[go: up one dir, main page]

JP2003328970A - Vacuum pump - Google Patents

Vacuum pump

Info

Publication number
JP2003328970A
JP2003328970A JP2002134058A JP2002134058A JP2003328970A JP 2003328970 A JP2003328970 A JP 2003328970A JP 2002134058 A JP2002134058 A JP 2002134058A JP 2002134058 A JP2002134058 A JP 2002134058A JP 2003328970 A JP2003328970 A JP 2003328970A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rotor
thin plate
casing
pump
housing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2002134058A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Moriharu Sakai
守治 酒井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Advics Co Ltd
Original Assignee
Advics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Advics Co Ltd filed Critical Advics Co Ltd
Priority to JP2002134058A priority Critical patent/JP2003328970A/en
Publication of JP2003328970A publication Critical patent/JP2003328970A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce gas leakage from a side seal portion of a vacuum pump in which side seal of a rotor is performed by lessening a side clearance, and to enhance vacuumizing performance of the pump. <P>SOLUTION: A thin plate 20 is inserted in at least one of between the rotor 5 and an end frame 2 and between the rotor 5 and a housing 1. The thin plate 20 is bent by negative pressure in a pump chamber 13 and is sucked on a rotor side. A clearance C between the rotor 5 and the thin plate 20 is thus lessened, and gas leakage from it is reduced. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、ケーシング内で
ロータを運動させて吸排気を行う真空ポンプに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vacuum pump that moves a rotor in a casing to suck and exhaust air.

【0002】[0002]

【従来の技術】バンケル式真空ポンプ、スクロール式真
空ポンプ、ローリングピストン式真空ポンプ、ベーン式
真空ポンプは、いずれも両端がサイドハウジング(ハウ
ジングとエンドフレーム)によって閉ざされるケーシン
グと、ケーシング内に偏心配置にして収納するロータを
有しており、ロータの回転、公転或いは公転を伴った回
転運動でケーシング内面とロータ外周間に形成されるポ
ンプ室(チャンバ)に体積変化を生じさせて吸排気を行
う。
2. Description of the Related Art Wankel type vacuum pumps, scroll type vacuum pumps, rolling piston type vacuum pumps, and vane type vacuum pumps have casings whose both ends are closed by side housings (housing and end frame), and an eccentric arrangement in the casings. Has a rotor to be housed therein, and the volume of the pump chamber (chamber) formed between the inner surface of the casing and the outer periphery of the rotor is changed by the rotation, revolution or revolution of the rotor to perform intake and exhaust. .

【0003】これ等の真空ポンプは、サイドシール(ロ
ータとサイドハウジング間のシール)の良否によって真
空性能が大きく左右される。
The vacuum performance of these vacuum pumps is greatly affected by the quality of the side seal (the seal between the rotor and the side housing).

【0004】そのサイドシールは、バンケル式ロータリ
エンジンのように、ロータの側面にサイドシール部材を
取付け、そのサイドシール部材をスプリングでサイドハ
ウジングに押しつける方法や、ロータとサイドハウジン
グ間の隙間に潤滑油を封入し、その潤滑油の表面張力で
気体の洩れを止める方法などでも行えるが、これ等の方
法はポンプが複雑化することから、真空ポンプにおける
サイドシールは、ロータとサイドハウジング間の隙間
(サイドクリアランス)を小さくして気体を通り難くす
る方法で行われることが多い。
As for the side seal, as in the Wankel type rotary engine, a side seal member is attached to the side surface of the rotor and the side seal member is pressed against the side housing by a spring, or a lubricating oil is used in a gap between the rotor and the side housing. It is possible to use a method such as encapsulating the oil and stopping the gas leakage due to the surface tension of the lubricating oil.However, since these methods complicate the pump, the side seal in the vacuum pump requires a clearance ( It is often done by a method that makes it difficult for gas to pass through by reducing the side clearance).

【0005】真空ポンプは、エンジンと違って高圧縮を
伴わないため、サイドクリアランスを小さくして気体の
漏れを減少させる方法で要求性能を確保することが可能
である。その方法によれば特別なシール部材や複雑な機
構を必要とせず、ポンプの簡素化とコスト低減が図れ
る。
Unlike an engine, a vacuum pump does not involve high compression, so that it is possible to secure required performance by a method of reducing side clearance and reducing gas leakage. According to this method, a special seal member or a complicated mechanism is not required, and the pump can be simplified and the cost can be reduced.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ロータのサイドシール
をサイドシール部材を使用せずに行う場合、サイドクリ
アランスを小さくするほど気体の洩れ量が少なくなって
ポンプの真空性能が向上するが、サイドクリアランスを
小さくし過ぎるとロータとサイドハウジングの干渉が起
こってロータの回転が妨げられ、摺動面の摩耗、焼付き
の問題も起こる。
When the side seal of the rotor is performed without using the side seal member, the smaller the side clearance is, the less the amount of gas leaks and the more the vacuum performance of the pump is improved. If it is made too small, the rotor and the side housing interfere with each other to hinder the rotation of the rotor, causing problems such as wear and seizure of the sliding surface.

【0007】このことから、サイドクリアランスを十分
に小さくすることが規制され、その方法によるサイドシ
ール部のシール性能に限界が生じている。
For this reason, it is regulated that the side clearance is sufficiently small, and the sealing performance of the side seal portion is limited by the method.

【0008】そこで、この発明は、真空ポンプの運転に
伴ってサイドクリアランスが自然に縮小されるようにし
てサイドシール部のシール性能を従来よりも高めること
を課題としている。
[0008] Therefore, an object of the present invention is to improve the sealing performance of the side seal portion as compared with the prior art by naturally reducing the side clearance with the operation of the vacuum pump.

【0009】なお、ロータとケーシングが熱膨張係数の
異なる材料で形成されていると、温度変化によるクリア
ランス変動が生じて隙間が大きくなる。その隙間は摺動
面の摩耗によっても大きくなり、従って、これ等のこと
に起因するシール性能の低下も併せて防止することが望
まれるので、この要求にも応えられるサイドシール用の
シール構造を提供する。
If the rotor and the casing are made of materials having different coefficients of thermal expansion, the clearance changes due to the temperature change and the gap becomes large. The gap becomes large due to wear of the sliding surface, and therefore it is desired to prevent the deterioration of the sealing performance due to these factors as well. Therefore, a seal structure for a side seal that meets this requirement should be provided. provide.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、この発明においては、ケーシング内で連動させてポ
ンプ室に体積変化を生じさせるロータとケーシングの一
端を塞ぐハウジングとの間、ロータとケーシングの他端
を塞ぐエンドフレームとの間の少なくともいずれか一方
に、ポンプ室の負圧でロータ側に吸い寄せられる薄板を
挿入する。
In order to solve the above problems, according to the present invention, a rotor is provided between a rotor for interlocking in the casing to cause a volume change in the pump chamber and a housing for closing one end of the casing. A thin plate that is attracted to the rotor side by the negative pressure of the pump chamber is inserted into at least one of the end frame that closes the other end of the casing.

【0011】薄板には、ロータとの摩擦を低減するため
の表面処理を施すことができる。この薄板の外端は、ケ
ーシングとハウジング間、ケーシングとエンドフレーム
間のシール部よりも内側に配置してもよい。また、薄板
の保持は、ケーシングとハウジング間、ケーシングとエ
ンドフレーム間に挾み込んで行える。
The thin plate may be surface-treated to reduce friction with the rotor. The outer end of this thin plate may be arranged inside the seal between the casing and the housing and between the casing and the end frame. The thin plate can be held by sandwiching it between the casing and the housing and between the casing and the end frame.

【0012】[0012]

【作用】ポンプが駆動されてポンプ室が負圧になると、
薄板がポンプ室の負圧でロータ側に吸引されて撓み、ロ
ータと薄板間の隙間が小さくなる。薄板の撓み量に余裕
があると、熱膨張差やロータ側面の摩耗に起因する隙間
の拡大に合わせて薄板の撓み量も大きくなり、従って隙
間が変動するもの、しないものを問わず、薄板の設置に
よりサイドシール部からの気体の洩れが少なくなってポ
ンプの真空性能が向上する。
[Operation] When the pump is driven and the pump chamber becomes negative pressure,
The thin plate is attracted to the rotor side by the negative pressure of the pump chamber and bends, and the gap between the rotor and the thin plate becomes smaller. If there is a margin in the amount of bending of the thin plate, the amount of bending of the thin plate will increase in accordance with the expansion of the gap due to the difference in thermal expansion and the wear of the rotor side surface. Therefore, regardless of whether the gap fluctuates or not, The installation reduces the leakage of gas from the side seals and improves the vacuum performance of the pump.

【0013】なお、薄板は、吸引力に勝る押し戻し力を
ロータから受けると適度に押し戻されるので、薄板の吸
い寄せによってロータとの摩擦が極端に高まったりロー
タの回転が妨げられたりすることはない。
Since the thin plate is appropriately pushed back when it receives a pushing-back force exceeding the suction force from the rotor, the suction of the thin plate does not significantly increase friction with the rotor or hinder the rotation of the rotor.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】図1乃至図3に、この発明の実施
形態を示す。例示のポンプは、バンケル式真空ポンプで
ある。このバンケル式真空ポンプは、図1に示すように
左右のサイドハウジング、即ち、ハウジング1とエンド
フレーム2間にケーシング3を挟み込み、3者をボルト
4で結合させている。
1 to 3 show an embodiment of the present invention. The illustrated pump is a Wankel vacuum pump. In this Wankel type vacuum pump, as shown in FIG. 1, a casing 3 is sandwiched between left and right side housings, that is, a housing 1 and an end frame 2, and three members are connected by bolts 4.

【0015】ケーシング3内には三角形状のロータ5が
収納されており、そのロータ5に設けた内歯車6がハウ
ジング1に固定したピニオン7と噛み合っている。
A triangular rotor 5 is housed in the casing 3, and an internal gear 6 provided on the rotor 5 meshes with a pinion 7 fixed to the housing 1.

【0016】ロータ5の内側には、軸受8を介してハウ
ジング1とエンドフレーム2に支持されるクランクシャ
フト9が通されており、そのクランクシャフトの偏心軸
9aを、内歯車6と同心配置にしてロータ5に組込んだ
軸受10に嵌合させている。
A crankshaft 9 supported by the housing 1 and the end frame 2 through a bearing 8 is passed inside the rotor 5, and the eccentric shaft 9a of the crankshaft is arranged concentrically with the internal gear 6. The bearing 10 assembled in the rotor 5.

【0017】クランクシャフト9は、モータ11の出力
軸に連結されており、このクランクシャフト9をモータ
11で回転させると、ピニオン7に噛合したロータ5が
回転しながらピニオン7の周りを公転する。12は、ロ
ータ5の偏心運動によって発生する振動を低減する目的
でクランクシャフト9に取付けたウエイトバランサであ
る。
The crankshaft 9 is connected to the output shaft of the motor 11. When the crankshaft 9 is rotated by the motor 11, the rotor 5 meshed with the pinion 7 revolves around the pinion 7 while rotating. Reference numeral 12 is a weight balancer attached to the crankshaft 9 for the purpose of reducing the vibration generated by the eccentric movement of the rotor 5.

【0018】ケーシング3の内面は、ロータ5の頂点の
移動軌跡よりも若干大きな双葉形をなし、この内面とロ
ータの各頂点間の外周面との間に形成されるポンプ室1
3がロータ5の公転を伴う回転運動で体積変化を生じて
吸排気が繰り返される。
The inner surface of the casing 3 has a bilobal shape slightly larger than the movement trajectory of the apex of the rotor 5, and the pump chamber 1 formed between the inner surface and the outer peripheral surface between the apexes of the rotor.
The rotational movement of the rotor 5 accompanied by the revolution of the rotor 3 causes a volume change, and intake and exhaust are repeated.

【0019】ハウジング1には、吸気孔14と排気孔1
5が各2個設けられ、圧縮行程に移ったポンプ室13内
の気体は、排気孔15から各排気孔に設けた逆止弁16
を通って排気される。その排気は、図示のポンプにおい
てはハウジング1の内部空間17からモータ11の内部
を通り、ドレインパイプ18から外部に出る。
The housing 1 has an intake hole 14 and an exhaust hole 1.
The gas in the pump chamber 13 which has been provided with two pieces of gas 5 each and which has moved to the compression stroke is supplied from the exhaust hole 15 to the check valve 16 provided in each of the exhaust holes.
Exhausted through. In the illustrated pump, the exhaust gas passes from the internal space 17 of the housing 1 to the inside of the motor 11 and exits from the drain pipe 18 to the outside.

【0020】ロータ5の各頂点部には、アペックスシー
ル19が径方向スライド自在に組込まれており、そのア
ペックスシール19がロータ回転による遠心力でケーシ
ング3の内面に押しつけられてロータ外周とケーシング
内面間のシールがなされる。
An apex seal 19 is incorporated in each apex of the rotor 5 so as to be slidable in the radial direction. The apex seal 19 is pressed against the inner surface of the casing 3 by the centrifugal force generated by the rotation of the rotor, and the outer circumference of the rotor and the inner surface of the casing. The seal between them is made.

【0021】また、ロータ5とハウジング1間及びエン
ドフレーム2間のシールは、ロータのサイドクリアラン
スによってなされる。
The seal between the rotor 5 and the housing 1 and between the end frame 2 is made by the side clearance of the rotor.

【0022】ケーシング3の厚みをロータ5の厚みより
も僅かに厚くしてロータ5とハウジング1及びエンドフ
レーム2との間にそれぞれロータ回転のための隙間Cを
生じさせ、その隙間Cを極力小さくしてロータのサイド
シールをサイドシール部材を使用せずに行うようにして
いる。
The thickness of the casing 3 is made slightly thicker than the thickness of the rotor 5 so that a clearance C for rotating the rotor is created between the rotor 5 and the housing 1 and the end frame 2, and the clearance C is made as small as possible. Therefore, the side seal of the rotor is performed without using the side seal member.

【0023】図示のポンプは、ロータ5とエンドフレー
ム2間にポンプ室13の負圧で撓む薄板20を設けてお
り、エンドフレーム2側の隙間Cは、その薄板20とロ
ータ5との間に生じる。
In the illustrated pump, a thin plate 20 which is bent by the negative pressure of the pump chamber 13 is provided between the rotor 5 and the end frame 2, and the gap C on the end frame 2 side is between the thin plate 20 and the rotor 5. Occurs in

【0024】薄板20は、摩耗が少なくて摺動特性も良
い金属板やセラミックスシートなどで形成すると好まし
い。金属板の材質としては、炭素工具鋼や高張力炭素鋼
などが挙げられるがこれに限定されるものではない。ま
た、ロータ5との摩擦を低減するための表面処理を施し
ておくのも好ましい。その表面処理としては、摩擦係数
の小さいアモルファスカーボンの被膜や二硫化モリブデ
ンによる表面細孔の封孔処理がなされたアルマイト被膜
などを設けることが考えられるが、これに限定されるも
のではない。
The thin plate 20 is preferably formed of a metal plate, a ceramic sheet, or the like, which is less worn and has good sliding characteristics. Examples of the material of the metal plate include, but are not limited to, carbon tool steel and high-strength carbon steel. It is also preferable that a surface treatment is performed to reduce friction with the rotor 5. As the surface treatment, it is conceivable to provide an amorphous carbon coating having a small friction coefficient or an alumite coating whose surface pores are sealed with molybdenum disulfide, but is not limited thereto.

【0025】薄板20の保持は、図1、図3に示すよう
に、その外周部をケーシング3とエンドフレーム2間、
ケーシング3とハウジング1間に挟んで行える。貫通孔
20を設けた薄板の中心側は、ロータ5とエンドフレー
ム2間に入り込んでいるので、特に固定する必要はな
い。
As shown in FIGS. 1 and 3, the thin plate 20 is held at its outer peripheral portion between the casing 3 and the end frame 2.
It can be performed by sandwiching it between the casing 3 and the housing 1. Since the center side of the thin plate provided with the through hole 20 is inserted between the rotor 5 and the end frame 2, it is not necessary to fix the thin plate.

【0026】このように構成したこの発明の真空ポンプ
は、例えば、車両のバキュームブースタを真空吸引する
などの用途に利用される。このポンプを作動させると、
真空吸引される側の機器の真空度が時間経過と共に高ま
っていく。その真空度の上昇に伴い、吸入行程にあるポ
ンプ室13内の真空度が上昇し、ポンプ室の負圧がある
値を越えた時点から薄板20が撓んでロータ5側に吸い
よせられる。このため、ロータ5と薄板20間の隙間が
小さくなり、サイドシール部からの気体の洩れによるポ
ンプ室13の負圧の低下が抑えられてポンプの真空性能
が向上する。
The vacuum pump of the present invention having the above-described structure is used for vacuum suction of a vehicle vacuum booster, for example. When this pump is activated,
The degree of vacuum of the equipment on the side of vacuum suction increases with time. As the degree of vacuum rises, the degree of vacuum in the pump chamber 13 in the suction stroke rises, and the thin plate 20 bends and is sucked to the rotor 5 side when the negative pressure in the pump chamber exceeds a certain value. For this reason, the gap between the rotor 5 and the thin plate 20 becomes smaller, and the negative pressure in the pump chamber 13 due to gas leakage from the side seal portion is prevented from decreasing, so that the vacuum performance of the pump is improved.

【0027】なお、薄板20は、ハウジング1とロータ
5間に設けてもよく、また、図3に示すように、ロータ
5の両側部に設けてもよい。さらに、図3に示すよう
に、薄板20の外端をハウジング1とケーシング3間、
エンドフレーム2とケーシング3間のシール部の内側に
配置すると、ケーシング端の封止をひとつのシール部材
21で行えて好ましい(図1の構造では2つのシール部
材を用いて薄板20の両面をシールする必要がある)。
The thin plate 20 may be provided between the housing 1 and the rotor 5, or may be provided on both sides of the rotor 5 as shown in FIG. Further, as shown in FIG. 3, the outer end of the thin plate 20 is provided between the housing 1 and the casing 3,
It is preferable to dispose the inside of the seal portion between the end frame 2 and the casing 3 because the casing end can be sealed with one sealing member 21 (in the structure of FIG. 1, two sealing members are used to seal both surfaces of the thin plate 20). There is a need to).

【0028】図4は、バンケル式真空ポンプに厚さt=
0.3mmの鉄の薄板20を設けた場合(薄板は図3の
ようにロータの両側に配置)と、その薄板が無い場合の
ポンプの真空性能の比較結果を示している。この図4で
は、薄板20の有無により真空吸引した機器の真空度に
吸引開始直後から差がつき始め、最終的には−5kPa
程度の差が生じており、この結果に、薄板設置の効果が
よく現れている。
FIG. 4 shows a Wankel type vacuum pump having a thickness t =
The comparison result of the vacuum performances of the pumps when the thin plate 20 of iron of 0.3 mm is provided (thin plates are arranged on both sides of the rotor as shown in FIG. 3) and when the thin plate is not provided is shown. In FIG. 4, a difference in the degree of vacuum of a device that has been vacuum-sucked due to the presence or absence of the thin plate 20 begins to immediately after the start of suction, and finally becomes -5 kPa.
There are differences in degree, and the effect of thin plate installation is clearly visible in this result.

【0029】[0029]

【発明の効果】以上述べたように、この発明の真空ポン
プは、ロータの少なくとも一側部側に薄板を配置し、そ
の薄板がポンプ室の負圧で撓んでロータとの間の隙間が
縮小されるようにしたので、ロータ側部からの気体洩れ
が減少してポンプの真空性能が向上する。
As described above, in the vacuum pump of the present invention, the thin plate is arranged on at least one side of the rotor, and the thin plate is bent by the negative pressure of the pump chamber to reduce the clearance between the thin plate and the rotor. By doing so, gas leakage from the side of the rotor is reduced and the vacuum performance of the pump is improved.

【0030】この真空性能の向上効果は、不可避のクリ
アランス変動が生じるポンプにこの発明を適用したとき
に特に顕著に現れる。即ち、薄板の撓み量変化でクリア
ランス変動に対応でき、温度変化によるロータとケーシ
ングの熱膨張差や摺動面の摩耗等が生じても高い真空性
能が確保される。
The effect of improving the vacuum performance is particularly remarkable when the present invention is applied to a pump in which inevitable clearance fluctuation occurs. That is, it is possible to cope with the clearance variation by changing the bending amount of the thin plate, and high vacuum performance can be secured even if a difference in thermal expansion between the rotor and the casing due to temperature change, wear of the sliding surface, and the like occur.

【0031】また、この発明のポンプは、ロータ側部の
隙間を多少大き目に設定しても薄板の働きでシール性能
が高まるので、初期クリアランスを厳密に設定する必要
がなくなり、ハウジング、ケーシング、エンドフレーム
の加工精度を下げると云ったことも可能になる。
Further, in the pump of the present invention, the sealing performance is enhanced by the action of the thin plate even if the clearance on the rotor side portion is set to be slightly large, so that it is not necessary to strictly set the initial clearance, and the housing, casing, end It is possible to say that the processing accuracy of the frame is lowered.

【0032】このほか、薄板の外端をハウジングとケー
シング間、エンドフレームとケーシング間のシール部よ
りも内側に配置するものは、ケーシング端の封止が複雑
にならない。
Besides, in the case where the outer end of the thin plate is disposed inside the housing and the casing and inside the seal portion between the end frame and the casing, the sealing of the casing end is not complicated.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の真空ポンプの実施形態を示す縦断面
FIG. 1 is a vertical sectional view showing an embodiment of a vacuum pump of the present invention.

【図2】図1のII−II線に沿った断面図FIG. 2 is a sectional view taken along line II-II in FIG.

【図3】他の実施形態の縦断面図FIG. 3 is a vertical cross-sectional view of another embodiment.

【図4】薄板の有無による真空性能の比較結果を示す図
FIG. 4 is a chart showing a comparison result of vacuum performance with and without a thin plate.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ハウジング 2 エンドフレーム 3 ケーシング 5 ロータ 6 内歯車 7 ピニオン 8、10 軸受 9 クランクシャフト 11 モータ 12 ウェイトバランサ 13 ポンプ室 14 吸気孔 15 排気孔 16 逆止弁 19 アペックスシール 20 薄板 20a 貫通孔 21 シール部材 1 housing 2 end frame 3 casing 5 rotor 6 Internal gear 7 pinion 8, 10 bearings 9 crankshaft 11 motor 12 weight balancer 13 pump room 14 Intake hole 15 Exhaust hole 16 Check valve 19 Apex Seal 20 thin plate 20a through hole 21 Seal member

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ケーシング内で連動させてポンプ室に体
積変化を生じさせるロータとケーシングの一端を塞ぐハ
ウジングとの間、ロータとケーシングの他端を塞ぐエン
ドフレームとの間の少なくともいずれか一方に、ポンプ
室の負圧でロータ側に吸い寄せられる薄板を挿入したこ
とを特徴とする真空ポンプ。
1. At least one of a rotor that interlocks in a casing to cause a volume change in a pump chamber and a housing that closes one end of the casing, and at least one of a rotor and an end frame that closes the other end of the casing. The vacuum pump is characterized in that a thin plate that is attracted to the rotor side by the negative pressure of the pump chamber is inserted.
【請求項2】 前記薄板に、ロータとの摩擦を低減する
ための表面処理を施した請求項1記載の真空ポンプ。
2. The vacuum pump according to claim 1, wherein the thin plate is surface-treated to reduce friction with the rotor.
【請求項3】 前記薄板の外端を、ケーシングとハウジ
ング間、ケーシングとエンドフレーム間のシール部より
も内側に配置した請求項1又は2記載の真空ポンプ。
3. The vacuum pump according to claim 1, wherein an outer end of the thin plate is arranged inside a seal portion between the casing and the housing and between the casing and the end frame.
【請求項4】 前記薄板を、ケーシングとハウジング
間、ケーシングとエンドフレーム間に挾み込んで保持し
た請求項1乃至3のいずれかに記載の真空ポンプ。
4. The vacuum pump according to claim 1, wherein the thin plate is sandwiched and held between the casing and the housing and between the casing and the end frame.
JP2002134058A 2002-05-09 2002-05-09 Vacuum pump Pending JP2003328970A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002134058A JP2003328970A (en) 2002-05-09 2002-05-09 Vacuum pump

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002134058A JP2003328970A (en) 2002-05-09 2002-05-09 Vacuum pump

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2003328970A true JP2003328970A (en) 2003-11-19

Family

ID=29696831

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002134058A Pending JP2003328970A (en) 2002-05-09 2002-05-09 Vacuum pump

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2003328970A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008518148A (en) * 2004-10-29 2008-05-29 ユング、ヘルバルト Pumps, especially slurry pumps

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008518148A (en) * 2004-10-29 2008-05-29 ユング、ヘルバルト Pumps, especially slurry pumps

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101046201A (en) Scroll fluid machine
CN103348113A (en) Rotating shaft supporting structure for electric supercharger
US9145890B2 (en) Rotary compressor with dual eccentric portion
CN1356476A (en) Multi-cylinder rotary compressor
CN104747438A (en) Scroll compressor
JP2003328970A (en) Vacuum pump
CN112283109A (en) Air cylinder assembly with double-spring structure and using method thereof
CN203614424U (en) Exhaust muffler structure and rotary compressor
KR102193199B1 (en) Lubrication-free vacuum pump with prismatic piston and corresponding compressor
JP6409910B1 (en) Scroll compressor
JP2003314476A (en) Wankel type vacuum pump
KR102201409B1 (en) A rotary compressor
JP2770732B2 (en) Lubrication-free vacuum pump
CN1751183A (en) Scroll compressor
JP2003286978A (en) Helical blade pump
JP2003227475A (en) Internal gear pump
WO2018221416A1 (en) Scroll compressor
JPH03217686A (en) Rotary compressor
JP4715281B2 (en) Hermetic compressor
KR20050097340A (en) Muffler for hermetic type compressor
CN118008793A (en) A scroll compressor with axially flexible structure
KR20030083808A (en) Rotary comrressor
JP7014940B2 (en) Rotary pump
JP2993079B2 (en) Eccentric vacuum pump
JP2003328971A (en) Rotary pump

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Effective date: 20050113

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

A977 Report on retrieval

Effective date: 20061214

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20061219

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20070417