JP2003224090A - Cutting method and tool for cutting single crystal ingot - Google Patents
Cutting method and tool for cutting single crystal ingotInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 単結晶インゴットのトップ及びテールの円錐
部２を切断するに際し、円錐部を完全に固定して切断を
行い、さらに固定の安定を確認しつつ切断を行うことの
できる円錐部２の把持方法、把持具６、切断方法、切断
用治具１６及び切断装置を提供する。
【解決手段】 円錐部２の把持具６は真空吸着カップ３
を有し、真空吸着カップ３はその開口部端部（接触部１
４）に軟質材料４が配置され、軟質材料４をインゴット
の円錐部２表面に接触させて真空吸引装置７によって真
空吸着カップ内を減圧することで円錐部２を吸着して把
持する単結晶インゴットの把持具６。把持具６はその外
径がインゴット胴体部１の外径に略等しい円筒形状をな
し、把持具６の外周部をインゴット切断機のインゴット
台座１３に固定することによって円錐部２を固定できる
を特徴とする単結晶インゴットの切断用治具１６。
PROBLEM TO BE SOLVED: To cut a conical portion 2 of a single crystal ingot while completely fixing the conical portion when cutting the conical portion 2 and to perform cutting while confirming the stability of fixing. Provided are a method for gripping the conical portion 2, a gripper 6, a cutting method, a cutting jig 16, and a cutting device. SOLUTION: A holding tool 6 of a conical portion 2 is a vacuum suction cup 3.
The vacuum suction cup 3 has an opening end (contact portion 1).
4) A soft material 4 is disposed, and the soft material 4 is brought into contact with the surface of the conical portion 2 of the ingot, and the inside of the vacuum suction cup is depressurized by the vacuum suction device 7 to thereby adsorb and hold the conical portion 2. Gripper 6. The gripper 6 has a cylindrical shape whose outer diameter is substantially equal to the outer diameter of the ingot body 1, and the conical portion 2 can be fixed by fixing the outer peripheral portion of the gripper 6 to the ingot pedestal 13 of the ingot cutting machine. A jig 16 for cutting a single crystal ingot.
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、単結晶インゴット
のトップ及びテールの円錐部の把持方法、把持具、切断
方法、切断用治具、切断装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of gripping a conical portion of a top and a tail of a single crystal ingot, a gripping tool, a cutting method, a cutting jig, and a cutting device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】シリコン単結晶を代表とする半導体単結
晶は、一般的にはチョクラルスキー法（以下「ＣＺ法」
という。）によって製造される。ＣＺ法においては、石
英ルツボ内で多結晶を溶融し、この溶融液の表面に種結
晶とよばれる単結晶細棒を接触させ、種結晶と石英ルツ
ボを回転させながら種結晶を上方に引き上げることによ
り、種結晶の下方に単結晶インゴットを成長させる。単
結晶インゴットのうち、製品として使用される部分は所
定の直径を有する円筒形の胴体部を形成する。その際、
インゴットの上端部については、細径の種結晶からはじ
めて太径の胴体部直径に至るまでを単結晶を維持しつつ
成長させるため、その形状は円錐形となる。また、単結
晶インゴットの下端部についても、単結晶を維持しつつ
成長を完了するためには、円錐形とする必要がある。イ
ンゴット上端の円錐形の部分については上部コーン部、
インゴット下端の円錐形の部分については下部コーン部
（テール部）と呼ばれるが、ここでは総称してトップお
よびテールの円錐部と呼ぶ。2. Description of the Related Art A semiconductor single crystal represented by a silicon single crystal is generally manufactured by the Czochralski method (hereinafter referred to as "CZ method").
Say. ) Manufactured by. In the CZ method, a polycrystal is melted in a quartz crucible, a single crystal thin rod called a seed crystal is brought into contact with the surface of the melt, and the seed crystal is pulled upward while rotating the seed crystal and the quartz crucible. Thereby growing a single crystal ingot below the seed crystal. The portion of the single crystal ingot used as a product forms a cylindrical body portion having a predetermined diameter. that time,
At the upper end of the ingot, since the single crystal is grown from the seed crystal having a small diameter to the diameter of the body portion having a large diameter, the shape is a conical shape. Further, the lower end portion of the single crystal ingot also needs to have a conical shape in order to complete the growth while maintaining the single crystal. For the conical part at the top of the ingot, the upper cone part,
The conical portion at the lower end of the ingot is called the lower cone portion (tail portion), but here it is generically called the top and tail cone portions.
【０００３】引き上げを完了した単結晶インゴットは、
胴体部からトップおよびテールの円錐部を切り離し、胴
体部についても必要に応じて複数のブロックに切断す
る。次いで胴体部について単結晶ウェーハとするための
加工を行うことになる。The single crystal ingot that has been pulled is
Separate the top and tail cones from the body, and cut the body into blocks if necessary. Then, the body portion is processed to form a single crystal wafer.
【０００４】単結晶インゴットの切断については、いず
れもインゴットの軸方向に垂直な面において行われる。
切断にはバンドソー、ワイヤーソー、外周刃、内周刃ス
ライサーなどを用いることが可能であり、最も一般的に
はバンドソー又は内周刃スライサーが用いられる。胴体
部を複数のブロックに切断する場合においては、切断前
の胴体部を台座上に水平に配置する。台座は胴体部軸方
向に２つに分離しており、ここではそれぞれ第１台座、
第２台座と呼ぶ。第１台座、第２台座それぞれにおい
て、油圧装置などで作動する胴体部保持具によってイン
ゴットを台座に固定し、第１台座と第２台座との中間部
においてインゴット胴体部を切断する。The cutting of the single crystal ingot is performed in a plane perpendicular to the axial direction of the ingot.
A band saw, a wire saw, an outer peripheral blade, an inner peripheral blade slicer, or the like can be used for cutting, and most commonly, a band saw or an inner peripheral blade slicer is used. When cutting the body part into a plurality of blocks, the body part before cutting is placed horizontally on the pedestal. The pedestal is separated into two in the axial direction of the body part, and here, the first pedestal,
It is called the second pedestal. In each of the first pedestal and the second pedestal, the ingot is fixed to the pedestal by a body part holder operated by a hydraulic device or the like, and the ingot body part is cut at an intermediate portion between the first pedestal and the second pedestal.
【０００５】インゴットの胴体部から円錐部を切断する
に際しては、胴体部側を第１台座に配置して胴体部保持
具で胴体部を第１台座に固定する。円錐部側は第２台座
上に配置され、第２台座上にはクロップ受け台が配置さ
れる。円錐部とクロップ受け台とは接触していないので
固定することができない。この状態で切断を行い、切断
が完了すると円錐部は胴体部から切り離されてクロップ
受け台上に落下する。When the conical portion is cut from the body portion of the ingot, the body portion side is arranged on the first pedestal and the body portion holder is used to fix the body portion to the first pedestal. The cone side is arranged on the second pedestal, and the crop pedestal is arranged on the second pedestal. Since the cone and the cradle are not in contact, they cannot be fixed. Cutting is performed in this state, and when the cutting is completed, the conical portion is separated from the body portion and falls on the crop pedestal.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】近年のウェーハ大口径
化に伴い、インゴット胴体部の直径は１５０ｍｍから２
００ｍｍに増大し、さらに３００ｍｍに増大しようとし
ている。インゴットの大口径化に伴い、インゴットは高
重量化し、円錐部も高重量化している。このため、胴体
部のみを固定して円錐部の切断を行う従来の方法では、
円錐部の重みにより、切断終了直前に未切断部が欠け落
ち、円錐部が落下する。このとき、胴体部側切断面の欠
け落ち部においては、切断面に割れや欠けが発生して良
品歩留が悪化するという問題が発生するようになった。
また、切断終了直前における上記円錐部の欠け落ち時
に、切断刃（バンドソーや内周刃）に円錐部の切断面が
巻き込まれ、干渉によって切断刃や切断装置の破損が発
生することがある。With the recent increase in the diameter of wafers, the diameter of the ingot body is from 150 mm to 2 mm.
It is increasing to 00 mm, and is about to increase to 300 mm. With the increase in diameter of ingots, the weight of ingots has increased, and the weight of cones has also increased. Therefore, in the conventional method of fixing only the body part and cutting the conical part,
Due to the weight of the conical portion, the uncut portion falls off and the conical portion falls just before the end of cutting. At this time, in the chipped-off portion of the cut surface on the body section side, cracks or chips are generated in the cut surface, which causes a problem that the yield of non-defective products deteriorates.
Further, when the conical portion falls off just before the end of cutting, the cutting surface of the conical portion may be caught in the cutting blade (band saw or inner peripheral blade), and the cutting blade or the cutting device may be damaged due to interference.
【０００７】切断時に円錐部を固定できれば問題は解決
するが、円錐部の回りをワイヤーなどで固定する方法で
は、インゴット表面が滑りやすいのでワイヤーが軸方向
に移動しないように円錐部の傾斜している表面の回りを
完全に固定することは困難である。また、テープ等によ
る粘着を用いた固定方法では、固定状態の定量的な確認
ができないため、剥がれの予測および剥がれが予測され
た際に切断作業を中断するためのインターロックを組む
ことができない。The problem can be solved if the conical portion can be fixed at the time of cutting, but in the method of fixing the conical portion with a wire around the conical portion, since the surface of the ingot is slippery, the conical portion is inclined so that the wire does not move in the axial direction. It is difficult to fix it completely around the existing surface. In addition, with a fixing method using adhesive such as tape, it is not possible to quantitatively confirm the fixed state, and therefore it is not possible to form an interlock for interrupting the cutting work when the peeling is predicted and when the peeling is predicted.
【０００８】本発明は、単結晶インゴットのトップ及び
テールの円錐部を切断するに際し、円錐部を完全に固定
して切断を行い、さらに固定の安定を確認しつつ切断を
行うことのできる円錐部の把持方法、把持具、切断方
法、切断用治具及び切断装置を提供することを目的とす
る。According to the present invention, when cutting the conical portions of the top and tail of a single crystal ingot, the conical portion is completely fixed and cut, and the conical portion can be cut while confirming the stability of fixation. An object of the present invention is to provide a holding method, a holding tool, a cutting method, a cutting jig, and a cutting device.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】即ち、本発明の要旨とす
るところは以下のとおりである。
（１）単結晶インゴットのトップ及びテールの円錐部２
を把持する方法であって、真空吸着カップ３を準備し、
真空吸着カップ３はその開口部端部（以下「接触部１
４」という。）に軟質材料４が配置され、接触部１４の
軟質材料４をインゴットの円錐部表面に接触させて真空
吸着カップ内を減圧することで円錐部２を吸着して把持
することを特徴とする単結晶インゴットの把持方法。
（２）上記（１）に記載の単結晶インゴットの把持方法
によって円錐部２を把持しつつ該インゴットの円錐部２
を切断することを特徴とする単結晶インゴットの切断方
法。
（３）真空吸着カップ３を含む円錐部把持具６はその外
径がインゴット胴体部の外径に略等しい円筒形状をな
し、把持具６の外周部をインゴット切断機のインゴット
台座１３に固定することによって円錐部２を固定するこ
とを特徴とする上記（２）に記載の単結晶インゴットの
切断方法。
（４）把持具６の真空吸着カップ開口部と反対側の端部
は平面１７をなし、インゴット端部吸着用の吸着パッド
１１を平面１７に吸着させて把持具６を移動し固定する
ことを特徴とする上記（３）に記載の単結晶インゴット
の切断方法。
（５）前記真空吸着カップ３内部の真空度を検出し、真
空吸着カップ内部が所定の真空度を確保しているときに
のみ円錐部の切断・移動・運搬を行うことを特徴とする
上記（２）乃至（４）のいずれかに記載の単結晶インゴ
ットの切断方法。That is, the gist of the present invention is as follows. (1) Top and tail cones 2 of a single crystal ingot
Is a method of gripping, preparing a vacuum suction cup 3,
The vacuum suction cup 3 has an opening end (hereinafter referred to as "contact part 1").
4 ”. ), The soft material 4 of the contact portion 14 is brought into contact with the surface of the conical portion of the ingot to depressurize the inside of the vacuum suction cup to adsorb and grip the conical portion 2. A method of gripping a crystal ingot. (2) The conical portion 2 of the ingot while gripping the conical portion 2 by the method for gripping a single crystal ingot according to the above (1).
1. A method for cutting a single crystal ingot, which comprises cutting. (3) The conical portion gripping tool 6 including the vacuum suction cup 3 has a cylindrical shape whose outer diameter is substantially equal to the outer diameter of the ingot body, and the outer peripheral portion of the gripping tool 6 is fixed to the ingot pedestal 13 of the ingot cutting machine. The method for cutting a single crystal ingot according to (2) above, characterized in that the conical portion 2 is fixed thereby. (4) The end of the gripping tool 6 on the side opposite to the vacuum suction cup opening forms a flat surface 17, and the suction pad 11 for sucking the end of the ingot is sucked onto the flat surface 17 to move and fix the gripping tool 6. The method for cutting a single crystal ingot according to the above (3), which is characterized. (5) The degree of vacuum inside the vacuum suction cup 3 is detected, and the conical portion is cut, moved, and transported only when the inside of the vacuum suction cup secures a predetermined vacuum degree. The method for cutting a single crystal ingot according to any one of 2) to (4).
【００１０】（６）単結晶インゴットのトップ及びテー
ルの円錐部把持具６であって、把持具６は真空吸着カッ
プ３を有し、真空吸着カップ３はその開口部端部（接触
部１４）に軟質材料４が配置され、真空吸着カップ３に
は真空吸引装置７が接続され、接触部１４の軟質材料４
をインゴットの円錐部２表面に接触させて真空吸引装置
７によって真空吸着カップ内を減圧することで円錐部２
を吸着して把持できることを特徴とする単結晶インゴッ
トの把持具。
（７）上記（６）に記載の把持具６よりなる単結晶イン
ゴットの切断用治具１６であって、把持具６はその外径
がインゴット胴体部１の外径に略等しい円筒形状をな
し、把持具６の外周部をインゴット切断機のインゴット
台座１３に固定することによって円錐部２を固定できる
ことを特徴とする単結晶インゴットの切断用治具。
（８）把持具６の真空吸着カップ３開口部と反対側の端
部は平面１７をなし、インゴット端部吸着用の吸着パッ
ド１１を平面１７に吸着させて把持具６を移動でき固定
できることを特徴とする上記（７）に記載の単結晶イン
ゴットの切断用治具。
（９）上記（７）又は（８）に記載の単結晶インゴット
の切断用治具１６を用いてなることを特徴とする単結晶
インゴットの切断装置。
（１０）切断装置は制御装置を有し、真空吸着カップ３
内部の真空度を検出する真空度検出装置１０を有し、制
御装置は真空吸着カップ内部が所定の真空度を確保して
いるときにのみ円錐部の切断・移動・運搬を行うことを
特徴とする上記（９）に記載の単結晶インゴットの切断
装置。(6) Conical gripper 6 for the top and tail of a single crystal ingot, wherein the gripper 6 has a vacuum suction cup 3, and the vacuum suction cup 3 has an opening end (contact portion 14). The soft material 4 is disposed in the vacuum suction cup 3, and the vacuum suction device 7 is connected to the vacuum suction cup 3.
Is brought into contact with the surface of the conical portion 2 of the ingot, and the pressure inside the vacuum suction cup is reduced by the vacuum suction device 7,
A gripping tool for a single crystal ingot, which is capable of adsorbing and gripping. (7) A jig 16 for cutting a single crystal ingot comprising the gripping tool 6 according to (6) above, wherein the gripping tool 6 has a cylindrical shape whose outer diameter is substantially equal to the outer diameter of the ingot body 1. A jig for cutting a single crystal ingot, characterized in that the conical portion 2 can be fixed by fixing the outer peripheral portion of the gripping tool 6 to the ingot pedestal 13 of the ingot cutting machine. (8) The end of the gripping tool 6 opposite to the opening of the vacuum suction cup 3 forms a flat surface 17, and the suction pad 11 for sucking the end of the ingot is sucked onto the flat surface 17 so that the gripping tool 6 can be moved and fixed. The jig for cutting a single crystal ingot according to (7), which is characterized. (9) A single crystal ingot cutting device comprising the single crystal ingot cutting jig 16 described in (7) or (8) above. (10) The cutting device has a control device, and the vacuum suction cup 3
It has a vacuum degree detection device 10 for detecting the degree of vacuum inside, and the control device cuts, moves and conveys the conical portion only when the inside of the vacuum suction cup secures a predetermined degree of vacuum. The cutting apparatus for a single crystal ingot according to (9) above.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】本発明においては、図３に示すよ
うな真空吸着カップ３によってインゴットの円錐部２を
真空吸着することによって円錐部２を把持する。真空吸
着カップ３は、その一端が開口部を形成し、この開口部
の端部１８（接触部１４）には軟質材料４が配置され
る。この接触部の軟質材料４をインゴットの円錐部２表
面に接触させることにより、真空吸着カップ内部を密閉
する。その後真空吸着カップ３の内部を真空吸引装置１
０によって減圧すると、円錐部２が真空吸着カップ３に
吸着される。従って、このような真空吸着カップ３を有
する把持具６を用いることにより円錐部２を把持するこ
とができる。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION In the present invention, the conical portion 2 is gripped by vacuum adsorbing the conical portion 2 of an ingot by a vacuum suction cup 3 as shown in FIG. One end of the vacuum suction cup 3 forms an opening, and the soft material 4 is arranged at the end 18 (contact portion 14) of this opening. The inside of the vacuum suction cup is closed by bringing the soft material 4 of this contact portion into contact with the surface of the conical portion 2 of the ingot. After that, the inside of the vacuum suction cup 3 is vacuum suction device 1
When the pressure is reduced by 0, the cone portion 2 is sucked by the vacuum suction cup 3. Therefore, the conical portion 2 can be gripped by using the gripping tool 6 having such a vacuum suction cup 3.
【００１２】円錐部２のインゴット軸方向に垂直な面で
の断面は、いずれの部位においても円形である。従っ
て、真空吸着カップ３の開口部形状を円形にすることに
より、開口部端部の接触部１４に配置した軟質材料４と
インゴットの円錐部２との間を密着することができるの
で好ましい。The cross section of the conical portion 2 taken along a plane perpendicular to the axial direction of the ingot is circular at any part. Therefore, it is preferable to make the opening shape of the vacuum suction cup 3 circular so that the soft material 4 arranged in the contact portion 14 at the end of the opening can be in close contact with the conical portion 2 of the ingot.
【００１３】真空吸着カップ開口部端部の接触部１４に
は、軟質材料４を配置する。真空吸着カップ３とインゴ
ットの円錐部２とが接触するのは、開口部端部１８の円
周上の部分であり、この部分を接触部１４と呼ぶ。接触
部１４の全周にわたって軟質材料４を配置することによ
り、真空吸着カップ３の接触部１４と円錐部２とを密着
させた際に、両者の間を気密にして密閉することが可能
になる。軟質材料４としては、ウレタンなどの軟質樹脂
あるいは軟質ゴムを用いると好ましい。いずれも、軟質
であってなおかつ通気性を有しないので、真空吸着カッ
プ３と円錐部２との間を密閉することができる。The soft material 4 is placed in the contact portion 14 at the end of the opening of the vacuum suction cup. The contact between the vacuum suction cup 3 and the conical portion 2 of the ingot is the circumferential portion of the opening end portion 18, and this portion is called the contact portion 14. By disposing the soft material 4 around the entire circumference of the contact portion 14, when the contact portion 14 of the vacuum suction cup 3 and the conical portion 2 are brought into close contact with each other, it is possible to hermetically seal them. . As the soft material 4, it is preferable to use soft resin such as urethane or soft rubber. Both of them are soft and have no air permeability, so that the space between the vacuum suction cup 3 and the conical portion 2 can be sealed.
【００１４】インゴット円錐部２の表面に形成されてい
る凹凸のうち、インゴットの軸に同心円状に形成される
凹凸については、その凹凸によって形成される溝を通し
て真空吸着カップ３の内外を通気することにはならない
ので、この凹凸は真空吸着カップ３の気密性を害する原
因とはなりにくい。一方、インゴット表面にインゴット
の縦方向に形成される晶癖線については、この晶癖線に
よって形成される溝を通じて真空吸着カップ３の内外を
通気することがあり得る。従って、軟質材料４の材質・
形状を選定するに当たっては、円錐部表面の晶癖線によ
る通気を十分に防止するように配慮する必要がある。Among the concavities and convexities formed on the surface of the ingot conical portion 2, the concavities and convexities formed concentrically with the shaft of the ingot, the inside and outside of the vacuum suction cup 3 should be ventilated through the grooves formed by the concavities and convexities. Therefore, the unevenness is unlikely to cause the airtightness of the vacuum suction cup 3 to be impaired. On the other hand, with respect to the crystal habit line formed in the longitudinal direction of the ingot on the surface of the ingot, the inside and outside of the vacuum suction cup 3 may be aerated through the groove formed by the crystal habit line. Therefore, the material of the soft material 4
In selecting the shape, it is necessary to give sufficient consideration to prevent ventilation by the crystal habit lines on the surface of the conical portion.
【００１５】インゴット円錐部２のテーパー角度は通常
は一定の角度範囲内に制御されているので、軟質材料４
の円錐部２との接触面についても、図３に示すように円
錐部２のテーパー角度に近い角度のテーパー角度をも持
たせておくと好ましい。これにより、インゴット長手方
向において、軟質材料４と円錐部２表面との接触長さを
長くすることができ、両者の密閉性を向上することがで
きる。図４に示すように、軟質材料４の円錐部２との接
触面を、直線的なテーパー面ではなく若干の丸みを帯び
させることにより、円錐部２のテーパー角度が変化した
場合においても良好な密着面を形成することができ、好
ましい。以上述べたような配慮を行うことにより、円錐
部表面の晶癖線によって気密性を破られることなく、良
好な密閉性を確保することができる。Since the taper angle of the ingot conical portion 2 is usually controlled within a certain angle range, the soft material 4
It is preferable that the contact surface with the conical portion 2 also has a taper angle close to the taper angle of the conical portion 2 as shown in FIG. As a result, the contact length between the soft material 4 and the surface of the conical portion 2 can be increased in the longitudinal direction of the ingot, and the hermeticity between the two can be improved. As shown in FIG. 4, by making the contact surface of the soft material 4 with the conical portion 2 to have a slight roundness instead of a linear tapered surface, it is possible to obtain good results even when the taper angle of the conical portion 2 changes. A contact surface can be formed, which is preferable. By taking the above-mentioned consideration into consideration, good hermeticity can be secured without the airtightness being broken by the crystal habit lines on the surface of the conical portion.
【００１６】真空吸着カップ３によってインゴットの円
錐部２を把持するに当たっては、真空吸着カップ３の接
触部１４を円錐部２に密着させた後、真空吸引装置７に
よって真空吸着カップ内を減圧する。真空吸引装置７と
しては、ダイアフラム式などの通常の真空吸引装置を用
いることができる。真空吸引時において、真空吸着カッ
プ内の真空度を０．０５ＭＰａ程度まで上げると、良好
な把持力を確保することができる。さらに、真空度を
０．０７２ＭＰａ程度まで上げておけば、把持中に真空
吸引装置７が作動不良を起こしても把持力が失われるま
でに若干の時間を確保できるので好ましい。また、上記
以上の高い真空度を確保しようとすると、真空吸引装置
７に必要以上の高い吸引能力を必要とすることになるの
で好ましくない。ここで、真空度の表示については、大
気圧で０ＭＰａ、真空状態で０．１０３ＭＰａとなるよ
うな表示を採用している。In gripping the conical portion 2 of the ingot by the vacuum suction cup 3, the contact portion 14 of the vacuum suction cup 3 is brought into close contact with the conical portion 2, and then the vacuum suction device 7 depressurizes the inside of the vacuum suction cup. As the vacuum suction device 7, a normal vacuum suction device such as a diaphragm type can be used. At the time of vacuum suction, if the vacuum degree in the vacuum suction cup is increased to about 0.05 MPa, good gripping force can be secured. Furthermore, it is preferable to raise the degree of vacuum to about 0.072 MPa because it is possible to secure some time before the gripping force is lost even if the vacuum suction device 7 malfunctions during gripping. Further, if it is attempted to secure a higher degree of vacuum than the above, it is not preferable because the vacuum suction device 7 requires a higher suction capacity than necessary. Here, the display of the degree of vacuum is such that the display shows 0 MPa under atmospheric pressure and 0.103 MPa under vacuum.
【００１７】図１（ａ）は、インゴットの胴体部１を第
１台座１３ａに固定し、円錐部２を切断用治具１６に把
持した上で第２台座１３ｂに固定し、切断刃１５で切断
を行っている状況を示す図である。1A, the body portion 1 of the ingot is fixed to the first pedestal 13a, the conical portion 2 is gripped by the cutting jig 16 and then fixed to the second pedestal 13b, and the cutting blade 15 is used. It is a figure which shows the condition which is cutting.
【００１８】図１に示すように、単結晶インゴットの切
断装置においては、胴体部１を２つのブロックに切断す
るに際して胴体部１を固定する目的で、胴体部１を配置
するための台座１３を有している。台座１３は、切断刃
１５の両側に第１台座１３ａと第２台座１３ｂとに分か
れ、それぞれ切断面の両側の胴体部を配置することがで
き、それぞれに油圧装置などによって作動する胴体部保
持具１２を用いて胴体部１を台座１３に固定できる。本
発明において、図１に示すように真空吸着カップ３を有
する把持具６を単結晶インゴットの切断用治具１６とな
し、把持具６の外径をインゴット胴体部１の外径に略等
しい円筒形状とすることにより、円錐部２を把持した把
持具６の外周部をインゴット切断機のインゴット台座１
３に固定することが可能になる。即ち、切断装置におけ
る胴体部の固定機構と本発明の円錐部把持具を用いるこ
とにより、インゴットの円錐部を切断するに際して円錐
部を安定して固定することが可能になる。As shown in FIG. 1, in a single crystal ingot cutting device, a pedestal 13 for disposing the body portion 1 is provided for the purpose of fixing the body portion 1 when the body portion 1 is cut into two blocks. Have The pedestal 13 is divided into a first pedestal 13a and a second pedestal 13b on both sides of the cutting blade 15, and body parts on both sides of the cutting surface can be arranged respectively, and a body part holder operated by a hydraulic device or the like for each of them. The body part 1 can be fixed to the pedestal 13 by using 12. In the present invention, as shown in FIG. 1, the holding tool 6 having the vacuum suction cup 3 is used as a cutting jig 16 for a single crystal ingot, and the outside diameter of the holding tool 6 is substantially equal to the outside diameter of the ingot body portion 1. With the shape, the outer peripheral portion of the gripping tool 6 that grips the conical portion 2 is formed on the ingot base 1 of the ingot cutting machine.
It becomes possible to fix it to 3. That is, by using the body portion fixing mechanism of the cutting device and the conical portion gripping tool of the present invention, the conical portion can be stably fixed when the conical portion of the ingot is cut.
【００１９】切断用治具の真空吸着カップ３で切断前の
円錐部２を把持するに際し、切断用治具１６の外周部と
胴体部１の外周部とが略同心円の円筒形状となるように
把持を行う。この際、図２（ａ）に示すように、まず第
１台座１３ａに円錐部切断前のインゴット胴体部１を配
置し、胴体部保持具１２ａによって第１台座に固定す
る。次いで、切断用治具１６を第２台座１３ｂに配置
し、吸着パッド１１によって切断用治具１６の平面１７
を押すことによって切断用治具１６を円錐部２に密着さ
せる。真空吸引装置７を作動させて円錐部２を真空吸着
カップ３に吸着させたのち、図１（ａ）に示すように胴
体部保持具１２ｂによって切断用治具１６を第２台座１
３ｂに固定する。これにより、胴体部は第１台座に固定
され、円錐部は真空吸着カップに吸着されたままで第２
台座に固定されるので、この状態で図１（ａ）に示すよ
うに切断刃１５を用いて胴体部１と円錐部２との間の切
断を行えば、切断完了時において円錐部２が落下するこ
とはなくなり、良好に切断を完了することができる。When the conical portion 2 before cutting is gripped by the vacuum suction cup 3 of the cutting jig, the outer peripheral portion of the cutting jig 16 and the outer peripheral portion of the body portion 1 are formed into a substantially concentric cylindrical shape. Hold it. At this time, as shown in FIG. 2A, first, the ingot body portion 1 before cutting the conical portion is arranged on the first pedestal 13a, and is fixed to the first pedestal by the body portion holder 12a. Next, the cutting jig 16 is placed on the second pedestal 13b, and the suction pad 11 is used to move the cutting jig 16 to the flat surface 17 thereof.
The cutting jig 16 is brought into close contact with the conical portion 2 by pressing. After the vacuum suction device 7 is operated to suck the conical portion 2 into the vacuum suction cup 3, the cutting jig 16 is moved to the second pedestal 1 by the body holding tool 12b as shown in FIG. 1 (a).
Fix to 3b. As a result, the body portion is fixed to the first pedestal, and the conical portion remains attached to the vacuum suction cup to the second pedestal.
Since it is fixed to the pedestal, in this state, if the cutting between the body portion 1 and the conical portion 2 is performed using the cutting blade 15 as shown in FIG. 1 (a), the conical portion 2 drops when the cutting is completed. There is no need to do so, and the cutting can be completed satisfactorily.
【００２０】通常の胴体部１の切断においては、切断が
完了して第２台座１３ｂに配置された胴体部を移動・固
定するため、胴体部端面に吸着する吸着パッド１１が配
置されている。切断開始前に胴体部の端面に吸着パッド
を吸着し、切断中は第２台座１３ｂ上に位置する胴体部
を固定し、切断完了後は第２台座１３ｂ及び吸着パッド
１１を移動することによって切断された胴体部を移動す
る。本発明においては、把持具６の真空吸着カップ開口
部と反対側の端部を平面１７とすることにより、インゴ
ット端面吸着用の吸着パッド１１をこの平面１７に吸着
させて把持具６を移動でき固定できるようになるので好
ましい。これにより、図２（ｂ）に示すように、円錐部
２の切断が完了するまでは円錐部を固定することがで
き、円錐部の切断が完了したら吸着パッド１１で平面１
７を吸着したまま第２台座１３ｂ及び吸着パッド１１を
移動することにより、円錐部２を胴体部１から引き離す
方向に移動することができる。切断中において吸着パッ
ド１１で切断用治具１６を固定できる場合は、胴体保持
具１２ｂがなくてもよい。また、円錐部の切断中におい
て、切断用治具１６の自重によって十分に安定して円錐
部を保持できるのであれば、切断用治具の自重のみで固
定することとしても良い。In the normal cutting of the body portion 1, a suction pad 11 for adsorbing to the end surface of the body portion is arranged in order to move and fix the body portion arranged on the second pedestal 13b after the cutting is completed. Before starting the cutting, the suction pad is sucked onto the end face of the body portion, the body portion located on the second pedestal 13b is fixed during the cutting, and after the cutting is completed, the second pedestal 13b and the suction pad 11 are moved to cut Move the torso part. In the present invention, the end of the gripping tool 6 on the side opposite to the vacuum suction cup opening is formed into the flat surface 17, so that the suction pad 11 for sucking the end surface of the ingot can be sucked onto the flat surface 17 to move the gripping tool 6. It is preferable because it can be fixed. As a result, as shown in FIG. 2B, the conical portion can be fixed until the cutting of the conical portion 2 is completed, and when the cutting of the conical portion is completed, the suction pad 11 is used to flatten the flat surface 1.
By moving the second pedestal 13b and the suction pad 11 while sucking 7 on, the conical portion 2 can be moved in a direction in which it is separated from the body portion 1. When the cutting jig 16 can be fixed by the suction pad 11 during cutting, the body holding tool 12b may be omitted. Further, during cutting of the conical portion, if the conical portion can be sufficiently stably held by the own weight of the cutting jig 16, the cutting jig 16 may be fixed only by its own weight.
【００２１】インゴットの円錐部２を本発明の切断用治
具１６を用いて固定して切断している途中、あるいは切
断が完了した円錐部２を把持した切断用治具１６を移動
・固定している途中に把持力が消滅すると、円錐部２の
固定が外れて切断や移動に支障を来すので好ましくな
い。本発明においては、真空吸着カップ内部の真空度を
検出する真空度検出装置１０を有することにより真空吸
着カップ内部の真空度を検出し、真空吸着カップ内部の
真空度が目標範囲内の真空度（安全真空度）か、目標範
囲を外れているが把持力は有している真空度（注意真空
度）か、あるいは十分な把持力を発揮し得ない真空度
（把持力不足真空度）かを判定することができる。本発
明の切断装置はさらに制御装置を有し、制御装置は真空
吸着カップ内部が所定の真空度を確保しているときにの
み円錐部の切断・移動・運搬を行うこととすることによ
り、安全に切断作業を行うことができる。制御装置は、
真空吸着カップ内の真空度が安全真空度である場合には
通常とおりの切断作業を行い、真空度が注意真空度とな
った場合には、所定の手順に従って作業を速やかに終了
する。通常は、例えば真空吸引装置７と真空吸着カップ
３を接続しているホース８が外れる等のトラブルにより
真空吸着カップ内の真空度が低下するような場合には、
真空度が正常真空度から把持力不足真空度に低下するま
での時間が十分に確保できるので、所定の手順に従って
作業を速やかに終了することにより、真空度が把持力不
足真空度に至る前にすべての作業を終了させることがで
きる。During cutting while fixing the conical portion 2 of the ingot using the cutting jig 16 of the present invention, or moving and fixing the cutting jig 16 that holds the conical portion 2 that has been cut. If the gripping force disappears during the operation, the fixation of the conical portion 2 is released, which hinders cutting and movement, which is not preferable. In the present invention, the vacuum degree detecting device 10 for detecting the degree of vacuum inside the vacuum suction cup detects the degree of vacuum inside the vacuum suction cup, and the degree of vacuum inside the vacuum suction cup is within the target range ( Safety vacuum), a vacuum that is out of the target range but has gripping force (caution vacuum), or a vacuum that cannot exert sufficient gripping force (vacuum with insufficient gripping force). Can be determined. The cutting device of the present invention further has a control device, and the control device cuts, moves, and conveys the conical portion only when the inside of the vacuum suction cup secures a predetermined degree of vacuum, thereby ensuring safety. You can do the cutting work. The controller is
When the vacuum degree in the vacuum suction cup is the safe vacuum degree, the cutting work is performed as usual, and when the vacuum degree becomes the caution vacuum degree, the work is promptly completed according to a predetermined procedure. Usually, for example, when the degree of vacuum in the vacuum suction cup is lowered due to a trouble such as disconnection of the hose 8 connecting the vacuum suction device 7 and the vacuum suction cup 3,
Since it is possible to secure a sufficient time for the degree of vacuum to drop from the normal vacuum level to the vacuum level with insufficient gripping force, the work can be completed promptly according to the prescribed procedure to prevent the vacuum level from reaching the vacuum level with insufficient gripping force. All work can be completed.
【００２２】[0022]
【実施例】直径２０１ｍｍ単結晶インゴットの切断にお
いて本発明の切断方法及び切断用治具を採用した。図
１、２に示すような内周刃スライサーによる切断装置に
おいて、同じく図１、２に示すような切断用治具１６を
採用した。真空吸着カップ３開口部の直径は１００ｍ
ｍ、軟質材料４としては単泡スポンジ（クロロプレンラ
バースポンジ）を使用し、真空吸引装置７としてはダイ
ヤフラム式ポンプを使用した。EXAMPLE A cutting method and a cutting jig of the present invention were adopted for cutting a single crystal ingot having a diameter of 201 mm. In the cutting device using the inner peripheral blade slicer as shown in FIGS. 1 and 2, the cutting jig 16 as shown in FIGS. The diameter of the vacuum suction cup 3 opening is 100m
A single foam sponge (chloroprene rubber sponge) was used as the soft material 4, and a diaphragm pump was used as the vacuum suction device 7.
【００２３】吸引中における真空吸着カップ３内部の真
空度は０．０７２ＭＰａとした。なお、真空吸着カップ
３内部の真空度は０．０５ＭＰａ以上であれば十分な吸
着力を示す。通常の真空度０．０７２ＭＰａで吸着時に
真空吸引装置７への吸引が停止したとしても、把持力不
足となる真空度０．０４ＭＰａまで真空度が低下するの
に４５分間所要し、真空度が正常真空度から把持力不足
真空度に低下するまでの時間が十分に確保できるので、
所定の手順に従って作業を速やかに終了することによ
り、真空度が把持力不足真空度に至る前にすべての作業
を終了させることができる。The degree of vacuum inside the vacuum suction cup 3 during suction was set to 0.072 MPa. If the vacuum degree inside the vacuum suction cup 3 is 0.05 MPa or more, a sufficient suction force is exhibited. Even if the suction to the vacuum suction device 7 is stopped at the normal vacuum level of 0.072 MPa, it takes 45 minutes for the vacuum level to drop to a vacuum level of 0.04 MPa, which is insufficient gripping power, and the vacuum level is normal. Since it is possible to secure a sufficient time for the degree of vacuum to fall to a degree of insufficient grip,
By promptly ending the work according to a predetermined procedure, it is possible to finish all the works before the degree of vacuum reaches the degree of insufficient gripping vacuum.
【００２４】切断前単結晶インゴットの胴体部１を第１
台座１３ａの上に載置して胴体部保持具１２ａで固定
し、切断用治具１６を単結晶インゴットの円錐部２に向
き合うように第２台座１３ｂの上に載置する。次いで図
２（ａ）に示すように、吸着パッド１１で切断用治具１
６を押し込むことによって切断用治具１６の真空吸着カ
ップ３に配置された軟質材料４を円錐部２に押し付け、
真空吸着カップ３と円錐部２との間を密閉する。真空吸
引装置７によって真空吸着カップ３の内部を吸引して真
空度を０．０７２ＭＰａまで上げ、円錐部２を切断用治
具１６に固定する。この状態で切断刃１５によってイン
ゴットの切断を行う。切断中は円錐部２を切断用治具１
６で把持すると同時に吸着バッド１１で切断用治具１６
を吸着しているので、円錐部２が固定され、切断完了時
においても円錐部２が落下することがなく、切断刃や切
断装置が破損するトラブルを防止することができる。The body portion 1 of the single crystal ingot before cutting is first
It is placed on the pedestal 13a and fixed by the body holding member 12a, and the cutting jig 16 is placed on the second pedestal 13b so as to face the conical portion 2 of the single crystal ingot. Then, as shown in FIG.
By pressing 6 the soft material 4 arranged in the vacuum suction cup 3 of the cutting jig 16 is pressed against the conical portion 2,
The vacuum suction cup 3 and the conical portion 2 are sealed. The inside of the vacuum suction cup 3 is sucked by the vacuum suction device 7 to raise the vacuum degree to 0.072 MPa, and the conical portion 2 is fixed to the cutting jig 16. In this state, the cutting blade 15 cuts the ingot. During cutting, the conical part 2 is used to cut the jig 1
The jig 16 for cutting is held by the suction pad 11 at the same time as being gripped by 6
Since the conical portion 2 is fixed, the conical portion 2 does not drop even when the cutting is completed, and the trouble that the cutting blade or the cutting device is damaged can be prevented.
【００２５】切断が完了すると第１台座１３ａ及び第２
台座１３ｂはそれぞれ切断刃１５から遠ざかる方向に移
動し、さらに図２（ｂ）に示すように吸着パッド１１に
よって切断用治具１６を切断刃１５から遠ざかる方向に
移動する。切断後の円錐部２を把持したまま切断用治具
１６を吊り上げ、切断装置から運び出す。When the cutting is completed, the first pedestal 13a and the second pedestal 13a
The pedestals 13b respectively move in the direction away from the cutting blade 15, and further, as shown in FIG. 2B, the suction jig 11 moves the cutting jig 16 in the direction away from the cutting blade 15. While holding the conical portion 2 after cutting, the cutting jig 16 is lifted and carried out from the cutting device.
【００２６】以上のように本発明の切断用治具１６を使
用した結果、インゴットの切断面に割れや欠けが発生す
ることなく、切断刃や切断装置の破損も発生することが
なく、良好な作業性で円錐部の切断を行うことができ
た。As described above, as a result of using the cutting jig 16 of the present invention, the cutting surface of the ingot is not cracked or chipped, and the cutting blade or the cutting device is not damaged. The work was able to cut the cone.
【００２７】[0027]
【発明の効果】本発明の単結晶インゴット円錐部の把持
方法、把持具、切断方法、切断用治具及び切断装置は、
単結晶インゴットのトップ及びテールの円錐部を切断す
るに際し、真空吸着カップを用いて円錐部を吸着するこ
とにより、円錐部を安定して把持することができる。ま
た、真空吸着カップを含む円錐部把持具の外径をインゴ
ット胴体部の外径に略等しい円筒形状をなし、該把持具
の外周部をインゴット切断機のインゴット台座に固定す
ることによって円錐部を完全に固定して切断を行うこと
ができる。把持具の真空吸着カップ開口部と反対側の端
部を平面とすることにより、インゴット端部吸着用の吸
着パッドをこの平面に吸着させて把持具を移動し固定す
ることができる。さらに真空吸着カップ内部の真空度を
検出し、真空吸着カップ内部が所定の真空度を確保して
いるときにのみ円錐部の切断・移動・運搬を行うことに
より、固定の安定を確認しつつ切断を行うことができ
る。The single crystal ingot conical gripping method, gripping tool, cutting method, cutting jig and cutting device of the present invention are
When the top and tail conical portions of the single crystal ingot are cut, the conical portion can be stably gripped by adsorbing the conical portion with a vacuum suction cup. Further, the outer diameter of the conical gripping tool including the vacuum suction cup has a cylindrical shape substantially equal to the outer diameter of the ingot body, and the conical portion is fixed by fixing the outer peripheral part of the gripping tool to the ingot pedestal of the ingot cutting machine. It can be completely fixed and cut. By making the end of the gripping tool opposite to the vacuum suction cup opening to be a flat surface, the suction pad for suctioning the end of the ingot can be sucked onto this flat surface and the gripping tool can be moved and fixed. Furthermore, by detecting the degree of vacuum inside the vacuum suction cup and cutting, moving, and carrying the cone only when the inside of the vacuum suction cup has secured a predetermined degree of vacuum, cutting is performed while confirming the stability of fixation. It can be performed.
【図１】本発明のインゴット切断用治具の概略図であ
り、（ａ）は切断装置上において円錐部に切断用治具を
装着した状況を示す断面図、（ｂ）は切断用治具の斜視
断面図である。FIG. 1 is a schematic view of an ingot cutting jig of the present invention, (a) is a cross-sectional view showing a state in which a cutting jig is attached to a conical portion on a cutting device, and (b) is a cutting jig. FIG.
【図２】本発明の切断用治具を用いた切断方法を説明す
る概略部分断面図であり、（ａ）は切断用治具を円錐部
に装着する前の状況を示す図であり、（ｂ）は円錐部の
切断完了後に円錐部を移動する状況を示す図である。FIG. 2 is a schematic partial cross-sectional view for explaining a cutting method using the cutting jig of the present invention, FIG. 2 (a) is a diagram showing a situation before the cutting jig is attached to the conical portion, FIG. 6B is a diagram showing a situation in which the conical portion is moved after the completion of cutting the conical portion.
【図３】本発明のインゴット把持具の概略図であり、
（ａ）は円錐部を把持した状況を示す断面図、（ｂ）は
把持具の斜視断面図である。FIG. 3 is a schematic view of an ingot grasping tool of the present invention,
(A) is sectional drawing which shows the condition which hold | gripped the cone part, (b) is a perspective sectional view of a holding tool.
【図４】本発明のインゴット切断用治具の概略図であ
る。FIG. 4 is a schematic view of a jig for cutting an ingot according to the present invention.
１ 胴体部 ２ 円錐部 ３ 真空吸着カップ ４ 軟質材料 ５ ワンタッチ継ぎ手 ６ 把持具 ７ 真空吸引装置 ８ ホース ９ バルブ １０ 真空度検出装置 １１ 吸着パッド １２ 胴体部保持具 １３ 台座 １３ａ 第１台座 １３ｂ 第２台座 １４ 接触部 １５ 切断刃 １６ 切断用治具 １７ 平面 １８ 開口部端部 1 torso 2 cone 3 vacuum suction cup 4 Soft material 5 One-touch fitting 6 gripping tool 7 Vacuum suction device 8 hose 9 valves 10 Vacuum detection device 11 Suction pad 12 Body part holder 13 pedestal 13a First pedestal 13b Second pedestal 14 Contact part 15 cutting blade 16 Cutting jig 17 plane 18 Opening end
Claims (10)
円錐部把持方法であって、真空吸着カップを準備し、該
真空吸着カップはその開口部端部（以下「接触部」とい
う。）に軟質材料が配置され、該接触部の軟質材料をイ
ンゴットの円錐部表面に接触させて真空吸着カップ内を
減圧することで円錐部を吸着して把持することを特徴と
する単結晶インゴットの把持方法。1. A method of gripping a conical portion of a top and a tail of a single crystal ingot, wherein a vacuum suction cup is prepared, and the vacuum suction cup has a soft material at its opening end (hereinafter referred to as "contact portion"). Is arranged and the soft material of the contact portion is brought into contact with the surface of the conical portion of the ingot to reduce the pressure in the vacuum adsorption cup to adsorb and confine the conical portion.
持方法によって円錐部を把持しつつ該インゴットの円錐
部を切断することを特徴とする単結晶インゴットの切断
方法。2. A method for cutting a single crystal ingot, which comprises cutting the conical portion of the ingot while gripping the conical portion by the method for gripping a single crystal ingot according to claim 1.
はその外径がインゴット胴体部の外径に略等しい円筒形
状をなし、該把持具の外周部をインゴット切断機のイン
ゴット台座に固定することによって円錐部を固定するこ
とを特徴とする請求項２に記載の単結晶インゴットの切
断方法。3. The conical gripping tool including the vacuum suction cup has a cylindrical shape whose outer diameter is substantially equal to the outer diameter of the ingot body, and the outer peripheral portion of the gripping tool is fixed to the ingot base of the ingot cutting machine. The method for cutting a single crystal ingot according to claim 2, characterized in that the conical portion is fixed thereby.
対側の端部は平面をなし、インゴット端部吸着用の吸着
パッドを前記平面に吸着させて把持具を移動し固定する
ことを特徴とする請求項３に記載の単結晶インゴットの
切断方法。4. The end of the gripping tool opposite to the opening of the vacuum suction cup forms a flat surface, and a suction pad for sucking the end of the ingot is sucked onto the flat surface to move and fix the gripping tool. The method for cutting a single crystal ingot according to claim 3.
し、真空吸着カップ内部が所定の真空度を確保している
ときにのみ円錐部の切断・移動・運搬を行うことを特徴
とする請求項２乃至４のいずれかに記載の単結晶インゴ
ットの切断方法。5. The degree of vacuum inside the vacuum suction cup is detected, and the conical portion is cut, moved, and transported only when the inside of the vacuum suction cup secures a predetermined vacuum degree. Item 5. A method for cutting a single crystal ingot according to any one of items 2 to 4.
円錐部把持具であって、該把持具は真空吸着カップを有
し、該真空吸着カップはその開口部端部（以下「接触
部」という。）に軟質材料が配置され、前記真空吸着カ
ップには真空吸引装置が接続され、前記接触部の軟質材
料をインゴットの円錐部表面に接触させて前記真空吸引
装置によって真空吸着カップ内を減圧することで円錐部
を吸着して把持できることを特徴とする単結晶インゴッ
トの把持具。6. A single-crystal ingot top and tail conical gripping tool having a vacuum suction cup, and the vacuum suction cup has an opening end (hereinafter referred to as a "contact portion"). ), A vacuum suction device is connected to the vacuum suction cup, and the soft material at the contact portion is brought into contact with the conical surface of the ingot to reduce the pressure in the vacuum suction cup by the vacuum suction device. A gripping tool for a single crystal ingot, which is capable of adsorbing and gripping a conical portion by means of.
インゴットの切断用治具であって、前記把持具はその外
径がインゴット胴体部の外径に略等しい円筒形状をな
し、該把持具の外周部をインゴット切断機のインゴット
台座に固定することによって円錐部を固定できることを
特徴とする単結晶インゴットの切断用治具。7. A jig for cutting a single crystal ingot comprising the holding tool according to claim 6, wherein the holding tool has a cylindrical shape whose outer diameter is substantially equal to the outer diameter of the ingot body. A jig for cutting a single crystal ingot, wherein the conical portion can be fixed by fixing the outer peripheral portion of the gripping tool to the ingot pedestal of the ingot cutting machine.
対側の端部は平面をなし、インゴット端部吸着用の吸着
パッドを前記平面に吸着させて把持具を移動でき固定で
きることを特徴とする請求項７に記載の単結晶インゴッ
トの切断用治具。8. The end of the gripping tool opposite to the opening of the vacuum suction cup has a flat surface, and a suction pad for suctioning the end of the ingot can be sucked onto the flat surface to move and fix the gripping tool. The jig for cutting a single crystal ingot according to claim 7.
トの切断用治具を用いてなることを特徴とする単結晶イ
ンゴットの切断装置。9. A single crystal ingot cutting device, comprising the single crystal ingot cutting jig according to claim 7 or 8.
真空吸着カップ内部の真空度を検出する真空度検出装置
を有し、前記制御装置は真空吸着カップ内部が所定の真
空度を確保しているときにのみ円錐部の切断・移動・運
搬を行うことを特徴とする請求項９に記載の単結晶イン
ゴットの切断装置。10. The cutting device has a control device, and has a vacuum degree detection device for detecting a vacuum degree inside the vacuum suction cup, wherein the control device ensures a predetermined vacuum degree inside the vacuum suction cup. 10. The single crystal ingot cutting device according to claim 9, wherein the conical portion is cut, moved and transported only when the single crystal ingot is being moved.
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