JP2004006670A

JP2004006670A - Semiconductor wafer with spacer and method of manufacturing the same, semiconductor device and method of manufacturing the same, circuit board, and electronic equipment

Info

Publication number: JP2004006670A
Application number: JP2003045875A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Tomimatsu; 冨松　浩之
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2002-02-25
Filing date: 2003-02-24
Publication date: 2004-01-08
Anticipated expiration: 2023-02-24
Also published as: JP4206779B2

Abstract

【課題】半導体チップを積層してボンディングすることにより集積度の向上を図る方法において、チップ間の分離を行う為のスペーサを生産性良くチップ上に形成する。
【解決手段】複数の半導体素子を有する半導体ウエハ、若しくは基板１０上に平面的に並べられた複数の半導体チップ２０上に複数の穴を有する型４０をセットし、穴内にスペーサの材料であるペースト４９を充填した後型をはずすことで、それぞれのチップ２０上にスペーサ５０を一括して形成する。
【選択図】　　　　図３In a method for improving the degree of integration by stacking and bonding semiconductor chips, spacers for separating chips are formed on the chips with high productivity.
A mold having a plurality of holes is set on a semiconductor wafer having a plurality of semiconductor elements or a plurality of semiconductor chips arranged in a plane on a substrate, and a paste as a spacer material is set in the holes. By removing the mold after filling with 49, the spacers 50 are collectively formed on each chip 20.
[Selection diagram] Fig. 3

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、スペーサ付き半導体ウェハ及びその製造方法、半導体装置及びその製造方法、回路基板並びに電子機器に関する。
【０００２】
【発明の背景】
近年、複数の半導体チップを積み重ねた半導体装置が開発されている。その中で、半導体チップの電極にワイヤをボンディングして電気的な接続を図る形態がある。同一又はそれよりも大きい外形を有する半導体チップを積み重ねるには、半導体チップ同士の間にスペーサを設ける必要がある。
【０００３】
従来、スペーサの形成方法として、半導体チップ上に樹脂をポッティングする方法があるが、ポッティング量により樹脂の高さが決まるので、スペーサの高さ及び幅を制御することが難しかった。また、シリコン部材やモールド樹脂を所定形状に形成した後、半導体チップ上に載せる方法があるが、例えば各スペーサを半導体チップごとに位置合わせするなど生産性に劣っていた。
【０００４】
本発明は、上述した課題を解決するためのものであり、その目的は、生産性に優れるスペーサの形成方法を実現することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
（１）本発明に係るスペーサ付き半導体ウェハの製造方法は、複数の半導体素子を有する半導体ウェハの、それぞれの前記半導体素子にスペーサを形成することを含み、
複数の前記スペーサを形成する工程を、前記半導体ウェハ上で一括して行う。本発明によれば、複数のスペーサを半導体ウェハ上で一括して形成するので、生産性が極めて高い。すなわち、スペーサを個々に半導体素子上に取り付ける手間を省略でき、迅速かつ簡単にスペーサを形成することができる。
（２）このスペーサ付き半導体ウェハにおいて、
前記スペーサを、前記半導体素子の面の内側に形成してもよい。これによれば、スペーサの表面積を小さくすることができる。そのため、例えば、半導体装置の封止に使用される材料と物性値が異なる場合であっても、半導体装置の内部応力を減少させることができる。
（３）このスペーサ付き半導体ウェハにおいて、
前記スペーサを、内部に複数のボールを有するように形成してもよい。これによれば、容易に設計通りの高さのスペーサを形成することができるため、簡単にスペーサ付き半導体ウェハを製造することができる。
（４）このスペーサ付き半導体ウェハにおいて、
前記スペーサを、前記ボールの直径とほぼ等しい高さに形成してもよい。
（５）このスペーサ付き半導体ウェハにおいて、
前記ボールは弾性を有してもよい。これによれば、ボールによって半導体ウェハが傷つくことを防止することができる。
（６）このスペーサ付き半導体ウェハにおいて、
前記スペーサの形成工程で、
複数の穴を有する型を前記ウェハにセットし、
それぞれの前記穴内に前記スペーサの材料であるペーストを設け、
前記型を前記ウェハから離すことで、複数の前記スペーサを形成してもよい。これによれば、ペーストを型に形成された複数の穴に設けることで、複数のスペーサを一括して形成することができる。
（７）このスペーサ付き半導体ウェハにおいて、
前記型は、前記ペーストの流れを止めるダム部を有し、
前記ペーストを、前記穴内の前記ダム部で囲まれた空間に設けてもよい。これによって、流動しやすい材料を使用しても、所定の幅のスペーサを簡単に形成することができる。
（８）このスペーサ付き半導体ウェハにおいて、
前記ペーストを、前記型の面と面一になるように設けてもよい。これによれば、ペーストを型の面と面一になるように設けることで、所定の高さのスペーサを簡単に形成することができる。
（９）このスペーサ付き半導体ウェハにおいて、
前記ペーストは、樹脂であってもよい。
（１０）このスペーサ付き半導体ウェハにおいて、
前記ペーストのチキソ比は、モールド封止材料のチキソ比よりも大きくてもよい。
（１１）このスペーサ付き半導体ウェハにおいて、
前記ペーストは、複数の前記ボールを含有してもよい。これによると、内部にボールを含有するスペーサを容易に形成することができる。
（１２）このスペーサ付き半導体ウェハにおいて、
前記スペーサの形成工程で、
前記ウェハ上に、感光性を有する前記スペーサの材料を設け、
前記材料を露光及び現像することで、複数の前記スペーサを形成してもよい。これによれば、材料を露光及び現像することで、複数のスペーサを一括して形成することができる。
（１３）このスペーサ付き半導体ウェハにおいて、
前記材料は、ポジ型又はネガ型のいずれかの性質を有してもよい。
（１４）このスペーサ付き半導体ウェハにおいて、
前記材料を、スピンコート法によって設けてもよい。これによって、材料を一定の厚みにすることができる。したがって、所定の高さのスペーサを簡単に形成することができる。
（１５）このスペーサ付き半導体ウェハにおいて、
前記材料は、複数の前記ボールを含有してもよい。これによると、内部にボールを含有するスペーサを容易に形成することができる。
（１６）このスペーサ付き半導体ウェハにおいて、
前記スペーサの形成工程で、
前記スペーサの材料であるシートをテープに貼り付け、
前記シートの複数の部分を、前記テープから前記半導体ウェハ上に転写させることで、複数の前記スペーサを形成してもよい。これによれば、テープに貼り付けられたシートを転写することで、複数のスペーサを一括して形成することができる。
（１７）このスペーサ付き半導体ウェハにおいて、
前記転写工程前に、
前記テープと前記複数の部分との接着力を、前記テープと前記シートの他の部分との接着力よりも小さくしてもよい。これによって、シートを部分的に半導体ウェハ上に転写させることができる。
（１８）このスペーサ付き半導体ウェハにおいて、
前記テープは、紫外線硬化性を有してもよい。
（１９）このスペーサ付き半導体ウェハにおいて、
前記転写工程前に、
前記テープのうち前記シートの前記複数の部分が接着される領域に、紫外線を照射してもよい。これによって、シートを簡単に部分的に剥がすことができる。（２０）このスペーサ付き半導体ウェハにおいて、
前記転写工程前に、
前記テープ上で、前記シートを前記複数の部分の輪郭を通るように切断してもよい。これによって、シートを簡単に部分的に剥がすことができる。
（２１）このスペーサ付き半導体ウェハの製造方法において、
前記シートは、複数の前記ボールを含有してもよい。これによると、内部にボールを含有するスペーサを容易に形成することができる。
（２２）このスペーサ付き半導体ウェハの製造方法において、
前記スペーサを形成する工程は、前記スペーサを押圧してレベリングすることを含んでもよい。
（２３）本発明に係る半導体装置の製造方法は、基板上に平面的に並べられた複数の半導体チップの、それぞれの前記半導体チップにスペーサを設けることを含み、
複数の前記スペーサを形成する工程を、前記基板上で一括して行う。本発明によれば、複数のスペーサの形成工程を、基板上で一括して行うので、生産性が極めて高い。すなわち、スペーサを個々に半導体チップに取り付ける手間を省略でき、迅速かつ簡単にスペーサを形成することができる。
（２４）この半導体装置の製造方法において、
前記スペーサを、前記半導体チップの面の内側に形成してもよい。
これによれば、スペーサの表面積を小さくすることができる。そのため、例えば、半導体装置の封止に使用される材料と物性値が異なる場合であっても、半導体装置の内部応力を減少させることができる。
（２５）この半導体装置の製造方法において、
前記スペーサを、内部に複数のボールを有するように形成してもよい。これによれば、容易に設計通りの高さのスペーサを形成することができるため、簡単に半導体装置を製造することができる。
（２６）この半導体装置の製造方法において、
前記スペーサを、前記ボールの直径とほぼ等しい高さに形成してもよい。
（２７）この半導体装置の製造方法において、
前記ボールは弾性を有してもよい。これによれば、ボールによって半導体チップの表面が傷つくことを防止することができる。
（２８）この半導体装置の製造方法において、
前記スペーサの形成工程で、
複数の穴を有する型を前記基板にセットし、
それぞれの前記穴内に前記スペーサの材料であるペーストを設け、
前記型を前記ウェハから離すことで、複数の前記スペーサを形成してもよい。これによれば、ペーストを型に形成された複数の穴に設けることで、複数のスペーサを一括して形成することができる。
（２９）この半導体装置の製造方法において、
前記型は、前記ペーストの流れを止めるダム部を有し、
前記ペーストを、前記穴内の前記ダム部で囲まれた空間に設けてもよい。これによって、流動しやすい材料を使用しても、所定の幅のスペーサを簡単に形成することができる。
（３０）この半導体装置の製造方法において、
前記ペーストを、前記型の面と面一になるように設けてもよい。これによれば、ペーストを型の面と面一になるように設けることで、所定の高さのスペーサを簡単に形成することができる。
（３１）この半導体装置の製造方法において、
前記ペーストは、樹脂であってもよい。
（３２）この半導体装置の製造方法において、
前記ペーストのチキソ比は、モールド封止材料のチキソ比よりも大きくてもよい。
（３３）この半導体装置の製造方法において、
前記ペーストは、複数の前記ボールを含有してもよい。これによれば、内部にボールを含有するスペーサを容易に形成することができる。
（３４）この半導体装置の製造方法において、
前記スペーサの形成工程で、
少なくとも複数の前記半導体チップ上に、感光性を有する前記スペーサの材料を設け、
前記材料を露光及び現像することで、複数の前記スペーサを形成してもよい。これによれば、材料を露光及び現像することで、複数のスペーサを一括して形成することができる。
（３５）この半導体装置の製造方法において、
前記材料は、ポジ型又はネガ型のいずれかの性質を有してもよい。
（３６）この半導体装置の製造方法において、
前記材料を、スピンコート法によって設けてもよい。これによって、材料を一定の厚みにすることができる。したがって、所定の高さのスペーサを簡単に形成することができる。
（３７）この半導体装置の製造方法において、
前記材料は、複数の前記ボールを含有してもよい。これによれば、内部にボールを含有するスペーサを容易に形成することができる。
（３８）この半導体装置の製造方法において、
前記スペーサの形成工程で、
前記スペーサの材料であるシートをテープに貼り付け、
前記シートの複数の部分を、前記テープから前記半導体チップ上に転写させることで、複数の前記スペーサを形成してもよい。これによれば、テープに貼り付けられたシートを転写することで、複数のスペーサを一括して形成することができる。
（３９）この半導体装置の製造方法において、
前記転写工程前に、
前記テープと前記複数の部分との接着力を、前記テープと前記シートの他の部分との接着力よりも小さくしてもよい。これによって、シートを部分的に半導体ウェハ上に転写させることができる。
（４０）この半導体装置の製造方法において、
前記テープは、紫外線硬化性を有してもよい。
（４１）この半導体装置の製造方法において、
前記転写工程前に、
前記テープのうち前記シートの前記複数の部分が接着される領域に、紫外線を照射してもよい。これによって、シートを簡単に部分的に剥がすことができる。（４２）この半導体装置の製造方法において、
前記転写工程前に、
前記テープ上で、前記シートを前記複数の部分の輪郭を通るように切断してもよい。これによって、シートを簡単に部分的に剥がすことができる。
（４３）この半導体装置の製造方法において、
前記シートは、複数の前記ボールを含有してもよい。これによれば、内部にボールを含有するスペーサを容易に形成することができる。
（４４）この半導体装置の製造方法において、
前記スペーサを形成する工程は、前記スペーサを押圧してレベリングすることを含んでもよい。
（４５）この半導体装置の製造方法において、
前記半導体チップの電極と、前記基板の配線パターンと、をワイヤボンディングすることをさらに含んでもよい。
（４６）この半導体装置の製造方法において、
前記ワイヤボンディング工程前に、前記スペーサを形成する工程を行ってもよい。
（４７）この半導体装置の製造方法において、
前記ワイヤボンディング工程後に、前記スペーサを形成する工程を行ってもよい。
（４８）この半導体装置の製造方法において、
前記スペーサの形成工程を、前記基板上に積み重ねられる２段目以降の複数の半導体チップごとに繰り返すことで、複数のスタック型の半導体装置の集合体を形成することをさらに含んでもよい。これによれば、スペーサの形成工程を、２段目以降の複数の半導体チップごとに基板上で一括して行う。これによって、スペーサを形成した後の半導体チップを、基板上に移し変える手間が省略され、最小限の工程数で半導体装置を製造することができる。
（４９）この半導体装置の製造方法において、
各前記複数の半導体チップの前記基板を向く面には接着剤が形成されてなり、
前記スペーサと前記半導体チップのそれぞれとを、前記接着剤によって固着してもよい。
（５０）この半導体装置の製造方法において、
前記接着剤は絶縁性接着剤であってもよい。
（５１）この半導体装置の製造方法において、
前記接着剤は、前記半導体チップの前記基板を向く面の全面に形成されていてもよい。
（５２）この半導体装置の製造方法において、
前記基板上に、積み重ねられた複数の前記半導体チップを封止する封止部を形成することをさらに含んでもよい。
（５３）この半導体装置の製造方法において、
前記封止工程後に、前記封止部及び前記基板を切断し、複数のスタック型の半導体装置に個片にすることをさらに含んでもよい。
（５４）本発明に係る半導体ウェハは、複数の半導体素子を有する半導体ウェハと、
それぞれの前記半導体素子上に設けられたスペーサと、
を含む。
（５５）この半導体ウェハにおいて、
前記スペーサは、前記半導体素子の面の内側に形成されてもよい。
（５６）この半導体ウェハにおいて、
前記スペーサは、内部に複数のボールを有してもよい。
（５７）この半導体ウェハにおいて、
前記スペーサの高さは、前記ボールの直径とほぼ等しくてもよい。
（５８）この半導体ウェハにおいて、
前記ボールは弾性を有してもよい。
（５９）本発明に係る半導体装置は、配線パターンを有する基板と、
前記基板上に平面的に並べられた複数の半導体チップと、
それぞれの前記半導体チップ上に設けられたスペーサと、
を含む。
（６０）本発明に係る半導体装置は、配線パターンを有する基板と、
前記基板上に平面的に並べられ、かつ、立体的に積み重ねられた複数の半導体チップと、
前記立体的に積み重ねられた半導体チップ同士の間に設けられたスペーサと、
を含む。
（６１）この半導体装置において、
前記スペーサは、前記半導体チップの面の内側に形成されてもよい。
（６２）この半導体装置において、
各前記半導体チップの前記基板を向く面には、絶縁層が形成されていてもよい。
（６３）この半導体装置において、
前記絶縁層は、各前記半導体チップの前記基板を向く面の全面に形成されていてもよい。
（６４）この半導体装置において、
前記スペーサは、内部に複数のボールを有してもよい。
（６５）この半導体装置において、
前記スペーサの高さは、前記ボールの直径とほぼ等しくてもよい。
（６６）この半導体装置において、
前記ボールは弾性を有してもよい。
（６７）この半導体装置において、
前記半導体チップは電極を有し、
前記電極と前記基板の前記配線パターンとがワイヤボンディングされてもよい。
（６８）この半導体装置において、
前記基板上に、複数の前記半導体チップを封止する封止部が形成されてもよい。
（６９）この半導体装置において、
前記封止部及び前記基板が切断されることで、個片化されてなるスタック型として構成されてもよい。
（７０）本発明に係る回路基板は、上記半導体装置が実装されている。
（７１）本発明に係る電子機器は、上記半導体装置を有する。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。ただし、本発明は、以下の実施の形態に限定されるものではない。
【０００７】
（第１の実施の形態）
図１〜図１０は、本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置の製造方法を示す図である。まず、図１に示すように、基板１０に複数の半導体チップ２０を搭載する。基板１０は、個片になると半導体装置のインターポーザとなる。
【０００８】
基板１０は、有機系（ポリイミド基板）又は無機系（セラミック基板、ガラス基板）のいずれの材料から形成されてもよく、これらの複合構造（ガラスエポキシ基板）から形成されてもよい。基板１０の平面形状は限定されないが、図１に示すように矩形をなすことが多い。基板１０は、単層又は多層基板のいずれでもよい。
【０００９】
基板１０には、複数の半導体チップ２０を搭載するために、複数の搭載領域１２が設けられている。搭載領域１２は、基板１０のいずれか一方又は両方の面に形成されている。図１に示す例では、複数の搭載領域１２は、基板１０の面上で複数行複数列（マトリクス状）に配列されている。
【００１０】
基板１０は、複数の配線からなる配線パターン１４（図３（Ａ）参照）を有する。詳しくは、配線パターン１４は、各搭載領域１２に形成されている。基板１０には、一方の面と他方の面とを電気的に接続するための複数の貫通孔１６（図３（Ａ）参照）が形成されていてもよい。貫通孔１６は、導電材料で埋められてもよいし、内壁面にメッキされてスルーホールとなっていてもよい。こうすることで、基板１０の両面から電気的な接続を図ることができる。
【００１１】
半導体チップ２０の形状は限定されないが、図１に示すように直方体（立方体を含む）をなすことが多い。半導体チップ２０は、図示しないトランジスタやメモリ素子などからなる集積回路が形成されている。半導体チップ２０は、集積回路と電気的に接続した少なくとも１つ（多くの場合複数）の電極（図示しない）を有する。電極は、半導体チップ２０の面の端部に、外形の２辺又は４辺に沿って配置されてもよいし、面の中央部に形成されてもよい。電極は、アルミニウム系又は銅系の金属で形成されてもよい。また、半導体チップ２０には、電極の中央部を避けて端部を覆って、パッシベーション膜（図示しない）が形成されている。パッシベーション膜は、例えば、ＳｉＯ_２、ＳｉＮ、ポリイミド樹脂などで形成することができる。
【００１２】
図１に示すように、基板１０の複数の搭載領域１２のそれぞれに、半導体チップ２０を搭載する。複数の半導体チップ２０を基板１０に平面的に並べる。半導体チップ２０を、電極を上に向けてボンディング（フェースアップボンディング）する。半導体チップ２０を接着剤で基板１０に接着してもよい。このとき、接着剤は絶縁性を有してもよい。
【００１３】
図２に示すように、半導体チップ２０と配線パターン１４とを電気的に接続する。ワイヤ３０によって両者の電気的な接続を図ってもよい。その場合、ボールバンプ法を適用してもよい。すなわち、ツール（例えばキャピラリ）の外部に引き出したワイヤ３０の先端部をボール状に溶融させ、その先端部を電極に熱圧着する（超音波振動も併用すると好ましい）ことで、ワイヤ３０を電極に電気的に接続してもよい。その場合、ワイヤ３０を、半導体チップ２０の電極にボンディングした後、基板１０の配線パターン１４にボンディングしてもよい。
【００１４】
変形例として、ワイヤ３０を、基板１０の配線パターン１４にボンディングした後、半導体チップ１０の電極にボンディングしてもよい。このように、ワイヤ３０を低い位置から高い位置に引き出すことで、ワイヤ３０のループ高さを低くすることができる。半導体チップ１０の電極にセカンドボンディングを行う場合には、予め電極上にバンプを設けておくことが好ましい。こうすることで、下地となる電極を損傷させずに、ワイヤ３０と電極との電気的な接続信頼性を高めることができる。
【００１５】
図３（Ａ）〜図３（Ｃ）に示すように、それぞれの半導体チップ２０にスペーサ５０を設ける。本実施の形態では、印刷法を適用することで複数のスペーサ５０を一括して設ける。スペーサ５０の材料は、液状樹脂（例えばペースト４９）であってもよい。スペーサ５０は、半導体チップ２０の上面（電極の形成面）に設ける。例えば、スペーサ５０を、半導体チップ２０の面の内側に設けてもよい（図５参照）。例えば、スペーサ５０を、半導体チップ２０の面において、端部に形成された複数の電極よりも中央部の領域に設けてもよい。これによれば、スペーサ５０の表面積を小さくすることができる。そのため、例えば、半導体装置の封止に使用される材料（例えばトランスファモールドに使用の材料）と物性値（例えば熱膨張係数）が異なる場合であっても、両者の接触面積が小さくなるため、半導体装置の内部応力を減少させることができる。あるいは、スペーサ５０を、半導体チップ２０の面の外側にはみ出すように設けてもよい。ワイヤボンディング工程後にスペーサ５０を設ける場合に、ワイヤ３０の一部をペースト４９で覆っても構わない。なお、スペーサ５０は、ワイヤ３０の高さよりも厚く（高く）形成する。
【００１６】
ペースト４９は、絶縁材料であることが好ましく、例えば樹脂であってもよい。また、ペースト４９のチキソ比は、モールド封止材料（例えばトランスファモールドに使用される材料（例えば樹脂））のチキソ比よりも大きいことが好ましい。こうすることで、印刷抜けをなくして、確実に半導体チップ２０上にスペーサ５０を形成することができる。
【００１７】
図３（Ａ）に示すように、型４０を、基板１０の半導体チップ２０が搭載された側の面にセットする。型４０は、所定の平面形状にパターニングされたマスク（又はスクリーン）である。型４０によって形成された空間に、スペーサ５０の材料であるペースト４９を設けることで、半導体チップ２０にスペーサ５０を形成する。
【００１８】
型４０は、ペースト４９を設けるための複数の穴４２を有する。図３（Ａ）に示す例では、１つの穴４２は、いずれか１つの半導体チップ２０に対応している。そして、型４０を基板１０にセットすることで、基板１０上に、ペースト４９を設けるための空間が形成される。図３（Ａ）に示すように、穴４２の開口の平面形状は、半導体チップ２０の面の内側に包含されてもよい。こうすることで、ペースト４９が押し出される領域が半導体チップ２０の面の内側に包含されるので、スペーサ５０を半導体チップ２０の面の内側に設けやすくなる。なお、穴４２の平面形状は限定されず、例えば矩形又は円形をなしてもよい。
【００１９】
図３（Ａ）に示すように、型４０は、ペースト４９の流れ（基板の幅方向に広がる流れ）を止めるダム部４４を有してもよい。図３（Ａ）に示す例では、ダム部４４は、半導体チップ２０の面の内側に包含される穴４２の外周に、半導体チップ２０の高さ方向に延びて形成されている。型４０を基板１０にセットしたときに、ダム部４４が半導体チップ１０の面に接触するようになっていてもよい。ダム部４４を設けることで、ペースト４９が流動しやすくても（チキソ比が大きくても）、所定の幅のスペーサ５０を簡単に形成することができる。逆にいうと、ペースト４９として流動しにくい（チキソ比が小さい）材料を選べば、ダム部４４は省略してもよい。なお、ダム部４４を省略する場合、レベリング工程（図４参照）を経て各スペーサ５０を形成してもよい。ダム部４４は、スペーサ５０の平面形状に応じて設ければよい。
【００２０】
図３（Ａ）に示すように、型４０の基板１０側の立体形状は、基板１０上の凸部（半導体チップ２０、ワイヤ２２及び配線パターン１４など）を避ける形状（図３（Ａ）では凹部）をなしている。型４０の基板１０側の部分を、ワイヤ２２も避ける形状にすれば、スペーサ５０の形成工程をワイヤボンディング工程後に行うことが可能になる。変形例として、スペーサ５０の形成工程をワイヤボンディング工程前に行ってもよい。型４０は、エッチング法（ハーフ又はフルエッチング）を適用することで所定の立体形状に形成してもよい。
【００２１】
図３（Ａ）に示すように、型４０を基板１０にセットし、穴４２を半導体チップ２０上に配置させる。そして、型４０にペースト４９を設け、押圧部材（例えばスキージ）４８によって、穴４２内で型４０の面の高さにペースト４９を均一にする。
【００２２】
こうして、図３（Ｂ）に示すように、型４０の複数の穴４２内にペースト４９を設ける。その場合、ペースト４９を、空間の全部（図３（Ａ）ではダム部４４で囲まれた部分）に充填させてもよく、このとき、ペースト４９は、型４０の面（基板１０とは反対側の面）４６と面一になる。すなわち、ペースト４９の面の高さは、型４０の面の高さと同一になる。したがって、型４０の面の高さを決定することで、所定の高さのスペーサ５０を簡単に形成することができる。
【００２３】
図３（Ｃ）に示すように、型４０を基板１０から離すことで、複数のスペーサ５０を複数の半導体チップ２０上に設けることができる。
【００２４】
この方法によれば、ペースト４９を型４０に形成された複数の穴４２に設けることで、複数のスペーサ５０を一括して形成することができる。また、ペースト４９を必要な部分に直接設けるので、材料を無駄にすることがなく、コストを抑えることができる。
【００２５】
なお、ペースト４９は、空間の一部（図３（Ａ）ではダム部４４で囲まれた空間の一部）に設けてもよい。このとき、ペースト４９によってスペーサを形成した後に、それらを押圧してレベリングすることで、スペーサ５０を形成してもよい。これによると、各スペーサ５０の高さを一定にすることができ、かつ、スペーサ５０の半導体チップ２０を向く面とは反対側の面を半導体チップ２０と平行になるように形成することができる。そのため、複数の半導体チップを、半導体チップ同士が平行になるように積層することができ、積層された半導体チップ同士、あるいは、半導体チップとワイヤとがショートしにくい、電気的な信頼性の高い半導体装置を製造することができる。このとき、図４に示すように、複数のスペーサを同時に押圧治具１００によって押圧して、一括して複数のスペーサ５０を形成してもよい。
【００２６】
こうして、図５に示すように、基板１０上の複数の半導体チップ２０のそれぞれに、スペーサ５０を形成することができる。半導体装置１は、基板１０と、基板１０上に平面的に並べられた半導体チップ２０と、それぞれの半導体チップ２０上に設けられたスペーサ５０と、を含む。スペーサ５０自体の接着機能の有無は問わない。
【００２７】
なお、図６に示すように、スペーサを内部に複数のボール５７を有するように形成してもよい。複数のボール５７を含有するペーストを使用して、上述したスペーサ５０を形成する工程を行うことで、内部に複数のボールを有するスペーサ５５を形成してもよい。これによると、各スペーサ５５の高さを揃えることが容易になり、信頼性の高い半導体装置を製造することができる。特に、押圧治具１００によってレベリングしてスペーサを形成する場合、ボール５７によって押圧治具１００の高さを制御することが容易となるため、複数のスペーサを同時にレベリングする工程を容易に行うことができ、信頼性の高い半導体装置を効率よく形成することができる。また、スペーサ５５の半導体チップ２０を向く面とは反対側の面を、半導体チップ２０と平行になるように形成することが容易となるため、信頼性の高い半導体装置を容易に製造することができる。なお、スペーサ５５を、ボール５７の直径とほぼ等しい高さに形成してもよい。すなわち、ボール５７として、スペーサ５５の設計高さとほぼ同じ直径をなすボールを使用してもよい。ボール５７の材料は特に限定されないが、例えば樹脂や、ゴムなどであってもよい。また、ボール５７は、絶縁性を有する材料によって形成されてもよい。ボール５７は弾性を有してもよい。ボール５７が弾性を有する場合、ボール５７によって半導体チップが傷つくことを防止することができるため、信頼性の高い半導体装置を製造することができる。
【００２８】
次に、図７（Ａ）及び図７（Ｂ）に示すように、平面的に並べられた複数の半導体チップ２０上に複数の他の半導体チップ２２を積み重ね、それぞれの半導体チップ２２に上述の工程を繰り返してスペーサ５２を設ける。
【００２９】
図７（Ａ）に示すように、半導体チップ２２を電極を上に向けて、半導体チップ２０上にボンディングする。詳しくは、半導体チップ２２をスペーサ５０上に搭載する。例えば、半導体チップ２２の裏面（基板１０を向く面）に貼り付けられた接着剤（例えば接着シート）６０によって、半導体チップ２２をスペーサ５０上に固定してもよい。なお、接着剤６０は、絶縁性接着剤であってもよく、このとき、半導体チップ２２の裏面全体に接着剤６０を設ければ、半導体チップ２２とワイヤ３０とのショートを防止できる。その後、半導体チップ２２と配線パターン１４とを、例えばワイヤ３２で電気的に接続する。
【００３０】
そして、型４１を基板１０にセットし、押圧部材４８でペースト４９を穴４２内に設ける。図７（Ａ）に示すように、ダム部４４が形成される場合には、ペースト４９をダム部４４で囲まれた空間に充填させる。こうして、ペースト４９を型４１の面４６と面一になるように設ける。
【００３１】
その後、図７（Ｂ）に示すように、型４１を基板１０から離すことで、複数のスペーサ５２を複数の半導体チップ２２上に一括して設けることができる。
【００３２】
図８に示すように、以上の工程を複数回繰り返して、複数のスタック構造の半導体装置の集合体を形成する。基板１０には、２つ以上の半導体チップが積み重ねられている。図８に示す例では、４つの半導体チップ２０、２２、２４、２６が立体的に積み重ねられ、高さ方向の半導体チップ同士の間には、スペーサ５０、５２、５４が介在している。
【００３３】
これによれば、スペーサの形成工程を、２段目以降の複数の半導体チップ２２、２４、２６ごとに基板１０上で一括して行う。そのため、スペーサを形成した後の半導体チップを、基板１０上に移し変える手間が省略され、最小限の工程数で半導体装置を製造することができる。
【００３４】
図８に示す例では、各半導体チップ２０、２２、２４、２６の外形の大きさは同一であるが、本実施の形態はこれに限定されず、基板１０に異なる大きさの複数の半導体チップを搭載してもよい。例えば、上側の半導体チップの外形を、下側の半導体チップの外形よりも大きくしてもよい。
【００３５】
図９に示すように、基板１０上に積み重ねられた複数の半導体チップ２０、２２、２４、２６を封止する。封止材は、例えば樹脂であってもよい。図９に示すように、基板１０に平面的に並べられた複数の半導体チップ２０、２２、２４、２６を一括封止してもよい。封止には、金型を使用すればよい。例えば、トランスファモールドを適用して、基板１０上に封止部６２を形成してもよい。その場合、封止材は、モールド樹脂と呼ばれる。これによれば、例えば、複数の基板１０上に同時に封止部７０を形成できるので、生産性に優れる。
【００３６】
あるいは、ポッティング法を適用することで封止部７０を形成してもよい。その場合、封止材は、液状樹脂（例えばポッティング樹脂）であることが一般的である。
【００３７】
半導体装置の集合体３は、基板１０と、複数の半導体チップ２０、２２、２４、２６と、複数のスペーサ５０、５２、５４と、を含む。複数の半導体チップ２０、２２、２４、２６は、基板１０上に平面的に並べられ、かつ、立体的に積み重ねられている。そして、スペーサ５０、５２、５４は、立体的に積み重ねられた半導体チップ同士の間に設けられている。基板１０上に設けられた封止部６２によって、複数の半導体チップ２０、２２、２４、２６が覆われている。
【００３８】
図９に示すように、切断治具（例えばブレード）７０によって封止部６２及び基板１０を切断する。これによって、集合体３を複数のスタック型の半導体装置５（図１０参照）に個片にする。予め封止部６２に切断ライン（図９の２点鎖線に示すライン）を形成しておけば、切断の位置決めが容易になる。
【００３９】
こうして、図１０に示すように、スタック型として構成された半導体装置５を形成することができる。半導体装置５は、基板１１と、立体的に積み重ねられた複数の半導体チップ２０、２２、２４、２６と、封止部６４と、を含む。
【００４０】
図１０に示すように、基板１０（又は基板１１）に複数の外部端子６６を設けてもよい。外部端子６６は、上述の切断工程の前後のいずれに行ってもよい。切断工程前であれば、複数の半導体装置に一括して外部端子６６を形成できるので生産性に優れる。外部端子６６は、ハンダボールであってもよい。外部端子６６は、配線パターン１４に電気的に接続されている。貫通穴１６の位置に外部端子６６を設けてもよい。
【００４１】
本実施の形態に係る半導体装置の製造方法によれば、複数のスペーサ５０、５２、５４を基板１０上で一括して形成するので、生産性が極めて高い。すなわち、スペーサ５０、５２、５４を、個々に半導体チップ２０、２２、２４に取り付ける手間を省略でき、迅速かつ簡単にスペーサを形成することができる。
【００４２】
本実施の形態に係る半導体装置は、上述の製造方法から選択したいずれかの特定事項から導かれる構成を含み、本実施の形態に係る半導体装置の効果は上述の効果を備える。図５、図９及び図１０に示すように、本実施の形態に係る半導体装置は、上述の製造方法の過程で製造されるものである。
【００４３】
（第２の実施の形態）
図１１（Ａ）〜図１１（Ｃ）は、本発明の第２の実施の形態に係る半導体装置の製造方法を示す図である。本実施の形態では、リソグラフィ技術（例えばフォトリソグラフィ技術）を適用することで複数のスペーサ５０を一括して設ける。図１１（Ａ）に示すように、本工程は、ワイヤボンディング工程前に行ってもよく、変形例としてワイヤボンディング工程後に行ってもよい。なお、本実施の形態では、上述の実施の形態で説明した内容は省略する。
【００４４】
図１１（Ａ）に示すように、感光性を有する材料（レジスト）７２を、複数の半導体チップ２０上に設ける。材料７２は、複数の半導体チップ２０を覆うように設けてもよいし、基板１０上の全面に設けてもよい。あるいは、材料７２は、半導体チップ２０ごとに分割して設けてもよい。材料７２は、それぞれの半導体チップ２０上で一定の厚みで形成することが好ましい。例えば、スピンコート法を適用して材料７２を設けてもよい。これによれば、材料７２を一定の厚みにすることができるので、スペーサ５０の高さを簡単に制御することができる。あるいは、ディッピング法、スプレーコート法を適用して材料７２を設けてもよい。なお、材料７２は、複数のボールを含有していてもよい（図示せず）。ボールは、先に説明したボール５７の内容を適用してもよい。
【００４５】
図１１（Ａ）に示すように、材料７２をパターニングする。詳しくは、材料７２上にマスク７４を配置して、光エネルギー７６を照射する。すなわち、マスク７４を介して、材料７２を露光する。マスク７４の形状は、パターニング形状によって決まり、材料７２がポジ型であるかネガ型であるかによって反転形状となる。図１１（Ａ）に示す例では、材料７２はポジ型の性質を有し、スペーサ５０として残す部分をマスク７４によって覆う。変形例として、材料７２として、ネガ型の性質を有するものを適用してもよく、その場合スペーサ５０として残す部分にマスク７４の開口を配置する。その後、材料７２を現像して、所定の位置にスペーサ５０を形成する。なお、レーザビームを照射することで、材料７２のうち不必要な部分を除去してもよい。
【００４６】
こうして、図１１（Ｂ）に示すように、半導体チップ２０上にスペーサ５０を設ける。スペーサ５０を設ける位置は限定されないが、後にワイヤボンディング工程を行う場合は、スペーサ５０をワイヤの電気的な接続部分を避けて設ける。その後、図１１（Ｃ）に示すように、半導体チップ２０の電極と、基板１０の配線パターン１４と、をワイヤ３０によって電気的に接続する。
【００４７】
上述とは別に、ワイヤボンディング工程後にスペーサ５０の形成工程を行ってもよい。その場合、露光工程前において、材料７２を、ワイヤ３０を覆うように設けてもよい。材料７２のうちワイヤを覆う部分を除去する場合には、現像することで除去してもよいし、レーザビームを照射することで除去してもよい。材料７２のうちワイヤ３０を覆う部分を、スペーサ５０の一部として残してもよい。
【００４８】
以上の工程を複数回繰り返して、複数のスタック構造の半導体装置の集合体を形成してもよい。あるいは、上述の実施の形態と組み合わせてもよい。
【００４９】
（第３の実施の形態）
図１２（Ａ）〜図１２（Ｃ）は、本発明の第３の実施の形態に係る半導体装置の製造方法を示す図である。本実施の形態では、材料（シート）を転写させることで複数のスペーサ５０を一括して設ける。図１２（Ａ）に示すように、本工程は、ワイヤボンディング工程前に行ってもよく、変形例としてワイヤボンディング工程後に行ってもよい。なお、本実施の形態では、上述の実施の形態で説明した内容は省略する。
【００５０】
図１２（Ａ）に示すように、テープ８０及びシート８２を用意する。シート８２は、テープ８０に貼り付けられている。テープ８０は、シート８２の搬送用部材である。テープ８０は、接着力を有する。テープ８０は、シート８２の搬送時に接着力を発揮し、かつ、シート８２の転写時に接着力を失うものであることが好ましい。テープ８０は、エネルギーを加えることでその接着力が小さくなってもよい。例えば、テープ８０は、紫外線の照射によって接着力が小さくなる紫外線硬化性を有してもよい。
【００５１】
シート８２は、スペーサ５０の材料であり、固体をなしている。図１２（Ａ）に示すように、シート８２は、テープ８０の一方の面の全体に設けてもよい。変形例として、テープ８０の一方の面の一部に設けてもよい。スペーサ５０の形状と同一形状の複数のシート８２を、テープ８０に設けてもよい。その場合、１つのシート８２をいずれか１つの半導体チップ２０に対応する位置に設けることで、複数のシート８２を転写させるだけで複数のスペーサ５０を形成することができる。
【００５２】
シート８２の形成方法は限定されない。例えば、別工程でシート８２を形成した後にテープ８０に貼り付けてもよいし、可能であればテープ８０上でシート８２を形成してもよい（上述の工程参照）。シート８２は、トランスファモールドを適用することで形成してもよい。
【００５３】
なお、シート８２は、複数のボールを含有していてもよい（図示せず）。ボールは、先に説明したボール５７の内容を適用してもよい。
【００５４】
図１２（Ａ）に示すように、シート８２の複数の部分（スペーサ５０となる部分）８４を、半導体チップ２０上に転写させる。
【００５５】
転写工程前に、テープ８０とシート８２の複数の部分８４との接着力を、テープ８０とシートの他の部分との接着力よりも小さくすることが好ましい。例えば、テープ８０に部分的（複数の部分８４）にエネルギーを照射することで接着力を小さくしてもよい。こうすることで、シート８２の部分８４のみをテープ８０から剥離しやすくすることができる。
【００５６】
転写工程前に、図１２（Ａ）に示すように、シート８２の複数の部分８４の輪郭を通るように切断してもよい。すなわち、テープ８０上で、シート８２を複数の部分８４に分割する。その場合、テープ８０を切断しないことで、シート８２の複数の部分８４を一体的に取り扱うことができる。
【００５７】
転写工程では、シート８２の部分８４を、テープ８０を介して、半導体チップ２０に向けて押し出してもよい。あるいは、スペーサ５０を設ける位置に接着剤を設けることで、シート８２の部分８４を半導体チップ２０に接着させてもよい。
【００５８】
変形例として、シート８２の全体を基板１０側に転写してもよい。その場合、後にシート８２の不必要な部分（複数の部分８２を除く部分）を除去する。
【００５９】
こうして、図１２（Ｂ）に示すように、テープ８０を基板１０から離すことで、複数のスペーサ５０を複数の半導体チップ２０上に一括して設けることができる。その後、図１２（Ｃ）に示すように、半導体チップ２０の電極と、基板１０の配線パターン１４と、をワイヤ３０によって電気的に接続する。
【００６０】
以上の工程を複数回繰り返して、複数のスタック構造の半導体装置の集合体を形成してもよい。あるいは、上述の実施の形態と組み合わせてもよい。
【００６１】
（第４の実施の形態）
図１３は、本発明の第４の実施の形態に係る半導体装置の製造方法を示す図である。本実施の形態では、半導体ウェハ９０に複数のスペーサ５０を一括して形成する。本実施の形態では、上述の印刷法、フォトリソグラフィ技術による方法又は転写による方法のいずれの形態も適用可能であり、上述の実施の形態で説明した内容は省略する。
【００６２】
図１３に示すように、半導体ウェハ９０を用意する。半導体ウェハ９０には、図示しないトランジスタやメモリ素子などからなる集積回路が形成されている。半導体ウェハ９０は、複数の半導体素子９２を有し、それぞれの半導体素子９２の輪郭で切断されることで複数の半導体チップになる。半導体ウェハ９０は、複数の電極（図示しない）を有し、電極の中央部を避けて端部を覆うパッシベーション膜（図示しない）を有する。本実施の形態では、スペーサ５０の形成工程を、ウェハ状態で一括処理する。
【００６３】
上述の実施の形態で説明した方法を適用してスペーサ５０を形成する。本実施の形態に係るスペーサ付き半導体ウェハは、複数の半導体素子を有する半導体ウェハ９０と、それぞれの半導体素子９２上に設けられたスペーサ５０と、を含む。スペーサ５０は、半導体素子９２の面の内側に形成されてもよい。
【００６４】
スペーサ形成工程後、半導体ウェハ９０を複数の半導体チップに個片にする。半導体ウェハ９０の裏面に搬送用のテープ９４を貼り付け、切断治具（例えばブレード）９６で半導体ウェハ９０を切断する。
【００６５】
こうして、スペーサ付きの複数の半導体チップを形成することができる。複数のスペーサ付き半導体チップを積み重ねることで、スタック構造の半導体装置を形成してもよい。これによれば、スペーサ付き半導体チップを取り扱うことでスタック構造の半導体装置を形成するので、積層工程でスペーサ又は半導体チップを別々に取り扱う手間を省略することができる。
【００６６】
図１４には、上述の実施の形態を適用した回路基板が示されている。半導体装置５は、回路基板１０００に実装されている。回路基板１０００には、例えば、ガラスエポキシ基板等の有機系基板を用いることが一般的である。回路基板１０００には例えば銅等からなる配線パターン１１００が所望の回路となるように形成されていて、配線パターン１１００と半導体装置の外部端子６６とが接合されている。
【００６７】
本発明の実施の形態に係る半導体装置を有する電子機器として、図１５にはノート型パーソナルコンピュータ２０００が示され、図１６には携帯電話３０００が示されている。
【００６８】
なお、本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果をそうする構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置の製造方法を示す図である。
【図２】図２は、本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置の製造方法を示す図である。
【図３】図３（Ａ）〜図３（Ｃ）は、本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置の製造方法を示す図である。
【図４】図４は、本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置及びその製造方法を示す図である。
【図５】図５は、本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置及びその製造方法を示す図である。
【図６】図６は、本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置及びその製造方法を示す図である。
【図７】図７（Ａ）及び図７（Ｂ）は、本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置の製造方法を示す図である。
【図８】図８は、本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置及びその製造方法を示す図である。
【図９】図９は、本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置及びその製造方法を示す図である。
【図１０】図１０は、本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置を示す図である。
【図１１】図１１（Ａ）〜図１１（Ｃ）は、本発明の第２の実施の形態に係る半導体装置の製造方法を示す図である。
【図１２】図１２（Ａ）〜図１２（Ｃ）は、本発明の第３の実施の形態に係る半導体装置の製造方法を示す図である。
【図１３】図１３は、本発明の第４の実施の形態に係るスペーサ付き半導体ウェハ及びその製造方法を示す図である。
【図１４】図１４は、本発明の実施の形態に係る回路基板を示す図である。
【図１５】図１５は、本発明の実施の形態に係る電子機器を示す図である。
【図１６】図１６は、本発明の実施の形態に係る電子機器を示す図である。
【符号の説明】
１０　基板、　１１　基板、　１４　配線パターン、　２０　半導体チップ、　２２　半導体チップ、　２４　半導体チップ、　２６　半導体チップ、　３０　ワイヤ、　３２　ワイヤ、　３４　ワイヤ、　３６　ワイヤ、　４０　型、４２　穴、　４４　ダム部、　４６　面、　４９　ペースト、　５０　スペーサ、　５２　スペーサ、　５４　スペーサ、　６２　封止部、　６４　封止部、７２　材料、　８０　テープ、　８２　シート、　８４　部分、　９０　半導体ウェハ、　９２　半導体素子[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a semiconductor wafer with a spacer and a method of manufacturing the same, a semiconductor device and a method of manufacturing the same, a circuit board, and an electronic apparatus.
[0002]
BACKGROUND OF THE INVENTION
In recent years, a semiconductor device in which a plurality of semiconductor chips are stacked has been developed. Among them, there is a form in which a wire is bonded to an electrode of a semiconductor chip to make an electrical connection. In order to stack semiconductor chips having the same or larger outer shape, it is necessary to provide a spacer between the semiconductor chips.
[0003]
Conventionally, as a method of forming a spacer, there is a method of potting a resin on a semiconductor chip. However, since the height of the resin is determined by the amount of potting, it has been difficult to control the height and width of the spacer. In addition, there is a method in which a silicon member or a mold resin is formed in a predetermined shape and then mounted on a semiconductor chip. However, such a method is inferior in productivity such as positioning each spacer for each semiconductor chip.
[0004]
An object of the present invention is to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to realize a method for forming a spacer having excellent productivity.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
(1) A method of manufacturing a semiconductor wafer with a spacer according to the present invention includes forming a spacer on each of the semiconductor elements of a semiconductor wafer having a plurality of semiconductor elements,
The step of forming the plurality of spacers is collectively performed on the semiconductor wafer. According to the present invention, since a plurality of spacers are collectively formed on a semiconductor wafer, productivity is extremely high. That is, the trouble of individually attaching the spacers on the semiconductor element can be omitted, and the spacers can be formed quickly and easily.
(2) In this semiconductor wafer with spacers,
The spacer may be formed inside a surface of the semiconductor element. According to this, the surface area of the spacer can be reduced. Therefore, for example, even when the material used for sealing the semiconductor device has a different physical property value, the internal stress of the semiconductor device can be reduced.
(3) In this semiconductor wafer with spacers,
The spacer may be formed to have a plurality of balls inside. According to this, since the spacer having the height as designed can be easily formed, the semiconductor wafer with the spacer can be easily manufactured.
(4) In this semiconductor wafer with spacers,
The spacer may be formed at a height substantially equal to a diameter of the ball.
(5) In this semiconductor wafer with spacers,
The ball may have elasticity. According to this, it is possible to prevent the semiconductor wafer from being damaged by the balls.
(6) In this semiconductor wafer with spacers,
In the step of forming the spacer,
A mold having a plurality of holes is set on the wafer,
A paste which is a material of the spacer is provided in each of the holes,
A plurality of the spacers may be formed by separating the mold from the wafer. According to this, by providing the paste in the plurality of holes formed in the mold, a plurality of spacers can be collectively formed.
(7) In this semiconductor wafer with spacers,
The mold has a dam portion for stopping the flow of the paste,
The paste may be provided in a space surrounded by the dam portion in the hole. This makes it possible to easily form a spacer having a predetermined width even when a material that easily flows is used.
(8) In this semiconductor wafer with spacers,
The paste may be provided so as to be flush with the surface of the mold. According to this, the spacer having a predetermined height can be easily formed by providing the paste so as to be flush with the surface of the mold.
(9) In this semiconductor wafer with spacers,
The paste may be a resin.
(10) In this semiconductor wafer with spacers,
The thixo ratio of the paste may be higher than the thixo ratio of the mold sealing material.
(11) In this semiconductor wafer with spacers,
The paste may include a plurality of the balls. According to this, a spacer containing a ball can be easily formed inside.
(12) In this semiconductor wafer with spacers,
In the step of forming the spacer,
Providing a material for the spacer having photosensitivity on the wafer,
A plurality of the spacers may be formed by exposing and developing the material. According to this, a plurality of spacers can be formed collectively by exposing and developing the material.
(13) In this semiconductor wafer with spacers,
The material may have either positive or negative properties.
(14) In this semiconductor wafer with spacers,
The material may be provided by a spin coating method. This allows the material to have a constant thickness. Therefore, a spacer having a predetermined height can be easily formed.
(15) In this semiconductor wafer with spacers,
The material may contain a plurality of the balls. According to this, a spacer containing a ball can be easily formed inside.
(16) In this semiconductor wafer with spacers,
In the step of forming the spacer,
Paste a sheet of the material of the spacer on the tape,
A plurality of the spacers may be formed by transferring a plurality of portions of the sheet from the tape onto the semiconductor wafer. According to this, a plurality of spacers can be collectively formed by transferring the sheet attached to the tape.
(17) In this semiconductor wafer with spacers,
Before the transfer step,
The adhesive force between the tape and the plurality of portions may be smaller than the adhesive force between the tape and another portion of the sheet. Thereby, the sheet can be partially transferred onto the semiconductor wafer.
(18) In this semiconductor wafer with spacers,
The tape may have an ultraviolet curable property.
(19) In this semiconductor wafer with spacers,
Before the transfer step,
The region of the tape to which the plurality of portions of the sheet are bonded may be irradiated with ultraviolet light. Thus, the sheet can be easily and partially peeled off. (20) In this semiconductor wafer with spacers,
Before the transfer step,
The sheet may be cut on the tape so as to pass through the outlines of the plurality of portions. Thus, the sheet can be easily and partially peeled off.
(21) In this method of manufacturing a semiconductor wafer with spacers,
The sheet may include a plurality of the balls. According to this, a spacer containing a ball can be easily formed inside.
(22) In this method of manufacturing a semiconductor wafer with spacers,
The step of forming the spacer may include pressing and leveling the spacer.
(23) A method of manufacturing a semiconductor device according to the present invention includes providing a spacer on each of the plurality of semiconductor chips arranged two-dimensionally on a substrate;
The step of forming the plurality of spacers is collectively performed on the substrate. According to the present invention, the steps of forming a plurality of spacers are collectively performed on a substrate, so that productivity is extremely high. That is, the trouble of individually attaching the spacer to the semiconductor chip can be omitted, and the spacer can be formed quickly and easily.
(24) In this method of manufacturing a semiconductor device,
The spacer may be formed inside a surface of the semiconductor chip.
According to this, the surface area of the spacer can be reduced. Therefore, for example, even when the material used for sealing the semiconductor device has a different physical property value, the internal stress of the semiconductor device can be reduced.
(25) In this method of manufacturing a semiconductor device,
The spacer may be formed to have a plurality of balls inside. According to this, since the spacer having the designed height can be easily formed, the semiconductor device can be easily manufactured.
(26) In this method of manufacturing a semiconductor device,
The spacer may be formed at a height substantially equal to a diameter of the ball.
(27) In this method of manufacturing a semiconductor device,
The ball may have elasticity. According to this, it is possible to prevent the surface of the semiconductor chip from being damaged by the ball.
(28) In the method of manufacturing a semiconductor device,
In the step of forming the spacer,
A mold having a plurality of holes is set on the substrate,
A paste which is a material of the spacer is provided in each of the holes,
A plurality of the spacers may be formed by separating the mold from the wafer. According to this, by providing the paste in the plurality of holes formed in the mold, a plurality of spacers can be collectively formed.
(29) In this method of manufacturing a semiconductor device,
The mold has a dam portion for stopping the flow of the paste,
The paste may be provided in a space surrounded by the dam portion in the hole. This makes it possible to easily form a spacer having a predetermined width even when a material that easily flows is used.
(30) In the method of manufacturing a semiconductor device,
The paste may be provided so as to be flush with the surface of the mold. According to this, the spacer having a predetermined height can be easily formed by providing the paste so as to be flush with the surface of the mold.
(31) In this method of manufacturing a semiconductor device,
The paste may be a resin.
(32) In this method of manufacturing a semiconductor device,
The thixo ratio of the paste may be higher than the thixo ratio of the mold sealing material.
(33) In this method of manufacturing a semiconductor device,
The paste may include a plurality of the balls. According to this, a spacer containing a ball can be easily formed inside.
(34) In this method of manufacturing a semiconductor device,
In the step of forming the spacer,
On at least a plurality of the semiconductor chips, a material for the spacer having photosensitivity is provided,
A plurality of the spacers may be formed by exposing and developing the material. According to this, a plurality of spacers can be formed collectively by exposing and developing the material.
(35) In this method of manufacturing a semiconductor device,
The material may have either positive or negative properties.
(36) In this method of manufacturing a semiconductor device,
The material may be provided by a spin coating method. This allows the material to have a constant thickness. Therefore, a spacer having a predetermined height can be easily formed.
(37) In this method of manufacturing a semiconductor device,
The material may contain a plurality of the balls. According to this, a spacer containing a ball can be easily formed inside.
(38) In this method of manufacturing a semiconductor device,
In the step of forming the spacer,
Paste a sheet of the material of the spacer on the tape,
A plurality of the spacers may be formed by transferring a plurality of portions of the sheet from the tape onto the semiconductor chip. According to this, a plurality of spacers can be formed collectively by transferring the sheet attached to the tape.
(39) In this method of manufacturing a semiconductor device,
Before the transfer step,
An adhesive force between the tape and the plurality of portions may be smaller than an adhesive force between the tape and another portion of the sheet. Thereby, the sheet can be partially transferred onto the semiconductor wafer.
(40) In this method of manufacturing a semiconductor device,
The tape may have an ultraviolet curable property.
(41) In this method of manufacturing a semiconductor device,
Before the transfer step,
The region of the tape to which the plurality of portions of the sheet are bonded may be irradiated with ultraviolet light. Thus, the sheet can be easily and partially peeled off. (42) In this method of manufacturing a semiconductor device,
Before the transfer step,
The sheet may be cut on the tape so as to pass through the outlines of the plurality of portions. Thus, the sheet can be easily and partially peeled off.
(43) In this method of manufacturing a semiconductor device,
The sheet may include a plurality of the balls. According to this, a spacer containing a ball can be easily formed inside.
(44) In this method of manufacturing a semiconductor device,
The step of forming the spacer may include pressing and leveling the spacer.
(45) In this method of manufacturing a semiconductor device,
The method may further include wire bonding the electrode of the semiconductor chip and the wiring pattern of the substrate.
(46) In this method of manufacturing a semiconductor device,
Before the wire bonding step, a step of forming the spacer may be performed.
(47) In the method for manufacturing a semiconductor device,
After the wire bonding step, a step of forming the spacer may be performed.
(48) In this method of manufacturing a semiconductor device,
The method may further include forming an aggregate of a plurality of stacked semiconductor devices by repeating the step of forming the spacer for each of a plurality of semiconductor chips in the second and subsequent stages stacked on the substrate. According to this, the step of forming the spacer is collectively performed on the substrate for each of the plurality of semiconductor chips in the second and subsequent stages. This eliminates the need to transfer the semiconductor chip after the formation of the spacer onto the substrate, and allows the semiconductor device to be manufactured with a minimum number of steps.
(49) In this method of manufacturing a semiconductor device,
An adhesive is formed on a surface of each of the plurality of semiconductor chips facing the substrate,
The spacer and the semiconductor chip may be fixed to each other by the adhesive.
(50) In this method of manufacturing a semiconductor device,
The adhesive may be an insulating adhesive.
(51) In this method of manufacturing a semiconductor device,
The adhesive may be formed on the entire surface of the semiconductor chip facing the substrate.
(52) In this method of manufacturing a semiconductor device,
The method may further include forming a sealing portion for sealing the plurality of semiconductor chips stacked on the substrate.
(53) In the method of manufacturing a semiconductor device,
After the sealing step, the method may further include cutting the sealing portion and the substrate into individual pieces of a plurality of stacked semiconductor devices.
(54) A semiconductor wafer according to the present invention includes: a semiconductor wafer having a plurality of semiconductor elements;
A spacer provided on each of the semiconductor elements;
including.
(55) In this semiconductor wafer,
The spacer may be formed inside a surface of the semiconductor device.
(56) In this semiconductor wafer,
The spacer may have a plurality of balls inside.
(57) In this semiconductor wafer,
The height of the spacer may be substantially equal to the diameter of the ball.
(58) In this semiconductor wafer,
The ball may have elasticity.
(59) A semiconductor device according to the present invention includes a substrate having a wiring pattern,
A plurality of semiconductor chips arranged two-dimensionally on the substrate,
A spacer provided on each of the semiconductor chips;
including.
(60) A semiconductor device according to the present invention includes: a substrate having a wiring pattern;
A plurality of semiconductor chips arranged two-dimensionally on the substrate, and three-dimensionally stacked,
A spacer provided between the three-dimensionally stacked semiconductor chips,
including.
(61) In this semiconductor device,
The spacer may be formed inside a surface of the semiconductor chip.
(62) In this semiconductor device,
An insulating layer may be formed on a surface of each of the semiconductor chips facing the substrate.
(63) In this semiconductor device,
The insulating layer may be formed on the entire surface of each of the semiconductor chips facing the substrate.
(64) In this semiconductor device,
The spacer may have a plurality of balls inside.
(65) In this semiconductor device,
The height of the spacer may be substantially equal to the diameter of the ball.
(66) In this semiconductor device,
The ball may have elasticity.
(67) In this semiconductor device,
The semiconductor chip has an electrode,
The electrode and the wiring pattern of the substrate may be wire-bonded.
(68) In this semiconductor device,
A sealing portion for sealing the plurality of semiconductor chips may be formed on the substrate.
(69) In this semiconductor device,
The sealing portion and the substrate may be cut into individual pieces to form a stack type.
(70) A circuit board according to the present invention has the semiconductor device mounted thereon.
(71) An electronic apparatus according to the present invention includes the above semiconductor device.
[0006]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. However, the present invention is not limited to the following embodiments.
[0007]
(First Embodiment)
1 to 10 are views showing a method for manufacturing a semiconductor device according to the first embodiment of the present invention. First, a plurality of semiconductor chips 20 are mounted on a substrate 10 as shown in FIG. The substrate 10 becomes an interposer for a semiconductor device when it is singulated.
[0008]
The substrate 10 may be formed from any of an organic (polyimide substrate) or inorganic (ceramic substrate, glass substrate) material, or may be formed from a composite structure thereof (glass epoxy substrate). The planar shape of the substrate 10 is not limited, but is often rectangular as shown in FIG. The substrate 10 may be either a single layer or a multilayer substrate.
[0009]
A plurality of mounting areas 12 are provided on the substrate 10 for mounting a plurality of semiconductor chips 20. The mounting area 12 is formed on one or both surfaces of the substrate 10. In the example shown in FIG. 1, the plurality of mounting areas 12 are arranged in a plurality of rows and a plurality of columns (in a matrix) on the surface of the substrate 10.
[0010]
The substrate 10 has a wiring pattern 14 (see FIG. 3A) including a plurality of wirings. Specifically, the wiring pattern 14 is formed in each mounting area 12. The substrate 10 may have a plurality of through holes 16 (see FIG. 3A) for electrically connecting one surface to the other surface. The through hole 16 may be filled with a conductive material, or may be plated on an inner wall surface to form a through hole. In this way, electrical connection can be made from both sides of the substrate 10.
[0011]
Although the shape of the semiconductor chip 20 is not limited, it is often a rectangular parallelepiped (including a cube) as shown in FIG. On the semiconductor chip 20, an integrated circuit including a transistor, a memory element, and the like (not shown) is formed. The semiconductor chip 20 has at least one (often a plurality) electrodes (not shown) electrically connected to the integrated circuit. The electrodes may be arranged at two or four sides of the outer shape at the end of the surface of the semiconductor chip 20, or may be formed at the center of the surface. The electrode may be formed of an aluminum-based or copper-based metal. In addition, a passivation film (not shown) is formed on the semiconductor chip 20 so as to cover an end portion of the electrode avoiding the central portion. The passivation film is made of, for example, SiO ₂ , SiN, polyimide resin, or the like.
[0012]
As shown in FIG. 1, the semiconductor chip 20 is mounted on each of the plurality of mounting areas 12 of the substrate 10. The plurality of semiconductor chips 20 are arranged on the substrate 10 in a plane. The semiconductor chip 20 is bonded (face-up bonding) with the electrodes facing upward. The semiconductor chip 20 may be bonded to the substrate 10 with an adhesive. At this time, the adhesive may have an insulating property.
[0013]
As shown in FIG. 2, the semiconductor chip 20 and the wiring pattern 14 are electrically connected. The electrical connection between the two may be achieved by the wire 30. In that case, the ball bump method may be applied. That is, the tip of the wire 30 drawn out of the tool (for example, a capillary) is melted in a ball shape, and the tip is thermocompression-bonded to the electrode (preferably using ultrasonic vibration together), so that the wire 30 is connected to the electrode. It may be electrically connected. In that case, the wires 30 may be bonded to the electrodes of the semiconductor chip 20 and then to the wiring patterns 14 of the substrate 10.
[0014]
As a modification, after bonding the wire 30 to the wiring pattern 14 of the substrate 10, the wire 30 may be bonded to an electrode of the semiconductor chip 10. Thus, by pulling out the wire 30 from the low position to the high position, the loop height of the wire 30 can be reduced. When performing the second bonding to the electrode of the semiconductor chip 10, it is preferable to provide a bump on the electrode in advance. By doing so, the reliability of the electrical connection between the wire 30 and the electrode can be increased without damaging the underlying electrode.
[0015]
As shown in FIGS. 3A to 3C, a spacer 50 is provided on each semiconductor chip 20. In the present embodiment, a plurality of spacers 50 are collectively provided by applying a printing method. The material of the spacer 50 may be a liquid resin (for example, the paste 49). The spacer 50 is provided on the upper surface of the semiconductor chip 20 (the surface on which the electrodes are formed). For example, the spacer 50 may be provided inside the surface of the semiconductor chip 20 (see FIG. 5). For example, the spacer 50 may be provided on the surface of the semiconductor chip 20 in a region in the center of the plurality of electrodes formed at the ends. According to this, the surface area of the spacer 50 can be reduced. Therefore, for example, even when the material used for sealing the semiconductor device (for example, the material used for transfer molding) and the physical property value (for example, the coefficient of thermal expansion) are different, the contact area between the two becomes small, The internal stress of the device can be reduced. Alternatively, the spacer 50 may be provided so as to protrude outside the surface of the semiconductor chip 20. When providing the spacer 50 after the wire bonding step, a part of the wire 30 may be covered with the paste 49. The spacer 50 is formed thicker (higher) than the height of the wire 30.
[0016]
The paste 49 is preferably an insulating material, and may be, for example, a resin. The thixo ratio of the paste 49 is preferably larger than the thixo ratio of the mold sealing material (for example, a material (eg, resin) used for transfer molding). By doing so, it is possible to form the spacer 50 on the semiconductor chip 20 reliably without printing omission.
[0017]
As shown in FIG. 3A, the mold 40 is set on the surface of the substrate 10 on the side where the semiconductor chip 20 is mounted. The mold 40 is a mask (or screen) patterned into a predetermined planar shape. By providing a paste 49 that is a material of the spacer 50 in the space formed by the mold 40, the spacer 50 is formed on the semiconductor chip 20.
[0018]
The mold 40 has a plurality of holes 42 for providing the paste 49. In the example shown in FIG. 3A, one hole 42 corresponds to one of the semiconductor chips 20. By setting the mold 40 on the substrate 10, a space for providing the paste 49 is formed on the substrate 10. As shown in FIG. 3A, the planar shape of the opening of the hole 42 may be included inside the surface of the semiconductor chip 20. By doing so, the region from which the paste 49 is extruded is included inside the surface of the semiconductor chip 20, so that the spacer 50 can be easily provided inside the surface of the semiconductor chip 20. The plane shape of the hole 42 is not limited, and may be, for example, a rectangle or a circle.
[0019]
As shown in FIG. 3A, the mold 40 may have a dam portion 44 for stopping the flow of the paste 49 (the flow spreading in the width direction of the substrate). In the example shown in FIG. 3A, the dam portion 44 is formed on the outer periphery of the hole 42 included inside the surface of the semiconductor chip 20 so as to extend in the height direction of the semiconductor chip 20. When the mold 40 is set on the substrate 10, the dam portion 44 may come into contact with the surface of the semiconductor chip 10. By providing the dam portion 44, even if the paste 49 flows easily (even if the thixotropic ratio is large), the spacer 50 having a predetermined width can be easily formed. Conversely, if a material that is difficult to flow (has a small thixotropic ratio) is selected as the paste 49, the dam portion 44 may be omitted. When the dam portion 44 is omitted, each spacer 50 may be formed through a leveling step (see FIG. 4). The dam portion 44 may be provided according to the planar shape of the spacer 50.
[0020]
As shown in FIG. 3A, the three-dimensional shape of the mold 40 on the substrate 10 side is a shape that avoids convex portions (the semiconductor chip 20, the wire 22, the wiring pattern 14, and the like) on the substrate 10 (in FIG. 3A, (Recess). If the portion of the mold 40 on the substrate 10 side is formed so as to avoid the wires 22, the step of forming the spacer 50 can be performed after the wire bonding step. As a modification, the step of forming the spacer 50 may be performed before the wire bonding step. The mold 40 may be formed in a predetermined three-dimensional shape by applying an etching method (half or full etching).
[0021]
As shown in FIG. 3A, the mold 40 is set on the substrate 10, and the holes 42 are arranged on the semiconductor chip 20. Then, a paste 49 is provided on the mold 40, and the pressing member (for example, a squeegee) 48 is used to make the paste 49 uniform within the hole 42 at the level of the surface of the mold 40.
[0022]
Thus, as shown in FIG. 3B, the paste 49 is provided in the plurality of holes 42 of the mold 40. In that case, the paste 49 may be filled in the entire space (the portion surrounded by the dam portion 44 in FIG. 3A), and at this time, the paste 49 is applied to the surface of the mold 40 (opposite to the substrate 10). Surface 46). That is, the height of the surface of the paste 49 is the same as the height of the surface of the mold 40. Therefore, by determining the height of the surface of the mold 40, the spacer 50 having a predetermined height can be easily formed.
[0023]
As shown in FIG. 3C, the plurality of spacers 50 can be provided on the plurality of semiconductor chips 20 by separating the mold 40 from the substrate 10.
[0024]
According to this method, by providing the paste 49 in the plurality of holes 42 formed in the mold 40, the plurality of spacers 50 can be collectively formed. In addition, since the paste 49 is provided directly on a necessary portion, the material can be prevented from being wasted and the cost can be reduced.
[0025]
Note that the paste 49 may be provided in a part of the space (a part of the space surrounded by the dam portion 44 in FIG. 3A). At this time, the spacers 50 may be formed by forming spacers with the paste 49 and then pressing and leveling them. According to this, the height of each spacer 50 can be made constant, and the surface of the spacer 50 opposite to the surface facing the semiconductor chip 20 can be formed to be parallel to the semiconductor chip 20. . Therefore, a plurality of semiconductor chips can be stacked such that the semiconductor chips are parallel to each other, and the stacked semiconductor chips, or the semiconductor chip and the wire are hardly short-circuited, and a highly reliable semiconductor. The device can be manufactured. At this time, as shown in FIG. 4, the plurality of spacers may be simultaneously pressed by the pressing jig 100 to form the plurality of spacers 50 collectively.
[0026]
Thus, as shown in FIG. 5, the spacers 50 can be formed on each of the plurality of semiconductor chips 20 on the substrate 10. The semiconductor device 1 includes a substrate 10, semiconductor chips 20 arranged in a plane on the substrate 10, and a spacer 50 provided on each semiconductor chip 20. It does not matter whether the spacer 50 itself has an adhesive function.
[0027]
As shown in FIG. 6, a spacer may be formed to have a plurality of balls 57 inside. The spacer 55 having a plurality of balls therein may be formed by performing the above-described step of forming the spacer 50 using a paste containing the plurality of balls 57. According to this, it is easy to make the heights of the spacers 55 uniform, and a highly reliable semiconductor device can be manufactured. In particular, when the spacer is formed by leveling with the pressing jig 100, the height of the pressing jig 100 can be easily controlled by the ball 57, so that the step of leveling a plurality of spacers simultaneously can be easily performed. As a result, a highly reliable semiconductor device can be efficiently formed. In addition, since the surface of the spacer 55 opposite to the surface facing the semiconductor chip 20 can be easily formed so as to be parallel to the semiconductor chip 20, a highly reliable semiconductor device can be easily manufactured. it can. The spacer 55 may be formed at a height substantially equal to the diameter of the ball 57. That is, a ball having substantially the same diameter as the designed height of the spacer 55 may be used as the ball 57. The material of the ball 57 is not particularly limited, but may be, for example, resin, rubber, or the like. Further, the ball 57 may be formed of a material having an insulating property. The ball 57 may have elasticity. When the ball 57 has elasticity, the semiconductor chip can be prevented from being damaged by the ball 57, so that a highly reliable semiconductor device can be manufactured.
[0028]
Next, as shown in FIGS. 7A and 7B, a plurality of other semiconductor chips 22 are stacked on a plurality of semiconductor chips 20 arranged in a plane, and the above-described The spacer 52 is provided by repeating the process.
[0029]
As shown in FIG. 7A, the semiconductor chip 22 is bonded on the semiconductor chip 20 with the electrodes facing upward. Specifically, the semiconductor chip 22 is mounted on the spacer 50. For example, the semiconductor chip 22 may be fixed on the spacer 50 by an adhesive (for example, an adhesive sheet) 60 attached to the back surface (the surface facing the substrate 10) of the semiconductor chip 22. The adhesive 60 may be an insulating adhesive. At this time, if the adhesive 60 is provided on the entire back surface of the semiconductor chip 22, a short circuit between the semiconductor chip 22 and the wire 30 can be prevented. After that, the semiconductor chip 22 and the wiring pattern 14 are electrically connected by, for example, wires 32.
[0030]
Then, the mold 41 is set on the substrate 10, and the paste 49 is provided in the hole 42 by the pressing member 48. As shown in FIG. 7A, when the dam portion 44 is formed, the paste 49 is filled in a space surrounded by the dam portion 44. Thus, the paste 49 is provided so as to be flush with the surface 46 of the mold 41.
[0031]
Thereafter, as shown in FIG. 7B, by separating the mold 41 from the substrate 10, a plurality of spacers 52 can be collectively provided on the plurality of semiconductor chips 22.
[0032]
As shown in FIG. 8, the above steps are repeated a plurality of times to form an aggregate of a plurality of stacked semiconductor devices. Two or more semiconductor chips are stacked on the substrate 10. In the example shown in FIG. 8, four semiconductor chips 20, 22, 24, and 26 are three-dimensionally stacked, and spacers 50, 52, and 54 are interposed between the semiconductor chips in the height direction.
[0033]
According to this, the step of forming the spacer is collectively performed on the substrate 10 for each of the plurality of semiconductor chips 22, 24, and 26 in the second and subsequent stages. Therefore, the trouble of transferring the semiconductor chip after forming the spacer onto the substrate 10 is omitted, and the semiconductor device can be manufactured with a minimum number of steps.
[0034]
In the example shown in FIG. 8, the size of the outer shape of each of the semiconductor chips 20, 22, 24, and 26 is the same, but the present embodiment is not limited to this, and a plurality of May be mounted. For example, the outer shape of the upper semiconductor chip may be larger than the outer shape of the lower semiconductor chip.
[0035]
As shown in FIG. 9, a plurality of semiconductor chips 20, 22, 24, 26 stacked on the substrate 10 are sealed. The sealing material may be, for example, a resin. As shown in FIG. 9, a plurality of semiconductor chips 20, 22, 24, and 26 arranged in a plane on the substrate 10 may be collectively sealed. A mold may be used for sealing. For example, the sealing portion 62 may be formed on the substrate 10 by applying a transfer mold. In that case, the sealing material is called a mold resin. According to this, for example, since the sealing portion 70 can be formed on the plurality of substrates 10 at the same time, the productivity is excellent.
[0036]
Alternatively, the sealing portion 70 may be formed by applying a potting method. In that case, the sealing material is generally a liquid resin (for example, a potting resin).
[0037]
The assembly 3 of the semiconductor device includes the substrate 10, a plurality of semiconductor chips 20, 22, 24, 26, and a plurality of spacers 50, 52, 54. The plurality of semiconductor chips 20, 22, 24, and 26 are arranged on the substrate 10 in a planar manner and three-dimensionally stacked. The spacers 50, 52, and 54 are provided between the semiconductor chips stacked three-dimensionally. The plurality of semiconductor chips 20, 22, 24, and 26 are covered by a sealing portion 62 provided on the substrate 10.
[0038]
As shown in FIG. 9, the sealing portion 62 and the substrate 10 are cut by a cutting jig (for example, a blade) 70. Thus, the aggregate 3 is divided into a plurality of stacked semiconductor devices 5 (see FIG. 10). If a cutting line (a line indicated by a two-dot chain line in FIG. 9) is formed in the sealing portion 62 in advance, the positioning of the cutting is facilitated.
[0039]
Thus, the semiconductor device 5 configured as a stack type can be formed as shown in FIG. The semiconductor device 5 includes a substrate 11, a plurality of three-dimensionally stacked semiconductor chips 20, 22, 24, 26, and a sealing portion 64.
[0040]
As shown in FIG. 10, a plurality of external terminals 66 may be provided on the substrate 10 (or the substrate 11). The external terminal 66 may be provided before or after the above-described cutting step. Before the cutting step, the external terminals 66 can be collectively formed on a plurality of semiconductor devices, so that the productivity is excellent. The external terminal 66 may be a solder ball. The external terminal 66 is electrically connected to the wiring pattern 14. An external terminal 66 may be provided at the position of the through hole 16.
[0041]
According to the method of manufacturing a semiconductor device according to the present embodiment, since the plurality of spacers 50, 52, and 54 are collectively formed on the substrate 10, the productivity is extremely high. That is, it is possible to omit the work of individually attaching the spacers 50, 52, 54 to the semiconductor chips 20, 22, 24, and to form the spacers quickly and easily.
[0042]
The semiconductor device according to the present embodiment includes a configuration derived from any specific item selected from the above-described manufacturing method, and the effect of the semiconductor device according to the present embodiment has the above-described effect. As shown in FIGS. 5, 9, and 10, the semiconductor device according to the present embodiment is manufactured in the process of the above-described manufacturing method.
[0043]
(Second embodiment)
FIGS. 11A to 11C are views showing a method for manufacturing a semiconductor device according to the second embodiment of the present invention. In this embodiment mode, a plurality of spacers 50 are collectively provided by applying a lithography technique (eg, a photolithography technique). As shown in FIG. 11A, this step may be performed before the wire bonding step, or may be performed after the wire bonding step as a modification. In the present embodiment, the contents described in the above embodiment are omitted.
[0044]
As shown in FIG. 11A, a photosensitive material (resist) 72 is provided on the plurality of semiconductor chips 20. The material 72 may be provided so as to cover the plurality of semiconductor chips 20 or may be provided over the entire surface of the substrate 10. Alternatively, the material 72 may be provided separately for each semiconductor chip 20. The material 72 is preferably formed on each of the semiconductor chips 20 with a constant thickness. For example, the material 72 may be provided by applying a spin coating method. According to this, since the thickness of the material 72 can be made constant, the height of the spacer 50 can be easily controlled. Alternatively, the material 72 may be provided by applying a dipping method or a spray coating method. Note that the material 72 may include a plurality of balls (not shown). The content of the ball 57 described above may be applied to the ball.
[0045]
As shown in FIG. 11A, the material 72 is patterned. Specifically, a mask 74 is arranged on the material 72 and light energy 76 is irradiated. That is, the material 72 is exposed through the mask 74. The shape of the mask 74 is determined by the patterning shape, and becomes an inverted shape depending on whether the material 72 is a positive type or a negative type. In the example shown in FIG. 11A, the material 72 has a positive type property, and a portion to be left as the spacer 50 is covered with the mask 74. As a modified example, a material having a negative type property may be applied as the material 72. In this case, the opening of the mask 74 is arranged in a portion to be left as the spacer 50. Thereafter, the material 72 is developed to form the spacer 50 at a predetermined position. Note that unnecessary portions of the material 72 may be removed by irradiating a laser beam.
[0046]
Thus, the spacer 50 is provided on the semiconductor chip 20 as shown in FIG. The position where the spacer 50 is provided is not limited. However, when a wire bonding step is performed later, the spacer 50 is provided so as to avoid the electrical connection portion of the wire. Thereafter, as shown in FIG. 11C, the electrodes of the semiconductor chip 20 and the wiring patterns 14 of the substrate 10 are electrically connected by wires 30.
[0047]
Apart from the above, the formation process of the spacer 50 may be performed after the wire bonding process. In that case, the material 72 may be provided so as to cover the wire 30 before the exposure step. When removing a portion of the material 72 covering the wire, the portion may be removed by developing or may be removed by irradiating a laser beam. A portion of the material 72 that covers the wire 30 may be left as a part of the spacer 50.
[0048]
The above steps may be repeated a plurality of times to form an aggregate of a plurality of semiconductor devices having a stack structure. Or you may combine with embodiment mentioned above.
[0049]
(Third embodiment)
FIGS. 12A to 12C are diagrams showing a method for manufacturing a semiconductor device according to the third embodiment of the present invention. In the present embodiment, a plurality of spacers 50 are provided collectively by transferring a material (sheet). As shown in FIG. 12A, this step may be performed before the wire bonding step, or may be performed after the wire bonding step as a modification. In the present embodiment, the contents described in the above embodiment are omitted.
[0050]
As shown in FIG. 12A, a tape 80 and a sheet 82 are prepared. The sheet 82 is attached to a tape 80. The tape 80 is a member for conveying the sheet 82. The tape 80 has an adhesive force. It is preferable that the tape 80 exerts an adhesive force when the sheet 82 is conveyed, and loses the adhesive force when the sheet 82 is transferred. The adhesive force of the tape 80 may be reduced by applying energy. For example, the tape 80 may have an ultraviolet curable property in which the adhesive force is reduced by irradiation of the ultraviolet light.
[0051]
The sheet 82 is a material of the spacer 50 and is solid. As shown in FIG. 12A, the sheet 82 may be provided on one entire surface of the tape 80. As a modification, the tape 80 may be provided on a part of one surface. A plurality of sheets 82 having the same shape as the shape of the spacer 50 may be provided on the tape 80. In this case, by providing one sheet 82 at a position corresponding to any one of the semiconductor chips 20, a plurality of spacers 50 can be formed only by transferring a plurality of sheets 82.
[0052]
The method for forming the sheet 82 is not limited. For example, the sheet 82 may be attached to the tape 80 after the sheet 82 is formed in another step, or the sheet 82 may be formed on the tape 80 if possible (see the above-described step). The sheet 82 may be formed by applying a transfer mold.
[0053]
Note that the seat 82 may include a plurality of balls (not shown). The content of the ball 57 described above may be applied to the ball.
[0054]
As shown in FIG. 12A, a plurality of portions (portions serving as the spacers) 84 of the sheet 82 are transferred onto the semiconductor chip 20.
[0055]
Before the transfer step, it is preferable that the adhesive force between the tape 80 and the plurality of portions 84 of the sheet 82 be smaller than the adhesive force between the tape 80 and other portions of the sheet. For example, the adhesive force may be reduced by partially irradiating the tape 80 with energy (a plurality of portions 84). In this way, only the portion 84 of the sheet 82 can be easily separated from the tape 80.
[0056]
Before the transfer step, as shown in FIG. 12A, the sheet 82 may be cut so as to pass through the outline of the plurality of portions 84. That is, the sheet 82 is divided into a plurality of portions 84 on the tape 80. In this case, the plurality of portions 84 of the sheet 82 can be handled integrally by not cutting the tape 80.
[0057]
In the transfer step, the portion 84 of the sheet 82 may be extruded toward the semiconductor chip 20 via the tape 80. Alternatively, the portion 84 of the sheet 82 may be bonded to the semiconductor chip 20 by providing an adhesive at a position where the spacer 50 is provided.
[0058]
As a modification, the entire sheet 82 may be transferred to the substrate 10 side. In that case, unnecessary portions (the portions excluding the plurality of portions 82) of the sheet 82 are removed later.
[0059]
Thus, as shown in FIG. 12B, by separating the tape 80 from the substrate 10, a plurality of spacers 50 can be collectively provided on the plurality of semiconductor chips 20. Thereafter, as shown in FIG. 12C, the electrodes of the semiconductor chip 20 and the wiring patterns 14 of the substrate 10 are electrically connected by wires 30.
[0060]
The above steps may be repeated a plurality of times to form an aggregate of a plurality of semiconductor devices having a stack structure. Or you may combine with embodiment mentioned above.
[0061]
(Fourth embodiment)
FIG. 13 is a view illustrating a method for manufacturing a semiconductor device according to the fourth embodiment of the present invention. In the present embodiment, a plurality of spacers 50 are collectively formed on a semiconductor wafer 90. In this embodiment mode, any of the above-described printing method, a method using a photolithography technique, and a method using transfer can be applied, and the description of the above-described embodiment is omitted.
[0062]
As shown in FIG. 13, a semiconductor wafer 90 is prepared. On the semiconductor wafer 90, an integrated circuit including a transistor, a memory element, and the like (not shown) is formed. The semiconductor wafer 90 has a plurality of semiconductor elements 92, and becomes a plurality of semiconductor chips by being cut at the outline of each semiconductor element 92. The semiconductor wafer 90 has a plurality of electrodes (not shown), and has a passivation film (not shown) that covers an end portion avoiding a central portion of the electrode. In the present embodiment, the process of forming the spacer 50 is collectively processed in a wafer state.
[0063]
The spacer 50 is formed by applying the method described in the above embodiment. The semiconductor wafer with a spacer according to the present embodiment includes a semiconductor wafer 90 having a plurality of semiconductor elements, and a spacer 50 provided on each semiconductor element 92. The spacer 50 may be formed inside the surface of the semiconductor element 92.
[0064]
After the spacer forming step, the semiconductor wafer 90 is divided into a plurality of semiconductor chips. A transfer tape 94 is attached to the back surface of the semiconductor wafer 90, and the semiconductor wafer 90 is cut by a cutting jig (for example, a blade) 96.
[0065]
Thus, a plurality of semiconductor chips with spacers can be formed. A semiconductor device having a stack structure may be formed by stacking a plurality of semiconductor chips with spacers. According to this, the semiconductor device having the stack structure is formed by handling the semiconductor chip with the spacer, so that it is possible to save the trouble of separately handling the spacer or the semiconductor chip in the lamination process.
[0066]
FIG. 14 shows a circuit board to which the above-described embodiment is applied. The semiconductor device 5 is mounted on a circuit board 1000. For the circuit board 1000, for example, an organic substrate such as a glass epoxy substrate is generally used. On the circuit board 1000, a wiring pattern 1100 made of, for example, copper or the like is formed so as to form a desired circuit, and the wiring pattern 1100 and the external terminals 66 of the semiconductor device are joined.
[0067]
As an electronic apparatus having a semiconductor device according to an embodiment of the present invention, a notebook personal computer 2000 is shown in FIG. 15, and a mobile phone 3000 is shown in FIG.
[0068]
Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications are possible. For example, the invention includes substantially the same configuration as the configuration described in the embodiment (for example, a configuration having the same function, method, and result, or a configuration having the same object and effect). Further, the invention includes a configuration in which a non-essential part of the configuration described in the embodiment is replaced. Further, the invention includes a configuration having the same function and effect as the configuration described in the embodiment, or a configuration capable of achieving the same object. Further, the invention includes a configuration in which a known technique is added to the configuration described in the embodiment.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram illustrating a method for manufacturing a semiconductor device according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram illustrating a method of manufacturing the semiconductor device according to the first embodiment of the present invention.
FIGS. 3A to 3C are views showing a method for manufacturing a semiconductor device according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a diagram showing a semiconductor device and a method of manufacturing the semiconductor device according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a diagram showing a semiconductor device and a method of manufacturing the semiconductor device according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a diagram showing a semiconductor device and a method of manufacturing the semiconductor device according to the first embodiment of the present invention.
FIGS. 7A and 7B are views showing a method for manufacturing a semiconductor device according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 8 is a diagram showing a semiconductor device and a method of manufacturing the same according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 9 is a diagram illustrating a semiconductor device and a method of manufacturing the semiconductor device according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 10 is a diagram showing a semiconductor device according to the first embodiment of the present invention.
FIGS. 11A to 11C are diagrams illustrating a method of manufacturing a semiconductor device according to a second embodiment of the present invention.
FIGS. 12A to 12C are views showing a method for manufacturing a semiconductor device according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 13 is a view showing a semiconductor wafer with spacers and a method of manufacturing the same according to a fourth embodiment of the present invention.
FIG. 14 is a diagram showing a circuit board according to an embodiment of the present invention.
FIG. 15 is a diagram showing an electronic apparatus according to the embodiment of the present invention.
FIG. 16 is a diagram illustrating an electronic device according to an embodiment of the present invention.
[Explanation of symbols]
10 substrates, 11 substrates, 14 wiring patterns, 20 semiconductor chips, 22 semiconductor chips, 24 semiconductor chips, 26 semiconductor chips, 30 wires, 32 wires, 34 wires, 36 wires, 40 types, 42 holes, 44 dam portions, 46 surfaces , 49 paste, 50 spacer, 52 spacer, 54 spacer, 62 sealing portion, 64 sealing portion, 72 material, 80 tape, 82 sheet, 84 portion, 90 semiconductor wafer, 92 semiconductor element

Claims

Forming a spacer on each of the semiconductor elements of a semiconductor wafer having a plurality of semiconductor elements,
A method of manufacturing a semiconductor wafer with spacers, wherein the step of forming a plurality of spacers is performed on the semiconductor wafer at a time.

The method for manufacturing a semiconductor wafer with a spacer according to claim 1,
A method for manufacturing a semiconductor wafer with a spacer, wherein the spacer is formed inside a surface of the semiconductor element.

The method for manufacturing a semiconductor wafer with a spacer according to claim 1 or 2,
A method of manufacturing a semiconductor wafer with a spacer, wherein the spacer is formed to have a plurality of balls inside.

The method for manufacturing a semiconductor wafer with a spacer according to claim 3,
A method of manufacturing a semiconductor wafer with a spacer, wherein the spacer is formed at a height substantially equal to a diameter of the ball.

The method for manufacturing a semiconductor wafer with a spacer according to claim 3 or 4,
The method for manufacturing a semiconductor wafer with spacers in which the balls have elasticity.

The method of manufacturing a semiconductor wafer with a spacer according to any one of claims 1 to 5,
In the step of forming the spacer,
A mold having a plurality of holes is set on the wafer,
A paste which is a material of the spacer is provided in each of the holes,
A method for manufacturing a semiconductor wafer with spacers, wherein a plurality of the spacers are formed by separating the mold from the wafer.

The method for manufacturing a semiconductor wafer with a spacer according to claim 6,
The mold has a dam portion for stopping the flow of the paste,
A method for manufacturing a semiconductor wafer with a spacer, wherein the paste is provided in a space surrounded by the dam portion in the hole.

The method for manufacturing a semiconductor wafer with a spacer according to claim 6 or 7,
A method for manufacturing a semiconductor wafer with spacers, wherein the paste is provided so as to be flush with the surface of the mold.

The method for manufacturing a semiconductor wafer with a spacer according to any one of claims 6 to 8,
The method for manufacturing a semiconductor wafer with a spacer, wherein the paste is a resin.

The method for manufacturing a semiconductor wafer with a spacer according to any one of claims 6 to 10,
A method for manufacturing a semiconductor wafer with spacers, wherein the thixo ratio of the paste is larger than the thixo ratio of the mold sealing material.

The method for manufacturing a semiconductor wafer with a spacer according to any one of claims 6 to 10, wherein any one of claims 3 to 5 is cited.
The method for manufacturing a semiconductor wafer with a spacer, wherein the paste contains a plurality of the balls.

The method of manufacturing a semiconductor wafer with a spacer according to any one of claims 1 to 5,
In the step of forming the spacer,
Providing a material for the spacer having photosensitivity on the wafer,
A method of manufacturing a semiconductor wafer with spacers, wherein a plurality of the spacers are formed by exposing and developing the material.

The method for manufacturing a semiconductor wafer with a spacer according to claim 12,
A method for manufacturing a semiconductor wafer with a spacer, wherein the material has either a positive type or a negative type.

The method for manufacturing a semiconductor wafer with a spacer according to claim 12 or 13,
A method for manufacturing a semiconductor wafer with spacers, wherein the material is provided by spin coating.

The method for manufacturing a semiconductor wafer with a spacer according to any one of claims 12 to 14, wherein any one of claims 3 to 5 is cited.
The method of manufacturing a semiconductor wafer with a spacer, wherein the material contains a plurality of the balls.

The method of manufacturing a semiconductor wafer with a spacer according to any one of claims 1 to 5,
In the step of forming the spacer,
Paste a sheet of the material of the spacer on the tape,
A method of manufacturing a semiconductor wafer with spacers, wherein a plurality of the spacers are formed by transferring a plurality of portions of the sheet from the tape onto the semiconductor wafer.

The method for manufacturing a semiconductor wafer with a spacer according to claim 16,
Before the transfer step,
A method of manufacturing a semiconductor wafer with spacers, wherein an adhesive force between the tape and the plurality of portions is smaller than an adhesive force between the tape and another portion of the sheet.

The method for manufacturing a semiconductor wafer with a spacer according to claim 16 or 17,
The method for manufacturing a semiconductor wafer with a spacer, wherein the tape has ultraviolet curability.

The method for manufacturing a semiconductor wafer with a spacer according to any one of claims 16 to 18,
Before the transfer step,
A method of manufacturing a semiconductor wafer with spacers, which irradiates ultraviolet rays to a region of the tape to which the plurality of portions of the sheet are bonded.

The method for manufacturing a semiconductor wafer with a spacer according to any one of claims 16 to 19,
Before the transfer step,
A method for manufacturing a semiconductor wafer with spacers, wherein the sheet is cut on the tape so as to pass through the outlines of the plurality of portions.

The method for manufacturing a semiconductor wafer with a spacer according to any one of claims 16 to 19, wherein any one of claims 3 to 5 is cited.
The method for manufacturing a semiconductor wafer with a spacer, wherein the sheet includes a plurality of the balls.

The method for manufacturing a semiconductor wafer with a spacer according to any one of claims 1 to 21,
The method of manufacturing a semiconductor wafer with a spacer, wherein the step of forming the spacer includes pressing and leveling the spacer.

A plurality of semiconductor chips arranged two-dimensionally on a substrate, including providing a spacer on each of the semiconductor chips,
A method of manufacturing a semiconductor device, wherein the step of forming a plurality of the spacers is collectively performed on the substrate.

The method for manufacturing a semiconductor device according to claim 23,
A method for manufacturing a semiconductor device, wherein the spacer is formed inside a surface of the semiconductor chip.

The method of manufacturing a semiconductor device according to claim 23 or claim 24,
A method of manufacturing a semiconductor device, wherein the spacer is formed to have a plurality of balls inside.

The method of manufacturing a semiconductor device according to claim 25,
A method of manufacturing a semiconductor device, wherein the spacer is formed at a height substantially equal to a diameter of the ball.

The method for manufacturing a semiconductor device according to claim 25 or claim 26,
The method for manufacturing a semiconductor device, wherein the ball has elasticity.

The method for manufacturing a semiconductor device according to any one of claims 23 to 27,
In the step of forming the spacer,
A mold having a plurality of holes is set on the substrate,
A paste which is a material of the spacer is provided in each of the holes,
A method for manufacturing a semiconductor device, wherein a plurality of the spacers are formed by separating the mold from the wafer.

29. The method of manufacturing a semiconductor device according to claim 23,
The mold has a dam portion for stopping the flow of the paste,
A method of manufacturing a semiconductor device, wherein the paste is provided in a space surrounded by the dam portion in the hole.

The method for manufacturing a semiconductor device according to any one of claims 23 to 29,
A method for manufacturing a semiconductor device, wherein the paste is provided so as to be flush with a surface of the mold.

The method for manufacturing a semiconductor device according to any one of claims 23 to 30,
The method for manufacturing a semiconductor device, wherein the paste is a resin.

The method for manufacturing a semiconductor device according to any one of claims 23 to 31,
A method for manufacturing a semiconductor device, wherein the thixo ratio of the paste is larger than the thixo ratio of the mold sealing material.

The method for manufacturing a semiconductor device according to any one of claims 28 to 32, wherein any one of claims 25 to 27 is cited.
The method for manufacturing a semiconductor device, wherein the paste contains a plurality of the balls.

The method for manufacturing a semiconductor device according to any one of claims 23 to 27,
In the step of forming the spacer,
On at least a plurality of the semiconductor chips, a material for the spacer having photosensitivity is provided,
A method for manufacturing a semiconductor device, wherein a plurality of the spacers are formed by exposing and developing the material.

The method for manufacturing a semiconductor device according to claim 34,
A method for manufacturing a semiconductor device, wherein the material has either a positive type or a negative type.

The method for manufacturing a semiconductor device according to claim 34 or claim 35,
A method for manufacturing a semiconductor device, wherein the material is provided by a spin coating method.

The method for manufacturing a semiconductor device according to any one of claims 34 to 36, wherein any one of claims 25 to 27 is cited.
The method for manufacturing a semiconductor device, wherein the material includes a plurality of the balls.

The method for manufacturing a semiconductor device according to any one of claims 23 to 27,
In the step of forming the spacer,
Paste a sheet of the material of the spacer on the tape,
A method for manufacturing a semiconductor device, wherein a plurality of the spacers are formed by transferring a plurality of portions of the sheet from the tape onto the semiconductor chip.

The method for manufacturing a semiconductor device according to claim 36,
Before the transfer step,
A method of manufacturing a semiconductor device, wherein an adhesive force between the tape and the plurality of portions is smaller than an adhesive force between the tape and another portion of the sheet.

The method for manufacturing a semiconductor device according to claim 38 or claim 39,
The method for manufacturing a semiconductor device, wherein the tape has ultraviolet curability.

41. The method of manufacturing a semiconductor device according to claim 40,
Before the transfer step,
A method of manufacturing a semiconductor device, wherein an area of the tape to which the plurality of portions of the sheet are bonded is irradiated with ultraviolet light.

The method of manufacturing a semiconductor device according to any one of claims 38 to 41,
Before the transfer step,
A method of manufacturing a semiconductor device, wherein the sheet is cut on the tape so as to pass through the outlines of the plurality of portions.

The method for manufacturing a semiconductor device according to any one of claims 38 to 42, wherein any one of claims 25 to 27 is cited.
The method for manufacturing a semiconductor device, wherein the sheet includes a plurality of the balls.

The method for manufacturing a semiconductor device according to any one of claims 23 to 43,
The method of manufacturing a semiconductor device, wherein the step of forming the spacer includes pressing and leveling the spacer.

The method for manufacturing a semiconductor device according to any one of claims 23 to 44,
A method of manufacturing a semiconductor device, further comprising wire bonding the electrode of the semiconductor chip and the wiring pattern of the substrate.

The method for manufacturing a semiconductor device according to claim 45,
A method for manufacturing a semiconductor device, wherein a step of forming the spacer is performed before the wire bonding step.

The method for manufacturing a semiconductor device according to claim 45,
A method for manufacturing a semiconductor device, comprising: performing a step of forming the spacer after the wire bonding step.

The method for manufacturing a semiconductor device according to any one of claims 23 to 47,
A method of manufacturing a semiconductor device, further comprising forming an aggregate of a plurality of stacked semiconductor devices by repeating the step of forming the spacer for each of a plurality of semiconductor chips of the second and subsequent stages stacked on the substrate. .

49. The method of manufacturing a semiconductor device according to claim 48,
An adhesive is formed on a surface of each of the plurality of semiconductor chips facing the substrate,
A method of manufacturing a semiconductor device, wherein the spacer and each of the semiconductor chips are fixed with the adhesive.

50. The method of manufacturing a semiconductor device according to claim 49,
The method for manufacturing a semiconductor device, wherein the adhesive is an insulating adhesive.

51. The method of manufacturing a semiconductor device according to claim 49 or claim 50,
The method of manufacturing a semiconductor device, wherein the adhesive is formed on an entire surface of the semiconductor chip facing the substrate.

The method for manufacturing a semiconductor device according to any one of claims 23 to 51,
A method of manufacturing a semiconductor device, further comprising forming a sealing portion for sealing a plurality of stacked semiconductor chips on the substrate.

The method of manufacturing a semiconductor device according to claim 52,
A method of manufacturing a semiconductor device, further comprising cutting the sealing portion and the substrate after the sealing step to form individual pieces into a plurality of stacked semiconductor devices.

A semiconductor wafer having a plurality of semiconductor elements;
A spacer provided on each of the semiconductor elements;
A semiconductor wafer with a spacer containing:

The semiconductor wafer with a spacer according to claim 54,
A semiconductor wafer with a spacer, wherein the spacer is formed inside a surface of the semiconductor element.

The semiconductor wafer with a spacer according to claim 54 or claim 55,
A semiconductor wafer with a spacer, wherein the spacer has a plurality of balls inside.

The semiconductor wafer with a spacer according to claim 56,
A semiconductor wafer with a spacer, wherein the height of the spacer is substantially equal to the diameter of the ball.

The semiconductor wafer with a spacer according to claim 56 or claim 57,
The ball is a semiconductor wafer with elastic spacers.

A substrate having a wiring pattern;
A plurality of semiconductor chips arranged two-dimensionally on the substrate,
A spacer provided on each of the semiconductor chips;
Semiconductor device including:

A substrate having a wiring pattern;
A plurality of semiconductor chips arranged two-dimensionally on the substrate, and three-dimensionally stacked,
A spacer provided between the three-dimensionally stacked semiconductor chips,
Semiconductor device including:

The semiconductor device according to claim 59 or claim 60,
The semiconductor device, wherein the spacer is formed inside a surface of the semiconductor chip.

62. The semiconductor device according to claim 59, wherein
A semiconductor device in which an insulating layer is formed on a surface of each of the semiconductor chips facing the substrate.

63. The semiconductor device according to claim 62,
The semiconductor device, wherein the insulating layer is formed on the entire surface of each of the semiconductor chips facing the substrate.

64. The semiconductor device according to claim 59, wherein:
The semiconductor device, wherein the spacer has a plurality of balls inside.

65. The semiconductor device according to claim 64,
A semiconductor device wherein the height of the spacer is substantially equal to the diameter of the ball.

66. The semiconductor device according to claim 64 or claim 65,
The ball is a semiconductor device having elasticity.

67. The semiconductor device according to claim 59, wherein:
The semiconductor chip has an electrode,
A semiconductor device in which the electrode and the wiring pattern of the substrate are wire-bonded.

The semiconductor device according to any one of claims 59 to 67,
A semiconductor device comprising: a sealing portion for sealing a plurality of the semiconductor chips on the substrate.

70. The semiconductor device according to claim 68,
A semiconductor device configured as a stack type in which the sealing portion and the substrate are cut into individual pieces by being cut.

A circuit board on which the semiconductor device according to any one of claims 59 to 69 is mounted.

An electronic apparatus comprising the semiconductor device according to any one of claims 59 to 69.