled at a low frequency. The wobble address signal can be reproduced, and a sufficiently stable recording / reproducing operation can be performed.
[0083]
According to the present invention, it is possible to provide an optical recording medium capable of stably reproducing a wobble signal even when the side surface of a groove is finely wavy due to wobbles subjected to multiple exposure. Further, the present invention can provide an optical recording medium manufacturing master disc capable of manufacturing such an optical recording medium. The present invention can also provide a recording / reproducing apparatus and a recording / reproducing method for performing recording and / or reproducing processing on such an optical recording medium.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an enlarged main part of an example of a magneto-optical disk to which the present invention is applied.
FIG. 2 is an enlarged view showing a part of a recording area of a magneto-optical disk to which the present invention is applied.
FIG. 3 is a diagram showing an outline of an optical system of an example of a laser cutting apparatus used when producing a recording medium and a master for producing a recording medium according to the present invention.
FIG. 4 is a block diagram of an example of a recording / reproducing apparatus that performs recording / reproduction on a magneto-optical disk to which the present invention is applied.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Magneto-optical disk, 2 ... Disk substrate, 3 ... Recording layer, 4 ... Protective layer, 10 ... Laser cutting device, 11 ... Glass substrate, 12 Photoresist , 13 ... light source, 18 ... deflection optical system, 20 ... acousto-optic deflector (AOD), 19, 21 ... wedge prism, 22 ... driver, 23 ... voltage controlled oscillator ( VCO), 24 ... objective lens

Claims

A groove wobbled at a low frequency is formed along the recording track, and a groove wobbled in a fine wave shape on the groove side surface with a high frequency wobble equal to or higher than the cutoff frequency of the optical recording / reproducing apparatus is superimposed. Optical recording medium.

In claim 1,
An optical recording medium, wherein the high frequency equal to or higher than the cutoff frequency is a clock frequency (period 1T) or a half frequency (period 2T) of the clock frequency.

An optical recording medium comprising: pits formed along a track; and pits wobbled in a fine wavy shape on a pit side surface with a high frequency wobble higher than a cutoff frequency of an optical recording / reproducing apparatus.

A groove wobbled at a low frequency is formed along the recording track, and a groove wobbled in a fine wave shape on the groove side surface with a high frequency wobble equal to or higher than the cutoff frequency of the optical recording / reproducing apparatus is superimposed. Master for producing optical recording media.

In claim 4,
A master for producing an optical recording medium, wherein the high frequency equal to or higher than the cutoff frequency is a clock frequency (period 1T) or a half frequency (period 2T) of the clock frequency.

A master for producing an optical recording medium, wherein pits are formed along a track, and pits are formed in which pits are wobbled in a fine wavy shape with a high frequency wobble higher than a cutoff frequency of an optical recording / reproducing apparatus. .

A recording and reproducing apparatus for performing recording and / or reproducing processing on an optical recording medium,
In the optical recording medium, a groove wobbled at a low frequency is formed along a recording track, and a groove wobbled in a fine wave shape on a groove side surface with a high frequency wobble equal to or higher than a cutoff frequency of an optical recording / reproducing apparatus is superimposed. A recording / reproducing apparatus for reproducing wobble information of a groove wobbled at a low frequency and recording / reproducing data in the groove.

A recording and reproducing apparatus for performing recording and / or reproducing processing on an optical recording medium,
In the optical recording medium, pits are formed along tracks, and pits are formed in which pits are wobbled in a fine wavy shape with a high-frequency wobble equal to or higher than a cutoff frequency of an optical recording / reproducing apparatus, and the pit side is fine. A recording / reproducing apparatus for reproducing pits wobbled in a wave shape.

A recording and reproducing method for performing recording and / or reproducing processing on an optical recording medium,
In the optical recording medium, a groove wobbled at a low frequency is formed along a recording track, and a groove wobbled in a fine wave shape on a groove side surface with a high frequency wobble equal to or higher than a cutoff frequency of an optical recording / reproducing apparatus is superimposed. A recording / reproducing method for reproducing wobble information of a groove wobbled at a low frequency and recording / reproducing data in the groove.

A recording and reproducing method for performing recording and / or reproducing processing on an optical recording medium,
In the optical recording medium, pits are formed along a track, and pits are formed in a wobbled pit side with a high frequency wobble equal to or higher than a cutoff frequency of an optical recording / reproducing apparatus, and the pit side is fine. A recording / reproducing method for reproducing pits wobbled in a wave shape.