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JP2004087034A - 光学的情報記録媒体、光磁気記録媒体及び光磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

光学的情報記録媒体、光磁気記録媒体及び光磁気記録媒体の製造方法 Download PDF

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JP2004087034A
JP2004087034A JP2002249009A JP2002249009A JP2004087034A JP 2004087034 A JP2004087034 A JP 2004087034A JP 2002249009 A JP2002249009 A JP 2002249009A JP 2002249009 A JP2002249009 A JP 2002249009A JP 2004087034 A JP2004087034 A JP 2004087034A
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Chihiro Nagura
名倉 千裕
Tsutomu Shiratori
白鳥 力
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Canon Inc
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Abstract

【課題】より高密度な情報の記録/再生を行うことが可能な光学的情報記録媒体を提供する。
【解決手段】1つのランドLもしくはグルーブG内に情報を記録或いは再生する情報トラックを少なくとも二列形成する。また、少なくとも二列の情報トラックを有するランドL或いはグルーブGにトラック方向に垂直な方向にほぼ等分するように、予めアニール処理を行うことによって磁性が変質して情報トラックを磁気的に分断するアニール領域を形成する。
【選択図】     図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学的情報記録媒体に関し、特に、1つの溝内或いは溝間に少なくとも2列の情報トラックを有する光学的情報記録媒体、光磁気記録媒体及びその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
一般に、光学的情報記録媒体の記録情報の再生は、集光レンズによって信号面上に微小スポットを形成し、反射光を光電変換素子で受光することによって行う。この光学的情報記録媒体の高密度化の要求は年々高まるばかりである。
【0003】
この高密度化を実現する方法としては、例えば、磁壁移動検出(DWDD)等の手段を用いることにより、トラック方向の高密度化を光学的な分解能の制限を超えて実現することが知られている。更なる高密度化を実現するためには、トラックピッチを狭めて半径方向の高密度化を実現する必要がある。ところが、案内溝の周期が光学系の分解能に近づくと、トラッキング信号が十分に得られなくなる。周知のように光学系の分解能dは、収束光の波長λ、対物レンズの開口数NAとすると、
d=λ/(2・NA)
によって定められる。
【0004】
例えば、DVD−RWで用いられるような光学系では、光源の波長λが635nm、対物レンズの開口数NAが0.60であるから、分解能dは0.53μmとなる。媒体のトラックピッチを0.53μmに近づけると、十分なトラッキング信号を得ることはできなくなるので、DVD−RWではトラックピッチを0.74μmにしてトラッキング信号を得ている。
【0005】
このような光学系の分解能による制限を緩和するため、例えば、特開2000−331383に記載されているように隣り合うグルーブの幅が異なるようにグルーブを形成した光学的記録媒体が提案されている。図14は同公報の記録媒体を示す。同公報のものでは、見かけ上2トラックで1周期の周期構造となるため、解像限界を超えるトラックピッチにまでトラックピッチを狭くしてもトラッキング信号を得ることができる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、同公報に記載の記録媒体においては、各トラックの両側に幅の異なるグルーブを構成する必要があり、トラッキング信号が十分な変調を持つためには、グルーブの幅の差を大きくしなければならず、更なる高密度化を制限する原因となっていた。
【0007】
本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされたもので、その目的は、より高密度の情報記録が可能な光学的情報記録媒体、光磁気記録媒体及びその製造方法を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の光学的情報記録媒体は、上記目的を達成するため、ランドとグルーブを有すると共に、前記ランドもしくはグルーブ内に情報を記録或いは再生する情報トラックを少なくとも二列有し、且つ、前記少なくとも二列の情報トラックを有するランド或いはグルーブには、トラック方向に垂直な方向にほぼ等分するように、予めアニール処理を行うことによって磁性が変質して情報トラックを磁気的に分断するアニール領域が形成されていることを特徴とする。
【0009】
また、本発明の光磁気記録媒体は、少なくとも、磁壁移動層、スイッチング層、記録保持層を有する磁壁移動型光磁気記録媒体において、ランドもしくはグルーブ内に情報を記録或いは再生する情報トラックを少なくとも二列有し、且つ、前記少なくとも二列の情報トラックを有するランド或いはグルーブには、トラック方向に垂直な方向にほぼ等分するように、予めアニール処理を行うことによって磁性が変質して情報トラックを磁気的に分断するアニール領域が形成されていることを特徴とする。
【0010】
更に、本発明の光磁気記録媒体の製造方法は、光磁気記録媒体上に2つのサブビームと前記2つのサブビームの間にアニール用のメインビームを照射する手段と、前記サブビームの媒体による反射光を検出する検出素子と、前記2つのサブビームに対応する2つの検出素子の出力差に基づいてトラッキング制御を行う第1のトラッキング制御手段と、前記メインビームの媒体による反射光を検出する少なくとも媒体の溝方向に平行方向に2分割された分割検出素子と、前記分割検出素子の出力に基づいてトラッキング制御を行う第2のトラッキング制御手段と、前記2つのサブビームの反射光を検出する各々媒体の溝方向に平行方向に2分割された検出素子と、前記2分割検出素子の出力に基づいてトラッキング制御を行う第3のトラッキング制御手段と、前記第1乃至第3のトラッキング制御手段を切り替える手段とを備え、前記記録媒体のアニールする位置に応じて前記第1乃至第3のトラッキング制御手段を切り替えることによって、前記グルーブ又はランドの所望の位置をアニールすることを特徴とする。
【0011】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【0012】
(第1の実施形態)
図1は本発明の光学的情報記録媒体の第1の実施形態を示す断面図である。なお、図1では光学的情報記録媒体として光磁気ディスクを示す。図1(a)は光磁気ディスクの基板の断面図、図1(b)は光磁気ディスクの断面図を示す。基板32はポリカーボネート等の樹脂材料の射出成型により形成され、その表面にはランドLとグルーブGが形成されている。光磁気ディスク8は記録マークの磁壁を移動させて記録情報を再生する磁壁移動型光磁気媒体である。
【0013】
磁壁移動型光磁気媒体については、例えば、特開平6−290496号公報等に詳しく記載されているので詳しい説明は省略するが、基板32上には、移動層、スイッチング層、記録層が積層された磁性膜Mが成膜されている。光磁気ディスク8の層構成は、これに限ることなく、上記公報等に記載されているように様々な層構成があることは言うまでもない。
【0014】
また、情報トラックは図1(b)に示すようにグルーブG内に等幅でトラックT1、T2の2列設けられている。グルーブGの中央には、アニール処理によって磁性を変質させている領域Aを設けてある。同様にランドLの中央には、アニール処理によって磁性を変質させている領域Bを設けてある。領域Aと領域BによってトラックT1とT2が磁気的に分断されている。
【0015】
より具体的に述べると、ランド幅Wは0.2μm、グルーブ幅Wは0.8μmであり、ランドピッチPは1.0μm、グルーブGの深さDは0.03μmである。グルーブ中央のアニールされた領域Aは0.2μm程度、ランド上のアニールされた領域Bは、ほぼランド幅Wの全体を占めている。なお、ランド幅Wを0.8μm、グルーブ幅Wを0.2μmと逆になっても良く、その場合はランドLにトラックT1、T2を設けて記録を行う。
【0016】
次に、グルーブGの中心及びランドLの中心をアニール処理により磁性を変質させる方法について説明する。図2は本実施形態におけるアニール装置の光学系を示す。まず、波長410nmの半導体レーザ1からの光束が回折格子2によって3本の光束に分けられ、各々の光束はカップリングレンズ3によって平行光束とされる。この平行光束は、偏光ビームスプリッタ4を透過し、更に1/4波長板5を透過した後、アクチュエータ6で位置制御されたNA0.85の対物レンズ7によって集光され、光磁気ディスク8に膜面側から入射する。
【0017】
光磁気ディスク8の情報記録面からの反射光は再び対物レンズ7を透過し、更に1/4波長板5を透過した後、偏光ビームスプリッタ4で反射され、センサレンズ9を透過して受光素子10に入射する。フォーカスエラー信号はメインビームを用いた非点収差法により得られる。また、アニール処理は対物レンズ7により収束されたメインビームにより行う。
【0018】
図3は受光素子10上の受光面を示す。メインビームの反射光は受光素子10上の4分割受光面10a、10b、10c、10dで受光され、それぞれの出力をA、B、C、Dとする場合、(A+C)−(B+D)なる演算で得られる信号をフォーカスエラー信号として用いる。
【0019】
次に、アニール処理時におけるトラッキング方法について説明する。図4はグルーブG中央の領域Aをアニール処理する場合の媒体面上のビームスポット、及びメインビーム13の情報記録面上でのスポット位置に対するトラッキングエラー信号を示す。スポットサイズは概ね半値での大きさで示している。サブビーム11と12のディスク半径方向の間隔は、情報記録面上でランドピッチPの1/4以上でグルーブ幅W以下程度にし、メインビーム13は2つのサブビーム11、12の中間に位置するようにする。サブビーム11、12の反射光は受光素子10上の受光面10e及び10fでそれぞれ受光され、それぞれの出力をTE1、TE2とする場合、
TE3=TE1−TE2
で得られる信号TE3を用いてトラッキング制御を行う。図4にTE1、TE2、TE3を示す。このようにフォーカス制御及びトラッキング制御を行いながら、メインビーム13をグルーブGの中央に走査することによって領域Aのアニール処理を行う。
【0020】
なお、トラッキング制御を行う場合、サブビーム11、12のプッシュプル信号を用いても良い。この場合は、サブビーム11、12のディスク半径方向の間隔は、記録面上でランドピッチPに等しくなるようにする。
【0021】
図5はランドL上の領域Bをアニール処理する場合の媒体面上のビームスポット、及びメインビーム13のスポット位置に対するトラッキングエラー信号TE3を示す。図5に示すようにランドLの中心にメインビーム13をトラッキングする場合には、メインビーム13の反射光は受光素子10上の4分割受光面10a、10b、10c、10dで受光され、それぞれの出力をA、B、C、Dとする場合、(A+D)−(B+C)なる演算で得られる、いわゆるプッシュプル信号をトラッキングエラー信号としてトラッキング制御を行う。
【0022】
フォーカス制御はグルーブをアニールする場合と同様であり、フォーカス制御及び前述のようなプッシュプル信号を用いたトラッキング制御を行いながら、メインビーム13をランドLの中央に走査することによって領域Bのアニール処理を行う。
【0023】
このようにランドをアニールする場合とグルーブをアニールする場合とでトラッキングを切り替えることで、グルーブ中心の領域A及びランド上の領域Bのアニール処理を行う。このようにしてグルーブGの中心及びランドLの中心をアニール処理することにより、磁性を変質させて磁壁移動型光磁気媒体を実現することができる。
【0024】
次に、上述の光磁気ディスク8を用いて情報を記録及び記録情報を再生する方法について説明する。図6は本実施形態による光磁気ディスク8を用いて情報を記録/再生する光学系の例を示す。まず、波長650nmの半導体レーザ素子14からの出射光束は、回折格子15によって3本の光束に分けられる。各々の光束は、カップリングレンズ16によって平行光束とされ、偏光ビームスプリッタ17を透過する。更に、この光束はアクチュエータ18で位置制御されたNA0.6の対物レンズ19によって集光され、光磁気ディスク8上に微小スポットとして照射される。光磁気ディスク8の上面には対物レンズ19と対向して変調磁界を印加する磁気ヘッド20が設けられている。
【0025】
光磁気ディスク8の情報記録面からの反射光は再び対物レンズ19を透過し、偏光ビームスプリッタ17で反射され、センサレンズ21、ウォラストンプリズム22を経て受光素子23に入射する。情報の再生時は収束光の照射によって磁壁移動を引き起こし、情報の読み出しを行う。磁壁移動再生は周知であるので詳しい説明は省略する。一方、情報の記録時は収束光の照射と共に磁気ヘッド20から変調磁界を印加して情報を記録する。なお、情報の記録及び再生は対物レンズ19により収束されたメインビームにより行い、フォーカスエラー信号はメインビームの反射光を用いた非点収差法によって生成する。
【0026】
図7は受光素子23の受光面を示す。メインビームの反射光は受光素子23上の4分割受光面23a、23b、23c、23dで受光され、それぞれの出力をA、B、C、Dとする場合、(A+C)−(B+D)なる演算で得られる信号をフォーカスエラー信号として用いる。これは、前述の非点収差法によるフォーカスエラー信号である。また、再生信号を生成する場合には、ウォラストンプリズム22によって互いに直交する成分に偏光分離された光束が受光面23i、23jで受光され、それぞれの出力をI、Jとする場合、I−Jなる演算を行うことによって得られる。
【0027】
次に、上述の構成を有する光磁気ディスク8を用いて情報を記録及び再生する場合のトラッキング方法について説明する。図8は記録及び再生時の媒体面上のビームスポット及びトラッキング信号を示す。スポットサイズは概ね半値での大きさで示している。
【0028】
サブビーム24、25はディスク半径方向の間隔が媒体の情報記録面上においてランドピッチPの1/2に等しくなるようにし、メインビーム26はサブビーム24、25の中心に位置するようにする。サブビーム24、25の反射光は、光磁気ディスク8の溝方向に平行な方向に2分割された受光面23e、23f及び23g、23hによって受光される。それぞれの出力をE、F及びG、Hとする場合、
TE4=E−F
TE5=G−H
なる演算を行い、図8に示すようにいわゆるプッシュプル信号TE4、TE5がそれぞれ得られる。
【0029】
この時、プッシュプル信号TE4及びTE5はランドピッチPを周期とする周期信号となる。そこで、サブビーム24、25間の距離をランドピッチPの1/2すれば、サブビーム24、25のプッシュプル信号TE4及びTE5間の位相が半周期ずれるので、更に、TE4−TE5なる演算を行うことによって周知の差動プッシュプル法によるトラッキングエラー信号TE6(図8参照)が得られる。
【0030】
このトラッキングエラー信号TE6に基づいてメインビーム26がトラックT1、T2上をトレースするようにトラッキング制御を行う。この時、トラッキングエラー信号の極性を切り替えることにより、トラックT1からT2へ、もしくはトラックT2からT1へ、ビームのトラック引き込みを切り替えることができる。このようにトラッキングエラー信号TE6を用いることで1つのグルーブ(又はランド)内に2つの情報トラックを有する光学的情報記録媒体に良好に情報を記録/再生することができる。
【0031】
(第2の実施形態)
図9は本発明の第2の実施形態を示す断面図である。図9(a)は光磁気ディスクの基板の断面図、図9(b)は光磁気ディスクの断面図である。光磁気ディスクは磁壁移動型光磁気媒体である。また、本実施形態では1つのグルーブ内に4本の情報トラックを有する例を示す。基板32上には、移動層、スイッチング層、記録層が積層された磁性膜Mが成膜されている。光磁気ディスク8の層構成は、これに限ることはない。
【0032】
また、情報トラックは図9(b)に示すようにグルーブG内に等幅でトラックT1、T2、T3、T4の4列設けられている。グルーブGの中央及びグルーブGの中央からランドピッチPの1/4だけ離れた両側には、アニール処理によって磁性を変質させている領域A及びCを設けてある。同様にランドLの中央には、アニール処理によって磁性を変質させている領域Bを設けてある。領域A、領域B、領域Cによって情報トラックT1、T2、T3、T4が磁気的に分断されている。
【0033】
ランド幅Wは0.2μm、グルーブ幅Wは2.0μmであり、ランドピッチPは2.20μm、グルーブGの深さDは0.03μmである。グルーブ内のアニール領域A及び領域Cは0.2μm程度、ランド上のアニールされた領域Bはほぼランド幅Wの全体を占めている。なお、ランド幅Wを2.0μm、グルーブ幅Wを0.2μmと逆になっても良く、その場合はランドLにトラックT1、T2、T3、T4を設けて記録を行う。
【0034】
次に、グルーブGの中央及びグルーブGの中央からランドピッチPの1/4だけ離れた両側、及びランドLの中央をアニール処理によって磁性を変質させる方法について説明する。アニール処理は図2の光学系を用いて行うが、回析格子2と受光素子10が異なっている。図10は本実施形態で用いる回析格子、図11は受光素子の受光面を示す。
【0035】
続いて、アニール処理の方法について説明する。まず、グルーブ中央の領域A及びランド上の領域Bをアニールする方法は第1の実施形態と同様である。図12はグルーブ中央からランドピッチの1/4だけ離れた領域Cにアニール用ビームをトラッキングする場合のビーム配置とトラッキングエラー信号を示す。サブビーム26、27はディスク半径方向の間隔が媒体の情報記録面上においてランドピッチPの1/2に等しくなるようにし、メインビーム28はサブビーム26、27の中心に位置するようにする。
【0036】
また、回析格子の回析格子部15aは図10に示すように入射ビーム径Dより小さい円形状のものにし、回析光のビーム径DをDより小さくして光磁気ディスク8への集光時のNAを落とし、情報記録面上でのサブビーム26、27のスポットをランドピッチP程度に大きくする。サブビーム26、27の反射光は図11に示すように光磁気ディスク8の溝方向に平行な方向に2分割された受光面10e、10f及び10g、10hによって受光され、受光面10e、10f及び10g、10hの出力をE、F及びG、Hとする場合、
TE8=E−F
TE9=G−H
なる演算を行い、いわゆるプッシュプル信号がそれぞれ得られる。
【0037】
更に、TE8−TE9なる演算を行うことによって周知の差動プッシュプル法によるトラッキングエラー信号TE10が得られ、このTE10を用いて領域Cのアニール処理を行う。このようにしてグルーブG内の領域A及びC、ランド上の領域Bのアニール処理を行う。
【0038】
次に、第2の実施形態の光磁気ディスク8を用いて情報の記録/再生を行う方法について説明する。記録/再生に用いる装置は第1の実施形態と同様であるが、アニール処理の場合と同様に回析格子15として図10のものを用いる。図13は記録/再生時の媒体上のビーム配置とトラッキングエラー信号を示す。サブビーム29、30はディスク半径方向の間隔が媒体の情報記録面上においてランドピッチPの1/2に等しくなるようにし、メインビーム31はサブビーム29、30の中心に位置するようにする。
【0039】
また、回析格子の回析格子部15aは図10に示すように入射ビーム径Dより小さい円形状のものにし、回析光のビーム径DをDより小さくして光磁気ディスク8への集光時のNAを落とし、情報記録面上でのサブビーム29、30のスポットをランドピッチP程度に大きくする。
【0040】
グルーブG内のトラックT1〜T4にメインビームをトラッキングする場合は、アニール時と同様に差動プッシュプル信号を用いる(TE10)。まず、トラックT1、T4にトラッキングする場合には、サーボ制御回路(図示せず)において図13に示すようにトラッキングエラー信号にトラックオフセットを加えてトラッキング位置をP/8ずらす。
【0041】
また、トラックT2、T3にトラッキングする場合には、トラックT1、T4にトラッキングする場合の逆極性のトラックオフセットを加えることによりトラッキング制御を行う。このようにして1つのグルーブ内の4本のトラックに情報の記録/再生を行う。
【0042】
なお、以上の実施形態では、1つのグルーブもしくはランドに2本又は4本の情報トラックを形成する例を示したが、本発明は、これに限ることなく、3本又は5本以上の情報トラックを形成することも可能である。この場合には、トラッキング位置に応じたトラックオフセットと極性の切り替えを行うことにより所望のトラックに情報の記録/再生を行うことができる。
【0043】
また、1つのグルーブ又はランド内に3本又は5本以上の情報トラックを形成する場合においてアニール処理を行う場合には、同様にトラッキング位置に応じたトラックオフセットと極性の切り替えを行うことにより所望の位置のアニール処理を行うことが可能である。
【0044】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、光学的な分解能を超えてトラック密度を高めることができ、また、トラック密度を高めても、良好な記録/再生性能を得ることができる。従って、従来に比べてより高密度なメモリシステムを実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光学的情報記録媒体の一実施形態を示す断面図である。
【図2】図1の実施形態の記録媒体をアニール処理するアニール装置の光学系の一例を示す図である。
【図3】図2のアニール装置に用いる受光素子の受光面を示す図である。
【図4】図2のアニール装置を用いて図1の光磁気ディスクのグルーブ中心をアニール処理する場合の記録媒体の記録面上のビームスポット及びトラッキングエラー信号を示す図である。
【図5】図2のアニール装置を用いて図1の光磁気ディスクのランド上をアニール処理する場合の記録媒体の記録面上のビームスポット及びトラッキングエラー信号を示す図である。
【図6】図1の実施形態の光学的情報記録媒体に情報を記録/再生する記録再生装置の光学系の一例を示す図である。
【図7】図6の記録再生装置に用いる受光素子の受光面を示す図である。
【図8】図6の記録再生装置を用いて情報を記録/再生する場合の記録面上のビームスポット及びトラッキングエラー信号を示す図である。
【図9】本発明の第2の実施形態を示す断面図である。
【図10】第2の実施形態のアニール処理に用いる光学系の回析格子を示す図である。
【図11】第2の実施形態のアニール処理に用いる光学系の受光素子を示す図である。
【図12】第2の実施形態のアニール処理を行う場合の媒体上のビームスポットとトラッキングエラー信号を示す図である。
【図13】第2の実施形態の媒体を用いて記録/再生を行う場合の媒体上のビームスポットとトラッキングエラー信号を示す図である。
【図14】従来例の媒体構造を示す図である。
【符号の説明】
1、14 半導体レーザ
2、15、33 回折格子
3、16 カップリングレンズ
4、17 偏光ビームスプリッタ
5 1/4波長板
6、18 アクチュエータ
7、19 対物レンズ
8 光磁気ディスク
9、21 センサレンズ
22 ウォラストンプリズム
10、23 受光素子
11、12、26、27 アニール時のサブビーム
13、28 アニール時のメインビーム
20 磁気ヘッド
24、25、29、30 記録/再生時のサブビーム
26、31 記録/再生時のメインビーム
32 基板
T1、T2、T3、T4 情報トラック
G グルーブ
L ランド
M 磁性膜

Claims (5)

  1. ランドとグルーブを有すると共に、前記ランドもしくはグルーブ内に情報を記録或いは再生する情報トラックを少なくとも二列有し、且つ、前記少なくとも二列の情報トラックを有するランド或いはグルーブには、トラック方向に垂直な方向にほぼ等分するように、予めアニール処理を行うことによって磁性が変質して情報トラックを磁気的に分断するアニール領域が形成されていることを特徴とする光学的情報記録媒体。
  2. 少なくとも、磁壁移動層、スイッチング層、記録保持層を有する磁壁移動型光磁気記録媒体において、ランドもしくはグルーブ内に情報を記録或いは再生する情報トラックを少なくとも二列有し、且つ、前記少なくとも二列の情報トラックを有するランド或いはグルーブには、トラック方向に垂直な方向にほぼ等分するように、予めアニール処理を行うことによって磁性が変質して情報トラックを磁気的に分断するアニール領域が形成されていることを特徴とする光磁気記録媒体。
  3. 請求項2に記載の光磁気記録媒体の製造方法において、前記記録媒体上に2つのサブビームと前記2つのサブビームの間にアニール用のメインビームを照射する手段と、前記サブビームの媒体による反射光を検出する検出素子と、前記2つのサブビームに対応する2つの検出素子の出力差に基づいてトラッキング制御を行う第1のトラッキング制御手段と、前記メインビームの媒体による反射光を検出する少なくとも媒体の溝方向に平行方向に2分割された分割検出素子と、前記分割検出素子の出力に基づいてトラッキング制御を行う第2のトラッキング制御手段と、前記2つのサブビームの反射光を検出する各々媒体の溝方向に平行方向に2分割された検出素子と、前記2分割検出素子の出力に基づいてトラッキング制御を行う第3のトラッキング制御手段と、前記第1乃至第3のトラッキング制御手段を切り替える手段とを備え、前記記録媒体のアニールする位置に応じて前記第1乃至第3のトラッキング制御手段を切り替えることによって、前記グルーブ又はランドの所望の位置をアニールすることを特徴とする光磁気記録媒体の製造方法。
  4. 前記第1と第2のトラッキング制御手段と、前記第1と第2のトラッキング制御手段を切り替える手段とを備え、前記記録媒体のアニールする位置に応じて前記第1と第2のトラッキング制御手段を切り替えることによって、前記グルーブ又はランドの所望の位置をアニールすることを特徴とする、請求項3に記載の光磁気記録媒体の製造方法。
  5. 前記第2のトラッキング制御手段と、前記2つのサブビームのうち少なくとも1つの反射光を検出する媒体の溝方向に平行方向に2分割された検出素子と、前記2分割検出素子の出力に基づいてトラッキング制御を行う第4のトラッキング制御手段と、前記第2と第4のトラッキング制御手段を切り替える手段とを備え、前記記録媒体のアニールする位置に応じて前記第2と第4のトラッキング制御手段を切り替えることによって、前記グルーブ又はランドの所望の位置をアニールすることを特徴とする、請求項3に記載の光磁気記録媒体の製造方法。
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