JP2004037038A

JP2004037038A - 有機成分含有空気および廃液の処理方法と処理装置

Info

Publication number: JP2004037038A
Application number: JP2002197969A
Authority: JP
Inventors: Ryosuke Shibata; 柴田　良輔
Original assignee: Niigata Power Systems Co Ltd
Current assignee: Niigata Power Systems Co Ltd
Priority date: 2002-07-05
Filing date: 2002-07-05
Publication date: 2004-02-05

Abstract

【課題】有機成分含有空気と有機成分含有廃液を同時に効率的に処理すると共に、設備費用を安価にする。
【解決手段】過給機２におけるコンプレッサー３の空気出口とタービン４の排気ガス入口とを連絡する連絡管（通路）５ａ、排気管（通路）５ｂに燃焼器５を装備し、有機廃棄物排出源Ｗから有機溶剤含有廃液（有機成分含有廃液）Ｗ２を廃液供給管７によって蒸留装置９を経て燃焼器５に供給すると共に、有機廃棄物排出源Ｗからの有機溶剤ガスＷ１を含む空気（有機成分含有空気）を、ダクト６によって濃縮装置１０、吸気冷却装置１１を経てコンプレッサー３に吸引させ、圧縮した後に燃焼器５に送り、燃焼器５内で有機成分含有廃液を有機成分含有空気で燃焼させ、この燃焼により発生する燃焼ガスでタービン４を回転させる。これにより、有機溶剤ガスＷ１と有機溶剤廃液Ｗ２が同時に燃焼処理される。
【選択図】　　　　図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、印刷工場、半導体製造工場や塗装工場等において発生する有機溶剤ガス、有機溶剤廃液等の有機成分含有空気および有機成分含有廃液を処理する処理方法と処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、塗装工場等において塗装作業に伴って発生する低濃度の有機溶剤ガス（悪臭ガス）を除去処理するため、前記有機溶剤ガスを含む空気をダクトに集めてガスタービンのコンプレッサーに送って圧縮し、この圧縮された空気をガスタービンの燃焼器に供給し、燃焼器に投入された燃料油を燃焼させ、この燃料油の燃焼により発生した高温の燃焼ガスで前記有機溶剤ガスである悪臭成分を分解、除去すると共に、燃焼ガスによってタービンを回転させて発電機を駆動し、電力を得るようにした有機溶剤ガス処理装置が知られている（特開２００２−４８９０号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来の有機溶剤ガス処理装置は、ガスタービンの燃焼器においてその燃焼温度によって有機溶剤ガスである悪臭成分は分解、除去できるものの、例えば、塗装工場等において有機溶剤ガスと一緒に発生する有機溶剤廃液を同時に処理することができない。このため、前記有機溶剤廃液を処理するには別途に処理装置を設備する必要があり、この場合には、その処理装置のために余分な設置スペースや設備費用の発生を余儀なくされる問題がある。
さらに、ガスタービンを使用して電力を得ているので、エネルギーの有効利用が図られるものの、発電機の周波数維持のためにガスタービンを一定回転で運転しなければならず、高価で保守整備が複雑なガスタービンを要するうえに、装置の運転を制御する制御装置が複雑、高価となるので、装置全体の設備導入コストが嵩む問題がある。
【０００４】
本発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、有機溶剤ガスを含む空気等の有機成分含有空気と有機成分含有廃液とを同時に効率的に処理することができると共に、設備費用が安くて済む有機成分含有空気および廃液の処理方法と処理装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記課題を解決するために、以下の点を特徴としている。
すなわち、請求項１に係る有機成分含有空気および廃液の処理方法は、過給機のコンプレッサーの空気出口とタービンの排気ガス入口とを連絡する通路に燃焼器を装備し、有機廃棄物排出源から有機成分含有廃液を前記燃焼器に供給すると共に、有機廃棄物排出源から有機成分含有空気をコンプレッサーで吸引、圧縮して前記燃焼器に送り、燃焼器内で前記有機成分含有廃液を前記有機成分含有空気で燃焼させ、この燃焼により発生する燃焼ガスで前記タービンを回転させることを特徴としている。
【０００６】
また、請求項２に係わる有機成分含有空気および廃液の処理装置は、過給機と、該過給機のコンプレッサーの空気出口とタービンの排気ガス入口とを連絡する通路に設けた燃焼器と、過給機のコンプレッサーの空気入口に連絡され該コンプレッサーに有機廃棄物排出源から有機成分含有空気を供給するダクトと、前記燃焼器に有機廃棄物排出源から有機成分含有廃液を供給する廃液供給管とを備えていることを特徴としている。
【０００７】
また、請求項３に係る有機成分含有空気および廃液の処理装置は、請求項２に記載の処理装置において、前記過給機には、その始動時に回転軸を駆動して過給機を自立運転させるための起動装置が付設されていることを特徴としている。
【０００８】
また、請求項４に係る有機成分含有空気および廃液の処理装置は、請求項２または請求項３に記載の処理装置において、前記過給機の回転軸の回転速度が許容値を超えたときに、前記ダクトを通してコンプレッサーに供給される前記有機成分含有空気の供給量と前記廃液供給管を通して前記燃焼器に供給される有機成分含有廃液の供給量とを制限し、前記過給機の過速度を防止する保護装置を設けたことを特徴としている。
【０００９】
また、請求項５に係る有機成分含有空気および廃液の処理装置は、請求項２〜４のいずれかに記載の処理装置において、前記廃液供給管には、過給機のタービンからの排気によって熱投入され、前記有機成分含有廃液を蒸留して得た有機成分含有液を前記燃焼器へ送り出す蒸留装置が設けられていることを特徴としている。
【００１０】
また、請求項６に係る有機成分含有空気および廃液の処理装置は、請求項２〜５のいずれかに記載の処理装置において、前記ダクトには、前記過給機のタービンからの排気によって熱投入されて前記有機成分含有空気中の有機成分ガスの濃度を高める濃縮装置と、該濃縮装置から前記過給機のコンプレッサーに吸引される燃焼用空気を冷却する冷却装置とが設けられていることを特徴としている。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態に係る有機成分含有空気および廃液の処理装置について図１を参照して説明する。
図１において、１は本発明の一実施の形態に係る有機成分含有空気および廃液の処理装置を示す。
この実施の形態に係る有機成分含有空気および廃液の処理装置１は、印刷工場、半導体製造工場、塗装工場等の有機成分含有空気および廃液を排出する設備（以下、有機廃棄物排出源Ｗという）に隣接して設置され、過給機２と、該過給機２のコンプレッサー３の空気出口とタービン４の排気ガス入口とに連絡して設けた燃焼器５と、前記廃棄物排出源Ｗから過給機２のコンプレッサー３の空気入口に有機溶剤ガスＷ１を含む空気（有機成分含有空気）を燃焼用空気として送るダクト６、前記有機廃棄物排出源Ｗから前記燃焼器５に有機溶剤廃液（有機成分含有廃液）Ｗ２を燃料として供給する廃液供給管７と、燃料油を燃焼器５に供給する燃料油管８と、前記廃液供給管７の途中に設けた蒸留装置９と、前記ダクト６の途中に設けた濃縮装置１０と、該濃縮装置１０と前記コンプレッサー３との間のダクト６に設けた吸気冷却装置１１とを備えている。
【００１２】
前記燃焼器５は、その空気入口から燃焼室内に空気を導入し、燃料噴射弁から前記燃焼室内に燃料を噴射させて点火プラグで着火、燃焼させ、その燃焼ガスを排気出口から燃焼室外へ排出するようにしたものであり、前記空気入口がコンプレッサー３の空気出口に連絡管（通路）５ａを介して連絡されて、コンプレッサー３で圧縮された前記有機成分含有空気が前記燃焼室内に導入され、また、前記排気出口が排気管（通路）５ｂを介してタービン４の排気ガス入口に連絡されて、燃焼器５からの高温の燃焼ガスでタービン４が回転されるようになっている。前記燃焼器５としてはガスタービンの燃焼器等を利用することができる。
【００１３】
前記蒸留装置９は、その詳細やポンプ、貯留槽等の付属機器について図示しないが、前記廃液供給管７によって内部に導入された有機廃棄物排出源Ｗからの有機溶剤廃液Ｗ２を、前記タービン４の排気ガス出口に接続された排気ダクト１２を通る排気によって加熱し、蒸発した有機溶剤蒸気を冷却水で冷却して凝縮させ、これにより精製、濃縮された有機溶剤液（有機成分液）として前記燃焼器５に送るようになっている。そして、前記処理装置１の起動時や、前記廃棄物排出源Ｗからの有機溶剤廃液Ｗ２の排出量が少なく、前記蒸留装置９から燃焼器５に送られる有機溶剤液が少ないときには、前記燃料油管８から有機溶剤液の不足分に相当する灯油等の燃料油が、補助燃料として、図示しない流量調整弁等を経て廃液供給管７に導入されるようになっている。
【００１４】
前記濃縮装置１０は、その詳細やブロア等の付属機器について図示しないが、前記有機廃棄物排出源Ｗからダクト６によって内部に導入された前記有機成分含有空気を吸着処理域で吸着剤層を通過させて、該吸着剤層に有機成分含有空気中の有機溶剤ガスＷ１を吸着させ、脱着処理域で、前記排気ダクト１２から分岐した分岐ダクト（排気ダクト）１２ａを通る排気から熱投入されて加熱された脱着用空気中に、吸着剤層に吸着捕集された有機溶剤ガスＷ１を脱着放出させることにより、装置の入口側より出口側の有機溶剤ガスＷ１の濃度を高めた有機成分含有空気を、下流側のダクト６に送るようになっている。前記濃縮装置１０としては吸着ロータを有して前記吸着と脱着を連続的に繰り返して行える回転型濃縮装置を好適に使用することができる。
【００１５】
前記吸気冷却装置１１は、電動モータ１３で駆動されるファン１４から空気ダクト１５を介して送風される冷却空気によって、前記濃縮装置１０で昇温された高温の有機成分含有空気を強制的に冷却した後に前記コンプレッサー３の空気入口側に送るものであり、プライマリーサーフェイス型熱交換器、プレートフィン型熱交換器、フィンアンドチューブ型熱交換器等のプレート式熱交換器が使用されている。他の形式の熱交換器を使用してもよい。
【００１６】
前記過給機２には、処理装置１の運転を開始するに際して、過給機２を自立運転させるために必要な起動装置１６が備えられている。該起動装置１６は、例えば、圧縮空気槽からの高圧空気で回転されるエアモータで減速機等を介して、コンプレッサー３とタービン４の回転軸３ａを回転させ、回転後前記エアモータと回転軸３ａとの連結を解除するようにしたもの、または圧縮空気槽から高圧空気を直接コンプレッサー３のインペラに吹き付けて回転軸３ａを回転させるものであり、ガスタービンの起動装置と同様なものを使用することができる。
【００１７】
また、過給機２には、前記回転軸３ａに設けた被検出部３ｂをピックアップ１７ａで回転軸３ａの回転を検知してその回転速度を検出する回転速度センサ１７が設けられており、過給機２の回転軸３ａが許容回転速度を超えたときには、制御装置１８から指令が出されて前記ダクト６における前記濃縮装置１０の上流側に設けたダンパ１９の開度を調節すると共に、前記廃液供給管７における蒸留装置９の上流側に設けた流量調整バルブ２０の開度を調節して、前記燃焼器５に供給される有機成分含有空気と有機溶剤廃液の量を調整して過給機２の過回転が抑えられるように構成されている。前記回転速度センサ１７、制御装置１８、ダンパ１９、流量調整バルブ２０等で過給機２の過速度を防止する保護装置２１を構成している。
【００１８】
次に、前記実施の形態に係る有機成分含有空気および廃液の処理装置１の作用と共に、有機成分含有空気および廃液の処理方法を説明する。
処理装置１の操作盤等のスイッチで起動装置１６に始動指令が出されると、該起動装置１６によって過給機２のコンプレッサ３が回転されると共に、灯油等の燃料油が燃料油管８を介して燃焼器５に送られてコンプレッサー３からの燃焼用空気で燃焼し、これにより、燃焼器５で発生した燃焼ガスでタービン４が回転してコンプレッサー３が回転し、処理装置１の暖機運転が行われる。
【００１９】
前記暖機運転が所定時間行われた後、制御装置１８を介して前記ダクト４のダンパ１９と前記廃液供給管７の流量調節バルブ２０の開度が調整されると、例えば、印刷工場で印刷機（有機廃棄物排出源Ｗ）から有機溶剤であるガス状のトルエン（有機成分）を低濃度に含む４０℃程度の空気、すなわちトルエン含有空気（有機成分含有空気）がダクト６を介してコンプレッサー３で吸引される一方、前記有機廃棄物排出源Ｗから排出されるトルエン含有廃液（有機成分含有廃液）が図示しないポンプを介して廃液供給管７から前記燃焼器５に向けて送り出される。
【００２０】
前記コンプレッサー３で吸引された前記トルエン含有空気は、先ず、濃縮装置１０において、過給機２のタービン４から排気ダクト１２と分岐ダクト１２ａを介して排出される排気から熱投入されてトルエン含有空気中のトルエンガスの濃度が高められ、１５０℃程度に昇温した後に吸気冷却装置１１に送られる。該吸気冷却装置１１に送られたトルエン含有空気は、ファン１４から空気ダクト１５を介して送風される冷却空気で５０℃程度に冷却された後、コンプレッサー３にて圧縮され、１９０℃程度に昇温され前記燃焼器５に供給される。
【００２１】
一方、前記廃液供給管７に送り出されたトルエン含有廃液は、蒸留装置９において、タービン４から排気ダクト１２を介して排出される３００℃程度の排気から熱投入されて濃縮、精製されたトルエン溶液（有機成分液）として燃焼器５に供給され、該燃焼器５において燃料としてのトルエン溶液が該燃焼器５に供給された前記トルエン含有空気で燃焼され、これにより発生した高温（６００℃程度）の燃焼ガスでタービン４が回転すると共に、前記高温の燃焼ガスによって前記トルエン含有空気中の高濃度のトルエン（臭気成分）が分解、除去される。
このようにして、前記処理装置１においてはトルエン含有空気およびトルエン含有廃液（有機成分含有空気および廃液）の処理の運転が行われ、前記燃焼器５でトルエンガスとトルエン溶液の両方が同時燃焼処理されることとなる。
【００２２】
前記タービン４を出た燃焼ガスの排気は、一部が排気ダクト１２を通って前記蒸留装置９における熱源として利用され、残部が分岐ダクト１２ａを経て前記濃縮装置１０へ熱投入してから、前記蒸留装置９を通過した排気ダクト１２に合流されて煙突等（図示せず）から系外へ排出される。
前記処理装置１の運転中、有機廃棄物排出源Ｗからのトルエン含有廃液の流量が少ないときは、燃料油管８の図示しない流量調整弁が開いて燃料油を補助燃料として廃液供給管７に混合させて前記燃焼器５に供給して、処理装置１の運転を安定的に継続させる。
【００２３】
また、前記処理装置１の運転中は、過給機２の回転軸３ａの回転速度が回転速度センサ１７で監視され、前記有機廃棄物排出源Ｗの運転状況等によって、トルエン含有空気のコンプレッサー３への供給量が異常に増加したり、また、トルエン溶液の前記燃焼器５への供給量が異常に増加して前記回転軸３ａの回転速度が許容値を超える場合には、制御装置１８からの指令で前記ダクト６のダンパ１９や前記廃液供給管７の流量調整弁２０が絞られて、コンプレッサー３へのトルエン含有空気の供給量や燃焼器５へのトルエン溶液の流量を減少調整され、これにより、前記回転軸３ａの過回転が防止されて過給機２の安全運転が維持される。
【００２４】
この実施の形態の有機成分含有空気および廃液の処理装置１および処理方法によれば、有機廃棄物排出源Ｗから排出されるトルエン含有空気を、ダクト６を介して過給機２のコンプレッサー３に吸引し、該コンプレッサー３で圧縮して過給機２に付設した燃焼器５に供給し、また、有機廃棄物排出源Ｗから排出されるトルエン含有廃液を廃液供給管７を介して前記燃焼器に燃料として供給し、前記燃焼器においてトルエン含有溶液をトルエン含有空気で燃焼させるようにしたので、トルエン含有空気とトルエン含有廃液の両方を１台の処理装置１で同時に効率よく処理することができる。
しかも、トルエン含有空気および廃液の処理にあたり、従来のように発電機を駆動するガスタービンを利用していないので、発電機やその周波数維持のために必要なガバナ等を含む高価な制御装置を削減することができると共に、処理装置１を小型、軽量にして設置スペースを小さくすることができ、設備導入コストを低減することができる。
【００２５】
また、前記実施の形態の有機成分含有空気および廃液の処理装置１によれば、発電機を駆動しないので、有機廃棄物排出源Ｗからの過給機２のコンプレッサー３に送られるトルエン含有空気やトルエン含有廃液の流量、濃度の変化に対応して、過給機２の回転数を広範囲にして運転することができ、その運転の制御が簡単になる上に、前記トルエン含有空気やトルエン含有廃液の流量、濃度が異常に上昇して前記過給機２の回転軸３ａが許容回転速度を超える場合には、前記回転速度センサ１７、制御装置１８、ダンパ１９、流量調整バルブ２０等からなる保護装置２１が直ちに機能して、前記回転軸３ａの過回転を防止するので、過給機２に異常が発生するおそれはなく、その安全を確保して運転を継続することができる。
そして、前記過給機２には、起動装置１６が付設されているので、該起動装置１６によって過給機２を自立運転させることによって、処理装置１の運転開始を円滑、容易に行うことができる。
【００２６】
また、前記トルエン含有空気は、前記濃縮装置１０でトルエンの濃度が高められ、かつ、濃縮装置１０での濃縮操作で昇温しても、吸気冷却装置１１で適切に冷却された後にコンプレッサー３で吸引、圧縮されて燃焼器５に導入され、一方、前記トルエン含有廃液は、蒸留装置９で精製、濃縮されて燃焼器５に供給されるので、燃料油を使用せずに、もしくは燃料油の使用を節減してトルエン含有空気とトルエン含有廃液の両者を効果的に燃焼させることができ、処理装置によるそれらの処理能力を良好に高めることができる。
しかも、前記濃縮装置１０と蒸留装置９はいずれも過給機２のタービン４からの排気で熱投入されるので、他の熱源が不要であり、排気熱を有効に回収、利用することができ、処理装置１に対する付加設備を節約することができる。
【００２７】
また、前記吸気冷却装置１１は、コンプレッサー３から燃焼器５に送るトルエン含有空気をファン１４から送風される冷却空気で強制冷却することができるので、前記トルエン含有空気中に純水を噴射してトルエン含有空気を直接冷却したり、１次冷却流体を得るために冷凍機等の冷熱源を設ける必要がないため、処理装置１の付帯設備を低廉にすることができる。
また、印刷機のように頻繁に運転、停止を繰り返す有機廃棄物排出源Ｗの運転、停止に合わせて処理装置１の運転、停止を頻繁に行うと、前記過給機２，蒸留装置９や濃縮装置１０の故障を起こしてそれらの寿命が短くなるおそれがあるが、前記実施の形態に係る有機成分含有空気および廃液の処理装置１によれば、印刷機の運転の停止時には、前記制御装置１８によってダンパ１９、流量調整バルブ２０や燃料油管８の図示しない前記流量調節弁を操作して、燃料油管８からの少量の燃料油によって過給機２を待機運転で運転を継続することができるので、前記問題を解決することができる。
【００２８】
なお、前記実施の形態に係る有機成分含有空気および廃液の処理装置１では、燃料油管８を廃液供給管７の途中で合流させたが、燃料油管８を廃液供給管７に合流させずに、前記燃焼器５に並列に接続してもよい。
また、前記実施の形態に係る有機成分含有空気および廃液の処理装置１と該処理装置１を用いた処理方法では、トルエンを含む空気および廃液を処理対象としたが、本発明においては、有機成分含有空気および廃液は、トルエンを含む空気および廃液に限らず、メタノール、メチルエチルケトン、イソプロピレンアルコール等の混合溶剤含有空気および廃液を処理対象とすることができる。
【００２９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば以下の優れた効果を奏する。
請求項１に係る有機成分含有空気および廃液の処理方法と請求項２に係る有機成分含有空気および廃液の処理装置によれば、有機廃棄物排出源から排出される有機成分含有空気を、過給機のコンプレッサーに吸引し、該コンプレッサーで圧縮して過給機に付設した燃焼器に供給し、また、有機廃棄物排出源から排出される有機成分含有廃液を前記燃焼器に燃料として供給し、該燃焼器において有機成分含有溶液を前記有機成分含有空気で燃焼させるので、有機成分含有空気と有機成分含有廃液の両方を１台の処理装置で同時に効率よく処理することができる。しかも、有機成分含有空気および廃液の処理にあたり、従来のように発電機を駆動するガスタービンを利用していないので、発電機やその周波数維持のために必要なガバナ等を含む高価な制御装置を削減することができると共に、処理装置を小型、軽量にして設置スペースを小さくすることができ、設備導入コストを低減することができる。
【００３０】
請求項３に係る有機成分含有空気および廃液の処理装置によれば、起動装置によって過給機を自立運転させることによって、処理装置の運転開始を円滑、容易に行うことができる。
請求項４に係る有機成分含有空気および廃液の処理装置によれば、過給機の過速度を防止する保護装置を設けたので、前記過給機は、その回転軸の過回転が防止されて異常を発生するおそれがなく、安全な運転を確実に維持することができる。
【００３１】
請求項５に係る有機成分含有空気および廃液の処理装置によれば、有機廃棄物排出源からの有機成分含有廃液が蒸留装置で精製、濃縮されて燃焼器に供給されるので、燃料油を使用せずに、もしくは燃料油の使用を節減して有機成分含有廃液を効果的に燃焼させることができると共に、処理装置による処理能力を高めることができる。
【００３２】
請求項６に係る有機成分含有空気および廃液の処理装置によれば、廃棄物排出源からの有機成分含有空気が、濃縮装置で有機成分の濃度を高められ、吸気冷却装置で適切に冷却された後に過給機のコンプレッサーで吸引、圧縮されて燃焼器に導入されるので、燃焼器に供給された有機成分含有廃液を効果的に燃焼させることができ、処理装置による処理能力を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係る有機成分含有空気および廃液の処理装置を示す系統図である。
【符号の説明】
１　有機成分含有空気および廃液の処理装置　　２　過給機
３　コンプレッサー　　　　　　　　　　　　　４　タービン
５　燃焼器　　　　　　　　　　　　　　　　　６　ダクト
７　廃液供給管　　　　　　　　　　　　　　　８　燃料油管
９　蒸留装置　　　　　　　　　　　　　　　　１０　濃縮装置
１１　吸気冷却装置　　　　　　　　　　　　　１２　排気ダクト
１４　ファン　　　　　　　　　　　　　　　　１６　起動装置
１７　回転速度センサ　　　　　　　　　　　　１８　制御装置
１９　ダンパ　　　　　　　　　　　　　　　　２０　流量調節弁
Ｗ　有機廃棄物排出源

Claims

過給機のコンプレッサーの空気出口とタービンの排気ガス入口とを連絡する通路に燃焼器を装備し、有機廃棄物排出源から有機成分含有廃液を前記燃焼器に供給すると共に、有機廃棄物排出源から有機成分含有空気をコンプレッサーで吸引、圧縮して前記燃焼器に送り、燃焼器内で前記有機成分含有廃液を前記有機成分含有空気で燃焼させ、この燃焼により発生する燃焼ガスで前記タービンを回転させることを特徴とする有機成分含有空気および廃液の処理方法。
過給機と、該過給機のコンプレッサーの空気出口とタービンの排気ガス入口とを連絡する通路に設けた燃焼器と、過給機のコンプレッサーの空気入口に連絡され該コンプレッサーに有機廃棄物排出源から有機成分含有空気を供給するダクトと、前記燃焼器に有機廃棄物排出源から有機成分含有廃液を供給する廃液供給管とを備えていることを特徴とする有機成分含有空気および廃液の処理装置。
前記過給機には、その始動時に回転軸を駆動して過給機を自立運転させるための起動装置が付設されていることを特徴とする請求項２に記載の有機成分含有空気および廃液の処理装置。
前記過給機の回転軸の回転速度が許容値を超えたときに、前記ダクトを通してコンプレッサーに供給される前記有機成分含有空気の供給量と前記廃液供給管を通して前記燃焼器に供給される有機成分含有廃液の供給量とを制限し、前記過給機の過速度を防止する保護装置を設けたことを特徴とする請求項２または３に記載の有機成分含有空気および廃液の処理装置。
前記廃液供給管には、過給機のタービンからの排気によって熱投入され、前記有機成分含有廃液を蒸留して得た有機成分含有液を前記燃焼器へ送り出す蒸留装置が設けられていることを特徴とする請求項２〜４のいずれかに記載の有機成分含有空気および廃液の処理装置。
前記ダクトには、前記過給機のタービンからの排気によって熱投入されて前記有機成分含有空気中の有機成分の濃度を高める濃縮装置と、該濃縮装置から前記過給機のコンプレッサーに吸引される有機成分含有空気を冷却する冷却装置とが設けられていることを特徴とする請求項２〜５に記載の有機成分含有空気および廃液の処理装置。