JP2004053279A - 測定チップ位置決め機構 - Google Patents
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Abstract
【課題】全反射光を利用した測定装置上での測定チップの位置精度を出しやすい測定チップ位置決め機構を提供する。
【解決手段】位置決めアタッチメント12の上面12aが位置決め部材27に当接し、かつ位置決めアタッチメント12の端部が位置決め部材27のL字状の部位に接するように測定ユニットアセンブリ10を付勢部材28により付勢する。その後光ビーム20を測定ユニットアセンブリ10の内底面に形成された薄膜層14と、その下の誘電体ブロック13との界面14aで全反射条件が得られるように種々の角度で入射させ、界面14aにおいて全反射した光ビーム20を光検出器23で検出し、該光検出値に基づいて全反射減衰の状態を測定し、試料液9の特性を求める。位置決めアタッチメント12の面12aを鏡面状に形成することにより、位置決めアタッチメント12が位置決め部材27と当接する部位でのがたつきが防止される。
【選択図】 図1
【解決手段】位置決めアタッチメント12の上面12aが位置決め部材27に当接し、かつ位置決めアタッチメント12の端部が位置決め部材27のL字状の部位に接するように測定ユニットアセンブリ10を付勢部材28により付勢する。その後光ビーム20を測定ユニットアセンブリ10の内底面に形成された薄膜層14と、その下の誘電体ブロック13との界面14aで全反射条件が得られるように種々の角度で入射させ、界面14aにおいて全反射した光ビーム20を光検出器23で検出し、該光検出値に基づいて全反射減衰の状態を測定し、試料液9の特性を求める。位置決めアタッチメント12の面12aを鏡面状に形成することにより、位置決めアタッチメント12が位置決め部材27と当接する部位でのがたつきが防止される。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、測定チップにおける表面プラズモンの発生を利用して試料の分析を行う表面プラズモン測定装置等の全反射光を利用した測定装置に利用される測定チップ位置決め機構に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
金属中においては、自由電子が集団的に振動して、プラズマ波と呼ばれる粗密波が生じる。そして、金属表面に生じるこの粗密波を量子化したものは、表面プラズモンと呼ばれている。
【0003】
従来より、この表面プラズモンが光波によって励起される現象を利用して、試料中の物質の特性を分析する表面プラズモン測定装置が種々提案されている。そして、それらの中で特に良く知られているものとして、 Kretschmann配置と称される系を用いるものが挙げられる(例えば特開平6−167443号参照)。
【0004】
上記の系を用いる表面プラズモン測定装置は基本的に、例えばプリズム状に形成された誘電体ブロックと、この誘電体ブロックの一面に形成されて試料に接触させられる金属膜と、光ビームを発生させる光源と、上記光ビームを誘電体ブロックに対して、該誘電体ブロックと金属膜との界面で全反射条件が得られるように種々の角度で入射させる光学系と、上記界面で全反射した光ビームの強度を検出する光検出手段と、この光検出手段の検出結果に基づいて表面プラズモン共鳴の状態、つまり全反射減衰の状態を測定する測定手段とを備えてなるものである。
【0005】
なお上述のように種々の入射角を得るためには、比較的細い光ビームを入射角を変化させて上記界面に入射させてもよいし、あるいは光ビームに種々の角度で入射する成分が含まれるように、比較的太い光ビームを上記界面に収束光状態であるいは発散光状態で入射させてもよい。前者の場合は、入射した光ビームの入射角の変化に従って、反射角が変化する光ビームを、上記反射角の変化に同期して移動する小さな光検出器によって検出したり、反射角の変化方向に沿って延びるエリアセンサによって検出することができる。一方後者の場合は、種々の反射角で反射した各光ビームを全て受光できる方向に延びるエリアセンサによって検出することができる。
【0006】
上記構成の表面プラズモン測定装置において、光ビームを金属膜に対して全反射角以上の特定入射角θSPで入射させると、該金属膜に接している試料中に電界分布をもつエバネッセント波が生じ、このエバネッセント波によって金属膜と試料との界面に表面プラズモンが励起される。エバネッセント波の波数ベクトルが表面プラズモンの波数と等しくて波数整合が成立しているとき、両者は共鳴状態となり、光のエネルギーが表面プラズモンに移行するので、誘電体ブロックと金属膜との界面で全反射した光の強度が鋭く低下する。この光強度の低下は、一般に上記光検出手段により暗線として検出される。
【0007】
なお上記の共鳴は、入射ビームがp偏光のときにだけ生じる。したがって、光ビームがp偏光で入射するように予め設定しておく必要がある。
【0008】
この全反射減衰(ATR)が生じる入射角θSPより表面プラズモンの波数が分かると、試料の誘電率が求められる。すなわち表面プラズモンの波数をKSP、表面プラズモンの角周波数をω、cを真空中の光速、εmとεsをそれぞれ金属、試料の誘電率とすると、以下の関係がある。
【0009】
【数1】
試料の誘電率εs が分かれば、所定の較正曲線等に基づいて試料の屈折率が分かるので、結局、上記反射光強度が低下する入射角である全反射減衰角θSPを知ることにより、試料の誘電率つまりは屈折率に関連する特性を求めることができる。
【0010】
なおこの種の表面プラズモン測定装置においては、上記全反射減衰角θSPを精度良く、しかも大きなダイナミックレンジで測定することを目的として、特開平11−326194号に示されるように、アレイ状の光検出手段を用いることが考えられている。この光検出手段は、複数の受光素子が所定方向に並設されてなり、前記界面において種々の反射角で全反射した光ビームの成分をそれぞれ異なる受光素子が受光する向きにして配設されたものである。このような光検出手段を用いることにより、全反射減衰の状態を精度よく測定することができる。
【0011】
また、全反射減衰(ATR)を利用する類似の測定装置として、例えば「分光研究」第47巻 第1号(1998)の第21〜23頁および第26〜27頁に記載がある漏洩モード測定装置も知られている。この漏洩モード測定装置は基本的に、例えばプリズム状に形成された誘電体ブロックと、この誘電体ブロックの一面に形成されたクラッド層と、このクラッド層の上に形成されて、試料に接触させられる光導波層と、光ビームを発生させる光源と、上記光ビームを上記誘電体ブロックに対して、該誘電体ブロックとクラッド層との界面で全反射条件が得られるように種々の角度で入射させる光学系と、上記界面で全反射した光ビームの強度を検出する光検出手段と、この光検出手段の検出結果に基づいて導波モードの励起状態、つまり全反射減衰の状態を測定する測定手段とを備えてなるものである。
【0012】
上記構成の漏洩モード測定装置において、光ビームを誘電体ブロックを通してクラッド層に対して全反射角以上の入射角で入射させると、このクラッド層を透過した後に光導波層においては、ある特定の波数を有する特定入射角の光のみが導波モードで伝搬するようになる。こうして導波モードが励起されると、入射光のほとんどが光導波層に取り込まれるので、上記界面で全反射する光の強度が鋭く低下する全反射減衰が生じる。この光強度の低下は、一般に光検出手段により暗線として検出される。そして導波光の波数は光導波層の上の試料の屈折率に依存するので、全反射減衰が生じる上記特定入射角を知ることによって、試料の屈折率や、それに関連する試料の特性を分析することができる。
【0013】
上述した表面プラズモン測定装置や漏洩モード測定装置は、創薬研究分野等において、所望のセンシング物質に結合する特定物質を見いだすランダムスクリーニングへ使用されることがあり、この場合には前記薄膜層(表面プラズモン測定装置の場合は金属膜であり、漏洩モード測定装置の場合はクラッド層および光導波層)上にセンシング物質を固定し、該センシング物質上に種々の物質の溶液(試料液)を添加し、所定時間が経過する毎に前述の微分値を測定している。添加した物質が、センシング物質と結合するものであれば、この結合によりセンシング物質の屈折率が時間経過に伴って変化する。したがって、所定時間経過毎に上記微分値を測定し、この微分値に変化が生じているか否か測定することにより、添加した物質とセンシング物質の結合が行われているか否か、すなわち添加した物質がセンシング物質と結合する特定物質であるか否かを判定することができる。このような特定物質とセンシング物質との組み合わせとしては、例えば抗原と抗体、化合物と蛋白質、遺伝子と蛋白質などが挙げられる。
【0014】
なお、被検体とセンシング物質の結合状態を測定するためには、必ずしも全反射減衰角θSPの角度そのものを検出する必要はない。例えばセンシング物質に試料液を添加し、その後の全反射減衰角θSPの角度変化量を測定して、その角度変化量の大小に基づいて結合状態を測定することもできる。
【0015】
上記の系を用いる従来の表面プラズモン測定装置において、実用上は、試料に接触させる薄膜層を測定毎に交換する必要がある。そこで従来、この薄膜層を誘電体ブロックに固定してチップ化して測定チップを構成し、この測定チップを試料毎に使い切ることが考えられている。
【0016】
また、本出願人は、特願2001−92666において、使い勝手のよいウェル形状の試料保持部を有する測定チップを用いて、上記全反射減衰の状態の測定を行う測定装置を提案している。試料保持部を有する測定チップを用いることにより、例えば試料として液体試料を用いる場合であれば、試料保持部内に入る少量の液体試料を準備するのみで、測定を行うことができる。また例えば試料保持部を複数個有する測定チップを用いることにより、短時間で容易に多種の試料の分析を行うことができる。
【0017】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述のような従来の測定チップを用いる場合は、表面プラズモン測定装置等の測定装置上での位置精度が出し難いという問題が認められている。例えば上述のウェル形状の試料保持部を有する測定チップを用いて測定を行う場合には、この測定チップの上面を、板状の位置決め部材に当接させて位置決めすることがある。通常、光ビームを入射させる側面の平面度を重視して測定チップを成形するため、測定チップの上面に凹凸が生じ、上面の平面度は低いことが多い。したがって、測定チップの上面を位置決め部材に当接させた場合には、当接部位においてがたつきが生じ、位置精度が出し難いことがある。また、複数の試料保持部を有する測定チップでは、長軸方向に反りが生じている場合があり、このような場合にも、測定チップの位置精度が出し難い。
【0018】
全反射光を利用した測定装置において、再現性の良い高精度の測定を実現するためには、光ビームを誘電体ブロックと薄膜層(表面プラズモン共鳴を利用するものにあっては金属膜であり、導波モードの励起を利用するものにあってはクラッド層および光導波層である)との界面に対して所定の入射角範囲で入射させる必要があるが、測定装置上で測定チップの位置精度が出し難いと、当然、この入射角範囲がまちまちになって測定精度が損なわれる。
【0019】
本発明は上記の事情に鑑みて、表面プラズモン測定装置等の全反射光を利用した測定装置上での測定チップの位置精度を出しやすい測定チップ位置決め機構を提供することを目的とする。
【0020】
【課題を解決するための手段】
本発明による測定チップ位置決め機構は、試料に接触させられる薄膜層を一面に形成された誘電体ブロックからなる測定チップに対して、前記誘電体ブロックと前記薄膜層との界面で全反射条件となる角度で光ビームを入射させ、前記界面で全反射した光ビームの強度を検出する測定装置に用いられる測定チップ位置決め機構であって、
前記測定チップの一部に取り付けられる、表面が鏡面状に形成された位置決めアタッチメントと、
該位置決めアタッチメントの前記表面に当接して、前記測定チップを位置決めする位置決め部材とからなることを特徴とするものである。
【0021】
上記の全反射光を利用した測定装置としては、金属膜を上記薄膜層として用いる前述の表面プラズモンセンサーや、誘電体ブロックの一面に形成されたクラッド層と、このクラッド層の上に形成された光導波層とからなる層を上記薄膜層として用いる前述の漏洩モードセンサー等がある。
【0022】
また、このような全反射光を利用した測定装置において、光検出手段により前記界面で全反射した光ビームの強度を測定して試料の分析を行うには種々の方法があり、例えば、光ビームを前記界面で全反射条件が得られる種々の入射角で入射させ、各入射角に対応した位置毎に前記界面で全反射した光ビームの強度を測定して、全反射減衰により発生した暗線の位置(角度)を検出することにより分析を行ってもよいし、D.V.Noort,K.johansen,C.−F.Mandenius, Porous Gold in Surface Plasmon Resonance Measurement, EUROSENSORS XIII, 1999, pp.585−588 に記載されているように、複数の波長の光ビームを前記界面で全反射条件が得られる入射角で入射させ、各波長毎に前記界面で全反射した光ビームの強度を測定して、各波長毎の全反射減衰の程度を検出することにより分析を行ってもよい。
【0023】
また、P.I.Nikitin,A.N.Grigorenko,A.A.Beloglazov,M.V.Valeiko,A.I.Savchuk,O.A.Savchuk, Surface Plasmon Resonance Interferometry for Micro−Array Biosensing, EUROSENSORS XIII, 1999, pp.235−238 に記載されているように、光ビームを前記界面で全反射条件が得られる入射角で入射させるとともに、この光ビームの一部を、この光ビームが前記界面に入射する前に分割し、この分割した光ビームを、前記界面で全反射した光ビームと干渉させて、その干渉後の光ビームの強度を測定することにより試料分析を行ってもよい。
【0024】
上記位置決めアタッチメントは、前記誘電体ブロックとは異なる素材から構成されているものであってもよい。例えば誘電体ブロックの素材として透明樹脂を用いる場合であれば、位置決めアタッチメントの素材としてはガラスあるいは金属等が好適である。
【0025】
また、位置決めアタッチメントの前記位置決め部材へ当接する領域の長さは、この位置決めアタッチメントの前記測定チップへ接する領域の長さより長いものであってもよい。さらに、位置決めアタッチメントは前記測定チップへ着脱可能なものであってもよい。
【0026】
【発明の効果】
本発明による測定チップ位置決め機構は、測定チップの一部に取り付けられる、表面が鏡面状に形成された位置決めアタッチメントと、該位置決めアタッチメントの前記表面に当接して、前記測定チップを位置決めする位置決め部材とからなるものであるので、位置決めアタッチメントの鏡面状に形成された面が、位置決め部材へ当接するため、当接部位においてがたつきが生じることが少なく、容易に測定装置上での測定チップの位置精度を出すことができる。
【0027】
上記位置決めアタッチメントが、前記誘電体ブロックとは異なる素材から構成されている場合、例えば誘電体ブロックの素材として、透明樹脂が用いられ、位置決めアタッチメントの素材としてはガラスあるいは金属等が用いられている場合であれば、容易に鏡面状の表面を有する位置決めアタッチメントを形成することができる。
【0028】
上記位置決めアタッチメントの前記位置決め部材へ当接する領域の長さが、前記位置決めアタッチメントの前記測定チップへ接する領域の長さより長い場合であれば、位置決めアタッチメントと位置決め部材とが当接する当接面内にゴミが挟まってしまった際に、そのゴミによる測定チップの位置精度の悪化を抑制することができる。例えば、位置決めアタッチメントの前記位置決め部材へ当接する領域の長さをL1、前記位置決めアタッチメントの前記測定チップへ接する領域の長さをL2(但しL2<L1)、ゴミの直径をL3(但しL3≪L2)とする。もし、位置決めアタッチメントを取り付けていない測定チップを位置決め部材に当接させた時に、測定チップと位置決め部材の間にゴミがはさまった場合に生じる測定チップの傾きの最大値は略L3/(L2/2)ラジアンすなわち、2・L3/L2ラジアンとなる。同様に位置決めアタッチメントを取り付けた測定チップを位置決め部材に当接させた時に、位置決めアタッチメントと位置決め部材の間にゴミがはさまった場合に生じる測定チップの傾きの最大値は略L3/(L1/2)ラジアンすなわち、2・L3/L1ラジアンとなる。L2<L1であるので、ゴミによる測定チップの位置精度の悪化を抑制できることがわかる。
【0029】
さらに、位置決めアタッチメントが測定チップへ着脱可能であれば、1つの位置決めアタッチメントを準備すれば、複数個の測定チップへ使用することができ、測定を行う際のコストを低減することができる。
【0030】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。図1は本発明の測定チップ位置決め機構を用いた第1の実施形態である表面プラズモン測定装置の側面形状を示すものである。図2は測定ユニットアセンブリおよび位置決め部材の概略構成図、図3は位置決めアタッチメントの上面図および側面図である。なお、本実施の形態における表面プラズモン測定装置は、薄膜層の上にセンシング物質を固定し、試料液に含まれる被検体が、このセンシング物質と結合する特定物質であるか否かを判定するものである。
【0031】
図1に示す通りこの表面プラズモン測定装置は、測定ユニットアセンブリ10と、測定用の光ビーム(レーザビーム)20を発生させる半導体レーザ等のレーザ光源21と、入射光学系である集光レンズ22と、光検出器23と、上記レーザ光源21の駆動を制御するとともに、上記光検出器23の出力信号Sを受けて後述の処理を行なう信号処理部24と、表示部25と、測定ユニットアセンブリ10の上面が当接するL字形状の位置決め部材27と、測定ユニットアセンブリ10を上方へ付勢する付勢部材28とを有している。位置決め部材27には、試料液9滴下用の孔部29が形成されている。
【0032】
図1および図2に示すように、測定ユニットアセンブリ10は、発明の測定チップとして機能する測定ユニット11および該測定ユニット11上に取り付けられた位置決めアタッチメント12とを備えている。測定ユニット11は、概略四角錐形状とされた誘電体ブロック13と、この誘電体ブロック13の上面に形成された、例えば金、銀、銅、アルミニウム等からなる薄膜層14と、この薄膜層14の上に側方が閉じられた空間を画成する筒状部材からなる試料液保持枠15とを備えている。試料液保持枠15の部分は、その内面が薄膜層14から上方に離れるにつれて測外方に離れるテーパ形状とされ、この試料液保持枠15内のテーパ形状の空間は、試料液9を貯える試料保持部16として機能している。
【0033】
測定ユニット11は、誘電体ブロック13と試料液保持枠15とを、例えば透明樹脂等から一体整形し、蒸着により薄膜層14を形成したものである。薄膜層14の上にセンシング物質17が固定され、試料液9の中には被検体が含まれている。なお、上記センシング物質17および試料液9の両者が発明の試料として機能するものである。
【0034】
位置決めアタッチメント12の上面図および側面図を図3に示す。位置決めアタッチメント12は、中心に円形の孔部18を有し、略正方形の板状に形成されている。ガラスあるいは金属からなり、位置決め部材27と当接する面12aは鏡面状に形成されている。また測定ユニット11および位置決めアタッチメント12は、接着剤19により接着されている。なお、位置決めアタッチメント12は、個々の測定ユニット11に接着剤19により常時固定されていてもよいし、あるいは測定ユニットアセンブリ10を用いた測定が終了後に、接着剤19を薬剤等を用いて溶解させることにより、1つの位置決めアタッチメント12を多数の測定ユニット11に取り付けて使用することもできる。集光レンズ22は、光ビーム20を集光して収束光状態で誘電体ブロック13に通し、誘電体ブロック13と薄膜層14との界面14aに対して種々の入射角が得られるように入射させる。この入射角の範囲は、上記界面14aにおいて光ビーム20の全反射条件が得られ、かつ、表面プラズモン共鳴が生じ得る角度範囲を含む範囲とされる。
【0035】
なお光ビーム20は、界面14aに対してp偏光で入射する。そのようにするためには、予めレーザ光源21をその偏光方向が所定方向となるように配設すればよい。その他、波長板や偏光板で光ビーム20の偏光の向きを制御してもよい。
【0036】
光検出器23は、多数の受光素子が1列に配されてなるラインセンサであり、受光素子の並び方向が図1中の矢印X方向となるように配されている。信号処理部24は、上記光検出器23の出力信号Sを受ける測定手段26を有している。
【0037】
以下、上記構成の表面プラズモン測定装置による測定動作について説明する。まず、測定ユニットアセンブリ10は、図1に示すように、位置決めアタッチメント12の上面12aが位置決め部材27に当接し、かつ位置決めアタッチメント12の端部が位置決め部材27のL字状の部位に接するように位置決めされ、付勢部材28により付勢される。なお、測定ユニットアセンブリ10の水平位置は、測定精度に大きな影響は与えないため、付勢部材28は主に、測定ユニットアセンブリ10を図2中の上方向へ付勢するものである。その後、測定ユニット11の試料保持部16に不図示の試料液供給手段により試料液9が供給される。信号処理部24からの指令でレーザ光源21が駆動され、そこから発せられた光ビーム20が前述のように収束する状態で、誘電体ブロック13と薄膜層14との界面14aに入射する。この界面14aで全反射した光ビーム20は、光検出器23によって検出される。
【0038】
光ビーム20は、上述の通り収束光状態で誘電体ブロック13に入射するので、上記界面14aに対して種々の入射角θで入射する成分を含むことになる。なおこの入射角θは、全反射角以上の角度とされる。そこで、光ビーム20は界面14aで全反射し、この反射した光ビーム20には、種々の反射角で反射する成分が含まれることになる。
【0039】
このように光ビーム20が全反射するとき、界面14aから薄膜層14側にエバネッセント波がしみ出す。そして、光ビーム20が界面14aに対してある特定の入射角θSPで入射した場合は、このエバネッセント波が薄膜層14の表面に励起する表面プラズモンと共鳴するので、この光については反射光強度Iが鋭く低下する。なお図4には、この全反射減衰現象が生じた際の入射角θと反射光強度Iとの関係を概略的に示してある。
【0040】
そこで、測定手段26において、全反射減衰の状態として、光検出器23が出力する出力信号Sから各受光素子毎の検出光量を調べ、暗線を検出した受光素子の位置に基づいて上記入射角(全反射減衰角)θSPを求める。
【0041】
本実施形態では薄膜層14上に、試料液9の中の特定物質である被検体と結合するセンシング物質17が固定され、被検体との結合状態に応じてセンシング物質17の屈折率が変化するので、上記全反射減衰角θSPを測定し続けることにより、この結合状態の変化の様子を調べることができる。
【0042】
すなわち、時間経過とともに、全反射減衰角θSPの角度が変化する場合には、試料液9中の被検体がセンシング物質17と結合していると判定することができ、全反射減衰角θSPの角度に変化が生じない場合には、試料液9中には、センシング物質と結合する被検体は存在していないと判定することができる。測定手段26は、以上の原理に基づいて上記結合の有無を判定し、その判定結果が表示部25に表示される。
【0043】
以上の説明で明らかなように、位置決めアタッチメント12の鏡面状の面12aが、位置決め部材27へ当接するため、測定ユニット11の上面に凹凸が生じていても、当接部位においてがたつきが生じることが少なく、容易に測定装置上での測定ユニットアセンブリ10の位置精度を出すことができる。
【0044】
また、位置決めアタッチメント12の素材として、ガラスあるいは金属が用いられているため、容易に鏡面状の面12aを有する位置決めアタッチメントを形成することができる。
【0045】
なお、測定終了後に、接着剤19を溶解し、位置決めアタッチメント12を測定ユニット11から取り外し、別の測定ユニット11へ取り付けて測定を行えば、位置決めアタッチメント12を多数準備する必要がなく、測定を行う際のコストを低減することができる。
【0046】
次に図5〜図9を参照して本発明の第2の実施形態について説明する。図5は本発明の測定チップ位置決め機構を用いた第2の実施形態である表面プラズモン測定装置の概略構成を示す平面図であり、図6は測定ユニットアセンブリおよび位置決め部材の概略構成図、図7は測定ユニットアレイの概略構成図、図8は、位置決めアタッチメントの上面図および側面図、図9は要部の側面形状を示すものである。
【0047】
図5に示す通りこの表面プラズモン測定装置は、6個の測定ユニット41A、41B、41C…が一体形成された測定ユニットアレイ41およびこの測定ユニットアレイ41の上に取り付けられた位置決めアタッチメント42とからなる測定ユニットアセンブリ40を備え、各測定ユニット41A、41B、41C…に光ビーム30A、30B、30C…を並列的に入射させて全反射減衰の状態を検出する表面プラズモン共鳴を利用した表面プラズモン測定装置である。
【0048】
上記表面プラズモン測定装置は、測定ユニットアセンブリ40と、測定用の光ビーム30A、30B、30C…を発生する光源であるレーザ光源31A、31B、31C…と、上記光ビーム30A、30B、30C…をそれぞれの測定ユニット41A、41B、41C…に対して、並列的に入射させる光学系である集光レンズ32A、32B、32C…と、各測定ユニット41A、41B、41C…で反射されたそれぞれの反射光ビームを、測定ユニット41A、41B、41C…それぞれに対応させて受光する複数の光検出器33A、33B、33C…と、この光検出器33A、33B、33C…からの出力信号SA、SB、SC…を受けて信号処理を行う信号処理部34と、表示部25と、測定ユニットアセンブリ40の上面が当接するL字形状の位置決め部材37と、測定ユニットアセンブリ40を上方へ付勢する付勢部材38とを備えている。位置決め部材37は、試料液9滴下用の孔部39を有している。
【0049】
図6は、測定ユニットアセンブリ40および位置決め部材37の概略構成を示す図である。測定ユニットアセンブリ40は、図7に示すように6つの測定ユニット41A、41B、41C…が一体形成された測定ユニットアレイ41と、金属からなる位置決めアタッチメント42と、位置決めアタッチメント42を測定ユニットアレイ41へ取り付ける4本のネジ43とから構成されている。測定ユニットアレイ41の各測定ユニット41A、41B、41C…は、誘電体ブロック13および試料液保持枠15の部分が、他の測定ユニットの誘電体ブロックおよび試料液保持枠と一体形成されていることを除けば、図1に示す測定ユニット11と同様な構成を有している。なお、測定ユニットアレイ41は発明の測定チップとして機能している。
【0050】
図8は、位置決めアタッチメント42の上面図および側面図を示す図である。図8に示すように、位置決めアタッチメント42は、周辺部に枠部を有する板形状に成形され、位置決め部材37と当接する面42aは鏡面状に形成されている。また位置決めアタッチメント42の中心部には、四角柱状の孔部50が設けられている。この孔部50により、各測定ユニット41A、41B、41C…の試料保持部16が、位置決めアタッチメント42により塞がれることが防止されている。また位置決めアタッチメント42の長軸方向の端部には、測定ユニットアレイ41を固定するための4つのネジ孔51が設けられている。位置決めアタッチメント42の内側の形状は、測定ユニットアレイ41の上面の形状とほぼ同一で、やや大きめに形成されている。このため測定ユニットアレイ41の上面に、位置決めアタッチメント42を被せ、4本のネジ43を用いて、位置決めアタッチメント42を測定ユニットアレイ41へ固定することができる。
【0051】
信号処理部34は、上記各光検出器33A、33B、33C…からの出力信号SA、SB、SC…を受ける測定手段36A、36B、36C…を備えている。
【0052】
上記1つの測定ユニット、例えば測定ユニット41Aに対して供給された試料液についての全反射減衰の状態の測定は、レーザ光源31A、集光レンズ32A、測定ユニット41A、光検出器33A、および測定手段26Aから構成される表面プラズモン測定装置セット70Aによって行なわれる。図9に表面プラズモン測定装置セット70Aの側面形状を示す。なお、図9においては、図1に示す第1の具体的な実施の形態と共通の要素については同番号を付し、特に必要のない限りその説明は省略する。
【0053】
以下、上記構成の表面プラズモン測定装置による動作について説明する。まず、測定ユニットアセンブリ40は、図9に示すように、位置決めアタッチメント42の面42aが位置決め部材37に当接し、かつ位置決めアタッチメント42の端部が位置決め部材37のL字状の部位に接するように位置決めされ、付勢部材38により付勢される。なお、測定ユニットアセンブリ40の水平位置は、測定精度に大きな影響は与えないため、付勢部材38は主に、測定ユニットアセンブリ40を図9中の上方向へ付勢するものである。
【0054】
その後、各測定ユニット41A、41B、41C…の試料保持部16に不図示の試料液供給手段により試料液9A、9B、9C…が供給される。各表面プラズモン測定装置ユニット70A、70B、70C…において、ほぼ第1の実施形態における測定動作と同様の動作で測定が行われ、各測定ユニット41A、41B、41C…毎に、試料液9A、9B、9C…に含まれる被検体が、センシング物質17と結合する特定物質であるか否かが判定される。
【0055】
以上の説明であきらかなように、位置決めアタッチメント42の鏡面状の面42aが、位置決め部材37へ当接するため、測定ユニットアレイ41の上面に凹凸が生じていたり、測定ユニットアレイ41に反りが生じていても、当接部位においてがたつきが生じることが少なく、容易に測定装置上での測定ユニットアセンブリ40の位置精度を出すことができる。
【0056】
また、位置決めアタッチメント42の素材として、金属が用いられているため、容易に鏡面状の面42aを有する位置決めアタッチメントを形成することができる。
【0057】
さらに、位置決めアタッチメント42の位置決め部材37へ当接する領域の長さが、位置決めアタッチメント42の測定ユニットアレイ41へ接する領域の長さより長いので、位置決めアタッチメント42と位置決め部材37とが当接する当接面内にゴミが挟まってしまった際に、そのゴミの影響による測定ユニットアレイ41の位置精度の悪化を抑制することができる。
【0058】
なお、位置決めアタッチメント42が測定ユニットアレイ41へ4本のネジ43により取り付けられているため、測定終了後には、この位置決めアタッチメント42を測定ユニットアレイ41から取り外し、別の測定ユニットアレイ41へ取り付けて測定することができ、測定を行う際のコストを低減することができる。
【0059】
また、測定ユニットアレイ41が、6個の測定ユニットから構成されているため、測定装置に対する1回の測定ユニットアセンブリ40の供給および排出動作で複数の試料液を用いた測定が可能になり、測定作業の能率向上に寄与できる。
【0060】
次に、図10を参照して本発明の第3の実施形態について説明する。なお、図10においては、図1中の要素と同等の要素には同番号を付してあり、それらについての説明は特に必要の無い限り省略する。
【0061】
この第3の実施の形態は、本発明の測定チップ位置決め機構を用いた漏洩モードセンサーであり、図10に示すように、発明の測定チップとして機能する測定ユニット89および該測定ユニット89上に取り付けられた位置決めアタッチメント12からなる測定ユニットアセンブリ90を用いるように構成されている。この測定ユニット89の誘電体ブロック13の上面にはクラッド層91が形成され、さらにその上には光導波層92が形成されている。また光導波層92の表面上にはセンシング物質17が固定されている。
【0062】
誘電体ブロック13は、例えば合成樹脂やBK7等の光学ガラスを用いて形成されている。一方クラッド層91は、誘電体ブロック13よりも低屈折率の誘電体や、金等の金属を用いて薄膜状に形成されている。また光導波層92は、クラッド層91よりも高屈折率の誘電体、例えばPMMAを用いてこれも薄膜状に形成されている。クラッド層91の膜厚は、例えば金薄膜から形成する場合で36.5nm、光導波層92の膜厚は、例えばPMMAから形成する場合で700nm程度とされる。
【0063】
上記構成の漏洩モードセンサーにおいて、レーザ光源21から出射した光ビーム20を誘電体ブロック13を通してクラッド層91に対して全反射角以上の入射角で入射させると、該光ビーム20が誘電体ブロック13とクラッド層91との界面91aで全反射するが、クラッド層91を透過して光導波層92に特定入射角で入射した特定波数の光は、該光導波層92を導波モードで伝搬するようになる。こうして導波モードが励起されると、入射光のほとんどが光導波層92に取り込まれるので、上記界面91aで全反射する光の強度が鋭く低下する全反射減衰が生じる。
【0064】
光導波層92における導波光の波数は、該光導波層92の上のセンシング物質17の屈折率に依存するので、全反射減衰が生じる上記特定入射角を知ることによって、センシング物質17の屈折率を測定することができ、試料液9中の被検体とセンシング物質17との結合状態を知ることができる。
【0065】
本実施形態でも、位置決めアタッチメント12の鏡面状の面12aが、位置決め部材27へ当接するため、当接部位においてがたつきが生じることが少なく、容易に測定装置上での測定ユニットアセンブリ90の位置精度を出すことができる。
【0066】
また、位置決めアタッチメント12の素材として、ガラスあるいは金属が用いられているため、容易に鏡面状の面12aを有する位置決めアタッチメントを形成することができる。
【0067】
次に図11を参照して本発明の第4の実施の形態について説明する。本発明の測定チップ位置決め機構を用いた第4の実施形態である表面プラズモンセンサーは、上記第1の実施の形態の表面プラズモンセンサーと比べ測定方法を変更したものである。図11は、本実施の形態の表面プラズモンセンサーの側面形状を示すものであり、本表面プラズモンセンサーの測定位置には、レーザ光源120 とCCD121 が配設されており、レーザ光源120 とCCD121 との間には、コリメータレンズ122 、干渉光学系123 、集光レンズ124 およびアパーチャー125 が配設されている。
【0068】
上記干渉光学系123 は、偏光フィルタ131 、ハーフミラー132 、ハーフミラー133 およびミラー134 により構成されている。さらに、CCD121 は測定手段135 に接続されており、測定手段135 は表示部62に接続されている。
【0069】
以下、本実施の形態の表面プラズモンセンサーにおける測定動作について説明する。レーザ光源120 が駆動されて光ビーム140 が発散光の状態で出射される。この光ビーム140 はコリメータレンズ122 により平行光化されて偏光フィルタ131 に入射する。偏光フィルタ131 を透過して界面14aに対してp偏光で入射するようにされた光ビーム140 は、ハーフミラー132 により一部がレファレンス光ビーム140Rとして分割され、ハーフミラー132 を透過した残りの光ビーム140Sは界面14aに入射する。界面14aで全反射した光ビーム140Sおよびミラー134 で反射したレファレンス光ビーム140Rはハーフミラー133 に入射して合成される。合成された光ビーム140’は集光レンズ124 により集光され、アパーチャー125 を通過してCCD121 によって検出される。このとき、CCD121 で検出される光ビーム140’は、光ビーム140Sとレファレンス光ビーム140Rとの干渉の状態に応じて干渉縞を発生させる。
【0070】
ここで、試料液9中の被検体が薄膜層14の表面に固定されているセンシング物質17と結合するか否かを、試料液9を測定ユニット11へ供給後、継続的に測定を行い、CCD121 により検出される干渉縞の変化を検出することにより、判定することができる。
【0071】
すなわち、上記試料液9中の被検体とセンシング物質17との結合状態に応じてセンシング物質17の屈折率が変化するため、界面14aで全反射した光ビーム140Sおよびレファレンス光ビーム140Rがハーフミラー133 により合成される際に、干渉の状態が変化するため、上記干渉縞の変化に応じて結合反応の有無を検出することができる。測定手段135 は、以上の原理に基づいて上記反応の有無を検出し、その結果が表示部25に表示される。
【0072】
本実施形態でも、第1の実施の形態と同様に、位置決めアタッチメント12の鏡面状の面12aが、位置決め部材27へ当接するため、当接部位においてがたつきが生じることが少なく、容易に測定装置上での測定ユニットアセンブリ10の位置精度を出すことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態による表面プラズモン測定装置の要部を示す一部破断側面図
【図2】測定ユニットアセンブリおよび位置決め部材の概略構成図
【図3】位置決めアタッチメントの上面図および側面図
【図4】上記表面プラズモン測定装置における光ビームの入射角θと反射光強度Iとの概略関係を示すグラフ
【図5】本発明の第2の実施形態による表面プラズモン測定装置の全体図
【図6】測定ユニットアセンブリおよび位置決め部材の概略構成図
【図7】測定ユニットアレイの概略構成図
【図8】位置決めアタッチメントの上面図および側面図
【図9】本発明の第2の実施形態による表面プラズモン測定装置の要部を示す一部破断側面図
【図10】本発明の第3の実施形態による漏洩モード測定装置の要部を示す一部破断側面図
【図11】本発明の第4の実施形態による表面プラズモン測定装置の要部を示す一部破断側面図
【符号の説明】
9,9A 試料液
10,40,90 測定ユニットアセンブリ
11,41A,41B,41C…,89 測定ユニット
12,42 位置決めアタッチメント
13 誘電体ブロック
14 薄膜層
14a 誘電体ブロックと薄膜層との界面
15 試料液保持枠
16 試料保持部
17 センシング物質
20,30A,30B,30C… 光ビーム
21,31A,31B,31C… レーザ光源
22,32A,32B,32C… 集光レンズ
23,33A,33B,33C… 光検出器
24,34 信号処理部
25 表示部
26,36A,36B,36C… 測定手段
27,37 位置決め部材
28,38 付勢部材
91 クラッド層
91a 誘電体ブロックとクラッド層との界面
92 光導波層
120 レーザ光源
121 CCD
122 コリメータレンズ
123 干渉光学系
124 集光レンズ
125 アパーチャー
134 ミラー
135 測定手段
140 光ビーム
【発明の属する技術分野】
本発明は、測定チップにおける表面プラズモンの発生を利用して試料の分析を行う表面プラズモン測定装置等の全反射光を利用した測定装置に利用される測定チップ位置決め機構に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
金属中においては、自由電子が集団的に振動して、プラズマ波と呼ばれる粗密波が生じる。そして、金属表面に生じるこの粗密波を量子化したものは、表面プラズモンと呼ばれている。
【0003】
従来より、この表面プラズモンが光波によって励起される現象を利用して、試料中の物質の特性を分析する表面プラズモン測定装置が種々提案されている。そして、それらの中で特に良く知られているものとして、 Kretschmann配置と称される系を用いるものが挙げられる(例えば特開平6−167443号参照)。
【0004】
上記の系を用いる表面プラズモン測定装置は基本的に、例えばプリズム状に形成された誘電体ブロックと、この誘電体ブロックの一面に形成されて試料に接触させられる金属膜と、光ビームを発生させる光源と、上記光ビームを誘電体ブロックに対して、該誘電体ブロックと金属膜との界面で全反射条件が得られるように種々の角度で入射させる光学系と、上記界面で全反射した光ビームの強度を検出する光検出手段と、この光検出手段の検出結果に基づいて表面プラズモン共鳴の状態、つまり全反射減衰の状態を測定する測定手段とを備えてなるものである。
【0005】
なお上述のように種々の入射角を得るためには、比較的細い光ビームを入射角を変化させて上記界面に入射させてもよいし、あるいは光ビームに種々の角度で入射する成分が含まれるように、比較的太い光ビームを上記界面に収束光状態であるいは発散光状態で入射させてもよい。前者の場合は、入射した光ビームの入射角の変化に従って、反射角が変化する光ビームを、上記反射角の変化に同期して移動する小さな光検出器によって検出したり、反射角の変化方向に沿って延びるエリアセンサによって検出することができる。一方後者の場合は、種々の反射角で反射した各光ビームを全て受光できる方向に延びるエリアセンサによって検出することができる。
【0006】
上記構成の表面プラズモン測定装置において、光ビームを金属膜に対して全反射角以上の特定入射角θSPで入射させると、該金属膜に接している試料中に電界分布をもつエバネッセント波が生じ、このエバネッセント波によって金属膜と試料との界面に表面プラズモンが励起される。エバネッセント波の波数ベクトルが表面プラズモンの波数と等しくて波数整合が成立しているとき、両者は共鳴状態となり、光のエネルギーが表面プラズモンに移行するので、誘電体ブロックと金属膜との界面で全反射した光の強度が鋭く低下する。この光強度の低下は、一般に上記光検出手段により暗線として検出される。
【0007】
なお上記の共鳴は、入射ビームがp偏光のときにだけ生じる。したがって、光ビームがp偏光で入射するように予め設定しておく必要がある。
【0008】
この全反射減衰(ATR)が生じる入射角θSPより表面プラズモンの波数が分かると、試料の誘電率が求められる。すなわち表面プラズモンの波数をKSP、表面プラズモンの角周波数をω、cを真空中の光速、εmとεsをそれぞれ金属、試料の誘電率とすると、以下の関係がある。
【0009】
【数1】
試料の誘電率εs が分かれば、所定の較正曲線等に基づいて試料の屈折率が分かるので、結局、上記反射光強度が低下する入射角である全反射減衰角θSPを知ることにより、試料の誘電率つまりは屈折率に関連する特性を求めることができる。
【0010】
なおこの種の表面プラズモン測定装置においては、上記全反射減衰角θSPを精度良く、しかも大きなダイナミックレンジで測定することを目的として、特開平11−326194号に示されるように、アレイ状の光検出手段を用いることが考えられている。この光検出手段は、複数の受光素子が所定方向に並設されてなり、前記界面において種々の反射角で全反射した光ビームの成分をそれぞれ異なる受光素子が受光する向きにして配設されたものである。このような光検出手段を用いることにより、全反射減衰の状態を精度よく測定することができる。
【0011】
また、全反射減衰(ATR)を利用する類似の測定装置として、例えば「分光研究」第47巻 第1号(1998)の第21〜23頁および第26〜27頁に記載がある漏洩モード測定装置も知られている。この漏洩モード測定装置は基本的に、例えばプリズム状に形成された誘電体ブロックと、この誘電体ブロックの一面に形成されたクラッド層と、このクラッド層の上に形成されて、試料に接触させられる光導波層と、光ビームを発生させる光源と、上記光ビームを上記誘電体ブロックに対して、該誘電体ブロックとクラッド層との界面で全反射条件が得られるように種々の角度で入射させる光学系と、上記界面で全反射した光ビームの強度を検出する光検出手段と、この光検出手段の検出結果に基づいて導波モードの励起状態、つまり全反射減衰の状態を測定する測定手段とを備えてなるものである。
【0012】
上記構成の漏洩モード測定装置において、光ビームを誘電体ブロックを通してクラッド層に対して全反射角以上の入射角で入射させると、このクラッド層を透過した後に光導波層においては、ある特定の波数を有する特定入射角の光のみが導波モードで伝搬するようになる。こうして導波モードが励起されると、入射光のほとんどが光導波層に取り込まれるので、上記界面で全反射する光の強度が鋭く低下する全反射減衰が生じる。この光強度の低下は、一般に光検出手段により暗線として検出される。そして導波光の波数は光導波層の上の試料の屈折率に依存するので、全反射減衰が生じる上記特定入射角を知ることによって、試料の屈折率や、それに関連する試料の特性を分析することができる。
【0013】
上述した表面プラズモン測定装置や漏洩モード測定装置は、創薬研究分野等において、所望のセンシング物質に結合する特定物質を見いだすランダムスクリーニングへ使用されることがあり、この場合には前記薄膜層(表面プラズモン測定装置の場合は金属膜であり、漏洩モード測定装置の場合はクラッド層および光導波層)上にセンシング物質を固定し、該センシング物質上に種々の物質の溶液(試料液)を添加し、所定時間が経過する毎に前述の微分値を測定している。添加した物質が、センシング物質と結合するものであれば、この結合によりセンシング物質の屈折率が時間経過に伴って変化する。したがって、所定時間経過毎に上記微分値を測定し、この微分値に変化が生じているか否か測定することにより、添加した物質とセンシング物質の結合が行われているか否か、すなわち添加した物質がセンシング物質と結合する特定物質であるか否かを判定することができる。このような特定物質とセンシング物質との組み合わせとしては、例えば抗原と抗体、化合物と蛋白質、遺伝子と蛋白質などが挙げられる。
【0014】
なお、被検体とセンシング物質の結合状態を測定するためには、必ずしも全反射減衰角θSPの角度そのものを検出する必要はない。例えばセンシング物質に試料液を添加し、その後の全反射減衰角θSPの角度変化量を測定して、その角度変化量の大小に基づいて結合状態を測定することもできる。
【0015】
上記の系を用いる従来の表面プラズモン測定装置において、実用上は、試料に接触させる薄膜層を測定毎に交換する必要がある。そこで従来、この薄膜層を誘電体ブロックに固定してチップ化して測定チップを構成し、この測定チップを試料毎に使い切ることが考えられている。
【0016】
また、本出願人は、特願2001−92666において、使い勝手のよいウェル形状の試料保持部を有する測定チップを用いて、上記全反射減衰の状態の測定を行う測定装置を提案している。試料保持部を有する測定チップを用いることにより、例えば試料として液体試料を用いる場合であれば、試料保持部内に入る少量の液体試料を準備するのみで、測定を行うことができる。また例えば試料保持部を複数個有する測定チップを用いることにより、短時間で容易に多種の試料の分析を行うことができる。
【0017】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述のような従来の測定チップを用いる場合は、表面プラズモン測定装置等の測定装置上での位置精度が出し難いという問題が認められている。例えば上述のウェル形状の試料保持部を有する測定チップを用いて測定を行う場合には、この測定チップの上面を、板状の位置決め部材に当接させて位置決めすることがある。通常、光ビームを入射させる側面の平面度を重視して測定チップを成形するため、測定チップの上面に凹凸が生じ、上面の平面度は低いことが多い。したがって、測定チップの上面を位置決め部材に当接させた場合には、当接部位においてがたつきが生じ、位置精度が出し難いことがある。また、複数の試料保持部を有する測定チップでは、長軸方向に反りが生じている場合があり、このような場合にも、測定チップの位置精度が出し難い。
【0018】
全反射光を利用した測定装置において、再現性の良い高精度の測定を実現するためには、光ビームを誘電体ブロックと薄膜層(表面プラズモン共鳴を利用するものにあっては金属膜であり、導波モードの励起を利用するものにあってはクラッド層および光導波層である)との界面に対して所定の入射角範囲で入射させる必要があるが、測定装置上で測定チップの位置精度が出し難いと、当然、この入射角範囲がまちまちになって測定精度が損なわれる。
【0019】
本発明は上記の事情に鑑みて、表面プラズモン測定装置等の全反射光を利用した測定装置上での測定チップの位置精度を出しやすい測定チップ位置決め機構を提供することを目的とする。
【0020】
【課題を解決するための手段】
本発明による測定チップ位置決め機構は、試料に接触させられる薄膜層を一面に形成された誘電体ブロックからなる測定チップに対して、前記誘電体ブロックと前記薄膜層との界面で全反射条件となる角度で光ビームを入射させ、前記界面で全反射した光ビームの強度を検出する測定装置に用いられる測定チップ位置決め機構であって、
前記測定チップの一部に取り付けられる、表面が鏡面状に形成された位置決めアタッチメントと、
該位置決めアタッチメントの前記表面に当接して、前記測定チップを位置決めする位置決め部材とからなることを特徴とするものである。
【0021】
上記の全反射光を利用した測定装置としては、金属膜を上記薄膜層として用いる前述の表面プラズモンセンサーや、誘電体ブロックの一面に形成されたクラッド層と、このクラッド層の上に形成された光導波層とからなる層を上記薄膜層として用いる前述の漏洩モードセンサー等がある。
【0022】
また、このような全反射光を利用した測定装置において、光検出手段により前記界面で全反射した光ビームの強度を測定して試料の分析を行うには種々の方法があり、例えば、光ビームを前記界面で全反射条件が得られる種々の入射角で入射させ、各入射角に対応した位置毎に前記界面で全反射した光ビームの強度を測定して、全反射減衰により発生した暗線の位置(角度)を検出することにより分析を行ってもよいし、D.V.Noort,K.johansen,C.−F.Mandenius, Porous Gold in Surface Plasmon Resonance Measurement, EUROSENSORS XIII, 1999, pp.585−588 に記載されているように、複数の波長の光ビームを前記界面で全反射条件が得られる入射角で入射させ、各波長毎に前記界面で全反射した光ビームの強度を測定して、各波長毎の全反射減衰の程度を検出することにより分析を行ってもよい。
【0023】
また、P.I.Nikitin,A.N.Grigorenko,A.A.Beloglazov,M.V.Valeiko,A.I.Savchuk,O.A.Savchuk, Surface Plasmon Resonance Interferometry for Micro−Array Biosensing, EUROSENSORS XIII, 1999, pp.235−238 に記載されているように、光ビームを前記界面で全反射条件が得られる入射角で入射させるとともに、この光ビームの一部を、この光ビームが前記界面に入射する前に分割し、この分割した光ビームを、前記界面で全反射した光ビームと干渉させて、その干渉後の光ビームの強度を測定することにより試料分析を行ってもよい。
【0024】
上記位置決めアタッチメントは、前記誘電体ブロックとは異なる素材から構成されているものであってもよい。例えば誘電体ブロックの素材として透明樹脂を用いる場合であれば、位置決めアタッチメントの素材としてはガラスあるいは金属等が好適である。
【0025】
また、位置決めアタッチメントの前記位置決め部材へ当接する領域の長さは、この位置決めアタッチメントの前記測定チップへ接する領域の長さより長いものであってもよい。さらに、位置決めアタッチメントは前記測定チップへ着脱可能なものであってもよい。
【0026】
【発明の効果】
本発明による測定チップ位置決め機構は、測定チップの一部に取り付けられる、表面が鏡面状に形成された位置決めアタッチメントと、該位置決めアタッチメントの前記表面に当接して、前記測定チップを位置決めする位置決め部材とからなるものであるので、位置決めアタッチメントの鏡面状に形成された面が、位置決め部材へ当接するため、当接部位においてがたつきが生じることが少なく、容易に測定装置上での測定チップの位置精度を出すことができる。
【0027】
上記位置決めアタッチメントが、前記誘電体ブロックとは異なる素材から構成されている場合、例えば誘電体ブロックの素材として、透明樹脂が用いられ、位置決めアタッチメントの素材としてはガラスあるいは金属等が用いられている場合であれば、容易に鏡面状の表面を有する位置決めアタッチメントを形成することができる。
【0028】
上記位置決めアタッチメントの前記位置決め部材へ当接する領域の長さが、前記位置決めアタッチメントの前記測定チップへ接する領域の長さより長い場合であれば、位置決めアタッチメントと位置決め部材とが当接する当接面内にゴミが挟まってしまった際に、そのゴミによる測定チップの位置精度の悪化を抑制することができる。例えば、位置決めアタッチメントの前記位置決め部材へ当接する領域の長さをL1、前記位置決めアタッチメントの前記測定チップへ接する領域の長さをL2(但しL2<L1)、ゴミの直径をL3(但しL3≪L2)とする。もし、位置決めアタッチメントを取り付けていない測定チップを位置決め部材に当接させた時に、測定チップと位置決め部材の間にゴミがはさまった場合に生じる測定チップの傾きの最大値は略L3/(L2/2)ラジアンすなわち、2・L3/L2ラジアンとなる。同様に位置決めアタッチメントを取り付けた測定チップを位置決め部材に当接させた時に、位置決めアタッチメントと位置決め部材の間にゴミがはさまった場合に生じる測定チップの傾きの最大値は略L3/(L1/2)ラジアンすなわち、2・L3/L1ラジアンとなる。L2<L1であるので、ゴミによる測定チップの位置精度の悪化を抑制できることがわかる。
【0029】
さらに、位置決めアタッチメントが測定チップへ着脱可能であれば、1つの位置決めアタッチメントを準備すれば、複数個の測定チップへ使用することができ、測定を行う際のコストを低減することができる。
【0030】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。図1は本発明の測定チップ位置決め機構を用いた第1の実施形態である表面プラズモン測定装置の側面形状を示すものである。図2は測定ユニットアセンブリおよび位置決め部材の概略構成図、図3は位置決めアタッチメントの上面図および側面図である。なお、本実施の形態における表面プラズモン測定装置は、薄膜層の上にセンシング物質を固定し、試料液に含まれる被検体が、このセンシング物質と結合する特定物質であるか否かを判定するものである。
【0031】
図1に示す通りこの表面プラズモン測定装置は、測定ユニットアセンブリ10と、測定用の光ビーム(レーザビーム)20を発生させる半導体レーザ等のレーザ光源21と、入射光学系である集光レンズ22と、光検出器23と、上記レーザ光源21の駆動を制御するとともに、上記光検出器23の出力信号Sを受けて後述の処理を行なう信号処理部24と、表示部25と、測定ユニットアセンブリ10の上面が当接するL字形状の位置決め部材27と、測定ユニットアセンブリ10を上方へ付勢する付勢部材28とを有している。位置決め部材27には、試料液9滴下用の孔部29が形成されている。
【0032】
図1および図2に示すように、測定ユニットアセンブリ10は、発明の測定チップとして機能する測定ユニット11および該測定ユニット11上に取り付けられた位置決めアタッチメント12とを備えている。測定ユニット11は、概略四角錐形状とされた誘電体ブロック13と、この誘電体ブロック13の上面に形成された、例えば金、銀、銅、アルミニウム等からなる薄膜層14と、この薄膜層14の上に側方が閉じられた空間を画成する筒状部材からなる試料液保持枠15とを備えている。試料液保持枠15の部分は、その内面が薄膜層14から上方に離れるにつれて測外方に離れるテーパ形状とされ、この試料液保持枠15内のテーパ形状の空間は、試料液9を貯える試料保持部16として機能している。
【0033】
測定ユニット11は、誘電体ブロック13と試料液保持枠15とを、例えば透明樹脂等から一体整形し、蒸着により薄膜層14を形成したものである。薄膜層14の上にセンシング物質17が固定され、試料液9の中には被検体が含まれている。なお、上記センシング物質17および試料液9の両者が発明の試料として機能するものである。
【0034】
位置決めアタッチメント12の上面図および側面図を図3に示す。位置決めアタッチメント12は、中心に円形の孔部18を有し、略正方形の板状に形成されている。ガラスあるいは金属からなり、位置決め部材27と当接する面12aは鏡面状に形成されている。また測定ユニット11および位置決めアタッチメント12は、接着剤19により接着されている。なお、位置決めアタッチメント12は、個々の測定ユニット11に接着剤19により常時固定されていてもよいし、あるいは測定ユニットアセンブリ10を用いた測定が終了後に、接着剤19を薬剤等を用いて溶解させることにより、1つの位置決めアタッチメント12を多数の測定ユニット11に取り付けて使用することもできる。集光レンズ22は、光ビーム20を集光して収束光状態で誘電体ブロック13に通し、誘電体ブロック13と薄膜層14との界面14aに対して種々の入射角が得られるように入射させる。この入射角の範囲は、上記界面14aにおいて光ビーム20の全反射条件が得られ、かつ、表面プラズモン共鳴が生じ得る角度範囲を含む範囲とされる。
【0035】
なお光ビーム20は、界面14aに対してp偏光で入射する。そのようにするためには、予めレーザ光源21をその偏光方向が所定方向となるように配設すればよい。その他、波長板や偏光板で光ビーム20の偏光の向きを制御してもよい。
【0036】
光検出器23は、多数の受光素子が1列に配されてなるラインセンサであり、受光素子の並び方向が図1中の矢印X方向となるように配されている。信号処理部24は、上記光検出器23の出力信号Sを受ける測定手段26を有している。
【0037】
以下、上記構成の表面プラズモン測定装置による測定動作について説明する。まず、測定ユニットアセンブリ10は、図1に示すように、位置決めアタッチメント12の上面12aが位置決め部材27に当接し、かつ位置決めアタッチメント12の端部が位置決め部材27のL字状の部位に接するように位置決めされ、付勢部材28により付勢される。なお、測定ユニットアセンブリ10の水平位置は、測定精度に大きな影響は与えないため、付勢部材28は主に、測定ユニットアセンブリ10を図2中の上方向へ付勢するものである。その後、測定ユニット11の試料保持部16に不図示の試料液供給手段により試料液9が供給される。信号処理部24からの指令でレーザ光源21が駆動され、そこから発せられた光ビーム20が前述のように収束する状態で、誘電体ブロック13と薄膜層14との界面14aに入射する。この界面14aで全反射した光ビーム20は、光検出器23によって検出される。
【0038】
光ビーム20は、上述の通り収束光状態で誘電体ブロック13に入射するので、上記界面14aに対して種々の入射角θで入射する成分を含むことになる。なおこの入射角θは、全反射角以上の角度とされる。そこで、光ビーム20は界面14aで全反射し、この反射した光ビーム20には、種々の反射角で反射する成分が含まれることになる。
【0039】
このように光ビーム20が全反射するとき、界面14aから薄膜層14側にエバネッセント波がしみ出す。そして、光ビーム20が界面14aに対してある特定の入射角θSPで入射した場合は、このエバネッセント波が薄膜層14の表面に励起する表面プラズモンと共鳴するので、この光については反射光強度Iが鋭く低下する。なお図4には、この全反射減衰現象が生じた際の入射角θと反射光強度Iとの関係を概略的に示してある。
【0040】
そこで、測定手段26において、全反射減衰の状態として、光検出器23が出力する出力信号Sから各受光素子毎の検出光量を調べ、暗線を検出した受光素子の位置に基づいて上記入射角(全反射減衰角)θSPを求める。
【0041】
本実施形態では薄膜層14上に、試料液9の中の特定物質である被検体と結合するセンシング物質17が固定され、被検体との結合状態に応じてセンシング物質17の屈折率が変化するので、上記全反射減衰角θSPを測定し続けることにより、この結合状態の変化の様子を調べることができる。
【0042】
すなわち、時間経過とともに、全反射減衰角θSPの角度が変化する場合には、試料液9中の被検体がセンシング物質17と結合していると判定することができ、全反射減衰角θSPの角度に変化が生じない場合には、試料液9中には、センシング物質と結合する被検体は存在していないと判定することができる。測定手段26は、以上の原理に基づいて上記結合の有無を判定し、その判定結果が表示部25に表示される。
【0043】
以上の説明で明らかなように、位置決めアタッチメント12の鏡面状の面12aが、位置決め部材27へ当接するため、測定ユニット11の上面に凹凸が生じていても、当接部位においてがたつきが生じることが少なく、容易に測定装置上での測定ユニットアセンブリ10の位置精度を出すことができる。
【0044】
また、位置決めアタッチメント12の素材として、ガラスあるいは金属が用いられているため、容易に鏡面状の面12aを有する位置決めアタッチメントを形成することができる。
【0045】
なお、測定終了後に、接着剤19を溶解し、位置決めアタッチメント12を測定ユニット11から取り外し、別の測定ユニット11へ取り付けて測定を行えば、位置決めアタッチメント12を多数準備する必要がなく、測定を行う際のコストを低減することができる。
【0046】
次に図5〜図9を参照して本発明の第2の実施形態について説明する。図5は本発明の測定チップ位置決め機構を用いた第2の実施形態である表面プラズモン測定装置の概略構成を示す平面図であり、図6は測定ユニットアセンブリおよび位置決め部材の概略構成図、図7は測定ユニットアレイの概略構成図、図8は、位置決めアタッチメントの上面図および側面図、図9は要部の側面形状を示すものである。
【0047】
図5に示す通りこの表面プラズモン測定装置は、6個の測定ユニット41A、41B、41C…が一体形成された測定ユニットアレイ41およびこの測定ユニットアレイ41の上に取り付けられた位置決めアタッチメント42とからなる測定ユニットアセンブリ40を備え、各測定ユニット41A、41B、41C…に光ビーム30A、30B、30C…を並列的に入射させて全反射減衰の状態を検出する表面プラズモン共鳴を利用した表面プラズモン測定装置である。
【0048】
上記表面プラズモン測定装置は、測定ユニットアセンブリ40と、測定用の光ビーム30A、30B、30C…を発生する光源であるレーザ光源31A、31B、31C…と、上記光ビーム30A、30B、30C…をそれぞれの測定ユニット41A、41B、41C…に対して、並列的に入射させる光学系である集光レンズ32A、32B、32C…と、各測定ユニット41A、41B、41C…で反射されたそれぞれの反射光ビームを、測定ユニット41A、41B、41C…それぞれに対応させて受光する複数の光検出器33A、33B、33C…と、この光検出器33A、33B、33C…からの出力信号SA、SB、SC…を受けて信号処理を行う信号処理部34と、表示部25と、測定ユニットアセンブリ40の上面が当接するL字形状の位置決め部材37と、測定ユニットアセンブリ40を上方へ付勢する付勢部材38とを備えている。位置決め部材37は、試料液9滴下用の孔部39を有している。
【0049】
図6は、測定ユニットアセンブリ40および位置決め部材37の概略構成を示す図である。測定ユニットアセンブリ40は、図7に示すように6つの測定ユニット41A、41B、41C…が一体形成された測定ユニットアレイ41と、金属からなる位置決めアタッチメント42と、位置決めアタッチメント42を測定ユニットアレイ41へ取り付ける4本のネジ43とから構成されている。測定ユニットアレイ41の各測定ユニット41A、41B、41C…は、誘電体ブロック13および試料液保持枠15の部分が、他の測定ユニットの誘電体ブロックおよび試料液保持枠と一体形成されていることを除けば、図1に示す測定ユニット11と同様な構成を有している。なお、測定ユニットアレイ41は発明の測定チップとして機能している。
【0050】
図8は、位置決めアタッチメント42の上面図および側面図を示す図である。図8に示すように、位置決めアタッチメント42は、周辺部に枠部を有する板形状に成形され、位置決め部材37と当接する面42aは鏡面状に形成されている。また位置決めアタッチメント42の中心部には、四角柱状の孔部50が設けられている。この孔部50により、各測定ユニット41A、41B、41C…の試料保持部16が、位置決めアタッチメント42により塞がれることが防止されている。また位置決めアタッチメント42の長軸方向の端部には、測定ユニットアレイ41を固定するための4つのネジ孔51が設けられている。位置決めアタッチメント42の内側の形状は、測定ユニットアレイ41の上面の形状とほぼ同一で、やや大きめに形成されている。このため測定ユニットアレイ41の上面に、位置決めアタッチメント42を被せ、4本のネジ43を用いて、位置決めアタッチメント42を測定ユニットアレイ41へ固定することができる。
【0051】
信号処理部34は、上記各光検出器33A、33B、33C…からの出力信号SA、SB、SC…を受ける測定手段36A、36B、36C…を備えている。
【0052】
上記1つの測定ユニット、例えば測定ユニット41Aに対して供給された試料液についての全反射減衰の状態の測定は、レーザ光源31A、集光レンズ32A、測定ユニット41A、光検出器33A、および測定手段26Aから構成される表面プラズモン測定装置セット70Aによって行なわれる。図9に表面プラズモン測定装置セット70Aの側面形状を示す。なお、図9においては、図1に示す第1の具体的な実施の形態と共通の要素については同番号を付し、特に必要のない限りその説明は省略する。
【0053】
以下、上記構成の表面プラズモン測定装置による動作について説明する。まず、測定ユニットアセンブリ40は、図9に示すように、位置決めアタッチメント42の面42aが位置決め部材37に当接し、かつ位置決めアタッチメント42の端部が位置決め部材37のL字状の部位に接するように位置決めされ、付勢部材38により付勢される。なお、測定ユニットアセンブリ40の水平位置は、測定精度に大きな影響は与えないため、付勢部材38は主に、測定ユニットアセンブリ40を図9中の上方向へ付勢するものである。
【0054】
その後、各測定ユニット41A、41B、41C…の試料保持部16に不図示の試料液供給手段により試料液9A、9B、9C…が供給される。各表面プラズモン測定装置ユニット70A、70B、70C…において、ほぼ第1の実施形態における測定動作と同様の動作で測定が行われ、各測定ユニット41A、41B、41C…毎に、試料液9A、9B、9C…に含まれる被検体が、センシング物質17と結合する特定物質であるか否かが判定される。
【0055】
以上の説明であきらかなように、位置決めアタッチメント42の鏡面状の面42aが、位置決め部材37へ当接するため、測定ユニットアレイ41の上面に凹凸が生じていたり、測定ユニットアレイ41に反りが生じていても、当接部位においてがたつきが生じることが少なく、容易に測定装置上での測定ユニットアセンブリ40の位置精度を出すことができる。
【0056】
また、位置決めアタッチメント42の素材として、金属が用いられているため、容易に鏡面状の面42aを有する位置決めアタッチメントを形成することができる。
【0057】
さらに、位置決めアタッチメント42の位置決め部材37へ当接する領域の長さが、位置決めアタッチメント42の測定ユニットアレイ41へ接する領域の長さより長いので、位置決めアタッチメント42と位置決め部材37とが当接する当接面内にゴミが挟まってしまった際に、そのゴミの影響による測定ユニットアレイ41の位置精度の悪化を抑制することができる。
【0058】
なお、位置決めアタッチメント42が測定ユニットアレイ41へ4本のネジ43により取り付けられているため、測定終了後には、この位置決めアタッチメント42を測定ユニットアレイ41から取り外し、別の測定ユニットアレイ41へ取り付けて測定することができ、測定を行う際のコストを低減することができる。
【0059】
また、測定ユニットアレイ41が、6個の測定ユニットから構成されているため、測定装置に対する1回の測定ユニットアセンブリ40の供給および排出動作で複数の試料液を用いた測定が可能になり、測定作業の能率向上に寄与できる。
【0060】
次に、図10を参照して本発明の第3の実施形態について説明する。なお、図10においては、図1中の要素と同等の要素には同番号を付してあり、それらについての説明は特に必要の無い限り省略する。
【0061】
この第3の実施の形態は、本発明の測定チップ位置決め機構を用いた漏洩モードセンサーであり、図10に示すように、発明の測定チップとして機能する測定ユニット89および該測定ユニット89上に取り付けられた位置決めアタッチメント12からなる測定ユニットアセンブリ90を用いるように構成されている。この測定ユニット89の誘電体ブロック13の上面にはクラッド層91が形成され、さらにその上には光導波層92が形成されている。また光導波層92の表面上にはセンシング物質17が固定されている。
【0062】
誘電体ブロック13は、例えば合成樹脂やBK7等の光学ガラスを用いて形成されている。一方クラッド層91は、誘電体ブロック13よりも低屈折率の誘電体や、金等の金属を用いて薄膜状に形成されている。また光導波層92は、クラッド層91よりも高屈折率の誘電体、例えばPMMAを用いてこれも薄膜状に形成されている。クラッド層91の膜厚は、例えば金薄膜から形成する場合で36.5nm、光導波層92の膜厚は、例えばPMMAから形成する場合で700nm程度とされる。
【0063】
上記構成の漏洩モードセンサーにおいて、レーザ光源21から出射した光ビーム20を誘電体ブロック13を通してクラッド層91に対して全反射角以上の入射角で入射させると、該光ビーム20が誘電体ブロック13とクラッド層91との界面91aで全反射するが、クラッド層91を透過して光導波層92に特定入射角で入射した特定波数の光は、該光導波層92を導波モードで伝搬するようになる。こうして導波モードが励起されると、入射光のほとんどが光導波層92に取り込まれるので、上記界面91aで全反射する光の強度が鋭く低下する全反射減衰が生じる。
【0064】
光導波層92における導波光の波数は、該光導波層92の上のセンシング物質17の屈折率に依存するので、全反射減衰が生じる上記特定入射角を知ることによって、センシング物質17の屈折率を測定することができ、試料液9中の被検体とセンシング物質17との結合状態を知ることができる。
【0065】
本実施形態でも、位置決めアタッチメント12の鏡面状の面12aが、位置決め部材27へ当接するため、当接部位においてがたつきが生じることが少なく、容易に測定装置上での測定ユニットアセンブリ90の位置精度を出すことができる。
【0066】
また、位置決めアタッチメント12の素材として、ガラスあるいは金属が用いられているため、容易に鏡面状の面12aを有する位置決めアタッチメントを形成することができる。
【0067】
次に図11を参照して本発明の第4の実施の形態について説明する。本発明の測定チップ位置決め機構を用いた第4の実施形態である表面プラズモンセンサーは、上記第1の実施の形態の表面プラズモンセンサーと比べ測定方法を変更したものである。図11は、本実施の形態の表面プラズモンセンサーの側面形状を示すものであり、本表面プラズモンセンサーの測定位置には、レーザ光源120 とCCD121 が配設されており、レーザ光源120 とCCD121 との間には、コリメータレンズ122 、干渉光学系123 、集光レンズ124 およびアパーチャー125 が配設されている。
【0068】
上記干渉光学系123 は、偏光フィルタ131 、ハーフミラー132 、ハーフミラー133 およびミラー134 により構成されている。さらに、CCD121 は測定手段135 に接続されており、測定手段135 は表示部62に接続されている。
【0069】
以下、本実施の形態の表面プラズモンセンサーにおける測定動作について説明する。レーザ光源120 が駆動されて光ビーム140 が発散光の状態で出射される。この光ビーム140 はコリメータレンズ122 により平行光化されて偏光フィルタ131 に入射する。偏光フィルタ131 を透過して界面14aに対してp偏光で入射するようにされた光ビーム140 は、ハーフミラー132 により一部がレファレンス光ビーム140Rとして分割され、ハーフミラー132 を透過した残りの光ビーム140Sは界面14aに入射する。界面14aで全反射した光ビーム140Sおよびミラー134 で反射したレファレンス光ビーム140Rはハーフミラー133 に入射して合成される。合成された光ビーム140’は集光レンズ124 により集光され、アパーチャー125 を通過してCCD121 によって検出される。このとき、CCD121 で検出される光ビーム140’は、光ビーム140Sとレファレンス光ビーム140Rとの干渉の状態に応じて干渉縞を発生させる。
【0070】
ここで、試料液9中の被検体が薄膜層14の表面に固定されているセンシング物質17と結合するか否かを、試料液9を測定ユニット11へ供給後、継続的に測定を行い、CCD121 により検出される干渉縞の変化を検出することにより、判定することができる。
【0071】
すなわち、上記試料液9中の被検体とセンシング物質17との結合状態に応じてセンシング物質17の屈折率が変化するため、界面14aで全反射した光ビーム140Sおよびレファレンス光ビーム140Rがハーフミラー133 により合成される際に、干渉の状態が変化するため、上記干渉縞の変化に応じて結合反応の有無を検出することができる。測定手段135 は、以上の原理に基づいて上記反応の有無を検出し、その結果が表示部25に表示される。
【0072】
本実施形態でも、第1の実施の形態と同様に、位置決めアタッチメント12の鏡面状の面12aが、位置決め部材27へ当接するため、当接部位においてがたつきが生じることが少なく、容易に測定装置上での測定ユニットアセンブリ10の位置精度を出すことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態による表面プラズモン測定装置の要部を示す一部破断側面図
【図2】測定ユニットアセンブリおよび位置決め部材の概略構成図
【図3】位置決めアタッチメントの上面図および側面図
【図4】上記表面プラズモン測定装置における光ビームの入射角θと反射光強度Iとの概略関係を示すグラフ
【図5】本発明の第2の実施形態による表面プラズモン測定装置の全体図
【図6】測定ユニットアセンブリおよび位置決め部材の概略構成図
【図7】測定ユニットアレイの概略構成図
【図8】位置決めアタッチメントの上面図および側面図
【図9】本発明の第2の実施形態による表面プラズモン測定装置の要部を示す一部破断側面図
【図10】本発明の第3の実施形態による漏洩モード測定装置の要部を示す一部破断側面図
【図11】本発明の第4の実施形態による表面プラズモン測定装置の要部を示す一部破断側面図
【符号の説明】
9,9A 試料液
10,40,90 測定ユニットアセンブリ
11,41A,41B,41C…,89 測定ユニット
12,42 位置決めアタッチメント
13 誘電体ブロック
14 薄膜層
14a 誘電体ブロックと薄膜層との界面
15 試料液保持枠
16 試料保持部
17 センシング物質
20,30A,30B,30C… 光ビーム
21,31A,31B,31C… レーザ光源
22,32A,32B,32C… 集光レンズ
23,33A,33B,33C… 光検出器
24,34 信号処理部
25 表示部
26,36A,36B,36C… 測定手段
27,37 位置決め部材
28,38 付勢部材
91 クラッド層
91a 誘電体ブロックとクラッド層との界面
92 光導波層
120 レーザ光源
121 CCD
122 コリメータレンズ
123 干渉光学系
124 集光レンズ
125 アパーチャー
134 ミラー
135 測定手段
140 光ビーム
Claims (4)
- 試料に接触させられる薄膜層を一面に形成された誘電体ブロックからなる測定チップに対して、前記誘電体ブロックと前記薄膜層との界面で全反射条件となる角度で光ビームを入射させ、前記界面で全反射した光ビームの強度を検出する測定装置に用いられる測定チップ位置決め機構であって、
前記測定チップの一部に取り付けられる、表面が鏡面状に形成された位置決めアタッチメントと、
該位置決めアタッチメントの前記表面に当接して、前記測定チップを位置決めする位置決め部材とからなることを特徴とする測定チップ位置決め機構。 - 前記位置決めアタッチメントが、前記誘電体ブロックとは異なる素材から構成されていることを特徴とする請求項1記載の測定チップ位置決め機構。
- 前記位置決めアタッチメントの前記位置決め部材へ当接する領域の長さが、前記位置決めアタッチメントの前記測定チップへ接する領域の長さより長いことを特徴とする請求項1または2記載の測定チップ位置決め機構。
- 前記位置決めアタッチメントが前記測定チップへ着脱可能であることを特徴とする請求項1から3いずれか1項記載の測定チップ位置決め機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002207433A JP2004053279A (ja) | 2002-07-16 | 2002-07-16 | 測定チップ位置決め機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002207433A JP2004053279A (ja) | 2002-07-16 | 2002-07-16 | 測定チップ位置決め機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004053279A true JP2004053279A (ja) | 2004-02-19 |
Family
ID=31931893
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002207433A Withdrawn JP2004053279A (ja) | 2002-07-16 | 2002-07-16 | 測定チップ位置決め機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2004053279A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007155477A (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Fujikura Ltd | 表面プラズモン共鳴センサ |
| US9459214B2 (en) | 2014-01-27 | 2016-10-04 | Seiko Epson Corporation | Sensor unit array, raman spectroscopic device, and electronic apparatus |
-
2002
- 2002-07-16 JP JP2002207433A patent/JP2004053279A/ja not_active Withdrawn
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US9459214B2 (en) | 2014-01-27 | 2016-10-04 | Seiko Epson Corporation | Sensor unit array, raman spectroscopic device, and electronic apparatus |
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