[go: up one dir, main page]

JP2004021003A - Alignment adjustment device and alignment adjustment method - Google Patents

Alignment adjustment device and alignment adjustment method Download PDF

Info

Publication number
JP2004021003A
JP2004021003A JP2002176876A JP2002176876A JP2004021003A JP 2004021003 A JP2004021003 A JP 2004021003A JP 2002176876 A JP2002176876 A JP 2002176876A JP 2002176876 A JP2002176876 A JP 2002176876A JP 2004021003 A JP2004021003 A JP 2004021003A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
connection
display panel
wiring board
connection terminal
observation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2002176876A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Motohisa Haga
羽賀 元久
Shunji Amano
天野 俊二
Motosuke Omi
大海 元祐
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP2002176876A priority Critical patent/JP2004021003A/en
Publication of JP2004021003A publication Critical patent/JP2004021003A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

【課題】電極端子とスルーホールとを高精度に位置合わせすることが可能なアライメント調整装置およびアライメント調整方法を提供する。
【解決手段】FPC用ステージ35を挟んで表示パネル用ステージ24と反対側に、CCDカメラ42A,42Bを配置する。表示パネル用ステー24とFPC用ステージ35との間にCCDカメラ42A,42Bの配置スペースを確保する必要がないため、表示パネルにFPCを接続させる際のFPC用ステージ35の移動距離が小さくなる。表示パネルの電極端子とFPCのスルーホールとを正常に位置合わせ可能な正規の移動軸からFPC用ステージ35の移動軸がずれていたとしても、FPC用ステージ35の移動に伴う電極とスルーホールとの位置ずれ量が小さくなるため、電極端子とスルーホールとを高精度に位置合わせすることが可能になる。
【選択図】  図1
An alignment adjusting device and an alignment adjusting method capable of aligning an electrode terminal and a through hole with high accuracy are provided.
SOLUTION: CCD cameras 42A and 42B are arranged on the opposite side of the display panel stage 24 with the FPC stage 35 interposed therebetween. Since there is no need to secure a space for disposing the CCD cameras 42A and 42B between the display panel stay 24 and the FPC stage 35, the movement distance of the FPC stage 35 when connecting the FPC to the display panel is reduced. Even if the moving axis of the FPC stage 35 is displaced from the normal moving axis that allows the electrode terminals of the display panel and the through holes of the FPC to be properly aligned, the electrodes and the through holes associated with the movement of the FPC stage 35 can be used. Since the amount of misalignment is small, the electrode terminal and the through hole can be aligned with high accuracy.
[Selection diagram] Fig. 1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、表示パネルと配線基板とを含んで構成される例えば有機エレクトロルミネセンス(EL;electroluminescence )ディスプレイの製造工程において使用されるアライメント調整装置およびこのアライメント調整装置を利用したアライメント調整方法に関し、特に、表示パネルに設けられた接続端子と配線基板に設けられた接続孔とを互いに位置合わせするために使用されるアライメント調整装置およびアライメント調整方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、各種表示機構を有する多様なディスプレイが広く普及している。中でも、有機EL現象を利用した有機ELディスプレイは、主に、画質性能が高く、かつ消費電力が少ない点で優れている。
【0003】
ところで、最近では、ディスプレイ分野において表示画面の大型化が望まれている。有機ELディスプレイの表示画面を大型化する手法としては、例えば、ガラス等の透過性基板に画素を構成する複数の有機EL素子が設けられてなる表示パネルに、配線接続用のプリント配線基板(FPC)を接続させることにより表示ユニットを構成し、複数の表示ユニットをマトリックス状に連結させることにより所望の表示画面サイズを構成する手法が挙げられる。この手法では、例えば、表示パネルの裏面(表示面と反対側の面)に各有機EL素子ごとに設けられた複数の電極端子と、これらの電極端子に対応してFPCに設けられた複数のスルーホールとが互いに位置合わせされたのち、半田等を利用して電極端子とスルーホールとが互いに接続される。
【0004】
電極端子とスルーホールとを接続させる際には、例えば、高い接続精度を確保するために、電極端子とスルーホールとを高精度に位置合わせする必要がある。そこで、電極端子とスルーホールとの位置合わせ作業は、例えば、表示パネルやFPCに位置合わせ確認用のアライメントマークを設け、このアライメントマークを視認可能なアライメント調整装置を使用して行われている。
【0005】
このアライメント調整装置は、例えば、汎用のフリップチップボンダを応用したものであり、表示パネルを装着するための表示パネル用ステージと、この表示パネル用ステージと対向配置され、FPCを装着するためのFPC用ステージと、表示パネル用ステージとFPC用ステージとの間に配置され、上下に位置する表示パネルおよびFPCの双方を同時に観察可能な光学系を有するCCD(charge coupled device )カメラとを備えている。表示パネル用ステージおよびFPC用ステージはいずれも互いに直交する3軸方向に移動可能であり、CCDカメラは、表示パネル用ステージとFPC用ステージとの間の位置(観察位置)と退避位置との間を移動可能になっている。
【0006】
このアライメント調整装置を使用した電極端子とスルーホールとの位置合わせ作業は、例えば、以下の手順により行われる。すなわち、まず、観察位置に位置したCCDカメラを利用して、表示パネルおよび配線基板の双方を観察し、複数の電極端子の位置およびこれらの電極端子と接続されることとなる複数のスルーホールの位置を確認する。続いて、CCDカメラにより観察された観察映像に基づいてFPC用ステージを移動させることにより、各電極端子の位置に対して各スルーホールの位置を一致させる。最後に、観察位置から退避位置にCCDカメラを移動させたのち、表示パネル用ステージに向かってFPC用ステージを移動させることにより、スルーホールごとに電極端子を挿通させる。これにより、複数の電極端子に対して複数のスルーホールが互いに位置合わせされる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のアライメント調整装置では、主に装置構成上の理由により、電極端子にスルーホールを位置合わせする際、十分な位置合わせ精度が得られないおそれがあるという問題があった。十分な位置合わせ精度が得られないと、電極端子とスルーホールとの接続不良が生じるため、有機ELディスプレイの歩留まりが低下してしまう。
【0008】
また、従来のアライメント調整装置では、装置が大型で高価なため、有機ELディスプレイの製造コストが高くなるという問題もあった。この点を考慮し、有機ELディスプレイの低コスト化を図る上での対策の1つとして、アライメント調整装置を低コスト化する必要がある。
【0009】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その第1の目的は、電極端子とスルーホールとを高精度に位置合わせすることが可能なアライメント調整装置およびアライメント調整方法を提供することにある。
【0010】
また、本発明の第2の目的は、低コスト化を実現可能なアライメント調整装置およびアライメント調整方法を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明のアライメント調整装置は、表示パネルに設けられた接続端子と配線基板に設けられた接続孔とを互いに位置合わせするために用いられるものであり、表示パネルを保持する第1の保持手段と、第1の保持手段により保持された表示パネルと対向するように配線基板を保持する第2の保持手段と、第2の保持手段を挟んで第1の保持手段と反対側に配置され、第1の保持手段により保持された表示パネルの接続端子および第2の保持手段により保持された配線基板の接続孔を観察するための観察手段と、観察手段により観察された観察映像に基づいて第1または第2の保持手段の少なくとも一方を移動させることにより、表示パネルの接続端子と配線基板の接続孔とを互いに位置合わせする位置合わせ手段とを備えるようにしたものである。
【0012】
本発明のアライメント調整方法は、表示パネルに設けられた接続端子と配線基板に設けられた接続孔とを互いに位置合わせする方法であり、第1の保持手段を用いて表示パネルを保持する第1のステップと、第2の保持手段を用いて、第1の保持手段により保持された表示パネルと対向するように配線基板を保持する第2のステップと、第2の保持手段を挟んで第1の保持手段と反対側に配置された観察手段を用いて、第1の保持手段により保持された表示パネルの接続端子および第2の保持手段により保持された配線基板の接続孔を観察する第3のステップと、位置合わせ手段を用いて、観察手段により観察された観察映像に基づいて第1または第2の保持手段の少なくとも一方を移動させることにより、表示パネルの接続端子と配線基板の接続孔とを互いに位置合わせする第4のステップとを含むようにしたものである。
【0013】
本発明のアライメント調整装置およびアライメント調整方法では、第2の保持手段を挟んで第1の保持手段と反対側の領域に観察手段が位置する。これにより、第1および第2の保持手段の間の領域に観察手段が位置する場合と比較して第1および第2の保持手段間の間隔が狭くなるため、表示パネルの接続端子と配線基板の接続孔との接続時における第1または第2の保持手段の移動距離が小さくなる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【0015】
まず、図1および図2を参照して、本発明の一実施の形態に係るアライメント調整装置の構成について説明する。図1はアライメント調整装置100の外観構成を表し、図2は図1に示したアライメント装置100の平面構成を表している。図2には、図1に示したアライメント装置100のうちの主要な構成要素のみを示している。なお、以下で(「」)書きが添付してある構成要素は、その構成要素が本発明の請求項中に記載された(「」)内の名称の要素に対応していることを表している。
【0016】
このアライメント調整装置100は、例えば、表示パネルとFPC(「配線基板」)と含んで構成される有機ELディスプレイの製造工程において利用され、表示パネルに設けられた複数の電極端子(「接続端子」)とFPCに設けられた複数のスルーホール(「接続孔」)とを互いに位置合わせするために使用されるものである。
【0017】
アライメント調整装置100は、ベース1上に設置された位置合わせ機構10およびモニタ50と、ベース1に隣接された操作パネル60とを含んで構成されている。
【0018】
位置合わせ機構10は、表示パネルおよびFPCを用いて電極端子とスルーホールとの位置合わせ作業を行うものであり、表示パネルを装着するための表示パネル装着機構20と、FPCを装着するためのFPC装着機構30(「位置合わせ手段」)と、電極端子およびスルーホールを観察するための観察機構40(「観察手段」)とを備えている。
【0019】
表示パネル装着機構20は、例えば、粗動2軸ステージ21と、微動2軸ステージ22と、回転ステージ23と、表示パネル用ステージ24(「第1の保持手段」)とがこの順に積層配置され、互いに連結された構成をなしている。
【0020】
粗動2軸ステージ21は、図中のX軸およびY軸の2軸方向に、大きな移動ピッチで表示パネル用ステージ24を移動させるものである。
【0021】
微動2軸ステージ22は、X軸およびY軸の2軸方向に、粗動2軸ステージ21よりも小さなピッチで表示パネル用ステージ24を移動させるものである。
【0022】
回転ステージ23は、図中の軸線Sを中心として表示パネル用ステージ24を回転させるものである。
【0023】
表示パネル用ステージ24は、表示パネルが装着される板状部材であり、例えば、表示パネルを吸引保持するための図示しない吸引チャックを含んで構成されている。
【0024】
FPC装着機構30は、例えば、2つのコラム31により支持された天板32から、4自由度アクチュエータ33およびフレーム34を介して、表示パネル用ステージ24と対向するようにFPC用ステージ35(「第2の保持手段」)が吊り下げられた構成をなしている。
【0025】
4自由度アクチュエータ33は、X軸、Y軸およびZ軸の3軸方向にFPC用ステージ35を移動させると共に、軸線Sを中心としてFPC用ステージ35を回転させるものである。
【0026】
フレーム34は、4自由度アクチュエータ33とFPC用ステージ35とを連結し、4自由度アクチュエータ33の動作をFPC用ステージ35に伝達するものである。
【0027】
FPC用ステージ35は、FPCが装着される板状部材である。このFPC用ステージ35は、例えば、後述するブロック70X,70Y(「保持具」;図3参照)に装着されたFPCを間接的に保持するものであり、ブロック70X,70Yを吸引保持するための図示しない吸引チャックを含んで構成されている。
【0028】
観察機構40は、例えば、天板32(「支持手段」)から微動3軸アクチュエータ41を介して3つのCCDカメラ42A(「第1の観察手段」),42B(「第2の観察手段」),42Cがそれぞれ吊り下げられた構成をなしている。
【0029】
微動3軸アクチュエータ41は、X軸、Y軸およびZ軸の3軸方向に、比較的小さい移動ピッチでCCDカメラ42A,42B,42Cをそれぞれ移動させるものである。
【0030】
CCDカメラ42A,42B,42Cは、FPC用ステージ35に装着されたFPC越しに表示パネルを観察するためのものであり、電極端子およびスルーホールの双方を同時に観察可能なものである。これらのCCDカメラ42A,42B,42Cは、FPC用ステージ35を挟んで表示パネル用ステージ24と反対側に配置されており、各CCDカメラ42A,42B,42Cは、例えば、図2に示したように、三角形の各頂点位置に、軸線Sを三方から囲むように配置されている。CCDカメラ42A,42B,42Cは、例えば、いずれもマクロレンズ43(例えば高倍率かつ小型の固定焦点マクロレンズ)および2直角偏向プリズム44を含んで構成されており、いずれの2つのCCDカメラ(例えば42A,42B)によりそれぞれ観察される観察領域間の幅も、それらの2つのCCDカメラ間の幅Lよりも小さくなっている。なお、各マクロレンズ43間の間隔は、所望の観察領域幅等に応じて連続的に変更可能である。
【0031】
モニタ50は、CCDカメラ42A,42B,42Cにより観察された電極端子およびスルーホールを表示するものである。このモニタ50は、例えば、CCDカメラ42A,42B,42Cのうちの任意の2つにより観察された2つの観察領域映像を同時に表示可能になっている。
【0032】
操作パネル60は、位置合わせ機構10の動作を制御するために用いられるものであり、各種スイッチ等を含んで構成されている。
【0033】
なお、アライメント調整装置100は、上記した一連の構成要素の他、例えば、表示パネル用ステージ24やFPC用ステージ35に設けられた吸引チャック等を吸引可能とするためのポンプや、位置合わせ機構10やモニタ50を稼働させるための電源等を含んで構成されている。
【0034】
次に、図3を参照して、ブロック70X,70Yの構成について説明する。図3は、ブロック70X,70Yの平面構成を拡大して表している。
【0035】
ブロック70X,70Yは、FPCが直接装着される中間装着部材であり、例えば、特定の平面構成を有するFPCのみならず、互いに異なる平面構成を有する複数種類のFPCが装着可能になっている。
【0036】
ブロック70Xは、例えば、ブロックベース71に、固定ネジ72を用いて3つのブロックパーツ73A,73B,73Eが固定されたものである。これらのブロックパーツ73A,73B,73Eは、例えば、互いに異なる平面構成を有して離間配置されており、各ブロックパーツ73A,73B,73Eには、例えば、FPCを吸引保持するための複数の吸引孔74が設けられている。図3では、例えば、ブロックパーツ73A,73B,73Eに吸引孔74がそれぞれ8つ,4つ,3つ設けられた場合を示している。なお、例えば、ブロックパーツ73Bはブロックパーツ73Aに近づく方向または離れる方向にスライド可能であり、ブロックパーツ73A,73B間の間隔は自由に調整可能になっている。また、例えば、ブロックパーツ73Eは、必要に応じて着脱可能になっている。
【0037】
ブロックパーツ73Eは、例えば、その厚み(図中の紙面に垂直な方向の寸法)が他のブロックパーツ73A,73Bの厚みよりも小さくなっており、吸引孔74による吸引機構を利用してFPCの形状を矯正する機構を有している。このブロックパーツ73Eの変形矯正機構に関する詳細については、後述する(図8参照)。
【0038】
ブロック70Yは、例えば、ブロック70Xとほぼ同様の構成を有するものである。すなわち、ブロック70Yは、固定ネジ72を用いてブロックベース71にブロックパーツ73C,73D,73Fが固定されたものであり、各ブロックパーツ73C,73D,73Fには吸引孔74が設けられている。ブロックベース73Fは、例えば、ブロックパーツ73Eと同様に、FPCの形状を矯正する機能を有している。
【0039】
次に、図4〜図6を参照して、アライメント調整装置100を使用した位置合わせ作業に用いられる表示パネルおよびFPCの構成について説明する。図4は表示パネル80およびFPC90の概略断面構成を表し、図5はFPC90の平面構成を拡大して表している。また、図6は表示パネル80に対するFPC90の接続配列パターンを説明するためのものである。
【0040】
表示パネル80は、有機ELディスプレイの画像表示部を構成するものであり、例えば、図4に示したように、透明なガラス基板81上に複数の有機EL発光素子180がマトリックス状に配設され、これらの有機EL発光素子180が絶縁層85中に埋設された構成をなしている。有機EL発光素子180は、例えば、ITO(インジウム錫酸化物)よりなる透明電極82と、正孔注入層,正孔輸入層,発光層などを含む有機EL膜83と、銅よりなる金属電極84とがこの順に積層された積層構造を含んで構成されている。透明電極82および金属電極84は、絶縁層85上に露出した透明電極端子86および金属電極端子87(「接続端子」)とそれぞれ接続されており、いずれも所定の間隔ごとに2次元的に配列されている。
【0041】
FPC90は、表示パネル80の裏面に接続される配線部材であり、例えば、互いに異なる複数の平面構成を有するように複数に分割されている。このFPC90には、図4に示したように、表示パネル80の透明電極端子86および金属電極端子87に対応する箇所に、端子接続用の複数のスルーホール93が所定の間隔ごとに2次元的に配列されて設けられており、スルーホール93の内径は、例えば、透明電極端子86や金属電極端子87の直径と同等か、それよりも若干大きくなっている。このFPC90は、例えば、図5に示したように、二股に分岐した平面構成を有しており、2つの接続部91A,91Bを有する一方の分岐側の配線部92Xと、2つの接続部91C,91Dを有する他方の分岐側の配線部92Yとを含んで構成されている。図4に示した複数のスルーホール93は、各接続部91A〜91Dごとに密集して設けられている。
【0042】
1つのFPC90に設けられるスルーホール93の個数は、例えば、透明電極端子86(または金属電極端子87)の配列ピッチ誤差とスルーホール93の配列ピッチ誤差とに基づいて決定されている。すなわち、例えば、直線状に配列されている複数の透明電極端子86および複数のスルーホール93を考えた場合、スルーホール93の配列個数をn、製造上生じるスルーホール93の配列ピッチ誤差レートをKe、透明電極端子86の配列ピッチをP、透明電極端子86とスルーホール93とを互いに位置合わせ可能な許容誤差をEaとすると、これらのパラメータ間には下記(α)式の関係がある。
【0043】
Ea≧Ke×P×n・・・(α)
【0044】
関係式(α)に基づき、透明電極端子86とスルーホール93とを互いに位置合わせ可能とするためには、スルーホール93の配列個数nが、下記(β)式の関係を満たせばよい。
【0045】
n≦Ea/(Ke×P)・・・(β)
【0046】
表示パネル80およびFPC90を含んで構成される有機ELディスプレイは、例えば、表示画面の大型化に対応したものである。すなわち、この有機ELディスプレイでは、例えば、1つの表示パネル80の裏面に、複数のFPC90が接続されるようになっている。1つの表示パネル80に対して複数のFPC90を接続させるようにしたのは、主に、FPC90を大型化した場合に生じる不具合、例えば、配線の長尺化に起因して、有機ELディスプレイの稼働時に電圧降下が生じることを防止したものである。表示パネル80を大型化した場合においても、その表示パネル80のサイズに応じてFPC90を増設することにより、電圧降下を防止しつつ、所望のサイズの表示画面を構成可能となる。なお、この有機ELディスプレイは、例えば、表示パネル80やFPC90の他に、表示画像に対応した表示信号を出力するための図示しない駆動回路基板等を含んで構成されている。FPC90と駆動回路基板とは互いに別体をなす場合もあるし、互いに接続されて一体をなす場合もある。
【0047】
表示パネル80は、例えば、図6に示したように、FPC90の接続配列パターンに基づいて規定された複数のパネルエリアR1〜R16に区分されている。この表示パネル80の裏面には、例えば、4つのパネルエリア(R1〜R4,R5〜R8,R9〜R12,R13〜R16)ごとに1つのFPC90が接続され、すなわち全体として4つのFPC90が接続されるようになっている。なお、図6では、例えば、パネルエリアR1〜R4のみにFPC90が接続された状態を示している。図6には表示パネル80にFPC90を接続させた状態を示しているため、図5に示した状態とはFPC90の表裏が反転している。
【0048】
次に、図1〜図13を参照して、アライメント調整装置100を使用したアライメント調整方法について説明する。図7はブロック70X,70Yに対するFPC90の装着手順を説明し、図8はブロック70X,70YによるFPC90の形状矯正機構を説明するためのものであり、図7に示したA−A線に沿った矢視断面構成を示している。図9はCCDカメラ42A,42Bにより観察される観察映像の一例を模式的に表している。図10〜図12は透明電極端子86とスルーホール93との位置合わせ手順を説明するためのものであり、図13は表示パネル80とFPC90との接続手順を説明するためのものであり、図4に対応している。なお、図10〜図12では、透明電極端子86およびスルーホール93をそれぞれ一列だけ模式的に示している。
【0049】
アライメント調整装置100を使用して位置合わせ作業を行う際には、位置合わせ作業を行う前に前準備を行う。
【0050】
すなわち、まず、吸引チャックを利用して表示パネル80を吸引することにより、表示パネル用ステージ24上に、透明電極端子86および金属電極端子87が上方を向くように表示パネル80を装着する。続いて、図7に示したように、吸引孔74を利用してFPC90を吸引することにより、ブロック70X,70Y上にFPC90を装着する。FPC90を装着する際には、例えば、ブロックパーツ73A,73Bに接続部91A,91Bがそれぞれ位置合わせされるようにブロック70Xに配線部92Xを装着すると共に、ブロックパーツ73C,73Dに接続部91C,91Dがそれぞれ位置合わせされるようにブロック70Yに配線部92Yを装着する。なお、図7に示した一端領域T1ならびに他端領域T2は、位置合わせ作業時にCCDカメラ42A,42Bによりそれぞれ観察されることとなる領域を示している。
【0051】
ブロック70Yに配線部92Yを装着した際、例えば、図8に示したように、配線部92Yのうちのブロックパーツ73C,73D間領域に対応する部分92YPが、例えば反りや屈曲等に起因して盛り上がり、配線部92Yが部分的に凸状に変形している場合(図中の破線参照)には、ブロックパーツ73Fに設けられた吸引孔74を利用して部分92YPを選択的に吸引することにより、配線部92Yを部分的に凹状に変形させるようにする。
【0052】
最後に、吸引チャックを利用してブロック70X,70Yを吸引することにより、FPC用ステージ35の下面に、表示パネル用ステージ24に装着された表示パネル80とFPC90とが対向するようにブロック70X,70Yを装着する。この際、例えば、後工程において表示パネル80にFPC90を仮止め可能とするために、図4に示したように、FPC90の表面にあらかじめ接着剤110を塗布しておく。
【0053】
前準備が完了したのち、まず、微動3軸アクチュエータ41を利用して、FPC90の接続部91Bに設けられたスルーホール93群のうちの一端領域T1がCCDカメラ42Aにより観察可能となり、かつ一端領域T1から最も遠い接続部91Cに設けられたスルーホール93群のうちの他端領域T2がCCDカメラ42Bにより観察可能となるように、CCDカメラ42A,42Bをそれぞれ移動させる。これにより、例えば、図9に示したように、モニタ50のモニタ画面51には、右画面51Rに、CCDカメラ42Aにより観察されている一端領域T1の映像が表示されると共に、左画面51Lに、CCDカメラ42Bにより観察されている他端領域T2の映像が表示される。
【0054】
この状態において、複数の透明電極端子86および複数のスルーホール93は、互いに位置合わせ可能な配列ピッチ精度を有すると共に、例えば、図10に示したように、透明電極端子86群(86A,86B・・・86Y,86Z)を結ぶ線N1に対して、スルーホール93群(93A,93B・・・93Y,93Z)を結ぶ線N2が傾いているものとする。なお、透明電極端子86A(「第1の接続端子」)とは表示パネル80に設けられた複数の透明電極端子86のうちの一端側最末端に位置し、透明電極端子86Bとは一端側最末端よりも1つ内側に位置するものであり、透明電極端子86Z(「第2の接続端子」)とは他端側最末端に位置し、透明電極端子86Yとは他端側最末端よりも1つ内側に位置するものである。同様に、スルーホール93A(「第1の接続孔」)とは接続部91Bに設けられた複数のスルーホール93のうちの一端側最末端に位置し、スルーホール93Bとは一端側最末端よりも1つ内側に位置するものであり、スルーホール93Z(「第2の接続孔」)とは接続部91Cに設けられた複数のスルーホール93のうちの他端側最末端に位置し、スルーホール93Yとは他端側最末端よりも1つ内側に位置するものである。
【0055】
続いて、粗動2軸ステージ21および微動2軸ステージ22を利用して表示パネル用ステージ24と共に表示パネル80を移動させることにより、図10に示したように、軸線Sに対応した基準位置Pに一端側最末端の透明電極端子86Aを位置させる。
【0056】
続いて、4自由度アクチュエータ33の移動機構(X軸方向,Y軸方向)を利用してFPC用ステージ35と共にFPC90を移動させることにより、図11に示したように、一端側最末端の透明電極端子86Aの位置に一端側最末端のスルーホール93Hの位置を一致させる。これにより、透明電極端子86Aおよびスルーホール93Aのみが位置合わせされ、他の透明電極端子86B,86Y,86Zおよび他のスルーホール93B,93Y,93Zは未だ位置合わせされていない状態となる。
【0057】
続いて、4自由度アクチュエータ33の回転機構を利用してFPC用ステージ35と共にFPC90を回転させることにより、図12に示したように、他端側最末端の透明電極端子86Zの位置に他端側最末端のスルーホール93Zの位置を一致させる。これにより、残りの透明電極端子86B,86Y,86Zの位置にスルーホール93B,93Y,93Zの位置がそれぞれ一致すると共に、複数の金属電極端子87の位置に複数のスルーホール93の位置がそれぞれ一致することとなる。
【0058】
最後に、4自由度アクチュエータ33の移動機構(Z軸方向)を利用して、表示パネル用ステージ24に向かってFPC用ステージ35を移動させることにより、図6および図13に示したように、接着剤110を介して表示パネル80にFPC90を仮接続させる。この状態において、透明電極端子86および金属電極端子87は、それぞれスルーホール93に挿通される。これにより、複数の透明電極端子86および複数の金属電極端子87と複数のスルーホール93との位置合わせ作業が完了する。
【0059】
こののち、例えば、図13に示したように、スルーホール93に半田ボール120を投入し、レーザ等で半田ボール120を加熱して溶融させることにより、半田を介してスルーホール93に透明電極端子86および金属電極端子87をそれぞれ接着させる。これにより、表示パネル80にFPC90が本接続される。
【0060】
以上説明したように、本実施の形態に係るアライメント調整装置100およびこれを使用したアライメント調整方法によれば、FPC用ステージ35を挟んで表示パネル用ステージ24と反対側にCCDカメラ42A,42Bを配置するようにしたので、以下の理由により、透明電極端子86および金属電極端子87とスルーホール93とを互いに高精度に位置合わせすることができる。
【0061】
すなわち、従来のアライメント調整装置では、上記「従来の技術」の項において説明したように、表示パネル用ステージとFPC用ステージとの間(観察位置)にCCDカメラが位置するため、表示パネル用ステージとFPC用ステージとの間にCCDカメラの配置スペースを確保する必要がある。これにより、表示パネル用ステージとFPC用ステージとは、CCDカメラの配置スペースを確保可能な比較的大きな間隔を隔てて離間されることとなる。この場合には、例えば、表示パネルにFPCを接続させるべく表示パネル用ステージに向かって移動するFPC用ステージの移動軸が、電極端子とスルーホールとを正常に位置合わせ可能な正規の移動軸からずれていると、FPC用ステージの移動前に、CCDカメラを利用して電極端子の位置とスルーホールの位置とを高精度に一致させておいたとしても、FPC用ステージの移動に伴い、電極端子とスルーホールとの位置関係はずれてしまうため、十分な位置合わせ精度が得られなくなる。このFPC用ステージの移動に伴う位置ずれ量は、主に、FPC用ステージの移動距離、すなわち表示パネル用ステージとFPC用ステージとの間の間隔の大小に応じて増減する。
【0062】
これに対して、本実施の形態では、FPC用ステージ35を挟んで表示パネル用ステージ24の反対側にCCDカメラ42A,42Bが配置されているため、従来の場合とは異なり、表示パネル用ステー24とFPC用ステージ35との間にCCDカメラ42A,42Bの配置スペースを確保する必要がない。この場合には、表示パネル用ステージ24とFPC用ステージ35との間の間隔を比較的小さくし、これによりFPC用ステージ35の移動距離も小さくすることが可能になるなため、FPC用ステージ35の移動に伴って生じる透明電極端子86および金属電極端子87とスルーホール93との位置ずれ量は、従来の場合よりも小さくなる。したがって、透明電極端子86および金属電極端子87とスルーホール93とを高い精度で位置合わせすることが可能となるのである。
【0063】
さらに、本実施の形態では、FPC用ステージ35の移動距離の短縮に基づき、FPC用ステージ35の移動スペースが小さくて済むため、従来の場合よりも装置の小型化およびこれに伴う低コスト化を図ることができる。この装置の低コスト化は、特に、上記したFPC用ステージ35の移動距離の短縮に基づく他、例えば、(1)複雑な光学系を有する高価な上下方向同時観察方式のCCDカメラに代えて、簡略な光学系を有する安価な一方向観察方式のCCDカメラ42A,42Bを用いた点、(2)CCDカメラ42A,42Bに関して、観察位置から退避位置に移動する移動機構が不要になる点、(3)位置合わせ作業にアライメントマークを使用しないため、表示パネル80やFPC90にアライメントマークを設ける必要がなく、アライメントマークを設けるスペース分だけ表示パネル80やFPC90を小型化可能な点などに基づいても実現される。
【0064】
また、本実施の形態では、図1に示したように、天板32からCCDカメラ42A,42Bを吊り下げるようにしたので、天板32により、鉛直方向(図中のZ軸方向)に延在するように上方からCCDカメラ42A,42Bが支持され、鉛直方向におけるCCDカメラ42A,42Bの静止安定性が確保される。したがって、例えば、水平方向(X軸方向)に延在するように側方からCCDカメラ42A,42Bを支持した場合と比較して、鉛直方向の振動等に起因するCCDカメラ42A,42Bの位置ずれが抑制されるため、観察時の焦点ずれを防止することができる。
【0065】
また、本実施の形態では、粗動2軸ステージ21および微動2軸ステージ22を含んで表示パネル装着機構20を構成したので、例えば、図10に示したように、一端側最末端の透明電極端子86Aの位置を基準位置Pに一致させる際、粗動2軸ステージ21による比較的大きなピッチの移動機構および微動2軸ステージ22による比較的小さなピッチの移動機構の双方を随時利用することにより、粗動2軸ステージ21または微動2軸ステージ22の一方のみを含む場合と比較して、表示パネル用ステージ24をより簡便かつ短時間で移動させることができる。
【0066】
また、本実施の形態では、図7に示したように、複数の吸引孔74による吸引機構を利用してブロック70X,70YにFPC90を装着するようにしたので、一式のブロック70X,70Yに、互いに異なる平面構成を有する複数種類のFPC90を装着させることが可能になる。したがって、FPC90の種類に対応した数だけブロックを準備する必要がないため、この観点においても装置の低コスト化に寄与することができる。
【0067】
また、本実施の形態では、図10〜図12に示したように、複数の透明電極端子86および複数の金属電極端子87の位置と複数のスルーホール93の位置とを一致させる際に、一端側最末端の透明電極端子86Aの位置を基準位置Pに一致させた状態から、X軸方向およびY軸方向への移動機構を利用してFPC用ステージ35を移動させることにより、一端側最末端の透明電極端子86Aの位置に一端側最末端のスルーホール93Aの位置を一致させたのち、基準位置P(軸線S)を中心とする回転機構を利用してFPC用ステージ35を移動させることにより、他端側最末端の透明電極端子86Zの位置に他端側最末端のスルーホール93Zの位置を一致させるようにしている。この場合には、FPC用ステージ35を移動させるためにX軸方向およびY軸方向への移動機構のみを利用する場合と比較して、複数の透明電極端子86および複数の金属電極端子87の位置と複数のスルーホール93の位置とを一致させる手順が簡略化される。したがって、位置合わせ作業に要する作業時間の短縮し、これにより位置合わせ工程の低コスト化を図ることができる。また、高価な画像認識システム等を用いることなく、CCDカメラ42A,42Bを利用した肉眼観察手法を用いて位置合わせ作業を行うことが可能なため、この観点においても装置の低コスト化に寄与することができる。
【0068】
また、本実施の形態では、高倍率かつ小型の固定焦点マクロレンズ43を含む2つのCCDカメラ42A,42Bを使用するようにしたので、1台の大型ズーム式カメラを使用する場合とは異なり、ズーム切替を行うことなく簡便に2つの観察領域(一端領域T1,他端領域T2)を観察することができると共に、互いに近接した複数の微細なスルーホール93を高倍率で観察することができる。また、装置全体の軽量化を図ることもできる。
【0069】
また、本実施の形態では、図8に示したように、ブロック70Y(ブロックパーツ73C,73D)に装着されたFPC90の配線部92Yが部分的に凸状に変形している場合に、ブロックパーツ73Fに設けられた吸引孔74を利用して部分92YPを吸引することにより、配線部92Yを部分的に凹状に変形させるようにしたので、表示パネル80にFPC90を接続させる際に妨げとなる配線部92Yの変形形状が矯正される。したがって、表示パネル80にFPC90を正常に接続させることができる。また、ブロック70YにFPC90を装着したのちにおいても配線部92Yの変形形状を矯正可能端点に基づき、主に部分92YP周辺部の寸法に関するFPC90の許容可能な製造誤差範囲を広げることができる。
【0070】
また、本実施の形態では、上記(β)式の条件を満たす配設個数となるように複数のスルーホール93が設けられたFPC90を用いるようにしたので、透明電極端子86および金属電極端子87やスルーホール93の配置位置ずれに起因して位置合わせ不良を生じることなく、透明電極端子86および金属電極端子87とスルーホール93とを確実に位置合わせすることができる。
【0071】
なお、本実施の形態では、位置合わせ作業にCCDカメラ42A,42Bを利用するようにしたが、必ずしもこれに限られるものではなく、表示パネル用ステージ24に装着された表示パネル80やFPC用ステージ35に装着されたFPC90の装着方向に応じて、複数のCCDカメラ42A,42B,42Cのうちの任意の2つの組み合わせを用いることが可能である。いずれの組み合わせを用いた場合においても、上記実施の形態と同様の位置合わせ作業を行うことが可能となり、同様の効果を得ることができる。
【0072】
また、本実施の形態では、複数の透明電極端子86および複数の金属電極端子87の位置と複数のスルーホール93の位置とを一致させるために、表示パネル用ステージ24を静止させたまま、FPC用ステージ35を移動させるようにしたが、必ずしもこれに限られるものではなく、例えば、FPC用ステージ35を静止させたまま、表示パネル用ステージ24を移動させるようにしてもよいし、あるいは表示パネル用ステージ24およびFPC用ステージ35の双方を移動させるようにしてもよい。いずれの場合においても、表示パネル装着機構20の回転移動機構またはFPC装着機構30の回転移動機構を利用することにより、上記実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【0073】
以上、実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、種々変形可能である。具体的には、アライメント調整装置100の構成やそのアライメント調整装置100を使用したアライメント調整方法の手順に関する詳細は、必ずしも上記実施の形態において説明したものに限られるものではなく、FPC用ステージ35を挟んで表示パネル用ステージ24と反対側に配置されたCCDカメラ42A,42B,42Cを使用することにより表示パネル80およびFPC90を観察し、その観察映像に基づいて複数の透明電極端子86および複数の金属電極端子87と複数のスルーホール93とを位置合わせすることにより高精度な位置合わせ作業を実現可能な限り、自由に変更可能である。
【0074】
また、例えば、上記実施の形態では、有機ELディスプレイを構成する表示パネル80の透明電極端子86および金属電極端子87とFPC90のスルーホール93との位置合わせ作業に本発明を適用する場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、例えば、表示パネル80およびFPC90と同様の接続機構を有する他のディスプレイに本発明を適用するようにしてもよいし、あるいはディスプレイ以外の他の機器に本発明を適用するようにしてもよい。いずれの場合においても、上記実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【0075】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項1ないし請求項13のいずれか1項に記載のアライメント調整装置または請求項14ないし請求項26のいずれか1項に記載のアライメント調整方法によれば、第2の保持手段を挟んで第1の保持手段と反対側に配置された観察手段を用いて表示パネルの接続端子および配線基板の接続孔を観察しながら、位置合わせ手段を用いて電極端子と接続孔とを位置合わせするようにしたので、第1および第2の保持手段の間に観察手段が配置される場合と比較して、第1および第2の保持手段の間の間隔が狭くなり、これにより表示パネルと配線基板との接続時における第1または第2の保持手段の移動距離が小さくなる。したがって、例えば接続端子と接続孔とを正常に位置合わせ可能な正規の移動軸から第1または第2の保持手段の移動軸がずれていたとしても、その移動に伴う位置ずれ量がより小さくなるため、接続端子と接続孔とを高精度に位置合わせすることができる。また、移動距離の短縮に基づき、第1または第2の保持手段の移動スペースが小さくて済むため、装置の小型化および低コスト化を図ることもできる。
【0076】
また、請求項4記載のアライメント調整装置または請求項17記載のアライメント調整方法によれば、基準位置に第1の接続端子が位置する状態から、移動機構を利用して第1の接続端子の位置と第1の接続孔の位置とを一致させると共に、基準位置を中心とする回転機構を利用して第2の接続端子の位置と第2の接続孔の位置とを一致させたのち、移動機構を利用して第1の接続孔に第1の接続端子を挿通させると共に、第2の接続孔に第2の接続端子を挿通させるようにしたので、移動機構のみを利用する場合と比較して、複数の接続端子の位置と複数の接続孔の位置とを一致させる手順が簡略化される。したがって、位置合わせ作業に要する作業時間を短縮し、位置合わせ工程の低コスト化を図ることができる。
【0077】
また、請求項10記載のアライメント調整装置または請求項23記載のアライメント調整方法によれば、支持手段を用いて観察手段を吊り下げるようにしたので、この支持手段により上方向から観察手段が支持され、鉛直方向における観察手段の静止安定性が確保される。したがって、例えば水平方向から観察手段を支持した場合と比較して、鉛直方向の振動等に起因する観察手段の位置ずれが防止されるため、観察時の焦点ずれを防止することができる。
【0078】
また、請求項12記載のアライメント調整装置または請求項25記載のアライメント調整方法によれば、保持具の形状矯正機構を利用し、配線基板の変形箇所を吸引することにより配線基板を矯正するようにしたので、表示パネルと配線基板とを接続させる際に妨げとなる配線基板の変形形状が矯正される。したがって、表示パネルと配線基板とを正常に接続させることができる。
【0079】
また、請求項13記載のアライメント調整装置または請求項26記載のアライメント調整方法によれば、各接続端子間の配列ピッチ誤差と各接続孔間の配列ピッチ誤差とが接続端子と接続孔とを位置合わせするために必要な許容誤差範囲となるような個数だけ接続孔が設けられた配線基板を用いるようにしたので、接続端子や接続孔の配置位置ずれに起因して位置合わせ不良を生じることなく、接続端子と接続孔とを確実に位置合わせすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態に係るアライメント調整装置の外観構成を表す図である。
【図2】図1に示したアライメント調整装置の平面構成を表す平面図である。
【図3】ブロックの平面構成を拡大して表す平面図である。
【図4】表示パネルおよびFPCの概略断面構成を表す断面図である。
【図5】FPCの平面構成を拡大して表す平面図である。
【図6】表示パネルに対するFPCの接続配列パターンを説明するための図である。
【図7】ブロックに対するFPCの装着手順を説明するための図である。
【図8】ブロックによるFPCの形状矯正機構を説明するための断面図である。
【図9】位置合わせ作業時にモニタに表示される観察映像を模式的に表す図である。
【図10】透明電極端子とスルーホールとの位置合わせ手順を説明するための図である。
【図11】図10に続く手順を説明するための図である。
【図12】図11に続く手順を説明するための図である。
【図13】表示パネルとFPCとの接続手順を説明するための図である。
【符号の説明】
1…ベース、10…位置合わせ機構、20…表示パネル装着機構、21…粗動2軸ステージ、22…微動2軸ステージ、23…回転ステージ、24…表示パネル用ステージ、30…FPC装着機構、31…コラム、32…天板、33…4自由度アクチュエータ、34…フレーム、35…FPC用ステージ、40…観察機構、41…微動3軸アクチュエータ、42A,42B,42C…CCDカメラ、43…固定焦点マクロレンズ、44…2直角偏向プリズム、50…モニタ、60…操作パネル、70X,70Y…ブロック、71…ブロックベース、72…固定ネジ、73A〜73F…ブロックパーツ、74…吸引孔、80…表示パネル、81…ガラス基板、82…透明電極、83…有機EL膜、84…金属電極、86(86A,86B,86Y,86Z)…透明電極端子、87…金属電極端子、90…FPC、91A〜91D…接続部、92X,92Y…配線部、93(93A,93B,93Y,93Z)…スルーホール、110…接着剤、120…半田ボール、180…有機EL発光素子、P…基準位置、R1〜R16…パネルエリア、S…軸線。
[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to an alignment adjustment device used in a manufacturing process of, for example, an organic electroluminescence (EL) display including a display panel and a wiring board, and an alignment adjustment method using the alignment adjustment device. In particular, the present invention relates to an alignment adjustment device and an alignment adjustment method used for aligning a connection terminal provided on a display panel with a connection hole provided on a wiring board.
[0002]
[Prior art]
In recent years, various displays having various display mechanisms have been widely used. Among them, the organic EL display using the organic EL phenomenon is excellent mainly in that the image quality is high and the power consumption is small.
[0003]
By the way, recently, in the display field, a larger display screen is desired. As a method for enlarging the display screen of an organic EL display, for example, a printed wiring board (FPC) for wiring connection is provided on a display panel in which a plurality of organic EL elements constituting pixels are provided on a transparent substrate such as glass. ) Is connected to form a display unit, and a plurality of display units are connected in a matrix to form a desired display screen size. In this method, for example, a plurality of electrode terminals provided for each organic EL element on the back surface of the display panel (the surface opposite to the display surface) and a plurality of electrode terminals provided on the FPC corresponding to these electrode terminals are provided. After the through holes are aligned with each other, the electrode terminals and the through holes are connected to each other using solder or the like.
[0004]
When connecting the electrode terminal and the through hole, for example, in order to ensure high connection accuracy, it is necessary to position the electrode terminal and the through hole with high precision. Therefore, the alignment operation between the electrode terminals and the through holes is performed, for example, by providing an alignment mark for confirming the alignment on the display panel or the FPC, and using an alignment adjusting device capable of visually recognizing the alignment mark.
[0005]
This alignment adjusting device is, for example, a general-purpose flip chip bonder applied, and includes a display panel stage for mounting a display panel, and an FPC for disposing the FPC for mounting the FPC. And a CCD (charge coupled device) camera disposed between the display panel stage and the FPC stage and having an optical system capable of simultaneously observing both the display panel and the FPC positioned above and below. . Each of the display panel stage and the FPC stage can move in three axes directions orthogonal to each other, and the CCD camera moves between a position (observation position) between the display panel stage and the FPC stage and an evacuation position. Is movable.
[0006]
The work of aligning the electrode terminals and the through holes using this alignment adjusting device is performed, for example, by the following procedure. That is, first, both the display panel and the wiring board are observed using the CCD camera located at the observation position, and the positions of the plurality of electrode terminals and the plurality of through holes to be connected to these electrode terminals are observed. Check the position. Subsequently, the position of each through-hole is made to coincide with the position of each electrode terminal by moving the FPC stage based on the observation image observed by the CCD camera. Finally, after moving the CCD camera from the observation position to the retracted position, the FPC stage is moved toward the display panel stage, so that the electrode terminal is inserted for each through hole. Thereby, the plurality of through holes are aligned with respect to the plurality of electrode terminals.
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
However, the conventional alignment adjustment device has a problem in that, when the through hole is aligned with the electrode terminal, sufficient alignment accuracy may not be obtained mainly due to the configuration of the device. If sufficient alignment accuracy is not obtained, poor connection between the electrode terminals and the through holes will occur, and the yield of the organic EL display will decrease.
[0008]
Further, in the conventional alignment adjusting device, there is a problem that the manufacturing cost of the organic EL display increases because the device is large and expensive. In consideration of this point, it is necessary to reduce the cost of the alignment adjustment device as one of measures for reducing the cost of the organic EL display.
[0009]
The present invention has been made in view of such a problem, and a first object of the present invention is to provide an alignment adjustment device and an alignment adjustment method capable of aligning an electrode terminal and a through hole with high accuracy. is there.
[0010]
A second object of the present invention is to provide an alignment adjustment device and an alignment adjustment method that can realize low cost.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
An alignment adjustment device according to the present invention is used for aligning a connection terminal provided on a display panel and a connection hole provided on a wiring board with each other, and a first holding means for holding the display panel. A second holding means for holding the wiring substrate so as to face the display panel held by the first holding means, and a second holding means interposed between the first holding means and the second holding means, First observing means for observing the connection terminals of the display panel held by the first holding means and the connection holes of the wiring board held by the second holding means; Alternatively, a positioning means for positioning the connection terminal of the display panel and the connection hole of the wiring board with each other by moving at least one of the second holding means is provided. That.
[0012]
The alignment adjustment method according to the present invention is a method for aligning a connection terminal provided on a display panel and a connection hole provided on a wiring board with each other. The first holding means uses a first holding unit to hold the display panel. A second step of using the second holding means to hold the wiring board so as to face the display panel held by the first holding means, and a first step of holding the second holding means with the second holding means interposed therebetween. A third method of observing the connection terminals of the display panel held by the first holding means and the connection holes of the wiring board held by the second holding means, using the observation means arranged on the side opposite to the holding means. And moving at least one of the first and second holding means based on the observation image observed by the observation means using the positioning means, thereby connecting the connection terminal of the display panel to the wiring board. It is obtained to include a fourth step of aligning the connecting holes to each other.
[0013]
In the alignment adjusting device and the alignment adjusting method according to the present invention, the observation unit is located in a region opposite to the first holding unit with the second holding unit interposed therebetween. Accordingly, the distance between the first and second holding means is narrower than when the observation means is located in a region between the first and second holding means. The moving distance of the first or second holding means at the time of connection with the connection hole is reduced.
[0014]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[0015]
First, a configuration of an alignment adjusting device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 shows an external configuration of the alignment adjustment device 100, and FIG. 2 shows a plan configuration of the alignment device 100 shown in FIG. FIG. 2 shows only main components of the alignment apparatus 100 shown in FIG. Note that, in the following, constituent elements to which (“”) is attached indicate that the constituent elements correspond to the elements with the names in (“)” described in the claims of the present invention. I have.
[0016]
The alignment adjustment device 100 is used in, for example, a manufacturing process of an organic EL display including a display panel and an FPC (“wiring board”), and includes a plurality of electrode terminals (“connection terminals”) provided on the display panel. ) And a plurality of through holes (“connection holes”) provided in the FPC.
[0017]
The alignment adjustment device 100 includes a positioning mechanism 10 and a monitor 50 installed on the base 1, and an operation panel 60 adjacent to the base 1.
[0018]
The positioning mechanism 10 performs a positioning operation between the electrode terminal and the through hole using the display panel and the FPC. The display panel mounting mechanism 20 for mounting the display panel, and the FPC for mounting the FPC. A mounting mechanism 30 (“positioning means”) and an observation mechanism 40 (“observing means”) for observing the electrode terminals and through holes are provided.
[0019]
The display panel mounting mechanism 20 includes, for example, a coarse movement two-axis stage 21, a fine movement two-axis stage 22, a rotation stage 23, and a display panel stage 24 ("first holding means") stacked in this order. , Are connected to each other.
[0020]
The coarse movement biaxial stage 21 moves the display panel stage 24 at a large moving pitch in two axial directions of the X axis and the Y axis in the drawing.
[0021]
The fine movement two-axis stage 22 moves the display panel stage 24 at a smaller pitch than the coarse movement two-axis stage 21 in two X-axis and Y-axis directions.
[0022]
The rotation stage 23 rotates the display panel stage 24 about an axis S in the drawing.
[0023]
The display panel stage 24 is a plate-shaped member on which the display panel is mounted, and includes, for example, a suction chuck (not shown) for suction-holding the display panel.
[0024]
The FPC mounting mechanism 30 is, for example, from a top plate 32 supported by two columns 31 via a four-degree-of-freedom actuator 33 and a frame 34 so as to face the display panel stage 24 (“first 2) are suspended.
[0025]
The four-degree-of-freedom actuator 33 moves the FPC stage 35 in three directions of the X axis, the Y axis, and the Z axis, and rotates the FPC stage 35 about the axis S.
[0026]
The frame 34 connects the four-degree-of-freedom actuator 33 to the FPC stage 35, and transmits the operation of the four-degree-of-freedom actuator 33 to the FPC stage 35.
[0027]
The FPC stage 35 is a plate-shaped member on which the FPC is mounted. The FPC stage 35 is for indirectly holding, for example, an FPC mounted on blocks 70X and 70Y ("holding tool"; see FIG. 3) described later, and is for sucking and holding the blocks 70X and 70Y. It is configured to include a suction chuck (not shown).
[0028]
The observation mechanism 40 includes, for example, three CCD cameras 42A (“first observation means”) and 42B (“second observation means”) from the top plate 32 (“supporting means”) via the fine movement three-axis actuator 41. , 42C are suspended from each other.
[0029]
The fine movement three-axis actuator 41 moves the CCD cameras 42A, 42B, and 42C at relatively small movement pitches in three directions of the X axis, the Y axis, and the Z axis.
[0030]
The CCD cameras 42A, 42B, and 42C are for observing the display panel through the FPC mounted on the FPC stage 35, and can observe both the electrode terminals and the through holes at the same time. These CCD cameras 42A, 42B and 42C are arranged on the opposite side of the display panel stage 24 with the FPC stage 35 interposed therebetween. Each of the CCD cameras 42A, 42B and 42C is, for example, as shown in FIG. At each vertex position of the triangle, the axis S is arranged so as to surround it from three directions. Each of the CCD cameras 42A, 42B, and 42C includes, for example, a macro lens 43 (for example, a high-magnification and small fixed-focus macro lens) and two right-angle deflecting prisms 44, and any two CCD cameras (for example, 42A, 42B) are also smaller than the width L between the two CCD cameras. The interval between the macro lenses 43 can be continuously changed according to a desired observation area width or the like.
[0031]
The monitor 50 displays the electrode terminals and through holes observed by the CCD cameras 42A, 42B, 42C. The monitor 50 can simultaneously display, for example, two observation region images observed by any two of the CCD cameras 42A, 42B, and 42C.
[0032]
The operation panel 60 is used to control the operation of the positioning mechanism 10, and includes various switches and the like.
[0033]
In addition, the alignment adjusting apparatus 100 includes, in addition to the above-described series of components, for example, a pump for allowing a suction chuck or the like provided on the display panel stage 24 or the FPC stage 35 to be suctioned, and a positioning mechanism 10. And a power supply for operating the monitor 50.
[0034]
Next, the configuration of the blocks 70X and 70Y will be described with reference to FIG. FIG. 3 shows an enlarged plan view of the blocks 70X and 70Y.
[0035]
The blocks 70X and 70Y are intermediate mounting members on which FPCs are directly mounted. For example, not only FPCs having a specific planar configuration but also a plurality of types of FPCs having different planar configurations can be mounted.
[0036]
The block 70X is formed, for example, by fixing three block parts 73A, 73B, 73E to a block base 71 using fixing screws 72. These block parts 73A, 73B, 73E have, for example, different plane configurations and are arranged separately, and each block part 73A, 73B, 73E has, for example, a plurality of suction parts for sucking and holding the FPC. A hole 74 is provided. FIG. 3 shows, for example, a case in which eight, four, and three suction holes 74 are provided in the block parts 73A, 73B, and 73E, respectively. For example, the block part 73B can be slid in a direction approaching or away from the block part 73A, and the interval between the block parts 73A, 73B can be freely adjusted. Further, for example, the block part 73E is detachable as needed.
[0037]
The block parts 73E have, for example, a thickness (dimensions in a direction perpendicular to the paper surface in the drawing) smaller than the thicknesses of the other block parts 73A and 73B. It has a mechanism to correct the shape. Details regarding the deformation correcting mechanism of the block part 73E will be described later (see FIG. 8).
[0038]
The block 70Y has substantially the same configuration as the block 70X, for example. That is, in the block 70Y, the block parts 73C, 73D, 73F are fixed to the block base 71 using the fixing screws 72, and the block parts 73C, 73D, 73F are provided with the suction holes 74. The block base 73F has a function of correcting the shape of the FPC, for example, like the block part 73E.
[0039]
Next, a configuration of a display panel and an FPC used for an alignment operation using the alignment adjustment device 100 will be described with reference to FIGS. FIG. 4 shows a schematic sectional configuration of the display panel 80 and the FPC 90, and FIG. 5 shows an enlarged plan configuration of the FPC 90. FIG. 6 is a view for explaining a connection arrangement pattern of the FPC 90 to the display panel 80.
[0040]
The display panel 80 constitutes an image display section of an organic EL display. For example, as shown in FIG. 4, a plurality of organic EL light emitting elements 180 are arranged in a matrix on a transparent glass substrate 81. These organic EL elements 180 are embedded in an insulating layer 85. The organic EL light emitting device 180 includes, for example, a transparent electrode 82 made of ITO (indium tin oxide), an organic EL film 83 including a hole injection layer, a hole import layer, a light emitting layer, and the like, and a metal electrode 84 made of copper. Are included in the laminated structure in this order. The transparent electrode 82 and the metal electrode 84 are respectively connected to the transparent electrode terminal 86 and the metal electrode terminal 87 (“connection terminal”) exposed on the insulating layer 85, and both are two-dimensionally arranged at predetermined intervals. Have been.
[0041]
The FPC 90 is a wiring member connected to the back surface of the display panel 80, and is divided into a plurality of pieces so as to have a plurality of different planar configurations. In the FPC 90, as shown in FIG. 4, a plurality of through holes 93 for terminal connection are formed two-dimensionally at predetermined intervals at locations corresponding to the transparent electrode terminals 86 and the metal electrode terminals 87 of the display panel 80. The inner diameter of the through hole 93 is, for example, equal to or slightly larger than the diameter of the transparent electrode terminal 86 or the metal electrode terminal 87. The FPC 90 has, for example, a bifurcated planar configuration as shown in FIG. 5, and has one branch-side wiring portion 92X having two connection portions 91A and 91B and two connection portions 91C. , 91D on the other branch side. The plurality of through holes 93 shown in FIG. 4 are densely provided for each of the connection portions 91A to 91D.
[0042]
The number of through holes 93 provided in one FPC 90 is determined based on, for example, an arrangement pitch error of the transparent electrode terminals 86 (or the metal electrode terminals 87) and an arrangement pitch error of the through holes 93. That is, for example, when considering a plurality of transparent electrode terminals 86 and a plurality of through holes 93 which are linearly arranged, the arrangement number of the through holes 93 is n, and the arrangement pitch error rate of the through holes 93 produced in production is Ke. When the arrangement pitch of the transparent electrode terminals 86 is P and the allowable error that allows the transparent electrode terminals 86 and the through holes 93 to be aligned with each other is Ea, there is a relationship of the following equation (α) between these parameters.
[0043]
Ea ≧ Ke × P × n (α)
[0044]
Based on the relational expression (α), the arrangement number n of the through-holes 93 may satisfy the following expression (β) so that the transparent electrode terminal 86 and the through-hole 93 can be aligned with each other.
[0045]
n ≦ Ea / (Ke × P) (β)
[0046]
The organic EL display including the display panel 80 and the FPC 90 corresponds to, for example, a large display screen. That is, in this organic EL display, for example, a plurality of FPCs 90 are connected to the back surface of one display panel 80. The reason that a plurality of FPCs 90 are connected to one display panel 80 is mainly because of a problem that occurs when the FPC 90 is enlarged, for example, due to a long wiring, the operation of the organic EL display. This prevents a voltage drop from occurring at times. Even when the size of the display panel 80 is increased, by adding the FPC 90 according to the size of the display panel 80, a display screen of a desired size can be configured while preventing a voltage drop. The organic EL display includes, for example, a drive circuit board (not shown) for outputting a display signal corresponding to a display image, in addition to the display panel 80 and the FPC 90. The FPC 90 and the drive circuit board may be separate from each other, or may be connected to each other to form an integral body.
[0047]
The display panel 80 is divided into a plurality of panel areas R1 to R16 defined based on the connection arrangement pattern of the FPC 90, for example, as shown in FIG. One FPC 90 is connected to the back surface of the display panel 80 for every four panel areas (R1 to R4, R5 to R8, R9 to R12, R13 to R16), that is, four FPCs 90 are connected as a whole. It has become so. FIG. 6 shows a state where the FPC 90 is connected to only the panel areas R1 to R4, for example. FIG. 6 shows a state in which the FPC 90 is connected to the display panel 80. Therefore, the front and back of the FPC 90 are reversed from the state shown in FIG.
[0048]
Next, an alignment adjustment method using the alignment adjustment device 100 will be described with reference to FIGS. FIG. 7 illustrates a procedure of mounting the FPC 90 on the blocks 70X and 70Y, and FIG. 8 illustrates a shape correcting mechanism of the FPC 90 by the blocks 70X and 70Y, and is taken along the line AA shown in FIG. The cross-sectional configuration as viewed from the arrow is shown. FIG. 9 schematically shows an example of an observation image observed by the CCD cameras 42A and 42B. 10 to 12 illustrate a procedure for aligning the transparent electrode terminal 86 and the through hole 93, and FIG. 13 illustrates a procedure for connecting the display panel 80 and the FPC 90. 4 is supported. 10 to 12, the transparent electrode terminals 86 and the through holes 93 are schematically shown in only one row.
[0049]
When performing a positioning operation using the alignment adjustment device 100, preparations are made before performing the positioning operation.
[0050]
That is, first, the display panel 80 is mounted on the display panel stage 24 by suctioning the display panel 80 using a suction chuck so that the transparent electrode terminals 86 and the metal electrode terminals 87 face upward. Subsequently, as shown in FIG. 7, the FPC 90 is mounted on the blocks 70X and 70Y by sucking the FPC 90 using the suction holes 74. When mounting the FPC 90, for example, the wiring portion 92X is mounted on the block 70X so that the connection portions 91A and 91B are aligned with the block parts 73A and 73B, respectively, and the connection portions 91C and 73C are mounted on the block parts 73C and 73D. The wiring section 92Y is mounted on the block 70Y so that the positions of the wirings 91D are adjusted. Note that the one end area T1 and the other end area T2 shown in FIG. 7 indicate the areas to be observed by the CCD cameras 42A and 42B during the alignment work.
[0051]
When the wiring portion 92Y is mounted on the block 70Y, for example, as shown in FIG. 8, a portion 92YP of the wiring portion 92Y corresponding to the area between the block parts 73C and 73D is caused by, for example, warpage or bending. When the wiring portion 92Y is partially convexly deformed (see the broken line in the drawing), the portion 92YP is selectively sucked using the suction hole 74 provided in the block part 73F. Thereby, the wiring portion 92Y is partially deformed into a concave shape.
[0052]
Finally, the blocks 70X, 70Y are sucked using a suction chuck, so that the display panel 80 mounted on the display panel stage 24 and the FPC 90 face the lower surface of the FPC stage 35, so that the blocks 70X, 70Y face each other. Attach 70Y. At this time, for example, in order to temporarily fix the FPC 90 to the display panel 80 in a later process, as shown in FIG. 4, an adhesive 110 is applied to the surface of the FPC 90 in advance.
[0053]
After the preparation is completed, first, one end region T1 of the group of through holes 93 provided in the connecting portion 91B of the FPC 90 can be observed by the CCD camera 42A using the fine movement triaxial actuator 41, and the one end region The CCD cameras 42A and 42B are moved so that the other end region T2 of the group of through holes 93 provided in the connection portion 91C farthest from T1 can be observed by the CCD camera 42B. Thereby, for example, as shown in FIG. 9, on the monitor screen 51 of the monitor 50, an image of one end region T1 observed by the CCD camera 42A is displayed on the right screen 51R, and on the left screen 51L. The image of the other end region T2 observed by the CCD camera 42B is displayed.
[0054]
In this state, the plurality of transparent electrode terminals 86 and the plurality of through holes 93 have an arrangement pitch accuracy that can be aligned with each other, and, for example, as shown in FIG. 10, a group of transparent electrode terminals 86 (86A, 86B. ··· line 86 connecting the through holes 93 (93A, 93B... 93Y, 93Z) to the line N1 connecting the 86Y, 86Z). The transparent electrode terminal 86A (“first connection terminal”) is located at the farthest end on one end side of the plurality of transparent electrode terminals 86 provided on the display panel 80, and is located on the one end side on the one end side. It is located one inward from the end, is located at the farthest end on the other end side with the transparent electrode terminal 86Z (“the second connection terminal”), and is located closer to the other end side with the transparent electrode terminal 86Y. It is located one inside. Similarly, the through hole 93A (“first connection hole”) is located at the end of one end of the plurality of through holes 93 provided in the connection portion 91B, and the through hole 93B is located at the end of the one end. Are located on the inner side, and the through hole 93Z (“second connection hole”) is located at the other end of the plurality of through holes 93 provided in the connection portion 91C, and the through hole 93Z The hole 93Y is located one inner side from the other end on the other end side.
[0055]
Subsequently, the display panel 80 is moved together with the display panel stage 24 by using the coarse movement two-axis stage 21 and the fine movement two-axis stage 22, thereby obtaining the reference position P corresponding to the axis S as shown in FIG. Is located at the end of the transparent electrode terminal 86A at one end.
[0056]
Subsequently, the FPC 90 is moved together with the FPC stage 35 by using the moving mechanism (the X-axis direction and the Y-axis direction) of the four-degree-of-freedom actuator 33, as shown in FIG. The position of the through hole 93H at the end on one end side is matched with the position of the electrode terminal 86A. Thereby, only the transparent electrode terminal 86A and the through hole 93A are aligned, and the other transparent electrode terminals 86B, 86Y, 86Z and the other through holes 93B, 93Y, 93Z are not yet aligned.
[0057]
Subsequently, by rotating the FPC 90 together with the FPC stage 35 using the rotation mechanism of the four-degree-of-freedom actuator 33, the other end is moved to the position of the transparent electrode terminal 86Z at the other end side as shown in FIG. The position of the through-hole 93Z at the terminal end on the side is matched. Thus, the positions of the through holes 93B, 93Y, and 93Z match the positions of the remaining transparent electrode terminals 86B, 86Y, and 86Z, and the positions of the plurality of through holes 93 match the positions of the plurality of metal electrode terminals 87. Will be done.
[0058]
Finally, the FPC stage 35 is moved toward the display panel stage 24 by using the moving mechanism (Z-axis direction) of the four-degree-of-freedom actuator 33, as shown in FIG. 6 and FIG. The FPC 90 is temporarily connected to the display panel 80 via the adhesive 110. In this state, the transparent electrode terminal 86 and the metal electrode terminal 87 are inserted into the through holes 93, respectively. Thus, the work of aligning the plurality of transparent electrode terminals 86 and the plurality of metal electrode terminals 87 with the plurality of through holes 93 is completed.
[0059]
Thereafter, for example, as shown in FIG. 13, a solder ball 120 is put into the through hole 93, and the solder ball 120 is heated and melted by a laser or the like, so that the transparent electrode terminal is inserted into the through hole 93 via solder. 86 and the metal electrode terminal 87 are respectively bonded. Thus, the FPC 90 is permanently connected to the display panel 80.
[0060]
As described above, according to the alignment adjusting apparatus 100 and the alignment adjusting method using the same according to the present embodiment, the CCD cameras 42A and 42B are disposed on the opposite side of the FPC stage 35 from the display panel stage 24. The arrangement allows the transparent electrode terminal 86 and the metal electrode terminal 87 to be aligned with the through-hole 93 with high precision for the following reasons.
[0061]
That is, in the conventional alignment adjusting device, as described in the section of “Prior Art” above, since the CCD camera is located between the display panel stage and the FPC stage (observation position), the display panel stage It is necessary to secure an arrangement space for the CCD camera between the FPC stage and the FPC stage. As a result, the display panel stage and the FPC stage are separated from each other with a relatively large space capable of securing an arrangement space for the CCD camera. In this case, for example, the movement axis of the FPC stage that moves toward the display panel stage to connect the FPC to the display panel is shifted from the normal movement axis that can properly align the electrode terminals and the through holes. If the FPC stage moves, even if the position of the electrode terminal and the position of the through-hole are accurately matched using a CCD camera before the movement of the FPC stage, the electrode moves with the movement of the FPC stage. Since the positional relationship between the terminal and the through hole is deviated, sufficient alignment accuracy cannot be obtained. The amount of displacement due to the movement of the FPC stage mainly increases and decreases according to the movement distance of the FPC stage, that is, the distance between the display panel stage and the FPC stage.
[0062]
On the other hand, in the present embodiment, since the CCD cameras 42A and 42B are arranged on the opposite side of the display panel stage 24 with the FPC stage 35 interposed therebetween, unlike the conventional case, the display panel stage is different. There is no need to secure a space for arranging the CCD cameras 42A and 42B between the FPC 24 and the FPC stage 35. In this case, the distance between the display panel stage 24 and the FPC stage 35 is made relatively small, thereby making it possible to reduce the moving distance of the FPC stage 35. The displacement between the transparent electrode terminal 86 and the metal electrode terminal 87 and the through hole 93 caused by the movement of the through hole 93 is smaller than in the conventional case. Therefore, the transparent electrode terminal 86 and the metal electrode terminal 87 can be aligned with the through hole 93 with high accuracy.
[0063]
Further, in the present embodiment, the moving space of the FPC stage 35 can be reduced based on the shortening of the moving distance of the FPC stage 35, so that the apparatus can be made smaller and the cost can be reduced as compared with the conventional case. Can be planned. The cost reduction of this apparatus is based not only on the shortening of the moving distance of the FPC stage 35 described above, but also, for example, in place of (1) an expensive vertical simultaneous observation type CCD camera having a complicated optical system, Inexpensive one-way observation type CCD cameras 42A and 42B having a simple optical system are used; (2) With respect to CCD cameras 42A and 42B, a moving mechanism for moving from an observation position to a retreat position is not required; 3) Since the alignment marks are not used for the alignment work, there is no need to provide alignment marks on the display panel 80 or the FPC 90, and the display panel 80 and the FPC 90 can be reduced in size by the space where the alignment marks are provided. Is achieved.
[0064]
Further, in the present embodiment, as shown in FIG. 1, since the CCD cameras 42A and 42B are suspended from the top plate 32, the CCD cameras 42A and 42B are extended in the vertical direction (the Z-axis direction in the drawing) by the top plate 32. The CCD cameras 42A and 42B are supported from above so as to be present, and the stationary stability of the CCD cameras 42A and 42B in the vertical direction is ensured. Therefore, for example, as compared with the case where the CCD cameras 42A and 42B are supported from the side so as to extend in the horizontal direction (X-axis direction), the positional deviation of the CCD cameras 42A and 42B due to vertical vibration and the like. Is suppressed, it is possible to prevent defocus during observation.
[0065]
Further, in the present embodiment, the display panel mounting mechanism 20 is configured to include the coarse movement two-axis stage 21 and the fine movement two-axis stage 22, so that, for example, as shown in FIG. When the position of the terminal 86A is made to coincide with the reference position P, both the moving mechanism with a relatively large pitch by the coarse moving biaxial stage 21 and the moving mechanism with a relatively small pitch by the fine moving biaxial stage 22 are used as needed. The display panel stage 24 can be moved more easily and in a shorter time than in a case where only one of the coarse movement two-axis stage 21 and the fine movement two-axis stage 22 is included.
[0066]
Further, in the present embodiment, as shown in FIG. 7, the FPC 90 is mounted on the blocks 70X, 70Y using a suction mechanism with a plurality of suction holes 74, so that a set of blocks 70X, 70Y is A plurality of types of FPCs 90 having different plane configurations can be mounted. Therefore, it is not necessary to prepare blocks in a number corresponding to the type of the FPC 90, and this can contribute to a reduction in the cost of the apparatus.
[0067]
Further, in the present embodiment, as shown in FIGS. 10 to 12, when the positions of the plurality of transparent electrode terminals 86 and the plurality of metal electrode terminals 87 are matched with the positions of the plurality of through holes 93, one end is formed. By moving the FPC stage 35 by using the moving mechanism in the X-axis direction and the Y-axis direction from the state where the position of the transparent electrode terminal 86A at the side of the side is aligned with the reference position P, the terminal at the end of the one end side After the position of the through hole 93A at one end on the one end side is made to coincide with the position of the transparent electrode terminal 86A, the FPC stage 35 is moved by using a rotating mechanism centered on the reference position P (axis S). The position of the through-hole 93Z at the end of the other end is aligned with the position of the transparent electrode terminal 86Z at the end of the other end. In this case, the positions of the plurality of transparent electrode terminals 86 and the plurality of metal electrode terminals 87 are compared with the case where only the moving mechanism in the X-axis direction and the Y-axis direction is used to move the FPC stage 35. And the procedure for matching the positions of the plurality of through holes 93 with each other is simplified. Therefore, the operation time required for the positioning operation can be shortened, and thereby the cost of the positioning process can be reduced. In addition, since the positioning operation can be performed by using a visual observation method using the CCD cameras 42A and 42B without using an expensive image recognition system or the like, the cost of the apparatus can be reduced from this viewpoint. be able to.
[0068]
Further, in the present embodiment, two CCD cameras 42A and 42B including a high-magnification and small fixed-focus macro lens 43 are used. Therefore, unlike the case where one large zoom camera is used, The two observation regions (one end region T1 and the other end region T2) can be easily observed without performing zoom switching, and a plurality of fine through holes 93 close to each other can be observed at a high magnification. Further, the weight of the entire apparatus can be reduced.
[0069]
In the present embodiment, as shown in FIG. 8, when the wiring portion 92Y of the FPC 90 mounted on the block 70Y (block parts 73C and 73D) is partially deformed in a convex shape, Since the wiring portion 92Y is partially deformed into a concave shape by sucking the portion 92YP by using the suction hole 74 provided in the 73F, the wiring that hinders the connection of the FPC 90 to the display panel 80 is formed. The deformed shape of the portion 92Y is corrected. Therefore, the FPC 90 can be normally connected to the display panel 80. Further, even after the FPC 90 is mounted on the block 70Y, the allowable manufacturing error range of the FPC 90 mainly relating to the size of the periphery of the portion 92YP can be expanded based on the end point at which the deformed shape of the wiring portion 92Y can be corrected.
[0070]
Further, in the present embodiment, the FPC 90 provided with a plurality of through holes 93 is used so as to have the number of arrangements satisfying the condition of the above formula (β). Therefore, the transparent electrode terminal 86 and the metal electrode terminal 87 are used. The transparent electrode terminal 86 and the metal electrode terminal 87 can be reliably aligned with the through hole 93 without causing an alignment error due to the displacement of the arrangement position of the through hole 93.
[0071]
In the present embodiment, the CCD cameras 42A and 42B are used for the alignment work. However, the present invention is not limited to this. The display panel 80 mounted on the display panel stage 24 and the FPC stage It is possible to use any two of the plurality of CCD cameras 42A, 42B, 42C in accordance with the mounting direction of the FPC 90 mounted on 35. In any case, the same positioning operation as in the above embodiment can be performed, and the same effect can be obtained.
[0072]
In the present embodiment, in order to match the positions of the plurality of transparent electrode terminals 86 and the plurality of metal electrode terminals 87 with the positions of the plurality of through holes 93, the FPC is performed while the display panel stage 24 is kept stationary. Although the stage for moving 35 is moved, the present invention is not limited to this. For example, the stage for display panel 24 may be moved while the stage for FPC 35 is kept still, or the display panel may be moved. The stage 24 for FPC and the stage 35 for FPC may be moved. In any case, the same effect as in the above embodiment can be obtained by using the rotation and movement mechanism of the display panel mounting mechanism 20 or the rotation and movement mechanism of the FPC mounting mechanism 30.
[0073]
As described above, the present invention has been described with reference to the embodiment. However, the present invention is not limited to the above embodiment, and can be variously modified. Specifically, the details of the configuration of the alignment adjustment device 100 and the procedure of the alignment adjustment method using the alignment adjustment device 100 are not necessarily limited to those described in the above embodiment. The display panel 80 and the FPC 90 are observed by using the CCD cameras 42A, 42B, and 42C arranged on the opposite side of the display panel stage 24, and a plurality of transparent electrode terminals 86 and a plurality of The position can be freely changed as long as high-accuracy alignment work can be realized by aligning the metal electrode terminal 87 with the plurality of through holes 93.
[0074]
Further, for example, in the above-described embodiment, the case where the present invention is applied to the work of aligning the transparent electrode terminal 86 and the metal electrode terminal 87 of the display panel 80 constituting the organic EL display with the through hole 93 of the FPC 90 has been described. However, the present invention is not limited to this. For example, the present invention may be applied to another display having the same connection mechanism as the display panel 80 and the FPC 90, or the present invention may be applied to other devices other than the display. The invention may be applied. In any case, the same effect as in the above embodiment can be obtained.
[0075]
【The invention's effect】
As described above, according to the alignment adjusting apparatus according to any one of claims 1 to 13 or the alignment adjusting method according to any one of claims 14 to 26, the second aspect is provided. While observing the connection terminals of the display panel and the connection holes of the wiring board using the observation means arranged on the opposite side of the first holding means with the holding means interposed therebetween, the electrode terminals and the connection holes are aligned using the alignment means. , The distance between the first and second holding means is reduced as compared with the case where the observation means is arranged between the first and second holding means. The moving distance of the first or second holding means at the time of connection between the display panel and the wiring board is reduced. Therefore, for example, even if the moving axis of the first or second holding means is displaced from the normal moving axis capable of properly aligning the connection terminal and the connection hole, the amount of displacement caused by the movement becomes smaller. Therefore, the connection terminal and the connection hole can be positioned with high accuracy. In addition, the moving space of the first or second holding means can be reduced based on the shortened moving distance, so that the size and cost of the device can be reduced.
[0076]
Further, according to the alignment adjusting device of the fourth aspect or the alignment adjusting method of the seventeenth aspect, the position of the first connection terminal is shifted from the state where the first connection terminal is positioned at the reference position by using the moving mechanism. And the position of the first connection hole, and the position of the second connection terminal and the position of the second connection hole using a rotation mechanism centered on the reference position. The first connection terminal is inserted through the first connection hole by using the first connection hole, and the second connection terminal is inserted through the second connection hole. The procedure for matching the positions of the plurality of connection terminals and the positions of the plurality of connection holes is simplified. Therefore, the work time required for the positioning operation can be reduced, and the cost of the positioning process can be reduced.
[0077]
According to the alignment adjusting device of the tenth aspect or the alignment adjusting method of the twenty-third aspect, the observation means is suspended using the support means, so that the observation means is supported from above by the support means. The stationary stability of the observation means in the vertical direction is ensured. Therefore, for example, as compared with the case where the observation unit is supported from the horizontal direction, the displacement of the observation unit due to the vertical vibration or the like is prevented, so that the defocus during observation can be prevented.
[0078]
Further, according to the alignment adjusting device of the twelfth aspect or the alignment adjusting method of the twenty-fifth aspect, the wiring substrate is corrected by utilizing a shape correcting mechanism of the holder and sucking a deformed portion of the wiring substrate. Accordingly, the deformed shape of the wiring board, which hinders the connection between the display panel and the wiring board, is corrected. Therefore, the display panel and the wiring board can be normally connected.
[0079]
According to the alignment adjusting device of the thirteenth aspect or the alignment adjusting method of the twenty-sixth aspect, the arrangement pitch error between the connection terminals and the arrangement pitch error between the connection holes position the connection terminals and the connection holes. The number of connection holes provided is such that the number of connection holes is within the allowable error range necessary for alignment, so that misalignment due to misalignment of connection terminals and connection holes does not occur. Thus, the connection terminal and the connection hole can be reliably aligned.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram illustrating an external configuration of an alignment adjustment device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a plan view illustrating a planar configuration of the alignment adjustment device illustrated in FIG.
FIG. 3 is an enlarged plan view illustrating a planar configuration of a block.
FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating a schematic cross-sectional configuration of a display panel and an FPC.
FIG. 5 is an enlarged plan view illustrating a planar configuration of the FPC.
FIG. 6 is a diagram for explaining a connection arrangement pattern of an FPC to a display panel.
FIG. 7 is a diagram illustrating a procedure for mounting an FPC on a block.
FIG. 8 is a cross-sectional view for explaining an FPC shape correcting mechanism using blocks.
FIG. 9 is a diagram schematically illustrating an observation image displayed on a monitor during a positioning operation.
FIG. 10 is a diagram for explaining a procedure for positioning a transparent electrode terminal and a through hole.
FIG. 11 is a diagram for explaining a procedure following FIG. 10;
FIG. 12 is a diagram illustrating a procedure following FIG. 11;
FIG. 13 is a diagram illustrating a connection procedure between a display panel and an FPC.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Base, 10 ... Positioning mechanism, 20 ... Display panel mounting mechanism, 21 ... Coarse movement 2 axis stage, 22 ... Fine movement 2 axis stage, 23 ... Rotation stage, 24 ... Display panel stage, 30 ... FPC mounting mechanism, 31 ... column, 32 ... top plate, 33 ... 4 degrees of freedom actuator, 34 ... frame, 35 ... FPC stage, 40 ... observation mechanism, 41 ... fine movement 3-axis actuator, 42A, 42B, 42C ... CCD camera, 43 ... fixed Focus macro lens, 44 ... 2 right angle deflection prism, 50 ... Monitor, 60 ... Operation panel, 70X, 70Y ... Block, 71 ... Block base, 72 ... Fixing screw, 73A-73F ... Block parts, 74 ... Suction hole, 80 ... Display panel, 81: glass substrate, 82: transparent electrode, 83: organic EL film, 84: metal electrode, 86 (86A, 86B, 86) , 86Z) ... transparent electrode terminal, 87 ... metal electrode terminal, 90 ... FPC, 91A to 91D ... connection part, 92X, 92Y ... wiring part, 93 (93A, 93B, 93Y, 93Z) ... through hole, 110 ... adhesive , 120: solder ball, 180: organic EL element, P: reference position, R1 to R16: panel area, S: axis.

Claims (26)

表示パネルに設けられた接続端子と配線基板に設けられた接続孔とを互いに位置合わせするために用いられるアライメント調整装置であって、
前記表示パネルを保持する第1の保持手段と、
前記第1の保持手段により保持された前記表示パネルと対向するように前記配線基板を保持する第2の保持手段と、
前記第2の保持手段を挟んで前記第1の保持手段と反対側に配置され、前記第1の保持手段により保持された前記表示パネルの接続端子および前記第2の保持手段により保持された前記配線基板の接続孔を観察するための観察手段と、
前記観察手段により観察された観察映像に基づいて前記第1または第2の保持手段の少なくとも一方を移動させることにより、前記表示パネルの接続端子と前記配線基板の接続孔とを互いに位置合わせする位置合わせ手段と
を備えたことを特徴とするアライメント調整装置。
An alignment adjustment device used to align a connection terminal provided on a display panel and a connection hole provided on a wiring board with each other,
First holding means for holding the display panel;
Second holding means for holding the wiring board so as to face the display panel held by the first holding means;
The connection terminal of the display panel, which is arranged on the opposite side of the first holding means with the second holding means therebetween, and which is held by the second holding means, and the connection terminal of the display panel held by the first holding means. Observation means for observing the connection hole of the wiring board,
A position where the connection terminal of the display panel and the connection hole of the wiring board are aligned with each other by moving at least one of the first and second holding units based on the observation image observed by the observation unit. What is claimed is: 1. An alignment adjusting device, comprising: alignment means.
前記観察手段は、前記配線基板越しに前記接続端子を観察するものである
ことを特徴とする請求項1記載のアライメント調整装置。
2. The alignment adjusting device according to claim 1, wherein the observation unit observes the connection terminal through the wiring board.
前記位置合わせ手段は、
互いに直交する2方向に前記第1または第2の保持手段の少なくとも一方を移動させるための移動機構と、
前記2方向を含む平面内において前記第1または第2の保持手段の少なくとも一方を回転させるための回転機構と
を有することを特徴とする請求項1記載のアライメント調整装置。
The positioning means,
A moving mechanism for moving at least one of the first or second holding means in two directions orthogonal to each other;
2. The alignment adjustment device according to claim 1, further comprising: a rotation mechanism configured to rotate at least one of the first and second holding units in a plane including the two directions.
前記接続端子が第1および第2の接続端子を含むと共に、前記接続孔が第1および第2の接続孔を含み、
前記位置合わせ手段は、
前記移動機構を利用して前記第1または第2の保持手段の少なくとも一方を移動させることにより、前記第1の接続端子の位置を基準位置に一致させると共に、この基準位置に位置する前記第1の接続端子の位置と前記第1の接続孔の位置とを互いに一致させ、
前記回転機構を利用して前記基準位置を中心として前記第1または第2の保持手段の少なくとも一方を回転させることにより、前記第2の接続端子の位置と前記第2の接続孔の位置とを互いに一致させ、
前記移動機構を利用して前記第1または第2の保持手段の少なくとも一方を移動させることにより、前記第1の接続孔に前記第1の接続端子を挿通させると共に、前記第2の接続孔に前記第2の接続端子を挿通させる
ことを特徴とする請求項3記載のアライメント調整装置。
The connection terminal includes first and second connection terminals, and the connection hole includes first and second connection holes,
The positioning means,
By moving at least one of the first and second holding means using the moving mechanism, the position of the first connection terminal is made to coincide with a reference position, and the first connection terminal located at the reference position is moved. The position of the connection terminal and the position of the first connection hole are matched with each other;
By rotating at least one of the first and second holding means around the reference position using the rotation mechanism, the position of the second connection terminal and the position of the second connection hole are changed. Match each other,
By moving at least one of the first or second holding means using the moving mechanism, the first connection terminal is inserted through the first connection hole, and the second connection hole is inserted into the first connection hole. 4. The alignment adjusting device according to claim 3, wherein the second connection terminal is inserted.
前記第1の接続端子は前記表示パネルに設けられた複数の接続端子のうちの一端側最末端に位置し、かつ前記第2の接続端子は他端側最末端に位置するものであり、
前記第1の接続孔は前記配線基板に設けられた複数の接続孔のうちの一端側最末端に位置し、かつ前記第2の接続孔は他端側最末端に位置するものである
ことを特徴とする請求項4記載のアライメント調整装置。
The first connection terminal is located at the end of one end of the plurality of connection terminals provided on the display panel, and the second connection terminal is located at the end of the other end,
The first connection hole is located at one end of the plurality of connection holes provided in the wiring board, and the second connection hole is located at the other end of the other end. 5. The alignment adjusting device according to claim 4, wherein:
前記観察手段は、
前記第1の接続端子および前記第1の接続孔を観察するための第1の観察手段と、
前記第2の接続端子および前記第2の接続孔を観察するための第2の観察手段と
を含むことを特徴とする請求項5記載のアライメント調整装置。
The observation means includes:
First observation means for observing the first connection terminal and the first connection hole;
6. The alignment adjusting device according to claim 5, further comprising a second observation unit for observing the second connection terminal and the second connection hole.
前記第1および第2の観察手段は、いずれもマクロレンズおよび2直角偏向プリズムを含んで構成されており、
前記第1および第2の観察手段によりそれぞれ観察される観察領域の幅は、各観察手段自体の幅以下になっている
ことを特徴とする請求項6記載のアライメント調整装置。
Each of the first and second observation means includes a macro lens and two right-angle deflecting prisms,
7. The alignment adjusting apparatus according to claim 6, wherein the width of each of the observation areas observed by the first and second observation units is equal to or smaller than the width of each observation unit.
前記マクロレンズは固定焦点マクロレンズである
ことを特徴とする請求項7記載のアライメント調整装置。
The alignment adjusting device according to claim 7, wherein the macro lens is a fixed focus macro lens.
各固定焦点マクロレンズ間の間隔は、連続的に変更可能である
ことを特徴とする請求項8記載のアライメント調整装置。
9. The alignment adjusting device according to claim 8, wherein the distance between the fixed focus macro lenses can be changed continuously.
さらに、
前記観察手段を吊り下げるように支持する支持手段
を備えたことを特徴とする請求項1記載のアライメント調整装置。
further,
2. The alignment adjusting device according to claim 1, further comprising a support unit for supporting the observation unit so as to hang the observation unit.
前記配線基板は保持具により直接保持され、
前記第2の保持手段は、前記保持具と共に前記配線基板を間接的に保持するものである
ことを特徴とする請求項1記載のアライメント調整装置。
The wiring board is directly held by a holder,
2. The alignment adjustment device according to claim 1, wherein the second holding unit indirectly holds the wiring board together with the holding tool.
前記保持具は、前記配線基板の変形箇所を吸引することにより前記配線基板の形状を矯正するための形状矯正機構を有するものである
ことを特徴とする請求項11記載のアライメント調整装置。
12. The alignment adjusting device according to claim 11, wherein the holder has a shape correcting mechanism for correcting a shape of the wiring board by sucking a deformed portion of the wiring board.
前記接続端子および前記接続孔がいずれも所定の間隔ごとに配列されていると共に、1つの表示パネルに対応する前記配線基板が2つ以上に分割されており、
各配線基板には、各接続端子間のピッチ誤差と各接続孔のピッチ誤差とが前記接続端子と前記接続孔とを位置合わせするために必要な許容誤差範囲内となるように規定された個数の接続孔が設けられている
ことを特徴とする請求項1記載のアライメント調整装置。
The connection terminals and the connection holes are both arranged at predetermined intervals, and the wiring board corresponding to one display panel is divided into two or more,
In each wiring board, the number specified such that the pitch error between the connection terminals and the pitch error between the connection holes are within an allowable error range necessary for aligning the connection terminals and the connection holes. 2. The alignment adjusting device according to claim 1, wherein the connecting holes are provided.
表示パネルに設けられた接続端子と配線基板に設けられた接続孔とを互いに位置合わせするアライメント調整方法であって、
第1の保持手段を用いて前記表示パネルを保持する第1のステップと、
第2の保持手段を用いて、前記第1の保持手段により保持された前記表示パネルと対向するように前記配線基板を保持する第2のステップと、
前記第2の保持手段を挟んで前記第1の保持手段と反対側に配置された観察手段を用いて、前記第1の保持手段により保持された前記表示パネルの接続端子および前記第2の保持手段により保持された前記配線基板の接続孔を観察する第3のステップと、
位置合わせ手段を用いて、前記観察手段により観察された観察映像に基づいて前記第1または第2の保持手段の少なくとも一方を移動させることにより、前記表示パネルの接続端子と前記配線基板の接続孔とを互いに位置合わせする第4のステップと
を含むことを特徴とするアライメント調整方法。
An alignment adjustment method for aligning a connection terminal provided on a display panel and a connection hole provided on a wiring board with each other,
A first step of holding the display panel using first holding means;
A second step of using the second holding unit to hold the wiring substrate so as to face the display panel held by the first holding unit;
A connection terminal of the display panel held by the first holding unit and the second holding unit using an observation unit arranged on the opposite side of the first holding unit across the second holding unit. A third step of observing the connection hole of the wiring board held by the means;
By moving at least one of the first and second holding means based on the observation image observed by the observation means using a positioning means, a connection terminal of the display panel and a connection hole of the wiring board are moved. And a fourth step of aligning the positions with each other.
前記第3のステップにおいて、前記配線基板越しに前記接続端子を観察する
ことを特徴とする請求項14記載のアライメント調整方法。
15. The alignment adjusting method according to claim 14, wherein in the third step, the connection terminal is observed through the wiring board.
前記第4のステップにおいて、
前記位置合わせ手段として、
互いに直交する2方向に前記第1または第2の保持手段の少なくとも一方を移動させるための移動機構と、
前記2方向を含む平面内において前記第1または第2の保持手段の少なくとも一方を回転させるための回転機構と
を有するものを用いることを特徴とする請求項14記載のアライメント調整方法。
In the fourth step,
As the positioning means,
A moving mechanism for moving at least one of the first or second holding means in two directions orthogonal to each other;
15. The alignment adjustment method according to claim 14, wherein a rotation mechanism for rotating at least one of the first and second holding units in a plane including the two directions is used.
前記接続端子が第1および第2の接続端子を含むと共に、前記接続孔が第1および第2の接続孔を含むようにし、
前記第4のステップは、
前記移動機構を利用して前記第1または第2の保持手段の少なくとも一方を移動させることにより、前記第1の接続端子の位置を基準位置に一致させるステップと、
前記移動機構を利用して前記第1または第2の保持手段の少なくとも一方を移動させることにより、前記基準位置に位置する前記第1の接続端子の位置と前記第1の接続孔の位置とを互いに一致させるステップと、
前記回転機構を利用して前記基準位置を中心として前記第1または第2の保持手段の少なくとも一方を回転させることにより、前記第2の接続端子の位置と前記第2の接続孔の位置とを互いに一致させるステップと、
前記移動機構を利用して前記第1または第2の保持手段の少なくとも一方を移動させることにより、前記第1の接続孔に前記第1の接続端子を挿通させると共に、前記第2の接続孔に前記第2の接続端子を挿通させるステップと
を含むことを特徴とする請求項16記載のアライメント調整方法。
The connection terminal includes first and second connection terminals, and the connection hole includes first and second connection holes.
The fourth step is
Using the moving mechanism to move at least one of the first or second holding means to match the position of the first connection terminal with a reference position;
By moving at least one of the first or second holding means using the moving mechanism, the position of the first connection terminal and the position of the first connection hole located at the reference position can be changed. Matching with each other;
By rotating at least one of the first and second holding means around the reference position using the rotation mechanism, the position of the second connection terminal and the position of the second connection hole are changed. Matching with each other;
By moving at least one of the first or second holding means using the moving mechanism, the first connection terminal is inserted through the first connection hole, and the second connection hole is inserted into the first connection hole. 17. The method according to claim 16, further comprising the step of inserting the second connection terminal.
前記第1の接続端子が前記表示パネルに設けられた複数の接続端子のうちの一端側最末端に位置し、かつ前記第2の接続端子が他端側最末端に位置するようにし、
前記第1の接続孔が前記配線基板に設けられた複数の接続孔のうちの一端側最末端に位置し、かつ前記第2の接続孔が他端側最末端に位置するようにする
ことを特徴とする請求項17記載のアライメント調整方法。
The first connection terminal is located at one end of the plurality of connection terminals provided on the display panel, and the second connection terminal is located at the other end of the display panel,
The first connection hole is located at the end of one of the plurality of connection holes provided in the wiring board, and the second connection hole is located at the end of the other end. 18. The method according to claim 17, wherein the alignment is adjusted.
前記第3のステップにおいて、
前記観察手段として、
前記第1の接続端子および前記第1の接続孔を観察するための第1の観察手段と、
前記第2の接続端子および前記第2の接続孔を観察するための第2の観察手段と
を含むものを用いることを特徴とする請求項18記載のアライメント調整方法。
In the third step,
As the observation means,
First observation means for observing the first connection terminal and the first connection hole;
19. The alignment adjustment method according to claim 18, wherein a device including the second connection terminal and second observation means for observing the second connection hole is used.
前記第1および第2の観察手段として、いずれもマクロレンズおよび2直角偏向プリズムを含むものを用い、
前記第1および第2の観察手段によりそれぞれ観察される観察領域の幅が、各観察手段自体の幅以下となるようにする
ことを特徴とする請求項19記載のアライメント調整方法。
As the first and second observation means, those each including a macro lens and two right-angle deflecting prisms are used,
20. The alignment adjusting method according to claim 19, wherein the width of each of the observation areas observed by the first and second observation units is equal to or smaller than the width of each observation unit.
前記マクロレンズとして、固定焦点マクロレンズを用いる
ことを特徴とする請求項20記載のアライメント調整方法。
21. The alignment adjusting method according to claim 20, wherein a fixed focus macro lens is used as the macro lens.
各固定焦点マクロレンズ間の間隔を連続的に変更可能となるようにする
ことを特徴とする請求項21記載のアライメント調整方法。
22. The alignment adjusting method according to claim 21, wherein an interval between the fixed focus macro lenses can be continuously changed.
支持手段を用いて、前記観察手段を吊り下げるように支持する
ことを特徴とする請求項14記載のアライメント調整方法。
15. The alignment adjusting method according to claim 14, wherein the observation unit is supported so as to be suspended using a support unit.
保持具を用いて前記配線基板を直接保持し、
前記第2のステップにおいて、前記第2の保持手段を用いて前記保持具と共に前記配線基板を間接的に保持する
ことを特徴とする請求項14記載のアライメント調整方法。
Directly holding the wiring board using a holder,
15. The alignment adjustment method according to claim 14, wherein, in the second step, the wiring board is indirectly held together with the holder using the second holding means.
前記保持具として、
前記配線基板の変形箇所を吸引することにより前記配線基板の形状を矯正するための形状矯正機構を有するものを用いる
ことを特徴とする請求項24記載のアライメント調整方法。
As the holder,
25. The alignment adjusting method according to claim 24, wherein a device having a shape correcting mechanism for correcting the shape of the wiring board by sucking a deformed portion of the wiring board is used.
前記接続端子および前記接続孔をいずれも所定の間隔ごとに配列すると共に、1つの表示パネルに対応する前記配線基板を2つ以上に分割し、
前記配線基板として、各接続端子間のピッチ誤差と各接続孔のピッチ誤差とが前記接続端子と前記接続孔とを位置合わせするために必要な許容誤差範囲内となるように規定された個数だけ各配線基板に接続孔が設けらたものを用いる
ことを特徴とする請求項14記載のアライメント調整方法。
All of the connection terminals and the connection holes are arranged at predetermined intervals, and the wiring substrate corresponding to one display panel is divided into two or more,
As the wiring board, the pitch error between the connection terminals and the pitch error between the connection holes are the number specified so that the pitch error between the connection terminals and the connection holes is within an allowable error range required for aligning the connection terminals and the connection holes. 15. The alignment adjustment method according to claim 14, wherein a connection hole is provided in each wiring board.
JP2002176876A 2002-06-18 2002-06-18 Alignment adjustment device and alignment adjustment method Pending JP2004021003A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002176876A JP2004021003A (en) 2002-06-18 2002-06-18 Alignment adjustment device and alignment adjustment method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002176876A JP2004021003A (en) 2002-06-18 2002-06-18 Alignment adjustment device and alignment adjustment method

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2004021003A true JP2004021003A (en) 2004-01-22

Family

ID=31175062

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002176876A Pending JP2004021003A (en) 2002-06-18 2002-06-18 Alignment adjustment device and alignment adjustment method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2004021003A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7591651B2 (en) 2006-09-27 2009-09-22 Epson Imaging Devices Corporation Substrate with helically curved terminals superimposed and connected to identical terminals on a second substrate
WO2015037707A1 (en) 2013-09-13 2015-03-19 新日鐵住金ステンレス株式会社 Inexpensive automotive member and feed oil pipe, exhibiting excellent salt corrosion resistance
CN108872756A (en) * 2018-09-13 2018-11-23 武汉精立电子技术有限公司 A kind of display panel automatic turning conducting structure and test fixture

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7591651B2 (en) 2006-09-27 2009-09-22 Epson Imaging Devices Corporation Substrate with helically curved terminals superimposed and connected to identical terminals on a second substrate
WO2015037707A1 (en) 2013-09-13 2015-03-19 新日鐵住金ステンレス株式会社 Inexpensive automotive member and feed oil pipe, exhibiting excellent salt corrosion resistance
US9963767B2 (en) 2013-09-13 2018-05-08 Nippon Steel & Sumikin Stainless Steel Corporation Inexpensive automotive member and feed oil pipe, exhibiting excellent salt corrosion resistance
CN108872756A (en) * 2018-09-13 2018-11-23 武汉精立电子技术有限公司 A kind of display panel automatic turning conducting structure and test fixture
CN108872756B (en) * 2018-09-13 2024-05-28 武汉精立电子技术有限公司 A display panel automatic flip conduction structure and test fixture

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN111276058B (en) Splicing display panel and splicing display device
TWI712351B (en) Apparatus and method for semiconductor device bonding and mechanism for aligning a plurality of semiconductor devices
JP5919440B2 (en) Imaging module and electronic device
KR102536655B1 (en) Display device
JP5899382B2 (en) IMAGING MODULE, ELECTRONIC DEVICE HAVING THE SAME, AND METHOD FOR MANUFACTURING IMAGING MODULE
JP4518123B2 (en) Display panel and panel inspection device
JP6722287B2 (en) Stereoscopic imaging sensor device and method for manufacturing an image sensor pair used for stereoscopic imaging
JP2015025943A (en) Mounting structure, electro-optical device and electronic apparatus
CN110082922B (en) Substrate laminating device, substrate laminating method, and stereoscopic image display device
WO2015016043A1 (en) Imaging module and electronic apparatus
US11782289B2 (en) Display device and panel bonding system including the same
JPWO2015015999A1 (en) Imaging module
JP2018127702A (en) Vapor deposition mask, vapor deposition mask aligning method, and vapor deposition mask fixing device
JP4664366B2 (en) Electronic component mounting apparatus and mounting method
JP2006240015A (en) Pattern forming apparatus, alignment apparatus, substrate processing apparatus, pattern forming method, and substrate processing method
JP2004021003A (en) Alignment adjustment device and alignment adjustment method
KR20010029582A (en) Electrical connection apparatus
KR100860196B1 (en) Mounting structure, electro?optical device, electronic apparatus, and method of manufacturing mounting structure
JPH08162503A (en) Positioning method and device for electronic components
JP4048897B2 (en) Electronic component alignment method and apparatus
JP3738632B2 (en) Detection data correction method for optical detection means, position detection apparatus provided with optical detection means, and electronic component mounting apparatus
JP4492072B2 (en) Display panel lighting inspection device
JP2016176968A (en) IMAGING MODULE, ELECTRONIC DEVICE HAVING THE SAME, AND METHOD FOR MANUFACTURING IMAGING MODULE
JPH07283272A (en) Electronic component mounting device
JP2001215890A (en) Mounting device for liquid crystal display device