JP2003302568A - 反射面調整装置 - Google Patents
反射面調整装置Info
- Publication number
- JP2003302568A JP2003302568A JP2002109323A JP2002109323A JP2003302568A JP 2003302568 A JP2003302568 A JP 2003302568A JP 2002109323 A JP2002109323 A JP 2002109323A JP 2002109323 A JP2002109323 A JP 2002109323A JP 2003302568 A JP2003302568 A JP 2003302568A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- actuator
- rod
- support frame
- ball
- mirror surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Variable-Direction Aerials And Aerial Arrays (AREA)
- Telescopes (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Aerials With Secondary Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 アクチュエータ(2)と反射面支持フレーム
(3)との摩擦を軽減し、アクチュエータ(2)の動作
を滑らかにし、また、アクチュエータ(2)の数を減ら
すことで、軽量化、低コスト化を図ることを目的とす
る。 【解決手段】 リンクボール(5)を中心として先端に
ボールトラック(7)が設けられたアクチュエータ
(2)とロッド(9)の対によって反射面を支持する構
造とする。
(3)との摩擦を軽減し、アクチュエータ(2)の動作
を滑らかにし、また、アクチュエータ(2)の数を減ら
すことで、軽量化、低コスト化を図ることを目的とす
る。 【解決手段】 リンクボール(5)を中心として先端に
ボールトラック(7)が設けられたアクチュエータ
(2)とロッド(9)の対によって反射面を支持する構
造とする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、アンテナ、望遠鏡
等の反射面調整装置の高精度化、低コスト化に関するも
のである。
等の反射面調整装置の高精度化、低コスト化に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】従来の反射面調整装置について説明す
る。図4に従来の反射面調整装置の構成図を示す。図4
(a)は反射面上面から見たアクチュエータの配置を表
す図である。また、図4(b)は反射面調整装置の断面
図である。1は望遠鏡の鏡面、2a、2b、2c、2d
はリニア駆動するアクチュエータ、3は鏡面1を支持す
る鏡面支持フレーム、4はパネル支持部材、5は鏡面1
の回転中心であるリンクボール、8はアクチュエータ2
の駆動方向、11は鏡面中心、12a、12bは鏡面1
の回転方向である。
る。図4に従来の反射面調整装置の構成図を示す。図4
(a)は反射面上面から見たアクチュエータの配置を表
す図である。また、図4(b)は反射面調整装置の断面
図である。1は望遠鏡の鏡面、2a、2b、2c、2d
はリニア駆動するアクチュエータ、3は鏡面1を支持す
る鏡面支持フレーム、4はパネル支持部材、5は鏡面1
の回転中心であるリンクボール、8はアクチュエータ2
の駆動方向、11は鏡面中心、12a、12bは鏡面1
の回転方向である。
【0003】次に動作について説明する。鏡面支持フレ
ーム3により支持、固定された鏡面1は、鏡面支持フレ
ーム3に連結された回転中心であるリンクボール5が回
転することで、角度の調整が行われる。リンクボール5
はアクチュエータ2がリニア駆動することで回転する。
例えば、アクチュエータ2aが上方向に駆動し、一方、
アクチュエータ2cが下方向に駆動することで、鏡面1
はリンクボール5を回転中心として時計周りに回転す
る。逆に、アクチュエータ2aが下方向に駆動し、一
方、アクチュエータ2cが上方向に駆動することで、鏡
面1はリンクボール5を回転中心として反時計周りに回
転する。アクチュエータ2b、2dの場合も同様であ
る。
ーム3により支持、固定された鏡面1は、鏡面支持フレ
ーム3に連結された回転中心であるリンクボール5が回
転することで、角度の調整が行われる。リンクボール5
はアクチュエータ2がリニア駆動することで回転する。
例えば、アクチュエータ2aが上方向に駆動し、一方、
アクチュエータ2cが下方向に駆動することで、鏡面1
はリンクボール5を回転中心として時計周りに回転す
る。逆に、アクチュエータ2aが下方向に駆動し、一
方、アクチュエータ2cが上方向に駆動することで、鏡
面1はリンクボール5を回転中心として反時計周りに回
転する。アクチュエータ2b、2dの場合も同様であ
る。
【0004】各アクチュエータ2の先端は球面状に加工
されている。各アクチュエータ2と回転中心5はパネル
支持部材4に取り付けられており、パネル支持部材4は
さらに望遠鏡本体(図示せず)に支持されている。4つ
の各アクチュエータ2は鏡面1を鏡面中心11に対して
図1(b)のように対称な4点で支持する。
されている。各アクチュエータ2と回転中心5はパネル
支持部材4に取り付けられており、パネル支持部材4は
さらに望遠鏡本体(図示せず)に支持されている。4つ
の各アクチュエータ2は鏡面1を鏡面中心11に対して
図1(b)のように対称な4点で支持する。
【0005】従来の反射面調整装置は以上のように構成
されていたが、各アクチュエータ2が駆動する際、各ア
クチュエータ2の先端と鏡面支持フレーム3とが接する
面の摩擦により、アクチュエータ2の駆動が滑らかに行
われないことがあった。また、鏡面1の数量が多い場
合、アクチュエータ2の個数が増え、その分コストや装
置の重量が増加するといった問題があった。
されていたが、各アクチュエータ2が駆動する際、各ア
クチュエータ2の先端と鏡面支持フレーム3とが接する
面の摩擦により、アクチュエータ2の駆動が滑らかに行
われないことがあった。また、鏡面1の数量が多い場
合、アクチュエータ2の個数が増え、その分コストや装
置の重量が増加するといった問題があった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明は以上の点を解
消するためになされたものであり、アクチュエータ2と
鏡面支持フレーム3との摩擦を軽減し、アクチュエータ
2の動作を滑らかにすることを目的とする。
消するためになされたものであり、アクチュエータ2と
鏡面支持フレーム3との摩擦を軽減し、アクチュエータ
2の動作を滑らかにすることを目的とする。
【0007】また、アクチュエータ2の数を減らすこと
で、軽量化、低コスト化を図ることを目的とする。
で、軽量化、低コスト化を図ることを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明に係る反射面調整
機構は、反射面を支持する支持フレームと、前記支持フ
レームの背面中央部に設けられ、支持フレームを回転支
持するリンクボールと、反射面に対して垂直に駆動し、
かつ前記支持フレームの一点と接するアクチュエータ
と、前記リンクボールを中心として前記アクチュエータ
と対になる位置に設けられ、バネの押圧力により前記支
持フレームの一点と接するロッドを備え、前記アクチュ
エータが反射面に向って駆動することで、前記ロッド先
端の圧縮バネが縮み、一方、前記アクチュエータが反射
面と反対方向に駆動することで、前記ロッド先端の圧縮
バネが伸びることで前記リンクボールが回転し、前記反
射面の角度を調整するものである。
機構は、反射面を支持する支持フレームと、前記支持フ
レームの背面中央部に設けられ、支持フレームを回転支
持するリンクボールと、反射面に対して垂直に駆動し、
かつ前記支持フレームの一点と接するアクチュエータ
と、前記リンクボールを中心として前記アクチュエータ
と対になる位置に設けられ、バネの押圧力により前記支
持フレームの一点と接するロッドを備え、前記アクチュ
エータが反射面に向って駆動することで、前記ロッド先
端の圧縮バネが縮み、一方、前記アクチュエータが反射
面と反対方向に駆動することで、前記ロッド先端の圧縮
バネが伸びることで前記リンクボールが回転し、前記反
射面の角度を調整するものである。
【0009】また、二対のアクチュエータおよびロッド
が前記リンクボールを中心として直交する位置にそれぞ
れ設けられたものである。
が前記リンクボールを中心として直交する位置にそれぞ
れ設けられたものである。
【0010】また、前記アクチュエータおよびロッドの
先端に回転摩擦の小さいボールトランスファーを設けた
ものである。
先端に回転摩擦の小さいボールトランスファーを設けた
ものである。
【0011】
【発明の実施の形態】実施の形態1.本発明の実施の形
態1に係る反射面調整装置について説明する。図1は本
発明の実施の形態1に係る反射面調整装置の装置構成図
である。図1(a)は反射面上面から見たアクチュエー
タおよびロッドの配置を表す図である。図1(b)は反
射面調整装置の断面図である。図において、1は望遠鏡
に用いる鏡面、2a、2bは鏡面1を調整するアクチュ
エータ、3は鏡面1を支持する鏡面支持フレーム、4は
鏡面1とアクチュエータ2とを支持するパネル支持部
材、5は鏡面を回転させる中心であるリンクボール、6
はバネ、7はアクチュエータ2および後述する押付部材
10の先端に設けられ鏡面支持フレーム3と接するボー
ルトランスファ、8はアクチュエータの駆動方向、9
a、9bはバネ6を有しアクチュエータ2と対になるロ
ッド、10はロッドに設けられた押付部材、11は鏡面
中心、12a、12bは鏡面の回転方向である。
態1に係る反射面調整装置について説明する。図1は本
発明の実施の形態1に係る反射面調整装置の装置構成図
である。図1(a)は反射面上面から見たアクチュエー
タおよびロッドの配置を表す図である。図1(b)は反
射面調整装置の断面図である。図において、1は望遠鏡
に用いる鏡面、2a、2bは鏡面1を調整するアクチュ
エータ、3は鏡面1を支持する鏡面支持フレーム、4は
鏡面1とアクチュエータ2とを支持するパネル支持部
材、5は鏡面を回転させる中心であるリンクボール、6
はバネ、7はアクチュエータ2および後述する押付部材
10の先端に設けられ鏡面支持フレーム3と接するボー
ルトランスファ、8はアクチュエータの駆動方向、9
a、9bはバネ6を有しアクチュエータ2と対になるロ
ッド、10はロッドに設けられた押付部材、11は鏡面
中心、12a、12bは鏡面の回転方向である。
【0012】また、図2は本実施の形態1の反射面調整
装置のロッドの断面図である。図2において、図1と同
じ構成要素には同じ符号を付す。また、図3に本実施の
形態1の反射面調整装置のロッドの構造図を示す。図3
(a)は、図2の断面図と同じ向きから見た図である。
図3(b)は図3(a)に対して垂直方向から見た図で
ある。図2と同様に、図1と同じ構成要素には同じ符号
を付す。13はロッド9から押付部材10が抜けるのを
防ぐ抜け止めである。
装置のロッドの断面図である。図2において、図1と同
じ構成要素には同じ符号を付す。また、図3に本実施の
形態1の反射面調整装置のロッドの構造図を示す。図3
(a)は、図2の断面図と同じ向きから見た図である。
図3(b)は図3(a)に対して垂直方向から見た図で
ある。図2と同様に、図1と同じ構成要素には同じ符号
を付す。13はロッド9から押付部材10が抜けるのを
防ぐ抜け止めである。
【0013】次に、動作について説明する。パネル支持
部材4には、各アクチュエータ2a、2bに対し、鏡面
中心11を中心として対称となる位置にボールトランス
ファ7を有するロッド9aが設けられている。ロッド9
aと押付部材10との間には圧縮バネ6が設けられてい
る。圧縮バネ6は一定の調整範囲内において、鏡面1の
角度によらず、圧縮されるように設定され、常に与圧状
態にある。
部材4には、各アクチュエータ2a、2bに対し、鏡面
中心11を中心として対称となる位置にボールトランス
ファ7を有するロッド9aが設けられている。ロッド9
aと押付部材10との間には圧縮バネ6が設けられてい
る。圧縮バネ6は一定の調整範囲内において、鏡面1の
角度によらず、圧縮されるように設定され、常に与圧状
態にある。
【0014】例えば、アクチュエータ2aが鏡面に向っ
て駆動すると、アクチュエータ2aの先端のボールトラ
ンスファ7が鏡面支持フレーム3の一端を押し上げ、そ
れに伴ってロッド9の圧縮バネ6が圧縮され、鏡面1全
体がリンクボール5を回転中心として紙面に対して時計
周りに回転する。これによってボールトランスファ7の
鏡面支持フレーム3との接触部が移動し、摩擦が発生す
るが、ボールトランスファ7が回転することで、ころが
り摩擦程度の摩擦力しか生じないため、従来と比べてス
ムーズに鏡面1を回転させることができ、また、摩擦に
よる振動も発生しない。
て駆動すると、アクチュエータ2aの先端のボールトラ
ンスファ7が鏡面支持フレーム3の一端を押し上げ、そ
れに伴ってロッド9の圧縮バネ6が圧縮され、鏡面1全
体がリンクボール5を回転中心として紙面に対して時計
周りに回転する。これによってボールトランスファ7の
鏡面支持フレーム3との接触部が移動し、摩擦が発生す
るが、ボールトランスファ7が回転することで、ころが
り摩擦程度の摩擦力しか生じないため、従来と比べてス
ムーズに鏡面1を回転させることができ、また、摩擦に
よる振動も発生しない。
【0015】一方、鏡面1全体の回転に伴って、アクチ
ュエータ2aと対になるロッド9aでは、圧縮バネ6が
鏡面支持フレーム3と接しているボールトランスファ7
を介して圧縮されバネ長が小さくなる。
ュエータ2aと対になるロッド9aでは、圧縮バネ6が
鏡面支持フレーム3と接しているボールトランスファ7
を介して圧縮されバネ長が小さくなる。
【0016】他方、アクチュエータ2aが鏡面とは反対
方向に向って駆動すると、圧縮バネ6の押圧力で鏡面支
持フレーム3の一端が押し上げられることで、鏡面1が
リンクボール5を回転中心として紙面に対して反時計周
りに回転する。
方向に向って駆動すると、圧縮バネ6の押圧力で鏡面支
持フレーム3の一端が押し上げられることで、鏡面1が
リンクボール5を回転中心として紙面に対して反時計周
りに回転する。
【0017】以上のように、本実施の形態1では、アク
チュエータと対になるロッドを設け、当該ロッドの有す
るバネの押付力によって、反射面の角度調整を行うため
アクチュエータの数を従来の半分とすることができ、軽
量化、低コスト化を図ることができる。
チュエータと対になるロッドを設け、当該ロッドの有す
るバネの押付力によって、反射面の角度調整を行うため
アクチュエータの数を従来の半分とすることができ、軽
量化、低コスト化を図ることができる。
【0018】また、アクチュエータおよびロッドの先端
に回転自在なボールトランスファを設け、当該ボールト
ランスファによって支持フレームと接する構成としたた
め、角度調整によってアクチュエータおよびロッドの接
触面が移動しても、振動を起こさず、正確な角度調整が
可能となる。
に回転自在なボールトランスファを設け、当該ボールト
ランスファによって支持フレームと接する構成としたた
め、角度調整によってアクチュエータおよびロッドの接
触面が移動しても、振動を起こさず、正確な角度調整が
可能となる。
【0019】
【発明の効果】以上のように、本発明に係る反射面調整
装置は、反射面を支持する支持フレームと、前記支持フ
レームの背面中央部に設けられ、支持フレームを回転支
持するリンクボールと、反射面に対して垂直に駆動し、
かつ前記支持フレームの一点と接するアクチュエータ
と、前記リンクボールを中心として前記アクチュエータ
と対になる位置に設けられ、バネの押圧力により前記支
持フレームの一点と接するロッドを備え、前記アクチュ
エータが反射面に向って駆動することで、前記ロッド先
端の圧縮バネが縮み、一方、前記アクチュエータが反射
面と反対方向に駆動することで、前記ロッド先端の圧縮
バネが伸びることで前記リンクボールが回転し、前記反
射面の角度を調整するため、アクチュエータの数を減ら
すことができ、軽量化、低コスト化を図ることができ
る。
装置は、反射面を支持する支持フレームと、前記支持フ
レームの背面中央部に設けられ、支持フレームを回転支
持するリンクボールと、反射面に対して垂直に駆動し、
かつ前記支持フレームの一点と接するアクチュエータ
と、前記リンクボールを中心として前記アクチュエータ
と対になる位置に設けられ、バネの押圧力により前記支
持フレームの一点と接するロッドを備え、前記アクチュ
エータが反射面に向って駆動することで、前記ロッド先
端の圧縮バネが縮み、一方、前記アクチュエータが反射
面と反対方向に駆動することで、前記ロッド先端の圧縮
バネが伸びることで前記リンクボールが回転し、前記反
射面の角度を調整するため、アクチュエータの数を減ら
すことができ、軽量化、低コスト化を図ることができ
る。
【0020】二対のアクチュエータおよびロッドが前記
リンクボールを中心として直交する位置にそれぞれ設け
られたため、反射面の調整範囲を広くすることができ
る。
リンクボールを中心として直交する位置にそれぞれ設け
られたため、反射面の調整範囲を広くすることができ
る。
【0021】前記アクチュエータおよびロッドの先端に
回転摩擦の小さいボールトランスファーを設けたため、
支持フレームとの摩擦が小さくなり、より正確な角度調
整を行うことができる。
回転摩擦の小さいボールトランスファーを設けたため、
支持フレームとの摩擦が小さくなり、より正確な角度調
整を行うことができる。
【図1】 本発明の実施の形態1に係る反射面調整装置
の装置構成図である。(a)反射面上面から見たアクチ
ュエータおよびロッドの配置を表す図である。(b)反
射面調整装置の断面図である。
の装置構成図である。(a)反射面上面から見たアクチ
ュエータおよびロッドの配置を表す図である。(b)反
射面調整装置の断面図である。
【図2】 本発明の実施の形態1に係る反射面調整装置
のロッドの断面図である。
のロッドの断面図である。
【図3】 本発明の実施の形態1に係る反射面調整装置
のロッドの構造図である。(a)図2の断面図と同じ方
向から見た図である。(b)図2の断面図と垂直な方向
から見た図である。
のロッドの構造図である。(a)図2の断面図と同じ方
向から見た図である。(b)図2の断面図と垂直な方向
から見た図である。
【図4】 従来の反射面調整装置の構造を表す図であ
る。(a)反射面上面から見たアクチュエータの配置を
表す図である。(b)反射面調整装置の断面図である。
る。(a)反射面上面から見たアクチュエータの配置を
表す図である。(b)反射面調整装置の断面図である。
1 鏡面、 2a、2b アクチュエータ、 3
鏡面支持フレーム、4 パネル支持部材、 5 リン
クボール、 6 バネ、7 ボールトランスファ、
8 アクチュエータの駆動方向、9a、9b ロッ
ド、 10 押付部材、 11 鏡面中心、12
a、12b 鏡面の回転方向、 13 抜け止め。
鏡面支持フレーム、4 パネル支持部材、 5 リン
クボール、 6 バネ、7 ボールトランスファ、
8 アクチュエータの駆動方向、9a、9b ロッ
ド、 10 押付部材、 11 鏡面中心、12
a、12b 鏡面の回転方向、 13 抜け止め。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Fターム(参考) 2H039 AA01 AA04 AB24 AB52
2H043 AB06 AB09 AB31 BB04 BC01
BC08 CA07 CD02
5J020 AA03 BA08 CA02 DA03
5J021 AA01 BA01 DA03 DA06 DA07
EA02 JA10
Claims (3)
- 【請求項1】 反射面を支持する支持フレームと、前記
支持フレームの背面中央部に設けられ、支持フレームを
回転支持するリンクボールと、 前記反射面に対して垂直に駆動し、かつ前記支持フレー
ムの一点と接するアクチュエータと、 前記リンクボールを中心として前記アクチュエータと対
になる位置に設けられ、バネの押圧力により前記支持フ
レームの一点と接するロッドを備え、 前記アクチュエータが反射面に向って駆動することで、
前記ロッド先端のバネが縮み、一方、前記アクチュエー
タが前記反射面と反対方向に駆動することで、前記ロッ
ド先端のバネが伸びることで前記リンクボールが回転
し、前記反射面の角度を調整することを特徴とする反射
面調整装置。 - 【請求項2】 二対のアクチュエータおよびロッドが前
記リンクボールを中心として直交する位置にそれぞれ設
けられたことを特徴とする請求項1の反射面調整装置。 - 【請求項3】 前記アクチュエータおよびロッドの先端
に回転摩擦の小さいボールトランスファーを設けたこと
を特徴とする請求項1または2記載の反射面調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002109323A JP2003302568A (ja) | 2002-04-11 | 2002-04-11 | 反射面調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002109323A JP2003302568A (ja) | 2002-04-11 | 2002-04-11 | 反射面調整装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003302568A true JP2003302568A (ja) | 2003-10-24 |
Family
ID=29392820
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002109323A Pending JP2003302568A (ja) | 2002-04-11 | 2002-04-11 | 反射面調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003302568A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006011051A (ja) * | 2004-06-25 | 2006-01-12 | Dainippon Kaken:Kk | 非球面コリメートミラーおよび非球面コリメートミラーの調整方法 |
| JP2006276738A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Mitsubishi Electric Corp | 鏡アライメントシステム |
| JP2012205306A (ja) * | 2011-03-24 | 2012-10-22 | Thales | 変形可能な反射面を有するアンテナ反射器の起動システム |
| CN105572838A (zh) * | 2016-02-29 | 2016-05-11 | 海信集团有限公司 | 反射镜调节系统及光学仪器 |
| JPWO2015151152A1 (ja) * | 2014-03-31 | 2017-04-13 | ギガフォトン株式会社 | ミラー装置 |
| CN113753580A (zh) * | 2020-06-03 | 2021-12-07 | 韩国光洋热电系统有限公司 | 热处理装置的基板搬送单元 |
| EP3977193B1 (en) * | 2019-05-28 | 2023-07-12 | Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | Controllably deformable mirror device |
-
2002
- 2002-04-11 JP JP2002109323A patent/JP2003302568A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006011051A (ja) * | 2004-06-25 | 2006-01-12 | Dainippon Kaken:Kk | 非球面コリメートミラーおよび非球面コリメートミラーの調整方法 |
| JP2006276738A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Mitsubishi Electric Corp | 鏡アライメントシステム |
| JP2012205306A (ja) * | 2011-03-24 | 2012-10-22 | Thales | 変形可能な反射面を有するアンテナ反射器の起動システム |
| JPWO2015151152A1 (ja) * | 2014-03-31 | 2017-04-13 | ギガフォトン株式会社 | ミラー装置 |
| CN105572838A (zh) * | 2016-02-29 | 2016-05-11 | 海信集团有限公司 | 反射镜调节系统及光学仪器 |
| EP3977193B1 (en) * | 2019-05-28 | 2023-07-12 | Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | Controllably deformable mirror device |
| US12242050B2 (en) | 2019-05-28 | 2025-03-04 | Nederlandse Organisatie Voor Toegepast-Natuurwetenschappelijk Onderzoek Tno | Controllably deformable mirror device |
| CN113753580A (zh) * | 2020-06-03 | 2021-12-07 | 韩国光洋热电系统有限公司 | 热处理装置的基板搬送单元 |
| JP2021190673A (ja) * | 2020-06-03 | 2021-12-13 | コヨ サーモ システム コリア カンパニー リミテッド | 熱処理装置の基板搬送ユニット |
| JP7155200B2 (ja) | 2020-06-03 | 2022-10-18 | コヨ サーモ システム コリア カンパニー リミテッド | 熱処理装置の基板搬送ユニット |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102116433B (zh) | 照明装置 | |
| US4925288A (en) | Adjustable mirror mount | |
| JP5086309B2 (ja) | 支持すべき部材を固定及び調節する装置 | |
| JP3814460B2 (ja) | 反射鏡調整機構 | |
| JP2003302568A (ja) | 反射面調整装置 | |
| JP3377168B2 (ja) | 多自由度位置決めステージ | |
| CN116088192B (zh) | 一种光路调节装置 | |
| JP2773783B2 (ja) | 回転並進ステージ装置 | |
| JPH04231189A (ja) | 所定の基準ラインに沿ってレーザビームのアラインメントを行うための調節装置およびレーザ装置 | |
| JPH0627364A (ja) | 可動ミラー支持装置 | |
| JP3585229B2 (ja) | 多自由度位置決め装置 | |
| TW577049B (en) | Tilt angle adjustment device for the spindle motor of a compact disk drive | |
| CN114153126B (zh) | 一种基于轴承定心的微型镜面组驱动装置 | |
| JPH10260277A (ja) | パラレルリンクステージ機構 | |
| CN113009686B (zh) | 一种快速反射镜装置 | |
| JP2001235001A (ja) | 2自由度リンク機構 | |
| CN110048634A (zh) | 一种微动平台 | |
| JP2003113916A (ja) | 平行リンク式機器支持装置 | |
| JP2000326272A (ja) | ロボット装置 | |
| JPH0557638A (ja) | 梁構造物用移動ロボツト | |
| JP2969624B2 (ja) | 平行移動装置 | |
| JP2001296463A (ja) | レンズ枠構造 | |
| JP2004156679A (ja) | 多自由度微動位置決め装置 | |
| CN115556027A (zh) | 感光元件安装装置以及感光元件安装方法 | |
| JP2003092337A (ja) | Xyテーブル駆動機構 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD01 | Notification of change of attorney |
Effective date: 20040709 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060118 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20060228 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060829 |